JP2004064838A

JP2004064838A - リニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置

Info

Publication number: JP2004064838A
Application number: JP2002217510A
Authority: JP
Inventors: Yukinobu Yumita; 弓田　行宣
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2002-07-26
Filing date: 2002-07-26
Publication date: 2004-02-26

Abstract

【課題】渦電流損が小さく、かつ、安価に製造可能なヨークを用いたリニアアクチュエータ、それを用いたそれを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置を提供すること。
【解決手段】インナーヨーク３と、インナーヨーク３との間に第１の間隙６、および第２の間隙７を構成するアウターヨークと、間隙６、７内に平板状のマグネット９を備える可動体５とを有するリニアアクチュエータ１において、アウターヨーク４は、断面Ｕ字形状にプレス加工してなる複数枚の磁性薄板４０を内側から外側に積層された構造を備えている。
【選択図】　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シリンダ内でピストンが直線運動するようなポンプ装置やコンプレッサー装置でも、それに使用されるアクチュエータは、回転運動を出力するモータが使用されているため、モータの出力軸とピストンとの間でクランクシャフトで回転運動を直線運動に変換している。このため、力の伝達効率が低いという問題点がある。
【０００３】
そこで、図９に示すように、インナーヨーク１０３と、このインナーヨーク１０３に対して軸線方向と直交する位置で対向して、インナーヨーク１０３との間に軸線方向で離間する第１の隙間１０９Ａおよび第２の隙間１０９Ｂを構成するアウターヨーク１０４と、アウターヨーク１０４、第１の隙間１０９Ａ、インナーヨーク１０３、第２の隙間１０９Ｂを磁路とする交番磁界を発生させるコイル１０８と、インナーヨーク１０３とアウターヨーク１０４との間において交番磁界に連動して軸線方向に交互に駆動される可動体１０６とを有するリニアアクチュエータが検討されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成のリニアアクチュエータにおいて、インナーヨーク１０３、およびアウターヨーク１０４を通常の焼結体で製造すると比較的、安価に製造できるが、渦電流損が大きいという問題点がある。また、渦電流損が小さくなるように特殊な磁粉を用いて焼結体を製造すると高価になるという問題点がある。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、渦電流損が小さく、かつ、安価に製造可能なヨークを用いたリニアアクチュエータ、それを用いたそれを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、インナーヨークと、該インナーヨークの外周面との間に軸線方向で離間する第１の隙間および第２の隙間を形成するように当該インナーヨークの周りに配置されたアウターヨークと、前記インナーヨークを囲むように巻回されて前記アウターヨーク、前記第１の隙間、前記インナーヨーク、前記第２の隙間、および前記アウターヨークを磁路として前記第１の隙間および前記第２の隙間に交番磁界を発生させるコイルと、前記インナーヨークと前記アウターヨークとの間において軸線方向に交互に磁気駆動される可動体とを有するリニアアクチュエータにおいて、前記アウターヨークは、前記コイルを囲むように屈曲する複数枚の磁性薄板が絶縁層を挟んで内側から外側に積層されてなることを特徴とする。
【０００７】
本発明のリニアアクチュエータにおいて、コイルに交流電流を通電すると、アウターヨーク、第１の隙間、インナーヨーク、第２の隙間を経て再びアウターヨークに至る磁路に交番磁界が発生し、この交番磁界に連動して、可動体は、軸線方向に往復駆動される。従って、可動体から往復直線運動を出力することができる。また、本発明において、アウターヨークは、コイルを囲むように屈曲する複数枚の磁性薄板が絶縁層を挟んで内側から外側に積層されているため、一体品からなるヨークを用いたものと比較して渦電流に起因する損失が小さい。また、アウターヨークは、所定形状のプレス加工した磁性薄板を積層することにより形成できるため、安価に製造することができる。
