CN115606060A - 校准调整装置和电子器件的制造方法 - Google Patents

Abstract

校准调整装置具有：第1材质的第1保持架，其支承光学元件；第1调整装置，其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度，使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转；以及第2材质的第1支承部件，其支承第1调整装置，第1调整装置构成为，能够将第1伸缩部与第1保持架接触的位置调整到包含第1支承部件的第1端部和第1轴在内的第1平面上。

Description

校准调整装置和电子器件的制造方法

技术领域

本发明涉及校准调整装置和电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨力的提高。因此，从曝光用光源放出的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的KrF准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的ArF准分子激光装置。

KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用使KrF和ArF激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨力可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，存在具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(Line Narrow Module：LNM)的情况。下面，将使谱线宽度窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6973111号说明书

专利文献2：美国专利申请公开第2005/015790号说明书

发明内容

本发明的1个观点的校准调整装置具有：第1材质的第1保持架，其支承光学元件；第1调整装置，其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度，使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转；以及第2材质的第1支承部件，其支承第1调整装置，第1调整装置构成为，能够将第1伸缩部与第1保持架接触的位置调整到包含第1支承部件的第1端部和第1轴在内的第1平面上。

本发明的另1个观点的校准调整装置具有：第1材质的第1保持架，其支承光学元件；第1调整装置，其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度，使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转；第2材质的第1支承部件，其支承第1调整装置；第1材质的第2保持架，其在第1轴支承第1保持架，并且在第1支承部件的第1端部支承第1支承部件；第2调整装置，其包含第2材质的第2伸缩部，通过使第2伸缩部与第2保持架接触并调整第2伸缩部的长度，使第2保持架、第1保持架和光学元件绕与第1轴交叉的第2轴旋转；以及第2材质的第2支承部件，其支承第2调整装置，第1端部位于包含第1轴和第2轴在内的第5平面。

本发明的1个观点的电子器件的制造方法包含以下步骤：通过具有校准调整装置的激光装置生成脉冲激光，将脉冲激光输出到曝光装置，在曝光装置内将脉冲激光曝光到感光基板上，以制造电子器件，校准调整装置具有：第1材质的第1保持架，其支承光学元件；第1调整装置，其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度，使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转；以及第2材质的第1支承部件，其支承第1调整装置，第1调整装置构成为，能够将第1伸缩部与第1保持架接触的位置调整到包含第1支承部件的第1端部和第1轴在内的第1平面上。

附图说明

下面，参照附图将本发明的若干个实施方式仅作为例子进行说明。

图1示意地示出比较例的激光装置的结构。

图2A示意地示出比较例的校准调整装置。

图2B是图2A的IIB-IIB线处的剖视图。

图2C是图2A的IIC-IIC线处的剖视图。

图2D是图2A的IID-IID线处的剖视图。

图2E是示出在比较例中使第2保持架旋转的情况下的相当于图2B的部分的剖视图。

图2F是示出在比较例中使第1保持架旋转的情况下的相当于图2D的部分的剖视图。

图3A示意地示出第1实施方式的校准调整装置。

图3B是图3A的IIIB-IIIB线处的剖视图。

图3C是图3A的IIIC-IIIC线处的剖视图。

图3D是图3A的IIID-IIID线处的剖视图。

图4A示意地示出第2实施方式的校准调整装置。

图4B是图4A的IVB-IVB线处的剖视图。

图4C是图4A的IVC-IVC线处的剖视图。

图4D是图4A的IVD-IVD线处的剖视图。

图4E是示出在第1实施方式中处于调整状态时的第2伸缩部与第2轴的位置关系的图。

图4F是示出在第2实施方式中处于调整状态时的第2伸缩部与第2轴的位置关系的图。

图5概略地示出与激光装置连接的曝光装置的结构。

具体实施方式

<内容>

1.比较例

1.1激光装置1的结构

1.1.1主振荡器MO

1.1.2第1射束转向单元76

1.1.3放大器PO

1.1.4第2射束转向单元86

1.1.5光学脉冲展宽器89

1.2激光装置1的动作

1.2.1主振荡器MO的动作

1.2.2放大器PO的动作

1.2.3光学脉冲展宽器89的动作

1.3校准调整装置的结构

1.3.1第1保持架11

1.3.2第2保持架22

1.3.3第3保持架33

1.3.4第1调整装置41和第2调整装置52

1.4校准调整装置的动作

1.4.1第1保持架11的旋转

1.4.2第2保持架22的旋转

1.5作用

1.6比较例的课题

1.6.1第1伸缩部411与第2保持架22的关系

1.6.2第2伸缩部522与第3保持架33的关系

1.6.3解决方法的研究

2.包含与伸缩部相同的材质的支承部件的校准调整装置

2.1结构和动作

2.1.1第2保持架22a和第1支承部件21a

2.1.2第3保持架33a和第2支承部件32a

2.2其他结构例

2.3作用

3.第2平面P2与第1平面P1垂直的校准调整装置

3.1结构和动作

3.1.1第2保持架22b和第1支承部件21b

3.1.2第3保持架33b和第2支承部件32b

3.2其他结构例

3.3作用

4.其他

下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。以下说明的实施方式示出本发明的几个例子，不限定本发明的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本发明的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。

1.比较例

1.1激光装置1的结构

图1示意地示出比较例的激光装置1的结构。比较例的激光装置1包含主振荡器MO、第1射束转向单元76、放大器PO、第2射束转向单元86和光学脉冲展宽器89。

1.1.1主振荡器MO

主振荡器MO包含激光腔70、窄带化模块74和输出耦合镜75。

激光腔70被配置于由窄带化模块74和输出耦合镜75构成的激光谐振器的光路上。在激光腔70设置有2个窗口701和702。激光腔70收纳放电电极711和712。放电电极711和712与未图示的脉冲电源连接。激光腔70收纳作为激光介质的激光气体。激光气体例如包含氩气、氟气和氖气。或者，激光气体例如包含氪气、氟气和氖气。

