JP2023113108A - 粘着シート - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品を移送する際に用いられ得る粘着シートであって、生産コスト向上に寄与し得、電子部品の位置精度、電子部品の粘着シートに対する固定性と剥離性とに優れ、電子部品の汚染防止および電子部品へのダメージ防止を可能とする粘着シートを提供すること。【解決手段】本発明の粘着シートは、活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される粘着剤層を備える粘着シートであって、該活性エネルギー線硬化型粘着剤が、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含み、該粘着剤層の２３℃における初期押し込み弾性率が４ＭＰａ以下であり、該粘着剤層が、４６０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率が１５０ＭＰａ以上となる層であり、該粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率が、５０％以下である。【選択図】図１

Description

本発明は、粘着シートに関する。

従来より、所定の部材上に配置された電子部品を別の部材に載せかえる際には、粘着シートで当該電子部品を受け取り、その後、当該電子部品を別の部材を受け渡すことが行われている。例えば、ＬＥＤチップを装置に組み込む際には、部材上に形成されたＬＥＤチップを、一旦、粘着シート上に転写して受け取り、その後、粘着シートから所定の装置または部材にＬＥＤチップを受け渡すようにして、ＬＥＤチップの移送が行われる。

上記のような電子部品の移送においては、生産コスト向上（所要資材の削減、所要時間・工数の短縮等）、電子部品の位置精度、電子部品の粘着シートに対する固定性と剥離性との両立、電子部品の汚染防止、電子部品へのダメージ防止等が求められる。

特許５８７５８５０号 特許６０５３７５６号

本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、電子部品を移送する際に用いられ得る粘着シートであって、生産コスト向上に寄与し得、電子部品の位置精度、電子部品の粘着シートに対する固定性と剥離性とに優れ、電子部品の汚染防止および電子部品へのダメージ防止を可能とする粘着シートを提供することにある。

［１］本発明の粘着シートは、活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される粘着剤層を備える粘着シートであって、該活性エネルギー線硬化型粘着剤が、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含み、該粘着剤層の２３℃における初期押し込み弾性率が４ＭＰａ以下であり、該粘着剤層が、４６０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率が１５０ＭＰａ以上となる層であり、該粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率が、５０％以下である。
［２］１つの実施形態においては、上記粘着シートは、基材を含まない。
［３］上記［１］または［２］の粘着シートにおいて、上記粘着剤層の６００秒後の応力緩和率が１０％以上であってもよい。
［４］上記［１］～［３］の粘着シートにおいて、上記粘着剤層の厚みが、２０μｍ以下であってもよい。
［５］上記［１］～［４］の粘着シートにおいて、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤が光重合開始剤を含み、該光重合開始剤が、光分解性基を２個以上有していてもよい。
［６］上記［１］～［５］の粘着シートにおいて、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤が光重合開始剤を含み、該光重合開始剤が、リン原子および／または窒素原子を含む化合物であってもよい。
［７］上記［１］～［６］の粘着シートにおいて、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤が活性エネルギー線反応性化合物を含み、該活性エネルギー線反応性化合物が、官能基を５つ以上有する多官能（メタ）アクリレートであってもよい。
［８］上記［１］～［７］の粘着シートは、電子部品の転写に用いられてもよい。
［９］上記［１］～［８］の粘着シートにおいて、レーザーリフトオフプロセスによる電子部品のキャッチ、およびその後のレーザー光照射による電子部品の剥離を含む電子部品の移送に用いられてもよい。
［１０］上記［８］～［９］の粘着シートにおいて、上記電子部品が、ミニＬＥＤまたはマイクロＬＥＤであってもよい。
［１１］本発明の別の局面によれば、電子部品の移送方法が提供される。この電子部品の移送方法は、上記粘着シートを用いた、電子部品の移送方法である。
［１２］１つの実施形態においては、上記電子部品の移送方法は、基板上に配列された複数の電子部品を、前記粘着シートの前記粘着剤層上に転写する第１工程；および、該粘着シート上の該電子部品を別の部材に転写する第２工程を含む。
［１３］１つの実施形態においては、上記第１工程および上記第２工程において、同一の上記粘着シートが用いられる。

本発明によれば、電子部品を移送する際に用いられ得る粘着シートであって、生産コスト向上に寄与し得、電子部品の位置精度、電子部品の粘着シートに対する固定性と剥離性とに優れ、電子部品の汚染防止および電子部品へのダメージ防止を可能とする粘着シートを提供することができる。

（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。（ｂ）は、本発明の別の実施形態による粘着シートの概略断面図である。

Ａ．粘着シートの概要
図１（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この実施形態による粘着シート１００は、粘着剤層１０を備える。粘着剤層１０は、活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される。活性エネルギー線硬化型粘着剤は、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含む。図１（ｂ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この実施形態による粘着シート２００は、基材２０をさらに備え、基材２０の少なくとも片側に粘着剤層１０が配置される。図示していないが、本発明の粘着シートは、使用に供するまでの間、粘着面を保護する目的で、粘着剤層の外側にはく離ライナーが設けられていてもよい。また、粘着シートは、本発明の効果が得られる限り、任意の適切なその他の層をさらに含んでいてもよい。なお、本発明においては、後述のように、粘着剤層の粘着力低下および高弾性率化に伴うひずみの発生により被着体を良好に剥離することが可能であるため、粘着シートから被着体を分離するための粘着剤層以外の層（いわゆる分離層）を設けることなく粘着シートを構成することが可能である。１つの実施形態において、上記粘着シートは、電子部品の転写に用いられる。より詳細には、上記粘着シートは、レーザーリフトオフプロセスによる電子部品の受け取り、およびその後のレーザー光照射による電子部品の剥離を含む電子部品の移送に用いられ得る。電子部品としては、例えば、ミニＬＥＤ、マイクロＬＥＤ等が挙げられる。

１つの実施形態においては、上記粘着シートは、基材を含まない。１つの実施形態において、本発明の粘着シートは、図１（ａ）に示すように、粘着剤層１層のみから構成される。基材を含まず構成された粘着シートは、レーザー光照射により被着体を剥離する際のエネルギー利用効率に優れる点で好ましい。別の実施形態においては、本発明の粘着シートは、図１（ｂ）に示すように、基材および粘着剤層を含み、粘着剤層は基材に直接（すなわち、その他の層を介することなく）配置される。

上記粘着剤層は、２３℃における初期押し込み弾性率が４ＭＰａ以下である。本発明においては、粘着剤層がこのような押し込み弾性率を有することにより、電子部品を貼着する際に、当該電子部品の一部が好ましく粘着剤層に埋まった状態とすることができ、当該電子部品を固定性よく仮固定することができる。例えば、後述のように、電子部品を硬質基板から粘着シートに転写する場合においては、硬質基板を除去する際、被着体の位置ずれ、被着体のかたむき等が防止される。押し込み弾性率は、２３℃における単一押し込み法により、押し込み速度１０ｎｍ／ｓ、押し込み深さ１００ｎｍにより測定され得る。