【０００８】
本発明において、前記アウターヨークは、例えば、断面Ｕ字形状に折り曲げられた複数枚の前記磁性薄板が前記絶縁層を挟んで内側から外側に積層されてなる断面Ｕ字形状の一対のヨーク片を内側同士が向き合うように軸線方向で重ねることにより構成されている。このように構成すると、アウターヨークがコイルを囲むような形状を有している場合でも、磁性薄板については断面Ｕ字形状といった簡単な折り曲げ形状でよく、このような形状であればプレス加工で容易に実現できる。
【０００９】
本発明において、前記アウターヨークは、軸線方向からみたときに円環状となるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、周方向全体から可動体に対する推力を得ることができる。
【００１０】
本発明において、前記アウターヨークは、軸線方向からみたときに多角形の辺に相当する位置に複数、分割して配置されていることが好ましい。このように構成すると、円環状のマグネットを用いなくても板状のマグネットで済むので、量産に適している。
【００１１】
本発明において、前記磁性薄板は、プレス加工により折り曲げ形成されてなることが好ましい。
【００１２】
本発明に係るリニアアクチュエータは、各種流体を供給するためのポンプ装置、あるいはコンプレッサー装置として利用できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図面を参照して、本発明を適用したリニアアクチュエータを説明する。
【００１４】
［実施の形態１］
図１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係るリニアアクチュエータの要部平面図、および半断面図である。図２は、このリニアアクチュエータに用いたアウターヨークの説明図である。図３は、このアウターヨークを構成する磁性薄板の説明図である。図４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、このリニアアクチュエータの動作を示す説明図である。
【００１５】
図１（Ａ）、（Ｂ）において、本形態のリニアアクチュエータ１は、各種流体を供給するためのポンプ装置、あるいはコンプレッサー装置に用いられるもので、ステータ側を保持するフレーム２と、このフレーム２に対して軸線Ｌに沿って往復移動可能な可動体５とから構成されている。
【００１６】
フレーム２には、円筒状のインナーヨーク３が配置されているとともに、その外周側にはアウターヨーク４が配置されている。
【００１７】
アウターヨーク４は、断面Ｕ字形状を備えた上下２つのヨーク片４１、４２から構成されている。各々のヨーク片４１、４２において、その内側で軸線方向に折れ曲がった部分４１０、４２０（第１のアウターヨーク部分）が、インナーヨーク３の外周面に対して、軸線方向で離間する第１の隙間６、および第２の隙間７を介して対向している。
【００１８】
アウターヨーク４において、２つのヨーク片４１、４２の内側に構成された空間内には、円環状の平面形状を備えたボビン８０に巻回されたコイル８が配置され、このコイル８は、インナーヨーク３の周りを囲んでいる。また、アウターヨーク４において、外側で軸線方向に折れ曲がった部分４１１、４２１（第２のアウターヨーク部分）は、コイル８の外側を覆っている
可動体５は、例えば、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石、あるいは樹脂マグネットからなる円筒状のマグネット９を備えた樹脂成形品であり、このマグネット９は、表裏がそれぞれ反対の極に着磁されている。
【００１９】
可動体５は、マグネット９がインナーヨーク３とアウターヨーク４との第１の隙間６と、第２の隙間７に跨るように配置されている。また、可動体５の底部５１は、丸棒状あるいは円筒状の作動軸（図示せず）の基端側の固定部になっている。
【００２０】
本形態において、アウターヨーク４を構成するヨーク片４１、４２は、図２に示すように、断面Ｕ字形状を有する円筒体であり、内側同士が向き合うように軸線方向で重ねられて、内側にコイル８を配置する空間が構成されている。
【００２１】
