WO2021079629A1 - 流体制御装置 - Google Patents

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WO2021079629A1
WO2021079629A1 PCT/JP2020/033358 JP2020033358W WO2021079629A1 WO 2021079629 A1 WO2021079629 A1 WO 2021079629A1 JP 2020033358 W JP2020033358 W JP 2020033358W WO 2021079629 A1 WO2021079629 A1 WO 2021079629A1
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WO
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fluid control
control device
base material
hole
dielectric base
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PCT/JP2020/033358
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English (en)
French (fr)
Inventor
松本　新一郎
雅啓 佐々木
Original Assignee
株式会社村田製作所
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04B23/06—Combinations of two or more pumps the pumps being all of reciprocating positive-displacement type
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    • F04B53/16—Casings; Cylinders; Cylinder liners or heads; Fluid connections
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    • F04B53/22—Arrangements for enabling ready assembly or disassembly

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device that conveys a fluid in a predetermined direction.
  • Patent Document 1 discloses a pump unit.
  • the pump unit described in Patent Document 1 includes a housing and a plurality of micropumps.
  • micropumps are built into the housing.
  • the plurality of micropumps are connected in series or in parallel with respect to the flow path formed in the housing.
  • an object of the present invention is to provide a fluid control device in which the flow rate can be easily adjusted.
  • the fluid control device of the present invention includes a pump that conveys a fluid and a housing in which the pump is installed.
  • the housing includes a space, a communication hole, a first connection portion, a second connection portion, a first opening, and a second opening.
  • the space is formed inside the housing.
  • the communication hole communicates the space inside the housing with the pump.
  • the first connecting portion and the second connecting portion are portions for physically connecting to an external member.
  • the first opening is formed in the first connection portion and opens the space inside the housing to the outside.
  • the second opening is formed in the second connection portion and opens the space inside the housing to the outside.
  • the flow rate can be easily adjusted.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing the configuration of the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 2A is an exploded perspective view of the housing in the fluid control device according to the first embodiment
  • FIG. 2B is a perspective view of the housing in the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is an exploded plan view of the housing in the fluid control device according to the first embodiment.
  • 4 (A) and 4 (B) are side sectional views of the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a configuration in which a plurality of fluid control devices are connected.
  • FIG. 6A is a side sectional view showing the connection of spaces in a configuration in which a plurality of fluid control devices are connected.
  • FIG. 6B is a side sectional view showing a connection mode of the conductor pattern in a configuration in which a plurality of fluid control devices are connected.
  • FIG. 7 (A) is an external perspective view of the fluid control device according to the second embodiment, and FIG. 7 (B) is an enlarged perspective view of the arrangement portion of the connecting member in the fluid control device.
  • FIG. 8 is an external perspective view of the connecting member.
  • 9 (A) is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the third embodiment, and FIG. 9 (B) is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the third embodiment. Is.
  • FIG. 10A is a plan view showing a connection mode of a plurality of fluid control devices, and FIG.
  • FIG. 10B is a side sectional view showing a connection mode of the plurality of fluid control devices.
  • FIG. 11A is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the fourth embodiment
  • FIG. 11B is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 12A is a plan view showing a connection mode of the plurality of fluid control devices according to the fifth embodiment
  • FIG. 12B is a side sectional view showing the connection mode of the plurality of fluid control devices.
  • 13 (A) is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment
  • FIG. 13 (B) is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment.
  • FIG. 13 (A) is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment
  • FIG. 13 (B) is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment.
  • FIG. 13 (A) is a plan view showing the configuration of the fluid
  • FIG. 13C is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment.
  • 14 (A) is a plan view showing a connection mode of a plurality of fluid control devices
  • FIG. 14 (B) is a side sectional view showing a connection mode of the plurality of fluid control devices
  • FIG. 14 (C) Is a plan view showing how to connect to a plurality of fluid control devices.
  • FIG. 15A is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the seventh embodiment
  • FIG. 15B is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the seventh embodiment.
  • Is. 16 (A) is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the eighth embodiment, and FIG.
  • FIG. 16 (B) is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the eighth embodiment.
  • FIG. 17A is a first side view (first end view) showing the configuration of the fluid control device according to the ninth embodiment
  • FIG. 17B is a fluid control according to the ninth embodiment.
  • FIG. 17C is a plan view showing the configuration of the device
  • FIG. 17C is a second side view (second end view) showing the configuration of the fluid control device according to the ninth embodiment.
  • FIG. 18 is a plan view showing a connection mode of a plurality of fluid control devices.
  • FIG. 19A is a first side view of the driving member
  • FIG. 19B is a plan view of the driving member.
  • FIG. 20A is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the tenth embodiment
  • FIG. 20B is an integrated view using a plurality of fluid control devices according to the tenth embodiment. It is a top view which shows the structure of the fluid control device.
  • 21 (A) is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the eleventh embodiment
  • FIG. 21 (B) shows the fluid flow of the fluid control device according to the eleventh embodiment.
  • FIG. 21 (C) is a diagram showing a fluid flow in a state where one of the piezoelectric pumps is removed.
  • FIG. 22A is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the twelfth embodiment
  • FIG. 22B is an integration using a plurality of fluid control devices according to the twelfth embodiment. It is a side sectional view which shows the structure of the fluid control apparatus.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing the configuration of the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 2A is an exploded perspective view of the housing in the fluid control device according to the first embodiment
  • FIG. 2B is a perspective view of the housing in the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is an exploded plan view of the housing in the fluid control device according to the first embodiment.
  • 4 (A) and 4 (B) are side sectional views of the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 4A is a diagram showing the connection of spaces in an easy-to-see manner
  • FIG. 4B is a diagram showing the electrical connection in an easy-to-see manner.
  • the fluid control device 10 includes a substrate 20, a piezoelectric pump 901, and a piezoelectric pump 902.
  • the substrate 20 corresponds to the "housing" of the present invention
  • the piezoelectric pump 901 corresponds to the "first pump” of the present invention
  • the piezoelectric pump 902 corresponds to the "second pump” of the present invention.
  • the fluid control device 10 has a structure that can be used by connecting a plurality of fluid control devices, as will be described later. Therefore, the fluid control device 10 can function as a fluid control device as a single unit, while the fluid control device 10 is used as a unit unit and a plurality of the unit units are used to function as one fluid control device. Can be done.
  • the substrate 20 includes a dielectric layer 211, a dielectric layer 212, a dielectric layer 221 and a dielectric layer 222.
  • the dielectric layer 211, the dielectric layer 212, the dielectric layer 221 and the dielectric layer 222 are flat plates.
  • the dielectric layer 211 has a main surface 2111, a main surface 2112, an end surface 2103, an end surface 2104, and two side surfaces.
  • the dielectric layer 211 is rectangular in a plan view (viewed in a direction orthogonal to the main surface 2111 and the main surface 2112).
  • a through hole 31 is formed in the dielectric layer 211.
  • a through hole 210 for fixing a connection is formed in the dielectric layer 211.
  • the through hole 31 and the connection fixing through hole 210 penetrate the dielectric layer 211 in the thickness direction (direction orthogonal to the main surface 2111 and the main surface 2112).
  • the through hole 31 corresponds to the "first communication hole" of the present invention.
  • a linear conductor pattern 321 and a conductor pattern 322 are formed on the main surface 2111 of the dielectric layer 211.
  • the dielectric layer 212 has a main surface 2121, a main surface 2122, an end surface 2103, an end surface 2104, and two side surfaces.
  • the dielectric layer 212 is rectangular in a plan view (viewed in a direction orthogonal to the main surface 2121 and the main surface 2122).
  • the dielectric layer 212 has the same shape as the dielectric layer 211 in a plan view.
  • a through hole 411 and a through hole 412 are formed in the dielectric layer 212.
  • the dielectric layer 212 is formed with a connection fixing through hole 210.
  • the through hole 411, the through hole 412, and the connection fixing through hole 210 penetrate the dielectric layer 212 in the thickness direction (direction orthogonal to the main surface 2121 and the main surface 2122).
  • the through hole 411 is, for example, rectangular in a plan view.
  • the opening area of the through hole 411 (area in a plan view) is larger than the opening area (area in a plan view) of the through hole 31 of the dielectric layer 211.
  • the through hole 411 is formed at a position where the through hole 31 enters the region of the through hole 411 in a state where the dielectric layer 212 and the dielectric layer 211 are laminated.
  • the through hole 412 is arranged on the end face 2104 side with respect to the through hole 411.
  • the through hole 412 has a shape extending in the length direction (direction orthogonal to the end face 2103 and the end face 2104).
  • the through hole 412 communicates with the through hole 411.
  • a linear conductor pattern 421 and a conductor pattern 422 corresponding to the first conductor pattern are formed on the main surface 2122 of the dielectric layer 212.
  • the conductor pattern 421 and the conductor pattern 422 are arranged on the end face 2104 side of the through hole 411 and have a shape extending in the length direction.
  • the dielectric layer 211 and the dielectric layer 212 are laminated. At this time, the main surface 2112 of the dielectric layer 211 and the main surface 2121 of the dielectric layer 212 come into contact with each other on substantially the entire surface. In this way, the dielectric base material 21 is formed by the flat plate on which the dielectric layer 211 and the dielectric layer 212 are laminated.
  • the dielectric base material 21 corresponds to the "first dielectric base material" of the present invention.
  • the dielectric base material 21 includes a recess 41 recessed from the main surface 2122 side.
  • the recess 41 is realized by closing one opening of the through hole 411 and the through hole 412 with the dielectric layer 211.
  • the recess 41 communicates with the through hole 31 in the region corresponding to the through hole 411.
  • the recess 41 corresponds to the "first recess" of the present invention.
  • the dielectric layer 221 has a shape in which the positional relationship of the main surface and the positional relationship of the end faces of the dielectric layer 211 are reversed.
  • the dielectric layer 221 has a main surface 2211, a main surface 2212, an end surface 2203, an end surface 2204, and two side surfaces.
  • the dielectric layer 221 is rectangular in a plan view (viewed in a direction orthogonal to the main surface 2211 and the main surface 2212).
  • a through hole 61 is formed in the dielectric layer 221.
  • a through hole 220 for fixing a connection is formed in the dielectric layer 221.
  • the through hole 61 and the connection fixing through hole 220 penetrate the dielectric layer 221 in the thickness direction (direction orthogonal to the main surface 2211 and the main surface 2212).
  • the through hole 61 corresponds to the "second communication hole" of the present invention.
  • a linear conductor pattern 621 and a conductor pattern 622 are formed on the main surface 2212 of the dielectric layer 221.
  • the dielectric layer 222 has a shape in which the positional relationship of the main surface and the positional relationship of the end faces of the dielectric layer 212 are reversed, and the conductor pattern 531 and the conductor pattern 532 are added.
  • the dielectric layer 222 has a main surface 2221, a main surface 2222, an end surface 2203, an end surface 2204, and two side surfaces.
  • the dielectric layer 222 is rectangular in a plan view (viewed in a direction orthogonal to the main surface 2221 and the main surface 2222).
  • the dielectric layer 222 has the same shape as the dielectric layer 221 in a plan view.
  • a through hole 511 and a through hole 512 are formed in the dielectric layer 222.
  • a through hole 220 for fixing a connection is formed in the dielectric layer 222.
  • the through hole 511, the through hole 512, and the connection fixing through hole 220 penetrate the dielectric layer 222 in the thickness direction (direction orthogonal to the main surface 2221 and the main surface 2222).
  • the through hole 511 is, for example, rectangular in a plan view.
  • the opening area of the through hole 511 (area in a plan view) is larger than the opening area (area in a plan view) of the through hole 61 of the dielectric layer 221. Further, the through hole 511 is formed at a position where the through hole 61 enters the region of the through hole 511 in a state where the dielectric layer 222 and the dielectric layer 221 are laminated.
  • the through hole 512 is arranged on the end face 2204 side with respect to the through hole 511.
  • the through hole 512 has a shape extending in the length direction (direction orthogonal to the end face 2203 and the end face 2204).
  • the through hole 512 communicates with the through hole 511.
  • a linear conductor pattern 521, a conductor pattern 522, a conductor pattern 531 and a conductor pattern 532 are formed on the main surface 2221 of the dielectric layer 222.
  • the conductor pattern 521 and the conductor pattern 522 corresponding to the second conductor pattern are arranged on the end face 2204 side of the through hole 511 and have a shape extending in the length direction.
  • the conductor pattern 531 and the conductor pattern 532 are formed, for example, along the outer periphery of the through hole 511.
  • One end of the conductor pattern 531 is connected to the conductor pattern 521, and the other end reaches the opposite side of the conductor pattern 521 with the through hole 511 in between.
  • One end of the conductor pattern 532 is connected to the conductor pattern 522, and the other end reaches the opposite side of the conductor pattern 522 with the through hole 511 in between.
  • the dielectric layer 221 and the dielectric layer 222 are laminated. At this time, the main surface 2211 of the dielectric layer 221 and the main surface 2222 of the dielectric layer 222 come into contact with each other on substantially the entire surface. In this way, the dielectric base material 22 is formed by the flat plate on which the dielectric layer 221 and the dielectric layer 222 are laminated.
  • the dielectric base material 22 corresponds to the "second dielectric base material" of the present invention.
  • the dielectric base material 22 includes a recess 51 recessed from the main surface 2221 side.
  • the recess 51 is realized by closing one opening of the through hole 511 and the through hole 512 with the dielectric layer 221.
  • the recess 51 communicates with the through hole 61 in the region corresponding to the through hole 511.
  • the recess 51 corresponds to the "second recess" of the present invention.
  • the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 are laminated in a state where the main surface 2122 of the dielectric layer 212 and the main surface 2221 of the dielectric layer 222 partially overlap and are in contact with each other. In other words, the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 are laminated in a state of being displaced in the length direction.
  • the substrate 20 is realized by the laminated substrate of the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22.
  • the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 are arranged so that the region of the through hole 411 in the recess 41 and the region of the through hole 511 in the recess 51 overlap each other.
  • the dielectric base material 21 is arranged so that the region of the through hole 412 in the recess 41 and the region of the through hole 512 in the recess 51 are arranged so as to sandwich the region where the through hole 411 and the through hole 511 overlap.
  • the dielectric base material 22 are laminated.
  • the end face 2103 of the dielectric base material 21 is the dielectric base material 22. It is on the through hole 511 side of the recess 51 with respect to the end face 2204. Further, the end face 2203 of the dielectric base material 22 is closer to the through hole 411 of the recess 41 than the end face 2104 of the dielectric base material 21.
  • the portion of the through hole 412 on the side opposite to the side communicating with the through hole 411 is not covered by the dielectric base material 22 and is opened to the outside.
  • This opening corresponds to the "first opening” of the present invention.
  • the portion of the through hole 512 on the side opposite to the side communicating with the through hole 511 is not covered with the dielectric base material 21 and is opened to the outside. This opening corresponds to the "second opening" of the present invention.
