WO2021220663A1 - 粘着シート - Google Patents

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WO2021220663A1
WO2021220663A1 PCT/JP2021/011612 JP2021011612W WO2021220663A1 WO 2021220663 A1 WO2021220663 A1 WO 2021220663A1 JP 2021011612 W JP2021011612 W JP 2021011612W WO 2021220663 A1 WO2021220663 A1 WO 2021220663A1
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pressure
sensitive adhesive
meth
acrylate
adhesive sheet
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PCT/JP2021/011612
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みずほ 永田
悠 立川
智一 ▲高▼橋
哲士 本田
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日東電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an adhesive sheet.
  • Patent Document 1 a substrate (member to be processed) is processed in a state of being temporarily fixed to a support via an adhesive layer and a separation layer, and after processing, the separation layer is destroyed by laser light irradiation and bonded. A method of peeling the substrate together with the agent layer from the support and then removing the adhesive layer from the substrate is described.
  • the above method has a problem that the member is damaged when the laser beam is irradiated with a high output.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is an adhesive sheet capable of temporarily fixing an adherend so that it can be peeled off, and a laser having a high output at the time of peeling.
  • the purpose is to provide an adhesive sheet that does not require light irradiation.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention includes a pressure-sensitive adhesive layer containing an ultraviolet absorber, and the pressure-sensitive adhesive layer has a first surface and a second surface facing the first surface, and has a thickness from the first surface.
  • S1 of the detection intensity of the ultraviolet absorber by time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) in the range of depth up to 1 ⁇ m in the direction and TOF-SIMS at the center point in the thickness direction of the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the detection intensity C of the ultraviolet absorber satisfies the relationship of S1 / C ⁇ 1.1.
  • the detection intensity C of the ultraviolet absorber by SIMS satisfies the relationship of S2 / C ⁇ 1.1.
  • an adhesive sheet capable of temporarily fixing an adherend so that it can be peeled off, and which does not require high-power laser light irradiation at the time of peeling.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
  • (B) is a schematic cross-sectional view of an adhesive sheet according to another embodiment of the present invention.
  • 6 is a TOF-SIMS analysis chart measured in Example 1.
  • FIG. 1 (a) is a schematic sectional view of a pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet 100 according to this embodiment includes a pressure-sensitive adhesive layer 10.
  • the pressure-sensitive adhesive layer 10 contains an ultraviolet absorber.
  • FIG. 1B is a schematic cross-sectional view of an adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet 200 according to this embodiment further includes a base material 20, and the pressure-sensitive adhesive layer 10 is arranged on at least one side of the base material 20.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention may be provided with a release liner on the outside of the pressure-sensitive adhesive layer for the purpose of protecting the pressure-sensitive adhesive surface until it is used.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet may further contain any suitable other layer as long as the effects of the present invention can be obtained.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is composed of only one pressure-sensitive adhesive layer, as shown in FIG. 1 (a).
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention comprises a substrate and an pressure-sensitive adhesive layer, the pressure-sensitive adhesive layer directly on the substrate (ie, via another layer). Not placed).
  • the adherend can be satisfactorily peeled off due to the decrease in the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer and the generation of strain due to the increase in elastic modulus, so that the adherend can be separated from the pressure-sensitive adhesive sheet. It is possible to construct the pressure-sensitive adhesive sheet without providing a layer other than the pressure-sensitive adhesive layer for separation (so-called separation layer).
  • the adherend can be peeled off by laser light irradiation. More specifically, by irradiating the pressure-sensitive adhesive layer with laser light, the ultraviolet absorber or photopolymerization initiator is heated and the pressure-sensitive adhesive layer is distorted, resulting in peeling in the portion irradiated with the laser light. Sex develops. According to the present invention, since the pressure-sensitive adhesive layer can be distorted in a minute range as described above, the adherend can be satisfactorily peeled off even when processing a small adherend. can.
  • the pressure-sensitive adhesive layer has a first surface (main surface) and a second surface facing the first surface.
  • the detection intensity C of the ultraviolet absorber by TOF-SIMS in the above satisfies the relationship of S1 / C ⁇ 1.1.
  • S1 and C have such a relationship, that is, if the ultraviolet absorber is unevenly distributed in the vicinity of the first surface, a pressure-sensitive adhesive sheet capable of exhibiting preferable peelability with low-power laser light can be obtained.
  • S1 / C is more preferably 1.2 or more, further preferably 1.5 or more, and particularly preferably 2 or more.
  • the upper limit of S1 / C is preferably 40, more preferably 30 and even more preferably 20 or less. Within such a range, an adhesive sheet having excellent adhesiveness can be obtained.
  • the detection intensity of the ultraviolet absorber by time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) is based on the presence distribution of the ultraviolet absorber.
  • the detection intensity C of the ultraviolet absorber by the above satisfies the relationship of S2 / C ⁇ 1.1. If S2 and C have such a relationship, that is, if the ultraviolet absorbers are unevenly distributed in the vicinity of the second surface, even on the second surface, favorable peelability can be obtained with low-power laser light.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet that can be expressed can be obtained.
  • S2 / C is more preferably 2 or more, further preferably 1.2 or more, and particularly preferably 1.5 or more.
  • the upper limit of S2 / C is preferably 40, more preferably 30 and even more preferably 20 or less. Within such a range, an adhesive sheet having excellent adhesiveness on the second surface can be obtained.
  • the first surface can function as a peelable surface.
  • S1 and C when the adhesive layer is composed of only one layer, S1 and C have a relationship of S1 / C ⁇ 1.1 (preferably 1.2, more preferably 1.5).
  • S2 and C when the adhesive layer is composed of only one layer, S1 and C have a relationship of S1 / C ⁇ 1.1 (preferably 1.2, more preferably 1.5).
  • S2 and C have a relationship of S2 / C ⁇ 1.1 (preferably 1.2, more preferably 1.5).
  • the first surface and the second surface can function as peelable surfaces.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet when the pressure-sensitive adhesive sheet is composed of a pressure-sensitive adhesive layer and a base material, S1 and C are S1 / C ⁇ 1.1 (preferably 1.2, more preferably 1.5). Has a relationship of.
  • the first surface may be the surface of the pressure-sensitive adhesive layer opposite to the base material.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention at a wavelength of 355 nm is preferably 50% or less.
  • the laser output at the time of peeling can be lowered by lowering the light transmittance. Since the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention exhibits peelability with low-power laser light, the use of the pressure-sensitive adhesive sheet reduces damage to the adherend during peeling and prevents damage to the adherend. be able to.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention at a wavelength of 355 nm is preferably 40% or less, more preferably 30% or less. Within such a range, the above effect becomes more remarkable.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet is the light transmittance in the thickness direction of the pressure-sensitive adhesive sheet, and is the light transmittance measured for all the constituent layers of the pressure-sensitive adhesive sheet.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet at a wavelength of 355 nm can be controlled by adjusting the content ratio of the ultraviolet absorber contained in the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the visible light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, and further preferably 70% or more. Within such a range, it is possible to obtain an adhesive sheet in which the adherend to be peeled can be satisfactorily visually recognized through the adhesive sheet when the adherend is peeled by laser light irradiation.
  • the haze value of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is preferably 70% or less, more preferably 65% or less. Within such a range, it is possible to obtain an adhesive sheet in which the adherend to be peeled can be satisfactorily visually recognized through the adhesive sheet when the adherend is peeled by laser light irradiation.
  • the initial adhesive force at 23 ° C. when the adhesive sheet of the present invention is attached to a stainless steel plate is preferably 0.1N / 20mm to 15N / 20mm, and more preferably 0.5N / 20mm to 10N / 20mm. .. Within such a range, an adhesive sheet that can hold the adherend well can be obtained. Adhesive strength is measured according to JIS Z 0237: 2000. Specifically, an adhesive sheet is attached to a stainless steel plate (arithmetic mean surface roughness Ra: 50 ⁇ 25 nm) by one reciprocation of a 2 kg roller, left at 23 ° C. for 30 minutes, and then peeled off at a peeling angle of 180 °.
  • the pressure is measured by peeling off the adhesive sheet under the condition of 300 mm / min.
  • the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer can be changed by irradiation with laser light, and depending on the configuration of the pressure-sensitive adhesive layer, the adhesive strength can be changed by irradiation with active energy rays. Means the adhesive strength before irradiating with active energy rays and laser light.
  • the first surface may have the initial adhesive strength in the above range. In another embodiment, the first and second surfaces may have the initial adhesive strength in the above range.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet when the pressure-sensitive adhesive layer contains an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive (details will be described later), the pressure-sensitive adhesive sheet is attached to a silicon mirror wafer and irradiated with ultraviolet rays of 460 mJ / cm 2.
  • the adhesive strength at 23 ° C. (also referred to as the adhesive strength after curing) is preferably 0.01 N / 20 mm to 0.3 N / 20 mm, and more preferably 0.02 N / 20 mm to 0.2 N / 20 mm. Within such a range, an adhesive sheet with a small amount of adhesive residue can be obtained.
  • the first surface may have post-curing adhesive strength in the above range. In another embodiment, the first surface and the second surface may have the above range of post-curing adhesive strength.
  • the thickness of the adhesive sheet is preferably 1 ⁇ m to 300 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 200 ⁇ m.
  • the thickness of the adhesive layer is preferably 20 ⁇ m or less. Within such a range, it is possible to lower the laser output at the time of peeling, and it is possible to obtain an adhesive sheet having excellent peeling property.
  • the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is more preferably 10 ⁇ m or less, further preferably 8 ⁇ m or less, and even more preferably 1 ⁇ m to 8 ⁇ m. Within such a range, the above effect becomes remarkable.
  • the pressure-sensitive adhesive layer contains an ultraviolet absorber.
  • the pressure-sensitive adhesive layer is composed of a pressure-sensitive pressure-sensitive adhesive containing an ultraviolet absorber.
  • the pressure-sensitive adhesive layer is composed of an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive containing an ultraviolet absorber.
  • the active energy ray examples include gamma ray, ultraviolet ray, visible ray, infrared ray (heat ray), radio wave, alpha ray, beta ray, electron beam, plasma flow, ionization ray, particle beam and the like. It is preferably ultraviolet light.
  • Pressure-sensitive adhesive examples include acrylic adhesives, rubber adhesives, vinyl alkyl ether adhesives, silicone adhesives, polyester adhesives, polyamide adhesives, urethane adhesives, and styrene-diene blocks. Copolymerization system adhesives and the like can be mentioned. Of these, an acrylic pressure-sensitive adhesive or a rubber-based pressure-sensitive adhesive is preferable, and an acrylic-based pressure-sensitive adhesive is more preferable.
  • the pressure-sensitive adhesive may be used alone or in combination of two or more.
  • the acrylic pressure-sensitive adhesive includes, for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive based on an acrylic polymer (homopolymer or copolymer) using one or more (meth) acrylic acid alkyl esters as a monomer component. And so on.
  • Specific examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and (meth).
