WO2021024390A1 - 変位センサ、モータ、及びアクチュエータ - Google Patents

変位センサ、モータ、及びアクチュエータ Download PDF

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moving body
displacement
sensor
displacement sensor
shape
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芳貴 生武
小川　徹
森　剛
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三菱電機株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Definitions

  • the present invention relates to a displacement sensor and a motor and an actuator provided with the displacement sensor.
  • the displacement sensor described in Patent Document 1 includes an annular quadrupole in which a permanent magnet is fitted, a hall sensor arranged in a gap of the quadrupole, and a rod-shaped quadrupole that can move in the axial direction with respect to the quadrupole. It has a magnetic core.
  • the surface of the magnetic core is convex or concave, or it is a non-magnetic material including a magnetic shape, and the hall sensor detects the magnetic flux of the permanent magnet determined by the shape of the magnetic core as a position. ..
  • the magnetic core operates and is displaced, the magnetic flux woven by the displaced portion and the permanent magnet also changes.
  • the Hall sensor detects this change in magnetic flux and converts it into a voltage corresponding to the displacement of the magnetic core.
  • the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a displacement sensor having high layout.
  • the displacement sensor according to the present invention includes a moving body and a sensor unit fixed at a position facing the moving body and in which a magnet and a hall sensor are integrated, and the moving body is proportional to the moving distance of the moving body. , It has a displacement part made of a magnetic material having a shape that changes the distance to the sensor part.
  • the sensor unit can be arranged at an arbitrary position facing the moving body, it is possible to provide a displacement sensor having a higher layout than a conventional displacement sensor.
  • FIG. It is a perspective view which shows the structural example of the displacement sensor which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. It is sectional drawing of the moving body shown in FIG. It is a top view of the moving body shown in FIG. It is a graph of the magnetic flux or the magnetic flux vector detected by the Hall sensor shown in FIG. It is a graph of the voltage output by the Hall sensor shown in FIG.
  • FIG. It is a side view which shows the deformation example of the moving body in the displacement sensor which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. It is a perspective view which shows the modification of the sensor part in the displacement sensor which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows the modification of the sensor part in the displacement sensor which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. It is a perspective view which shows the modification of the sensor part in the displacement sensor which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. 2 is a perspective view which shows the modification of the sensor part in the displacement sensor which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. It is a perspective view which shows the structural example of the displacement sensor which concerns on Embodiment 2.
  • It is sectional drawing of the moving body shown in FIG. It is a top view of the moving body shown in FIG.
  • FIG. It is sectional drawing which shows the deformation example of the moving body in the displacement sensor which concerns on Embodiment 2.
  • FIG. 2 It is a perspective view which shows the deformation example of the moving body in the displacement sensor which concerns on Embodiment 2.
  • FIG. 2 It is a top view which shows the deformation example of the moving body in the displacement sensor which concerns on Embodiment 2.
  • FIG. It is a perspective view which shows the structural example of the displacement sensor which concerns on Embodiment 3.
  • FIG. It is sectional drawing of the moving body shown in FIG. It is sectional drawing which shows the deformation example of the moving body in the displacement sensor which concerns on Embodiment 3.
  • FIG. It is a perspective view which shows the deformation example of the moving body in the displacement sensor which concerns on Embodiment 3.
  • FIG. It is a figure explaining an example of the rotary actuator which concerns on Embodiment 4.
  • FIG. It is a figure explaining an example of the linear actuator which concerns on Embodiment 4.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the displacement sensor 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the moving body 10 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view of the moving body 10 shown in FIG.
  • the displacement sensor 1 includes a moving body 10 and a sensor unit 20.
  • the moving body 10 is a cylindrical magnetic body 11.
  • the moving body 10 rotates in the direction of the arrow about the rotation axis X, which is the axis of the cylinder.
  • the displacement sensor 1 of the first embodiment detects the rotation angle of the moving body 10.
  • a convex displacement portion 12 is provided on the peripheral surface of the moving body 10 over the entire circumference.
  • the sensor unit 20 is fixed at a position facing the peripheral surface of the moving body 10.
  • the sensor unit 20 has a configuration in which a magnet 21 and a hall sensor 22 are integrated. Since the sensor unit 20 is fixed to a fixed portion (not shown), the position of the sensor portion 20 does not change even if the moving body 10 rotates.
