WO2022118499A1 - 粘着シート - Google Patents

粘着シート Download PDF

Info

Publication number
WO2022118499A1
WO2022118499A1 PCT/JP2021/029529 JP2021029529W WO2022118499A1 WO 2022118499 A1 WO2022118499 A1 WO 2022118499A1 JP 2021029529 W JP2021029529 W JP 2021029529W WO 2022118499 A1 WO2022118499 A1 WO 2022118499A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pressure
sensitive adhesive
adhesive sheet
layer
meth
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/029529
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
克矩 伊藤
みずほ 千葉
悠 立川
Original Assignee
日東電工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日東電工株式会社 filed Critical 日東電工株式会社
Priority to KR1020237011319A priority Critical patent/KR20230111601A/ko
Priority to CN202180071047.5A priority patent/CN116419843A/zh
Publication of WO2022118499A1 publication Critical patent/WO2022118499A1/ja

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J133/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J133/04—Homopolymers or copolymers of esters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/06—Interconnection of layers permitting easy separation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J201/00—Adhesives based on unspecified macromolecular compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J4/00—Adhesives based on organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond ; adhesives, based on monomers of macromolecular compounds of groups C09J183/00 - C09J183/16
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/30—Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
    • C09J7/38—Pressure-sensitive adhesives [PSA]
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/40—Adhesives in the form of films or foils characterised by release liners
    • C09J7/401—Adhesives in the form of films or foils characterised by release liners characterised by the release coating composition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/30—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
    • C09J2301/312—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier parameters being the characterizing feature
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/40—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components
    • C09J2301/416—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components use of irradiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/50—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by process specific features
    • C09J2301/502—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by process specific features process for debonding adherents

