WO2021090543A1 - 搬送システム及びグリッドシステム - Google Patents

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WO2021090543A1
WO2021090543A1 PCT/JP2020/028769 JP2020028769W WO2021090543A1 WO 2021090543 A1 WO2021090543 A1 WO 2021090543A1 JP 2020028769 W JP2020028769 W JP 2020028769W WO 2021090543 A1 WO2021090543 A1 WO 2021090543A1
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transport
area
traveling
article
blocking
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PCT/JP2020/028769
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亘 北村
栄二郎 青木
敏一 中川
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村田機械株式会社
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Priority to US17/772,284 priority patent/US20220384229A1/en
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Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a transport system and a grid system.
  • Patent Document 1 discloses a system in which a trolley transports a container on a grid-like traveling path.
  • the trolley occupies two squares of the running path when traveling, but when the container is transferred, the beam occupies three squares of the traveling path due to the rotation of the beam. ..
  • the occupied area (blocking area) is an area that other trolleys cannot pass through.
  • One aspect of the present invention is to provide a transport system and a grid system capable of improving the transport efficiency of a transport carriage.
  • the transport system is a transport system including a plurality of transport carriages and a controller for controlling the plurality of transport carriages, and the transport carriage is a traveling unit for traveling the transport carriages and a traveling unit for traveling the transport carriages.
  • the controller has a transfer unit that moves along the horizontal direction with respect to the traveling unit and transfers the article to and from the loading platform, and the controller transfers the article to and from the loading platform by a transport trolley.
  • blocking control is performed to prevent other transport trolleys other than the transport trolley from entering the blocking area corresponding to the area occupied by the transport trolley when the article is transferred in a plan view.
  • the trolley When the trolley transfers an article to and from the mounting pedestal, the trolley travels along a route for accessing the mounting pedestal from the first direction, and when the transport trolley accesses the mounting pedestal from the first direction.
  • the area of the blocking area is equal to or less than the area of the blocking area when the transport carriage accesses the mounting platform from a second direction different from the first direction.
  • the transport carriages are provided so as to be able to travel along the travel paths arranged in a grid pattern in a plan view, and the first direction is a direction perpendicular to the second direction.
  • the blocking area is divided into cell units corresponding to the squares of the rail, and the size of the area of the blocking area may correspond to the size of the number of cells that divide the blocking area.
  • the traveling path is a rail extending and suspended along the horizontal direction
  • the traveling portion has traveling wheels rolling on the rail
  • the transfer portion is , It may have an article holder for holding the article under the rail.
  • the so-called grid system it is possible to improve the transport efficiency of the transport carriage.
  • the controller stores a map in which a plurality of mounts and information on the area of the blocking area defined for each of a plurality of access directions to the mounts are associated with each other. Therefore, the controller may use the map to determine the access direction in which the area of the blocking area is the smallest as the first direction. As a result, the area of the blocking region when the article is transferred can be efficiently minimized.
  • the controller calculates the information regarding the area of the blocking region for each of a plurality of access directions to the mount after determining the mount to be accessed by the transport carriage. Based on the information, the access direction in which the area of the blocking region is the smallest may be determined as the first direction. As a result, each time the transport trolley accesses the mounting platform, the information is calculated to determine the first direction, so that a situation occurs in which the traveling environment of the transport trolley temporarily changes for some reason. However, the area of the blocking region when the article is transferred can be surely minimized according to the situation.
  • the transfer portion of the transport trolley moves with respect to the traveling portion in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport trolley in the horizontal plane, and the transport trolley is mounted from the first direction.
  • the area of the blocking area when accessing the pedestal is smaller than the area of the blocking area when the transport trolley accesses the pedestal from the second direction, and the transport trolley accesses the gantry from the first direction.
  • the transfer part does not protrude from the traveling part when the article is transferred and the transport trolley accesses the loading platform from the second direction
  • the article is transferred from the traveling part when the article is transferred in the plan view.
  • the part may protrude. This makes it possible to improve the transport efficiency of the transport carriage in the transport system having such a configuration.
  • a plurality of mounts including the mount are arranged side by side along a predetermined parallel direction, and when the transport carriage accesses the mount from the first direction.
  • the area of the blocking area is equal to the area of the blocking area when the transport carriage accesses the mounting platform from the second direction, and the first direction is a direction along a predetermined parallel direction rather than the second direction. It may be.
  • the priority of the mounting table in the parallel direction can be increased. Therefore, for example, the articles can be smoothly moved between the mounting tables arranged side by side.
  • the transport trolley moves to a position where an article can be transferred to and from the mounting trolley when the transport trolley accesses the mounting pedestal from the first direction.
  • the arrival time until the carrier arrives at the position where the goods can be transferred between the carrier and the carrier when the carrier accesses the mount from the second direction. May be short. In this case, the priority of the arrival time can be increased in the access to the loading platform of the transport carriage.
  • the area of the blocking area when the transport carriage accesses the mounting platform from the first direction is the blocking when the transport carriage accesses the mounting platform from the second direction.
  • the arrival time until the transport trolley reaches the position where the article can be transferred to and from the cradle is the transport trolley. May be shorter than the arrival time until the transport carriage arrives at a position where the article can be transferred to and from the mounting table when accessing the mounting table from the second direction. In this case, the priority of the arrival time can be increased in the access to the loading platform of the transport carriage.
  • the arrival time until the transport trolley reaches a position where articles can be transferred to and from the mounting pedestal May be longer than the arrival time until the transport trolley reaches a position where articles can be transferred to and from the cradle when the transport trolley accesses the cradle from the second direction.
  • the transport carriage can access the loading platform so that the area of the blocking region is small even if the arrival time is long when the article is transferred.
  • the controller uses the transport cart to a position where articles can be transferred to and from the mount when accessing the mount from the first direction among a plurality of transport carts. You may send a command to travel along the route to any of the transport carriages that has the shortest arrival time. This makes it possible to improve the transport efficiency.
  • the grid system includes rails extending in a horizontal direction and arranged in a grid pattern, a plurality of transport carriages capable of traveling along the rails, a controller for controlling the plurality of transport carriages, and the like.
  • the transport trolley is a grid system provided with the above, and the transport trolley moves with respect to the traveling portion on which the transport trolley is traveled and the traveling portion in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport trolley in a horizontal plane. It has a transfer unit for transferring articles between the rails, and the controller occupies the transport trolley when the articles are transferred in a horizontal view at the time of transfer when the articles are transferred to and from the loading trolley by the transport trolley.
  • Blocking control is performed to prevent other transport carriages other than the transport carriage from entering the blocking region, which is the area to be used and is divided into cell units corresponding to the squares of the rail. If there is a first direction in which the transfer unit does not protrude into another cell adjacent to the cell occupied by the traveling unit when the transfer unit is moved at the time of transfer, the transfer unit is placed on the mounting table. Access is realized from the first direction.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of a transport system according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of a transport carriage.
  • FIG. 3 is a side view showing an example of a transport carriage.
  • FIG. 4 is a block diagram showing a transport system.
  • FIG. 5A is a plan view showing an example of a blocking region of blocking control.
  • FIG. 5B is a plan view showing another example of the blocking region of the blocking control.
  • FIG. 5C is a plan view showing still another example of the blocking region of the blocking control.
  • FIG. 6 is a plan view showing each region partitioned in the grid cell.
  • FIG. 7A is a plan view showing an example of a blocking region when the access direction is the Y direction.
  • FIG. 7A is a plan view showing an example of a blocking region when the access direction is the Y direction.
  • FIG. 7B is a plan view showing a continuation of FIG. 7A.
  • FIG. 8 is a plan view showing an example of a blocking region when the access direction is the X direction.
  • FIG. 9 is a plan view showing a continuation of FIG.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of a map.
  • FIG. 11 is a plan view showing an example of the parallel arrangement direction of the load ports.
  • FIG. 12 is a plan view for explaining an operation example of the transport system.
  • FIG. 13 is a plan view for explaining another operation example of the transport system.
  • the scale is appropriately changed and expressed, such as drawing a part in a large or emphasized manner.
  • the direction in the figure will be described by the XYZ coordinate system.
  • a plane parallel to the horizontal plane is defined as an XY plane.
  • One direction along the XY plane is referred to as the X direction
  • the direction orthogonal to the X direction is referred to as the Y direction.
  • the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction.
  • the direction indicated by the arrow in the drawing is the + direction
  • the direction opposite to the direction indicated by the arrow is the ⁇ direction.
  • the turning direction around the vertical axis or the Z axis is referred to as the ⁇ Z direction.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of a transport system SYS according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view of the transport carriage V used in the transport system SYS of FIG.
  • FIG. 3 is a side view showing the transport carriage V of FIG.
  • FIG. 4 is a block diagram showing the transport system SYS of FIG.
  • the transport system SYS is a grid system for transporting the article M by the transport carriage V in, for example, a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • the transport system SYS includes a first transport carriage V1 to an nth transport carriage Vn (hereinafter, may be collectively referred to as a transport carriage V) (see FIG. 4) and a system controller 5 that controls a plurality of transport carriages V. Be prepared.
  • a transport carriage V is a ceiling transport carriage.
  • the transport carriage V moves along the rail R of the transport system SYS.
  • the rail R is a traveling path of the transport carriage V.
  • the transport carriage V moves along the rail R of the transport system SYS and transports an article M such as a FOUP accommodating a semiconductor wafer or a reticle Pod accommodating a reticle.
  • the transport carriage V may be referred to as a traveling vehicle.
  • Rail R is laid on or near the ceiling of a building such as a clean room.
  • the rail R is provided adjacent to, for example, a processing device, a stocker (automated warehouse), or the like.
  • the processing apparatus is, for example, an exposure apparatus, a coater developer, a film forming apparatus, an etching apparatus, or the like, and various processes are applied to the semiconductor wafer in the container transported by the transport carriage V.
  • the stocker stores the article M transported by the transport carriage V.
  • the rail R is an example of the form of the traveling path.
  • the rails R are arranged in a grid pattern in a plan view.
  • the rail R is a rail that extends and is suspended along the horizontal direction.
  • the rail R has a plurality of first rails R1, a plurality of second rails R2, and a plurality of intersections R3.
  • the rail R will be referred to as a grid-like rail R.
  • the plurality of first rails R1 extend along the X direction, respectively.
  • the plurality of second rails R2 extend along the Y direction, respectively.
  • the grid-like rail R is formed in a grid pattern in a plan view by the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2.
  • the grid-like rail R forms a plurality of squares by the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2.
  • the intersection R3 is arranged at a portion where the first rail R1 and the second rail R2 intersect.
  • the intersection R3 is adjacent to the first rail R1 in the X direction and adjacent to the second rail R2 in the Y direction.
  • the intersection R3 is a connection track that connects the first rail R1 and the second rail R2, connects the first rail R1 to each other, and connects the second rail R2 to each other.
  • it is a track used when traveling from the second rail R2 to the first rail R1 and when traveling.
  • the grid-like rail R is provided in a direction in which the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2 are orthogonal to each other, so that the plurality of grid cells (cells) 2 are adjacent to each other in a plan view.
  • One grid cell 2 corresponds to one square, and is surrounded by two first rails R1 adjacent to each other in the Y direction and two second rails R2 adjacent to each other in the X direction in a plan view. It is a rectangular area.
  • FIG. 1 shows a part of the grid-like rail R, and the grid-like rail R has the same structure continuously formed in the X direction and the Y direction from the structure shown in the figure.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 are suspended from a ceiling (not shown) by a suspension member H (see FIG. 1).
  • the suspension member H includes a first portion H1 for suspending the first rail R1, a second portion H2 for suspending the second rail R2, and a third portion H3 for suspending the intersection R3.
  • the first portion H1 and the second portion H2 are provided at two locations sandwiching the third portion H3, respectively.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 each have traveling surfaces R1a, R2a, and R3a on which the traveling wheels 21 described later of the transport carriage V travel.
  • a gap is formed between the first rail R1 and the intersection R3, and between the second rail R2 and the intersection R3, respectively.
  • the gaps between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3 are formed when the carrier V travels on the first rail R1 and crosses the second rail R2, or This is a portion through which the connecting portion 30 described later, which is a part of the transport carriage V, passes when traveling on the second rail R2 and crossing the first rail R1.
