WO2021215093A1 - 固体撮像素子、および、撮像装置 - Google Patents

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ルォンフォン 朝倉
博武 加藤
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ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
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Definitions

  • This technology relates to a solid-state image sensor. More specifically, the present invention relates to a solid-state image sensor that performs AD (Analog to Digital) conversion for each column, and an image pickup device.
  • AD Analog to Digital
  • a column ADC Analog to Digital Converter
  • an ADC is arranged for each column outside the pixel array section and the pixel signals are read out row by row for the purpose of miniaturizing pixels.
  • rolling shutter distortion may occur. Therefore, in order to realize a global shutter method in which exposure is started simultaneously for all pixels, a solid-state image sensor has been proposed in which a pair of capacitances are provided for each pixel and the reset level and signal level are held in those capacitances (for example). , See Non-Patent Document 1.).
  • These pairs of capacitances are connected in series to the source follower circuit via a node, and the source follower circuit reads out the reset level and the signal level in order.
  • the global shutter method is realized in the column ADC method by holding the reset level and the signal level in a pair of capacitances for each pixel.
  • kTC noise in other words, reset noise
  • This technology was created in view of such a situation, and aims to improve the image quality in a solid-state image sensor that simultaneously exposes all pixels.
  • the present technology has been made to solve the above-mentioned problems, and the first aspect thereof is a predetermined number of capacitive elements and a plurality of signal levels according to a predetermined reset level and exposure amount, respectively.
  • Control to connect a pre-stage circuit block that generates And the control of connecting the capacitive element holding any of the plurality of signal levels among the predetermined number of capacitive elements to the latter-stage node in order, and the predetermined number of A post-stage reset transistor that initializes the level of the post-stage node when the capacitive element is disconnected from the post-stage node, and a post-stage circuit that sequentially reads out each of the reset level and the plurality of signal levels via the post-stage node.
  • It is a solid-state imaging device provided with. This has the effect of reducing kTC noise.
  • the predetermined number of capacitive elements includes the first and second capacitive elements and the third and fourth capacitive elements
  • the pre-stage circuit block has the first reset level.
  • the first pre-stage circuit that generates the first signal level in order and holds it in the first and second capacitive elements, and the second reset level and the second signal level are generated in order to generate the third signal level.
  • the selection unit includes a first selection circuit for connecting one of the first and second capacitance elements to the rear node, and a first selection circuit for holding the first and second capacitance elements.
  • a second selection circuit that connects any of the third and fourth capacitive elements to the subsequent node may be provided. This has the effect of maintaining the reset level and signal level of each of the two pixels.
  • the first pre-stage circuit comprises a first photoelectric conversion element and a first pre-stage transfer transistor that transfers a charge from the first photoelectric conversion element to the first floating diffusion layer.
  • the second pre-stage circuit includes a first reset transistor that initializes the first stray diffusion layer and a first pre-stage amplification transistor that amplifies the voltage of the first stray diffusion layer.
  • a transistor and a second pre-stage amplification transistor that amplifies the voltage of the second floating diffusion layer may be provided. This has the effect of maintaining the level corresponding to the voltage of the floating diffusion layer.
  • the first pre-stage circuit further includes a first current source transistor connected to the first pre-stage node, and the second pre-stage circuit is attached to the second pre-stage node.
  • the second pre-stage amplification transistor further includes a connected second current source transistor, and the first pre-stage amplification transistor amplifies the voltage of the first stray diffusion layer and outputs it to the first pre-stage node, and the second pre-stage amplification transistor.
  • the amplification transistor amplifies the voltage of the second floating diffusion layer and outputs it to the second pre-stage node, and one end of each of the first and second capacitive elements is common to the first pre-stage node.
  • each is connected to the first selection circuit, one end of each of the third and fourth capacitive elements is commonly connected to the second predecessor node, and the other end of each is the same. It may be connected to a second selection circuit. This has the effect of supplying a constant current to each pixel.
  • the first and second pre-stage transfer transistors transfer the electric charge to the first and second floating diffusion layers at a predetermined exposure start timing
  • the first and second The reset transistor initializes the first and second photoelectric conversion elements together with the first and second floating diffusion layers
  • the first and second pre-stage transfer transistors are the first and first transfer transistors at predetermined exposure end timings.
  • the charge may be transferred to the floating diffusion layer of 2. This has the effect that all pixels are exposed at the same time.
  • the selection unit controls to connect one of the first and second capacitance elements to the latter-stage node and connects the other of the first and second capacitance elements to the latter-stage node.
  • the control of connecting, the control of connecting one of the third and fourth capacitance elements to the latter-stage node, and the control of connecting the other of the third and fourth capacitance elements to the latter-stage node may be performed in order. .. This brings about the effect that the reset level and the signal level of each of the two pixels are read out in order.
  • the selection unit transfers both one of the first and second capacitance elements and one of the third and fourth capacitance elements to the latter-stage node in a predetermined addition mode.
  • the control of connecting and the control of connecting both the other of the first and second capacitance elements and the other of the third and fourth capacitance elements to the latter-stage node may be performed in order. This has the effect of reading out the pixel-added signal.
  • the first pre-stage circuit outputs a voltage amplified by the first pre-stage amplification transistor according to a predetermined first selection signal to a predetermined pre-stage node.
  • the second pre-stage circuit further includes a transistor, and the second pre-stage circuit includes a second pre-stage selection transistor that outputs a voltage amplified by the second pre-stage amplification transistor according to a predetermined second selection signal to the pre-stage node, and the pre-stage selection transistor. It further includes a current source transistor connected to the node, one end of each of the first and second capacitive elements is commonly connected to the pre-stage node, and the other end of each is connected to the first selection circuit. , One end of each of the third and fourth capacitive elements may be commonly connected to the preceding node, and the other end of each may be connected to the second selection circuit. This brings about the effect that the current source transistor is shared by two pixels.
  • the first and second pre-stage selection transistors sequentially shift to the closed state immediately before the predetermined exposure end timing and after the exposure end timing, and the first The reset transistor initializes the first floating diffusion layer when the first pre-selection transistor is in the closed state, and the second reset transistor is when the second pre-selection transistor is in the closed state.
  • the second floating diffusion layer is initialized, and immediately after the timing of the end of exposure, the first and second pre-stage selection transistors are sequentially closed, and the first and second pre-stage transfer transistors are , The charge may be transferred at a predetermined timing of the end of exposure.
  • a short-circuit transistor for opening and closing the path between the first rear node and the second rear node, and the predetermined number of capacitances are the first, second, and third.
  • a third selection circuit connected to the subsequent node and a fourth selection circuit connecting any of the seventh and eighth capacitive elements to the second subsequent node may be provided. This has the effect of short-circuiting the first posterior node and the second posterior node.
  • the short-circuit transistor is in an open state in a predetermined non-addition mode, and in the non-addition mode, the selection unit sequentially sets each of the first and second capacitive elements to the first.
  • the control for connecting to the latter-stage node and the control for connecting each of the seventh and eighth capacitive elements to the second subsequent-stage node in order may be performed in a predetermined order. This brings about the effect that the reset level and the signal level of each of the four pixels are read out in order in the non-addition mode.
  • the short-circuit transistor is in a closed state in a predetermined addition mode
  • the selection unit is one of the first and second capacitive elements and the third and third capacitance elements. While connecting one of the capacitance elements 4 to the first subsequent node, one of the fifth and sixth capacitance elements and one of the seventh and eighth capacitance elements are connected to the second latter node. Control, and connecting the other of the first and second capacitance elements and the other of the third and fourth capacitance elements to the first subsequent node and the other of the fifth and sixth capacitance elements. The control of connecting the other of the seventh and eighth capacitance elements to the second subsequent node may be performed in order. This brings about the effect that four pixels are added in the pixel addition mode.
  • the predetermined number of capacitance elements includes the first and second capacitance elements and the third capacitance
  • the pre-stage circuit block includes the first photoelectric conversion element and the first photoelectric conversion element.
  • the first pre-stage transfer transistor that transfers the charge from the photoelectric conversion element to the predetermined floating diffusion layer, the second photoelectric conversion element, and the second photoelectric conversion element that transfers the charge from the second photoelectric conversion element to the predetermined floating diffusion layer.
  • the first and second pre-stage transfer transistors are provided with two pre-stage transfer transistors, a reset transistor that initializes the stray diffusion layer, and a pre-stage amplification transistor that amplifies the voltage of the stray diffusion layer and outputs it to a predetermined pre-stage node.
  • One end of each of the capacitance element and the third capacitance element may be connected in common to the pre-stage node, and the other end of each may be connected to the selection section. This has the effect of retaining the reset level and the plurality of signal levels.
  • the first and second pre-stage transfer transistors transfer the electric charge to the floating diffusion layer at a predetermined exposure start timing, and the reset transistor is transferred to the floating diffusion layer together with the first and first and the above floating diffusion layers.
  • the second photoelectric conversion element may be initialized, and the first and second pre-stage transfer transistors may sequentially transfer the charges to the first and second floating diffusion layers at a predetermined exposure end timing. This has the effect of exposing all the pixels.
  • the selection unit controls to connect one of the first and second capacitance elements to the latter-stage node and connects the other of the first and second capacitance elements to the latter-stage node.
  • the control for connecting and the control for connecting the third capacitive element to the subsequent node may be performed in order. This has the effect that the reset level and the plurality of signal levels are read out in order.
  • the pre-stage circuit block is provided on the first chip.
  • the predetermined number of capacitive elements, the selection unit, the latter-stage reset transistor, and the latter-stage circuit may be provided on the second chip. This has the effect of facilitating the miniaturization of pixels.
  • an analog-digital converter that sequentially converts the output reset level and the plurality of signal levels into digital signals is further provided, and the analog-digital converter is the second chip. It may be provided in. This has the effect of facilitating the miniaturization of pixels.
  • an analog-to-digital converter that sequentially converts the output reset level and the plurality of signal levels into digital signals is further provided, and the analog-digital converter is formed on a third chip. It may be provided. This has the effect of facilitating the miniaturization of pixels.
  • a second aspect of the present technology is a pre-stage circuit block that generates a predetermined number of capacitive elements and a plurality of signal levels according to a predetermined reset level and an exposure amount and holds them in different capacitive elements.
  • a selection unit that sequentially controls to connect a capacitive element holding any of the plurality of signal levels to the latter-stage node, and the latter-stage node when the predetermined number of capacitive elements are separated from the latter-stage node.
  • a post-stage reset transistor that initializes the level of It is an image pickup apparatus including a signal processing circuit that converts and processes the image. This has the effect of generating image data with reduced kTC noise.
  • the third aspect of the present technology is a first photoelectric conversion element that converts incident light into a charge, a second photoelectric conversion element that converts the incident light into a charge, and the above charge into a voltage.
  • a pre-stage amplification transistor to be converted a predetermined number of capacitive elements in which one end of each is connected to a pre-stage node to which the output destination of the pre-stage amplification transistor is connected, and the other end of each of the predetermined number of capacitive elements and a predetermined post-stage node.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of the image pickup apparatus 100 according to the first embodiment of the present technology.
  • the image pickup device 100 is a device for capturing image data, and includes an image pickup lens 110, a solid-state image pickup element 200, a recording unit 120, and an image pickup control unit 130.
  • As the image pickup device 100 a digital camera or an electronic device having an image pickup function (smartphone, personal computer, etc.) is assumed.
  • the solid-state image sensor 200 captures image data under the control of the image pickup control unit 130.
  • the solid-state image sensor 200 supplies image data to the recording unit 120 via the signal line 209.
  • the image pickup lens 110 collects light and guides it to the solid-state image sensor 200.
  • the image pickup control unit 130 controls the solid-state image pickup device 200 to capture image data.
  • the image pickup control unit 130 supplies, for example, an image pickup control signal including a vertical synchronization signal VSYNC to the solid-state image pickup device 200 via a signal line 139.
  • the recording unit 120 records image data.
  • the vertical synchronization signal VSYNC is a signal indicating the timing of imaging, and a periodic signal of a constant frequency (60 Hz or the like) is used as the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the image pickup device 100 records image data
  • the image data may be transmitted to the outside of the image pickup device 100.
  • an external interface for transmitting image data is further provided.
  • the image pickup apparatus 100 may further display image data.
  • a display unit is further provided.
  • FIG. 2 is a block diagram showing a configuration example of the solid-state image sensor 200 according to the first embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 includes a vertical scanning circuit 211, a pixel array unit 220, a timing control circuit 212, a DAC (Digital to Analog Converter) 213, a load MOS circuit block 250, and a column signal processing circuit 260.
  • a plurality of pixel blocks 300 are arranged in a two-dimensional grid pattern in the pixel array unit 220.
  • a plurality of pixels (for example, two pixels) are arranged in each of the pixel blocks 300.
  • each circuit in the solid-state image sensor 200 is provided on, for example, a single semiconductor chip.
  • the pixel block 300 or a set of pixels arranged in the horizontal direction is referred to as a "row”
  • the pixel block 300 or a set of pixels arranged in a direction perpendicular to the row is referred to as a "column”.
  • the timing control circuit 212 controls the operation timings of the vertical scanning circuit 211, the DAC 213, and the column signal processing circuit 260 in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC from the imaging control unit 130.
  • DAC213 generates a saw wavy lamp signal by DA (Digital to Analog) conversion.
  • the DAC 213 supplies the generated lamp signal to the column signal processing circuit 260.
  • the vertical scanning circuit 211 selects and drives rows in order to output an analog pixel signal.
  • the pixel photoelectrically converts the incident light to generate an analog pixel signal.
  • This pixel supplies a pixel signal to the column signal processing circuit 260 via the load MOS circuit block 250.
  • the load MOS circuit block 250 is provided with MOS transistors that supply a constant current for each row.
  • the column signal processing circuit 260 executes signal processing such as AD conversion processing and CDS (Correlated Double Sampling) processing on the pixel signal for each column.
  • the column signal processing circuit 260 supplies image data composed of the processed signal to the recording unit 120.
  • the column signal processing circuit 260 is an example of the signal processing circuit described in the claims.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration example of the pixel block 300 according to the first embodiment of the present technology.
  • a front-stage circuit block 305, capacitive elements 331, 332, 336, and 337, a selection unit 340, a rear-stage reset transistor 361, and a rear-stage circuit 370 are arranged in the pixel block 300.
  • the capacitive elements 331, 332, 336 and 337 for example, a capacitance having a MIM (Metal-Insulator-Metal) structure is used.
  • MIM Metal-Insulator-Metal
  • the capacitance elements 331 and 332 are examples of the first and second capacitance elements described in the claims, and the capacitance elements 336 and 337 are the third and fourth capacitances described in the claims. This is an example of an element.
  • the front stage circuits 310 and 320 are arranged in the front stage circuit block 305.
  • Selection circuits 350 and 355 are arranged in the selection unit 340.
  • the post-stage circuit 370 includes a post-stage amplification transistor 371 and a post-stage selection transistor 372.
  • the pre-stage circuit 310 generates a reset level and a signal level in order and holds them in the capacitive elements 331 and 332.
  • the pre-stage circuit 320 sequentially generates a reset level and a signal level and holds them in the capacitive elements 336 and 337.
  • the pre-stage circuit 310 is an example of the first pre-stage circuit described in the claims, and the pre-stage circuit 320 is an example of the second pre-stage circuit described in the claims.
  • the selection circuit 350 connects any of the capacitance elements 331 and 332 to the subsequent node 360.
  • the selection circuit 355 connects any of the capacitive elements 336 and 337 to the subsequent node 360.
  • the selection circuit 350 is an example of the first selection circuit described in the claims, and the selection circuit 355 is an example of the second selection circuit described in the claims.
  • FIG. 4 is a circuit diagram showing a configuration example of the pre-stage circuits 310 and 320 and the selection circuits 350 and 355 in the first embodiment of the present technology.
  • the pre-stage circuit 310 includes a photoelectric conversion element 311, a transfer transistor 312, an FD (Floating Diffusion) reset transistor 313, an FD 314, a pre-stage amplification transistor 315, and a current source transistor 316.
  • a photoelectric conversion element 311 a transfer transistor 312, an FD (Floating Diffusion) reset transistor 313, an FD 314, a pre-stage amplification transistor 315, and a current source transistor 316.
  • the pre-stage circuit 320 includes a photoelectric conversion element 321, a transfer transistor 322, an FD reset transistor 323, an FD 324, a pre-stage amplification transistor 325, and a current source transistor 326.
  • the photoelectric conversion elements 311 and 321 generate electric charges by photoelectric conversion.
  • the transfer transistor 312 transfers an electric charge from the photoelectric conversion element 311 to the FD 314 according to the transfer signal trg1 from the vertical scanning circuit 211.
  • the transfer transistor 322 transfers an electric charge from the photoelectric conversion element 321 to the FD 324 according to the transfer signal trg2 from the vertical scanning circuit 211.
  • photoelectric conversion elements 311 and 321 are examples of the first and second photoelectric conversion elements described in the claims.
  • the transfer transistors 312 and 322 are examples of the first and second transfer transistors described in the claims.
  • the FD reset transistor 313 is initialized by extracting an electric charge from the FD 314 according to the FD reset signal rst1 from the vertical scanning circuit 211.
  • the FD reset transistor 323 is initialized by extracting an electric charge from the FD 324 according to the FD reset signal rst2 from the vertical scanning circuit 211.
  • the FD 314 and 324 accumulate electric charges and generate a voltage according to the amount of electric charges.
  • the FD reset transistors 313 and 323 are examples of the first and second reset transistors described in the claims.
  • FD314 and 324 are examples of the first and second floating diffusion layers described in the claims.
  • the pre-stage amplification transistor 315 amplifies the voltage level of the FD 314 and outputs it to the pre-stage node 330.
  • the pre-stage amplification transistor 325 amplifies the voltage level of the FD 324 and outputs it to the pre-stage node 335.
  • the pre-stage amplification transistors 315 and 325 are examples of the first and second pre-stage amplification transistors described in the claims.
  • the drains of the FD reset transistors 313 and 323 and the pre-stage amplification transistors 315 and 325 are connected to the power supply voltage VDD.
  • the current source transistor 316 is connected to the source of the pre-stage amplification transistor 315.
  • the current source transistor 316 supplies the current id 11 under the control of the vertical scanning circuit 211.
  • the current source transistor 326 is connected to the source of the pre-stage amplification transistor 325.
  • the current source transistor 326 supplies the current id12 under the control of the vertical scanning circuit 211.
  • the current source transistors 316 and 326 are examples of the first and second current source transistors described in the claims.
  • each of the capacitive elements 331 and 332 is commonly connected to the front node 330, and the other end of each is connected to the selection circuit 350.
  • One end of each of the capacitive elements 336 and 337 is commonly connected to the pre-stage node 335, and the other end of each is connected to the selection circuit 355.
  • the selection circuit 350 includes selection transistors 351 and 352.
  • the selection transistor 351 opens and closes the path between the capacitive element 331 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ r1 from the vertical scanning circuit 211.
  • the selection transistor 352 opens and closes the path between the capacitive element 332 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ s1 from the vertical scanning circuit 211.
  • the selection circuit 355 includes selection transistors 356 and 357.
  • the selection transistor 356 opens and closes the path between the capacitive element 336 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ r2 from the vertical scanning circuit 211.
  • the selection transistor 357 opens and closes the path between the capacitive element 337 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ s2 from the vertical scanning circuit 211.
  • the post-stage reset transistor 361 initializes the level of the post-stage node 360 to a predetermined potential Vreg according to the post-stage reset signal rstb from the vertical scanning circuit 211.
  • the potential Vreg is set to a potential different from the power supply potential VDD (for example, a potential lower than VDD).
  • the post-stage amplification transistor 371 amplifies the level of the post-stage node 360.
  • the rear-stage selection transistor 372 outputs a signal at the level amplified by the rear-stage amplification transistor 371 to the vertical signal line 309 as a pixel signal according to the rear-stage selection signal selb from the vertical scanning circuit 211.
  • transistors in the pixel block 300, for example, an nMOS (n-channel Metal Oxide Semiconductor) transistor is used.
  • nMOS n-channel Metal Oxide Semiconductor
  • the circuit including the above-mentioned front-stage circuit 310, capacitive elements 331 and 332, selection circuit 350, rear-stage reset transistor 361, and rear-stage circuit 370 functions as one pixel. Further, a circuit including a front-stage circuit 320, capacitive elements 336 and 337, a selection circuit 355, a rear-stage reset transistor 361, and a rear-stage circuit 370 also functions as one pixel. These two pixels share the post-stage reset transistor 361 and the post-stage circuit 370.
  • the two pixels in the pixel block 300 are arranged in the column direction, for example. In other words, these two pixels are arranged in odd and even rows.
  • the positional relationship between the two pixels in the pixel block 300 is not limited to the odd-numbered rows and the even-numbered rows.
  • two pixels can be arranged in odd and even columns.
  • one of the two pixels may be arranged diagonally above the other.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level FD reset signals (rst1 and rst2) and high-level transfer signals (trg1 and trg2) to all lines at the start of exposure. As a result, the photoelectric conversion element (311 or 321) is initialized. Hereinafter, this control is referred to as "PD reset".
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level FD reset signals rst1 and rst2 over the pulse period while setting the subsequent reset signals rstb and the selection signals ⁇ r1 and ⁇ r2 to high levels for all lines. do.
  • the FDs 314 and 324 are initialized, and the levels corresponding to the levels of the FDs 314 and 324 at that time are held in the capacitive elements 331 and 336. This control is hereinafter referred to as "FD reset".
  • the levels of FD 314 and 324 at the time of FD reset and the levels corresponding to those levels (holding levels of capacitive elements 331 and 336 and levels of vertical signal line 309) are collectively referred to as “P phase” or “reset” below. Called "level”.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level transfer signals trg1 and trg2 over a pulse period while setting the subsequent reset signals rstb and selection signals ⁇ s1 and ⁇ s2 to high levels for all lines.
  • the signal charge corresponding to the exposure amount is transferred to the FD 314 and 324, and the level corresponding to the level of the FD 314 and 324 at that time is held in the capacitive elements 332 and 337.
  • the levels of FD 314 and 324 during signal charge transfer and the levels corresponding to those levels (holding levels of capacitive elements 332 and 337 and levels of vertical signal line 309) are collectively referred to as “D phase” or “D phase” below. Called "signal level”.
