WO2021064328A1 - Sous-couche neutre pour copolymere a blocs et empilement polymerique comprenant une telle sous-couche recouverte d'un film de copolymere a blocs - Google Patents

Sous-couche neutre pour copolymere a blocs et empilement polymerique comprenant une telle sous-couche recouverte d'un film de copolymere a blocs Download PDF

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WO2021064328A1
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copolymer
methacrylate
acrylates
methacrylates
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PCT/FR2020/051718
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Xavier CHEVALIER
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Arkema France
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    • C09D133/00—Coating compositions based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D133/04—Homopolymers or copolymers of esters
    • C09D133/06—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
    • C09D133/062—Copolymers with monomers not covered by C09D133/06
    • C09D133/066—Copolymers with monomers not covered by C09D133/06 containing -OH groups
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C09D133/068—Copolymers with monomers not covered by C09D133/06 containing glycidyl groups
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10—Esters
    • C08F220/20—Esters of polyhydric alcohols or phenols, e.g. 2-hydroxyethyl (meth)acrylate or glycerol mono-(meth)acrylate

Definitions

  • TITLE Neutral underlayer for block copolymer and polymer stack comprising such an underlayer covered with a film of block copolymer
  • the invention relates to the field of microelectronics, and more particularly to applications of directed self-assembly nano-lithography, also known as DSA (from the acronym "Directed Self-Assembly”).
  • DSA directed self-assembly nano-lithography
  • the invention relates more particularly to a neutral sublayer for a block copolymer as well as a polymeric stack comprising such an sublayer deposited on the surface of a substrate and covered with a film of block copolymer intended to serve as a protective mask. nano-lithography.
  • Block copolymers have been a very large field of research since the 1960s for the development of new materials. It is possible to modulate and control their properties by the chemical nature of the blocks and their architecture for the intended application.
  • block copolymers are able to self-assemble and form structures whose characteristic dimensions (10 -1 OOnm) today constitute a major stake in the field of microelectronics and micro-electro-mechanical systems (MEMS).
  • block copolymers capable of nano-structuring at an assembly temperature, are used as nano-lithography masks.
  • the block copolymers, once nanostructured, make it possible to obtain cylinders, lamellae, spheres or even gyroids which respectively form patterns, for the creation of nanolithography masks, with a periodicity of less than 20 nm, which 'it is difficult to achieve with conventional lithography techniques.
  • the applications in microelectronics, of DSA type technology are potentially limited by the dewetting conditions of the block copolymers used.
  • the block copolymers are deposited on a solid substrate in liquid or viscous form.
  • the fact of depositing a layer of liquid / viscous polymer on a solid surface can lead to the appearance of dewetting phenomena, in particular when said layer of polymer is brought to a temperature above its glass transition temperature. If a block copolymer film dewets its surface, whether before or after its self-organization at assembly temperature, then it becomes unusable as a nano-lithography mask.
  • obtaining a self-assembled block copolymer with a periodicity of less than 10 nm is made possible thanks to the use of block copolymers whose blocks have a strong incompatibility, that is to say. say with a high Flory-Huggins interaction parameter, c,.
  • This high parameter results in a difference in the physicochemical properties between the blocks and in particular in surface energy. In the case of the lamellar phase in particular, this large difference in surface energy favors the orientation of the domains parallel to the surface of the substrate.
  • such a block copolymer in order to be able to serve as a nano-lithography mask, such a block copolymer must have nano-domains oriented perpendicular to the lower and upper interfaces of the block copolymer, in order to then be able to selectively remove one of the nano-domains from the block copolymer. , create a porous film with the residual nano-domain (s) and transfer, by etching, the patterns thus created into the underlying substrate.
  • this condition of perpendicularity of the nano-domains is fulfilled only if each of the lower (substrate / block copolymer) and upper (boc copolymer / ambient atmosphere) interfaces is “neutral” with respect to each of the blocks of said copolymer, ie.
  • a random copolymer comprising a carefully chosen ratio of the same monomers as those of the block copolymer can be grafted onto the substrate, allowing thus balancing the initial affinity of the substrate for the block copolymer.
  • This is for example the method of choice, conventional, used for a system comprising a block copolymer such as PS-b-PMMA and described in the article by Mansky et al, Science, 1997, 275,1458).
  • one solution consists in depositing a coating material, called “top coat”. , on the block copolymer film.
  • a coating material called “top coat”.
  • Such a coating is intended to neutralize the upper interface of the block copolymer, in order to compensate for a significant difference in the surface energy of the blocks of the block copolymer leading to a film oriented parallel to the substrate, even if the lower interface of the film has been neutralized beforehand.
  • This approach of neutralizing the upper interface by a top coat coating presents problems which are specific to it, such as for example the immiscibility of the top coat layer with the block copolymer, the solubilization of the top coat layer.
  • dewetting phenomena appear which may be of the liquid type / solid or liquid / liquid depending on the configuration of the top coat material deposited.
  • the dewetting phenomena appearing are of the solid / liquid type, at the upper interface they may be different, in particular of the liquid / liquid type if the top coat layer is still in liquid form. or viscous when it is deposited.
  • graphoepitaxy uses a topological constraint to force the block copolymer to organize in a predefined space commensurable with the periodicity of the block copolymer.
  • graphoepitaxy consists in forming primary patterns, called guides, on the surface of the substrate. These guides, having any chemical affinity with respect to the blocks of the block copolymer, delimit the zones inside which a layer of block copolymer is deposited.
  • the guides make it possible to control the organization of the blocks of the block copolymer to form secondary units of higher resolution, inside these zones.
  • the guides are formed by photolithography. Chemo-epitaxy, for its part, uses a contrast of chemical affinities between a pattern pre-drawn on the substrate and the different blocks of the block copolymer. Thus, a pattern exhibiting a strong affinity for only one of the blocks of the block copolymer is pre-drawn on the surface of the underlying substrate, in order to allow the perpendicular orientation of the blocks of the block copolymer, while the rest of the surface does not exhibit any particular affinity for the blocks of the block copolymer.
  • a layer is deposited on the surface of the substrate comprising, on the one hand, neutral zones (consisting for example of grafted random copolymer), not exhibiting any particular affinity with the blocks of the block copolymer to be deposited and of on the other hand, affine zones (constituted, for example, of homopolymer grafted from one of the blocks of the block copolymer to be deposited and serving as an anchoring point for this block of the block copolymer).
  • the homopolymer serving as an anchor point can be produced with a width slightly greater than that of the block with which it has a preferential affinity and allows, in this case, a “pseudo-fair” distribution of the blocks of the block copolymer at the same time.
  • Such a layer is said to be “pseudo-neutral” because it allows an equitable or “pseudo-equitable” distribution of the blocks of the block copolymer on the surface of the substrate, so that the layer does not, as a whole, exhibit any affinity. preferential with one of the blocks of the block copolymer. Therefore, such The chemoepitaxial layer on the surface of the substrate is considered to be neutral towards the block copolymer.
  • the Applicant has sought a solution to avoid dewetting of block copolymer films, or at least to delay it as much as possible, in order to have a wider range of assembly temperatures accessible to the film. 'self-organization of the block copolymer and to maximize the chances of obtaining assemblies exhibiting fewer defects, when they are guided with methods such as chemoepitaxy and / or graphoepitaxy for example.
  • the invention aims to provide a copolymer sublayer intended to be deposited and grafted to the surface of a substrate and covered with another polymer, said sublayer having neutral or pseudo surface energy. neutral with respect to this other polymer.
  • this other polymer is a block copolymer
  • the surface energy of said sublayer is neutral or pseudo-neutral with respect to each of the blocks of the block copolymer and makes it possible to avoid, or at least to delay as much as possible, any phenomenon of dewetting of the block copolymer film so as to obtain a block copolymer film that is as flat as possible.
  • an underlayer, neutral with respect to each of the blocks of a block copolymer makes it possible to increase the metastability range of the block copolymer film deposited on a neutral surface.
  • the invention further relates to a polymeric stack comprising a substrate on the surface of which is deposited and grafted a copolymer sub-layer, itself covered by another polymer.
  • This other polymer can be a block copolymer film intended to serve as a nano-lithography mask.
  • the sublayer has a neutral or pseudo-neutral affinity with respect to each of the blocks of the block copolymer and makes it possible to avoid, or at least to delay as much as possible, any phenomenon of dewetting of the block copolymer film. so as to obtain the thinnest possible block copolymer film.
  • a copolymer sublayer intended to be deposited and grafted to the surface of a substrate and to be covered with another polymer said sublayer being characterized in that it comprises hydroxy groups and at least one epoxy / oxirane group within its chain polymeric, the epoxy group (s) being intact after the grafting reaction, makes it possible to respond very effectively both in terms of the neutrality of said sub-layer with respect to the other polymer, and also in terms of limiting the dewetting of said other polymer.
  • the other polymer is a block copolymer.
  • this type of sublayer promotes a multiplication of hydrogen bonds with the other polymer or the block copolymer, said hydrogen bonds originating in particular from hydroxy groups which have not reacted during the reaction of grafting with the substrate and / or the partial opening of epoxy groups at the time of the grafting reaction and / or at the time of nanostructuring of the block copolymer.
  • the combination of the presence of these residual hydroxy groups, which have not reacted during the grafting reaction on the substrate, and the presence of epoxy / oxirane groups contributes to obtaining effective anti-dewetting properties, via recovery. hydrogen bonds with the other polymer or the block copolymer.
  • such a sub-layer makes it possible both to obtain a perpendicular assembly of the nano-domains of the block copolymer and to effectively limit the dewetting of the block copolymer at the surface of this sub-layer. -layer via the establishment of hydrogen-type bonds.
  • acrylate or methacrylate type based on comonomers chosen from acrylic monomers such as acrylic acid or its salts, alkyl, cycloalkyl or aryl acrylates such as methyl acrylate , ethyl, butyl, ethyl-hexyl or phenyl, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate, etheralkyl acrylates such as 2-methoxyethyl acrylate, d acrylates 'alkoxy- or aryloxy-polyalkylene glycol such as methoxypolyethylene glycol acrylates, ethoxypolyethylene glycol acrylates, methoxypolypropylene glycol acrylates, methoxy-polyethylene glycol-polypropylene glycol acrylates or mixtures thereof, aminoalkyl acrylates such as 2-4 acrylates (dimethylamino) ethyl (ADAME),
  • the hydroxy groups come from a comonomer of hydroxyalkyl (meth) acrylate type and the epoxy group (s) come from (nen) t a comonomer of glycidyl (meth) acrylate type;
  • the hydroxy groups also result from the partial opening of the epoxy groups, under the effect of thermal annealing during the grafting reaction of the copolymer on the surface of the substrate and / or during the nanostructuring of the block copolymer covering it;
  • the underlayer consists of a copolymer of poly (glycidyl-co-hydroxyhtyl methacrylate-co-trifluoroethyl methacrylate);
  • the undercoat has a composition by mass, in each of the glycidyl methacrylate / trifluoroethyl methacrylate / hydroxyethyl methacrylate, "GFH" comonomers, between 20/20/60 and 30/69/1 .;
  • the sub-layer is grafted onto the substrate by heating at a temperature less than or equal to 260 ° C, preferably less than or equal to 220 ° C e, t more preferably, less than or equal to 200 ° C, for a period of less than or equal to 15 minutes, preferably less than or equal to 5 minutes and more preferably less than or equal to 2 minutes;
  • the sub-layer is grafted according to a thermal process, and it comprises groups of epoxy / oxirane type intact in all or part of the polymer chains following the grafting process.
  • the temperature / grafting time pair is carefully chosen so that the grafting reaction can take place before a possible crosslinking reaction of the underlayer material;
  • the undercoat is neutral with respect to the block copolymer, allowing the obtaining of perpendicular patterns for it.
  • the invention also relates to a polymeric stack comprising a substrate on the surface of which is deposited and grafted a copolymer sub-layer, itself covered by a block copolymer film intended to serve as a nanolithography mask, said stack being characterized in that the copolymer underlayer conforms to that which has just been described above.
  • Fig. 1 a graph showing a curve of the thickness of a copolymer sublayer according to the invention as a function of the grafting temperature of said sublayer on the underlying substrate;
  • Fig. 2 a graph comprising two curves representing the percentage of underlayer surface covered by a block copolymer as a function of the temperature at which said block copolymer is nanostructured, said curves being obtained for two sub- layers of equivalent surface energy, one of the two sublayers being in accordance with the invention and the other being a comparative sublayer;
  • FIG. 3 Figure 3, a photo of a nano-structured lamellar block copolymer, seen from above, said block copolymer having been deposited on an underlayer according to the invention;
  • Figure 4 a photo of a nano-structured lamellar block copolymer, seen from above, said block copolymer having been deposited on a comparative underlayer.
