JP2018113606A - 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
CMOSイメージセンサは、デジタルカメラ、ビデオカメラ、監視カメラ、医療用内視鏡、パーソナルコンピュータ(PC)、携帯電話等の携帯端末装置(モバイル機器)等の各種電子機器の一部として広く適用されている。
この順次走査、すなわち、電子シャッタとしてローリングシャッタを採用した場合は、光電荷を蓄積する露光の開始時間、および終了時間を全ての画素で一致させることができない。そのため、順次走査の場合、動被写体の撮像時に撮像画像に歪みが生じるという問題がある。
グローバルシャッタを採用したCMOSイメージセンサでは、フォトダイオードから電荷を電圧信号として一斉に信号保持部の信号保持キャパシタに蓄積し、そののち順次読み出すことにより、画像全体の同時性を確保している(たとえば、非特許文献1参照)。
また、このCMOSイメージセンサは、光電変換読み出し部の出力を、信号保持部をバイパスして信号線に転送するバイパススイッチを有しており、グローバルシャッタ機能に加えてローリングシャッタ機能を併せ持つように構成されている。
そして、光電変換読み出し部2は、たとえば光電変換素子であるフォトダイオードPD1に対して、転送トランジスタtg1−Tr、リセットトランジスタrst1−Tr、ソースフォロワトランジスタsf1−Tr、および出力ノードnd1を有する。
ソースフォロワトランジスタsf1−Trのソース側により出力ノードnd1が形成されている。
ソースフォロワトランジスタsf1−TrのゲートにはフローティングディフュージョンFD1が接続されている。
ソースフォロワトランジスタsf1−TrはフローティングディフュージョンFD1の電荷を電荷量(電位)に応じた電圧信号に変換した列出力の読み出し信号(VSIG)および読み出しリセット信号(VRST)を出力ノードnd1に出力する。
スイッチ素子SW1は、入力ノードnd2とサンプルホールド部3−2側と接続されたノードnd3との間に接続されている。
スイッチ素子SW1は、たとえば信号SHがハイレベル(Hレベル)の期間に導通状態となる。
信号保持キャパシタC1は、ノードnd3とノードnd4との間に接続されている。
信号保持キャパシタC2は、ノードnd4と基準電位VSSとの間に接続されている。
リセットトランジスタrst3−Trは、制御信号rst3がHレベルのリセット期間に選択されて導通状態となり、ノードnd4(およびキャパシタC1、C2)を電源電圧VDDの電源線Vddの電位にリセットする。
選択トランジスタsel3−Trは、制御信号sel3がHレベルの選択期間に選択されて導通状態となる。これにより、ソースフォロワトランジスタsf3−Trは信号保持キャパシタC1、C2の保持電圧に応じた列出力の読み出し電圧(VRST,VSIG)を垂直信号線LSGN1に出力する。
しかし、光電変換部と電荷保存部が同一のフォーカルプレーンに存在するため、高感度化を実現する裏面照射型の画素を用いると、寄生光感度(Parasitic Light Sensitivity: PLS)が著しく劣化するという問題がある。
また、表面照射型の画素であっても、何度も配線層で反射された光がストレージノードに入射する現象、もしくは基板深部で光電変換した電荷が確率的にストレージノードに混入し、カメラの特定応用用途として充分なPLS性能を実現できないという問題がある。
また、画素に強い光が入射した時の電荷漏れを誘導するオーバーフロードレイントランジスタが追加されているが、このトランジスタによっても感度と飽和電子数の低下を招く。
飽和電子数を大きくとりたければ、大きなストレージノードが必要となる。しかし、ストレージノード面積を増加させることによってストレージノードが保持できる電子数は増加するが、逆にフォトダイオードの飽和電子数と感度は低下し、PLSも劣化する。つまり、感度、PLS、飽和電子数がトレードオフの状態になっているという大きな問題がある。
さらに、これらの画素は、従来開発されてきたローリングシャッタ用画素とは構造構成が大きく異なり、二重の画素開発が必要となる、つまり、ローリングシャッタ用画素で開発した良好な画素をそのまま用いることができないなど、開発コストの面についても問題がある。
この構成において、CISダイとASICダイは画素レベルでのダイ間ビア(VIA)で電気的接続を実現している。
また、ASICダイのサンプリング回路をメタル配線層で遮光することで、CISダイから透過した光を完全に遮ることができる。その結果、-160dBものPLS性能を実現しており、従来のカメラにおけるメカニカルシャッタと同等以上の性能を、チップ構造と電子シャッタで実現する優れたイメージセンサである。
一方、容量結合とサンプリングの容量比を4:1にすることで利得を0.8倍まで高めることができるが、サンプリング容量が減少することで、各行ごとに信号保存期間が異なることが原因の縦シェーディングの影響を強く受け、画質劣化を招く。
2つのサンプリング容量を短絡するときに、スイッチトランジスタのチャネル容量と対ゲート端子容量によって利得が下がり、かつ製造バラつきによる画素固定パターン雑音を増加させてしまう。
このような大電流が流れる場合、ダイとパッケージ間のリードフレームや配線における寄生インダクタンスによるdi/dt雑音や、寄生バイポーラトランジスタによるラッチアップが問題となる。