Definitions

  • the present invention relates to an adhesive sheet.
  • the member When processing various members represented by electronic parts, it is generally performed that the member is temporarily fixed to the support using an adhesive sheet, and the processed member is peeled off from the support after transfer, processing, etc. ing.
  • a substrate working member
  • a separation layer is destroyed by laser light irradiation and bonded.
  • a method of peeling the substrate together with the agent layer from the support and then removing the adhesive layer from the substrate is described.
  • the above method requires a step of removing the adhesive layer from the member and cleaning the non-adhesive surface of the member, which is problematic in terms of production cost. Further, there is a problem that the member is damaged when the laser beam is irradiated with a high output.
  • Patent Document 2 a plurality of members to be processed are temporarily fixed to a carrier via an adhesive layer, and a laser beam is concentrated on the adhesive layer to generate blister, thereby selecting a part of the members to be processed.
  • a method for separating and transferring from a carrier is described.
  • this method has a problem that the blister generated after the laser irradiation spreads over time, and as a result, the carrier is peeled off and the workpiece that does not require transfer is unnecessarily dropped off.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is an adhesive sheet capable of temporarily fixing an adherend so that it can be peeled off, and the adhesive sheet can be peeled off by a low-power laser beam. It is an object of the present invention to provide a pressure-sensitive adhesive sheet in which the step of washing the adherend after peeling is not required and the peeling occurrence location is in a narrow range.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is a pressure-sensitive adhesive sheet including a pressure-sensitive adhesive layer and a transfer layer arranged on one side of the pressure-sensitive adhesive layer, and the transfer layer is a layer that is cured by irradiation with active energy rays.
  • the adhesive force I at 23 ° C. is 2N / 20 mm or more, and when the adhesive layer of the adhesive sheet is attached to the glass plate.
  • the ratio of the adhesive force I at 23 ° C. to the adhesive force B at 23 ° C. after irradiating the transfer layer with an ultraviolet ray of 300 mJ / cm 2 is 5 or more.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet further comprises a substrate between the pressure-sensitive adhesive layer and the transfer layer.
  • the indentation elastic modulus B of the transfer layer at 23 ° C. is 5 times or more the indentation elastic modulus I of the pressure-sensitive adhesive layer at 23 ° C.
  • the transfer layer contains an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive, and the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive contains an acrylic polymer as a base polymer.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet is used to temporarily fix a member to a support using the pressure-sensitive adhesive sheet, and after transfer and / or processing, the member is peeled off from the support by laser light irradiation. Used.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet is capable of temporarily fixing the adherend so that it can be peeled off, and the peelability is exhibited by a low-power laser beam, and the step of cleaning the adherend after peeling can be eliminated. , It is possible to provide an adhesive sheet having a narrow range of peeling occurrence sites.
  • (A) is a schematic cross-sectional view of an adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
  • (B) is a schematic cross-sectional view of an adhesive sheet according to another embodiment of the present invention.
  • (A) is a micrograph of the surface of the transfer layer in Example 1.
  • (B) is a micrograph of the surface of the transfer layer in Comparative Example 1.
  • FIG. 1 (a) of the pressure-sensitive adhesive sheet is a schematic cross-sectional view of the pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet 100 according to this embodiment includes a pressure-sensitive adhesive layer 10 and a transfer layer 20 arranged on one side of the pressure-sensitive adhesive layer 10.
  • FIG. 1B is a schematic cross-sectional view of an adhesive sheet according to another embodiment of the present invention.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet 200 according to this embodiment further includes a base material 30 between the pressure-sensitive adhesive layer 10 and the transfer layer 20.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention may be provided with a release liner on the outside of the pressure-sensitive adhesive layer and the transfer layer for the purpose of protecting the pressure-sensitive adhesive surface until it is used.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet may further contain any suitable other layer as long as the effects of the present invention can be obtained.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be used for temporarily fixing a member to a support (for example, a glass substrate) using the pressure-sensitive adhesive sheet, and peeling the member from the support after transfer, processing, or the like. At the time of peeling, laser light irradiation is performed, and only the member at a desired position can be peeled pinpointly.
  • the transfer layer is a layer that is cured by irradiation with active energy rays. More specifically, the transfer layer has adhesiveness for fixing the adherend, and is configured to be cured by irradiation with active energy rays to reduce the adhesiveness. Even after curing, it is preferable that the adhesive force that can fix the adherend (for example, the adhesive force that the adherend does not fall naturally) remains. In one embodiment, irradiation with active energy rays reduces the adhesive strength of the entire transfer layer.
  • Examples of the active energy ray include gamma ray, ultraviolet ray, visible ray, infrared ray (heat ray), radio wave, alpha ray, beta ray, electron beam, plasma flow, ionization ray, particle beam and the like. Ultraviolet rays are preferable.
  • the pressure-sensitive adhesive layer may have any suitable structure as long as the effects of the present invention can be obtained.
  • the pressure-sensitive adhesive layer is composed of a pressure-sensitive pressure-sensitive adhesive.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet can be used by attaching the pressure-sensitive adhesive layer to a support (for example, a glass substrate).
  • laser light irradiation causes a partial strain on the pressure-sensitive adhesive layer (further base material in the case of a configuration having a base material), and this strain propagates to the transfer layer to be applied to the surface of the transfer layer (paste).
  • laser light irradiation causes a partial strain on the pressure-sensitive adhesive layer (further base material in the case of a configuration having a base material), and this strain propagates to the transfer layer to be applied to the surface of the transfer layer (paste).
  • By temporarily changing the shape of the landing surface it becomes possible to peel off the adherend arranged at the location.
  • the pressure-sensitive adhesive layer by adjusting the components of the pressure-sensitive adhesive layer (for example, the type of base polymer; the type of additives such as a pressure-sensitive adhesive and a cross-linking agent; the blending amount thereof, etc.), the pressure-sensitive adhesive layer has a predetermined wavelength. It can absorb laser light, and as a result, the pressure-sensitive adhesive layer is likely to be distorted.
  • the base material can also be a base material that is prone to strain by appropriately selecting its constituent materials. Further, as described above, by irradiating the transfer layer with laser light after curing the transfer layer, the peelability due to strain propagation can be preferably exhibited.
  • the exfoliation property is exhibited by the above action, a high-power laser beam is not required, a step of cleaning the adherend after exfoliation is unnecessary, and the exfoliation occurrence site is narrowed to a narrow range. be able to.
  • the change in the surface shape of the transfer layer does not continue (that is, it does not spread over time, but rather can return to the shape before the change), and therefore, it is covered in places where peeling is not desired. It is possible to prevent problems such as the body falling off unnecessarily.
  • the adhesive strength I at 23 ° C. when the adhesive layer of the adhesive sheet is attached to the glass plate is 2N / 20 mm or more.
  • the adhesive strength I is preferably 2N / 20mm to 25N / 20mm, and more preferably 5N / 20mm to 20N / 20mm. Within such a range, the effect of the present invention becomes remarkable. Adhesive strength is measured according to JIS Z 0237: 2000.
  • the adhesive layer of the adhesive sheet is attached to a glass plate (arithmetic mean surface roughness Ra: 50 ⁇ 25 nm) by one reciprocating of a 2 kg roller, left at 23 ° C. for 30 minutes, and then the peeling angle.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled off and measured under the conditions of 180 ° and a peeling speed (tensile speed) of 300 mm / min.
  • the initial adhesive force A at 23 ° C. immediately after the transfer layer of the adhesive sheet is attached to the stainless steel plate is preferably 1N / 20mm to 20N / 20mm, more preferably 1.5N / 20mm to 15N / 20mm. , More preferably 2N / 20mm to 10N / 20mm. Within such a range, an adhesive sheet that can hold the adherend well can be obtained.
  • the adhesive strength on the transfer layer side is also measured according to JIS Z 0237: 2000. Specifically, the transfer layer of the adhesive sheet is attached to a stainless steel plate (arithmetic mean surface roughness Ra: 50 ⁇ 25 nm) by one reciprocating of a 2 kg roller, left at 23 ° C. for 30 minutes, and then the peeling angle is 180.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled off and measured under the conditions of ° and peeling speed (tensile speed) of 300 mm / min.
  • the adhesive strength of the transfer layer changes due to irradiation with active energy rays and laser light, but in the present specification, the "initial adhesive strength" means the adhesive strength before irradiation with active energy rays and laser light.
  • the adhesive sheet has an adhesive force B (also referred to as a post-curing adhesive force B) at 23 ° C. after the adhesive sheet is attached to the stainless steel plate and the transfer layer is irradiated with ultraviolet rays of 300 mJ / cm 2 . It is preferably 1N / 20mm or less, more preferably 0.5N / 20mm or less, further preferably 0.2N / 20mm or less, and particularly preferably 0.1N / 20mm or less. Within such a range, an adhesive sheet having excellent peelability and less adhesive residue can be obtained.
  • the lower limit of the adhesive force B after curing is, for example, 0.01 N / 20 mm (preferably 0.001 N / 20 mm).
  • ultraviolet irradiation for example, using an ultraviolet irradiation device (manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd., trade name "UM-810"), ultraviolet rays of a high-pressure mercury lamp (characteristic wavelength: 365 nm, integrated light amount: 300 mJ / cm 2 ) are applied to the transfer layer. It is done by irradiating. Ultraviolet irradiation can be performed from the pressure-sensitive adhesive layer side.
  • UM-810 ultraviolet rays of a high-pressure mercury lamp
  • the ratio of the adhesive force I to the post-curing adhesive force B of the transfer layer at 23 ° C. when the adhesive layer is attached to the glass is 5 or more.
  • the adhesive force B after curing is 0.2 times or less (preferably 0.1 times or less, more preferably 0.05 times or less, still more preferably 0.005 times) the adhesive force I.
  • Adhesive strength I / adhesive strength after curing B is preferably 10 or more, more preferably 20 or more, and further preferably 200 or more. Within such a range, the effect of the present invention becomes remarkable.
  • the upper limit of (adhesive strength I / adhesive strength after curing B) is, for example, 1000, preferably 5000, and more preferably 10000. That is, in the above-mentioned adhesive sheet, the adhesive force B after curing can be 0.0001 times or more the adhesive force I.
  • the ratio of the initial adhesive force A of the transfer layer to the post-curing adhesive force B of the transfer layer is preferably 5 or more, more preferably 10 or more, and more preferably. It is 10 to 100, more preferably 30 to 80. Within such a range, an adhesive sheet having an excellent balance between the fixability and the peelability of the adherend can be obtained.
  • the anchoring force of the layer (for example, a transfer layer, a base material, and other layers) arranged in contact with the pressure-sensitive adhesive layer and the pressure-sensitive adhesive layer at 23 ° C. is preferably 2N / 20 mm or more. , More preferably 4N / 20 mm or more, further preferably 6N / 20 mm or more, and particularly preferably 8N / 20 mm or more.
  • the upper limit of the anchoring force is, for example, 30 N / 20 mm (preferably 50 N / 20 mm).
  • the anchoring force is measured by peeling the adhesive layer from the adjacent layer under the conditions of a peeling angle of 180 ° and a peeling speed (tensile speed) of 300 mm / min at 23 ° C.
  • the anchoring force of the layer (for example, the pressure-sensitive adhesive layer, the base material, and other layers) arranged in contact with the transfer layer and the transfer layer at 23 ° C. is preferably 2N / 20 mm or more. It is more preferably 4N / 20 mm or more, further preferably 6N / 20 mm or more, and particularly preferably 8N / 20 mm or more.
  • the upper limit of the anchoring force is, for example, 30 N / 20 mm (preferably 50 N / 20 mm).
  • the anchoring force is measured by peeling the transfer layer from the adjacent layer under the conditions of a peeling angle of 180 ° and a peeling speed (tensile speed) of 300 mm / min at 23 ° C.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention at a wavelength of 248 nm is preferably 50% or less, more preferably 30% or less, still more preferably 10% or less, and particularly preferably 5% or less.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet at a wavelength of 248 nm can be controlled by the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive layer and / or the substrate.
  • the components of the pressure-sensitive adhesive layer for example, the type of base polymer; the type of additives such as tackifiers and cross-linking agents; the blending amounts thereof, etc.
  • the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer for example, the type of base polymer; the type of additives such as tackifiers and cross-linking agents; the blending amounts thereof, etc.
  • the transmittance is controlled by adjusting the thickness of the base material and the like.
  • by lowering the light transmittance it is possible to promote the generation of strain on the pressure-sensitive adhesive layer and / or the base material, and reduce the laser output at the time of peeling.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention exhibits peelability with a low-power laser beam, if the pressure-sensitive adhesive sheet is used, damage to the adherend at the time of peeling is reduced and damage to the adherend is prevented. be able to.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention at a wavelength of 365 nm is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, still more preferably 70% or more. Within such a range, it is possible to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet in which the transfer layer is preferably cured by irradiation with active energy rays.
  • the haze value of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is preferably 70% or less, more preferably 65% or less. Within such a range, it is possible to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet in which the transfer layer is preferably cured by irradiation with active energy rays. In one embodiment, the haze value of the pressure-sensitive adhesive sheet is 20% or less. The lower the haze value of the pressure-sensitive adhesive sheet is, the more preferable it is, but the lower limit thereof is, for example, 0.1%.
  • the thickness of the adhesive sheet is preferably 1 ⁇ m to 300 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 200 ⁇ m. In one embodiment, the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet is 30 ⁇ m or less. If the pressure-sensitive adhesive sheet is thin, the strain generated in the pressure-sensitive adhesive layer can easily propagate to the transfer layer, and a pressure-sensitive adhesive sheet having excellent peelability can be obtained.
  • the distance between the pressure-sensitive adhesive layer and the transfer layer is preferably less than 50 ⁇ m, more preferably 30 ⁇ m or less, even more preferably. Is 25 ⁇ m or less, and particularly preferably 10 ⁇ m or less. Within such a range, the strain generated in the pressure-sensitive adhesive layer can easily propagate to the transfer layer, and a pressure-sensitive adhesive sheet having excellent peelability can be obtained.
  • the thickness of the transfer layer is preferably 1 ⁇ m to 30 ⁇ m, more preferably 2 ⁇ m to 20 ⁇ m, and further preferably 3 ⁇ m to 10 ⁇ m. Within such a range, the above effect becomes remarkable.
  • the initial indentation elastic modulus A of the transfer layer at 23 ° C. is preferably 0.1 MPa or more and less than 14 MPa, more preferably 0.1 MPa to 10 MPa, and further preferably 0.2 MPa to 8 MPa. Within such a range, an adhesive sheet having excellent fixing property can be obtained.
  • the indentation modulus can be measured by a single indentation method at 23 ° C. with an indentation speed of 10 nm / s and an indentation depth of 100 nm.
  • the adhesive strength of the transfer layer changes due to the irradiation of active energy rays and laser light, but in the present specification, the "initial indentation elastic modulus A" means the adhesive strength before irradiation with active energy rays and laser light. do.
  • the transfer layer is preferably a layer having a indentation elastic modulus B (also referred to as a post-curing elastic modulus B) at 23 ° C. of 14 MPa or more after being irradiated with ultraviolet rays of 300 mJ / cm 2 , preferably 15 MPa or more. It is more preferable to have a layer having a pressure of 20 MPa or more, and a layer having a pressure of 50 MPa or more is particularly preferable. Within such a range, an adhesive sheet having excellent peelability can be obtained. In addition, it is possible to prevent contamination of the adherend at the time of peeling.
  • the upper limit of the elastic modulus B after curing at 23 ° C. is, for example, 500 MPa (preferably 300 MPa).
  • the indentation elastic modulus B at 23 ° C. is preferably 20 times or more, preferably 30 times or more, the initial indentation elastic modulus A at 23 ° C. of the transfer layer. It is more preferable, it is more preferably 30 times to 1000 times, and it is particularly preferable that it is 50 times to 200 times. Within such a range, an adhesive sheet having an excellent balance between the fixability and the peelability of the adherend can be obtained.
  • the indentation elastic modulus B at 23 ° C. is preferably 5 times or more the indentation elastic modulus I at 23 ° C. of the pressure-sensitive adhesive layer, and is preferably 10 times or more. It is more preferably 50 times to 5000 times, more preferably 100 times to 3000 times, and particularly preferably 100 times to 3000 times. Within such a range, it is possible to optimize the deformation of each layer by laser light irradiation, and it is possible to obtain an adhesive sheet having excellent peelability by laser light irradiation. Such an adhesive sheet can realize reliable peelability in a narrow range.
  • the transfer layer contains an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive.
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may further contain an ultraviolet absorber and / or a photopolymerization initiator.
  • an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive an active energy ray-curable type containing a base polymer as a base material and an active energy ray-reactive compound (monomer or oligomer) capable of binding to the base polymer.