  • polymers is understood to mean either a copolymer (of the random, gradient, block or alternating type) or a homopolymer.
  • copolymer of the random, gradient, block or alternating type
  • homopolymer as used refers to a molecule which can undergo polymerization.
  • polymerization refers to the process of converting a monomer or a mixture of monomers into a polymer of predefined architecture (block, gradient, statistical, etc.).
  • copolymer means a polymer grouping together several different monomer units.
  • random copolymer is understood to mean a copolymer in which the distribution of the monomer units along the chain follows a statistical law, for example of Bernoullien type (Markov zero order) or first or second order Markovian type. When the repeating units are randomly distributed along the chain, the polymers have been formed by a Bernouilli process and are called random copolymers. The term random copolymer is often used, even when the statistical process that prevailed during the synthesis of the copolymer is not known.
  • gradient copolymer is understood to mean a copolymer in which the distribution of the monomer units varies gradually along the chains.
  • alternating copolymer is understood to mean a copolymer comprising at least two monomeric entities which are distributed alternately along the chains.
  • block copolymer is understood to mean a polymer comprising one or more uninterrupted sequences of each of the distinct polymer species, the polymer sequences being chemically different from one or more of the other (s) and being linked together by a bond. chemical (covalent, ionic, hydrogen bonding, or coordination). These polymer blocks are also called polymer blocks. These blocks have a phase segregation parameter (Flory-Huggins interaction parameter) such that, if the degree of polymerization of each block is greater than a critical value, they are not miscible with each other and separate into nano- areas.
  • phase segregation parameter Flory-Huggins interaction parameter
  • miscibility means the ability of two or more compounds to mix completely to form a homogeneous or "pseudo-homogeneous" phase, that is to say without apparent crystalline or quasi-crystalline symmetry. short or long distance.
  • the miscibility of a mixture can be determined when the sum of glass transition temperatures (Tg) of the mixture is strictly less than the sum of the Tg of the compounds taken in isolation.
  • porous film denotes a block copolymer film in which one or more nano-domains have been removed, leaving holes whose shapes correspond to the shapes of the nano-domains having been removed and which may be spherical, cylindrical, lamellar or. helical.
  • neutral or "pseudo-neutral” surface is understood to mean a surface which, as a whole, has no preferential affinity with one of the blocks of a block copolymer. It thus allows an equitable or “pseudo-equitable” distribution of the blocks of the block copolymer at the surface. Neutralization of the surface of a substrate allows obtaining such a “neutral” or “pseudo-neutral” surface.
  • non-neutral surface is understood to mean a surface which, as a whole, has a preferential affinity with one of the blocks of a block copolymer. It allows orientation of the nano-domains of the block copolymer in a parallel or non-perpendicular manner.
  • the surface energy (denoted yx) of a given material "x" is defined as the excess energy at the surface of the material compared to that of the material taken in mass. When the material is in liquid form, its surface energy is equivalent to its surface tension.
  • lower interface of a block copolymer is understood to mean the interface in contact with an underlying layer or substrate on which / which said block copolymer is deposited. It is noted that this lower interface is neutralized by a conventional technique, that is to say that it does not, as a whole, exhibit preferential affinity with one of the blocks of the block copolymer.
  • upper interface or “upper surface” of a block copolymer is understood to mean the interface in contact with an upper layer, called a top coat and denoted TC, applied to the surface of said block copolymer.
  • the upper layer of TC top coat just like the underlying layer, preferably has no preferential affinity with one of the blocks of the block copolymer so that the nano-domains of the block copolymer can be oriented. perpendicular to the interfaces at the time of assembly annealing.
  • solvent orthogonal to a (co) polymer is understood to mean a solvent which is not capable of attacking or dissolving said (co) polymer.
  • liquid polymer or “viscous polymer” is understood to mean a polymer exhibiting, at a temperature above the glass transition temperature, by virtue of its rubbery state, an increased deformation capacity due to the possibility given to its molecular chains of move freely.
  • the hydrodynamic phenomena at the origin of dewetting appear as long as the material is not in a solid state, that is to say undeformable due to the negligible mobility of its molecular chains.
  • discontinuous film is meant a film whose thickness is not constant due to the shrinkage of one or more areas, leaving holes to appear.
  • pattern in a nano-lithography mask is understood to mean an area of a film comprising a succession of alternately recessed and protruding shapes, said area having a desired geometric shape, and the recessed and protruding shapes possibly being. lamellae, cylinders, spheres or gyroids.
  • One way of delaying the dewetting of a block copolymer in a final stack of the top coat (TC) / block copolymer (BCP) / neutral underlayer (NL) type is to consider only the half-system corresponding to l lower interface block copolymer (BCP) / neutral underlayer (NL) / substrate.
  • the Applicant is therefore interested in this half-system and has developed a polymer stack comprising a substrate, a copolymer sublayer deposited and grafted to the surface of the substrate and covered with another polymer.
  • this other polymer is a block copolymer intended to form a nano-lithography mask.
  • the copolymer underlayer In such a semi-system, it is not sufficient for the copolymer underlayer to prevent, reduce or slow down the phenomenon of dewetting of the block copolymer on the surface of the block. the underlayer, but it must also be neutral with respect to the block copolymer.
  • the sublayer must be neutral with respect to the block copolymer, that is to say it must have a suitable surface energy to allow the block copolymer to generate nano-domains oriented perpendicular to the surface. interface at the time of its nanostructuring at the assembly temperature, whether the block copolymer is alone or covered with a layer of top coat material to neutralize the upper interface.
  • the substrate is preferably solid and of oxide or polymer nature depending on the applications for which it is intended.
  • the material constituting the substrate can be chosen from: a silicon oxide Si x O y , an aluminum oxide Al x O y , a titanium nitroxide Ti x O y N z , an oxide of hafnium Hf x O y , or a polymeric material such as polydimethylsiloxane PDMS, polyimide, polycarbonate, for example.
  • the material constituting the substrate can also be covered with a stack of organic layers of SOC (acronym for “Spin-On-Carbon”) or BARC (acronym for “bottom anti-reflective coating”) and SiARC (acronym) type.
  • SOC synchrom for “Spin-On-Carbon”
  • BARC bottom anti-reflective coating
  • SiARC acronym
  • English for “Silicon Anti-Reflective Coating”) or SOG English acronym for “Spin-on-Glass”
  • the substrate may or may not include patterns, said patterns being pre-drawn by a step or a series of lithography steps of any kind and being intended to guide the organization of the block copolymer by the technique called chemo-epitaxy or graphoepitaxy, or a combination of these two techniques, to obtain a neutralized or pseudo-neutralized surface.
  • a copolymer sub-layer, neutral with respect to the block copolymer, is then deposited on the surface of the substrate.
  • the Applicant has discovered that the use of sublayers promoting a multiplication of hydrogen bonds with the block copolymer, combined with a partial and progressive opening of epoxy groups, makes it possible to respond very effectively both in terms of the neutrality of said sublayer with respect to the block copolymer, and also in terms of limiting dewetting.
  • a sublayer comprising hydroxy groups and at least one epoxy / oxirane group within its polymer chain, the epoxy group (s) being intact after the grafting reaction of the sublayer on the substrate, makes it possible, on the one hand, to obtain a neutral sublayer with respect to the block copolymer and an orientation of the nano domains of the block copolymer perpendicular to the 'interface and on the other hand, to effectively limit the dewetting of the block copolymer from the surface of this sublayer due to the establishment of these hydrogen bonds with the block copolymer.
  • this copolymer sublayer neutral with respect to the block copolymer, it can be synthesized by any suitable polymerization technique, such as for example anionic polymerization, cationic polymerization, controlled radical polymerization or no, ring-opening polymerization.
  • any suitable polymerization technique such as for example anionic polymerization, cationic polymerization, controlled radical polymerization or no, ring-opening polymerization.
  • any controlled radical polymerization technique can be used, whether it is NMP (“Nitroxide Mediated Polymerization”), RAFT (“Reversible Addition and Fragmentation Transfer”), ATRP (“ Atom Transfer Radical Polymerization ”), INIFERTER (“ Initiator-Transfer-Termination ”), RITP (“ Reverse lodine Transfer Polymerization ”), ITP (“ lodine Transfer Polymerization).
  • NMP Nonroxide Mediated Polymerization
  • RAFT Reversible Addition and Fragmentation Transfer”
  • ATRP Atom Transfer Radical Polymerization
  • INIFERTER Initiator-Transfer-Termination
  • RITP Reverse lodine Transfer Polymerization
  • ITP lodine Transfer Polymerization
  • the polymerization process by a controlled radical route will be carried out by NMP.
  • nitroxides derived from alkoxyamines derived from the stable free radical (1) are preferred.
  • _ has a molar mass greater than 15.0342 g / mole.
  • _ can be a halogen atom such as chlorine, bromine or iodine, a linear, branched or cyclic, saturated or unsaturated hydrocarbon group such as an alkyl or phenyl radical, or an ester group -COOR or a group -OR alkoxyl, or a phosphonate group -PO (OR) 2, provided that it has a molar mass greater than 15.0342.
  • _, monovalent, is said to be in position b relative to the nitrogen atom of the nitroxide radical.
  • the remaining valences of the carbon atom and the nitrogen atom in formula (1) can be linked to various radicals such as a hydrogen atom, a hydrocarbon radical such as an alkyl, aryl or aryl-alkyl radical, comprising from 1 to 10 carbon atoms. It is not excluded that the carbon atom and the nitrogen atom in formula (1) are linked together via a divalent radical, so as to form a ring. Preferably, however, the remaining valences of the carbon atom and the nitrogen atom of formula (1) are linked to monovalent radicals.
  • the R 1 radical has a molar mass greater than 30 g / mol.
  • _ radical can for example have a molar mass of between 40 and 450 g / mole.
  • _ radical can be a radical comprising a phosphoryl group, said R
  • R 4 which may be identical or different, may be chosen from alkyl, cycloalkyl, alkoxyl, aryloxyl, aryl, aralkyloxyl, perfluoroalkyl or aralkyl radicals, and may comprise from 1 to 20 carbon atoms.
  • R ⁇ and / or R 4 can also be a halogen atom such as a chlorine or bromine or fluorine or iodine atom.
  • the R 1 radical can also comprise at least one aromatic ring as for the phenyl radical or the naphthyl radical, the latter possibly being substituted, for example by an alkyl radical comprising from 1 to 4 carbon atoms.
  • alkoxyamines derived from the following stable radicals are preferred:
  • the alkoxyamines derived from N-tert-butyl-1-diethylphosphono-2,2-dimethyl-propyl nitroxide will be used.
  • any anionic polymerization mechanism may be considered, whether it is liganded anionic polymerization or alternatively anionic polymerization by ring opening.
  • an anionic polymerization process will be used in an apolar solvent, and preferably toluene, as described in patent EP0749987, and involving a micro-mixer.
  • the comonomers constituting the copolymer underlayer, synthesized by any one of the aforementioned polymerization routes are for example chosen from acrylic monomers such as acrylic acid or its salts, alkyl acrylates, cycloalkyl or aryl acrylate such as methyl, ethyl, butyl, ethylhexyl or phenyl acrylates, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate, etheralkyl acrylates such as as 2-methoxyethyl acrylate, alkoxy- or aryloxy-polyalkylene glycol acrylates such as methoxypolyethylene glycol acrylates, ethoxypolyethylene glycol acrylates, methoxypolypropylene glycol acrylates, methoxy polyethylene glycol acrylates or their polypropylene mixtures, aminoalkyl acrylates such as 2- (dimethylamino) ethyl acrylate (ADAME),
  • the copolymer sublayer comprises at least one comonomer of hydroxyalkyl (meth) acrylate type, comprising hydroxy groups capable of allowing, on the one hand, the grafting of the sublayer onto the surface of the substrate. and on the other hand, if residual hydroxy groups are present following the grafting reaction, reestablishment of hydrogen bonds with the block copolymer.
  • the copolymer sub-layer further comprises at least one comonomer of glycidyl (meth) acrylate type, comprising epoxy groups, capable of opening at least in part at the time of the grafting reaction on the substrate or at the time of the grafting reaction on the substrate.
  • the copolymer sublayer further comprises at least one co-monomer of fluoroalkyl (meth) acrylate type, the fluorine atoms of which participate in the adjustment of the surface energy of the sublayer, so that it is neutral with respect to each of the blocks of the block copolymer.
  • the sublayer is a copolymer of poly (glycidyl methacrylate-hydroxyethyl co-methacrylate-trifluoroethyl co-methacrylate), denoted PGFH.