  • the gaps between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3 are provided with a width through which the connecting portion 30 can pass.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 are provided along the same horizontal plane.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 are arranged on the same horizontal plane as the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the first rail R1 is a one-way rail.
  • the traveling directions of the pair of adjacent first rails R1 are different from each other.
  • the traveling direction of the transport carriage V is one side in the X direction (either the ⁇ X direction or the + X direction), and among the pair of adjacent first rails R1.
  • it is the other direction in the X direction (either the ⁇ X direction or the + X direction, whichever is the other).
  • the second rail R2 is a one-way rail. The traveling directions of the pair of adjacent second rails R2 are different from each other.
  • the traveling direction of the transport carriage V is the other side in the Y direction (either the ⁇ Y direction or the + Y direction), and among the pair of adjacent first rails R1. On the other hand, it is the other direction in the X direction (either the ⁇ Y direction or the + Y direction, whichever is the other).
  • the transport system SYS is equipped with a communication system (not shown).
  • the communication system is used for communication between the transport carriage V and the system controller 5.
  • the transport carriage V and the system controller 5 are connected to each other so as to be able to communicate with each other via a communication system.
  • the configuration of the transport carriage V will be explained. As shown in FIGS. 2 to 4, the transport carriage V is provided so as to be able to travel along the grid-like rail R.
  • the transport carriage V has a main body portion 10, a traveling portion 20, a connecting portion 30, and a carriage controller 50.
  • the main body 10 is arranged below the grid rail R (on the -Z direction side).
  • the main body 10 is formed, for example, in a rectangular shape in a plan view.
  • the main body 10 is formed in a size that fits in one grid cell 2 (see FIG. 1) on the grid rail R in a plan view. Therefore, a space is secured to pass the other transport carriages V traveling on the adjacent first rail R1 or second rail R2.
  • the main body portion 10 includes an upper unit 17 and a transfer device (transfer portion) 18.
  • the upper unit 17 is suspended from the traveling portion 20 via the connecting portion 30.
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in a plan view, and has four corners on the upper surface 17a.
  • the main body portion 10 has a traveling wheel 21, a connecting portion 30, and a direction changing mechanism 34 at each of the four corner portions.
  • the traveling wheels 21 arranged at the four corners of the main body 10 allow the main body 10 to be stably suspended and the main body 10 to be stably traveled.
  • the transfer device 18 moves along the horizontal direction with respect to the traveling unit 20 and transfers the article to and from the load port (mounting table) P.
  • the transfer device 18 is provided below the upper unit 17.
  • the transfer device 18 can rotate around the rotation axis AX1 in the Z direction.
  • the transfer device 18 slides the article holding unit 13 that holds the article M under the grid rail R, the elevating drive unit 14 that raises and lowers the article holding unit 13 in the vertical direction, and the elevating drive unit 14 in the horizontal direction. It has a side-out mechanism 11 to be moved and a rotating portion 12 for holding the side-out mechanism 11.
  • the load port P is a transfer destination or transfer source of the transport trolley V, and is a point at which the article M is delivered to and from the transport trolley V.
  • the article holding portion 13 suspends and holds the article M by gripping the flange portion Ma of the article M.
  • the article holding portion 13 is, for example, a chuck having a claw portion 13a that can move in the horizontal direction, and the claw portion 13a is advanced below the flange portion Ma of the article M to raise the article holding portion 13 to raise the article. Hold M.
  • the article holding portion 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or a belt.
  • the elevating drive unit 14 is, for example, a hoist, and the article holding portion 13 is lowered by feeding out the hanging member 13b, and the article holding portion 13 is raised by winding up the hanging member 13b.
  • the elevating drive unit 14 is controlled by the carriage controller 50 and lowers or raises the article holding unit 13 at a predetermined speed. Further, the elevating drive unit 14 is controlled by the carriage controller 50 to hold the article holding unit 13 at a target height.
  • the side-out mechanism 11 has, for example, a plurality of movable plates arranged so as to be stacked in the Z direction.
  • An elevating drive unit 14 is attached to the lowermost movable plate.
  • the movable plate moves in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage V in the horizontal plane, and the elevating drive unit 14 and the article holding portion 13 attached to the lowermost movable plate travel the transport carriage V. Sideways (slide movement) in the direction perpendicular to the direction.
  • the rotating portion 12 is provided between the side-out mechanism 11 and the upper unit 17.
  • the rotating unit 12 has a rotating member 12a and a rotating driving unit 12b.
  • the rotating member 12a is provided so as to be rotatable in the axial direction in the Z direction.
  • the rotating member 12a supports the side-out mechanism 11.
  • an electric motor or the like is used to rotate the rotation member 12a in the axial direction of the rotation shaft AX1.
  • the rotating unit 12 rotates the rotating member 12a by a driving force from the rotating driving unit 12b, and rotates the side-out mechanism 11 (elevating drive unit 14 and the article holding unit 13) in the axial direction of the rotating shaft AX1. Can be made to.
  • the transport carriage V can deliver the article M to the load port P.
  • the transport carriage V may be provided with a cover W.
  • the cover W surrounds the transfer device 18 and the article M held by the transfer device 18.
  • the cover W has a tubular shape with the lower end open, and has a shape in which a portion where the movable plate of the lateral protrusion mechanism 11 protrudes is cut out.
  • the upper end of the cover W is attached to the rotating member 12a of the rotating portion 12, and the cover W rotates around the axis of the rotating shaft AX1 as the rotating member 12a rotates.
  • the traveling unit 20 has a traveling wheel 21 and an auxiliary wheel 22.
  • the traveling wheels 21 are arranged at the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body 10). Each of the traveling wheels 21 is attached to an axle provided at the connecting portion 30.
  • Each of the traveling wheels 21 is rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls on the grid rail R.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a of the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3, and travels the transport carriage V. It should be noted that not all of the four traveling wheels 21 are rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33, and a part of the four traveling wheels 21 may be rotationally driven.
  • the traveling wheel 21 is provided so as to be able to turn in the ⁇ Z direction about the turning shaft AX2.
  • the traveling wheel 21 is turned in the ⁇ Z direction by the direction changing mechanism 34 described later, and as a result, the traveling direction of the transport carriage V can be changed.
  • One auxiliary wheel 22 is arranged before and after the traveling wheel 21 in the traveling direction.
  • Each of the auxiliary wheels 22, like the traveling wheels 21, is rotatable about the axis of the axle parallel or substantially parallel along the XY plane.
  • the lower end of the auxiliary wheel 22 is set to be higher than the lower end of the traveling wheel 21.
  • the auxiliary wheel 22 does not come into contact with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a. Further, when the traveling wheel 21 passes between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3, the auxiliary wheel 22 causes the traveling surfaces R1a, R2a, and It comes into contact with R3a and suppresses the depression of the traveling wheel 21. It should be noted that the present invention is not limited to providing two auxiliary wheels 22 on one traveling wheel 21, and for example, one auxiliary wheel 22 may be provided on one traveling wheel 21, or one auxiliary wheel 22 may not be provided. May be good.
  • the connecting portion 30 connects the upper unit 17 of the main body portion 10 and the traveling portion 20.
  • the connecting portion 30 is provided at each of the four corner portions of the upper surface 17a of the upper unit 17 (main body portion 10).
  • the main body portion 10 is suspended from the traveling portion 20 by the connecting portion 30, and is arranged below the grid-like rail R.
  • the connecting portion 30 has a support member 31 and a connecting member 32.
  • the support member 31 rotatably supports the rotation shaft of the traveling wheel 21 and the rotation shaft of the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 holds a relative position between the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 is formed in a plate shape, for example, and has a thickness that allows it to pass through the gap between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3.
  • the connecting member 32 extends downward from the support member 31 and is connected to the upper surface 17a of the upper unit 17 to hold the upper unit 17.
  • the connecting member 32 is provided internally with a transmission mechanism for transmitting the driving force of the traveling drive unit 33, which will be described later, to the traveling wheels 21.
  • This transmission mechanism may be configured to use a chain or a belt, or may be configured to use a gear train.
  • the connecting member 32 is provided so as to be able to swivel in the ⁇ Z direction about the swivel shaft AX2. By turning the connecting member 32 around the turning shaft AX2, the traveling wheel 21 can be turned in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX2 via the support member 31.
  • the connecting portion 30 (see FIG. 2) is provided with a traveling drive portion 33 and a direction changing mechanism 34.
  • the traveling drive unit 33 is attached to the connecting member 32.
  • the traveling drive unit 33 is a drive source for driving the traveling wheels 21, and for example, an electric motor or the like is used.
  • Each of the four traveling wheels 21 is driven by the traveling driving unit 33 to be a driving wheel.
  • the four traveling wheels 21 are controlled by the bogie controller 50 so as to have the same rotation speed.
  • the direction changing mechanism 34 turns the connecting member 32 of the connecting portion 30 around the turning shaft AX2, thereby turning the traveling wheel 21 in the ⁇ Z direction around the turning shaft AX2.
  • the transport carriage V changes from the first state in which the traveling direction is the X direction to the second state in which the traveling direction is the Y direction, or the second state in which the traveling direction is the Y direction. It is possible to switch to the first state in which the traveling direction is the X direction.
  • each of the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 arranged at the four corners of the upper surface 17a turns in the ⁇ Z direction within a range of 90 degrees around the turning shaft AX2.
  • the drive of the direction changing mechanism 34 is controlled by the bogie controller 50.
  • the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 By turning the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22, the traveling wheel 21 shifts from the state of being in contact with one of the first rail R1 and the second rail R2 to the state of being in contact with the other. Therefore, it is possible to switch between the first state in which the traveling direction of the transport carriage V is the X direction and the second state in which the traveling direction is the Y direction.
  • the transport carriage V includes a position detection unit 38 that detects position information (see FIG. 4).
  • the position detection unit 38 detects the current position of the transport carriage V by detecting a position marker (not shown) indicating the position information.
  • the position detection unit 38 detects the position marker by non-contact.
  • the position marker is installed for each grid cell 2 of the grid rail R.
  • the carriage controller 50 comprehensively controls the transport carriage V.
  • the trolley controller 50 is a computer including a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the dolly controller 50 can be configured as software in which a program stored in the ROM is loaded into the RAM and executed by the CPU, for example.
  • the dolly controller 50 may be configured as hardware using an electronic circuit or the like.
  • the carriage controller 50 may be composed of one device or a plurality of devices. When composed of a plurality of devices, one carriage controller 50 is logically constructed by connecting them via a communication network such as the Internet or an intranet.
  • the dolly controller 50 is provided in the main body 10 in the present embodiment (see FIG. 3), the dolly controller 50 may be provided outside the main body 10.
  • the carriage controller 50 controls the traveling of the carriage V based on the transport command.
  • the carriage controller 50 controls the traveling of the transport carriage V by controlling the traveling drive unit 33, the direction changing mechanism 34, and the like.
  • the bogie controller 50 controls, for example, a traveling speed, an operation related to stopping, and an operation related to a change of direction.
  • the carriage controller 50 controls the traveling of the transport carriage V so as not to enter the blocking region (described later) of the other transport carriage V.
  • the carriage controller 50 controls the transfer operation of the transport carriage V based on the transport command.
  • the carriage controller 50 controls the transfer operation of the transport carriage V by controlling the transfer device 18 and the like.
  • the trolley controller 50 controls the operation of gripping the article M arranged at the predetermined load port P and the operation of unloading the held article M to the predetermined load port P.
  • the carriage controller 50 periodically generates and updates state information (not shown).
  • the state information is stored in the storage unit 51.
  • the dolly controller 50 transmits the state information to the system controller 5.
  • the state information includes, for example, information on the current position of the transport trolley V, information indicating the current state of the transport trolley V such as normal or abnormal, and an execution state of various commands such as a transport command by the transport trolley V (execution, execution completed).
  • the carriage controller 50 transmits an area occupancy request for permission to occupy the blocking area, which will be described later, to the system controller 5. After the transfer of the article M is completed, the carriage controller 50 transmits an area release request for releasing the occupation of the blocking area to the system controller 5.
  • the system controller 5 is a computer including a CPU, ROM, RAM, and the like.
  • the system controller 5 can be configured as software in which a program stored in the ROM is loaded into the RAM and executed by the CPU, for example.