  • the exposure control that starts and ends exposure of all pixels at the same time in this way is called the global shutter method.
  • the pre-stage circuit 310 of all pixels generates a reset level and a signal level in order.
  • the reset level is held by the capacitive elements 331 and 336, and the signal level is held by the capacitive elements 332 and 337.
  • the vertical scanning circuit 211 selects the rows in order and outputs the reset level and the signal level of the rows in order.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the FD reset signal rst1 or rst2 of the selected line and the subsequent selection signal selb to the high level, and outputs the high level selection signal ⁇ r1 or ⁇ r2 over a predetermined period. Supply.
  • the capacitive element 331 or 336 is connected to the subsequent node 360, and the reset level is read out.
  • the vertical scanning circuit 211 After reading the reset level, the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level post-reset signal rstb over the pulse period while keeping the FD reset signal rst1 or rst2 and the post-selection signal selb of the selected line at the high level. .. As a result, the level of the subsequent node 360 is initialized. At this time, the selection transistors 351 and 352, 356 and 357 are in the open state, and the capacitive elements 331, 332, 336 and 337 are separated from the subsequent node 360.
  • the vertical scan circuit 211 keeps the FD reset signal (rst1 or rst2) and the post-selection signal selb of the selected row at high levels and outputs the high-level selection signals ⁇ s1 or ⁇ s2 for a predetermined period of time. Supply over. As a result, the capacitive element 332 or 337 is connected to the subsequent node 360, and the signal level is read out.
  • the selection circuit 350 of the selected row by the above-mentioned read control controls to connect the capacitance element 331 to the rear node 360, to disconnect the capacitance elements 331 and 332 from the rear node 360, and to connect the capacitance element 332 to the rear node 360.
  • the control to connect to is performed in order.
  • the selection circuit 355 of the selected row controls to connect the capacitance element 336 to the rear node 360, to disconnect the capacitance elements 336 and 337 from the rear node 360, and to connect the capacitance element 337 to the rear node 360. And in order.
  • the trailing reset transistor 361 in the selected row initializes the level of the trailing node 360.
  • the post-stage circuit 370 in the selected line reads out the reset level and the signal level in order from the capacitive elements 331 and 332 (or the capacitive elements 336 and 337) via the post-stage node 360, and outputs the reset level and the signal level to the vertical signal line 309.
  • FIG. 5 is a block diagram showing a configuration example of the column signal processing circuit 260 according to the first embodiment of the present technology.
  • a vertical signal line 309 is wired in each row of the pixel block 300 in the load MOS circuit block 250. Assuming that the number of columns is I (I is an integer), I vertical signal lines 309 are wired. Further, a load MOS transistor 251 that supplies a constant current id2 is connected to each of the vertical signal lines 309.
  • a plurality of ADCs 261 and a digital signal processing unit 262 are arranged in the column signal processing circuit 260.
  • ADC 261 is arranged in each row. Assuming that the number of columns is I, I ADC261s are arranged.
  • the ADC 261 uses the lamp signal Rmp from the DAC 213 to convert an analog pixel signal from the corresponding column into a digital signal.
  • the ADC 261 supplies a digital signal to the digital signal processing unit 262.
  • the ADC 261 a single slope type ADC equipped with a comparator and a counter is arranged.
  • the digital signal processing unit 262 performs predetermined signal processing such as CDS processing on each of the digital signals for each column.
  • the digital signal processing unit 262 supplies image data composed of the processed digital signal to the recording unit 120.
  • FIG. 6 is a timing chart showing an example of the global shutter operation according to the first embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 has high-level FD reset signals rst1 and rst2 and transfer signals trg1 in all rows (in other words, all pixels) from the timing T0 immediately before the start of exposure to the timing T1 after the lapse of the pulse period. And trg2 are supplied. As a result, all the pixels are PD reset, and the exposure is started at the same time in all the rows.
  • rst1_ [n], rst2_ [n], trg1_ [n], and trg2_ [n] in the figure indicate signals to the pixel in the nth row of the Nth row.
  • N is an integer indicating the total number of rows in which the pixel blocks 300 are arranged
  • n is an integer of 1 to N.
  • the nth row of the pixel block 300 includes two rows of odd-numbered rows and even-numbered rows.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the subsequent reset signals rstb and the selection signals ⁇ r1 and ⁇ r2 to high levels in all lines, and sets the high level FD reset signals rst1 and rst2 over the pulse period. To supply. As a result, all pixels are FD reset and the reset level is sample-held.
  • rstb_ [n], ⁇ r1_ [n], and ⁇ r2_ [n] in the figure indicate signals to the pixel on the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 returns the selection signals ⁇ r1 and ⁇ r2 to the low level.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level transfer signals trg1 and trg2 over the pulse period while setting the subsequent reset signals rstb and selection signals ⁇ s1 and ⁇ s2 to high levels in all lines. As a result, the signal level is sample-held. Further, ⁇ s1_ [n] and ⁇ s2_ [n] in the figure indicate signals to the pixel on the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 returns the selection signals ⁇ s1 and ⁇ s2 to the low level.
  • FIG. 7 is a timing chart showing an example of the reading operation of the first pixel in the pixel block 300 according to the first embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the FD reset signals rst1 and rst2 of the nth line and the subsequent selection signal selb to a high level. Further, at the timing T10, the rear reset signal rstb of all lines is controlled to a low level.
  • selb_ [n] in the figure indicates a signal to the pixel on the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level selection signal ⁇ r1 to the nth row during the period from the timing T11 immediately after the timing T10 to the timing T12.
  • the potential of the subsequent node 360 becomes the reset level Vrst1.
  • This reset level is AD-converted by the ADC 261.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level selection signal ⁇ s1 to the nth row during the period from the timing T14 to the timing T15 immediately after the initialization of the subsequent node 360.
  • the potential of the subsequent node 360 becomes the signal level Vsig1.
  • This signal level is AD-converted by the ADC 261.
  • the difference between the reset level Vrst1 and the signal level Vsig1 corresponds to the net signal level from which the reset noise and offset noise of the FD are removed.
  • FIG. 8 is a timing chart showing an example of the reading operation of the first pixel in the pixel block 300 according to the first embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level selection signal ⁇ r2 to the nth row during the period from the timing T17 to the timing T18 immediately after the initialization of the subsequent node 360.
  • the potential of the subsequent node 360 becomes the reset level Vrst2. This reset level is AD-converted by the ADC 261.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level selection signal ⁇ s2 to the nth row during the period from the timing T20 to the timing T21 immediately after the initialization of the subsequent node 360.
  • the potential of the subsequent node 360 becomes the signal level Vsig2. This signal level is AD-converted by the ADC 261.
  • the vertical scanning circuit 211 returns the FD reset signals rst1 and rst2 of the nth row and the post-stage selection signal selb to the low level.
  • high-level selection signals ⁇ r1, ⁇ s1, ⁇ r2 and ⁇ s2 are supplied in order.
  • the selection unit 340 connects the capacitance elements 331, 332, 336 and 337 to the subsequent node 360 in order. Then, the reset level Vrst1 and the signal level Vsig1 of the first pixel in the pixel block 300 and the reset level Vrrst2 and the signal level Vsig2 of the second pixel are read out in order.
  • the solid-state image sensor 200 reads out the signal level after the reset level, but the order is not limited to this.
  • the solid-state image sensor 200 can also read the reset level after the signal level.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level selection signal ⁇ r after the high-level selection signal ⁇ s. Further, in this case, it is necessary to reverse the slope of the ramp signal.
  • FIG. 9 is a circuit diagram showing an example of a pixel configuration in the comparative example.
  • the selection circuit 350 is not provided, and the transfer transistor is inserted between the pre-stage node 330 and the pre-stage circuit.
  • the capacitances C1 and C2 are inserted in place of the capacitance elements 331 and 332.
  • the capacitance C1 is inserted between the front node 330 and the ground terminal, and the capacitance C2 is inserted between the front node 330 and the rear node 360.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of the state of each pixel block at the time of reading the reset level and at the time of initializing the subsequent node in the first embodiment of the present technology.
  • a shows the state of the pixel block 300 at the time of reading the reset level
  • b in the figure shows the state of the pixel block 300 at the time of initializing the subsequent node 360.
  • the selection transistor 351 and the selection transistor 352 and the subsequent reset transistor 361 are represented by the symbol of the switch for convenience of explanation.
  • the vertical scanning circuit 211 closes the selection transistor 351 and opens the selection transistor 352 and the subsequent reset transistor 361. As a result, the reset level of the first pixel is read out via the subsequent circuit 370.
  • the vertical scanning circuit 211 After reading the reset level, as illustrated in b in the figure, the vertical scanning circuit 211 opens the selection transistor 351 and the selection transistor 352, and closes the subsequent reset transistor 361. As a result, the capacitive elements 331 and 332 are separated from the rear node 360, and the level of the rear node 360 is initialized.
  • the capacitance value of the parasitic capacitance Cp of the subsequent node 360 in the state of being separated from the capacitance elements 331 and 332 in this way is assumed to be very small as compared with the capacitance elements 331 and 332.
  • the parasitic capacitance Cp is several femtofarads (fF)
  • the capacitance elements 331 and 332 are on the order of several tens of femtofarads.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the state of the pixel block 300 at the time of reading the signal level in the first embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 closes the selection transistor 352 and opens the selection transistor 351 and the post-stage reset transistor 361. As a result, the signal level of the first pixel is read out via the subsequent circuit 370.
  • Equation 2 the kTC noise during exposure and readout is expressed by Equation 2.
  • the kTC noise becomes smaller than that of the comparative example in which the capacitance cannot be separated at the time of reading. Thereby, the image quality of the image data can be improved.
  • the circuit scale of the pixel array unit 220 can be reduced as compared with the case where they are not shared.
  • the number of shared pixels is not limited to two pixels. Three or more pixels can also share the post-stage reset transistor 361 and the post-stage circuit 370.
  • FIG. 12 is a flowchart showing an example of the operation of the solid-state image sensor 200 according to the first embodiment of the present technology. This operation is started, for example, when a predetermined application for capturing image data is executed.
  • the vertical scanning circuit 211 exposes all pixels (step S901). Then, the vertical scanning circuit 211 selects the row of the pixel block 300 to be read (step S902). The column signal processing circuit 260 reads the reset level of the first pixel in the pixel block 300 of the row (step S903), and then reads the signal level of that pixel (step S904). Subsequently, the column signal processing circuit 260 reads the reset level of the second pixel (step S905), and then reads the signal level of that pixel (step S906).
  • the solid-state image sensor 200 determines whether or not the reading of all lines is completed (step S907). When the reading of all lines is not completed (step S907: No), the solid-state image sensor 200 repeats steps S902 and subsequent steps. On the other hand, when the reading of all the rows is completed (step S907: Yes), the solid-state image sensor 200 executes CDS processing and the like, and ends the operation for imaging. When a plurality of image data are continuously imaged, steps S901 to S907 are repeatedly executed in synchronization with the vertical synchronization signal.
  • the rear-stage reset transistor 361 initializes the rear-stage node 360 when the selection circuit 350 disconnects the capacitance elements 331 and 332 from the rear-stage node 360. Since the capacitive elements 331 and 332 are separated, the level of reset noise due to the drive of the post-stage reset transistor 361 becomes a level corresponding to a parasitic capacitance smaller than their capacitance. By reducing this noise, the image quality of the image data can be improved.
  • the circuit scale of the pixel array unit 220 can be reduced as compared with the case where they are not shared.
  • the solid-state image sensor 200 reads out the pixel signals of the two pixels in the pixel block 300 in order, but in this configuration, the reading speed may be insufficient.
  • the solid-state image sensor 200 of the first modification of the first embodiment is different from the first embodiment in that pixel addition is performed.
  • FIG. 13 is a timing chart showing an example of the reset level and signal level reading operation in the first modification of the first embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 of the first embodiment is set to one of a plurality of modes including a non-addition mode in which pixel addition is not performed and an addition mode in which pixel addition is performed.
  • the global shutter operation and the read operation in the non-addition mode are the same as those in the first embodiment.
  • the global shutter operation in the addition mode is the same as that in the non-addition mode.
  • the vertical scanning circuit 211 When reading in the addition mode, as illustrated in the figure, at the timing T10 of the start of reading in the nth row, the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level FD reset signals rst1 and rst2 over the pulse period. .. Further, within the reading period from the timing T10 to the timing T15, the vertical scanning circuit 211 sets the post-stage selection signal selb to a high level.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level selection signals ⁇ r1 and ⁇ s2 to the nth row during the period from the timing T11 immediately after the timing T10 to the timing T12. As a result, the potential of the subsequent node 360 becomes the reset level Vrst.
  • This reset level Vrst is a value obtained by adding the reset levels of each of the two pixels in the pixel block 300.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to the nth row.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level selection signals ⁇ r2 and ⁇ s2 to the nth row during the period from the timing T14 to the timing T15 immediately after the initialization of the subsequent node 360. As a result, the potential of the subsequent node 360 becomes the signal level Vsig.
  • This signal level Vsig is a value obtained by adding the signal levels of the two pixels in the pixel block 300.
  • high-level selection signals ⁇ r1 and ⁇ s1 are supplied, and the selection unit 340 connects the capacitance elements 331 and 336 to the subsequent node 360 according to these selection signals. In other words, the capacitance element 331 and the capacitance element 336 are short-circuited. As a result, the reset levels of the two pixels are added. Further, high-level selection signals ⁇ r2 and ⁇ s2 are supplied, and the selection unit 340 connects the capacitance elements 332 and 337 to the subsequent node 360 according to these selection signals. In other words, the capacitance element 332 and the capacitance element 337 are short-circuited. As a result, the signal levels of the two pixels are added. By adding these pixels, it is possible to improve the sensitivity and the reading speed as compared with the case where the pixels are not added. Further, since the number of rows to be read is reduced by pixel addition, power consumption can be reduced.
  • the solid-state image sensor 200 reads out the signal level after the reset level
  • the order is not limited to this, and the reset level can be read out after the signal level.
  • the selection unit 340 connects the capacitance elements 331 and 336 to the rear node 360, and connects the capacitance elements 332 and 337 to the rear node 360. It is possible to add the pixel signals of each of the two pixels in order to connect to. As a result, the sensitivity and the reading speed can be improved and the power consumption can be reduced as compared with the case where the addition is not performed.
  • the circuit in the solid-state image sensor 200 is provided on a single semiconductor chip, but in this configuration, there is a risk that the element will not fit in the semiconductor chip when the pixels are miniaturized. be.
  • the solid-state image sensor 200 of the second modification of the first embodiment is different from the first embodiment in that the circuits in the solid-state image sensor 200 are distributed and arranged on two semiconductor chips.
  • FIG. 14 is a diagram showing an example of a laminated structure of the solid-state image sensor 200 in the second modification of the first embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 of the second modification of the first embodiment includes a lower pixel chip 202 and an upper pixel chip 201 laminated on the lower pixel chip 202. These chips are electrically connected, for example, by Cu-Cu bonding. In addition to Cu-Cu bonding, it can also be connected by vias or bumps.
  • the upper pixel array unit 221 is arranged on the upper pixel chip 201.
  • the lower pixel array unit 222 and the column signal processing circuit 260 are arranged on the lower pixel chip 202.
  • For each pixel in the pixel array unit 220 a part thereof is arranged in the upper pixel array unit 221 and the rest is arranged in the lower pixel array unit 222.
  • a vertical scanning circuit 211 a timing control circuit 212, a DAC 213, and a load MOS circuit block 250 are also arranged on the lower pixel chip 202. These circuits are omitted in the figure.
  • the upper pixel chip 201 is manufactured by, for example, a pixel-dedicated process
  • the lower pixel chip 202 is manufactured by, for example, a CMOS (Complementary MOS) process.
  • the upper pixel chip 201 is an example of the first chip described in the claims
  • the lower pixel chip 202 is an example of the second chip described in the claims.
  • FIG. 15 is a circuit diagram showing a configuration example of the pixel block 300 in the second modification of the first embodiment of the present technology.
  • the front-stage circuit block 305 is arranged on the upper pixel chip 201, and other circuits and elements (capacitive elements 331, 332, etc.) are arranged on the lower pixel chip 202.
  • the current source transistors 316 and 326 can also be arranged on the lower pixel chip 202.
  • the elements in the pixel block 300 in a dispersed manner on the stacked upper pixel chips 201 and lower pixel chips 202, the pixel area can be reduced and the pixel fineness can be reduced. It becomes easy to change.
  • the circuits and elements in the pixel block 300 are distributed and arranged on the two semiconductor chips, the pixels can be easily miniaturized. become.
  • the solid-state image sensor 200 of the third modification of the first embodiment is the second embodiment of the first embodiment in that the circuits in the solid-state image sensor 200 are distributed and arranged on three semiconductor chips. It is different from the modified example.
  • FIG. 16 is a diagram showing an example of a laminated structure of the solid-state image sensor 200 in the third modification of the first embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 of the third modification of the first embodiment includes an upper pixel chip 201, a lower pixel chip 202, and a circuit chip 203. These chips are laminated and electrically connected, for example, by Cu-Cu bonding. In addition to Cu-Cu bonding, it can also be connected by vias or bumps.
  • the upper pixel array unit 221 is arranged on the upper pixel chip 201.
  • the lower pixel array unit 222 is arranged on the lower pixel chip 202. For each pixel in the pixel array unit 220, a part thereof is arranged in the upper pixel array unit 221 and the rest is arranged in the lower pixel array unit 222.
  • the column signal processing circuit 260, the vertical scanning circuit 211, the timing control circuit 212, the DAC 213, and the load MOS circuit block 250 are arranged on the circuit chip 203. Circuits other than the column signal processing circuit 260 are omitted in the figure.
  • the upper pixel chip 201 is an example of the first chip described in the claims
  • the lower pixel chip 202 is an example of the second chip described in the claims
  • the circuit chip 202 is an example of the third chip described in the claims.
  • the three-layer configuration can reduce wasted space and further miniaturize the pixels as compared with the two-layer configuration.
  • the lower pixel chip 204 of the second layer can be manufactured by a dedicated process for capacitance and switch.
  • the circuits in the solid-state image sensor 200 are distributed and arranged on the three semiconductor chips, so that the circuits are distributed and arranged on the two semiconductor chips.
  • the pixels can be further miniaturized as compared with the case of the above.
  • the solid-state image sensor 200 reads out the pixel signals of the two pixels in the pixel block 300 in order, but in this configuration, the reading speed may be insufficient.
  • the solid-state image sensor 200 of the first modification of the first embodiment is different from the first embodiment in that pixel addition is performed.
  • FIG. 17 is a plan view showing a configuration example of the pixel array unit 220 according to the second embodiment of the present technology.
  • a is a plan view showing an example of the pixel array unit 220 of the Bayer array.
  • b is a plan view showing an example of the pixel array portion 220 of the quad Bayer array.
  • the pixels of R (Red), G (Green) and B (Blue) are arranged in a Bayer array.
  • the solid-state image sensor 200 can add the pixel signals of the R pixel 301 and the R pixels 302 to 304 in the vicinity thereof among these pixels.
  • the solid-state image sensor 200 can add the pixel signals of the four nearby pixels.
  • the pixels can be arranged by the Quadra Bayer arrangement as illustrated in b in the figure.
  • the quad Bayer array four pixels of the same color are arranged adjacently in 2 rows ⁇ 2 columns. Focusing on the 4 pixels of R, the 4 pixels of B are arranged on the lower right side of them, and the 4 pixels of G are arranged on the right side and the lower side.
  • the solid-state image sensor 200 can add the pixel signals of four adjacent pixels of the same color (pixels 301 to 304, etc.) among these pixels.
  • the pixel arrangement is not limited to the Bayer arrangement or the Quadra Bayer arrangement.
  • R, G, B and W (White) pixels can also be arranged.
  • FIG. 18 is a circuit diagram showing a configuration example of the pixel block 300 according to the second embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the second embodiment four pixels to be added when performing pixel addition are arranged.
  • the pixels 301 to 304 in FIG. 17 are arranged in the pixel block 300.
  • the pixel block 300 of the second embodiment is further provided with capacitive elements 431, 432, 436 and 437, a short-circuit transistor 480, a post-stage reset transistor 461, and a post-stage circuit 470.
  • the front stage circuits 410 and 420 are further arranged in the front stage circuit block 305
  • the selection circuits 450 and 455 are further arranged in the selection unit 340.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the rear-stage reset signal rstb1 to the rear-stage reset transistor 361 and supplies the rear-stage reset signal rstb2 to the rear-stage reset transistor 461.
  • a rear-stage amplification transistor 471 and a rear-stage selection transistor 472 are arranged in the rear-stage circuit 470.
  • these transistors for example, nMOS transistors are used.
  • the circuit configuration of the rear-stage reset transistor 461 and the rear-stage circuit 470 is the same as that of the rear-stage reset transistor 361 and the rear-stage circuit 370.
  • the subsequent circuits 370 and 470 are connected to the same vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the rear-stage selection signal sellb1 to the rear-stage selection transistor 372, and supplies the rear-stage selection signal sellb2 to the rear-stage selection transistor 472.
  • the pre-stage circuit 410 generates a reset level and a signal level in order and holds them in the capacitive elements 431 and 432.
  • the pre-stage circuit 420 sequentially generates a reset level and a signal level and holds them in the capacitive elements 436 and 437.
  • the capacitance elements 431 and 432 are examples of the fifth and sixth capacitance elements described in the claims, and the capacitance elements 436 and 437 are the seventh and eighth capacitances described in the claims. This is an example of an element.
  • the selection circuit 450 connects any of the capacitance elements 431 and 432 to the post-stage node 460
  • the selection circuit 455 connects any of the capacitance elements 436 and 437 to the post-stage node 460.
  • the selection circuit 450 is an example of the third selection circuit described in the claims
  • the selection circuit 455 is an example of the fourth selection circuit described in the claims.
  • the latter node 360 is an example of the first posterior node described in the claims
  • the posterior node 460 is an example of the second posterior node described in the claims.
  • the short-circuit transistor 480 opens and closes the path between the rear-stage node 360 and the rear-stage node 460 according to the short-circuit signal sht from the vertical scanning circuit 211.
  • the short-circuit transistor 480 for example, an nMOS transistor is used.
