WO2021177370A1

WO2021177370A1 - 微細凹凸構造物及び微細凹凸構造物の製造方法

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Publication number: WO2021177370A1
Application number: PCT/JP2021/008253
Authority: WO
Inventors: 隆誠加藤; 晴貴越峠
Original assignee: 三菱ケミカル株式会社
Priority date: 2020-03-06
Filing date: 2021-03-03
Publication date: 2021-09-10
Also published as: JP7367842B2; JPWO2021177370A1

Abstract

吸着性能が優れた微細凹凸構造物及び微細凹凸構造物の製造方法の提供。頂面が凹形状とされた複数の凸部（２２）を有する微細凹凸構造を、少なくとも１つの表面に有する微細凹凸構造物（１）であって、凸部（２２）が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物の硬化物からなり、前記硬化物の押込み弾性率が０ＭＰａ超１２ＭＰａ以下である、微細凹凸構造物（１）及び微細凹凸構造物の製造方法。

Description

微細凹凸構造物及び微細凹凸構造物の製造方法

　本発明は、微細凹凸構造物及び微細凹凸構造物の製造方法に関する。より詳細には、本発明は、吸着シートとしての有用性が高い微細凹凸構造物及びその製造方法に関する。
　本願は、２０２０年３月６日に、日本に出願された特願２０２０－０３９０２１号、及び２０２０年８月７日に、日本に出願された特願２０２０－１３４５６５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　吸着性を有する吸着シートは、家具若しくは家電の転倒すべり防止シート、カーペットのバッキング材又は自動車内装材へ貼り付け固定ができ且つ容易に剥離できるシート等として用いられている。
　このような吸着性を有する吸着シートには、主にアクリル又はゴム等の材料からなる発泡シートが用いられている（特許文献１）。前記発泡シートの材料としては、エマルション系の材料が主流である。しかし、エマルション系の材料は、再剥離性には優れる一方で、耐水性が悪く、汚れた際に水洗いをすると吸水して膨潤し、吸着性が低下するという問題があった。また、発泡シートは水中における吸着が困難であることも問題であった。

　また、エレクトロニクス業界のディスプレイ又は有機ＥＬ照明等の製造では、各種フィルム基板（ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート又はポリエチレンナフタレート等）、ガラス又はＳｉ基板上への各種金属膜又はＩＴＯ膜の蒸着、スパッタ成膜又はパターン形成加工等を行う際に、基板と固定台とを仮固定する必要がある。
　この仮固定には、成膜後に再剥離可能な粘着テープとして、加熱により発泡して剥離するテープ、低温で剥がれる冷却剥離テープ、又は弱粘着のアクリル系若しくはシリコーン系の両面テープ等が用いられている。
　しかし、再剥離可能な粘着テープは、仮固定のために貼る際、気泡を咬み込むことにより、基板の平滑性が損なわれ、高精度なパターン形成加工が阻害される問題がある。
　吸着シートは、この再剥離可能な粘着テープに代わり、仮固定を担う部材として期待されている。

　最近、シート上に吸盤状の凸部、すなわち、頂面が凹形状とされた凸部を複数配置させることにより吸着性を持たせた吸着シートが報告されている（非特許文献１）。非特許文献１の吸着シートは、水中での吸着が可能であり、吸着後の平滑性にも優れている。

日本国特開平１－２５９０４３号公報

Baik, S., Kim, J., Lee, H. J., Lee, T. H., & Pang, C., Highly Adaptable and Biocompatible Octopus‐Like Adhesive Patches with Meniscus‐Controlled Unfoldable 3D Microtips for Underwater Surface and Hairy Skin., Adv. Sci. 2018, 5, 1800100.

　しかし、非特許文献１における吸着シートの吸着性能は必ずしも充分ではなかった。吸盤状の凸部による吸着性能を高めるためには、凸部頂面に、アスペクト比（凸部の面積に対する頂面の深さ）の大きい凹形状を形成する必要がある。しかし、非特許文献１には凸部全体の高さをコントロールする方法が示唆されているものの、凸部頂面のアスペクト比をコントロールする術は開示されていない。そのため、頂面のアスペクト比を大きくする方法は不明であった。
　また、頂面のアスペクト比を大きくするほど、吸盤状の凸部の形状が崩れ易いという問題もあった。

　本発明は、吸着性能に優れた微細凹凸構造物、及び凸部を複数有し、前記凸部の頂面がアスペクト比の大きい凹面とされた微細凹凸構造物の製造方法の提供を課題とする。

　［１］　頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造を、少なくとも１つの表面に有する微細凹凸構造物であって、
　前記凸部が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物の硬化物からなり、
　前記硬化物の押込み弾性率が、０ＭＰａ超、１２ＭＰａ以下である、微細凹凸構造物。
　［２］　前記硬化物の破断伸度が７０～１，５００％である、［１］に記載の微細凹凸構造物。
　［３］　前記凸部が光硬化性樹脂を含む硬化性組成物の硬化物からなる、［１］又は［２］に記載の微細凹凸構造物。
　［４］　前記硬化性組成物が、
　（Ａ）成分：２官能以上のモノマー及びオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも１種と、
　（Ｂ）成分：単官能モノマー及びオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも１種と、
　（Ｃ）成分：光重合開始剤と、
　（Ｄ）成分：添加剤と
を含み、
　前記硬化性組成物の総質量に対して、前記（Ａ）成分の含有量が１０～９９．９質量％であり、前記（Ｂ）成分の含有量が０～８９．９質量％であり、前記（Ｃ）成分の含有量が０．１～３質量％であり、前記（Ｄ）成分の含有量が０～３０質量％である、［３］に記載の微細凹凸構造物。
　［５］　前記硬化性組成物の総質量に対して、前記（Ａ）成分の含有量が１０～８９．８質量％であり、前記（Ｂ）成分の含有量が１０～８９．８質量％であり、前記（Ｃ）成分の含有量が０．１～３質量％であり、前記（Ｄ）成分の含有量が０．１～３０質量％である、［４］に記載の微細凹凸構造物。
　［６］　前記（Ａ）成分の官能基当たりの質量平均分子量が６００～５０，０００である、［４］又は［５］に記載の微細凹凸構造物。
　［７］　前記凸部は頂面が凹形状とされた円柱状である、［１］～［６］のいずれかに記載の微細凹凸構造物。
　［８］　前記凸部の底面に外接する最小円の直径が１～１０，０００μｍである、［１］～［７］のいずれかに記載の微細凹凸構造物。
　［９］　前記凸部の高さが１０～１０，０００μｍである、［１］～［８］のいずれかに記載の微細凹凸構造物。
　［１０］　前記凸部の頂面に外接する最小円の半径に対する、前記頂面の凹形状の深さの比が０．３～１．５である、［１］～［９］のいずれかに記載の微細凹凸構造物。
　［１１］　前記微細凹凸構造が表面に形成された硬化物層を備える、［１］～［１０］のいずれかに記載の微細凹凸構造物。
　［１２］　前記微細凹凸構造物が吸着シートである、［１］～［１１］のいずれかに記載の微細凹凸構造物。
　［１３］　頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造が形成された、硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化物層を備える微細凹凸構造物の製造方法であって、
　複数の凹部が形成されたヤング率が５０ＧＰａ以上の転写型に、前記複数の凹部内に気相を残存させた状態で前記複数の凹部の開口を閉塞するように未硬化の前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化性組成物を塗布する工程、
　加圧用フィルムを、塗布した前記硬化性組成物を介して前記転写型に貼着し、前記加圧用フィルムを、前記転写型に対して３３０ｋＰａ以上の均質な圧力で押圧しながら、前記未硬化の硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を硬化させる工程、並びに
　前記転写型を、硬化させた前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化物層から離す工程
を備える、微細凹凸構造物の製造方法。
　［１４］　前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種が、硬化性樹脂又は硬化性エラストマーである、［１３］に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［１５］　前記転写型のヤング率が１，０００ＧＰａ以下である、［１３］又は［１４］に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［１６］　前記硬化させる工程における圧力が３０，０００ｋＰａ以下である、［１３］～［１５］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［１７］　前記複数の凹部の各々の開口に外接する最小円の直径が１～１０，０００μｍである、［１３］～［１６］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［１８］　前記複数の凹部の深さが０．５～２０，０００μｍである、［１３］～［１７］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［１９］　前記複数の凹部の各々の開口に外接する最小円の直径に対する前記複数の凹部の深さの比の値が０．５以上である、［１３］～［１８］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［２０］　前記複数の凹部の形状が円柱状である、［１３］～［１９］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［２１］　前記塗布する工程の温度における前記硬化性組成物のＢ型粘度計で測定した粘度が１０～５，０００ｍＰａ・ｓである、［１３］～［２０］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［２２］　前記微細凹凸構造物の前記複数の凸部の頂面は前記凸部の底面に外接する最小円の半径に対する前記頂面の深さの比の値が０．３～１．５である凹形状とされている、［１３］～［２１］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［２３］　前記微細凹凸構造物は基材と前記基材上に設けられた前記硬化物層を備え、前記加圧用フィルムとして前記基材を用いる、［１３］～［２２］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　［２４］　前記微細凹凸構造物が吸着シートである、［１３］～［２３］のいずれかに記載の微細凹凸構造物の製造方法。

　本発明によれば、吸着性能に優れた微細凹凸構造物、及び凸部を複数有し、前記凸部の頂面がアスペクト比の大きい凹面とされた微細凹凸構造物の製造方法を提供できる。

本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の部分平面図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の部分縦断面図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物における凸部の縦断面を示す図である。発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物における凸部を斜め上方から斜視した図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法における塗布する工程の準備段階を模式的に説明する説明図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法における塗布する工程を模式的に説明する説明図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法における硬化させる工程を模式的に説明する説明図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法における硬化性組成物の挙動を示す説明図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法における硬化性組成物の挙動を示す説明図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法で使用する転写型の平面図である。実施例及び比較例で製造した微細凹凸構造物の面吸着力の測定方法を説明する説明図である。本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の製造方法において塗布、硬化、離型工程を連続的に実施する挙動を説明する説明図である。

　「（メタ）アクリル」は、アクリル及びメタクリルの総称である。
　「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルの総称である。
　「（メタ）アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの総称である。

［微細凹凸構造物］
　本発明の微細凹凸構造物は、頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造を、少なくとも１つの表面に有する微細凹凸構造物であって、前記凸部が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物の硬化物からなり、前記硬化物の押込み弾性率が、０ＭＰａ超、１２ＭＰａ以下である、微細凹凸構造物である。
　以下では、図１～３を適宜参照しながら、本発明の微細凹凸構造の一実施形態について説明する。

　図１～３に、本発明の一実施形態に係る微細凹凸構造物の一例を示す。
　図１～３に示す微細凹凸構造物１は、シート状の基材１０と、基材１０の一方の面に設けられた、表面に微細凹凸構造が形成された硬化物層２０とを備えている。

　基材１０は、硬化物層２０を支持するために用いられる。基材１０を構成する素材は、硬化物層２０を支持可能なものであれば特に限定されない。
　基材１０を構成する素材としては、例えば、ポリアクリロニトリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリクロロトリフロロエチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、環状ポリオレフィン、ポリノルボルネン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、トリアセチルセルロース、ポリスチレン、エポキシ樹脂、アクリル樹脂及びオキサジン樹脂等の有機材料、並びにこれらの有機材料中にアルミニウム、ステンレス、鉄、銅、亜鉛若しくは真鍮等の金属、無機ガラス、無機粒子又は繊維を含む複合材料が挙げられる。
　基材１０を構成する素材としては、これらの有機材料及び複合材料の中でも、剛性、成形性及びコスト等の観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が好ましい。

　基材１０の形状は軽量化等の観点から、切り込み又は打ち抜き部等が任意の場所に設けられていてもよい。
　基材１０は、他の部材に貼りつけるために、後述の硬化性組成物に接する側と反対の面に粘着層（図示略）等を有していてもよい。
　基材１０は、防汚性、耐擦傷性、絶縁性、耐腐食性、抗菌性、抗ウイルス性、及び自己修復性等の機能性を付与するために、後述の樹脂組成物に接する側と反対の面に機能性コーティングを施していてもよい。

　硬化物層２０は、後述の硬化性組成物の硬化物からなる層であり、基材１０とは反対側の面の表面に、複数の凸部２２を有する微細凹凸構造が形成されている。すなわち、凸部２２は、後述の硬化性組成物の硬化物からなる。
　図示例の硬化物層２０は、ベース層２１とベース層２１の上に設けられた複数の凸部２２とを有しており、本実施形態の凸部２２は図１に示すように配列している。
　硬化物層２０は、後述の硬化性組成物を硬化して得られる。
　硬化物層２０は、ゴム弾性を有する。

　前記硬化物の押込み弾性率は、０ＭＰａ超、１２ＭＰａ以下であり、０．１～１０ＭＰａが好ましく、０．２～８ＭＰａがより好ましく、０．３～５ＭＰａが更に好ましい。前記硬化物の押込み弾性率が上記範囲内であると、微細凹凸構造物１の吸着性能が向上する。
　前記硬化物の押込み弾性率は、硬化性組成物に含まれる成分の種類及び含有量により調節できる。
　前記硬化物の押込み弾性率は、後述する実施例における測定方法で測定することができる。