  • the system controller 5 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the system controller 5 may be composed of one device or a plurality of devices. When composed of a plurality of devices, one system controller 5 is logically constructed by connecting them via a communication network such as the Internet or an intranet.
  • the system controller 5 selects one of a plurality of transport trolleys V capable of transporting the article M, and assigns a transport command to the selected transport trolley V.
  • the transport command includes a travel command for executing the travel of the transport trolley V to the load port P, a load grasp command for the article M arranged at the load port P, or a unload command for the held article M to the load port P. And, including.
  • the system controller 5 is an exclusive control that prohibits other transport trolleys V other than the transport trolley V from entering the blocking area at the time of transfer of the article M to and from the load port P by the transport trolley V. Perform some blocking control. As a result, the other transport carriage V is controlled to travel so as not to enter the blocking area for which the occupancy permission is not given, and waits in front of the blocking area, for example.
  • the system controller 5 starts blocking control in response to, for example, an area occupancy permission request from the trolley controller 50, and grants the transport trolley V an occupancy permission of the blocking area.
  • the system controller 5 releases blocking control (occupation of the blocking area) in response to, for example, an area release request from the carriage controller 50.
  • the blocking region 3 corresponds to the region occupied by the transport carriage V when the article M is transferred in a plan view.
  • the blocking region 3 is partitioned by two grid cells corresponding to the squares of the grid rail R.
  • the size of the area of the blocking area 3 corresponds to the size of the number of grid cells 2 that partition the blocking area 3.
  • the area of the blocking region 3 is the area of the blocking region 3 in a plan view. In the blocking control of the present embodiment, there may be three patterns of blocking regions 3 in terms of configuration.
  • the transfer device 18 protrudes from the traveling unit 20 in the X direction in a plan view, and the grid cell of the traveling unit 20.
  • the transfer device 18 has entered the grid cell 2 adjacent to 2.
  • the blocking region 3 is composed of four grid cells 2 surrounding the traveling unit 20 and the transfer device 18 in a plan view.
  • the number of blockings (information about the area) of the blocking area 3 is "4" in units of 2 grid cells.
  • the direction of the triangle shown on the transport carriage V indicates the traveling direction of the transport carriage V (same in the following figure).
  • the transport carriage V having the Y direction as the traveling direction is positioned so that the traveling portion 20 straddles two grid cells 2 adjacent to each other in the Y direction in a plan view at the time of relocation. doing.
  • the transfer device 18 does not protrude from the traveling unit 20 in a plan view.
  • the blocking region 3 is composed of the two grid cells 2 in a plan view. The number of blockings in the blocking area 3 is "2" in units of 2 grid cells.
  • the traveling portion 20 is located in one grid cell 2 in a plan view at the time of relocation.
  • the transfer device 18 does not protrude from the traveling unit 20 in a plan view.
  • the blocking region 3 is composed of the one grid cell 2 in a plan view.
  • the number of blockings in the blocking area 3 is "1" in units of 2 grid cells.
  • the number of blockings in such a blocking area 3 changes depending on the relationship between the position of the center of the load port P (hereinafter, simply referred to as “load port P”) and the access direction to the load port P.
  • the access direction to the load port P (hereinafter, simply referred to as “access direction”) is that of the transport trolley V when accessing (entering) the grid cell 2 in which the load port P exists at the time of transfer to the load port P. It is a traveling direction. In the grid rail R, the access direction is either the X direction or the Y direction.
  • one grid cell 2 is divided into four areas A, B, C, and D in a plan view with respect to the position where the load port P (see FIG. 7 and the like) exists.
  • Area A is a rectangular area in the center of grid cell 2.
  • the probability that the load port P exists in the area A is lower than the probability that the load port P exists in the areas B to D, for example, 16%.
  • the probability that the load port P exists in a certain area is proportional to the area of the area.
  • the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the Y direction is “2”.
  • the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the X direction is equal to that when the access direction is the Y direction, and is “2”.
  • Area B is a rectangular area adjacent to one side and the other side in the Y direction with respect to the area A in the grid cell 2.
  • the probability that the load port P exists in the area B is lower than the probability that the load port P exists in the area D, is equal to the probability that the load port P exists in the area C, and is greater than the probability that the load port P exists in the area A. Is also high, for example 24%.
  • the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the Y direction is “2”.
  • the load port P exists in the area B the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the X direction is "4", which is larger than that when the access direction is the Y direction.
  • Area C is a rectangular area adjacent to one side and the other side in the X direction with respect to the area A in the grid cell 2.
  • the probability that the load port P exists in the area C is lower than the probability that the load port P exists in the area D, is equal to the probability that the load port P exists in the area B, and is greater than the probability that the load port P exists in the area A. Is also high, for example 24%.
  • the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the Y direction is “4”.
  • the load port P exists in the area C the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the X direction is "2", which is smaller than that when the access direction is the Y direction.
  • Area D is an area adjacent to one side and the other side in the Y direction with respect to the area C (one side and the other side in the X direction with respect to the area B) in the grid cell 2.
  • the probability that the load port P exists in the area D is higher than the probability that the load port P exists in the area A, the area B, and the area C, for example, 36%.
  • the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the Y direction is “4”.
  • the load port P exists in the area D the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the X direction is “4”.
  • the shapes and sizes of the areas A to D are the size of the article M, the size of the transport carriage V, the size of the grid cell 2 (square size), the size of the blocking area 3, the size of the side-out mechanism 11, and the transfer. It depends on at least one of the sizes of the device 18.
  • the shapes and sizes of regions A to D in this embodiment are examples, and are not limited thereto.
  • the transport carriage V when the load port P exists in the area B and the access direction is the Y direction, the transport carriage V has two grids whose traveling portions 20 are adjacent to each other in the Y direction. It is located so as to straddle the cell 2. At this time, the transport carriage V occupies the area 4 including the two grid cells 2. As shown in FIG. 7B, the transfer device 18 moves in the X direction at the time of transfer, but the transfer device 18 does not protrude from the traveling unit 20 in a plan view. Therefore, the transport carriage V continues to occupy the area 4 including the two grid cells 2. That is, when the load port P exists in the area B, the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the Y direction is “2”.
  • the transport carriage V when the load port P exists in the area B, when the access direction is the X direction, the transport carriage V has two grid cells whose traveling portions 20 are adjacent to each other in the X direction. It is located so as to straddle 2. At this time, the transport carriage V occupies the area 4 including the two grid cells 2. As shown in FIG. 9, at the time of transfer, the transfer device 18 moves in the X direction, the transfer device 18 protrudes from the traveling portion 20 in the Y direction in a plan view, and the transfer device 18 is a grid adjacent to the Y direction. Enter cell 2. Therefore, the transport carriage V occupies the area 4 including the two grid cells 2 and two more grid cells 2 adjacent to the two grid cells 2 in the Y direction.
  • the number of blockings in the blocking area 3 when the access direction is the X direction is “4”.
  • the grid cell 2 on the upper right of FIG. 9 is adjacent to two grid cells 2 that are not physically occupied by the transport carriage V but are physically occupied by the transport carriage V. Therefore, the grid cell 2 on the upper right is included in the blocking area 3 in consideration of the safety of traveling on the trolley.
  • the system controller 5 has a plurality of load ports P, information regarding the area of the blocking area 3 defined for each of the plurality of access directions to the load ports P, and parallel directions of the load ports P. Maps associated with each other are stored. For example, as shown in FIG. 10, the map MP stored in the system controller 5 has "the number of blockings of blocking control when the access direction is the Y direction” and “the number of blockings of the blocking control” for each "port number" of the plurality of load ports P. "The number of blockings for blocking control when the access direction is the X direction” and "the parallel direction of the load ports P" are set.
  • the port number is an identification number set for each of a plurality of load ports P.
  • the number of blockings is determined and set in advance based on the relationship between the access direction and the blocking area 3 described above.
  • the juxtaposed direction of the load ports P is, for example, the direction in which a plurality of load ports P lined up at intervals of less than a certain distance are lined up. For example, as shown in FIG. 11, for a plurality of load ports P arranged in the Y direction at intervals of less than a certain distance, the juxtaposition direction is the Y direction. For example, for load ports P that are separated from each other by a certain distance or more, there is no parallel direction.
  • the map MP may include the numbers (identifiers) of the grid cells 2 constituting the blocking area 3.
  • the system controller 5 uses the map MP to determine the access direction when the transport trolley V accesses the load port P. Specifically, when the system controller 5 transfers the article M to and from the load port P by the transport carriage V, the number of blockings (area of the blocking area 3) of the blocking area 3 is determined by using the map MP. The smallest access direction is determined as the first direction.
  • the article M is placed between the load port P and the access directions having the smallest number of blockings.
  • One of the shortest arrival times until the transport carriage V reaches the transferable position is determined as the first direction.
  • the position where the article M can be transferred to and from the load port P is referred to as a “transfer position”, and the arrival time required for the transport carriage V to reach the transfer position is also simply referred to as an “arrival time”.
  • arrival time Only the access direction in which the route to access the load port P is active (that is, the route is not impassable due to cell down or the like) is the only option for determining the first direction in the system controller 5.
  • the system controller 5 acquires the port number of the load port P to be accessed based on the transport command.
  • the system controller 5 refers to the map MP and acquires the number of blockings related to the acquired port number from the map MP in each of the access directions of the X direction and the Y direction. Further, the system controller 5 refers to the map MP and acquires the parallel direction of the load ports P related to the acquired port numbers.
  • the system controller 5 determines which of the X and Y directions, which has a smaller number of blockings, is the first direction, and when the number of blockings in the X and Y directions is the same, the load port P among the X and Y directions. If the number of blockings in the X and Y directions is the same and there is no parallel direction of the load port P, one of the X and Y directions is determined to be the first direction. One of the shortest arrival times is determined in the first direction.
  • the system controller 5 generates a route for accessing the load port P from the determined first direction, and runs the transport carriage V along this route.
  • the transport carriage V travels along the route for accessing the load port P from the first direction.
  • the route can be represented by, for example, a plurality of grid cells 2 scheduled to pass.
  • the route is generated so as not to enter the blocking region 3 (blocking region 3 of another transport carriage V) for which the occupancy permission of the transport carriage V is not given.
  • the number of blockings (area) when the transport carriage V accesses the load port P from the first direction is larger than the number of blockings when the transport carriage V accesses the load port P from the second direction. It is small or equal to the number of blockings when the carrier V accesses the load port P from the second direction.
  • the first direction is a direction perpendicular to the second direction. The first direction is either the X direction or the Y direction, and the second direction is either the X direction or the Y direction.
  • the first direction is the same as the load port P than the second direction.
  • the direction is along the installation direction.
  • the transport carriage V is in the first direction.
  • the arrival time when accessing the load port P from is shorter than the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the second direction.
  • the transfer device 18 does not protrude from the traveling unit 20 at the time of transfer.
  • the number of blockings when the first direction is the access direction is smaller than the number of blockings when the second direction is the access direction, and when the access direction is the second direction, when reprinting in a plan view
  • the transfer device 18 protrudes from the traveling unit 20.
  • the transport carriage V is adjacent to the grid cell 2 occupied by the traveling unit 20 when the transfer device 18 is moved when the article M is transferred by setting the access direction as the first direction as described above. Access to the load port P is realized from an access direction in which the transfer device 18 does not protrude into the other grid cells 2 (see FIG. 7B). In other words, the transport carriage V has a load port P from the first direction when the transfer device 18 has an access direction that does not protrude from the other grid cells 2 when the article M is transferred. Achieve access to. At least a part of the various controls of the system controller 5 described above may be executed by the carriage controller 50.
  • FIG. 12 is a plan view for explaining an operation example of the transport system SYS.
  • the system controller 5 uses the map MP to determine the number of blockings when the access direction is the X direction and the number of blockings when the access direction is the Y direction from the port number of the load port P to be accessed. get.
  • the access direction is the X direction
  • the number of blockings is 2
  • the access direction is the Y direction
  • the number of blockings is 4. Therefore, the system controller 5 determines the X direction in the first direction, and allocates a transport command including a travel command to travel on the route accessing the load port P from the first direction to the transport carriage V.
  • the transport carriage V to which the transport command is assigned travels toward the load port P along the route that accesses the load port P from the first direction.