ヨーク片４１、４２はいずれも、図３に示すように、断面Ｕ字形状に絞り加工（プレス加工）してなる磁性薄板４０を異なるサイズで形成し、そのうち、サイズが大きいものの内側にサイズが小さなものを嵌めこんだ構造になっている。ここで、磁性薄板４０は、表裏が薄い絶縁層（図示せず）で覆われた状態にあり、ヨーク片４１、４２では、磁性薄板４０が薄い絶縁層を挟んで内側から外側に積層された構造になっている。
【００２２】
また、図１に示すように、インナーヨーク３も、カップ状に絞り加工（プレス加工）された磁性薄板４０の底部を除去した円筒状のものが絶縁層（図示せず）を挟んで内側から外側に積層された構造になっている。
【００２３】
このように構成したリニアアクチュエータ１において、マグネット９の内側の面がＳ極に着磁され、外側の面がＮ極に着磁されている場合には、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、点線の矢印Ｂ１、Ｂ２で示す磁界が発生している。この状態でコイル８に交流電流を流したとき、図４（Ａ）に示すように、図面の向こう側から手前側に電流が流れている期間では、点線の矢印Ｂ３に示す磁界が発生し、第１の隙間６の側では、マグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが同一であるに対して、第２の隙間７の側ではマグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが反対である。その結果、マグネット９には、軸線方向における下方（第２の隙間７の方）に向かう力が作用する。
【００２４】
これに対して、図４（Ｂ）に示すように、図面の手前側から向こう側に電流が流れている期間では、点線の矢印Ｂ４に示す磁界が発生し、第１の隙間６の側では、マグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが反対であるに対して、第２の隙間７の側ではマグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが同一である。その結果、マグネット９には、軸線方向における上方（第１の隙間６の方）に向かう力が作用する。
【００２５】
このようにしてマグネット９には、コイル８による交番磁界の向きに対応して、軸線方向に加わる力の向きが入れ代わるので、それと一体の可動体５が軸線方向に振動し、可動体５に取り付けられたピストンから往復直線運動を出力することができる。
【００２６】
また、アウターヨーク４は、コイル８を囲むように屈曲する複数枚の磁性薄板４０が絶縁層を挟んで内側から外側に積層されているため、一体品からなるヨークを用いたものと比較して渦電流に起因する損失が小さい。
【００２７】
さらに、アウターヨーク４は、所定形状のプレス加工した磁性薄板４０を積層することにより形成できるため、安価に製造することができる。しかも、磁性薄板４０は、断面Ｕ字形状に加工されており、このような断面Ｕ字形状であれば、絞り加工で容易に実現できる。
【００２８】
さらにまた、アウターヨーク４、インナーヨーク３、およびマグネット９は、軸線方向からみたときに円環状となるように形成されているため、周方向全体から可動体５に対する推力を得ることができる。
【００２９】
［実施の形態２］
図５（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係るリニアアクチュエータの要部平面図、およびその改良例に係るリニアアクチュエータの要部平面図である。図６は、このリニアアクチュエータに用いたアウターヨークの説明図である。図７は、このアウターヨークを構成する磁性薄板の説明図である。なお、本形態のリニアアクチュエータの基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する機能を有する部分には同一の符号を付して説明する。また、本形態のリニアアクチュエータの縦断面などは、図１（Ｂ）および図４と同様に表わされるため、図１（Ｂ）も参照して説明する。
【００３０】
図１（Ｂ）および図５（Ａ）において、本形態のリニアアクチュエータ１も、各種流体を供給するためのポンプ装置、あるいはコンプレッサー装置に用いられるもので、インナーヨーク３の外周側にはアウターヨーク４が配置されている。
【００３１】
本形態において、インナーヨーク３は、軸線方向からみたときに正八角形の辺に相当する位置に分割、配置され、周方向に等角度間隔に８枚、配置された状態にある。各インナーヨーク３は、平板状を有しており、アウターヨーク４との対向面（外面）、およびその裏面（内面）のいずれもが平面になっている。
【００３２】