  • the acrylic polymer is a unit corresponding to other monomer components copolymerizable with the (meth) acrylic acid alkyl ester, if necessary, for the purpose of modifying cohesive force, heat resistance, crosslinkability, etc. May include.
  • monomer components include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl acrylate, carboxypentyl acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid; maleic anhydride and icotanic anhydride.
  • Acid anhydride monomers such as (meth) hydroxyethyl acrylate, (meth) hydroxypropyl acrylate, (meth) hydroxybutyl acrylate, (meth) hydroxyhexyl acrylate, (meth) hydroxyoctyl acrylate, (meth) Hydromer group-containing monomers such as hydroxydecyl acrylate, hydroxylauryl (meth) acrylate, and (4-hydroxymethylcyclohexyl) methylmethacrylate; styrene sulfonic acid, allyl sulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methylpropan sulfonic acid.
  • Maleimide-based monomers such as N-cyclohexyl maleimide, N-isopropyl maleimide, N-lauryl maleimide, N-phenylmaleimide; N-methylitaconimide, N-ethylitaconimide, N-butylitaconimide, N-octylitaconimide , N-2-ethylhexylitaconimide, N-cyclohexylitaconimide, N-laurylitaconimide and other itaconimide-based monomers; Succinimide-based monomers such as N- (meth) acryloyl-8-oxyoctamethylene succinimide; vinyl acetate, vinyl propionate, N-vinylpyrrolidone, methylvinylpyro Vinyls such as lidone, vinylpyridine, vinylpiperidone, vinylpyrimidine, vinylpiperazin, vinylpyrazine, vinylpyrrole, vinylimidazole, vinylo
  • Acrylic acid ester-based monomers having the above; hexanediol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol Polyfunctional monomers such as di (meth) acrylate, trimethylolpropantri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, epoxy acrylate, polyester acrylate, urethane acrylate; isoprene, butadiene, Olefin-based monomers such as isobutylene; vinyl ether-based monomers such as vinyl ether and the like can be mentioned. These monomer components may be used alone or in combination of two or more.
  • the rubber-based pressure-sensitive adhesive examples include natural rubber; polyisoprene rubber, styrene / butadiene (SB) rubber, styrene / isoprene (SI) rubber, styrene / isoprene / styrene block copolymer (SIS) rubber, and styrene / butadiene.
  • SBS styrene block copolymer
  • SEBS styrene / ethylene / butylene / styrene block copolymer
  • SEPS styrene / ethylene / propylene block copolymer
  • SEP rubber-based pressure-sensitive adhesives based on polymer
  • the pressure-sensitive pressure-sensitive adhesive may contain any suitable additive, if necessary.
  • the additive include a cross-linking agent, a tackifier (for example, a rosin-based tackifier, a terpene-based tackifier, a hydrocarbon-based tackifier, etc.), and a plasticizer (for example, a trimellitic acid ester-based plasticizer). , Pyromellitic acid ester plasticizer), pigments, dyes, anti-aging agents, conductive materials, antistatic agents, light stabilizers, release modifiers, softeners, surfactants, flame retardants, antioxidants, etc. ..
  • cross-linking agent examples include isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, melamine-based cross-linking agents, peroxide-based cross-linking agents, urea-based cross-linking agents, metal alkoxide-based cross-linking agents, metal chelate-based cross-linking agents, and metals.
  • examples thereof include salt-based cross-linking agents, carbodiimide-based cross-linking agents, oxazoline-based cross-linking agents, aziridine-based cross-linking agents, and amine-based cross-linking agents. Of these, an isocyanate-based cross-linking agent or an epoxy-based cross-linking agent is preferable.
  • isocyanate-based cross-linking agent examples include lower aliphatic polyisocyanates such as butylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate; alicyclic isocyanates such as cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate; 2,4- Aromatic isocyanates such as tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate; trimethylolpropane / tolylene diisocyanate trimer adduct (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name "Coronate L”), tri Methylolpropane / hexamethylene diisocyanate trimeric adduct (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name "Coronate HL”), is
  • the content of the isocyanate-based cross-linking agent can be set to an arbitrary appropriate amount according to the desired adhesive strength, and is typically 0.1 part by weight to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. It is more preferably 0.5 parts by weight to 10 parts by weight.
  • epoxy-based cross-linking agent examples include N, N, N', N'-tetraglycidyl-m-xylene diamine, diglycidyl aniline, and 1,3-bis (N, N-glycidyl aminomethyl) cyclohexane (Mitsubishi Gas).
  • the content of the epoxy-based cross-linking agent can be set to an arbitrary appropriate amount according to the desired adhesive strength, and is typically 0.01 parts by weight to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. It is more preferably 0.03 part by weight to 5 parts by weight.
  • an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive an active energy ray-curable type containing a base polymer as a base material and an active energy ray-reactive compound (monomer or oligomer) capable of binding to the base polymer.
  • the pressure-sensitive adhesive (A1) is used.
  • an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive (A2) containing an active energy ray-reactive polymer is used as the base polymer.
  • the base polymer has a functional group capable of reacting with the photopolymerization initiator. Examples of the functional group include a hydroxyl group and a carboxyl group.
  • Examples of the base polymer used in the pressure-sensitive adhesive (A1) include natural rubber, polyisobutylene rubber, styrene / butadiene rubber, styrene / isoprene / styrene block copolymer rubber, recycled rubber, butyl rubber, polyisobutylene rubber, and nitrile rubber.
  • Examples include rubber-based polymers such as (NBR); silicone-based polymers; acrylic-based polymers. These polymers may be used alone or in combination of two or more. Of these, an acrylic polymer is preferable.
  • acrylic polymer examples include copolymers or copolymers of hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid esters such as (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid cycloalkyl ester, and (meth) acrylic acid aryl ester. Examples thereof include a copolymer of the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester and another copolymerizable monomer.
  • Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include methyl ester, ethyl ester, propyl ester, isopropyl ester, butyl ester, isobutyl ester, s-butyl ester, t-butyl ester, pentyl ester and iso of (meth) acrylic acid.
  • Examples include decyl esters, octadecyl esters, and eicosyl esters.
  • Examples of the (meth) acrylic acid cycloalkyl ester include cyclopentyl ester and cyclohexyl ester of (meth) acrylic acid.
  • Examples of the (meth) acrylic acid aryl ester include phenyl (meth) acrylic acid and benzyl (meth) acrylic acid.
  • the content ratio of the constituent unit derived from the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester is preferably 40 parts by weight or more, more preferably 60 parts by weight or more, based on 100 parts by weight of the base polymer.
  • Examples of the other copolymerizable monomer include a carboxy group-containing monomer, an acid anhydride monomer, a hydroxy group-containing monomer, a glycidyl group-containing monomer, a sulfonic acid group-containing monomer, a phosphoric acid group-containing monomer, acrylamide, and acrylonitrile.
  • Examples include functional group-containing monomers.
  • Examples of the carboxy group-containing monomer include acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl (meth) acrylate, carboxypentyl (meth) acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid.
  • Examples of the acid anhydride monomer include maleic anhydride and itaconic anhydride.
  • Examples of the hydroxy group-containing monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate. Examples include 8-hydroxyoctyl acrylate, 10-hydroxydecyl (meth) acrylate, 12-hydroxylauryl (meth) acrylate, and (4-hydroxymethylcyclohexyl) methyl (meth) acrylate.
  • Examples of the glycidyl group-containing monomer include glycidyl (meth) acrylate and methyl glycidyl (meth) acrylate.
  • Examples of the sulfonic acid group-containing monomer include styrene sulfonic acid, allyl sulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methylpropane sulfonic acid, (meth) acrylamide propane sulfonic acid, sulfopropyl (meth) acrylate, and (meth). ) Acryloyloxynaphthalene sulfonic acid can be mentioned.
  • Examples of the phosphoric acid group-containing monomer include 2-hydroxyethylacryloyl phosphate.
  • acrylamide examples include N-acryloyl morpholine. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
  • the content ratio of the structural unit derived from the copolymerizable monomer is preferably 60 parts by weight or less, more preferably 40 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the base polymer.
  • Acrylic polymers may contain structural units derived from polyfunctional monomers in order to form crosslinked structures in the polymer backbone.
  • the polyfunctional monomer include hexanediol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and pentaerythritol di.
  • (Meta) Acrylate, Trimethylol Propanetri (Meta) Acrylate, Pentaerythritol Tri (Meta) Acrylate, Dipentaerythritol Hexa (Meta) Acrylate, Epoxy (Meta) Acrylate (ie, Polyglycidyl (Meta) Acrylate), Polyester (Meta) ) Acrylate and urethane (meth) acrylate can be mentioned. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
  • the content ratio of the structural unit derived from the polyfunctional monomer is preferably 40 parts by weight or less, and more preferably 30 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the base polymer.
  • the weight average molecular weight of the acrylic polymer is preferably 100,000 to 3 million, more preferably 200,000 to 2 million.
  • the weight average molecular weight can be measured by GPC (solvent: THF).
  • Examples of the active energy ray-reactive compound that can be used in the pressure-sensitive adhesive (A1) include functional groups having a polymerizable carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, and an acetylene group.
  • Examples thereof include photoreactive monomers or oligomers having.
  • Specific examples of the photoreactive monomer include trimethylolpropantri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and dipentaerythritol mono.
  • monomers such as methacryloisocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (2-isocyanatoethyl methacrylate), m-isopropenyl- ⁇ , and ⁇ -dimethylbenzylisocyanate may be used.
  • Specific examples of the photoreactive oligomer include dimers to pentamers of the above-mentioned monomers.
  • the molecular weight of the photoreactive oligomer is preferably 100 to 3000.
  • the active energy ray-reactive compound a monomer such as epoxidized butadiene, glycidyl methacrylate, acrylamide, vinyl siloxane; or an oligomer composed of the monomer may be used.
  • the active energy ray-reactive compound a mixture of an organic salt such as an onium salt and a compound having a plurality of heterocycles in the molecule may be used.
  • the organic salt is cleaved by irradiation with active energy rays (for example, ultraviolet rays and electron beams) to generate ions, which act as a starting species to induce a ring-opening reaction of a heterocycle to form a three-dimensional network structure.
  • active energy rays for example, ultraviolet rays and electron beams
  • examples of the organic salts include iodonium salt, phosphonium salt, antimonium salt, sulfonium salt, borate salt and the like.
  • the heterocycle in the compound having a plurality of heterocycles in the molecule include oxylane, oxetane, oxolane, thiirane, and aziridine.
  • the content ratio of the active energy ray-reactive compound is preferably 0.1 part by weight to 500 parts by weight, and more preferably 5 parts by weight to 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. It is a part by weight, more preferably 40 parts by weight to 150 parts by weight.
  • the active energy ray-reactive polymer (base polymer) contained in the pressure-sensitive adhesive (A2) for example, a functional group having a carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, or an acetylene group can be used.
  • a functional group having a carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, or an acetylene group
  • examples include the polymer having.