  • the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the first direction is longer than the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the second direction. Is also long.
  • the transport carriage V accesses the load port P from the first direction.
  • the area of the blocking area 3 when the transport carriage V accesses from the first direction is equal to or less than the area of the blocking area 3 when accessing the load port P from the second direction.
  • the transport carriage V can access the load port P without increasing the area of the blocking region 3 when the article M is transferred.
  • the transport carriage V is provided so as to be able to travel along the grid-like rails R arranged in a grid pattern in a plan view.
  • the first direction is a direction perpendicular to the second direction, and the blocking region 3 is partitioned by two grid cells corresponding to the squares of the grid rail R.
  • the size of the area of the blocking area 3 corresponds to the size of the number of grid cells 2 that partition the blocking area 3.
  • the transport system SYS includes a grid-like rail R extending and suspended along the horizontal direction as a traveling path.
  • the traveling unit 20 has traveling wheels 21 that roll on the grid-like rail R.
  • the transfer device 18 has an article holding portion 13 that holds the article M under the grid rail R. In this case, in the so-called grid system, it is possible to improve the transport efficiency of the transport carriage V.
  • the map MP is stored in the system controller 5, and the system controller 5 uses the map MP to determine the access direction in which the area of the blocking area 3 is the smallest as the first direction. As a result, the area of the blocking region 3 when the article M is transferred can be efficiently minimized.
  • the transfer device 18 of the transport trolley V moves with respect to the traveling portion 20 in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport trolley V in the horizontal plane.
  • the area of the blocking area 3 when the transport trolley V accesses the load port P from the first direction is larger than the area of the blocking area 3 when the transport trolley V accesses the load port P from the second direction. If it is small, the following can be said. That is, when the transport carriage V accesses the load port P from the first direction, the transfer device 18 does not protrude from the traveling unit 20 when the article M is transferred in a plan view.
  • the transfer device 18 protrudes from the traveling unit 20 when the article M is transferred in a plan view. This makes it possible to improve the transport efficiency of the transport carriage V in the transport system SYS having such a configuration.
  • the first direction is a direction along the parallel direction of the load ports P rather than the second direction.
  • the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the first direction is the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the second direction. It is shorter than the arrival time when accessing the port.
  • the priority of the arrival time at the transfer position can be increased. That is, when determining the access direction to the load port P, the minimization of the number of blockings is given the highest priority, then the arrangement of the load ports P is given priority, and then the arrival time at the transfer position is given priority. it can. It is possible to improve the transport efficiency of the transport carriage V.
  • the transport system SYS is a grid system.
  • the transport system SYS as a grid system, it is possible to suppress an increase in the number of blockings when the transport carriage V transfers the article M.
  • the traveling of the other transport trolley V is less likely to be obstructed, and the transport efficiency of the transport trolley V can be improved.
  • FIG. 13 is a plan view for explaining another operation example of the transport system SYS.
  • an operation example is shown when a plurality of transport carriages V (first transport carriage V1 and second transport carriage V2) are present around the load port P.
  • the system controller 5 uses the map MP to determine the number of blockings when the access direction is the X direction and the number of blockings when the access direction is the Y direction from the port number of the load port P to be accessed. get.
  • the access direction is the X direction
  • the number of blockings is 4, and when the access direction is the Y direction, the number of blockings is 2. Therefore, the system controller 5 determines the Y direction in the first direction.
  • the system controller 5 allocates a transport command including a travel command to travel on the route accessing the load port P from the first direction to the first transport carriage V1.
  • the first transport carriage V1 to which the transport command is assigned travels toward the load port P along the route that accesses the load port P from the first direction.
  • the system controller 5 issues a command to the transport carriage V having the shortest arrival time when accessing the load port P from the first direction among the plurality of transport carriages V. Send. This makes it possible to improve the transport efficiency of the transport carriage V.
  • a model corresponding to the transport system SYS which prioritizes the minimization of the number of blockings, is used as an example, and the shortest arrival time at the transfer position is the highest priority.
  • the model to be used was designated as Comparative Example 1, and the model in which the access direction was random was designated as Comparative Example 2.
  • the number of transport carriages V was set to 120 to 200.
  • the system controller 5 determines the load port P to be accessed by the transport carriage V, and then blocks the number of blocks (information about the area of the blocking region 3) for each of a plurality of access directions to the load port P. ) May be calculated, and the access direction in which the number of blockings is the smallest may be determined as the first direction based on the calculation result. In this case, since the number of blockings is calculated and the first direction is determined each time the transport trolley V accesses the load port P, it seems that the traveling environment of the transport trolley V accesses the load port P, it seems that the traveling environment of the transport trolley V has temporarily changed from the beginning for some reason. Even if such a situation occurs, the area of the blocking region 3 when the article M is transferred can be surely minimized according to the situation.
  • the number of blockings when the transport carriage V accesses the load port P from the first direction is equal to the number of blockings when the transport carriage V accesses the load port P from the second direction.
  • the load ports P may be configured as follows. That is, the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the first direction may be shorter than the arrival time when the transport carriage V accesses the load port P from the second direction. In this case, for example, the system controller 5 determines which of the plurality of access directions having the smallest number of blockings has the shortest arrival time as the first direction.
  • the priority of the arrival time at the transfer position can be increased.
  • the minimization of the number of blockings can be given the highest priority, and then the arrival time at the transfer position can be given the highest priority.
  • the grid system is adopted as the transport system SYS, but the transport system SYS is not limited to the grid system.
  • an AGV Automated Guided Vehicle
  • various known systems traveling on a grid-like traveling path may be adopted.
  • the transport carriage V holds the article M below the grid rail R, but the main body 10 is arranged above the grid rail R and holds the article M above the grid rail R. You may.
