WO2021200424A1

WO2021200424A1 - ポンプ及び空気供給装置

Info

Publication number: WO2021200424A1
Application number: PCT/JP2021/012112
Authority: WO
Inventors: 優太良井; 稲本　繁典; 高橋　勇樹; 力関口; 大輔児玉; 大輔栗田
Original assignee: ミネベアミツミ株式会社
Priority date: 2020-03-31
Filing date: 2021-03-24
Publication date: 2021-10-07
Also published as: US20230151805A1; EP4112935A1; CN115427686A; JPWO2021200424A1

Abstract

ポンプ１は、振動アクチュエータ１０の電磁駆動により空気を吸入吐出するポンプ部８０を有し、振動アクチュエータ１０は、コア部６０にコイル５０が巻回されるコイルコア部６２と、コア部６０の端部と対向配置されるマグネット７０とのうちの一方を含み、ポンプ部８０が設けられている固定体２０と、コイルコア部６２とマグネット７０とのうちの他方を含み、マグネット７０の磁気吸引力により弾性保持される可動体３０と、可動体３０を往復回転自在に支持する軸部４０と、を有し、ポンプ部８０は、可動体３０の回転移動により可動する可動壁８２２と、可動壁８２２の変位により容積が変更される密閉室８２とを有し、可動体３０は、可動体３０の往復回転運動に伴い軸部４０を中心に円弧状に移動する押圧部３５で可動壁３２２に当接して可動壁３２２を押圧して密閉室８２内の空気を吐出部８６を介して吐出する。

Description

ポンプ及び空気供給装置

関連出願への相互参照

　本出願は、２０２０年３月３１日に出願された日本特許出願第２０２０－０６４５９４号（発明の名称「ポンプ及び空気供給装置」）に基づく優先権を主張し、さらに、この日本特許出願の内容は、参照により本明細書に完全に援用される。

　本発明は、振動アクチュエータを用いたポンプ及び空気供給装置に関する。

　従来、血圧計等に用いられるポンプとしては、特許文献１に示すような回転モータを用いた小型ポンプや、特許文献２に示すようなモータの共振を用いたポンプ、或いは、圧電素子を用いたポンプ等が知られている。

　特許文献１の小型ポンプでは、ケース内に、ポンプ室を形成する複数のダイヤフラムが設けられ、ポンプ室には、吸気弁が設けられているとともに、ポンプ室の中央部には、円筒状の排気弁体が形成されている。複数のダイヤフラムは、偏心回転軸により揺動する揺動体に接続されており、揺動体の揺動により上下動する。偏心回転軸は、その下方に配置されたＤＣモータの回転軸に固定された円盤部に、偏心した状態で固定されている。このポンプでは、通常の軸回り回転を行うＤＣモータの回転を、偏心回転軸及び揺動体を用いて、すりこぎ運動に変換して、ダイヤフラムを上下動させている。

　また、特許文献２のポンプは、円筒形状をなす往復運動モータであり、固定部・可動部の双方がマグネットを有し、共振現象を用いて駆動し、給排気を行っている。また、圧電素子を用いたポンプでは、圧電素子によりダイヤフラムを往復運動させて、吸入、吐出を切り分ける弁を介して、空気の吸入、吐出を繰り返すことができる。

特開２００２－１０６４７１号公報特開２０１９－７５９６６号公報

　ところで、上述したポンプを、例えば血圧計等のように日常的に使用される装置に適用したいというニーズが存在する。そのため、より薄型で、流量及び圧力を大きくできる高性能なポンプが望まれている。

　しかしながら、特許文献１のポンプにおいて用いられる回転モータは、高出力化は容易であるものの、薄型化を図る場合、構造上、磁気効率が悪くなり、大きく特性が下がるという問題がある。また、特許文献２のポンプは、円筒形状であるため、薄型化は困難であるという問題がある。

　また、圧電素子を用いたポンプは、小型化は容易であるものの、圧電素子の振動変位量が小さく、さらに、ポンプの圧力特性或いは流量特性が限定され、所望の圧力、流量を両立することが非常に困難であるという問題がある。

　本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、より薄型化を図ることができ、高い吐出圧力及び大きな搬送流量を確保した高性能なポンプ及び空気供給装置を提供することを目的とする。

　このような目的は、以下の（１）～（１３）の本発明により達成される。
　（１）電磁駆動する振動アクチュエータと、
　前記振動アクチュエータの電磁駆動により流体を吸入吐出するポンプ部とを有し、
　前記振動アクチュエータは、
　コイル及び前記コイルが巻回されるコア部を有するコイルコア部と、前記コア部の端部と対向配置されるマグネットとのうちの一方を含み、前記ポンプ部が設けられている固定体と、
　前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの他方を含み、前記マグネットの磁気吸引力により弾性保持される可動体と、
　前記可動体を往復回転自在に支持する軸部と、
　を有し、
　前記ポンプ部は、
　前記可動体の回転移動により可動する可動壁と、
　流体の吐出口及び流体の吸入口に連通し、前記可動壁の変位により容積が変更される密閉室と、
　を有し、
　前記可動体は、前記可動体の往復回転運動に伴い前記軸部を中心に円弧状に移動して、前記可動壁に当接して押圧する押圧部を有し、
　前記可動壁は、前記押圧部の移動方向に配置され、前記押圧部に押圧された際に変位して前記密閉室内の流体を、前記吐出口を介して吐出する、ことを特徴とするポンプ。

　（２）前記可動体は、前記軸部により往復回転自在に軸支された部位から前記軸部の軸方向と直交する方向に延在して設けられ、先端部に、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの他方が設けられるアーム部を有し、
　前記密閉室は、一対設けられており、
　一対の前記密閉室は、前記アーム部を、前記アーム部が往復回転方向で挟む位置に、互いに対向して配置され、
　前記押圧部は、一対の前記可動壁に対応する押圧子を一対有し、
　前記密閉室の前記可動壁のそれぞれは、前記アーム部が往復回転した際に、前記押圧子により押圧される、上記（１）に記載のポンプ。

　（３）前記可動体は、中央部で前記軸部により往復回転自在に軸支されるとともに、前記中央部から前記軸部の軸方向と直交する方向で互いに逆向きに延在する一対のアーム部を有し、
　前記アーム部のそれぞれの先端部には、前記コイルコア部と前記マグネットのうちの他方が設けられ、
　前記固定体には、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記他方に対向して、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記一方が設けられ、
　前記密閉室は、一対設けられており、
　一対の前記密閉室は、一対の前記アーム部の延在方向に沿って並列に配置され、
　前記押圧部は、一対の前記可動壁に対応する押圧子を一対有し、
　前記密閉室の前記可動壁のそれぞれは、前記アーム部が往復回転した際に、前記押圧部により押圧される、上記（１）に記載のポンプ。

　（４）一対の前記密閉室は、それぞれの前記吐出口どうしが接続されている、上記（３）に記載のポンプ。

　（５）前記押圧子は、前記可動壁に接続されている、上記（２）から（４）のいずれかに記載のポンプ。

　（６）前記マグネットは、前記可動体及び前記固定体のうちの一方に設けられ、前記可動体及び前記固定体のうちの他方に設けられる前記コイルコア部の前記コア部とで磁気ばねを構成する、上記（１）から（５）のいずれかに記載のポンプ。

　（７）前記マグネットは、３極に着磁され、
　前記コイルコア部の前記コア部は、一つの前記コイルが巻回され、且つ、前記マグネットの着磁方向で前記マグネットに対向する２磁極を有する、上記（１）から（６）のいずれかに記載のポンプ。

　（８）前記マグネットは、４極に着磁され、
　前記コイルコア部の前記コア部は、一つの前記コイルが巻回され、且つ、前記マグネットの着磁方向で前記マグネットに対向する３磁極を有する、上記（１）から（６）のいずれかに記載のポンプ。

　（９）前記マグネットは、４極に着磁され、
　前記コイルコア部の前記コア部は、３つの前記コイルがそれぞれ巻回され、且つ、前記マグネットの着磁方向で前記マグネットに対向する３磁極を有する、上記（１）から（６）のいずれか一項に記載のポンプ。

　（１０）前記可動体は、一端部で前記軸部により往復回転自在に軸支され、他端部側に前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記他方を有し、
　前記固定体は、前記他方に対して、前記可動体の回転軸と直交する方向で対向する、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記一方を有し、
　前記マグネットは、２極に着磁されている、上記（１）から（６）のいずれか一項に記載のポンプ。

　（１１）前記コア部は、一つの前記コイルが巻回された３磁極を有する、上記（１０）に記載のポンプ。

　（１２）前記可動体は、一端部で前記軸部により往復回転自在に軸支され、さらに、前記コイルコア部を含み、
　前記固定体は、前記コイルコア部に対して、前記可動体の回転軸と直交する方向で対向する、前記マグネットを含む、上記（１）または（２）に記載のポンプ。

　（１３）上記（１）から（１２）のいずれかに記載のポンプを含むことを特徴とする空気供給装置。

　本発明によれば、より薄型で高い吐出圧力及び大きな搬送流量を確保可能なポンプを提供することができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係るポンプの要部構成を示す平面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図６は、本発明の第１実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図７は、本発明の第１実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の分解斜視図である。図８は、本発明の第１実施形態に係るポンプのポンプ部の空気流路を示す図である。図９Ａ、図９Ｂは、本発明の第１実施形態に係るポンプにおける空気の吐出吸入動作を示す図である。図１０は、本発明の第１実施形態に係るポンプの磁気ばねを示す図である。図１１は、本発明の第１実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。図１２Ａ、図１２Ｂは、本発明の第１実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の動作の説明に供する模式図である。図１３Ａ、図１３Ｂは、ポンプ部が一つの場合の動作の説明に供する模式図である。図１４は、本発明の第２実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図１５は、本発明の第２実施形態に係るポンプの要部構成を示す平面図である。図１６は、本発明の第２実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図１７は、本発明の第２実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図１８は、本発明の第２実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図１９は、本発明の第２実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図２０は、本発明の第２実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。図２１は、本発明の第３実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図２２は、本発明の第３実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図２３は、本発明の第３実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図２４は、本発明の第３実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図２５は、本発明の第３実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図２６は、本発明の第３実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。図２７は、本発明の第４実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図２８は、本発明の第４実施形態に係るポンプの内部構成を示す斜視図である。図２９は、本発明の第４実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図３０は、本発明の第４実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図３１は、本発明の第４実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図３２は、本発明の第４実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図３３は、本発明の第４実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。図３４は、本発明の第５実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図３５は、本発明の第５実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図３６は、本発明の第５実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図３７は、本発明の第５実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の分解斜視図である。図３８は、本発明の第５実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の空気流路を示す図である。図３９は、本発明の第５実施形態に係るポンプにおける可動体の往復回転運動の説明に供する模式図である。図４０は、本発明の第６実施形態に係る空気供給装置を模式的に示す図である。

　以下、本発明の各実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

　（第１実施形態）
　図１は、本発明の第１実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係るポンプの要部構成を示す平面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図６は、本発明の第１実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図７は、本発明の第１実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の分解斜視図である。

　なお、図１～図７に加えて、図８～図３９では、各実施形態のポンプを説明する場合、ポンプにおける振動アクチュエータにおいて往復回転する可動体の振動方向を図２に示す方向とする。この方向に対して直交する２方向をそれぞれ、横方向（左右方向）と、高さ方向（上下方向であり、厚み方向とも言う）として説明する。なお、本実施形態において、ポンプの各部の構成及び動作を説明するために使用される左右（横）、高さ（上下）等の方向を示す表現は、絶対的なものでなく相対的なものであり、ポンプの各部が図に示される姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

＜ポンプ１の全体構成＞
　図１及び図２に示すポンプ１は、電磁駆動する振動アクチュエータ１０の作用により空気を吐出するポンプである。なお、本実施形態及び各実施形態において、ポンプは空気を吐出、吸入するものとして説明したが、ポンプによって吐出、吸入されるものは、空気に限らず、流体であればよく、特に気体であることが好ましい。

　ポンプ１は、図１に示すように、高さ（図面上では上下方向の長さであり、厚みに相当する）が横（図面上では左右方向）、縦（図面上では奥行方向であり振動方向ともいえる）の双方よりも短い平板形状をなしている。また、縦は横よりも短い。なお、図１は、ポンプ１を裏面側から見た斜視図である。

　本実施形態のポンプ１は、固定体２０に対し軸部４０を介して可動体３０が往復回転自在に設けられた振動アクチュエータ１０と、振動アクチュエータ１０の駆動により空気を吐出、吸入するポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）とを有する。

　本実施形態では、固定体２０のケース２１内に、軸部４０を介して可動体３０が往復回転自在に設けられている。

　コイル５０ａ、５０ｂが巻回されたコア部６０（６０ａ、６０ｂ）と、マグネット７０（７０ａ、７０ｂ）との協働により、可動体３０が、固定体２０に対し、軸部４０の軸方向に沿って往復移動、つまり振動する。ポンプ１は、可動体３０の振動を利用することにより、吐出部８６から空気を吐出、吸入することができる。

　本実施形態のポンプ１では、平面視矩形状のケース２１内に、可動体３０が、その中央に配置された軸部４０を中心に往復回転自在に設けられている。

　マグネット７０ａ、７０ｂは、可動体３０の長手方向で離間する両端壁部のそれぞれの内面上に設けられている。コイル５０ａ及びコア部６０ａを含むコイルコア部６２ａは、マグネット７０ａと対向する側のケース２１の端壁部の内面上に設けられ、コイル５０ｂ及びコア部６０ｂを含むコイルコア部６２ｂは、マグネット７０ｂと対向する側のケース２１の端壁部の内面上に設けられている。マグネット７０ａ、７０ｂは、例えば、永久磁石であることが好ましい。また、後述のマグネット７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄも永久磁石であることが好ましい。