　前記硬化物の破断伸度は、７０～１，５００％が好ましく、７２～１，０００％がより好ましく、７５～８００％が更に好ましい。前記硬化物の破断伸度が上記範囲内であると、対象物から剥離した微細凹凸構造物１を繰り返し使用する場合でも、良好な吸着性能を発現できる、すなわち、吸着繰り返し性に優れる。
　前記硬化物の破断伸度は、前記硬化性組成物に含まれる成分の種類及び含有量により調節できる。
　前記硬化物の破断伸度は、後述する実施例における測定方法で測定することができる。

　前記硬化物の水に対する静的接触角は、１２０°以下が好ましく、７５°以下がより好ましく、５０°以下が更に好ましい。前記硬化物の静的接触角が上記範囲の上限値以下であると、微細凹凸構造物１の吸着性能、特に水中での吸着性能がより向上する。
　前記硬化物の静的接触角は、０．５°以上が好ましく、１．０°以上がより好ましく、１．５°以上が更に好ましい。
　前記硬化物の静的接触角は、前記硬化性組成物に含まれる成分の種類及び含有量により調節できる。
　前記硬化物の静的接触角は、後述する実施例における測定方法で測定することができる。

　前記硬化物は、光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物の硬化物であり、光硬化性樹脂を含む硬化性組成物の硬化物であることが好ましい。
　前記硬化性組成物において、光硬化性樹脂及び光硬化性エラストマーのいずれか一方を使用してもよいし、これらの両方を併用してもよい。
　前記光硬化性樹脂は、１種の材料を単独で用いてもよく、２種以上の材料を任意の組合せ及び比率で併用してもよいが、前記硬化物の押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御することができる観点から、２種以上の材料を組み合わせることが好ましい。
　前記光硬化性エラストマーは、１種の材料を単独で用いてもよく、２種以上の材料を任意の組合せ及び比率で併用してもよいが、前記硬化物の押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御することができる観点から、２種以上の材料を組み合わせることが好ましい。

　光硬化性樹脂とは、光照射により重合する未硬化の樹脂である。前記光硬化性樹脂としては、例えば、光ラジカル重合性樹脂及び光カチオン重合性樹脂が挙げられる。前記光硬化性樹脂としては、光ラジカル重合性樹脂が好ましい。
　前記光ラジカル重合性樹脂としては、以下に示す（Ａ）成分及び（Ｂ）成分が挙げられる。

　（Ａ）成分は、２官能以上のモノマー及びオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも１種である。

　前記２官能以上のモノマー及びオリゴマーとしては、例えば、分子内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーが挙げられる。
　前記分子内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーとしては、例えば、２官能以上のウレタン（メタ）アクリレート、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：５～１４）、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：５～１４）、１，３－ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：３～１６）、ポリ（１－メチルブチレングリコール）ジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：５～２０）、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリル酸エステル、ジシクロペンタンジオールのジ（メタ）アクリル酸エステル、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールのγ－ブチロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ネオペンチルグリコールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ブチレングリコールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、シクロヘキサンジメタノールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ジシクロペンタンジオールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＡのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＦのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステルビスフェノールＡエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＡプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＦエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＦプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリル酸エステル、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、グリセリントリ（メタ）アクリル酸エステル、グリセリンエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ジトリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～１５）のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～１５）のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のペンタ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～１５）のヘキサ（メタ）アクリル酸エステル、Ｎ，Ｎ’，Ｎ”－トリス（（メタ）アクリロキシポリ（ｐ＝１～４）（エトキシ）エチル）イソシアヌレート等のポリ（メタ）アクリレートペンタエリスリトールカプロラクトン（４～８モル）付加物のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールカプロラクトン（４～８モル）付加物のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールカプロラクトン（４～１２モル）付加物のペンタ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールカプロラクトン（４～１２モル）付加物のヘキサ（メタ）アクリル酸エステル、Ｎ，Ｎ’，Ｎ”－トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、Ｎ，Ｎ’－ビス（アクリロキシエチル）－Ｎ”－ヒドロキシエチルイソシアヌレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸プロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、及びイソシアヌル酸エチレンオキサイド・プロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、並びにビスフェノールＡグリシジルエーテル、ビスフェノールＦグリシジルエーテル、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル及びトリグリシジルトリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート等の分子内に複数のエポキシ基を有するポリエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との付加反応により得られるエポキシポリ（メタ）アクリレートが挙げられる。

　前記２官能以上のモノマー及びオリゴマーとしては、また、例えば、分子内に２個以上のエチレン性不飽和結合を有するモノマー及びオリゴマー（ただし、分子内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーを除く。）が挙げられる。
　前記分子内に２個以上のエチレン性不飽和結合を有するモノマー及びオリゴマー（ただし、分子内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーを除く。）としては、例えば、ジビニルベンゼン、ジビニルアジペート、ジアリルフタレート及びトリメチロールプロパンジアリルエーテルが挙げられる。

　（Ａ）成分としては、硬化物の押込み弾性率が低いことから、２官能のウレタン（メタ）アクリレートが好ましい。
　（Ａ）成分は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　（Ａ）成分の官能基当たりの質量平均分子量は、６００～５０，０００が好ましく、７００～４５，０００がより好ましく、８００～４０，０００が更に好ましい。
　（Ａ）成分の官能基当たりの質量平均分子量が上記範囲内であると、硬化物の押込み弾性率が低下しやすくなる。

　（Ａ）成分の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、１０～９９．９質量％が好ましく、１０～８９．８質量％がより好ましく、３０～６０質量％が更に好ましい。
　（Ａ）成分の含有量が上記範囲内であれば、前記硬化性組成物の硬化物の親水性、押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御しやすくなる。

　（Ｂ）成分は、単官能のモノマー及びオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも１種である。

　前記単官能のモノマー及びオリゴマーとしては、例えば、分子内に１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーが挙げられる。
　前記分子内に１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーとしては、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－メチルブチル（メタ）アクリレート、ｎ－ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘプチル（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、２－メチルへキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－ブチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソペンチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、モルフォリル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデカン（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２－エトキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、単官能のウレタン（メタ）アクリレート、及びメトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレートが挙げられる。

　前記単官能のモノマー及びオリゴマーとしては、また、例えば、分子内に１個のエチレン性不飽和結合を有するモノマー及びオリゴマー（ただし、分子内に１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーを除く。）が挙げられる。
　前記分子内に１個のエチレン性不飽和結合を有するモノマー及びオリゴマー（ただし、分子内に１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー及びオリゴマーを除く。）としては、例えば、スチレン、α－メチルスチレン、α－クロロスチレン、ビニルトルエン、酢酸ビニル、酪酸ビニル、Ｎ－ビニルホルムアミド、Ｎ－ビニルアセトアミド、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－ビニル－ε－カプロラクタム、エチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル及びアリルグリシジルエーテルが挙げられる。

　（Ｂ）成分としては、硬化物の押込み弾性率が低いことから、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート及びメトキシポリエチレングリコールアクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましく、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート又はメトキシポリエチレングリコールアクリレートがより好ましい。
　（Ｂ）成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　（Ｂ）成分の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、０～８９．９質量％が好ましく、１０～８９．８質量％がより好ましく、３０～６０質量％が更に好ましい。
　（Ｂ）成分の含有量が上記範囲内であれば、前記硬化性組成物の硬化物の親水性、押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御しやすくなる。

　光硬化性エラストマーとは、光照射により重合する未硬化のエラストマーである。前記光硬化性エラストマーとしては、例えば、アクリル系光硬化性エラストマー、シリコーン系光硬化性エラストマー、及びエポキシ系光硬化性エラストマーが挙げられる。前記光硬化性エラストマーとしては、生産性に優れるため、アクリル系光硬化性エラストマー又はシリコーン系光硬化性エラストマーが好ましい。

　前記光硬化性エラストマーとしては、特に限定されないが、硬化物の弾性率の観点から、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－メチルブチル（メタ）アクリレート、ｎ－ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘプチル（メタ）アクリレート、２－メチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－ブチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソペンチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシ（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、モルホリン－４－イル（メタ）アクリレート、及びウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。

　前記硬化性組成物に含まれる前記光硬化性樹脂及び前記光硬化性エラストマーの含有量は、得られる微細凹凸構造物１の性能、製造コスト、成形性及び他の機能等の観点から、適宜調整することができ、特に限定されない。
　前記硬化性組成物に含まれる前記光硬化性樹脂及び前記光硬化性エラストマーの合計の含有量は、通常、前記硬化性組成物の総質量に対して、５０質量％以上が好ましく、７５質量％以上がより好ましい。また、前記硬化性組成物に含まれる前記光硬化性樹脂及び前記光硬化性エラストマーの合計の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、１００質量％であってもよく、９９．９質量％以下であることが好ましい。

　成形性及び機械的強度の向上並びに製造コストの低減等の観点から、前記硬化性組成物は以下に示す（Ｃ）成分を含むことが好ましい。また、前記硬化性組成物は、必要に応じて以下に示す（Ｄ）成分を含んでいてもよい。

　（Ｃ）成分は、光重合開始剤である。
　（Ｃ）成分としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、チオキサントン系、フォスフィンオキシド系及びパーオキシド系の光重合開始剤が挙げられる。
　前記光重合開始剤の具体例として、ベンゾフェノン、４，４－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４，６－トリメチルベンゾフェン、メチルオルトベンゾイルベンゾエイト、４－フェニルベンゾフェノン、ｔｅｒｔ－ブチルアントラキノン、２－エチルアントラキノン、ジエトキシアセトフェノン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン２－ヒロドキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オン、ベンジルジメチルケタール、１－ヒドロキシシクロヘキシル－フェニルケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２－メチル－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルホリノ－１－プロパノン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン－１、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４，６－トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６－ジメトキシベンゾイル）－２，４，４－トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキサイド、及びメチルベンゾイルホルメートが挙げられる。
　前記光重合開始剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記硬化性組成物中の（Ｃ）成分の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、０．１～３質量％が好ましく、０．３～２．５質量％がより好ましく、０．５～２質量％が更に好ましい。
　前記硬化性組成物中の（Ｃ）成分の含有量が上記範囲内であれば、前記硬化性組成物の硬化物の機械的強度の向上及び前記硬化性組成物を硬化させる際の適切な反応速度の維持をしやすくなる。

　（Ｄ）成分は、添加剤である。
　（Ｄ）成分としては、例えば、硬化促進剤、親水化剤、難燃剤、酸化防止剤、可塑剤、消泡剤及び離型剤が挙げられる。
　（Ｄ）成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記硬化促進剤の具体例としては、第３アミン系硬化促進剤、尿素誘導体系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、１，８－ジアザビシクロ[５．４．０]－７－ウンデセン（ＤＢＵ）系硬化促進剤、有機りん系硬化促進剤（例えば、ホスフィン系硬化促進剤等）、オニウム塩系硬化促進剤（例えば、ホスホニウム塩系硬化促進剤、スルホニウム塩系硬化促進剤及びアンモニウム塩系硬化促進剤等）、金属キレート系硬化促進剤、酸及び金属塩系硬化促進剤が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記硬化促進剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記親水化剤は、前記硬化性組成物の硬化物の親水性を向上させるために配合される添加剤である。
　前記親水化剤の具体例としては、有機系低分子型親水化剤及び有機系高分子型親水化剤が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記親水化剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記難燃剤は、可燃性の素材を燃え難くする又は発火しないようにするために配合される添加剤である。
　前記難燃剤の具体例としては、ペンタブロモジフェニルエーテル、オクタブロモジフェニルエーテル、デカブロモジフェニルエーテル、テトラブロモビスフェノールＡ、ヘキサブロモシクロドデカン及びヘキサブロモベンゼン等の臭素化合物；トリフェニルホスフェート等のリン化合物；塩素化パラフィン等の塩素化合物；三酸化アンチモン等のアンチモン化合物；水酸化アルミニウム等の金属水酸化物；メラミンシアヌレート等の窒素化合物；並びに、ホウ酸ナトリウム等のホウ素化合物が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記難燃剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記酸化防止剤は、前記硬化性組成物及びその硬化物の酸化劣化防止のために配合される添加剤である。
　前記酸化防止剤の具体例としては、フェノール系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤及びリン系酸化防止剤が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記酸化防止剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記可塑剤は、前記硬化性組成物の硬化物の柔軟性及び耐候性を改良するために配合される添加剤である。
　前記可塑剤の具体例としては、フタル酸エステル、アジピン酸エステル、トリメリット酸エステル、ポリエステル、リン酸エステル、クエン酸エステル、セバシン酸エステル、アゼライン酸エステル、マレイン酸エステル、シリコーン油、鉱物油及び植物油、並びにこれらの変性体が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記可塑剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　また、前記硬化性組成物は、微細凹凸構造物の吸着性、成形性及び他の機能等を向上させるために、（Ｄ）成分として微粒子、板又は球体等を含んでもよい。これらの材料は特に限定されず、金属、無機又は有機等の材料が用いられる。
　前記硬化性組成物が微粒子を含むと、微細凹凸構造物の機械的強度の向上及び材料コストの低減が図られる。無機微粒子としては、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン、ソーダガラス又はダイヤモンド等の透明性を有する無機微粒子が挙げられる。
　前記硬化性組成物は、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、シリコーン樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂及びこれらの共重合体等の樹脂粒子を微粒子として含んでもよい。