  • the hall sensor 22 is arranged at a position close to the peripheral surface of the moving body 10, and the magnet 21 is arranged at a position far from the peripheral surface, but the arrangement order is arbitrary. Further, in the illustrated example, the magnet 21 is magnetized on the north pole 21N on the side where the hall sensor 22 is fixed and on the south pole 21S on the opposite side, but the magnetizing direction is arbitrary.
  • the displacement portion 12 has a shape that draws a locus of displacement in the direction of the rotation axis X as the moving body 10 rotates. That is, the displacement portion 12 has a shape in which the distance to the sensor portion 20 in the direction of the rotation axis X changes in proportion to the rotation angle of the moving body 10.
  • the rotation angle of the moving body 10 corresponds to the "moving distance" of the moving body 10. In the rotation angle of the moving body 10 shown in FIG.
  • the distance from the displacement unit 12 to the sensor unit 20 in the direction of the rotation axis X is the shortest, and when the moving body 10 rotates 180 degrees from this state, the rotation axis X
  • the distance from the displacement portion 12 to the sensor portion 20 in the direction of is the longest, and when the moving body 10 further rotates 180 degrees from this state, the state returns to the state shown in FIG.
  • the magnetic flux or magnetic flux vector of the magnetic field composed of the magnet 21 and the displacement portion 12 changes according to the rotation angle of the moving body 10.
  • FIG. 4 is a graph of the magnetic flux or the magnetic flux vector detected by the Hall sensor 22 shown in FIG.
  • the horizontal axis of the graph is the rotation angle of the moving body 10, and the vertical axis is the magnetic flux or magnetic flux vector detected by the Hall sensor 22.
  • FIG. 5 is a graph of the voltage output by the Hall sensor 22 shown in FIG.
  • the horizontal axis of the graph is the rotation angle of the moving body 10, and the vertical axis is the voltage output by the Hall sensor 22.
  • the Hall sensor 22 detects a magnetic flux or a magnetic flux vector that changes according to the rotation angle of the moving body 10.
  • the magnetic flux corresponding to the rotation angle of 180 degrees corresponds to the magnetic flux detected by the Hall sensor 22 in the state shown in FIG.
  • the Hall sensor 22 converts the detected magnetic flux or magnetic flux vector into a voltage indicating the rotation angle of the moving body 10 and outputs the voltage to the outside.
  • the method of converting the magnetic flux or the magnetic flux vector into a voltage is a well-known technique, and thus the description thereof will be omitted.
  • the displacement sensor 1 is a sensor in which the cylindrical moving body 10 is fixed at a position facing the peripheral surface of the moving body 10, and the magnet 21 and the hall sensor 22 are integrated.
  • a unit 20 is provided.
  • the moving body 10 has a displacement part 12 made of a magnetic body 11 having a shape in which the distance to the sensor part 20 in the axial direction of the moving body 10 changes in proportion to the rotation angle of the moving body 10.
  • the peripheral surface of the moving body 10 is arranged.
  • the sensor unit 20 may be arranged at an arbitrary position facing the above.
  • the displacement sensor 1 having a higher layout than the conventional displacement sensor.
  • the conventional displacement sensor has a complicated structure because it is necessary to fit a magnet into the quadrupole and process the shape of both ends of the quadrupole so that the magnetic flux passes through the hall sensor.
  • the displacement sensor 1 according to the first embodiment has a simple structure because it is only necessary to fix the hall sensor 22 to the magnet 21.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the first embodiment.
  • the moving body 10 is made of a cylindrical non-magnetic body 13, and only the displacement portion 12 having a shape protruding from the peripheral surface of the non-magnetic body 13 is made of the magnetic body 11.
  • the displacement portion 12 of this modified example has a shape obtained by diagonally cutting a cylindrical magnetic body 11.
  • FIG. 7 is a side view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the first embodiment.
  • a groove-shaped displacement portion 12 is provided on the peripheral surface of the moving body 10.
  • the displacement portions 12 in FIGS. 1 to 3 are provided on the entire circumference of the peripheral surface of the moving body 10, and have a configuration in which the rotation angle of 360 degrees can be detected by the sensor unit 20, but the circumference of the moving body 10 It may be provided on a part of the surface.