  • FIG. 19 is a circuit diagram showing a configuration example of the pre-stage circuits 410 and 420 and the selection circuits 450 and 455 in the second embodiment of the present technology.
  • the pre-stage circuit 410 includes a photoelectric conversion element 411, a transfer transistor 412, an FD reset transistor 413, an FD 414, a pre-stage amplification transistor 415, and a current source transistor 416.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signal trg3 and the FD reset signal rst3 to the transfer transistor 412 and the FD reset transistor 413.
  • the pre-stage circuit 420 includes a photoelectric conversion element 421, a transfer transistor 422, an FD reset transistor 423, an FD 424, a pre-stage amplification transistor 425, and a current source transistor 426.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signal trg4 and the FD reset signal rst4 to the transfer transistor 422 and the FD reset transistor 423.
  • the selection circuit 450 includes selection transistors 451 and 452, and the selection circuit 455 includes selection transistors 456 and 457.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the selection signals ⁇ r3 and ⁇ s3 to the selection transistors 451 and 452, and supplies the selection signals ⁇ r4 and ⁇ s4 to the selection transistors 456 and 457.
  • the circuit configurations of the pre-stage circuits 410 and 420 are the same as those of the pre-stage circuits 310 and 320.
  • the circuit configurations of the selection circuits 450 and 455 are the same as those of the selection circuits 350 and 355.
  • FIG. 20 is a timing chart showing an example of the reading operation of the first and second pixels in the pixel block 300 according to the second embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 of the second embodiment is set to one of a plurality of modes including a non-addition mode in which pixel addition is not performed and an addition mode in which pixel addition is performed.
  • the global shutter operation and the read operation in the non-addition mode are the same as those in the first embodiment.
  • the global shutter operation in the addition mode is the same as that in the non-addition mode.
  • the vertical scanning circuit 211 lowers the short-circuit signal st. Further, at the timing T10 of the start of reading the row of the nth pixel block 300, the vertical scanning circuit 211 sets the FD reset signals rst1 to rst4 to a high level. Further, within the period of timings T10 to T18, the vertical scanning circuit 211 sets the post-stage selection signal selb1 to a high level and the post-stage selection signal sellb2 to a low level.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb1 within the pulse period from the timings T10 to T11, and supplies the high-level selection signal ⁇ r1 within the period from the timings T11 to T12. Within this period, the reset level Vrst1 of the first pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb1, and supplies the high-level selection signal ⁇ s1 within the period from timing T13 to T14. Within this period, the signal level Vsig1 of the first pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb1 within the pulse period from the timings T14 to T15, and supplies the high-level selection signal ⁇ r2 within the period from the timings T15 to T16. Within this period, the reset level Vrst2 of the second pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb1 within the pulse period from the timings T16 to T17, and supplies the high-level selection signal ⁇ s2 within the period from the timings T17 to T18. Within this period, the signal level Vsig2 of the second pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • FIG. 21 is a timing chart showing an example of the reading operation of the third and fourth pixels of 300 in the pixel block in the second embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the post-stage selection signal sellb1 to a low level and the post-stage selection signal sellb2 to a high level.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb2 within the pulse period from the timing T18 to T19, and supplies the high-level selection signal ⁇ r3 within the period from the timing T19 to T20. Within this period, the reset level Vrst3 of the third pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb2, and supplies the high-level selection signal ⁇ s3 within the period from timing T21 to T22. Within this period, the signal level Vsig3 of the third pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb2 within the pulse period from the timings T22 to T23, and supplies the high-level selection signal ⁇ r4 within the period of the timings T23 to T24. Within this period, the reset level Vrst4 of the fourth pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signal rstb2, and supplies the high-level selection signal ⁇ s4 within the period from timing T25 to T26. Within this period, the signal level Vsig4 of the fourth pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 lowers the FD reset signals rst1 to rst4 to a low level.
  • the short-circuit transistor 480 is controlled to be in the open state in the non-addition mode. Further, the capacitive elements 331 and 332 are sequentially connected to the subsequent node 360, and the reset level and the signal level of the first pixel are read out in order. Capacitive elements 336 and 337 are sequentially connected to the subsequent node 360, and the reset level and signal level of the second pixel are read out in order. Subsequently, the capacitive elements 431 and 432 are sequentially connected to the subsequent node 460, and the reset level and the signal level of the third pixel are read out in order.
  • Capacitive elements 436 and 437 are sequentially connected to the subsequent node 460, and the reset level and signal level of the fourth pixel are read out in order. In this way, the reset level and the signal level of each of the four pixels in the pixel block 300 are read out in order.
  • FIG. 22 is a timing chart showing an example of the reading operation of the addition mode in the second embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 raises the short circuit signal st.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the FD reset signals rst1 to rst4 and the post-stage selection signals sell1 and sellb2 to high levels.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signals rstb1 and rstb2 within the pulse period from the timing T10 to T11, and supplies the high-level selection signals ⁇ r1 to ⁇ r4 within the period of the timings T11 to T12. .. Within this period, the reset level Vrst is read out via the vertical signal line 309. This reset level Vrst is a value obtained by adding the reset levels of each of the four pixels in the pixel block 300.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level rear-stage reset signals rstb1 and rstb2 within the pulse period from the timings T12 to T13, and supplies the high-level selection signals ⁇ s1 to ⁇ s4 within the period of the timings T13 to T14. do.
  • the signal level Vsig is read out via the vertical signal line 309. This signal level Vsig is a value obtained by adding the signal levels of each of the four pixels in the pixel block 300.
  • the pixel block 300 of the first embodiment 4 pixels can be added by increasing the number of pixels sharing the subsequent circuit 370 to 4.
  • the number of pixels sharing the post-stage circuit 370 increases, an adverse effect will occur.
  • the wiring of the latter-stage node 360 straddles four pixels, and the parasitic capacitance of the subsequent-stage node 360 increases. Due to this increase in parasitic capacitance, the gain of the signal when pixel addition is not performed decreases. This is because the voltage held in the capacitance elements 331 and 332 is reduced by the parasitic capacitance when connected to the subsequent node 360. Due to this decrease in gain, the SN (Signal-Noise) ratio decreases.
  • the short-circuit transistor 480 is provided, the number of pixels sharing each of the subsequent circuits 370 and 470 is reduced to 2 by opening the short-circuit transistor 480 in the non-addition mode. can do.
  • one vertical signal line 309 was shared by the subsequent circuits 370 and 470, but the configuration is not limited to this. It is also possible to wire the vertical signal lines 309-1 and 309-2, connect the post-stage circuit 370 to the vertical signal line 309-1, and connect the post-stage circuit 470 to the vertical signal line 309-2. In this case, it is necessary to double the number of load MOS transistors 251 and the number of ADC 261 in the subsequent stage together with the number of vertical signal line wirings. Instead, in the non-addition mode, one of the two pixels sharing the latter stage circuit 370 and one of the two pixels sharing the latter stage circuit 470 can be read out at the same time, so that the reading speed can be improved. Further, in the addition mode, only one of the vertical signal lines 309-1 and 309-2 is used, and the load MOS transistor 251 corresponding to the other is controlled to the off state.
  • the pixel block 300 adds the pixel signals of each of the four pixels. Can be done. As a result, the sensitivity and the reading speed can be improved and the power consumption can be reduced as compared with the case where the addition is not performed.
  • the current source transistors (316 and 326) are arranged for each pixel, but in this configuration, it may be difficult to miniaturize the pixels.
  • the solid-state image sensor 200 of the third embodiment is different from the first embodiment in that the current source transistor is shared by a plurality of pixels.
  • FIG. 23 is a circuit diagram showing a configuration example of the pixel block 300 according to the third embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the third embodiment is different from the first embodiment in that the pixel block 300 further includes the pre-stage selection transistors 317 and 327 and is not provided with the current source transistor 316.
  • the pre-stage selection transistor 317 outputs the voltage amplified by the pre-stage amplification transistor 315 to the pre-stage node 338 according to the pre-stage selection signal sel1 from the vertical scanning circuit 211.
  • the pre-stage selection transistor 327 outputs the voltage amplified by the pre-stage amplification transistor 325 to the pre-stage node 338 according to the pre-stage selection signal sel2 from the vertical scanning circuit 211.
  • the current source transistor 326 is connected to the pre-stage node 338.
  • one end of the capacitance elements 331, 332, 336 and 337 is commonly connected to the front node 339, and the other end is connected to the selection circuits 350 and 355.
  • the pre-stage node 339 is connected to the pre-stage node 338.
  • the circuits and elements in the solid-state image sensor 200 are distributed and arranged on the upper pixel chip 201 and the lower pixel chip 202.
  • the front-stage circuits 310 and 320 are arranged on the upper pixel chip 201, and their subsequent-stage circuits are arranged on the circuit chip 202.
  • the front-stage node 338 and the front-stage node 339 are connected by a Cu-Cu connection or the like.
  • the current source transistor is arranged for each pixel, it is necessary to make a Cu—Cu connection for each pixel as illustrated in FIG. 15 when forming the laminated structure.
  • a capacitive element 331 having a MIM structure or the like is arranged on the circuit chip 202, the thickness of the chip increases, it becomes difficult to flatten the surface connecting the upper and lower chips, and the pitch of Cu-Cu connection is restricted.
  • the size of fine pixels of an image sensor for mobile use is micrometer ( ⁇ m) or less, whereas the pitch of Cu-Cu connection is several micrometers ( ⁇ m). Therefore, in a configuration in which a current source transistor is arranged for each pixel, miniaturization becomes difficult.
  • the current source transistor 326 is shared by two pixels. Therefore, the number of Cu-Cu connections can be reduced. Therefore, the pixel miniaturization becomes easy. In addition, the current during global shutter operation can be reduced. Further, the current source transistor 326 generally has a cascade configuration in order to suppress current fluctuation due to the channel length modulation effect of the transistor. By sharing the relatively large current source transistor 326, the area of the transistor can be reduced.
  • the current source transistor 326 is shared by two pixels, the number of shared pixels is not limited to two pixels, and may be three or more pixels.
  • FIG. 24 is a timing chart showing an example of the global shutter operation in the third embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level FD reset signals rst1 and rst2 and transfer signals trg1 and trg2 to all rows from the timing T0 immediately before the start of exposure to the timing T1 after the lapse of the pulse period. As a result, all the pixels are PD reset, and the exposure is started at the same time in all the rows.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the pre-stage selection signal sel1 of all lines to a high level within the period from timings T2 to T5 immediately before the end of exposure. At the timing T3 within that period, the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level FD reset signal rst1 over the pulse period while setting the subsequent reset signal rstb and the selection signal ⁇ r1 to high levels in all lines. As a result, the first pixel in the pixel block 300 is FD reset, and the reset level is sample-held.
  • the vertical scanning circuit 211 returns the selection signal ⁇ r1 to the low level. Further, the vertical scanning circuit 211 sets the pre-stage selection signal sel1 of all lines to a low level and the pre-stage selection signal sel2 to a high level within the period from timing T5 to T8. At the timing T6 within that period, the vertical scanning circuit 211 supplies a high level FD reset signal rst2 over the pulse period while setting the subsequent reset signal rstb and the selection signal ⁇ r2 to high levels in all lines. As a result, the second pixel in the pixel block 300 is FD reset, and the reset level is sample-held.
  • the vertical scanning circuit 211 returns the selection signal ⁇ r2 of all lines to the low level at the timing T7, sets the pre-stage selection signal sel2 to the low level, and sets the pre-stage selection signal sel1 to the high level at the timing T8.
  • sel1_ [n] and sel2_ [n] in the figure indicate signals to the pixel on the nth line.
  • the vertical scanning circuit 211 closes the pre-stage selection transistors 317 and 327 in order immediately before the end of exposure. Then, the FD reset transistor 313 performs an FD reset when the front-stage selection transistor 317 is in the closed state, and the FD reset transistor 323 performs an FD reset when the front-stage selection transistor 327 is in the closed state.
  • FIG. 25 is a timing chart showing an example of control immediately after the end of exposure in the third embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies high-level transfer signals trg1 and trg2 over the pulse period in all rows.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the selection signal ⁇ s1 to a high level in all lines within the period from timing T10 to T11. As a result, the signal level of the first pixel in the pixel block 300 is sample-held.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the pre-stage selection signal sel1 of all lines to the low level and the pre-stage selection signal sel2 to the high level at the timing T12.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the selection signal ⁇ s2 to a high level in all lines within the period from timing T13 to T14. As a result, the signal level of the second pixel in the pixel block 300 is sample-held.
  • the vertical scanning circuit 211 returns the previous stage selection signal sel2 of all lines to the low level at the timing T15.
  • the vertical scanning circuit 211 closes the pre-stage selection transistors 317 and 327 in order at the end of exposure. Then, the vertical scanning circuit 211 transfers the electric charge to the transfer transistors 312 and 322 at the end of the exposure, and then closes the pre-stage selection transistors 317 and 327 in order.
  • the current source transistor 326 is shared by two pixels, the number of Cu-Cu connections between the chips can be reduced. This facilitates the miniaturization of pixels.
  • FIG. 26 is a circuit diagram showing a configuration example of the pixel block 300 according to the fourth embodiment of the present technology.
  • a front-stage circuit block 305 capacitive elements 331, 332, 531, 532 and 533, a selection unit 340, a rear-stage reset transistor 361, and a rear-stage circuit 370 are arranged. Will be done.
  • Four pixels are arranged in the pixel block 300 of the fourth embodiment. For example, the pixels 301 to 304 in FIG. 17 are arranged in the pixel block 300.
  • the pre-stage circuit block 305 includes photoelectric conversion elements 311, 511, 512 and 513, and transfer transistors 312, 514, 515 and 516. Further, the pre-stage circuit block 305 includes an FD reset transistor 313, an FD 314, a pre-stage amplification transistor 315, and a current source transistor 316. As the transfer transistors 312, 514, 515 and 516, for example, nMOS transistors are used.
  • the selection unit 340 includes selection transistors 351 and 352, 551, 552 and 5553.
  • the photoelectric conversion elements 511 to 513 generate electric charges by photoelectric conversion.
  • the transfer transistor 514 transfers an electric charge from the photoelectric conversion element 511 to the FD 314 according to the transfer signal trg2 from the vertical scanning circuit 211.
  • the transfer transistor 515 transfers an electric charge from the photoelectric conversion element 512 to the FD 314 according to the transfer signal trg3 from the vertical scanning circuit 211.
  • the transfer transistor 516 transfers an electric charge from the photoelectric conversion element 513 to the FD 314 according to the transfer signal trg4 from the vertical scanning circuit 211.
  • connection configuration of the capacitive elements 331 and 332 of the fourth embodiment and the selection transistors 351 and 352 is the same as that of the first embodiment. However, the selection signal ⁇ r from the vertical scanning circuit 211 is input to the selection transistor 351.
  • One end of the capacitance elements 531, 532 and 533 is commonly connected to the front node 330, and the other end is connected to the selection unit 340.
  • the selection transistor 551 opens and closes the path between the capacitive element 531 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ r2 from the vertical scanning circuit 211.
  • the selection transistor 552 opens and closes the path between the capacitive element 532 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ r3 from the vertical scanning circuit 211.
  • the selection transistor 553 opens and closes the path between the capacitive element 533 and the subsequent node 360 according to the selection signal ⁇ r4 from the vertical scanning circuit 211.
  • the circuit configuration of the post-stage reset transistor 361 and the post-stage circuit 370 of the fourth embodiment is the same as that of the first embodiment.
  • the circuits and elements in the solid-state image sensor 200 are distributed and arranged on the upper pixel chip 201 and the circuit chip 202.
  • the front-stage circuit block 305 is arranged on the upper pixel chip 201, and the circuits behind them are arranged on the circuit chip 202.
  • one FD314 is shared by the four pixels, and the post-stage reset transistor 361 and the post-stage circuit 370 are shared. Further, the reset level of the four pixels is held by the capacitance element 331, and the signal level of each of the four pixels is held by the capacitance elements 332, 531, 532 and 533.
  • the capacity for holding the reset level had to be arranged for each pixel, but in the fourth embodiment, since the capacity is shared by four pixels, the number of capacities Can be reduced. This facilitates the miniaturization of pixels as compared with the case where they are not shared.
  • the number of shared pixels is not limited to 4 pixels.
  • the capacitance elements 331 and 332 are examples of the first and second capacitance elements described in the claims.
  • Capacitive elements 531, 532 and 533 are examples of the third capacitive element described in the claims.
  • FIG. 27 is a timing chart showing an example of the global shutter operation in the fourth embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level FD reset signal rst to all lines.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signals trg1, trg2, trg3 and trg4 to all lines over the pulse period. As a result, all pixels are PD reset.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to all lines. Further, at the timing T5, the vertical scanning circuit 211 supplies the FD reset signal rst to all the rows over the pulse period. At the timing T6 immediately after the timing T5, the vertical scanning circuit 211 supplies the selection signal ⁇ r to all the rows over the pulse period. As a result, all rows are FD reset.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signal trg1 to all the lines over the pulse period.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the selection signal ⁇ s1 to all the rows over the pulse period. As a result, the signal level of the first pixel in the pixel block 300 is sample-held.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signal trg2 to all the lines over the pulse period.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the selection signal ⁇ s2 to all the rows over the pulse period.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signal trg3 to all the lines over the pulse period.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the selection signal ⁇ s3 to all the rows over the pulse period.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the transfer signal trg4 to all the lines over the pulse period.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the selection signal ⁇ s4 to all the rows over the pulse period.
  • rst_ [n] and ⁇ r_ [n] indicate signals to the pixel in the nth line of the Nth line.
  • the FD314 is shared by four pixels, it is not possible to transfer the charges of each of the four pixels at the same time as illustrated in the figure.
  • sampling of the four capacitances (capacitive elements 332, 531, 532 and 533) to which the charges are transferred can be realized on the order of several microseconds ( ⁇ s), the exposure time difference between the pixels is not so large. ..
  • FIG. 28 is a timing chart showing an example of the reset level and signal level reading operation in the fourth embodiment of the present technology.
  • the vertical scanning circuit 211 sets the FD reset signal rst to a high level.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies a high-level rear-stage reset signal rstb to the nth row over the pulse period. Then, at the timing T21 immediately after the timing T20, the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level selection signal ⁇ r to the nth row over the pulse period. Immediately after this control, the reset level commonly used by the four pixels is read out via the vertical signal line 309.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high level selection signal ⁇ s1 to the nth row over the pulse period.
  • the signal level Vsig1 of the first pixel is read out via the vertical signal line 309.
  • the column signal processing circuit 260 obtains the difference between the reset level Vrst and the signal level Vsig1 as the net signal level of the first pixel by CDS processing.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level selection signal ⁇ s2 to the nth row over the pulse period.
  • Vsig2 is read out via the vertical signal line 309. This Vsig2 corresponds to the sum of the signal levels of the first and second pixels, respectively.
  • the column signal processing circuit 260 obtains the difference between Vsig1 and Vsig2 as the signal level of the second pixel after CDS processing.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level selection signal ⁇ s3 to the nth row over the pulse period.
  • Vsig3 is read out via the vertical signal line 309. This Vsig3 corresponds to the sum of the signal levels of the first to third pixels.
  • the column signal processing circuit 260 obtains the difference between Vsig2 and Vsig3 as the signal level of the third pixel after CDS processing.
  • the vertical scanning circuit 211 supplies the high-level selection signal ⁇ s4 to the nth row over the pulse period.
  • Vsig4 is read out via the vertical signal line 309. This Vsig4 corresponds to the sum of the signal levels of the first to fourth pixels.
  • the column signal processing circuit 260 obtains the difference between Vsig3 and Vsig4 as the signal level of the fourth pixel after CDS processing.
  • the capacitance element 331 holding the reset level is shared by four pixels, the pixel miniaturization becomes easier as compared with the case where the capacitance element 331 is not shared.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure is realized as a device mounted on a moving body of any kind such as an automobile, an electric vehicle, a hybrid electric vehicle, a motorcycle, a bicycle, a personal mobility, an airplane, a drone, a ship, and a robot. You may.
  • FIG. 29 is a block diagram showing a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via the communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside information detection unit 12030, an in-vehicle information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio image output unit 12052, and an in-vehicle network I / F (interface) 12053 are shown as a functional configuration of the integrated control unit 12050.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of the device related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the drive system control unit 12010 provides a driving force generator for generating the driving force of the vehicle such as an internal combustion engine or a driving motor, a driving force transmission mechanism for transmitting the driving force to the wheels, and a steering angle of the vehicle. It functions as a control device such as a steering mechanism for adjusting and a braking device for generating a braking force of a vehicle.
  • the body system control unit 12020 controls the operation of various devices mounted on the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as a head lamp, a back lamp, a brake lamp, a winker, or a fog lamp.
  • the body system control unit 12020 may be input with radio waves transmitted from a portable device that substitutes for the key or signals of various switches.
  • the body system control unit 12020 receives inputs of these radio waves or signals and controls a vehicle door lock device, a power window device, a lamp, and the like.
  • the vehicle outside information detection unit 12030 detects information outside the vehicle equipped with the vehicle control system 12000.
  • the image pickup unit 12031 is connected to the vehicle exterior information detection unit 12030.
  • the vehicle outside information detection unit 12030 causes the image pickup unit 12031 to capture an image of the outside of the vehicle and receives the captured image.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 may perform object detection processing or distance detection processing such as a person, a vehicle, an obstacle, a sign, or a character on the road surface based on the received image.
  • the imaging unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electric signal according to the amount of the light received.
  • the image pickup unit 12031 can output an electric signal as an image or can output it as distance measurement information. Further, the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or invisible light such as infrared light.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects the in-vehicle information.
  • a driver state detection unit 12041 that detects the driver's state is connected to the in-vehicle information detection unit 12040.
  • the driver state detection unit 12041 includes, for example, a camera that images the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 determines the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver state detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether the driver is dozing.
  • the microcomputer 12051 calculates the control target value of the driving force generator, the steering mechanism, or the braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, and the drive system control unit.
  • a control command can be output to 12010.
  • the microcomputer 12051 realizes ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions including vehicle collision avoidance or impact mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, vehicle lane deviation warning, and the like. It is possible to perform cooperative control for the purpose of.