  • PGFH poly(glycidyl methacrylate-hydroxyethyl co-methacrylate-trifluoroethyl co-methacrylate)
  • Such a sublayer has a composition by mass, in each of the glycidyl methacrylate (denoted G) / trifluoroethyl methacrylate (denoted F) / hydroxyethyl methacrylate (denoted H), “GFH” comonomers, preferably between 20/20 / 60 and 30/69/1.
  • the sub-layer is obtained on an acrylate or methacrylate architecture, which can be grafted onto the surface of the substrate via the hydroxy groups.
  • the constituent copolymer of the sub-layer, of (meth) acrylate architecture, comprising hydroxy groups and at least one epoxy / oxirane group within the polymer chain, is deposited on the surface of the substrate according to techniques known in the art. skilled in the art, such as for example the technique known as “spin coating”, “Doctor Blade” “knife System”, “slot die System” for example.
  • the copolymer sublayer thus deposited, in the form of a continuous and homogeneous film, on the surface of the substrate, is then subjected to a treatment with a view to allowing it to be grafted onto the surface of the substrate.
  • This treatment can be done in different ways depending on the polymer and the chemical functions it contains.
  • the treatment allowing the grafting of the constituent copolymer of the sub-layer on the substrate surface can be chosen from at least one of the following treatments: a heat treatment, also called annealing, a treatment by organic oxidation-reduction or inorganic, electrochemical treatment, photochemical treatment, shear treatment or ionizing radiation treatment.
  • the grafting is carried out by heat treatment at a temperature less than or equal to 260 ° C, preferably less than or equal to 220 ° C and more preferably less than or equal to 200 ° C, for a period of less than or equal to 15 minutes, preferably less than or equal to 5 minutes, and more preferably less than or equal to 2 minutes.
  • a solvent such as methyl isobutyl ketone (MIBK) for example, or else a solvent allowing the subsequent deposition of the block copolymer film, then makes it possible to remove the excess ungrafted polymer chains. Then the substrate is dried, for example under a stream of nitrogen.
  • MIBK methyl isobutyl ketone
  • the copolymer sublayer thus fixed on the surface of the substrate makes it possible to control its surface energy with respect to a block copolymer subsequently deposited, so as to obtain a particular orientation of the nano-domains of the block copolymer by relative to the surface. More particularly, the surface energy of the sublayer thus deposited is neutral or pseudo-neutral with respect to each of the blocks of the block copolymer so that, during its self-organization at the assembly temperature , the nano-domains of the block copolymer orient themselves perpendicular to the sublayer / block copolymer interface.
  • the block copolymer is then deposited by any deposition technique known to those skilled in the art cited above and then subjected to a heat treatment to allow its nanostructuring into nanodomains oriented perpendicular to the surface.
  • this BCP block copolymer comprises “n” blocks, n being any integer greater than or equal to 2.
  • the BCP block copolymer is more particularly defined by the following general formula:
  • A, B, C, D, ..., Z, are as many blocks "i” ... "j" representing either pure chemical entities, that is - say that each block is a set of monomers of chemical nature identical, polymerized together, or a set of comonomers copolymerized together, in the form, in whole or in part, of block or random or random or gradient or alternating copolymer.
  • the volume fraction of each entity a, ... z, can range from 1 to 99%, in monomer units, in each of the blocks i ... j of the BCP block copolymer.
  • the volume fraction of each of the blocks i ... j can range from 5 to 95% of the BCP block copolymer.
  • Volume fraction is defined as the volume of an entity relative to that of a block, or the volume of a block relative to that of the block copolymer.
  • the volume fraction of each entity of a block of a copolymer, or of each block of a block copolymer, is measured as described below.
  • a copolymer in which at least one of the entities, or one of the blocks if it is a block copolymer, comprises several comonomers it is possible to measure, by NMR of the proton, the mole fraction of each monomer in the entire copolymer, then back to the mass fraction using the mole mass of each monomer unit. To obtain the mass fractions of each entity of a block, or each block of a copolymer, it is then sufficient to add the mass fractions of the constituent comonomers of the entity or of the block.
  • the volume fraction of each entity or block can then be determined from the mass fraction of each entity or block and the density of the polymer forming the entity or block. However, it is not always possible to obtain the density of polymers whose monomers are co-polymerized. In this case, the volume fraction of an entity or a block is determined from its mass fraction and the density of the majority compound by mass of the entity or block.
  • the molecular weight of the BCP block copolymer can range from 1000 to 500000 g. mol 1 .
  • the BCP block copolymer can have any type of architecture: linear, star (tri- or multi-arm), grafted, dendritic, comb.
  • Each of the blocks i, ... j of a block copolymer has a surface energy denoted Yi ... YJ, which is specific to it and which is a function of its chemical constituents, that is to say of the chemical nature of the monomers or comonomers of which it is composed. Likewise, each of the constituent materials of a substrate have their own surface energy value.
  • Each of the blocks i, ... j of the block copolymer also exhibits an interaction parameter of the Flory-Huggins type, noted: c, c , when it interacts with a given material "x", which may be a gas.
  • the block copolymer film is deposited on the surface of the sublayer by a conventional technique such as, for example, by spin coating or "spin coating".
  • the block copolymer is necessarily deposited in a liquid / viscous state, so that it can nanostructure at assembly temperature, during a subsequent annealing step.
  • the block copolymer used comprises at least one block where a heteroatom such as silicon, germanium, titanium, hafnium, zirconium, aluminum, is present. in all or part of the constituent (co) monomers of said block.
  • a heteroatom such as silicon, germanium, titanium, hafnium, zirconium, aluminum
  • a film of block copolymer of PDMSB-b-PS (poly (dimethylsilacyclobutan) -b / oc-polystyrene) type), with a lamellar morphology and a period of the order of 18 nm, is deposited on a substrate on which different sublayers are grafted, in order to compare the dewetting of the block copolymer as a function of the sublayers used.
  • the block copolymer is deposited to a thickness of the order of 30 nm.
  • the different sub-layers compared have a similar or equivalent surface energy.
  • the measurement of the surface energy of these sub-layers is carried out according to the OWRK method (from the acronym "Owens-Wendt-Rabel-Kaelble” (https://www.kruss-scientific.com/services/education -theory / glossary / owens- wendt-rabel-and-kaelble-owrk-method /) or static drop drop method which consists in measuring the contact angle of a drop of liquid deposited on a solid substrate by means of 'a goniometer.
  • the sublayers of interest are obtained on an acrylate or methacrylate architecture, and can be grafted onto the substrate via hydroxy groups.
  • These sublayers are, for example, synthesized by the conventional radical route using azobisisobutyronitrile (AIBN) as initiator.
  • AIBN azobisisobutyronitrile
  • the underlayer studied is more particularly a random copolymer of poly (glycidyl-co-hydroxyethyl methacrylate-trifluoroethyl co-methacrylate), denoted in abbreviated form PGFH below.
  • the PGFH studied here has a composition by mass, in each of the comonomers of glycidyl methacrylate (noted G) / trifluoroethyl methacrylate (noted F) / hydroxyethyl methacrylate (noted H), "G / F / H ”, equal to 27/61/12 and has a surface energy of the order of 28mN / m, measured on a Drop Shape Analyzer 100 instrument from Krüss Scientific (https: //www.kruss- scientific .com / products / drop-shape / dsa100 / drop-shape-analyzer-dsa100 /).
  • the sublayer in accordance with the invention is compared with a range of sublayers where the interactions with the block copolymer which covers them are limited and where the surface energy is adjusted via the introduction of fluorinated groups in the polymer chain.
  • a sub-layer is for example in the form of random copolymers of poly (trifluoroethyl methacrylate-n-butyl co-acrylate), abbreviated as PMATRIFE-co-Abu hereafter, with a composition by mass in each of the comonomers equal to 50/50.
  • PMATRIFE-co-ABU sub-layer has a surface energy of the order of 28.5 m N / m.
  • the two compared sub-layers have equivalent surface energy.
  • a very thick film, of the order of 60nm, of PGFH is dispensed on a silica substrate, then annealed at variable temperature for 75 seconds, in order to cause the grafting of the PGFH film on the silica substrate.
  • the film is then rinsed vigorously in a good solvent, such as methyl isobutyl ketone (MIBK), then the substrate is dried under a stream of nitrogen and the residual thickness is measured by ellipsometry.
  • MIBK methyl isobutyl ketone
  • the graph of Figure 1 therefore demonstrates the fact that the PGFH copolymer underlayer can be grafted onto an oxide-type substrate without the epoxy group of the glycidyl methacrylate comonomer being damaged at the time of the reaction. thermal grafting on the substrate, when the grafting temperature remains less than or equal to 220 ° C, and preferably less than or equal to 200 ° C for the grafting time scale used.
  • the PGFH copolymers can therefore be grafted onto a substrate of oxide type, via their hydroxy functions, originating in particular from comonomers of hydroxyalkyl (meth) acrylate type, such as hydroxyethyl methacrylate in the present example, without significant degradation.
  • the grafting can also be done via the activation of at least one glycidyl by the surface oxide groups, following a partial opening of the epoxy rings, or a concomitant hydroxy / epoxy mechanism.
  • the annealing temperature is around 220 ° C., for example, there is a partial opening of the epoxy rings of the glycidyl methacrylate comonomers.
  • the PGFH sublayer according to the invention has a wider annealing temperature range than the PMATRIFE-co-Abu sublayer. Indeed, while the block copolymer PDMSB-b-PS deposited on a sub-layer of PMATRIFE-co-Abu begins to dewet when the assembly temperature, allowing nanostructuring of the block copolymer, reaches 110 ° C, the same block copolymer deposited on a PGFH sublayer does not begin to dewet until the assembly temperature, allowing nanostructuring of the block copolymer, reaches 150 ° C.
  • the interactions between the PMATRIFE-co-Abu copolymer and the block copolymer are not very present and only the fluorinated groups introduced into the MATRIFE chain of the copolymer make it possible to '' adjust the surface energy of the sub-layer to find a zone of neutrality.
  • significant dewetting is observed when the assembly temperature of the block copolymer exceeds a temperature of 110 ° C.
  • the PMATRIFE-co-Abu copolymer does not exhibit enough interactions with the block copolymer to be able to maintain the block copolymer and for the latter to remain flat, without dewetting its surface.
  • the photos of Figures 3 and 4 respectively represent the nanostructured PDMSB-b-PS block copolymer, seen from above, when it is deposited on the PGFH sub-layer in accordance with the invention and on the comparative PMATRIFE sub-layer. -co-Abu. These photos were taken by scanning electron microscopy, after depositing a layer of TC top coat material, of appropriate surface energy, on the block copolymer in order to neutralize its upper interface, then having nanostructured the block copolymer to an assembly temperature so that its nano-domains are oriented perpendicular to the interfaces and finally, after removing the top coat material.
  • the block copolymer of PDMSB-b-PS deposited on the PGFH underlayer was nanostructured at an assembly temperature of 220 ° C for 5 minutes ( Figure 3), while the block copolymer of PDMSB-b- PS deposited that the PMATRIFE-co-Abu sublayer was nanostructured at a temperature of 110 ° C for 5 minutes ( Figure 4).
  • Figure 3 the block copolymer of PDMSB-b- PS deposited that the PMATRIFE-co-Abu sublayer was nanostructured at a temperature of 110 ° C for 5 minutes
  • Figure 4 show a perpendicular orientation of the units of the block copolymer regardless of the sublayer used, thus demonstrating the neutrality of the two types of sublayers for the block copolymer while they have different dewetting properties.
  • the PGFH underlayer therefore makes it possible to avoid, or at least to delay, a dewetting of the film of block copolymer of PDMSB-b-PS, which remains flat throughout the process, so that the block copolymer has a homogeneous thickness and nano-domains whose dimensions and form factor are homogeneous, so that it is possible to use it as a nano-lithography mask.

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Abstract

L'invention porte sur une sous-couche de copolymère destinée à être déposée et greffée à la surface d'un substrat et à être recouverte par un autre polymère, ladite sous-couche étant caractérisée en ce qu'elle comprend des groupements hydroxy et au moins un groupement époxy/oxirane au sein de sa chaine polymérique, le(s) groupement(s) époxy étant intact(s) après réaction de greffage. Une telle sous-couche présente une énergie de surface neutre vis-à-vis de chacun des blocs du copolymère à blocs et permet d'éviter ou de retarder le démouillage d'un copolymère à blocs déposé sur sa surface.

Description

DESCRIPTION
TITRE : Sous-couche neutre pour copolymère à blocs et empilement polymérique comprenant une telle sous-couche recouverte d’un film de copolymère à blocs
[Domaine de l’invention]
L’invention s’intéresse au domaine de la microélectronique, et plus particulièrement aux applications de nano-lithographie par autoassemblage dirigé, encore appelées DSA (de l’acronyme anglais «Directed Self-Assembly »).