  • the number of blockings is used as the area of the blocking area 3, but the number is not limited to the number of blockings, the area of the blocking area 3 may be used directly, or other parameters related to the area of the blocking area 3 may be used. You may. “Equal” in the above embodiment allows for design or manufacturing errors.

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Abstract

搬送システムは、複数の搬送台車と、コントローラと、を備える。搬送台車は、走行部及び移載部を有する。コントローラは、移載時には、平面視において物品の移載の際に当該搬送台車に占有される領域に対応するブロッキング領域へ、当該搬送台車以外の他の搬送台車が進入することを禁止するブロッキング制御を行う。搬送台車は、物品を載置台との間で移載する場合、当該載置台へ第１の方向からアクセスする経路に沿って走行する。搬送台車が第１の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積は、搬送台車が第１の方向と異なる第２の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積以下である。

Description

搬送システム及びグリッドシステム
　本発明の一側面は、搬送システム及びグリッドシステムに関する。
　複数の搬送台車と、複数の搬送台車を制御するコントローラと、を備えた搬送システムが知られている。この種の技術として、例えば特許文献１には、台車がグリッド状の走行路上でコンテナを搬送するシステムが開示されている。特許文献１に開示されたシステムでは、台車は、走行時には走行路の２つのマス目を占有するが、コンテナの移載時には、梁が回転することにより、走行路の３つのマス目を占有する。占有された領域（ブロッキング領域）は、他の台車が通過できない領域とされる。
国際公開第２０１９／１０１７２５号
　上述したようなシステムでは、例えば近年における益々の普及拡大に伴い、搬送台車の搬送効率を向上させることが望まれる。
　本発明の一側面は、搬送台車の搬送効率を向上させることが可能な搬送システム及びグリッドシステムを提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る搬送システムは、複数の搬送台車と、複数の搬送台車を制御するコントローラと、を備えた搬送システムであって、搬送台車は、当該搬送台車を走行させる走行部、及び、走行部に対して水平方向に沿って移動して載置台との間で物品を移載する移載部を有し、コントローラは、搬送台車により物品を載置台との間で移載させる移載時には、平面視において物品の移載の際に当該搬送台車に占有される領域に対応するブロッキング領域へ、当該搬送台車以外の他の搬送台車が進入することを禁止するブロッキング制御を行い、搬送台車は、物品を載置台との間で移載する場合、当該載置台へ第１の方向からアクセスする経路に沿って走行し、搬送台車が第１の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積は、搬送台車が第１の方向と異なる第２の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積以下である。
　この搬送システムでは、搬送台車が物品を移載する際に、ブロッキング領域の面積が大きくなることを抑制することができる。そのため、他の搬送台車の走行が妨害されにくくなる。よって、搬送台車の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、搬送台車は、平面視で格子状に配置された走行路に沿って走行可能に設けられ、第１の方向は、第２の方向と直角な方向であり、ブロッキング領域は、レールのマス目に対応するセル単位で区画され、ブロッキング領域の面積の大小は、ブロッキング領域を区画するセルの数の大小に対応していてもよい。この場合、平面視で格子状に配置された走行路に沿って搬送台車が走行するシステムにおいて、搬送台車の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、走行路は、水平方向に沿って延び且つ吊り下げられたレールであり、走行部は、レール上を転動する走行車輪を有し、移載部は、レールの下側で物品を保持する物品保持部を有していてもよい。この場合、いわゆるグリッドシステムにおいて、搬送台車の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、コントローラには、複数の載置台と、載置台への複数のアクセス方向毎に定められブロッキング領域の面積に関する情報と、が互いに関連付けられたマップが記憶されており、コントローラはマップを用いて、ブロッキング領域の面積が最も小さくなるアクセス方向を第１の方向として決定してもよい。これにより、物品を移載する際のブロッキング領域の面積を、効率よく最小化することができる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、コントローラは、搬送台車によってアクセスされる載置台を決定した後に、当該載置台への複数のアクセス方向毎にブロッキング領域の面積に関する情報を演算し、演算した情報に基づいてブロッキング領域の面積が最も小さくなるアクセス方向を第１の方向として決定してもよい。これにより、搬送台車が載置台へアクセスする都度に当該情報を演算して第１の方向を決定することから、搬送台車の走行環境等が何らかの理由で一時的に変化したような状況が発生しても、物品を移載する際のブロッキング領域の面積を、当該状況に応じて確実に最小化することができる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、搬送台車の移載部は、水平面内において搬送台車の走行方向と直角な方向に走行部に対して移動し、搬送台車が第１の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積は、搬送台車が第２の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積よりも小さく、搬送台車が第１の方向から載置台へアクセスする場合は、平面視において物品の移載時に走行部から移載部がはみ出さず、搬送台車が第２の方向から載置台へアクセスする場合は、平面視において物品の移載時に走行部から移載部がはみ出してもよい。これにより、このような構成の搬送システムにおいて、搬送台車の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、載置台を含む複数の載置台は、所定の並設方向に沿って並設されており、搬送台車が第１の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積は、搬送台車が第２の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積と等しく、第１の方向は、第２の方向よりも所定の並設方向に沿う方向であってもよい。この場合、搬送台車の載置台へのアクセスにおいて、載置台の並設方向の優先度を高めることができる。そのため、例えば並設された載置台間の物品の移動をスムーズに行うことができる。
　本発明に係る搬送システムでは、所定の並設方向が存在しない場合、搬送台車が第１の方向から載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間は、搬送台車が第２の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間よりも短くてもよい。この場合、搬送台車の載置台へのアクセスにおいて、到達時間の優先度を高めることができる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、搬送台車が第１の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積は、搬送台車が第２の方向から当該載置台へアクセスするときのブロッキング領域の面積と等しく、搬送台車が第１の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間は、搬送台車が第２の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間よりも短くてもよい。この場合、搬送台車の載置台へのアクセスにおいて、到達時間の優先度を高めることができる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、搬送台車が第１の方向から載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間は、搬送台車が第２の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間よりも長くてもよい。これにより、搬送台車は、物品を移載する際に、到達時間は長くてもブロッキング領域の面積が小さくなるように載置台へアクセスすることができる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、コントローラは、複数の搬送台車のうち、第１の方向から載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間が最も短い何れかの搬送台車に対して、経路に沿って走行させる指令を送信してもよい。これにより、搬送効率が向上させることが可能となる。
　本発明の一側面に係るグリッドシステムは、水平方向に沿って延び、格子状に配置されたレールと、レールに沿って走行可能な複数の搬送台車と、複数の搬送台車を制御するコントローラと、を備えたグリッドシステムであって、搬送台車は、当該搬送台車を走行させる走行部、及び、水平面内において当該搬送台車の走行方向と直角な方向に走行部に対して移動して載置台との間で物品を移載する移載部を有し、コントローラは、搬送台車により物品を載置台との間で移載させる移載時には、平面視において物品の移載の際に当該搬送台車に占有される領域であってレールのマス目に対応するセル単位で区画されたブロッキング領域へ、当該搬送台車以外の他の搬送台車が進入することを禁止するブロッキング制御を行い、搬送台車は、物品の移載時に移載部を移動させた際に走行部が占有するセルに隣接する他のセルに当該移載部がはみ出さないアクセス方向である第１の方向が存在する場合、載置台へのアクセスを当該第１の方向から実現する。
　このグリッドシステムでは、搬送台車が物品を移載する際に、ブロッキング領域のセル数が多くなることを抑制することができる。そのため、他の搬送台車の走行が妨害されにくくなる。よって、搬送台車の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本発明の一側面によれば、搬送台車の搬送効率を向上させることができる搬送システム及びグリッドシステムを提供することが可能となる。
図１は、第１実施形態に係る搬送システムの一例を示す斜視図である。 図２は、搬送台車の一例を示す斜視図である。 図３は、搬送台車の一例を示す側面図である。 図４は、搬送システムを示すブロック図である。 図５（ａ）は、ブロッキング制御のブロッキング領域の例を示す平面図である。図５（ｂ）は、ブロッキング制御のブロッキング領域の他の例を示す平面図である。図５（ｃ）は、ブロッキング制御のブロッキング領域の更に他の例を示す平面図である。 図６は、グリッドセルにおいて区画された各領域を示す平面図である。 図７（ａ）は、アクセス方向がＹ方向のときのブロッキング領域の例を示す平面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）の続きを示す平面図である。 図８は、アクセス方向がＸ方向のときのブロッキング領域の例を示す平面図である。 図９は、図８の続きを示す平面図である。 図１０は、マップの例を示す図である。 図１１は、ロードポートの並設方向の例を示す平面図である。 図１２は、搬送システムの動作例を説明するための平面図である。 図１３は、搬送システムの他の動作例を説明するための平面図である。
　以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等適宜縮尺を変更して表現している。各図において、ＸＹＺ座標系により図中の方向を説明する。ＸＹＺ座標系では、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。ＸＹ平面に沿った一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向と反対の方向が－方向であるとして説明する。また、垂直軸まわり又はＺ軸まわりの旋回方向をθＺ方向と表記する。
　[第１実施形態]
　図１は、一実施形態に係る搬送システムＳＹＳの一例を示す斜視図である。図２は、図１の搬送システムＳＹＳで用いられる搬送台車Ｖの斜視図である。図３は、図２の搬送台車Ｖを示す側面図である。図４は、図１の搬送システムＳＹＳを示すブロック図である。
　搬送システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを搬送台車Ｖにより搬送するためのグリッドシステムである。搬送システムＳＹＳは、第１搬送台車Ｖ１～第ｎ搬送台車Ｖｎ（以下、搬送台車Ｖと総称する場合もある）（図４参照）と、複数の搬送台車Ｖを制御するシステムコントローラ５と、を備える。本実施形態では、搬送台車Ｖが天井搬送台車である例を説明する。搬送台車Ｖは、搬送システムＳＹＳのレールＲに沿って移動する。レールＲは、搬送台車Ｖの走行路である。搬送台車Ｖは、搬送システムＳＹＳのレールＲに沿って移動し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送する。搬送台車Ｖは、走行車と称する場合がある。
　レールＲは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。レールＲは、例えば、処理装置、ストッカ（自動倉庫）等に隣接して設けられる。処理装置は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、エッチング装置等であり、搬送台車Ｖが搬送する容器内の半導体ウエハに各種処理を施す。ストッカは、搬送台車Ｖが搬送する物品Ｍを保管する。レールＲは、走行路の形態の一例である。レールＲは、平面視で格子状に配置されている。レールＲは、水平方向に沿って延び且つ吊り下げられたレールである。レールＲは、複数の第１レールＲ１と、複数の第２レールＲ２と、複数の交差部Ｒ３と、を有する。以下、レールＲを格子状レールＲと称する。
　複数の第１レールＲ１は、それぞれＸ方向に沿って延在する。複数の第２レールＲ２は、それぞれＹ方向に沿って延在する。格子状レールＲは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とにより、平面視において格子状に形成されている。格子状レールＲは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とにより複数のマス目を形成する。交差部Ｒ３は、第１レールＲ１と第２レールＲ２とが交差する部分に配置される。交差部Ｒ３は、第１レールＲ１に対してＸ方向に隣り合うと共に第２レールＲ２に対してＹ方向に隣り合っている。交差部Ｒ３は、第１レールＲ１と第２レールＲ２との接続、第１レールＲ１同士の接続、第２レールＲ２同士の接続をする接続軌道である。交差部Ｒ３は、搬送台車Ｖが第１レールＲ１に沿って走行する際と、搬送台車Ｖが第２レールＲ２に沿って走行する際と、搬送台車Ｖが第１レールＲ１から第２レールＲ２又は第２レールＲ２から第１レールＲ１に走行する際と、の何れの際にも用いられる軌道である。
　格子状レールＲは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とが直交する方向に設けられることで、平面視で複数のグリッドセル（セル）２が隣り合う状態となっている。１つのグリッドセル２は、１つのマス目に相当し、平面視において、Ｙ方向に隣り合った２つの第１レールＲ１と、Ｘ方向に隣り合った２つの第２レールＲ２と、に囲まれた矩形領域である。なお、図１では格子状レールＲの一部について示しており、格子状レールＲは、図示している構成からＸ方向及びＹ方向に同様の構成が連続して形成されている。
　第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、吊り下げ部材Ｈ（図１参照）によって不図示の天井に吊り下げられている。吊り下げ部材Ｈは、第１レールＲ１を吊り下げるための第１部分Ｈ１と、第２レールＲ２を吊り下げるための第２部分Ｈ２と、交差部Ｒ３を吊り下げるための第３部分Ｈ３と、を有する。第１部分Ｈ１及び第２部分Ｈ２は、それぞれ第３部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
　第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、それぞれ、搬送台車Ｖの後述する走行車輪２１が走行する走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間には、それぞれ間隙が形成される。第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙は、搬送台車Ｖが第１レールＲ１を走行して第２レールＲ２を横切る際、あるいは第２レールＲ２を走行して第１レールＲ１を横切る際に、搬送台車Ｖの一部である後述の連結部３０が通過する部分である。従って、第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙は、連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、同一の水平面に沿って設けられる。本実施形態において、第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａが同一の水平面上に配置される。