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generator, the steering mechanism, the braking device, and the like based on the information around the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040. It is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving, etc., which runs autonomously without depending on the operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12020 based on the information outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or the oncoming vehicle detected by the external information detection unit 12030, and performs coordinated control for the purpose of anti-glare such as switching the high beam to the low beam. It can be carried out.
  • the audio image output unit 12052 transmits the output signal of at least one of the audio and the image to the output device capable of visually or audibly notifying the passenger or the outside of the vehicle of the information.
  • an audio speaker 12061, a display unit 12062, and an instrument panel 12063 are exemplified as output devices.
  • the display unit 12062 may include, for example, at least one of an onboard display and a heads-up display.
  • FIG. 30 is a diagram showing an example of the installation position of the imaging unit 12031.
  • the imaging unit 12031 As the imaging unit 12031, the imaging unit 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 is provided.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 are provided at positions such as the front nose, side mirrors, rear bumpers, back doors, and the upper part of the windshield in the vehicle interior of the vehicle 12100, for example.
  • the imaging unit 12101 provided on the front nose and the imaging unit 12105 provided on the upper part of the windshield in the vehicle interior mainly acquire an image in front of the vehicle 12100.
  • the imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors mainly acquire images of the side of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door mainly acquires an image of the rear of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12105 provided on the upper part of the windshield in the vehicle interior is mainly used for detecting a preceding vehicle, a pedestrian, an obstacle, a traffic light, a traffic sign, a lane, or the like.
  • FIG. 30 shows an example of the photographing range of the imaging units 12101 to 12104.
  • the imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
  • the imaging ranges 12112 and 12113 indicate the imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
  • the imaging range 12114 indicates the imaging range of the imaging units 12102 and 12103.
  • the imaging range of the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door is shown. For example, by superimposing the image data captured by the imaging units 12101 to 12104, a bird's-eye view image of the vehicle 12100 as viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the image pickup units 12101 to 12104 may be a stereo camera composed of a plurality of image pickup elements, or an image pickup element having pixels for phase difference detection.
  • the microcomputer 12051 has a distance to each three-dimensional object within the imaging range 12111 to 12114 based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104, and a temporal change of this distance (relative velocity with respect to the vehicle 12100). By obtaining can. Further, the microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured in front of the preceding vehicle in advance, and can perform automatic braking control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving or the like in which the vehicle travels autonomously without depending on the operation of the driver.
  • automatic braking control including follow-up stop control
  • automatic acceleration control including follow-up start control
  • the microcomputer 12051 converts three-dimensional object data related to a three-dimensional object into two-wheeled vehicles, ordinary vehicles, large vehicles, pedestrians, electric poles, and other three-dimensional objects based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic avoidance of obstacles. For example, the microcomputer 12051 distinguishes obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that can be seen by the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines the collision risk indicating the risk of collision with each obstacle, and when the collision risk is equal to or higher than the set value and there is a possibility of collision, the microcomputer 12051 via the audio speaker 12061 or the display unit 12062. By outputting an alarm to the driver and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be provided.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether or not a pedestrian is present in the captured image of the imaging units 12101 to 12104.
  • pedestrian recognition includes, for example, a procedure for extracting feature points in an image captured by an imaging unit 12101 to 12104 as an infrared camera, and pattern matching processing for a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether or not the pedestrian is a pedestrian. It is done by the procedure to determine.
  • the audio image output unit 12052 When the microcomputer 12051 determines that a pedestrian is present in the captured images of the imaging units 12101 to 12104 and recognizes the pedestrian, the audio image output unit 12052 outputs a square contour line for emphasizing the recognized pedestrian.
  • the display unit 12062 is controlled so as to superimpose and display. Further, the audio image output unit 12052 may control the display unit 12062 so as to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the above is an example of a vehicle control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the technique according to the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 among the configurations described above.
  • the image pickup apparatus 100 of FIG. 1 can be applied to the image pickup unit 12031.
  • kTC noise can be reduced and a photographed image that is easier to see can be obtained, so that driver fatigue can be reduced.
  • the present technology can have the following configurations.
  • a selection unit that sequentially controls the connection of a capacitive element holding any of a plurality of signal levels to the subsequent node, and a selection unit.
  • a post-stage reset transistor that initializes the level of the post-stage node when the predetermined number of capacitive elements are disconnected from the post-stage node
  • a solid-state image sensor including a post-stage circuit that sequentially reads out each of the reset level and the plurality of signal levels via the post-stage node.
  • the predetermined number of capacitive elements includes first and second capacitive elements and third and fourth capacitive elements.
  • the pre-stage circuit block A first pre-stage circuit that generates a first reset level and a first signal level in order and holds them in the first and second capacitive elements, and A second pre-stage circuit that generates a second reset level and a second signal level in order and holds them in the third and fourth capacitive elements is provided.
  • the selection unit A first selection circuit that connects any of the first and second capacitive elements to the subsequent node, and The solid-state imaging device according to (1) above, comprising a second selection circuit that connects any of the third and fourth capacitive elements to the subsequent node.
  • the first pre-stage circuit is The first photoelectric conversion element and A first pre-stage transfer transistor that transfers charges from the first photoelectric conversion element to the first floating diffusion layer, and A first reset transistor that initializes the first floating diffusion layer, and It is provided with a first pre-stage amplification transistor that amplifies the voltage of the first floating diffusion layer.
  • the second pre-stage circuit is The second photoelectric conversion element and A second pre-stage transfer transistor that transfers charges from the second photoelectric conversion element to the second floating diffusion layer, and A second reset transistor that initializes the second floating diffusion layer, and The solid-state image sensor according to (2) above, comprising a second pre-stage amplification transistor that amplifies the voltage of the second floating diffusion layer.
  • the first pre-stage circuit further includes a first current source transistor connected to the first pre-stage node.
  • the second pre-stage circuit further comprises a second current source transistor connected to the second pre-stage node.
  • the first pre-stage amplification transistor amplifies the voltage of the first stray diffusion layer and outputs it to the first pre-stage node.
  • the second pre-stage amplification transistor amplifies the voltage of the second stray diffusion layer and outputs it to the second pre-stage node.
  • One end of each of the first and second capacitive elements is commonly connected to the first predecessor node, and the other end of each is connected to the first selection circuit.
  • the first and second pre-stage transfer transistors transfer the electric charge to the first and second floating diffusion layers
  • the first and second reset transistors transfer the charge to the first and second floating diffusion layers.
  • the solid-state image sensor according to (3) or (4), wherein the first and second pre-stage transfer transistors transfer the electric charge to the first and second floating diffusion layers at a predetermined exposure end timing.
  • the selection unit controls to connect one of the first and second capacitance elements to the latter-stage node, controls to connect the other of the first and second capacitance elements to the latter-stage node, and the first.
  • the control of connecting one of the 3rd and 4th capacitance elements to the latter stage node and the control of connecting the other of the 3rd and 4th capacitance elements to the latter stage node are performed in order of (3) to (5).
  • the solid-state imaging device according to any one.
  • the selection unit controls to connect both one of the first and second capacitance elements and one of the third and fourth capacitance elements to the subsequent node in a predetermined addition mode, and the said. 6.
  • Solid-state image sensor (8)
  • the first pre-stage circuit further includes a first pre-stage selection transistor that outputs a voltage amplified by the first pre-stage amplification transistor to a predetermined pre-stage node according to a predetermined first selection signal.
  • the second pre-stage circuit is A second pre-stage selection transistor that outputs a voltage amplified by the second pre-stage amplification transistor according to a predetermined second selection signal to the pre-stage node, and a second pre-stage selection transistor.
  • first and second capacitive elements are commonly connected to the pre-stage node, and the other end of each is connected to the first selection circuit.
  • the solid-state imaging device according to (3) wherein one end of each of the third and fourth capacitive elements is commonly connected to the pre-stage node, and the other end of each is connected to the second selection circuit.
  • the first and second pre-stage selection transistors sequentially shift to the closed state.
  • the first reset transistor initializes the first floating diffusion layer when the first pre-selection transistor is in the closed state.
  • the second reset transistor initializes the second floating diffusion layer when the second pre-selection transistor is in the closed state. Immediately after the timing of the end of exposure, the first and second pre-stage selection transistors sequentially shift to the closed state.
  • the predetermined number of capacitances includes the first, second, third, fourth, fifth, sixth, seventh and eighth capacitive elements.
  • the selection unit A first selection circuit that connects any of the first and second capacitive elements to the first subsequent node, and A second selection circuit that connects any of the third and fourth capacitive elements to the first subsequent node, and A third selection circuit that connects any of the fifth and sixth capacitive elements to the second subsequent node, and
  • the solid-state imaging device comprising a fourth selection circuit that connects any of the seventh and eighth capacitive elements to the second subsequent node.
  • the selection unit controls to connect each of the first and second capacitance elements to the first subsequent node in order, and connects each of the third and fourth capacitance elements to the first one in order.
  • the solid-state imaging device according to (10) above, wherein control for connecting to a node is performed in a predetermined order. (12) In the predetermined addition mode, the short-circuit transistor is in the closed state.
  • the selection unit connects one of the first and second capacitance elements and one of the third and fourth capacitance elements to the first subsequent node, and the fifth and sixth capacitance elements. Control to connect one of the capacitance elements and one of the seventh and eighth capacitance elements to the second subsequent node, and the other of the first and second capacitance elements and the third and fourth capacitances. Control to connect the other of the 5th and 6th capacitive elements and the other of the 7th and 8th capacitive elements to the 2nd subsequent node while connecting the other of the elements to the 1st subsequent node.
  • the solid-state imaging device according to (10) or (11). (13)
  • the predetermined number of capacitance elements includes first and second capacitance elements and a third capacitance.
  • the pre-stage circuit block The first photoelectric conversion element and A first pre-stage transfer transistor that transfers charges from the first photoelectric conversion element to a predetermined floating diffusion layer, and The second photoelectric conversion element and A second pre-stage transfer transistor that transfers charges from the second photoelectric conversion element to a predetermined floating diffusion layer, and A reset transistor that initializes the floating diffusion layer, A pre-stage amplification transistor that amplifies the voltage of the stray diffusion layer and outputs it to a predetermined pre-stage node is provided.
  • the first and second pre-stage transfer transistors transfer the electric charge to the floating diffusion layer, and the reset transistor together with the floating diffusion layer causes the first and second photoelectric conversion elements.