ただし、FDリセット電圧を駆動しているときの負荷容量とPD光信号電圧を駆動しているときの負荷容量が異なるため、セットリングにおけるオフセットの違い(セットリングエラー)が発生してしまい、それが画素毎に異なるため画素固定パターンとなり画質劣化を招く。緩和させるためには、サンプリング期間を長くすればよいが、マシンビジョン用途に必要とされるグローバルシャッタでは、高フレームレートが要求されるため、サンプリング期間を長くすることは問題となる。
図2は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の構成例を示すブロック図である。
本実施形態において、固体撮像装置10は、たとえばCMOSイメージセンサにより構成される。
これらの構成要素のうち、たとえば垂直走査回路30、読み出し回路40、水平走査回路50、およびタイミング制御回路60により画素信号の読み出し部70が構成される。
本第1の実施形態に係る固体撮像装置10において、後で詳述するように、画素信号ストレージとしての信号保持部に、電圧モードで、画素信号を全画素で同時にサンプリングし、第1および第2の信号保持キャパシタに保持された読み出し信号に対応する変換信号を第1の信号線に読み出すとともに、読み出しリセット信号に対応する変換信号を第2の信号線に同時並列的に読み出し、差動の信号としてカラム読み出し回路40に供給する。
図3は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置10の画素の一例を示す回路図である。
そして、本第1の実施形態の画素部20においては、画素21に対応して、あるいは、複数の画素21に対応して電源切り替え部22が配置されている。
具体的には、この光電変換読み出し部211は、たとえば光電変換素子であるフォトダイオードPD21を有する。
このフォトダイオードPD21に対して、転送素子としての転送トランジスタTG1−Tr、リセット素子としてのリセットトランジスタRST1−Tr、第1のソースフォロワ素子としてのソースフォロワトランジスタSF1−Tr、および出力ノードND21をそれぞれ一つずつ有する。
このように、第1の実施形態に係る画素21の光電変換読み出し部211は、転送トランジスタTG1−Tr、リセットトランジスタRST1−Tr、およびソースフォロワトランジスタSF1−Trの3トランジスタ(3Tr)を含んで構成されている。
光電変換読み出し部211は、グローバルシャッタモード時に画素信号としての読み出し信号(信号電圧)(VSIG)および読み出しリセット信号(信号電圧)(VRST)を信号保持部212に出力する。
以下、信号電荷は電子であり、各トランジスタがn型トランジスタである場合について説明するが、信号電荷が正孔(ホール)であったり、各トランジスタがp型トランジスタであっても構わない。
また、本実施形態は、複数のフォトダイオードおよび転送トランジスタ間で、各トランジスタを共有している場合にも有効である。
転送トランジスタTG1−Trは、制御信号TGがハイ(H)レベルの転送期間に選択されて導通状態となり、フォトダイオードPD21で光電変換され蓄積された電荷(電子)をフローティングディフュージョンFD21に転送する。
リセットトランジスタRST1−Trは、制御信号RSTがHレベルのリセット期間に選択されて導通状態となり、フローティングディフュージョンFD21を電源電圧VDDの電源線Vddの電位にリセットする。
この出力ノードND21と信号保持部212の入力部間の信号線LSGN13は、たとえば信号保持部212に配置されたキャパシタや定電流源により駆動される。
この場合、ソースフォロワトランジスタSF1−TrはフローティングディフュージョンFD21の電荷を電荷量(電位)に応じた電圧信号に変換した列出力の読み出し信号(VSIG1)および読み出しリセット信号(VRST1)を出力ノードND21に出力する。
この場合、ソースフォロワトランジスタSF1−Trのゲート(フローティングディフュージョンFD21)はリセットトランジスタRST1−Trにより電源線Vddの電位にリセットされる。すなわち、信号保持部212の第1の信号保持キャパシタおよび第2の信号保持キャパシタをクリアする場合、ソースフォロワトランジスタSF1−Trは単なるスイッチとして機能する。
第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trは、グローバルシャッタ期間または信号保持キャパシタのクリア期間に、サンプルホールド部2122の第1の信号保持キャパシタCS21を、保持ノードND23を介して光電変換読み出し部211の出力ノードND21と選択的に接続する。
第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trは、たとえば制御信号SHSがハイレベルに期間に導通状態となる。
第1の信号保持キャパシタCS21は、保持ノードND23と基準電位VSSとの間に接続されている。
第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trは、グローバルシャッタ期間または信号保持キャパシタのクリア期間に、サンプルホールド部2122の第2の信号保持キャパシタCR21を、保持ノードND24を介して光電変換読み出し部211の出力ノードND21と選択的に接続する。