窄带化模块74包含棱镜741和光栅742等波长选择元件。输出耦合镜75由部分反射镜构成。

1.1.2第1射束转向单元76

第1射束转向单元76包含高反射镜761和762。高反射镜761和762分别支承于校准调整装置766和767。

1.1.3放大器PO

放大器PO包含激光腔80、后镜84和输出耦合镜85。对于激光腔80、输出耦合镜85以及附属于激光腔80的窗口801和802、放电电极811和812，与在主振荡器MO中对应的结构要素相同。

后镜84配置于通过第1射束转向单元76后的脉冲激光的光路上。后镜84由部分反射镜构成。利用后镜84和输出耦合镜85构成激光谐振器。

1.1.4第2射束转向单元86

第2射束转向单元86包含高反射镜861和862。高反射镜861和862分别支承于校准调整装置866和867。

1.1.5光学脉冲展宽器89

光学脉冲展宽器89配置于通过第2射束转向单元86后的脉冲激光的光路上。光学脉冲展宽器89包含分束器895和第1～第4凹面镜891～894。第1～第4凹面镜891～894分别支承于校准调整装置896～899。

1.2激光装置1的动作

1.2.1主振荡器MO的动作

在主振荡器MO中，未图示的脉冲电源生成脉冲状的高电压，将该高电压施加到放电电极711和712之间。

在对放电电极711和712之间施加高电压时，在放电电极711和712之间引起放电。通过该放电的能量，激光腔70内的激光气体被激励而向高能级跃迁。然后，在被激励的激光气体向低能级跃迁时，放出与该能级差对应的波长的光。

在激光腔70内产生的光经由窗口701和702向激光腔70的外部射出。从窗口701射出的光的射束宽度通过棱镜741而扩大，并且该光射入到光栅742。从棱镜741射入到光栅742的光通过光栅742的多个槽被反射，并且向与光的波长对应的方向衍射。光栅742被进行利特罗配置，以使从棱镜741射入到光栅742的光的入射角和期望波长的衍射光的衍射角一致。由此，期望波长附近的光经由棱镜741返回激光腔70。

输出耦合镜75使从窗口702射出的光中的一部分透过并输出，使另一部分反射而返回激光腔70。

这样，从激光腔70射出的光在窄带化模块74与输出耦合镜75之间往复。该光每次通过放电电极711和712之间的放电空间时会被放大。此外，该光每次通过窄带化模块74而折返时会被窄带化。以此方式进行激光振荡而被窄带化的光作为脉冲激光从输出耦合镜75输出。

1.2.2放大器PO的动作

从输出耦合镜75输出的脉冲激光经由第1射束转向单元76和后镜84射入到激光腔80。

与脉冲激光向激光腔80的射入同步地，在放大器PO中，未图示的脉冲电源生成脉冲状的高电压，该高电压被施加到放电电极811和812之间。

在对放电电极811和812之间施加高电压时，在放电电极811和812之间引起放电。通过该放电的能量，射入到激光腔80的脉冲激光被放大。

在激光腔80内被放大后的光在后镜84与输出耦合镜85之间往复。该光每次通过放电电极811和812之间的放电空间时会被放大。以此方式被放大的光作为脉冲激光从输出耦合镜85输出。

1.2.3光学脉冲展宽器89的动作

从输出耦合镜85输出的脉冲激光经由第2射束转向单元86向图1的右方射入到光学脉冲展宽器89的分束器895。分束器895使向图1的右方射入的脉冲激光的一部分透过而作为脉冲激光B1射出，使另一部分向图1的下方反射。反射后的脉冲激光依次被第1～第4凹面镜891～894反射，向图1的下方射入到分束器895。

从第2射束转向单元86射入的脉冲激光在分束器895中的射束截面通过第1～第4凹面镜891～894以1：1的大小成像于分束器895。分束器895使从第4凹面镜894向图1的下方射入的脉冲激光的一部分向图1的右方反射而作为脉冲激光B2射出。脉冲激光B1和脉冲激光B2大致同轴。

在脉冲激光B1与脉冲激光B2之间存在与由第1～第4凹面镜891～894构成的延迟光路的光路长度对应的时间差。通过在空间上使脉冲激光B1和脉冲激光B2重叠，能够射出脉冲宽度被伸长的脉冲激光。

1.3校准调整装置的结构

图2A示意地示出比较例的校准调整装置。在图2A中，将横向的轴设为H轴，将纵向的轴设为V轴，将与纸面垂直的轴设为Z轴。H轴、V轴和Z轴相互正交。

图2B是图2A的IIB-IIB线处的剖视图，图2C是图2A的IIC-IIC线处的剖视图，图2D是图2A的IID-IID线处的剖视图。

校准调整装置是支承光学元件并对光学元件的姿态进行调整的装置。在以下的说明中，作为光学元件的例子，使用镜10。作为镜10的例子，举出参照图1说明的高反射镜761、762、861和862、第1～第4凹面镜891～894等。

校准调整装置包含第1保持架11、第2保持架22、第3保持架33、第1调整装置41和第2调整装置52。

1.3.1第1保持架11

第1保持架11包围镜10，以与镜10接触的方式支承镜10。但是，第1保持架11不覆盖镜10的+Z侧的面即反射表面101。

1.3.2第2保持架22

第2保持架22包围第1保持架11，与第1保持架11隔开间隔地支承第1保持架11。第2保持架22通过销16和17支承第1保持架11，第1保持架11能够绕由销16和17规定的第1轴AX1旋转。第1轴AX1是连接销16和17各自的中心的直线。