  • the pressure-sensitive adhesive (A1) is used.
  • an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive (A2) containing an active energy ray-reactive polymer is used as a base polymer.
  • the base polymer has a functional group capable of reacting with the photopolymerization initiator. Examples of the functional group include a hydroxyl group and a carboxyl group.
  • Examples of the base polymer used in the pressure-sensitive adhesive (A1) include natural rubber, polyisobutylene rubber, styrene / butadiene rubber, styrene / isoprene / styrene block copolymer rubber, recycled rubber, butyl rubber, polyisobutylene rubber, and nitrile rubber.
  • Examples include rubber-based polymers such as (NBR); silicone-based polymers; acrylic-based polymers. These polymers may be used alone or in combination of two or more. Of these, an acrylic polymer is preferable.
  • acrylic polymer examples include a hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester homopolymer or copolymer such as (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid cycloalkyl ester, and (meth) acrylic acid aryl ester.
  • examples thereof include a copolymer of the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester and another copolymerizable monomer.
  • Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include methyl ester, ethyl ester, propyl ester, isopropyl ester, butyl ester, isobutyl ester, s-butyl ester, t-butyl ester, pentyl ester and iso of (meth) acrylic acid.
  • Examples include decyl esters, octadecyl esters, and eicosyl esters.
  • Examples of the (meth) acrylic acid cycloalkyl ester include cyclopentyl ester and cyclohexyl ester of (meth) acrylic acid.
  • Examples of the (meth) acrylic acid aryl ester include phenyl (meth) acrylic acid and benzyl (meth) acrylic acid.
  • the content ratio of the constituent unit derived from the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester is preferably 40 parts by weight or more, and more preferably 60 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the base polymer.
  • Examples of the other copolymerizable monomers include carboxy group-containing monomers, acid anhydride monomers, hydroxy group-containing monomers, glycidyl group-containing monomers, sulfonic acid group-containing monomers, phosphate group-containing monomers, acrylamide, and acrylonitrile.
  • Examples include functional group-containing monomers.
  • Examples of the carboxy group-containing monomer include acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl (meth) acrylate, carboxypentyl (meth) acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid.
  • Examples of the acid anhydride monomer include maleic anhydride and itaconic anhydride.
  • Examples of the hydroxy group-containing monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate. Examples include 8-hydroxyoctyl acrylate, 10-hydroxydecyl (meth) acrylate, 12-hydroxylauryl (meth) acrylate, and (4-hydroxymethylcyclohexyl) methyl (meth) acrylate. Examples of the glycidyl group-containing monomer include glycidyl (meth) acrylate and methyl glycidyl (meth) acrylate.
  • Examples of the sulfonic acid group-containing monomer include styrene sulfonic acid, allyl sulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methyl propane sulfonic acid, (meth) acrylamide propane sulfonic acid, sulfopropyl (meth) acrylate, and (meth). ) Acryloyloxynaphthalene sulfonic acid can be mentioned.
  • Examples of the phosphoric acid group-containing monomer include 2-hydroxyethylacryloyl phosphate.
  • Examples of acrylamide include N-acryloyl morpholine. These may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.
  • the content ratio of the structural unit derived from the copolymerizable monomer is preferably 60 parts by weight or less, and more preferably 40 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the base polymer.
  • Acrylic polymers may contain structural units derived from polyfunctional monomers in order to form crosslinked structures in the polymer skeleton.
  • the polyfunctional monomer include hexanediol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and pentaerythritol di.
  • (Meta) Acrylate, Trimethylol Propanetri (Meta) Acrylate, Pentaerythritol Tri (Meta) Acrylate, Dipentaerythritol Hexa (Meta) Acrylate, Epoxy (Meta) Acrylate (ie, Polyglycidyl (Meta) Acrylate), Polyester (Meta) ) Acrylate and urethane (meth) acrylate can be mentioned. These may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.
  • the content ratio of the structural unit derived from the polyfunctional monomer is preferably 40 parts by weight or less, more preferably 30 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the base polymer.
  • the weight average molecular weight of the acrylic polymer is preferably 100,000 to 3 million, more preferably 200,000 to 2 million.
  • the weight average molecular weight can be measured by GPC (solvent: THF).
  • Examples of the active energy ray-reactive compound that can be used in the pressure-sensitive adhesive (A1) include functional groups having a polymerizable carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, and an acetylene group.
  • Examples thereof include photoreactive monomers or oligomers having.
  • Specific examples of the photoreactive monomer include trimethylol propanetri (meth) acrylate, tetramethylol methanetetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and dipentaerythritol mono.
  • monomers such as methacryloisocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (2-isocyanatoethyl methacrylate), m-isopropenyl- ⁇ , and ⁇ -dimethylbenzylisocyanate may be used.
  • Specific examples of the photoreactive oligomer include 2 to pentamers of the above-mentioned monomers.
  • the molecular weight of the photoreactive oligomer is preferably 100 to 3000.
  • the active energy ray-reactive compound a monomer such as epoxidized butadiene, glycidyl methacrylate, acrylamide, vinyl siloxane; or an oligomer composed of the monomer may be used.
  • the active energy ray-reactive compound a mixture of an organic salt such as an onium salt and a compound having a plurality of heterocycles in the molecule may be used.
  • the organic salt is cleaved by irradiation with active energy rays (for example, ultraviolet rays and electron beams) to generate ions, which act as a starting species to induce a ring-opening reaction of a heterocycle to form a three-dimensional network structure.
  • active energy rays for example, ultraviolet rays and electron beams
  • examples of the organic salts include iodonium salt, phosphonium salt, antimonium salt, sulfonium salt, borate salt and the like.
  • the heterocycle in the compound having a plurality of heterocycles in the molecule include oxylane, oxetane, oxolane, thiirane, and aziridine.
  • the content ratio of the active energy ray-reactive compound is preferably 0.1 part by weight to 500 parts by weight, and more preferably 5 parts by weight to 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. It is a part by weight, more preferably 40 parts by weight to 150 parts by weight.
  • the active energy ray-reactive polymer (base polymer) contained in the pressure-sensitive adhesive (A2) for example, a functional group having a carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, or an acetylene group can be used.
  • a functional group having a carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, or an acetylene group
  • examples include the polymer having.
  • Specific examples of the active energy ray-reactive polymer include a polymer composed of a polyfunctional (meth) acrylate; a photocationically polymerized polymer; a cinnamoyl group-containing polymer such as polyvinyl cinnamate; a diazotized aminonovolak resin; polyacrylamide. ; Etc. can be mentioned.
  • an active energy ray-reactive polymer configured by introducing an active energy ray-polymerizable carbon-carbon multiple bond into the side chain, main chain and / or main chain end of the acrylic polymer.
  • a method for introducing a radiation-polymerizable carbon-carbon double bond into an acrylic polymer for example, a raw material monomer containing a monomer having a predetermined functional group (first functional group) is copolymerized to obtain an acrylic polymer. After obtaining the compound, a compound having a predetermined functional group (second functional group) capable of reacting with the first functional group and having a radiopolymerizable carbon-carbon double bond is carbon-carbon. Examples thereof include a method of subjecting an acrylic polymer to a condensation reaction or an addition reaction while maintaining the radiation polymerizable property of the double bond.
  • Examples of the combination of the first functional group and the second functional group include a carboxy group and an epoxy group, an epoxy group and a carboxy group, a carboxy group and an aziridyl group, an aziridyl group and a carboxy group, a hydroxy group and an isocyanate group, and an isocyanate group. And hydroxy groups.
  • a combination of a hydroxy group and an isocyanate group or a combination of an isocyanate group and a hydroxy group is preferable from the viewpoint of ease of reaction tracking.
  • it is technically difficult to prepare a polymer having a highly reactive isocyanate group but from the viewpoint of easy preparation or availability of an acrylic polymer, the first functionality on the acrylic polymer side is described above.
  • the group is a hydroxy group and the second functional group is an isocyanate group.
  • the isocyanate compound having both a radiopolymerizable carbon-carbon double bond and an isocyanate group as a second functional group include methacryloyl isocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate, and m-isopropenyl- ⁇ . Examples include ⁇ -dimethylbenzyl isocyanate.
  • the acrylic polymer having the first functional group preferably contains the above-mentioned structural unit derived from the hydroxy group-containing monomer, such as 2-hydroxyethyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, and diethylene glucol monovinyl ether. Those containing a structural unit derived from the ether-based compound of the above are also preferable.
  • the pressure-sensitive adhesive (A2) may further contain the active energy ray-reactive compound (monomer or oligomer).
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may contain an ultraviolet absorber and / or a photopolymerization initiator. Details of the UV absorber and photopolymerization initiator used will be described later.
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may contain a photosensitizer.
  • the photosensitizer include trade name "UVS-581" manufactured by Kawasaki Kasei Kogyo Co., Ltd., 9,10-diethoxyanthracene (for example, trade name "UVS-1101” manufactured by Kawasaki Kasei Kogyo Co., Ltd.) and the like. ..
  • Other examples of the above photosensitizer include 9,10-dibutoxyanthracene (eg, manufactured by Kawasaki Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name "UVS-1331"), 2-isopropylthioxanthone, benzophenone, thioxanthone derivative, 4,4. '-Bis (dimethylamino) benzophenone and the like can be mentioned.
  • the thioxanthone derivative include ethoxycarbonylthioxanthone and isopropylthioxanthone.
  • the content ratio of the photosensitizer is preferably 0.01 parts by weight to 2 parts by weight, and more preferably 0.5 parts by weight to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer.
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive contains a cross-linking agent.
  • the cross-linking agent include isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, oxazoline-based cross-linking agents, aziridine-based cross-linking agents, melamine-based cross-linking agents, peroxide-based cross-linking agents, urea-based cross-linking agents, and metal alkoxide-based cross-linking agents.
  • examples thereof include a metal chelate-based cross-linking agent, a metal salt-based cross-linking agent, a carbodiimide-based cross-linking agent, and an amine-based cross-linking agent.
  • the content ratio of the cross-linking agent is preferably 0.5 parts by weight to 10 parts by weight, and more preferably 1 part by weight to 8 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer of the pressure-sensitive adhesive.
  • an isocyanate-based cross-linking agent is preferably used.
  • Isocyanate-based cross-linking agents are preferable because they can react with various functional groups.
  • Specific examples of the isocyanate-based cross-linking agent include lower aliphatic polyisocyanates such as butylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate; alicyclic isocyanates such as cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate; 2,4-.
  • Aromatic isocyanates such as tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate; trimethylol propane / tolylene diisocyanate trimer adduct (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate L”), trimethylol propane / Isocyanurate adducts such as hexamethylene diisocyanate trimeric adduct (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate HL”), isocyanurates of hexamethylene diisocyanate (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate HX”); etc. Can be mentioned.
  • a cross-linking agent having 3 or more isocyanate groups is used.
  • the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may further contain any suitable additive, if necessary.
  • the additive include an active energy ray polymerization accelerator, a radical trapping agent, a coupling agent (for example, a silane coupling agent), a tackifier, a plasticizer (for example, a trimellitic acid ester-based plasticizer, and a pyromellitic acid). Ester plasticizers, etc.), pigments, dyes, fillers, anti-aging agents, conductive materials, antistatic agents, light stabilizers, release modifiers, softeners, surfactants, flame retardants, antioxidants, particles, ultraviolet rays Examples include absorbents.
  • Photopolymerization initiator Any suitable initiator can be used as the photopolymerization initiator.
  • the photopolymerization initiator include 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl (2-hydroxy-2-propyl) ketone, ⁇ -hydroxy- ⁇ , ⁇ '-dimethylacetophenone, and 2-methyl-2-hydroxypropio.
  • ⁇ -Ketol compounds such as phenone and 1-hydroxycyclohexylphenylketone; methoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) -Phenyl] -2-Acetphenone compounds such as morpholinopropane-1, benzoin ether compounds such as benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether and anisoin methyl ether; ketal compounds such as benzyl dimethyl ketal; 2-naphthalene sulfonyl chloride and the like.
  • Aromatic sulfonyl chloride compounds such as 1-phenone-1,1-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime; benzophenone, benzoylbenzoic acid, 3,3'-dimethyl-4 -Benzophenone compounds such as methoxybenzophenone; thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2,4 -Tioxane compounds such as diethylthioxanson and 2,4-diisopropylthioxanson; camphorquinone; halogenated ketone; acylphosphinoxide; acylphosphonate and the like can be mentioned.
  • the amount of the photopolymerization initiator used can be set to any suitable amount.
  • a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in the range of 400 nm or less preferably 380 nm or less, more preferably 340 nm or less is used.
  • the amount of the photopolymerization initiator used can be set to any appropriate amount.
  • a commercially available product may be used as the photopolymerization initiator.
  • a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in the range of 400 nm or less BASF's trade names "Irgacure 127", “Irgacure 369", “Irgacure 369E”, “Irgacure 379”, “Irgacure 379EG”, “Irgacure 379EG”
  • Examples thereof include “Irgacure 819", “Irgacure TOP", “Irgacure 784", and "Irgacure OXE01".
  • the thickness of the adhesive layer is preferably 30 ⁇ m or less, more preferably 20 ⁇ m or less, and further preferably 10 ⁇ m or less. Within such a range, the above effect becomes remarkable.
  • the lower limit of the pressure-sensitive adhesive layer thickness is, for example, 1 ⁇ m (preferably 0.5 ⁇ m).
  • the indentation elastic modulus I of the pressure-sensitive adhesive layer at 23 ° C. is preferably 0.05 MPa to 20 MPa, more preferably 0.08 MPa to 10 MPa, and further preferably 0.08 MPa to 5 MPa. Within such a range, it is possible to optimize the deformation of each layer by laser light irradiation, and it is possible to obtain an adhesive sheet having excellent peelability by laser light irradiation. Such an adhesive sheet can realize reliable peelability in a narrow range.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive layer at a wavelength of 248 nm is preferably 50% or less, more preferably 30% or less, still more preferably 10% or less, and particularly preferably 5% or less.
  • the light transmittance of the pressure-sensitive adhesive layer at a wavelength of 365 nm is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, and further preferably 70% or more.
  • the haze value of the pressure-sensitive adhesive sheet of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably 70% or less, more preferably 65% or less. In one embodiment, the haze value of the pressure-sensitive adhesive layer is 20% or less. The lower the haze value of the pressure-sensitive adhesive layer, the more preferable, but the lower limit thereof is, for example, 0.1%.
  • the pressure-sensitive adhesive layer contains any suitable pressure-sensitive adhesive.
  • any suitable pressure-sensitive adhesive can be used as long as the effects of the present invention can be obtained.
  • a pressure-sensitive pressure-sensitive adhesive may be used.
  • Pressure-sensitive adhesive examples include acrylic adhesives, rubber adhesives, vinyl alkyl ether adhesives, silicone adhesives, polyester adhesives, polyamide adhesives, urethane adhesives, and styrene-diene blocks. Copolymerization system adhesives, etc. may be mentioned. Of these, an acrylic pressure-sensitive adhesive or a rubber-based pressure-sensitive adhesive is preferable, and an acrylic-based pressure-sensitive adhesive is more preferable.
  • the pressure-sensitive adhesive may be used alone or in combination of two or more. In one embodiment, from the viewpoint of UV absorption, a pressure-sensitive adhesive containing an aromatic ring and / or a base polymer having a double bond is used. From such a point, the acrylic pressure-sensitive adhesive can be preferably used.
  • an acrylic pressure-sensitive adhesive for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive using an acrylic polymer (homoromer or copolymer) using one or more (meth) acrylic acid alkyl esters as a monomer component as a base polymer.
  • the (meth) acrylic acid alkyl ester include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and (meth).
  • the acrylic polymer is a unit corresponding to other monomer components copolymerizable with the (meth) acrylic acid alkyl ester, if necessary, for the purpose of modifying cohesive force, heat resistance, crosslinkability and the like. May include.
  • monomer components include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl acrylate, carboxypentyl acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid; maleic anhydride and icotanic anhydride.
  • Acid Anhydromer Monomers such as (meth) hydroxyethyl acrylate, (meth) hydroxypropyl acrylate, (meth) hydroxybutyl acrylate, (meth) hydroxyhexyl acrylate, (meth) hydroxyoctyl acrylate, (meth) Hydromer group-containing monomers such as hydroxydecyl acrylate, hydroxylauryl (meth) acrylate, and (4-hydroxymethylcyclohexyl) methylmethacrylate; styrene sulfonic acid, allyl sulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methyl propane sulfonic acid.
  • Maleimide-based monomers such as N-cyclohexyl maleimide, N-isopropylmaleimide, N-laurylmaleimide, N-phenylmaleimide; N-methylitaconimide, N-ethylitaconimide, N-butylitaconimide, N-octylitaconimide , N-2-ethylhexylitaconimide, N-cyclohexylitaconimide, N-laurylitaconimide and other itaconeimide-based monomers; Succinimide-based monomers such as N- (meth) acryloyl-8-oxyoctamethylene succinimide; vinyl acetate, vinyl propionate, N-vinylpyrrolidone, methylvinylpyrro Vinyls such as lidone, vinylpyridine, vinylpiperidone, vinylpyrimidine, vinylpiperazin, vinylpyrazine, vinylpyrrole, vinylimidazole,
  • Acrylic acid ester-based monomers having such factors: hexanediol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol.