  • the groove-shaped displacement portion 12 is provided on a part of the peripheral surface of the moving body 10. In this case, the sensor unit 20 can detect the rotation angle of the moving body 10 in the angle range in which the displacement unit 12 is provided.
  • FIGS. 1 to 3 has a flat plate shape, but the magnet 21 is not limited to this.
  • 8 to 11 are perspective views showing a modified example of the sensor unit 20 in the displacement sensor 1 according to the first embodiment.
  • the magnet 21 has a cylindrical shape, and the hall sensor 22 is arranged in the gap in the center of the cylinder.
  • the magnet 21 has a square frame shape, and the hall sensor 22 is arranged in the gap in the center of the square frame.
  • the holding portion 23 holds the two magnets 21 at intervals in the vertical direction, and the hall sensor 22 is arranged between the two magnets 21.
  • FIG. 10 are perspective views showing a modified example of the sensor unit 20 in the displacement sensor 1 according to the first embodiment.
  • the magnet 21 has a cylindrical shape, and the hall sensor 22 is arranged in the gap in the center of the cylinder.
  • the magnet 21 has a square frame shape, and the hall sensor 22 is arranged in the gap in the center of the square frame.
  • the holding portion 23 holds the two magnets 21 at intervals in
  • the holding portion 23 holds the two magnets 21 at a distance from the left and right, and the hall sensor 22 is arranged between the two magnets 21.
  • the hall sensor 22 is arranged in the gap of the magnet 21 and when the hall sensor 22 is arranged between the two magnets 21, the magnetic flux passing through the hall sensor 22 when the moving body 10 rotates. Since the amount of change is large, the accuracy of detecting the rotation angle of the moving body 10 by the Hall sensor 22 is improved.
  • Embodiment 2 The displacement sensor 1 according to the first embodiment has a configuration in which the sensor unit 20 is arranged on the peripheral surface of the moving body 10.
  • the displacement sensor 1 according to the second embodiment has a configuration in which the sensor unit 20 is arranged on the end face of the moving body 10.
  • FIG. 12 is a perspective view showing a configuration example of the displacement sensor 1 according to the second embodiment.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of the moving body 10 shown in FIG.
  • FIG. 14 is a plan view of the moving body 10 shown in FIG.
  • the displacement sensor 1 includes a moving body 10 and a sensor unit 20.
  • the moving body 10 is a cylindrical magnetic body 11.
  • the moving body 10 rotates in the direction of the arrow about the rotation axis X.
  • the displacement sensor 1 detects the rotation angle of the moving body 10.
  • the end surface of the moving body 10 is provided with a displacement portion 12 which is a circular convex portion having a diameter smaller than that of the moving body 10.
  • the displacement portion 12 is arranged at a position eccentric with respect to the rotation axis X of the moving body 10.
  • the sensor unit 20 is fixed at a position facing the end surface of the moving body 10 where the displacement unit 12 is provided.
  • the sensor unit 20 has a configuration in which a magnet 21 and a hall sensor 22 are integrated. Since the sensor unit 20 is fixed to a fixed portion (not shown), the position of the sensor portion 20 does not change even if the moving body 10 rotates.
  • the hall sensor 22 is arranged at a position close to the end face of the moving body 10, and the magnet 21 is arranged at a position far from the end face, but the arrangement order is arbitrary. Further, in the illustrated example, the magnet 21 is magnetized on the north pole 21N on the side where the hall sensor 22 is fixed and on the south pole 21S on the opposite side, but the magnetizing direction is arbitrary. Further, the sensor unit 20 may have the configuration shown in FIGS. 8 to 11 of the first embodiment.
  • the displacement portion 12 has a shape that draws a locus that is displaced in the radial direction as the moving body 10 rotates. That is, the displacement portion 12 has a shape in which the distance to the sensor portion 20 in the radial direction of the moving body 10 changes in proportion to the rotation angle of the moving body 10.
  • the rotation angle of the moving body 10 corresponds to the "moving distance" of the moving body 10. Since the distance from the displacement unit 12 to the sensor unit 20 changes as the moving body 10 rotates, the magnetic flux or magnetic flux vector of the magnetic field composed of the magnet 21 and the displacement unit 12 depends on the rotation angle of the moving body 10. Change. As shown in FIGS.