第2保持架22不覆盖镜10的反射表面101。此外，第2保持架22具有开口25。第2保持架22具有开口25的理由如下所述。虽然射入到镜10的反射表面101的光中的大部分光被镜10反射，但是，一部分光会透过镜10。在透过镜10后的光射入到第2保持架22时，第2保持架22的温度上升，第2保持架22会热膨胀，由此，镜10的姿态有时会非意图地变动。通过设置开口25以使透过镜10后的光通过，能够抑制第2保持架22的热膨胀。此外，还能够经由开口25使镜10的热向镜10的与反射表面101相反的一侧即背面侧散热。不仅是第2保持架22，在第1保持架11中，也可以在镜10的背面侧的位置设置比镜10的直径小的未图示的开口。

1.3.3第3保持架33

第3保持架33包围第2保持架22，与第2保持架22隔开间隔地支承第2保持架22。第3保持架33通过销26和27支承第2保持架22，第2保持架22能够绕由销26和27规定的第2轴AX2旋转。第2轴AX2是连接销26和27各自的中心的直线，第2轴AX2与H轴平行。第1轴AX1和第2轴AX2在镜10的反射表面101的大致中心的位置处正交。在以下的说明中，将包含第1轴AX1和第2轴AX2的平面称为第5平面P5。

第3保持架33不覆盖镜10的反射表面101。此外，第3保持架33具有开口35。第3保持架33具有开口35的理由与关于开口25所说明的理由相同。第1、第2和第3保持架11、22和33例如由铝构成。铝相当于本发明中的第1材质。

1.3.4第1调整装置41和第2调整装置52

第1调整装置41支承于第2保持架22。第1调整装置41包含驱动部410和第1伸缩部411。驱动部410固定于第2保持架22的-Z侧的面228。第1伸缩部411是棒状的部件，贯通第2保持架22。第1伸缩部411的端部419位于驱动部410的外部，第1伸缩部411的未图示的相反侧的端部收纳于驱动部410。驱动部410使第1伸缩部411的一部分进出，由此，第1伸缩部411中的位于驱动部410的外部的部分的长度伸缩。在以下的说明中，有时将第1伸缩部411中的位于驱动部410的外部的部分的长度的伸缩称为“第1伸缩部411伸缩”。伸缩包含伸长和收缩。第1伸缩部411伸长的X方向与第5平面P5垂直。

第1伸缩部411的端部419在比第1轴AX1更靠+H侧的位置处与第1保持架11接触。

在第1保持架11与第2保持架22之间，弹簧45以伸长的状态配置于第1伸缩部411的附近。或者，在第1保持架11与第2保持架22之间，未图示的弹簧也可以以被压缩的状态配置于比第1轴AX1更靠-H侧的位置。或者，也可以在第1保持架11的+Z侧的面配置未图示的弹簧。

第2调整装置52支承于第3保持架33。第2调整装置52包含驱动部520和第2伸缩部522。驱动部520固定于第3保持架33的-Z侧的面338。第2伸缩部522是棒状的部件，贯通第3保持架33。第2伸缩部522的端部529位于驱动部520的外部，第2伸缩部522的未图示的相反侧的端部收纳于驱动部520。驱动部520使第2伸缩部522的一部分进出，由此，第2伸缩部522中的位于驱动部520的外部的部分的长度伸缩。在以下的说明中，有时将第2伸缩部522中的位于驱动部520的外部的部分的长度的伸缩称为“第2伸缩部522伸缩”。第2伸缩部522伸长的方向是+Z方向。

第2伸缩部522的端部529在比第2轴AX2更靠+V侧的位置处与第2保持架22接触。第2伸缩部522的端部529位于第5平面P5。

在第2保持架22与第3保持架33之间，弹簧55以伸长的状态配置于第2伸缩部522的附近。或者，在第2保持架22与第3保持架33之间，未图示的弹簧也可以以被压缩的状态配置于比第2轴AX2更靠-V侧的位置。或者，也可以在第2保持架22的+Z侧的面配置未图示的弹簧。

第1调整装置41和第2调整装置52分别例如由千分尺构成。

第1伸缩部411和第2伸缩部522例如由不锈钢(SUS)构成。不锈钢相当于本发明中的第2材质。不锈钢等第2材质的热膨胀系数比铝等第1材质的热膨胀系数小。铝等第1材质的比重比不锈钢等第2材质的比重小。

1.4校准调整装置的动作

图2E是示出在比较例中使第2保持架22旋转的情况下的相当于图2B的部分的剖视图。图2F是示出在比较例中使第1保持架11旋转的情况下的相当于图2D的部分的剖视图。

1.4.1第1保持架11的旋转

在通过驱动部410使第1伸缩部411伸长时，第1保持架11的一部分被第1伸缩部411按压，由此，第1保持架11相对于第2保持架22绕第1轴AX1旋转。

在通过驱动部410使第1伸缩部411收缩时，第1保持架11的一部分被弹簧45牵拉，由此，第1保持架11相对于第2保持架22绕第1轴AX1旋转(参照图2F)。第1保持架11的旋转在第1伸缩部411伸长时和收缩时成为相反的旋转。

这样，通过使第1伸缩部411与第1保持架11接触并调整第1伸缩部411的长度，使第1保持架11和镜10绕第1轴AX1旋转。

如图2D所示，在以下的说明中，有时将第1伸缩部411的端部419位于第5平面P5的状态称为“未调整状态”。

如图2F所示，在以下的说明中，有时将通过第1伸缩部411的伸缩而使第1伸缩部411的端部419位于第5平面P5以外的状态称为“调整状态”。

1.4.2第2保持架22的旋转

在通过驱动部520使第2伸缩部522伸长时，第2保持架22的一部分被第2伸缩部522按压，由此，第2保持架22相对于第3保持架33绕第2轴AX2旋转。

在通过驱动部520使第2伸缩部522收缩时，第2保持架22的一部分被弹簧55牵拉，由此，第2保持架22相对于第3保持架33绕第2轴AX2旋转(参照图2E)。第2保持架22的旋转在第2伸缩部522伸长时和收缩时成为相反的旋转。在第2保持架22绕第2轴AX2旋转时，第1轴AX1也绕第2轴AX2旋转，第5平面P5也倾斜。