L’invention concerne plus particulièrement une sous-couche neutre pour copolymère à blocs ainsi qu’un empilement polymérique comprenant une telle sous-couche déposée sur la surface d’un substrat et recouverte par un film de copolymère à blocs destiné à servir de masque de nano-lithographie.
[Art antérieur]
Les copolymères à blocs constituent depuis les années 1960 un champ de recherche très vaste pour le développement de nouveaux matériaux. Il est possible de moduler et contrôler leurs propriétés par la nature chimique des blocs et leur architecture pour l’application visée. Pour des paramètres macromoléculaires (Mn, lp, f, c, N) spécifiques, les copolymères à blocs sont capables de s’auto-assembler et former des structures dont les dimensions caractéristiques (10 -1 OOnm) constituent aujourd’hui un enjeu majeur dans le domaine de la microélectronique et des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS).
Dans le cadre particulier des applications dans le domaine de la nano-lithographie par autoassemblage dirigé, ou DSA (acronyme anglais pour « Directed Self-Assembly »), les copolymères à blocs, aptes à se nano-structurer à une température d’assemblage, sont utilisés en tant que masques de nano-lithographie. Les copolymères à blocs, une fois nano- structurés, permettent d’obtenir des cylindres, lamelles, sphères ou encore des gyroïdes qui forment respectivement des motifs, pour la création de masques de nano-lithographie, avec une périodicité inférieure à 20 nm, qu’il est difficile d’atteindre avec les techniques de lithographies conventionnelles.
Les applications en microélectronique, de technologie type DSA, sont limitées potentiellement par les conditions de démouillage des copolymères à blocs utilisés. En effet, pour pouvoir présenter une mobilité suffisante lors de leur nano-structuration à la température d’assemblage, les copolymères à blocs sont déposés sur un substrat solide sous forme liquide ou visqueuse. Or, le fait de déposer une couche de polymère liquide/visqueux sur une surface solide peut entraîner l’apparition de phénomènes de démouillage, en particulier lorsque ladite couche de polymère est portée à une température supérieure à sa température transition vitreuse. Si un film de copolymère à blocs démouille de sa surface, que ce soit avant ou après son auto-organisation à la température d’assemblage, alors celui-ci devient inutilisable en tant que masque de nano-lithographie. En effet, le démouillage entraîne l’obtention d’épaisseurs de film de copolymère à blocs différentes et une inhomogénéité des motifs en termes de dimensions et de facteur de forme. Dans un tel cas, les motifs transférés par gravure sèche dans le substrat sous-jacent ne sont alors pas homogènes en termes de dimensions et de facteur de forme. Par conséquent, il apparaît indispensable que le film de copolymère à blocs puisse rester parfaitement plat tout au long du procédé de fabrication d’un masque de nano-lithographie et tout au long du procédé ultérieur de gravure.
D’autre part, l’obtention d’un copolymère à blocs auto-assemblé avec une périodicité inférieure à 10 nm est rendue possible grâce à l’utilisation de copolymères à blocs dont les blocs présentent une forte incompatibilité, c’est-à-dire avec un paramètre d’interaction de Flory-Huggins, c, élevé. Ce paramètre élevé se traduit par une différence des propriétés physico-chimiques entre les blocs et notamment d’énergie de surface. Dans le cas de la phase lamellaire notamment, cette grande différence d’énergie de surface favorise l’orientation des domaines parallèlement à la surface du substrat. Or, pour pouvoir servir de masque de nano-lithographie, un tel copolymère à blocs doit présenter des nano-domaines orientés perpendiculairement aux interfaces inférieure et supérieure du copolymère à blocs, afin de pouvoir ensuite retirer sélectivement un des nano-domaines du copolymère à blocs, créer un film poreux avec le (ou les) nano-domaine(s) résiduel(s) et transférer, par gravure, les motifs ainsi créés dans le substrat sous-jacent. Toutefois, cette condition de perpendicularité des nano-domaines est remplie seulement si chacune des interfaces inférieure (substrat / copolymère à blocs) et supérieure (copolymère à bocs / atmosphère ambiante) est « neutre » par rapport à chacun des blocs dudit copolymère, c’est-à-dire qu’il n’y a pas d’affinité prépondérante de l’interface considérée pour au moins un des blocs constituant le copolymère à blocs. Une neutralisation des énergies aux interfaces inférieure (copolymère/substrat) et supérieure (copolymère/air ambiant) est donc nécessaire pour obtenir une orientation des domaines perpendiculairement à la surface du substrat, sur toute l’épaisseur du film. C’est pourquoi, de nombreuses recherches ont porté sur le développement de sur-couche et sous-couche neutralisantes. Dans cette optique, les possibilités pour le contrôle de l’affinité de l’interface dite « inférieure », située entre le substrat et le copolymère à blocs, sont bien connues et maîtrisées aujourd’hui. A titre d’exemple, parmi les solutions possibles, si la chimie intrinsèque des monomères constituants le copolymère à blocs le permet, un copolymère statistique comportant un ratio judicieusement choisi des mêmes monomères que ceux du copolymère à blocs peut être greffé sur le substrat, permettant ainsi d’équilibrer l’affinité initiale du substrat pour le copolymère à blocs. C’est par exemple la méthode de choix, classique, utilisée pour un système comprenant un copolymère à blocs tel que le PS-b- PMMA et décrite dans l’article de Mansky et al, Science, 1997, 275,1458).
Concernant le contrôle de l’interface dite « supérieure » du système, c’est-à-dire l’interface entre le copolymère à blocs et l’atmosphère environnante, une solution consiste à déposer un matériau de revêtement, dénommé « top coat », sur le film de copolymère à blocs. Un tel revêtement est destiné à neutraliser l’interface supérieure du copolymère à blocs, afin de compenser une différence importante d’énergie de surface des blocs du copolymère à blocs menant à un film orienté parallèlement au substrat, même si l’interface inférieure du film a été préalablement neutralisée. Cette approche de neutralisation de l’interface supérieure par un revêtement de top coat présente des problématiques qui lui sont propres, telles que par exemple la non-miscibilité de la couche de top coat avec le copolymère à blocs, la solubilisation de la couche de top coat dans un solvant qui ne dissout pas le copolymère à blocs sous-jacent, les difficultés de synthèse du matériau de top coat, etc... De plus, à cette interface supérieure, il apparaît des phénomènes de démouillage qui peuvent être de type liquide/solide ou liquide / liquide selon la configuration du matériau de top coat déposé. Ainsi, alors qu’à l’interface inférieure les phénomènes de démouillage apparaissant sont de type solide/liquide, à l’interface supérieure ils peuvent être différents, en particulier de type liquide /liquide si la couche de top coat est encore sous forme liquide ou visqueuse au moment de son dépôt.
Bien que la neutralité de l’interface inférieure vis-à-vis du copolymère à blocs dans un tel empilement polymérique, soit bien maîtrisée aujourd’hui, l’art antérieur ne décrit que très peu de méthodes permettant de limiter, voire supprimer, le démouillage de films de polymères dans un empilement polymérique. Seul, le document L. Xue, Y. Han / Progress in Materials Science 57 (2012) 947-979, intitulé « Inhibition of dewetting of thin polymer films », expose l’état de l’art dans le domaine des empilements polymériques. Il décrit notamment que les deux principes permettant d’inhiber le démouillage d’un film de polymère déposé à la surface d’un substrat consistent d’une part, à modifier la tension interfaciale entre le film de polymère et le substrat et d’autre part, à réduire la mobilité des chaînes du polymère. Cependant, les méthodes décrites dans ce document ne s’appliquent pas au démouillage de films de copolymère à blocs, qui doivent nécessairement être déposés dans un état liquide ou visqueux pour pouvoir se nano-structurer à la température d’assemblage, et encore moins au démouillage de films de copolymères à blocs nécessitant une parfaite maîtrise de l’énergie interfaciale pour l’obtention d’une organisation perpendiculaire des nano-domaines, dans le cadre d’un procédé de type DSA, pour des applications en micro électronique.
Par ailleurs, il existe deux grandes techniques permettant de contrôler et guider l’orientation des blocs d’un copolymère à blocs sur un substrat : la graphoépitaxie et/ou la chemo- épitaxie. La graphoépitaxie utilise une contrainte topologique pour forcer le copolymère à blocs à s’organiser dans un espace prédéfini et commensurable avec la périodicité du copolymère à blocs. Pour cela, la graphoépitaxie consiste à former des motifs primaires, appelés guides, à la surface du substrat. Ces guides, d’affinité chimique quelconque vis-à- vis des blocs du copolymère à blocs, délimitent des zones à l’intérieur desquelles une couche de copolymère à blocs est déposée. Les guides permettent de contrôler l’organisation des blocs du copolymère à blocs pour former des motifs secondaires de plus haute résolution, à l’intérieur de ces zones. Classiquement, les guides sont formés par photolithographie. La chemo-épitaxie utilise, quant à elle, un contraste d’affinités chimiques entre un motif pré-dessiné sur le substrat et les différents blocs du copolymère à blocs. Ainsi, un motif présentant une forte affinité pour un seul des blocs du copolymère à blocs est pré dessiné à la surface du substrat sous-jacent, afin de permettre l’orientation perpendiculaire des blocs du copolymère à blocs, alors que le reste de la surface ne présente pas d’affinité particulière pour les blocs du copolymère à blocs. Pour cela, on dépose à la surface du substrat une couche comprenant d’une part, des zones neutres (constituées par exemple de copolymère statistique greffé), ne présentant pas d’affinité particulière avec les blocs du copolymère à blocs à déposer et d’autre part, des zones affines (constituées par exemple d’homopolymère greffé d’un des blocs du copolymère à blocs à déposer et servant de point d’ancrage de ce bloc du copolymère à blocs). L’homopolymère servant de point d’ancrage peut être réalisé avec une largeur légèrement supérieure à celle du bloc avec lequel il a une affinité préférentielle et permet, dans ce cas, une répartition « pseudo-équitable » des blocs du copolymère à blocs à la surface du substrat. Une telle couche est dite « pseudo-neutre » car elle permet une répartition équitable ou « pseudo-équitable » des blocs du copolymère à blocs à la surface du substrat, si bien que la couche ne présente pas, dans sa globalité, d’affinité préférentielle avec l’un des blocs du copolymère à blocs. Par conséquent, une telle couche chemo-épitaxiée à la surface du substrat est considérée comme étant neutre vis-à- vis du copolymère à blocs.
Au vu de ce qui précède, la demanderesse a cherché une solution pour éviter le démouillage de films de copolymères à blocs, ou au moins pour le retarder le plus possible, afin d’avoir une plus grande plage de températures d’assemblage accessible pour l’auto-organisation du copolymère à blocs et de maximiser les chances d’obtenir des assemblages présentant moins de défauts, lorsqu’ils sont guidés avec des méthodes comme la chemo-épitaxie et/ou la graphoépitaxie par exemple.
[Problème technique]
L’invention a donc pour but de remédier aux inconvénients de l’art antérieur. En particulier, l’invention a pour but de proposer une sous-couche de copolymère destinée à être déposée et greffée à la surface d’un substrat et recouverte par un autre polymère, ladite sous-couche présentant une énergie de surface neutre ou pseudo-neutre vis- à -vis de cet autre polymère. Lorsque cet autre polymère est un copolymère à blocs, l’énergie de surface de ladite sous-couche est neutre ou pseudo-neutre vis-à-vis de chacun des blocs du copolymère à blocs et permet d’éviter, ou au moins de retarder le plus possible, tout phénomène de démouillage du film de copolymère à blocs de manière à obtenir un film de copolymère à blocs le plus plat possible. Ainsi, une telle sous-couche, neutre vis-à-vis de chacun des blocs d’un copolymère à blocs, permet d’augmenter la plage de métastabilité du film de copolymère à blocs déposé sur une surface neutre.
L’invention vise en outre un empilement polymérique comprenant un substrat à la surface duquel est déposée et greffée une sous-couche de copolymère, elle-même recouverte par un autre polymère. Cet autre polymère peut être un film de copolymère à blocs destiné à servir de masque de nano-lithographie. La sous-couche présente une affinité neutre ou pseudo-neutre vis-à-vis de chacun des blocs du copolymère à blocs et permet d’éviter, ou au moins de retarder le plus possible, tout phénomène de démouillage du film de copolymère à blocs de manière à obtenir un film de copolymère à blocs le plus plat possible.