　第１レールＲ１は、一方通行のレールである。隣接する一対の第１レールＲ１における走行可能な走行方向は、互いに異なっている。隣接する一対の第１レールＲ１のうち一方では、搬送台車Ｖの走行方向はＸ方向の一方側（－Ｘ方向又は＋Ｘ方向の何れか一方）であり、隣接する一対の第１レールＲ１のうち他方では、Ｘ方向の他方向（－Ｘ方向又は＋Ｘ方向の何れか他方）である。第２レールＲ２は、一方通行のレールである。隣接する一対の第２レールＲ２における走行可能な走行方向は、互いに異なっている。隣接する一対の第２レールＲ２のうち一方では、搬送台車Ｖの走行方向はＹ方向の他方側（－Ｙ方向又は＋Ｙ方向の何れか一方）であり、隣接する一対の第１レールＲ１のうち他方では、Ｘ方向の他方向（－Ｙ方向又は＋Ｙ方向の何れか他方）である。
　搬送システムＳＹＳは、通信システム（図示せず）を備える。通信システムは、搬送台車Ｖ及びシステムコントローラ５の通信に用いられる。搬送台車Ｖ及びシステムコントローラ５は、それぞれ通信システムを介して通信可能に接続される。
　搬送台車Ｖの構成について説明する。図２～図４に示すように、搬送台車Ｖは、格子状レールＲに沿って走行可能に設けられている。搬送台車Ｖは、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、台車コントローラ５０とを有する。
　本体部１０は、格子状レールＲの下方（－Ｚ方向側）に配置される。本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視で格子状レールＲにおける１つのグリッドセル２（図１参照）に収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第１レールＲ１又は第２レールＲ２を走行する他の搬送台車Ｖとすれ違うスペースが確保される。本体部１０は、上部ユニット１７と、移載装置（移載部）１８とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部を有する。
　本体部１０は、４つのコーナー部のそれぞれに走行車輪２１、連結部３０、方向転換機構３４を有する。この構成において、本体部１０の４つのコーナー部に配置された走行車輪２１により、本体部１０を安定して吊り下げることができ、且つ、本体部１０を安定して走行させることができる。
　移載装置１８は、走行部２０に対して水平方向に沿って移動してロードポート（載置台）Ｐとの間で物品を移載する。移載装置１８は、上部ユニット１７の下方に設けられている。移載装置１８は、Ｚ方向の回転軸ＡＸ１まわりに回転可能である。移載装置１８は、格子状レールＲの下側で物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させる横出し機構１１と、横出し機構１１を保持する回動部１２と、を有する。ロードポートＰは、搬送台車Ｖの移載先又は移載元であって、搬送台車Ｖとの間で物品Ｍの受け渡しをする地点である。
　物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続されている。
　昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、台車コントローラ５０に制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、台車コントローラ５０に制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
　横出し機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。最下層の可動板には、昇降駆動部１４が取り付けられている。横出し機構１１では、水平面内において搬送台車Ｖの走行方向と直角な方向に可動板が移動し、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び物品保持部１３が搬送台車Ｖの走行方向と直角な方向に横出し（スライド移動）する。
　回動部１２は、横出し機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。回動部１２は、回動部材１２ａ及び回動駆動部１２ｂを有する。回動部材１２ａは、Ｚ方向の軸周り方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、横出し機構１１を支持する。回動駆動部１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材１２ａを回転軸ＡＸ１の軸周り方向に回動させる。回動部１２は、回動駆動部１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させ、横出し機構１１（昇降駆動部１４及び物品保持部１３）を回転軸ＡＸ１の軸周り方向に回転させることができる。搬送台車Ｖは、移載装置１８を用いることにより、ロードポートＰに対して物品Ｍの受け渡しをすることができる。
　図２及び図３に示すように、搬送台車Ｖには、カバーＷが設けられてもよい。カバーＷは、移載装置１８及び移載装置１８に保持している物品Ｍを囲む。カバーＷは、下端を開放した筒状であって、且つ、横出し機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有している。カバーＷは、上端が回動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って回転軸ＡＸ１の軸周りに回動する。
　走行部２０は、走行車輪２１及び補助車輪２２を有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた車軸に取り付けられている。走行車輪２１のそれぞれは、走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、格子状レールＲ上を転動する。走行車輪２１のそれぞれは、第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、搬送台車Ｖを走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられている。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、その結果、搬送台車Ｖの走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸の軸周りに回転可能である。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙を走行車輪２１が通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
　図２に示すように、連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられている。この連結部３０によって本体部１０は、走行部２０から吊り下げられた状態となり、格子状レールＲよりも下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１及び接続部材３２を有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１は、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙を通過可能な厚さに形成される。
　接続部材３２は、支持部材３１から下方に延びて上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ２を中心として旋回することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２周りのθＺ方向に旋回させることができる。
　連結部３０（図２参照）には、走行駆動部３３及び方向転換機構３４が設けられている。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電動モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動されて駆動輪である。４つの走行車輪２１は、同一の回転数となるように台車コントローラ５０によって制御される。
　方向転換機構３４は、連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ２を中心として旋回させることにより、走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２周りのθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、搬送台車Ｖの走行方向をＸ方向とする第１状態から走行方向をＹ方向とする第２状態に、又は走行方向をＹ方向とする第２状態から走行方向をＸ方向とする第１状態に切り替えることが可能である。方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部に配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、台車コントローラ５０によって制御される。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１レールＲ１及び第２レールＲ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。このため、搬送台車Ｖの走行方向をＸ方向とする第１状態と、走行方向をＹ方向とする第２状態とで切り替えることができる。
　搬送台車Ｖは、位置情報を検出する位置検出部３８を備える（図４参照）。位置検出部３８は、位置情報を示す位置マーカ（図示せず）を検出することにより、搬送台車Ｖの現在位置を検出する。位置検出部３８は、非接触により位置マーカを検出する。位置マーカは、格子状レールＲの各グリッドセル２毎に設置される。
　台車コントローラ５０は、搬送台車Ｖを統括的に制御する。台車コントローラ５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなるコンピュータである。台車コントローラ５０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。台車コントローラ５０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。台車コントローラ５０は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つの台車コントローラ５０が構築される。台車コントローラ５０は、本実施形態では本体部１０に設けられる例を示すが（図３参照）、本体部１０の外部に設けられてもよい。
　台車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、搬送台車Ｖの走行を制御する。台車コントローラ５０は、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、搬送台車Ｖの走行を制御する。台車コントローラ５０は、例えば、走行速度、停止に関する動作、方向転換に関する動作を制御する。台車コントローラ５０は、他の搬送台車Ｖのブロッキング領域（後述）には進入しないように搬送台車Ｖの走行を制御する。
　台車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、搬送台車Ｖの移載動作を制御する。台車コントローラ５０は、移載装置１８等を制御することにより、搬送台車Ｖの移載動作を制御する。台車コントローラ５０は、所定のロードポートＰに配置される物品Ｍを把持する荷つかみの動作、保持した物品Ｍを所定のロードポートＰに下ろす荷下ろしの動作を制御する。台車コントローラ５０は、周期的に状態情報（図示せず）を生成し更新する。状態情報は記憶部５１に格納される。台車コントローラ５０は、状態情報をシステムコントローラ５に送信する。状態情報は、例えば、搬送台車Ｖの現在位置の情報、正常又は異常等の搬送台車Ｖの現在の状態を示す情報、搬送指令等の各種指令の搬送台車Ｖによる実行状態（実行中、実行完了、実行失敗）に関する情報である。台車コントローラ５０は、物品Ｍの移載の際に、後述のブロッキング領域の占有許可を求める領域占有要求をシステムコントローラ５に送信する。台車コントローラ５０は、物品Ｍの移載完了後に、ブロッキング領域の占有解除を求める領域解除要求をシステムコントローラ５に送信する。
　システムコントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなるコンピュータである。システムコントローラ５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。システムコントローラ５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。システムコントローラ５は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つのシステムコントローラ５が構築される。
　システムコントローラ５は、物品Ｍを搬送可能な複数の搬送台車Ｖのうちの何れかを選択し、選択した搬送台車Ｖに搬送指令を割付ける。搬送指令は、搬送台車ＶのロードポートＰまでの走行を実行させる走行指令と、ロードポートＰに配置された物品Ｍの荷つかみ指令又は保持している物品ＭのロードポートＰへの荷下ろし指令と、を含む。
　システムコントローラ５は、搬送台車Ｖにより物品ＭをロードポートＰとの間で移載させる移載時には、ブロッキング領域へ当該搬送台車Ｖ以外の他の搬送台車Ｖが進入することを禁止する排他制御であるブロッキング制御を行う。これにより、他の搬送台車Ｖは、占有許可が与えられていないブロッキング領域に進入しないように走行が制御され、例えば当該ブロッキング領域の手前で待機する。システムコントローラ５は、例えば台車コントローラ５０からの領域占有許可要求に応じて、ブロッキング制御を開始し、搬送台車Ｖに当該ブロッキング領域の占有許可を与える。システムコントローラ５は、例えば台車コントローラ５０からの領域解除要求に応じて、ブロッキング制御（当該ブロッキング領域の占有）を解除する。
　ブロッキング領域について、詳説する。図５に示すように、ブロッキング領域３は、平面視において物品Ｍの移載の際に当該搬送台車Ｖに占有される領域に対応する。ブロッキング領域３は、格子状レールＲのマス目に対応するグリッドセル２単位で区画される。ブロッキング領域３の面積の大小は、ブロッキング領域３を区画するグリッドセル２の数の大小に対応する。ブロッキング領域３の面積は、平面視におけるブロッキング領域３の面積である。本実施形態のブロッキング制御では、構成上、３パターンのブロッキング領域３が存在し得る。
　例えば図５（ａ）に示す例では、Ｙ方向を走行方向とする搬送台車Ｖは、移載時に、平面視において走行部２０から移載装置１８がＸ方向にはみ出し、走行部２０のグリッドセル２に隣接するグリッドセル２に移載装置１８が進入している。この場合には、ブロッキング領域３は、平面視にて走行部２０及び移載装置１８を囲む四つのグリッドセル２により構成される。ブロッキング領域３のブロッキング数（面積に関する情報）は、グリッドセル２単位で「４」となる。なお、搬送台車Ｖ上に図示する三角形の向きが、搬送台車Ｖの走行方向を示す（以下の図で同じ）。
　例えば図５（ｂ）に示す例では、Ｙ方向を走行方向とする搬送台車Ｖは、移載時に、平面視において走行部２０が、Ｙ方向に隣接する二つのグリッドセル２を跨ぐように位置している。移載時に、平面視において移載装置１８が走行部２０からはみ出していない。この場合には、ブロッキング領域３は、平面視にて当該２つのグリッドセル２により構成される。ブロッキング領域３のブロッキング数は、グリッドセル２単位で「２」となる。
　例えば図５（ｃ）に示す例では、Ｙ方向を走行方向とする搬送台車Ｖは、移載時に、平面視において走行部２０が、１つのグリッドセル２に位置している。移載時に、平面視において移載装置１８が走行部２０からはみ出していない。この場合には、ブロッキング領域３は、平面視にて当該１つのグリッドセル２により構成される。ブロッキング領域３のブロッキング数は、グリッドセル２単位で「１」となる。
　このようなブロッキング領域３のブロッキング数は、ロードポートＰの中心（以下、単に「ロードポートＰ」という）の位置と当該ロードポートＰへのアクセス方向との関係で変化する。ロードポートＰへのアクセス方向（以下、単に「アクセス方向」という）は、ロードポートＰへの移載時に、当該ロードポートＰが存在するグリッドセル２へアクセス（進入）するときの搬送台車Ｖの走行方向である。アクセス方向は、格子状レールＲでは、Ｘ方向及びＹ方向の何れか一方である。
　アクセス方向とブロッキング領域３との関係について詳説する。図６に示すように、ロードポートＰ（図７等参照）が存在する位置に関して、一つのグリッドセル２は、平面視で四つの領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ及び領域Ｄに区画される。
　領域Ａは、グリッドセル２における中央の矩形領域である。領域ＡにロードポートＰが存在する確率は、領域Ｂ～ＤにロードポートＰが存在する確率よりも低く、例えば１６％である。ある領域にロードポートＰが存在する確率は当該領域の面積に比例する。領域ＡにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＹ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「２」である。領域ＡにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＸ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、アクセス方向がＹ方向のときのそれと等しく、「２」である。
　領域Ｂは、グリッドセル２において領域Ａに対してＹ方向の一方側及び他方側に隣接する矩形領域である。領域ＢにロードポートＰが存在する確率は、領域ＤにロードポートＰが存在する確率よりも低く、領域ＣにロードポートＰが存在する確率と等しく、領域ＡにロードポートＰが存在する確率よりも高く、例えば２４％である。領域ＢにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＹ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「２」である。領域ＢにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＸ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、アクセス方向がＹ方向のときのそれよりも多く、「４」である。