  • the fluid control device 10 includes a recess 41 and a recess 51 inside the substrate 20 on which the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 are laminated.
  • a space for a flow path (corresponding to the "space" of the present invention) is provided.
  • the flow path space communicates with the external space by a portion (second region) in which the through hole 412 of the recess 41 opens to the outside of the substrate 20.
  • the space for the flow path communicates with the external space by a portion (first region) in which the through hole 412 of the recess 51 opens to the outside of the substrate 20.
  • the flow path space has a surface (main surface) of the dielectric base material 21 opposite to the contact surface with the dielectric base material 22 due to the through hole 31. From 2111), it communicates with the external space.
  • the flow path space communicates with the external space through the through hole 61 from the surface (main surface 2212) of the dielectric base material 22 opposite to the contact surface with the dielectric base material 21.
  • the piezoelectric pump 901 is arranged on the surface (main surface 2111) of the dielectric base material 21 opposite to the contact surface with the dielectric base material 22.
  • the piezoelectric pump 901 is arranged at a position that closes the through hole 31.
  • the piezoelectric pump 901 includes a suction port 911 that opens on a surface that comes into contact with the dielectric base material 21.
  • the suction port 911 of the piezoelectric pump 901 communicates with the through hole 31.
  • the flow path space communicates with the piezoelectric pump 901.
  • the through hole 31 corresponds to the "communication hole" of the present invention.
  • the piezoelectric pump 902 is arranged on the surface (main surface 2212) of the dielectric base material 22 opposite to the contact surface with the dielectric base material 21.
  • the piezoelectric pump 902 is arranged at a position that closes the through hole 61.
  • the piezoelectric pump 902 includes a suction port 921 that opens on a surface that comes into contact with the dielectric base material 22.
  • the suction port 921 of the piezoelectric pump 902 communicates with the through hole 61.
  • the through hole 61 corresponds to the "communication hole for connecting a pump" of the present invention.
  • the fluid control device 10 drives the piezoelectric pump 901 and the piezoelectric pump 902 to suck the fluid into the flow path space from the opening of the recess 41 and the opening of the recess 51.
  • the fluid sucked into the flow path space is conveyed in the flow path space, reaches the through hole 31 and the through hole 61, and is sucked into the piezoelectric pump 901 and the piezoelectric pump 902.
  • the fluid is discharged to the outside of the fluid control device 10 from the discharge port 912 of the piezoelectric pump 901 and the discharge port 922 of the piezoelectric pump 902.
  • the fluid control device 10 can convey the fluid in a specific direction.
  • the conductor pattern 321 and the conductor pattern 322 are connected to the piezoelectric pump 901. Further, the conductor pattern 321 is connected to the conductor pattern 421 via the via conductor VH11 formed on the dielectric base material 21. The conductor pattern 322 is connected to the conductor pattern 422 via the via conductor VH12 formed on the dielectric base material 21.
  • the conductor pattern 621 and the conductor pattern 622 are connected to the piezoelectric pump 902. Further, the conductor pattern 621 is connected to the conductor pattern 521 via the via conductor VH21 formed on the dielectric base material 22. The conductor pattern 622 is connected to the conductor pattern 522 via the via conductor VH 22 formed on the dielectric base material 22.
  • a conductor pattern 531 is connected to the conductor pattern 521, and the conductor pattern 531 overlaps and abuts on the conductor pattern 421.
  • a conductor pattern 532 is connected to the conductor pattern 522, and the conductor pattern 532 overlaps and abuts on the conductor pattern 422.
  • the conductor pattern 421 and the conductor pattern 422 are exposed to the outside of the substrate 20 together with the opening of the through hole 412 described above, and the conductor pattern 521 and the conductor pattern 522 are exposed together with the opening of the through hole 512 described above. It is exposed to the outside of the substrate 20. Therefore, the piezoelectric pump 901 and the piezoelectric pump 902 can receive a drive signal from the outside by the exposed portions of the conductor pattern 421, the conductor pattern 422, the conductor pattern 521, and the conductor pattern 522 to the outside.
  • the fluid control device 10 having the above configuration can be used as a single unit, but as shown below, it is also possible to connect a plurality of fluid control devices and use them as one fluid control device as a whole.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a configuration in which a plurality of fluid control devices are connected.
  • FIG. 6A is a side sectional view showing the connection of spaces in a configuration in which a plurality of fluid control devices are connected.
  • FIG. 6B is a side sectional view showing a connection mode of the conductor pattern in a configuration in which a plurality of fluid control devices are connected.
  • FIGS. 5, 6 (A) and 6 (B) have the same configuration and have the same fluid structure. It has a configuration of a control device 10. Note that FIGS. 5, 6 (A) and 6 (B) show a mode in which three fluid control devices are connected, but the number may be two or four or more.
  • the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 are laminated in a state of being shifted in the length direction.
  • the opening shape of the main surface 2122 of the dielectric base material 21 (first region) and the opening shape of the main surface 2221 of the dielectric base material 22 are the same (second region).
  • the opening direction of the main surface 2122 and the opening direction of the main surface 2221 are opposite in the thickness direction.
  • the opening portion of the main surface 2122 is on one end side of the fluid control device 10 in the length direction, and the opening portion of the main surface 2221 is on the other end side of the fluid control device 10 in the length direction.
  • the end on the side where the main surface 2221 (2) opens in the length direction of the fluid control device 10 (2) is the main surface 2122 (1) in the length direction of the fluid control device 10 (1). It is connected to the end on the opening side. More specifically, the surface of the fluid control device 10 (2) opened by the main surface 2221 (2) is in close contact with the surface of the fluid control device 10 (1) opened by the main surface 2122 (1). Alternatively, they are placed in contact with each other. Further, the end face 2204 (2) of the fluid control device 10 (2) is arranged in a state of being close to each other or in contact with the end face 2203 (1) of the fluid control device 10 (1). Further, the end face 2103 (2) of the fluid control device 10 (2) is arranged in a state of being in close contact with or in contact with the end face 2104 (1) of the fluid control device 10 (1).
  • the end of the fluid control device 10 (3) on the side where the main surface 2221 (3) opens in the length direction is opened by the main surface 2122 (2) in the length direction of the fluid control device 10 (2). It is connected to the end of the side. More specifically, the surface of the fluid control device 10 (3) opened by the main surface 2221 (3) is in close contact with the surface of the fluid control device 10 (2) opened by the main surface 2122 (2). Alternatively, they are placed in contact with each other. Further, the end face 2204 (3) of the fluid control device 10 (3) is arranged in a state of being close to each other or in contact with the end face 2203 (2) of the fluid control device 10 (2). Further, the end face 2103 (3) of the fluid control device 10 (3) is arranged in a state of being in close contact with or in contact with the end face 2104 (2) of the fluid control device 10 (2).
  • the through hole 412 forming the recess 41 and the through hole 512 forming the recess 51 are formed so as to include the center in the width direction of the fluid control device 10.
  • the through hole 412 (1) of the fluid control device 10 (1) is formed at the connection portion between the fluid control device 10 (1) and the fluid control device 10 (2).
  • the opening and the opening of the through hole 512 (2) of the fluid control device 10 (2) overlap each other in a plan view. That is, the through hole 412 (1) (recess 41 (1)) of the fluid control device 10 (1) and the through hole 512 (2) (recess 51 (2)) of the fluid control device 10 (2) communicate with each other. To do.
  • the through hole 412 (2) (recess 41 (2)) of the fluid control device 10 (2) and the through hole 512 (3) (recess 51 (3)) of the fluid control device 10 (3) are Communicate.
  • the opening of the through hole 512 (1) (recess 51 (1)) of the fluid control device 10 (1) is set as the opening at one end, and the through hole 412 (3) (recess 41) of the fluid control device 10 (3) is used.
  • the opening of (3)) as the opening at the other end, the flow path space of the fluid control device 10 (1), the flow path space of the fluid control device 10 (2), and the flow of the fluid control device 10 (3).
  • the road space communicates. Therefore, the piezoelectric pump 901 (1) and the piezoelectric pump 902 (1) of the fluid control device 10 (1), the piezoelectric pump 901 (2) and the piezoelectric pump 902 (2) of the fluid control device 10 (2), and the fluid control.
  • the fluid can be supplied from the outside.
  • the fluid control device 10 (1), the fluid control device 10 (2), and the fluid control device 10 (3) can easily realize an integrated fluid control device composed of a single flat plate. it can.
  • the fluid control device uses three times as many piezoelectric pumps as when the fluid control device 10 (1), the fluid control device 10 (2), and the fluid control device 10 (3) are used alone.
  • Can transport (control) fluid that is, the fluid control device of the present embodiment can easily change and adjust the flow rate.
  • the number of piezoelectric pumps to be used can be easily changed by the number of connected fluid control devices. As a result, the fluid control device of the present embodiment can easily adjust the flow rate.
  • the conductor patterns of the fluid control devices face each other and can be easily connected only by performing the above-mentioned arrangement.
  • the conductor pattern 421 and the conductor pattern 422 of the fluid control device 10 are arranged at positions separated from the center line in the width direction by a predetermined distance.
  • the conductor pattern 521 and the conductor pattern 522 of the fluid control device 10 are arranged at positions separated from the center line in the width direction by a predetermined distance. These separation distances are the same.
  • FIGS. 5, 6 (A), and 6 (B) when the fluid control device 10 (1) and the fluid control device 10 (2) are arranged, as shown in FIG. 6 (B).
  • the conductor pattern 421 (1) of the fluid control device 10 (1) approaches or abuts the conductor pattern 521 (2) of the fluid control device 10 (2).
  • the conductor pattern 421 (1) and the conductor pattern 521 (2) are easily and more reliably connected.
  • the conductor pattern 421 (2) and the conductor pattern 521 (2) are easily and more reliably connected.
  • the conductor pattern 422 (1) and the conductor pattern 522 (2) are easily and more reliably connected, and the conductor pattern 422 (2) and the conductor pattern 522 (2) are easily connected. And more securely connected.
  • the fluid control device of the present embodiment can easily and more reliably connect the plurality of piezoelectric pumps 901.
  • connection fixing through hole 210 (1) of the fluid control device 10 (1) and the connection fixing through hole 220 (2) of the fluid control device (1) overlap each other in a plan view. There is. Therefore, by using a member or the like that is inserted through the connection fixing through hole 210 (1) and the connection fixing through hole 220 (2), the fluid control device 10 (1) and the fluid control device 10 (2) can be separated from each other. Easy to position. Similarly, the fluid control device 10 (2) and the fluid control device 10 (3) can be easily positioned by using the connection fixing through hole 210 (2) and the connection fixing through hole 220 (3).
  • the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 may have the same configuration. Then, the substrate 20 is formed by partially superimposing the dielectric base material 21 and the dielectric base material 22 having the same configuration so that the directions of the main surfaces are opposite to each other. As a result, the substrate 20 can be realized with a simple configuration.
  • FIG. 7 (A) is an external perspective view of the fluid control device according to the second embodiment
  • FIG. 7 (B) is an enlarged perspective view of the arrangement portion of the connecting member in the fluid control device
  • FIG. 8 is an external perspective view of the connecting member.
  • the fluid control device according to the second embodiment has a plurality of fluid control devices with respect to the fluid control device according to the first embodiment. Is different in that it is connected depending on the connecting member.
  • the other configurations of the fluid control device according to the second embodiment are the same as those of the fluid control device according to the first embodiment, and the description of the same parts will be omitted.
  • the fluid control devices are separate fluid control device 10 (1), fluid control device 10 (2), fluid control device 10 (3), and fluid control device 10 (4), respectively. , And a connecting member 80.
  • the fluid control device 10 (1), the fluid control device 10 (2), the fluid control device 10 (3), and the fluid control device 10 (4) are the same as the fluid control device 10 shown in the first embodiment. It has a configuration.
  • the fluid control device 10 (1) and the fluid control device 10 (2) are connected along the length direction.
  • the fluid control device 10 (3) and the fluid control device 10 (4) are connected along the length direction.
  • These connection structures are the same as the connection structures of the fluid control device 10 (1), the fluid control device 10 (2), and the fluid control device 10 (3) shown in the first embodiment.
  • the unit composed of the fluid control device 10 (1) and the fluid control device 10 (2) and the unit composed of the fluid control device 10 (3) and the fluid control device 10 (4) are arranged along the width direction. ing. More specifically, the fluid control device 10 (1) and the fluid control device 10 (3) are arranged in the width direction, and the fluid control device 10 (2) and the fluid control device 10 (4) have a width. Lined up in the direction.
  • the end face 2203 (2) of the fluid control device 10 (2) and the end face 2203 (4) of the fluid control device 10 (4) are substantially flush with each other.
  • the opening surface of the main surface 2122 (2) of the fluid control device 10 (2) and the opening surface of the main surface 2122 (4) of the fluid control device 10 (4) are substantially flush with each other.
  • the member 80 is arranged.
  • the connecting member 80 includes a flat plate-shaped base material 81.
  • the base material 81 is formed of, for example, an insulating resin or the like.
  • the base material 81 has a main surface 811 and a main surface 812, a side surface 813, a side surface 814, and two end faces.
  • the lengths of the main surface 811 and the main surface 812 are substantially the same as the value obtained by adding the width of the substrate 20 (2) and the width of the substrate 20 (4). In other words, the length of the main surface 811 and the main surface 812 is approximately twice the width of the substrate 20 (2) and the substrate 20 (4). Further, the widths of the main surface 811 and the main surface 812 (distance between the side surface 813 and the side surface 814) are the length of the opening region of the main surface 2122 (2) on the substrate 20 (2) and the length of the opening region on the substrate 20 (4). It is substantially the same as the length of the opening region of the main surface 2122 (4). The thickness of the connecting member 80 is substantially the same as the thickness of the substrate 20 (2) and the substrate 20 (4).
  • the connecting member 80 has a recess 82.
  • the recess 82 has a shape recessed from the main surface 811.
  • the recess 82 has a shape in which the first portion 821, the second portion 822, and the third portion 823 are connected.
  • the first portion 821 has a shape extending in the length direction (direction orthogonal to the end face) of the connecting member 80.
  • the length of the first portion 821 is longer than the distance between the through hole 412 (2) of the substrate 20 (2) and the through hole 412 (4) of the substrate 20 (4). In other words, for example, the length of the first portion 821 is longer than the width of the substrate 20 (2) and the substrate 20 (4).
  • the second portion 822 and the third portion 823 have a shape extending in the width direction of the connecting member 80 (the direction orthogonal to the side surface 813 and the side surface 814).
  • the second portion 822 connects to one end of the first portion 821 in the extending direction.
  • the third portion 823 connects to the other end of the first portion 821 in the extending direction.