[Brève description de l’invention]
De manière surprenante, la demanderesse a découvert qu’une sous-couche de copolymère destinée à être déposée et greffée à la surface d’un substrat et à être recouverte par un autre polymère, ladite sous-couche étant caractérisée en ce qu’elle comprend des groupements hydroxy et au moins un groupement époxy/oxirane au sein de sa chaîne polymérique, le(s) groupement(s) époxy étant intact(s) après la réaction de greffage, permet de répondre très efficacement à la fois sur le plan de la neutralité de ladite sous-couche par rapport à l’autre polymère, et également sur le plan de la limitation du démouillage dudit autre polymère.
De préférence, l’autre polymère est un copolymère à blocs.
L’effet obtenu est dû au fait que ce type de sous-couche favorise une multiplication de liaisons hydrogène avec l’autre polymère ou le copolymère à blocs, lesdites liaisons hydrogène provenant notamment des groupements hydroxy n’ayant pas réagi lors de la réaction de greffage avec le substrat et/ou de l’ouverture partielle de groupements époxy au moment de la réaction de greffage et/ou au moment de la nano-structuration du copolymère à blocs. La combinaison de la présence de ces groupements hydroxy résiduels, n’ayant pas réagi lors de la réaction de greffage sur le substrat, et de la présence de groupements époxy/oxirane, concoure à l’obtention de propriétés anti-démouillage efficaces, via rétablissement de liaisons hydrogène avec l’autre polymère ou le copolymère à blocs. Lorsque l’autre polymère est un copolymère à blocs, une telle sous-couche permet à la fois d’obtenir un assemblage perpendiculaire des nano-domaines du copolymère à blocs et de limiter efficacement le démouillage du copolymère à blocs à la surface de cette sous-couche via l’établissement de liaisons de type hydrogène.
Selon d’autres caractéristiques optionnelles de la sous-couche :
- elle est obtenue par polymérisation cationique, anionique, radicalaire contrôlée ou non, ou par ouverture de cycle, à partir de monomères (méth)acryliques;
- elle présente une structure chimique de type acrylate ou méthacrylate à base de co monomères choisis parmi les monomères acryliques tels que l'acide acrylique ou ses sels, les acrylates d'alkyle, de cycloalkyle ou d’aryle tels que l'acrylate de méthyle, d'éthyle, de butyle, d’éthyl-hexyle ou de phényle, les acrylates d’hydroxyalkyle tels que l’acrylate de 2- hydroxyéthyle, les acrylates d’étheralkyle tels que l’acrylate de 2-méthoxyéthyle, les acrylates d’alcoxy- ou aryloxy-polyalkylèneglycol tels que les acrylates de méthoxypolyéthylèneglycol, les acrylates d’éthoxypolyéthylèneglycol, les acrylates de méthoxypolypropylèneglycol, les acrylates de méthoxy-polyéthylèneglycol- polypropylèneglycol ou leurs mélanges, les acrylates d’aminoalkyle tels que l’acrylate de 2- (diméthylamino)éthyle (ADAME), les acrylates fluorés, les acrylates silylés, les acrylates phosphorés tels que les acrylates de phosphate d’alkylèneglycol, les acrylates de glycidyle, de dicyclopentenyloxyethyle, les monomères méthacryliques comme l'acide méthacrylique ou ses sels, les méthacrylates d'alkyle, de cycloalkyle, d’alcényle ou d’aryle tels que le méthacrylate de méthyle (MAM), de lauryle, de cyclohexyle, d’allyle, de phényle ou de naphtyle, les méthacrylates d’hydroxyalkyle tels que le méthacrylate de 2-hydroxyéthyle ou le méthacrylate de 2-hydroxypropyle, les méthacrylates d’étheralkyle tels que le méthacrylate de 2-éthoxyéthyle, les méthacrylates d’alcoxy- ou aryloxy-polyalkylèneglycol tels que les méthacrylates de méthoxypolyéthylèneglycol, les méthacrylates d’éthoxypolyéthylèneglycol, les méthacrylates de méthoxypolypropylèneglycol, les méthacrylates de méthoxy-polyéthylèneglycol-polypropylèneglycol ou leurs mélanges, les méthacrylates d’aminoalkyle tels que le méthacrylate de 2-(diméthylamino)éthyle (MADAME), les méthacrylates fluorés tels que le méthacrylate de 2,2,2-trifluoroéthyle, les méthacrylates silylés tels que le 3-méthacryloylpropyltriméthylsilane, les méthacrylates phosphorés tels que les méthacrylates de phosphate d’alkylèneglycol, le méthacrylate d’hydroxy-éthylimidazolidone, le méthacrylate d’hydroxy-éthylimidazolidinone, le méthacrylate de 2-(2-oxo-1-imidazolidinyl)éthyle, les méthacrylates de glycidyle, ou de dicyclopentenyloxyethyle seuls ou en mélange d’au moins deux co-monomères précités;
- les groupements hydroxy proviennent d’un co-monomère de type (méth)acrylate d’hydroxyalkyle et le(s) groupement(s) époxy provien(nen)t d’un co-monomère de type (méth)acrylate de glycidyle;
- les groupements hydroxy résultent en outre de l’ouverture partielle des groupements époxy, sous l’effet d’un recuit thermique au cours de la réaction de greffage du copolymère sur la surface du substrat et/ou au cours de la nano-structuration du copolymère à blocs le recouvrant ;
- la sous-couche est constituée d’un copolymère de poly(methacrylate de glycidyl-co- methacrylate d’hydroxyehtyle-co-methacrylate de trifluoroethyle) ;
- la sous-couche a une composition massique, dans chacun des co-monomères méthacrylate de glycidyle/ méthacrylate de trifluoroéthyle/ méthacrylate d’hydroxyéthyle, « GFH », comprise entre 20/20/60 et 30/69/1.;
- elle est greffée sur le substrat par chauffage à une température inférieure ou égale à 260°C, de préférence inférieure ou égale à 220°C e,t de manière davantage préférée, inférieure ou égale à 200 °C, pendant une durée inférieure ou égale à 15minutes, de préférence inférieure ou égale à 5minutes et de manière davantage préférée inférieure ou égale à 2 minutes ; - la sous-couche est greffée selon un procédé thermique, et elle comporte des groupements de type époxy/oxirane intacts en tout ou partie des chaînes polymères suite au procédé de greffage. A cet effet, le couple température/temps de greffage est soigneusement choisi de façon à ce que la réaction de greffage puisse avoir lieu avant une possible réaction de réticulation du matériau de sous-couche ;
- La sous-couche est neutre vis-à-vis du copolymère à blocs, permettant l’obtention de motifs perpendiculaires pour celui-ci.
L’invention concerne également un empilement polymérique comprenant un substrat à la surface duquel est déposée et greffée une sous-couche de copolymère, elle-même recouverte par un film de copolymère à blocs destiné à servir de masque de nano lithographie, ledit empilement étant caractérisé en ce que la sous-couche de copolymère est conforme à celle qui vient d’être décrite ci-dessus.
D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront à la lecture de la description suivante donnée à titre d’exemple illustratif et non limitatif, en référence aux Figures annexées qui représentent :
[Fig. 1 ] la Figue 1 , un graphique représentant une courbe de l’épaisseur d’une sous-couche de copolymère conforme à l’invention en fonction de la température de greffage de ladite sous-couche sur le substrat sous-jacent ;
[Fig. 2] la Figue 2, un graphique comprenant deux courbes représentant le pourcentage de surface de sous-couche recouverte par un copolymère à blocs en fonction de la température à laquelle ledit copolymère à blocs est nano-structuré, lesdites courbes étant obtenues pour deux sous-couches d’énergie de surface équivalente, l’une des deux sous-couche étant conforme à l’invention et l’autre étant une sous-couche comparative ;
[Fig. 3] la Figure 3, une photo d’un copolymère à blocs lamellaire nano-structuré, vu de dessus, ledit copolymère à blocs ayant été déposé sur une sous-couche conforme à l’invention ;
[Fig.4] la Figure 4, une photo d’un copolymère à blocs lamellaire nano-structuré, vu de dessus, ledit copolymère à blocs ayant été déposé sur une sous-couche comparative.
[Description de l’invention]
Par « polymères » on entend soit un copolymère (de type statistique, à gradient, à blocs, alterné), soit un homopolymère. Le terme « monomère » tel qu’utilisé se rapporte à une molécule qui peut subir une polymérisation.
Le terme « polymérisation » tel qu’utilisé se rapporte au procédé de transformation d’un monomère ou d’un mélange de monomères en un polymère d’architecture prédéfinie (bloc, gradient, statistique..).
On entend par « copolymère », un polymère regroupant plusieurs unités monomères différentes.
On entend par « copolymère statistique », un copolymère dans lequel la distribution des unités monomères le long de la chaîne suit une loi statistique, par exemple de type Bernoullien (ordre zéro de Markov) ou Markovien du premier ou du second ordre. Lorsque les unités de répétition sont réparties au hasard le long de la chaîne, les polymères ont été formés par un processus de Bernouilli et sont appelés copolymères aléatoires. Le terme copolymère aléatoire est souvent utilisé, même lorsque le processus statistique ayant prévalu lors de la synthèse du copolymère n’est pas connu.
On entend par « copolymère à gradient », un copolymère dans lequel la distribution des unités monomères varie de manière progressive le long des chaînes.
On entend par « copolymère alterné », un copolymère comprenant au moins deux entités monomères qui sont distribuées en alternance le long des chaînes.
On entend par « copolymère à blocs », un polymère comprenant une ou plusieurs séquences ininterrompues de chacune des espèces polymères distincts, les séquences polymères étant chimiquement différentes l’une de, ou des, autre(s) et étant liées entre elles par une liaison chimique (covalente, ionique, liaison hydrogène, ou de coordination). Ces séquences polymères sont encore dénommées blocs polymères. Ces blocs présentent un paramètre de ségrégation de phase (paramètre d’interaction de Flory-Huggins) tel que, si le degré de polymérisation de chaque bloc est supérieur à une valeur critique, ils ne sont pas miscibles entre eux et se séparent en nano-domaines.
Le terme « miscibilité » ci-dessus s’entend de la capacité de deux ou plusieurs composés à se mélanger totalement pour former une phase homogène ou « pseudo-homogène », c’est-à-dire sans symétrie cristalline ou quasi-cristalline apparente à courte ou longue distance. On peut déterminer le caractère miscible d’un mélange quand la somme des températures de transition vitreuse (Tg) du mélange est inférieure strictement à la somme des Tg des composés pris isolément.
Dans la description, on parle aussi bien « d’autoassemblage » que « d’autoorganisation » ou encore de « nano-structuration » pour décrire le phénomène bien connu de séparation de phase des copolymères à blocs, à une température d’assemblage encore dénommée température de recuit.
Le terme « film poreux » désigne un film de copolymère à blocs dans lequel un ou plusieurs nano-domaines ont été retirés, laissant des trous dont les formes correspondent aux formes des nano-domaines ayant été retirés et pouvant être sphériques, cylindriques, lamellaires ou hélicoïdaux.
On entend par surface « neutre » ou « pseudo-neutre », une surface qui, dans sa globalité, ne présente pas d’affinité préférentielle avec un des blocs d’un copolymère à blocs. Elle permet ainsi une répartition équitable ou « pseudo-équitable » des blocs du copolymère à blocs à la surface. La neutralisation de la surface d’un substrat permet l’obtention d’une telle surface « neutre » ou « pseudo-neutre ».
On entend par surface « non neutre », une surface qui, dans sa globalité présente une affinité préférentielle avec un des blocs d’un copolymère à blocs. Elle permet une orientation des nano-domaines du copolymère à blocs de façon parallèle ou non perpendiculaire.
On définit l’énergie de surface (notée yx) d’un matériau « x » donné, comme étant l’énergie excédentaire à la surface du matériau par comparaison à celle du matériau pris en masse. Lorsque le matériau est sous forme liquide, son énergie de surface est équivalente à sa tension superficielle.
Lorsqu’on parle des énergies de surfaces ou plus précisément des tensions interfaciales d’un matériau et d’un bloc d’un copolymère à blocs donné, celles-ci sont comparées à une température donnée, et plus particulièrement à une température permettant l’auto- organisation du copolymère à blocs.
On entend par « interface inférieure » d’un copolymère à blocs, l’interface en contact avec une couche ou un substrat sous-jacent sur laquelle/lequel ledit copolymère à blocs est déposé. On note que cette interface inférieure est neutralisée par une technique classique, c’est-à-dire qu’elle ne présente pas, dans sa globalité, d’affinité préférentielle avec un des blocs du copolymère à blocs. On entend par « interface supérieure » ou « surface supérieure » d’un copolymère à blocs, l’interface en contact avec une couche supérieure, dite top coat et notée TC, appliquée à la surface dudit copolymère à blocs. On note que la couche supérieure de top coat TC, tout comme la couche sous-jacente, ne présente de préférence aucune affinité préférentielle avec l’un des blocs du copolymère à blocs afin que les nano-domaines du copolymère à blocs puissent s’orienter perpendiculairement aux interfaces au moment du recuit d’assemblage.