  • Polyfunctional monomers such as di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, epoxy acrylate, polyester acrylate, urethane acrylate; isoprene, butadiene, Olefin-based monomers such as isobutylene; vinyl ether-based monomers such as vinyl ether and the like can be mentioned. These monomer components may be used alone or in combination of two or more.
  • the rubber-based pressure-sensitive adhesive examples include natural rubber; polyisoprene rubber, styrene / butadiene (SB) rubber, styrene / isoprene (SI) rubber, styrene / isoprene / styrene block copolymer (SIS) rubber, and styrene / butadiene.
  • SBS -Sterethane block copolymer
  • SEBS styrene / ethylene / butylene / styrene block copolymer
  • SEPS styrene / ethylene / propylene / styrene block copolymer
  • SEP rubber-based pressure-sensitive adhesives using polymer
  • the pressure sensitive pressure-sensitive adhesive may contain any suitable additive, if necessary.
  • the additive include a cross-linking agent, a tackifier (for example, a rosin-based tackifier, a terpene-based tackifier, a hydrocarbon-based tackifier, etc.), and a plasticizer (for example, a trimellitic acid ester-based plasticizer). , Pyromellitic acid ester plasticizer), pigments, dyes, anti-aging agents, conductive materials, antistatic agents, light stabilizers, release modifiers, softeners, surfactants, flame retardants, antioxidants, UV absorbers , Particles and the like.
  • cross-linking agent examples include isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, melamine-based cross-linking agents, peroxide-based cross-linking agents, urea-based cross-linking agents, metal alkoxide-based cross-linking agents, metal chelate-based cross-linking agents, and metals.
  • examples thereof include a salt-based cross-linking agent, a carbodiimide-based cross-linking agent, an oxazoline-based cross-linking agent, an aziridine-based cross-linking agent, and an amine-based cross-linking agent.
  • an isocyanate-based cross-linking agent or an epoxy-based cross-linking agent is preferable.
  • a cross-linking agent having an aromatic ring and / or a double bond for example, an aromatic isocyanate-based cross-linking agent is used.
  • isocyanate-based cross-linking agent examples include lower aliphatic polyisocyanates such as butylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate; alicyclic isocyanates such as cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate; 2,4-.
  • Aromatic isocyanates such as tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate; trimethylol propane / tolylene diisocyanate trimer adduct (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate L”), trimethylol propane / Isocyanurate adducts such as hexamethylene diisocyanate trimeric adduct (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate HL”), isocyanurates of hexamethylene diisocyanate (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate HX”); etc.
  • the content of the isocyanate-based cross-linking agent can be set to an arbitrary appropriate amount according to the desired adhesive strength, and is typically 0.1 part by weight to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. It is more preferably 0.5 parts by weight to 10 parts by weight.
  • epoxy-based cross-linking agent examples include N, N, N', N'-tetraglycidyl-m-xylenediamine, diglycidylaniline, and 1,3-bis (N, N-glycidylaminomethyl) cyclohexane (Mitsubishi Gas).
  • sorbitan polyglycidyl ether trimethylolpropane polyglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, o-phthalic acid diglycidyl ester, triglycidyl-tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, resorcin diglycidyl ether, bisphenol Examples thereof include -S-diglycidyl ether and epoxy resins having two or more epoxy groups in the molecule.
  • the content of the epoxy-based cross-linking agent can be set to an arbitrary appropriate amount depending on the desired adhesive strength, and is typically 0.01 parts by weight to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. It is more preferably 0.03 part by weight to 5 parts by weight.
  • tackifier examples include rosin-based resins (eg, rosin ester resins, etc.), terpene-based resins (eg, terpenephenol copolymers (terpene-modified phenolic resins), hydrogenated terpene resins, etc.), and kumaron inden-based resins. , Alicyclic saturated hydrocarbon-based resin, petroleum-based resin (for example, aliphatic / aromatic copolymerized petroleum resin, hydrocarbon-based petroleum resin such as aromatic petroleum resin, etc.), phenol-based resin and the like.
  • rosin-based resins eg, rosin ester resins, etc.
  • terpene-based resins eg, terpenephenol copolymers (terpene-modified phenolic resins), hydrogenated terpene resins, etc.
  • kumaron inden-based resins examples include kumaron inden-based resins.
  • Alicyclic saturated hydrocarbon-based resin for example,
  • a cross-linking agent having an aromatic ring and / or a double bond for example, a rosin-based resin
  • the content of the tackifier can be set to an arbitrary appropriate amount according to the desired adhesive strength, and is typically 1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base polymer. More preferably, it is 10 parts by weight to 30 parts by weight.
  • the substrate may be composed of any suitable resin.
  • the resin include polyolefin resins such as polyethylene resins, polypropylene resins, polybutene resins, and polymethylpentene resins, polyurethane resins, polyester resins, polyimide resins, polyether ketone resins, and polystyrene resins.
  • polyolefin resins such as polyethylene resins, polypropylene resins, polybutene resins, and polymethylpentene resins, polyurethane resins, polyester resins, polyimide resins, polyether ketone resins, and polystyrene resins.
  • resins polyvinyl chloride resins, polyvinylidene chloride resins, fluororesins, silicon resins, cellulose resins, ionomer resins and the like. Of these, a polyolefin-based resin is preferable.
  • the base material is composed of at least one selected from the group consisting of polyethylene terephthalate resin, polyimide resin, polystyrene resin, and polycarbonate resin.
  • a substrate made of these resins is advantageous in that it has a low light transmittance at a wavelength of 248 nm.
  • the thickness of the base material is preferably 2 ⁇ m to 300 ⁇ m, more preferably 2 ⁇ m to 100 ⁇ m, and further preferably 2 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the thickness of the substrate is less than 50 ⁇ m, more preferably 30 ⁇ m or less, still more preferably 20 ⁇ m or less, particularly preferably 10 ⁇ m or less, and most preferably 5 ⁇ m or less. ..
  • the indentation elastic modulus of the substrate at 23 ° C. is preferably 5000 MPa or less, more preferably 3000 MPa or less, and further preferably 1000 MPa or less. Within such a range, it is possible to use a substrate which is difficult to absorb the strain generated in the pressure-sensitive adhesive layer and easily propagates the strain to the transfer layer.
  • the lower limit of the indentation elastic modulus of the substrate at 23 ° C. is preferably 1 MPa, more preferably 5 MPa, and even more preferably 10 MPa. Within such a range, it is possible to obtain an adhesive sheet having appropriate rigidity and excellent handleability.
  • the total light transmittance of the base material is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, further preferably 90% or more, and particularly preferably 95% or more.
  • the upper limit of the total light transmittance of the base material is, for example, 98% (preferably 99%).
  • the pressure-sensitive adhesive sheet can be produced by any suitable method.
  • the pressure-sensitive adhesive sheet can be obtained, for example, by applying the above-mentioned pressure-sensitive adhesive forming the pressure-sensitive adhesive layer and the transfer layer on a base material or a release liner, respectively.
  • Coating methods include bar coater coating, air knife coating, gravure coating, gravure reverse coating, reverse roll coating, lip coating, die coating, dip coating, offset printing, flexographic printing, screen printing, etc.
  • a pressure-sensitive adhesive layer may be formed on a release liner, a transfer layer may be formed on another release liner, and these may be bonded together, or a pressure-sensitive adhesive sheet may be formed by bonding these to a base material.
  • the adhesive sheet of the present invention can be used to temporarily fix any suitable workpiece (eg, electronic component) to be machined and / or transferred.
  • any suitable workpiece eg, electronic component
  • a method of using the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention for example, (i) an adhesive layer is attached to a support, and (ii) a processed member is attached to and fixed to a transfer layer of an adherend sheet, and (ii). ) The member to be processed is processed or transferred, and (iii) the pressure-sensitive adhesive sheet is irradiated with active energy rays (for example, ultraviolet rays) to reduce the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive sheet on the transfer layer side, and (iv) exhibiting peelability.
  • active energy rays for example, ultraviolet rays
  • Examples thereof include a method of irradiating a desired portion with a laser beam so as to cause strain in the adhesive layer.
  • the member to be machined can be peeled off by natural drop.
  • the adhesive sheet of the present invention the adhesive force can be reduced to the extent that it naturally falls, so that even a very small (for example, 50 ⁇ m square) workpiece can be individually peeled off. Is.
  • the support in (i) above for example, a glass plate is used.
  • the support is preferably light transmissive.
  • the total light transmittance of the support is, for example, 50% or more, preferably 80% or more.
  • the active energy ray in the above (iii) is irradiated from the pressure-sensitive adhesive layer side (substantially, the support side) of the pressure-sensitive adhesive sheet.
  • the laser beam in the above (iv) is irradiated from the pressure-sensitive adhesive layer side (substantially, the support side) of the pressure-sensitive adhesive sheet.
  • the wavelength of the laser beam is 200 nm to 300 nm.
  • an ultraviolet irradiation device manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd., trade name "UM-810" from the adhesive layer side to obtain ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp (specific wavelength: 365 nm, integration). After irradiating the entire surface with a light amount of 300 mJ / cm 2 ), the adhesive strength was measured in the same manner, and the adhesive strength was determined to be B after curing.
  • Indentation modulus (before curing) The indentation elastic modulus of the pressure-sensitive adhesive layer and the transfer layer was measured using a tripoindenter TI-950 manufactured by Hysiron. The measurement was carried out by a single indentation method at 23 ° C. at an indentation speed of 10 nm / s and an indentation depth of 100 nm.
  • the other PET separator was peeled off to expose the transfer layer, and the indentation elastic modulus was measured using a tripoindenter TI-950 manufactured by Hysiron.
  • the measurement was carried out by a single indentation method at 23 ° C. at an indentation speed of 10 nm / s and an indentation depth of 100 nm.
  • Haze value The haze value of the adhesive sheet was measured using a haze meter (trade name "HAZE METER HM-150", manufactured by Murakami Color Technology Research Institute).
  • an ultraviolet irradiation device manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd., trade name "UM-810" was used to irradiate the entire surface with ultraviolet rays (specific wavelength: 365 nm, integrated light amount: 300 mJ / cm 2 ) of a high-pressure mercury lamp.
  • a laser beam with a wavelength of 248 nm irradiation area: 130 ⁇ m ⁇ 105 ⁇ m, output 100 mJ / cm 2
  • ⁇ spontaneous fall
  • a monomer composition was prepared by mixing 100 parts by weight of 2-methoxyethyl acrylate, 27 parts by weight of acryloyl morpholine, and 22 parts by weight of 2-hydroxyethyl acrylate. Next, nitrogen was introduced into a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirrer, and under a nitrogen atmosphere, 500 parts by weight of toluene, 149 parts by weight of the above-mentioned monomer composition, and 0.3 of benzoyl peroxide (BPO). The parts by weight were charged and stirred at 60 ° C. for 5 hours.
  • BPO benzoyl peroxide
  • Example 1 (Preparation of adhesive) Acrylic polymer solution I containing 100 parts by weight of acrylic polymer I, 2 parts by weight of a cross-linking agent (manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate L"), adhesive resin (manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd., trade name "D-125"” ) 30 parts by weight was added to obtain a pressure-sensitive adhesive (1) for forming a pressure-sensitive adhesive layer.
  • a cross-linking agent manufactured by Toso Co., Ltd., trade name "Coronate L
  • adhesive resin manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd., trade name "D-125"”
  • the pressure-sensitive adhesive (A) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 75 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a transfer layer having a thickness of 5 ⁇ m.
  • a pressure-sensitive adhesive layer with a PET separator is attached to one surface of a PET substrate (manufactured by Toray Industries, Inc., trade name "Lumirror 2DC61", thickness: 2 ⁇ m), and a transfer layer with a PET separator is attached to the other surface.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet composed of a PET separator / adhesive layer / base material / transfer layer / PET separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 2 A pressure-sensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the acrylic polymer solution V containing 100 parts by weight of krill polymer V was used instead of the acrylic polymer solution IV. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 3 Acrylic polymer solution VI containing 100 parts by weight of acrylic polymer VI, 5 parts by weight of a cross-linking agent (manufactured by Tosoh, trade name "Coronate L"), 10 parts by weight of a photopolymerization initiator (manufactured by BASF, trade name "Irgacure 127"). The parts were added to obtain a pressure-sensitive adhesive (C) for forming a transfer layer.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the transfer layer was formed by using the pressure-sensitive adhesive (C) instead of the pressure-sensitive adhesive (A). The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Acrylic polymer solution VI containing 100 parts by weight of acrylic polymer VI, 5 parts by weight of a cross-linking agent (manufactured by Tosoh, trade name "Coronate L"), 10 parts by weight of a photopolymerization initiator (manufactured by BASF, trade name "Irgacure 127"). A part and 5 parts by weight of silica fine particles (manufactured by Admatex Co., Ltd., trade name "YA050C”) were added to obtain a pressure-sensitive adhesive (D) for forming a transfer layer.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the transfer layer was formed by using the pressure-sensitive adhesive (D) instead of the pressure-sensitive adhesive (A). The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 5 A pressure-sensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 3 except that the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer was 20 ⁇ m. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 6 (Preparation of adhesive) A pressure-sensitive adhesive (1) for forming a pressure-sensitive adhesive layer was obtained in the same manner as in Example 1.
  • Acrylic polymer solution VI containing 100 parts by weight of acrylic polymer VI, 5 parts by weight of a cross-linking agent (manufactured by Tosoh, trade name "Coronate L"), 10 parts by weight of a photopolymerization initiator (manufactured by BASF, trade name "Irgacure 127"). 5 parts by weight of an ultraviolet absorber (manufactured by BASF, trade name "Tinuvin 405", molecular weight: 583.8) was added to obtain a pressure-sensitive adhesive (E) for forming a transfer layer.
  • a cross-linking agent manufactured by Tosoh, trade name "Coronate L
  • a photopolymerization initiator manufactured by BASF, trade name "Irgacure 127”
  • an ultraviolet absorber manufactured by BASF, trade name "Tinuvin 405"
  • the above-mentioned pressure-sensitive adhesive (1) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 38 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 4 ⁇ m.
  • the pressure-sensitive adhesive (E) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 75 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a transfer layer having a thickness of 5 ⁇ m.
  • a pressure-sensitive adhesive layer with a PET separator is attached to one surface of a PET substrate (manufactured by Toray Industries, Inc., trade name "Lumirror S10", thickness: 25 ⁇ m), and a transfer layer with a PET separator is attached to the other surface.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet composed of a PET separator / adhesive layer / base material / transfer layer / PET separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 7 An adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 3 except that the thickness of the transfer layer was 25 ⁇ m. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Example 8 Preparation of adhesive
  • 8.5 parts by weight of a cross-linking agent manufactured by Tosoh Corporation, trade name "Coronate L"
  • an acrylic polymer solution II containing 100 parts by weight of acrylic polymer II
  • a pressure-sensitive adhesive (C) for forming a transfer layer was obtained in the same manner as in Example 3.
  • Adhesive sheet The above-mentioned pressure-sensitive adhesive (2) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 38 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 4 ⁇ m.
  • the pressure-sensitive adhesive (C) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 75 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a transfer layer having a thickness of 5 ⁇ m.
  • a pressure-sensitive adhesive layer with a PET separator is attached to one surface of a PET substrate (manufactured by Toray Industries, Inc., trade name "Lumirror 2DC61", thickness: 2 ⁇ m), and a transfer layer with a PET separator is attached to the other surface.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet composed of a PET separator / adhesive layer / base material / transfer layer / PET separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • the pressure-sensitive adhesive (C) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 75 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a transfer layer having a thickness of 5 ⁇ m.
  • a pressure-sensitive adhesive layer with a PET separator is attached to one surface of a PET substrate (manufactured by Toray Industries, Inc., trade name "Lumirror 2DC61", thickness: 2 ⁇ m), and a transfer layer with a PET separator is attached to the other surface.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet composed of a PET separator / adhesive layer / base material / transfer layer / PET separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • a pressure-sensitive adhesive (1) for forming a pressure-sensitive adhesive layer was obtained in the same manner as in Example 1.
  • a pressure-sensitive adhesive (F) for forming a transfer layer was obtained in the same manner as in Comparative Example 3.
  • Adhesive sheet The above-mentioned pressure-sensitive adhesive (1) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 38 ⁇ m), and then heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 4 ⁇ m.
  • the pressure-sensitive adhesive (F) was applied to the silicone-treated surface of the PET separator (thickness: 75 ⁇ m), and then heated at 120 ° C.
  • a pressure-sensitive adhesive layer with a PET separator is attached to one surface of a PET substrate (manufactured by Toray Industries, Inc., trade name "Lumirror S27", thickness: 75 ⁇ m), and a transfer layer with a PET separator is attached to the other surface.
  • a pressure-sensitive adhesive sheet composed of a PET separator / adhesive layer / base material / transfer layer / PET separator was obtained. The obtained adhesive sheet was subjected to the above evaluation. The results are shown in Table 1.
  • Adhesive layer 10 Adhesive layer 20 Transfer layer 30 Base material 100, 200 Adhesive sheet