　領域Ｃは、グリッドセル２において領域Ａに対してＸ方向の一方側及び他方側に隣接する矩形領域である。領域ＣにロードポートＰが存在する確率は、領域ＤにロードポートＰが存在する確率よりも低く、領域ＢにロードポートＰが存在する確率と等しく、領域ＡにロードポートＰが存在する確率よりも高く、例えば２４％である。領域ＣにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＹ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「４」である。領域ＣにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＸ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、アクセス方向がＹ方向のときのそれよりも少なく、「２」である。
　領域Ｄは、グリッドセル２において領域Ｃに対してＹ方向の一方側及び他方側（領域Ｂに対してＸ方向の一方側及び他方側）に隣接する領域である。領域ＤにロードポートＰが存在する確率は、領域Ａ、領域Ｂ及び領域ＣにロードポートＰが存在する確率よりも高く、例えば３６％である。領域ＤにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＹ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「４」である。領域ＤにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＸ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「４」である。
　なお、領域Ａ～Ｄの形状及びサイズは、物品Ｍのサイズ、搬送台車Ｖのサイズ、グリッドセル２のサイズ（マス目サイズ）、ブロッキング領域３のサイズ、横出し機構１１のサイズ、及び移載装置１８のサイズの少なくとも何れかに依存する。本実施形態における領域Ａ～Ｄの形状及びサイズは一例であり、これに限られない。
　例えば図７（ａ）に示すように、領域ＢにロードポートＰが存在している場合、アクセス方向がＹ方向のとき、搬送台車Ｖは、その走行部２０がＹ方向に隣接する二つのグリッドセル２を跨ぐように位置する。このとき、搬送台車Ｖは、当該二つのグリッドセル２を含む領域４を占有する。図７（ｂ）に示すように、移載時には、移載装置１８がＸ方向に移動するが、平面視において移載装置１８は走行部２０からはみ出していない。よって、搬送台車Ｖは、引き続き当該二つのグリッドセル２を含む領域４を占有する。すなわち、領域ＢにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＹ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「２」となる。
　一方、例えば図８に示すように、領域ＢにロードポートＰが存在している場合、アクセス方向がＸ方向のとき、搬送台車Ｖは、その走行部２０がＸ方向に隣接する二つのグリッドセル２を跨ぐように位置する。このとき、搬送台車Ｖは、当該二つのグリッドセル２を含む領域４を占有する。図９に示すように、移載時には、移載装置１８がＸ方向に移動し、平面視において移載装置１８は走行部２０からＹ方向にはみ出し、移載装置１８はＹ方向に隣接するグリッドセル２へ進入する。よって、搬送台車Ｖは、当該二つのグリッドセル２と、当該二つのグリッドセル２にＹ方向に隣接する更に二つのグリッドセル２と、を含む領域４を占有する。すなわち、領域ＢにロードポートＰが存在する場合、アクセス方向がＸ方向のときのブロッキング領域３のブロッキング数は、「４」となる。なお、図９の右上のグリッドセル２は、搬送台車Ｖによって物理的に占有されていないが、搬送台車Ｖによって物理的に占有される２つのグリッドセル２に隣接する。そのため、台車走行の安全性を考慮して右上のグリッドセル２がブロッキング領域３に含まれる。
　図４に戻り、システムコントローラ５には、複数のロードポートＰと、ロードポートＰへの複数のアクセス方向毎に定められブロッキング領域３の面積に関する情報と、ロードポートＰの並設方向と、が互いに関連付けられたマップが記憶されている。例えば図１０に示されるように、システムコントローラ５に記憶されたマップＭＰは、複数のロードポートＰの「ポート番号」毎に、「アクセス方向がＹ方向の場合のブロッキング制御のブロッキング数」と「アクセス方向がＸ方向の場合のブロッキング制御のブロッキング数」と「ロードポートＰの並設方向」と、が設定されて成る。
　ポート番号は、複数のロードポートＰ毎に設定された識別用の番号である。ブロッキング数は、上述したアクセス方向とブロッキング領域３との関係に基づき、予め求められて設定されている。ロードポートＰの並設方向（所定の並設方向）は、例えば一定距離未満の間隔で並ぶ複数のロードポートＰの並ぶ方向である。例えば図１１に示すように、一定距離未満の間隔でＹ方向に並ぶ複数のロードポートＰについては、並設方向はＹ方向となる。例えば一定距離以上互いに離れたロードポートＰについては、並設方向は無しとなる。例えばＸ方向でもＹ方向でもない方向に並設されているロードポートＰについては、並設方向は無しとなる。なお、マップＭＰには、ブロッキング数に加えて、そのブロッキング領域３を構成するグリッドセル２の番号（識別子）が含まれていてもよい。
　システムコントローラ５は、搬送台車Ｖにより物品ＭをロードポートＰとの間で移載させる場合、マップＭＰを用いて、搬送台車ＶがロードポートＰへアクセスする際のアクセス方向を決定する。具体的には、システムコントローラ５は、搬送台車Ｖにより物品ＭをロードポートＰとの間で移載させる場合において、マップＭＰを用いて、ブロッキング領域３のブロッキング数（ブロッキング領域３の面積）が最も小さくなるアクセス方向を第１の方向として決定する。
　このとき、マップＭＰにおいて、ブロッキング数が最も小さくなるアクセス方向が複数存在する場合、これらのアクセス方向のうちロードポートＰの並設方向に最も沿う何れかを、第１の方向として決定する。或いは、ブロッキング数が最も小さくなるアクセス方向が複数存在し且つロードポートＰの並設方向が無しの場合には、ブロッキング数が最も小さくなるアクセス方向のうち、ロードポートＰとの間で物品Ｍを移載可能な位置へ搬送台車Ｖが到達するまでの到達時間が最も短い何れかを、第１の方向として決定する。以下、ロードポートＰとの間で物品Ｍを移載可能な位置を「移載位置」と称し、移載位置へ搬送台車Ｖが到達するまでにかかる到達時間を単に「到達時間」とも称する。ロードポートＰへアクセスする経路がアクティブな（つまり、セルダウン等で通行不能になっていない）アクセス方向のみが、システムコントローラ５において第１の方向を決定する際の選択肢になる。
　例えば、システムコントローラ５は、アクセスするロードポートＰのポート番号を搬送指令に基づき取得する。システムコントローラ５は、マップＭＰを参照し、取得したポート番号に係るブロッキング数を、アクセス方向がＸ方向及びＹ方向のときのそれぞれでマップＭＰから取得する。また、システムコントローラ５は、マップＭＰを参照し、取得したポート番号に係るロードポートＰの並設方向を取得する。システムコントローラ５は、Ｘ方向及びＹ方向のうちブロッキング数が小さい一方を第１の方向に決定し、Ｘ方向及びＹ方向のブロッキング数が同じ場合には、Ｘ方向及びＹ方向のうちロードポートＰの並設方向に一致する一方を第１の方向に決定し、Ｘ方向及びＹ方向のブロッキング数が同じで且つロードポートＰの並設方向が無しの場合には、Ｘ方向及びＹ方向のうち到達時間が最も短い何れか一方を第１の方向に決定する。
　そして、システムコントローラ５は、決定した第１の方向からロードポートＰへアクセスする経路を生成し、この経路に沿って搬送台車Ｖを走行させる。その結果、搬送台車Ｖは、当該ロードポートＰへ第１の方向からアクセスする経路に沿って走行する。経路は、例えば、通過予定の複数のグリッドセル２により表すことができる。経路は、搬送台車Ｖの占有許可が与えられていないブロッキング領域３（他の搬送台車Ｖのブロッキング領域３）に進入しないように生成される。
　ここで、搬送台車Ｖが第１の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数（面積）は、搬送台車Ｖが第２の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数よりも小さい、又は、搬送台車Ｖが第２の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数と等しい。第１の方向は、第２の方向と直角な方向である。第１の方向は、Ｘ方向及びＹ方向の何れか一方であり、第２の方向は、Ｘ方向及びＹ方向の何れか他方である。
　また、第１の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数が第２の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数と等しい場合、第１の方向は、第２の方向よりもロードポートＰの並設方向に沿う方向である。第１の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数が第２の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数と等しく且つロードポートＰに並設方向が存在しない場合、搬送台車Ｖが第１の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間は、搬送台車Ｖが第２の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間よりも短い。
　また、第１の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数が第２の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数よりも小さい場合において、アクセス方向が第１の方向である場合は、平面視で移載時に走行部２０から移載装置１８がはみ出さない。第１の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数が第２の方向をアクセス方向とするときのブロッキング数よりも小さい場合において、アクセス方向が第２の方向の場合は、平面視で移載時に走行部２０から移載装置１８がはみ出す。
　また、搬送台車Ｖは、上述したようにアクセス方向を第１の方向とすることで、物品Ｍの移載時に移載装置１８を移動させた際に走行部２０が占有するグリッドセル２に隣接する他のグリッドセル２に当該移載装置１８がはみ出さないアクセス方向からロードポートＰへのアクセスを実現する（図７（ｂ）参照）。換言すると、搬送台車Ｖは、物品Ｍの移載時に他のグリッドセル２に移載装置１８がはみ出さないアクセス方向である第１の方向が存在する場合、当該第１の方向からロードポートＰへのアクセスを実現する。なお、上述したシステムコントローラ５の各種の制御は、その少なくとも一部を台車コントローラ５０で実行してもよい。
　次に、搬送システムＳＹＳにおいて、搬送台車Ｖにより物品Ｍを移載する際にロードポートＰへアクセスする場合の例を説明する。
　図１２は、搬送システムＳＹＳの動作例を説明するための平面図である。図１２に示すように、システムコントローラ５は、マップＭＰを用いて、アクセスするロードポートＰのポート番号から、アクセス方向がＸ方向のときブロッキング数とアクセス方向がＹ方向のときのブロッキング数とを取得する。アクセス方向がＸ方向のときブロッキング数は２であり、アクセス方向がＹ方向のときブロッキング数は４である。よって、システムコントローラ５は、Ｘ方向を第１の方向へ決定し、第１の方向からロードポートＰへアクセスする経路で走行する走行指令を含む搬送指令を、搬送台車Ｖに割り付ける。
　その結果、搬送指令が割り付けられた搬送台車Ｖは、第１の方向からロードポートＰへアクセスする当該経路に沿ってロードポートＰに向かって走行する。なお、図１２に示す例では、搬送台車Ｖが第１の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間は、搬送台車Ｖが第２の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間よりも長い。
　以上、搬送システムＳＹＳでは、搬送台車Ｖは、物品ＭをロードポートＰとの間で移載する場合、当該ロードポートＰへ第１の方向からアクセスする。搬送台車Ｖが第１の方向からアクセスするときのブロッキング領域３の面積は、第２の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング領域３の面積以下である。これにより、搬送台車Ｖは、物品Ｍを移載する際に、ブロッキング領域３の面積が大きくならないようにしてロードポートＰへアクセスすることができる。搬送台車Ｖが物品Ｍを移載する際に、ブロッキング領域３の面積が大きくなることを抑制することができる。そのため、他の搬送台車Ｖの走行が妨害されにくくなる。したがって、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システムＳＹＳでは、搬送台車Ｖは、平面視で格子状に配置された格子状レールＲに沿って走行可能に設けられている。第１の方向は、第２の方向と直角な方向であり、ブロッキング領域３は、格子状レールＲのマス目に対応するグリッドセル２単位で区画されている。ブロッキング領域３の面積の大小は、ブロッキング領域３を区画するグリッドセル２の数の大小に対応する。この場合、平面視で格子状に配置された格子状レールＲに沿って搬送台車Ｖが走行するシステムにおいて、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システムＳＹＳは、水平方向に沿って延び且つ吊り下げられた格子状レールＲを走行路として備える。走行部２０は、格子状レールＲ上を転動する走行車輪２１を有する。移載装置１８は、格子状レールＲの下側で物品Ｍを保持する物品保持部１３を有する。この場合、いわゆるグリッドシステムにおいて、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システムＳＹＳでは、システムコントローラ５にはマップＭＰが記憶されており、システムコントローラ５は、マップＭＰを用いて、ブロッキング領域３の面積が最も小さくなるアクセス方向を第１の方向として決定する。これにより、物品Ｍを移載する際のブロッキング領域３の面積を、効率よく最小化することができる。
　搬送システムＳＹＳでは、搬送台車Ｖの移載装置１８は、水平面内において搬送台車Ｖの走行方向と直角な方向に走行部２０に対して移動する。搬送台車Ｖが第１の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング領域３の面積が、搬送台車Ｖが第２の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング領域３の面積よりも小さい場合、次のことがいえる。すなわち、搬送台車Ｖが第１の方向からロードポートＰへアクセスする場合は、平面視において物品Ｍの移載時に走行部２０から移載装置１８部がはみ出さない。また、搬送台車Ｖが第２の方向からロードポートＰへアクセスする場合は、平面視において物品Ｍの移載時に走行部２０から移載装置１８がはみ出す。これにより、このような構成の搬送システムＳＹＳにおいて、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システムＳＹＳでは、搬送台車Ｖが第１の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数が、搬送台車Ｖが第２の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数と等しい場合、第１の方向は、第２の方向よりも、ロードポートＰの並設方向に沿う方向である。これにより、搬送台車Ｖが物品Ｍを移載する際のロードポートＰへのアクセスにおいて、ロードポートＰの並設方向の優先度を高めることができる。つまり、ロードポートＰへのアクセス方向の決定に際し、ブロッキング数の最小化を最優先とし、次にロードポートＰの並びを優先させることができる。そのため、例えば並設されたロードポートＰ間の物品Ｍの移動をスムーズに行うことができ、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システムＳＹＳでは、ロードポートＰの並設方向が存在しない場合、搬送台車Ｖが第１の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときの到達時間は、搬送台車Ｖが第２の方向から当該ロードポートへアクセスするときの到達時間よりも短い。これにより、搬送台車Ｖが物品Ｍを移載する際のロードポートＰへのアクセスにおいて、移載位置への到達時間の優先度を高めることができる。つまり、つまり、ロードポートＰへのアクセス方向の決定に際し、ブロッキング数の最小化を最優先とし、次にロードポートＰの並びを優先させ、次に移載位置への到達時間を優先させることができる。搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システムＳＹＳでは、搬送台車Ｖが第１の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間が、搬送台車Ｖが第２の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間よりも長くなる場合がある。この場合には、搬送台車Ｖは、物品Ｍを移載する際に、到達時間は長くてもブロッキング領域３の面積が小さくなるようにして、ロードポートＰへアクセスすることができる。
　搬送システムＳＹＳは、グリッドシステムである。グリッドシステムとしての搬送システムＳＹＳにおいて、搬送台車Ｖが物品Ｍを移載する際に、ブロッキング数が大きくなることを抑制することができる。他の搬送台車Ｖの走行が妨害されにくくなり、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させることが可能となる。
　図１３は、搬送システムＳＹＳの他の動作例を説明するための平面図である。図１３に示す例では、ロードポートＰの周辺に複数の搬送台車Ｖ（第１搬送台車Ｖ１及び第２搬送台車Ｖ２）が存在する場合の動作例を示す。