  • the Hall sensor 22 detects a magnetic flux or a magnetic flux vector that changes according to the rotation angle of the moving body 10, and uses the detected magnetic flux or magnetic flux vector as the moving body. It is converted into a voltage indicating a rotation angle of 10 and output to the outside.
  • the moving body 10 of the second embodiment has a cylindrical shape whose end face faces the sensor unit 20.
  • the displacement portion 12 is provided on the end surface of the cylindrical moving body 10, and has a shape in which the distance to the sensor portion 20 in the radial direction of the moving body 10 changes in proportion to the rotation angle of the moving body 10.
  • the displacement sensor 1 according to the second embodiment is on the end surface of the moving body 10.
  • the sensor unit 20 may be arranged at an arbitrary position facing each other. Therefore, it is possible to provide the displacement sensor 1 having a higher layout than the conventional displacement sensor.
  • the conventional displacement sensor has a complicated structure because it is necessary to fit a magnet into the quadrupole and process the shape of both ends of the quadrupole so that the magnetic flux passes through the hall sensor.
  • the displacement sensor 1 according to the second embodiment has a simple structure because it is only necessary to fix the hall sensor 22 to the magnet 21.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the second embodiment.
  • the moving body 10 is made of a cylindrical non-magnetic body 13, and only the cylindrical displacement portion 12 protruding from the end face of the non-magnetic body 13 is made of the magnetic body 11.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the second embodiment.
  • a concave displacement portion 12 is provided on the end surface of the moving body 10.
  • the displacement portion 12 in FIGS. 12 to 14 has a circular shape on the end face of the moving body 10, and has a configuration in which a rotation angle of 360 degrees can be detected by the sensor unit 20, but an arc is formed on the end face of the moving body 10. It may have a shape.
  • the sensor unit 20 can detect the rotation angle of the moving body 10 in the angle range in which the displacement portion 12 is provided.
  • the displacement portion 12 is not limited to a circular shape, and may have a spiral shape or the like as shown in FIG.
  • FIG. 17 is a plan view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the second embodiment.
  • Embodiment 3 The displacement sensor 1 according to the first and second embodiments has a configuration in which the moving body 10 rotates. On the other hand, the displacement sensor 1 according to the third embodiment has a configuration in which the moving body 10 moves linearly.
  • FIG. 18 is a perspective view showing a configuration example of the displacement sensor 1 according to the third embodiment.
  • FIG. 19 is a cross-sectional view of the moving body 10 shown in FIG.
  • the displacement sensor 1 includes a moving body 10 and a sensor unit 20.
  • the moving body 10 is a flat plate-shaped magnetic body 11.
  • the moving body 10 moves linearly in the direction of the arrow.
  • the displacement sensor 1 detects the moving distance of the moving body 10.
  • the flat plate surface of the moving body 10 is provided with a displacement portion 12 which is a convex portion having a shape inclined with respect to the moving direction.
  • the sensor unit 20 is fixed at a position facing the flat plate surface on which the displacement unit 12 of the moving body 10 is provided.
  • the sensor unit 20 has a configuration in which a magnet 21 and a hall sensor 22 are integrated. Since the sensor unit 20 is fixed to a fixed portion (not shown), the position of the sensor portion 20 does not change even if the moving body 10 moves.
  • the hall sensor 22 is arranged at a position close to the flat plate surface of the moving body 10, and the magnet 21 is arranged at a position far from the flat plate surface, but the arrangement order is arbitrary. Further, in the illustrated example, the magnet 21 is magnetized on the north pole 21N on the side where the hall sensor 22 is fixed and on the south pole 21S on the opposite side, but the magnetizing direction is arbitrary. Further, the sensor unit 20 may have the configuration shown in FIGS. 8 to 11 of the first embodiment.