＜振動アクチュエータ１０＞
　振動アクチュエータ１０は、固定体２０と、軸部４０と、軸部４０を介して固定体２０に対して往復回転自在に支持される可動体３０と、を有する。振動アクチュエータ１０の構成に関し、固定体２０及び可動体３０の一方に、マグネット７０（７０ａ、７０ｂ）が設けられ、固定体２０及び可動体３０の他方に、マグネット７０ａ、７０ｂに対してコアの着磁面が対向するよう配置されたコイルコア部６２（６２ａ、６２ｂ）が設けられている。本実施形態では、可動体３０にマグネット７０（７０ａ、７０ｂ）を設け、固定体２０側にコイルコア部６２（６２ａ、６２ｂ）を設けている。換言すれば、本実施形態では、可動体３０は、マグネット７０ａ、７０ｂを含み、固定体２０は、コイルコア部６２ａ、６２ｂを含んでいる。

＜固定体２０＞
　固定体２０は、ケース２１と、カバー２２と、コイルコア部６２ａ、６２ｂと、を有する。また、固定体２０には、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）が設けられている。

　ケース２１は、ポンプ１の筐体として機能し、一方に開口した矩形箱形状を有している。ケース２１内には軸部４０が立設されており、ケース２１内に配置される可動体３０を回動自在に支持する。

　また、ケース２１の長手方向で離間する両端壁部の内面上には、コイルコア部６２ａ、６２ｂが、可動体３０のマグネット７０ａ、７０ｂにそれぞれ対向するように配置されている。

　ケース２１の開口部分、本実施形態では、上方に開口する開口部分は、カバー２２で覆われている。これにより、ケース２１及びカバー２２は、中空の電磁シールドとして機能し、且つ、ポンプ１が平板形状を有することになる。

　軸部４０は、ケース２１の底面上であって、ケース２１の横方向及び奥行方向の中心に、ケース２１の高さ方向に延在するよう設けられている。軸部４０は、可動体３０の軸受け部３４に挿通された状態で、カバー２２の軸孔２３に圧入、或いは挿入後の接着等により、嵌合して固定されている。これにより、軸部４０は、可動体３０の軸受け部３４に挿通された状態で、ケース２１の底面と、カバー２２とに架設された状態で支持されている。

　コイルコア部６２ａ、６２ｂは、ケース２１の長手方向で離間する両端壁部のそれぞれの内面上に、互いに対向して配置されている。また、コイルコア部６２ａ、６２ｂは、可動体３０を、ケース２１の長手方向で挟むように配置されている。

　コイルコア部６２ａ、６２ｂは、本実施形態では同様に構成され、平面視において軸部４０の軸を中心に対称な位置に設けられている。

　コア部６０ａ、６０ｂは、コイル５０ａ、５０ｂへの通電により磁化する磁性体である。コア部６０ａ、６０ｂは、例えば、電磁ステンレス、焼結材、ＭＩＭ（メタルインジェクションモールド）材、積層鋼板、電気亜鉛メッキ鋼板（ＳＥＣＣ）等により構成されてもよい。コア部６０ａ、６０ｂは、本実施形態では、積層鋼板により構成される積層コアにより構成されている。

　コア部６０ａ、６０ｂは、コイル５０ａ、５０ｂが巻回される芯６０１ａ、６０１ｂと、芯６０１ａ、６０１ｂの両端部に連続して形成された磁極（以下、便宜上、「コア磁極」と称する）６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂと、を有している。

　コア磁極６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂのそれぞれは、本実施形態では、往復回転するマグネット７０ａ、７０ｂの着磁面形状に応じた、平面視円弧状の湾曲した磁極面を有する。

　コア部６０ａのコア磁極６０２ａ、６０３ａは、マグネット７０ａに対向しており、コア部６０ｂのコア磁極６０２ｂ、６０３ｂは、マグネット７０ｂに対向している。コア磁極６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂは、可動体３０の往復回転の回転方向に並んで配置されている。

　コア磁極６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂは、軸部４０を中心とした円の円周上に配置されていることが好ましい。この円周は、マグネット７０ａ、７０ｂの運動軌道に沿う円周である。

　コイルコア部６２ａ、６２ｂでは、コイル５０ａ、５０ｂが巻回されたコア部６０ａ、６０ｂのコア磁極６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂが、マグネット７０ａ、７０ｂの着磁方向に向くよう配置されている。

　コイル５０ａ、５０ｂは、コア部６０ａ、６０ｂのそれぞれにおいて、例えば、図示しない電源供給部に接続され、電源供給部から給電されることにより、コア磁極６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂを励磁する。各コア部６０ａ、６０ｂにおいて、コア磁極６０２ａ、６０２ｂ、と、コア磁極６０３ａ、６０３ｂとを異なる極性で励磁する。

＜可動体３０＞
　可動体３０は、図２、図３、図５及び図６に示すように、固定体２０のケース２１内で軸部４０（可動体３０の回転軸）と直交する方向（ケース２１の長手方向）に延在して配置されている。

　可動体３０はケース２１内において軸部４０を中心に往復回転自在に支持されている。可動体３０は、可動体本体３２と、軸受け部３４と、複数の磁極（本実施形態では３極）がそれぞれ回転方向（奥行き方向）に交互に配置された一対のマグネット７０ａ、７０ｂと、押圧部３５と、を有する。

　可動体本体３２には、軸受け部３４が固定され、軸受け部３４には、軸部４０が挿通されている。可動体本体３２には、軸受け部３４を介して挿通される軸部４０を挟むように、一対のマグネット７０ａ、７０ｂが固定されている。

　可動体本体３２は、磁性体（強磁性体）であってもなくてもよく、本実施形態ではヨークであり、可動体３０のウェイトとして機能する。可動体本体３２は、例えば、ヨーク鉄心を積層して構成される。可動体本体３２の構成材料は、金属材料に限らず、樹脂材料などを使用しても良い。

　可動体本体３２は、中央部に軸受け部３４が固定される中央開口部３２２と、この中央部から互いに逆方向に延出したアーム部３２４ａ、３２４ｂを有する。アーム部３２４ａ、３２４ｂは細長の平板形状を有し、それぞれの先端部は、延在方向と交差する方向に張り出して形成されている。さらに、アーム部３２４ａ、３２４ｂの先端面には、マグネット固定部３２６ａ、３２６ｂが形成されている。

　マグネット固定部３２６ａ、３２６ｂの先端面は、円弧状に湾曲して形成され、この先端面に、マグネット７０ａ、７０ｂが固定されている。また、アーム部３２４ａ、３２４ｂには、押圧部３５が設けられている。

＜マグネット７０ａ、７０ｂ＞
　マグネット７０ａ、７０ｂは、それぞれ対向配置されるコイルコア部６２ａ、６２ｂとともに、振動アクチュエータ１０を駆動する磁気回路を構成する。

　マグネット７０ａ、７０ｂは、複数の磁極として機能する磁極面７２を有し、マグネット７０ａの磁極面７２と、マグネット７０ｂの磁極面７２とが、軸部４０を挟み互いに逆側に向くよう、配置される。本実施形態では、マグネット７０ａ、７０ｂは、中央部で軸部４０が挿通された可動体本体３２の延在方向で離間する両端部、つまり、両アーム部３２４ａ、３２４ｂの先端部のそれぞれに、磁極面７２が外側に向くように、設けられている。

　磁極面７２は、図２、３、５、６、及び図１０に示すように、交互に配置された３つの異なる磁極７２１、７２２、７２３を含む。なお、マグネット７０ａ、７０ｂは、複数の磁極の異なるマグネット（マグネット片）を交互に並べて構成してもよいし、回転方向に並び交互に異なる磁性を持つように着磁されたものでもよい。後述する各実施形態のマグネットも同様である。マグネット７０ａ、７０ｂは、例えば、Ｎｄ焼結マグネット等により構成される。

　マグネット７０ａ、７０ｂの磁極７２１、７２２、７２３は、軸部４０を挟み軸部４０の軸線と直交する奥行方向、つまり回転方向で隣接して配置されている。

　マグネット７０ａ、７０ｂは、可動体３０の両端部のそれぞれにおいて、軸部４０を中心とする円の円周上に、磁極面７２が位置するよう、配置されている。マグネット７０ａ、７０ｂは、常態、つまり、コイル５０ａ、５０ｂへ電流が供給されていない非通電状態にある際、それぞれの磁極面７２のうちの中央の磁極７２２の回転方向の長さの中心位置が、コア磁極６０２ａ、６０３ａの間の中心位置に位置するように設けられている。

　本実施形態では、マグネット７０ａ、７０ｂは、可動体３０において、軸部４０からアーム部３２４ａ、３２４ｂを介して、互いに最も離間した位置で、筐体（ケース２１）の両端壁部の内面上にそれぞれ設けられたコイルコア部６２ａ、６２ｂのそれぞれと、対向して配置されている。

＜押圧部３５＞
　押圧部３５は、可動体３０が回転移動した際に、ポンプ部８０の一対の密閉室８２の可動壁８２２を押圧する。具体的には、押圧部３５は、アーム部３２４ａ、３２４ｂが往復回転した際に、一対の密閉室８２の可動壁８２２を押圧する一対の押圧子３５１を有する。

　押圧部３５の一対の押圧子３５１は、アーム部３２４ａ、３２４ｂ上に、幅方向、つまり回転方向に突出するよう設けられている。押圧部３５は、例えば、可動体３０が回転する場合でも可動壁８２２を対向方向に直線的に押圧するように形成されてもよい。なお、本実施形態では、押圧部３５の各押圧子３５１は、軸部４０を中心に円弧状に移動して、可動壁８２２に当接して可動壁８２２を押圧する。押圧部３５は、可動体３０の回転移動に伴い、可動壁側に変位して可動壁８２２を押圧して可動壁８２２を可動させる構成であれば、どのように構成されてもよい。押圧部３５の移動経路を交差するように、可動壁８２２が配置され、移動する押圧部３５が可動壁８２２に面接触するように配置されていることが望ましい。

　例えば、押圧部３５は、図９に示すように、丸穴３２８に回動可能に軸着される軸突起３５３と、長穴３２９にガイドさせるガイド突起３５２とを介して、アーム部３２４ａ、３２４ｂのそれぞれに対して固定されている。

　これにより、押圧子３５１は可動体３０の往復回転運動に伴い、円弧状に揺動する。例えば、長穴３２９にガイド突起３５２を遊嵌させ、押圧部３５が、アーム部３２４ａ、３２４ｂに対して、ガイド突起３５２によって揺動可能とすることにより、押圧子３５１の先端を揺動可能にしてもよい。この場合、可動体３０の回転に伴い、押圧部３５は、円弧状に移動するものの、押圧子３５１を、可動壁８２２に対して直線的に移動させて押圧させることが可能となる。

　押圧部３５は、本実施形態では、押圧子３５１を介してポンプ部８０の可動壁８２２に接続されている。押圧子３５１は、可動体３０が回転移動した際に、ダイヤフラムである可動壁８２２の挿入部８２２ａに挿入され、回転方向に可動壁８２２を押圧して変位させる。押圧部３５は、可動体３０の回転により、可動壁８２２側に移動すると可動壁８２２を押圧する。一方、押圧部３５は、可動体３０の逆方向への回転により、可動壁８２２側と逆側に移動すると、可動壁８２２への押圧を徐々に減少させて、可動壁８２２を押圧方向とは逆方向に変位させる。

　軸受け部３４は、例えば、焼結スリーブベアリングにより形成される。軸受け部３４は、可動体本体３２の中心軸上に、軸部４０が位置するように、可動体本体３２の中央開口部３２２に嵌合されている。

　可動体本体３２は、コイル５０ａ、５０ｂに給電されていない場合、コア部６０ａ、６０及びマグネット７０ａ、７０ｂによる磁気ばねの機能により、ケース２１（固定体２０）内で、長手方向の中心に位置するように付勢される。

＜ポンプ部８０＞
　ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）のそれぞれは、可動壁８２２、可動壁８２２により画成される密閉室８２、吸入部８３、バルブ８４、吐出部８６、吐出流路部８８を有する。

＜可動壁８２２＞
　可動壁８２２は、室形成部８２４と吐出流路部８８を仕切る一壁部を構成し、変位可能に設けられている。可動壁８２２は、変位することにより、密閉室８２室内の容積を変更する。可動壁８２２は、室形成部８２４とともに密閉室８２を構成している。

　可動壁８２２は、例えば、弾性変形可能な材料により形成され、室形成部８２４を閉塞するように設けられている。可動壁８２２は、例えば、ダイヤフラムである。

　可動壁８２２は、押圧部３５の押圧子３５１が挿入される挿入部８２２ａを有し、挿入部８２２ａを介して押圧部３５に接続される。可動壁８２２は、可動体３０の回転に伴い移動する押圧部３５により押圧されて変位する。

　可動壁８２２は、挿入部８２２ａを介して、押圧部３５により室形成部８２４側に押圧されることにより、弾性変形し、室形成部８２４の容積が小さくなるように変形する。可動壁８２２は、室形成部８２４側に変位して、室形成部８２４内に突出することにより、密閉室８２内の容積を可変可能である。

　可動体３０の往復回転の往回転移動（回転方向の一方側への揺動）により可動壁８２２は室形成部８２４内に挿入して、室形成部８２４内部を押圧し、密閉室８２内の容量を減少させ、空気を吐出する。一方、可動体３０が復回転移動（回転方向の他方側への移動）すると、可動壁８２２は、密閉室８２内の容量を増加させ、空気を流入させる。

＜密閉室８２＞
　密閉室８２は、吸入部８３及び吐出部８６が接続され、且つ、可動壁８２２の変位により容積が変更する密閉された空間である。なお、吐出部８６は、外部に連通する吐出口を有し、吐出口を介して、ポンプ１から空気を外部に吐出する。例えば、吐出口は、密閉室８２の底面に接続された吐出部８６に連通する開口である。