  • the side surface 813 of the connecting member 80 is close to the end surface 2203 (2) of the substrate 20 (2) and the end surface 2203 (4) of the substrate 20 (4). Arranged so as to face or abut. Further, in the connecting member 80, the main surface 811 is close to or in contact with the opening surface of the main surface 2122 (2) of the substrate 20 (2) and the opening surface of the main surface 2122 (4) of the substrate 20 (4). Is placed in.
  • the through hole 412 (2) of the recess 41 (2) in the substrate 20 (2) and the through hole 412 (2) of the recess 41 (4) in the substrate 20 (4) are formed in the recess of the connecting member 80. Communicate via 82.
  • the piezoelectric pump 901 (3) and the piezoelectric pump 902 (3) of the 10 (3), and the piezoelectric pump 901 (4) and the piezoelectric pump 902 (4) of the fluid control device 10 (4) pass through one flow path. And can receive the supply of fluid.
  • the connecting member 80 has a connection fixing through hole 230.
  • the connection fixing through hole 230 is formed in the substrate 20 (2) in a state where the connecting member 80 is arranged on the substrate 20 (2) and the substrate 20 (4). ), And the connection fixing through hole 210 of the substrate 20 (4).
  • the fluid control device 10 (2), the fluid control device 10 (4), and the connecting member 80 can be separated by using a member or the like that is inserted through the connection fixing through hole 230 and the connection fixing through hole 220. It can be easily positioned and fixed.
  • FIG. 9 (A) is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the third embodiment
  • FIG. 9 (B) is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the third embodiment. Is.
  • the configuration of the housing 20A is not limited to the laminated substrate, and a resin molded product or the like is used. It differs in that.
  • the functional basic structure of the fluid control device 10A is the same as that of the fluid control device 10.
  • the fluid control device 10A includes a housing 20A and a piezoelectric pump 901.
  • the housing 20A is realized by a molded product such as resin.
  • the housing 20A has a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the housing 20A includes a main wall 251A, a main wall 252A, a side wall 253A, a side wall 254A, a side wall 255A, and a side wall 256A.
  • the main wall 251A and the main wall 252A face each other and are arranged orthogonally to the thickness direction of the housing 20A.
  • the side wall 253A and the side wall 254A face each other and are arranged parallel to each other in the thickness direction of the housing 20A.
  • the side wall 255A and the side wall 256A face each other, are parallel to the thickness direction of the housing 20A, and are arranged parallel to the side wall 253A and the side wall 254A.
  • the housing 20A has a flow path space 45A composed of a main wall 251A, a main wall 252A, a side wall 253A, a side wall 254A, a side wall 255A, and a hollow portion surrounded by the side wall 256A.
  • a through hole 31A is formed in the main wall 251A.
  • the through hole 31A communicates with the flow path space 45A and also communicates with the external space of the housing 20A.
  • the through hole 31A corresponds to the "communication hole for pump connection" of the present invention.
  • the side wall 253A is provided with a protrusion 26A.
  • the protrusion 26A has a shape that protrudes outward from the outer surface of the side wall 253A.
  • the protrusion 26A has a substantially cylindrical shape.
  • the area of the connecting portion of the protrusion 26A to the side wall 253A is larger than the area of the tip.
  • the outer shape of the protrusion 26A is tapered when the housing 20A is viewed from the side.
  • the protrusion 26A has a through hole 451A.
  • the through hole 451A communicates with the flow path space 45A and also communicates with the external space of the housing 20A.
  • the cross-sectional area of the through hole 451A (the area when the side wall 253A is viewed from the front) is preferably larger than the cross-sectional area of the through hole 31A (the area when the main wall 251A is viewed from the front). As a result, it is possible to prevent the through hole 451A from becoming the rate-determining factor for transporting the fluid.
  • the protrusion 26A corresponds to the "first connection" of the present invention
  • the through hole 451A corresponds to the "first opening" of the present invention.
  • the side wall 254A has a through hole 452A.
  • the through hole 452A communicates with the flow path space 45A and also communicates with the external space of the housing 20A.
  • the through hole 452A has a substantially cylindrical shape.
  • the area of the surface communicating with the flow path space 45A in the through hole 452A is smaller than the area of the surface communicating with the outside of the housing 20A.
  • the shape and dimensions of the through hole 452A are the shape and dimensions into which the protrusion 26A can be inserted.
  • the through hole 452A corresponds to the "second connection portion (recess)" of the present invention and corresponds to the "second opening" of the present invention.
  • the piezoelectric pump 901 is installed on the outer surface of the main wall 251A. At this time, the piezoelectric pump 901 is arranged so that the surface on which the suction port 911 is formed is in contact with the outer surface of the main wall 251A. Further, the piezoelectric pump 901 is arranged so that the suction port 911 communicates with the through hole 31A.
  • FIG. 10A is a plan view showing a connection mode of a plurality of fluid control devices
  • FIG. 10B is a side sectional view showing a connection mode of the plurality of fluid control devices.
  • the fluid control device 10A (1) and the fluid control device 10A (2) have the same configuration as the above-mentioned fluid control device 10A.
  • the protrusion 26A (2) of the housing 20A (2) in the fluid control device 10A (2) is inserted into the through hole 452A (1) of the housing 20A (1) in the fluid control device 10A (1).
  • the flow path space 45A (1) of the fluid control device 10A (1) and the flow path space 45A (2) of the fluid control device 10A (2) are inserted into each other.
  • the piezoelectric pump 901 (1) of the fluid control device 10A (1) and the piezoelectric pump 901 (2) of the fluid control device 10A (2) have a fluid flowing through one flow path. Supplied. Specifically, when the piezoelectric pumps 901 (1) and the piezoelectric pumps 901 (2) are driven, the flow path in which the fluid communicates with the through holes 451 (A) and the through holes 452 (A) through the through holes 451A (2). It flows into the use space 45A (1) and the flow path space 45A (2). This fluid is sucked into the piezoelectric pump 901 (1) through the through hole 31A (1) and is sucked into the piezoelectric pump 901 (2) through the through hole 31A (2). The piezoelectric pump 901 (1) and the piezoelectric pump 901 (2) discharge the sucked fluid to the outside of the fluid control device 10A (1) and the fluid control device 10A (2).
  • the integrated fluid control device can increase the flow rate by the piezoelectric pump 901 (1) and the piezoelectric pump 901 (2). That is, the flow rate can be easily changed and adjusted according to the number of individual fluid control devices to be connected.
  • an integrated fluid control device can be realized only by inserting the protrusion 26A (2) into the through hole 452A (1). Therefore, a fluid control device that can change and adjust the flow rate, or a fluid control device that integrates a plurality of fluid control devices can be easily realized.
  • FIG. 11A is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the fourth embodiment
  • FIG. 11B is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the fourth embodiment. Is.
  • the fluid control device 10AR according to the fourth embodiment is a piezoelectric pump for the housing 20A with respect to the fluid control device 10A according to the third embodiment. It differs in the arrangement mode of 901.
  • Other configurations of the fluid control device 10AR are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • the piezoelectric pump 901 is arranged so that the surface on which the discharge port 912 is formed abuts on the outer surface of the main wall 251A. Further, the piezoelectric pump 901 is arranged so that the discharge port 912 communicates with the through hole 31A.
  • the fluid control device 10AR can realize rectification opposite to that of the fluid control device 10A.
  • FIG. 12A is a plan view showing a connection mode of the plurality of fluid control devices according to the fifth embodiment
  • FIG. 12B is a side sectional view showing the connection mode of the plurality of fluid control devices. is there.
  • the integrated fluid control device according to the fifth embodiment is based on the integrated fluid control device according to the third embodiment. It differs in that it includes a plug member 89.
  • the plug member 89 is a substantially cylindrical body having a shape that can be inserted into the through hole 452A (2).
  • the stopper member 89 may be a resin or an elastic body.
  • the integrated fluid control device moves the fluid from the through hole 451A (1) into the flow path space 45A (1) and the flow path space 45A (2) communicated by the through hole 451A (2). Inflow. This fluid is sucked into the piezoelectric pump 901 (1) through the through hole 31A (1) and is sucked into the piezoelectric pump 901 (2) through the through hole 31A (2). The piezoelectric pump 901 (1) and the piezoelectric pump 901 (2) discharge the sucked fluid to the outside of the fluid control device 10A (1) and the fluid control device 10A (2). By using this configuration, the fluid inlet becomes one, so that the flow path space 45A (1) and the flow path space 45A (2) communicated with each other through the through hole 451A (2) are disturbed. The flow can be suppressed.
  • FIG. 13 (A) is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment
  • FIG. 13 (B) is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment
  • FIG. 13C is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment.
  • the fluid control device 10B according to the sixth embodiment relates to the fluid control device 10A according to the third embodiment. It differs in that the shape of the protrusion 26B is different and that the groove 27B is provided. Other configurations of the fluid control device 10B are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • the housing 20B of the fluid control device 10B includes a side wall 253B and a side wall 254B.
  • the side wall 253B includes a protrusion 26B.
  • the protrusion 26B has a rectangular parallelepiped shape.
  • the side wall 254B includes a groove 27B.
  • the groove 27B has a shape that opens to the outer surface of the side wall 254B and the outer surface of the side wall 256B.
  • the groove 27B communicates with the through hole 452B.
  • the groove 27B has a shape into which the protrusion 26B can be inserted.
  • FIG. 14 (A) is a plan view showing a connection mode of a plurality of fluid control devices
  • FIG. 14 (B) is a side sectional view showing a connection mode of the plurality of fluid control devices
  • FIG. 14 (C) is a plan view showing how to connect to a plurality of fluid control devices.
  • the protrusion 26B (2) of the fluid control device 10B (2) is inserted into the groove 27B (1) of the fluid control device 10B (1). ..
  • the fluid control device 10B (1) and the fluid control device 10B (2) are integrated.
  • the protrusion 26B (2) of the fluid control device 10B (2) is replaced with the groove 27B (1) of the fluid control device 10B (1).
  • the connecting area between the protrusion 26B (2) and the groove 27B (1) is large, a stable fixed state can be maintained more reliably. Further, the cross-sectional area of the through hole 451B (2) can be increased, and the rate-determining of fluid transfer by the through hole 451B (2) can be suppressed.
  • FIG. 15A is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the seventh embodiment
  • FIG. 15B is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the seventh embodiment. Is.
  • the fluid control device 10C according to the seventh embodiment has a magnet 281C and a magnet with respect to the fluid control device 10A according to the third embodiment. It differs in that it has a 282C.
  • Other configurations of the fluid control device 10C are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • a magnet 281C is arranged on the protrusion 26C of the housing 20C of the fluid control device 10C.
  • a magnet 282C is arranged on the side wall of the through hole 452C of the side wall 254C of the housing 20C.
  • the magnet 281C and the magnet 282C have opposite polarities.
  • the magnet 281C is arranged on the protrusion 26C, and the magnet 282C is arranged on the side wall of the through hole 452C.
  • one of the one arranged in the protrusion 26C and the one arranged in the side wall of the through hole 452C may be a magnet, and the other may be a magnetic material such as metal. That is, not limited to the mode in which two magnets are used, the protrusion 26C and the side wall of the through hole 452C may have a configuration in which they are attracted to each other by a magnetic force and fixed.
  • FIG. 16 (A) is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the eighth embodiment
  • FIG. 16 (B) is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the eighth embodiment. Is.
  • the fluid control device 10D according to the eighth embodiment further provides a piezoelectric pump 902 with respect to the fluid control device 10A according to the third embodiment. It differs in that it is prepared.
  • Other configurations of the fluid control device 10D are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • the fluid control device 10D includes a housing 20D, a piezoelectric pump 901, and a piezoelectric pump 902.
  • the main wall 251D of the housing 20D has a through hole 31D, and the main wall 252D has a through hole 61D.
  • the piezoelectric pump 901 is installed on the outer surface of the main wall 251D. At this time, the piezoelectric pump 901 is arranged so that the suction port 911 communicates with the through hole 31D.
  • the piezoelectric pump 902 is installed on the outer surface of the main wall 252D. At this time, the piezoelectric pump 902 is arranged so that the suction port 921 communicates with the through hole 61D.
  • the fluid control device 10D can increase the flow rate by using a piezoelectric pump that is twice as large as that of the fluid control device 10A.
  • the piezoelectric pump it is also possible to arrange the piezoelectric pump on at least one of the two side walls of the housing 20D, which is different from the side wall 253D and the side wall 254D.
  • FIG. 17A is a first side view (first end view) showing the configuration of the fluid control device according to the ninth embodiment
  • FIG. 17B is a fluid control according to the ninth embodiment
  • FIG. 17C is a plan view showing the configuration of the device
  • FIG. 17C is a second side view (second end view) showing the configuration of the fluid control device according to the ninth embodiment.
  • the fluid control device 10E according to the ninth embodiment relates to the fluid control device 10A according to the third embodiment. It differs in that it includes a conductor pattern 651E and a conductor pattern 952E.
  • Other configurations of the fluid control device 10E are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • the conductor pattern 651E and the conductor pattern 652E are formed on the housing 20E. More specifically, the conductor pattern 651E and the conductor pattern 652E are formed on the main wall 251E of the housing 20E. One end of the conductor pattern 651E and the conductor pattern 652E reaches the side wall 253E and the other end reaches the side wall 254E.
  • conductor pattern 651E and the conductor pattern 652E are conducting to the piezoelectric pump 901.
  • FIG. 18 is a plan view showing a connection mode of a plurality of fluid control devices.
  • FIG. 19A is a first side view of the driving member, and
  • FIG. 19B is a plan view of the driving member.
  • the conductor pattern 651E (1) and the conductor pattern 651E (2) are formed on the side wall. Connect by the part that is. Similarly, the conductor pattern 652E (1) and the conductor pattern 652E (2) are connected by a portion formed on the side wall. As described above, in the configuration of the present embodiment, the fluid control device 10E (1) and the fluid control device 10E (2) can be easily electrically connected.
  • the drive member 990 includes a substantially rectangular parallelepiped housing 29E.
  • One side wall of the housing 29E includes a protrusion 290E.
  • the protrusion 290E has a shape that can be inserted into the through hole 452E.
  • the drive member 990 includes a drive circuit component 991, a conductor pattern 2991E, and a conductor pattern 2992E.
  • the drive circuit component 991 is arranged on one main surface of the housing 29E.
  • the conductor pattern 2991E and the conductor pattern 2992E are formed over the main surface on which the drive circuit component 991 is arranged and the side surface on which the protrusion 290E protrudes.
  • the conductor pattern 2991E and the conductor pattern 2992E are connected to the drive circuit component 991.
  • the drive member 990 is arranged so that the protrusion 290E is inserted into the through hole 452E (2) of the fluid control device 10E (2).
  • the conductor pattern 2991E of the drive member 990 is connected to the conductor pattern 651E (2) of the fluid control device 10E (2).
  • the conductor pattern 2992E of the drive member 990 is connected to the conductor pattern 652E (2) of the fluid control device 10E (2).