　前記硬化性組成物中の（Ｄ）成分の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、０～３０質量％が好ましく、０．１～３０質量％がより好ましく、５～２０質量％が更に好ましい。
　前記硬化性組成物中の（Ｄ）成分の含有量が上記範囲内であれば、前記硬化性組成物の硬化物の親水性、押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御しやすくなる。
　特に、前記硬化性組成物が前記親水化剤を含む場合、親水性向上の観点から、前記親水化剤の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、３質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましい。
　また、前記親水化剤の含有量は、前記硬化性組成物の硬化物の高押込み弾性率化及び相分離の観点から、前記硬化性組成物の総質量に対して、３０質量％以下が好ましく、２０質量％以下がより好ましく、１０質量％以下が更に好ましい。
　すなわち、前記親水化剤の含有量は、前記硬化性組成物の総質量に対して、０～３質量％が好ましく、３～２０質量％がより好ましく、５～１０質量％が更に好ましい。

　前記硬化性組成物は、本発明の効果を損なわない限り、必要に応じて上述した光硬化性樹脂及び光硬化性エラストマー以外の樹脂又はエラストマー（以下「他の樹脂等」とも記す。）を含んでいてもよい。
　前記他の樹脂等としては、例えば、熱硬化性樹脂が挙げられる。
　熱硬化性樹脂とは、加熱により重合する未硬化の樹脂である。
　前記熱硬化性樹脂としては、例えば、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂及びロジン変性マレイン酸樹脂が挙げられる。

　前記硬化性組成物は、（Ａ）成分及び（Ｃ）成分を含むことが好ましく、必要に応じて（Ａ）成分及び（Ｃ）成分に加えて、（Ｂ）成分及び（Ｄ）成分の１つ以上をさらに含むことが好ましい。
　前記硬化性組成物の配合組成の一例は以下の通りである。
　硬化性組成物の総質量に対して、（Ａ）成分の含有量が１０～９９．９質量％であり、（Ｂ）成分の含有量が０～８９．９質量％であり、（Ｃ）成分の含有量が０．１～３質量％であり、（Ｄ）成分の含有量が０～３０質量％であることが好ましく、（Ａ）成分の含有量が１０～８９．８質量％であり、（Ｂ）成分の含有量が１０～８９．８質量％であり、（Ｃ）成分の含有量が０．１～３質量％であり、（Ｄ）成分の含有量が０．１～３０質量％であることがより好ましく、（Ａ）成分の含有量が３０～６０質量％であり、（Ｂ）成分の含有量が３０～６０質量％であり、（Ｃ）成分の含有量が０．５～２質量％であり、（Ｄ）成分の含有量が５～２０質量％であることが更に好ましい。
　前記硬化性組成物中の各成分の含有量が上記範囲内であれば、前記硬化性組成物の硬化物の親水性、押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御しやすくなる。

　各凸部２２は、図３Ａ，図３Ｂに詳細な構造を示すように、その頂面が頂面２３とされている。後述する製造方法により微細凹凸構造物を製造すると、アスペクト比の大きい凹形状とされている頂面２３を得やすい。
　頂面２３の凹形状のアスペクト比とは、凸部２２の頂面２３に外接する最小円の半径に対する頂面２３の凹形状の深さの比の値であり、具体的には、下記式（１）で表されるＸである。
　Ｘ＝（Ｈ－ｈ）／Ｒ　　・・・（１）
　式（１）において、Ｘは頂面２３の凹形状のアスペクト比であり、Ｈは凸部２２の高さであり、ｈは頂面２３の凹形状における最下点２３ｃの高さであり、Ｒは凸部２２の頂面２３に外接する最小円の半径である。

　高さＨ及び高さｈは、具体的には、微細凹凸構造物１を凸部２２の高さ方向に沿って見下ろすようにして画像処理装置で観察し、高さ方向の座標を測定することにより求める。１０個の凸部２２の各々において求めた高さＨ_ｎの平均を高さＨとし、高さｈ_ｎの平均を高さｈとする。

　凸部２２の各々における高さＨ_ｎ及び高さｈ_ｎの求め方を、図３Ａ、図３Ｂを参照しつつ説明する。
　まず、ベース層２１の主面に対して、１０度以上の立ち上がり角度となり始めた部分を凸部２２の底面２４の周縁とし、観察画面左側の周縁２４ａと観察画面右側の周縁２４ｂの位置を定める。
　この周縁２４ａを基準とする頂面２３の観察画面左側における最も高い部分の高さＨ１と、周縁２４ｂを基準とする頂面２３の観察画面右側における最も高い部分の高さＨ２とを各々求め、その平均をその凸部２２の高さＨ_ｎとする。
　また、頂面２３の凹形状における最下点２３ｃから、周縁２４ａと周縁２４ｂとを結ぶ線分に下ろした垂線の長さをその凸部２２の頂面２３の凹形状における最下点２３ｃの高さｈ_ｎとする。

　半径Ｒは、具体的には、以下のようにして求められる。
　微細凹凸構造物１を高さ方向に沿って見下ろすようにして画像処理装置で観察し、１０個の凸部２２について頂面２３の周縁に外接する最小円の半径Ｒ_ｎを各々求め、それらの値を平均して半径Ｒとする。
　なお、頂面２３が円形又は円形と見做せる場合は、１０個の凸部２２について観察画面左端側の周縁２３ａと観察画面右端側の周縁２３ｂとの水平方向の距離の１／２の値をＲ_ｎとして求め、その平均を便宜的にＲとみなしてもよい。

　高さＨは、１０～１０，０００μｍが好ましく、２０～５，０００μｍがより好ましく、３０～２，０００μｍが更に好ましい。高さＨが上記範囲の下限値以上であると頂面２３を充分な深さの凹形状としやすい。高さＨが上記範囲の上限値以下であると、微細凹凸構造物１の柔軟性を確保しやすい。

　頂面２３の凹形状の深さである（Ｈ－ｈ）は、１．５～７，５００μｍが好ましく、３～３，８００μｍがより好ましく、４．５～２，３００μｍが更に好ましい。（Ｈ－ｈ）が上記範囲の下限値以上であると充分なアスペクト比を得やすい。（Ｈ－ｈ）が上記範囲の上限値以下であると、凸部２２の機械的強度を保ちやすい。

　頂面２３に外接する最小円の直径２Ｒ（半径Ｒの２倍）は、１０～１０，０００μｍが好ましく、２０～５，０００μｍがより好ましく、３０～３，０００μｍが更に好ましく、３０～２，０００μｍが特に好ましい。
　直径２Ｒが上記範囲の下限値以上であると生産性に優れる。直径２Ｒが上記範囲の上限値以下であると、表面追従性に優れる。特に、直径２Ｒが３，０００μｍ以下であると、成形性及びハンドリング性の点でも優れる。

　頂面２３の凹形状のアスペクト比Ｘは、０．３～１．５が好ましく、０．３５～１．３がより好ましく、０．４～１．０が更に好ましい。アスペクト比Ｘが上記範囲の下限値以上であると、微細凹凸構造物１を吸着シートとして用いた場合に優れた吸着性が得られる。また、アスペクト比Ｘが上記範囲の上限値以下であると、転写型からの離型が容易となり、製造しやすい。

　底面２４に外接する最小円の直径２Ｒ’（最小円の半径Ｒ’の２倍）は、１～１０，０００μｍが好ましく、１０～１０，０００μｍがより好ましく、２０～５，０００μｍが更に好ましく、３０～３，０００μｍが特に好ましく、３０～２，０００μｍが最も好ましい。
　直径２Ｒ’が上記範囲の下限値以上であると生産性に優れる。直径２Ｒ’が上記範囲の上限値以下であると、被着体への表面追従性に優れる。

　半径Ｒ’は、具体的には、以下のようにして求められる。
　微細凹凸構造物１を高さ方向に沿って見下ろすようにして画像処理装置で観察し、１０個の凸部２２について底面２４の周縁に外接する最小円の半径Ｒ’_ｎを各々求め、それらの値を平均して半径Ｒ’とする。
　なお、底面２４が円形又は円形と見做せる場合は、１０個の凸部２２について観察画面左端側の周縁２４ａと観察画面右端側の周縁２４ｂとの水平方向の距離の１／２の値をＲ’_ｎとして求め、その平均を便宜的にＲ’とみなしてもよい。

　底面２４の周縁の形状に特に限定はないが、円形、楕円形及び多角形等が挙げられる。吸着シートとして使用する場合には、吸着性に優れることから、円形又は楕円形が好ましく、円形がより好ましい。
　また、頂面２３の周縁の形状に特に限定はないが、円形、楕円形又は多角形等が挙げられる。吸着シートとして使用する場合には、吸着性に優れることから、円形又は楕円形が好ましく、円形がより好ましい。

　頂面２３の面積（頂面２３の周縁で囲まれた部分の面積）は、底面２４の周縁の面積と同等、底面２４の周縁の面積（底面２４の周縁で囲まれた部分の面積）より小さい、又は底面２４の周縁の面積（底面２４の周縁で囲まれた部分の面積）より大きい、のいずれでもよいが、底面２４の周縁の面積と同等、又は底面２４の周縁の面積（底面２４の周縁で囲まれた部分の面積）より小さいことが好ましい。これにより、転写型からの離型が容易となり、製造しやすい。

　例えば、底面２４の周縁の形状と頂面２３の周縁の形状が共に円形であり、底面２４と頂面２３の面積が等しい場合、凸部２２は、頂面が凹形状とされた円柱状となる。
　また、底面２４の周縁の形状と頂面２３の周縁の形状が共に円形であり、頂面２３の面積が底面２４の面積より小さい場合、凸部２２は、頂面が凹形状とされた円錐台状となる。
　また、底面２４の周縁の形状と頂面２３の周縁の形状が共に多角形であり、底面２４と頂面２３の面積が等しい場合、凸部２２は、頂面が凹形状とされた角柱状となる。
　また、底面２４の周縁の形状と頂面２３の周縁の形状が共に多角形であり、頂面２３の面積が底面２４の面積より小さい場合、凸部２２は、頂面が凹形状とされた角錐台状となる。

　複数の凸部２２は、総て同じ形状かつ同じ大きさのものであってもよく、形状及び大きさの一方又は両方が異なる２種以上の凸部２２を含んでいてもよい。
　また、複数の凸部２２が２種以上の凸部２２を含んでいる場合、２種以上の凸部２２はランダムに混在して存在する配列でもよいし、同じ種類の凸部２２が固まって存在するブロック状の配列でもよい。
　具体的な凸部２２の形状及び大きさ、並びにこれらの組合せは、微細凹凸構造物１の用途に応じて適宜選択できる。

　なお、図１～３には、複数の凸部２２が、総て同じ形状かつ同じ大きさのものである態様を示した。また、それらの凸部２２は、いずれも底面２４の周縁の形状と頂面２３の周縁の形状が共に円形であり、底面２４と頂面２３の面積が等しい態様、すなわち、総ての凸部２２が、頂面が凹形状とされた円柱状である態様とした。

　凸部２２が設けられている側のベース層２１の面の面積に対する凸部２２の底面２４の面積の合計の割合は、２０～９９％が好ましく、３０～９５％がより好ましく、５０～９３％が更に好ましい。底面２４の面積の合計の割合が上記範囲の下限値以上であれば、吸着シートとして使用する場合に吸着性に優れる。底面２４の面積の合計の割合が上記範囲の上限値以下であれば、転写型からの離型が容易となり、製造しやすい。
　なお、凸部２２の底面２４がすべて同一の大きさの円形である場合、凸部２２が設けられている側のベース層２１の面の面積に対する凸部２２の底面２４の面積の合計の割合の最大値は、９１％程度となる。

　凸部２２の配列に特に限定はなく、規則的な配列でもよいし、ランダムな配列でもよい。凸部２２の配列は、後述の転写型４０における凹部４１の配列を写し取った配列となる。転写型４０における凹部４１の配列については、転写型４０の説明において詳述する。

　微細凹凸構造物１は、吸着シート、光学フィルム又は遮音シート等の各種用途に使用できる。これらの中でも、吸着シートを構成するのに好適に用いることができる。
　なお、本発明の微細凹凸構造物は、図示例のものに限定はされない。例えば、微細凹凸構造物は基材を備えていなくてもよく、硬化物層２０だけでも差し支えない。また、基材の表面に微細凹凸構造が直接形成されたものであってもよい。ただし、効率よく微細凹凸構造を形成できる点から、図示例のように微細凹凸構造が硬化物層２０の表面に形成されたものが好ましい。
　基材を備えていない、硬化物層２０だけの微細凹凸構造物は、そのまま単独で使用してもよいし、他の基材又は物品の表面に貼着して使用してもよい。

［微細凹凸構造物の製造方法］
＜第一の実施形態＞
　本発明の微細凹凸構造物の製造方法の第一の実施形態は、頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造が形成された、硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化物層を備える微細凹凸構造物の製造方法である。
　以下では、図４～７及び１０を適宜参照しながら、本発明の微細凹凸構造物の製造方法の第一の実施形態について説明する。