这样，通过使第2伸缩部522与第2保持架22接触并调整第2伸缩部522的长度，第2保持架22、第1调整装置41、第1保持架11和镜10绕第2轴AX2旋转。

在以下的说明中，有时将如图2C所示那样第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向垂直的状态称为“未调整状态”。第2伸缩部522处于未调整状态时的第1轴AX1与V轴平行。

在以下的说明中，有时将如图2E所示那样通过第2伸缩部522的伸缩，第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向倾斜的状态称为“调整状态”。

1.5作用

如上所述，能够使第1保持架11相对于第2保持架22绕第1轴AX1旋转，使第2保持架22相对于第3保持架33绕第2轴AX2旋转。由此，能够使镜10绕相互正交的2个轴旋转来调整其姿态，能够独立地调整绕这些轴的旋转角度。

第1伸缩部411和第2伸缩部522也可以构成为，不仅分别与第1保持架11和第2保持架22接触，还分别勾挂于第1保持架11和第2保持架22。该情况下，在第1伸缩部411和第2伸缩部522收缩时，第1保持架11和第2保持架22可以分别被拉伸而旋转，也可以不设置弹簧45和55。

1.6比较例的课题

1.6.1第1伸缩部411与第2保持架22的关系

如上所述，第1调整装置41的驱动部410固定于第2保持架22，在未调整状态下第1伸缩部411的端部419和第1保持架11接触的位置与第5平面P5一致。

这里，在第2保持架22和第1伸缩部411的热膨胀系数不同的情况下，存在以下的问题。从第2保持架22的固定有驱动部410的-Z侧的面228到第5平面P5为止的Z方向上的距离与第2保持架22的热膨胀系数和温度有关。从面228到第1伸缩部411的端部419为止的Z方向的距离与第1伸缩部411的热膨胀系数和温度有关。在包含第2保持架22和第1伸缩部411的校准调整装置的温度根据脉冲激光的能量而变化时，第5平面P5与第1伸缩部411的端部419的位置关系相对于驱动部410的调节会另外发生变化。因此，镜10的姿态会变化。

此外，在由于第2保持架22和第1伸缩部411的热传导率的差异或比热的差异等要因而在第2保持架22和第1伸缩部411产生温度差的情况下，第5平面P5与第1伸缩部411的端部419的位置关系也会变化。

1.6.2第2伸缩部522与第3保持架33的关系

如上所述，第2调整装置52的驱动部520固定于第3保持架33，第2伸缩部522的端部529在第5平面P5中与第2保持架22接触。未调整状态下的第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向垂直。

这里，在第3保持架33和第2伸缩部522的热膨胀系数不同的情况下，存在与上述同样的问题。即，在校准调整装置的温度根据脉冲激光的能量而变化时，第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向的倾斜程度相对于驱动部520的调节会另外发生变化。因此，镜10的姿态会变化。

此外，在由于第3保持架33与第2伸缩部522的热传导率的差异、比热的差异等要因而在第3保持架33和第2伸缩部522产生温度差的情况下，第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向的倾斜程度也会变化。

1.6.3解决方法的研究

如果利用与第1伸缩部411和第2伸缩部522相同的第2材质构成第2保持架22和第3保持架33，则在这些部件之间，热膨胀系数、热传导率和比热相同，因此，上述问题减轻。但是，在第2材质的比重大的情况下，第2保持架22等变重，可能难以进行高速的姿态控制。

在以下说明的若干个实施方式中，将支承第1调整装置41的第1支承部件21a或21b配置于第2保持架22a或22b，利用相同材质构成第1支承部件21a或21b与第1伸缩部411。并且，将支承第2调整装置52的第2支承部件32a或32b配置于第3保持架33a或33b，利用相同材质构成第2支承部件32a或32b与第2伸缩部522。

2.包含与伸缩部相同的材质的支承部件的校准调整装置

2.1结构和动作

图3A示意地示出第1实施方式的校准调整装置。图3B是图3A的IIIB-IIIB线处的剖视图，图3C是图3A的IIIC-IIIC线处的剖视图，图3D是图3A的IIID-IIID线处的剖视图。

2.1.1第2保持架22a和第1支承部件21a

第1实施方式的校准调整装置代替比较例中的第2保持架22而包含第2保持架22a和第1支承部件21a。由第2保持架22a和第1支承部件21a组合而成的形状大致相当于比较例中的第2保持架22的形状。

第2保持架22a除了在第1轴AX1支承第1保持架11以外，还在第1支承部件21a的+Z侧的第1端部211支承第1支承部件21a。第2保持架22a例如由铝等第1材质构成。第1支承部件21a通过贯通第1端部211的未图示的螺栓固定于第2保持架22a。

第1支承部件21a支承第1调整装置41。第1调整装置41中包含的驱动部410固定于第1支承部件21a的-Z侧的面218。

第1支承部件21a的第1端部211位于第5平面P5。由此，包含第1端部211和第1轴AX1在内的第1平面P1与第5平面P5一致。第1平面P1与第1伸缩部411伸长的X方向垂直。

未调整状态下的第1伸缩部411的端部419不仅位于第5平面P5，还位于第1平面P1。因此，从第1支承部件21a的固定有驱动部410的-Z侧的面218到未调整状态下的第1伸缩部411的端部419为止的Z方向上的距离、和从面218到第1支承部件21a的第1端部211为止的Z方向上的距离大致相等。