On entend par « solvant orthogonal à un (co)polymère », un solvant non susceptible d’attaquer ou de dissoudre ledit (co)polymère.
On entend par « polymère liquide » ou « polymère visqueux », un polymère présentant, à une température supérieure à la température de transition vitreuse, de par son état caoutchoutique, une capacité de déformation accrue du fait de la possibilité donnée à ses chaînes moléculaires de se mouvoir librement. Les phénomènes hydrodynamiques à l’origine du démouillage apparaissent tant que le matériau n’est pas dans un état solide, c’est-à-dire indéformable du fait de la mobilité négligeable de ses chaînes moléculaires.
On entend par « film discontinu », un film dont l’épaisseur n’est pas constante du fait du retrait d’une ou plusieurs zones, laissant apparaître des trous.
Par « motif » dans un masque de nano-lithographie, on entend une zone d’un film comprenant une succession de formes alternativement en creux et en saillie, ladite zone présentant une forme géométrique souhaitée, et les formes en creux et en saillies pouvant être des lamelles, des cylindres, des sphères ou des gyroïdes.
Une manière de retarder le démouillage d’un copolymère à blocs dans un empilement final de type top coat (TC) / copolymère à blocs (BCP) / sous-couche neutre (NL) est de ne considérer que le demi-système correspondant à l’interface inférieure copolymère à blocs (BCP) / sous-couche neutre (NL) / substrat.
La demanderesse s’est donc intéressée à ce demi-système et a développé un empilement polymérique comprenant un substrat, une sous-couche de copolymère déposée et greffée à la surface du substrat et recouverte par un autre polymère. Dans un exemple préféré, cet autre polymère est un copolymère à blocs destiné à former un masque de nano-lithographie.
Dans un tel demi-système, il ne suffit pas que la sous-couche de copolymère empêche, réduise ou ralentisse le phénomène de démouillage du copolymère à blocs à la surface de la sous-couche, mais il faut également qu’elle soit neutre vis-à-vis du copolymère à blocs. La sous-couche doit être neutre vis-à-vis du copolymère à blocs, c’est-à-dire qu’elle doit présenter une énergie de surface adaptée pour permettre au copolymère à blocs de générer des nano-domaines orientés perpendiculairement à l’interface au moment de sa nano structuration à la température d’assemblage, que le copolymère à blocs soit seul ou recouvert d’une couche de matériau top coat pour neutraliser l’interface supérieure.
Le substrat est de préférence solide et de nature oxyde ou polymère selon les applications auxquelles il est destiné. De manière préférée, mais non exhaustive, le matériau constitutif du substrat peut être choisi parmi : un oxyde de silicium SixOy, un oxyde d’aluminium AlxOy, un nitroxyde de titane TixOyNz, un oxyde d’hafnium HfxOy, ou encore un matériau polymère tel que du polydiméthylsiloxane PDMS, du polyimide, du polycarbonate, par exemple. Le matériau constitutif du substrat peut en outre être recouvert d’un empilement de couches organiques de type SOC (acronyme anglais pour « Spin-On-Carbon ») ou BARC (acronyme anglais de « bottom anti-reflectant coating ») et SiARC (acronyme anglais de « Silicon Anti- Reflective Coating ») ou SOG (acronyme anglais de « Spin-on-Glass »), afin de permettre des étapes successives de gravure et transférer dans toute l’épaisseur du substrat sous- jacent, le motif généré dans le film de copolymère à blocs après retrait d’au moins un de ses nano-domaines.
Pour permettre le guidage des nano-domaines du copolymère à blocs au moment de sa nano-structuration, le substrat comporte, ou non, des motifs, lesdits motifs étant pré dessinés par une étape ou un enchaînement d’étapes de lithographie de nature quelconque et étant destinés à guider l’organisation du copolymère à blocs par la technique dite de chemo-épitaxie ou de graphoépitaxie, ou encore une combinaison de ces deux techniques, pour obtenir une surface neutralisée ou pseudo-neutralisée.
Une sous-couche de copolymère, neutre vis-à-vis du copolymère à blocs est ensuite déposée à la surface du substrat. De manière avantageuse, la demanderesse a découvert que l’utilisation de sous-couches favorisant une multiplication de liaisons hydrogène avec le copolymère à blocs combinée à une ouverture partielle et progressive de groupements époxy, permet de répondre très efficacement à la fois sur le plan de la neutralité de ladite sous-couche par rapport au copolymère à blocs, et également sur le plan de la limitation du démouillage.
Ainsi, une sous-couche comprenant des groupements hydroxy et au moins un groupement époxy/oxirane au sein de sa chaîne polymérique, le(s) groupement(s) époxy étant intacts après la réaction de greffage de la sous-couche sur le substrat, permet d’une part, d’obtenir une sous-couche neutre vis-à-vis du copolymère à blocs et une orientation des nano domaines du copolymère à blocs perpendiculaire à l’interface et d’autre part, de limiter efficacement le démouillage du copolymère à blocs de la surface de cette sous-couche du fait de l’établissement de ces liaisons hydrogène avec le copolymère à blocs.
Concernant la synthèse de cette sous-couche de copolymère, neutre vis-à-vis du copolymère à blocs, elle peut être synthétisée par toute technique de polymérisation appropriée, telle que par exemple la polymérisation anionique, la polymérisation cationique, la polymérisation radicalaire contrôlée ou non, la polymérisation par ouverture de cycle. Lorsque le procédé de polymérisation est conduit par une voie radicalaire contrôlée, toute technique de polymérisation radicalaire contrôlée pourra être utilisée, que ce soit la NMP (“Nitroxide Mediated Polymerization”), RAFT (“Réversible Addition and Fragmentation Transfer”), ATRP (“Atom Transfer Radical Polymerization”), INIFERTER (“Initiator-Transfer- Termination”), RITP (“ Reverse lodine Transfer Polymerization”), ITP (“lodine Transfer Polymerization). De préférence, le procédé de polymérisation par une voie radicalaire contrôlée sera effectué par la NMP.
Plus particulièrement les nitroxides issus des alcoxyamines dérivées du radical libre stable (1) sont préférées.
[Chem 1]
Figure imgf000015_0001
N — o* <u dans laquelle le radical R|_ présente une masse molaire supérieure à 15,0342 g/mole. Le radical R|_ peut être un atome d'halogène tel que le chlore, le brome ou l'iode, un groupement hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique, saturé ou insaturé tel qu'un radical alkyle ou phényle, ou un groupement ester -COOR ou un groupement alcoxyle -OR, ou un groupement phosphonate -PO(OR)2, dès lors qu'il présente une masse molaire supérieure à 15,0342. Le radical R|_, monovalent, est dit en position b par rapport à l'atome d'azote du radical nitroxyde. Les valences restantes de l'atome de carbone et de l'atome d'azote dans la formule (1) peuvent être liées à des radicaux divers tels qu'un atome d'hydrogène, un radical hydrocarboné comme un radical alkyle, aryle ou aryle-alkyle, comprenant de 1 à 10 atomes de carbone. Il n'est pas exclu que l'atome de carbone et l'atome d'azote dans la formule (1 ) soient reliés entre eux par l'intermédiaire d'un radical bivalent, de façon à former un cycle. De préférence cependant, les valences restantes de l'atome de carbone et de l'atome d'azote de la formule (1) sont liées à des radicaux monovalents. De préférence, le radical R|_ présente une masse molaire supérieure à 30 g/mole. Le radical R|_ peut par exemple avoir une masse molaire comprise entre 40 et 450 g/mole. A titre d'exemple, le radical R|_ peut être un radical comprenant un groupement phosphoryle, ledit radical R|_ pouvant être représenté par la formule :
[Chem 2]
R3
- P- R4 (2)
O dans laquelle
Figure imgf000016_0001
et R4, pouvant être identiques ou différents, peuvent être choisis parmi les radicaux alkyle, cycloalkyle, alkoxyle, aryloxyle, aryle, aralkyloxyle, perfluoroalkyle, aralkyle, et peuvent comprendre de 1 à 20 atomes de carbone. R^ et/ou R4 peuvent également être un atome d'halogène comme un atome de chlore ou de brome ou de fluor ou d'iode. Le radical R|_ peut également comprendre au moins un cycle aromatique comme pour le radical phényle ou le radical naphtyle, ce dernier pouvant être substitué, par exemple par un radical alkyle comprenant de 1 à 4 atomes de carbone.
Plus particulièrement les alcoxyamines dérivées des radicaux stables suivants sont préférées :
- N-tertiobutyl-1 -phényl-2 méthyl propyl nitroxyde,
- N-tertiobutyl-1 -(2-naphtyl)-2-méthyl propyl nitroxyde,
- N-tertiobutyl-1 -diéthylphosphono-2,2-diméthyl propyl nitroxyde,
- N-tertiobutyl-1 -dibenzylphosphono-2,2-diméthyl propyl nitroxyde,
- N-phényl-1 -diéthyl phosphono-2,2-diméthyl propyl nitroxyde,
- N-phényl-1 -diéthyl phosphono-1 -méthyl éthyl nitroxyde,
- N-(1-phényl 2-méthyl propyl)-1-diéthylphosphono-1 -méthyl éthyl nitroxyde, - 4-oxo-2,2,6,6-tétraméthyl-1 -piperidinyloxy,
- 2,4,6-tri-tert-butylphenoxy.
De façon préférée, les alcoxyamines dérivées du N-tertiobutyl-1 -diéthylphosphono-2,2- diméthyl-propyl nitroxyde seront utilisées.
Lorsque le procédé de polymérisation est conduit par une voie anionique, on pourra considérer tout mécanisme de polymérisation anionique, que ce soit la polymérisation anionique ligandée ou encore la polymérisation anionique par ouverture de cycle. De préférence, dans le cadre d’une telle polymérisation anionique, on utilisera un procédé de polymérisation anionique dans un solvant apolaire, et de préférence le toluène, tel que décrit dans le brevet EP0749987, et mettant en jeu un micro-mélangeur.
Les co-monomères constitutifs de la sous-couche de copolymère, synthétisée par l’une quelconque des voies de polymérisation précitées, sont par exemple choisis parmi les monomères acryliques tels que l'acide acrylique ou ses sels, les acrylates d'alkyle, de cycloalkyle ou d’aryle tels que l'acrylate de méthyle, d'éthyle, de butyle, d’éthyl-hexyle ou de phényle, les acrylates d’hydroxyalkyle tels que l’acrylate de 2-hydroxyéthyle, les acrylates d’étheralkyle tels que l’acrylate de 2-méthoxyéthyle, les acrylates d’alcoxy- ou aryloxy- polyalkylèneglycol tels que les acrylates de méthoxypolyéthylèneglycol, les acrylates d’éthoxypolyéthylèneglycol, les acrylates de méthoxypolypropylèneglycol, les acrylates de méthoxy-polyéthylèneglycol-polypropylèneglycol ou leurs mélanges, les acrylates d’aminoalkyle tels que l’acrylate de 2-(diméthylamino)éthyle (ADAME), les acrylates fluorés, les acrylates silylés, les acrylates phosphorés tels que les acrylates de phosphate d’alkylèneglycol, les acrylates de glycidyle, de dicyclopentenyloxyethyle, les monomères méthacryliques comme l'acide méthacrylique ou ses sels, les méthacrylates d'alkyle, de cycloalkyle, d’alcényle ou d’aryle tels que le méthacrylate de méthyle (MAM), de lauryle, de cyclohexyle, d’allyle, de phényle ou de naphtyle, les méthacrylates d’hydroxyalkyle tels que le méthacrylate de 2-hydroxyéthyle ou le méthacrylate de 2-hydroxypropyle, les méthacrylates d’étheralkyle tels que le méthacrylate de 2-éthoxyéthyle, les méthacrylates d’alcoxy- ou aryloxy-polyalkylèneglycol tels que les méthacrylates de méthoxypolyéthylèneglycol, les méthacrylates d’éthoxypolyéthylèneglycol, les méthacrylates de méthoxypolypropylèneglycol, les méthacrylates de méthoxy- polyéthylèneglycol-polypropylèneglycol ou leurs mélanges, les méthacrylates d’aminoalkyle tels que le méthacrylate de 2-(diméthylamino)éthyle (MADAME), les méthacrylates fluorés tels que le méthacrylate de 2,2,2-trifluoroéthyle, les méthacrylates silylés tels que le 3- méthacryloylpropyltriméthylsilane, les méthacrylates phosphorés tels que les méthacrylates de phosphate d’alkylèneglycol, le méthacrylate d’hydroxy-éthylimidazolidone, le méthacrylate d’hydroxy-éthylimidazolidinone, le méthacrylate de 2-(2-oxo-1- imidazolidinyl)éthyle, les méthacrylates de glycidyle, ou de dicyclopentenyloxyethyle, seuls ou en mélange d’au moins deux des comonomères précités.