　本実施形態の製造方法は、以下の工程を備える。
（１）塗布工程
　塗布工程は、複数の凹部が形成されたヤング率が５０ＧＰａ以上の転写型に、前記複数の凹部内に気相を残存させた状態で前記複数の凹部の開口を閉塞するように未硬化の硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化性組成物を塗布する工程である。
（２）硬化工程
　硬化工程は、加圧用フィルムを、塗布した前記硬化性組成物を介して前記転写型に貼着し、前記加圧用フィルムを、前記転写型に対して３３０ｋＰａ以上の均質な圧力で押圧しながら、前記未硬化の硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を硬化させる工程である。
（３）離型工程
　離型工程は、前記転写型を、硬化させた前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化物層から離す工程である。

（転写型）
　図４の転写型４０は、本実施形態の製造方法で用いる転写型の一例である。
　転写型４０は、一方の面に、複数の凹部４１が形成されている。
　本実施形態の転写型４０の凹部４１は、図１に示した配列で複数の凸部２２を有する微細凹凸構造物１を得るための配列としている。

　転写型４０のヤング率は５０ＧＰａ以上であり、５０～１，０００ＧＰａが好ましく、５５～８００ＧＰａがより好ましく、６０～５００ＧＰａが更に好ましい。
　転写型４０のヤング率が上記範囲の下限値以上であることにより、硬化工程時に押圧しても転写型の変形が起こりにくい。転写型４０のヤング率が上記範囲の上限値以下であることにより、機械的強度に優れる。

　転写型４０の材質としては、例えば、アルミニウム合金、黄銅、鋼及び樹脂が挙げられる。転写型４０のヤング率を上記範囲としやすいことから、転写型４０の材質はアルミニウム合金、黄銅、鋼又は樹脂が好ましい。
　転写型４０の材質としては、ヤング率が高く、耐熱性及び加工性に優れ、連続生産に適していることから、アルミニウム合金が特に好ましい。

　得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の底面２４の形状及び大きさは、凹部４１の開口の形状及び大きさを転写したものとなる。すなわち、製造する微細凹凸構造物１の凸部２２の底面２４に外接する最小円の直径２Ｒ’は、凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒとほぼ等しい（図７Ａ、図７Ｂ参照）。
　また、凹部４１が柱状であれば、製造する微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面２３に外接する最小円の直径２Ｒも、凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒとほぼ等しい。
　また、凹部４１が開口から底部に向けて縮径又は拡径する形状であれば、製造する微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面２３に外接する最小円の直径２Ｒは、凹部４１の底部に外接する最小円の直径とほぼ等しい。
　一方、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の高さＨ及び頂面２３の凹形状の深さである（Ｈ－ｈ）は、凹部４１の深さｄだけでは決まらず、後述するように、硬化工程における圧力によって変化する。

　凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒ（最小円の半径ｒの２倍）は、１０～１０，０００μｍが好ましく、２０～５，０００μｍがより好ましく、３０～３，０００μｍが更に好ましく、３０～２，０００μｍが特に好ましい。
　直径２ｒが上記範囲の下限値以上であると生産性に優れる。直径２ｒが上記範囲の上限値以下であると、塗布工程において、凹部４１内に気相を残存させた状態で凹部４１の開口を閉塞するようにして未硬化の硬化性樹脂又は硬化性エラストマーを含む硬化性組成物を塗布しやすい。

　凹部４１の深さｄは、０．５～２０，０００μｍが好ましく、１～１５，０００μｍがより好ましく、１．５～１０，０００μｍが更に好ましい。
　深さｄが上記範囲の下限値以上であると、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の高さＨと、頂面２３の凹形状の深さである（Ｈ－ｈ）を充分な大きさとしやすい。深さｄが上記範囲の上限値以下であると、転写型の生産性及びハンドリング性に優れる。

　凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒに対する深さｄの比の値（ｄ／２ｒ）は、０．５以上が好ましく、０．７５以上がより好ましく、１．０以上が更に好ましい。
　凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒに対する深さｄの比の値（ｄ／２ｒ）が上記範囲であれば、硬化工程における圧力下で、硬化性組成物を凹部４１の周面に沿って下降させる際、残存する気相の体積を充分に保ちやすい。その結果、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２における頂面２３の凹形状の深さである（Ｈ－ｈ）を大きくしやすい。

　凹部４１の深さｄは、転写型４０を凹部４１の深さ方向に沿って見下ろすようにして画像処理装置で観察し、深さ方向の座標を測定することにより求める。１０個の凹部４１の各々において求めたｄ_ｎの平均をｄとする。

　転写型４０の各々における深さｄ_ｎは以下のように求める。
　まず、転写型４０の表面に対して、１０度以上の立ち下がり角度となり始めた部分を凹部４１の開口の周縁とし、観察画面左側の周縁４１ａと観察画面右側の周縁４１ｂの位置を定める（図７Ａ参照）。そして、周縁４１ａと周縁４１ｂの高さの平均を開口の高さとする。
　この開口の高さを基準とする、凹部４１の最も深い部分４１ｃの深さをｄ_ｎとする。

　半径ｒは、具体的には、以下のようにして求められる。
　転写型４０の凹部４１を深さ方向に沿って見下ろすようにして画像処理装置で観察し、１０個の凹部４１について開口の周縁に外接する最小円の半径ｒ_ｎを各々求め、それらの値を平均して半径ｒとする。
　なお、開口が円形又は円形と見做せる場合は、１０個の凹部４１について観察画面左側の周縁４１ａと観察画面右側の周縁４１ｂの水平方向の距離の１／２の値をｒ_ｎとして求め、その平均を便宜的にｒとみなしてもよい。

　凹部４１の開口の形状に特に限定はないが、円形、楕円形、多角形等が挙げられる。硬化工程における圧力下で、硬化性組成物を凹部４１の周面に沿って均等に下降させやすいことから、円形、楕円形が好ましく、円形がより好ましい。
　また、凹部４１は、柱状又は開口から底部に向かって縮径する形状であることが好ましい。これにより、離型工程における転写型からの離型が容易となり、微細凹凸構造物１を製造しやすい。
　また、柱状であることが特に好ましい。柱状であれば、凹部４１の形成が容易である。

　凹部４１が柱状であれば、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２は、頂面が凹形状とされた柱状となる。
　凹部４１が開口から底部に向かって縮径する形状であれば、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２は、頂面が凹形状とされた円錐台状、楕円錐台状、角錐台状等となる。

　複数の凹部４１は、総て同じ形状かつ同じ大きさのものであってもよく、形状及び大きさの一方又は両方が異なる２種以上の凹部４１を含んでいてもよい。
　また、複数の凹部４１が２種以上の凹部４１を含んでいる場合、２種以上の凹部４１はランダムに混在して存在する配列でも、同じ種類の凹部４１が固まって存在するブロック状の配列でもよい。
　具体的な凹部４１の形状及び大きさ、並びにこれらの組み合わせは、得られる微細凹凸構造物１の用途に応じて適宜選択できる。

　転写型４０の全面積に対する凹部４１の開口面の面積の合計の割合は、２０～９９％が好ましく、３０～９５％がより好ましく、５０～９３％が更に好ましい。開口面の面積の合計の割合が上記範囲の下限値以上であれば、吸着シートとして使用する場合に吸着性に優れた微細凹凸構造物１を得られる。開口面の面積の合計の割合が上記範囲の上限値以下であれば、転写型からの離型が容易となり、製造しやすい。
　なお、凹部４１の開口面がすべて同一の大きさの円形である場合、転写型４０の全面積に対する凹部４１の開口面の面積の合計の割合の最大値は、９１％程度となる。

　転写型４０の形状としては、特に限定はなく、例えば、平板状であってもロール状であってもよい。

　転写型４０の製造方法としては、例えば、ダイヤモンドバイトによる切削による方法、又は国際公開第２００８／６９３２４号パンフレットに記載されるようなエッチングによる方法が挙げられる。
　これらの中でも、球欠形状等の曲面を有する凹部４１を形成する場合は、生産性に優れることから、国際公開第２００８／６９３２４号パンフレットに記載されるようなエッチングによる方法が好ましく、角錐形状等の曲面を有さない凹部４１を形成する場合は、生産性に優れることから、ダイヤモンドバイトによる切削が好ましい。

（硬化性組成物）
　塗布工程で使用する硬化性組成物は、未硬化の硬化性樹脂、未硬化の硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化性組成物である。

　前記硬化性樹脂は、光硬化性樹脂でもよいし、熱硬化性樹脂でもよい。
　前記硬化性エラストマーは、光硬化性エラストマーでもよいし、熱硬化性エラストマーでもよい。
　前記硬化性組成物は、未硬化の硬化性樹脂又は未硬化の硬化性エラストマーを含む硬化性組成物であることが好ましく、未硬化の光硬化性樹脂又は未硬化の熱硬化性樹脂を含む硬化性組成物であることがより好ましく、形状転写性に優れることから、未硬化の光硬化性樹脂を含む硬化性組成物であることが更に好ましい。
　前記硬化性組成物中の樹脂及びエラストマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよいが、硬化物の貯蔵弾性率及び引張破断伸度等の特性を制御することができる観点から、２種以上を組み合わせることが好ましい。

　光硬化性樹脂とは、光照射により重合する未硬化の樹脂である。前記光硬化性樹脂としては、例えば、光ラジカル重合性樹脂及び光カチオン重合性樹脂が挙げられる。前記光硬化性樹脂としては、光ラジカル重合性樹脂が好ましい。

　前記光ラジカル重合性樹脂としては、例えば、分子内に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー又はオリゴマーが挙げられる。
　前記分子内に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー又はオリゴマーとしては、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－メチルブチル（メタ）アクリレート、ｎ－ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘプチル（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、２－メチルへキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－ブチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソペンチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、モルフォリル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデカン（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２－エトキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、単官能のウレタン（メタ）アクリレート、２官能以上のウレタン（メタ）アクリレート、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：５～１４）、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：５～１４）、１，３－ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：３～１６）、ポリ（１－メチルブチレングリコール）ジ（メタ）アクリレート（繰返し単位数：５～２０）、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリル酸エステル、ジシクロペンタンジオールのジ（メタ）アクリル酸エステル、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールのγ－ブチロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ネオペンチルグリコールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ブチレングリコールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、シクロヘキサンジメタノールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ジシクロペンタンジオールのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＡのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＦのカプロラクトン付加物（ｎ＋ｍ＝２～５）のジ（メタ）アクリル酸エステルビスフェノールＡエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＡプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＦエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＦプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～７）のジ（メタ）アクリル酸エステル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリル酸エステル、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、グリセリントリ（メタ）アクリル酸エステル、グリセリンエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ジトリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～１５）のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールプロピレンオキサイド付加物（ｐ＝１～１５）のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～５）のペンタ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド付加物（ｐ＝１～１５）のヘキサ（メタ）アクリル酸エステル、Ｎ，Ｎ’，Ｎ”－トリス（（メタ）アクリロキシポリ（ｐ＝１～４）（エトキシ）エチル）イソシアヌレート等のポリ（メタ）アクリレートペンタエリスリトールカプロラクトン（４～８モル）付加物のトリ（メタ）アクリル酸エステル、ペンタエリスリトールカプロラクトン（４～８モル）付加物のテトラ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールカプロラクトン（４～１２モル）付加物のペンタ（メタ）アクリル酸エステル、ジペンタエリスリトールカプロラクトン（４～１２モル）付加物のヘキサ（メタ）アクリル酸エステル、Ｎ，Ｎ’，Ｎ”－トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、Ｎ，Ｎ’－ビス（アクリロキシエチル）－Ｎ”－ヒドロキシエチルイソシアヌレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸プロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、及びイソシアヌル酸エチレンオキサイド・プロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、並びにビスフェノールＡグリシジルエーテル、ビスフェノールＦグリシジルエーテル、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル及びトリグリシジルトリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート等の分子内に複数のエポキシ基を有するポリエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との付加反応により得られるエポキシポリ（メタ）アクリレートが挙げられる。
　前記分子内に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー又はオリゴマーは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記光ラジカル重合性樹脂としては、また、分子内に少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有するモノマー又はオリゴマー（ただし、分子内に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー又はオリゴマーを除く。）が挙げられる
　前記分子内に少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有するモノマー又はオリゴマー（ただし、分子内に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー又はオリゴマーを除く。）としては、例えば、スチレン、α－メチルスチレン、α－クロロスチレン、ビニルトルエン、酢酸ビニル、酪酸ビニル、Ｎ－ビニルホルムアミド、Ｎ－ビニルアセトアミド、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－ビニル－ε－カプロラクタム、エチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル、ジビニルベンゼン、ジビニルアジペート、ジアリルフタレート及びトリメチロールプロパンジアリルエーテルが挙げられる。
　前記分子内に少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有するモノマー又はオリゴマー（ただし、分子内に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有するモノマー又はオリゴマーを除く。）は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記光重合性樹脂としては、硬化物の弾性率を低くできることから、２官能以上のウレタン（メタ）アクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート及びメトキシポリエチレングリコールアクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましく、２官能のウレタン（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート及びメトキシポリエチレングリコールアクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１種がより好ましい。
　前記光重合性樹脂は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　熱硬化性樹脂とは、加熱により重合する未硬化の樹脂である。前記熱硬化性樹脂としては、例えば、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂及びロジン変性マレイン酸樹脂が挙げられる。