　ポンプ部８０では、可動壁８２２が押圧部３５により押圧されると、可動壁８２２が密閉室８２内に向かって弾性変形し、密閉室８２内の空気を押圧する。押圧された密閉室８２内の空気は、吐出部８６を介して外部に吐出される。可動壁８２２が元の位置に復帰するように移動すると、つまり、押圧部３５による押圧状態が解除され、押圧状態から密閉室８２内の容積が増加すると、密閉室８２内に、吸入部８３を介して外部から空気が吸入される。吸入部８３は、吸入口を有し、吸入口を介して、密閉室８２内に空気を吸入する。例えば、吸入口は、室形成部８２４内において吸入部８３に連通する開口である。

　ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）は、ケース２１内において、可動体３０の延在方向、すなわち、ケース２１の長手方向に延在する側壁部に沿って、それぞれ配置されている。さらに、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）は、ケース２１の奥行方向で、可動体３０の可動体本体３２を挟むように配置されている。

　ポンプ部８０は、例えば、ベース８０１、ダイヤフラム部８０２、シリンダ部８０３、バルブ部８０４、バルブカバー部８０５、仕切り部８０６、及び流路形成部８０７を有する。ベース８０１、ダイヤフラム部８０２、シリンダ部８０３、バルブ部８０４、バルブカバー部８０５、仕切り部８０６、及び流路形成部８０７は、それぞれケース２１の長手方向に延在する細長板状を有しており、積層されることにより密閉された内部空間を有するポンプ部８０を構成する。

　ベース８０１は、開口部を有し、この開口部内にダイヤフラム部８０２の挿入部８２２ａが背面側から挿通され、挿入部８２２ａが前面側に突出した状態で配置される。ベース８０１は、流路形成部８０７とともに、帯板形状のポンプ部８０の筐体を構成している。

　ダイヤフラム部８０２は、ゴムなどの弾性材料により形成される。ダイヤフラム部８０２は、挿入部８２２ａと、可動壁８２２を有する。可撓性を有し弾性変形する可動壁８２２の背面側には、シリンダ部８０３の室形成部８２４が配置されている。ダイヤフラム部８０２とシリンダ部８０３は、ダイヤフラム部８０２の可動壁８２２とシリンダ部８０３の室形成部８２４とによって密閉空間である密閉室８２が構成されるよう、互いに取り付けられる。

　シリンダ部８０３は、室形成部８２４を有し、密閉室８２４において、可動壁８２２と対向する面上には、吐出部８６及び吸入部８３とそれぞれ連通する２つの連通孔が形成されている。２つの連通孔は、シリンダ部８０３の背面側から、２つの連通孔にそれぞれ重なるように取り付けられるバルブ部８０４のバルブ８４を介して、それぞれ、バルブカバー部８０５及び流路形成部８０７の吐出流路部８８と、吸入部８３とに接続される。

　バルブ部８０４は、バルブカバー部８０５に取り付けられる。吐出部８６に接続されるバルブ８４は、密閉室８２内の容量が減少する際に、流路形成部８０７の吐出部８６と連通するように構成されている。一方、吐出部８６に接続されるバルブ８４は、密閉室８２内の容量が増加する際に、閉塞するように構成されている。

　バルブ部８０４は、バルブカバー部８０５に取り付けられる。吸入部８３に接続されるバルブ８４は、密閉室８２内の容量が減少する際に、閉塞するよう構成されている。一方、吸入部８３に接続されるバルブ８４は、密閉室８２の容量が増加する際に、流路形成部８０７の吸入部８３と連通するように構成されている。

　本実施形態では、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）のそれぞれは、可動壁８２２及び室形成部８２４からなる一対の密閉室８２を有している。ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）のそれぞれは、自身の一対の密閉室８２が、軸部４０を挟み互いに逆方向に延在するアーム部３２４ａ、３２４ｂのそれぞれの側面に対向するように配置されている。すなわち、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）は、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）の一対の密閉室８２同士が、アーム部３２４ａ、３２４ｂを、アーム部３２４ａ、３２４ｂが往復回転運動する方向で挟む位置で、互いに対向して配置されている。

　図９Ａ及び図９Ｂは、本発明の第１実施形態に係るポンプにおける空気の吐出・吸入動作を示す図である。

　図９Ａに示すように、押圧部３５が可動壁８２２に向かって移動すると、押圧子３５１は、挿入部８２２ａを介して可動壁８２２に当接して押圧する。これにより、可動壁８２２は、室形成部８２４側に変位し、密閉室８２内の空気は押圧され圧縮される。圧縮された空気は、開放されているバルブ８４を介して、唯一連通する吐出部８６側に流れる（図９Ａの白矢印参照）。

　一方、図９Ｂに示すように、押圧部３５が、復回転移動、つまり、ポンプ部８０側から後退すると、押圧部３５に追従して可動壁８２２が弾性復元して、密閉室８２内の容積が復元、つまり、大きくなる。このとき、吐出部８６に接続されるバルブ８４は締められ、吐出経路を閉塞する一方、吸入部８３に接続されるバルブ８４は、開放状態となり、吸入部８３を介して、密閉室８２内に、空気が吸入される（図９Ｂの白矢印参照）。

＜磁気回路構成＞
　本実施形態では、図２及び図６に示すように、ケース２１内において、軸部４０を挟んで対向する可動体３０の両端部にそれぞれ配置されるマグネット７０ａ、７０ｂのそれぞれに、長手方向で離間して対向するように、磁性体であるコア部６０ａ、６０ｂが配置されている。コア部６０ａ、６０ｂは、長手方向で離間して互いに対向するよう、ケース２１の長手方向の両端壁部の内面上にそれぞれ配置されている。

　コア部６０ａとマグネット７０ａとの間、及び、コア部６０ｂとマグネット７０ｂ間にそれぞれ磁気吸引力が発生する。長手方向（アーム部３２４ａ、３２４ｂの延在方向）に発生する２つの磁気吸引力は、軸部４０を挟み互いに同一直線上で、且つ、逆向きに発生するので、互いに相殺される。

　図１０は、本発明の第１実施形態に係るポンプ部の磁気ばねを示す図である。ポンプ１内では、コイルコア部６２ａ及びマグネット７０ａにより提供される磁気回路と、コイルコア部６２ｂ及びマグネット７０ｂにより提供される磁気回路は、軸部４０を中心として点対称に構成される。よって、図１０では、コイルコア部６２ａ及びマグネット７０ａによって提供される磁気回路のみ説明し、コイルコア部６２ｂ及びマグネット７０ｂによって提供される磁気回路についての説明は、省略する。

　図１０では、マグネット７０ａは、コア部６０ａと対向する磁極面７２において、磁極７２１、７２２、７２３がそれぞれＮ極、Ｓ極、Ｎ極である構成を有している。マグネット７０ａの磁極面７２における各磁極７２１～７２３は、それぞれ近いコア磁極６０２ａ、６０３ａを吸引する。

　マグネット７０ａの中央の磁極７２２は、コア磁極６０２ａ、６０３ａの双方を吸引する。マグネット７０ａの磁極７２１は、コア磁極６０２ａを吸引し、マグネット７０ａの磁極７２３は、コア磁極６０３ａを吸引する。これにより、マグネット７０ａ中央の磁極７２２は、コイルコア部６２ａの中央部、つまり、コア磁極６０２ａ、６０３ａとの間に位置する。

　ポンプ１では、コイルコア部６２ａのコイル５０ａに電流が流れると、コア部６０ａのコア磁極６０２ａ、６０３ａが、異なる極性で励磁される。これにより、コイルコア部６２ａと対向配置されるマグネット７０ａとの関係に応じて、可動体３０に対する推力が発生する。コイルコア部６２ｂとマグネット７０ｂとによって提供される磁気回路においても同様である。したがって、コイル５０ａ、５０ｂへ供給する電流の向きを周期的に変えることで、マグネット７０ａ、７０ｂを備える可動体３０は、軸部４０を中心に回動方向に回転往復運動する。

＜ポンプ１の動作＞
　ポンプ１の動作の一例を、図１１を参照して説明する。図１１は、本発明の第１実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。なお、図１１を参照したポンプ１の動作の一例の説明においても、図１０を参照した説明と同様に、コイルコア部６２ａ及びマグネット７０ａによって提供される磁気回路のみ説明し、コイルコア部６２ｂ及びマグネット７０ｂによって提供される磁気回路についての説明は、省略する。

　マグネット７０ａは、磁極面７２において、回転方向に交互に並ぶ、３つの極性の磁極を有するものとする。図１１に示すマグネット７０ａでは、コア部６０ａと対向する磁極面７２において、中央の磁極７２２をＳ極とし、中央の磁極７２２を挟む磁極７２１、７２３をそれぞれＮ極としている。

　そして、図１１に示すように、コイルコア部６２ａのコイル５０ａに、電流を供給してコア部６０ａを励磁すると、コア部６０ａのコア磁極６０２ａがＳ極、コア磁極６０３ａがＮ極で磁化する。

　図１１に示すように、Ｎ極となるコア磁極６０３ａに対向するマグネット７０ａの磁極７２３は、Ｎ極であるため、Ｎ極となるコア磁極６０３ａに対して反発する。また、マグネット７０ａの磁極７２２は、Ｓ極であるので、Ｎ極となるコア磁極６０３ａとの間で磁気吸引力が発生する一方、Ｓ極となるコア磁極６０２ａとは反発する。また、マグネット７０ａの磁極７２１は、Ｎ極であるので、Ｓ極となるコア磁極６０２ａとの間で磁気吸引力が発生する。

　これにより、マグネット７０ａとコイルコア部６２ａとの間には、Ｆ１方向の推力が発生し、可動体３０は、Ｆ１方向に駆動する。

　コイル５０ａへの通電をしない状態では、可動体３０は、磁気ばねの磁気吸引力により、回転基準位置、往復運動する際の中立位置に位置する。

　また、コイル５０ａへ電流を逆方向に供給して、コア部６０ａの極性を逆にする、つまり、マグネット７０ａに対向するコア部６０ａの磁極６０３ａをＳ極、磁極６０２ａをＮ極にする。これにより、コア部６０ａに対向するマグネット７０ａは、Ｆ１方向とは逆の方向（－Ｆ１方向）に回転移動する。可動体３０は、Ｆ１方向とは真逆の－Ｆ１方向に駆動する。

　可動体３０において、軸部４０を挟んでマグネット７０ａの反対側に配置されるマグネット７０ｂと、コイルコア部６２ｂとの関係は、マグネット７０ａとコイルコア部６２ａとの関係に対して、軸部４０を中心に点対称となる。よって、マグネット７０ｂと、コイルコア部６２ｂとの間でも、マグネット７０ａとコイルコア部６２ａとで、Ｆ１方向または－Ｆ１方向の推力が、同様に発生する。これにより、可動体３０の両端部での磁気回路において効果的に発生する磁気吸引力及び反発力により、可動体３０は、軸部４０を中心に、好適に回転往復する。

　この駆動原理を以下に示す。なお、本実施形態の振動アクチュエータ１０の駆動原理は、以下の各実施形態の振動アクチュエータ全てで実現される。

　本実施形態の振動アクチュエータ１０では、可動体３０の慣性モーメントをＪ［ｋｇ＊ｍ^２］、回転方向のばね定数をＫ_ｓｐとした場合、可動体３０は、固定体２０に対して、下記式（１）によって算出される共振周波数ｆ_ｒ［Ｈｚ］で振動する。

　本実施形態のポンプ１は、コイル５０ａ、５０ｂに可動体３０の共振周波数ｆ_ｒと略等しい周波数の交流電流を供給して、コイル５０ａ、５０ｂを介してコア部６０ａ、６０ｂ（詳細にはコア磁極６０２ａ、６０３ａ、６０２ｂ、６０３ｂ）を励磁する。これにより、可動体３０を効率良く駆動させることができる。

　本実施形態の振動アクチュエータ１０における可動体３０は、コイル５０ａ、５０ｂとコア部６０ａ、６０ｂとをそれぞれ有するコイルコア部６２ａ、６２ｂ及びマグネット７０ａ、７０ｂによって提供される磁気ばねによって構成されたバネマス系構造で支持された状態となっている。よって、コイル５０ａ、５０ｂに可動体３０の共振周波数ｆ_ｒに等しい周波数の交流電流が供給されると、可動体３０は共振状態で駆動される。

　振動アクチュエータ１０の駆動原理を示す運動方程式及び回路方程式を以下に示す。振動アクチュエータ１０は、下記式（２）で示す運動方程式及び下記式（３）で示す回路方程式に基づいて駆動する。

　すなわち、ポンプ１の振動アクチュエータ１０における可動体３０の慣性モーメントＪ［ｋｇ＊ｍ^２］、変位角（回転角度）θ（ｔ）［ｒａｄ］、推力定数（トルク定数）Ｋ_ｆ［Ｎｍ／Ａ］、電流ｉ（ｔ）［Ａ］、ばね定数Ｋ_ｓｐ［Ｎｍ／ｒａｄ］、減衰係数Ｄ［Ｎｍ／（ｒａｄ／ｓ）］等は、式（２）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧ｅ（ｔ）［Ｖ］、抵抗Ｒ［Ω］、インダクタンスＬ［Ｈ］、逆起電力定数Ｋ_ｅ［Ｖ／（ｍ／ｓ）］は、式（３）を満たす範囲内で適宜変更できる。

　このように、ポンプ１の振動アクチュエータ１０では、可動体３０の慣性モーメントＪと磁気ばねのばね定数Ｋ_ｓｐにより決まる共振周波数ｆ_ｒに対応する交流電流によりコイル５０ａ、５０ｂへの通電を行った場合に、効率的に大きな振動出力を得ることができる。