  • the displacement portion 12 has a shape that draws a locus of displacement in a direction orthogonal to the moving direction as the moving body 10 moves. That is, the displacement portion 12 has a shape in which the distance to the sensor portion 20 in the direction orthogonal to the moving direction of the moving body 10 changes in proportion to the moving distance of the moving body 10. Since the distance from the displacement unit 12 to the sensor unit 20 changes as the moving body 10 moves, the magnetic flux or magnetic flux vector of the magnetic field composed of the magnet 21 and the displacement unit 12 depends on the moving distance of the moving body 10. Change. As shown in FIGS. 4 and 5 of the first embodiment, the Hall sensor 22 detects a magnetic flux or magnetic flux vector that changes according to the moving distance of the moving body 10, and uses the detected magnetic flux or magnetic flux vector as the moving body. It is converted into a voltage indicating a moving distance of 10 and output to the outside. In the third embodiment, the horizontal axis of each graph of FIGS. 4 and 5 is read from "rotation angle" to "moving distance".
  • the moving body 10 of the third embodiment has a flat plate shape in which the flat plate surface faces the sensor unit 20.
  • the displacement portion 12 is provided on the flat plate surface of the moving body 10, and has a shape in which the distance to the sensor unit 20 in a direction orthogonal to the direction of linear movement of the moving body 10 changes in proportion to the moving distance of the moving body 10. is there.
  • the displacement sensor 1 according to the third embodiment has a flat plate surface of the moving body 10.
  • the sensor unit 20 may be arranged at an arbitrary position facing the above.
  • the displacement sensor 1 having a higher layout than the conventional displacement sensor.
  • the conventional displacement sensor has a complicated structure because it is necessary to fit a magnet into the quadrupole and process the shape of both ends of the quadrupole so that the magnetic flux passes through the hall sensor.
  • the displacement sensor 1 according to the third embodiment has a simple structure because it is only necessary to fix the hall sensor 22 to the magnet 21.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the third embodiment.
  • the moving body 10 is made of a flat plate-shaped non-magnetic body 13, and only the displacement portion 12 having a shape protruding from the flat plate surface of the non-magnetic body 13 is made of the magnetic body 11.
  • FIG. 21 is a perspective view showing a modified example of the moving body 10 in the displacement sensor 1 according to the third embodiment.
  • a groove-shaped displacement portion 12 is provided on the flat plate surface of the moving body 10.
  • the displacement portion 12 may be provided on the entire surface from one end to the other end of the flat plate surface of the moving body 10, or may be provided on a part of the flat plate surface.
  • Embodiment 4 In the fourth embodiment, the actuator and the motor provided with the displacement sensor 1 according to the first to third embodiments will be described.
  • FIG. 22 is a diagram illustrating an example of the rotary actuator 30 according to the fourth embodiment.
  • the rotary actuator 30 includes a motor 31, a reduction mechanism 32, and an output mechanism 33.
  • the rotational driving force of the motor 31 is transmitted to the speed reduction mechanism 32, decelerated by the speed reduction mechanism 32, and transmitted to the output mechanism 33.
  • the output mechanism 33 rotates by the rotational driving force after deceleration transmitted from the deceleration mechanism 32.
  • the displacement sensor 1 according to the first and second embodiments is applied to the rotary actuator 30. Specifically, when the output mechanism 33 is a magnetic material 11, the output mechanism 33 is provided with a displacement portion 12. When the output mechanism 33 is a non-magnetic material 13, a displacement portion 12 composed of a magnetic material 11 is provided on the output mechanism 33.
  • the sensor unit 20 is fixed at a position facing the peripheral surface or the end surface of the output mechanism 33, and the sensor unit 20 detects the rotation angle of the output mechanism 33.
  • the output mechanism 33 For example, in an EGR (Exhaust Gas Recirculation) system that recirculates the exhaust gas of an engine to the intake side, when the rotary actuator 30 is used as an EGR actuator that operates an EGR valve that adjusts the recirculation amount, the output mechanism 33 The EGR valve is connected. The EGR valve opens and closes as the output mechanism 33 rotates. In this example, the rotary actuator 30 adjusts the opening amount of the EGR valve by using the rotation angle of the output mechanism 33 detected by the displacement sensor 1.
  • EGR exhaust Gas Recirculation
  • the rotary actuator 30 is a VG actuator that operates a variable vane of a turbine possessed by a variable capacitance (VG: Variable Geometry) turbocharger, or a WG (Wastegate) that adjusts the exhaust pressure of the turbocharger. ) It may be used as a WG actuator or the like for operating a valve.