Plus particulièrement, la sous-couche de copolymère comprend au moins un co-monomère de type (méth)acrylate d’hydroxyalkyle, comprenant des groupements hydroxy aptes à permettre d’une part, le greffage de la sous-couche sur la surface du substrat et d’autre part, si des groupements hydroxy résiduels sont présents à la suite de la réaction de greffage, rétablissement de liaisons hydrogène avec le copolymère à blocs. La sous-couche de copolymère comprend en outre au moins un co-monomère de type (méth)acrylate de glycidyle, comprenant des groupements époxy, susceptibles de s’ouvrir au moins en partie au moment de la réaction de greffage sur le substrat ou au moment de la nano-structuration du copolymère à blocs et d’établir des liaisons hydrogène avec ledit copolymère à blocs. La sous-couche de copolymère comprend en outre au moins un co-monomère de type (méth)acrylate de fluoroalkyle, dont les atomes de fluor participent à l’ajustement de l’énergie de surface de la sous-couche, pour qu’elle soit neutre vis-à-vis de chacun des blocs du copolymère à blocs.
Dans un exemple particulier, la sous-couche est un copolymère de poly(méthacrylate de glycidyl-co-méthacrylate d’hydroxyéthyle-co-méthacrylate de trifluoroéthyle), noté PGFH. Une telle sous couche présente une composition massique, dans chacun des co monomères méthacrylate de glycidyle (noté G)/ méthacrylate de trifluoroéthyle (noté F) / méthacrylate d’hydroxyéthyle (noté H), « GFH », de préférence comprise entre 20/20/60 et 30/69/1 .
De préférence, la sous-couche est obtenue sur une architecture acrylate ou méthacrylate, greffable sur la surface du substrat via les groupements hydroxy. Le copolymère constitutif de la sous-couche, d’architecture (méth)acrylate, comprenant des groupements hydroxy et au moins un groupement époxy/oxirane au sein de la chaîne polymérique, est déposé sur la surface du substrat selon des techniques connues de l’homme du métier, comme par exemple la technique dite « spin coating », « docteur Blade » « knife System », « slot die System » par exemple.
La sous-couche de copolymère ainsi déposée, sous forme de film continu et homogène, sur la surface du substrat, est ensuite soumise à un traitement en vue de permettre son greffage sur la surface du substrat. Ce traitement peut se faire de différentes manières selon le polymère et les fonctions chimiques qu’il renferme. Ainsi, le traitement permettant le greffage du copolymère constitutif de la sous-couche sur la surface de substrat, pourra être choisi parmi l’un au moins des traitements suivants : un traitement thermique, encore dénommé recuit, un traitement par oxydo-réduction organique ou inorganique, un traitement électrochimique, un traitement photochimique, un traitement par cisaillement ou un traitement par rayons ionisants. De préférence, le greffage est réalisé par traitement thermique à une température inférieure ou égale à 260 °C, de préférence inférieure ou égale à 220 °C et de manière davantage préférée inférieureou égale à 200 °C, pendant une durée inférieure ou égale à 15 minutes, de préférence inférieure ou égale à 5minutes, et de manière davantage préférée inférieure ou égale à 2 minutes.
Un rinçage dans un solvant, tel que la méthylisobutylcétone (MIBK) par exemple, ou encore un solvant permettant le dépôt ultérieur du film de copolymère à blocs, permet ensuite d’éliminer les chaînes de polymère non greffées excédentaires. Puis le substrat est séché par exemple sous flux d’azote.
La sous-couche de copolymère ainsi fixée sur la surface du substrat permet de contrôler son énergie de surface vis-à-vis d’un copolymère à blocs ultérieurement déposé, de manière à obtenir une orientation particulière des nano-domaines du copolymère à blocs par rapport à la surface. Plus particulièrement, l’énergie de surface de la sous-couche ainsi déposée est neutre ou pseudo-neutre vis-à-vis de chacun des blocs du copolymère à blocs de sorte que, lors de son auto-organisation à la température d’assemblage, les nano-domaines du copolymère à blocs s’orientent perpendiculairement à l’interface sous-couche / copolymère à blocs.
Le copolymère à blocs est ensuite déposé par toute technique de dépôt connue de l’homme du métier citée ci-dessus puis soumis à un traitement thermique pour permettre sa nano structuration en nano-domaines orientés perpendiculairement à la surface.
En ce qui concerne ce copolymère à blocs BCP à nano-structurer, il comprend « n » blocs, n étant un nombre entier quelconque supérieur ou égal à 2. Le copolymère à blocs BCP est plus particulièrement défini par la formule générale suivante :
[Chem 3]
A~b-B-b-C-b-D~h- .. -b-Z où A, B, C, D,..., Z, sont autant de blocs « i »... « j» représentant soit des entités chimiques pures, c’est-à-dire que chaque bloc est un ensemble de monomères de natures chimiques identiques, polymérisés ensemble, soit un ensemble de co-monomères copolymérisés ensemble, sous forme, en tout ou partie, de copolymère à blocs ou statistique ou aléatoire ou à gradient ou alterné.
Chacun des blocs « i »... « j» du copolymère à blocs BCP à nano-structurer peut donc potentiellement s’écrire sous la forme : i= arCO-bi-co-...-co-Zi, avec i¹...¹j, en tout ou partie. La fraction volumique de chaque entité a,...z, peut aller de 1 à 99%, en unités de monomère, dans chacun des blocs i... j du copolymère à blocs BCP.
La fraction volumique de chacun des blocs i...j peut aller de 5 à 95% du copolymère à blocs BCP.
On définit la fraction volumique comme étant le volume d’une entité par rapport à celui d’un bloc, ou le volume d’un bloc par rapport à celui du copolymère à blocs.
La fraction volumique de chaque entité d’un bloc d’un copolymère, ou de chaque bloc d’un copolymère à blocs, est mesurée de la manière décrite ci-après. Au sein d’un copolymère dans lequel au moins l’une des entités, ou l’un des blocs s’il s’agit d’un copolymère à blocs, comporte plusieurs co-monomères, il est possible de mesurer, par RMN du proton, la fraction molaire de chaque monomère dans l’ensemble du copolymère, puis de remonter à la fraction massique en utilisant la masse molaire de chaque unité monomère. Pour obtenir les fractions massiques de chaque entité d’un bloc, ou chaque bloc d’un copolymère, il suffit alors d’additionner les fractions massiques des co-monomères constitutifs de l’entité ou du bloc. La fraction volumique de chaque entité ou bloc peut ensuite être déterminée à partir de la fraction massique de chaque entité ou bloc et de la densité du polymère formant l’entité ou le bloc. Cependant, il n’est pas toujours possible d’obtenir la densité des polymères dont les monomères sont co-polymérisés. Dans ce cas, on détermine la fraction volumique d’une entité ou d’un bloc à partir de sa fraction massique et de la densité du composé majoritaire en masse de l’entité ou du bloc.
La masse moléculaire du copolymère à blocs BCP peut aller de 1000 à 500000 g. mol 1.
Le copolymère à blocs BCP peut présenter n’importe quel type d’architecture : linéaire, en étoile (tri- ou multi-bras), greffé, dendritique, peigne.
Chacun des blocs i, ... j d’un copolymère à blocs, présente une énergie de surface notée Yi... YJ, qui lui est propre et qui est fonction de ses constituants chimiques, c’est-à-dire de la nature chimique des monomères ou co-monomères qui le composent. De même, chacun des matériaux constitutifs d’un substrat présentent leur propre valeur d’énergie de surface. Chacun des blocs i, ... j du copolymère à blocs présente en outre un paramètre d’interaction de type Flory-Huggins, noté : c,c, lorsqu’il interagit avec un matériau « x » donné, qui peut être un gaz, un liquide, une surface solide, ou une autre phase de polymère par exemple, et une énergie inter-faciale notée « g,c », avec g,c = yi-(yxcos q,c), où q,c est l’angle de contact entre les matériaux i et x. Le paramètre d’interaction entre deux blocs i et j du copolymère à blocs est donc noté x .
Il existe une relation liant y, et le paramètre de solubilité d’Hildebrand d, d’un matériau i donné, tel que décrit dans le document Jia &al., Journal of Macromolecular Science, B, 2011 , 50, 1042. De fait, le paramètre d’interaction de Flory Huggins entre deux matériaux donnés i et x est indirectement lié aux énergies de surfaces y, et yx propres aux matériaux, on pourra par conséquent soit parler en termes d’énergies de surface, soit en termes de paramètre d’interaction pour décrire le phénomène physique apparaissant à l’interface des matériaux.
Lorsqu’on parle d’énergies de surfaces d’un matériau et de celles d’un copolymère à blocs BCP donné, on sous-entend que l’on compare les énergies de surface à une température donnée, et cette température est celle (ou fait au moins partie de la plage de températures) permettant l’auto-organisation du copolymère à blocs.
Le film de copolymère à blocs est déposé sur la surface de la sous-couche par une technique classique telle que par exemple par dépôt à la tournette ou « spin coating ».
Le copolymère à blocs est nécessairement déposé dans un état liquide/visqueux, de manière qu’il puisse se nano-structurer à la température d’assemblage, lors d’une étape ultérieure de recuit.
De façon préférentielle, mais non-limitante pour l’invention, le copolymère à blocs utilisé comporte au moins un bloc où un hétéroatome tel que du silicium, du germanium, du titane, du hafnium, du zirconium, de l’aluminium, est présent dans tout ou partie des (co)monomère constitutifs dudit bloc.
De façon préférentielle, mais non limitante pour l’invention, le copolymère à blocs utilisé est dit « high-c » (présente un paramètre de Flory-Huggins élevé), c’est-à-dire qu’il doit avoir un paramètre plus important que celui du système dit « PS-b-PMMA » à la température d’assemblage considérée, tel que défini par Y. Zhao, E. Sivaniah and T. Hashimoto, Macromolecules, 2008, 41 (24), pp 9948-9951 (Détermination du paramètre de Flory- Huggins entre styrène (« S ») et MMA (« M ») : cbM = 0,0282 + (4,46/T)).
L’exemple suivant illustre de façon non limitative la portée de l’invention.
Exemple :
Dans cet exemple, un film de copolymère à blocs de type PDMSB-b-PS (poly(dimethylsilacyclobutan)-b/oc-polystyrene)), à morphologie lamellaire et de période de l’ordre de 18 nm, est déposé sur un substrat sur lequel différentes sous-couches sont greffées, afin de comparer le démouillage du copolymère à blocs en fonction des sous- couches utilisées. Le copolymère à blocs est déposé sur une épaisseur de l’ordre de 30 nm.
De manière avantageuse, les différentes sous-couches comparées présentent une énergie de surface similaire ou équivalente. La mesure de l’énergie de surface de ces sous-couches est réalisée selon la méthode OWRK (de l’acronyme anglais « Owens-Wendt-Rabel- Kaelble » (https://www.kruss-scientific.com/services/education-theory/glossary/owens- wendt-rabel-and-kaelble-owrk-method/) ou méthode de la goutte posée statique qui consiste à mesurer l’angle de contact d’une goutte de liquide déposée sur un substrat solide au moyen d’un goniomètre.
Les sous-couches d’intérêt sont obtenues sur une architecture acrylate ou méthacrylate, et sont greffables sur le substrat via des groupements hydroxy. Ces sous-couches sont par exemple synthétisées par voie radicalaire classique en utilisant l’azobisisobutyronitrile (AIBN) comme amorceur.
Dans un exemple particulier, la sous-couche étudiée est plus particulièrement un copolymère statistique de poly(méthacrylate de glycidyl-co-méthacrylate d’hydroxyéhtyle- co-méthacrylate de trifluoroéthyle), noté en abrégé PGFH par la suite. Selon cet exemple particulier, aucunement limitatif, le PGFH étudié ici a une composition massique, dans chacun des co-monomères méthacrylate de glycidyle (noté G) / méthacrylate de trifluoroéthyle (noté F) / méthacrylate d’hydroxyéthyle (noté H), « G / F / H », égale à 27/61/12 et présente une énergie de surface de l’ordre de 28mN/m, mesuré sur un instrument Drop Shape Analyser 100 de chez Krüss Scientific (https://www.kruss- scientific.com/products/drop-shape/dsa100/drop-shape-analyzer-dsa100/).