１つの実施形態においては、上記粘着シートは、基板（例えば、サファイア基板等の硬質基板）上に配列された複数の電子部品（例えば、ＬＥＤチップ）を、当該粘着シートに転写し；当該粘着シート上の電子部品を別の部材に転写する；ようにして、用いられ得る。１つの実施形態においては、基板から粘着シートへの電子部品の転写は、基板／電子部品界面部分にレーザー光を照射することを含むプロセス、すなわち、レーザーリフトオフプロセスにより行われ得る。本発明によれば、上記のように、被着体である電子部品のかたむきを防止するなど好ましい状態で電子部品を粘着シート上に配置することができるため、例えば、レーザーリフトオフプロセスによる電子部品の受け取りを好ましく行うことが可能となる。また、レーザーリフトオフプロセスが採用される場合において、レーザー光照射の影響により粘着剤層から生じる汚染物が被着体である電子部品に付着することを防止することができる。

また、粘着シートから別の部材への転写は、レーザー光照射により行うことができる。本発明においては、粘着剤層が紫外線吸収剤または光重合開始剤を含むことにより、レーザー光照射による被着体（電子部品）の剥離が可能となる。より詳細には、粘着剤層にレーザー光を照射することにより、紫外線吸収剤または光重合開始剤が加熱されて粘着剤層にひずみが生じ、その結果、レーザー光が照射された部分において、剥離性が発現する。本発明によれば、上記のようにして、微小な範囲で粘着剤層にひずみを生じさせることができるため、小型電子部品（例えば、５０μｍ角）を加工する際にも当該電子部品を良好に剥離させることができる。このような粘着シートを用いれば、剥離後に行う電子部品の洗浄を省略することができる。また、剥離を要する小型電子部品と、剥離を要さない小型電子部品が隣り合って仮固定されている場合であっても、剥離を要する小型電子部品のみを剥離させることができ、小型電子部品の不要な脱離を防止することもできる。

上記のとおり、本発明の粘着シートは、レーザーリフトオフプロセスによる電子部品の受け取り、および、レーザー光照射による電子部品の剥離の両方において、優れた特性を発揮する。したがって、本発明によれば、レーザーリフトオフプロセスによる電子部品の受け取り、および、レーザー光照射による電子部品の剥離を含む方法により、電子部品を移送する際、上記粘着シートのみを用いて当該移送を完了させることができる。複数の粘着シートを要さないため、転写プロセス数を少なくすることができ、その結果、高い位置精度で電子部品を移送することができる。また、生産コストを低減させることができる。

上記粘着剤層は、活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される。活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着シートは、活性エネルギー線を照射することにより、粘着剤層全体の粘着力が低下する。被着体（電子部品）が貼着された粘着シートの粘着剤層の全体に活性エネルギー線を照射して、粘着力を低下させた後に、上記のようにレーザー光を照射することにより、剥離後の糊残りを防止することができる。このような粘着シートを用いれば、剥離後に行う電子部品の洗浄を省略することができる。また、活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着剤層を形成することにより、剥離の際のレーザー出力を低くすることができる。本発明の粘着シートは、低出力のレーザー光で剥離性を発現するため、当該粘着シートを用いれば、剥離の際の被着体である電子部品へのダメージを低減し、当該電子部品の破損を防止することができる。また、粘着剤層自体の分解（熱分解）を生じさせない程度の出力のレーザー光により剥離性を発現させることができるため、粘着剤層分解物による被着体である電子部品の汚染を防止することができる。活性エネルギー線としては、例えば、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線（熱線）、ラジオ波、アルファ線、ベータ線、電子線、プラズマ流、電離線、粒子線等が挙げられる。好ましくは、紫外線である。

上記粘着剤層は、４６０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率が１５０ＭＰａ以上となる層である。紫外線照射後にこのような押し込み弾性率を有し得る粘着剤層を備えていれば、低エネルギーでのレーザー光照射により粘着剤層にひずみが生じ、その結果、被着体（電子部品）を良好に剥離させることができる。また、剥離時における電子部品の汚染を防止することができる。

本発明の粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、５０％以下である。本発明においては、当該光透過率を低くすることにより、剥離の際のレーザー出力を低くすることができる。本発明の粘着シートは、低出力のレーザー光で剥離性を発現するため、当該粘着シートを用いれば、剥離の際の被着体である電子部品へのダメージを低減し、当該電子部品の破損を防止することができる。本発明の粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、好ましくは４０％以下であり、より好ましくは３０％以下である。このような範囲であれば、上記効果はより顕著となる。なお、粘着シートの光透過率とは、粘着シートの厚み方向の光透過率であり、粘着シートの構成層全層を対象として測定される光透過率である。本発明において、粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、粘着剤層に含有する紫外線吸収剤の含有割合を調整して制御することができる。また、粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率は、粘着剤層を構成するベースポリマー、光重合開始剤の構成によっても、制御することができる。例えば、粘着剤層に含まれる光重合開始剤の種類、量等により、特に、光重合開始剤とベースポリマーとの相溶性により、粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率を制御することができる。

上記粘着シートの可視光透過率は、好ましくは５０％以上であり、より好ましくは６０％以上であり、さらに好ましくは７０％以上である。このような範囲であれば、レーザー光照射による被着体の剥離の際に、剥離対象となる被着体を粘着シート越しに良好に視認可能となる粘着シートを得ることができる。粘着シートの可視光線透過率は高いほど好ましいが、その上限は、例えば、９５％（好ましくは１００％）である。

上記粘着シートのヘイズ値は、好ましくは７０％以下であり、より好ましくは６５％以下である。このような範囲であれば、レーザー光照射による被着体の剥離の際に、剥離対象となる被着体を粘着シート越しに良好に視認可能となる粘着シートを得ることができる。粘着シートのヘイズ値は低いほど好ましいが、その下限は、例えば、０．１％である。

上記粘着シートをステンレス板に貼着した直後の２３℃における初期粘着力Ａは、好ましくは０．１Ｎ／２０ｍｍ～１５Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ～１０Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、良好に被着体を保持し得る粘着シートを得ることができる。粘着力は、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じて測定される。具体的には、２ｋｇのローラーを１往復により粘着シートをステンレス板（算術平均表面粗さＲａ：５０±２５ｎｍ）に貼着し、２３℃下で３０分間放置した後、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、粘着シートを引きはがして測定される。粘着剤層は、活性エネルギー線照射およびレーザー光照射により粘着力が変化するが、本明細書において、「初期粘着力」とは、活性エネルギー線およびレーザー光を照射する前の粘着力を意味する。

１つの実施形態においては、粘着シートをステンレス板に貼着し、３００ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後の２３℃における粘着力Ｂ（硬化後粘着力Ｂともいう）は、好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．０１Ｎ／２０ｍｍ～０．２Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは０．０２Ｎ／２０ｍｍ～０．１５Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、糊残りの少ない粘着シートを得ることができる。上記紫外線照射は、例えば、紫外線照射装置（日東精機社製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特性波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ^２）を粘着剤層に照射して行われる。

上記硬化後粘着力Ｂの上記初期粘着力Ａに対する低下率は、好ましくは９０％以上であり、より好ましくは９５％以上である。このような範囲であれば、剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。なお、上記低下率（％）は、（初期粘着力Ａ－硬化後粘着力Ｂ）／初期粘着力Ａ×１００の式により求めることができる。