第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trは、たとえば制御信号SHRがハイレベルに期間に導通状態となる。
第2の信号保持キャパシタCR21は、保持ノードND24と基準電位VSSとの間に接続されている。
選択トランジスタSEL1S−Trは、制御信号SEL1がHレベルの選択期間に選択されて導通状態となる。これにより、ソースフォロワトランジスタSF2S−Trは第1の信号保持キャパシタCS21の保持電圧に応じた列出力の読み出し電圧(VSIG)を第1の垂直信号線LSGN11に出力する。
選択トランジスタSEL2R−Trは、制御信号SEL1がHレベルの選択期間に選択されて導通状態となる。これにより、ソースフォロワトランジスタSF3R−Trは第2の信号保持キャパシタCR21の保持電圧に応じた列出力の読み出し電圧(VRST)を第2の垂直信号線LSGN12に出力する。
したがって、第1の信号保持キャパシタCS21および第2の信号保持キャパシタCR21は、ダイナミックな電流源として機能する。
たとえばクリア期間には制御信号RDSELはLレベルに設定され、電源切り替え部22は、電源線Vddpixを基準電位VSSに接続する。
一方、グローバルシャッタ期間には制御信号RDSELはHレベルに設定され、電源切り替え部22は、電源線Vddpixを電源電位VDDの電源線Vddに接続する。
画素アレイ230は、たとえば16:9のアスペクト比の画像が出力可能なように、複数の画素21の光電変換読み出し部211がN行×M列の2次元の行列状(マトリクス状)に配列されている。
保持部アレイ240は、画素アレイ230と同様に、たとえば16:9のアスペクト比の画像が出力可能なように、複数の画素21の信号保持部212がN行×M列の2次元の行列状(マトリクス状)に配列されている。
この場合、保持部アレイ240は、完全にメタル配線層で遮光されていてもよい。
図2においては、各行制御線を1本の行走査制御線として表している。同様に、各垂直信号線LSGN11,LSGN12を1本の垂直信号線として表している。
また、垂直走査回路30は、アドレス信号に従い、信号の読み出しを行うリード行と、フォトダイオードPDに蓄積された電荷をリセットするシャッタ行の行アドレスの行選択信号を出力する。
カラム読み出し回路40は、グローバルシャッタモード時に、第1の垂直信号線LSGN11および第2の垂直信号線LSGN12に、画素21の信号保持部212から読み出された差動の画素信号pixout(VSL)に対して、増幅処理およびAD変換処理を行う。
次に、本第1の実施形態に係る固体撮像装置10の積層構造について説明する。
固体撮像装置10は、たとえばウェハレベルで貼り合わせた後、ダイシングで切り出した積層構造の撮像装置として形成される。
本例では、第2の基板120上に第1の基板110が積層された構造を有する。
そして、画素アレイ230の周囲、図6の例では、図中の上側および下側にカラム読み出し回路40の一部用の領域112,113が形成されている。なお、カラム読み出し回路40の一部は、画素アレイ230の領域111の上側および下側のいずれかに配置されるように構成してもよい。
保持部アレイ240は、完全にメタル配線層で遮光されていてもよい。
そして、保持部アレイ240の周囲、図6の例では、図中の上側および下側にカラム読み出し回路40用の領域122,123が形成されている。なお、カラム読み出し回路40は、保持部アレイ240の領域121の上側および下側のいずれかに配置されるように構成してもよい。
また、保持部アレイ240の側部側に垂直走査回路30用の領域や、デジタル系や出力系の領域が形成されてもよい。
また、第2の基板120には、垂直走査回路30、水平走査回路50、およびタイミング制御回路60も形成されてもよい。
また、第1の基板110のソースフォロワトランジスタSF1−Trのドレイン側の電源線vddpixと第2の基板120の電源切り替え部22の出力側とが、たとえば図3に示すように、それぞれビア(Die−to−Die Via)やマイクロバンプ等を用いて電気的な接続が行われている。
以上、固体撮像装置10の各部の特徴的な構成および機能について説明した。
次に、本第1の実施形態に係る固体撮像装置10の差動の画素信号の読み出し動作等について詳述する。
図7(C)は電源切り替え部22の制御信号RDSELを示している。
図7(D)は画素21の信号保持部212の第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trの制御信号SHRを示している。図7(E)は画素21の信号保持部212の第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trの制御信号SHSを示している。
図7(F)は画素21の信号保持部212の選択トランジスタSEL1S−Tr,SEL2R−Trの制御信号SEL1を示している。
図7(G)は画素21の信号保持部212のノードND23,ND24および電源電位のレベルを示している。
クリア期間CLRにおいては、画素21の光電変換読み出し部211のリセットトランジスタRST1−Trが、図7(A)に示すように、制御信号RSTがHレベルの期間に選択されて導通状態となり、フローティングディフュージョンFDが電源線Vddの電位にリセットされる。