  • Specific examples of the active energy ray-reactive polymer include a polymer composed of a polyfunctional (meth) acrylate; a photocationically polymerized polymer; a cinnamoyl group-containing polymer such as polyvinyl cinnamate; a diazotized aminonovac resin; polyacrylamide. ; Etc. can be mentioned.
  • an active energy ray-reactive polymer composed of an active energy ray-polymerizable carbon-carbon multiple bond introduced into the side chain, main chain and / or main chain terminal of the acrylic polymer is provided.
  • a method for introducing a radiation-polymerizable carbon-carbon double bond into an acrylic polymer for example, a raw material monomer containing a monomer having a predetermined functional group (first functional group) is copolymerized to obtain an acrylic polymer. After obtaining the compound, a compound having a predetermined functional group (second functional group) and a radiopolymerizable carbon-carbon double bond that can react with the first functional group to be bonded is carbon-carbon. Examples thereof include a method of subjecting an acrylic polymer to a condensation reaction or an addition reaction while maintaining the radiation polymerizable property of the double bond.
  • Examples of the combination of the first functional group and the second functional group include a carboxy group and an epoxy group, an epoxy group and a carboxy group, a carboxy group and an aziridyl group, an aziridyl group and a carboxy group, a hydroxy group and an isocyanate group, and an isocyanate group. And hydroxy groups.
  • a combination of a hydroxy group and an isocyanate group or a combination of an isocyanate group and a hydroxy group is preferable from the viewpoint of ease of reaction tracking.
  • it is technically difficult to prepare a polymer having a highly reactive isocyanate group but from the viewpoint of easy preparation or availability of an acrylic polymer, the first functionality on the acrylic polymer side is described above.
  • the group is a hydroxy group and the second functional group is an isocyanate group.
  • the isocyanate compound having both a radiopolymerizable carbon-carbon double bond and an isocyanate group as a second functional group include methacryloyl isocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate, and m-isopropenyl- ⁇ . Examples include ⁇ -dimethylbenzyl isocyanate.
  • the acrylic polymer having the first functional group preferably contains the above-mentioned structural unit derived from the hydroxy group-containing monomer, such as 2-hydroxyethyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, and diethylene glucol monovinyl ether. Those containing a structural unit derived from the ether-based compound of the above are also preferable.
  • the pressure-sensitive adhesive (A2) may further contain the active energy ray-reactive compound (monomer or oligomer).
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may contain a photopolymerization initiator.
  • any suitable initiator can be used as the photopolymerization initiator.
  • the photopolymerization initiator include 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl (2-hydroxy-2-propyl) ketone, ⁇ -hydroxy- ⁇ , ⁇ '-dimethylacetophenone, and 2-methyl-2-hydroxypropio.
  • ⁇ -Ketol compounds such as phenone and 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone; methoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) -Phenyl] -2-Acetphenone compounds such as morpholinopropane-1, benzoin ether compounds such as benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether and anisoin methyl ether; ketal compounds such as benzyl dimethyl ketal; 2-naphthalene sulfonyl chloride and the like Aromatic sulfonyl chloride compounds; photoactive oxime compounds such as 1-phenone-1,1-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime; benzophenone, benzoylbenzoic acid, 3,3'-dimethyl-4 -Benzophenone compounds such as
  • a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in the range of 400 nm or less (preferably 380 nm or less, more preferably 340 nm or less) is used.
  • a photopolymerization initiator when used, when the adhesive strength of the entire pressure-sensitive adhesive layer is reduced by irradiating with active energy rays, the curing reaction of the pressure-sensitive adhesive preferably occurs, and a pressure-sensitive adhesive sheet having a particularly small amount of adhesive residue can be obtained. can.
  • a commercially available product may be used as the photopolymerization initiator.
  • a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in the range of 400 nm or less BASF's trade names "Irgacure 127", “Irgacure 369", “Irgacure 369E”, “Irgacure 379”, “Irgacure 379EG”, “Irgacure 379EG”
  • Examples thereof include “Irgacure 819", “Irgacure TOP", “Irgacure 784", and "Irgacure OXE01".
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may include a photosensitizer.
  • the photosensitizer can be used in combination with the photopolymerization initiator. Since the photosensitizer can generate radicals from the photopolymerization initiator by passing the energy obtained by absorbing light to the photopolymerization initiator, the absorption peak of the photopolymerization initiator itself is high. The polymerization can proceed with light on the long wavelength side. Therefore, by containing the photosensitizer, it is possible to increase the difference between the absorption wavelength of the ultraviolet absorber and the wavelength at which radicals can be generated from the photopolymerization initiator. As a result, the photopolymerization of the pressure-sensitive adhesive layer and the peeling by the ultraviolet absorber can be performed without affecting each other.
  • 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one (for example, manufactured by BASF, trade name "Irgacure 651") as a photopolymerization initiator and a photosensitizer are used. Is used together. Examples of such a photosensitizer include product names "UVS-581” and 9,10-diethoxyanthracene manufactured by Kawasaki Kasei Chemicals Co., Ltd. (for example, product name "UVS1101” manufactured by Kawasaki Kasei Chemicals Co., Ltd.). Be done.
  • photosensitizer examples include 9,10-dibutoxyanthracene (for example, manufactured by Kawasaki Kasei Chemicals, trade name "UVS-1331”), 2-isopropylthioxanthone, benzophenone, thioxanthone derivative, 4,4. '-Bis (dimethylamino) benzophenone and the like can be mentioned.
  • thioxanthone derivative examples include ethoxycarbonylthioxanthone and isopropylthioxanthone.
  • the content ratio of the photosensitizer is preferably 0.01 parts by weight to 2 parts by weight, and more preferably 0.5 parts by weight to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer.
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive contains a cross-linking agent.
  • the cross-linking agent include isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, oxazoline-based cross-linking agents, aziridine-based cross-linking agents, melamine-based cross-linking agents, peroxide-based cross-linking agents, urea-based cross-linking agents, and metal alkoxide-based cross-linking agents.
  • examples thereof include a metal chelate-based cross-linking agent, a metal salt-based cross-linking agent, a carbodiimide-based cross-linking agent, and an amine-based cross-linking agent.
  • the content ratio of the cross-linking agent is preferably 0.5 parts by weight to 10 parts by weight, and more preferably 1 part by weight to 8 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer of the pressure-sensitive adhesive.
  • an isocyanate-based cross-linking agent is preferably used.
  • Isocyanate-based cross-linking agents are preferable because they can react with various functional groups.
  • Specific examples of the isocyanate-based cross-linking agent include lower aliphatic polyisocyanates such as butylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate; alicyclic isocyanates such as cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate; 2,4- Aromatic isocyanates such as tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate; trimethylolpropane / tolylene diisocyanate trimer adduct (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name "Coronate L”), tri Methylolpropane / he
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may further contain any suitable additive, if desired.
  • the additive include an active energy ray polymerization accelerator, a radical trapping agent, an antistatic agent, a plasticizer (for example, a trimellitic acid ester-based plasticizer, a pyromellitic acid ester-based plasticizer, etc.), a pigment, a dye, and a filling.
  • the additive include agents, antioxidants, conductive materials, antistatic agents, ultraviolet absorbers, light stabilizers, release modifiers, softeners, surfactants, flame retardants, antioxidants and the like.
  • UV absorber As the ultraviolet absorber, any suitable ultraviolet absorber can be used as long as it is a compound that absorbs ultraviolet rays (for example, a wavelength of 355 nm).
  • the ultraviolet absorber include a benzotriazole-based ultraviolet absorber, a benzophenone-based ultraviolet absorber, a triazine-based ultraviolet absorber, a salicylate-based ultraviolet absorber, a cyanoacrylate-based ultraviolet absorber, and the like. Of these, a triazine-based ultraviolet absorber or a benzotriazole-based ultraviolet absorber is preferable, and a triazine-based ultraviolet absorber is particularly preferable.
  • a triazine-based ultraviolet absorber can be preferably used because the acrylic pressure-sensitive adhesive has high compatibility with the base polymer.
  • the triazine-based ultraviolet absorber is more preferably composed of a compound having a hydroxyl group, and particularly preferably an ultraviolet absorber composed of a hydroxyphenyltriazine-based compound (hydroxyphenyltriazine-based ultraviolet absorber).
  • hydroxyphenyltriazine-based ultraviolet absorber examples include 2- (4,6-bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine-2-yl) -5-hydroxyphenyl and [(C10). -C16 (mainly C12-C13) alkyloxy) methyl] Reaction product with oxylane (trade name "TINUVIN 400", manufactured by BASF), 2- [4,6-bis (2,4-dimethylphenyl) -1 , 3,5-Triazine-2-yl] -5- [3- (dodecyloxy) -2-hydroxypropoxy] phenol), 2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4,6-bis- (2, Reaction product of 4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl) -glycidate (trade name "TINUVIN 405", manufactured by BASF), 2,4-bis (2-hydroxy-) 4-Butoxyphenyl) -6
  • benzotriazole-based ultraviolet absorber examples include 2- (2-hydroxy-5-tert-butylphenyl) -2H-benzotriazole (trade name "TINUVIN PS", manufactured by BASF) and benzene.
  • Ester compounds of propanoic acid and 3- (2H-benzotriazole-2-yl) -5- (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxy (C7-9 side chain and linear alkyl) (trade name "TINUVIN 384") -2 ", manufactured by BASF), Octyl 3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazole-2-yl) phenyl] propionate and 2-ethylhexyl-3- [ 3-tert-Butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazole-2yl) phenyl] propionate mixture (trade name "TINUVIN 109", manufactured by BASF), 2- (2H-benzotriazole) -2-yl) -4,6-bis (1-methyl-1-phenylethyl) phenol (trade name "TINUVIN 900", manufactured by BASF), 2- (2H-benzotriazole-2-yl) -6- (1-Met
  • the ultraviolet absorber may be a dye or a pigment.
  • the pigment include azo-based, phthalocyanine-based, anthraquinone-based, rake-based, perylene-based, perinone-based, quinacridone-based, thioindigo-based, dioxandine-based, isoindoleinone-based, and quinophthalone-based pigments.
  • the dye include azo dyes, phthalocyanine dyes, anthraquinone dyes, carbonyl dyes, indigo dyes, quinone imine dyes, methine dyes, quinoline dyes, and nitro dyes.
  • an ultraviolet absorber having low compatibility with the base polymer is used. If a UV absorber with low compatibility is used, a sea-island structure in which the UV absorber becomes an island and the base polymer becomes a sea is formed, and more is present near the surface than the center of the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the UV absorber can be unevenly distributed.
  • the compatibility between the base polymer and the ultraviolet absorber can be indexed by the Hansen solubility parameter (HSP).
  • the Ra according to the Hansen solubility parameter (HSP) is preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and even more preferably 10 or more.
  • the upper limit of Ra according to the Hansen solubility parameter (HSP) is, for example, 46.