粘着シートの厚みは、好ましくは１μｍ～３００μｍであり、より好ましくは５μｍ～２００μｍである。

Ｂ．粘着剤層
上記粘着剤層の厚みは、好ましくは２０μｍ以下である。このような範囲であれば、剥離の際のレーザー出力をより低くすることを可能とし、剥離発現性に優れる粘着シートを得ることができる。粘着剤層の厚みは、１５μｍ以下であることがより好ましく、１０μｍ以下であることがさらに好ましく、１μｍ～１０μｍであることより好ましい。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。

上記のとおり、上記粘着剤層は、２３℃における初期押し込み弾性率が４ＭＰａ以下である。粘着剤層の２３℃における初期押し込み弾性率は、好ましくは３ＭＰａ以下であり、より好ましくは２ＭＰａ以下である。このような範囲であれば、本発明の上記効果が顕著となる。また、粘着剤層の２３℃における初期押し込み弾性率は、好ましくは０．１ＭＰａ以上であり、より好ましくは０．２ＭＰａ以上であり、さらに好ましくは０．３ＭＰａ以上であり、特に好ましくは０．７ＭＰａ以上である。このような範囲であれば、被着体を汚染し難く、剥離性に優れる粘着シートを得ることができる。

上記のとおり、上記粘着剤層は、４６０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率が１５０ＭＰａ以上となる層である。上記粘着剤層は、４６０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率が２００ＭＰａ以上となる層であることが好ましく、３００ＭＰａ以上となる層であることがより好ましく、４００ＭＰａ以上となる層であることがさらに好ましく、５００ＭＰａ以上となる層であることが特に好ましく、８００ＭＰａ以上となる層であることが最も好ましい。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。４６０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後の粘着剤層の押し込み弾性率の上限は、例えば、８０００ＭＰａ（好ましくは５０００ＭＰａ、より好ましくは４０００ＭＰａ）である。

上記粘着剤層は、６００秒後の応力緩和率が１０％以上であることが好ましく、１５％以上であることがより好ましく、２０％以上であることがさらに好ましい。このような範囲であれば、チップの保持性に優れる粘着シートを得ることができる。具体的には、被着体（電子部品）配置後の時間経過によっても、粘着剤層上での被着体（電子部品）の傾きが生じ難い粘着シートを得ることができる。このような粘着シートを用いれば、位置精度よく、電部品の移送を行うことができる。粘着剤層の６００秒後の応力緩和率の上限は、例えば、１００％（好ましくは８０％）である。粘着剤層の６００秒後の応力緩和率は、粘着剤層を円柱状に丸めたサンプルについて、２３℃の環境温度下で、長さ方向に５０％伸長させた直後の応力値Ａ（ＭＰａ）と、５０％伸長状態で６００秒経過後の応力値Ｂ（ＭＰａ）とから、（応力緩和率（％）＝（Ａ－Ｂ）／Ａ×１００）の式により得ることができる。

上記のとおり、上記粘着剤層は、活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される。当該活性エネルギー線硬化型粘着剤は、上記紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含み得る。

（活性エネルギー線硬化型粘着剤）
１つの実施形態においては、活性エネルギー線硬化型粘着剤として、母剤となるベースポリマーと、該ベースポリマーと結合可能な活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）とを含む活性エネルギー線硬化型粘着剤（Ａ１）が用いられる。別の実施形態においては、ベースポリマーとして活性エネルギー線反応性ポリマーを含む活性エネルギー線硬化型粘着剤（Ａ２）が用いられる。好ましくは、上記ベースポリマーは、光重合開始剤と反応し得る官能基を有する。該官能基としては、例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基等が挙げられる。

上記粘着剤（Ａ１）において用いられるベースポリマーとしては、例えば、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）等のゴム系ポリマー；シリコーン系ポリマー；アクリル系ポリマー等が挙げられる。これらのポリマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、アクリル系ポリマーである。

アクリル系ポリマーとしては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステルなどの炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルの単重合体または共重合体；該炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルと他の共重合性モノマーとの共重合体等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ－ブチルエステル、ｔ－ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２－エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステルすなわちラウリルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、およびエイコシルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸のシクロペンチルエステルおよびシクロヘキシルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸アリールエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸フェニルおよび（メタ）アクリル酸ベンジルが挙げられる。上記炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは４０重量部以上であり、より好ましくは６０重量部以上である。

上記他の共重合性モノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルなどの官能基含有モノマー等が挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げられる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、および（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートが挙げられる。グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジルおよび（メタ）アクリル酸メチルグリシジルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、および（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。アクリルアミドとしては、例えばＮ－アクリロイルモルホリンが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記共重合性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは６０重量部以下であり、より好ましくは４０重量部以下である。

アクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、多官能性モノマー由来の構成単位を含み得る。多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート（すなわち、ポリグリシジル（メタ）アクリレート）、ポリエステル（メタ）アクリレート、およびウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記多官能性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは４０重量部以下であり、より好ましくは３０重量部以下である。

上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは１０万～３００万であり、より好ましくは２０万～２００万である。重量平均分子量は、ＧＰＣ（溶媒：ＴＨＦ）により測定され得る。

上記粘着剤（Ａ１）に用いられ得る上記活性エネルギー線反応性化合物としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の重合性炭素－炭素多重結合を有する官能基を有する光反応性のモノマーまたはオリゴマーが挙げられる。該光反応性のモノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸と多価アルコールとのエステル化物；多官能ウレタン（メタ）アクリレート；エポキシ（メタ）アクリレート；オリゴエステル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、メタクリロイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（２－イソシアナトエチルメタクリレート）、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート等のモノマーを用いてもよい。光反応性のオリゴマーの具体例としては、上記モノマーの２～５量体等が挙げられる。光反応性のオリゴマーの分子量は、好ましくは１００～３０００である。

１つの実施形態においては、活性エネルギー線反応性化合物として、官能基を５つ以上有する多官能（メタ）アクリレート、または、官能基を５つ以上有する多官能（メタ）アクリレートのオリゴマーが用いられる。このような活性エネルギー線反応性化合物を用いれば、活性エネルギー線（例えば、紫外線）照射によって高弾性となり得る粘着剤層を形成することができる。粘着剤層を高弾性率化することができれば、低出力のレーザー光により、上記の剥離操作を行うことができる。

また、上記活性エネルギー線反応性化合物として、エポキシ化ブタジエン、グリシジルメタクリレート、アクリルアミド、ビニルシロキサン等のモノマー；または該モノマーから構成されるオリゴマーを用いてもよい。

さらに、上記活性エネルギー線反応性化合物として、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物を用いてもよい。該混合物は、活性エネルギー線（例えば、紫外線、電子線）の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成し得る。上記有機塩類としては、例えば、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が挙げられる。上記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環としては、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が挙げられる。

上記粘着剤（Ａ１）において、活性エネルギー線反応性化合物の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部～５００重量部であり、より好ましくは５重量部～３００重量部であり、さらに好ましくは４０重量部～１５０重量部である。