  • the piezoelectric pump 901 (1) of the fluid control device 10E (1) and the piezoelectric pump 901 (2) of the fluid control device 10E (2) can be easily and easily attached to the drive circuit component 991 of the drive member 990. It can be reliably and electrically connected.
  • FIG. 20A is a plan view showing the configuration of the fluid control device according to the tenth embodiment
  • FIG. 20B is an integrated view using a plurality of fluid control devices according to the tenth embodiment. It is a top view which shows the structure of the fluid control device.
  • the fluid control device 10F according to the tenth embodiment has a through hole 4521F, a through hole 4522F, and a through hole with respect to the fluid control device 10A according to the third embodiment. It differs in that it has 4523F.
  • Other configurations of the fluid control device 10F are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • the through hole 4521F is formed on the side wall 254F, the through hole 4522F is formed on the side wall 255F, and the through hole 4523F is formed on the side wall 256F.
  • a plurality of fluid control devices 10F (a plurality of fluid control devices 10F (1) -10F (9)) can be connected in a two-dimensional array.
  • the fluid control device 10F (1), the fluid control device 10F (2), and the fluid control device 10F (3) are arranged in a row (first row).
  • the fluid control device 10F (4), the fluid control device 10F (5), and the fluid control device 10F (6) are lined up in a row (second row).
  • the fluid control device 10F (7), the fluid control device 10F (8), and the fluid control device 10F (9) are lined up in a row (third row).
  • the plurality of fluid control devices 10F (4) -10F (6) in the second row and the plurality of fluid control devices 10F (7) -10F (9) in the third row are the plurality of fluid control devices in the first row. It is arranged so as to sandwich 10F (1) -10F (3).
  • the fluid control device 10F (1) is connected to the fluid control device 10F (2), the fluid control device 10F (4), and the fluid control device 10F (7).
  • the flow path space of the fluid control device 10F (1) includes the flow path space of the fluid control device 10F (2), the flow path space of the fluid control device 10F (4), and the fluid control device 10F ( It communicates with the flow path space of 7).
  • the fluid control device 10F (2) is connected to the fluid control device 10F (3), the fluid control device 10F (5), and the fluid control device 10F (8).
  • the flow path space of the fluid control device 10F (2) includes the flow path space of the fluid control device 10F (3), the flow path space of the fluid control device 10F (5), and the fluid control device 10F ( It communicates with the flow path space of 8).
  • the fluid control device 10F (5) is connected to the fluid control device 10F (6). In other words, the flow path space of the fluid control device 10F (5) communicates with the flow path space of the fluid control device 10F (6). Further, the fluid control device 10F (8) is connected to the fluid control device 10F (9). In other words, the flow path space of the fluid control device 10F (8) communicates with the flow path space of the fluid control device 10F (9).
  • FIG. 21 (A) is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the eleventh embodiment
  • FIG. 21 (B) shows the fluid flow of the fluid control device according to the eleventh embodiment
  • FIG. 21 (C) is a diagram showing a fluid flow in a state where one of the piezoelectric pumps is removed.
  • the fluid control device 10G according to the eleventh embodiment relates to the fluid control device 10D according to the eighth embodiment. It differs in that it includes a check valve 291 and a check valve 292.
  • Other configurations of the fluid control device 10G are the same as those of the fluid control device 10D, and the description of the same parts will be omitted.
  • the check valve 291 is arranged at the position of the through hole 31G in the main wall 251G of the housing 20G.
  • the check valve 291 allows a fluid flowing from the flow path space 45G to the outside of the housing 20G through the through hole 31G with low resistance.
  • the check valve 291 blocks the fluid flowing from the outside of the housing 20G into the flow path space 45G through the through hole 31G.
  • the check valve 292 is arranged at the position of the through hole 61G in the main wall 252G of the housing 20G.
  • the check valve 292 allows a fluid flowing from the flow path space 45G to the outside of the housing 20G through the through hole 61G with low resistance.
  • the check valve 292 blocks the fluid flowing from the outside of the housing 20G through the through hole 61G into the flow path space 45G.
  • the piezoelectric pump 901 and the piezoelectric pump 902 are arranged in the housing 20G, and in a state where they are driven, the fluid control device 10G has a flow path space of 45G.
  • the fluid is conveyed from the housing to the outside of the housing 20G.
  • the fluid control device 10G moves the piezoelectric pump from the flow path space 45G to the outside of the housing 20G.
  • the fluid is conveyed using only 901.
  • the through hole 61G is closed by the check valve 292
  • the fluid does not flow back into the flow path space 45G from the outside of the housing 20G through the through hole 61G.
  • the fluid control device 10G by providing the configuration of the fluid control device 10G, at least one of the piezoelectric pump 901 and the piezoelectric pump 902 can be selectively arranged. Then, the fluid control device 10G can realize efficient fluid transfer according to the arrangement mode.
  • FIG. 22A is a side sectional view showing the configuration of the fluid control device according to the twelfth embodiment
  • FIG. 22B is an integration using a plurality of fluid control devices according to the twelfth embodiment. It is a side sectional view which shows the structure of the fluid control apparatus.
  • the fluid control device 10H according to the twelfth embodiment has a structure of a through hole 452H with respect to the fluid control device 10A according to the third embodiment. different.
  • Other configurations of the fluid control device 10H are the same as those of the fluid control device 10A, and the description of the same parts will be omitted.
  • the opening of the through hole 452H to the outside of the housing 20H is closer to the main wall 251H than the communication port of the through hole 452H to the flow path space 45H. It is out of alignment.
  • a plurality of fluid control devices 10H (a plurality of fluid control devices 10H (1) -10H (3)) can be connected on a curved line (on a polygonal line).
  • the fluid control device 10H (2) is connected to the fluid control device 10H (1)
  • the fluid control device 10H (3) is connected to the fluid control device 10H (2).
  • the discharge port 912 (1) of the piezoelectric pump 901 (1) of the fluid control device 10H (1) Discharges the fluid, the direction in which the discharge port 912 (2) of the piezoelectric pump 901 (2) of the fluid control device 10H (2) discharges the fluid, the piezoelectric pump 901 (3) of the fluid control device 10H (3).
  • the direction in which the discharge port 912 (3) of the above discharges the fluid is not parallel.
  • the discharge direction of the fluid of the piezoelectric pump 901 (1), the discharge direction of the fluid of the piezoelectric pump 901 (2), and the discharge direction of the fluid of the piezoelectric pump 901 (3) can be concentrated at one point.
  • a plurality of fluid control devices can be arranged along the shape of the wall on a wall having a non-planar shape such as a curved surface. This makes it possible to realize an integrated fluid control device that can supply the required flow rate to the object according to the shape of the object.
  • Fluid control device 20 Substrate 20A, 20B, 20C, 20D, 20E, 20G, 20H: Housing 21, 22: Dielectric base material 26A, 26B, 26C: Protrusion 27B: Groove 29E: Housing 31, 31A, 31D, 31G: Through hole 41, 51: Recess 45A, 45G, 45H: Flow path space 61, 61D, 61G: Through hole 80: Connecting member 81: Base material 82: Recessed portion 89: Plug member 210: Connection fixing through hole 211, 212, 222, 222: Dielectric layer 220, 230: Connection fixing through hole 251A, 251D, 251E, 251G, 251H, 252A, 252D, 252G: Main wall 253A, 253B, 253D, 253E, 254A, 254B, 254C, 254D, 254