  • Initialize The solid-state image sensor according to (13), wherein the first and second pre-stage transfer transistors transfer the electric charge to the first and second floating diffusion layers in order at a predetermined exposure end timing.
  • the selection unit controls to connect one of the first and second capacitance elements to the latter-stage node, controls to connect the other of the first and second capacitance elements to the latter-stage node, and the first.
  • the solid-state imaging device according to (13) or (14), wherein the control for connecting the capacitance element 3 to the subsequent node is performed in order.
  • the pre-stage circuit block is provided on the first chip.
  • the solid-state imaging device according to any one of (1) to (15), wherein the predetermined number of capacitive elements, the selection unit, the rear-stage reset transistor, and the rear-stage circuit are provided on a second chip.
  • An analog-digital converter that sequentially converts the output reset level and the plurality of signal levels into digital signals is further provided.
  • the solid-state image sensor according to (16), wherein the analog-digital converter is provided on the second chip.
  • An analog-digital converter that sequentially converts the output reset level and the plurality of signal levels into digital signals is further provided.
  • a predetermined number of capacitive elements and A pre-stage circuit block that generates each of a predetermined reset level and a plurality of signal levels according to an exposure amount and holds them in the capacitive elements different from each other.
  • the control of connecting the capacitive element holding the reset level to the predetermined subsequent node the control of disconnecting the predetermined number of capacitive elements from the posterior node, and the control of disconnecting the predetermined number of capacitive elements from the subsequent node, and the predetermined number of capacitive elements.
  • a selection unit that sequentially controls the connection of a capacitive element holding any of a plurality of signal levels to the subsequent node, and a selection unit.
  • a post-stage reset transistor that initializes the level of the post-stage node when the predetermined number of capacitive elements are disconnected from the post-stage node
  • a post-stage circuit that reads out each of the reset level and the plurality of signal levels in order via the post-stage node
  • An imaging device including a signal processing circuit that sequentially converts the reset level and the plurality of signal levels into digital signals for processing.
  • a first photoelectric conversion element that converts incident light into an electric charge A second photoelectric conversion element that converts the incident light into an electric charge, A pre-stage amplification transistor that converts the charge into a voltage, A predetermined number of capacitive elements, one ends of which are connected to the front node of the output destination of the front amplification transistor, and A predetermined number of selective transistors inserted in each path between the other end of each of the predetermined number of capacitive elements and a predetermined subsequent node, A reset transistor with a source or drain connected to the subsequent node, A solid-state image sensor including a post-stage amplification transistor in which a gate is connected to the post-stage node and outputs a pixel signal.
  • Image sensor 110 Image sensor 120 Recording unit 130 Image control unit 200
  • Solid-state image sensor 201 Upper pixel chip 202 Lower pixel chip 203 Circuit chip 211
  • Vertical scanning circuit 212 Timing control circuit 213 DAC 220 Pixel array part 221 Upper pixel array part 222 Lower pixel array part 250 Load MOS circuit block 251 Load MOS transistor 260
  • Column signal processing circuit 261 ADC 262
  • Digital signal processing unit 300 pixel block 301-304 pixel 305
  • Pre-stage circuit block 310, 320, 410, 420 Pre-stage circuit 311, 321, 411, 421, 511-513 Photoelectric conversion element 312, 322, 421, 422, 514-516 Transfer Transistor 313, 323, 413, 423 FD Reset Transistor 314, 324, 414, 424 FD 315, 325, 415, 425

Abstract

全画素で同時に露光を行う固体撮像素子において、画質を向上させる。 前段回路ブロックは、所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる容量素子に保持させる。選択部は、所定数の容量素子のうちリセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と所定数の容量素子を後段ノードから切り離す制御と所定数の容量素子のうち複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を後段ノードに接続する制御とを順に行う。後段リセットトランジスタは、所定数の容量素子が後段ノードから切り離されたときに後段ノードのレベルを初期化する。後段回路は、後段ノードを介してリセットレベルと複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す。

Description

固体撮像素子、および、撮像装置
 本技術は、固体撮像素子に関する。詳しくは、カラム毎にAD(Analog to Digital)変換を行う固体撮像素子、および、撮像装置に関する。
 従来より、固体撮像素子においては、画素を微細化する目的で、画素アレイ部の外部にカラムごとにADCを配置し、1行ずつ順に画素信号を読み出すカラムADC(Analog to Digital Converter)方式が用いられている。このカラムADC方式において、1行ずつ順に露光を開始するローリングシャッター方式により露光を行うと、ローリングシャッター歪みが生じるおそれがある。そこで、全画素で同時に露光を開始するグローバルシャッター方式を実現するために、画素毎に一対の容量を設け、それらの容量にリセットレベルおよび信号レベルを保持させる固体撮像素子が提案されている(例えば、非特許文献1参照。)。これらの一対の容量は、ノードを介してソースフォロワー回路に直列に接続され、そのソースフォロワー回路により、リセットレベルおよび信号レベルが順に読み出される。
Jae-kyu Lee, et al., A 2.1e-Temporal Noise and -105dB Parasitic Light Sensitivity Backside-Illuminated 2.3 μm-Pixel Voltage-Domain Global Shutter CMOS Image Sensor Using High-Capacity DRAM Capacitor Technology, ISSCC 2020.
 上述の従来技術では、リセットレベルおよび信号レベルを画素ごとに一対の容量に保持させることにより、カラムADC方式において、グローバルシャッター方式の実現を図っている。しかしながら、ソースフォロワー回路内のトランジスタが、容量に接続されたノードを初期化する際に、その容量に応じたレベルのkTCノイズ(言い換えれば、リセットノイズ)が生じ、そのノイズにより画像データの画質が低下してしまうという問題がある。
 本技術はこのような状況に鑑みて生み出されたものであり、全画素で同時に露光を行う固体撮像素子において、画質を向上させることを目的とする。
 本技術は、上述の問題点を解消するためになされたものであり、その第1の側面は、所定数の容量素子と、所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる上記容量素子に保持させる前段回路ブロックと、上記所定数の容量素子のうち上記リセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と上記所定数の容量素子を上記後段ノードから切り離す制御と上記所定数の容量素子のうち上記複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を上記後段ノードに接続する制御とを順に行う選択部と、上記所定数の容量素子が上記後段ノードから切り離されたときに上記後段ノードのレベルを初期化する後段リセットトランジスタと、上記後段ノードを介して上記リセットレベルと上記複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す後段回路とを具備する固体撮像素子である。これにより、kTCノイズが低減するという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記所定数の容量素子は、第1および第2の容量素子と第3および第4の容量素子とを含み、上記前段回路ブロックは、第1のリセットレベルと第1の信号レベルとを順に生成して上記第1および第2の容量素子に保持させる第1の前段回路と、第2のリセットレベルと第2の信号レベルとを順に生成して上記第3および第4の容量素子に保持させる第2の前段回路とを備え、上記選択部は、上記第1および第2の容量素子のいずれかを上記後段ノードに接続する第1の選択回路と、上記第3および第4の容量素子のいずれかを上記後段ノードに接続する第2の選択回路とを備えてもよい。これにより、2画素のそれぞれのリセットレベルおよび信号レベルが保持されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記第1の前段回路は、第1の光電変換素子と、上記第1の光電変換素子から第1の浮遊拡散層へ電荷を転送する第1の前段転送トランジスタと、上記第1の浮遊拡散層を初期化する第1のリセットトランジスタと、上記第1の浮遊拡散層の電圧を増幅する第1の前段増幅トランジスタとを備え、上記第2の前段回路は、第2の光電変換素子と、上記第2の光電変換素子から第2の浮遊拡散層へ電荷を転送する第2の前段転送トランジスタと、上記第2の浮遊拡散層を初期化する第2のリセットトランジスタと、上記第2の浮遊拡散層の電圧を増幅する第2の前段増幅トランジスタとを備えてもよい。これにより、浮遊拡散層の電圧に応じたレベルが保持されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記第1の前段回路は、第1の前段ノードに接続された第1の電流源トランジスタをさらに備え、上記第2の前段回路は、第2の前段ノードに接続された第2の電流源トランジスタをさらに備え、上記第1の前段増幅トランジスタは、上記第1の浮遊拡散層の電圧を増幅して上記第1の前段ノードへ出力し、上記第2の前段増幅トランジスタは、上記第2の浮遊拡散層の電圧を増幅して上記第2の前段ノードへ出力し、上記第1および第2の容量素子のそれぞれの一端は上記第1の前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は上記第1の選択回路に接続され、上記第3および第4の容量素子のそれぞれの一端は上記第2の前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は上記第2の選択回路に接続されてもよい。これにより、画素ごとに定電流が供給されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、所定の露光開始タイミングにおいて上記第1および第2の前段転送トランジスタが上記第1および第2の浮遊拡散層へ上記電荷を転送するとともに上記第1および第2のリセットトランジスタが上記第1および第2の浮遊拡散層とともに上記第1および第2の光電変換素子を初期化し、所定の露光終了タイミングにおいて上記第1および第2の前段転送トランジスタが上記第1および第2の浮遊拡散層へ上記電荷を転送してもよい。これにより、全画素が同時に露光されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記選択部は、上記第1および第2の容量素子の一方を上記後段ノードに接続する制御と上記第1および第2の容量素子の他方を上記後段ノードに接続する制御と上記第3および第4の容量素子の一方を上記後段ノードに接続する制御と上記第3および第4の容量素子の他方を上記後段ノードに接続する制御とを順に行ってもよい。これにより、2画素のそれぞれのリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記選択部は、所定の加算モードにおいて上記第1および第2の容量素子の一方と上記第3および第4の容量素子の一方との両方を上記後段ノードに接続する制御と、上記第1および第2の容量素子の他方と上記第3および第4の容量素子の他方との両方を上記後段ノードに接続する制御とを順に行ってもよい。これにより、画素加算された信号が読み出されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記第1の前段回路は、所定の第1の選択信号に従って上記第1の前段増幅トランジスタにより増幅された電圧を所定の前段ノードに出力する第1の前段選択トランジスタをさらに備え、上記第2の前段回路は、所定の第2の選択信号に従って上記第2の前段増幅トランジスタにより増幅された電圧を上記前段ノードに出力する第2の前段選択トランジスタと、上記前段ノードに接続された電流源トランジスタとをさらに備え、上記第1および第2の容量素子のそれぞれの一端は上記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は上記第1の選択回路に接続され、上記第3および第4の容量素子のそれぞれの一端は上記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は上記第2の選択回路に接続されてもよい。これにより、電流源トランジスタが2画素で共有されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、所定の露光終了のタイミングの直前と上記露光終了のタイミングの後とに上記第1および第2の前段選択トランジスタは、順に閉状態に移行し、上記第1のリセットトランジスタは、上記第1の前段選択トランジスタが上記閉状態のときに上記第1の浮遊拡散層を初期化し、上記第2のリセットトランジスタは、上記第2の前段選択トランジスタが上記閉状態のときに上記第2の浮遊拡散層を初期化し、上記露光終了のタイミングの直後に上記第1および第2の前段選択トランジスタは、順に閉状態に移行し、上記第1および第2の前段転送トランジスタは、所定の露光終了のタイミングで上記電荷を転送してもよい。これにより、電流源トランジスタが2画素で共有された構成において、全画素が同時に露光されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、第1の後段ノードと第2の後段ノードとの間の経路を開閉する短絡トランジスタをさらに具備し、上記所定数の容量は、第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7および第8の容量素子を含み、上記選択部は、上記第1および第2の容量素子のいずれかを上記第1の後段ノードに接続する第1の選択回路と、上記第3および第4の容量素子のいずれかを上記第1の後段ノードに接続する第2の選択回路と、上記第5および第6の容量素子のいずれかを上記第2の後段ノードに接続する第3の選択回路と、上記第7および第8の容量素子のいずれかを上記第2の後段ノードに接続する第4の選択回路とを備えてもよい。これにより、第1の後段ノードと第2の後段ノードとが短絡されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、所定の非加算モードにおいて上記短絡トランジスタは、開状態であり、上記非加算モードにおいて上記選択部は、上記第1および第2の容量素子のそれぞれを順に上記第1の後段ノードに接続する制御と上記第3および第4の容量素子のそれぞれを順に上記第1の後段ノードに接続する制御と上記第5および第6の容量素子のそれぞれを順に上記第2の後段ノードに接続する制御と上記第7および第8の容量素子のそれぞれを順に上記第2の後段ノードに接続する制御とを所定の順序で行ってもよい。これにより、非加算モードにおいて、4画素のそれぞれのリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、所定の加算モードにおいて上記短絡トランジスタは、閉状態であり、上記加算モードにおいて上記選択部は、上記第1および第2の容量素子の一方と上記第3および第4の容量素子の一方とを上記第1の後段ノードに接続しつつ上記第5および第6の容量素子の一方と上記7および第8の容量素子の一方とを上記第2の後段ノードに接続する制御と、上記第1および第2の容量素子の他方と上記第3および第4の容量素子の他方とを上記第1の後段ノードに接続しつつ上記5および第6の容量素子の他方と上記第7および第8の容量素子の他方とを上記第2の後段ノードに接続する制御とを順に行ってもよい。これにより、画素加算モードにおいて、4画素が加算されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記所定数の容量素子は、第1および第2の容量素子と第3容量とを含み、上記前段回路ブロックは、第1の光電変換素子と、上記第1の光電変換素子から所定の浮遊拡散層へ電荷を転送する第1の前段転送トランジスタと、第2の光電変換素子と、上記第2の光電変換素子から所定の浮遊拡散層へ電荷を転送する第2の前段転送トランジスタと、上記浮遊拡散層を初期化するリセットトランジスタと、上記浮遊拡散層の電圧を増幅して所定の前段ノードへ出力する前段増幅トランジスタと
を備え、上記第1および第2の容量素子と上記第3の容量素子のそれぞれの一端は上記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は上記選択部に接続されてもよい。これにより、リセットレベルと複数の信号レベルとが保持されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、所定の露光開始タイミングにおいて上記第1および第2の前段転送トランジスタが上記浮遊拡散層へ上記電荷を転送するとともに上記リセットトランジスタが上記浮遊拡散層とともに上記第1および第2の光電変換素子を初期化し、所定の露光終了タイミングにおいて上記第1および第2の前段転送トランジスタが上記第1および第2の浮遊拡散層へ順に上記電荷を転送してもよい。これにより、全画素が露光されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記選択部は、上記第1および第2の容量素子の一方を上記後段ノードに接続する制御と上記第1および第2の容量素子の他方を上記後段ノードに接続する制御と上記第3の容量素子を上記後段ノードに接続する制御とを順に行ってもよい。これにより、リセットレベルと複数の信号レベルとが順に読み出されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記前段回路ブロックは、第1のチップに設けられ、
 上記所定数の容量素子と上記選択部と上記後段リセットトランジスタと上記後段回路とは、第2のチップに設けられてもよい。これにより、画素の微細化が容易になるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記出力された上記リセットレベルと上記複数の信号レベルを順にデジタル信号に変換するアナログデジタル変換器をさらに具備し、上記アナログデジタル変換器は、上記第2のチップに設けられてもよい。これにより、画素の微細化が容易になるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記出力された上記リセットレベルと上記複数の信号レベルを順にデジタル信号に変換するアナログデジタル変換器をさらに具備し、上記アナログデジタル変換器は、第3のチップに設けられてもよい。これにより、画素の微細化が容易になるという作用をもたらす。
 また、本技術の第2の側面は、所定数の容量素子と、所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる上記容量素子に保持させる前段回路ブロックと、上記所定数の容量素子のうち上記リセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と上記所定数の容量素子を上記後段ノードから切り離す制御と上記所定数の容量素子のうち上記複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を上記後段ノードに接続する制御とを順に行う選択部と、上記所定数の容量素子が上記後段ノードから切り離されたときに上記後段ノードのレベルを初期化する後段リセットトランジスタと、上記後段ノードを介して上記リセットレベルと上記複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す後段回路と、上記リセットレベルと上記複数の信号レベルとを順にデジタル信号に変換して処理する信号処理回路とを具備する撮像装置である。これにより、kTCノイズが低減した画像データが生成されるという作用をもたらす。
 また、本技術の第3の側面は、入射した光を電荷へと変換する第1の光電変換素子と、入射した光を電荷へと変換する第2の光電変換素子と、上記電荷を電圧に変換する前段増幅トランジスタと、上記前段増幅トランジスタの出力先の前段ノードにそれぞれの一端が接続された所定数の容量素子と、記所定数の容量素子のそれぞれの他端と所定の後段ノードとの間のそれぞれの経路に挿入された所定数の選択トランジスタと、上記後段ノードにソースまたはドレインが接続されたリセットトランジスタと、上記後段ノードにゲートが接続され、画素信号を出力する後段増幅トランジスタとを具備する固体撮像素子である。これにより、kTCノイズが低減するという作用をもたらす。
本技術の第1の実施の形態における撮像装置の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における画素ブロックの一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態における前段回路と選択回路との一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態におけるカラム信号処理回路の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態におけるグローバルシャッター動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第1の実施の形態における画素ブロック内の最初の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第1の実施の形態における画素ブロック内の2番目の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 比較例における画素の一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態におけるリセットレベルの読出しのときと、後段ノードの初期化のときとのそれぞれの画素ブロックの状態の一例を示す図である。 本技術の第1の実施の形態における信号レベルの読出しのときの画素ブロックの状態の一例を示す図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の動作の一例を示すフローチャートである。 本技術の第1の実施の形態の第1の変形例におけるリセットレベルおよび信号レベルの読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第1の実施の形態の第2の変形例における固体撮像素子の積層構造の一例を示す図である。 本技術の第1の実施の形態の第2の変形例における画素ブロックの一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態の第3の変形例における固体撮像素子の積層構造の一例を示す図である。 本技術の第2の実施の形態における画素アレイ部の一構成例を示す平面図である。 本技術の第2の実施の形態における画素ブロックの一構成例を示す回路図である。 本技術の第2の実施の形態における前段回路と選択回路との一構成例を示す回路図である。 本技術の第2の実施の形態における画素ブロック内の1番目および2番目の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第2の実施の形態における画素ブロック内の3番目および4番目の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第2の実施の形態における加算モードの読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第3の実施の形態における画素ブロックの一構成例を示す回路図である。 本技術の第3の実施の形態におけるグローバルシャッター動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第3の実施の形態における露光終了直後の制御の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第4の実施の形態における画素ブロックの一構成例を示す回路図である。 本技術の第4の実施の形態におけるグローバルシャッター動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第4の実施の形態におけるリセットレベルおよび信号レベルの読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。 車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。 撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
 以下、本技術を実施するための形態(以下、実施の形態と称する)について説明する。説明は以下の順序により行う。
 1.第1の実施の形態(複数の容量にリセットレベルおよび信号レベルを保持させる例)
 2.第2の実施の形態(複数の容量にリセットレベルおよび信号レベルを保持させ、後段ノード間を短絡する例)
 3.第3の実施の形態(複数の容量にリセットレベルおよび信号レベルを保持させ、電流源を共有する例)
 4.第4の実施の形態(1つの容量にリセットレベルを保持させ、複数の容量に信号レベルを保持させる例)
 5.移動体への応用例
 <1.第1の実施の形態>
 [撮像装置の構成例]
 図1は、本技術の第1の実施の形態における撮像装置100の一構成例を示すブロック図である。この撮像装置100は、画像データを撮像する装置であり、撮像レンズ110、固体撮像素子200、記録部120および撮像制御部130を備える。撮像装置100としては、デジタルカメラや、撮像機能を持つ電子装置(スマートフォンやパーソナルコンピュータなど)が想定される。
 固体撮像素子200は、撮像制御部130の制御に従って、画像データを撮像するものである。この固体撮像素子200は、画像データを信号線209を介して記録部120に供給する。
 撮像レンズ110は、光を集光して固体撮像素子200に導くものである。撮像制御部130は、固体撮像素子200を制御して画像データを撮像させるものである。この撮像制御部130は、例えば、垂直同期信号VSYNCを含む撮像制御信号を固体撮像素子200に信号線139を介して供給する。記録部120は、画像データを記録するものである。
 ここで、垂直同期信号VSYNCは、撮像のタイミングを示す信号であり、一定の周波数(60ヘルツなど)の周期信号が垂直同期信号VSYNCとして用いられる。
 なお、撮像装置100は、画像データを記録しているが、その画像データを撮像装置100の外部に送信してもよい。この場合には、画像データを送信するための外部インターフェースがさらに設けられる。もしくは、撮像装置100は、さらに画像データを表示してもよい。この場合には表示部がさらに設けられる。
 [固体撮像素子の構成例]