そして、図7(C)に示すように、電源切り替え部22の制御信号RDSELがLレベルに設定され、光電変換読み出し部211のソースフォロワトランジスタSF1−Trのドレイン側の電源線Vddpixが基準電位VSSに接続された状態にある。
この場合、ソースフォロワトランジスタSF1−Trのゲート(フローティングディフュージョンFD21)はリセットトランジスタRST1−Trにより電源線Vddの電位にリセットされていることから、ソースフォロワトランジスタSF1−Trは単なるスイッチとして機能する。
これにより、信号保持部212の第1の信号保持キャパシタCS21および第2の信号保持キャパシタCR21は0Vにクリアされる。
したがって、第1の信号保持キャパシタCS21および第2の信号保持キャパシタCR21は、ダイナミックな電流源として機能する。
これにより、ソースフォロワトランジスタSF1−Trは通常の第1のソースフォロワ素子として機能するようになる。
そして、制御信号RSTがHレベル期間中に、フローティングディフュージョンFD21が電源線Vddの電位にリセットされる。
光電変換読み出し部211では、ソースフォロワトランジスタSF1−Trにより、フローティングディフュージョンFD21の電荷が電荷量(電位)に応じた電圧信号に変換され、列出力の読み出しリセット信号VRSTとして出力ノードND21から出力される。
その後、リセットトランジスタRST1−Trの制御信号RSTがLレベルに切り替えられて、リセットトランジスタRST1−Trは非導通状態となる。
そして、信号保持部212において、時刻t3を含む所定期間に制御信号SHRがHレベルに切り替えられて第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trが導通状態となる。
転送期間には、各光電変換読み出し部211において、転送トランジスタTG1−Trが、制御信号TGがHレベルの期間に選択されて導通状態となり、フォトダイオードPD21で光電変換され蓄積された電荷(電子)がフローティングディフュージョンFD21に転送される。
転送期間が終了すると、転送トランジスタTG1−Trの制御信号TGがLレベルに切り替えられ、転送トランジスタTG1−Trが非導通状態となる。
光電変換読み出し部211では、ソースフォロワトランジスタSF1−Trにより、フローティングディフュージョンFD21の電荷が電荷量(電位)に応じた電圧信号に変換され、列出力の読み出し信号VSIGとして出力ノードND21から出力される。
信号保持部212において、時刻t5を含む所定期間に制御信号SHSがHレベルに切り替えられて第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trが導通状態となるように制御される。
そして、第1の信号保持キャパシタCS21に保持された読み出し信号VSIGの読み出し、並びに、第2の信号保持キャパシタCR21に保持された読み出しリセット信号VRSTの読み出しが並行して行われる。
これと並行して、信号保持部212においては、ゲートがノードND24に接続されたソースフォロワトランジスタSF3R−Trにより、ノードND24に接続された第2の信号保持キャパシタCR21の保持電圧に応じて、列出力の読み出しリセット信号VRSTとして第2の垂直信号線LSGN12に出力され、読み出し回路40に供給される。
また、時刻t8に、信号保持部212の第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trの制御信号SHRおよび第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trの制御信号SHSがHレベルに設定され、第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trおよび第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trは導通状態に保持される。
これにより、カラム読み出し回路40におけるCDD処理を可能とし、ソースフォロワ素子(ソースフォロワアンプ)のオフセットを除去できるとともに、1/fのような低周波数ノイズを除去できる。
そして、画素信号ストレージとしての信号保持部212に、電圧モードで、画素信号を全画素で同時にサンプリングし、第1の信号保持キャパシタCS21および第2の信号保持キャパシタCR21に保持された読み出し信号に対応する変換信号を第1の信号線LSGN11に読み出すとともに、読み出しリセット信号に対応する変換信号を第2の信号線LSGN12に同時並列的に読み出し、差動の信号としてカラム読み出し回路40に供給する。
また、サンプリング回路における利得の減少を防ぐことができ、利得が0.5倍であった従来構成よりも、特に暗時(シャドー)部のS/N比を各段に高めることができ、ひいては高画質化を図ることができる。
また、従来8個必要であったトランジスタ数を、6個にまで削減でき、小型化を図ることができる。
画素のソースフォロワトランジスタをドライブする定電流源をなくし、サンプリング容量によってダイナミックに駆動することができることから、小型化、消費電力の低減を図ることができる。