Landscapes

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Abstract

流体制御装置（１０）は、圧電ポンプ（９０１、９０２）と基板（２０）とを備える。基板（２０）は、誘電体基材（２１）と誘電体基材（２２）とを備える。誘電体基材（２１）は、凹部（４１）および貫通孔（３１）を有し、誘電体基材（２２）は、凹部（５１）および貫通孔（６１）を有する。誘電体基材（２１）と誘電体基材（２２）とは、凹部（４１）と凹部（５１）とが部分的に重なり、連通するように、積層される。凹部（５１）における誘電体基材（２１）に重ならない部分が、外部への第１開口となり、凹部（４１）における誘電体基材（２２）に重ならない部分が、外部への第２開口となる。第１開口と第２開口は、積層方向において、開口する方向が逆である。第１開口と第２開口とは、嵌め合わせ可能な形状である。圧電ポンプ（９０１）は、貫通孔（３１）に連通するように、誘電体基材（２１）に配置され、圧電ポンプ（９０２）は、貫通孔（６１）に連通するように、誘電体基材（２２）に配置される。

Description

流体制御装置
　本発明は、流体を所定方向に搬送する流体制御装置に関する。
　特許文献１には、ポンプユニットが開示されている。特許文献１に記載のポンプユニットは、筐体と、複数のマイクロポンプとを備える。
　複数のマイクロポンプは、筐体に内蔵されている。複数のマイクロポンプは、筐体に形成された流路に対して、直列または並列に接続されている。
特開２０１７－２９０９号公報
　しかしながら、特許文献１に記載のポンプユニットでは、ポンプユニットとして実現できる流量は、筐体に設置されたマイクロポンプの個数に応じて、限定的となる。言い換えれば、特許文献１に記載のポンプユニットは、流量の調整を行うことが難しい。
　したがって、本発明の目的は、流量の調整が容易な流体制御装置を提供することにある。
　本発明の流体制御装置は、流体を搬送するポンプと、ポンプが設置される筐体と、を備える。筐体は、空間、連通孔、第１接続部、第２接続部、第１開口、および、第２開口を備える。空間は、筐体の内部に形成されている。連通孔は、筐体の内部の空間をポンプに連通する。第１接続部および第２接続部は、外部の部材へ物理的に接続するための部分である。第１開口は、第１接続部に形成され、筐体の内部の空間を外部に開口する。第２開口は、第２接続部に形成され、筐体の内部の空間を外部に開口する。第１接続部と第２接続部とは、他の筐体と接続されたときに、筐体の第１開口と他の筐体の第２開口を介して２つの筐体が連通するように、互いに嵌め合わせ可能な外形形状を有する。
　この構成では、複数の筐体を容易に接続できる。この際、複数の筐体の内部の空間は、この複数の筐体の接続によって、容易に連通する。これにより、流体制御に用いるポンプ数を容易に変更できる。
　この発明によれば、流量の調整が容易になる。
図１は、第１の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す分解斜視図である。 図２（Ａ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置における筐体の分解斜視図であり、図２（Ｂ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置における筐体の斜視図である。 図３は、第１の実施形態に係る流体制御装置における筐体の分解平面図である。 図４（Ａ）、図４（Ｂ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置の側面断面図である。 図５は、複数の流体制御装置を接続した構成を示す斜視図である。 図６（Ａ）は、複数の流体制御装置を接続した構成における空間の繋がりを示す側面断面図である。図６（Ｂ）は、複数の流体制御装置を接続した構成における導体パターンの接続態様を示す側面断面図である。 図７（Ａ）は、第２の実施形態に係る流体制御装置の外観斜視図であり、図７（Ｂ）は、流体制御装置における連結部材の配置箇所を拡大した斜視図である。 図８は、連結部材の外観斜視図である。 図９（Ａ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図９（Ｂ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。 図１０（Ａ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図であり、図１０（Ｂ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す側面断面図である。 図１１（Ａ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１１（Ｂ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。 図１２（Ａ）は、第５の実施形態に係る複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図であり、図１２（Ｂ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す側面断面図である。 図１３（Ａ）は、第６の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１３（Ｂ）は、第６の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面図であり、図１３（Ｃ）は、第６の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。 図１４（Ａ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図であり、図１４（Ｂ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す側面断面図であり、図１４（Ｃ）は、複数の流体制御装置に接続の仕方を示す平面図である。 図１５（Ａ）は、第７の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１５（Ｂ）は、第７の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。 図１６（Ａ）は、第８の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面図であり、図１６（Ｂ）は、第８の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。 図１７（Ａ）は、第９の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す第１側面図（第１端面図）であり、図１７（Ｂ）は、第９の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１７（Ｃ）は、第９の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す第２側面図（第２端面図）である。 図１８は、複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図である。 図１９（Ａ）は、駆動部材の第１側面図であり、図１９（Ｂ）は、駆動部材の平面図である。 図２０（Ａ）は、第１０の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図２０（Ｂ）は、第１０の実施形態に係る流体制御装置を複数利用した一体化された流体制御装置の構成を示す平面図である 図２１（Ａ）は、第１１の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図であり、図２１（Ｂ）は、第１１の実施形態に係る流体制御装置の流体の流れを示す図であり、図２１（Ｃ）は、一方の圧電ポンプを取り外した状態での流体の流れを示す図である。 図２２（Ａ）は、第１２の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図であり、図２２（Ｂ）は、第１２の実施形態に係る流体制御装置を複数利用した一体化された流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　（第１の実施形態）
　本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１は、第１の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す分解斜視図である。図２（Ａ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置における筐体の分解斜視図であり、図２（Ｂ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置における筐体の斜視図である。図３は、第１の実施形態に係る流体制御装置における筐体の分解平面図である。図４（Ａ）、図４（Ｂ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置の側面断面図である。図４（Ａ）は、空間の繋がりを見やすく示す図であり、図４（Ｂ）は、電気的接続を見やすく示す図である。
　（流体制御装置１０の構成）
　図１に示すように、流体制御装置１０は、基板２０、圧電ポンプ９０１、および、圧電ポンプ９０２を備える。基板２０が、本発明の「筐体」に対応し、圧電ポンプ９０１が、本発明の「第１ポンプ」に対応し、圧電ポンプ９０２が、本発明の「第２ポンプ」に対応する。また、流体制御装置１０は、後述するように、複数の流体制御装置を接続して利用することができる構造である。したがって、流体制御装置１０は、単体として、流体制御装置として機能させることができ、一方で、流体制御装置１０を単位ユニットとして、当該単位ユニットを複数用いて、１つの流体制御装置として機能させることができる。
　図１、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３に示すように、基板２０は、誘電体層２１１、誘電体層２１２、誘電体層２２１、および、誘電体層２２２を備える。誘電体層２１１、誘電体層２１２、誘電体層２２１、および、誘電体層２２２は、平板状である。
　誘電体層２１１は、主面２１１１、主面２１１２、端面２１０３、端面２１０４、および、２個の側面を有する。誘電体層２１１は、平面視して（主面２１１１、主面２１１２に直交する方向に視て）、矩形である。
　誘電体層２１１には、貫通孔３１が形成されている。誘電体層２１１には、接続固定用貫通孔２１０が形成されている。貫通孔３１および接続固定用貫通孔２１０は、誘電体層２１１を、厚み方向（主面２１１１および主面２１１２に直交する方向）に貫通する。貫通孔３１が、本発明の「第１連通孔」に対応する。
　誘電体層２１１の主面２１１１には、線状の導体パターン３２１と導体パターン３２２とが形成されている。
　誘電体層２１２は、主面２１２１、主面２１２２、端面２１０３、端面２１０４、および、２個の側面を有する。誘電体層２１２は、平面視して（主面２１２１、主面２１２２に直交する方向に視て）、矩形である。誘電体層２１２は、平面視において、誘電体層２１１と同じ形状である。
　誘電体層２１２には、貫通孔４１１および貫通孔４１２が形成されている。誘電体層２１２には、接続固定用貫通孔２１０が形成されている。貫通孔４１１、貫通孔４１２および接続固定用貫通孔２１０は、誘電体層２１２を、厚み方向（主面２１２１および主面２１２２に直交する方向）に貫通する。
　貫通孔４１１は、例えば、平面視して矩形である。貫通孔４１１の開口面積（平面視した面積）は、誘電体層２１１の貫通孔３１の開口面積（平面視した面積）よりも大きい。また、貫通孔４１１は、誘電体層２１２と誘電体層２１１とを積層した状態で、貫通孔４１１の領域内に貫通孔３１が入る位置に、形成されている。
　貫通孔４１２は、貫通孔４１１に対して、端面２１０４側に配置されている。貫通孔４１２は、長さ方向（端面２１０３と端面２１０４とに直交する方向）に延びる形状である。貫通孔４１２は、貫通孔４１１に連通している。
　誘電体層２１２の主面２１２２には、第１導体パターンに対応する線状の導体パターン４２１と導体パターン４２２とが形成されている。導体パターン４２１、および、導体パターン４２２は、貫通孔４１１よりも、端面２１０４側に配置されており、長さ方向に延びる形状である。
　誘電体層２１１と誘電体層２１２とは、積層されている。この際、誘電体層２１１の主面２１１２と誘電体層２１２の主面２１２１とが略全面で当接する。このように、誘電体層２１１と誘電体層２１２とが積層された平板によって、誘電体基材２１が形成される。誘電体基材２１は、本発明の「第１誘電体基材」に対応する。
　このような誘電体層２１１と誘電体層２１２の積層構造によって、誘電体基材２１は、主面２１２２側から凹む凹部４１を備える。凹部４１は、貫通孔４１１および貫通孔４１２の一方の開口が誘電体層２１１によって塞がれることによって実現される。そして、この凹部４１は、貫通孔４１１に対応する領域において貫通孔３１に連通している。凹部４１が、本発明の「第１凹部」に対応する。
　誘電体層２２１は、概略的に言えば、誘電体層２１１の主面の位置関係、および、端面の位置関係を逆にした形状である。
　誘電体層２２１は、主面２２１１、主面２２１２、端面２２０３、端面２２０４、および、２個の側面を有する。誘電体層２２１は、平面視して（主面２２１１、主面２２１２に直交する方向に視て）、矩形である。
　誘電体層２２１には、貫通孔６１が形成されている。誘電体層２２１には、接続固定用貫通孔２２０が形成されている。貫通孔６１および接続固定用貫通孔２２０は、誘電体層２２１を、厚み方向（主面２２１１および主面２２１２に直交する方向）に貫通する。貫通孔６１が、本発明の「第２連通孔」に対応する。
　誘電体層２２１の主面２２１２には、線状の導体パターン６２１と導体パターン６２２とが形成されている。
　誘電体層２２２は、概略的に言えば、誘電体層２１２の主面の位置関係、および、端面の位置関係を逆にし、導体パターン５３１および導体パターン５３２を追加した形状である。
　誘電体層２２２は、主面２２２１、主面２２２２、端面２２０３、端面２２０４、および、２個の側面を有する。誘電体層２２２は、平面視して（主面２２２１、主面２２２２に直交する方向に視て）、矩形である。誘電体層２２２は、平面視において、誘電体層２２１と同じ形状である。
　誘電体層２２２には、貫通孔５１１および貫通孔５１２が形成されている。誘電体層２２２には、接続固定用貫通孔２２０が形成されている。貫通孔５１１、貫通孔５１２および接続固定用貫通孔２２０は、誘電体層２２２を、厚み方向（主面２２２１および主面２２２２に直交する方向）に貫通する。
　貫通孔５１１は、例えば、平面視して矩形である。貫通孔５１１の開口面積（平面視した面積）は、誘電体層２２１の貫通孔６１の開口面積（平面視した面積）よりも大きい。また、貫通孔５１１は、誘電体層２２２と誘電体層２２１とを積層した状態で、貫通孔５１１の領域内に貫通孔６１が入る位置に、形成されている。
　貫通孔５１２は、貫通孔５１１に対して、端面２２０４側に配置されている。貫通孔５１２は、長さ方向（端面２２０３と端面２２０４とに直交する方向）に延びる形状である。貫通孔５１２は、貫通孔５１１に連通している。
　誘電体層２２２の主面２２２１には、線状の導体パターン５２１、導体パターン５２２、導体パターン５３１、および、導体パターン５３２が形成されている。第２導体パターンに対応する導体パターン５２１、および、導体パターン５２２は、貫通孔５１１よりも、端面２２０４側に配置されており、長さ方向に延びる形状である。導体パターン５３１、および、導体パターン５３２は、例えば、貫通孔５１１の外周に沿って形成されている。導体パターン５３１の一方端は、導体パターン５２１に接続しており、他方端は、貫通孔５１１を挟んで、導体パターン５２１と反対側に達している。導体パターン５３２の一方端は、導体パターン５２２に接続しており、他方端は、貫通孔５１１を挟んで、導体パターン５２２と反対側に達している。
　誘電体層２２１と誘電体層２２２とは、積層されている。この際、誘電体層２２１の主面２２１１と誘電体層２２２の主面２２２２とが略全面で当接する。このように、誘電体層２２１と誘電体層２２２とが積層された平板によって、誘電体基材２２が形成される。誘電体基材２２は、本発明の「第２誘電体基材」に対応する。
　このような誘電体層２２１と誘電体層２２２の積層構造によって、誘電体基材２２は、主面２２２１側から凹む凹部５１を備える。凹部５１は、貫通孔５１１および貫通孔５１２の一方の開口が誘電体層２２１によって塞がれることによって実現される。そして、この凹部５１は、貫通孔５１１に対応する領域において貫通孔６１に連通している。凹部５１が、本発明の「第２凹部」に対応する。
　誘電体基材２１と誘電体基材２２とは、誘電体層２１２の主面２１２２と誘電体層２２２の主面２２２１とが部分的に重なり合って当接した状態で、積層される。言い換えれば、誘電体基材２１と誘電体基材２２とは、長さ方向において、位置がずらされた状態で積層される。この誘電体基材２１と誘電体基材２２との積層基板によって、基板２０が実現される。
　より具体的には、誘電体基材２１と誘電体基材２２とは、凹部４１における貫通孔４１１の領域と、凹部５１における貫通孔５１１の領域とが重なり合うように配置される。この際、凹部４１における貫通孔４１２の領域と、凹部５１における貫通孔５１２の領域とが、貫通孔４１１および貫通孔５１１が重なる領域を間に挟んで配置されるように、誘電体基材２１と誘電体基材２２とは、積層される。
　そして、この構成では、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示すように、誘電体基材２１における端面２１０３は、誘電体基材２２における端面２２０４よりも凹部５１の貫通孔５１１側にある。また、誘電体基材２２における端面２２０３は、誘電体基材２１における端面２１０４よりも凹部４１の貫通孔４１１側にある。