本形態においては、アウターヨーク４も、軸線方向からみたときに正八角形の辺に相当する位置に分割、配置され、周方向に等角度間隔に８個、配置された状態にある。
【００３３】
アウターヨーク４は、断面Ｕ字形状を備えた上下２つのヨーク片４１、４２から構成されている。各々のヨーク片４１、４２において、その内側で軸線方向に折れ曲がった部分４１０、４２０（第１のアウターヨーク部分）が、インナーヨーク３の外周面に対して、軸線方向で離間する第１の隙間６、および第２の隙間７を介して対向している。
【００３４】
本形態において、アウターヨーク４を構成するヨーク片４１、４２は、図６に示すように、断面Ｕ字形状を有しており、内側同士が向き合うように軸線方向で重ねられて、内側にコイル８を配置する空間が構成されている。
【００３５】
ここで、ヨーク片４１、４２はいずれも、図７に示すように、断面Ｕ字形状にプレス加工してなる磁性薄板４０を異なるサイズで形成し、そのうち、サイズが大きいものの内側にサイズが小さなものを嵌めこんだ構造になっている。ここで、磁性薄板４０は、表裏が薄い絶縁層（図示せず）で覆われた状態にあり、ヨーク片４１、４２では、断面Ｕ字形状にプレス加工してなる磁性薄板４０が薄い絶縁層を挟んで内側から外側に積層された構造になっている。
【００３６】
再び図１（Ｂ）および図５において、インナーヨーク３は、平板状に打ち抜き加工（プレス加工）された磁性薄板４０が絶縁層（図示せず）を挟んで内側から外側に積層された構造になっている。
【００３７】
アウターヨーク４において、２つのヨーク片４１、４２の間に構成される空間内には、円環状の平面形状を備えたボビン８０に巻回されたコイル８が配置され、このコイル８は、インナーヨーク３の周りを囲んでいる。また、アウターヨーク４において、外側で軸線方向に折れ曲がった部分４１１、４２１（第２のアウターヨーク部分）は、コイル８の外側を覆っている。
【００３８】
本形態でも、可動体５は、例えば、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石、あるいは樹脂マグネットからなるマグネット９がインナーヨーク３とアウターヨーク４との第１の隙間６と、第２の隙間７に跨るように配置されている。
【００３９】
ここで、マグネット９としては平板状のものが用いられ、可動体５において、マグネット９は、樹脂製のマグネット保持部５２に形成されている溝５２０に両端を差し込んだ状態で保持されている。また、マグネット保持部５２は、軸線方向からみたときに略三角形の平面形状をしており、三角形の頂点に相当する部分は、隣接するインナーヨーク３の間に楔状に入り込んでる一方、三角形の底辺に相当する部分は、隣接するアウターヨーク４の間に入り込んでいる。
【００４０】
このように構成したリニアアクチュエータ１においても、実施の形態１について図４を参照して説明したように、コイル８による交番磁界の向きに対応して、マグネット９に対して軸線方向に加わる力の向きが入れ代わるので、それと一体の可動体５が軸線方向に振動し、可動体５に取り付けられたピストンから往復直線運動を出力することができる。
【００４１】
また、アウターヨーク４は、コイル８を囲むように屈曲する複数枚の磁性薄板４０が絶縁層を挟んで内側から外側に積層されているため、一体品からなるヨークを用いたものと比較して渦電流に起因する損失が小さい。
【００４２】
さらに、アウターヨーク４は、所定形状のプレス加工した磁性薄板４０を積層することにより形成できるため、安価に製造することができる。しかも、磁性薄板４０は、断面Ｕ字形状に加工されており、このような断面Ｕ字形状であれば、絞り加工で容易に実現できる。
【００４３】
また、本形態では、アウターヨーク４およびインナーヨーク３は、各々平面的な対向面をもっているが、周方向において等角度間隔に８体、配置されているため、実質的には、アウターヨーク４およびインナーヨーク３の対向面を円弧状に構成したのと同等の磁気効率をもって駆動力を発生させることができ、かつ、このような形状のインナーヨーク３やアウターヨーク４であれば量産が容易である。また、アウターヨーク４およびインナーヨーク３の対向面が平面であれば、平板状のマグネット９を使用でき、このようなマグネット９も量産が容易である。それ故、本形態によれば、量産可能な安価なリニアアクチュエータ１を提供することができる。
【００４４】