　なお、ポンプ１では、可動体３０が往復回転すると、ポンプ部８０の可動壁８２２の変位（具体的にはダイヤフラムの変形）によって密閉室８２内の容積が変化し、ポンプとして機能する。以下では、このポンプとしての機能は、下記式（４）で流量が設定され、下記式（５）により圧力が設定される。

　すなわち、ポンプ１における流量Ｑ［Ｌ／ｍｉｎ］、ピストン面積Ａ［ｍ^２］、ピストン変位ｘ［ｍ］、駆動周波数ｆ［Ｈｚ］等は、式（４）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、増加圧力Ｐ［ｋＰａ］、大気圧Ｐ_０［ｋＰａ］、密閉室体積Ｖ［ｍ^３］、変動体積ΔＶ［ｍ^３］＝ピストン面積［ｍ^２］Ａ＊ピストン変位［ｍ］は、式（５）を満たす範囲内で適宜変更できる。

　このように、本実施形態のポンプ１は、電磁駆動する振動アクチュエータ１０と、振動アクチュエータ１０の電磁駆動により空気を吸入吐出するポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）とを有する。

　振動アクチュエータ１０では、固定体２０は、コイル５０ａ及びコイル５０ａが巻回されるコア６０ａを有するコイルコア部６２ａと、コア６０ａの端部と対向配置されるマグネット７０ａとのうちの一方を含む。さらに、固定体２０には、ポンプ部８０が設けられている。可動体３０は、コイルコア部６２ａとマグネット７０ａとのうちの他方を含み、マグネット７０ａの磁気吸引力により弾性保持される。軸部４０は、可動体３０を往復回転自在に支持する。ポンプ部８０ａは、可動体３０の回転移動により可動する可動壁８２２と、空気の吐出口８６及び空気の吸入口８３に連通し、可動壁８２２の変位により容積が変更される密閉室８２と、を有する。可動体３０は、可動体３０の往復回転運動に伴い軸部４０を中心に円弧状に移動して、可動壁８２２に当接して押圧する押圧部３５を有する。可動壁８２２は、押圧部３５の移動方向に配置され、押圧部３５に押圧された際に変位して密閉室８２内の空気を、吐出口８６を介して吐出する。

＜効果＞
　マグネット７０ａ、７０ｂ及びコイルコア部６２ａ、６２ｂによって提供される磁気ばねにより弾性支持された可動体３０が、共振により高効率で振動する。

　すなわち、ポンプの駆動部として回転モータを用いた場合と比較して、ポンプの薄型化を図ることができる。また、圧力、流量のいずれかに特化した性能のポンプとなる、圧電素子を用いた従来のポンプと異なり、空気を吐出する際の所望の圧力と流量の双方とも設定することができる。

　また、ポンプ部８０ａ、８０ｂの密閉室８２は、常態時において、往復回転方向の両側から可動体３０の押圧部３５を挟むように、可動体３０の延在方向と直交する方向で、互いに対向して配置されている。この構成により、可動体３０の常態時、つまり、可動体３０が基準位置に位置している状態において、ポンプ部８０ａ、８０ｂの密閉室８２内に残った空気により、密閉室８２から離間する方向に押圧部３５が押圧される場合でも、ポンプ部８０ａ、８０ｂの密閉室内に残った空気から押圧部３５に加えられる押圧力が、互いに打ち消し合う。よって、可動体３０を、往復回転運動させる際の基準位置に好適に位置させることができる。

　従来のポンプのポンプ部において、ポンプ部の圧力増加時に発生する可動体に対する押圧力（負荷）により、可動体の基準位置、つまり、静止位置が変化する恐れがある。この基準位置からずれた位置から、可動体を往復回転運動させる場合、可動体は、基準位置から往復回転させる際の移動範囲と異なる範囲を移動する。従来のポンプのポンプ部では、この移動により、基準位置からの距離で設定される押圧部による可動壁の変位位置がずれ、密閉室内の空気を十分に圧縮できず所望の空気の吐出圧力及び空気流量を確保できない。この場合、可動体の往復回転運動の距離、つまり、振幅をより大きくし、その可動のためのクリアランスをケース内に確保する必要が生じるため、ポンプを小型化することができない。

　これに対して本実施形態によれば、ポンプ部８０ａ、８０ｂの密閉室内に残った空気から押圧部３５に加えられる押圧力（負荷）が、互いに打ち消し合うので、可動体３０を基準位置に好適に位置させて、その基準位置から振幅させることができる。そのため、小型、かつ、より高い圧力を提供可能なポンプ１を実現できる。

　図１２Ａ、図１２Ｂは、本発明の第１実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の動作の説明に供する模式図であり、図１３Ａ、図１３Ｂは、ポンプ部が一つの場合の動作の説明に供する模式図である。

　本実施形態では、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）における密閉室８２（図１２及び図１３中の「空気室」に対応）は、可動体３０の往復回転方向、つまり、基準位置に位置するアーム部３２４ａ、３２４ｂの振幅方向のそれぞれにおいて、可動体３０を挟み、可動体３０の延在方向と直交する方向で対向して配置されている。

　本実施形態では、軸部４０を挟み、可動体３０のアーム部３２４ａ、３２４ｂを奥行方向で挟む４つの密閉室８２が配置されている。すなわち、本実施形態では、可動体３０は、軸部４０により往復回転自在に軸支された部位から、軸部４０の軸方向と直交する方向に延在して設けられ、先端部（マグネット固定部３２６ａ、３２６ｂ）に、コイルコア部６２ａ、６２ｂとマグネット７０ａ、７０ｂとのうちの他方が設けられるアーム部３２４ａ、３２４ｂを有する。

　密閉室８２は、可動体３０のアーム部３２４ａ、３２４ｂを挟んで対となるよう設けられている。一対の密閉室８２（図１２では「空気室」で示す）は、アーム部３２４ａ、３２４ｂを、アーム部３２４ａ、３２４ｂの往復回転方向（ケース２１の奥行方向）で挟む位置に、互いに対向して配置されている。押圧部３５は、一対の可動壁８２２にそれぞれ対応する押圧子３５１、３５１を一対有する。一対の密閉室８２の可動壁８２２のそれぞれは、アーム部アーム部３２４ａ、３２４ｂが往復回転した際に、それぞれに対応する押圧子３５１により、それぞれ押圧される。

　図１２Ａに示すように、本実施形態では、可動体３０の往復回転運動の往回転方向側および復回転方向側の一対の密閉室８２（「空気室」）を画成する可動壁８２２に、可動体３０の押圧部３５が、往復回転運動それぞれに接続されている。

　このように、可動体３０を磁気ばねにより弾性支持している構成では、密閉室８２内での圧力増加時に発生する負荷によって、可動壁８２２が変位し、可動体３０が、押圧部３５を介して押圧される。

　このとき、本実施形態では、図１２Ｂに示すように、一対の密閉室８２の押圧部３５から可動体３０に対して加えられる押圧力（負荷）が互いに打ち消し合うため、可動体３０は、基準位置で安定して保持される。

　これに対して、図１３に示すように、密閉室８２（「空気室」）が可動体３０の往復回転方向の一方にしか配置されていない場合を想定する。この場合、１つの密閉室８２の可動壁８２２が可動体３０側に変位すると、押圧部３５を介して可動体３０が押圧され、可動体３０の静止位置が、基準位置からオフセットされる。この構成では、本実施形態と異なり、密閉室８２内での圧力増加により、可動体３０の振幅をより大きくする必要や、可動体３０の可動領域をより大きくする必要が生じることとなる。

　これに対して、本実施形態では、可動体３０の可動領域を小さくできるので、ポンプ１の小型化を図ることができる。

　また、本実施形態では、可動体３０は、ケース２１の中央部で、軸部４０により往復回転自在に軸支されるとともに、ケース２１の中央部から軸部４０の軸方向と直交する方向で互いに逆向きに延在する一対のアーム部３２４ａ、３２４ｂを有する。

　これらアーム部３２４ａ、３２４ｂのそれぞれの先端部、つまり、マグネット固定部３２６ａ、３２６ｂには、コイルコア部６２ａ、６２ｂとマグネット７０ａ、７０ｂのうちの他方（本実施形態ではマグネット７０ａ、７０ｂ）が設けられている。

　一方、固定体２０には、コイルコア部６２ａ、６２ｂとマグネット７０ａ、７０ｂのうちの他方（マグネット７０ａ、７０ｂ）に対向する、コイルコア部６２ａ、６２ｂとマグネット７０ａ、７０ｂとのうちの一方（本実施形態ではコイルコア部６２ａ、６２ｂ）が設けられている。

　ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）のそれぞれは、一対の密閉室８２を含んでおり、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）のそれぞれの一対の密閉室８２は、一対のアーム部３２４ａ、３２４ｂの延在方向に沿って並列に配置されている。また、押圧部３５は、ポンプ部８０ａの密閉室８２およびポンプ部８０ｂの密閉室８２の可動壁８２２にそれぞれ対応する一対の押圧子３５１を有し、密閉室８２の可動壁８２２のそれぞれは、アーム部３２４ａ、３２４ｂが往復回転した際に、対応する押圧部３５により押圧される。

　このように、本実施形態のポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）のそれぞれは、長手方向に並ぶ複数の密閉室８２を含み、各密閉室８２の吐出流路及び吐出口８６を並列で接続している。このため、可動体３０、つまり、アーム部３２４ａ、３２４ｂが軸部４０を中心に往復回転することにより、押圧部３５の押圧子３５１が、長手方向で並列に並ぶ一対の密閉室８２の可動壁８２２を交互に押圧する。これにより、流量の高いポンプ１を実現することができる。

　また、本実施形態のポンプ１は、磁気ばねを作用させるために必要なマグネット７０ａ、７０ｂを、可動体３０もしくは、固定体２０の一方に設けた構成を有しているので、可動体３０及び固定体２０の双方にマグネット７０ａ、７０ｂを設けた構成と比較して、よりポンプ１の部品点数の削減を図ることができる。

　このように、ポンプ１の部品点数を少なくできるので、ポンプ１の低コスト化をはかることができ、更に、ポンプ１の組立工数の低減化を図ることができる。

　また、マグネット７０ａ、７０ｂとコア部６０ａ、６０ｂとによって提供される磁気回路の磁気ばねが可動体３０を弾性支持し、さらに、共振による可動体３０の往復回転により、可動壁８２２を変位させ、ポンプ部８０（８０ａ、８０ｂ）を駆動する。これにより、ポンプ１の更なる薄型化とともに、ポンプ１の所望の圧力及び流量を確保し、ポンプ１の高出力化を図ることができる。

　また、本実施形態では、可動体３０の片側のマグネット７０ａに対応するコイルコア部６２ａにおいて、コイル１個で磁気回路を構成できるため、ポンプ１のコストの低廉化を図ることができる。

（第２実施形態）
　図１４は、本発明の第２実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図１５は、本発明の第２実施形態に係るポンプの要部構成を示す平面図であり、ポンプにおいて便宜上、蓋を図示省略した状態を示す図である。図１６は、本発明の第２実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図１７は、本発明の第２実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図１８は、本発明の第２実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図１９は、本発明の第２実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。

＜ポンプ１Ａの全体構成＞
　ポンプ１Ａは、図１に示す第１実施形態に対応するポンプ１と同様の基本的構成を有しており、磁気回路構成のみ異なる。よって、以下では、同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素についての説明を省略する。

　図１４～図１６に示すように、本実施形態のポンプ１Ａは、マグネット７０Ａの極数と、コイルコア部６２Ａの極数とが異なる点を除き、第１実施形態のポンプ１の基本的構成と同様の基本的構成を有する。

　ポンプ１Ａでは、固定体２０Ａの平面視矩形状のケース２１Ａ内に、可動体３０Ａが、ケース２１Ａの中央に配置された軸部４０Ａを中心として、往復回転自在に設けられている。軸部４０Ａの軸方向と直交する可動体３０Ａの長手方向に離間する可動体３０Ａの両端部に、４極のマグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２がそれぞれ設けられている。

　一方、ケース２１Ａ内には、ケース２１Ａの長手方向で離間する端壁部に沿って、マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２とエアギャップを介して対向する位置に、３つのコア磁極を有するコイルコア部６２Ａ－１、６２Ａ－２がそれぞれ設けられている。

　また、ケース２１Ａ内において、可動体３０Ａの延在方向に沿って、可動体３０Ａをケース２１Ａの奥行方向で挟むように、ポンプ部８０ａ、８０ｂが設けられている。なお、ポンプ部８０ａ、８０ｂの可動壁８２２は、ポンプ１の押圧部３５と同様に構成される可動体３０Ａの押圧部３５にそれぞれ接続されている。

　コイルコア部６２Ａ－１は、コイルコア部６２Ａ－２の構成と同様の構成を有するため、コイルコア部６２Ａ－１の構成について説明し、コイルコア部６２Ａ－２の構成についての説明は、省略する。

　コイルコア部６２Ａ－１は、図１７に示すように、コイル５０Ａと、Ｅ型形状のコア部６０Ａとを有する。コア磁極６０１Ａとなるコア部６０Ａの中央の突部に、ボビン６５Ａを介して、コイル５０Ａが巻回されている。コイル５０Ａへの通電により、コア部６０Ａの中央の突部の先端部がコア磁極６０１Ａとなり、コア磁極６０１Ａの基端部に接続されたコア磁極６０２Ａ、６０３Ａは、コア磁極６０１Ａとは異なる磁極で磁化される。なお、コア磁極６０１Ａの先端の周囲は、ボビン６５Ａのフランジで覆われており、コア磁極６０１Ａが部分的に、ボビン６５Ａから突出する。

　コイルコア部６２Ａ－１のコア磁極６０１Ａ、６０２Ａ、６０３Ａは、それぞれマグネット７０Ａ－１と対向するよう、円弧状に配置されている。なお、コイルコア部６２Ａ－１と同様に構成されるコイルコア部６２Ａ－２は、コイルコア部６２Ａ－１に対してケース２１Ａの長手方向で離間し、さらに、コイルコア部６２Ａ－２のコア磁極６０１Ａ、６０２Ａ、６０３Ａがマグネット７０Ａ－２と対向するように配置される。

　マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２は、図１８に示すように、中央部に軸受け部３４が設けられた可動体本体３２の両端部のマグネット固定部３２６ａ、３２６ｂに、それぞれ固定されている。

　マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２の磁極面７２は、軸部４０Ａの軸に直交する長手方向で互いに離間し、外側に凸の円弧状となるように配置される。さらに、マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２の磁極面７２に、コイルコア部６２Ａ－１、６２Ａ－２のコア部６０Ａのコア磁極６０１Ａ～６０３Ａが対向する。

　マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２の磁極面７２は、それぞれ回転方向に交互に並んだ異なる磁極７２１Ａ～７２４Ａを有する。

　マグネット７０Ａ－１とコイルコア部６２Ａ－１のコア部６０Ａとの間、及び、マグネット７０Ａ－２とコイルコア部６２Ａ－２のコア部６０Ａとの間に磁気吸引力が発生し、磁気ばねとして機能する。すなわち、長手方向で離間する可動体３０Ａの両端部のそれぞれにおいて、磁気吸引力による磁気ばねが発生する。

　このような磁気吸引力による磁気ばねにより、ポンプ１Ａが非通電状態、つまり、常態にある際、軸部４０Ａ回りの可動体３０Ａの回転が抑制される。具体的には、磁気吸引力により、コア部６０Ａ－１、６０Ａ－２の中央のコア磁極６０１Ａと、可動体３０Ａに取り付けられたマグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２の中央の２極７２２Ａ、７２３Ａの中央部分とが対向する位置で、コア部６０Ａ－１、６０Ａ－２とマグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２とが引き合う。

　これらコア部６０Ａ－１、６０Ａ－２とマグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２間にそれぞれ磁気吸引力が発生する。可動体３０の長手方向に発生する２つの磁気吸引力は、軸部４０Ａを挟み互いに同一直線上で、且つ、逆向きに発生するので、互いに相殺される。

　図１９に示すように、ポンプ１Ａでは、マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－２の各磁極７２１Ａ、７２２Ａ、７２３Ａ、７２４Ａのうちの隣合う極同士の境界面の位置（切り替え位置）が、コイルコア部６２Ａのコア磁極６０１Ａ～６０３Ａのそれぞれの回転方向の長さの中心に位置しており、常態時において、このような位置関係を実現する際の可動体３０Ａの位置が、回転基準位置となっている。具体的には、磁極７２１Ａ、７２２Ａの境界面の位置が（切り替え位置）が、コア磁極６０２Ａの回転方向の長さの中心に対向している。同様に、磁極７２２Ａ、７２３Ａの境界面の位置が（切り替え位置）が、コア磁極６０１Ａの回転方向の長さの中心に対向しており、磁極７２３Ａ、７２４Ａの境界面の位置が（切り替え位置）が、コア磁極６０３Ａの回転方向の長さの中心に対向している。

　図２０は、本発明の第２実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。なお、図２０を参照して、コイルコア部６２Ａ－１及びマグネット７０Ａ－１によって提供される磁気回路のみ説明し、コイルコア部６２Ａ－２及びマグネット７０Ａ－２によって提供される磁気回路についての説明は、省略する。

＜マグネット７０Ａ＞
　マグネット７０Ａ－１は、コア部６２Ａ－１と対向する磁極面７２において、回転方向に交互に並ぶ、４つの異なる極性を有するものとする。

　図２０に示すマグネット７０Ａ－１（「７０Ａ」で示すこともある）では、中央の２つの磁極７２２Ａ、磁極７２３ＡがそれぞれＳ極、Ｎ極であり、これら中央の磁極７２２Ａ、７２３Ａを挟む磁極７２１Ａ、７２４ＡがそれぞれＮ極、Ｓ極である。マグネット７０Ａ－１の磁極７２１Ａ、７２２Ａ、７２３Ａ、７２４Ａは、コイルコア部６２Ａ－１（「６２Ａ」で示すこともある）のコア磁極６０１Ａ、６０２Ａ、６０３Ａに対向している。

　コイルコア部６２Ａのコイル５０Ａに、電流を供給してコア部６０Ａを励磁し、コア部６０Ａ中央の突部であるコア磁極６０１ＡをＮ極に磁化し、コア部６０Ａのコア磁極６０２Ａ、６０３ＡをＳ極に磁化する。

　図２０に示すように、Ｎ極となるコア磁極６０１Ａに対向するマグネット７０Ａの磁極７２２Ａ、７２３Ａは、Ｓ極、Ｎ極である。Ｎ極となるコア磁極６０１Ａに対して、Ｓ極である磁極７２２Ａは、磁気吸引力により引き合い、Ｎ極である磁極７２３Ａは反発する。

　また、マグネット７０Ａの磁極７２１Ａは、Ｎ極であるので、Ｓ極となるコア磁極６０２Ａとの間で磁気吸引力が発生する。一方、Ｓ極であるマグネット７０Ａの磁極７２４Ａは、Ｓ極となるコア磁極６０３Ａと反発する。

　これらの作用により、マグネット７０Ａとコイルコア部６２Ａとの間には、Ｆ１方向の推力が発生し、可動体３０Ａは、Ｆ１方向に駆動する。

　コイル５０Ａへの通電をしない状態では、磁気ばねの磁気吸引力により、可動体３０Ａは、回転基準位置、往復運動する際の中立位置に位置する。

　また、コイル５０Ａへ電流を逆方向に供給して、コア部６０Ａの極性を逆にする、つまり、マグネット７０Ａに対向するコア部６０Ａの中央部のコア磁極６０１ＡをＳ極、コア磁極６０２Ａ、６０３ＡをＮ極にする。これにより、コア部６０Ａに対向するマグネット７０Ａは、Ｆ１方向とは逆の方向（－Ｆ１方向）に回転移動する。可動体３０Ａは、Ｆ１方向とは真逆の－Ｆ１方向に駆動する。

　可動体３０Ａにおいて、軸部４０Ａを挟んでマグネット７０Ａ－１の反対側に配置されるマグネット７０Ａ－２と、コイルコア部６２Ａ－２との関係は、マグネット７０Ａ－１とコイルコア部６２Ａ－１との関係に対して、軸部４０Ａを中心に点対称となる。よって、マグネット７０Ａ－２と、コイルコア部６２Ａ－２との間でも、マグネット７０Ａ－２と、コイルコア部６２Ａ－２によって、Ｆ１方向または－Ｆ１方向の推力が、同様に発生する。

　これにより、可動体３０の両端部での磁気回路において効果的に発生する磁気吸引力及び反発力により、軸部４０Ａを中心として、可動体３０Ａが、好適に回転往復移動する。

　なお、このポンプ１Ａの駆動原理及びポンプ性能の動作原理は、上記式（１）、（２）、（３）、（４）、（５）によって実現される第１実施形態のポンプ１と同様の動作原理である。

　ポンプ１Ａの振動アクチュエータ１０では、第１実施形態と同様に、コイル５０Ａへ供給する電流の向きを変えることで、マグネット７０Ａ－１、７０Ａ－Ｂを備える可動体３０Ａを、振動方向に往復移動（往復振動）させることができる。

　この構成によれば、マグネット７０Ａ－１及びコア部６０Ａ－１によって提供される磁気回路の磁気ばね、及び、マグネット７０Ａ－２及びコア部６０Ａ－２によって提供される磁気回路の磁気ばねが、可動体３０Ａを弾性支持し、共振による可動体３０Ａの往復回転により、可動壁８２２を変位させ、ポンプ部８０ａを駆動させ、ポンプ部８０ａ、８０ｂの密閉室８２から空気を吐出、又は、密閉室８２へ空気を吸入する。なお、本実施形態のポンプ部８０ａ、８０ｂは、第１実施形態のポンプ部８０ａ、８０ｂ等と同様に構成されている。これにより、ポンプ１Ａの更なる薄型化とともに、ポンプ１Ａの所望の圧力及び流量を確保し、ポンプ１Ａの高出力化を図ることができる。

　また、ポンプ１Ａにおいて両端にそれぞれ配置される磁気回路では、それぞれのコア部６０Ａは、一つのコイル５０Ａを用いて、３つ磁極６０１Ａ、６０２Ａ、６０３Ａを構成するため、低コスト化された構造となり、ポンプ１Ａのコストの低廉化を図ることができる。また、コア部６０Ａが３磁極を有するので、コア部６０Ａが２つの磁極を有する構成よりも、駆動出力の増加を図ることができる。

（第３実施形態）
　図２１は、本発明の第３実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図２２は、本発明の第３実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図２３は、本発明の第３実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図２４は、本発明の第３実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図２５は、本発明の第３実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。図２６は、本発明の第３実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。

　本実施形態のポンプ１Ｂは、磁気回路の構成を除き、図１に示す第１実施形態に対応するポンプ１と同様の構成を有している。よって、以下では、同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素に対する説明を省略する。

　図２１～図２６に示すように、ポンプ１Ｂは、マグネット７０Ｂの極数と、コイルコア部６２Ｂの極数とが異なる点を除き、第１実施形態のポンプ１の基本的構成と同様の基本的構成を有している。

　ポンプ１Ｂでは、固定体２０Ｂの平面視矩形状のケース２１Ｂ内に、可動体３０Ｂが、ケース２１Ｂの中央に配置された軸部４０Ｂを中心として、往復回転自在に設けられている。軸部４０Ｂの軸方向と直交して配置され、長手方向に離間する可動体３０Ｂの両端部に、４極のマグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２がそれぞれ設けられている。

　一方、ケース２１Ｂ内には、ケース２１Ｂの長手方向で離間する端壁部に沿って、マグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２とエアギャップを介して対向する位置に、３つのコア磁極を有するコイルコア部６２Ｂ－１、６２Ｂ－２がそれぞれ設けられている。

　また、ケース２１Ｂ内において、可動体３０Ｂの延在方向に沿って、可動体３０Ｂをケース２１Ｂの奥行方向で挟むように、ポンプ部８０ａ、８０ｂが設けられている。なお、ポンプ部８０ａ、８０ｂの可動壁８２２は、ポンプ１またはポンプ１Ａの押圧部３５と同様に構成される可動体３０Ｂの押圧部３５に接続されている。

＜コイルコア部６２Ｂ＞
　コイルコア部６２Ｂ－１は、コイルコア部６２Ｂ－２の構成と同様の構成を有するため、コイルコア部６２Ｂ－１（「６２Ｂ」と称することもある）の構成について説明し、コイルコア部６２Ｂ－２の構成についての説明は、省略する。

　コイルコア部６２Ｂ－１は、図２４に示すように、３つのコイル５０Ｂと、Ｅ型形状のコア部６０Ｂとを有する。コイルコア部６２Ｂ－１は、コア部６０Ｂのコア磁極と同じ数のコイル５０Ｂを有するよう構成されている。

　すなわち、Ｅ型形状のコア部６０Ｂの３つの突部のそれぞれの外周には、ボビン６５Ｂを介してコイル５０Ｂが巻回されている。コア部６０Ｂのこれら３つの突部が、それぞれコア磁極となる。

　コイルコア部６２Ｂのコイル５０Ｂへの通電により、コア部６０Ｂの３つの突部のそれぞれの先端部が、コア磁極６０１Ｂ～６０３Ｂとなり、コア磁極６０１Ｂ～６０３Ｂは、可動体３０Ｂの回転方向で交互に異なる極性を持つように、磁化される。なお、コア磁極６０１Ｂ～６０３Ｂとなるコア部６０Ｂの３つの突部の先端の周囲は、ボビン６５Ｂのフランジにより、それぞれ覆われている。

　コイルコア部６２Ｂ－１のコア磁極６０１Ｂ、６０２Ｂ、６０３Ｂが、マグネット７０Ｂ－１と対向するよう、円弧状に配置されている。

　また、コイルコア部６２Ｂ－１と同様に構成されるコイルコア部６２Ｂ－２は、コイルコア部６２Ｂ－１に対して、ケース２１Ｂの長手方向で離間して、軸部４０Ｂを中心とした点対称となるよう配置される。また、コイルコア部６２Ｂ－２は、コイルコア部６２Ｂ－２のコア磁極６０１Ｂ、６０２Ｂ、６０３Ｂがマグネット７０Ｂ－２と対向するように配置される。

＜マグネット７０Ｂ＞
　マグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２は、図２５に示すように、中央部に軸受け部３４が設けられた可動体本体３２の両端部のマグネット固定部３２６ａ、３２６ｂにそれぞれ固定されている。

　マグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２の磁極面７２は、軸部４０Ｂの軸に直交する長手方向で互いに離間して、外側に凸の円弧状となるように配置される。さらに、マグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２に、コイルコア部６２Ｂ－１、コイルコア部６２Ｂ－２のコア部６０Ｂのコア磁極６０１Ｂ～６０３Ｂが対向する。マグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２の磁極面７２は、それぞれ回転方向に交互に並んだ異なる磁極７２１Ｂ～７２４Ｂを有する。

　マグネット７０Ｂ－１とコイルコア部６２Ｂ－１のコア部６０Ｂとの間、及び、マグネット７０Ｂ－２とコイルコア部６２Ｂ－２のコア部６０Ｂとの間に磁気吸引力が発生し、磁気ばねとして機能する。すなわち、長手方向で離間する可動体３０Ｂの両端部のそれぞれにおいて、磁気吸引力による磁気ばねが発生する。