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

被着体を剥離可能に仮固定し得る粘着シートであって、低出力なレーザー光で剥離性が発現され、剥離後に被着体を洗浄する工程を不要とし得、かつ、剥離発現箇所が狭範囲である粘着シートを提供する。　本発明の粘着シートは、粘着剤層と、該粘着剤層の片側に配置された転写層とを備える粘着シートであって、該転写層が、活性エネルギー線の照射により、硬化する層であり、該粘着シートの該粘着剤層をガラスに貼着した際の２３℃における粘着力Ｉが、２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、該粘着シートの該粘着剤層をガラスに貼着した際の２３℃における粘着力Ｉの、該転写層に３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後の２３℃における粘着力Ｂに対する比が、５以上である。

Description

粘着シート
　本発明は、粘着シートに関する。
　電子部品に代表される各種の部材を加工する際、粘着シートを用いて部材を支持体に仮固定し、移送、加工等の後に、加工済みの部材を支持体から剥離することが一般に行われている。例えば、特許文献１には、基板（被加工部材）を接着剤層および分離層を介して支持体に仮固定した状態で加工し、加工後、分離層をレーザー光照射により破壊して、接着剤層ごと基板を支持体から剥離し、その後、基板から接着剤層を除去する方法が記載されている。しかしながら、上記方法では、部材から接着剤層を除去し、部材の非接着面を洗浄する工程を必要とし、生産コストの面で問題がある。また、高出力でレーザー光を照射した場合に、部材へダメージを与えるという問題もある。
　また、特許文献２には、複数の被加工部材を接着剤層を介してキャリアに仮固定し、接着剤層へレーザービームを集中さてブリスターを発生させることにより、被加工部材の一部を選択的に、キャリアから分離、転写する方法が記載されている。しかしながら、この方法では、レーザー照射後に発生したブリスターが経時で広がり、その結果、キャリアの剥がれ、転写を要しない被加工部材の不要な脱落が生じるという問題がある。
特許５８７５８５０号 特許６０５３７５６号
　本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、被着体を剥離可能に仮固定し得る粘着シートであって、低出力なレーザー光で剥離性が発現され、剥離後に被着体を洗浄する工程を不要とし得、かつ、剥離発現箇所が狭範囲である粘着シートを提供することにある。
　本発明の粘着シートは、粘着剤層と、該粘着剤層の片側に配置された転写層とを備える粘着シートであって、該転写層が、活性エネルギー線の照射により、硬化する層であり、該粘着シートの該粘着剤層をガラス板に貼着した際の２３℃における粘着力Ｉが、２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、該粘着シートの該粘着剤層をガラス板に貼着した際の２３℃における粘着力Ｉの、該転写層に３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後の２３℃における粘着力Ｂに対する比が、５以上である。
　１つの実施形態においては、上記粘着シートは、上記粘着剤層と、上記転写層との間に、基材をさらに備える。
　１つの実施形態においては、３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後に、上記転写層の２３℃における押し込み弾性率Ｂが、上記粘着剤層の２３℃における押し込み弾性率Ｉの５倍以上となる。
　１つの実施形態においては、上記転写層が、活性エネルギー線硬化型粘着剤を含み、該活性エネルギー線硬化型粘着剤が、ベースポリマーとして、アクリル系ポリマーを含む。
　１つの実施形態においては、上記粘着シートは、該粘着シートを用いて部材を支持体に仮固定し、移送および／または加工等の後に、レーザー光照射により該部材を支持体から剥離する用途に用いられる。
　本発明によれば、被着体を剥離可能に仮固定し得る粘着シートであって、低出力なレーザー光で剥離性が発現され、剥離後に被着体を洗浄する工程を不要とし得、かつ、剥離発現箇所が狭範囲である粘着シートを提供することができる。
（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。（ｂ）は、本発明の別の実施形態による粘着シートの概略断面図である。 （ａ）は、実施例１における転写層表面の顕微鏡写真図である。（ｂ）は、比較例1における転写層表面の顕微鏡写真図である。
Ａ．粘着シートの概要
　図１（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この実施形態による粘着シート１００は、粘着剤層１０と、粘着剤層１０の片側に配置された転写層２０とを備える。図１（ｂ）は、本発明の別の実施形態による粘着シートの概略断面図である。この実施形態による粘着シート２００は、粘着剤層１０と転写層２０との間に、基材３０をさらに備える。図示していないが、本発明の粘着シートは、使用に供するまでの間、粘着面を保護する目的で、粘着剤層および転写層の外側に剥離ライナーが設けられていてもよい。また、粘着シートは、本発明の効果が得られる限り、任意の適切なその他の層をさらに含んでいてもよい。
　本発明の粘着シートは、当該粘着シートを用いて部材を支持体（例えば、ガラス基体）に仮固定し、移送、加工等の後に、当該部材を支持体から剥離する用途に用いられ得る。剥離の際には、レーザー光照射が行われ、所望の位置にある部材のみがピンポイントで剥離され得る。
　上記転写層は、活性エネルギー線の照射により、硬化する層である。より詳細には、上記転写層は、被着体を固定するための粘着性を有し、活性エネルギー線の照射により硬化して当該粘着性が低下するように構成される。硬化後においても、被着体を固定し得る程度の粘着力（例えば、被着体が自然落下しない程度の粘着力）は残存していることが好ましい。１つの実施形態においては、活性エネルギー線を照射することにより、転写層全体の粘着力が低下する。活性エネルギー線としては、例えば、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線（熱線）、ラジオ波、アルファ線、ベータ線、電子線、プラズマ流、電離線、粒子線等が挙げられる。好ましくは、紫外線である。
　上記粘着剤層は、本発明の効果が得られる限り、任意の適切な構成であり得る。１つの実施形態においては、上記粘着剤層は、感圧粘着剤から構成される。上記粘着シートは、粘着剤層を支持体（例えば、ガラス基体）に貼着して用いることができる。上記粘着シートにおいては、レーザー光照射により上記粘着剤層（基材を有する構成においては、さらに基材）に部分的なひずみが生じ、このひずみが転写層に伝搬して、転写層表面（貼着面）が一時的に形状変化することにより、当該箇所に配置された被着体を剥離させることが可能となる。本発明においては、粘着剤層の成分（例えば、ベースポリマーの種類；粘着付与剤、架橋剤等の添加剤の種類；これらの配合量等）を調整することより、粘着剤層が所定波長のレーザー光を吸収し得、その結果、粘着剤層のひずみが生じやすくなる。基材もまた、その構成材料を適切に選択することにより、ひずみが生じやすい基材とすることができる。また、上記のように、転写層を硬化させた後に、レーザー光照射を行うことにより、ひずみ伝搬による剥離性を好ましく発現させることができる。本発明においては、上記の作用により、剥離性が発現するため、高出力なレーザー光を必要とせず、剥離後に被着体を洗浄する工程が不要となり、かつ、剥離発現箇所を狭範囲とすることができる。また、剥離後においては、転写層表面形状の変化が持続せず（すなわち、経時で広範囲化することがなく、むしろ、変化前の形状に戻り得る）、そのため、剥離を所望しない箇所において、被着体が不要に脱落する等の不具合を防止することができる。
　上記粘着シートの粘着剤層をガラス板に貼着した際の２３℃における粘着力Ｉは、２Ｎ／２０ｍｍ以上である。当該粘着力Ｉを高くすることにより、レーザー光照射による各層の変形を適性化することができ、剥離発現箇所を狭範囲とすることができ、剥離を所望しない箇所において、被着体が不要に脱落する等の不具合を防止することができる。上記粘着力Ｉは、好ましくは２Ｎ／２０ｍｍ～２５Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは５Ｎ／２０ｍｍ～２０Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、上記本発明の効果は顕著となる。粘着力は、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じて測定される。具体的には、２ｋｇのローラーを１往復により粘着シートの粘着剤層をガラス板（算術平均表面粗さＲａ：５０±２５ｎｍ）に貼着し、２３℃下で３０分間放置した後、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、粘着シートを引きはがして測定される。
　上記粘着シートの転写層をステンレス板に貼着した直後の２３℃における初期粘着力Ａは、好ましくは１Ｎ／２０ｍｍ～２０Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは１．５Ｎ／２０ｍｍ～１５Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは２Ｎ／２０ｍｍ～１０Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、良好に被着体を保持し得る粘着シートを得ることができる。転写層側の粘着力もまた、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じて測定される。具体的には、２ｋｇのローラーを１往復により粘着シートの転写層をステンレス板（算術平均表面粗さＲａ：５０±２５ｎｍ）に貼着し、２３℃下で３０分間放置した後、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、粘着シートを引きはがして測定される。転写層は、活性エネルギー線照射およびレーザー光照射により粘着力が変化するが、本明細書において、「初期粘着力」とは、活性エネルギー線およびレーザー光を照射する前の粘着力を意味する。
　１つの実施形態においては、上記粘着シートは、粘着シートを上記ステンレス板に貼着し、転写層に３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後の２３℃における粘着力Ｂ（硬化後粘着力Ｂともいう）が、好ましくは１Ｎ／２０ｍｍ以下となり、より好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ以下となり、さらに好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ以下となり、特に好ましくは０．１Ｎ／２０ｍｍ以下となる。このような範囲であれば、剥離性に優れ、糊残りの少ない粘着シートを得ることができる。硬化後粘着力Ｂの下限は、例えば、０．０１Ｎ／２０ｍｍ（好ましくは０．００１Ｎ／２０ｍｍ）である。上記紫外線照射は、例えば、紫外線照射装置（日東精機社製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特性波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）を転写層に照射して行われる。紫外線照射は、粘着剤層側から行われ得る。
　粘着剤層をガラスに貼着した際の２３℃における粘着力Ｉの転写層の硬化後粘着力Ｂに対する比（粘着力Ｉ／硬化後粘着力Ｂ）は、５以上である。換言すると、上記粘着シートにおいては、硬化後粘着力Ｂが、粘着力Ｉの０．２倍以下（好ましくは０．１倍以下、より好ましくは０．０５倍以下、さらに好ましくは０．００５倍以下）となる。（粘着力Ｉ／硬化後粘着力Ｂ）を上記のように特定することにより、レーザー光照射による各層の変形を適性化することができ、かつ、レーザー光照射による剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。このような粘着シートは、狭範囲において確実な剥離性を実現し得る。（粘着力Ｉ／硬化後粘着力Ｂ）は、好ましくは１０以上であり、より好ましくは２０以上であり、さらに好ましくは２００以上である。このような範囲であれば、上記本発明の効果は顕著となる。（粘着力Ｉ／硬化後粘着力Ｂ）の上限は、例えば、１０００であり、好ましくは５０００であり、より好ましくは１００００である。すなわち、上記粘着シートにおいては、硬化後粘着力Ｂが、粘着力Ｉの０．０００１倍以上となり得る。
　転写層の初期粘着力Ａの転写層の硬化後粘着力Ｂに対する比（初期粘着力Ａ／硬化後粘着力Ｂ）は、好ましくは５以上であり、より好ましくは１０以上であり、より好ましくは１０～１００であり、さらに好ましくは３０～８０である。このような範囲であれば、被着体の固定性と剥離性とのバランスに優れた粘着シートを得ることができる。
　上記粘着シートにおいて、上記粘着剤層と接して配置される層（例えば、転写層、基材、その他の層）と粘着剤層との２３℃における投錨力は、好ましくは２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、より好ましく４Ｎ／２０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは６Ｎ／２０ｍｍ以上であり、特に好ましくは８Ｎ／２０ｍｍ以上である。当該投錨力の上限は、例えば、３０Ｎ／２０ｍｍ（好ましくは５０Ｎ／２０ｍｍ）である。投錨力は、２３℃下、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、粘着剤層を隣接層から引き剥がして測定される。
　上記粘着シートにおいて、上記転写層と接して配置される層（例えば、粘着剤層、基材、その他の層）と転写層との２３℃における投錨力は、好ましくは２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、より好ましく４Ｎ／２０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは６Ｎ／２０ｍｍ以上であり、特に好ましくは８Ｎ／２０ｍｍ以上である。当該投錨力の上限は、例えば、３０Ｎ／２０ｍｍ（好ましくは５０Ｎ／２０ｍｍ）である。投錨力は、２３℃下、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、転写層を隣接層から引き剥がして測定される。
　本発明の粘着シートの波長２４８ｎｍの光透過率は、好ましくは５０％以下であり、より好ましくは３０％以下であり、さらに好ましくは１０％以下であり、特に好ましくは５％以下である。１つの実施形態においては、粘着シートの波長２４８ｎｍの光透過率は、粘着剤層および／または基材の当該光の透過率により制御され得る。具体的には、粘着剤層の成分（例えば、ベースポリマーの種類；粘着付与剤、架橋剤等の添加剤の種類；これらの配合量等）、粘着剤層の厚み、基材の構成材料、基材の厚み等を調整することより、上記透過率が制御される。本発明においては、当該光透過率を低くすることにより、粘着剤層および／または基材のひずみの発生を促し、剥離の際のレーザー出力を低くすることができる。本発明の粘着シートは、低出力のレーザー光で剥離性を発現するため、当該粘着シートを用いれば、剥離の際の被着体へのダメージを低減し、当該被着体の破損を防止することができる。波長２４８ｎｍの光透過率は、低いほど好ましいが、その下限は、例えば、０．５％（好ましくは０％）である。
　本発明の粘着シートの波長３６５ｎｍの光透過率は、好ましくは５０％以上であり、より好ましくは６０％以上であり、さらに好ましくは７０％以上である。このような範囲であれば、活性エネルギー線の照射による転写層の硬化が好ましく生じる粘着シートを得ることができる。粘着シートの波長３６５ｎｍの光透過率は高いほど好ましいが、その上限は、例えば、９５％（好ましくは１００％）である。
　本発明の粘着シートのヘイズ値は、好ましくは７０％以下であり、より好ましくは６５％以下である。このような範囲であれば、活性エネルギー線の照射による転写層の硬化が好ましく生じる粘着シートを得ることができる。１つの実施形態においては、上記粘着シートのヘイズ値は２０％以下である。粘着シートのヘイズ値は低いほど好ましいが、その下限は、例えば、０．１％である。
　粘着シートの厚みは、好ましくは１μｍ～３００μｍであり、より好ましくは５μｍ～２００μｍである。１つの実施形態においては、上記粘着シートの厚みは、３０μｍ以下である。粘着シートが薄ければ、粘着剤層に生じたひずみが転写層に伝搬しやすく、剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。
　上記粘着シートが、基材および／または任意の適切なその他の層をさらに含む場合、粘着剤層と転写層との距離は、好ましくは５０μｍ未満であり、より好ましくは３０μｍ以下であり、さらに好ましくは２５μｍ以下であり、特に好ましくは１０μｍ以下である。このような範囲であれば、粘着剤層に生じたひずみが転写層に伝搬しやすく、剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。
Ｂ．転写層
　上記転写層の厚みは、好ましくは１μｍ～３０μｍであり、より好ましくは２μｍ～２０μｍであり、さらに好ましくは３μｍ～１０μｍである。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。
　上記転写層の２３℃における初期押し込み弾性率Ａは、好ましくは０．１ＭＰａ以上１４ＭＰａ未満であり、より好ましくは０．１ＭＰａ～１０ＭＰａであり、さらに好ましくは０．２ＭＰａ～８ＭＰａである。このような範囲であれば固定性に優れる粘着シートを得ることができる。押し込み弾性率は、２３℃における単一押し込み法により、押し込み速度１０ｎｍ／ｓ、押し込み深さ１００ｎｍにより測定され得る。転写層は、活性エネルギー線照射およびレーザー光照射により粘着力が変化するが、本明細書において、「初期押し込み弾性率Ａ」とは、活性エネルギー線およびレーザー光を照射する前の粘着力を意味する。
　上記転写層は、３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率Ｂ（硬化後弾性率Ｂともいう）が１４ＭＰａ以上となる層であることが好ましく、１５ＭＰａ以上となる層であることがより好ましく、２０ＭＰａ以上となる層であることがさらに好ましく、５０ＭＰａ以上となる層であることが特に好ましい。このような範囲であれば、剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。また、剥離時における被着体の汚染を防止することができる。２３℃における硬化後弾性率Ｂの上限は、例えば、５００ＭＰａ（好ましくは３００ＭＰａ）である。
　上記転写層は、３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率Ｂが、転写層の２３℃における初期押し込み弾性率Ａの２０倍以上となることが好ましく、３０倍以上となることがより好ましく、３０倍～１０００倍となることがより好ましく、５０倍～２００倍となることが特に好ましい。このような範囲であれば、被着体の固定性と剥離性とのバランスに優れた粘着シートを得ることができる。
　上記転写層は、３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率Ｂが、粘着剤層の２３℃における押し込み弾性率Ｉの５倍以上となることが好ましく、１０倍以上となることがより好ましく、５０倍～５０００倍となることがさらに好ましく、１００倍～３０００倍となることが特に好ましい。このような範囲であれば、レーザー光照射による各層の変形を適性化することができ、かつ、レーザー光照射による剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。このような粘着シートは、狭範囲において確実な剥離性を実現し得る。
　１つの実施形態においては、上記転写層は、活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む。活性エネルギー線硬化型粘着剤は、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤をさらに含んでいてもよい。
（活性エネルギー線硬化型粘着剤）
　１つの実施形態においては、活性エネルギー線硬化型粘着剤として、母剤となるベースポリマーと、該ベースポリマーと結合可能な活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）とを含む活性エネルギー線硬化型粘着剤（Ａ１）が用いられる。別の実施形態においては、ベースポリマーとして活性エネルギー線反応性ポリマーを含む活性エネルギー線硬化型粘着剤（Ａ２）が用いられる。好ましくは、上記ベースポリマーは、光重合開始剤と反応し得る官能基を有する。該官能基としては、例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基等が挙げられる。
　上記粘着剤（Ａ１）において用いられるベースポリマーとしては、例えば、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）等のゴム系ポリマー；シリコーン系ポリマー；アクリル系ポリマー等が挙げられる。これらのポリマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、アクリル系ポリマーである。
　アクリル系ポリマーとしては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステルなどの炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルの単重合体または共重合体；該炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルと他の共重合性モノマーとの共重合体等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ－ブチルエステル、ｔ－ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２－エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステルすなわちラウリルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、およびエイコシルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸のシクロペンチルエステルおよびシクロヘキシルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸アリールエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸フェニルおよび（メタ）アクリル酸ベンジルが挙げられる。上記炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは４０重量部以上であり、より好ましくは６０重量部以上である。