A titre de comparaison, la sous-couche conforme à l’invention est comparée à une gamme de sous-couches où les interactions avec le copolymère à blocs qui les recouvre sont limitées et où l’énergie de surface est ajustée via l’introduction de groupements fluorés dans la chaîne polymère. Une telle sous-couche se présente par exemple sous la forme de copolymères statistiques de poly(méthacrylate de trifluoroéthyle-co-acrylate de n-butyle), notés en abrégé PMATRIFE-co-Abu par la suite, avec une composition massique dans chacun des co-monomères égale à 50/50. Une telle sous-couche de PMATRIFE-co-ABU présente une énergie de surface de l’ordre de 28, 5m N/m.
Par conséquent, compte tenu de l’erreur expérimentale sur la mesure, les deux sous- couches comparées présentent une énergie de surface équivalente.
Un film de forte épaisseur, de l’ordre de 60nm, de PGFH est dispensé sur un substrat de silice, puis recuit à température variable durant 75 secondes, afin de provoquer le greffage du film de PGFH sur le substrat de silice. Le film est alors rincé vigoureusement dans un bon solvant, tel que la méthylisobutylcétone (MIBK), puis le substrat est séché sous flux d’azote et l’épaisseur résiduelle est mesurée par ellipsométrie. Les données sont reportées sur le graphique de la Figure 1 . On constate qu’un film d’épaisseur stable, de l’ordre de 5nm, typiquement de l’ordre de l’épaisseur d’une monocouche de molécules, est obtenu lorsque la température de recuit permettant le greffage ne dépasse pas 200 °C. Dès lors que la température est plus élevée, typiquement supérieure à 220 °C, des réactions parasites de réticulation du copolymère de PGFH apparaissent, via l’ouverture des groupements époxy du co-monomère de méthacrylate de glycidyle, entraînant une augmentation de l’épaisseur du film de copolymère de PGFH. Le graphique de la Figure 1 met donc en évidence le fait que la sous-couche de copolymère de PGFH peut être greffée sur un substrat de type oxyde sans que le groupement époxy du co-monomère méthacrylate de glycidyle ne soit endommagé au moment de la réaction de greffage thermique sur le substrat, lorsque la température de greffage reste inférieure ou égale à 220 °C, et de préférence inférieure ou égale à 200 °C pour l’échelle de temps de greffage utilisée.
Les copolymères PGFH peuvent donc être greffés sur un substrat de type oxyde, via leurs fonctions hydroxy, provenant notamment des co-monomères de type (méth)acrylate d’hydroxyalkyle, tel que le méthacrylate d’hydroxyéthyle dans le présent exemple, sans dégradation notable des groupements époxy issus du co-monomère de (méth)acrylate de glycidyle.
Selon la température de recuit à laquelle est soumis l’ensemble substrat / sous-couche, il se peut que le greffage puisse aussi se faire via l’activation d’au moins un glycidyle par les groupements oxydes surfacique, suite à une ouverture partielle des cycles époxy, ou d’un mécanisme concomitant hydroxy / époxy. Ainsi, lorsque la température de recuit se situe autour de 220 °C par exemple, on assiste à une ouverture partielle des cycles époxy des co monomères de méthacrylate de glycidyle.
Pour pouvoir comparer le démouillage du film de copolymère à blocs de PDMSB-b-PS déposé sur un substrat sur lequel les différentes sous-couches sont greffées, on regarde le taux de recouvrement du copolymère à blocs sur la surface de la sous-couche sous-jacente lorsqu’il est recuit à une température donnée dans une plage de températures étudiée, les deux sous-couches présentant une énergie de surface équivalente.
Les résultats obtenus sont reportés sur le graphique de la Figure 2 qui comprend deux courbes représentant chacune les propriétés de démouillage du copolymère à blocs de PDMS-b-PS sur les deux sous-couches soumises à comparaison de PGFH et PMATRIFE- co-Abu, d’énergies de surface équivalentes.
Il résulte des courbes de la Figure 2 que la sous-couche de PGFH, conforme à l’invention, présente une plage de températures de recuit plus vaste que la sous-couche PMATRIFE- co-Abu. En effet, alors que le copolymère à blocs PDMSB-b-PS déposé sur une sous- couche de PMATRIFE-co-Abu commence à démouiller lorsque la température d’assemblage, permettant une nano-structuration du copolymère à blocs, atteint les 110°C , le même copolymère à blocs déposé sur une sous-couche de PGFH ne commence à démouiller que lorsque la température d’assemblage, permettant une nano-structuration du copolymère à blocs, atteint les 150°C.
La multiplication d’interactions de type liaison Hydrogène, combinée à une ouverture progressive des groupements époxy, sur la sous-couche permet donc de stabiliser le système vis-à-vis du démouillage à plus haute température.
A contrario, dans le cas de la sous-couche de PMATRIFE-co-Abu, les interactions entre le copolymère PMATRIFE-co-Abu et le copolymère à blocs sont peu présentes et seuls les groupements fluorés introduits dans la chaîne MATRIFE du copolymère permettent d’ajuster l’énergie de surface de la sous-couche pour trouver une zone de neutralité. Dans ce cas, un démouillage important est observé lorsque la température d’assemblage du copolymère à blocs dépasse une température de 110°C. A énergie de surface équivalente, le copolymère de PMATRIFE-co-Abu ne présente pas assez d’interactions avec le copolymère à blocs pour pouvoir maintenir le copolymère à blocs et que ce-dernier reste plan, sans démouiller de sa surface. Les photos des Figures 3 et 4 représentent respectivement le copolymère à blocs PDMSB- b- PS nanostructuré, vu de dessus, lorsqu’il est déposé sur la sous-couche de PGFH conforme à l’invention et sur la sous-couche comparative de PMATRIFE-co-Abu. Ces photos ont été prises par microscopie électronique à balayage, après avoir déposé une couche de matériau de top coat TC, d’énergie de surface appropriée, sur le copolymère à blocs afin de neutraliser son interface supérieure, puis avoir nanostructuré le copolymère à blocs à une température d’assemblage de sorte que ses nano-domaines s’orientent perpendiculairement aux interfaces et enfin, après avoir retiré le matériau de top coat. Le copolymère à blocs de PDMSB-b-PS déposé sur la sous-couche de PGFH a été nanostructuré à une température d’assemblage de 220°C pendant 5 minutes (Figure 3), tandis que le copolymère à blocs de PDMSB-b-PS déposé que la sous-couche de PMATRIFE-co-Abu a été nanostructuré à une température de 110°C pendant 5 minutes (Figure 4). Ces deux photos mettent en évidence une orientation perpendiculaire des motifs du copolymère à blocs quelle que soit la sous-couche utilisée, démontrant ainsi la neutralité des deux types de sous-couches pour le copolymère à blocs alors qu’elles présentent des propriétés de démouillage différentes.
La sous-couche de PGFH permet donc d’éviter, ou tout au moins de retarder, un démouillage du film de copolymère à blocs de PDMSB-b-PS, lequel reste plat tout au long du procédé, de sorte que le copolymère à blocs présente une épaisseur homogène et des nano-domaines dont les dimensions et facteur de forme sont homogènes, si bien qu’il est possible de l’utiliser en tant que masque de nano-lithographie.

Claims

Revendications
1. Sous-couche de copolymère destinée à être déposée et greffée à la surface d’un substrat et à être recouverte par un autre polymère ladite sous-couche étant caractérisée en ce qu’elle comprend des groupements hydroxy et au moins un groupement époxy/oxirane au sein de sa chaîne polymérique, le(s) groupement(s) époxy étant intact(s) après la réaction de greffage.
2. Sous-couche de copolymère selon la revendication 1 , caractérisée en ce que l’autre polymère est un copolymère à blocs.
3. Sous-couche de copolymère selon l’une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce qu’elle est obtenue par polymérisation cationique, anionique, radicalaire contrôlée ou non, ou par ouverture de cycle, à partir de monomères (méth)acryliques.
4. Sous- couche de copolymère selon la revendication 3, caractérisée en ce qu’elle présente une structure chimique de type acrylate ou méthacrylate à base de co monomères choisis parmi les monomères acryliques tels que l'acide acrylique ou ses sels, les acrylates d'alkyle, de cycloalkyle ou d’aryle tels que l'acrylate de méthyle, d'éthyle, de butyle, d’éthyl-hexyle ou de phényle, les acrylates d’hydroxyalkyle tels que l’acrylate de 2-hydroxyéthyle, les acrylates d’étheralkyle tels que l’acrylate de 2-méthoxyéthyle, les acrylates d’alcoxy- ou aryloxy- polyalkylèneglycol tels que les acrylates de méthoxypolyéthylèneglycol, les acrylates d’éthoxypolyéthylèneglycol, les acrylates de méthoxypolypropylèneglycol, les acrylates de méthoxy-polyéthylèneglycol-polypropylèneglycol ou leurs mélanges, les acrylates d’aminoalkyle tels que l’acrylate de 2-(diméthylamino)éthyle (ADAME), les acrylates fluorés, les acrylates silylés, les acrylates phosphorés tels que les acrylates de phosphate d’alkylèneglycol, les acrylates de glycidyle, de dicyclopentenyloxyethyle, les monomères méthacryliques comme l'acide méthacrylique ou ses sels, les méthacrylates d'alkyle, de cycloalkyle, d’alcényle ou d’aryle tels que le méthacrylate de méthyle (MAM), de lauryle, de cyclohexyle, d’allyle, de phényle ou de naphtyle, les méthacrylates d’hydroxyalkyle tels que le méthacrylate de 2-hydroxyéthyle ou le méthacrylate de 2-hydroxypropyle, les méthacrylates d’étheralkyle tels que le méthacrylate de 2-éthoxyéthyle, les méthacrylates d’alcoxy- ou aryloxy-polyalkylèneglycol tels que les méthacrylates de méthoxypolyéthylèneglycol, les méthacrylates d’éthoxypolyéthylèneglycol, les méthacrylates de méthoxypolypropylèneglycol, les méthacrylates de méthoxy- polyéthylèneglycol-polypropylèneglycol ou leurs mélanges, les méthacrylates d’aminoalkyle tels que le méthacrylate de 2-(diméthylamino)éthyle (MADAME), les méthacrylates fluorés tels que le méthacrylate de 2,2,2-trifluoroéthyle, les méthacrylates silylés tels que le 3-méthacryloylpropyltriméthylsilane, les méthacrylates phosphorés tels que les méthacrylates de phosphate d’alkylèneglycol, le méthacrylate d’hydroxy-éthylimidazolidone, le méthacrylate d’hydroxy- éthylimidazolidinone, le méthacrylate de 2-(2-oxo-1-imidazolidinyl)éthyle, les méthacrylates de glycidyle, ou de dicyclopentenyloxyethyle seuls ou en mélange d’au moins deux co-monomères précités.
5. Sous-couche de copolymère selon l’une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que les groupements hydroxy proviennent d’un co-monomère de type (méth)acrylate d’hydroxyalkyle et le(s) groupement(s) époxy provien(nen)t d’un co monomère de type (méth)acrylate de glycidyle.
6. Sous-couche de copolymère selon la revendication 5, caractérisée en ce que les groupements hydroxy résultent en outre de l’ouverture partielle des groupements époxy, sous l’effet d’un recuit thermique au cours de la réaction de greffage du copolymère sur la surface du substrat et/ou au cours de la nano-structuration du copolymère à blocs le recouvrant.
7. Sous- couche de copolymère selon l’une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce qu’elle est constituée d’un copolymère de poly(methacrylate de glycidyl-co- methacrylate d’hydroxyehtyle-co-methacrylate de trifluoroethyle).
8. Sous-couche selon la revendication 7, caractérisée en ce qu’elle a une composition massique, dans chacun des co-monomères méthacrylate de glycidyle/ méthacrylate de trifluoroéthyle/ méthacrylate d’hydroxyéthyle, « GFH », comprise entre 20/20/60 et 30/69/1.
9. Sous-couche de copolymère selon l’une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce qu’elle est greffée sur le substrat par chauffage à une température inférieure ou égale à 260 °C, de préférence inférieure ou égale à220°C et, de manière davantage préférée, inférieure ou égale à 200 °C pendant une cLirée inférieure ou égale à 15 minutes, de préférence inférieure ou égale à 5 minutes et de manière davantage préférée, inférieure ou égale à 2 minutes.
10. Sous-couche selon l’une des revendications 2 à 9, caractérisée en ce qu’elle est neutre vis à vis du copolymère à blocs, permettant l’obtention de motifs perpendiculaires pour celui-ci.
11 . Empilement polymérique comprenant un substrat à la surface duquel est déposée et greffée une sous-couche de copolymère, elle-même recouverte par un film de copolymère à blocs destiné à servir de masque de nano-lithographie, ledit empilement étant caractérisé en ce que la sous-couche de copolymère est conforme à l’une au moins des revendications 1 à 10.
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