　図１３に示すように、システムコントローラ５は、マップＭＰを用いて、アクセスするロードポートＰのポート番号から、アクセス方向がＸ方向のときブロッキング数とアクセス方向がＹ方向のときのブロッキング数とを取得する。アクセス方向がＸ方向のときブロッキング数は４であり、アクセス方向がＹ方向のときブロッキング数は２である。よって、システムコントローラ５は、Ｙ方向を第１の方向へ決定する。
　ここで、第１搬送台車Ｖ１が第１の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間は、第２搬送台車Ｖ２が第１の方向からロードポートＰへアクセスする到達時間よりも小さい。よって、システムコントローラ５は、第１の方向からロードポートＰへアクセスする経路で走行する走行指令を含む搬送指令を、第１搬送台車Ｖ１に割り付ける。その結果、搬送指令が割り付けられた第１搬送台車Ｖ１は、第１の方向からロードポートＰへアクセスする当該経路に沿ってロードポートＰに向かって走行する。
　このように搬送システムＳＹＳでは、システムコントローラ５は、複数の搬送台車Ｖのうち、第１の方向からロードポートＰへアクセスする場合において到達時間が最も短い何れかの搬送台車Ｖに対して指令を送信する。これにより、搬送台車Ｖの搬送効率が向上させることが可能となる。
　以上に説明した搬送システムＳＹＳに関してシミュレーションを行い、搬送台車Ｖの搬送効率を検証した。シミュレーションでは、ロードポートＰへのアクセス方向の決定に際し、ブロッキング数の最小化を最優先とする搬送システムＳＹＳに対応するモデルを実施例とし、移載位置への到達時間の最短化を最優先とするモデルを比較例１とし、アクセス方向をランダムとするモデルを比較例２とした。シミュレーションでは、搬送台車Ｖの台数を１２０台～２００台とした。シミュレーションの結果、搬送達成率、搬送時間（平均値及び分散値）及び台車稼働率の全てにおいて実施例が最も優れた結果になり、搬送台車Ｖの搬送効率を向上させるという搬送システムＳＹＳの上記効果を確認することができた。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態の搬送システムＳＹＳでは、システムコントローラ５は、搬送台車ＶによってアクセスされるロードポートＰを決定した後に、ロードポートＰへの複数のアクセス方向毎にブロッキング数（ブロッキング領域３の面積に関する情報）を演算し、演算結果に基づいてブロッキング数が最も小さくなるアクセス方向を第１の方向として決定してもよい。この場合、搬送台車ＶがロードポートＰへアクセスする都度にブロッキング数を演算して第１の方向を決定することから、搬送台車Ｖの走行環境等が何らかの理由で当初から一時的に変化したような状況が発生しても、物品Ｍを移載する際のブロッキング領域３の面積を、当該状況に応じて確実に最小化することができる。
　上記実施形態では、搬送台車Ｖが第１の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数が、搬送台車Ｖが第２の方向から当該ロードポートＰへアクセスするときのブロッキング数と等しい場合、ロードポートＰの並設方向にかかわらず、次のように構成されていてもよい。すなわち、搬送台車Ｖが第１の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間が、搬送台車Ｖが第２の方向からロードポートＰへアクセスするときの到達時間よりも短くてもよい。この場合、例えばシステムコントローラ５は、ブロッキング数が最も小さくなる複数のアクセス方向のうち到達時間が最も短い何れかを、第１の方向として決定する。これにより、搬送台車Ｖが物品Ｍを移載する際のロードポートＰへのアクセスにおいて、移載位置への到達時間の優先度を高めることができる。換言すると、ロードポートＰへのアクセス方向の決定に際し、ブロッキング数の最小化を最優先とし、その次に移載位置への到達時間を優先させることができる。
　上記実施形態では、搬送システムＳＹＳとしてグリッドシステムを採用したが、搬送システムＳＹＳはグリッドシステムに限定されない。例えば搬送システムとして、ＡＧＶ（Automated　Guided　Vehicle）を採用してもよいし、格子状の走行路を走行する種々の公知のシステムを採用してもよい。上記実施形態では、搬送台車Ｖは格子状レールＲの下側で物品Ｍを保持したが、本体部１０が格子状レールＲの上方に配置され、格子状レールＲの上側で物品Ｍを保持してもよい。
　上記実施形態では、ブロッキング領域３の面積としてブロッキング数を用いているが、ブロッキング数に限定されず、ブロッキング領域３の面積を直接用いてもよいし、ブロッキング領域３の面積に関する他のパラメータを用いてもよい。上記実施形態の「等しい」は、設計上ないし製造上等の誤差を許容する。
　２…グリッドセル（セル）、３…ブロッキング領域、５…システムコントローラ（コントローラ）、１３…物品保持部、１８…移載装置（移載部）、２０…走行部、２１…走行車輪、Ｍ…物品、ＭＰ…マップ、Ｐ…ロードポート（載置台）、Ｒ…格子状レール（走行路）、ＳＹＳ…搬送システム（グリッドシステム）、Ｖ，Ｖ１，Ｖ２，Ｖｎ…搬送台車。

Claims (12)

  1. 　複数の搬送台車と、複数の前記搬送台車を制御するコントローラと、を備えた搬送システムであって、
    　前記搬送台車は、当該搬送台車を走行させる走行部、及び、前記走行部に対して水平方向に沿って移動して載置台との間で物品を移載する移載部を有し、
    　前記コントローラは、前記搬送台車により物品を前記載置台との間で移載させる移載時には、平面視において物品の移載の際に当該搬送台車に占有される領域に対応するブロッキング領域へ、当該搬送台車以外の他の搬送台車が進入することを禁止するブロッキング制御を行い、
    　前記搬送台車は、物品を前記載置台との間で移載する場合、当該載置台へ第１の方向からアクセスする経路に沿って走行し、
    　前記搬送台車が前記第１の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積は、前記搬送台車が前記第１の方向と異なる第２の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積以下である、搬送システム。
  2. 　前記搬送台車は、平面視で格子状に配置された走行路に沿って走行可能に設けられ、
    　前記第１の方向は、前記第２の方向と直角な方向であり、
    　前記ブロッキング領域は、前記走行路のマス目に対応するセル単位で区画され、
    　前記ブロッキング領域の面積の大小は、前記ブロッキング領域を区画する前記セルの数の大小に対応する、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 　前記走行路は、水平方向に沿って延び且つ吊り下げられたレールであり、
    　前記走行部は、前記レール上を転動する走行車輪を有し、
    　前記移載部は、前記レールの下側で物品を保持する物品保持部を有する、請求項２に記載の搬送システム。
  4. 　前記コントローラには、複数の前記載置台と、前記載置台への複数のアクセス方向毎に定められ前記ブロッキング領域の面積に関する情報と、が互いに関連付けられたマップが記憶されており、
    　前記コントローラは、前記マップを用いて、前記ブロッキング領域の面積が最も小さくなる前記アクセス方向を前記第１の方向として決定する、請求項１～３の何れか一項に記載の搬送システム。
  5. 　前記コントローラは、前記搬送台車によってアクセスされる前記載置台を決定した後に、当該載置台への複数のアクセス方向毎に前記ブロッキング領域の面積に関する情報を演算し、演算した前記情報に基づいて前記ブロッキング領域の面積が最も小さくなる前記アクセス方向を前記第１の方向として決定する、請求項１～３の何れか一項に記載の搬送システム。
  6. 　前記搬送台車の前記移載部は、水平面内において前記搬送台車の走行方向と直角な方向に前記走行部に対して移動し、
    　前記搬送台車が前記第１の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積は、前記搬送台車が前記第２の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積よりも小さく、
    　前記搬送台車が前記第１の方向から前記載置台へアクセスする場合は、平面視において物品の移載時に前記走行部から前記移載部がはみ出さず、
    　前記搬送台車が前記第２の方向から前記載置台へアクセスする場合は、平面視において物品の移載時に前記走行部から前記移載部がはみ出す、請求項１～５の何れか一項に記載の搬送システム。
  7. 　前記載置台を含む複数の載置台は、所定の並設方向に沿って並設されており、
    　前記搬送台車が前記第１の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積は、前記搬送台車が前記第２の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積と等しく、
    　前記第１の方向は、前記第２の方向よりも前記所定の並設方向に沿う方向である、請求項１～６の何れか一項に記載の搬送システム。
  8. 　前記所定の並設方向が存在しない場合、前記搬送台車が前記第１の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ搬送台車が到達するまでの到達時間は、前記搬送台車が前記第２の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ前記搬送台車が到達するまでの到達時間よりも短い、請求項７に記載の搬送システム。
  9. 　前記搬送台車が前記第１の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積は、前記搬送台車が前記第２の方向から当該載置台へアクセスするときの前記ブロッキング領域の面積と等しく、
    　前記搬送台車が前記第１の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ前記搬送台車が到達するまでの到達時間は、前記搬送台車が前記第２の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ前記搬送台車が到達するまでの到達時間よりも短い、請求項１～６の何れか一項に記載の搬送システム。
  10. 　前記搬送台車が前記第１の方向から前記載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ前記搬送台車が到達するまでの到達時間は、前記搬送台車が前記第２の方向から当該載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ前記搬送台車が到達するまでの到達時間よりも長い、請求項１～７の何れか一項に記載の搬送システム。
  11. 　前記コントローラは、複数の前記搬送台車のうち、前記第１の方向から前記載置台へアクセスするときの当該載置台との間で物品を移載可能な位置へ前記搬送台車が到達するまでの到達時間が最も短い何れかの搬送台車に対して、前記経路に沿って走行させる指令を送信する、請求項１～１０の何れか一項に記載の搬送システム。
  12. 　水平方向に沿って延び、格子状に配置されたレールと、
    　前記レールに沿って走行可能な複数の搬送台車と、
    　複数の前記搬送台車を制御するコントローラと、を備えたグリッドシステムであって、
    　前記搬送台車は、当該搬送台車を走行させる走行部、及び、水平面内において当該搬送台車の走行方向と直角な方向に前記走行部に対して移動して載置台との間で物品を移載する移載部を有し、
    　前記コントローラは、前記搬送台車により物品を前記載置台との間で移載させる移載時には、平面視において物品の移載の際に当該搬送台車に占有される領域であって前記レールのマス目に対応するセル単位で区画されたブロッキング領域へ、当該搬送台車以外の他の搬送台車が進入することを禁止するブロッキング制御を行い、
    　前記搬送台車は、物品の移載時に前記移載部を移動させた際に前記走行部が占有する前記セルに隣接する他のセルに当該移載部がはみ出さないアクセス方向である第１の方向が存在する場合、前記載置台へのアクセスを当該第１の方向から実現する、グリッドシステム。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024075417A1 (ja) * 2022-10-05 2024-04-11 村田機械株式会社 天井走行車停止装置及び走行車システム

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3862839B1 (en) * 2020-02-10 2023-05-24 Ricoh Company, Ltd. Transport system and transport method
NO347700B1 (en) * 2022-06-29 2024-02-26 Autostore Tech As Rail vehicle

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016039023A1 (ja) * 2014-09-10 2016-03-17 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法
WO2018211898A1 (ja) * 2017-05-19 2018-11-22 村田機械株式会社 保管システム
JP2019500294A (ja) * 2015-11-11 2019-01-10 オカド・イノベーション・リミテッド 保管コンテナ、保管箱、および保管装置
WO2019101725A1 (en) 2017-11-23 2019-05-31 Autostore Technology AS Automated storage and retrieval system

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3187358B2 (ja) * 1997-11-07 2001-07-11 村田機械株式会社 無人搬送車システム
US20130302132A1 (en) * 2012-05-14 2013-11-14 Kiva Systems, Inc. System and Method for Maneuvering a Mobile Drive Unit
JP6034612B2 (ja) * 2012-07-27 2016-11-30 ニッスイ・エンジニアリング株式会社 搬送システム及びコントローラ
EP2754357B1 (de) * 2013-01-09 2018-07-18 Hauni Maschinenbau GmbH Verfahren zur bedarfsgesteuerten Versorgung und Entsorgung mindestens zweier Produktionsstationen der Tabak verarbeitenden Industrie mit vollen und/oder leeren Transporteinheiten
JP5928402B2 (ja) * 2013-04-19 2016-06-01 株式会社ダイフク 走行車制御システム
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
JP6340963B2 (ja) * 2014-07-08 2018-06-13 村田機械株式会社 自動倉庫の搬送車
TW201710044A (zh) * 2015-06-11 2017-03-16 傑科布哈特蘭德邏輯股份有限公司 儲存系統
NO339783B1 (en) * 2015-06-11 2017-01-30 Jakob Hatteland Logistics As Storage system
AT516612B1 (de) * 2015-10-06 2016-07-15 Tgw Mechanics Gmbh Automatisiertes Lagersystem und Verfahren zum Lagern von Hängewaren in diesem Lagersystem
JP6706835B2 (ja) * 2016-01-29 2020-06-10 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 移動ロボット制御システム及び移動ロボットを制御するサーバ装置
JP2020024476A (ja) * 2016-12-14 2020-02-13 村田機械株式会社 走行車システム
CN108858179B (zh) * 2017-05-09 2020-11-24 北京京东尚科信息技术有限公司 确定分拣机器人行车路径的方法和装置
NO346327B1 (en) * 2017-05-16 2022-06-07 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system
JP6906754B2 (ja) * 2017-10-31 2021-07-21 村田機械株式会社 搬送システム
JP6863329B2 (ja) * 2018-04-13 2021-04-21 村田機械株式会社 走行車システム及び走行車の制御方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016039023A1 (ja) * 2014-09-10 2016-03-17 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法
JP2019500294A (ja) * 2015-11-11 2019-01-10 オカド・イノベーション・リミテッド 保管コンテナ、保管箱、および保管装置
WO2018211898A1 (ja) * 2017-05-19 2018-11-22 村田機械株式会社 保管システム
WO2019101725A1 (en) 2017-11-23 2019-05-31 Autostore Technology AS Automated storage and retrieval system

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP4056501A4

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024075417A1 (ja) * 2022-10-05 2024-04-11 村田機械株式会社 天井走行車停止装置及び走行車システム

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