　上記他の共重合性モノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルなどの官能基含有モノマー等が挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げられる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、および（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートが挙げられる。グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジルおよび（メタ）アクリル酸メチルグリシジルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、および（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。アクリルアミドとしては、例えばＮ－アクリロイルモルホリンが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記共重合性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは６０重量部以下であり、より好ましくは４０重量部以下である。
　アクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、多官能性モノマー由来の構成単位を含み得る。多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート（すなわち、ポリグリシジル（メタ）アクリレート）、ポリエステル（メタ）アクリレート、およびウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記多官能性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは４０重量部以下であり、より好ましくは３０重量部以下である。
　上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは１０万～３００万であり、より好ましくは２０万～２００万である。重量平均分子量は、ＧＰＣ（溶媒：ＴＨＦ）により測定され得る。
　上記粘着剤（Ａ１）に用いられ得る上記活性エネルギー線反応性化合物としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の重合性炭素－炭素多重結合を有する官能基を有する光反応性のモノマーまたはオリゴマーが挙げられる。該光反応性のモノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸と多価アルコールとのエステル化物；多官能ウレタン（メタ）アクリレート；エポキシ（メタ）アクリレート；オリゴエステル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、メタクリロイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（２－イソシアナトエチルメタクリレート）、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート等のモノマーを用いてもよい。光反応性のオリゴマーの具体例としては、上記モノマーの２～５量体等が挙げられる。光反応性のオリゴマーの分子量は、好ましくは１００～３０００である。
　また、上記活性エネルギー線反応性化合物として、エポキシ化ブタジエン、グリシジルメタクリレート、アクリルアミド、ビニルシロキサン等のモノマー；または該モノマーから構成されるオリゴマーを用いてもよい。
　さらに、上記活性エネルギー線反応性化合物として、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物を用いてもよい。該混合物は、活性エネルギー線（例えば、紫外線、電子線）の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成し得る。上記有機塩類としては、例えば、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が挙げられる。上記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環としては、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が挙げられる。
　上記粘着剤（Ａ１）において、活性エネルギー線反応性化合物の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部～５００重量部であり、より好ましくは５重量部～３００重量部であり、さらに好ましくは４０重量部～１５０重量部である。
　上記粘着剤（Ａ２）に含まれる活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素－炭素多重結合を有する官能基を有するポリマーが挙げられる。活性エネルギー線反応性ポリマーの具体例としては、多官能（メタ）アクリレートから構成されるポリマー；光カチオン重合型ポリマー；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化されたアミノノボラック樹脂；ポリアクリルアミド；等が挙げられる。
　１つの実施形態においては、上記アクリル系ポリマーの側鎖、主鎖および／または主鎖末端に、活性エネルギー線重合性の炭素－炭素多重結合が導入されて構成された活性エネルギー線反応性ポリマーが用いられる。アクリル系ポリマーへの放射線重合性の炭素－炭素二重結合の導入手法としては、例えば、所定の官能基（第１の官能基）を有するモノマーを含む原料モノマーを共重合させてアクリル系ポリマーを得た後、第１の官能基との間で反応を生じて結合しうる所定の官能基（第２の官能基）と放射線重合性炭素－炭素二重結合とを有する化合物を、炭素－炭素二重結合の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法が、挙げられる。
　第１の官能基と第２の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基が挙げられる。これら組み合わせのうち、反応追跡の容易さの観点からは、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせや、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが、好ましい。また、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製するのは技術的難易度が高いところ、アクリル系ポリマーの作製または入手のしやすさの観点からは、アクリル系ポリマー側の上記第１の官能基がヒドロキシ基であり且つ上記第２の官能基がイソシアネート基である場合が、より好ましい。この場合、放射線重合性炭素－炭素二重結合と第２の官能基たるイソシアネート基とを併有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、およびｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネートが挙げられる。また、第１の官能基を有するアクリル系ポリマーとしては、上記のヒドロキシ基含有モノマー由来の構成単位を含むものが好ましく、２－ヒドロキシエチルビニルエーテルや、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルなどのエーテル系化合物由来の構成単位を含むものも好ましい。
　上記粘着剤（Ａ２）は、上記活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）をさらに含んでいてもよい。
　上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含み得る。用いられる紫外線吸収剤および光重合開始剤の詳細は、後述する。
　１つの実施形態においては、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、光増感剤を含み得る。光増感剤としては、川崎化成工業株式会社製の商品名「ＵＶＳ－５８１」、９，１０－ジエトキシアントラセン（例えば、川崎化成工業社製、商品名「ＵＶＳ－１１０１」）等が挙げられる。上記光増感剤のその他の例としては、９，１０－ジブトキシアントラセン（例えば、川崎化成工業社製、商品名「ＵＶＳ－１３３１」）、２－イソプロピルチオキサントン、ベンゾフェノン、チオキサントン誘導体、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。チオキサントン誘導体としては、例えば、エトキシカルボニルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等が挙げられる。
　上記光増感剤の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．０１重量部～２重量部であり、より好ましくは０．５重量部～２重量部である。
　好ましくは、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、架橋剤を含む。架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アミン系架橋剤等が挙げられる。
　上記架橋剤の含有割合は、粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．５重量部～１０重量部であり、より好ましくは１重量部～８重量部である。
　１つの実施形態においては、イソシアネート系架橋剤が好ましく用いられる。イソシアネート系架橋剤は、多種の官能基と反応し得る点で好ましい。上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（東ソー社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（東ソー社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。好ましくは、イソシアネート基を３個以上有する架橋剤が用いられる。
　活性エネルギー線硬化型粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤をさらに含み得る。添加剤としては、例えば、活性エネルギー線重合促進剤、ラジカル捕捉剤、カップリング剤（例えば、シランカップリング剤）、粘着付与剤、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤等）、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤、粒子、紫外線吸収剤等が挙げられる。
（光重合開始剤）
　光重合開始剤としては、任意の適切な開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１―プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナート等が挙げられる。光重合開始剤の使用量は、任意の適切な量に設定され得る。
　１つの実施形態においては、４００ｎｍ以下（好ましくは３８０ｎｍ以下、より好ましくは３４０ｎｍ以下）の範囲に最大吸収波長を有する光重合開始剤が用いられる。
　上記光重合開始剤の使用量は、任意の適切な量に設定され得る。
　上記光重合開始剤として、市販品を用いてもよい。例えば、４００ｎｍ以下の範囲に最大吸収波長を有する光重合開始剤として、ＢＡＳＦ社製の商品名「イルガキュア１２７」、「イルガキュア３６９」、「イルガキュア３６９Ｅ」、「イルガキュア３７９」、「イルガキュア３７９ＥＧ」、「イルガキュア８１９」、「イルガキュアＴＯＰ」、「イルガキュア７８４」、「イルガキュアＯＸＥ０１」等が挙げられる。
Ｃ．粘着剤層
　上記粘着剤層の厚みは、好ましくは３０μｍ以下であり、より好ましくは２０μｍ以下であり、さらに好ましくは１０μｍ以下である。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。粘着剤層厚みの下限は、例えば、１μｍ（好ましくは０．５μｍ）である。
　上記粘着剤層の２３℃における押し込み弾性率Ｉは、好ましくは０．０５ＭＰａ～２０ＭＰａであり、より好ましくは０．０８ＭＰａ～１０ＭＰａであり、さらに好ましくは０．０８ＭＰａ～５ＭＰａである。このような範囲であれば、レーザー光照射による各層の変形を適性化することができ、かつ、レーザー光照射による剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。このような粘着シートは、狭範囲において確実な剥離性を実現し得る。
　上記粘着剤層の波長２４８ｎｍの光透過率は、好ましくは５０％以下であり、より好ましくは３０％以下であり、さらに好ましくは１０％以下であり、特に好ましくは５％以下である。上記粘着剤層の波長２４８ｎｍの光透過率は、低いほど好ましいが、その下限は、例えば、０．５％（好ましくは０％）である。
　上記粘着剤層の波長３６５ｎｍの光透過率は、好ましくは５０％以上であり、より好ましくは６０％以上であり、さらに好ましくは７０％以上である。上記粘着剤層の波長３６５ｎｍの光透過率は高いほど好ましいが、その上限は、例えば、９５％（好ましくは１００％）である。
　上記粘着剤層の粘着シートのヘイズ値は、好ましくは７０％以下であり、より好ましくは６５％以下である。１つの実施形態においては、上記粘着剤層のヘイズ値は２０％以下である。粘着剤層のヘイズ値は低いほど好ましいが、その下限は、例えば、０．１％である。
　上記粘着剤層は、任意の適切な粘着剤を含む。当該粘着剤としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。上記粘着剤としては、例えば、感圧粘着剤が用いられ得る。
（感圧粘着剤）
　感圧粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン－ジエンブロック共重合体系粘着剤、等が挙げられる。なかでも好ましくは、アクリル系粘着剤またはゴム系粘着剤であり、より好ましくはアクリル系粘着剤である。なお、上記粘着剤は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。１つの実施形態においては、紫外線吸収の観点から、芳香環および／または二重結合を有するベースポリマーを含む粘着剤が用いられる。このような点からも、アクリル系粘着剤は好ましく用いられ得る。
　上記アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種または２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー（ホモポリマーまたはコポリマー）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも、炭素数が４～１８の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられ得る。
　上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性等の改質を目的として、必要に応じて、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド等の（Ｎ－置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチルアミノエチル等の（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド、Ｎ－ラウリルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド等のマレイミド系モノマー；Ｎ－メチルイタコンイミド、Ｎ－エチルイタコンイミド、Ｎ－ブチルイタコンイミド、Ｎ－オクチルイタコンイミド、Ｎ－２－エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ－シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ－ラウリルイタコンイミド等のイタコンイミド系モノマー；Ｎ－（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクルロイル－６－オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－８－オキシオクタメチレンスクシンイミド等のスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ－ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ－ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α－メチルスチレン、Ｎ－ビニルカプロラクタム等のビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコール等のグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレート等の複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子等を有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート等の多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレン等のオレフィン系モノマー；ビニルエーテル等のビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
　上記ゴム系粘着剤としては、例えば、天然ゴム；ポリイソプレンゴム、スチレン・ブタジエン（ＳＢ）ゴム、スチレン・イソプレン（ＳＩ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレン、これらの変性体等の合成ゴム；等をベースポリマーとするゴム系粘着剤が挙げられる。
　上記感圧粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、粘着付与剤（例えば、ロジン系粘着付与剤、テルペン系粘着付与剤、炭化水素系粘着付与剤等）、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤）、顔料、染料、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、粒子等が挙げられる。
　上記架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤の他、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられる。なかでも好ましくは、イソシアネート系架橋剤またはエポキシ系架橋剤である。１つの実施形態においては、紫外線吸収の観点から、芳香環および／または二重結合を有する架橋剤（例えば、芳香族イソシアネート系架橋剤）が用いられる。
　上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（東ソー社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（東ソー社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。イソシアネート系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．１重量部～２０重量部であり、より好ましくは０．５重量部～１０重量部である。
　上記エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１６００」）、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１５００ＮＰ」）、エチレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト４０Ｅ」）、プロピレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト７０Ｐ」）、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＥ－４００」）、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＰ－２００」）、ソルビトールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－６１１」）、グリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－３１４」）、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－５１２」）、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ－フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル－トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール－Ｓ－ジグリシジルエーテル、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ系樹脂等が挙げられる。エポキシ系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．０１重量部～１０重量部であり、より好ましくは０．０３重量部～５重量部である。
　上記粘着付与剤として、例えば、ロジン系樹脂（例えば、ロジンエステル樹脂など）、テルペン系樹脂（例えば、テルペンフェノール共重合体（テルペン変性フェノール樹脂）、水素添加テルペン樹脂など）、クマロンインデン系樹脂、脂環族飽和炭化水素系樹脂、石油系樹脂（例えば、脂肪族／芳香族共重合系石油樹脂、芳香族系石油樹脂などの炭化水素系石油樹脂など）、フェノール系樹脂などが挙げられる。１つの実施形態においては、紫外線吸収の観点から、芳香環および／または二重結合を有する架橋剤（例えば、ロジン系樹脂）が用いられる。粘着付与剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には１重量部～５０重量部であり、より好ましくは１０重量部～３０重量部である。
Ｄ．基材
　上記基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。該樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリブテン系樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテルケトン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、セルロース系樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げられる。なかでも好ましくはポリオレフィン系樹脂である。
　１つの実施形態においては、上記基材は、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂からなる群から選択される少なくとも１種から構成される。これらの樹脂から構成された基材は、波長２４８ｎｍの光透過率が低い点で有利である。
　上記基材の厚みは、好ましくは２μｍ～３００μｍであり、より好ましくは２μｍ～１００μｍであり、さらに好ましくは２μｍ～５０μｍである。１つの実施形態においては、上記基材の厚みは、５０μｍ未満であり、より好ましくは３０μｍ以下であり、さらに好ましくは２０μｍ以下であり、特に好ましくは１０μｍ以下であり、最も好ましくは５μｍ以下である。基材の厚みを薄くすることにより、粘着剤層に生じたひずみが転写層に伝搬しやすく、剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。