ダイナミックに駆動する場合においても、セットリングエラーによる画素固定パターンの発生を抑制することができ、ひいては高画質化を図ることができる。
また、画素のソースフォロワトランジスタを経由してサンプリング容量をリセットすることができ、小型化を図ることができる。
また、画素のソースフォロワトランジスタを経由して、読み出し時の相関二重サンプリング動作を行うことができ、小型化、高画質化を図ることができる。
PLS特性を劣化させず従来の高感度で飽和電子数を多くとれる高性能な裏面照射型4-Tr APS構成を画素に用いることができる。
また、画素から電荷モードで転送することで、画素におけるPD面積を最大限にすることができ、量子化効率を高めることができ、ひいては高感度化を図ることができる。
また、カラム読み出し回路において、差動出力を行うことで、グランドと電源からの同相雑音(コモンモードノイズ)を無効にすることができる。
したがって、本第1の実施形態において、第1の基板110側を、基本的に、NMOS系の素子だけで形成すること、および、画素アレイにより有効画素領域を最大限に拡大することにより、コストあたりの価値を最大限に高めることができる。
図8は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置の画素の構成例を示す図である。
本第2の実施形態に係る固体撮像装置10Aでは、信号保持部212Aにおいて、入力ノードND22と基準電位VSSとの間に定電流源として機能する電流源用トランジスタCS1−Trが接続されている。
そして、電流源用トランジスタCS1−Trのゲートには制御信号としてのバイアス信号VGSが供給される。
図9は、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置の画素の構成例を示す図である。
本第3の実施形態に係る固体撮像装置10Bでは、第1の垂直信号線LSGN11、第2の垂直信号線LSGN12の他に、カラム読み出し回路40に接続された第4の垂直信号線(他の信号線)LSGN14を配置し、信号保持部212Cにおいて、入力ノードND22と第4の垂直信号線LSGN14との間にバイパススイッチ部として機能するバイパストランジスタBS1−Trが接続されている。
そして、バイパストランジスタBS1−Trのゲートには制御信号RSELが供給される。
図10は、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置の画素の構成例を示す図である。
本第4の実施形態に係る固体撮像装置10Cでは、画素の光電変換読み出し部211側(第1の基板110)に第5の垂直信号線LSGN15を配置し、光電変換読み出し部211Cにおいて、出力ノードND21と第5垂直信号線LSGN15との間に選択素子として機能する選択トランジスタSEL3−Trが接続されている。
そして、選択トランジスタSEL3−Trのゲートには制御信号RSEL2が供給される。
図11は、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置の画素の構成例を示す図である。
本第4の実施形態に係る固体撮像装置10Dでは、画素の光電変換読み出し部211の
リセットトランジスタRST1−Trおよび第1のソースフォロワ素子としてのソースフォロワトランジスタSF1−Trを第1の基板110側ではなく、信号保持部212D側に配置し、第2の基板120に形成されている。
したがって、第1の基板110には、フォトダイオードPD21と、転送トランジスタTG1−Trのみが配置されている。
図12は、本発明の第6の実施形態に係る固体撮像装置の画素の構成例を示す図である。
本第6の実施形態に係る固体撮像装置10Eでは、保持ノードND23と保持ノードND24との間に、平均化部としての平均化用トランジスタAV1−Trが接続されている。
そして、平均化用トランジスタAV1−Trのゲートには制御信号CKSTが供給される。
次に、第6の実施形態に係る固体撮像装置10Eにおける差動のグローバルシャッタモード時の読み出し動作について説明する。
図13は、本第6の実施形態に係る固体撮像装置のグローバルシャッタモード時の主として画素部における読み出し動作を説明するためのタイミングチャートである。
図13(C)は画素21の信号保持部212Eの第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trの制御信号SHRを示している。図13(D)は画素21の信号保持部212Eの第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trの制御信号SHSを示している。図13(E)は電源切り替え部22の制御信号RDSELを示している。
図13(F)は画素21の信号保持部212Eの平均化用トランジスタAV1−Trの制御信号CKSTを示している。図13(G)は画素21の信号保持部212Eの選択トランジスタSEL1S−Tr,SEL2R−Trの制御信号SEL1を示している。
なお、電源切り替え部22の制御信号RDSELは全行同時並列的に動作する(切り替えられる)。
一方、平均化用トランジスタAV1−Trの制御信号CKST、選択トランジスタSEL1S−Tr,SEL2R−Trを制御する制御信号SEL1はLレベルに設定され、平均化用トランジスタAV1−Tr、選択トランジスタSEL1S−Tr,SEL2R−Trが非導通状態に制御されている。