　光硬化性エラストマーとは、光照射により重合する未硬化のエラストマーである。前記光硬化性エラストマーとしては、例えば、アクリル系光硬化性エラストマー、シリコーン系光硬化性エラストマー及びエポキシ系光硬化性エラストマーが挙げられる。前記光硬化性エラストマーとしては、生産性に優れることから、アクリル系光硬化性エラストマー又はシリコーン系光硬化性エラストマーが好ましい。

　熱硬化性エラストマーとは、加熱により重合する未硬化のエラストマーである。前記熱硬化性エラストマーとしては、例えば、シリコーン系熱硬化性エラストマー、アクリル系熱硬化性エラストマー、エポキシ系熱硬化性エラストマー、フッ素系硬化性エラストマー、ウレタン系硬化性エラストマー、及び化学架橋された天然ゴム及び合成ゴム等の加硫ゴムが挙げられる。前記熱硬化性エラストマーとしては、生産性に優れることから、シリコーン系熱硬化性エラストマー又はアクリル系熱硬化性エラストマーが好ましい。

　熱可塑性樹脂とは、加熱により軟化する樹脂である。前記熱硬化性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、テフロン、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、アクリル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂及びポリフェニレンエーテル樹脂が挙げられる。

　熱可塑性エラストマーとは、加熱により軟化するエラストマーである。前記熱可塑性エラストマーとしては、例えば、オレフィン系熱可塑性エラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、塩ビ系熱可塑性エラストマー、ウレタン系熱可塑性エラストマー、エステル系熱可塑性エラストマー、アミド系熱可塑性エラストマー、シリコーンゴム系熱可塑性エラストマー及びアクリル系熱可塑性エラストマーが挙げられる。

　前記硬化性組成物に含まれる未硬化の硬化性樹脂、未硬化の硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の含有量は、得られる微細凹凸構造物１の性能、製造コスト、成形性及び他の機能等の観点から、適宜調整することができ、特に限定されない。
　前記硬化性組成物に含まれる未硬化の硬化性樹脂、未硬化の硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の合計の含有量は、通常、７０質量％以上が好ましく、８０質量％以上がより好ましい。また、前記硬化性組成物に含まれる未硬化の硬化性樹脂、未硬化の硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の合計の含有量は、１００質量％であってもよく、９９質量％以下であることが好ましい。

　前記硬化性組成物が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む場合、成形性及び機械的強度の向上並びに製造コストの低減等の観点から、前記硬化性組成物はさらに光重合開始剤を含むことが好ましい。
　前記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、チオキサントン系、フォスフィンオキシド系及びパーオキシド系の光重合開始剤が挙げられる。
　前記光重合開始剤の具体的としては、ベンゾフェノン、４，４－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４，６－トリメチルベンゾフェン、メチルオルトベンゾイルベンゾエイト、４－フェニルベンゾフェノン、ｔｅｒｔ－ブチルアントラキノン、２－エチルアントラキノン、ジエトキシアセトフェノン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン２－ヒロドキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オン、ベンジルジメチルケタール、１－ヒドロキシシクロヘキシル－フェニルケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２－メチル－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルホリノ－１－プロパノン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン－１、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４，６－トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６－ジメトキシベンゾイル）－２，４，４－トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキサイド、及びメチルベンゾイルホルメートが挙げられるが、これらに限定されない。
　前記光重合開始剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記硬化性組成物中の前記光重合開始剤の含有量の下限は、特に限定されないが、前記硬化性組成物中の総質量に対して、０．１質量％以上が好ましく、０．３質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が更に好ましい。前記硬化性組成物中の前記光重合開始剤の含有量の上限は、特に限定されないが、前記硬化性組成物中の総質量に対して、３質量％以下が好ましく、２．５質量％以下がより好ましく、２質量％以下が更に好ましい。前記硬化性組成物中の前記光重合開始剤の含有量の範囲は、前記硬化性組成物の総質量に対して、０．１～３質量％が好ましく、０．３～２．５質量％がより好ましく、０．５～２質量％が更に好ましい。
　前記硬化性組成物中の前記光重合開始剤の含有量が上記範囲内であれば、前記硬化性組成物の硬化物の機械的強度の向上及び前記硬化性組成物を硬化させる際の適切な反応速度の維持をしやすくなる。

　前記硬化性組成物が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む場合、前記硬化性組成物はさらに硬化促進剤を含んでもよい。
　前記硬化促進剤の具体例としては、第３アミン系硬化促進剤、尿素誘導体系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、１，８－ジアザビシクロ[５．４．０]－７－ウンデセン（ＤＢＵ）系硬化促進剤、有機りん系硬化促進剤（例えば、ホスフィン系硬化促進剤等）、オニウム塩系硬化促進剤（例えば、ホスホニウム塩系硬化促進剤、スルホニウム塩系硬化促進剤及びアンモニウム塩系硬化促進剤等）、金属キレート系硬化促進剤、酸及び金属塩系硬化促進剤が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記硬化促進剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記硬化性組成物は、微細凹凸構造物の吸着性、成形性及び他の機能等を向上させるために、粒子、板又は球体等を含んでもよい。これらの材料は特に限定されず、金属、無機又は有機等の材料が用いられる。
　前記硬化性組成物が微粒子を含むと、微細凹凸構造物の機械的強度の向上及び材料コストの低減が図られる。無機微粒子としては、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン、ソーダガラス又はダイヤモンド等の透明性を有する無機微粒子が挙げられる。
　前記硬化性組成物は、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、シリコーン樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂及びこれらの共重合体等の樹脂粒子を微粒子として含んでもよい。

　前記硬化性組成物はその他の成分として、難燃剤、酸化防止剤、可塑剤、消泡剤及び離型剤等の各種添加剤を含んでもよい。
　前記各種添加剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記酸化防止剤は、前記硬化性組成物及びその硬化物の酸化劣化防止のために配合される添加剤である。
　前記酸化防止剤の具体例としては、フェノール系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤及びリン系酸化防止剤等が挙げられるが、これらに限定されない。
　前記酸化防止剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の組合せ及び比率で併用してもよい。

　前記硬化性組成物は、塗布する工程の温度におけるＢ型粘度計で測定した粘度が１０～５，０００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、２０～４，０００ｍＰａ・ｓであることがより好ましく、３０～３，０００ｍＰａ・ｓであることが更に好ましい。
　塗布する工程の温度における粘度が上記範囲の下限値以上であると、凹部４１内に気相を残存させた状態で塗布しやすい。塗布する工程の温度における粘度が上記範囲の上限値以下であると、硬化性組成物を均等に転写型４０全体に塗布しやすい。

（塗布工程）
　塗工手段としては、例えば、ドクターブレード、エアブレード、エアナイフ又はバーコーターが挙げられる。以下、塗工手段としてバーコーターを用いた手段で説明する。
　バーコーターを用いる場合、まず、図４に示すように、転写型４０の凹部４１が形成された側の面であって、凹部４１が形成されていない周縁部に硬化性組成物５０を供給する。
　その後、図５に示すように、バーコーター３３のバー３４を一定の速度で動かし、硬化性組成物５０を転写型４０全体にならし広げる。

　バーコーター３３のバー３４の材料としては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂若しくはポリエステル樹脂等の樹脂；又は、アルミニウム若しくはステンレス鋼等の金属が挙げられる。バー３４の形状は、特に限定されることはなく、公知の形状のバー３４を用いることができる。

　バーコーター３３のバー３４と転写型４０との相対速度は１～５０，０００ｍｍ／分が好ましく、５～３０，０００ｍｍ／分がより好ましく、１０～１０，０００ｍｍ／分が更に好ましい。
　バーコーター３３のバー３４と転写型４０との相対速度が上記範囲の下限値以上であると、凹部４１内に気相を残存させた状態で塗布しやすい。
　バーコーター３３のバー３４と転写型４０との相対速度が上記範囲の上限値以下であると、充分な量の硬化性組成物５０を凹部４１の上に供給しやすい。

　硬化性組成物５０の塗布方法として、例えば、凹部４１に直接滴下する方法を用いると、凹部４１に硬化性組成物５０が完全に充填されてしまい、内部に気相を残すことができない。これに対して、硬化性組成物５０を、転写型４０の凹部４１が形成されていない部分に供給し、バーコーター３３により転写型４０全体に広げて平坦化させることにより、凹部４１内に硬化性組成物５０が完全に入り込むことが抑制され、内部に気相を残存させた状態で、凹部４１の開口を硬化性組成物５０で閉塞できる。

（硬化工程）
　硬化工程では、硬化性組成物５０を介して、転写型４０に加圧用フィルムを貼着し、この加圧用フィルムを転写型４０に対して３３０ｋＰａ以上の均質な圧力で押圧しながら、未硬化の硬化性樹脂又は硬化性エラストマーを硬化させる。
　なお、均質な圧力とは、面方向において、加圧力がほぼ一定であることを意味する。

　図６には、加圧用フィルムとして、得られる微細凹凸構造物１の基材１０を用いた例を示した。
　すなわち、硬化性組成物５０を介して予め転写型４０と基材１０とを貼着し、一対の加圧板３２で貼着された転写型４０と基材１０とを挟み加圧する。このとき、転写型４０の凹部４１が形成されている面と反対側の面には、支持フィルム３６を配置することが好ましい。
　支持フィルム３６としては、基材１０と同等の材質のフィルムを使用することができる。

　前記加圧用フィルムとして、硬化性組成物５０に接する側と反対の面に粘着層を有する基材１０を用いた場合、加圧板３２に粘着剤層が接しないよう、離型フィルム等で粘着剤層を覆うことが好ましい。
　前記加圧用フィルムとして、基材１０に代えて、他のフィルムを配置してもよい。他のフィルムを使用する場合には、硬化工程後に硬化した硬化性樹脂又は硬化性エラストマーから剥離可能な材質であることが好ましい。
　前記加圧用フィルムとしては、碁盤目剥離試験（ＪＩＳ　Ｋ　５４００－８．５：１９９０）にて密着性が０点のものを使用することができる。

　加圧板３２による加圧の圧力は、３３０ｋＰａ以上であり、３３０～３０，０００ｋPaが好ましく、５００～１０，０００ｋＰａがより好ましい。
　加圧板３２による加圧の圧力が上記範囲の下限値以上であれば、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面における凹形状のアスペクト比を大きくできる。加圧板３２による加圧の圧力が上記範囲の上限値以下であれば、転写型及び／又は装置の連続使用性に優れる。

　硬化工程では、上記均質な圧力で加圧した状態で、未硬化の硬化性樹脂、未硬化の硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーを硬化させる。

　前記硬化性組成物が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む場合、加圧板３２に設けられた活性エネルギー線照射面３５から活性エネルギー線を基材１０等のフィルムを介して硬化性組成物５０に照射する。

　前記活性エネルギー線としては、例えば、紫外線又は電子線が挙げられる。前記活性エネルギー線の照射量は、用いる光硬化性樹脂等を硬化させる量であればよく、モノマー及び重合開始剤の種類及び量を参酌して、例えば、波長が２００～４００ｎｍの紫外線を通常０．１～２００Ｊの範囲で照射する。前記活性エネルギー線の光源としては、ケミカルランプ、キセノンランプ、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ又はメタルハライドランプが用いられる。また、前記活性エネルギー線の照射は、１段で行ってもよいが、表面性状の良好な光硬化樹脂シートを得るためには、複数段で、少なくとも２段で行うことが好ましい。

　前記硬化性組成物が熱硬化性樹脂又は熱硬化性エラストマーを含む場合、加圧板３２にヒーターを内在させ、加圧板３２により、加圧と共に加熱を行えばよい。
　加熱温度は、用いる熱硬化性樹脂又は熱硬化性エラストマーを硬化させる温度であればよく、熱硬化性樹脂又は熱硬化性エラストマーの種類及び量と重合開始剤の種類及び量とを参酌して、例えば、５０～２００℃とすることができる。

　前記硬化性組成物が熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーを含む場合、加圧板３２にヒーターを内在させ、加圧板３２により、加熱及び加圧を共に行った後、冷却を行えばよい。
　加熱温度は、用いる熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーを軟化させる温度であればよく、熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーの種類及び量を参酌して、例えば、５０～４００℃とすることができる。
　冷却温度は、用いる熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーを硬化させる温度であればよく、熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーの種類及び量を参酌して、例えば、０～１００℃とすることができる。

（離型工程）
　離型工程は硬化工程で硬化させた硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーから、転写型４０を外す工程である。
　離型工程を容易にするため、転写型４０に剥離処理を施したり、硬化性組成物５０中に離型剤を含ませたりしてもよい。

　図６に示すように、加圧用フィルムとして、得られる微細凹凸構造物１の基材１０を用いた場合、硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーから転写型４０を外せば、図１～３に示す微細凹凸構造物１が得られる。
　すなわち、図１の基材１０を備える微細凹凸構造物１を得るためには、加圧用フィルムとして基材１０を使用すると、製造工程が簡略化されるので好ましい。

　加圧用フィルムとして、得られる微細凹凸構造物１の基材１０以外のフィルムを使用した場合は、この加圧用フィルムを剥離して、その後必要に応じて基材１０を貼着すればよい。
　基材１０を貼着する場合は接着剤を用いることが好ましい。この場合の接着剤の種類に特に限定はない。