  • the dispersion term ⁇ d indicates the effect due to the dispersion force
  • the polar term ⁇ p indicates the effect due to the dipole interpole force
  • the hydrogen bond term ⁇ h indicates the effect due to the hydrogen bond force.
  • an ultraviolet absorber having low compatibility with the base polymer depends on the composition of the base polymer, but for example, 2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4,6-bis- (2,4-dimethyl).
  • Reaction product of phenyl) -1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl) -glycidate ester (trade name "TINUVIN 405", manufactured by BASF)
  • 2- (2H-benzotriazole-2-yl)- 6- (1-Methyl-1-phenylethyl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol (trade name "TINUVIN 928", manufactured by BASF)
  • 2- [4-[(2-] Hydroxy-3- (2'-ethyl) hexyl) oxy] -2-hydroxyphenyl] -4,6-bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine (trade name "TINUVIN400", BASF
  • the molecular weight of the compound constituting the ultraviolet absorber is preferably 100 to 1500, more preferably 200 to 1200, and further preferably 200 to 1000. If a compound having a small molecular weight (for example, a compound having a molecular weight of 600 or less) is used as an ultraviolet absorber, the ultraviolet absorber tends to be unevenly distributed in the vicinity of the surface.
  • the maximum absorption wavelength of the ultraviolet absorber is preferably 300 nm to 450 nm, more preferably 320 nm to 400 nm, and further preferably 330 nm to 380 nm.
  • the difference between the maximum absorption wavelength of the ultraviolet absorber and the maximum absorption wavelength of the photopolymerization initiator is preferably 10 nm or more, more preferably 25 nm or more.
  • the 5% weight loss temperature of the ultraviolet absorber is preferably 350 ° C. or lower, more preferably 330 ° C. or lower.
  • the lower limit of the 5% weight loss temperature of the UV absorber is, for example, 100 ° C. Within such a range, a pressure-sensitive adhesive sheet in which strain is generated more efficiently can be obtained by laser light irradiation.
  • the 5% weight loss temperature of the UV absorber means the temperature at which the weight of the UV absorber when the temperature of the UV absorber is raised is reduced by 5% by weight with respect to the weight before the temperature rise. do.
  • the 5% weight loss temperature is measured using a differential thermal analyzer under the measurement conditions of a temperature rise temperature of 10 ° C./min, an air atmosphere, and a flow rate of 25 ml / min.
  • the content ratio of the ultraviolet absorber is preferably 1 part by weight to 50 parts by weight, and more preferably 5 parts by weight to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer in the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the content ratio of the ultraviolet absorber is preferably 1 part by weight to 50 parts by weight, and more preferably 5 parts by weight to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer in the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the substrate may be composed of any suitable resin.
  • the resin include polyolefin resins such as polyethylene resins, polypropylene resins, polybutene resins, and polymethylpentene resins, polyurethane resins, polyester resins, polyimide resins, polyether ketone resins, and polystyrene resins.
  • polystyrene resins examples include resins, polyvinyl chloride-based resins, polyvinylidene chloride-based resins, fluorine-based resins, silicon-based resins, cellulose-based resins, and ionomer resins. Of these, a polyolefin resin is preferable.
  • the thickness of the base material is preferably 2 ⁇ m to 300 ⁇ m, more preferably 2 ⁇ m to 100 ⁇ m, and further preferably 2 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the light transmittance of the base material at a wavelength of 355 nm is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, further preferably 90% or more, and particularly preferably 95% or more.
  • the upper limit of the total light transmittance of the base material is, for example, 98% (preferably 99%).
  • the pressure-sensitive adhesive sheet can be produced by any suitable method.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet can be obtained by applying the above-mentioned pressure-sensitive adhesive on, for example, a base material or a release liner.
  • Coating methods include bar coater coating, air knife coating, gravure coating, gravure reverse coating, reverse roll coating, lip coating, die coating, dip coating, offset printing, flexographic printing, screen printing, etc.
  • Various methods can be adopted.
  • a method of separately forming an adhesive layer on the release liner and then laminating it to the base material may be adopted.
  • the UV absorber tends to be unevenly distributed on the surface on the air side.
  • the degree of uneven distribution may change depending on the surface characteristics of the base material and the release liner.
  • the surface on which the ultraviolet absorber is unevenly distributed can be the first surface, and that surface can be the adherend mounting surface.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be used to temporarily fix the work-working member when processing any suitable work-working member (for example, an electronic component).
  • any suitable work-working member for example, an electronic component.
  • a method of using the adhesive sheet of the present invention for example, (i) a member to be processed is attached to and fixed to an adherend sheet, (ii) the member to be processed is processed, and (iii) an adhesive for the adhesive sheet.
  • the entire layer is irradiated with active energy rays (for example, ultraviolet rays) to reduce the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive sheet, and (iv) laser light is irradiated to a portion where peelability is desired to be exhibited so that the member to be processed is peeled off. And how to use it.
  • the member to be processed can be peeled off by free fall. Further, when a plurality of members to be processed are temporarily fixed, it is possible to peel off only a part of them.
  • the adhesive sheet of the present invention the adhesive force can be reduced to the extent that it naturally falls, so that even a very small member to be processed (for example, 50 ⁇ m square) can be individually peeled off. Is.
  • the measurement conditions for TOF-SIMS analysis were as follows.
  • TRIFT V made by ULVAC-PHI Etching ion: Ar gas cluster ion (Arn + ) Etching ion acceleration voltage: 17kV Etching area: 400 ⁇ m square Irradiated primary ions: Bi 3 2+ Primary ion acceleration voltage: 30 kV Measurement area: 100 ⁇ m square Measurement polarity: Negative ions * A neutralization gun for charge correction is used for measurement.
  • Wavelength 355 nm Light transmittance A state in which the PET separator of the adhesive sheet is peeled off, attached to a large slide glass (manufactured by Matsunami Glass, trade name “S9111”) using a hand roller, and the PET separator on the other surface is peeled off. So, I made a measurement. Specifically, using a spectrophotometer (trade name "Spectrophotometer U-4100", manufactured by Hitachi High-Tech Science), the transmittance of the adhesive sheet itself with a wavelength of 355 nm is measured for the adhesive sheet on a large slide glass. bottom.
  • Adhesive Strength One surface (first surface) of the adhesive layer of the adhesive sheet is attached to SUS403, and the adhesive strength of the adhesive sheet is adjusted according to JIS Z 0237: 2000 (bonding conditions). : 2 kg roller 1 reciprocation, tensile speed: 300 mm / min, peeling angle 180 °, measurement temperature: 23 ° C).
  • the PET separator on the other surface was peeled off, and a 100 ⁇ m square silicon chip was attached to the adhesive surface.
  • an ultraviolet irradiation device manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd., trade name "UM-810" was used from the slide glass surface side, and ultraviolet rays of a high-pressure mercury lamp (specific wavelength: 365 nm, integrated light intensity: 300 mJ / cm 2). ) was irradiated on the entire surface.
  • a laser beam with a wavelength of 355 nm is irradiated only to the target member position from the large slide glast side with an irradiation area of 80 ⁇ m ⁇ and an output of 0.1 W (1 plus per chip). If not, it was rejected (x).
  • Example 1 Preparation of adhesive 3 parts by weight of a cross-linking agent (Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name “Coronate L”) and an ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name “Tinuvin 477”) in an acrylic polymer solution I containing 100 parts by weight of acrylic polymer I. 20 parts by weight was added to obtain a pressure-sensitive adhesive (1).
  • a cross-linking agent Natural Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name "Coronate L
  • an ultraviolet absorber manufactured by BASF Japan, trade name “Tinuvin 477
  • FIG. 2 shows a TOF-SIMS analysis chart measured in the evaluation of “uneven distribution of ultraviolet absorbers”.
  • Example 2 An adhesive sheet with a separator was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of the ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name "Tinuvin 477") was 5 parts by weight. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 3 Example 1 except that 10 parts by weight of the UV absorber (manufactured by BASF Japan, trade name “Tinuvin 405") was used instead of 20 parts by weight of the UV absorber (manufactured by BASF Japan, trade name "Tinuvin 477”).
  • an adhesive sheet with a separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 4 Example 1 except that 10 parts by weight of an ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name “Tinuvin 928”) was used instead of 20 parts by weight of an ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name "Tinuvin 477”).
  • an adhesive sheet with a separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 5 Example 1 except that 5 parts by weight of the UV absorber (manufactured by BASF Japan, trade name “Tinuvin 928”) was used instead of 20 parts by weight of the UV absorber (manufactured by BASF Japan, trade name "Tinuvin 477”).
  • an adhesive sheet with a separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 6 Example 1 and Example 1 except that 5 parts by weight of the ultraviolet absorber (manufactured by Chemipro Kasei, trade name “KEMISORB102L”) was used instead of 20 parts by weight of the ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name "Tinuvin 477”).
  • an adhesive sheet with a separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 7 (Preparation of adhesive) In an acrylic polymer solution I containing 100 parts by weight of acrylic polymer I, 3 parts by weight of a cross-linking agent (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name “Coronate L”) and a photopolymerization initiator (manufactured by BASF, trade name "Irgacure 369") An adhesive (7) was obtained by adding 3 parts by weight and 5 parts by weight of an ultraviolet absorber (manufactured by Chemipro Kasei, trade name "KEMISORB102L”).
  • a cross-linking agent manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name "Coronate L
  • a photopolymerization initiator manufactured by BASF, trade name "Irgacure 369
  • An adhesive (7) was obtained by adding 3 parts by weight and 5 parts by weight of an ultraviolet absorber (manufactured by Chemipro Kasei, trade name "KEMISORB
  • the above-mentioned adhesive (7) is applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 38 ⁇ m), and then heated at 130 ° C. for 2 minutes to form an adhesive layer having a thickness of 5 ⁇ m with the first surface exposed. bottom.
  • a PET separator was bonded onto the first surface of the pressure-sensitive adhesive layer using a hand roller to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet with a separator.
  • the obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 8 Example 1 and Example 1 except that 20 parts by weight of the ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name “Tinuvin 477”) was replaced with 20 parts by weight of the ultraviolet absorber (manufactured by Chemipro Kasei, trade name "KEMISORB111"). In the same manner, an adhesive sheet with a separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 1 and Example 1 except that 5 parts by weight of the ultraviolet absorber (manufactured by Chemipro Kasei, trade name “KEMISORB111") was used instead of 20 parts by weight of the ultraviolet absorber (manufactured by BASF Japan, trade name "Tinuvin 477”).