　これにより、貫通孔４１２における貫通孔４１１に連通する側と反対側の部分は、誘電体基材２２に覆われず、外部に開口する。この開口が、本発明の「第１開口」に対応する。また、貫通孔５１２における貫通孔５１１に連通する側と反対側の部分は、誘電体基材２１に覆われず、外部に開口する。この開口が、本発明の「第２開口」に対応する。
　この構成によって、図４（Ａ）に示すように、流体制御装置１０は、誘電体基材２１と誘電体基材２２とが積層された基板２０の内部に、凹部４１と凹部５１とからなる流路用空間（本発明の「空間」に対応する。）を備える。そして、この流路用空間は、凹部４１の貫通孔４１２が基板２０の外部に開口する部分（第２領域）によって、外部空間に連通する。また、この流路用空間は、凹部５１の貫通孔４１２が基板２０の外部に開口する部分（第１領域）によって、外部空間に連通する。
　また、図１、図４（Ａ）に示すように、流路用空間は、貫通孔３１によって、誘電体基材２１における誘電体基材２２との当接面と反対側の面（主面２１１１）から、外部空間に連通する。流路用空間は、貫通孔６１によって、誘電体基材２２における誘電体基材２１との当接面と反対側の面（主面２２１２）から、外部空間に連通する。
　圧電ポンプ９０１は、誘電体基材２１における誘電体基材２２との当接面と反対側の面（主面２１１１）に配置される。圧電ポンプ９０１は、貫通孔３１を塞ぐ位置に配置される。圧電ポンプ９０１は、誘電体基材２１に当接する面に開口する吸入口９１１を備えている。そして、この圧電ポンプ９０１の吸入口９１１は、貫通孔３１に連通している。これにより、流路用空間は、圧電ポンプ９０１に連通する。この貫通孔３１が、本発明の「連通孔」に対応する。
　圧電ポンプ９０２は、誘電体基材２２における誘電体基材２１との当接面と反対側の面（主面２２１２）に配置される。圧電ポンプ９０２は、貫通孔６１を塞ぐ位置に配置される。圧電ポンプ９０２は、誘電体基材２２に当接する面に開口する吸入口９２１を備えている。そして、この圧電ポンプ９０２の吸入口９２１は、貫通孔６１に連通している。これにより、流路用空間は、圧電ポンプ９０２に連通する。この貫通孔６１が、本発明の「ポンプ接続用連通孔」に対応する。
　以上の構成によって、流体制御装置１０は、圧電ポンプ９０１および圧電ポンプ９０２を駆動によって、凹部４１の開口および凹部５１の開口から、流路用空間内に流体を吸入する。流路用空間内に吸入された流体は、流路用空間内を搬送され、貫通孔３１および貫通孔６１に達し、圧電ポンプ９０１および圧電ポンプ９０２に吸入される。そして、流体は、圧電ポンプ９０１の吐出口９１２および圧電ポンプ９０２の吐出口９２２から、流体制御装置１０の外部に吐出される。これにより、流体制御装置１０は、流体を特定の一方向に搬送できる。
　なお、このような流体制御装置１０では、圧電ポンプ９０１および圧電ポンプ９０２に、駆動信号を供給する必要がある。
　上述の構成では、図１、図４（Ｂ）に示すように、導体パターン３２１および導体パターン３２２は、圧電ポンプ９０１に接続する。また、導体パターン３２１は、誘電体基材２１に形成されたビア導体ＶＨ１１を介して、導体パターン４２１に接続する。導体パターン３２２は、誘電体基材２１に形成されたビア導体ＶＨ１２を介して、導体パターン４２２に接続する。
　導体パターン６２１および導体パターン６２２は、圧電ポンプ９０２に接続する。また、導体パターン６２１は、誘電体基材２２に形成されたビア導体ＶＨ２１を介して、導体パターン５２１に接続する。導体パターン６２２は、誘電体基材２２に形成されたビア導体ＶＨ２２を介して、導体パターン５２２に接続する。
　導体パターン５２１には、導体パターン５３１が接続しており、導体パターン５３１は、導体パターン４２１に重なって当接している。導体パターン５２２には、導体パターン５３２が接続しており、導体パターン５３２は、導体パターン４２２に重なって当接している。
　導体パターン４２１、および、導体パターン４２２は、上述の貫通孔４１２の開口とともに、基板２０の外部に露出しており、導体パターン５２１、および、導体パターン５２２は、上述の貫通孔５１２の開口とともに、基板２０の外部に露出している。したがって、導体パターン４２１、導体パターン４２２、導体パターン５２１、および、導体パターン５２２のそれぞれの外部への露出部によって、圧電ポンプ９０１および圧電ポンプ９０２は、外部から駆動信号の供給を受けることができる。
　（流体制御装置の接続態様）
　上述の構成の流体制御装置１０は、単体でも利用可能であるが、次に示すように、複数の流体制御装置を接続して、全体として１つの流体制御装置として利用することも可能である。
　図５は、複数の流体制御装置を接続した構成を示す斜視図である。図６（Ａ）は、複数の流体制御装置を接続した構成における空間の繋がりを示す側面断面図である。図６（Ｂ）は、複数の流体制御装置を接続した構成における導体パターンの接続態様を示す側面断面図である。
　図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示す、流体制御装置１０（１）、流体制御装置１０（２）、および、流体制御装置１０（３）は、同じ構成であり、流体制御装置１０の構成を備える。なお、図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）では、３個の流体制御装置を接続する態様を示すが、２個であっても、４個以上であってもよい。
　上述のように、流体制御装置１０では、誘電体基材２１と誘電体基材２２とが長さ方向においてずらされた状態で積層されている。これにより、誘電体基材２１における主面２１２２の開口する形状（第１領域）と、誘電体基材２２における主面２２２１の開口する形状（第２領域）は同じとなる。そして、主面２１２２の開口する方向と、主面２２２１の開口する方向は、厚み方向において逆である。また、主面２１２２の開口する部分は、流体制御装置１０の長さ方向の一方端側にあり、主面２２２１の開口する部分は、流体制御装置１０の長さ方向の他方端側にある。
　この構成において、流体制御装置１０（２）の長さ方向における主面２２２１（２）が開口する側の端部は、流体制御装置１０（１）の長さ方向における主面２１２２（１）が開口する側の端部に接続される。より具体的には、流体制御装置１０（２）の主面２２２１（２）が開口する面は、流体制御装置１０（１）の主面２１２２（１）が開口する面に、近接対向した状態または当接した状態で配置される。また、流体制御装置１０（２）の端面２２０４（２）は、流体制御装置１０（１）の端面２２０３（１）に、近接対向または当接した状態で配置される。また、流体制御装置１０（２）の端面２１０３（２）は、流体制御装置１０（１）の端面２１０４（１）に、近接対向した状態または当接した状態で配置される。
　同様に、流体制御装置１０（３）の長さ方向における主面２２２１（３）が開口する側の端部は、流体制御装置１０（２）の長さ方向における主面２１２２（２）が開口する側の端部に接続される。より具体的には、流体制御装置１０（３）の主面２２２１（３）が開口する面は、流体制御装置１０（２）の主面２１２２（２）が開口する面に、近接対向した状態または当接した状態で配置される。また、流体制御装置１０（３）の端面２２０４（３）は、流体制御装置１０（２）の端面２２０３（２）に、近接対向または当接した状態で配置される。また、流体制御装置１０（３）の端面２１０３（３）は、流体制御装置１０（２）の端面２１０４（２）に、近接対向した状態または当接した状態で配置される。
　ここで、凹部４１を構成する貫通孔４１２および凹部５１を構成する貫通孔５１２は、流体制御装置１０の幅方向の中心を含むように形成されている。これにより、図６（Ａ）に示すように、流体制御装置１０（１）と流体制御装置１０（２）との接続部においては、流体制御装置１０（１）の貫通孔４１２（１）の開口と、流体制御装置１０（２）の貫通孔５１２（２）の開口とは、平面視において重なり合う。すなわち、流体制御装置１０（１）の貫通孔４１２（１）（凹部４１（１））と、流体制御装置１０（２）の貫通孔５１２（２）（凹部５１（２））とは、連通する。同様に、流体制御装置１０（２）の貫通孔４１２（２）（凹部４１（２））と、流体制御装置１０（３）の貫通孔５１２（３）（凹部５１（３））とは、連通する。
　これにより、流体制御装置１０（１）の貫通孔５１２（１）（凹部５１（１））の開口を一方端の開口とし、流体制御装置１０（３）の貫通孔４１２（３）（凹部４１（３））の開口を他方端の開口として、流体制御装置１０（１）の流路用空間、流体制御装置１０（２）の流路用空間、および、流体制御装置１０（３）の流路用空間は、連通する。したがって、流体制御装置１０（１）の圧電ポンプ９０１（１）と圧電ポンプ９０２（１）、流体制御装置１０（２）の圧電ポンプ９０１（２）と圧電ポンプ９０２（２）、および、流体制御装置１０（３）の圧電ポンプ９０１（３）と圧電ポンプ９０２（３）に、貫通孔５１２（１）の開口、および、流体制御装置１０（３）の貫通孔４１２（３）の開口を介して、外部から、流体を供給することができる。
　この構成によって、流体制御装置１０（１）、流体制御装置１０（２）、および、流体制御装置１０（３）は、一体化された、一枚の平板からなる流体制御装置を、容易に実現できる。そして、この流体制御装置は、流体制御装置１０（１）、流体制御装置１０（２）、および、流体制御装置１０（３）をそれぞれ単体で利用する場合の３倍の個数の圧電ポンプによって、流体を搬送（制御）できる。すなわち、本実施形態の流体制御装置は、容易に流量を変更、調整できる。そして、この利用する圧電ポンプの個数は、接続する流体制御装置の個数によって、容易に変更できる。この結果、本実施形態の流体制御装置は、流量を容易に調整できる。
　なお、本実施形態の構成では、上述の配置を行うだけで、流体制御装置の導体パターン同士が対向し、容易に接続できる。具体的には、例えば、図３等に示すように、流体制御装置１０の導体パターン４２１および導体パターン４２２は、幅方向の中心線から所定距離離間した位置に配置されている。同様に、流体制御装置１０の導体パターン５２１および導体パターン５２２は、幅方向の中心線から所定距離離間した位置に配置されている。これらの離間距離は同じである。
　したがって、図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示すように、流体制御装置１０（１）と流体制御装置１０（２）とを配置すると、図６（Ｂ）に示すように、流体制御装置１０（１）の導体パターン４２１（１）は、流体制御装置１０（２）の導体パターン５２１（２）に近接対向または当接する。これにより、導体パターン４２１（１）と導体パターン５２１（２）とは容易に且つより確実に接続される。同様に、導体パターン４２１（２）と導体パターン５２１（２）とは容易に且つより確実に接続される。なお、図示を省略しているが、導体パターン４２２（１）と導体パターン５２２（２）とは容易に且つより確実に接続され、導体パターン４２２（２）と導体パターン５２２（２）とは容易に且つより確実に接続される。
　これにより、本実施形態の流体制御装置は、複数の圧電ポンプ９０１を、容易に且つより確実に接続できる。
　また、上述の構成では、流体制御装置１０（１）の接続固定用貫通孔２１０（１）と、流体制御装置（１）の接続固定用貫通孔２２０（２）とが、平面視において重なっている。したがって、これら接続固定用貫通孔２１０（１）および接続固定用貫通孔２２０（２）に挿通する部材等を用いることで、流体制御装置１０（１）と流体制御装置１０（２）とは、容易に位置決めできる。同様に、流体制御装置１０（２）と流体制御装置１０（３）とは、接続固定用貫通孔２１０（２）および接続固定用貫通孔２２０（３）を用いて、容易に位置決めできる。
　また、上述の構成では、誘電体基材２１と誘電体基材２２とは、同じ構成でよい。そして、同じ構成からなる誘電体基材２１と誘電体基材２２とを、主面の方向が逆になるように、部分的に重ね合わせることによって、基板２０は、形成される。これにより、基板２０を簡素な構成で実現できる。
　（第２の実施形態）
　本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図７（Ａ）は、第２の実施形態に係る流体制御装置の外観斜視図であり、図７（Ｂ）は、流体制御装置における連結部材の配置箇所を拡大した斜視図である。図８は、連結部材の外観斜視図である。
　図７（Ａ）、図７（Ｂ）、図８に示すように、第２の実施形態に係る流体制御装置は、第１の実施形態に係る流体制御装置に対して、複数の流体制御装置を連結部材によって接続する点で異なる。第２の実施形態に係る流体制御装置における他の構成は、第１の実施形態に係る流体制御装置と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　図７（Ａ）に示すように、流体制御装置は、それぞれ別体の流体制御装置１０（１）、流体制御装置１０（２）、流体制御装置１０（３）、流体制御装置１０（４）、および、連結部材８０を備える。
　流体制御装置１０（１）、流体制御装置１０（２）、流体制御装置１０（３）、および、流体制御装置１０（４）は、第１の実施形態に示した流体制御装置１０と同様の構成を備える。
　流体制御装置１０（１）と流体制御装置１０（２）とは、長さ方向に沿って接続されている。流体制御装置１０（３）と流体制御装置１０（４）とは、長さ方向に沿って接続されている。これらの接続構造は、第１の実施形態に示した、流体制御装置１０（１）、流体制御装置１０（２）、および、流体制御装置１０（３）の接続構造と同様である。
　流体制御装置１０（１）と流体制御装置１０（２）とからなるユニットと、流体制御装置１０（３）と流体制御装置１０（４）とからなるユニットとは、幅方向に沿って配置されている。より具体的には、流体制御装置１０（１）と流体制御装置１０（３）とは、幅方向に並んでおり、流体制御装置１０（２）と流体制御装置１０（４）とは、幅方向に並んでいる。
　これにより、流体制御装置１０（２）の端面２２０３（２）と、流体制御装置１０（４）の端面２２０３（４）とは、略面一になる。同様に、流体制御装置１０（２）の主面２１２２（２）の開口面と、流体制御装置１０（４）の主面２１２２（４）の開口面とは、略面一になる。
　この端面２２０３（２）との端面２２０３（４）とが繋がる面と、主面２１２２（２）の開口面と主面２１２２（４）の開口面とが繋がる面とに囲まれる部分に、連結部材８０は、配置される。
　図８に示すように、連結部材８０は、平板形状の基材８１を備える。基材８１は、例えば、絶縁性樹脂等によって形成されている。基材８１は、主面８１１、主面８１２、側面８１３、側面８１４、および、２個の端面を有する。
　主面８１１および主面８１２の長さは、基板２０（２）の幅と基板２０（４）の幅を加算した値と略同じである。言い換えれば、主面８１１および主面８１２の長さは、基板２０（２）および基板２０（４）の幅の略２倍である。また、主面８１１および主面８１２の幅（側面８１３と側面８１４との距離）は、基板２０（２）における主面２１２２（２）の開口領域の長さ、および、基板２０（４）における主面２１２２（４）の開口領域の長さと略同じである。連結部材８０の厚みは、基板２０（２）および基板２０（４）の厚みと略同じである。
　連結部材８０は、凹部８２を有する。凹部８２は、主面８１１から凹む形状である。凹部８２は、第１部分８２１、第２部分８２２、および、第３部分８２３が繋がる形状である。
　第１部分８２１は、連結部材８０の長さ方向（端面に直交する方向）に延びる形状である。第１部分８２１の長さは、基板２０（２）の貫通孔４１２（２）と基板２０（４）の貫通孔４１２（４）との間の距離よりも長い。言い換えれば、例えば、第１部分８２１の長さは、基板２０（２）および基板２０（４）の幅よりも長い。
　第２部分８２２および第３部分８２３は、連結部材８０の幅方向（側面８１３および側面８１４に直交する方向）に延びる形状である。第２部分８２２は、第１部分８２１における延びる方向の一方端に繋がる。第３部分８２３は、第１部分８２１における延びる方向の他方端に繋がる。
　図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、連結部材８０は、側面８１３が基板２０（２）の端面２２０３（２）および基板２０（４）の端面２２０３（４）に、近接対向または当接するように、配置される。また、連結部材８０は、主面８１１が基板２０（２）の主面２１２２（２）の開口面および基板２０（４）の主面２１２２（４）の開口面に、近接対向または当接するように、配置される。
　この構成によって、基板２０（２）における凹部４１（２）の貫通孔４１２（２）と、基板２０（４）における凹部４１（４）の貫通孔４１２（２）とは、連結部材８０の凹部８２を介して連通する。これにより、流体制御装置１０（１）の圧電ポンプ９０１（１）と圧電ポンプ９０１（２）、流体制御装置１０（２）の圧電ポンプ９０２（１）と圧電ポンプ９０２（２）、流体制御装置１０（３）の圧電ポンプ９０１（３）と圧電ポンプ９０２（３）、および、流体制御装置１０（４）の圧電ポンプ９０１（４）と圧電ポンプ９０２（４）は、一つの流路を介して、流体の供給を受けることができる。
　すなわち、複数の流体制御装置を幅方向に並べても、全ての流体制御装置に対して一連して繋がる流路を形成でき、一つの流体制御装置として機能させることができる。したがって、複数の流体制御装置の接続態様をより多様に構成でき、所望の流量を実現できる流体制御装置を、容易に実現できる。
　なお、図８に示すように、連結部材８０は、接続固定用貫通孔２３０を有する。図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、接続固定用貫通孔２３０は、連結部材８０が基板２０（２）および基板２０（４）に配置された状態において、基板２０（２）の接続固定用貫通孔２１０および基板２０（４）の接続固定用貫通孔２１０に重なる。この構成によって、これら接続固定用貫通孔２３０および接続固定用貫通孔２２０に挿通する部材等を用いることで、流体制御装置１０（２）および流体制御装置１０（４）と連結部材８０とは、容易に位置決め、および、固定できる。
　（第３の実施形態）
　本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図９（Ａ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図９（Ｂ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　図９（Ａ）、図９（Ｂ）に示すように、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａは、筐体２０Ａの構成が積層基板に限るものではなく、樹脂成形品等を用いた点で異なる。流体制御装置１０Ａの機能的な基本構造は、流体制御装置１０と同様である。