　本実施形態の製造方法における、硬化性組成物５０の挙動について、図７Ａ、図７Ｂを用いて説明する。
　まず、硬化性組成物５０を凹部４１の開口を閉塞するように塗布する。このとき、凹部４１内に気相５１を残存させた状態とする。この段階で、図７Ａに示すように、毛細管現象によって、凹部４１の周壁にそって硬化性組成物５０の一部が下降するが、残存した気相５１の圧力により、凹部４１内全体に硬化性組成物５０が充填されることはない。

　次いで、加圧用フィルムを介して、硬化性組成物５０に均質な圧力が加えられると、図７Ｂに示すように、凹部４１の周壁に沿った硬化性組成物５０の下降が進行する。
　一方、硬化性組成物５０の下降が進行するに伴い、気相５１の体積が小さくなり、圧力が高まるため、気相５１による硬化性組成物５０を支える力も強まる。そのため凸部２２の高さＨに対応する凹部４１の周壁に沿った硬化性組成物５０の下降量が大きくなっても、頂面２３の凹形状における最下点２３ｃの高さｈに対応する凹部４１中央部における硬化性組成物５０の侵入量が抑制される。

　したがって、硬化性組成物５０に均質な圧力を充分な大きさで加えた状態で硬化性組成物５０中の硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂又は熱可塑性エラストマーを硬化させると、高さＨが大きく、高さｈが過大とならない状態を維持したまま硬化する。そして、硬化時に、凹部４１内に侵入した硬化性組成物５０は、微細凹凸構造物１の凸部２２となり、硬化時に、凹部４１の上方に留まった硬化性組成物５０はベース層２１となる。
　そのため、大きい圧力で加圧するほど頂面２３の凹形状のアスペクト比が大きくなると考えられる。
　また、本実施形態の製造方法では、ヤング率の高い転写型４０を使用するため、加圧時の圧力を高くしても、転写型４０が変形しにくく、良好な転写性が得られるものと考えられる。

　なお、本発明において、転写型４０における凹部４１の配列に特に限定はなく、例えば、六方配列（図８（ａ））、矩形配列（図８（ｂ））、菱形配列（図８（ｃ））、直線状配列（図８（ｄ））、円状配列（図８（ｅ））又はランダム配列（図８（ｆ））とすることもできる。これらの配列の中でも、吸着シートとし使用した場合の吸着性に優れることから、六方配列、矩形配列又は菱形配列が好ましく、六方配列又は矩形配列がより好ましい。

　また、本実施形態の製造方法において、塗布工程の具体的な塗布手段に特に限定はなく、例えば、被特許文献１に記載されているように、凹部４１が形成されていない周縁部に硬化性組成物５０を供給し、その後上からかぶせたフィルムにより、硬化性組成物５０を押し広げるようにしてもよい。
　また、硬化工程において、支持フィルム３６は使用しなくともよい。

　また、本実施形態の製造方法において、塗布工程、硬化工程、及び離型工程を連続的に実施してもよい（図１０参照）。例えば、光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物５０を用いた場合の例を以下で説明する。

　この場合、塗布工程においては、硬化性組成物５０を基材１０上に供給する。
　その後、一定の速度で図１０矢印方向に基材１０を送り出し、転写型４０が回転することによって、硬化性組成物５０を転写型４０全体にならし広げる。

　基材１０と転写型４０との相対速度は１～５０，０００ｍｍ／分が好ましく、５～３０，０００ｍｍ／分がより好ましく、１０～１０，０００ｍｍ／分が更に好ましい。
　基材１０と転写型４０との相対速度が上記範囲の下限値以上であると、凹部４１内に気相を残存させた状態で塗布しやすい。
　基材１０と転写型４０との相対速度が上記範囲の上限値以下であると、充分な量の硬化性組成物５０を凹部４１の上に供給しやすい。

　硬化工程においては、ニップロール６０の硬度、圧力及び基材１０の張力によって押圧時の圧力を調整する。この時、基材１０を転写型４０に対して３３０ｋＰａ以上の均質な圧力で押圧しながら、未硬化の光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化させる。
　なお、均質な圧力とは、面方向において、加圧力がほぼ一定であることを意味する。

　加圧の圧力は、３３０ｋＰａ以上であり、３３０～３０，０００ｋＰａが好ましく、５００～１０，０００ｋＰａがより好ましい。
　加圧の圧力が上記範囲の下限値以上であれば、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面における凹形状のアスペクト比を大きくできる。加圧の圧力が上記範囲の上限値以下であれば、転写型及び／又は装置の連続使用性に優れる。

　その後、上記均質な圧力で加圧した状態で、未硬化の光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化源７０に前記活性エネルギー線を用い硬化する。

　離型工程は硬化工程で硬化させた光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーから転写型４０を外す工程であり、基材１０が矢印方向に移送されることで、転写型４０から硬化後の上記光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーが外れる。

　上述の塗布、硬化、離型工程を連続的に実施する方法は、熱硬化性樹脂、熱硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化性組成物５０を用いても実施することができるが、光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物５０を用いることが量産性、転写性の観点から好ましい。

＜第二の実施形態＞
　本発明の微細凹凸構造物の製造方法の第二の実施形態は、頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造を、少なくとも１つの表面に有する微細凹凸構造物であって、前記凸部が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物の硬化物からなり、前記硬化物の押込み弾性率が、０ＭＰａ超、１２ＭＰａ以下である、微細凹凸構造物の製造方法である。
　以下では、図４～７及び１０を適宜参照しながら、本発明の微細凹凸構造物の製造方法の第二の実施形態について説明する。

　本実施形態の製造方法は、以下の工程を備える。
（１）塗布工程
　塗布工程は、複数の凹部が形成されたヤング率が５０ＧＰａ以上の転写型に、前記複数の凹部内に気相を残存させた状態で複数の凹部の開口を閉塞するように未硬化の光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物を塗布する工程である。
（２）硬化工程
　硬化工程は、加圧用フィルムを、塗布した前記硬化性組成物を介して前記転写型に貼着し、前記加圧用フィルムを均質な圧力で押圧しながら、前記光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化させる工程である。
（３）離型工程
　離型工程は、前記転写型を、硬化させた光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーから離す工程である。

　得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の底面２４の形状及び大きさは、凹部４１の開口の形状及び大きさを転写したものとなる。すなわち、製造する微細凹凸構造物１の凸部２２の底面２４に外接する最小円の直径２Ｒ’は、凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒとほぼ等しい（図７Ａ、図７Ｂ参照）。
　また、凹部４１が柱状であれば、製造する微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面２３に外接する最小円の直径２Ｒも、凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒとほぼ等しい。
　また、凹部４１が開口から底部に向けて縮径又は伸径する形状であれば、製造する微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面２３に外接する最小円の直径２Ｒは、凹部４１の底部に外接する最小円の直径とほぼ等しい。
　一方、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の高さＨ及び頂面２３の凹形状の深さである（Ｈ－ｈ）は、凹部４１の深さｄだけでは決まらず、後述するように、硬化工程における圧力によって変化する。

　凹部４１の開口に外接する最小円の直径２ｒ（最小円の半径ｒの２倍）は、１～１０，０００μｍが好ましく、１０～１０，０００μｍがより好ましく、２０～５，０００μｍが更に好ましく、３０～３，０００μｍが特に好ましく、３０～２，０００μｍが最も好ましい。
　直径２ｒが上記範囲の下限値以上であると生産性に優れる。直径２ｒが上記範囲の上限値以下であると、塗布工程において、凹部４１内に気相を残存させた状態で凹部４１の開口を閉塞するようにして光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物を塗布しやすい。

　凹部４１の深さｄは、１０～２０，０００μｍが好ましく、２０～１５，０００μｍがより好ましく、３０～１０，０００μｍが更に好ましい。
　深さｄが上記範囲の下限値以上であると、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の高さＨと、頂面２３の凹形状の深さである（Ｈ－ｈ）を充分な大きさとしやすい。深さｄが上記範囲の上限値以下であると、転写型の生産性及びハンドリング性に優れる。

　転写型４０の凹部４１が形成された面の面積に対する凹部４１の開口面の面積の合計の割合は、２０～９９％が好ましく、３０～９５％がより好ましく、５０～９３％が更に好ましい。開口面の面積の合計の割合が上記範囲の下限値以上であれば、吸着シートとして使用する場合に吸着性に優れた微細凹凸構造物１を得られる。開口面の面積の合計の割合が上記範囲の上限値以下であれば、転写型からの離型が容易となり、製造しやすい。
　なお、凹部４１の開口面がすべて同一の大きさの円形である場合、転写型４０の凹部４１が形成された面の面積に対する凹部４１の開口面の面積の合計の割合の最大値は、９１％程度となる。

　転写型４０の製造方法としては、例えば、ダイヤモンドバイトによる切削による方法、国際公開第２００８／６９３２４号パンフレットに記載されるようなエッチングによる方法等が挙げられる。
　これらの中でも、球欠形状等の曲面を有する凹部４１を形成する場合は、生産性に優れることから、国際公開第２００８／６９３２４号パンフレットに記載されるようなエッチングによる方法が好ましく、角錐形状等の曲面を有さない凹部４１を形成する場合は、生産性に優れることから、ダイヤモンドバイトによる切削が好ましい。

（硬化性組成物）
　塗布工程で使用する硬化性組成物は、光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む塗液である。
　前記硬化性組成物において、光硬化性樹脂及び光硬化性エラストマーのいずれか一方を使用してもよいし、これらの両方を併用してもよい。
　前記光硬化性樹脂は、１種の材料を単独で用いてもよく、２種以上の材料を任意の組合せ及び比率で併用してもよいが、前記硬化物の押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御することができる観点から、２種以上の材料を組み合わせることが好ましい。
　前記光硬化性エラストマーは、１種の材料を単独で用いてもよく、２種以上の材料を任意の組合せ及び比率で併用してもよいが、前記硬化物の押込み弾性率及び破断伸度等の特性を制御することができる観点から、２種以上の材料を組み合わせることが好ましい。

　前記光硬化性エラストマーとしては、特に限定されないが、硬化物の弾性率の観点から、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－メチルブチル（メタ）アクリレート、ｎ－ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘプチル（メタ）アクリレート、２－メチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－ブチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソペンチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシ（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、モルホリン－４－イル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート等が挙げられる。

　前記硬化性組成物は、硬化時の温度におけるＢ型粘度計で測定した粘度が１０～５，０００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、２０～４，０００ｍＰａ・ｓであることがより好ましく、３０～３，０００ｍＰａ・ｓであることが更に好ましい。硬化時の温度における前記硬化性組成物の粘度が上記範囲の下限値以上であると、凹部４１内に気相を残存させた状態で塗布しやすい。硬化時の温度における前記硬化性組成物の粘度が上記範囲の上限値以下であると、前記硬化性組成物を均等に転写型４０全体に塗布しやすい。

（塗布工程）
　塗工手段としては、例えば、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコーター又はカーテンコートが挙げられる。以下、塗工手段としてバーコーターを用いた手段で説明する。
　バーコーターを用いる場合、まず、図４に示すように、転写型４０の凹部４１が形成された側の面であって、凹部４１が形成されていない周縁部に硬化性組成物５０を供給する。
　その後、図５に示すように、バーコーター３３のバー３４を一定の速度で動かし、硬化性組成物５０を転写型４０全体にならし広げる。

　バーコーター３３のバー３４の材料としては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂若しくはポリエステル樹脂等の樹脂；又は、アルミニウム若しくはステンレス鋼等の金属が挙げられる。
　バー３４の形状は、特に限定されることはなく、公知の形状のバー３４を用いることができる。

　バーコーター３３のバー３４と転写型４０との相対速度は、１～５０，０００ｍｍ／分が好ましく、５～３０，０００ｍｍ／分がより好ましく、１０～１０，０００ｍｍ／分が更に好ましい。
　バーコーター３３のバー３４と転写型４０との相対速度が上記範囲の下限値以上であることにより、凹部４１内に気相を残存させた状態で塗布しやすい。
　バーコーター３３のバー３４と転写型４０との相対速度が上記範囲の上限値以下であることにより、充分な量の硬化性組成物５０を凹部４１の上に供給しやすい。

　硬化性組成物５０の塗布方法として、例えば、凹部４１に直接滴下する方法を用いると、凹部４１に硬化性組成物５０が完全に充填されてしまい、内部に気相を残すことができない。
これに対して、硬化性組成物５０を、転写型４０の凹部４１が形成されていない部分に供給し、バーコーター３３により転写型４０全体に広げて平坦化させることにより、凹部４１内に硬化性組成物５０が完全に入り込むことが抑制され、内部に気相を残存させた状態で、凹部４１の開口を硬化性組成物５０で閉塞できる。

（硬化工程）
　硬化工程では、硬化性組成物５０を介して、転写型４０に加圧用フィルムを貼着し、この加圧用フィルムを均質な圧力で押圧しながら、光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化させる。
　なお、均質な圧力とは、面方向において、加圧力がほぼ一定であることを意味する。