また、電源切り替え部22を制御する制御信号RDSELはLレベルに設定され、電源切り替え部22により電源線Vddpixが基準電位VSSに接続される。
そして、制御信号RSTがHレベル期間中に、転送トランジスタTG1−Trが、制御信号TGがHレベルの期間に選択されて導通状態となり、フォトダイオードPD21で光電変換され蓄積された電荷(電子)の蓄積ノードがフローティングディフュージョンFD21と導通状態となり、フォトダイオードPD21およびフローティングディフュージョンFD21が電源線Vddの電位にリセットされる。
このとき、リセットトランジスタRST1−Trの制御信号RSTはHレベルに保持されており、フローティングディフュージョンFD21が電源線Vddの電位にリセットされたままの状態に保持される。
そして、リセット期間の終了のため、リセットトランジスタRST1−Trの制御信号RSTはLレベルに切り替えられ、リセットトランジスタRST1−Trは非導通状態となる。
第1のサンプリングトランジスタSHS1−Tr、第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trの制御信号SHS、SHRがLレベルに切り替えられた後、電源切り替え部22では、制御信号RDSELがHレベルに切り替えられ、電源線Vddpixが電源電位VDDの電源線Vddに接続される。
そして、信号保持部212Eにおいて、時刻t12を含む所定期間に制御信号SHRがHレベルに切り替えられて第2のサンプリングトランジスタSHR1−Trが導通状態となるように制御される。
転送期間には、各光電変換読み出し部211において、転送トランジスタTG1−Trが、制御信号TGがHレベルの期間に選択されて導通状態となり、フォトダイオードPD21で光電変換され蓄積された電荷(電子)がフローティングディフュージョンFD21に転送される。
転送期間が終了すると、転送トランジスタTG1−Trの制御信号TGがLレベルに切り替えられ、転送トランジスタTG1−Trが非導通状態となる。
信号保持部212Eにおいて、時刻t14を含む所定期間に制御信号SHSがHレベルに切り替えられて第1のサンプリングトランジスタSHS1−Trが導通状態となるように制御される。
その後、電源切り替え部22では、制御信号RDSELがLレベルに切り替えられ、電源線Vddpixが基準電位VSSに接続される。
そして、時刻t15において、第1の信号保持キャパシタCS21に保持された読み出し信号VSIGの読み出し、並びに、第2の信号保持キャパシタCR21に保持された読み出しリセット信号VRSTの読み出しが並行して行われる。
これと並行して、各信号保持部212Eにおいては、ゲートがノードND24に接続されたソースフォロワトランジスタSF3R−Trにより、ノードND24に接続された第2の信号保持キャパシタCR21の保持電圧に応じて、列出力の読み出しリセット信号VRSTとして第2の垂直信号線LSGN12に出力され、差動の信号として読み出し回路40に供給される。
これにより、選択行のリセットレベルと信号レベルの平均化が行われる。
そして、時刻t17において、第1の信号保持キャパシタCS21に保持された読み出し信号VSIG、並びに、第2の信号保持キャパシタCR21に保持された読み出しリセット信号VRSTを平均化して信号の読み出しが並行して行われる。
これと並行して、各信号保持部212Eにおいては、ゲートがノードND24に接続されたソースフォロワトランジスタSF3R−Trにより、ノードND24における平均化電圧に応じて、列出力の平均化信号AVSRとして第2の垂直信号線LSGN12に出力され、カラム読み出し回路40に供給される。
VOUTR(t15)−VOUTS(t15)=VR+VOS2−(VS+VOS1)
VOUTR(t17)−VOUTS(t17)=
(VR+VS)/2+VOS2−((VR+VS)/2+VOS1)
VOUTR(t15)−VOUTS(t15)―{VOUTR(t17)−VOUTS(t17)} =VR−VS
さらに、電子機器300は、このCMOSイメージセンサ310の画素領域に入射光を導く(被写体像を結像する)光学系(レンズ等)220を有する。
電子機器200は、CMOSイメージセンサ310の出力信号を処理する信号処理回路(PRC)330を有する。
信号処理回路330で処理された画像信号は、液晶ディスプレイ等からなるモニタに動画として映し出し、あるいはプリンタに出力することも可能であり、またメモリカード等の記録媒体に直接記録する等、種々の態様が可能である。
そして、カメラの設置の要件に実装サイズ、接続可能ケーブル本数、ケーブル長さ、設置高さなどの制約がある用途に使われる、たとえば、監視用カメラ、医療用内視鏡用カメラなどの電子機器を実現することができる。
Claims (13)
- 光電変換読み出し部および信号保持部を含む画素が配置された画素部と、
前記画素部から画素信号の読み出しを行う読み出し部と、
前記信号保持部の保持信号が出力される第1の信号線および第2の信号線と、を有し、
前記画素から読み出される前記画素信号は、少なくとも、
前記画素から読み出される読み出し信号および読み出しリセット信号を含む画素信号であり、
前記画素の前記光電変換読み出し部は、少なくとも、