 図2は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の一構成例を示すブロック図である。この固体撮像素子200は、垂直走査回路211、画素アレイ部220、タイミング制御回路212、DAC(Digital to Analog Converter)213、負荷MOS回路ブロック250、カラム信号処理回路260を備える。画素アレイ部220には、二次元格子状に複数の画素ブロック300が配列される。画素ブロック300のそれぞれには、複数の画素(例えば、2画素)が配列される。また、固体撮像素子200内の各回路は、例えば、単一の半導体チップに設けられる。
 以下、水平方向に配列された画素ブロック300または画素の集合を「行」と称し、行に垂直な方向に配列された画素ブロック300または画素の集合を「列」と称する。
 タイミング制御回路212は、撮像制御部130からの垂直同期信号VSYNCに同期して垂直走査回路211、DAC213、カラム信号処理回路260のそれぞれの動作タイミングを制御するものである。
 DAC213は、DA(Digital to Analog)変換により、のこぎり波状のランプ信号を生成するものである。DAC213は、生成したランプ信号をカラム信号処理回路260に供給する。
 垂直走査回路211は、行を順に選択して駆動し、アナログの画素信号を出力させるものである。画素は、入射光を光電変換してアナログの画素信号を生成する。この画素は、負荷MOS回路ブロック250を介して、カラム信号処理回路260に画素信号を供給する。
 負荷MOS回路ブロック250には、定電流を供給するMOSトランジスタが列ごとに設けられる。
 カラム信号処理回路260は、列ごとに、画素信号に対してAD変換処理やCDS(Correlated Double Sampling)処理などの信号処理を実行するものである。このカラム信号処理回路260は、処理後の信号からなる画像データを記録部120に供給する。なお、カラム信号処理回路260は、特許請求の範囲に記載の信号処理回路の一例である。
 [画素ブロックの構成例]
 図3は、本技術の第1の実施の形態における画素ブロック300の一構成例を示す回路図である。この画素ブロック300には、前段回路ブロック305と、容量素子331、332、336および337と、選択部340と、後段リセットトランジスタ361と、後段回路370とが配置される。容量素子331、332、336および337として、例えば、MIM(Metal-Insulator-Metal)構造の容量が用いられる。
 なお、容量素子331および332は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の容量素子の一例であり、容量素子336および337は、特許請求の範囲に記載の第3および第4の容量素子の一例である。
 また、前段回路ブロック305には、前段回路310および320が配置される。選択部340には、選択回路350および355が配置される。後段回路370は、後段増幅トランジスタ371および後段選択トランジスタ372を備える。
 前段回路310は、リセットレベルおよび信号レベルを順に生成して容量素子331および332に保持させるものである。前段回路320は、リセットレベルおよび信号レベルを順に生成して容量素子336および337に保持させるものである。なお、前段回路310は、特許請求の範囲に記載の第1の前段回路の一例であり、前段回路320は、特許請求の範囲に記載の第2の前段回路の一例である。
 選択回路350は、容量素子331および332のいずれかを後段ノード360に接続するものである。選択回路355は、容量素子336および337のいずれかを後段ノード360に接続するものである。なお、選択回路350は、特許請求の範囲に記載の第1の選択回路の一例であり、選択回路355は、特許請求の範囲に記載の第2の選択回路の一例である。
 図4は、本技術の第1の実施の形態における前段回路310および320と選択回路350および355との一構成例を示す回路図である。
 前段回路310は、光電変換素子311、転送トランジスタ312、FD(Floating Diffusion)リセットトランジスタ313、FD314、前段増幅トランジスタ315および電流源トランジスタ316を備える。
 また、前段回路320は、光電変換素子321、転送トランジスタ322、FDリセットトランジスタ323、FD324、前段増幅トランジスタ325および電流源トランジスタ326を備える。
 光電変換素子311および321は、光電変換により電荷を生成するものである。転送トランジスタ312は、垂直走査回路211からの転送信号trg1に従って、光電変換素子311からFD314へ電荷を転送するものである。転送トランジスタ322は、垂直走査回路211からの転送信号trg2に従って、光電変換素子321からFD324へ電荷を転送するものである。
 なお、光電変換素子311および321は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の光電変換素子の一例である。転送トランジスタ312および322は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の転送トランジスタの一例である。
 FDリセットトランジスタ313は、垂直走査回路211からのFDリセット信号rst1に従って、FD314から電荷を引き抜いて初期化するものである。FDリセットトランジスタ323は、垂直走査回路211からのFDリセット信号rst2に従って、FD324から電荷を引き抜いて初期化するものである。FD314および324は、電荷を蓄積し、電荷量に応じた電圧を生成するものである。
 なお、FDリセットトランジスタ313および323は、特許請求の範囲に記載の第1および第2のリセットトランジスタの一例である。FD314および324は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の浮遊拡散層の一例である。
 前段増幅トランジスタ315は、FD314の電圧のレベルを増幅して前段ノード330に出力するものである。前段増幅トランジスタ325は、FD324の電圧のレベルを増幅して前段ノード335に出力するものである。なお、前段増幅トランジスタ315および325は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の前段増幅トランジスタの一例である。
 FDリセットトランジスタ313および323と前段増幅トランジスタ315および325とのそれぞれのドレインは、電源電圧VDDに接続される。電流源トランジスタ316は、前段増幅トランジスタ315のソースに接続される。この電流源トランジスタ316は、垂直走査回路211の制御に従って、電流id11を供給する。電流源トランジスタ326は、前段増幅トランジスタ325のソースに接続される。この電流源トランジスタ326は、垂直走査回路211の制御に従って、電流id12を供給する。
 なお、電流源トランジスタ316および326は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の電流源トランジスタの一例である。
 容量素子331および332のそれぞれの一端は、前段ノード330に共通に接続され、それぞれの他端は、選択回路350に接続される。容量素子336および337のそれぞれの一端は、前段ノード335に共通に接続され、それぞれの他端は、選択回路355に接続される。
 選択回路350は、選択トランジスタ351および352を備える。選択トランジスタ351は、垂直走査回路211からの選択信号Φr1に従って、容量素子331と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。選択トランジスタ352は、垂直走査回路211からの選択信号Φs1に従って、容量素子332と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。
 選択回路355は、選択トランジスタ356および357を備える。選択トランジスタ356は、垂直走査回路211からの選択信号Φr2に従って、容量素子336と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。選択トランジスタ357は、垂直走査回路211からの選択信号Φs2に従って、容量素子337と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。
 後段リセットトランジスタ361は、垂直走査回路211からの後段リセット信号rstbに従って、後段ノード360のレベルを所定の電位Vregに初期化するものである。電位Vregには、電源電位VDDと異なる電位(例えば、VDDより低い電位)が設定される。
 後段回路370において後段増幅トランジスタ371は、後段ノード360のレベルを増幅するものである。後段選択トランジスタ372は、垂直走査回路211からの後段選択信号selbに従って、後段増幅トランジスタ371により増幅されたレベルの信号を画素信号として垂直信号線309に出力するものである。
 なお、画素ブロック300内の各種のトランジスタ(転送トランジスタ312など)として、例えば、nMOS(n-channel Metal Oxide Semiconductor)トランジスタが用いられる。
 上述の前段回路310と、容量素子331および332と、選択回路350と、後段リセットトランジスタ361と、後段回路370とからなる回路は、1つの画素として機能する。また、前段回路320と、容量素子336および337と、選択回路355と、後段リセットトランジスタ361と、後段回路370とからなる回路も1つの画素として機能する。これらの2画素により、後段リセットトランジスタ361および後段回路370が共有される。
 また、画素ブロック300内の2画素は、例えば、列方向に配列される。言い換えれば、これらの2画素は、奇数行および偶数行に配置される。なお、画素ブロック300内の2画素の位置関係は、奇数行および偶数行に限定されない。例えば、2画素を奇数列および偶数列に配置することもできる。あるいは、2画素の一方を他方の斜め上に配置することもできる。
 垂直走査回路211は、露光開始時に全行へハイレベルのFDリセット信号(rst1やrst2)とハイレベルの転送信号(trg1やtrg2)とを供給する。これにより、光電変換素子(311や321)が初期化される。以下、この制御を「PDリセット」と称する。
 そして、垂直走査回路211は、露光終了の直前に、全行について後段リセット信号rstbと選択信号Φr1およびΦr2とをハイレベルにしつつ、パルス期間に亘ってハイレベルのFDリセット信号rst1およびrst2を供給する。これにより、FD314および324が初期化され、そのときのFD314および324のレベルに応じたレベルが容量素子331および336に保持される。この制御を以下、「FDリセット」と称する。
 FDリセットの際のFD314および324のレベルと、そのレベルに対応するレベル(容量素子331および336の保持レベルや、垂直信号線309のレベル)とをまとめて、以下、「P相」または「リセットレベル」と称する。
 垂直走査回路211は、露光終了時に、全行について後段リセット信号rstbと選択信号Φs1およびΦs2とをハイレベルにしつつ、パルス期間に亘ってハイレベルの転送信号trg1およびtrg2を供給する。これにより、露光量に応じた信号電荷がFD314および324へ転送され、そのときのFD314および324のレベルに応じたレベルが容量素子332および337に保持される。
 信号電荷の転送の際のFD314および324のレベルと、そのレベルに対応するレベル(容量素子332および337の保持レベルや、垂直信号線309のレベル)とをまとめて、以下、「D相」または「信号レベル」と称する。
 このように全画素について同時に露光を開始し、終了する露光制御は、グローバルシャッター方式と呼ばれる。この露光制御により、全画素の前段回路310は、リセットレベルおよび信号レベルを順に生成する。リセットレベルは、容量素子331および336に保持され、信号レベルは、容量素子332および337に保持される。
 露光終了後に垂直走査回路211は、行を順に選択して、その行のリセットレベルおよび信号レベルを順に出力させる。リセットレベルを出力させる際に、垂直走査回路211は、選択した行のFDリセット信号rst1またはrst2と後段選択信号selbとをハイレベルにしつつ、ハイレベルの選択信号Φr1またはΦr2を所定期間に亘って供給する。これにより、容量素子331または336が後段ノード360に接続され、リセットレベルが読み出される。
 リセットレベルの読出し後に垂直走査回路211は、選択した行のFDリセット信号rst1またはrst2と後段選択信号selbとをハイレベルにしたままで、ハイレベルの後段リセット信号rstbをパルス期間に亘って供給する。これにより、後段ノード360のレベルが初期化される。このとき、選択トランジスタ351、352、356および357は開状態であり、容量素子331、332、336および337は、後段ノード360から切り離される。
 後段ノード360の初期化後に、垂直走査回路211は、選択した行のFDリセット信号(rst1またはrst2)および後段選択信号selbをハイレベルにしたままで、ハイレベルの選択信号Φs1またはΦs2を所定期間に亘って供給する。これにより、容量素子332または337が後段ノード360に接続され、信号レベルが読み出される。
 上述の読出し制御により、選択された行の選択回路350は、容量素子331を後段ノード360に接続する制御と、容量素子331および332を後段ノード360から切り離す制御と、容量素子332を後段ノード360に接続する制御とを順に行う。
 また、選択された行の選択回路355は、容量素子336を後段ノード360に接続する制御と、容量素子336および337を後段ノード360から切り離す制御と、容量素子337を後段ノード360に接続する制御とを順に行う。
 また、容量素子331、332、336および337が後段ノード360から切り離されたときに、選択された行の後段リセットトランジスタ361は後段ノード360のレベルを初期化する。また、選択された行の後段回路370は、後段ノード360を介してリセットレベルおよび信号レベルを容量素子331および332(または、容量素子336および337)から順に読み出して垂直信号線309へ出力する。
 [カラム信号処理回路の構成例]
 図5は、本技術の第1の実施の形態におけるカラム信号処理回路260の一構成例を示すブロック図である。
 負荷MOS回路ブロック250には、画素ブロック300の列ごとに垂直信号線309が配線される。列数をI(Iは、整数)とすると、I本の垂直信号線309が配線される。また、垂直信号線309のそれぞれには、一定の電流id2を供給する負荷MOSトランジスタ251が接続される。
 カラム信号処理回路260には、複数のADC261とデジタル信号処理部262とが配置される。ADC261は、列ごとに配置される。列数をIとすると、I個のADC261が配置される。
 ADC261は、DAC213からのランプ信号Rmpを用いて、対応する列からのアナログの画素信号をデジタル信号に変換するものである。このADC261は、デジタル信号をデジタル信号処理部262に供給する。例えば、ADC261として、コンパレータおよびカウンタを備えるシングルスロープ型のADCが配置される。
 デジタル信号処理部262は、列ごとのデジタル信号のそれぞれに対して、CDS処理などの所定の信号処理を行うものである。デジタル信号処理部262は、処理後のデジタル信号からなる画像データを記録部120に供給する。
 [固体撮像素子の動作例]
 図6は、本技術の第1の実施の形態におけるグローバルシャッター動作の一例を示すタイミングチャートである。垂直走査回路211は、露光開始の直前のタイミングT0から、パルス期間経過後のタイミングT1に亘って、全ての行(言い換えれば、全画素)にハイレベルのFDリセット信号rst1およびrst2と転送信号trg1およびtrg2とを供給する。これにより、全画素がPDリセットされ、全行で同時に露光が開始される。
 ここで、同図のrst1_[n]、rst2_[n]、trg1_[n]およびtrg2_[n]は、N行のうちn行目の画素への信号を示す。Nは、画素ブロック300を配列した行の全行数を示す整数であり、nは、1乃至Nの整数である。画素ブロック300内の2画素が偶数行および奇数行の画素である場合、画素ブロック300の第n行は、奇数行および偶数行の2行を含む。
 露光期間の終了直前のタイミングT2において、垂直走査回路211は、全行において後段リセット信号rstbと選択信号Φr1およびΦr2とをハイレベルにしつつ、パルス期間に亘ってハイレベルのFDリセット信号rst1およびrst2を供給する。これにより、全画素がFDリセットされ、リセットレベルがサンプルホールドされる。ここで、同図のrstb_[n]、Φr1_[n]およびΦr2_[n]は、n行目の画素への信号を示す。
 タイミングT2の後のタイミングT3において、垂直走査回路211は、選択信号Φr1およびΦr2をローレベルに戻す。
 露光終了のタイミングT4において、垂直走査回路211は、全行において後段リセット信号rstbと選択信号Φs1およびΦs2とをハイレベルにしつつ、パルス期間に亘ってハイレベルの転送信号trg1およびtrg2を供給する。これにより、信号レベルがサンプルホールドされる。また、同図のΦs1_[n]およびΦs2_[n]は、n行目の画素への信号を示す。
 タイミングT4の後のタイミングT5において、垂直走査回路211は、選択信号Φs1およびΦs2をローレベルに戻す。
 図7は、本技術の第1の実施の形態における画素ブロック300内の最初の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT10以降の第n行の読出し期間において、垂直走査回路211は、第n行のFDリセット信号rst1およびrst2と後段選択信号selbとをハイレベルにする。また、タイミングT10において、全行の後段リセット信号rstbは、ローレベルに制御される。ここで、同図のselb_[n]は、n行目の画素への信号を示す。
 タイミングT10の直後のタイミングT11からタイミングT12までの期間に亘って垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの選択信号Φr1を供給する。後段ノード360の電位は、リセットレベルVrst1となる。ADC261により、このリセットレベルがAD変換される。
 タイミングT12の直後のタイミングT13からパルス期間に亘って、垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの後段リセット信号rstbを供給する。これにより、後段ノード360に寄生容量が存在する際に、その寄生容量に保持される前回の信号の履歴を消去することができる。
 後段ノード360の初期化直後のタイミングT14からタイミングT15までの期間に亘って垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの選択信号Φs1を供給する。後段ノード360の電位は、信号レベルVsig1となる。ADC261により、この信号レベルがAD変換される。リセットレベルVrst1と信号レベルVsig1との差分が、FDのリセットノイズやオフセットノイズを除去した正味の信号レベルに該当する。
 図8は、本技術の第1の実施の形態における画素ブロック300内の最初の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。
 タイミングT15の直後のタイミングT16からパルス期間に亘って、垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの後段リセット信号rstbを供給する。
 後段ノード360の初期化直後のタイミングT17からタイミングT18までの期間に亘って垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの選択信号Φr2を供給する。後段ノード360の電位は、リセットレベルVrst2となる。ADC261により、このリセットレベルがAD変換される。
 タイミングT18の直後のタイミングT19からパルス期間に亘って、垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの後段リセット信号rstbを供給する。
 後段ノード360の初期化直後のタイミングT20からタイミングT21までの期間に亘って垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの選択信号Φs2を供給する。後段ノード360の電位は、信号レベルVsig2となる。ADC261により、この信号レベルがAD変換される。
 また、タイミングT21において、垂直走査回路211は、第n行のFDリセット信号rst1およびrst2と後段選択信号selbとをローレベルに戻す。
 図7および図8に例示したように、ハイレベルの選択信号Φr1、Φs1、Φr2およびΦs2が順に供給される。これらの選択信号に従って選択部340は、容量素子331、332、336および337を順に後段ノード360に接続する。そして、画素ブロック300内の最初の画素のリセットレベルVrst1および信号レベルVsig1と、2番目の画素のリセットレベルVrst2および信号レベルVsig2とが順に読み出される。
 なお、固体撮像素子200は、リセットレベルの後に、信号レベルを読み出しているが、この順番に限定されない。固体撮像素子200は、信号レベルの後に、リセットレベルを読み出すこともできる。この場合に垂直走査回路211は、ハイレベルの選択信号Φsの後に、ハイレベルの選択信号Φrを供給する。また、この場合、ランプ信号のスロープの傾きを逆にする必要がある。
 図9は、比較例における画素の一構成例を示す回路図である。この比較例では、選択回路350が設けられず、前段ノード330と前段回路との間に転送トランジスタが挿入される。また、容量素子331および332の代わりに、容量C1およびC2が挿入される。容量C1は、前段ノード330と接地端子との間に挿入され、容量C2は、前段ノード330と後段ノード360との間に挿入される。
 この比較例の画素の露光制御および読出し制御は、例えば、非特許文献1のFigure 5.5.2に記載されている。この比較例において、容量C1およびC2のそれぞれの容量値をCと仮定すると、露光および読出しの際のkTCノイズのレベルVnは、次の式により表される。
  Vn=(3*kT/C)1/2             ・・・式1
上式において、kは、ボルツマン定数であり、単位は、例えば、ジュール毎ケルビン(J/K)である。Tは絶対温度であり、単位は、例えば、ケルビン(K)である。また、Vnの単位は、例えば、ボルト(V)であり、Cの単位は、例えば、ファラッド(F)である。
 図10は、本技術の第1の実施の形態におけるリセットレベルの読出しのときと、後段ノードの初期化のときとのそれぞれの画素ブロックの状態の一例を示す図である。同図におけるaは、リセットレベルの読出しのときの画素ブロック300の状態を示し、同図におけるbは、後段ノード360の初期化のときの画素ブロック300の状態を示す。また、同図において、選択トランジスタ351、選択トランジスタ352および後段リセットトランジスタ361は、説明の便宜上、スイッチの図記号により表される。
 同図におけるaに例示するように、垂直走査回路211は、選択トランジスタ351を閉状態にし、選択トランジスタ352および後段リセットトランジスタ361を開状態にする。これにより、後段回路370を介して最初の画素のリセットレベルが読み出される。
 リセットレベルの読出し後に同図におけるbに例示するように、垂直走査回路211は、選択トランジスタ351および選択トランジスタ352を開状態にし、後段リセットトランジスタ361を閉状態にする。これにより、容量素子331および332が後段ノード360から切り離され、後段ノード360のレベルが初期化される。
 このように容量素子331および332から切り離した状態の後段ノード360の寄生容量Cpの容量値は、容量素子331および332と比べて非常に小さいものとする。例えば、寄生容量Cpを数フェムトファラッド(fF)とすると、容量素子331および332は、数十フェムトファラッドのオーダーである。
 図11は、本技術の第1の実施の形態における信号レベルの読出しのときの画素ブロック300の状態の一例を示す図である。
 後段ノード360の初期化後において、垂直走査回路211は、選択トランジスタ352を閉状態にし、選択トランジスタ351および後段リセットトランジスタ361を開状態にする。これにより、後段回路370を介して最初の画素の信号レベルが読み出される。
 ここで、画素の露光時のkTCノイズについて考える。露光時において、露光終了の直前のリセットレベルのサンプリングと信号レベルのサンプリングとのそれぞれにおいてkTCノイズが発生する。容量素子331および332のそれぞれの容量値をCと仮定すると、露光時のkTCノイズのレベルVnは、次の式により表される。
  Vn=(2*kT/C)1/2             ・・・式2
 また、図10および図11に例示したように、読出しの際に後段リセットトランジスタ361が駆動しているため、そのときにkTCノイズが発生する。しかし、後段リセットトランジスタ361の駆動時に容量素子331および332が切り離されており、そのときの寄生容量Cpが小さい。このため、読出しの際のkTCノイズは、露光時のkTCノイズと比べて無視することができる。したがって、露光および読出しの際のkTCノイズは、式2により表される。
 式1および式2より、読出しの際に容量を切り離す画素ブロック300では、読出しの際に容量を切り離すことができない比較例よりもkTCノイズが小さくなる。これにより、画像データの画質を向上させることができる。
 また、画素ブロック300内の2画素が後段リセットトランジスタ361および後段回路370を共有しているため、共有しない場合と比較して、画素アレイ部220の回路規模を削減することができる。なお、共有する画素数は2画素に限定されない。3画素以上が後段リセットトランジスタ361および後段回路370を共有することもできる。
 図12は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、例えば、画像データを撮像するための所定のアプリケーションが実行されたときに開始される。
 垂直走査回路211は、全画素の露光を行う(ステップS901)。そして、垂直走査回路211は、読出し対象の画素ブロック300の行を選択する(ステップS902)。カラム信号処理回路260は、その行の画素ブロック300内の最初の画素のリセットレベルの読出しを行い(ステップS903)、次に、その画素の信号レベルの読出しを行う(ステップS904)。続いてカラム信号処理回路260は、2番目の画素のリセットレベルの読出しを行い(ステップS905)、次に、その画素の信号レベルの読出しを行う(ステップS906)。
 固体撮像素子200は、全行の読出しが完了したか否かを判断する(ステップS907)。全行の読出しが完了していない場合に(ステップS907:No)、固体撮像素子200は、ステップS902以降を繰り返す。一方、全行の読出しが完了した場合に(ステップS907:Yes)、固体撮像素子200は、CDS処理などを実行し、撮像のための動作を終了する。複数枚の画像データを連続して撮像する場合には、垂直同期信号に同期して、ステップS901乃至S907が繰り返し実行される。
 このように、本技術の第1の実施の形態では、選択回路350が容量素子331および332を後段ノード360から切り離したときに後段リセットトランジスタ361が後段ノード360を初期化する。容量素子331および332が切り離されているため、後段リセットトランジスタ361の駆動によるリセットノイズのレベルは、それらの容量より小さな寄生容量に応じたレベルとなる。このノイズの低減により、画像データの画質を向上させることができる。
 また、2画素が後段リセットトランジスタ361および後段回路370を共有するため、共有しない場合と比較して、画素アレイ部220の回路規模を削減することができる。
 [第1の変形例]
 上述の第1の実施の形態では、固体撮像素子200は、画素ブロック300内の2画素のそれぞれの画素信号を順に読み出していたが、この構成では、読出し速度が不足するおそれがある。この第1の実施の形態の第1の変形例の固体撮像素子200は、画素加算を行う点において第1の実施の形態と異なる。
 図13は、本技術の第1の実施の形態の第1の変形例におけるリセットレベルおよび信号レベルの読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。この第1の実施の形態の固体撮像素子200には、画素加算を行わない非加算モードと、画素加算を行う加算モードとを含む複数のモードのいずれかが設定される。非加算モードのグローバルシャッター動作および読出し動作は、第1の実施の形態と同様である。加算モードのグローバルシャッター動作は、非加算モードと同様である。
 加算モードにおいて読出しを行う場合、同図に例示するように、第n行の読出し開始のタイミングT10において、垂直走査回路211は、ハイレベルのFDリセット信号rst1およびrst2をパルス期間に亘って供給する。また、タイミングT10からタイミングT15までの読出し期間に内に垂直走査回路211は、後段選択信号selbをハイレベルにする。
 タイミングT10の直後のタイミングT11からタイミングT12までの期間に亘って垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの選択信号Φr1およびΦs2を供給する。これにより、後段ノード360の電位は、リセットレベルVrstとなる。このリセットレベルVrstは、画素ブロック300内の2画素のそれぞれのリセットレベルを加算した値である。
 タイミングT12の直後のタイミングT13からパルス期間に亘って、垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの後段リセット信号rstbを供給する。
 後段ノード360の初期化直後のタイミングT14からタイミングT15までの期間に亘って垂直走査回路211は、第n行にハイレベルの選択信号Φr2およびΦs2を供給する。これにより、後段ノード360の電位は、信号レベルVsigとなる。この信号レベルVsigは、画素ブロック300内の2画素のそれぞれの信号レベルを加算した値である。
 同図に例示したように、ハイレベルの選択信号Φr1およびΦs1供給され、これらの選択信号に従って選択部340は、容量素子331および336を後段ノード360に接続する。言い換えれば、容量素子331と容量素子336とが短絡される。これにより、2画素のリセットレベルが加算される。また、ハイレベルの選択信号Φr2およびΦs2が供給され、これらの選択信号に従って選択部340は、容量素子332および337を後段ノード360に接続する。言い換えれば、容量素子332と容量素子337とが短絡される。これにより、2画素の信号レベルが加算される。これらの画素加算により、加算しない場合と比較して感度や読出し速度を向上させることができる。また、画素加算により読み出す行数が削減されるため、消費電力を低減することができる。
 なお、固体撮像素子200は、リセットレベルの後に信号レベルを読み出しているが、この順番に限定されず、信号レベルの後に、リセットレベルを読み出すこともできる。
 このように、本技術の第1の実施の形態の第1の変形例によれば、選択部340は、容量素子331および336を後段ノード360に接続し、容量素子332および337を後段ノード360に接続するため、2画素のそれぞれの画素信号を加算することができる。これにより、加算しない場合と比較して感度や読出し速度を向上させ、消費電力を低減することができる。
 [第2の変形例]
 上述の第1の実施の形態では、固体撮像素子200内の回路を単一の半導体チップに設けていたが、この構成では、画素を微細化した際に半導体チップ内に素子が収まらなくなるおそれがある。この第1の実施の形態の第2の変形例の固体撮像素子200は、固体撮像素子200内の回路を2つの半導体チップに分散して配置した点において第1の実施の形態と異なる。
 図14は、本技術の第1の実施の形態の第2の変形例における固体撮像素子200の積層構造の一例を示す図である。第1の実施の形態の第2の変形例の固体撮像素子200は、下側画素チップ202と、その下側画素チップ202に積層された上側画素チップ201とを備える。これらのチップは、例えば、Cu-Cu接合により電気的に接続される。なお、Cu-Cu接合の他、ビアやバンプにより接続することもできる。
 上側画素チップ201には、上側画素アレイ部221が配置される。下側画素チップ202には、下側画素アレイ部222とカラム信号処理回路260とが配置される。画素アレイ部220内の画素ごとに、その一部が、上側画素アレイ部221に配置され、残りが下側画素アレイ部222に配置される。
 また、下側画素チップ202には、垂直走査回路211、タイミング制御回路212、DAC213および負荷MOS回路ブロック250も配置される。これらの回路は、同図において省略されている。
 また、上側画素チップ201は、例えば、画素専用のプロセスで製造され、下側画素チップ202は、例えば、CMOS(Complementary MOS)プロセスで製造される。なお、上側画素チップ201は、特許請求の範囲に記載の第1のチップの一例であり、下側画素チップ202は、特許請求の範囲に記載の第2のチップの一例である。