第1支承部件21a由与第1伸缩部411相同的第2材质构成，例如由不锈钢构成。由此，即使第1支承部件21a和第1伸缩部411的温度变化，第1支承部件21a的Z方向的长度和第1伸缩部411的Z方向的长度也大致相同地变化。因此，未调整状态下的第1伸缩部411的端部419与第5平面P5的位置关系能够稳定。

这里，说明了在未调整状态下第1伸缩部411的与第1保持架11接触的端部419的位置与第1平面P1一致的情况，但是，本发明不限于此。只要能够将第1伸缩部411的与第1保持架11接触的端部419的位置调整到第1平面P1上即可。能够调整是指，在第1伸缩部411的与第1保持架11接触的端部419的位置的可动范围内包含第1平面P1的一部分。

2.1.2第3保持架33a和第2支承部件32a

第1实施方式的校准调整装置代替比较例中的第3保持架33而包含第3保持架33a和第2支承部件32a。由第3保持架33a和第2支承部件32a组合而成的形状大致相当于比较例中的第3保持架33的形状。

第3保持架33a除了在第2轴AX2支承第2保持架22a以外，还在第2支承部件32a的+Z侧的第3端部323(参照图3C)支承第2支承部件32a。第3保持架33a例如由铝等第1材质构成。第2支承部件32a通过贯通第3端部323的螺栓326固定于第3保持架33a。

第2支承部件32a支承第2调整装置52。第2调整装置52中包含的驱动部520固定于第2支承部件32a的-Z侧的面328。包含第2支承部件32a的第3端部323和第2轴AX2在内的第3平面P3与第2伸缩部522伸长的+Z方向垂直。

第3端部323位于未调整状态下的第5平面P5。即，第3平面P3与未调整状态下的第5平面P5一致。

如上所述，第2伸缩部522的端部529位于第5平面P5。即，第2伸缩部522在第5平面P5中与第2保持架22a接触。

此外，在未调整状态下第2伸缩部522的端部529与第2保持架22a接触的位置与第3平面P3一致。因此，从第2支承部件32a的固定有驱动部520的-Z侧的面328到未调整状态下的第2伸缩部522的端部529为止的Z方向上的距离和从面328到第2支承部件32a的第3端部323为止的Z方向上的距离大致相等。

第2支承部件32a由与第2伸缩部522相同的第2材质构成，例如由不锈钢构成。由此，即使第2伸缩部522和第2支承部件32a的温度变化，第2伸缩部522的Z方向上的长度和第2支承部件32a的Z方向上的长度也大致相同地变化。因此，第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向的倾斜程度能够稳定。

这里，说明了在未调整状态下第2伸缩部522的与第2保持架22a接触的端部529的位置与第3平面P3一致的情况，但是，本发明不限于此。只要能够将第2伸缩部522的与第2保持架22a接触的端部529的位置调整到第3平面P3上即可。能够调整是指，在第2伸缩部522的与第2保持架22a接触的端部529的位置的可动范围内包含第3平面P3的一部分。

2.2其他结构例

在第1实施方式中，利用相互正交的2个轴对镜10的姿态进行调节，但是，本发明不限于此。旋转轴也可以仅是第1轴AX1，也可以不设置第3保持架33a、第2支承部件32a以及第2调整装置52。

2.3作用

根据第1实施方式，校准调整装置包含第1保持架11、第1调整装置41和第1支承部件21a。第1保持架11由铝等第1材质构成，支承镜10。第1调整装置41包含由与第1材质不同的不锈钢等第2材质构成的第1伸缩部411。第1调整装置41使第1伸缩部411与第1保持架11接触并调整第1伸缩部411的长度，由此使第1保持架11和镜10绕第1轴AX1旋转。第1支承部件21a由第2材质构成，支承第1调整装置41。

第1调整装置41构成为，能够将第1伸缩部411与第1保持架11接触的位置调整到包含第1支承部件21a的第1端部211和第1轴AX1在内的第1平面P1上。

由此，能够将从第1支承部件21a的-Z侧的面218到第1端部211为止的Z方向上的距离与从面218到第1伸缩部411的与第1保持架11接触的端部419为止的Z方向上的距离调整成相等。第1支承部件21a和第1伸缩部411均由第2材质构成，热膨胀系数相同，因此，即使第1支承部件21a和第1伸缩部411的温度变化，第1支承部件21a的Z方向上的长度和第1伸缩部411的Z方向上的长度也大致相同地变化。因此，会抑制第1伸缩部411的端部419与第5平面P5的位置关系相对于驱动部410的调节而另外发生变化的情况。此外，第1支承部件21a和第1伸缩部411的热传导率和比热相同，因此，会抑制第1支承部件21a与第1伸缩部411的温度差。因此，会抑制第1伸缩部411的端部419与第5平面P5的位置关系的变化。

根据第1实施方式，校准调整装置还包含第1材质的第2保持架22a，该第2保持架22a在第1轴AX1支承第1保持架11，并且在第1端部211支承第1支承部件21a。

由此，通过同一个第2保持架22a完成了在第1轴AX1对第1保持架11的支承、和在第1端部211对支承第1调整装置41的第1支承部件21a的支承。因此，镜10的姿态能够更加稳定。

根据第1实施方式，第2材质的热膨胀系数比第1材质的热膨胀系数小。

由此，第1伸缩部411和第1支承部件21a由热膨胀系数小的材质构成，第1保持架11的姿态能够更加稳定。

根据第1实施方式，第1材质的比重比第2材质的比重小。

由此，第1保持架11或第1保持架11和第2保持架22a这双方由比重较小的材质构成，能够进行高速的姿态控制。

根据第1实施方式，校准调整装置还包含第2调整装置52和第2支承部件32a。第2调整装置52包含第2材质的第2伸缩部522，使第2伸缩部522与第2保持架22a接触并调整第2伸缩部522的长度，由此，使第2保持架22a、第1保持架11和镜10绕与第1轴AX1不同的第2轴AX2旋转。第2支承部件32a由第2材质构成，支承第2调整装置52。