出力ノードと、
蓄積期間に光電変換により生成した電荷を蓄積する光電変換素子と、
前記光電変換素子に蓄積された電荷を転送期間に転送可能な転送素子と、
前記転送素子を通じて前記光電変換素子で蓄積された電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンの電荷を電荷量に応じた電圧信号に変換し、変換した信号を前記出力ノードに出力する第1のソースフォロワ素子と、
リセット期間に前記フローティングディフュージョンを所定の電位にリセットするリセット素子と、を含み、
前記信号保持部は、
入力ノードと、
前記画素の前記光電変換読み出し部の出力ノードから出力され、前記入力ノードに入力される読み出し信号を保持可能な第1の信号保持キャパシタと、
前記画素の前記光電変換読み出し部の出力ノードから出力され、前記入力ノードに入力される読み出しリセット信号を保持可能な第2の信号保持キャパシタと、
前記第1の信号保持キャパシタを前記光電変換読み出し部の出力ノードと選択的に接続する第1のスイッチ素子と、
前記第2の信号保持キャパシタを前記光電変換読み出し部の出力ノードと選択的に接続する第2のスイッチ素子と、
前記第1の信号保持キャパシタに保持された信号を保持電圧に応じて出力する第2のソースフォロワ素子を含み、変換した信号を選択的に前記第1の信号線に出力する第1の出力部と、
前記第2の信号保持キャパシタに保持された信号を保持電圧に応じて出力する第3のソースフォロワ素子を含み、変換した信号を選択的に前記第2の信号線に出力する第2の出力部と、を含む
固体撮像装置。 - 前記信号保持部は、
前記第1の信号保持キャパシタに保持された信号と前記第2の信号保持キャパシタに保持された信号とを選択的に平均化可能な平均化部を含む
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記信号保持部は、
前記入力ノードに定電流源が接続されている
請求項1または2記載の固体撮像装置。 - 前記信号保持部は、
前記入力ノードと前記第1の信号線または前記第2の信号線または他の信号線との間を選択的に接続するバイパススイッチ部を含む
請求項1から3のいずれか一に記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換読み出し部の読み出し信号が出力される第3の信号線を有し、
前記画素の前記光電変換読み出し部は、
前記出力ノードを前記第3の信号線と電気的に接続する選択素子を含む
請求項1から4のいずれか一に記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換読み出し部の前記第1のソースフォロワ素子のドレイン側は、電源電位または基準電位に選択的に接続可能である
請求項1から5のいずれか一に記載の固体撮像装置。 - 前記読み出し部は、
前記信号保持部の前記第1の信号保持キャパシタおよび前記第2の信号保持キャパシタをクリアする場合、
前記第1のソースフォロワ素子のドレイン側を基準電位に接続し、
前記リセット素子により前記フローティングディフュージョンを所定の電位にリセットして、前記第1のソースフォロワ素子をスイッチとして機能させ、
前記信号保持部の第1のスイッチ素子および第2のスイッチ素子を導通状態に保持する
請求項6記載の固体撮像装置。 - 前記読み出し部は、
前記画素の画素信号を読み出す場合、
前記第1のソースフォロワ素子のドレイン側を電源電位に接続し、
前記画素から画素信号として読み出し信号を読み出すときは、前記信号保持部の前記第1のスイッチ素子を所定期間導通させて、当該読み出し信号を前記第1の信号保持キャパシタに保持させ、
前記画素から画素信号として読み出しリセット信号を読み出すときは、前記信号保持部の前記第2のスイッチ素子を他の所定期間導通させて、当該読み出しリセット信号を前記第2の信号保持キャパシタに保持させ、
前記第1のスイッチ素子および第2のスイッチ素子が非導通状態に保持された状態で、前記第1の出力部により読み出し信号に対応する変換信号を前記第1の信号線に読み出すとともに、前記第2の出力部により読み出しリセット信号に対応する変換信号を前記第2の信号線に同時並列的に読み出す
請求項6または7記載の固体撮像装置。 - 第1の基板と、
第2の基板と、を含み、
前記第1の基板と前記第2の基板は接続部を通して接続された積層構造を有し、
前記第1の基板には、
少なくとも、前記画素の前記光電変換読み出し部の少なくとも一部が形成され、
前記第2の基板には、
少なくとも、前記信号保持部、前記第1の信号線、前記第2の信号線、および前記読み出し部の少なくとも一部が形成されている
請求項1から8のいずれか一に記載の固体撮像装置。 - 前記画素の前記光電変換読み出し部は、
前記光電変換素子および前記転送素子が前記第1の基板に形成され、
前記フローティングディフュージョン、前記第1のソースフォロワ素子、前記リセット素子、および前記出力ノードが前記第2の基板に形成されている
請求項9記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換読み出し部の前記第1のソースフォロワ素子のドレイン側は、電源電位または基準電位に選択的に接続可能であり、当該接続電位の切り替え部が前記読み出し部の一部として前記第2の基板に形成されている