　加圧用フィルムとして、硬化性組成物５０に接する側と反対の面に粘着層を有する基材１０を用いた場合、加圧板３２に粘着剤層が接しないよう、離型フィルム等で粘着剤層を覆うことが好ましい。
　加圧用フィルムとして、基材１０に代えて、他のフィルムを配置してもよい。他のフィルムを使用する場合には、硬化工程後に硬化した光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーから剥離可能な材質であることが好ましい。
　この様な加圧用フィルムとしては、碁盤目剥離試験（ＪＩＳ　Ｋ　５４００－８．５：１９９０）にて密着性が０点のものを使用することができる。

　加圧板３２による加圧の圧力は、３３０ｋＰａ以上が好ましく、３３０～３０，０００ｋＰａがより好ましく、５００～１０，０００ｋＰａが更に好ましい。
　加圧板３２による加圧の圧力が上記範囲の下限値以上であれば、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面における凹形状のアスペクト比を大きくできる。加圧板３２による加圧の圧力が上記範囲の上限値以下であれば、転写型及び／又は装置の連続使用性に優れる。

　硬化工程では、上記均質な圧力で加圧した状態で、光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化させる。具体的には、加圧板３２に設けられた活性エネルギー線照射面３５から活性エネルギー線を基材１０等のフィルムを介して硬化性組成物５０に照射する。

　前記活性エネルギー線としては、例えば、紫外線又は電子線が挙げられる。
　前記活性エネルギー線の照射量は、用いる光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化させる量であればよく、用いる光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーの種類及び量並びに重合開始剤の種類及び量を参酌して、例えば、波長が２００～４００ｎｍの紫外線を通常０．１～２００Ｊの範囲で照射する。
　前記活性エネルギー線の光源としては、例えばケミカルランプ、キセノンランプ、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプなどが用いられる。
　前記活性エネルギー線の照射は、１段で行ってもよいが、表面性状の良好な光硬化樹脂シートを得るためには、複数段で、少なくとも２段で行うことが好ましい。

（離型工程）
　離型工程は硬化工程で硬化させた光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーから、転写型４０を外す工程である。
　離型工程を容易にするため、転写型４０に剥離処理を施したり、硬化性組成物５０中に離型剤を含ませたりしてもよい。

　図６に示すように、加圧用フィルムとして、得られる微細凹凸構造物１の基材１０を用いた場合、光硬化性樹脂から転写型４０を外せば、図１～３に示す微細凹凸構造物１が得られる。
　すなわち、図１の基材１０を備える微細凹凸構造物１を得るためには、加圧用フィルムとして基材１０を使用すると、製造工程が簡略化されるので好ましい。

　したがって、硬化性組成物５０に均質な圧力を充分な大きさで加えた状態で硬化性組成物５０中の光硬化性樹脂を硬化させると、高さＨが大きく、高さｈが過大とならない状態を維持したまま硬化する。そして、硬化時に、凹部４１内に侵入した硬化性組成物５０は、微細凹凸構造物１の凸部２２となり、硬化時に、凹部４１の上方に留まった硬化性組成物５０はベース層２１となる。
　そのため、大きい圧力で加圧するほど頂面２３の凹形状のアスペクト比が大きくなると考えられる。
　また、本実施形態の製造方法では、ヤング率の高い転写型４０を使用するため、加圧時の圧力を高くしても、転写型４０が変形しにくく、良好な転写性が得られるものと考えられる。

　なお、本発明において、転写型４０における凹部４１の配列に特に限定はなく、例えば、六方配列（図８（ａ））、矩形配列（図８（ｂ））、菱形配列（図８（ｃ））、直線状配列（図８（ｄ））、円状配列（図８（ｅ））又はランダム配列（図８（ｆ））とすることができる。これらの配列の中でも、吸着シートとし使用した場合の吸着性に優れることから、六方配列、矩形配列又は菱形配列が好ましく、六方配列又は矩形配列がより好ましい。

　また、本発明において、塗布工程の具体的な塗布手段に特に限定はなく、例えば、非特許文献１に記載されているように、凹部４１が形成されていない周縁部に硬化性組成物５０を供給し、その後上からかぶせたフィルムにより、硬化性組成物５０を押し広げるようにしてもよい。
　また、硬化工程において、支持フィルム３６は使用しなくともよい。

　また、本実施形態の製造方法において、塗布、硬化、離型工程を連続的に実施してもよい（図１０参照）。

　硬化工程においては、ニップロール６０の硬度、圧力及び基材１０の張力によって押圧時の圧力を調整する。この時、基材１０を転写型４０に対して均質な圧力で押圧しながら、未硬化の光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを硬化させる。
　なお、均質な圧力とは、面方向において、加圧力がほぼ一定であることを意味する。

　加圧の圧力は、３３０ｋＰａ以上が好ましく、３３０～３０，０００ｋＰａがより好ましく、５００～１０，０００ｋＰａがさらに好ましい。
　加圧の圧力が上記範囲の下限値以上であれば、得られる微細凹凸構造物１の凸部２２の頂面における凹形状のアスペクト比を大きくできる。加圧の圧力が上記範囲の上限値以下であれば、転写型及び／又は装置の連続使用性に優れる。

　その後、上記均質な圧力で加圧した状態で、未硬化の光硬化性樹脂、又は未硬化の光硬化性エラストマーを硬化源７０に前記活性エネルギー線を用い硬化する。

　以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はその要旨を逸脱しない限り後述する実施例に限定されるものではない。なお、後述する実施例における各種の条件及び評価結果の値は、本発明の実施態様における好ましい範囲同様に、本発明の好ましい範囲を示すものであり、本発明の好ましい範囲は前記した実施態様における好ましい範囲と後述する実施例の値又は実施例同士の値の組合せにより示される範囲を勘案して決めることができる。

［測定方法、評価方法］
　実施例及び比較例において、以下の測定と評価を行った。

（相溶性）
　硬化性組成物の外観を目視にて確認し、白濁していない場合を「Ａ」、白濁しているが明らかな相分離はしていない場合を「Ｂ」、明らかに相分離している場合を「Ｃ」と評価した。

（押込み弾性率）
　硬化性組成物の硬化物の押込み弾性率を以下のようにして測定した。
　硬化性組成物をＳＵＳ板に数滴滴下した後、ＰＥＴフィルムを被せ、ローラーで押し付け平坦化した。その後、フュージョン社製のＵＶコンベアにて波長２００～４５０ｎｍ、エネルギー量１，０００ｍＪ／ｍ^２で紫外線を照射し、平面状の硬化サンプルを得た。
　得られた硬化サンプルの押込み弾性率を、微小硬度計（フィッシャー・インストルメンツ社製、商品名「ＨＭ－２０００」）を用い、ＩＳＯ１４５７７－１の規格に則って、測定温度２５℃で測定した。

（破断伸度）
　硬化性組成物の硬化物の破断伸度を以下のようにして測定した。
　押込み弾性率の測定と同様にして、硬化サンプルを得た。
　得られた硬化サンプルの破断伸度を、小型卓上試験機（島津サイエンス社製、商品名「ＥＺ－ＴＥＳＴ」）を用い、ＪＩＳ　Ｋ　７１２７の規格に則って、５ｍｍ／ｍｉｎの速度条件で測定した。

（静的接触角）
　硬化性組成物の硬化物の静的接触角を以下のようにして測定した。
　押込み弾性率の測定と同様にして、硬化サンプルを得た。
　２５℃の純水１μＬを硬化サンプルに滴下し、Ｄａｔａｐｈｙｓｉｃｓ社製のＴＢＵ　９０ＥＬＨを用いて、静的接触角を測定した。

（アスペクト比）
　転写型から離型後の微細凹凸構造物のサンプルにおける１０個の凸部を、画像処理装置（ニコンインステック社製、商品名「ＮＥＸＩＶ　ＶＭＺ－Ｈ３０３０」）を用いて凸部の高さＨ、頂面の凹形状における最下点の高さｈ、及び凸部の頂面に外接する最小円の半径Ｒを測定し、下記式（１）で表される頂面の凹形状のアスペクト比（Ｘ）を求めた（図３Ａ、図３Ｂ参照）。なお、Ｒについては、近似的に転写型における凹部の開口面の半径をＲと見做して用いた。
　Ｘ＝（Ｈ－ｈ）／Ｒ　　・・・（１）

　実施例６～８、比較例３～８では、比較例２のアスペクト比を基準値とし、この基準値からのアスペクト比の増加割合が１％以上のシートを「Ａ」、１％未満のシートを「Ｃ」と評価した。また、転写型の押圧軸方向変位割合が「Ｂ」又は「Ｃ」の場合、アスペクト比の算出は困難であったため「測定不可」とした。

（吸着性能）
　微細凹凸構造物のサンプルの水中における面吸着力を小型卓上試験機（島津サイエンス社製、商品名「ＥＺ－ＴＥＳＴ」）を用い、以下のようにして測定した。
　具体的には、図９に示すように、小型卓上試験機の下チャック部分を被着体６１に変更し、上チャック部分を微細凹凸構造物１に変更した。被着体６１としてはＳＵＳ板を用いた。また、被着体６１の上にシリコーン枠６２を設置し、シリコーン枠６２内を水で満たした。微細凹凸構造物１のサイズは、縦２５ｍｍ、横２５ｍｍとした。この微細凹凸構造物１には、１２１個の凸部２２が形成されていた。
　微細凹凸構造物１の凸部２２が被着体６１に吸着するように、微細凹凸構造物１を被着体６１に５０Ｎ程度の一定の荷重で下方向に押し付けた後、上方向に引き上げ、その際に働く力を測定し、これを微細凹凸構造物１の水中における面吸着力とした。
　試行回数は５０回とし、５０回の試行回数における最大面吸着力と平均面吸着力を算出した。

（吸着繰返し性）
　吸着性能の評価における５０回目の面吸着力と平均面吸着力に基づき、下記式（２）より吸着力の減少割合を求めた。吸着力の減少割合が、１０％未満の場合を「Ａ」、１０％以上、２０％未満の場合を「Ｂ」、２０％以上の場合を「Ｃ」と評価した。
　吸着力の減少割合（％）＝１００－（１００×５０回目の面吸着力／平均面吸着力）　　・・・（２）

（凸部の破損数の測定）
　吸着性能を評価した後の微細凹凸構造物のサンプルを走査型顕微鏡で平面観察し、破損した凸部の数を、画像処理装置（ニコンインステック社製、商品名「ＮＥＸＩＶ　ＶＭＺ－Ｈ３０３０」）を用いて算出した。
　なお、ここでいう「破損した凸部」とは、頂面の凹形状が一部又は完全に失われた凸部のことである。

（ヤング率）
　フィッシャー・インストルメンツ社製フィッシャースコープＨＭ２０００を用いて押込み試験を行うことによって測定した。

（離型性）
　転写型から離型後の微細凹凸構造物のサンプルを走査型顕微鏡で平面観察し、全体の凸部に対する破損した凸部（離型する際に破損した凸部）の割合を、画像処理装置（ニコンインステック社製、ＮＥＸＩＶ　ＶＭＺ－Ｈ３０３０）を用いて算出した。ここでいう破損した凸部とは、頂面の凹形状が完全に失われた凸部の意味である。
　離型する際に破損した凸部の割合が５％未満のシートを「Ａ」、５％以上１０％未満のシートを「Ｂ」、１０％以上のシートを「Ｃ」と評価した。

（転写性）
　押圧時の転写型の押圧軸方向変位割合を、明昌機工社製のナノインプリント装置（ＮＭ－０５０１）を用いて測定した。非押圧時における転写型転写面の押圧軸方向の座標を基準として、押圧時における転写型転写面の押圧軸方向の座標への変位量を算出した。もとの転写型厚みに対する変位量を押圧軸方向変位割合とした。
　押圧軸方向変位割合が５％未満のシートを「Ａ」、５％以上１０％未満のシートを「Ｂ」、１０％以上のシートを「Ｃ」と評価した。

［使用原料］
　以下の材料を原料として使用した。
＜硬化性組成物の材料＞
・２官能以上のモノマー又はオリゴマー［（Ａ）成分］
　Ａ－１ウレタンアクリレート（ダイセル・オルネクス社製、商品名「ＥＢＥＣＲＹＬ　２３０」、質量平均分子量（Ｍｗ）：５，０００、官能基数：２、官能基当たりの質量平均分子量：２，５００）。
　Ａ－２：ウレタンアクリレート（ダイセル・オルネクス社製、商品名「ＥＢＥＣＲＹＬ　８４０２」、質量平均分子量（Ｍｗ）：１，０００、官能基数：２、官能基当たりの質量平均分子量：５００）。
　Ａ－３：ウレタンアクリレート（三菱ケミカル社製、商品名「紫光３５２０ＴＨ」、質量平均分子量（Ｍｗ）：１３，０００、官能基数：２、官能基当たりの質量平均分子量：６，５００）。
　Ａ－４：ウレタンアクリレート（ＡＲＫＥＭＡ社製、商品名「ＣＮ８８８７ＮＳ」、質量平均分子量（Ｍｗ）：１８，５００、官能基数：２、官能基当たりの質量平均分子量：９，２５０）。
　Ａ－５：ウレタンアクリレート（ダイセル・オルネクス社製、商品名「ＫＲＭ７７３５」、質量平均分子量（Ｍｗ）：７，２００、官能基数：２、官能基当たりの質量平均分子量：３，６００）。
・単官能のモノマー又はオリゴマー［（Ｂ）成分］
　Ｂ－１：特殊アクリレート（東亞合成社製、商品名「アロニックスＭ－１２０」）。
　Ｂ－２：特殊アクリレート（第一工業製薬社製、商品名「ニューフロンティアＰＨＥ」）。
・光重合開始剤［（Ｃ）成分］
　Ｃ－１：１－ヒドロキシ－シクロヘキシル－フェニル－ケトン（ＢＡＳＦ社製、商品名「ＩＲＧＡＣＵＲＥ　１８４」）
　Ｃ－２：２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニル－フォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ社製、商品名「ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＴＰＯ」
　Ｃ－３：Ｃ－１とＣ－２を質量比１：０．１で混合したもの
・添加剤［（Ｄ）成分］
　Ｄ－１：親水化剤（大成ファインケミカル社製、商品名「８ＷＸ-３０１３」）。
＜基材＞
　ＰＥＴフィルム：（三菱ケミカル社製、商品名「ダイアホイル」、フィルム厚さ：１２５μｍ）。