 図15は、本技術の第1の実施の形態の第2の変形例における画素ブロック300の一構成例を示す回路図である。画素ブロック300のうち、前段回路ブロック305は、上側画素チップ201に配置され、それ以外の回路や素子(容量素子331および332など)は、下側画素チップ202に配置される。なお、電流源トランジスタ316や326をさらに下側画素チップ202に配置することもできる。同図に例示するように、画素ブロック300内の素子を、積層した上側画素チップ201および下側画素チップ202に分散して配置することにより、画素の面積を小さくすることができ、画素の微細化が容易になる。
 このように、本技術の第1の実施の形態の第2の変形例によれば、画素ブロック300内の回路や素子を2つの半導体チップに分散して配置するため、画素の微細化が容易になる。
 [第3の変形例]
 上述の第1の実施の形態の第2の変形例では、画素ブロック300の一部と周辺回路(カラム信号処理回路260など)とを下側の下側画素チップ202に設けていた。しかし、この構成では、周辺回路の分、下側画素チップ202側の回路や素子の配置面積が上側画素チップ201より大きくなり、上側画素チップ201に、回路や素子の無い無駄なスペースが生じるおそれがある。この第1の実施の形態の第3の変形例の固体撮像素子200は、固体撮像素子200内の回路を3つの半導体チップに分散して配置した点において第1の実施の形態の第2の変形例と異なる。
 図16は、本技術の第1の実施の形態の第3の変形例における固体撮像素子200の積層構造の一例を示す図である。第1の実施の形態の第3の変形例の固体撮像素子200は、上側画素チップ201、下側画素チップ202および回路チップ203を備える。これらのチップは積層され、例えば、Cu-Cu接合により電気的に接続される。なお、Cu-Cu接合の他、ビアやバンプにより接続することもできる。
 上側画素チップ201には、上側画素アレイ部221が配置される。下側画素チップ202には、下側画素アレイ部222が配置される。画素アレイ部220内の画素ごとに、その一部が、上側画素アレイ部221に配置され、残りが下側画素アレイ部222に配置される。
 また、回路チップ203には、カラム信号処理回路260、垂直走査回路211、タイミング制御回路212、DAC213および負荷MOS回路ブロック250が配置される。カラム信号処理回路260以外の回路は、同図において省略されている。
 なお、上側画素チップ201は、特許請求の範囲に記載の第1のチップの一例であり、下側画素チップ202は、特許請求の範囲に記載の第2のチップの一例である。回路チップ202は、特許請求の範囲に記載の第3のチップの一例である。
 同図に例示したように3層構成にすることにより、2層構成と比較して無駄なスペースを削減し、さらに画素を微細化することができる。また、2層目の下側画素チップ204を、容量やスイッチのための専用のプロセスで製造することができる。
 このように、本技術の第1の実施の形態の第3の変形例では、固体撮像素子200内の回路を3つの半導体チップに分散して配置するため、2つの半導体チップに分散して配置する場合と比較してさらに画素を微細化することができる。
 <2.第2の実施の形態>
 上述の第1の実施の形態では、固体撮像素子200は、画素ブロック300内の2画素のそれぞれの画素信号を順に読み出していたが、この構成では、読出し速度が不足するおそれがある。この第1の実施の形態の第1の変形例の固体撮像素子200は、画素加算を行う点において第1の実施の形態と異なる。
 図17は、本技術の第2の実施の形態における画素アレイ部220の一構成例を示す平面図である。同図におけるaは、ベイヤー配列の画素アレイ部220の一例を示す平面図である。同図におけるbは、クアドラベイヤー配列の画素アレイ部220の一例を示す平面図である。
 同図におけるaに例示するように第2の実施の形態の画素アレイ部220において、R(Red)、G(Green)およびB(Blue)の画素がベイヤー配列により配列される。固体撮像素子200は、これらの画素のうち、Rの画素301と、その近傍のRの画素302乃至304とのそれぞれの画素信号を加算することができる。Gの画素やBの画素についても、同様に、固体撮像素子200は、近傍の4画素の各画素信号を加算することができる。
 なお、ベイヤー配列の代わりに、同図におけるbに例示するようにクアドラベイヤー配列により画素を配列することもできる。クアドラベイヤー配列では、同色の4画素が2行×2列で隣接して配列される。そして、Rの4画素に着目すると、それらの右下にBの4画素が配置され、右側と下側にGの4画素が配置される。固体撮像素子200は、これらの画素のうち、隣接する同色の4画素(画素301乃至304など)のそれぞれの画素信号を加算することができる。
 なお、画素の配列は、ベイヤー配列やクアドラベイヤー配列に限定されない。例えば、R、G、BおよびW(White)の画素を配列することもできる。
 図18は、本技術の第2の実施の形態における画素ブロック300の一構成例を示す回路図である。第2の実施の形態の画素ブロック300には、画素加算を行う際に加算対象となる4画素が配置される。例えば、図17における画素301乃至304が画素ブロック300内に配置される。
 第2の実施の形態の画素ブロック300には、容量素子431、432、436および437と、短絡トランジスタ480と、後段リセットトランジスタ461と、後段回路470とがさらに設けられる。また、第2の実施の形態において、前段回路ブロック305には、前段回路410および420がさらに配置され、選択部340には、選択回路450および455がさらに配置される。垂直走査回路211は、後段リセットトランジスタ361に後段リセット信号rstb1を供給し、後段リセットトランジスタ461に後段リセット信号rstb2を供給する。
 後段回路470には、後段増幅トランジスタ471および後段選択トランジスタ472が配置される。これらのトランジスタとして、例えば、nMOSトランジスタが用いられる。また、後段リセットトランジスタ461および後段回路470の回路構成は、後段リセットトランジスタ361および後段回路370と同様である。後段回路370および470は、同一の垂直信号線309に接続される。垂直走査回路211は、後段選択トランジスタ372に後段選択信号selb1を供給し、後段選択トランジスタ472に後段選択信号selb2を供給する。
 前段回路410は、リセットレベルおよび信号レベルを順に生成して容量素子431および432に保持させる。前段回路420は、リセットレベルおよび信号レベルを順に生成して容量素子436および437に保持させる。なお、容量素子431および432は、特許請求の範囲に記載の第5および第6の容量素子の一例であり、容量素子436および437は、特許請求の範囲に記載の第7および第8の容量素子の一例である。
 また、選択回路450は、容量素子431および432のいずれかを後段ノード460に接続し、選択回路455は、容量素子436および437のいずれかを後段ノード460に接続する。なお、選択回路450は、特許請求の範囲に記載の第3の選択回路の一例であり、選択回路455は、特許請求の範囲に記載の第4の選択回路の一例である。また、後段ノード360は、特許請求の範囲に記載の第1の後段ノードの一例であり、後段ノード460は、特許請求の範囲に記載の第2の後段ノードの一例である。
 短絡トランジスタ480は、垂直走査回路211からの短絡信号shtに従って、後段ノード360と後段ノード460との間の経路を開閉するものである。短絡トランジスタ480として、例えば、nMOSトランジスタが用いられる。
 図19は、本技術の第2の実施の形態における前段回路410および420と選択回路450および455との一構成例を示す回路図である。
 前段回路410は、光電変換素子411、転送トランジスタ412、FDリセットトランジスタ413、FD414、前段増幅トランジスタ415および電流源トランジスタ416を備える。垂直走査回路211は、転送トランジスタ412およびFDリセットトランジスタ413に転送信号trg3およびFDリセット信号rst3を供給する。
 また、前段回路420は、光電変換素子421、転送トランジスタ422、FDリセットトランジスタ423、FD424、前段増幅トランジスタ425および電流源トランジスタ426を備える。垂直走査回路211は、転送トランジスタ422およびFDリセットトランジスタ423に転送信号trg4およびFDリセット信号rst4を供給する。
 選択回路450は、選択トランジスタ451および452を備え、選択回路455は、選択トランジスタ456および457を備える。垂直走査回路211は、選択トランジスタ451および452に選択信号Φr3およびΦs3を供給し、選択トランジスタ456および457に選択信号Φr4およびΦs4を供給する。
 前段回路410および420の回路構成は、前段回路310および320と同様である。また、選択回路450および455の回路構成は、選択回路350および355と同様である。
 図20は、本技術の第2の実施の形態における画素ブロック300内の1番目および2番目の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。この第2の実施の形態の固体撮像素子200には、画素加算を行わない非加算モードと、画素加算を行う加算モードとを含む複数のモードのいずれかが設定される。非加算モードのグローバルシャッター動作および読出し動作は、第1の実施の形態と同様である。加算モードのグローバルシャッター動作は、非加算モードと同様である。
 非加算モードにおいて、垂直走査回路211は、短絡信号shtをローレベルにする。また、n番目の画素ブロック300の行の読出し開始のタイミングT10において、垂直走査回路211は、FDリセット信号rst1乃至rst4をハイレベルにする。また、タイミングT10乃至T18の期間内に垂直走査回路211は、後段選択信号selb1をハイレベルにし、後段選択信号selb2をローレベルにする。
 また、タイミングT10からT11までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb1を供給し、タイミングT11乃至T12の期間内にハイレベルの選択信号Φr1を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して1番目の画素のリセットレベルVrst1が読み出される。
 タイミングT12からT13までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb1を供給し、タイミングT13乃至T14の期間内にハイレベルの選択信号Φs1を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して1番目の画素の信号レベルVsig1が読み出される。
 続いて、タイミングT14からT15までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb1を供給し、タイミングT15乃至T16の期間内にハイレベルの選択信号Φr2を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して2番目の画素のリセットレベルVrst2が読み出される。
 タイミングT16からT17までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb1を供給し、タイミングT17乃至T18の期間内にハイレベルの選択信号Φs2を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して2番目の画素の信号レベルVsig2が読み出される。
 図21は、本技術の第2の実施の形態における画素ブロック内300の3番目および4番目の画素の読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。
 タイミングT18乃至T26の期間内に垂直走査回路211は、後段選択信号selb1をローレベルにし、後段選択信号selb2をハイレベルにする。
 また、タイミングT18からT19までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb2を供給し、タイミングT19乃至T20の期間内にハイレベルの選択信号Φr3を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して3番目の画素のリセットレベルVrst3が読み出される。
 タイミングT20からT21までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb2を供給し、タイミングT21乃至T22の期間内にハイレベルの選択信号Φs3を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して3番目の画素の信号レベルVsig3が読み出される。
 続いて、タイミングT22からT23までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb2を供給し、タイミングT23乃至T24の期間内にハイレベルの選択信号Φr4を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して4番目の画素のリセットレベルVrst4が読み出される。
 タイミングT24からT25までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb2を供給し、タイミングT25乃至T26の期間内にハイレベルの選択信号Φs4を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して4番目の画素の信号レベルVsig4が読み出される。
 また、第n行の読出しの終了のタイミングT26において、垂直走査回路211は、FDリセット信号rst1乃至rst4をローレベルにする。
 図20および図21に例示したように、非加算モードにおいて、短絡トランジスタ480は開状態に制御される。また、容量素子331および332が順に後段ノード360に接続され、1番目の画素のリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出される。容量素子336および337が順に後段ノード360に接続され、2番目の画素のリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出される。続いて、容量素子431および432が順に後段ノード460に接続され、3番目の画素のリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出される。容量素子436および437が順に後段ノード460に接続され、4番目の画素のリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出される。このように画素ブロック300内の4画素のそれぞれのリセットレベルおよび信号レベルが順に読み出される。
 図22は、本技術の第2の実施の形態における加算モードの読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。加算モードにおいて、垂直走査回路211は、短絡信号shtをハイレベルにする。n番目の画素ブロック300の行の読出し期間であるタイミングT10乃至T14において、垂直走査回路211は、FDリセット信号rst1乃至rst4と後段選択信号selb1およびselb2とをハイレベルにする。
 また、タイミングT10からT11までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb1およびrstb2を供給し、タイミングT11乃至T12の期間内にハイレベルの選択信号Φr1乃至Φr4を供給する。この期間内に垂直信号線309を介してリセットレベルVrstが読み出される。このリセットレベルVrstは、画素ブロック300内の4画素のそれぞれのリセットレベルを加算した値である。
 続いて、タイミングT12からT13までのパルス期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstb1およびrstb2を供給し、タイミングT13乃至T14の期間内にハイレベルの選択信号Φs1乃至Φs4を供給する。この期間内に垂直信号線309を介して信号レベルVsigが読み出される。この信号レベルVsigは、画素ブロック300内の4画素のそれぞれの信号レベルを加算した値である。
 ここで、第1の実施の形態の画素ブロック300において、後段回路370を共有する画素数を4つに増やすことによっても4画素を加算することができる。しかし、後段回路370を共有する画素数が増えると弊害が生じる。後段回路370を共有する画素数を4つにすると、後段ノード360の配線が4画素に跨り、その後段ノード360の寄生容量が増大する。この寄生容量の増大により、画素加算を行わない場合の信号のゲインが低下してしまう。これは、容量素子331や332に保持した電圧が、後段ノード360と接続する際に、寄生容量により低減されてしまうためである。このゲインの低下により、SN(Signal-Noise)比が低下する。
 これに対して、短絡トランジスタ480を設けた第2の実施の形態では、非加算モードにおいて短絡トランジスタ480を開状態にすることにより、後段回路370および470のそれぞれを共有する画素数を2画素にすることができる。これにより、4画素が後段回路370を共有する場合と比較して、後段ノードの寄生容量の増大を抑制することができる。このような構成により、2画素より多くの画素の加算を実現しつつ、非加算モードのSN比の低下を抑制することができる。
 なお、図18に例示した画素ブロック300では、1本の垂直信号線309を後段回路370および470で共有していたが、この構成に限定されない。垂直信号線309-1および309-2を配線し、後段回路370を垂直信号線309-1に接続し、後段回路470を垂直信号線309-2に接続することもできる。この場合、垂直信号線の配線数とともに、後段の負荷MOSトランジスタ251の個数とADC261の個数とを2倍にする必要がある。その代わりに、非加算モードの際に、後段回路370を共有する2画素の一方と後段回路470を共有する2画素の一方とを同時に読み出すことができるため、読出し速度を向上させることができる。また、加算モードの際には、垂直信号線309-1および309-2の一方のみが使用され、他方に対応する負荷MOSトランジスタ251はオフ状態に制御される。
 なお、第2の実施の形態に、第1の実施の形態の第1乃至第3の変形例を適用することもできる。
 このように、本技術の第2の実施の形態によれば、短絡トランジスタ480が後段ノード360と後段ノード460とを短絡するため、画素ブロック300は、4画素のそれぞれの画素信号を加算することができる。これにより、加算しない場合と比較して感度や読出し速度を向上させ、消費電力を低減することができる。
 <3.第3の実施の形態>
 上述の第1の実施の形態では、画素ごとに電流源トランジスタ(316や326)を配置していたが、この構成では、画素の微細化が困難になるおそれがある。この第3の実施の形態の固体撮像素子200は、複数の画素で電流源トランジスタを共有する点において第1の実施の形態と異なる。
 図23は、本技術の第3の実施の形態における画素ブロック300の一構成例を示す回路図である。この第3の実施の形態の画素ブロック300は、前段選択トランジスタ317および327をさらに備え、電流源トランジスタ316が設けられない点において第1の実施の形態と異なる。
 前段選択トランジスタ317は、垂直走査回路211からの前段選択信号sel1に従って、前段増幅トランジスタ315により増幅された電圧を前段ノード338に出力するものである。前段選択トランジスタ327は、垂直走査回路211からの前段選択信号sel2に従って、前段増幅トランジスタ325により増幅された電圧を前段ノード338に出力するものである。また、電流源トランジスタ326は、前段ノード338に接続される。
 また、容量素子331、332、336および337の一端は、前段ノード339に共通に接続され、他端は、選択回路350および355に接続される。前段ノード339は、前段ノード338に接続される。
 また、固体撮像素子200内の回路や素子は、上側画素チップ201および下側画素チップ202に分散して配置される。例えば、前段回路310および320が上側画素チップ201に配置され、それらの後段の回路は回路チップ202に配置される。そして、前段ノード338と前段ノード339とが、Cu-Cu接続などにより接続される。
 画素ごとに電流源トランジスタを配置する第1の実施の形態では、積層構造とする際に、図15に例示したように、画素ごとにCu-Cu接続を行う必要がある。特に、回路チップ202にMIM構造の容量素子331などを配置する場合、チップの厚さが増え、上下のチップを接続する面の平坦化が難しくなり、Cu-Cu接続のピッチを制約することになる。例えば、モバイル用途のイメージセンサの微細画素のサイズがマイクロメートル(μm)以下であるのに対し、Cu-Cu接続のピッチは数マイクロメートル(μm)となってしまう。このため、画素ごとに電流源トランジスタを配置する構成では、微細化が困難となる。
 これに対して、2画素で電流源トランジスタ326を共有する同図の構成では、Cu-Cu接続数を削減することができる。このため、画素の微細化が容易になる。また、グローバルシャッター動作の際の電流を削減することができる。また、電流源トランジスタ326は、トランジスタのチャンネル長変調効果による電流変動を抑制するために、カスケードの構成を取ることが一般的に行われている。比較的サイズが大きい電流源トランジスタ326を共有することにより、トランジスタの面積を削減することができる。
 なお、2画素で電流源トランジスタ326を共有しているが、共有する画素数は2画素に限定されず、3画素以上であってもよい。
 図24は、本技術の第3の実施の形態におけるグローバルシャッター動作の一例を示すタイミングチャートである。垂直走査回路211は、露光開始の直前のタイミングT0から、パルス期間経過後のタイミングT1に亘って、全ての行にハイレベルのFDリセット信号rst1およびrst2と転送信号trg1およびtrg2とを供給する。これにより、全画素がPDリセットされ、全行で同時に露光が開始される。
 露光終了の直前のタイミングT2からT5までの期間内に垂直走査回路211は、全行の前段選択信号sel1をハイレベルにする。その期間内のタイミングT3において、垂直走査回路211は、全行において後段リセット信号rstbと選択信号Φr1とをハイレベルにしつつ、パルス期間に亘ってハイレベルのFDリセット信号rst1を供給する。これにより、画素ブロック300内の最初の画素がFDリセットされ、リセットレベルがサンプルホールドされる。
 タイミングT4において、垂直走査回路211は、選択信号Φr1をローレベルに戻す。また、垂直走査回路211は、タイミングT5からT8までの期間内に、全行の前段選択信号sel1をローレベルにし、前段選択信号sel2をハイレベルにする。その期間内のタイミングT6において、垂直走査回路211は、全行において後段リセット信号rstbと選択信号Φr2とをハイレベルにしつつ、パルス期間に亘ってハイレベルのFDリセット信号rst2を供給する。これにより、画素ブロック300内の2番目の画素がFDリセットされ、リセットレベルがサンプルホールドされる。
 そして、垂直走査回路211は、タイミングT7において、全行の選択信号Φr2をローレベルに戻し、タイミングT8において、前段選択信号sel2をローレベルにし、前段選択信号sel1をハイレベルにする。
 ここで、同図のsel1_[n]およびsel2_[n]は、n行目の画素への信号を示す。
 同図に例示するように、垂直走査回路211は、露光終了の直前に前段選択トランジスタ317および327を順に閉状態にする。そして、前段選択トランジスタ317が閉状態のときにFDリセットトランジスタ313がFDリセットを行い、前段選択トランジスタ327が閉状態のときにFDリセットトランジスタ323がFDリセットを行う。
 図25は、本技術の第3の実施の形態における露光終了直後の制御の一例を示すタイミングチャートである。露光終了のタイミングT9において、垂直走査回路211は、全行においてパルス期間に亘ってハイレベルの転送信号trg1およびtrg2を供給する。
 そして垂直走査回路211は、タイミングT10からT11までの期間内に全行において選択信号Φs1をハイレベルにする。これにより、画素ブロック300内の最初の画素の信号レベルがサンプルホールドされる。
 垂直走査回路211は、タイミングT12において、全行の前段選択信号sel1をローレベルにし、前段選択信号sel2をハイレベルにする。
  そして垂直走査回路211は、タイミングT13からT14までの期間内に全行において選択信号Φs2をハイレベルにする。これにより、画素ブロック300内の2番目の画素の信号レベルがサンプルホールドされる。
 垂直走査回路211は、タイミングT15において、全行の前段選択信号sel2をローレベルに戻す。
 同図に例示するように、垂直走査回路211は、露光終了時に前段選択トランジスタ317および327を順に閉状態にする。そして、垂直走査回路211は、露光終了時に転送トランジスタ312および322に電荷を転送させ、その後に前段選択トランジスタ317および327を順に閉状態にする。
 なお、第3の実施の形態に、第1の実施の形態の第1、第3の変形例や第2の実施の形態を適用することができる。
 このように、本技術の第3の実施の形態によれば、2画素で電流源トランジスタ326を共有するため、チップ間のCu-Cu接続数を削減することができる。これにより、画素の微細化が容易になる。
 <4.第4の実施の形態>
 上述の第1の実施の形態では、画素ごとに一対の容量を配置していたが、この構成では、画素の微細化が困難となる。この第4の実施の形態の固体撮像素子200は、容量の個数を削減した点において第1の実施の形態と異なる。
 図26は、本技術の第4の実施の形態における画素ブロック300の一構成例を示す回路図である。この第4の実施の形態の画素ブロック300には、前段回路ブロック305と、容量素子331、332、531、532および533と、選択部340と、後段リセットトランジスタ361と、後段回路370とが配置される。第4の実施の形態の画素ブロック300には、4画素が配置される。例えば、図17における画素301乃至304が画素ブロック300内に配置される。
 前段回路ブロック305は、光電変換素子311、511、512および513と、転送トランジスタ312、514、515および516とを備える。さらに前段回路ブロック305は、FDリセットトランジスタ313、FD314、前段増幅トランジスタ315および電流源トランジスタ316を備える。転送トランジスタ312、514、515および516として、例えば、nMOSトランジスタが用いられる。
 また、選択部340は、選択トランジスタ351、352、551、552および5553を備える。選択トランジスタ551、552および553として、例えば、nMOSトランジスタが用いられる。
 第4の実施の形態の光電変換素子311、転送トランジスタ312、FDリセットトランジスタ313、FD314、前段増幅トランジスタ315および電流源トランジスタ316の接続構成は、第1の実施の形態と同様である。ただし、FDリセットトランジスタ313には、垂直走査回路211からのFDリセット信号rstが入力される。
 光電変換素子511乃至513は、光電変換により電荷を生成するものである。転送トランジスタ514は、垂直走査回路211からの転送信号trg2に従って、光電変換素子511からFD314へ電荷を転送するものである。転送トランジスタ515は、垂直走査回路211からの転送信号trg3に従って、光電変換素子512からFD314へ電荷を転送するものである。転送トランジスタ516は、垂直走査回路211からの転送信号trg4に従って、光電変換素子513からFD314へ電荷を転送するものである。
 第4の実施の形態の容量素子331および332と選択トランジスタ351および352との接続構成は、第1の実施の形態と同様である。ただし、選択トランジスタ351には、垂直走査回路211からの選択信号Φrが入力される。
 容量素子531、532および533の一端は、前段ノード330に共通に接続され、他端は、選択部340に接続される。
 選択トランジスタ551は、垂直走査回路211からの選択信号Φr2に従って、容量素子531と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。選択トランジスタ552は、垂直走査回路211からの選択信号Φr3に従って、容量素子532と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。選択トランジスタ553は、垂直走査回路211からの選択信号Φr4に従って、容量素子533と後段ノード360との間の経路を開閉するものである。
 第4の実施の形態の後段リセットトランジスタ361および後段回路370の回路構成は、第1の実施の形態と同様である。
 また、固体撮像素子200内の回路や素子は、上側画素チップ201および回路チップ202に分散して配置される。例えば、前段回路ブロック305が上側画素チップ201に配置され、それらの後段の回路は回路チップ202に配置される。
 図26に例示したように、4画素により1つのFD314と、後段リセットトランジスタ361や後段回路370とが共有される。また、4画素のリセットレベルは、容量素子331に保持され、4画素のそれぞれの信号レベルは、容量素子332、531、532および533に保持される。第1の実施の形態では、リセットレベルを保持するための容量を画素ごとに配置しなければならなかったが、第4の実施の形態では、その容量を4画素で共有するため、容量の個数を削減することができる。これにより、共有しない場合と比較して画素の微細化が容易になる。
 なお、FD314等を4画素が共有しているが、共有する画素数は4画素に限定されない。また、容量素子331および332は、特許請求の範囲に記載の第1および第2の容量素子の一例である。容量素子531、532および533は、特許請求の範囲に記載の第3の容量素子の一例である。
 図27は、本技術の第4の実施の形態におけるグローバルシャッター動作の一例を示すタイミングチャートである。露光開始時のタイミングT0乃至T4の期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルのFDリセット信号rstを全行へ供給する。この期間内のタイミングT0、T1、T2およびT3において、垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ転送信号trg1、trg2、trg3およびtrg4を供給する。これにより、全画素がPDリセットされる。
 そして、露光終了時のタイミングT5乃至T15の期間内に垂直走査回路211は、ハイレベルの後段リセット信号rstbを全行へ供給する。また、タイミングT5において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へFDリセット信号rstを供給する。タイミングT5の直後のタイミングT6において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ選択信号Φrを供給する。これにより、全行がFDリセットされる。
 また、タイミングT7において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ転送信号trg1を供給する。タイミングT7の直後のタイミングT8において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ選択信号Φs1を供給する。これにより、画素ブロック300内の最初の画素の信号レベルがサンプルホールドされる。
 また、タイミングT9において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ転送信号trg2を供給する。タイミングT9の直後のタイミングT10において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ選択信号Φs2を供給する。これにより、画素ブロック300内の最初と2番目の画素とのそれぞれの信号レベルの和がサンプルホールドされる。
 また、タイミングT11において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ転送信号trg3を供給する。タイミングT11の直後のタイミングT12において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ選択信号Φs3を供給する。これにより、画素ブロック300内の最初から3番目までの画素のそれぞれの信号レベルの和がサンプルホールドされる。
 また、タイミングT13において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ転送信号trg4を供給する。タイミングT13の直後のタイミングT14において垂直走査回路211は、パルス期間に亘って全行へ選択信号Φs4を供給する。これにより、画素ブロック300内の最初から4番目までの画素のそれぞれの信号レベルの和がサンプルホールドされる。
 ここで、rst_[n]およびΦr_[n]は、N行のうちn行目の画素への信号を示す。
 第4の実施の形態ではFD314を4画素で共有するため、同図に例示するように、4画素のそれぞれの電荷転送を同時に行うことはできない。ただし、電荷の転送先の4つの容量(容量素子332、531、532および533)のサンプリングは、数マイクロ秒(μs)のオーダーで実現することができるため、画素間の露光時間差はあまり大きくならない。