  • an adhesive sheet with a separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Adhesive layer 20 Base material 100, 200 Adhesive sheet

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Abstract

被着体を剥離可能に仮固定し得る粘着シートであって、剥離の際に高出力なレーザー光照射を要さない粘着シートを提供する。　本発明の粘着シートは、紫外線吸収剤を含む粘着剤層を備え、該粘着剤層が、第１表面と、該第１表面に対向する第２表面とを有し、該第１表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲での飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ-ＳＩＭＳ）による紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ１と、該粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ１/Ｃ≧１．１の関係を満足する。

Description

粘着シート
　本発明は、粘着シートに関する。
　電子部品に代表される各種の部材を加工する際、粘着シートを用いて部材を支持体に仮固定し、加工後に、加工済みの部材を支持体から剥離することが一般に行われている。例えば、特許文献１には、基板（被加工部材）を接着剤層および分離層を介して支持体に仮固定した状態で加工し、加工後、分離層をレーザー光照射により破壊して、接着剤層ごと基板を支持体から剥離し、その後、基板から接着剤層を除去する方法が記載されている。
特許５８７５８５０号
　しかしながら、上記方法では、高出力でレーザー光を照射した場合に、部材へダメージを与えるという問題がある。
　本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、被着体を剥離可能に仮固定し得る粘着シートであって、剥離の際に高出力なレーザー光照射を要さない粘着シートを提供することにある。
　本発明の粘着シートは、紫外線吸収剤を含む粘着剤層を備え、該粘着剤層が、第１表面と、該第１表面に対向する第２表面とを有し、該第１表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲での飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ-ＳＩＭＳ）による紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ１と、該粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ１/Ｃ≧１．１の関係を満足する。
　１つの実施形態においては、上記第２表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲でのＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ２と、上記粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ２/Ｃ≧１．１の関係を満足する。
　本発明によれば、被着体を剥離可能に仮固定し得る粘着シートであって、剥離の際に高出力なレーザー光照射を要さない粘着シートを提供することができる。
（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。（ｂ）は、本発明の別の実施形態による粘着シートの概略断面図である。 実施例１で測定したＴＯＦ－ＳＩＭＳ分析チャートである。
Ａ．粘着シートの概要
　図１（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この実施形態による粘着シート１００は、粘着剤層１０を備える。粘着剤層１０は、紫外線吸収剤を含む。図１（ｂ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この実施形態による粘着シート２００は、基材２０をさらに備え、基材２０の少なくとも片側に粘着剤層１０が配置される。図示していないが、本発明の粘着シートは、使用に供するまでの間、粘着面を保護する目的で、粘着剤層の外側に剥離ライナーが設けられていてもよい。また、粘着シートは、本発明の効果が得られる限り、任意の適切なその他の層をさらに含んでいてもよい。１つの実施形態において、本発明の粘着シートは、図１（ａ）に示すように、粘着剤層１層のみから構成される。別の実施形態においては、本発明の粘着シートは、図１（ｂ）に示すように、基材および粘着剤層を含み、粘着剤層は基材に直接（すなわち、その他の層を介することなく）配置される。本発明においては、後述のように、粘着剤層の粘着力低下および高弾性率化に伴うひずみの発生により被着体を良好に剥離することが可能であるため、粘着シートから被着体を分離するための粘着剤層以外の層（いわゆる分離層）を設けることなく粘着シートを構成することが可能である。
　本発明においては、粘着剤層が紫外線吸収剤を含むことにより、レーザー光照射による被着体の剥離が可能となる。より詳細には、粘着剤層にレーザー光を照射することにより、紫外線吸収剤または光重合開始剤が加熱されて粘着剤層にひずみが生じ、その結果、レーザー光が照射された部分において、剥離性が発現する。本発明によれば、上記のようにして、微小な範囲で粘着剤層にひずみを生じさせることができるため、小型被着体を加工する際にも当該被着体を良好に剥離させることができる。また、剥離を要する小型被着体と、剥離を要さない小型被着体が隣り合って仮固定されている場合であっても、剥離を要する小型被着体のみを剥離させることができ、小型被着体の不要な脱離を防止することもできる。
　上記粘着剤層は、第１表面（主面）と、該第１表面に対向する第２表面とを有する。該第１表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲での飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）による紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ１と、粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ－ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ１／Ｃ≧１．１の関係を満足する。Ｓ１とＣとがこのような関係を有していれば、すなわち、第１表面近傍に紫外線吸収剤が偏在していれば、低出力のレーザー光で好ましい剥離性を発現し得る粘着シートを得ることができる。Ｓ１／Ｃは、１．２以上であることがより好ましく、１．５以上であることがさらに好ましく、２以上であることが特に好ましい。Ｓ１／Ｃの上限は、好ましくは４０であり、より好ましくは３０であり、さらに好ましくは２０以下である。このような範囲であれば、粘着性に優れる粘着シートを得ることができる。飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）による紫外線吸収剤の検出強度は、紫外線吸収剤の存在分布に基づく。
　１つの実施形態においては、第２表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲でのＴＯＦ－ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ２と、粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ－ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ２／Ｃ≧１．１の関係を満足する。Ｓ２とＣとがこのような関係を有していれば、すなわち、第２表面近傍に紫外線吸収剤が偏在していれば、第２の表面においても、低出力のレーザー光で好ましい剥離性を発現し得る粘着シートを得ることができる。Ｓ２／Ｃは、２以上であることがより好ましく、１．２以上であることがさらに好ましく、１．５以上であることが特に好ましい。Ｓ２／Ｃの上限は、好ましくは４０であり、より好ましくは３０であり、さらに好ましくは２０以下である。このような範囲であれば、第２の表面における粘着性に優れる粘着シートを得ることができる。
　１つの実施形態においては、粘着シートが粘着剤層１層のみから構成される場合において、Ｓ1とＣとがＳ１/Ｃ≧１．１の関係を有する。本実施形態において、第１表面が剥離可能な面として機能し得る。別の実施形態においては、粘着剤層１層のみから構成される場合において、Ｓ1とＣとがＳ１/Ｃ≧１．１（好ましくは１．２、より好ましくは１．５）の関係を有し、かつ、Ｓ２とＣとがＳ２/Ｃ≧１．１（好ましくは１．２、より好ましくは１．５）の関係を有する。本実施形態においては、第１表面および第２表面が剥離可能な面として機能し得る。このような実施形態であれば、被着体を仮固定して、加工後剥離するための用途として、特に好適な粘着シートを提供することができる。
　１つの実施形態においては、粘着シートが粘着剤層と基材とから構成される場合において、Ｓ1とＣとがＳ１/Ｃ≧１．１（好ましくは１．２、より好ましくは１．５）の関係を有する。本実施形態において、第１表面は、粘着剤層の基材とは反対側の面となり得る。
　本発明の粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、５０％以下であることが好ましい。本発明においては、当該光透過率を低くすることにより、剥離の際のレーザー出力を低くすることができる。本発明の粘着シートは、低出力のレーザー光で剥離性を発現するため、当該粘着シートを用いれば、剥離の際の被着体へのダメージを低減し、当該被着体の破損を防止することができる。本発明の粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、好ましくは４０％以下であり、さらに好ましくは３０％以下である。このような範囲であれば、上記効果はより顕著となる。なお、粘着シートの光透過率とは、粘着シートの厚み方向の光透過率であり、粘着シートの構成層全層を対象として測定される光透過率である。本発明において、粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、粘着剤層に含有する紫外線吸収剤の含有割合を調整して制御することができる。
　本発明の粘着シートの可視光透過率は、好ましくは５０％以上であり、より好ましくは６０％以上であり、さらに好ましくは７０％以上である。このような範囲であれば、レーザー光照射による被着体の剥離の際に、剥離対象となる被着体を粘着シート越しに良好に視認可能となる粘着シートを得ることができる。粘着シートの可視光線透過率は高いほど好ましいが、その上限は、例えば、９５％（好ましくは１００％）である。
　本発明の粘着シートのヘイズ値は、好ましくは７０％以下であり、より好ましくは６５％以下である。このような範囲であれば、レーザー光照射による被着体の剥離の際に、剥離対象となる被着体を粘着シート越しに良好に視認可能となる粘着シートを得ることができる。粘着シートのヘイズ値は低いほど好ましいが、その下限は、例えば、０．１％である。
　本発明の粘着シートをステンレス板に貼着した際の２３℃における初期粘着力は、好ましくは０．１Ｎ／２０ｍｍ～１５Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ～１０Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、良好に被着体を保持し得る粘着シートを得ることができる。粘着力は、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じて測定される。具体的には、２ｋｇのローラーを１往復により粘着シートをステンレス板（算術平均表面粗さＲａ：５０±２５ｎｍ）に貼着し、２３℃下で３０分間放置した後、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、粘着シートを引きはがして測定される。粘着剤層は、レーザー光照射により粘着力が変化し得、また、粘着剤層の構成によっては、活性エネルギー線照射により粘着力が変化し得るが、本明細書において、「初期粘着力」とは、活性エネルギー線およびレーザー光を照射する前の粘着力を意味する。１つの実施形態においては、第１表面が上記範囲の初期粘着力を有し得る。別の実施形態においては、第１表面および第２表面が上記範囲の初期粘着力を有し得る。
　１つの実施形態においては、粘着剤層が活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む場合（詳細は後述）、粘着シートをシリコン製ミラーウエハに貼着し、４６０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後の２３℃における粘着力（硬化後粘着力ともいう）は、好ましくは０．０１Ｎ／２０ｍｍ～０．３Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは０．０２Ｎ／２０ｍｍ～０．２Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、糊残りの少ない粘着シートを得ることができる。上記紫外線照射は、例えば、紫外線照射装置（日東精機社製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特性波長：３６５ｎｍ、積算光量：４６０ｍＪ／ｃｍ２、照射エネルギー：７０Ｗ／ｃｍ２、照射時間：６．６秒）を粘着剤層に照射して行われる。１つの実施形態においては、第１表面が上記範囲の硬化後粘着力を有し得る。別の実施形態においては、第１表面および第２表面が上記範囲の硬化後粘着力を有し得る。
　粘着シートの厚みは、好ましくは１μｍ～３００μｍであり、より好ましくは５μｍ～２００μｍである。
Ｂ．粘着剤層
　上記粘着剤層の厚みは、好ましくは２０μｍ以下である。このような範囲であれば、剥離の際のレーザー出力をより低くすることを可能とし、剥離発現性に優れる粘着シートを得ることができる。粘着剤層の厚みは、１０μｍ以下であることがより好ましく、８μｍ以下であることがさらに好ましく、１μｍ～８μｍであることがより好ましい。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。
　上記のとおり、粘着剤層は、紫外線吸収剤を含む。１つの実施形態においては、粘着剤層は、紫外線吸収剤を含む感圧粘着剤から構成される。別の実施形態においては、粘着剤層は、紫外線吸収剤を含む活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される。活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着シートは、活性エネルギー線を照射することにより、粘着剤層全体の粘着力が低下する。被着体が貼着された粘着シートの粘着剤層の全体に活性エネルギー線を照射して、粘着力を低下させた後に、上記のようにレーザー光を照射することにより、剥離後の糊残りを防止することができる。活性エネルギー線としては、例えば、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線（熱線）、ラジオ波、アルファ線、ベータ線、電子線、プラズマ流、電離線、粒子線等が挙げられる。好ましくは、紫外線である。
（感圧粘着剤）
　感圧粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン－ジエンブロック共重合体系粘着剤、等が挙げられる。なかでも好ましくは、アクリル系粘着剤またはゴム系粘着剤であり、より好ましくはアクリル系粘着剤である。なお、上記粘着剤は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
　上記アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種または２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー（ホモポリマーまたはコポリマー）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも、炭素数が４～１８の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられ得る。