上記粘着剤（Ａ２）に含まれる活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素－炭素多重結合を有する官能基を有するポリマーが挙げられる。活性エネルギー線反応性ポリマーの具体例としては、多官能（メタ）アクリレートから構成されるポリマー；光カチオン重合型ポリマー；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化されたアミノノボラック樹脂；ポリアクリルアミド；等が挙げられる。

１つの実施形態においては、上記アクリル系ポリマー（前駆体樹脂）の側鎖、主鎖および／または主鎖末端に、活性エネルギー線重合性の炭素－炭素多重結合が導入されて構成された活性エネルギー線反応性ポリマーが用いられる。アクリル系ポリマー（前駆体樹脂）への放射線重合性の炭素－炭素二重結合の導入手法としては、例えば、所定の官能基（第１の官能基）を有するモノマーを含む原料モノマーを共重合させてアクリル系ポリマー（前駆体樹脂）を得た後、第１の官能基との間で反応を生じて結合しうる所定の官能基（第２の官能基）と放射線重合性炭素－炭素二重結合とを有する化合物（以下、単に、炭素二重結合を有する化合物ともいう）を、炭素－炭素二重結合の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法が、挙げられる。

上記炭素二重結合を有する化合物の導入量は、アクリル系ポリマー（前駆体樹脂）固形分１００重量部に対して、好ましくは１０重量部以上であり、より好ましくは１２重量部以上であり、さらに好ましくは１５重量部以上である。このような範囲であれば、低極性な活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）を得ることができ、当該ベースポリマーを用いれば、紫外線照射後の弾性率が比較的低い粘着剤層であっても、低エネルギーでのレーザー光照射による被着体剥離を好ましく行うことができる。炭素二重結合を有する化合物の導入量の上限は、アクリル系ポリマー（前駆体樹脂）固形分１００重量部に対して、例えば、８０重量部（好ましくは６０重量部、より好ましくは５０重量部）である。

第１の官能基と第２の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基が挙げられる。これら組み合わせのうち、反応追跡の容易さの観点からは、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせや、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが、好ましい。また、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製するのは技術的難易度が高いところ、アクリル系ポリマーの作製または入手のしやすさの観点からは、アクリル系ポリマー側の上記第１の官能基がヒドロキシ基であり且つ上記第２の官能基がイソシアネート基である場合が、より好ましい。この場合、放射線重合性炭素－炭素二重結合と第２の官能基たるイソシアネート基とを併有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、およびｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネートが挙げられる。また、第１の官能基を有するアクリル系ポリマーとしては、上記のヒドロキシ基含有モノマー由来の構成単位を含むものが好ましく、２－ヒドロキシエチルビニルエーテルや、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルなどのエーテル系化合物由来の構成単位を含むものも好ましい。

上記活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）のガラス転移温度Ｔｇは、好ましくは－６０℃以上であり、より好ましくは－５０℃以上であり、さらに好ましくは－４０℃以上である。このような範囲であれば、低極性な活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）を得ることができ、当該ベースポリマーを用いれば、紫外線照射後の弾性率が比較的低い粘着剤層であっても、低エネルギーでのレーザー光照射による被着体剥離を好ましく行うことができる。活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）のガラス転移温度Ｔｇの上限は、好ましくは０℃であり、より好ましくは－２０℃である。ベースポリマーのＴｇとは、ベースポリマーを構成する各モノマーの単独重合体（ホモポリマー）のＴｇおよび該モノマーの重量分率（重量基準の共重合割合）に基づいて、フォックス（Ｆｏｘ）の式から求められる値をいう。Ｆｏｘの式とは、以下に示すように、共重合体のＴｇと、該共重合体を構成するモノマーのそれぞれを単独重合したホモポリマーのガラス転移温度Ｔｇｉとの関係式である。
１／Ｔｇ＝Σ（Ｗｉ／Ｔｇｉ）
上記Ｆｏｘの式において、Ｔｇは共重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）、Ｗｉは該共重合体におけるモノマーｉの重量分率（重量基準の共重合割合）、Ｔｇｉはモノマーｉのホモポリマーのガラス転移温度（単位：Ｋ）を表す。ホモポリマーのＴｇとしては、公知資料に記載の値を採用するものとする。

上記粘着剤（Ａ２）は、上記活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）をさらに含んでいてもよい。

上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含み得る。用いられる紫外線吸収剤および光重合開始剤の詳細は、上記のとおりである。

１つの実施形態においては、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、光増感剤を含み得る。

１つの実施形態においては、上記光増感剤は、上記光重合開始剤と併用され得る。当該光増感剤は、自らが光を吸収して得たエネルギーを光重合開始剤に渡すことで、光重合開始剤からラジカルを発生させることができるため、光重合開始剤自身の吸収ピークが無い長波長側の光で重合を進行させることができる。このため、光増感剤を含有させることにより、上記紫外線吸収剤の吸収波長と光重合開始剤からラジカルを発生さることが可能な波長との差を大きくすることが可能となる。その結果、粘着剤層の光重合と紫外線吸収剤による剥離を互いに影響せずに行うことができる。１つの実施形態においては、光重合開始剤としての２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン（例えば、ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア６５１」）と、光増感剤とが併用される。このような光増感剤としては、川崎化成工業株式会社製の商品名「ＵＶＳ－５８１」、９，１０－ジエトキシアントラセン（例えば、川崎化成工業社製、商品名「ＵＶＳ１１０１」）等が挙げられる。

上記光増感剤のその他の例としては、９，１０－ジブトキシアントラセン（例えば、川崎化成工業社製、商品名「ＵＶＳ－１３３１」）、２－イソプロピルチオキサントン、ベンゾフェノン、チオキサントン誘導体、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。チオキサントン誘導体としては、例えば、エトキシカルボニルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等が挙げられる。

上記光増感剤の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．０１重量部～２重量部であり、より好ましくは０．５重量部～２重量部である。

好ましくは、上記活性エネルギー線硬化型粘着剤は、架橋剤を含む。架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アミン系架橋剤等が挙げられる。

上記架橋剤の含有割合は、粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．５重量部～１０重量部であり、より好ましくは１重量部～８重量部である。

１つの実施形態においては、イソシアネート系架橋剤が好ましく用いられる。イソシアネート系架橋剤は、多種の官能基と反応し得る点で好ましい。上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。好ましくは、イソシアネート基を３個以上有する架橋剤が用いられる。

活性エネルギー線硬化型粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤をさらに含み得る。添加剤としては、例えば、活性エネルギー線重合促進剤、ラジカル捕捉剤、粘着付与剤、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤等）、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。