　このような磁気吸引力による磁気ばねにより、ポンプ１Ｂが非通電状態、つまり、常態にある際、軸部４０Ｂ回りの可動体３０Ｂの回転が抑制される。具体的には、磁気吸引力により、コイルコア部６２Ｂ－１、６２Ｂ－２のコア部６０Ｂの中央のコア磁極６０１Ｂと、マグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２の中央の２極７２２Ｂ、７２３Ｂの中央部分とが対向する位置で、コア部６０Ｂ－１、６０Ｂ－２とマグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２とが引き合う。

　これらコア部６０Ｂ－１、６０Ｂ－２とマグネット７０Ｂ－１、７０Ｂ－２間にそれぞれ磁気吸引力が発生する。可動体３０Ｂの長手方向に発生する２つの磁気吸引力は、軸部４０Ｂを挟み互いに同一直線上で、且つ、逆向きに発生するので、互いに相殺される。

　図２２に示すように、ポンプ１Ｂでは、マグネット７０Ｂ－1、７０Ｂ－２の各磁極７２１Ｂ、７２２Ｂ、７２３Ｂ、７２４Ｂのうちの隣り合う極同士の境界面の位置（切り替え位置）が、コイルコア部６２Ｂのコア磁極６０１Ｂ～６０３Ｂのそれぞれの回転方向の長さの中心に位置しており、常態時において、このような位置関係を実現する際の可動体３０Ｂの位置が、回転基準位置となっている。具体的には、磁極７２１Ｂ、７２２Ｂの境界面の位置が（切り替え位置）が、コア磁極６０２Ｂの回転方向の長さの中心に対向している。同様に、磁極７２２Ｂ、７２３Ｂの境界面の位置が（切り替え位置）が、コア磁極６０１Ｂの回転方向の長さの中心に対向しており、磁極７２３Ｂ、７２４Ｂの境界面の位置が（切り替え位置）が、コア磁極６０３Ｂの回転方向の長さの中心に対向している。

　図２６は、本発明の第３実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。なお、ここでは、一方側のコイルコア部６２Ｂ－１及びマグネット７０Ｂ－１によって提供される磁気回路のみ説明し、コイルコア部６２Ｂ－２及びマグネット７０Ｂ－２によって提供される磁気回路についての説明は、省略する。

　マグネット７０Ｂ－１は、コイルコア部６２Ｂ－１と対向する磁極面７２において、回転方向に交互に並ぶ、４つの異なる極性を有するものとする。

　図２６に示すマグネット７０Ｂ－１（「７０Ｂ」で示すこともある）では、中央の２つの磁極７２２Ｂ、磁極７２３ＢがそれぞれＳ極、Ｎ極であり、これら中央の磁極７２２Ｂ、７２３Ｂを挟む磁極７２１Ｂ、７２３ＢがそれぞれＮ極、Ｓ極である。マグネット７０Ｂ－１の磁極７２１Ｂ、７２２Ｂ、７２３Ｂ、７２４Ｂは、コイルコア部６２Ｂ－１（「６２Ｂ」で示すこともある）のコア磁極６０１Ｂ、６０２Ｂ、６０３Ｂに対向している。

　コイルコア部６２Ｂの各コイル５０Ｂに、電流を供給してコア部６０Ｂを励磁する。コア部６０Ｂでは、コア部６０Ｂの中央の突部であるコア磁極６０１Ｂの磁極と、コア磁極６０１Ｂの両側のコア磁極６０２Ｂ、６０３Ｂの極性とが異なるように、コイル５０Ｂの巻方向、コイル５０Ｂへ流す電流の向き等が設定される。例えば、図２６に示すコイルコア部６２Ｂは、コア部６０Ｂの中央の突部であるコア磁極６０１ＢがＮ極に磁化され、コア部６０Ｂのコア磁極６０２Ｂ、６０３ＢがＳ極に磁化される。このとき、コア磁極６０１Ｂ、６０２Ｂ、６０３Ｂは、それぞれに対応するコイル５０Ｂにより励磁されるため、高出力の駆動を確保できる。

　図２６に示すように、Ｎ極となるコア磁極６０１Ｂに対向するマグネット７０Ｂの磁極７２２Ｂ、７２３Ｂは、Ｓ極、Ｎ極である。Ｎ極となるコア磁極６０１Ｂに対して、Ｓ極である磁極７２２Ｂは、磁気吸引力により引き合い、Ｎ極である磁極７２３Ｂは反発する。また、マグネット７０Ｂの磁極７２１Ｂは、Ｎ極であるので、Ｓ極となるコア磁極６０２Ｂとの間で磁気吸引力が発生する。また、Ｓ極であるマグネット７０Ｂの磁極７２４Ｂは、Ｓ極となるコア磁極６０３Ｂと反発する。

　これらの作用により、マグネット７０Ｂとコイルコア部６２Ｂとの間には、Ｆ１方向の推力が発生し、可動体３０Ｂは、Ｆ１方向に駆動する。コイル５０Ｂへの通電をしない状態では、磁気ばねの磁気吸引力により、可動体３０Ｂは、回転基準位置、往復運動する際の中立位置に位置する。

　また、コイル５０Ｂへ電流を逆方向に供給して、コア部６０Ｂの極性を逆にする、つまり、マグネット７０Ｂに対向するコア部６０Ｂの中央部のコア磁極６０１ＢをＳ極、磁極６０２Ｂ、６０３ＢをＮ極にする。これにより、コア部６０Ｂに対向するマグネット７０Ｂは、Ｆ１方向とは逆の方向（－Ｆ１方向）に回転移動する。可動体３０Ｂは、Ｆ１方向とは真逆の－Ｆ１方向に駆動する。

　可動体３０Ｂにおいて、マグネット７０Ｂ－２とコイルコア部６２Ｂ－２との関係は、マグネット７０Ｂ－１とコイルコア部６２Ｂ－１との関係に対して、軸部４０Ｂを中心に点対称となる。よって、マグネット７０Ｂ－２とコイルコア部６２Ｂ－２との関係は、マグネット７０Ｂ－１とコイルコア部６２Ｂ－１との関係と同様である。よって、マグネット７０Ｂ－２とコイルコア部６２Ｂ－２との間でも、Ｆ１方向または－Ｆ１方向の推力を、マグネット７０Ｂ－１とコイルコア部６２Ｂ－１との間の推力と同様に発生させることができる。これにより、可動体３０Ｂの両端部での磁気回路において効果的に発生する磁気吸引力及び反発力により、軸部４０Ｂを中心として、可動体３０Ｂが、好適に回転往復する。

　このように、ポンプ１Ｂでは、第１実施形態と同様に、コイル5０Ｂへ供給する電流の向きを変えることで、マグネット７０Ｂを備える可動体３０Ｂを、振動方向に往復運動（往復振動）させることができる。なお、このポンプ１Ｂの駆動原理は、上記式（１）、（２）、（３）、（４）、（５）によって実現される第１実施形態のポンプ１と同様の動作原理である。

　マグネット７０Ｂ－１とコア部６０Ｂ－１とによって提供される磁気回路の磁気バネ、及び、マグネット７０Ｂ－２とコア部６０Ｂ－２とによって提供される磁気回路の磁気ばねが、可動体３０Ｂを弾性支持し、共振による可動体３０Ｂの往復回転により、可動壁８２２を変位させ、ポンプ部８０を駆動する。このため、ポンプ１Ｂの更なる薄型化とともに、ポンプ１Ｂの所望の圧力及び流量を確保し、ポンプ１Ｂの高出力化を図ることができる。

　また、ポンプ１Ｂの片側の磁気回路においてコイルコア部６２Ｂがコイル５０Ｂを３つ有するため、コイル５０Ｂが一つの場合よりも、コイルの配置スペースを分散させることができ、コイルの設計自由度を高くでき、駆動出力の増加及び薄型化を図ることができる。

（第４実施形態）
　図２７は、本発明の第４実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図２８は、本発明の第４実施形態に係るポンプの内部構成を示す斜視図である。図２９は、本発明の第４実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図３０は、本発明の第４実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図３１は、本発明の第４実施形態に係るポンプにおけるコイルコア部の斜視図である。図３２は、本発明の第４実施形態に係るポンプにおける可動体の斜視図である。

　ポンプ１Ｃは、磁気回路の構成が異なる点を除き、図１に示す第１実施形態に対応するポンプ１の基本的構成と同様の基本的構成を有している。よって、以下では、同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素についての説明を省略する。

　図２７～図３２に示すポンプ１Ｃは、マグネット７０Ｃとコイルコア部６２Ｃとによって提供される磁気回路の数が一つである点と、マグネット７０Ｃの極数と、コイルコア部６２Ｃの極数とが異なる点を除き、第１実施形態のポンプ１の基本的構成と同様の基本的構成を有している。

＜ポンプ１Ｃの全体構成＞
　図２７及び図２８に示すように、ポンプ１Ｃは、平面視矩形状のケース２１Ｃ内に、可動体３０Ｃが、ケース２１Ｃの中央に配置された軸部４０Ｃを中心として、往復回転（往復回動）自在に設けられている。ケース２１Ｃは、ケース２１Ｃの開口部を閉塞するカバー２２Ｃとともに、ポンプ１Ｃの筐体を構成する。

　ケース２１Ｃ内において、軸部４０Ｃは、ケース２１Ｃの長手方向の両端部の一方の側に設けられている。可動体３０Ｃは、軸部４０Ｃの軸方向と直交する方向に延在し、かつ、軸部４０Ｃを中心として回動自在に、ケース２１Ｃ内に設けられている。可動体３０Ｃの一端部には、軸部４０Ｃが挿通される軸受け部３４が設けられており、可動体３０Ｃの他端部には、２極のマグネット７０Ｃが設けられている。

　一方、ケース２１Ｃ内において、ケース２１Ｃの長手方向の他方の側の端壁部に沿って、コイルコア部６２Ｃが設けられている。コイルコア部６２Ｃは、マグネット７０Ｃとエアギャップを介して対向する位置に配置され、３つのコア磁極６０１Ｃ、６０２Ｃ、６０３Ｃを有する。

　また、ケース２１Ｃ内において、可動体３０Ｃの延在方向に沿って、ポンプ部８０ａ、８０ｂと同様の基本的構成を有する一対のポンプ部８０Ｃが設けられている。また、一対のポンプ部８０Ｃは、ケース２１Ｃの奥行方向において、可動体３０Ｃを挟むように設けられている。なお、各ポンプ部８０Ｃの可動壁８２２は、ポンプ１、ポンプ１Ａ、またはポンプ１Ｂにおける押圧部３５の押圧子３５１と同様に構成される可動体３０Ｃの押圧部３５の押圧子３５１に接続され、可動体３０Ｃの往復回転（回動）により変位する。この可動壁８２２の変位により、吐出部８６Ｃからの空気の吐出を可能とする。

＜コイルコア部６２Ｃ＞
　コイルコア部６２Ｃは、図３１に示すように、コイル５０Ｃと、Ｅ型形状のコア部６０Ｃとを有する。コア部６０Ｃは、所定の高さ、ここではケース２１Ｃ及び可動体３０Ｃの高さと略同等な高さを有する背面部６０８から同方向に並行に突設されたコア磁極６０１Ｃ～６０３Ｃを有する。本実施形態では、コア磁極６０１Ｃ～６０３Ｃの厚み（高さ方向の長さ）は、背面部６０８の厚さよりも薄く、それぞれ背面部６０８の高さ方向の中央部分から同方向に突出する。これにより、コア磁極６０１Ｃ～６０３Ｃの先端面は、可動体３０Ｃの回転方向に長く形成され、先端側で凹状となる円弧形状面となっている。コイルコア部６２Ｃでは、コイル５０Ｃの数は、一つであり、コア部６０Ｃの中央の突部であるコア磁極６０１Ｃの周囲に、ボビン６５Ｃを介して、コイル５０Ｃが巻回されている。

　すなわち、コイルコア部６２Ｃでは、コイル５０Ｃへの通電により、コイル５０Ｃの内側に位置するコア磁極６０１Ｃの先端が磁化される。この際、コア磁極６０１Ｃの極性と、コア磁極６０１Ｃを両側から挟むコア磁極６０２Ｃ、６０３Ｃの極性とは、異なる。これにより、コア部６０Ｃの突部であるコア磁極６０１Ｃ～６０３Ｃは、可動体３０Ｃの回転方向で交互に異なる極性を持つように、磁化される。なお、コア磁極６０１Ｃの先端の周囲は、ボビン６５Ｃのフランジにより覆われている。

　コイルコア部６２Ｃのコア磁極６０１Ｃ、６０２Ｃ、６０３Ｃは、それぞれマグネット７０Ｃと対向するよう、円弧状に配置されている。

＜マグネット７０Ｃ＞
　マグネット７０Ｃは、図３２に示すように、可動体本体３２Ｃの他端部上に形成されたマグネット固定部３２６Ｃを介して固定されている。なお、可動部本体３２Ｃの一端部には、軸部４０Ｃを挿通させるための軸受け部３４が設けられている。

　マグネット７０Ｃの磁極面７２Ｃは、可動体本体３２Ｃの他端部上に凸の円弧状となるように配置されており、コア部６０Ｃのコア磁極６０１Ｃ～６０３Ｃと対向している。マグネット７０Ｃの磁極面７２Ｃは、可動体３０Ｃの回転方向に並ぶ異なる極性の磁極７２１Ｃ、７２２Ｃを有する。

　マグネット７０Ｃは、マグネット７０Ｃの磁極７２１Ｃ、７２２Ｃの境界面の位置（切替位置）が、マグネット７０Ｃの延在方向（長手方向）の軸線上に位置し、さらに、マグネット７０Ｃの磁極７２１Ｃ、７２２Ｃの境界面の位置（切替位置）がコイルコア部６２Ｃの中央のコア磁極６０１Ｃの回転方向の中心と、重なるような位置に配置される。

　マグネット７０Ｃと、コイルコア部６２Ｃのコア部６０Ｃとの間に磁気吸引力が発生し、磁気ばねとして機能する。すなわち、可動体３０Ｃの長手方向の他端部において、磁気吸引力による磁気ばねが発生する。