また、可動体５は、軸線方向に起立する細長いマグネット保持部５２とを備え、これらのマグネット保持部５２は、軸線方向からみたときに略三角形の平面形状をもって、隣接するインナーヨーク３の間、および隣接するアウターヨーク４の間に入り込んでいる。従って、マグネット９として、強力な平板状のマグネット９を使用しても、隣接するマグネット９の磁力によってマグネット６の姿勢や形状などが変わってしまうことを防止でき、組み立てやすいという利点ある。
【００４５】
なお、上記形態では、円環状に巻回されたコイル８を用いたが、図５（Ｂ）に示すように、コイル８が略多角形に巻回されて、アウターヨーク４の内側を通る部分が直線的になっていることが好ましい。このように構成すると、コイル８を円状に巻回した場合と違って、コイル８とアウターヨーク４との間に隙間８８（図５（Ａ）を参照）が発生しない。従って、狭い空間内でコイル８の巻回数を増やすことができ、リニアアクチュエータ１の性能を向上することができる。逆に言えば、コイル８の巻回数を同一としたとき、アウターヨーク４の半径方向の幅を狭くでき、小型化を図ることができる。
【００４６】
また、磁気効率という観点から、上記形態では、インナーヨーク３、およびアウターヨーク４をそれぞれ８体としたが、それ以外の多角形であってもよい。
【００４７】
［ポンプ装置並びにコンプレッサー装置への搭載例］
本発明を適用したリニアアクチュエータ１については、図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して説明するように、ポンプ装置並びにコンプレッサー装置に適用できる。
【００４８】
図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明を適用したエアーポンプ装置の平面図、断面図、および底面図であり、図８（Ｂ）において、リニアアクチュエータ１に相当する部分は太線で囲ってある。
【００４９】
図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、本形態のエアーポンプ装置１００では、リニアアクチュエータ１の可動体５に対して作動軸１１０の基端側がワッシャ１５１、１５２を介してナット１５３で連結され、作動軸１１０は、インナーヨーク３を保持するフレーム２の穴１６を貫通する状態にある。作動軸１１０の基端側は、フレーム２に保持された軸受１５４によって支持され、かつ、作動軸１１０の周りには２本のスプリング１６１、１６２が装着されている。２本のスプリング１６１、１６２のうち、作動軸１１０の基端側に装着されたスプリング１６１は、フレーム２の穴１６内に形成されている段差１７と、作動軸１１０に装着されたＥ型止め輪１６３で両端が支持され、作動軸１１０の先端側に装着されたスプリング１６２は、Ｅ型止め輪１６３と、フレーム２の底部に固定されたスプリング押さえ１６４とによって両端が支持されている。
【００５０】
フレーム２の底部には、エアー吸い込み口１７１およびエアー吐出口１７２を備えたケース１７０がボルト１７３で固定され、エアー吸い込み口１７１にはフィルタ１７４が装着されている。ケース１７０の内側にはシリンダケース１２０が配置され、シリンダケース１２０の底部において、エアー吸い込み口１７１と対峙する部分には、バルブ押さえ１４３によってバルブ１４１が固定され、エアー吐出口１７２と対峙する部分にはバルブ押さえ１４４によってバルブ１４２が固定されている。
【００５１】
シリンダケース１２０の内部は、シリンダケース１２０の底部との間にシリンダ室１２２を構成するピストン１３０が配置され、このピストン１３０の側面には、シリンダケース１２０の内周側面との気密を確保するための加圧リング１３５が装着されている。
【００５２】
ピストン１３０に対しては、作動軸１１０の先端部分がワッシャ１３７、１３８およびＯリング１３６を介してナット１３９で固定されており、作動軸１１０の振動によって、ピストン１３０が軸線方向に駆動される。従って、リニアアクチュエータ１によって作動軸１１０が軸線方向の基端側（図面に向かって上方）に移動すると、エアー吸い込み口１７１からシリンダ室１２２内に空気が吸い込まれ、リニアアクチュエータ１によって作動軸１１０が軸線方向の先端側（図面に向かって下方）に移動すると、シリンダ室１２２内の空気がエアー吐出口１７２から吐出される。また、このような作動軸１１０の振動に対してスプリング１６１、１６２が共振するので、小型のリニアアクチュエータ１を用いたエアーポンプ装置１００であっても、優れたポンプ特性を備えている。
【００５３】
［その他の実施の形態］