（紫外線吸収剤）
紫外線吸収剤としては、紫外線（例えば、波長３５５ｎｍ）を吸収する化合物であれば、任意の適切な紫外線吸収剤が用いられ得る。紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤、トリアジン系紫外線吸収剤、サリチレート系紫外線吸収剤、シアノアクリレート系紫外線吸収剤等が挙げられる。なかでも好ましくは、トリアジン系紫外線吸収剤またはベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤であり、特に好ましくはトリアジン系紫外線吸収剤である。特に、粘着剤としてアクリル系粘着剤を用いる場合に、当該アクリル系粘着剤のベースポリマーとの相溶性が高いことから、トリアジン系紫外線吸収剤は好ましく用いられ得る。トリアジン系紫外線吸収剤は、水酸基を有する化合物から構成されていることがより好ましく、ヒドロキシフェニルトリアジン系化合物から構成された紫外線吸収剤（ヒドロキシフェニルトリアジン系紫外線吸収剤）であることが特に好ましい。

ヒドロキシフェニルトリアジン系紫外線吸収剤としては、例えば、２－（４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－ヒドロキシフェニルと［（Ｃ１０－Ｃ１６（主としてＣ１２－Ｃ１３）アルキルオキシ）メチル］オキシランとの反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ４００」、ＢＡＳＦ社製）、２－［４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル］－５－［３－（ドデシルオキシ）－２－ヒドロキシプロポキシ］フェノール）、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス－（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンと（２－エチルヘキシル）－グリシド酸エステルの反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ４０５」、ＢＡＳＦ社製）、２，４－ビス（２－ヒドロキシ－４－ブトキシフェニル）－６－（２，４－ジブトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ４６０」、ＢＡＳＦ社製）、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－［（ヘキシル）オキシ］－フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ １５７７」、ＢＡＳＦ社製）、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－［２－（２－エチルヘキサノイルオキシ）エトキシ］－フェノール（商品名「アデカスタブ ＬＡ－４６」、（株）ＡＤＥＫＡ製）、２－（２－ヒドロキシ－４－［１－オクチルオキシカルボニルエトキシ］フェニル）－４，６－ビス（４－フェニルフェニル）－１，３，５－トリアジン（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ４７９」、ＢＡＳＦ社製）、ＢＡＳＦ社製の商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ４７７」などが挙げられる。

ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤（ベンゾトリアゾール系化合物）としては、例えば、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－２Ｈ－ベンゾトリアゾール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ＰＳ」、ＢＡＳＦ社製）、ベンゼンプロパン酸および３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－（１，１－ジメチルエチル）－４－ヒドロキシ（Ｃ７－９側鎖および直鎖アルキル）のエステル化合物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ３８４－２」、ＢＡＳＦ社製）、オクチル３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）フェニル］プロピオネートおよび２－エチルヘキシル－３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２イル）フェニル］プロピオネートの混合物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ １０９」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ９００」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－（１－メチル－１－フェニルエチル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ９２８」、ＢＡＳＦ製）、メチル３－（３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート／ポリエチレングリコール３００の反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ １１３０」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－ｐ－クレゾール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ Ｐ」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ２３４」、ＢＡＳＦ社製）、２－［５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル］－４－メチル－６－（ｔｅｒｔ－ブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ３２６」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ジ－ｔｅｒｔ－ペンチルフェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ３２８」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ３２９」、ＢＡＳＦ社製）、２，２’－メチレンビス［６－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール］（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ３６０」、ＢＡＳＦ社製）、メチル３－（３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネートとポリエチレングリコール３００との反応生成物（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ２１３」、ＢＡＳＦ社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－ドデシル－４－メチルフェノール（商品名「ＴＩＮＵＶＩＮ ５７１」、ＢＡＳＦ社製）、２－［２－ヒドロキシ－３－（３，４，５，６－テトラヒドロフタルイミド－メチル）－５－メチルフェニル］ベンゾトリアゾール（商品名「Ｓｕｍｉｓｏｒｂ ２５０」、住友化学（株）製）、２－（３－ｔｅｒｔ－ブチル－２－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）－５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール（商品名「ＳＥＥＳＯＲＢ ７０３」、シプロ化成社製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－メチル－６－（３，４，５，６－テトラヒドロフタルイミジルメチル）フェノール（商品名「ＳＥＥＳＯＲＢ ７０６」、シプロ化成社製）、２－（４－ベンゾイルオキシ－２－ヒドロキシフェニル）－５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール（シプロ化成社製の商品名「ＳＥＥＳＯＲＢ ７０１２ＢＡ」）、２－ｔｅｒｔ－ブチル－６－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－メチルフェノール（商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ ７３」、ケミプロ化成社製）、２，２’－メチレンビス［６－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ｔｅｒｔ－オクチルフェノール］（商品名「アデカスタブ ＬＡ－３１」、（株）ＡＤＥＫＡ製）、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－ｐ－セルロース（商品名「アデカスタブ ＬＡ－３２」、（株）ＡＤＥＫＡ製）、２－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール（商品名「アデカスタブ ＬＡ－３６」、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

上記紫外線吸収剤は、染料または顔料であってもよい。顔料としては、例えば、アゾ系、フタロシアニン系、アントラキノン系、レーキ系、ペリレン系、ペリノン系、キナクリドン系、チオインジゴ系、ジオキサンジン系、イソインドリノン系、キノフタロン系等の顔料が挙げられる。染料としては、アゾ系、フタロシアニン系、アントラキノン系、カルボニル系、インジゴ系、キノンイミン系、メチン系、キノリン系、ニトロ系等の染料が挙げられる。

上記紫外線吸収剤を構成する化合物の分子量は、好ましくは１０００以下であり、より好ましくは８００以下であり、さらに好ましくは６００以下である。上記範囲の分子量を有する紫外線吸収剤は、ベースポリマーとの相溶性に優れるため、当該紫外線吸収剤を用いると、レーザー光が照射された際にレーザー照射箇所のみにひずみが発生する為、非常に低いレーザーエネルギーで剥離することが可能となる。その結果、粘着剤層の熱分解を防止することができる。このような粘着剤層を形成すれば、被着体を汚染し難い粘着シートを得ることができる。紫外線吸収剤を構成する化合物の分子量の下限は、例えば、１００である。

上記紫外線吸収剤の最大吸収波長は、好ましくは３００ｎｍ～４５０ｎｍであり、より好ましくは３２０ｎｍ～４００ｎｍであり、さらに好ましくは３３０ｎｍ～３８０ｎｍである。紫外線吸収剤の最大吸収波長と上記光重合開始剤の最大吸収波長との差は、好ましく１０ｎｍ以上であり、より好ましくは２５ｎｍ以上である。

上記紫外線吸収剤の含有割合は、粘着剤層中のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは１重量部～５０重量部であり、より好ましくは２重量部～３０重量部であり、さらに好ましくは３重量部～２５重量部である。このような範囲であれば、活性エネルギー線の照射により粘着剤層全体の粘着力を良好に低下させる際に、粘着剤層の硬化が良好に進み、かつ、レーザー光照射により、良好な剥離性を示す粘着シートを得ることができる。

（光重合開始剤）
光重合開始剤としては、任意の適切な開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１―プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナート等が挙げられる。光重合開始剤の使用量は、任意の適切な量に設定され得る。