請求項9または10記載の固体撮像装置。 - 光電変換読み出し部および信号保持部を含む画素が配置された画素部と、
前記画素部から画素信号の読み出しを行う読み出し部と、
前記信号保持部の保持信号が出力される第1の信号線および第2の信号線と、を有し、
前記画素から読み出される前記画素信号は、少なくとも、
前記画素から読み出される読み出し信号および読み出しリセット信号を含む画素信号であり、
前記画素の前記光電変換読み出し部は、少なくとも、
出力ノードと、
蓄積期間に光電変換により生成した電荷を蓄積する光電変換素子と、
前記光電変換素子に蓄積された電荷を転送期間に転送可能な転送素子と、
前記転送素子を通じて前記光電変換素子で蓄積された電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンの電荷を電荷量に応じた電圧信号に変換し、変換した信号を前記出力ノードに出力する第1のソースフォロワ素子と、
リセット期間に前記フローティングディフュージョンを所定の電位にリセットするリセット素子と、を含み、
前記信号保持部は、
入力ノードと、
前記画素の前記光電変換読み出し部の出力ノードから出力され、前記入力ノードに入力される読み出し信号を保持可能な第1の信号保持キャパシタと、
前記画素の前記光電変換読み出し部の出力ノードから出力され、前記入力ノードに入力される読み出しリセット信号を保持可能な第2の信号保持キャパシタと、
前記第1の信号保持キャパシタを前記光電変換読み出し部の出力ノードと選択的に接続する第1のスイッチ素子と、
前記第2の信号保持キャパシタを前記光電変換読み出し部の出力ノードと選択的に接続する第2のスイッチ素子と、
前記第1の信号保持キャパシタに保持された信号を保持電圧に応じて出力する第2のソースフォロワ素子を含み、変換した信号を選択的に前記第1の信号線に出力する第1の出力部と、
前記第2の信号保持キャパシタに保持された信号を保持電圧に応じて出力する第3のソースフォロワ素子を含み、変換した信号を選択的に前記第2の信号線に出力する第2の出力部と、を含む
固体撮像装置の駆動方法であって、
前記画素の画素信号を読み出す場合、
前記第1のソースフォロワ素子のドレイン側を電源電位に接続し、
前記画素から画素信号として読み出し信号を読み出すときは、前記信号保持部の前記第1のスイッチ素子を所定期間導通させて、当該読み出し信号を前記第1の信号保持キャパシタに保持させ、
前記画素から画素信号として読み出しリセット信号を読み出すときは、前記信号保持部の前記第2のスイッチ素子を他の所定期間導通させて、当該読み出しリセット信号を前記第2の信号保持キャパシタに保持させ、
前記第1のスイッチ素子および第2のスイッチ素子が非導通状態に保持された状態で、前記第1の出力部により読み出し信号に対応する変換信号を前記第1の信号線に読み出すとともに、前記第2の出力部により読み出しリセット信号に対応する変換信号を前記第2の信号線に同時並列的に読み出す
固体撮像装置の駆動方法。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置に被写体像を結像する光学系と、を有し、
前記固体撮像装置は、
光電変換読み出し部および信号保持部を含む画素が配置された画素部と、
前記画素部から画素信号の読み出しを行う読み出し部と、
前記信号保持部の保持信号が出力される第1の信号線および第2の信号線と、を有し、
前記画素から読み出される前記画素信号は、少なくとも、
前記画素から読み出される読み出し信号および読み出しリセット信号を含む画素信号であり、
前記画素の前記光電変換読み出し部は、少なくとも、
出力ノードと、
蓄積期間に光電変換により生成した電荷を蓄積する光電変換素子と、
前記光電変換素子に蓄積された電荷を転送期間に転送可能な転送素子と、
前記転送素子を通じて前記光電変換素子で蓄積された電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンの電荷を電荷量に応じた電圧信号に変換し、変換した信号を前記出力ノードに出力する第1のソースフォロワ素子と、
リセット期間に前記フローティングディフュージョンを所定の電位にリセットするリセット素子と、を含み、
前記信号保持部は、
入力ノードと、
前記画素の前記光電変換読み出し部の出力ノードから出力され、前記入力ノードに入力される読み出し信号を保持可能な第1の信号保持キャパシタと、
前記画素の前記光電変換読み出し部の出力ノードから出力され、前記入力ノードに入力される読み出しリセット信号を保持可能な第2の信号保持キャパシタと、
前記第1の信号保持キャパシタを前記光電変換読み出し部の出力ノードと選択的に接続する第1のスイッチ素子と、
前記第2の信号保持キャパシタを前記光電変換読み出し部の出力ノードと選択的に接続する第2のスイッチ素子と、
前記第1の信号保持キャパシタに保持された信号を保持電圧に応じて出力する第2のソースフォロワ素子を含み、変換した信号を選択的に前記第1の信号線に出力する第1の出力部と、
前記第2の信号保持キャパシタに保持された信号を保持電圧に応じて出力する第3のソースフォロワ素子を含み、変換した信号を選択的に前記第2の信号線に出力する第2の出力部と、を含む
電子機器。
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