なお、上記形態では、可動体５０の方にマグネット９を設け、それをインナヨーク３とアウターヨーク４との間に配置したが、可動体５０に磁性体を設ける一方、アウターヨーク３とインナヨーク４に対して磁気的に結合するようにマグネットを配置して、図４に実線の矢印Ｂ１、Ｂ２で示すバイアス磁界を発生させたリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のリニアアクチュエータにおいて、コイルに交流電流を通電すると、アウターヨーク、第１の隙間、インナーヨーク、第２の隙間を経てアウターヨークに至る磁路に交番磁界が発生し、この交番磁界に連動して、可動体は、軸線方向に往復駆動される。従って、可動体から往復直線運動を出力することができる。また、本発明において、アウターヨークは、コイルを囲むように屈曲する複数枚の磁性薄板が絶縁層を挟んで内側から外側に積層されているため、一体品からなるヨークを用いたものと比較して渦電流に起因する損失が小さい。また、アウターヨークは、所定形状のプレス加工した磁性薄板を積層することにより形成できるため、安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係るリニアアクチュエータの要部平面図、および半断面図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータに用いたアウターヨークの説明図である。
【図３】図２に示すアウターヨークを構成する磁性薄板の説明図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図１に示すリニアアクチュエータの動作を示す説明図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係るリニアアクチュエータの要部平面図、およびその改良例に係るリニアアクチュエータの要部平面図である。
【図６】図５に示すリニアアクチュエータに用いたアウターヨークの説明図である。
【図７】図６に示すアウターヨークを構成する磁性薄板の説明図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータを備えたエアーポンプ装置の平面図、断面図、および底面図である。
【図９】従来のリニアアクチュエータの説明図である。
【符号の説明】
１　リニアアクチュエータ
２　フレーム
３　インナーヨーク
４　アウターヨーク
５　可動体
６　第１の隙間
７　第２の隙間
８　コイル
９　マグネット
４０　磁性薄板
４１、４２　ヨーク片

Claims

インナーヨークと、該インナーヨークの外周面との間に軸線方向で離間する第１の隙間および第２の隙間を形成するように当該インナーヨークの周りに配置されたアウターヨークと、前記インナーヨークを囲むように巻回されて前記アウターヨーク、前記第１の隙間、前記インナーヨーク、前記第２の隙間、および前記アウターヨークを磁路として前記第１の隙間および前記第２の隙間に交番磁界を発生させるコイルと、前記インナーヨークと前記アウターヨークとの間において前記交番磁界に連動して軸線方向に往復駆動される可動体とを有するリニアアクチュエータにおいて、
前記アウターヨークは、前記コイルを囲むように屈曲する複数枚の磁性薄板が絶縁層を挟んで内側から外側に積層されてなることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項１において、前記アウターヨークは、断面Ｕ字形状に折り曲げられた複数枚の前記磁性薄板が前記絶縁層を挟んで内側から外側に積層されてなる断面Ｕ字形状の一対のヨーク片を内側同士が向き合うように軸線方向で重ねることにより構成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項２において、前記アウターヨークは、軸線方向からみたときに円環状となるように形成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項２において、前記アウターヨークは、軸線方向からみたときに多角形の辺に相当する位置に複数、配置されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項３または４において、前記磁性薄板は、プレス加工により折り曲げ形成されてなることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項１ないし５のいずれかに規定するリニアアクチュエータを用いたことを特徴とするポンプ装置。
請求項１ないし５のいずれかに規定するリニアアクチュエータを用いたことを特徴とするコンプレッサー装置。