１つの実施形態においては、上記光重合開始剤として、光分解性基を２個以上（好ましくは２個～５個）有する光重合開始剤が用いられる。このような光重合開始剤を用いれば、活性エネルギー線（例えば、紫外線）照射によって高弾性となり得る粘着剤層を形成することができる。粘着剤層を高弾性率化することができれば、低出力のレーザー光により、上記の剥離操作を行うことができる。光分解性基とは、照射された活性エネルギー線を吸収しラジカルを発生させる官能基を意味し、その具体例としては、ケトン基、ハロゲン化アルキル基、エステル基、スルホン基、ペルオキシ基等が挙げられる。

光分解性基を２個以上有する光重合開始剤としては、例えば、２－ヒドロキシ－１－［４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル］－２－メチル－プロパン－１－オン（商品名 Ｏｍｎｉｒａｄ１２７、ＢＡＳＦジャパン製）、１－［４－（４－ベンゾイキシルフェニルサルファニル）フェニル］－２－メチル－２－（４－メチルフェニルスルホニル）プロパン－１－オン（商品名 ＥＳＵＲＥ１００１Ｍ）、メチルベンゾイルフォーメート（商品名 ＳＰＥＥＤＣＵＲＥ ＭＢＦ ＬＡＭＢＳＯＮ製）、Ｏ－エトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン（商品名 ＳＰＥＥＤＣＵＲＥ ＰＤＯ ＬＡＭＢＳＯＮ製）、オリゴ［２－ヒドロキシ－２－メチル－４－（１－メチルビニル）フェニル］プロパノン（商品名 ＥＳＣＵＲＥ ＫＩＰＩ５０ ＬＡＭＢＥＲＴＩ製）等が挙げられる。

１つの実施形態においては、上記光重合開始剤として、リン原子および／または窒素原子を含む化合物が用いられる。このような光重合開始剤としては、例えば、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン（商品名 Ｏｍｎｉｒａｄ９０７、ＢＡＳＦジャパン製）、２－ベンジル－２－（ジメチルアミノ）－４’－モルホリノブチロフェノン（商品名 Ｏｍｎｉｒａｄ３６９、ＢＡＳＦジャパン製）、２－ジメチルアミノ－２－（４－メチルベンジル）－１－（４－モルフォリン－４－イル－フェニル）ブタン－１－オン（商品名 Ｏｍｎｉｒａｄ３７９、ＢＡＳＦジャパン製）、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（商品名 Ｏｍｎｉｒａｄ８１９、ＢＡＳＦジャパン製）、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名 ＯｍｎｉｒａｄＴＰＯ、ＢＡＳＦジャパン製）、１，２－オクタンジオン－１－［４－（フェニルチオ）フェニル－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）］（商品名 ＯｍｎｉｒａｄＯＸＥ０１、ＢＡＳＦジャパン製）、エタノン－１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－１－（Ｏ－アセチルオキシム）（商品名 ＯｍｎｉｒａｄＯＸＥ０２、ＢＡＳＦジャパン製）等が挙げられる。このような光重合開始剤を用いれば、活性エネルギー線（例えば、紫外線）照射によって高弾性となり得る粘着剤層を形成することができる。粘着剤層を高弾性率化することができれば、低出力のレーザー光により、上記の剥離操作を行うことができる。

上記光重合開始剤の含有割合は、粘着剤層中のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは１重量部～３０重量部であり、より好ましくは２重量部～２０重量部であり、さらに好ましくは３重量部～１５重量部である。このような範囲であれば、活性エネルギー線の照射により粘着剤層全体の粘着力を良好に低下させる際に、粘着剤層の硬化が良好に進み、かつ、レーザー光照射による粘着剤層のひずみ量が多く、良好な剥離性を示す粘着シートを得ることができる。

Ｃ．基材
上記基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。該樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリブテン系樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテルケトン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、セルロース系樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げられる。なかでも好ましくはポリオレフィン系樹脂である。

上記基材の厚みは、好ましくは２μｍ～３００μｍであり、より好ましくは２μｍ～１００μｍであり、さらに好ましくは２μｍ～５０μｍである。

基材の波長３５５ｎｍの光透過率は、好ましくは７０％以上であり、より好ましくは８０％以上であり、さらに好ましくは９０％以上であり、特に好ましくは９５％以上である。基材の全光線透過率の上限は、例えば、９８％（好ましくは９９％）である。

Ｄ．粘着シートの製造方法
上記粘着シートは、任意の適切な方法により製造され得る。粘着シートは、例えば、基材またははく離ライナー上に、上記粘着剤を塗工して得られ得る。塗工方法としては、バーコーター塗工、エアナイフ塗工、グラビア塗工、グラビアリバース塗工、リバースロール塗工、リップ塗工、ダイ塗工、ディップ塗工、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷など種々の方法を採用することができる。また、別途、はく離ライナーに粘着剤層を形成した後、それを基材に貼り合せる方法等を採用してもよい。

Ｅ．電子部品の移送方法
１つの実施形態においては、上記粘着シートを用いた電子部品の移送方法が提供される。当該移送方法は、例えば、基板上に配列された複数の電子部品を、上記粘着シートの粘着剤層上に転写する第１工程；および、当該粘着シート上の電子部品を別の部材に転写する第２工程を含む。好ましくは、第１工程および第２工程において、同一の粘着シートが用いられる。すなわち、上記移送方法においては、さらなる転写工程を含まず、上記電子部品の移送が行われ得る。

第１工程において、基板から粘着シートへの電子部品の転写は、基板／電子部品界面部分にレーザー光を照射することを含むプロセス、すなわち、レーザーリフトオフプロセスにより行われ得る。レーザーリフトオフプロセスの諸条件は、任意の適切な条件とすることができる。

上記基板としては、例えば、サファイア基板等の硬質基板が用いられ得る。

１つの実施形態においては、第２工程は以下の操作を含む、すなわち、第２工程は、（ｉ）粘着シートに活性エネルギー線（例えば、紫外線）を照射して、粘着シートの粘着剤層の粘着力を低下させ、（ｉｉ）剥離性発現を所望する箇所にレーザー光を照射して、粘着剤層にひずみを生じさせて粘着力をさらに低下させることを含む。当該方法によれば、レーザー光を照射した個所においてのみ、電子部品をはく離させることができる。本発明の粘着シートを用いれば、自然落下するほどまでに粘着力を低下させることができるため、非常に小さい（例えば、５０μｍ角）電子部品であっても、個々別々に剥離させることが可能である。

上記（ｉ）における活性エネルギー線は粘着剤層の表面全面に照射され得る。１つの実施形態においては、積算光量２００ｍＪ／ｃｍ^２～６００ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線が照射される。

上記（ｉｉ）におけるレーザー光としては、例えば、波長２００ｎｍ～３６０ｎｍ（好ましくは３５５ｎｍ）のレーザー光が用いられる。レーザー光出力は、例えば、１００ｍＪ／ｃｍ^２～１２００ｍＪ／ｃｍ^２である。

１つの実施形態において、上記電子部品は、ミニＬＥＤまたはマイクロＬＥＤである。

以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。実施例における試験および評価方法は以下のとおりである。また、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。