　上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性等の改質を目的として、必要に応じて、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド等の（Ｎ－置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチルアミノエチル等の（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド、Ｎ－ラウリルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド等のマレイミド系モノマー；Ｎ－メチルイタコンイミド、Ｎ－エチルイタコンイミド、Ｎ－ブチルイタコンイミド、Ｎ－オクチルイタコンイミド、Ｎ－２－エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ－シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ－ラウリルイタコンイミド等のイタコンイミド系モノマー；Ｎ－（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクルロイル－６－オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－８－オキシオクタメチレンスクシンイミド等のスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ－ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ－ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α－メチルスチレン、Ｎ－ビニルカプロラクタム等のビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコール等のグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレート等の複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子等を有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート等の多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレン等のオレフィン系モノマー；ビニルエーテル等のビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
　上記ゴム系粘着剤としては、例えば、天然ゴム；ポリイソプレンゴム、スチレン・ブタジエン（ＳＢ）ゴム、スチレン・イソプレン（ＳＩ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレン、これらの変性体等の合成ゴム；等をベースポリマーとするゴム系粘着剤が挙げられる。
　上記感圧粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、粘着付与剤（例えば、ロジン系粘着付与剤、テルペン系粘着付与剤、炭化水素系粘着付与剤等）、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤）、顔料、染料、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
　上記架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤の他、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられる。なかでも好ましくは、イソシアネート系架橋剤またはエポキシ系架橋剤である。
　上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。イソシアネート系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．１重量部～２０重量部であり、より好ましくは０．５重量部～１０重量部である。
　上記エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１６００」）、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１５００ＮＰ」）、エチレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト４０Ｅ」）、プロピレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト７０Ｐ」）、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＥ－４００」）、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＰ－２００」）、ソルビトールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－６１１」）、グリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－３１４」）、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－５１２」）、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ－フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル－トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール－Ｓ－ジグリシジルエーテル、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ系樹脂等が挙げられる。エポキシ系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．０１重量部～１０重量部であり、より好ましくは０．０３重量部～５重量部である。
（活性エネルギー線硬化型粘着剤）
　１つの実施形態においては、活性エネルギー線硬化型粘着剤として、母剤となるベースポリマーと、該ベースポリマーと結合可能な活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）とを含む活性エネルギー線硬化型粘着剤（Ａ１）が用いられる。別の実施形態においては、ベースポリマーとして活性エネルギー線反応性ポリマーを含む活性エネルギー線硬化型粘着剤（Ａ２）が用いられる。好ましくは、上記ベースポリマーは、光重合開始剤と反応し得る官能基を有する。該官能基としては、例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基等が挙げられる。
　上記粘着剤（Ａ１）において用いられるベースポリマーとしては、例えば、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）等のゴム系ポリマー；シリコーン系ポリマー；アクリル系ポリマー等が挙げられる。これらのポリマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、アクリル系ポリマーである。
　アクリル系ポリマーとしては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステルなどの炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルの単重合体または共重合体；該炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルと他の共重合性モノマーとの共重合体等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ－ブチルエステル、ｔ－ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２－エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステルすなわちラウリルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、およびエイコシルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸のシクロペンチルエステルおよびシクロヘキシルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸アリールエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸フェニルおよび（メタ）アクリル酸ベンジルが挙げられる。上記炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは４０重量部以上であり、より好ましくは６０重量部以上である。
　上記他の共重合性モノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルなどの官能基含有モノマー等が挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げられる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、および（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートが挙げられる。グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジルおよび（メタ）アクリル酸メチルグリシジルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、および（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。アクリルアミドとしては、例えばＮ－アクリロイルモルホリンが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記共重合性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは６０重量部以下であり、より好ましくは４０重量部以下である。
　アクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、多官能性モノマー由来の構成単位を含み得る。多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート（すなわち、ポリグリシジル（メタ）アクリレート）、ポリエステル（メタ）アクリレート、およびウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記多官能性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは４０重量部以下であり、より好ましくは３０重量部以下である。
　上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは１０万～３００万であり、より好ましくは２０万～２００万である。重量平均分子量は、ＧＰＣ（溶媒：ＴＨＦ）により測定され得る。
　上記粘着剤（Ａ１）に用いられ得る上記活性エネルギー線反応性化合物としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の重合性炭素－炭素多重結合を有する官能基を有する光反応性のモノマーまたはオリゴマーが挙げられる。該光反応性のモノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸と多価アルコールとのエステル化物；多官能ウレタン（メタ）アクリレート；エポキシ（メタ）アクリレート；オリゴエステル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、メタクリロイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（２－イソシアナトエチルメタクリレート）、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート等のモノマーを用いてもよい。光反応性のオリゴマーの具体例としては、上記モノマーの２～５量体等が挙げられる。光反応性のオリゴマーの分子量は、好ましくは１００～３０００である。
　また、上記活性エネルギー線反応性化合物として、エポキシ化ブタジエン、グリシジルメタクリレート、アクリルアミド、ビニルシロキサン等のモノマー；または該モノマーから構成されるオリゴマーを用いてもよい。
　さらに、上記活性エネルギー線反応性化合物として、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物を用いてもよい。該混合物は、活性エネルギー線（例えば、紫外線、電子線）の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成し得る。上記有機塩類としては、例えば、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が挙げられる。上記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環としては、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が挙げられる。
　上記粘着剤（Ａ１）において、活性エネルギー線反応性化合物の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部～５００重量部であり、より好ましくは５重量部～３００重量部であり、さらに好ましくは４０重量部～１５０重量部である。
　上記粘着剤（Ａ２）に含まれる活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素－炭素多重結合を有する官能基を有するポリマーが挙げられる。活性エネルギー線反応性ポリマーの具体例としては、多官能（メタ）アクリレートから構成されるポリマー；光カチオン重合型ポリマー；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化されたアミノノボラック樹脂；ポリアクリルアミド；等が挙げられる。
　１つの実施形態においては、上記アクリル系ポリマーの側鎖、主鎖および／または主鎖末端に、活性エネルギー線重合性の炭素－炭素多重結合が導入されて構成された活性エネルギー線反応性ポリマーが用いられる。アクリル系ポリマーへの放射線重合性の炭素－炭素二重結合の導入手法としては、例えば、所定の官能基（第１の官能基）を有するモノマーを含む原料モノマーを共重合させてアクリル系ポリマーを得た後、第１の官能基との間で反応を生じて結合しうる所定の官能基（第２の官能基）と放射線重合性炭素－炭素二重結合とを有する化合物を、炭素－炭素二重結合の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法が、挙げられる。
　第１の官能基と第２の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基が挙げられる。これら組み合わせのうち、反応追跡の容易さの観点からは、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせや、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが、好ましい。また、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製するのは技術的難易度が高いところ、アクリル系ポリマーの作製または入手のしやすさの観点からは、アクリル系ポリマー側の上記第１の官能基がヒドロキシ基であり且つ上記第２の官能基がイソシアネート基である場合が、より好ましい。この場合、放射線重合性炭素－炭素二重結合と第２の官能基たるイソシアネート基とを併有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、およびｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネートが挙げられる。また、第１の官能基を有するアクリル系ポリマーとしては、上記のヒドロキシ基含有モノマー由来の構成単位を含むものが好ましく、２－ヒドロキシエチルビニルエーテルや、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルなどのエーテル系化合物由来の構成単位を含むものも好ましい。
　上記粘着剤（Ａ２）は、上記活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）をさらに含んでいてもよい。
　上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、光重合開始剤を含み得る。
　光重合開始剤としては、任意の適切な開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１―プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナート等が挙げられる。光重合開始剤の使用量は、任意の適切な量に設定され得る。
　１つの実施形態においては、４００ｎｍ以下（好ましくは３８０ｎｍ以下、より好ましくは３４０ｎｍ以下）の範囲に最大吸収波長を有する光重合開始剤が用いられる。このような光重合開始剤を用いれば、活性エネルギー線を照射することにより粘着剤層全体の粘着力低下させる際、粘着剤の硬化反応が好ましく生じ、糊残りの特に少ない粘着シートを得ることができる。
　上記光重合開始剤として、市販品を用いてもよい。例えば、４００ｎｍ以下の範囲に最大吸収波長を有する光重合開始剤として、ＢＡＳＦ社製の商品名「イルガキュア１２７」、「イルガキュア３６９」、「イルガキュア３６９Ｅ」、「イルガキュア３７９」、「イルガキュア３７９ＥＧ」、「イルガキュア８１９」、「イルガキュアＴＯＰ」、「イルガキュア７８４」、「イルガキュアＯＸＥ０１」等が挙げられる。
　１つの実施形態においては、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、光増感剤を含み得る。