　図９（Ａ）、図９（Ｂ）に示すように、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａは、筐体２０Ａ、および、圧電ポンプ９０１を備える。筐体２０Ａは、樹脂等の成形品によって実現されている。
　筐体２０Ａは、略直方体形状である。筐体２０Ａは、主壁２５１Ａ、主壁２５２Ａ、側壁２５３Ａ、側壁２５４Ａ、側壁２５５Ａ、および、側壁２５６Ａを備える。主壁２５１Ａと主壁２５２Ａとは、互いに対向しており、筐体２０Ａの厚み方向に直交して配置されている。側壁２５３Ａと側壁２５４Ａとは、互いに対向しており、筐体２０Ａの厚み方向に平行に配置されている。側壁２５５Ａと側壁２５６Ａとは、互いに対向しており、筐体２０Ａの厚み方向に平行で、側壁２５３Ａと側壁２５４Ａに平行に配置されている。
　筐体２０Ａは、これら主壁２５１Ａ、主壁２５２Ａ、側壁２５３Ａ、側壁２５４Ａ、側壁２５５Ａ、および、側壁２５６Ａによって囲まれる中空部からなる流路用空間４５Ａを有する。
　主壁２５１Ａには、貫通孔３１Ａが形成されている。貫通孔３１Ａは、流路用空間４５Ａに連通するとともに、筐体２０Ａの外部空間に連通する。貫通孔３１Ａが、本発明の「ポンプ接続用連通孔」に対応する。
　側壁２５３Ａには、突起部２６Ａを備える。突起部２６Ａは、側壁２５３Ａの外面から外方に突起する形状である。突起部２６Ａは、略円筒形状である。突起部２６Ａの側壁２５３Ａへの接続部の面積は、先端の面積よりも大きい。言い換えれば、突起部２６Ａの外形は、筐体２０Ａを側面視して、テーパ形状である。突起部２６Ａは、貫通孔４５１Ａを有する。貫通孔４５１Ａは、流路用空間４５Ａに連通するとともに、筐体２０Ａの外部空間に連通する。貫通孔４５１Ａの断面積（側壁２５３Ａを正面視したときの面積）は、貫通孔３１Ａの断面積（主壁２５１Ａを正面視したときの面積）よりも大きい方が好ましい。これにより、貫通孔４５１Ａが流体の搬送の律速になることを抑制できる。突起部２６Ａが、本発明の「第１接続部」に対応し、貫通孔４５１Ａが、本発明の「第１開口」に対応する。
　側壁２５４Ａには、貫通孔４５２Ａを有する。貫通孔４５２Ａは、流路用空間４５Ａに連通するとともに、筐体２０Ａの外部空間に連通する。貫通孔４５２Ａは、略円柱形状である。貫通孔４５２Ａにおける流路用空間４５Ａに連通する面の面積は、筐体２０Ａの外部に連通する面の面積よりも小さい。貫通孔４５２Ａの形状および寸法は、突起部２６Ａが挿嵌可能な形容および寸法である。貫通孔４５２Ａが、本発明の「第２接続部（凹部）」に対応し、本発明の「第２開口」に対応する。
　圧電ポンプ９０１は、主壁２５１Ａの外面に設置されている。この際、圧電ポンプ９０１は、吸入口９１１が形成された面が、主壁２５１Ａの外面に当接するように配置される。さらに、圧電ポンプ９０１は、吸入口９１１が貫通孔３１Ａに連通するように配置される。
　このような構成の流体制御装置１０Ａを複数利用する場合、複数の流体制御装置１０Ａは、次に示すように接続される。図１０（Ａ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図であり、図１０（Ｂ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す側面断面図である。
　図１０（Ａ）に示すように、流体制御装置１０Ａ（１）と流体制御装置１０Ａ（２）とは、上述の流体制御装置１０Ａと同じ構成を備える。流体制御装置１０Ａ（２）における筐体２０Ａ（２）の突起部２６Ａ（２）は、流体制御装置１０Ａ（１）における筐体２０Ａ（１）の貫通孔４５２Ａ（１）に挿嵌される。これにより、流体制御装置１０Ａ（１）の流路用空間４５Ａ（１）と、流体制御装置１０Ａ（２）の流路用空間４５Ａ（２）とは、挿通する。これにより、流体制御装置１０Ａ（１）と流体制御装置１０Ａ（２）とが一体化された流体制御装置を実現できる。
　この一体化された流体制御装置では、流体制御装置１０Ａ（１）の圧電ポンプ９０１（１）と流体制御装置１０Ａ（２）の圧電ポンプ９０１（２）とは、１つの流路によって、流体が供給される。具体的には、圧電ポンプ９０１（１）および圧電ポンプ９０１（２）が駆動すると、貫通孔４５１（Ａ）、貫通孔４５２（Ａ）から流体が、貫通孔４５１Ａ（２）によって連通した流路用空間４５Ａ（１）および流路用空間４５Ａ（２）に流入する。この流体は、貫通孔３１Ａ（１）を介して圧電ポンプ９０１（１）に吸入され、貫通孔３１Ａ（２）を介して圧電ポンプ９０１（２）に吸入される。圧電ポンプ９０１（１）および圧電ポンプ９０１（２）は、吸入した流体を、流体制御装置１０Ａ（１）および流体制御装置１０Ａ（２）の外部に吐出する。
　この構成によって、この一体化された流体制御装置は、圧電ポンプ９０１（１）と圧電ポンプ９０１（２）とによって流量を稼ぐことができる。すなわち、接続する個別の流体制御装置の個数に応じて、流量を容易に変更、調整できる。
　また、この構成では、突起部２６Ａ（２）を貫通孔４５２Ａ（１）に挿嵌するだけで、一体化された流体制御装置を実現できる。したがって、流量を変更、調整可能な流体制御装置、または、複数の流体制御装置を一体化した流体制御装置を、容易に実現できる。
　なお、図示を省略しているが、突起部２６Ａ（１）、突起部２６Ａ（２）の外面、貫通孔４５２Ａ（１）、貫通孔４５２Ａ（２）の壁面に、互いに螺合する凹凸部を設けるとよい。これにより、流体制御装置１０Ａ（１）と流体制御装置１０Ａ（２）とは、互いに外れにくくなり、流体制御装置１０Ａ（１）と流体制御装置１０Ａ（２）との固定状態は、より堅固になる。
　（第４の実施形態）
　本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１１（Ａ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１１（Ｂ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）に示すように、第４の実施形態に係る流体制御装置１０ＡＲは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、筐体２０Ａに対する圧電ポンプ９０１の配置態様において異なる。流体制御装置１０ＡＲの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　圧電ポンプ９０１は、吐出口９１２が形成された面が、主壁２５１Ａの外面に当接するように配置される。さらに、圧電ポンプ９０１は、吐出口９１２が貫通孔３１Ａに連通するように配置される。
　この構成によって、流体制御装置１０ＡＲは、流体制御装置１０Ａと逆の整流を実現できる。
　（第５の実施形態）
　本発明の第５の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１２（Ａ）は、第５の実施形態に係る複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図であり、図１２（Ｂ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す側面断面図である。
　図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）に示すように、第５の実施形態に係る一体化された流体制御装置は、第３の実施形態に係る一体化された流体制御装置に対して、栓部材８９を備える点で異なる。
　栓部材８９は、貫通孔４５２Ａ（２）に挿嵌可能な形状の略円柱体である。栓部材８９は、樹脂であってもよく、弾性体であってもよい。
　この構成では、一体化された流体制御装置は、貫通孔４５１Ａ（１）から、貫通孔４５１Ａ（２）によって連通した流路用空間４５Ａ（１）および流路用空間４５Ａ（２）に、流体を流入する。この流体は、貫通孔３１Ａ（１）を介して圧電ポンプ９０１（１）に吸入され、貫通孔３１Ａ（２）を介して圧電ポンプ９０１（２）に吸入される。圧電ポンプ９０１（１）および圧電ポンプ９０１（２）は、吸入した流体を、流体制御装置１０Ａ（１）および流体制御装置１０Ａ（２）の外部に吐出する。そして、この構成を用いることによって、流体の入り口が１つになるため、貫通孔４５１Ａ（２）によって連通した流路用空間４５Ａ（１）および流路用空間４５Ａ（２）なる空間での乱流を抑制できる。
　（第６の実施形態）
　本発明の第６の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１３（Ａ）は、第６の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１３（Ｂ）は、第６の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面図であり、図１３（Ｃ）は、第６の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）、図１３（Ｃ）に示すように、第６の実施形態に係る流体制御装置１０Ｂは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、突起部２６Ｂの形状が異なる点、溝２７Ｂを備える点で異なる。流体制御装置１０Ｂの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　流体制御装置１０Ｂの筐体２０Ｂは、側壁２５３Ｂと側壁２５４Ｂとを備える。側壁２５３Ｂは、突起部２６Ｂを備える。突起部２６Ｂは、直方体形状である。側壁２５４Ｂは、溝２７Ｂを備える。溝２７Ｂは、側壁２５４Ｂの外面、および、側壁２５６Ｂの外面に開口する形状である。溝２７Ｂは、貫通孔４５２Ｂに連通している。溝２７Ｂは、突起部２６Ｂが挿嵌可能な形状である。
　このような構成の流体制御装置１０Ｂを複数利用する場合、複数の流体制御装置１０Ｂは、次に示すように接続される。図１４（Ａ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図であり、図１４（Ｂ）は、複数の流体制御装置の接続態様を示す側面断面図であり、図１４（Ｃ）は、複数の流体制御装置に接続の仕方を示す平面図である。
　図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に示すように、流体制御装置１０Ｂ（２）の突起部２６Ｂ（２）は、流体制御装置１０Ｂ（１）の溝２７Ｂ（１）に挿嵌される。これにより、流体制御装置１０Ｂ（１）と流体制御装置１０Ｂ（２）とを一体化した流体制御装置を実現できる。
　そして、この一体化された流体制御装置では、図１４（Ｃ）に示すように、流体制御装置１０Ｂ（２）の突起部２６Ｂ（２）を、流体制御装置１０Ｂ（１）の溝２７Ｂ（１）にスライドさせながら挿嵌できる。すなわち、突起部２６Ｂ（２）は、溝２７Ｂ（１）に沿って、特定方向に容易に誘導される。そして、この構成では、突起部２６Ｂ（２）と溝２７Ｂ（１）との接続面積が大きいので、安定した固定状態を、より確実に維持できる。また、貫通孔４５１Ｂ（２）の断面積を大きくでき、貫通孔４５１Ｂ（２）による流体の搬送の律速を抑制できる。
　（第７の実施形態）
　本発明の第７の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１５（Ａ）は、第７の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１５（Ｂ）は、第７の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）に示すように、第７の実施形態に係る流体制御装置１０Ｃは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、磁石２８１Ｃ、および、磁石２８２Ｃを備える点で異なる。流体制御装置１０Ｃの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　流体制御装置１０Ｃの筐体２０Ｃの突起部２６Ｃには、磁石２８１Ｃが配置されている。筐体２０Ｃの側壁２５４Ｃの貫通孔４５２Ｃの側壁には、磁石２８２Ｃが配置されている。磁石２８１Ｃと磁石２８２Ｃとは、逆の極性を有する。
　このような構成では、接続される一方の流体制御装置１０Ｃの突起部２６Ｃと、他方の流体制御装置１０Ｃの貫通孔４５２Ｃとが挿嵌されるとき、磁石２８１Ｃと磁石２８２Ｃとで引力が発生する。これにより、接続される２個の流体制御装置１０Ｃの固定状態は、安定する。また、接続の際、磁石２８１Ｃと磁石２８２Ｃとが引きつけ合うので、接続すべき２個の流体制御装置１０Ｃを、容易に接続できる。
　なお、本実施形態では、磁石２８１Ｃが突起部２６Ｃに配置され、磁石２８２Ｃが貫通孔４５２Ｃの側壁に配置される態様を示した。しかしながら、突起部２６Ｃに配置されるもの、貫通孔４５２Ｃの側壁に配置されるもののいずれか一方が、磁石であり、他方が金属等の磁性体であってもよい。すなわち、２つの磁石を用いる態様に限らず、突起部２６Ｃと貫通孔４５２Ｃの側壁とは、磁力によって互いに引きつけ合い、固定される構成を備えていてもよい。
　（第８の実施形態）
　本発明の第８の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１６（Ａ）は、第８の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面図であり、図１６（Ｂ）は、第８の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　図１６（Ａ）、図１６（Ｂ）に示すように、第８の実施形態に係る流体制御装置１０Ｄは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、さらに、圧電ポンプ９０２を備える点で異なる。流体制御装置１０Ｄの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　流体制御装置１０Ｄは、筐体２０Ｄ、圧電ポンプ９０１、および、圧電ポンプ９０２を備える。筐体２０Ｄの主壁２５１Ｄは、貫通孔３１Ｄを有し、主壁２５２Ｄは、貫通孔６１Ｄを有する。
　圧電ポンプ９０１は、主壁２５１Ｄの外面に設置されている。この際、圧電ポンプ９０１は、吸入口９１１が貫通孔３１Ｄに連通するように配置される。圧電ポンプ９０２は、主壁２５２Ｄの外面に設置されている。この際、圧電ポンプ９０２は、吸入口９２１が貫通孔６１Ｄに連通するように配置される。
　このように、流体制御装置１０Ｄは、流体制御装置１０Ａと比較して、２倍の圧電ポンプによって、流量を稼ぐことができる。なお、図示を省略しているが、筐体２０Ｄにおける、側壁２５３Ｄ、側壁２５４Ｄとは別の２側壁の少なくとも一方に、圧電ポンプを配置することも可能である。
　（第９の実施形態）
　本発明の第９の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１７（Ａ）は、第９の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す第１側面図（第１端面図）であり、図１７（Ｂ）は、第９の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図１７（Ｃ）は、第９の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す第２側面図（第２端面図）である。
　図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）、図１７（Ｃ）に示すように、第９の実施形態に係る流体制御装置１０Ｅは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、導体パターン６５１Ｅ、および、導体パターン９５２Ｅを備える点で異なる。流体制御装置１０Ｅの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　導体パターン６５１Ｅおよび導体パターン６５２Ｅは、筐体２０Ｅに形成される。より具体的には、導体パターン６５１Ｅおよび導体パターン６５２Ｅは、筐体２０Ｅの主壁２５１Ｅに形成されている。導体パターン６５１Ｅおよび導体パターン６５２Ｅの一方端は、側壁２５３Ｅに達しており、他方端は、側壁２５４Ｅに達している。
　また、導体パターン６５１Ｅおよび導体パターン６５２Ｅは、圧電ポンプ９０１に導通している。
　このような構成の流体制御装置１０Ｅを複数利用する場合、複数の流体制御装置１０Ｅは、次に示すように接続される。図１８は、複数の流体制御装置の接続態様を示す平面図である。図１９（Ａ）は、駆動部材の第１側面図であり、図１９（Ｂ）は、駆動部材の平面図である。
　図１８に示すように、流体制御装置１０Ｅ（１）と流体制御装置１０Ｅ（２）とが接続されると、導体パターン６５１Ｅ（１）と導体パターン６５１Ｅ（２）とは、側壁に形成されている部分によって接続する。同様に、導体パターン６５２Ｅ（１）と導体パターン６５２Ｅ（２）とは、側壁に形成されている部分によって接続する。このように、本実施形態の構成では、流体制御装置１０Ｅ（１）と流体制御装置１０Ｅ（２）とを、電気的に、容易に接続できる。
　また、この構成では、図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）に示す駆動部材９９０を備えることによって、流体制御装置１０Ｅ（１）と流体制御装置１０Ｅ（２）とに、駆動信号を容易に供給できる。
　駆動部材９９０は、略直方体形状の筐体２９Ｅを備える。筐体２９Ｅの一側壁は、突起部２９０Ｅを備える。突起部２９０Ｅは、貫通孔４５２Ｅに挿嵌可能な形状である。駆動部材９９０は、駆動回路部品９９１、導体パターン２９９１Ｅ、および、導体パターン２９９２Ｅを備える。駆動回路部品９９１は、筐体２９Ｅの一主面に配置されている。導体パターン２９９１Ｅ、および、導体パターン２９９２Ｅは、駆動回路部品９９１が配置される主面、および、突起部２９０Ｅが突起する側面に亘って形成されている。導体パターン２９９１Ｅ、および、導体パターン２９９２Ｅは、駆動回路部品９９１に接続する。
　図１８に示すように、駆動部材９９０は、突起部２９０Ｅが流体制御装置１０Ｅ（２）の貫通孔４５２Ｅ（２）に挿嵌するように、配置される。これにより、駆動部材９９０の導体パターン２９９１Ｅは、流体制御装置１０Ｅ（２）の導体パターン６５１Ｅ（２）に接続する。同様に、駆動部材９９０の導体パターン２９９２Ｅは、流体制御装置１０Ｅ（２）の導体パターン６５２Ｅ（２）に接続する。
　この構成によって、流体制御装置１０Ｅ（１）の圧電ポンプ９０１（１）、および、流体制御装置１０Ｅ（２）の圧電ポンプ９０１（２）は、駆動部材９９０の駆動回路部品９９１に、容易に且つ確実に、電気的に接続できる。