（１）粘着力
粘着シートのＰＥＴはく離ライナーを剥離し、厚み２５μｍのＰＥＴ（東レ製ルミラーＳ１０）を貼り合わせた。その後もう一方の面のＰＥＴはく離ライナーを剥離し、２ｋｇのローラーを１往復によりＳＵＳ３０４に貼り合わせ、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定温度：２３℃）で粘着力を測定し初期粘着力とした。
同様の方法で、ＳＵＳ３０４に粘着シートを貼り合わせた後、粘着シート側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ^２）を全面に照射した後、同様に粘着力を測定し、硬化後粘着力とした。

（２）波長３５５ｎｍ光透過率
粘着シートのＰＥＴはく離ライナーを剥離し、大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）にハンドローラーを用い貼り合わせ、もう一方の面のＰＥＴはく離ライナーを剥離した状態で、測定を行った。具体的には、分光光度計（商品名「分光光度計 Ｕ－４１００」，日立ハイテクサイエンス製）を使用して、大型スライドグラス上の粘着シートについて、粘着シート自体における波長３５５ｎｍの透過率を測定した。

（３）押し込み弾性率
粘着シートのＰＥＴはく離ライナーを剥離し、大型スライドグラス（松浪硝子製、商品名「Ｓ９１１１」）にハンドローラーを用い貼り合わせた。得られたサンプルのスライドグラス面側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用い、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：４６０ｍＪ／ｃｍ^２）を全面に照射した。その後、もう一方のＰＥＴはく離ライナーを剥離し粘着剤層を露出させ、Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製トライポインデンターＴＩ－９５０を用い、押し込み弾性率を測定した。測定は、２３℃における単一押し込み法により、押し込み速度１０ｎｍ／ｓ、押し込み深さ１００ｎｍで行った。

（４）６００秒後の応力緩和率
粘着剤層を長さ５０ｍｍ×幅４０ｍｍのサイズに切り出し、丸め、円柱状試験片（直径：０．５６４３ｍｍ、長さ：４０ｍｍ）を得た。この試験片を、２３℃、５０％ＲＨの雰囲気下で、初期チャック間距離２０ｍｍとし、引張速度５０ｍｍ／分で引張試験機（商品名「ＡＦＸ－５０ＮＸ」、島津製作所社製）を用いて、伸び率５０％まで延伸（伸長）させて停止して、応力値Ａ（ＭＰａ）を測定した。その後、停止から６００秒経過したときの応力値Ｂ（ＭＰａ）を測定した。応力値Ａ、Ｂから下記式により、応力緩和率を求めた。
応力緩和率（％）＝（Ａ－Ｂ）／Ａ × １００

（５）レーザーリフトオフ（ＬＬＯ）評価
４ｉｎｃｈ角の石英ガラス上に粘着剤を貼り合わせた後、ＬＥＤチップが粘着剤面に来るようにサファイア基盤を貼り合わせした。貼り合わせは、真空＋プレス機構付き保護テープ貼り付け装置（商品名「ＤＶ ３０００」、日東精機社製）を用い、真空時間：９０秒間、圧着条件：０．２５ＭＰａ、圧着時間：０秒間とした。
圧着完了後、サファイア面からレーザー（エムレイズ社製エキシマレーザー）を照射し、ＬＬＯを実施した。ＬＬＯ条件は、波長：２４８ｎｍ、エネルギー密度：９００ｍＪ／ｃｍ^３とした。ＬＬＯ後、サファイヤガラスを除去し、収率を確認した。収率：９０％以上を良（〇）、８０％以上９０％未満を可（△）、８０％未満を不可（×）とした。
粘着テープ上のＬＥＤチップを共焦点顕微鏡（製品名「ＯＬＳ ５１００」、島津製作所社製）を用いて観察し、チップ１００個の傾き角度を測定し、平均値を算出した。傾き平均値が、０．１５°以下である場合を優（◎）、０．１５°より大きく０．２５°以下である場合を良（〇）、０．２５°より大きい場合を不可（×）とした。

（６）Ｌａｓｅｒ Ｔｒａｎｓｆｅｒ評価
ＬＬＯ後、得られたサンプルの石英ガラス面側から、窒素雰囲気下で紫外線照射装置（商品名「ＵＭ ８１０」、日東精機社製）を用い、粘着剤を光硬化させた。硬化条件は、高圧水銀灯の紫外線を用い、波長：３６５ｎｍ換算、４６０ｍＪ／ｃｍ^２とした。
その後、石英ガラス側から狙いのチップ位置にのみレーザー（波長：３５５ｎｍ、パルス幅：５ｎｓ）を照射し、Ｌａｓｅｒ Ｔｒａｎｓｆｅｒを行った。１００ｍＪ／ｃｍ^２から１２００ｍＪ／ｃｍ^２まで１００ｍＪ／ｃｍ^２刻みのレーザー光を照射し、最も位置精度が良かったエネルギーをＥｎｅｒｇｙ値とし、５００ｍＪ／ｃｍ^２以下であった場合を優（◎）、５００ｍＪ／ｃｍ^２より大きく１０００ｍＪ／ｃｍ^２以下であった場合を良（〇）、１０００ｍＪ／ｃｍ^２より大きい場合、および、１２００ｍＪ／ｃｍ^２で転写不可であった場合を不可（×）とした。
転写後のチップをデジタルマイクロスコープ（商品名「ＶＨＸ２０００」、キーエンス社製）を用いて観察し、位置精度を評価した。チップ長辺方向のズレ距離が２μｍ以下の場合を優（◎）、２μｍより大きく５μｍ以下の場合を良（〇）、５μｍより大きい場合を不可（×）とした。

［製造例１］アクリルポリマーＡの調整
２－メトキシエチルアクリレート１００重量部、アクリロイルモルホリン２７重量部、アクリル酸２－ヒドロキシエチル２２重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン５００重量部、上記モノマー組成物１４９量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で５時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート２４重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＡを含有するアクリル系ポリマー溶液Ａを得た。

［製造例２］アクリルポリマーＢの調整
２－エチルヘキシルアクリレート１００重量部、アクリロイルモルホリン２５．５重量部、ヒドロキシエチルアクリレート１８．５重量部を混合して、モノマー組成物を調製した。
次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン６０重量部、上記モノマー組成物１４４重量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で４時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート１２重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＢを含有するアクリル系ポリマー溶液Ｂを得た。

[製造例３]アクリルポリマーＣの調整
イソノニルアクリレート１００重量部、ヒドロキシエチルアクリレート３２重量部を混合し、モノマー組成物を調整した。
次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、酢酸エチル２８０重量部、上記モノマー組成物１３２重量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で４時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート５６重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＣを含有するアクリル系ポリマー溶液Ｃを得た。

[製造例４]アクリルポリマーＤの調整
２－エチルヘキシルアクリレート８８．８重量部、ヒドロキシエチルアクリレート１１．２重量部を混合し、モノマー組成物を調整した。
次いで、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えた反応容器に窒素を導入し、窒素雰囲気下で、トルエン１５０重量部、上記モノマー組成物１００重量部、および、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３重量部を仕込み、６０℃で４時間攪拌した。その後、室温まで冷却し、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート１２重量部を添加し反応させて、共重合体中のアクリル酸２－ヒドロキシエチルの側鎖末端ＯＨ基にＮＣＯ基を付加し、末端に炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーＤを含有するアクリル系ポリマー溶液Ｄを得た。