　上記基材の２３℃における押し込み弾性率は、好ましくは５０００ＭＰａ以下であり、より好ましくは３０００ＭＰａ以下であり、さらに好ましくは１０００ＭＰａ以下である。このような範囲であれば、粘着剤層に生じたひずみを吸収しがたく、転写層にひずみを伝播しやすい基材とすることができる。基材の２３℃における押し込み弾性率の下限は、好ましくは１ＭＰａであり、より好ましくは５ＭＰａであり、さらに好ましくは１０ＭＰａである。このような範囲であれば、適度な剛性を有し、ハンドリング性に優れる粘着シートを得ることができる。
　基材の全光線透過率は、好ましくは７０％以上であり、より好ましくは８０％以上であり、さらに好ましくは９０％以上であり、特に好ましくは９５％以上である。基材の全光線透過率の上限は、例えば、９８％（好ましくは９９％）である。
Ｅ．粘着シートの製造方法
　上記粘着シートは、任意の適切な方法により製造され得る。粘着シートは、例えば、基材または剥離ライナー上に、粘着剤層および転写層を形成する上記粘着剤をそれぞれ塗工して得られ得る。塗工方法としては、バーコーター塗工、エアナイフ塗工、グラビア塗工、グラビアリバース塗工、リバースロール塗工、リップ塗工、ダイ塗工、ディップ塗工、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷など種々の方法を採用することができる。また、剥離ライナーに粘着剤層を形成し、別の剥離ライナーに転写層を形成し、これらを貼り合わせるか、あるいは、これらを基材に貼り合わせることにより、粘着シートを形成してもよい。
Ｆ．粘着シートの使用方法
　本発明の粘着シートは、任意の適切な被加工部材（例えば、電子部品）を加工および／または移送する際に、当該被加工部材を仮固定する際に用いられ得る。本発明の粘着シートの使用方法としては、例えば、（ｉ）粘着剤層を支持体に貼着し、（ｉｉ）被着シートの転写層に被加工部材を貼着して固定し、（ｉｉ）該被加工部材を加工または移送し、（ｉｉｉ）粘着シートに活性エネルギー線（例えば、紫外線）を照射して、粘着シートの転写層側の粘着力を低下させ、（ｉｖ）剥離性発現を所望する箇所にレーザー光を照射して、粘着剤層にひずみを生じさせるようにして使用する方法が挙げられる。当該方法によれば、被加工部材を自然落下により剥離させることが可能となる。また、複数の被加工部材を仮固定した場合には、その一部のみを剥離させることも可能となる。本発明の粘着シートを用いれば、自然落下するほどまでに粘着力を低下させることができるため、非常に小さい（例えば、５０μｍ角）被加工部材であっても、個々別々に剥離させることが可能である。
　上記（ｉ）における支持体としては、例えば、ガラス板が用いられる。支持体は光透過性であることが好ましい。支持体の全光線透過率は、例えば、５０％以上であり、好ましくは８０％以上である。
　１つの実施形態においては、上記（ｉｉｉ）における活性エネルギー線は、粘着シートの粘着剤層側（実質的には、支持体側）から照射される。
　１つの実施形態においては、上記（ｉｖ）におけるレーザー光は、粘着シートの粘着剤層側（実質的には、支持体側）から照射される。
　１つの実施形態においては、上記レーザー光の波長は、２００ｎｍ～３００ｎｍである。
　以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。実施例における試験および評価方法は以下のとおりである。また、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。
（１）粘着剤層のガラスに対する粘着力Ｉ
　粘着シートの転写層側ＰＥＴセパレーターを剥離し、厚み２５μｍのＰＥＴ（東レ製ルミラーＳ１０）を貼り合わせた。その後もう一方の面のＰＥＴセパレーターを剥離し、２ｋｇのローラーを１往復によりガラス板（松浪硝子工業社製、商品名「Ｓ２００４２３」）に貼り合わせ、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じた方法（剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定温度：２３℃）で粘着力を測定した。
（２）転写層のステンレス板に対する粘着力
　粘着シートの粘着剤層側ＰＥＴセパレーター（比較例２においては、転写層に貼着した一方のＰＥＴセパレータ）を剥離し、厚み２５μｍのＰＥＴ（東レ製ルミラーＳ１０）を貼り合わせた。その後もう一方の面のＰＥＴセパレーターを剥離し、２ｋｇのローラーを１往復によりＳＵＳ３０４に貼り合わせ、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じた方法（剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定温度：２３℃）で粘着力を測定し初期粘着力Ａとした。
　同様の方法で、ＳＵＳ３０４に粘着シートを貼り合わせた後、粘着剤層側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）を全面に照射した後、同様に粘着力を測定し、硬化後粘着力Ｂとした。
（３）押し込み弾性率（硬化前）
　粘着剤層および転写層の押し込み弾性率を、Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製トライポインデンターＴＩ－９５０を用い、押し込み弾性率を測定した。測定は、２３℃における単一押し込み法により、押し込み速度１０ｎｍ／ｓ、押し込み深さ１００ｎｍで行った。
（４）押し込み弾性率（硬化後）
　粘着シートの粘着剤層側ＰＥＴセパレーター（比較例２においては、転写層に貼着した一方のＰＥＴセパレータ）を剥離し、大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）にハンドローラーを用い貼り合わせた。得られたサンプルのスライドグラス面側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）を全面に照射した。その後、もう一方のＰＥＴセパレーターを剥離し転写層を露出させ、Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製トライポインデンターＴＩ－９５０を用い、押し込み弾性率を測定した。測定は、２３℃における単一押し込み法により、押し込み速度１０ｎｍ／ｓ、押し込み深さ１００ｎｍで行った。
（５）ヘイズ値
　ヘイズメーター（商品名「ＨＡＺＥ　ＭＥＴＥＲ　ＨＭ－１５０」、村上色彩技術研究所製）を使用して、粘着シートのヘイズ値を測定した。
（６）光透過率
　分光光度計（商品名「分光光度計　Ｕ－４１００」、日立ハイテクサイエンス製）を使用して、粘着シートの波長３６５ｎｍの光透過率および２４８ｎｍの光透過率を測定した。
（７）剥離性（転写性）
　粘着シートの粘着剤層側ＰＥＴセパレーター（比較例２においては、転写層に貼着した一方のＰＥＴセパレータ）を剥離し、石英板（アズワン社製）にハンドローラーを用い貼り合わせた。その後、もう一方の面のＰＥＴセパレーターを剥離し、転写層の粘着面に、１２５μｍ×１００μｍのシリコンチップを貼り合わせた。
　石英板面側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）を全面に照射した。
　その後、波長２４８ｎｍのレーザー光を（照射面積：１３０μｍ×１０５μｍ、出力１００ｍＪ／ｃｍ２）、石英板側から狙いの部材位置にのみ照射し（１ｐｌｕｓ　ｐｅｒ　ｃｈｉｐ）、自然落下した場合を合格（〇）、自然落下しなかった場合を不合格（×）とした。
（８）変形有無
　顕微鏡により、レーザー照射後の転写層表面の変形を観察した。レーザー照射箇所とそれ以外の箇所において顕著な色差が認められる場合を不合格（×）、そうでない場合を合格（○）とした。
　また、実施例１（変形有無評価：合格）における転写層表面の顕微鏡写真図を図２（ａ）に、比較例１（変形有無評価：不合格）における転写層表面の顕微鏡写真図を図２（ｂ）に示す。
（９）糊残り
　上記「（１）粘着剤層のガラスに対する粘着力」の評価後のガラス板を目視で観察した。ガラスに粘着剤層が残る場合を不合格（×）、そうでない場合を合格（○）とした。
［製造例１］アクリルポリマーＩの調整
　２－エチルヘキシルアクリレート３０重量部、ブチルアクリレート７０重量部、アクリル酸３重量部、４－ヒドロキシブチルアクリレート１重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、上記モノマー組成物１０３．１重量部、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．２重量部、およびトルエン１５０重量部を仕込み、　６０℃で６時間攪拌し、アクリル系ポリマーＩを含むアクリル系ポリマー溶液Ｉを得た。
［製造例２］アクリルポリマーＩＩの調整
　エチルアクリレート７０重量部、２－ヒドロキシエチルアクリレート３０重量部、メタクリル酸メチルアクリレート５重量部、ヒドロキシエチルアクリレート４重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン２９５重量部、上記モノマー組成物１０９重量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．２重量部を仕込み、６０℃で４時間攪拌し、重量平均分子量５０万のアクリル系ポリマーＩＩを含むアクリル系ポリマー溶液ＩＩを得た。
［製造例３］アクリルポリマーＩＩＩの調整
　２－エチルヘキシルアクリレート１００重量部、アクリル酸２重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート０．０１重量を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、上記モノマー組成物１０２．０１重量部、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．２重量部、およびトルエン１８９重量部を仕込み、６０℃で７時間攪拌し、アクリル系ポリマーＩＩＩを含むアクリル系ポリマー溶液ＩＩＩを得た。
［製造例４］アクリルポリマーＩＶの調整
　ブチルアクリレート１００重量部、エチルアクリレート７８重量部、ヒドロキシエチルアクリレート４０重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン５０７重量部、上記モノマー組成物２１８重量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）１．２重量部を仕込み、６０℃で５時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート４２．６重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＩＶを含有するアクリル系ポリマー溶液ＩＶを得た。
［製造例５］アクリルポリマーＶの調整
　２－エチルヘキシルアクリレート１００重量部、アクリロイルモルホリン２５．５重量部、ヒドロキシエチルアクリレート１８．５重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン６０重量部、上記モノマー組成物１４４重量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で４時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート１２重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＶを含有するアクリル系ポリマー溶液Ｖを得た。
［製造例６］アクリルポリマーＶＩの調整
　２－メトキシエチルアクリレート１００重量部、アクリロイルモルホリン２７重量部、アクリル酸２－ヒドロキシエチル２２重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
　次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン５００重量部、上記モノマー組成物１４９量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で５時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート２４重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＶＩを含有するアクリル系ポリマー溶液ＶＩを得た。
［実施例１］
（粘着剤の調製）
　アクリルポリマーＩを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液Ｉに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）２重量部、粘着付与樹脂（荒川化学工業社製、商品名「Ｄ－１２５」）３０重量部を加え、粘着剤層形成用の粘着剤（１）を得た。
　アクリルポリマーＩＶを１００重量部含むアクリルポリマー溶液ＩＶに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）３重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア１２７」）１０重量部を加え、転写層形成用の粘着剤（Ａ）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（１）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ４μｍの粘着剤層を形成した。
　別途、ＰＥＴセパレーター（厚さ：７５μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ａ）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの転写層を形成した。
　ＰＥＴ基材（東レ社製、商品名「ルミラー２ＤＣ６１」、厚み：２μｍ）の一方の面に、ＰＥＴセパレーター付の粘着剤層を貼り合わせ、他方の面にＰＥＴセパレーター付転写層を貼り合わせて、ＰＥＴセパレーター／粘着剤層／基材／転写層／ＰＥＴセパレーターからなる粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例２］
　アクリルポリマー溶液ＩＶに代えて、クリルポリマーＶを１００重量部含むアクリルポリマー溶液Ｖを用いたこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例３］
　アクリルポリマーＶＩを１００重量部含むアクリルポリマー溶液ＶＩに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）５重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア１２７」）１０重量部を加え、転写層形成用の粘着剤（Ｃ）を得た。
　粘着剤（Ａ）に代えて、粘着剤（Ｃ）を用いて転写層を形成したこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例４］
　アクリルポリマーＶＩを１００重量部含むアクリルポリマー溶液ＶＩに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）５重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア１２７」）１０重量部、シリカ微粒子（アドマテックス社製、商品名「ＹＡ０５０Ｃ」）５重量部を加え、転写層形成用の粘着剤（Ｄ）を得た。
　粘着剤（Ａ）に代えて、粘着剤（Ｄ）を用いて転写層を形成したこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例５］
　粘着剤層の厚みを２０μｍとしたこと以外は、実施例３と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例６］
（粘着剤の調製）
　実施例１と同様にして、粘着剤層形成用の粘着剤（１）を得た。
　アクリルポリマーＶＩを１００重量部含むアクリルポリマー溶液ＶＩに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）５重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア１２７」）１０重量部、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ　４０５」、分子量：５８３．８）５重量部を加え、転写層形成用の粘着剤（Ｅ）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（１）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ４μｍの粘着剤層を形成した。
　別途、ＰＥＴセパレーター（厚さ：７５μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ｅ）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの転写層を形成した。
　ＰＥＴ基材（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み：２５μｍ）の一方の面に、ＰＥＴセパレーター付の粘着剤層を貼り合わせ、他方の面にＰＥＴセパレーター付転写層を貼り合わせて、ＰＥＴセパレーター／粘着剤層／基材／転写層／ＰＥＴセパレーターからなる粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例７］
　転写層の厚みを２５μｍとしたこと以外は、実施例３と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［実施例８］
（粘着剤の調製）
　アクリルポリマーＩＩを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液ＩＩに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）８．５重量部を加え、粘着剤層形成用の粘着剤（２）を得た。
　実施例３と同様にして、転写層形成用の粘着剤（Ｃ）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（２）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ４μｍの粘着剤層を形成した。
　別途、ＰＥＴセパレーター（厚さ：７５μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ｃ）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの転写層を形成した。
　ＰＥＴ基材（東レ社製、商品名「ルミラー２ＤＣ６１」、厚み：２μｍ）の一方の面に、ＰＥＴセパレーター付の粘着剤層を貼り合わせ、他方の面にＰＥＴセパレーター付転写層を貼り合わせて、ＰＥＴセパレーター／粘着剤層／基材／転写層／ＰＥＴセパレーターからなる粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例１］
（粘着剤の調製）
　アクリルポリマーＩＩＩを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液ＩＩＩに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）２重量部を加え、粘着剤層形成用の粘着剤（３）を得た。
　実施例３と同様にして、転写層形成用の粘着剤（Ｃ）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（３）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ４μｍの粘着剤層を形成した。
　別途、ＰＥＴセパレーター（厚さ：７５μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ｃ）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの転写層を形成した。
　ＰＥＴ基材（東レ社製、商品名「ルミラー２ＤＣ６１」、厚み：２μｍ）の一方の面に、ＰＥＴセパレーター付の粘着剤層を貼り合わせ、他方の面にＰＥＴセパレーター付転写層を貼り合わせて、ＰＥＴセパレーター／粘着剤層／基材／転写層／ＰＥＴセパレーターからなる粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例２］
（粘着剤の調製）
　実施例３と同様にして、転写層形成用の粘着剤（Ｃ）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：７５μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ｃ）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの転写層を形成した。
　当該転写層に別のＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）を積層し、ＰＥＴセパレーター／転写層／ＰＥＴセパレーターからなる粘着シートを得た。
［比較例３］
　アクリルポリマーＩを１００重量部含むアクリルポリマー溶液Ｉに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）２重量部、粘着付与樹脂（荒川化学工業社製、商品名「Ｄ－１２５」）３０重量部を加え、転写層形成用の粘着剤（Ｆ）を得た。
　粘着剤（Ａ）に代えて、粘着剤（Ｆ）を用いて転写層を形成したこと以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例４］
　アクリルポリマーＶを１００重量部含むアクリルポリマー溶液Ｖに、架橋剤（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）３重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア１２７」）０．５重量部を加え、転写層形成用の粘着剤（Ｇ）を得た。
　粘着剤（Ｃ）に代えて、粘着剤（Ｇ）を用いて転写層を形成したこと以外は、実施例８と同様にして粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例５］
（粘着剤の調製）
　実施例１と同様にして、粘着剤層形成用の粘着剤（１）を得た。
　比較例３と同様にして、転写層形成用の粘着剤（Ｆ）を得た。
（粘着シート）
　ＰＥＴセパレーター（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（１）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ４μｍの粘着剤層を形成した。
　別途、ＰＥＴセパレーター（厚さ：７５μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（Ｆ）を塗布し、その後、１２０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの転写層を形成した。
　ＰＥＴ基材（東レ社製、商品名「ルミラーＳ２７」、厚み：７５μｍ）の一方の面に、ＰＥＴセパレーター付の粘着剤層を貼り合わせ、他方の面にＰＥＴセパレーター付転写層を貼り合わせて、ＰＥＴセパレーター／粘着剤層／基材／転写層／ＰＥＴセパレーターからなる粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
［比較例６］
　ＰＥＴ基材（東レ社製、商品名「ルミラーＳ２７」、厚み：７５μｍ）に代えて、ＰＰ基材（東レ社製、商品名「トレファンＢＯ　１２Ｄ－ＫＷ３７」、厚み：１２μｍ）を用いたこと以外は、比較例５と同様にして、粘着シートを得た。
　得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　１０　　　　　　　粘着剤層
　２０　　　　　　　転写層
　３０　　　　　　　基材
　１００、２００　　粘着シート