　マグネット７０Ｃ及びコイルコア部６２Ｃのコア部６０によって提供される磁気ばねにより、ポンプ１Ｃが非通電状態、つまり、常態にある際、軸部４０Ｃ回りの可動体３０Ｃの回転が抑制される。具体的には、磁気吸引力により、コア部６０Ｃの中央のコア磁極６０１Ｃと、マグネット７０Ｃの中央の２極７２１Ｃ、７２２Ｃの中央部分とが対向する位置で、コア部６０Ｃとマグネット７０Ｃとが引き合う。

　磁気吸引力によりマグネット７０Ｃとコア部６０Ｃとが引き合うことにより、可動体３０Ｃが、往復回転（回動）する際の揺動範囲の中心位置としての基準位置、つまり、軸部４０Ｃを中心とした揺動運動の揺動範囲の中心（回転基準位置）で、水平な状態で維持される。

　図２９に示すように、マグネット７０Ｃ及びコイルコア部６２Ｃは、マグネット７０Ｃの各磁極７２１Ｃ、７２２Ｃの境界面の位置（切り替え位置）が、コイルコア部６２Ｃの中央のコア磁極６０１Ｃの回転方向の長さの中心と、長手方向で重なるように、ケース２１Ｃ内に配置される。常態時において、このような位置関係を実現する際の可動体３０Ｃの位置が、回転基準位置となっている。可動体３０Ｃは、この位置から、ケース２１Ｃの奥行方向、つまり、ケース２１Ｃの長手方向および軸方向の双方に直交する方向に、同じ距離だけ、往復回転（往復回動）可能である。

　図３３は、本発明の第４実施形態に係るポンプの磁気回路構成を示す図である。

　マグネット７０Ｃは、コイルコア部６２Ｃと対向する磁極面７２Ｃにおいて、回転方向に並ぶ異なる極性７２１Ｃ、７２２Ｃを有する。図３３に示すマグネット７０Ｃでは、２つの磁極７２１Ｃ、磁極７２２Ｃは、Ｓ極、Ｎ極であり、コイルコア部６２Ｃの磁極に対向している。

　コイルコア部６２Ｃのコイル５０Ｃに、電流を供給してコア部６０Ｃを励磁する。この際、コア部６０Ｃでの中央の突部であるコア磁極６０１Ｃの極性と、コア磁極６０１Ｃの両側のコア磁極６０２Ｃ、６０３Ｃの極性とが異なるように、コイル５０Ｃの巻方向、コイル５０Ｃへ流す電流の向き等が設定される。

　例えば、図３３に示すコイルコア部６２Ｃは、コア部６０Ｃの中央のコア磁極６０１ＣはＮ極に磁化され、コア部６０Ｃのコア磁極６０２Ｃ、６０３ＣはＳ極に磁化される。このとき、コア磁極６０１Ｃは、コイル５０Ｃにより励磁される。

　図３３に示すように、Ｎ極となるコア磁極６０１Ｃに対向するマグネット７０Ｃの磁極７２１Ｃ、７２２Ｃは、Ｓ極、Ｎ極である。Ｎ極となるコア磁極６０１Ｃに対して、Ｓ極である磁極７２１Ｃは、磁気吸引力により引き合い、Ｎ極である磁極７２２Ｃは、Ｎ極となるコア磁極６０１Ｃに対して、反発する。

　これらの作用により、マグネット７０Ｃとコイルコア部６２Ｃとの間には、Ｆ１方向の推力が発生し、可動体３０Ｃは、Ｆ１方向に駆動する。

　コイル５０Ｃへの通電をしない状態では、上述したように、マグネット７０Ｃ及びコイルコア部６２Ｃによって提供される磁気ばねにより、可動体３０Ｃは、回転基準位置、往復運動する際の中立位置に位置する。

　また、コイル５０Ｃへ電流を逆方向に供給して、コア部６０Ｃの極性を逆にする、つまり、マグネット７０Ｃに対向するコア部６０Ｃの中央部の磁極６０１ＣをＳ極、コア磁極６０２Ｃ、６０３ＣをＮ極にする。これにより、これらに対向するマグネット７０Ｃは、Ｆ１方向とは逆の方向（－Ｆ１方向）に回転移動する。可動体３０Ｃは、Ｆ１方向とは真逆の－Ｆ１方向に駆動する。

　これにより、可動体３０Ｃは、可動体３０Ｃの他端部においてマグネット７０Ｃ及びコイルコア部６２Ｃによって提供される磁気回路において効果的に発生する磁気吸引力及び反発力により、軸部４０Ｃを中心に好適に回転往復（回動）する。

　このように、ポンプ１Cでは、第１実施形態と同様に、コイル５０Ｃへ供給する電流の向きを変えることで、マグネット７０Ｃを備える可動体３０Ｃを、振動方向に往復運動（往復振動）させることができる。なお、このポンプ１Ｃの駆動原理は、上記式（１）、（２）、（３）、（４）、（５）によって実現される第１実施形態のポンプ１と同様の動作原理である。

　ポンプ１Ｃにおける磁気回路では、コア部６０Ｃは、コイル５０Ｃを用いて、３つコア磁極６０１Ｃ、６０２Ｃ、６０３Ｃを構成する。このように、ポンプ１Ｃは、マグネット７０Ｃとコア部６０Ｃとの磁気回路の磁気ばねが、共振により往復回転（回動）する可動体３０Ｃを弾性支持した構成を有する。そのため、ポンプ１Ｃの更なる小型化が可能であり、ポンプ１Ｃの部品点数を少なくして、ポンプ１Ｃの製造コストの低廉化をはかることができるとともに、ポンプ１Ｃの駆動出力を向上させることができる。

　＜第５実施形態＞
　図３４は、本発明の第５実施形態に係るポンプの外観斜視図である。図３５は、本発明の第５実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図３６は、本発明の第５実施形態に係るポンプの内部構成を示す平断面図である。図３７は、本発明の第５実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の分解斜視図である。図３８は、本発明の第５実施形態に係るポンプにおけるポンプ部の空気流路を示す図である。図３９は、本発明の第５実施形態に係るポンプにおける可動体の往復回転運動の説明に供する模式図である。

　本実施形態のポンプ１Ｄは、固定体がマグネットを含み、可動体がコイルコア部を含む点を除き、図１に示す第１実施形態に対応するポンプ１の基本的構成と同様の基本的構成を有している。よって、以下では、同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素についての説明を省略する。

＜ポンプ１Ｄの全体構成＞
　図３４～図３９に示すポンプ１Ｄは、固定体２０Ｄがマグネット７０Ｄ（７０Ｄ－１、７０Ｄ－２）を含み、可動体３０Ｄがコイルコア部６２Ｄを含んでいる点を除き、第１実施形態のポンプ１の基本的構成と同様の基本的構成を有している。

　図３４～図３６に示すように、本実施形態のポンプ１Ｄにおいて、固定体２０Ｄは、平面視矩形状のケース２１Ｄと、ケース２１Ｄの上方に開口する開口部分を覆うカバー２２Ｄと、ケース２１Ｄの長手方向で離間する両端壁部の内面上にそれぞれ設けられた一対のヨーク７３と、一対のヨーク７３上にそれぞれ設けられた一対のマグネット７０Ｄ－１、７０Ｄ－２と、を有する。また、ケース２１Ｄの奥行方向で離間する両端壁部の内面上には、一対のポンプ部８０Ｄがそれぞれ設けられている。したがって、一対のポンプ部８０Ｄは、ケース２１Ｄの奥行方向、すなわち、可動体３０Ｄの往復回転（回動）方向で、可動体３０Ｄを挟む位置で、互いに対向して配置されている。

　ケース２１Ｄ内において、軸部４０Ｄは、ケース２１Ｄの底面であって、長手方向の両端部の一方の側の部分から、ケース２１の高さ方向に延在するよう、設けられている。可動体３０Ｄの軸受け部３４に軸部４０Ｄを挿通させることにより、可動体３０Ｄがケース２１Ｄ内において、軸部４０Ｄを中心として、往復回転（回動）自在に支持される。

　一対のヨーク７３は、ケース２１Ｄの長手方向で離間する両端壁部の内面上にそれぞれ設けられる。一対のヨーク７３のそれぞれは、磁性材料から構成され、ケース２１の端壁部と対向する平坦面と、該平坦面と反対側の円弧状面と、を含む略直方体形状を有している。各ヨーク７３は、平坦面がケース２１の端壁部の内面と対向し、円弧状面がケース２１の内側に向くよう、ケース２１の端壁部の内面上に固定されている。したがって、図３６に示すように、ケース２１Ｄの長手方向で離間する両端壁部の内面上にそれぞれ設けられた一対のヨーク７３の円弧状面が、マグネット７０Ｄ－１、７０Ｄ－２、および可動体３０Ｄを介して、互いに対向する。

＜マグネット７０Ｄ＞
　図３６に示すように、マグネット７０Ｄ－１、Ｄ－２のそれぞれは、一対のヨーク７３の円弧状面に合わせた円弧形状を有する。マグネット７０Ｄ－１、Ｄ－２は、一対のヨーク７３の円弧状面上にそれぞれ設けられている。マグネット７０Ｄ－１、Ｄ－２のそれぞれは、可動体３０Ｄと対向する磁極面７２Ｄにおいて、２つの磁極７２１Ｄ、７２２Ｄを有する。２つの磁極７２１Ｄ、７２２Ｄは、可動体３０Ｄの回転（回動）方向に沿って並べられており、互いに異なる磁極を有している。図３９Ａおよび図３９Ｂに示すように、例えば、磁極７２１Ｄは、Ｓ極であり、磁極７２２Ｄは、Ｎ極である。このように、本実施形態のポンプ１Ｄにおいては、第１実施形態～第４実施形態のポンプ１、１Ａ～１Ｃと異なり、固定体２０Ｄが、マグネット７０Ｄ－１、７０Ｄ－２を含んでいる。

＜可動体３０Ｄ＞
　本実施形態のポンプ１Ｄにおいて、可動体３０Ｄは、磁性体（強磁性体）で構成されており、コイルコア部６２Ｄとしても機能する。図３５および図３６に示すように、可動体３０Ｄは、アーム部３２４ａを有する可動体本体３２Ｄと、アーム部３２４ａ上に設けられた押圧部３５と、アーム部３２４ａの先端部上に設けられたボビン６５Ｄと、ボビン６５Ｄに巻線され、電源供給部から給電されるコイル５０Ｄと、を有する。なお、本実施形態の押圧部３５は、前述した第１実施形態から第５実施形態のポンプ１、１Ａ～１Ｃのそれぞれの押圧部３５と同様の構成を有している。

　軸受け部３４に軸部４０Ｄを挿通させることにより、可動体３０Ｄが、ケース２１Ｄ内において往復回転（回動）自在に支持される。可動体本体３２Ｄは、軸受け部３４が嵌合される中央開口部３２２（図３参照）と、可動体本体３２Ｄから軸部４０Ｄの軸方向と直交する方向に延在して設けられたアーム部３２４ａとを有している。可動体本体３２Ｄおよびアーム部３２４ａの双方は、磁性体（強磁性体）から構成されており、さらに、一体化されている。そのため、ボビン６５Ｄを介してアーム部３２４ａの先端部を取り囲むように設けられたコイル５０Ｄに通電することにより、可動体３０Ｄの両端部が互いに異なる磁極で磁化される。このように、本実施形態のポンプ１Ｄにおいては、可動体３０Ｄのアーム部３２４ａが、コイル５０Ｄが巻線されるコア部６０Ｄとして機能し、さらに、可動体３０Ｄが、コイルコア部６２Ｄとして機能する。さらに、コイル５０Ｄへの通電により、可動体３０Ｄの両端部が励磁され、コイルコア部６２Ｄのコア磁極として機能する。したがって、本実施形態のポンプ１Ｄにおいては、可動体３０Ｄは、コイルコア部６２Ｄを含んでいるものとみなすことができる。また、アーム部３２４ａの先端部には、コイルコア部６２Ｄが設けられているとみなすことができる。

　可動体３０Ｄは、一端部が、軸部４０Ｄの軸方向（回転軸）と直交する方向で、マグネット７０Ｄ－１とエアギャップを介して対向し、他端部が、軸部４０Ｄの軸方向（回転軸）と直交する方向で、マグネット７０Ｄ－２とエアギャップを介して対向するよう、ケース２１内に配置されている。また、可動体本体３２Ｄおよびアーム部３２４ａの双方は磁性体（強磁性体）から構成されているため、可動体３０Ｄの一端部とマグネット７０Ｄ－１との間、及び、可動体３０Ｄの他端部とマグネット７０Ｄ－２との間に、磁気回路が形成される。図３９Ａは、コイル５０Ｄに通電し、マグネット７０Ｄ―１と対向する可動体３０Ｄの一端部がＳ極で磁化され、マグネット７０Ｄ―２と対向する可動体３０Ｄの他端部がＮ極で磁化された状態を示している。また、図３９Ｂは、コイル５０へ電流を逆方向に流して、可動体３０Ｄの両端部の極性を逆にする、つまり、マグネット７０Ｄ―１と対向する可動体３０Ｄの一端部がＮ極で磁化され、マグネット７０Ｄ―２と対向する可動体３０Ｄの他端部がＳ極で磁化された状態を示している。図３９Ａおよび図３９Ｂに示すように、コイルコア部６２Ｄのコア磁極として機能する可動体３０Ｄの一端部と、マグネット７０Ｄ―１とによって、磁気回路が提供されている。同様に、コイルコア部６２Ｄのコア磁極として機能する可動体３０Ｄの他端部と、マグネット７０Ｄ―２とによって、磁気回路が提供されている。