　１つの実施形態においては、上記光増感剤は、上記光重合開始剤と併用され得る。当該光増感剤は、自らが光を吸収して得たエネルギーを光重合開始剤に渡すことで、光重合開始剤からラジカルを発生させることができるため、光重合開始剤自身の吸収ピークが無い長波長側の光で重合を進行させることができる。このため、光増感剤を含有させることにより、上記紫外線吸収剤の吸収波長と光重合開始剤からラジカルを発生さることが可能な波長との差を大きくすることが可能となる。その結果、粘着剤層の光重合と紫外線吸収剤による剥離を互いに影響せずに行うことができる。１つの実施形態においては、光重合開始剤としての２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン（例えば、ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア６５１」）と、光増感剤とが併用される。このような光増感剤としては、川崎化成工業株式会社製の商品名「ＵＶＳ－５８１」、９，１０－ジエトキシアントラセン（例えば、川崎化成工業社製、商品名「ＵＶＳ１１０１」）等が挙げられる。
　上記光増感剤のその他の例としては、９，１０－ジブトキシアントラセン（例えば、川崎化成工業社製、商品名「ＵＶＳ－１３３１」）、２－イソプロピルチオキサントン、ベンゾフェノン、チオキサントン誘導体、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。チオキサントン誘導体としては、例えば、エトキシカルボニルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等が挙げられる。
　上記光増感剤の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．０１重量部～２重量部であり、より好ましくは０．５重量部～２重量部である。
　好ましくは、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、架橋剤を含む。架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アミン系架橋剤等が挙げられる。
　上記架橋剤の含有割合は、粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．５重量部～１０重量部であり、より好ましくは１重量部～８重量部である。
　１つの実施形態においては、イソシアネート系架橋剤が好ましく用いられる。イソシアネート系架橋剤は、多種の官能基と反応し得る点で好ましい。上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。好ましくは、イソシアネート基を３個以上有する架橋剤が用いられる。
　活性エネルギー線硬化型粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤をさらに含み得る。添加剤としては、例えば、活性エネルギー線重合促進剤、ラジカル捕捉剤、粘着付与剤、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤等）、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
（紫外線吸収剤）
　紫外線吸収剤としては、紫外線（例えば、波長３５５ｎｍ）を吸収する化合物であれば、任意の適切な紫外線吸収剤が用いられ得る。紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤、トリアジン系紫外線吸収剤、サリチレート系紫外線吸収剤、シアノアクリレート系紫外線吸収剤等が挙げられる。なかでも好ましくは、トリアジン系紫外線吸収剤またはベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤であり、特に好ましくはトリアジン系紫外線吸収剤である。特に、粘着剤Ａとしてアクリル系粘着剤を用いる場合に、当該アクリル系粘着剤のベースポリマーとの相溶性が高いことから、トリアジン系紫外線吸収剤は好ましく用いられ得る。トリアジン系紫外線吸収剤は、水酸基を有する化合物から構成されていることがより好ましく、ヒドロキシフェニルトリアジン系化合物から構成された紫外線吸収剤（ヒドロキシフェニルトリアジン系紫外線吸収剤）であることが特に好ましい。
　ヒドロキシフェニルトリアジン系紫外線吸収剤としては、例えば、２－（４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－ヒドロキシフェニルと［（Ｃ１０－Ｃ１６（主としてＣ１２－Ｃ１３）アルキルオキシ）メチル］オキシランとの反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　４００」、ＢＡＳＦ社製）、２－［４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル］－５－［３－（ドデシルオキシ）－２－ヒドロキシプロポキシ］フェノール）、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス－（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンと（２－エチルヘキシル）－グリシド酸エステルの反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　４０５」、ＢＡＳＦ社製）、２，４－ビス（２－ヒドロキシ－４－ブトキシフェニル）－６－（２，４－ジブトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　４６０」、ＢＡＳＦ社製）、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－［（ヘキシル）オキシ］－フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　１５７７」、ＢＡＳＦ社製）、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－［２－（２－エチルヘキサノイルオキシ）エトキシ］－フェノール（商品名「アデカスタブ　ＬＡ－４６」、（株）ＡＤＥＫＡ製）、２－（２－ヒドロキシ－４－［１－オクチルオキシカルボニルエトキシ］フェニル）－４，６－ビス（４－フェニルフェニル）－１，３，５－トリアジン（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　４７９」、ＢＡＳＦ社製）、ＢＡＳＦ社製の商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　４７７」などが挙げられる。
　ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤（ベンゾトリアゾール系化合物）としては、例えば、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－２Ｈ－ベンゾトリアゾール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　ＰＳ」、ＢＡＳＦ社製）、ベンゼンプロパン酸および３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－（１，１－ジメチルエチル）－４－ヒドロキシ（Ｃ７－９側鎖および直鎖アルキル）のエステル化合物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　３８４－２」、ＢＡＳＦ社製）、オクチル３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）フェニル］プロピオネートおよび２－エチルヘキシル－３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２イル）フェニル］プロピオネートの混合物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　１０９」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　９００」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－（１－メチル－１－フェニルエチル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　９２８」、ＢＡＳＦ製）、メチル３－（３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート／ポリエチレングリコール３００の反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　１１３０」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－ｐ－クレゾール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　Ｐ」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　２３４」、ＢＡＳＦ社製）、２－［５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル］－４－メチル－６－（ｔｅｒｔ－ブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　３２６」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ジ－ｔｅｒｔ－ペンチルフェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　３２８」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　３２９」、ＢＡＳＦ社製）、２，２’－メチレンビス［６－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール］（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　３６０」、ＢＡＳＦ社製）、メチル３－（３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネートとポリエチレングリコール３００との反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　２１３」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－ドデシル－４－メチルフェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　５７１」、ＢＡＳＦ社製）、２－［２－ヒドロキシ－３－（３，４，５，６－テトラヒドロフタルイミド－メチル）－５－メチルフェニル］ベンゾトリアゾール（商品名「Ｓｕｍｉｓｏｒｂ　２５０」、住友化学（株）製）、２－（３－ｔｅｒｔ－ブチル－２－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）－５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール（商品名「ＳＥＥＳＯＲＢ　７０３」、シプロ化成社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－メチル－６－（３，４，５，６－テトラヒドロフタルイミジルメチル）フェノール（商品名「ＳＥＥＳＯＲＢ　７０６」、シプロ化成社製）、２－（４－ベンゾイルオキシ－２－ヒドロキシフェニル）－５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール（シプロ化成社製の商品名「ＳＥＥＳＯＲＢ　７０１２ＢＡ」）、２－ｔｅｒｔ－ブチル－６－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－メチルフェノール（商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ　７３」、ケミプロ化成社製）、２，２’－メチレンビス［６－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ｔｅｒｔ－オクチルフェノール］（商品名「アデカスタブ　ＬＡ－３１」、（株）ＡＤＥＫＡ製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－ｐ－セルロース（商品名「アデカスタブ　ＬＡ－３２」、（株）ＡＤＥＫＡ製）、２－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール（商品名「アデカスタブ　ＬＡ－３６」、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
　上記紫外線吸収剤は、染料または顔料であってもよい。顔料としては、例えば、アゾ系、フタロシアニン系、アントラキノン系、レーキ系、ペリレン系、ペリノン系、キナクリドン系、チオインジゴ系、ジオキサンジン系、イソインドリノン系、キノフタロン系等の顔料が挙げられる。染料としては、アゾ系、フタロシアニン系、アントラキノン系、カルボニル系、インジゴ系、キノンイミン系、メチン系、キノリン系、ニトロ系等の染料が挙げられる。
　１つの実施形態においては、ベースポリマーに対して相溶性が低い紫外線吸収剤が用いられる。相溶性が低い紫外線吸収剤を用いれば、紫外線吸収剤が島となり、ベースポリマーが海となる海島構造が形成され、かつ、粘着剤層の厚みの中心よりも表面近傍に多く存在するように、紫外線吸収剤を偏在させることができる。ベースポリマーと紫外線吸収剤との相溶性は、ハンセン溶解度パラメータ（ＨＳＰ）を指標とすることができる。ハンセン溶解度パラメータ（ＨＳＰ）によるＲａは、好ましくは６以上であり、より好ましくは８以上であり、さらに好ましくは１０以上である。ハンセン溶解度パラメータ（ＨＳＰ）によるＲａの上限は、例えば、４６である。
　ハンセン溶解度パラメータ（ＨＳＰ）は、ヒルデブランド（Ｈｉｌｄｅｂｒａｎｄ）の溶解度パラメータδを、分散項δｄ，極性項δｐ，および水素結合項δｈの３成分に分割し、３次元空間に表したものであり、δ２＝δｄ２＋δｐ２＋δｈ２の関係が成り立つ。分散項δｄは分散力による効果、極性項δｐは双極子間力による効果、水素結合項δｈは水素結合力による効果を示す。２つの物質のＨＳＰの距離Ｒａは、２つの物質間の分散項の差Δδｄ、極性項の差Δδｐ、および水素結合項の差Δδｈから、Ｒａ＝｛４Δδｄ ２＋Δδｐ ２＋Δδｈ ２｝１／２で表され、Ｒａが小さいほど相溶性が高く、Ｒａが大きいほど相溶性が低い。ハンセン溶解度パラメータの詳細は、Ｃｈａｒｌｅｓ　Ｍ．　Ｈａｎｓｅｎ著、Ｈａｎｓｅｎ　Ｓｏｌｕｂｉｌｉｔｙ　Ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ：　Ａ　Ｕｓｅｒｓ　Ｈａｎｄｂｏｏｋ　（ＣＲＣプレス、２００７年）に記載されており、文献値等が未知の物質については、コンピュータソフトウエア　Ｈａｎｓｅｎ　Ｓｏｌｕｂｉｌｉｔｙ　Ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ　ｉｎ　Ｐｒａｃｔｉｃｅ　（ＨＳＰｉＰ）を用いて計算可能である。
　ベースポリマーとの相溶性が低い紫外線吸収剤の例としては、ベースポリマーの構成にもよるが、例えば、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス－（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンと（２－エチルヘキシル）－グリシド酸エステルの反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　４０５」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－（１－メチル－１－フェニルエチル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ　９２８」、ＢＡＳＦ製）、２－［４－［（２－ヒドロキシ－３－（２’－エチル）ヘキシル）オキシ］－２－ヒドロキシフェニル］－４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ４００」、ＢＡＳＦ製）、Ｂベンゼンプロパン酸および３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－（１，１－ジメチルエチル）－４－ヒドロキシ（Ｃ７－９側鎖および直鎖アルキル）のエステル化合物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ３８４－２」、ＢＡＳＦ製）、ＢＡＳＦ社製の商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ４７７」等が挙げられる。
　上記紫外線吸収剤を構成する化合物の分子量は、好ましくは１００～１５００であり、より好ましくは２００～１２００であり、さらに好ましくは２００～１０００である。分子量の小さい化合物（例えば、分子量が６００以下の化合物）を紫外線吸収剤として用いれば、当該紫外線吸収剤が表面近傍に偏在しやすくなる。
　上記紫外線吸収剤の最大吸収波長は、好ましくは３００ｎｍ～４５０ｎｍであり、より好ましくは３２０ｎｍ～４００ｎｍであり、さらに好ましくは３３０ｎｍ～３８０ｎｍである。紫外線吸収剤の最大吸収波長と上記光重合開始剤の最大吸収波長との差は、好ましく１０ｎｍ以上であり、より好ましくは２５ｎｍ以上である。
　上記紫外線吸収剤の５％重量減少温度は、好ましくは３５０℃以下であり、より好ましくは３３０℃以下である。紫外線吸収剤の５％重量減少温度の下限は、例えば、１００℃である。このような範囲であれば、レーザー光照射により、より効率的にひずみが生じる粘着シートを得ることができる。紫外線吸収剤の５％重量減少温度とは、紫外線吸収剤を昇温させた際の当該紫外線吸収剤の重量が、昇温前の重量に対して、５重量％減少した時点での温度を意味する。５％重量減少温度は、示差熱分析装置を用いて、昇温温度１０℃／分、空気雰囲気下、流量２５ｍｌ／分の測定条件で測定される。