Claims (5)

  1. 　粘着剤層と、該粘着剤層の片側に配置された転写層とを備える粘着シートであって、
    　該転写層が、活性エネルギー線の照射により、硬化する層であり、
    　該粘着シートの該粘着剤層をガラス板に貼着した際の２３℃における粘着力Ｉが、２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、
    　該粘着シートの該粘着剤層をガラス板に貼着した際の２３℃における粘着力Ｉの、該転写層に３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後の２３℃における粘着力Ｂに対する比が、５以上である、
    　粘着シート。
  2. 　前記粘着剤層と、前記転写層との間に、基材をさらに備える、請求項１に記載の粘着シート。
  3. 　３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後に、前記転写層の２３℃における押し込み弾性率Ｂが、前記粘着剤層の２３℃における押し込み弾性率Ｉの５倍以上となる、請求項１または２に記載の粘着シート。
  4. 　前記転写層が、活性エネルギー線硬化型粘着剤を含み、
    　該活性エネルギー線硬化型粘着剤が、ベースポリマーとして、アクリル系ポリマーを含む、
    　請求項１から３のいずれかに記載の粘着シート。
  5. 　前記粘着シートを用いて部材を支持体に仮固定し、移送および／または加工等の後に、レーザー光照射により該部材を支持体から剥離する用途に用いられる、請求項１から４のいずれかに記載の粘着シート。
     

     
PCT/JP2021/029529 2020-12-04 2021-08-10 粘着シート WO2022118499A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020237011319A KR20230111601A (ko) 2020-12-04 2021-08-10 점착 시트
CN202180071047.5A CN116419843A (zh) 2020-12-04 2021-08-10 粘合片

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-201704 2020-12-04
JP2020201704A JP2022089364A (ja) 2020-12-04 2020-12-04 粘着シート

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022118499A1 true WO2022118499A1 (ja) 2022-06-09

Family

ID=81854093

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2021/029529 WO2022118499A1 (ja) 2020-12-04 2021-08-10 粘着シート

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP2022089364A (ja)
KR (1) KR20230111601A (ja)
CN (1) CN116419843A (ja)
TW (1) TW202231811A (ja)
WO (1) WO2022118499A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023149023A1 (ja) * 2022-02-02 2023-08-10 日東電工株式会社 粘着シート

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002343747A (ja) * 2001-05-17 2002-11-29 Lintec Corp ダイシングシート及びダイシング方法
JP2012033637A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Nitto Denko Corp ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム及び半導体装置の製造方法
WO2012157671A1 (ja) * 2011-05-17 2012-11-22 リンテック株式会社 フィルムおよび粘着シート
JP2014205735A (ja) * 2013-04-10 2014-10-30 王子ホールディングス株式会社 多層両面粘着シート、積層体、タッチパネル付表示装置、および多層両面粘着シートの剥離方法
JP2016134307A (ja) * 2015-01-20 2016-07-25 富士フイルム株式会社 フレキシブルデバイスの製造方法、および、フレキシブルデバイス積層体
WO2016181741A1 (ja) * 2015-05-13 2016-11-17 リンテック株式会社 表面保護フィルム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6053756U (ja) 1983-09-20 1985-04-16 日清紡績株式会社 分割型のマガジンクリ−ル台車を有する経糸糊付装置
JP5875850B2 (ja) 2011-12-16 2016-03-02 東京応化工業株式会社 積層体及び分離方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002343747A (ja) * 2001-05-17 2002-11-29 Lintec Corp ダイシングシート及びダイシング方法
JP2012033637A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Nitto Denko Corp ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム及び半導体装置の製造方法
WO2012157671A1 (ja) * 2011-05-17 2012-11-22 リンテック株式会社 フィルムおよび粘着シート
JP2014205735A (ja) * 2013-04-10 2014-10-30 王子ホールディングス株式会社 多層両面粘着シート、積層体、タッチパネル付表示装置、および多層両面粘着シートの剥離方法
JP2016134307A (ja) * 2015-01-20 2016-07-25 富士フイルム株式会社 フレキシブルデバイスの製造方法、および、フレキシブルデバイス積層体
WO2016181741A1 (ja) * 2015-05-13 2016-11-17 リンテック株式会社 表面保護フィルム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023149023A1 (ja) * 2022-02-02 2023-08-10 日東電工株式会社 粘着シート

Also Published As

Publication number Publication date
KR20230111601A (ko) 2023-07-25
TW202231811A (zh) 2022-08-16
JP2022089364A (ja) 2022-06-16
CN116419843A (zh) 2023-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4711777B2 (ja) 粘着シートとその製造方法、及び、製品の加工方法
WO2022118499A1 (ja) 粘着シート
WO2021220662A1 (ja) 粘着シート
WO2021131735A1 (ja) 粘着シート
WO2021131518A1 (ja) 粘着シート
EP4083156A1 (en) Adhesive sheet
WO2022044441A1 (ja) 部材加工方法
WO2021220663A1 (ja) 粘着シート
KR20070019572A (ko) 점착 시이트, 그의 제조 방법 및 제품의 가공 방법
WO2023100401A1 (ja) 粘着シート
CN111725122A (zh) 切割带
CN114846098A (zh) 粘合片
EP4079515A1 (en) Adhesive sheet
WO2022038844A1 (ja) 部材転写方法
WO2021124856A1 (ja) 粘着シート
TW202134372A (zh) 黏著片材
JP2024047867A (ja) 粘着シート
CN114829525A (zh) 粘合片

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21900255

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 21900255

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1