　（第１０の実施形態）
　本発明の第１０の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図２０（Ａ）は、第１０の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す平面図であり、図２０（Ｂ）は、第１０の実施形態に係る流体制御装置を複数利用した一体化された流体制御装置の構成を示す平面図である。
　図２０（Ａ）に示すように、第１０の実施形態に係る流体制御装置１０Ｆは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、貫通孔４５２１Ｆ、貫通孔４５２２Ｆ、および、貫通孔４５２３Ｆを有する点で異なる。流体制御装置１０Ｆの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　貫通孔４５２１Ｆは、側壁２５４Ｆに形成され、貫通孔４５２２Ｆは、側壁２５５Ｆに形成され、貫通孔４５２３Ｆは、側壁２５６Ｆに形成されている。
　このような構成によって、図２０（Ｂ）に示すように、複数の流体制御装置１０Ｆ（複数の流体制御装置１０Ｆ（１）－１０Ｆ（９））を、二次元配列で接続できる。図２０（Ｂ）に示す態様では、外形的には、流体制御装置１０Ｆ（１）、流体制御装置１０Ｆ（２）、および、流体制御装置１０Ｆ（３）が一列に並ぶ（第１列）。流体制御装置１０Ｆ（４）、流体制御装置１０Ｆ（５）、および、流体制御装置１０Ｆ（６）が一列に並ぶ（第２列）。流体制御装置１０Ｆ（７）、流体制御装置１０Ｆ（８）、および、流体制御装置１０Ｆ（９）が一列に並ぶ（第３列）。
　第２列の複数の流体制御装置１０Ｆ（４）－１０Ｆ（６）と、第３列の複数の流体制御装置１０Ｆ（７）－１０Ｆ（９）とは、第１列の複数の流体制御装置１０Ｆ（１）－１０Ｆ（３）を挟むように配置される。
　そして、図２０（Ｂ）に示すように、流体制御装置１０Ｆ（１）は、流体制御装置１０Ｆ（２）、流体制御装置１０Ｆ（４）、および、流体制御装置１０Ｆ（７）に接続する。言い換えれば、流体制御装置１０Ｆ（１）の流路用空間は、流体制御装置１０Ｆ（２）の流路用空間、流体制御装置１０Ｆ（４）の流路用空間、および、流体制御装置１０Ｆ（７）の流路用空間に連通する。
　流体制御装置１０Ｆ（２）は、流体制御装置１０Ｆ（３）、流体制御装置１０Ｆ（５）、および、流体制御装置１０Ｆ（８）に接続する。言い換えれば、流体制御装置１０Ｆ（２）の流路用空間は、流体制御装置１０Ｆ（３）の流路用空間、流体制御装置１０Ｆ（５）の流路用空間、および、流体制御装置１０Ｆ（８）の流路用空間に連通する。
　さらに、流体制御装置１０Ｆ（５）は、流体制御装置１０Ｆ（６）に接続する。言い換えれば、流体制御装置１０Ｆ（５）の流路用空間は、流体制御装置１０Ｆ（６）の流路用空間に連通する。また、流体制御装置１０Ｆ（８）は、流体制御装置１０Ｆ（９）に接続する。言い換えれば、流体制御装置１０Ｆ（８）の流路用空間は、流体制御装置１０Ｆ（９）の流路用空間に連通する。
　このように、流体制御装置１０Ｆの構成を備えることによって、より多様な接続態様で、複数の流体制御装置を接続できる。したがって、より多様な流量を設定できる。
　（第１１の実施形態）
　本発明の第１１の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図２１（Ａ）は、第１１の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図であり、図２１（Ｂ）は、第１１の実施形態に係る流体制御装置の流体の流れを示す図であり、図２１（Ｃ）は、一方の圧電ポンプを取り外した状態での流体の流れを示す図である。
　図２１（Ａ）、図２１（Ｂ）、図２１（Ｃ）に示すように、第１１の実施形態に係る流体制御装置１０Ｇは、第８の実施形態に係る流体制御装置１０Ｄに対して、逆止弁２９１、および、逆止弁２９２を備える点で異なる。流体制御装置１０Ｇの他の構成は、流体制御装置１０Ｄと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　逆止弁２９１は、筐体２０Ｇの主壁２５１Ｇにおける貫通孔３１Ｇの位置に配置される。逆止弁２９１は、流路用空間４５Ｇから貫通孔３１Ｇを介して筐体２０Ｇの外部に流れる流体を低抵抗で通す。一方、逆止弁２９１は、筐体２０Ｇの外部から貫通孔３１Ｇを介して流路用空間４５Ｇに流れる流体を阻止する。
　逆止弁２９２は、筐体２０Ｇの主壁２５２Ｇにおける貫通孔６１Ｇの位置に配置される。逆止弁２９２は、流路用空間４５Ｇから貫通孔６１Ｇを介して筐体２０Ｇの外部に流れる流体を低抵抗で通す。一方、逆止弁２９２は、筐体２０Ｇの外部から貫通孔６１Ｇを介して流路用空間４５Ｇに流れる流体を阻止する。
　このような構成によって、図２１（Ｂ）に示すように、圧電ポンプ９０１と圧電ポンプ９０２とが筐体２０Ｇに配置され、これらが駆動する状態では、流体制御装置１０Ｇは、流路用空間４５Ｇから筐体２０Ｇの外部に流体を搬送する。
　一方、例えば、図２１（Ｃ）に示すように、圧電ポンプ９０２が筐体２０Ｇに配置されていない状態では、流体制御装置１０Ｇは、流路用空間４５Ｇから筐体２０Ｇの外部に、圧電ポンプ９０１のみを用いて流体を搬送する。この際、貫通孔６１Ｇは、逆止弁２９２によって塞がれているので、流路用空間４５Ｇに、貫通孔６１Ｇを介して、筐体２０Ｇの外部から流体が逆流しない。
　このように、流体制御装置１０Ｇの構成を備えることによって、圧電ポンプ９０１および圧電ポンプ９０２の少なくとも１つを選択的に配置できる。そして、流体制御装置１０Ｇは、配置の態様に応じた効率的な流体の搬送を実現できる。
　（第１２の実施形態）
　本発明の第１２の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図２２（Ａ）は、第１２の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図であり、図２２（Ｂ）は、第１２の実施形態に係る流体制御装置を複数利用した一体化された流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
　図２２（Ａ）、図２２（Ｂ）に示すように、第１２の実施形態に係る流体制御装置１０Ｈは、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ａに対して、貫通孔４５２Ｈの構造において異なる。流体制御装置１０Ｈの他の構成は、流体制御装置１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
　図２２（Ａ）に示すように、流体制御装置１０Ｈでは、貫通孔４５２Ｈの筐体２０Ｈの外部への開口は、貫通孔４５２Ｈの流路用空間４５Ｈへの連通口よりも、主壁２５１Ｈ側にずれている。
　このような構成では、図２２（Ｂ）に示すように、複数の流体制御装置１０Ｈ（複数の流体制御装置１０Ｈ（１）－１０Ｈ（３））を、曲線上（折れ線上）に接続できる。図２１（Ｂ）の例では、流体制御装置１０Ｈ（２）は、流体制御装置１０Ｈ（１）に接続し、流体制御装置１０Ｈ（３）は、流体制御装置１０Ｈ（２）に接続する。貫通孔４５２Ｈ（１）、貫通孔４５２Ｈ（２）、および、貫通孔４５２Ｈ（３）が上述の構成であるので、流体制御装置１０Ｈ（１）の圧電ポンプ９０１（１）の吐出口９１２（１）が流体を吐出する方向、流体制御装置１０Ｈ（２）の圧電ポンプ９０１（２）の吐出口９１２（２）が流体を吐出する方向、流体制御装置１０Ｈ（３）の圧電ポンプ９０１（３）の吐出口９１２（３）が流体を吐出する方向は、平行にならない。
　これにより、例えば、圧電ポンプ９０１（１）の流体の吐出方向、圧電ポンプ９０１（２）の流体の吐出方向、および、圧電ポンプ９０１（３）の流体の吐出方向を、一点に集中できる。
　また、例えば、一体化された流体制御装置を配置する対象物として、曲面等の平面でない形状の壁にも、当該壁の形状に沿って、複数の流体制御装置を配置できる。これにより、対象物の形状に応じた、対象物に必要な流量を供給できる、一体化された流体制御装置を実現できる。
　なお、上述の各実施形態の構成は、適宜組み合わせが可能である。そして、それぞれの組み合わせに応じた作用効果を奏することができる。
１０、１０Ａ、１０ＡＲ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇ、１０Ｈ：流体制御装置
２０：基板
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｇ、２０Ｈ：筐体
２１、２２：誘電体基材
２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ：突起部
２７Ｂ：溝
２９Ｅ：筐体
３１、３１Ａ、３１Ｄ、３１Ｇ：貫通孔
４１、５１：凹部
４５Ａ、４５Ｇ、４５Ｈ：流路用空間
６１、６１Ｄ、６１Ｇ：貫通孔
８０：連結部材
８１：基材
８２：凹部
８９：栓部材
２１０：接続固定用貫通孔
２１１、２１２、２２１、２２２：誘電体層
２２０、２３０：接続固定用貫通孔
２５１Ａ、２５１Ｄ、２５１Ｅ、２５１Ｇ、２５１Ｈ、２５２Ａ、２５２Ｄ、２５２Ｇ：主壁
２５３Ａ、２５３Ｂ、２５３Ｄ、２５３Ｅ、２５４Ａ、２５４Ｂ、２５４Ｃ、２５４Ｄ、２５４Ｅ、２５４Ｆ、２５５Ａ、２５５Ｆ、２５６Ａ、２５６Ｂ、２５６Ｆ：側壁
２８１Ｃ、２８２Ｃ：磁石
２９０Ｅ：突起部
２９１、２９２：逆止弁
３２１、３２２：導体パターン
４１１、４１２：貫通孔
４２１、４２２：導体パターン
４５１、４５１Ａ、４５１Ｂ、４５２、４５２Ａ、４５２Ｂ、４５２Ｃ、４５２Ｅ、４５２Ｈ、５１１、５１２：貫通孔
５２１、５２２、５３１、５３２、６２１、６２２、６５１Ｅ、６５２Ｅ：導体パターン
８１１、８１２：主面
８１３、８１４：側面
８２１：第１部分
８２２：第２部分
８２３：第３部分
９０１、９０２、９０３、９０４：圧電ポンプ
９１１、９２１：吸入口
９１２、９２２：吐出口
９９０：駆動部材
９９１：駆動回路部品
２１０３、２１０４、２２０３、２２０４：端面
２１１１、２１１２、２１２１、２１２２：主面
２２１１、２２１２、２２２１、２２２２：主面
２９９１Ｅ、２９９２Ｅ：導体パターン
４５２１Ｆ、４５２２Ｆ、４５２３Ｆ：貫通孔
ＶＨ１１、ＶＨ１２、ＶＨ２１、ＶＨ２２：ビア導体

Claims (12)

  1. 　流体を搬送するポンプと、
    　前記ポンプが設置される筐体と、を備え、
    　前記筐体は、
    　　内部に形成された空間と、
    　　前記空間を前記ポンプに連通する連通孔と、
    　外部の部材へ物理的に接続するための第１接続部および第２接続部と、
    　前記第１接続部に形成され、前記空間を外部に開口する第１開口と、
    　前記第２接続部に形成され、前記空間を外部に開口する第２開口と、を備え、
    　前記第１接続部と前記第２接続部とは、他の筐体と接続されたときに、前記筐体の前記第１開口と前記他の筐体の前記第２開口を介して２つの筐体が連通するように、互いに嵌め合わせ可能な外形形状を有する、
    　流体制御装置。
  2. 　前記筐体は、前記ポンプに導通する第１導体パターンおよび第２導体パターンを備え、
    　前記第１導体パターンの一部は、前記第１接続部に形成され、
    　前記第２導体パターンの一部は、前記第２接続部に形成され、
    　前記第１導体パターンと前記第２導体パターンとは、前記筐体と前記他の筐体とが接続されたときに、前記筐体の前記第１導体パターンと前記他の筐体の前記第２導体パターンとが接続する形状である、
    　請求項１に記載の流体制御装置。
  3. 　前記筐体は、第１誘電体基材と第２誘電体基材とを積層した積層基板からなり、
    　前記空間は、前記第１誘電体基材に形成された第１凹部と前記第２誘電体基材に形成された第２凹部によって形成される、
    　請求項１または請求項２に記載の流体制御装置。
  4. 　前記筐体は、
    　前記第１誘電体基材と前記第２誘電体基材とが重ならない、前記第１誘電体基材のみからなる第１領域と、前記第２誘電体基材のみからなる第２領域とを備え、
    　前記第１接続部は、前記第１領域に形成され、
    　前記第２接続部は、前記第２領域に形成される、
    　請求項３に記載の流体制御装置。
  5. 　前記第１誘電体基材と前記第２誘電体基材とは、略同一形状からなり、
    　前記第１誘電体基材と前記第２誘電体基材とは、主面の向きを逆にして、部分的に重ね合っている、
    　請求項３または請求項４に記載の流体制御装置。
  6. 　前記ポンプは、第１ポンプと第２ポンプとを含み、
    　前記連通孔は、第１連通孔と第２連通孔とを含み、
    　前記第１連通孔は、前記第１誘電体基材に形成され、
    　前記第２連通孔は、前記第２誘電体基材に形成され、
    　前記第１ポンプは、前記第１誘電体基材における前記第２誘電体基材への接続面と反対側の面に配置され、
    　前記第２ポンプは、前記第２誘電体基材における前記第１誘電体基材への接続面と反対側の面に配置されている、
    　請求項３乃至請求項５のいずれかに記載の流体制御装置。
  7. 　前記第１接続部は、前記筐体に形成された突起部であり、
    　前記第２接続部は、前記筐体に形成された凹部である、
    　請求項１または請求項２に記載の流体制御装置。
  8. 　前記第１接続部および前記第２接続部は、互いに螺合する凹凸部を備える、
    　請求項７に記載の流体制御装置。
  9. 　前記第２接続部は、前記突起部を特定方向に誘導する溝を備える、
    　請求項７または請求項８に記載の流体制御装置。
  10. 　前記第１接続部と前記第２接続部とは、磁力によって固定される構造を備える、
    　請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の流体制御装置。
  11. 　前記第１開口または前記第２開口を塞ぐ栓部材を備える、
    　請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の流体制御装置。
  12. 　前記第１接続部または前記第２接続部に嵌め合わされ、前記第１開口または前記第２開口を、前記他の筐体の第１開口または第２開口に連通させる連結部材を備える、
    　請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載の流体制御装置。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000104659A (ja) * 1998-09-29 2000-04-11 Shimadzu Corp 送液ポンプ
CN101244371A (zh) * 2008-03-28 2008-08-20 杨志刚 一种精确溶液配比装置
WO2011145544A1 (ja) * 2010-05-21 2011-11-24 株式会社村田製作所 流体ポンプ
US20150247580A1 (en) * 2014-02-28 2015-09-03 University Of Washington Through Its Center For Commercialization Assembly-Free Additively-Manufactured Fluidic Control Elements
JP2017506722A (ja) * 2014-02-28 2017-03-09 スティーブン アラン マーシュ， マイクロポンプシステム

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3586461A (en) * 1969-01-16 1971-06-22 Continental Can Co Sonic multistage pump
US6179586B1 (en) 1999-09-15 2001-01-30 Honeywell International Inc. Dual diaphragm, single chamber mesopump
FR2861814B1 (fr) 2003-11-04 2006-02-03 Cit Alcatel Dispositif de pompage par micropompes a transpiration thermique
DE102007050407A1 (de) * 2007-10-22 2009-04-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Pumpe, Pumpenanordnung und Pumpenmodul
US20140094727A1 (en) * 2012-09-28 2014-04-03 Covidien Lp Compression device pumping
JP6014828B2 (ja) * 2014-08-01 2016-10-26 株式会社メトラン ポンプユニット、呼吸補助装置
US10330100B2 (en) * 2016-10-05 2019-06-25 Cooler Master Co., Ltd. Pump, pump assembly and liquid cooling system
WO2019099442A1 (en) 2017-11-14 2019-05-23 Encite, Llc Microelectromechanical systems fabricated with roll to roll processing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000104659A (ja) * 1998-09-29 2000-04-11 Shimadzu Corp 送液ポンプ
CN101244371A (zh) * 2008-03-28 2008-08-20 杨志刚 一种精确溶液配比装置
WO2011145544A1 (ja) * 2010-05-21 2011-11-24 株式会社村田製作所 流体ポンプ
US20150247580A1 (en) * 2014-02-28 2015-09-03 University Of Washington Through Its Center For Commercialization Assembly-Free Additively-Manufactured Fluidic Control Elements
JP2017506722A (ja) * 2014-02-28 2017-03-09 スティーブン アラン マーシュ， マイクロポンプシステム

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