　上記紫外線吸収剤の含有割合は、粘着剤層中のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは１重量部～５０重量部であり、より好ましくは５重量部～２０重量部である。このような範囲であれば、活性エネルギー線の照射により粘着剤層全体の粘着力を良好に低下させる際に、粘着剤層の硬化が良好に進み、かつ、レーザー光照射により、良好な剥離性を示す粘着シートを得ることができる。
Ｃ．基材
　上記基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。該樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリブテン系樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテルケトン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、セルロース系樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げられる。なかでも好ましくはポリオレフィン系樹脂である。
　上記基材の厚みは、好ましくは２μｍ～３００μｍであり、より好ましくは２μｍ～１００μｍであり、さらに好ましくは２μｍ～５０μｍである。
　基材の波長３５５ｎｍの光透過率は、好ましくは７０％以上であり、より好ましくは８０％以上であり、さらに好ましくは９０％以上であり、特に好ましくは９５％以上である。基材の全光線透過率の上限は、例えば、９８％（好ましくは９９％）である。
Ｄ．粘着シートの製造方法
　上記粘着シートは、任意の適切な方法により製造され得る。粘着シートは、例えば、基材または剥離ライナー上に、上記粘着剤を塗工して得られ得る。塗工方法としては、バーコーター塗工、エアナイフ塗工、グラビア塗工、グラビアリバース塗工、リバースロール塗工、リップ塗工、ダイ塗工、ディップ塗工、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷など種々の方法を採用することができる。また、別途、剥離ライナーに粘着剤層を形成した後、それを基材に貼り合せる方法等を採用してもよい。粘着剤を空気中で乾燥する場合、空気側の表面に紫外線吸収剤が偏在する傾向がある。また、基材や剥離ライナーの表面特性によって、偏在の程度が変化する場合がある。いずれかの表面近傍でのみ紫外線吸収剤が偏在する場合、紫外線吸収剤が偏在した方の面を第１表面とし、当該面が被着体載置面となり得る。
Ｅ．粘着シートの使用方法
　本発明の粘着シートは、任意の適切な被加工部材（例えば、電子部品）を加工する際に、当該被加工部材を仮固定する際に用いられ得る。本発明の粘着シートの使用方法としては、例えば、（ｉ）被着シートに被加工部材を貼着して固定し、（ｉｉ）該被加工部材を加工し、（ｉｉｉ）粘着シートの粘着剤層全体に活性エネルギー線（例えば、紫外線）を照射して、粘着シートの粘着力を低下させ、（ｉｖ）剥離性発現を所望する箇所にレーザー光を照射して、被加工部材を剥離させるようにして使用する方法が挙げられる。当該方法によれば、被加工部材を自然落下により剥離させることが可能となる。また、複数の被加工部材を仮固定した場合には、その一部のみを剥離させることも可能となる。本発明の粘着シートを用いれば、自然落下するほどまでに粘着力を低下させることができるため、非常に小さい（例えば、５０μｍ角）被加工部材であっても、個々別々に剥離させることが可能である。
　以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。実施例における試験および評価方法は以下のとおりである。また、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。
（１）紫外線吸収剤の偏在（Ｓ１/Ｃ、Ｓ２/Ｃ）
　粘着剤層の断面について、Ａｒガスクラスターイオンエッチング法によるを行い、粘着剤層の厚み方向における紫外線吸収剤の分布を確認した。紫外線吸収剤の構造に基づき、ＴＯＦ－ＳＩＭＳで紫外線吸収剤起因の成分を検出した。得られた紫外線吸収剤の存在分布に基づき、粘着剤層の一方の面（第１表面）から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲での紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ１と、他方の面（第２表面）から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲での紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ２と、粘着剤層の厚み方向中心点における紫外線吸収剤の検出強度Ｃとから、Ｓ１/ＣおよびＳ２/Ｃを求めた。
　なお、ＴＯＦ－ＳＩＭＳ分析の測定条件は、以下のとおりとした。
　装置名：アルバック・ファイ製ＴＲＩＦＴ　Ｖ
　エッチングイオン：Ａｒガスクラスターイオン（Ａｒｎ＋）
　エッチングイオン加速電圧：１７ｋＶ
　エッチング面積：４００μｍ角
　照射した一次イオン：Ｂｉ３ ２＋
　一次イオン加速電圧：３０ｋＶ
　測定面積：１００μｍ角
　測定極性：負イオン
※測定には帯電補正用中和銃を使用。
（２）ヘイズ値
　ヘイズメーター（商品名「ＨＡＺＥ　ＭＥＴＥＲ　ＨＭ－１５０」、村上色彩技術研究所製）を使用し、入射光がスライドグラスの面に対して垂直に入射するように大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）をセットし、ヘイズ値を測定した。その後、粘着シートのＰＥＴセパレーターを剥離し、ヘイズ値測定後の大型スライドグラスにハンドローラーを用い貼り合わせ、もう一方の面のＰＥＴセパレーターを剥離した状態で、再度ヘイズ値を測定した。得られたヘイズ値から、スライドグラスのみのヘイズ値を減算し、粘着シートのヘイズ値とした。
（３）波長３５５ｎｍ光透過率
　粘着シートのＰＥＴセパレーターを剥離し、大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）にハンドローラーを用い貼り合わせ、もう一方の面のＰＥＴセパレーターを剥離した状態で、測定を行った。具体的には、分光光度計（商品名「分光光度計　Ｕ－４１００」、日立ハイテクサイエンス製）を使用して、大型スライドグラス上の粘着シートについて、粘着シート自体における波長３５５ｎｍの透過率を測定した。
（４）粘着力
　粘着シートの粘着剤層の一方の面（第１表面）をＳＵＳ４０３に貼着して、当該粘着シートの対する粘着力を、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。
（５）剥離性
・第１表面の剥離性
　粘着シートの第２表面側のＰＥＴセパレーターを剥離し、大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）にハンドローラーを用い貼り合わせた。その後、もう一方の面（第１表面）のＰＥＴセパレーターを剥離し、粘着面に対し１００μｍ角のシリコンチップを貼り合わせた。
　実施例７の粘着シートについては、スライドグラス面側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）を全面に照射した。
　波長３５５ｎｍのレーザー光を、照射面積：８０μｍφ、出力０．１Ｗで、大型スライドグラスト側から狙いの部材位置にのみ照射し（１ｐｌｕｓ　ｐｅｒ　ｃｈｉｐ）、自然落下した場合を合格（〇）、自然落下しなかった場合を不合格（×）とした。
・第２表面の剥離性
　また、粘着剤層の表裏を入れ替えたこと以外は、「第１表面の剥離性」と同様にして、評価を行った。すなわち、粘着シートの第１表面側のＰＥＴセパレーターを剥離し、大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）にハンドローラーを用い貼り合わせた。その後、もう一方の面（第２表面）のＰＥＴセパレーターを剥離し、粘着面に対し１００μｍ角のシリコンチップを貼り合わせた。
　実施例７の粘着シートについては、スライドグラス面側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）を全面に照射した。
　波長３５５ｎｍのレーザー光を、照射面積：８０μｍφ、出力０．１Ｗで、大型スライドグラスト側から狙いの部材位置にのみ照射し（１ｐｌｕｓ　ｐｅｒ　ｃｈｉｐ）、自然落下した場合を合格（〇）、自然落下しなかった場合を不合格（×）とした。
［製造例１］アクリルポリマーＩの調整
　２－メトキシエチルアクリレート１００重量部、アクリロイルモルホリン２７重量部、アクリル酸２－ヒドロキシエチル２２重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン５００重量部、上記モノマー組成物１４９量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で５時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート２４重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有する重量平均分子量１００万のアクリル系ポリマーＩを含有するアクリル系ポリマー溶液Ｉを得た。
［製造例２］アクリルポリマーＩＩの調整
　アクリル酸２－エチルヘキシルエステル８９重量部、ヒドロキシエチルアクリレート１１重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン４３重量部、上記モノマー組成物１００重量部、および、アゾイソブチルニトリル（ＡＩＢＮ）０．２重量部を仕込み、６０℃で４時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート１２重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有する重量平均分子量１００万のアクリル系ポリマーＩＩを含有するアクリル系ポリマー溶液ＩＩを得た。
［実施例１］
（粘着剤の調製）
　アクリルポリマーＩを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液Ｉに、架橋剤（日本ポリウレタン工業株式会社、商品名「コロネートＬ」）３重量部、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部を加え粘着剤（１）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（１）を塗布し、その後、１３０℃で２分間加熱して、第１表面が露出した厚さ５μｍの粘着剤層を形成した。
　ハンドローラーを用いて、粘着剤層の第１表面上にＰＥＴセパレーターを貼り合わせ、セパレーター付粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。また、「紫外線吸収剤の偏在」評価において測定したＴＯＦ－ＳＩＭＳ分析チャートを図２に示す。
［実施例２］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）の配合量を５重量部としたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例３］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部に代えて、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４０５」）１０重量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例４］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部に代えて、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　９２８」）１０重量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例５］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部に代えて、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　９２８」）５重量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例６］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部に代えて、紫外線吸収剤（ケミプロ化成製、商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ１０２Ｌ」）５重量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例７］
（粘着剤の調製）
　アクリルポリマーＩを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液Ｉに、架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）３重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア３６９」）３重量部、紫外線吸収剤（ケミプロ化成製、商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ１０２Ｌ」）５重量部加え粘着剤（７）を得た。
（粘着シートの作製）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（７）を塗布し、その後、１３０℃で２分間加熱して、第１表面が露出した厚さ５μｍの粘着剤層を形成した。
　ハンドローラーを用いて、粘着剤層の第１表面上にＰＥＴセパレーターを貼り合わせ、セパレーター付粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例８］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部に代えて、紫外線吸収剤（ケミプロ化成製、商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ１１１」）２０重量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例１］
　紫外線吸収剤を配合しなかったこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例２］
　紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）２０重量部に代えて、紫外線吸収剤（ケミプロ化成製、商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ１１１」）５重量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレーター付粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例３］
（粘着剤の調製）
　アクリルポリマーＩＩを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液ＩＩに、架橋剤（日本ポリウレタン工業株式会社、商品名「コロネートＬ」）３重量部、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦジャパン製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４７７」）５重量部を加え粘着剤（Ｃ３）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ｃ３）を塗布し、その後、１３０℃で２分間加熱して、第１表面が露出した厚さ５μｍの粘着剤層を形成した。
　ハンドローラーを用いて、粘着剤層の第１表面上にＰＥＴセパレーターを貼り合わせ、セパレーター付粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１から明らかなように、粘着剤層の表面近傍において紫外線吸収剤が偏在している粘着シートにおいては、当該表面において好ましい剥離性を発現する。このような粘着シートは、低出力なレーザー光照射により、被着体を剥離することができるため、被着体へのダメージを抑制することができる。
　１０　　　　　　　粘着剤層
　２０　　　　　　　基材
　１００、２００　　粘着シート

Claims (2)

  1. 　紫外線吸収剤を含む粘着剤層を備え、
    　該粘着剤層が、第１表面と、該第１表面に対向する第２表面とを有し、
    　該第１表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲での飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ-ＳＩＭＳ）による紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ１と、該粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ１/Ｃ≧１．１の関係を満足する、
    　粘着シート。
  2. 　前記第２表面から厚み方向における深さ１μｍまでの範囲でのＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度の最大値Ｓ２と、前記粘着剤層の厚み方向中心点におけるＴＯＦ-ＳＩＭＳによる紫外線吸収剤の検出強度Ｃとが、Ｓ２/Ｃ≧１．１の関係を満足する、請求項１に記載の粘着シート。
     
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