由此，除了第1轴AX1之外，还能在第2轴AX2上调整镜10的姿态。

根据第1实施方式，第2调整装置52构成为，能够将第2伸缩部522的与第2保持架22a接触的位置调成在包含第2支承部件32a的第3端部323和第2轴AX2在内的第3平面P3上。

由此，能够将从第2支承部件32a的-Z侧的面328到第3端部323为止的Z方向上的距离与从面328到第2伸缩部522的与第2保持架22a接触的端部529为止的Z方向上的距离调整成相等。第2支承部件32a和第2伸缩部522均由第2材质构成，热膨胀系数相同，因此，即使第2支承部件32a和第2伸缩部522的温度变化，第2支承部件32a的Z方向上的长度和第2伸缩部522的Z方向上的长度也大致相同地变化。因此，会抑制第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向的倾斜程度相对于驱动部520的调节而另外发生变化的情况。此外，第2支承部件32a和第2伸缩部522的热传导率和比热相同，因此，会抑制第2支承部件32a与第2伸缩部522的温度差。因此，会抑制第5平面P5相对于第2伸缩部522伸长的+Z方向的倾斜程度的变化。

根据第1实施方式，校准调整装置还包含第1材质的第3保持架33a，该第3保持架33a在第2轴AX2支承第2保持架22a，并且在第3端部323支承第2支承部件32a。

由此，通过同一个第3保持架33a完成了在第2轴AX2对第2保持架22a的支承、和在第3端部323对支承第2调整装置52的第2支承部件32a的支承。因此，镜10的姿态能够更加稳定。

根据第1实施方式，第1轴AX1和第2轴AX2交叉，第1支承部件21a的第1端部211位于包含第1轴AX1和第2轴AX2在内的第5平面P5。

由此，以由第1和第2轴AX1和AX2规定的第5平面P5为基准来配置第1支承部件21a，因此，镜10的姿态能够稳定。

根据第1实施方式，包含第1端部211和第1轴AX1在内的第1平面P1与第1伸缩部411伸长的X方向垂直。

由此，在第1伸缩部411的与第1保持架11接触的端部419位于第1平面P1时，能够高效地施加使第1保持架11旋转的力。

根据第1实施方式，第2伸缩部522在第5平面P5中与第2保持架22a接触。

由此，以由第1和第2轴AX1和AX2规定的第5平面P5为基准来调整第2保持架22a的姿态，因此，镜10的姿态能够稳定。

根据第1实施方式，包含第2支承部件32a的第3端部323和第2轴AX2在内的第3平面P3与第2伸缩部522伸长的+Z方向垂直。

由此，在第2伸缩部522的与第2保持架22a接触的端部529位于第3平面P3时，能够高效地施加使第2保持架22a旋转的力。

关于其他方面，第1实施方式与比较例相同。

3.第2平面P2与第1平面P1垂直的校准调整装置

3.1结构和动作

图4A示意地示出第2实施方式的校准调整装置。图4B是图4A的IVB-IVB线处的剖视图，图4C是图4A的IVC-IVC线处的剖视图，图4D是图4A的IVD-IVD线处的剖视图。

3.1.1第2保持架22b和第1支承部件21b

第2实施方式的校准调整装置代替第1实施方式中的第2保持架22a和第1支承部件21a而包含第2保持架22b和第1支承部件21b。由第2保持架22b和第1支承部件21b组合而成的形状大致相当于第1实施方式中的由第2保持架22a和第1支承部件21a组合而成的形状。

第2保持架22b除了在第1轴AX1支承第1保持架11以外，还在第1支承部件21b的+Z侧的第1端部211和第1支承部件21b的-H侧的第2端部212支承第1支承部件21b。第1支承部件21b通过贯通第1端部211的未图示的螺栓和贯通第2端部212的未图示的螺栓固定于第2保持架22b。

包含第2端部212和第1轴AX1在内的第2平面P2与包含第1支承部件21b的第1端部211和第1轴AX1在内的第1平面P1垂直。第2平面P2还与包含第1轴AX1和第2轴AX2在内的第5平面P5垂直。

3.1.2第3保持架33b和第2支承部件32b

第2实施方式的校准调整装置代替第1实施方式中的第3保持架33a和第2支承部件32a而包含第3保持架33b和第2支承部件32b。由第3保持架33b和第2支承部件32b组合而成的形状大致相当于第1实施方式中的由第3保持架33a和第2支承部件32a组合而成的形状。

第3保持架33b除了在第2轴AX2支承第2保持架22b以外，还在第2支承部件32b的+Z侧的第3端部323和第2支承部件32b的-V侧的第4端部324支承第2支承部件32b。第2支承部件32b通过贯通第3端部323的螺栓326和贯通第4端部324的螺栓327固定于第3保持架33b。

包含第4端部324和第2轴AX2在内的第4平面P4与包含第2支承部件32b的第3端部323和第2轴AX2在内的第3平面P3垂直。

3.2其他结构例

在第2实施方式中，利用相互正交的2个轴对镜10的姿态进行调节，但是，本发明不限于此。旋转轴也可以仅是第1轴AX1，也可以不设置第3保持架33b、第2支承部件32b和第2调整装置52。

3.3作用

图4E是示出在第1实施方式中处于调整状态时的第2伸缩部522与第2轴AX2的位置关系的图。

相对于第2伸缩部522的端部529位于第3平面P3的未调整状态，将端部529从第3平面P3偏移距离Z1的调整状态下的镜10的倾斜程度设为θ1。将从第2轴AX2到第2伸缩部522为止的V方向上的距离设为L1。