［実施例１］
（硬化性組成物の調製）
　（Ａ）成分としてＡ－１を４９．５質量部と、（Ｂ）成分としてＢ－１を４９．５質量部と、（Ｃ）成分としてＣ－１を１質量部とを混合し、泡取り練太郎（シンキー社製、商品名「ＡＲ－２５０」）を用いて２０分間撹拌し、その後１０分間脱泡して、硬化性組成物を調製した。
　得られた硬化性組成物について、相溶性を評価した。結果を表１に示す。

（微細凹凸構造物の製造）
　ヤング率６８ＧＰａのアルミニウム合金製で直径１．０ｍｍ、高さ２．０ｍｍの円柱状の凹部が、ピッチ３．０ｍｍで設けられた転写型を作製した。この転写型に、硬化性組成物を温度２５℃の条件で塗布した。
　塗布は、転写型の凹部が形成されていない周縁部に硬化性組成物を供給し、その後、バーコーターのバーを４．１ｃｍ／秒の速度で動かし、転写型全体にならし広げることにより行った。バーコーターとしては、ＲＫ　Ｐｒｉｎｔ　Ｃｏａｔ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　Ｌｔｄ社製の商品名「Ｋ１０１　ＣＯＮＴＲＯＬ　ＣＯＡＴＥＲ」を用い、バーコーターのバーの番手は５番とした。これにより、各凹部内に気相を残した状態で、各凹部の開口を硬化性組成物で覆い、閉塞した。
　その後、転写型上に基材としてＰＥＴフィルムを載せ、圧力３３３ｋＰａの押圧下で高圧水銀ランプを用いて波長２００～４５０ｎｍ、エネルギー量１，０００ｍＪ／ｍ^２で紫外線を照射した。
　その後、金型内で硬化した硬化性組成物の硬化物をＰＥＴフィルムと共に金型から剥離させ、実施例１の微細凹凸構造物を得た。
　得られた微細凹凸構造物について、押込み弾性率、破断伸度、静的接触角、アスペクト比（Ｘ）及び凸部の破損数を測定し、吸着性能及び吸着繰り返し性を評価した。結果を表１に示す。

［実施例２～５、比較例１］
　表１に示す配合組成となるように、各成分の配合量変更した以外は、実施例１と同様にして硬化性組成物を調製し、得られた硬化性組成物を用いて微細凹凸構造物を製造し、各種測定及び評価を行った。結果を表１に示す。

　実施例１－１～実施例１－５と比較例１－１との比較から、押込み弾性率を低くすることで、得られた微細凹凸構造物の吸着シートとしての吸着力が高いことがわかった。
　また、実施例１～５と比較例１との比較から、破断伸度を高くすることで、得られた微細凹凸構造物の吸着シートとしての繰り返し性に優れることがわかった。

［製造例１］
　ＥＢＥＣＲＹＬ２３０の５０質量部、アロニックスＭ－１２０の５０質量部、ＩＲＧＡＣＵＲＥ　１８４の１質量部、ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＴＰＯの０．１質量部を、泡取り練太郎（シンキー社製、ＡＲ－２５０）を用い２０分間撹拌し、その後１０分間脱泡して硬化性組成物Ｃを得た。

［実施例６］
　ヤング率６８ＧＰａのアルミニウム合金製で直径１．０ｍｍ、高さ２．０ｍｍの円柱状の凹部が、ピッチ３．０ｍｍで設けられた転写型を作製した。この転写型に、製造例１で得られた硬化性組成物Ｃを温度２５℃、粘度４０２ｍＰａ・ｓの条件で塗布した。
　塗布は、転写型の凹部が形成されていない周縁部に硬化性組成物Ｃを供給し、その後、バーコーターのバーを４．１ｃｍ/秒の速度で動かし、転写型全体にならし広げることにより行った。バーコーターとしては、ＲＫ　Ｐｒｉｎｔ　Ｃｏａｔ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　Ｌｔｄ社製Ｋ１０１　ＣＯＮＴＲＯＬ　ＣＯＡＴＥＲを用い、バーコーターのバーの番手は５番とした。これにより、各凹部内に気相を残した状態で、各凹部の開口を硬化性組成物Ｃで覆い、閉塞した。
　その後、転写型上に基材を載せ、圧力３３３ｋＰａの押圧下で高圧水銀ランプを用いて波長２００～４５０ｎｍ、エネルギー量１，０００ｍＪ／ｍ^２で紫外線を照射した。
　その後、金型内で硬化した硬化性組成物Ｃの硬化物を基材と共に金型から剥離させ、実施例６の微細凹凸構造物を得た。

［実施例７］
　紫外線照射時の圧力を、表２に記載したように変更した他は、実施例６と同様にして、実施例７の微細凹凸構造物を得た。

［実施例８］
　紫外線照射時の圧力を、表２に記載したように変更した他は、実施例６と同様にして、実施例８の微細凹凸構造物を得た。

［比較例２］
　紫外線照射時の圧力を、表２に記載したように変更した他は、実施例６と同様にして、比較例２の微細凹凸構造物を得た。

［比較例３］
　ヤング率０．００１８ＧＰａのジメチルポリシロキサン（ＰＤＭＳ）製で直径１．０ｍｍ、高さ２．０ｍｍの円柱状の凹部が、ピッチ３．０ｍｍで設けられた転写型を作製した。
　この転写型を用い、紫外線照射時の圧力を、表３に記載したように変更した他は、実施例２と同様にして、比較例３の微細凹凸構造物を得た。

［比較例４］
　紫外線照射時の圧力を、表３に記載したように変更した他は、比較例３と同様にして、比較例４の微細凹凸構造物を得た。

［比較例５］
　紫外線照射時の圧力を、表３に記載したように変更した他は、比較例３と同様にして、比較例５の微細凹凸構造物を得た。

［比較例６］
　ヤング率０．００２８ＧＰａのポリウレタンアクリレート（ＰＵＲ）製で直径１．０ｍｍ、高さ２．０ｍｍの円柱状の凹部が、ピッチ３．０ｍｍで設けられた転写型を作製した。
　この転写型を用い、紫外線照射時の圧力を、表３に記載したように変更した他は、実施例６と同様にして、比較例６の微細凹凸構造物を得た。

［比較例７］
　紫外線照射時の圧力を、表３に記載したように変更した他は、比較例６と同様にして、比較例７の微細凹凸構造物を得た。

［比較例８］
　紫外線照射時の圧力を、表２に記載したように変更した他は、比較例６と同様にして、比較例８の微細凹凸構造物を得ようとしたが、転写型が破損したために、離型できなかった。

　上記実施例６～８、比較例２～８の処方及び評価結果を表２、表３に示す。

　実施例６～８と比較例２との比較から、硬化時に３００ｋＰａより大きい圧力を加えることにより、凸部頂面における凹形状のアスペクト比を大きくできることがわかった。
　また、実施例６～８と比較例３～８との比較から、硬化時に充分な圧力を加えるためには、ヤング率の高い転写型を使用する必要があることがわかった。

　以上、添付図面を参照しながら本発明の実施形態及び実施例について説明したが、本発明は上記実施形態及び実施例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各材料及び条件の組合せ等は一例であって、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて設計要求等に基づき種々変更可能である。

　１　　微細凹凸構造物
　１０　基材
　２０　硬化物層
　２１　ベース層
　２２　凸部
　２３　頂面
　２３ａ，２３ｂ　周縁
　２３ｃ　最下点
　２４　底面
　２４ａ，２４ｂ　周縁
　３２　加圧板
　３３　バーコーター
　３４　バー
　３５　活性エネルギー線照射面
　３６　支持フィルム
　４０　転写型
　４１　凹部
　５０　硬化性組成物
　５１　気相
　６０　ニップロール
　６１　被着体
　６２　シリコーン枠
　７０　硬化源

Claims

　頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造を、少なくとも１つの表面に有する微細凹凸構造物であって、
　前記凸部が光硬化性樹脂又は光硬化性エラストマーを含む硬化性組成物の硬化物からなり、
　前記硬化物の押込み弾性率が、０ＭＰａ超、１２ＭＰａ以下である、微細凹凸構造物。
　前記硬化物の破断伸度が７０～１，５００％である、請求項１に記載の微細凹凸構造物。
　前記凸部が光硬化性樹脂を含む硬化性組成物の硬化物からなる、請求項１又は２に記載の微細凹凸構造物。
　前記硬化性組成物が、
　（Ａ）成分：２官能以上のモノマー及びオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも１種と、
　（Ｂ）成分：単官能モノマー及びオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも１種と、
　（Ｃ）成分：光重合開始剤と、
　（Ｄ）成分：添加剤と
を含み、
　前記硬化性組成物の総質量に対して、前記（Ａ）成分の含有量が１０～９９．９質量％であり、前記（Ｂ）成分の含有量が０～８９．９質量％であり、前記（Ｃ）成分の含有量が０．１～３質量％であり、前記（Ｄ）成分の含有量が０～３０質量％である、請求項３に記載の微細凹凸構造物。
　前記硬化性組成物の総質量に対して、前記（Ａ）成分の含有量が１０～８９．８質量％であり、前記（Ｂ）成分の含有量が１０～８９．８質量％であり、前記（Ｃ）成分の含有量が０．１～３質量％であり、前記（Ｄ）成分の含有量が０．１～３０質量％である、請求項４に記載の微細凹凸構造物。
　前記（Ａ）成分の官能基当たりの質量平均分子量が６００～５０，０００である、請求項４又は５に記載の微細凹凸構造物。
　前記凸部は頂面が凹形状とされた円柱状である、請求項１～６のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物。
　前記凸部の底面に外接する最小円の直径が１～１０，０００μｍである、請求項１～７のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物。
　前記凸部の高さが１０～１０，０００μｍである、請求項１～８のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物。
　前記凸部の頂面に外接する最小円の半径に対する、前記頂面の凹形状の深さの比が０．３～１．５である、請求項１～９のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物。
　前記微細凹凸構造が表面に形成された硬化物層を備える、請求項１～１０のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物。
　前記微細凹凸構造物が吸着シートである、請求項１～１１のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物。
　頂面が凹形状とされた複数の凸部を有する微細凹凸構造が形成された、硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化物層を備える微細凹凸構造物の製造方法であって、
　複数の凹部が形成されたヤング率が５０ＧＰａ以上の転写型に、前記複数の凹部内に気相を残存させた状態で前記複数の凹部の開口を閉塞するように未硬化の前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化性組成物を塗布する工程、
　加圧用フィルムを、塗布した前記硬化性組成物を介して前記転写型に貼着し、前記加圧用フィルムを、前記転写型に対して３３０ｋＰａ以上の均質な圧力で押圧しながら、前記未硬化の硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を硬化させる工程、並びに
　前記転写型を、硬化させた前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む硬化物層から離す工程
を備える、微細凹凸構造物の製造方法。
　前記硬化性樹脂、硬化性エラストマー、熱可塑性樹脂及び熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種が、硬化性樹脂又は硬化性エラストマーである、請求項１３に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記転写型のヤング率が１，０００ＧＰａ以下である、請求項１３又は１４に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記硬化させる工程における圧力が３０，０００ｋＰａ以下である、請求項１３～１５のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記複数の凹部の各々の開口に外接する最小円の直径が１～１０，０００μｍである、請求項１３～１６のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記複数の凹部の深さが０．５～２０，０００μｍである、請求項１３～１７のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記複数の凹部の各々の開口に外接する最小円の直径に対する前記複数の凹部の深さの比の値が０．５以上である、請求項１３～１８のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記複数の凹部の形状が円柱状である、請求項１３～１９のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記塗布する工程の温度における前記硬化性組成物のＢ型粘度計で測定した粘度が１０～５，０００ｍＰａ・ｓである、請求項１３～２０のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記微細凹凸構造物の前記複数の凸部の頂面は前記凸部の底面に外接する最小円の半径に対する前記頂面の深さの比の値が０．３～１．５である凹形状とされている、請求項１３～２１のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記微細凹凸構造物は基材と前記基材上に設けられた前記硬化物層を備え、前記加圧用フィルムとして前記基材を用いる、請求項１３～２２のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。
　前記微細凹凸構造物が吸着シートである、請求項１３～２３のいずれか一項に記載の微細凹凸構造物の製造方法。