＜ポンプ部８０Ｄ＞
　図３７に示されているように、一対のポンプ部８０Ｄのそれぞれは、ベース８０１、ダイヤフラム部８０２、シリンダ部８０３、バルブ８４ａ、８４ｂ、バルブカバー部８０５、及び流路形成部８０７を有する。ベース８０１は、１つの開口部を有し、この開口部内にダイヤフラム部８０２の挿入部８２２ａが背面側から挿通され、挿入部８２２ａが前面側に突出した状態で配置される。

　ダイヤフラム部８０２は、１つの挿入部８２２ａと、１つの可動壁８２２を有する。可撓性を有し弾性変形する可動壁８２２の背面側には、シリンダ部８０３の室形成部８２４が配置されている。ダイヤフラム部８０２とシリンダ部８０３は、ダイヤフラム部８０２の可動壁８２２とシリンダ部８０３の室形成部８２４とによって密閉空間である密閉室８２が構成されるよう、互いに取り付けられる。

　図３８に示すように、バルブ８４ａは、可動壁８２２及び室形成部８２４によって規定される密閉室８２と吸入部８３Ｄとを連通する流路を閉塞するよう設けられている。密閉室８２内の圧力が、所定のしきい値まで低下すると、バルブ８４ａが開放し、吸入部８３Ｄを介して、密閉室８２内に空気が吸入される。密閉室８２内の圧力が所定のしきい値を超えると、バルブ８４ａが閉塞し、吸入部８３Ｄを介した密閉室８２内への空気の吸入が停止される。バルブ８４ｂは、可動壁８２２及び室形成部８２４によって規定される密閉室８２と吐出部８６Ｄとを連通する流路を閉塞するよう設けられている。密閉室８２内の圧力が、所定のしきい値を超えると、バルブ８４ｂが開放し、吐出部８６Ｄを介して、密閉室８２内の空気が、外部に排出される。密閉室８２内の圧力が、所定のしきい値まで低下すると、バルブ８４ｂが閉塞し、吐出部８６Ｄを介した密閉室８２内から外部への空気の排出が停止される。

　図３７に戻り、バルブカバー部８０５は、シリンダ部８０３の背面側から、シリンダ部８０３に取り付けられる。また、流路形成部８０７は、バルブカバー部８０５の背面側から、バルブカバー部８０５に取り付けられる。流路形成部８０７には、密閉室８２内へ空気を吸入するための吸入部８３Ｄと、密閉室８２内から空気を排出するための吐出部８６Ｄが形成されている。吸入部８３Ｄおよび吐出部８６Ｄは、流路形成部８０７の背面側から外側に突出するよう形成されている。図３４に示すように、吸入部８３Ｄおよび吐出部８６Ｄは、ポンプ１Ｄのケース２１Ｄの短手方向の壁部から外部へ突出する。

　図３８は、吸入部８３Ｄを介して密閉室８２内に空気を吸入するための流路と、吐出部８６Ｄを介して密閉室８２内の空気を排出するための流路を示している。図３８中の矢印が空気の流れを示している。バルブ８４ａが開放すると、吸入部８３Ｄを介して密閉室８２内に空気を吸入される。一方、バルブ８４ｂが開放すると、吐出部８６Ｄを介して密閉室８２内の空気が外部に排出される。前述した第１実施形態～第４実施形態のポンプ１、１Ａ～１Ｃと同様に、密閉室８２の挿入部８２２ａには、押圧部３５の押圧子３５１が接続されている。そのため、可動体３０Ｄが往復回転（回動）すると、可動体３０Ｄの往復回転運動（回動運動）に伴い、密閉室８２内の圧力が変化し、密閉室８２への空気の吸入および密閉室８２から外部への空気の排出が実行される。

　次に、図３９Ａおよび図３９Ｂを参照して、ポンプ１Ｄにおける可動体３０Ｄの往復回転運動を説明する。図３９Ａは、コイル５０Ｄに通電し、マグネット７０Ｄ―１と対向する可動体３０Ｄの一端部がＳ極で磁化され、マグネット７０Ｄ―２と対向する可動体３０Ｄの他端部がＮ極で磁化された状態を示している。図３９Ａに示されているように、Ｓ極となる可動体３０Ｄの一端部は、Ｓ極であるマグネット７０Ｄ－１の磁極７２１Ｄと反発する一方、Ｎ極であるマグネット７０Ｄ－１の磁極７２２Ｄと引き付けあう。この結果、可動体３０ＤをＦ１方向に回転（回動）させる推力が可動体３０Ｄの一端部において発生する。一方、Ｎ極となる可動体３０Ｄの他端部は、Ｓ極であるマグネット７０Ｄ－２の磁極７２１Ｄと引き付けあう一方、Ｎ極であるマグネット７０Ｄ－２の磁極７２２Ｄと反発する。この結果、可動体３０ＤをＦ１方向に回転（回動）させる推力が可動体３０Ｄの他端部において発生する。

　また、図３９Ｂは、コイル５０へ電流を逆方向に流して、可動体３０Ｄの両端部の極性を逆にする、つまり、マグネット７０Ｄ―１と対向する可動体３０Ｄの一端部がＮ極で磁化され、マグネット７０Ｄ―２と対向する可動体３０Ｄの他端部がＳ極で磁化された状態を示している。図３９Ｂに示されているように、Ｎ極となる可動体３０Ｄの一端部は、Ｓ極であるマグネット７０Ｄ－１の磁極７２１Ｄと引き付けあう一方、Ｎ極であるマグネット７０Ｄ－１の磁極７２２Ｄと反発する。この結果、可動体３０Ｄを－Ｆ１方向に回転（回動）させる推力が可動体３０Ｄの一端部において発生する。一方、Ｓ極となる可動体３０Ｄの他端部は、Ｓ極であるマグネット７０Ｄ－２の磁極７２１Ｄと反発する一方、Ｎ極であるマグネット７０Ｄ－２の磁極７２２Ｄと引き付けあう。この結果、可動体３０Ｄを－Ｆ１方向に回転（回動）させる推力が可動体３０Ｄの他端部において発生する。このような構成により、コイル５０Ｄに適切な周波数の交流電流を供給することにより、ケース２１Ｄ内において、軸部４０Ｄを中心として、可動体３０Ｄが、好適に回転往復（回動）する。

　このように、ポンプ１Ｄでは、第１実施形態と同様に、コイル５０Ｄへ供給する電流の向きを変えることで、コイルコア部６２Ｄを含む可動体３０Ｄを、振動方向に往復運動（往復振動）させることができる。なお、このポンプ１Ｄの駆動原理は、上記式（１）、（２）、（３）、（４）、（５）によって実現される第１実施形態のポンプ１と同様の動作原理である。なお、本実施形態においては、往復回転（回動）する可動体３０Ｄのアーム部３２４ａにコイル５０Ｄが設けられているため、本実施形態の振動アクチュエータ１０は、ムービングコイルタイプのアクチュエータである。一方、上述の第１実施形態～第４実施形態においては、往復回転（回動）する可動体３０、３０Ａ、３０Ｂ、又は３０Ｃにマグネット７０、７０Ａ、７０Ｂ、又は７０Ｃが設けられているため、第１実施形態～第４実施形態の振動アクチュエータ１０のそれぞれは、ムービングマグネットタイプのアクチュエータである。

　ここまで詳述した各実施形態のポンプは、例えば、ウェアラブル装置に搭載され、血圧等を測定してもよい。また、ポンプ装置としては、ポンプをカフに一体に設けた血圧計としてもよい。また、水槽に設置するエアポンプとして用いることができる。ポンプ装置の駆動源は、乾電池等の電池により駆動可能とするができる。この場合、乾電池の電流をポンプ駆動用の電流に変換する、つまり、直流を交流に変換する構成とすることは勿論である。

＜第６実施形態＞
　図４０は、本発明の第５実施形態に係る空気供給装置を模式的に示す図である。図４０に示すポンプ装置は、例えば、空気供給装置としての血圧装置１０Ｅである。

　血圧装置１０Ｅは、カフ１０２と、カフ１０２に空気を送る管部５と、駆動ユニット１０４とを有する。

　駆動ユニット１０４は、駆動制御部１０６と、本実施形態のポンプ１Ａ～１Ｄのいずれか１つである共振ポンプ１Ｅとを有する。駆動制御部１０６から、共振ポンプ１Ｅを駆動するために変換された駆動信号が入力される。

　駆動制御部１０６は、共振ポンプ１Ｅに接続されており、振動アクチュエータ１０を駆動するための回路が実装されている。駆動制御部１０６は、共振ポンプ１Ｅに対して駆動信号を供給する。

　共振ポンプ１Ｅは、駆動制御部１０６からの駆動信号に従って駆動する。具体的には、共振ポンプ１Ｅの吐出部８６に管部５を接続した状態において、可動体３０が振動し、ポンプ部８０を駆動することにより、血圧計検査器等のカフに好適に空気を供給できる。

　この構成により、薄型で所望の圧力・流量を確保することができる。以上、本発明の実施形態について説明した。なお、以上の説明は本発明の好適な実施形態の例証であり、本発明の範囲はこれに限定されない。つまり、上記装置の構成や各部分の形状についての説明は一例であり、本発明の範囲においてこれらの例に対する様々な変更や追加が可能であることは明らかである。

　本発明に係るポンプ及び空気供給装置は、より薄型化を図ることができ高い吐出圧力及び大きな搬送流量を確保できる効果を有し、例えば、薄型化高出力化が望まれるウェアラブル装置として有用である。したがって、本発明は産業上の利用可能性を有する。

Claims

　電磁駆動する振動アクチュエータと、
　前記振動アクチュエータの電磁駆動により流体を吸入吐出するポンプ部とを有し、
　前記振動アクチュエータは、
　コイル及び前記コイルが巻回されるコア部を有するコイルコア部と、前記コア部の端部と対向配置されるマグネットとのうちの一方を含み、前記ポンプ部が設けられている固定体と、
　前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの他方を含み、前記マグネットの磁気吸引力により弾性保持される可動体と、
　前記可動体を往復回転自在に支持する軸部と、
　を有し、
　前記ポンプ部は、
　前記可動体の回転移動により可動する可動壁と、
　流体の吐出口及び流体の吸入口に連通し、前記可動壁の変位により容積が変更される密閉室と、
　を有し、
　前記可動体は、前記可動体の往復回転運動に伴い前記軸部を中心に円弧状に移動して、前記可動壁に当接して押圧する押圧部を有し、
　前記可動壁は、前記押圧部の移動方向に配置され、前記押圧部に押圧された際に変位して前記密閉室内の流体を、前記吐出口を介して吐出する、ことを特徴とするポンプ。
　前記可動体は、前記軸部により往復回転自在に軸支された部位から前記軸部の軸方向と直交する方向に延在して設けられ、先端部に、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの他方が設けられるアーム部を有し、
　前記密閉室は、一対設けられており、
　一対の前記密閉室は、前記アーム部を、前記アーム部が往復回転方向で挟む位置に、互いに対向して配置され、
　前記押圧部は、一対の前記可動壁に対応する押圧子を一対有し、
　前記密閉室の前記可動壁のそれぞれは、前記アーム部が往復回転した際に、前記押圧子により押圧される、請求項１に記載のポンプ。
　前記可動体は、中央部で前記軸部により往復回転自在に軸支されるとともに、前記中央部から前記軸部の軸方向と直交する方向で互いに逆向きに延在する一対のアーム部を有し、
　前記アーム部のそれぞれの先端部には、前記コイルコア部と前記マグネットのうちの他方が設けられ、
　前記固定体には、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記他方に対向して、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記一方が設けられ、
　前記密閉室は、一対設けられており、
　一対の前記密閉室は、一対の前記アーム部の延在方向に沿って並列に配置され、
　前記押圧部は、一対の前記可動壁に対応する押圧子を一対有し、
　前記密閉室の前記可動壁のそれぞれは、前記アーム部が往復回転した際に、前記押圧部により押圧される、請求項１に記載のポンプ。
　一対の前記密閉室は、それぞれの前記吐出口どうしが接続されている、請求項３に記載のポンプ。
　前記押圧子は、前記可動壁に接続されている、請求項２から４のいずれか一項に記載のポンプ。
　前記マグネットは、前記可動体及び前記固定体のうちの一方に設けられ、前記可動体及び前記固定体のうちの他方に設けられる前記コイルコア部の前記コア部とで磁気ばねを構成する、請求項１から５のいずれか一項に記載のポンプ。
　前記マグネットは、３極に着磁され、
　前記コイルコア部の前記コア部は、一つの前記コイルが巻回され、且つ、前記マグネットの着磁方向で前記マグネットに対向する２磁極を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載のポンプ。
　前記マグネットは、４極に着磁され、
　前記コイルコア部の前記コア部は、一つの前記コイルが巻回され、且つ、前記マグネットの着磁方向で前記マグネットに対向する３磁極を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載のポンプ。
　前記マグネットは、４極に着磁され、
　前記コイルコア部の前記コア部は、３つの前記コイルがそれぞれ巻回され、且つ、前記マグネットの着磁方向で前記マグネットに対向する３磁極を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載のポンプ。
　前記可動体は、一端部で前記軸部により往復回転自在に軸支され、他端部側に前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記他方を有し、
　前記固定体は、前記他方に対して、前記可動体の回転軸と直交する方向で対向する、前記コイルコア部と前記マグネットとのうちの前記一方を有し、
　前記マグネットは、２極に着磁されている、請求項１から６のいずれか一項に記載のポンプ。
　前記コア部は、一つの前記コイルが巻回された３磁極を有する、請求項１０に記載のポンプ。
　前記可動体は、一端部で前記軸部により往復回転自在に軸支され、さらに、前記コイルコア部を含み、
　前記固定体は、前記コイルコア部に対して、前記可動体の回転軸と直交する方向で対向する、前記マグネットを含む、請求項１または２に記載のポンプ。
　請求項１から１２のいずれか一項に記載のポンプを含むことを特徴とする空気供給装置。