这里，考虑如下情况：驱动部520对第2伸缩部522的调整状态保持原样，包含第3保持架33a、第2支承部件32a和第2伸缩部522的校准调整装置的温度上升。从第2轴AX2到第2伸缩部522为止的V方向上的距离L2成为相对于距离L1按照构成第3保持架33a的第1材质的热膨胀系数αh而增加的值。另一方面，端部529与第3平面P3之间的距离Z2成为相对于距离Z1按照构成第2支承部件32a和第2伸缩部522的第2材质的热膨胀系数αm而增加的值。在第2材质的热膨胀系数比第1材质的热膨胀系数小的情况下，镜10的倾斜程度成为比θ1稍小的θ2。

如果第2伸缩部522处于未调整状态，则端部529位于第3平面P3，θ1和θ2均为0，因此，在第1实施方式中，即使校准调整装置的温度变化，镜10的倾斜程度也几乎不会变化。但是，在图4E所示的调整状态下，当温度变化时，镜10的倾斜程度可能变化。

图4F是示出在第2实施方式中处于调整状态时的第2伸缩部522与第2轴AX2的位置关系的图。

与图4E的情况同样，考虑如下情况：驱动部520对第2伸缩部522的调整状态保持原样，校准调整装置的温度上升。在第2实施方式中，从第2轴AX2到第2伸缩部522为止的V方向上的距离L3成为相对于距离L1按照构成第2支承部件32b的第2材质的热膨胀系数αm而增加的值。另一方面，端部529与第3平面P3之间的距离Z2成为相对于距离Z1按照构成第2支承部件32b和第2伸缩部522的第2材质的热膨胀系数αm而增加的值。该情况下，即使校准调整装置的温度上升，镜10的倾斜程度也依然大致为θ1。

这里，说明了第2轴AX2和第2伸缩部522的位置关系，但是，第1轴AX1和第1伸缩部411的位置关系也同样。

根据第2实施方式，包含第1支承部件21b的第2端部212和第1轴AX1在内的第2平面P2与包含第1支承部件21b的第1端部211和第1轴AX1在内的第1平面P1垂直。

由此，在第1伸缩部411的端部419位于第5平面P5以外的位置的调整状态下，即使包含第1支承部件21b和第1伸缩部411的校准调整装置的温度变化，也能够抑制镜10的姿态的变化。

根据第2实施方式，校准调整装置还包含第1材质的第2保持架22b，该第2保持架22b在第1轴AX1支承第1保持架11，并且在第1端部211和第2端部212这双方支承第1支承部件21b。

由此，通过同一个第2保持架22b完成了在第1轴AX1对第1保持架11的支承、和在第1端部211和第2端部212这双方对支承第1调整装置41的第1支承部件21b的支承。因此，镜10的姿态能够更加稳定。

根据第2实施方式，包含第2支承部件32b的第4端部324和第2轴AX2在内的第4平面P4与包含第2支承部件32b的第3端部323和第2轴AX2在内的第3平面P3垂直。

由此，在第2伸缩部522的端部529位于第3平面P3以外的位置的调整状态下，即使包含第2支承部件32b和第2伸缩部522的校准调整装置的温度变化，也能够抑制镜10的姿态的变化。

根据第2实施方式，校准调整装置还包含第1材质的第3保持架33b，该第3保持架33b在第2轴AX2支承第2保持架22b，并且在第3端部323和第4端部324这双方支承第2支承部件32b。

由此，通过同一个第3保持架33b完成了在第2轴AX2对第2保持架22b的支承、和在第3端部323和第4端部324这双方对支承第2调整装置52的第2支承部件32b的支承。因此，镜10的姿态能够更加稳定。

根据第2实施方式，包含第1支承部件21b的第2端部212和第1轴AX1在内的第2平面P2与包含第1轴AX1和第2轴AX2在内的第5平面P5垂直。

由此，在第1伸缩部411的端部419位于第5平面P5以外的位置的调整状态下，即使包含第1支承部件21b和第1伸缩部411的校准调整装置的温度变化，也能够抑制镜10的姿态的变化。

关于其他方面，第2实施方式与第1实施方式相同。

4.其他

图5概略地示出与激光装置1连接的曝光装置600的结构。激光装置1生成脉冲激光并将其输出到曝光装置600。

在图5中，曝光装置600包含照明光学系统601和投影光学系统602。照明光学系统601通过从激光装置1射入的脉冲激光对配置于掩模版台RT上的未图示的掩模版的掩模版图案进行照明。投影光学系统602对透过掩模版的脉冲激光进行缩小投影，使其在配置于工件台WT上的未图示的工件上成像。工件是被涂布了光刻胶的半导体晶片等感光基板。曝光装置600使掩模版台RT和工件台WT同步地平行移动，由此使反映了掩模版图案的脉冲激光曝光在工件上。通过以上这种曝光工序在半导体晶片上转印掩模版图案后，经由多个工序，由此，能够制造电子器件。

上述说明没有意图限制，而是简单的例示。因此，本领域技术人员知晓能够在不脱离权利要求书的情况下对本发明的实施方式施加变更。此外，本领域技术人员还知晓组合使用本发明的实施方式。

只要没有明确记载，则本说明书和权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”、“具有”、“所具有”、“具备”等用语应该解释为“不排除存在被记载的结构要素以外的结构要素”。此外，修饰词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。此外，“A、B和C中的至少一方”这样的用语应该解释为“A”、“B”、“C”、“A+B”、“A+C”、“B+C”或“A+B+C”。并且，应该解释为还包含它们和“A”、“B”、“C”以外的部分的组合。

Claims (20)