［実施例１］
（粘着剤の調製）
アクリルポリマーＡを１００重量部含むアクリル系ポリマー溶液Ａに、架橋剤（三井化学社製、商品名「タケネートＤ－１０１Ａ」）３重量部、紫外線吸収剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ ＰＳ」）５重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ」）３重量部を加え粘着剤（１）を得た。
（粘着シート）
ＰＥＴはく離ライナー（厚さ：３８μｍ）のシリコーン処理面に、上記粘着剤（１）を塗布し、その後、１３０℃で２分間加熱して、厚さ５μｍの粘着剤層を形成した。
ハンドローラーを用いて、粘着剤層の上にＰＥＴはく離ライナーを貼り合わせ、はく離ライナー付粘着シートを得た。
得られたはく離ライナー付粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。

［実施例２～１４、比較例１～５］
表１に示すアクリル系ポリマー溶液、架橋剤、紫外線吸収剤、活性エネルギー線反応性化合物（オリゴマー）、光重合開始剤を、表１に示す配合量で用いたこと以外は、実施例１と同様にして、粘着シートを得た。得られた粘着シートを上記評価に供した。結果を表１に示す。
活性エネルギー線反応性化合物（オリゴマー）を用いた実験例においては、粘着剤の調製の際に当該オリゴマーを添加して、粘着剤を得た。
実施例および比較例で用いた化合物等は、以下のとおりである。
（架橋剤）
・Ｄ－１０１Ａ：イソシアネート系架橋剤、三井化学社製、商品名「タケネートＤ－１０１Ａ」
・コロネートＨＸ：イソシアネート系架橋剤、・東ソー社製、商品名「コロネート／ＨＸ」
（紫外線吸収剤）
・Ｔｉｎｕｖｉｎ ＰＳ：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ ＰＳ」、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－２Ｈ－ベンゾトリアゾール
・Ｔｉｎｕｖｉｎ ４０５：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ ４０５」、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス－（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンと（２－エチルヘキシル）－グリシド酸エステルの反応生成物
・Ｔｉｎｕｖｉｎ ４６０：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ ４６０」、２，４－ビス（２－ヒドロキシ－４－ブトキシフェニル）－６－（２，４－ジブトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン
・Ｔｉｎｕｖｉｎ ４７７：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｔｉｎｕｖｉｎ ４６０」、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物
・ＫＥＭＩＳＯＲＢ１１１：ケミプロ化成製、商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ１１１」
・ＫＥＭＩＳＯＲＢ７１：ケミプロ化成製、商品名「ＫＥＭＩＳＯＲＢ７１」、
（活性エネルギー線反応性化合物（オリゴマー））
・ＵＶ－１７００ＴＬ：ウレタンアクリレート系多官能オリゴマー、日本合成化学社製、商品名「ＵＶ－１７００ＴＬ」
・ＤＰＨＡ：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（光重合開始剤）
・Ｏｍｎｉ１２７Ｄ：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ１２７Ｄ」、化合物名：２－ｈｙｄｒｏｘｙ－１－（４－（４－（２－ｈｙｄｒｏｘｙ－２－ｍｅｔｈｙｌｐｒｏｐｉｏｎｙｌ）ｂｅｎｚｙｌ）ｐｈｅｎｙｌ）－２－ｍｅｔｈｙｌｐｒｏｐａｎ－１－ｏｎｅ
・ＯｍｎｉＴＰＯ：ＢＡＳＦ社製、商品名「ＯｍｎｉｒａｄＴＰＯ」、化合物名：２，４，６－ｔｒｉｍｅｔｈｙｌｂｅｎｚｏｙｌ－ｄｉｐｈｅｎｙｌ ｐｈｏｓｐｈｉｎｅ ｏｘｉｄｅ
・Ｏｍｎｉ３７９：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ３７９」、化合物名：２－ｄｉｍｅｔｈｙｌａｍｉｎｏ－２－（４－ｍｅｔｈｙｌ－ｂｅｎｚｙｌ）－１－（４－ｍｏｒｐｈｏｌｉｎ－４－ｙｌ－ｐｈｅｎｙｌ）－ｂｕｔａｎ－１－ｏｎｅ
・Ｏｍｎｉ３６９：ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ３６９」、化合物名：２－ｂｅｎｚｙｌ－２－（ｄｉｍｅｔｈｙｌａｍｉｎｏ）－４‘－ｍｏｒｐｈｏｌｉｎｏｂｕｔｙｒｏｐｈｅｎｏｎｅ

１０ 粘着剤層
２０ 基材
１００、２００ 粘着シート

Claims (13)

1. 活性エネルギー線硬化型粘着剤から構成される粘着剤層を備える粘着シートであって、
   該活性エネルギー線硬化型粘着剤が、紫外線吸収剤および／または光重合開始剤を含み、
   該粘着剤層の２３℃における初期押し込み弾性率が、４ＭＰａ以下であり、
   該粘着剤層が、４６０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射した後に、２３℃における押し込み弾性率が１５０ＭＰａ以上となる層であり、
   該粘着シートの波長３５５ｎｍの光透過率が、５０％以下である、
   粘着シート。
2. 基材を含まない、請求項１に記載の粘着シート。
3. 前記粘着剤層の６００秒後の応力緩和率が１０％以上である、請求項１に記載の粘着シート。
4. 前記粘着剤層の厚みが、２０μｍ以下である、請求項１に記載の粘着シート。
5. 前記活性エネルギー線硬化型粘着剤が光重合開始剤を含み、
   該光重合開始剤が、光分解性基を２個以上有する、
   請求項１に記載の粘着シート。
6. 前記活性エネルギー線硬化型粘着剤が光重合開始剤を含み、
   該光重合開始剤が、リン原子および／または窒素原子を含む化合物である、
   請求項１に記載の粘着シート。
7. 前記活性エネルギー線硬化型粘着剤が活性エネルギー線反応性化合物を含み、
   該活性エネルギー線反応性化合物が、官能基を５つ以上有する多官能（メタ）アクリレートである、
   請求項１に記載の粘着シート。
8. 電子部品の転写に用いられる、請求項１に記載の粘着シート。
9. レーザーリフトオフプロセスによる電子部品のキャッチ、およびその後のレーザー光照射による電子部品の剥離を含む電子部品の移送に用いられる、請求項１に記載の粘着シート。
10. 前記電子部品が、ミニＬＥＤまたはマイクロＬＥＤである、請求項８または９記載の粘着シート。
11. 請求項１から７のいずれかに記載の粘着シートを用いた、電子部品の移送方法。
12. 基板上に配列された複数の電子部品を、前記粘着シートの前記粘着剤層上に転写する第１工程；および、
    該粘着シート上の該電子部品を別の部材に転写する第２工程を含む、
    請求項１１に記載の電子部品の移送方法。
13. 前記第１工程および前記第２工程において、同一の前記粘着シートが用いられる、請求項１２に記載の電子部品の移送方法。

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