 図28は、本技術の第4の実施の形態におけるリセットレベルおよび信号レベルの読出し動作の一例を示すタイミングチャートである。
 第n行を読み出すタイミングT20乃至T26の期間において、垂直走査回路211は、FDリセット信号rstをハイレベルにする。
 また、タイミングT20において垂直走査回路211は、パルス期間に亘ってハイレベルの後段リセット信号rstbを第n行へ供給する。そして、タイミングT20の直後のタイミングT21において垂直走査回路211は、パルス期間に亘ってハイレベルの選択信号Φrを第n行へ供給する。この制御の直後に、4画素で共通に用いられるリセットレベルが垂直信号線309を介して読み出される。
 そして、リセットレベルの読出し後のタイミングT22において垂直走査回路211は、パルス期間に亘ってハイレベルの選択信号Φs1を第n行へ供給する。この制御の直後に、最初の画素の信号レベルVsig1が垂直信号線309を介して読み出される。カラム信号処理回路260は、CDS処理により、リセットレベルVrstと信号レベルVsig1との差分を最初の画素の正味の信号レベルとして求める。
 そして、信号レベルVsig1の読出し後のタイミングT23において垂直走査回路211は、パルス期間に亘ってハイレベルの選択信号Φs2を第n行へ供給する。この制御の直後に、Vsig2が垂直信号線309を介して読み出される。このVsig2は、最初および2番目の画素のそれぞれの信号レベルの和に該当する。カラム信号処理回路260は、Vsig1とVsig2との差分を2番目の画素のCDS処理後の信号レベルとして求める。
 そして、Vsig2の読出し後のタイミングT24において垂直走査回路211は、パルス期間に亘ってハイレベルの選択信号Φs3を第n行へ供給する。この制御の直後に、Vsig3が垂直信号線309を介して読み出される。このVsig3は、最初から3番目までの画素のそれぞれの信号レベルの和に該当する。カラム信号処理回路260は、Vsig2とVsig3との差分を3番目の画素のCDS処理後の信号レベルとして求める。
 そして、Vsig3の読出し後のタイミングT25において垂直走査回路211は、パルス期間に亘ってハイレベルの選択信号Φs4を第n行へ供給する。この制御の直後に、Vsig4が垂直信号線309を介して読み出される。このVsig4は、最初から4番目までの画素のそれぞれの信号レベルの和に該当する。カラム信号処理回路260は、Vsig3とVsig4との差分を4番目の画素のCDS処理後の信号レベルとして求める。
 なお、第4の実施の形態に、第1の実施の形態の第3の変形例を適用することもできる。
 このように本技術の第4の実施の形態では、リセットレベルを保持する容量素子331を4画素で共有するため、共有しない場合と比較して画素の微細化が容易になる。
 <5.移動体への応用例>
 本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
 図29は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
 車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図29に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
 駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
 ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
 車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
 撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
 車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
 マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
 音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図29の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
 図30は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
 図30では、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
 撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
 なお、図30には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
 以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。具体的には、例えば、図1の撮像装置100は、撮像部12031に適用することができる。撮像部12031に本開示に係る技術を適用することにより、kTCノイズを低減し、より見やすい撮影画像を得ることができるため、ドライバの疲労を軽減することが可能になる。
 なお、上述の実施の形態は本技術を具現化するための一例を示したものであり、実施の形態における事項と、特許請求の範囲における発明特定事項とはそれぞれ対応関係を有する。同様に、特許請求の範囲における発明特定事項と、これと同一名称を付した本技術の実施の形態における事項とはそれぞれ対応関係を有する。ただし、本技術は実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施の形態に種々の変形を施すことにより具現化することができる。
 なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって、限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
 なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
(1)所定数の容量素子と、
 所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる前記容量素子に保持させる前段回路ブロックと、
 前記所定数の容量素子のうち前記リセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と前記所定数の容量素子を前記後段ノードから切り離す制御と前記所定数の容量素子のうち前記複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う選択部と、
 前記所定数の容量素子が前記後段ノードから切り離されたときに前記後段ノードのレベルを初期化する後段リセットトランジスタと、
 前記後段ノードを介して前記リセットレベルと前記複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す後段回路と
を具備する固体撮像素子。
(2)前記所定数の容量素子は、第1および第2の容量素子と第3および第4の容量素子とを含み、
 前記前段回路ブロックは、
 第1のリセットレベルと第1の信号レベルとを順に生成して前記第1および第2の容量素子に保持させる第1の前段回路と、
 第2のリセットレベルと第2の信号レベルとを順に生成して前記第3および第4の容量素子に保持させる第2の前段回路と
を備え、
 前記選択部は、
 前記第1および第2の容量素子のいずれかを前記後段ノードに接続する第1の選択回路と、
 前記第3および第4の容量素子のいずれかを前記後段ノードに接続する第2の選択回路とを備える
前記(1)記載の固体撮像素子。
(3)前記第1の前段回路は、
 第1の光電変換素子と、
 前記第1の光電変換素子から第1の浮遊拡散層へ電荷を転送する第1の前段転送トランジスタと、
 前記第1の浮遊拡散層を初期化する第1のリセットトランジスタと、
 前記第1の浮遊拡散層の電圧を増幅する第1の前段増幅トランジスタと
を備え、
 前記第2の前段回路は、
 第2の光電変換素子と、
 前記第2の光電変換素子から第2の浮遊拡散層へ電荷を転送する第2の前段転送トランジスタと、
 前記第2の浮遊拡散層を初期化する第2のリセットトランジスタと、
 前記第2の浮遊拡散層の電圧を増幅する第2の前段増幅トランジスタと
を備える
前記(2)記載の固体撮像素子。
(4)前記第1の前段回路は、第1の前段ノードに接続された第1の電流源トランジスタをさらに備え、
 前記第2の前段回路は、第2の前段ノードに接続された第2の電流源トランジスタをさらに備え、
 前記第1の前段増幅トランジスタは、前記第1の浮遊拡散層の電圧を増幅して前記第1の前段ノードへ出力し、
 前記第2の前段増幅トランジスタは、前記第2の浮遊拡散層の電圧を増幅して前記第2の前段ノードへ出力し、
 前記第1および第2の容量素子のそれぞれの一端は前記第1の前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第1の選択回路に接続され、
 前記第3および第4の容量素子のそれぞれの一端は前記第2の前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第2の選択回路に接続される
前記(3)記載の固体撮像素子。
(5)所定の露光開始タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層へ前記電荷を転送するとともに前記第1および第2のリセットトランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層とともに前記第1および第2の光電変換素子を初期化し、
 所定の露光終了タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層へ前記電荷を転送する
前記(3)または(4)に記載の固体撮像素子。
(6)前記選択部は、前記第1および第2の容量素子の一方を前記後段ノードに接続する制御と前記第1および第2の容量素子の他方を前記後段ノードに接続する制御と前記第3および第4の容量素子の一方を前記後段ノードに接続する制御と前記第3および第4の容量素子の他方を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う
前記(3)から(5)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(7)前記選択部は、所定の加算モードにおいて前記第1および第2の容量素子の一方と前記第3および第4の容量素子の一方との両方を前記後段ノードに接続する制御と、前記第1および第2の容量素子の他方と前記第3および第4の容量素子の他方との両方を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う
前記(3)から(6)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(8)前記第1の前段回路は、所定の第1の選択信号に従って前記第1の前段増幅トランジスタにより増幅された電圧を所定の前段ノードに出力する第1の前段選択トランジスタをさらに備え、
 前記第2の前段回路は、
 所定の第2の選択信号に従って前記第2の前段増幅トランジスタにより増幅された電圧を前記前段ノードに出力する第2の前段選択トランジスタと、
 前記前段ノードに接続された電流源トランジスタと
をさらに備え、
 前記第1および第2の容量素子のそれぞれの一端は前記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第1の選択回路に接続され、
 前記第3および第4の容量素子のそれぞれの一端は前記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第2の選択回路に接続される
前記(3)記載の固体撮像素子。
(9)所定の露光終了のタイミングの直前と前記露光終了のタイミングの後とに前記第1および第2の前段選択トランジスタは、順に閉状態に移行し、
 前記第1のリセットトランジスタは、前記第1の前段選択トランジスタが前記閉状態のときに前記第1の浮遊拡散層を初期化し、
 前記第2のリセットトランジスタは、前記第2の前段選択トランジスタが前記閉状態のときに前記第2の浮遊拡散層を初期化し、
 前記露光終了のタイミングの直後に前記第1および第2の前段選択トランジスタは、順に閉状態に移行し、
 前記第1および第2の前段転送トランジスタは、所定の露光終了のタイミングで前記電荷を転送する
前記(8)記載の固体撮像素子。
(10)第1の後段ノードと第2の後段ノードとの間の経路を開閉する短絡トランジスタをさらに具備し、
 前記所定数の容量は、第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7および第8の容量素子を含み、
 前記選択部は、
 前記第1および第2の容量素子のいずれかを前記第1の後段ノードに接続する第1の選択回路と、
 前記第3および第4の容量素子のいずれかを前記第1の後段ノードに接続する第2の選択回路と、
 前記第5および第6の容量素子のいずれかを前記第2の後段ノードに接続する第3の選択回路と、
 前記第7および第8の容量素子のいずれかを前記第2の後段ノードに接続する第4の選択回路と
を備える前記(1)記載の固体撮像素子。
(11)所定の非加算モードにおいて前記短絡トランジスタは、開状態であり、
 前記非加算モードにおいて前記選択部は、前記第1および第2の容量素子のそれぞれを順に前記第1の後段ノードに接続する制御と前記第3および第4の容量素子のそれぞれを順に前記第1の後段ノードに接続する制御と前記第5および第6の容量素子のそれぞれを順に前記第2の後段ノードに接続する制御と前記第7および第8の容量素子のそれぞれを順に前記第2の後段ノードに接続する制御とを所定の順序で行う
前記(10)記載の固体撮像素子。
(12)所定の加算モードにおいて前記短絡トランジスタは、閉状態であり、
 前記加算モードにおいて前記選択部は、前記第1および第2の容量素子の一方と前記第3および第4の容量素子の一方とを前記第1の後段ノードに接続しつつ前記第5および第6の容量素子の一方と前記7および第8の容量素子の一方とを前記第2の後段ノードに接続する制御と、前記第1および第2の容量素子の他方と前記第3および第4の容量素子の他方とを前記第1の後段ノードに接続しつつ前記5および第6の容量素子の他方と前記第7および第8の容量素子の他方とを前記第2の後段ノードに接続する制御とを順に行う
前記(10)または(11)に記載の固体撮像素子。
(13)前記所定数の容量素子は、第1および第2の容量素子と第3容量とを含み、
 前記前段回路ブロックは、
 第1の光電変換素子と、
 前記第1の光電変換素子から所定の浮遊拡散層へ電荷を転送する第1の前段転送トランジスタと、
 第2の光電変換素子と、
 前記第2の光電変換素子から所定の浮遊拡散層へ電荷を転送する第2の前段転送トランジスタと、
 前記浮遊拡散層を初期化するリセットトランジスタと、
 前記浮遊拡散層の電圧を増幅して所定の前段ノードへ出力する前段増幅トランジスタと
を備え、
 前記第1および第2の容量素子と前記第3の容量素子のそれぞれの一端は前記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記選択部に接続される
前記(1)記載の固体撮像素子。
(14)所定の露光開始タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記浮遊拡散層へ前記電荷を転送するとともに前記リセットトランジスタが前記浮遊拡散層とともに前記第1および第2の光電変換素子を初期化し、
 所定の露光終了タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層へ順に前記電荷を転送する
前記(13)記載の固体撮像素子。
(15)前記選択部は、前記第1および第2の容量素子の一方を前記後段ノードに接続する制御と前記第1および第2の容量素子の他方を前記後段ノードに接続する制御と前記第3の容量素子を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う
前記(13)または(14)に記載の固体撮像素子。
(16)前記前段回路ブロックは、第1のチップに設けられ、
 前記所定数の容量素子と前記選択部と前記後段リセットトランジスタと前記後段回路とは、第2のチップに設けられる
前記(1)から(15)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(17)前記出力された前記リセットレベルと前記複数の信号レベルを順にデジタル信号に変換するアナログデジタル変換器をさらに具備し、
 前記アナログデジタル変換器は、前記第2のチップに設けられる
前記(16)記載の固体撮像素子。
(18)前記出力された前記リセットレベルと前記複数の信号レベルを順にデジタル信号に変換するアナログデジタル変換器をさらに具備し、
 前記アナログデジタル変換器は、第3のチップに設けられる
前記(16)または(17)に記載の固体撮像素子。
(19)所定数の容量素子と、
 所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる前記容量素子に保持させる前段回路ブロックと、
 前記所定数の容量素子のうち前記リセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と前記所定数の容量素子を前記後段ノードから切り離す制御と前記所定数の容量素子のうち前記複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う選択部と、
 前記所定数の容量素子が前記後段ノードから切り離されたときに前記後段ノードのレベルを初期化する後段リセットトランジスタと、
 前記後段ノードを介して前記リセットレベルと前記複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す後段回路と、
 前記リセットレベルと前記複数の信号レベルとを順にデジタル信号に変換して処理する信号処理回路と
を具備する撮像装置。
(20)入射した光を電荷へと変換する第1の光電変換素子と、
 入射した光を電荷へと変換する第2の光電変換素子と、
 前記電荷を電圧に変換する前段増幅トランジスタと、
 前記前段増幅トランジスタの出力先の前段ノードにそれぞれの一端が接続された所定数の容量素子と、
 記所定数の容量素子のそれぞれの他端と所定の後段ノードとの間のそれぞれの経路に挿入された所定数の選択トランジスタと、
 前記後段ノードにソースまたはドレインが接続されたリセットトランジスタと、
 前記後段ノードにゲートが接続され、画素信号を出力する後段増幅トランジスタと
を具備する固体撮像素子。
 100 撮像装置
 110 撮像レンズ
 120 記録部
 130 撮像制御部
 200 固体撮像素子
 201 上側画素チップ
 202 下側画素チップ
 203 回路チップ
 211 垂直走査回路
 212 タイミング制御回路
 213 DAC
 220 画素アレイ部
 221 上側画素アレイ部
 222 下側画素アレイ部
 250 負荷MOS回路ブロック
 251 負荷MOSトランジスタ
 260 カラム信号処理回路
 261 ADC
 262 デジタル信号処理部
 300 画素ブロック
 301~304 画素
 305 前段回路ブロック
 310、320、410、420 前段回路
 311、321、411、421、511~513 光電変換素子
 312、322、412、422、514~516 転送トランジスタ
 313、323、413、423 FDリセットトランジスタ
 314、324、414、424 FD
 315、325、415、425 前段増幅トランジスタ
 316、326、416、426 電流源トランジスタ
 317、327 前段選択トランジスタ
 331、332、336、337、431、432、436、437、531~533 容量素子
 340 選択部
 350、355、450、455 選択回路
 351、352、356、357、451、452、456、457、551~553 選択トランジスタ
 361、461 後段リセットトランジスタ
 370、470 後段回路
 371、471 後段増幅トランジスタ
 372、472 後段選択トランジスタ
 480 短絡トランジスタ
 12031 撮像部

Claims (20)

  1.  所定数の容量素子と、
     所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる前記容量素子に保持させる前段回路ブロックと、
     前記所定数の容量素子のうち前記リセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と前記所定数の容量素子を前記後段ノードから切り離す制御と前記所定数の容量素子のうち前記複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う選択部と、
     前記所定数の容量素子が前記後段ノードから切り離されたときに前記後段ノードのレベルを初期化する後段リセットトランジスタと、
     前記後段ノードを介して前記リセットレベルと前記複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す後段回路と
    を具備する固体撮像素子。
  2.  前記所定数の容量素子は、第1および第2の容量素子と第3および第4の容量素子とを含み、
     前記前段回路ブロックは、
     第1のリセットレベルと第1の信号レベルとを順に生成して前記第1および第2の容量素子に保持させる第1の前段回路と、
     第2のリセットレベルと第2の信号レベルとを順に生成して前記第3および第4の容量素子に保持させる第2の前段回路と
    を備え、
     前記選択部は、
     前記第1および第2の容量素子のいずれかを前記後段ノードに接続する第1の選択回路と、
     前記第3および第4の容量素子のいずれかを前記後段ノードに接続する第2の選択回路とを備える
    請求項1記載の固体撮像素子。
  3.  前記第1の前段回路は、
     第1の光電変換素子と、
     前記第1の光電変換素子から第1の浮遊拡散層へ電荷を転送する第1の前段転送トランジスタと、
     前記第1の浮遊拡散層を初期化する第1のリセットトランジスタと、
     前記第1の浮遊拡散層の電圧を増幅する第1の前段増幅トランジスタと
    を備え、
     前記第2の前段回路は、
     第2の光電変換素子と、
     前記第2の光電変換素子から第2の浮遊拡散層へ電荷を転送する第2の前段転送トランジスタと、
     前記第2の浮遊拡散層を初期化する第2のリセットトランジスタと、
     前記第2の浮遊拡散層の電圧を増幅する第2の前段増幅トランジスタと
    を備える
    請求項2記載の固体撮像素子。
  4.  前記第1の前段回路は、第1の前段ノードに接続された第1の電流源トランジスタをさらに備え、
     前記第2の前段回路は、第2の前段ノードに接続された第2の電流源トランジスタをさらに備え、
     前記第1の前段増幅トランジスタは、前記第1の浮遊拡散層の電圧を増幅して前記第1の前段ノードへ出力し、
     前記第2の前段増幅トランジスタは、前記第2の浮遊拡散層の電圧を増幅して前記第2の前段ノードへ出力し、
     前記第1および第2の容量素子のそれぞれの一端は前記第1の前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第1の選択回路に接続され、
     前記第3および第4の容量素子のそれぞれの一端は前記第2の前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第2の選択回路に接続される
    請求項3記載の固体撮像素子。
  5.  所定の露光開始タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層へ前記電荷を転送するとともに前記第1および第2のリセットトランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層とともに前記第1および第2の光電変換素子を初期化し、
     所定の露光終了タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層へ前記電荷を転送する
    請求項3記載の固体撮像素子。
  6.  前記選択部は、前記第1および第2の容量素子の一方を前記後段ノードに接続する制御と前記第1および第2の容量素子の他方を前記後段ノードに接続する制御と前記第3および第4の容量素子の一方を前記後段ノードに接続する制御と前記第3および第4の容量素子の他方を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う
    請求項3記載の固体撮像素子。
  7.  前記選択部は、所定の加算モードにおいて前記第1および第2の容量素子の一方と前記第3および第4の容量素子の一方との両方を前記後段ノードに接続する制御と、前記第1および第2の容量素子の他方と前記第3および第4の容量素子の他方との両方を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う
    請求項3記載の固体撮像素子。
  8.  前記第1の前段回路は、所定の第1の選択信号に従って前記第1の前段増幅トランジスタにより増幅された電圧を所定の前段ノードに出力する第1の前段選択トランジスタをさらに備え、
     前記第2の前段回路は、
     所定の第2の選択信号に従って前記第2の前段増幅トランジスタにより増幅された電圧を前記前段ノードに出力する第2の前段選択トランジスタと、
     前記前段ノードに接続された電流源トランジスタと
    をさらに備え、
     前記第1および第2の容量素子のそれぞれの一端は前記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第1の選択回路に接続され、
     前記第3および第4の容量素子のそれぞれの一端は前記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記第2の選択回路に接続される
    請求項3記載の固体撮像素子。
  9.  所定の露光終了のタイミングの直前と前記露光終了のタイミングの後とに前記第1および第2の前段選択トランジスタは、順に閉状態に移行し、
     前記第1のリセットトランジスタは、前記第1の前段選択トランジスタが前記閉状態のときに前記第1の浮遊拡散層を初期化し、
     前記第2のリセットトランジスタは、前記第2の前段選択トランジスタが前記閉状態のときに前記第2の浮遊拡散層を初期化し、
     前記露光終了のタイミングの直後に前記第1および第2の前段選択トランジスタは、順に閉状態に移行し、
     前記第1および第2の前段転送トランジスタは、所定の露光終了のタイミングで前記電荷を転送する
    請求項8記載の固体撮像素子。
  10.  第1の後段ノードと第2の後段ノードとの間の経路を開閉する短絡トランジスタをさらに具備し、
     前記所定数の容量は、第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7および第8の容量素子を含み、
     前記選択部は、
     前記第1および第2の容量素子のいずれかを前記第1の後段ノードに接続する第1の選択回路と、
     前記第3および第4の容量素子のいずれかを前記第1の後段ノードに接続する第2の選択回路と、
     前記第5および第6の容量素子のいずれかを前記第2の後段ノードに接続する第3の選択回路と、
     前記第7および第8の容量素子のいずれかを前記第2の後段ノードに接続する第4の選択回路と
    を備える請求項1記載の固体撮像素子。
  11.  所定の非加算モードにおいて前記短絡トランジスタは、開状態であり、
     前記非加算モードにおいて前記選択部は、前記第1および第2の容量素子のそれぞれを順に前記第1の後段ノードに接続する制御と前記第3および第4の容量素子のそれぞれを順に前記第1の後段ノードに接続する制御と前記第5および第6の容量素子のそれぞれを順に前記第2の後段ノードに接続する制御と前記第7および第8の容量素子のそれぞれを順に前記第2の後段ノードに接続する制御とを所定の順序で行う
    請求項10記載の固体撮像素子。
  12.  所定の加算モードにおいて前記短絡トランジスタは、閉状態であり、
     前記加算モードにおいて前記選択部は、前記第1および第2の容量素子の一方と前記第3および第4の容量素子の一方とを前記第1の後段ノードに接続しつつ前記第5および第6の容量素子の一方と前記7および第8の容量素子の一方とを前記第2の後段ノードに接続する制御と、前記第1および第2の容量素子の他方と前記第3および第4の容量素子の他方とを前記第1の後段ノードに接続しつつ前記5および第6の容量素子の他方と前記第7および第8の容量素子の他方とを前記第2の後段ノードに接続する制御とを順に行う
    請求項10記載の固体撮像素子。
  13.  前記所定数の容量素子は、第1および第2の容量素子と第3容量とを含み、
     前記前段回路ブロックは、
     第1の光電変換素子と、
     前記第1の光電変換素子から所定の浮遊拡散層へ電荷を転送する第1の前段転送トランジスタと、
     第2の光電変換素子と、
     前記第2の光電変換素子から所定の浮遊拡散層へ電荷を転送する第2の前段転送トランジスタと、
     前記浮遊拡散層を初期化するリセットトランジスタと、
     前記浮遊拡散層の電圧を増幅して所定の前段ノードへ出力する前段増幅トランジスタと
    を備え、
     前記第1および第2の容量素子と前記第3の容量素子のそれぞれの一端は前記前段ノードに共通に接続され、それぞれの他端は前記選択部に接続される
    請求項1記載の固体撮像素子。
  14.  所定の露光開始タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記浮遊拡散層へ前記電荷を転送するとともに前記リセットトランジスタが前記浮遊拡散層とともに前記第1および第2の光電変換素子を初期化し、
     所定の露光終了タイミングにおいて前記第1および第2の前段転送トランジスタが前記第1および第2の浮遊拡散層へ順に前記電荷を転送する
    請求項13記載の固体撮像素子。
  15.  前記選択部は、前記第1および第2の容量素子の一方を前記後段ノードに接続する制御と前記第1および第2の容量素子の他方を前記後段ノードに接続する制御と前記第3の容量素子を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う
    請求項13記載の固体撮像素子。
  16.  前記前段回路ブロックは、第1のチップに設けられ、
     前記所定数の容量素子と前記選択部と前記後段リセットトランジスタと前記後段回路とは、第2のチップに設けられる
    請求項1記載の固体撮像素子。
  17.  前記出力された前記リセットレベルと前記複数の信号レベルを順にデジタル信号に変換するアナログデジタル変換器をさらに具備し、
     前記アナログデジタル変換器は、前記第2のチップに設けられる
    請求項16記載の固体撮像素子。
  18.  前記出力された前記リセットレベルと前記複数の信号レベルを順にデジタル信号に変換するアナログデジタル変換器をさらに具備し、
     前記アナログデジタル変換器は、第3のチップに設けられる
    請求項16記載の固体撮像素子。
  19.  所定数の容量素子と、
     所定のリセットレベルと露光量に応じた複数の信号レベルとのそれぞれを生成して互いに異なる前記容量素子に保持させる前段回路ブロックと、
     前記所定数の容量素子のうち前記リセットレベルが保持された容量素子を所定の後段ノードに接続する制御と前記所定数の容量素子を前記後段ノードから切り離す制御と前記所定数の容量素子のうち前記複数の信号レベルのいずれかが保持された容量素子を前記後段ノードに接続する制御とを順に行う選択部と、
     前記所定数の容量素子が前記後段ノードから切り離されたときに前記後段ノードのレベルを初期化する後段リセットトランジスタと、
     前記後段ノードを介して前記リセットレベルと前記複数の信号レベルとのそれぞれを順に読み出す後段回路と、
     前記リセットレベルと前記複数の信号レベルとを順にデジタル信号に変換して処理する信号処理回路と
    を具備する撮像装置。
  20.  入射した光を電荷へと変換する第1の光電変換素子と、
     入射した光を電荷へと変換する第2の光電変換素子と、
     前記電荷を電圧に変換する前段増幅トランジスタと、
     前記前段増幅トランジスタの出力先の前段ノードにそれぞれの一端が接続された所定数の容量素子と、
     記所定数の容量素子のそれぞれの他端と所定の後段ノードとの間のそれぞれの経路に挿入された所定数の選択トランジスタと、
     前記後段ノードにソースまたはドレインが接続されたリセットトランジスタと、
     前記後段ノードにゲートが接続され、画素信号を出力する後段増幅トランジスタと
    を具備する固体撮像素子。
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