1.一种校准调整装置，其具有：

第1材质的第1保持架，其支承光学元件；

第1调整装置，其包含与所述第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使所述第1伸缩部与所述第1保持架接触并调整所述第1伸缩部的长度，使所述第1保持架和所述光学元件绕第1轴旋转；以及

所述第2材质的第1支承部件，其支承所述第1调整装置，

所述第1调整装置构成为，能够将所述第1伸缩部与所述第1保持架接触的位置调整到包含所述第1支承部件的第1端部和所述第1轴在内的第1平面上。

2.根据权利要求1所述的校准调整装置，其中，

所述校准调整装置还包含所述第1材质的第2保持架，所述第2保持架在所述第1轴支承所述第1保持架，并且在所述第1端部支承所述第1支承部件。

3.根据权利要求1所述的校准调整装置，其中，

包含所述第1支承部件的第2端部和所述第1轴在内的第2平面与所述第1平面垂直。

4.根据权利要求3所述的校准调整装置，其中，

所述校准调整装置还包含所述第1材质的第2保持架，所述第2保持架在所述第1轴支承所述第1保持架，并且在所述第1端部和所述第2端部这双方支承所述第1支承部件。

5.根据权利要求1所述的校准调整装置，其中，

所述第2材质的热膨胀系数比所述第1材质的热膨胀系数小。

6.根据权利要求1所述的校准调整装置，其中，

所述第1材质的比重比所述第2材质的比重小。

7.根据权利要求1所述的校准调整装置，其中，

所述校准调整装置还具有：

所述第1材质的第2保持架，其在所述第1轴支承所述第1保持架，并且在所述第1端部支承所述第1支承部件；

第2调整装置，其包含所述第2材质的第2伸缩部，通过使所述第2伸缩部与所述第2保持架接触并调整所述第2伸缩部的长度，使所述第2保持架、所述第1保持架和所述光学元件绕与所述第1轴不同的第2轴旋转；以及

所述第2材质的第2支承部件，其支承所述第2调整装置。

8.根据权利要求7所述的校准调整装置，其中，

所述第2调整装置构成为，能够将所述第2伸缩部与所述第2保持架接触的位置调整到包含所述第2支承部件的第3端部和所述第2轴在内的第3平面上。

9.根据权利要求8所述的校准调整装置，其中，

所述校准调整装置还包含所述第1材质的第3保持架，所述第3保持架在所述第2轴支承所述第2保持架，并且在所述第3端部支承所述第2支承部件。

10.根据权利要求8所述的校准调整装置，其中，

包含所述第2支承部件的第4端部和所述第2轴在内的第4平面与所述第3平面垂直。

11.根据权利要求10所述的校准调整装置，其中，

所述校准调整装置还包含所述第1材质的第3保持架，所述第3保持架在所述第2轴支承所述第2保持架，并且在所述第3端部和所述第4端部这双方支承所述第2支承部件。

12.根据权利要求7所述的校准调整装置，其中，

包含所述第2支承部件的第2端部和所述第1轴在内的第2平面与包含所述第1轴和所述第2轴的第5平面垂直。

13.一种校准调整装置，其具有：

第1材质的第1保持架，其支承光学元件；

第1调整装置，其包含与所述第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使所述第1伸缩部与所述第1保持架接触并调整所述第1伸缩部的长度，使所述第1保持架和所述光学元件绕第1轴旋转；

所述第2材质的第1支承部件，其支承所述第1调整装置；

所述第1材质的第2保持架，其在所述第1轴支承所述第1保持架，并且在所述第1支承部件的第1端部支承所述第1支承部件；

第2调整装置，其包含所述第2材质的第2伸缩部，通过使所述第2伸缩部与所述第2保持架接触并调整所述第2伸缩部的长度，使所述第2保持架、所述第1保持架和所述光学元件绕与所述第1轴交叉的第2轴旋转；以及

所述第2材质的第2支承部件，其支承所述第2调整装置，

所述第1端部位于包含所述第1轴和所述第2轴的第5平面。

14.根据权利要求13所述的校准调整装置，其中，

包含所述第1端部和所述第1轴的第1平面与所述第1伸缩部伸长的方向垂直。

15.根据权利要求13所述的校准调整装置，其中，

所述校准调整装置还包含所述第1材质的第3保持架，所述第3保持架在所述第2轴支承所述第2保持架，并且在所述第2支承部件的第3端部支承所述第2支承部件。

16.根据权利要求15所述的校准调整装置，其中，

所述第2伸缩部在所述第5平面中与所述第2保持架接触。

17.根据权利要求16所述的校准调整装置，其中，

包含所述第3端部和所述第2轴的第3平面与所述第2伸缩部伸长的方向垂直。

18.根据权利要求13所述的校准调整装置，其中，

包含所述第1支承部件的第2端部和所述第1轴在内的第2平面与包含所述第1支承部件的第1端部和所述第1轴在内的第1平面垂直。

19.根据权利要求13所述的校准调整装置，其中，

包含所述第2支承部件的第4端部和所述第2轴在内的第4平面与包含所述第2支承部件的第3端部和所述第2轴在内的第3平面垂直。

20.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：

通过具有校准调整装置的激光装置生成脉冲激光，

将所述脉冲激光输出到曝光装置，

在所述曝光装置内将所述脉冲激光曝光到感光基板上，以制造电子器件，

所述校准调整装置具有：

第1材质的第1保持架，其支承光学元件；

第1调整装置，其包含与所述第1材质不同的第2材质的第1伸缩部，通过使所述第1伸缩部与所述第1保持架接触并调整所述第1伸缩部的长度，使所述第1保持架和所述光学元件绕第1轴旋转；以及

所述第2材质的第1支承部件，其支承所述第1调整装置，

所述第1调整装置构成为，能够将所述第1伸缩部与所述第1保持架接触的位置调整到包含所述第1支承部件的第1端部和所述第1轴在内的第1平面上。

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