  • VG Variable Geometry
  • WG Widegate
  • the displacement sensor 1 according to the first embodiment and the second embodiment may be used, for example, to detect the rotation angle of the rotor of the brushless motor.
  • FIG. 23 is a diagram illustrating an example of a linear actuator 40 to which the displacement sensor 1 according to the fourth embodiment is applied.
  • the linear actuator 40 includes a motor 31, a reduction mechanism 32, and a linear conversion mechanism 41. Similar to the example of FIG. 22, the rotational driving force of the motor 31 is transmitted to the speed reduction mechanism 32, decelerated by the speed reduction mechanism 32, and transmitted to the linear motion conversion mechanism 41.
  • the linear motion conversion mechanism 41 converts the rotational driving force after deceleration transmitted from the deceleration mechanism 32 into a linear motion driving force.
  • the displacement sensor 1 according to the third embodiment is applied to the linear actuator 40.
  • the actuator shaft that linearly moves by receiving the linear motion driving force of the linear motion conversion mechanism 41 is configured as the moving body 10.
  • a displacement portion 12 is provided on the actuator shaft.
  • the actuator shaft is a non-magnetic material 13
  • a displacement portion 12 composed of a magnetic material 11 is provided on the actuator shaft.
  • the sensor unit 20 is fixed at a position facing the moving body 10, and the sensor unit 20 detects the moving distance of the actuator shaft.
  • the EGR valve When the linear motion actuator 40 is used as an EGR actuator, the EGR valve is connected to the actuator shaft of the linear motion conversion mechanism 41.
  • the EGR valve opens and closes as the actuator shaft moves linearly.
  • the linear acting actuator 40 adjusts the valve opening amount of the EGR valve by using the moving distance of the actuator shaft detected by the displacement sensor 1.
  • the linear actuator 40 may be used as an EGR actuator, a VG actuator, a WG actuator, or the like.
  • the present invention allows any combination of embodiments, modifications of any component of each embodiment, or omission of any component of each embodiment within the scope of the invention.
  • the displacement sensor according to the present invention is suitable for a displacement sensor used for a motor, an actuator, or the like because it detects the rotation angle or the moving distance of a moving body.

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Abstract

変位センサ（１）は、移動体（１０）と、移動体（１０）と対向する位置に固定され、マグネット（２１）とホールセンサ（２２）が一体になったセンサ部（２０）とを備える。移動体（１０）は、移動体（１０）の移動距離に比例して、センサ部（２０）までの距離が変化する形状の、磁性体（１１）で構成された変位部（１２）を有する。

Description

変位センサ、モータ、及びアクチュエータ
　この発明は、変位センサと、変位センサを備えたモータ及びアクチュエータに関するものである。
　特許文献１に記載された変位センサは、永久磁石が嵌め込まれた環状の接極子と、この接極子が有する空隙に配置されたホールセンサと、接極子に対して軸線方向に移動可能な棒状の磁心とを備える。磁心は、その表面が凸形状若しくは凹形状となっており、又は磁性を帯びた形を含んだ非磁性体となっており、磁心の形状により定まる永久磁石の磁束をホールセンサが位置として検出する。磁心が動作し変位すると、変位した部位と永久磁石が織りなす磁束も変化する。ホールセンサが、この磁束の変化を検出し、磁心の変位に対応する電圧に変換する。
特開昭６０－２０２３０８号公報
　特許文献１に記載されているような従来の変位センサは、磁心の外側全周にわたって接極子及びホールセンサ等が配置されるため、変位センサをモータ等に組み込む際のレイアウト性が低いという課題があった。
　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、レイアウト性が高い変位センサを提供することを目的とする。
　この発明に係る変位センサは、移動体と、移動体と対向する位置に固定され、マグネットとホールセンサが一体になったセンサ部とを備え、移動体は、移動体の移動距離に比例して、センサ部までの距離が変化する形状の、磁性体で構成された変位部を有するものである。
　この発明によれば、移動体に対向する任意の位置にセンサ部を配置可能であるため、従来の変位センサに比べて、レイアウト性が高い変位センサを提供することができる。
実施の形態１に係る変位センサの構成例を示す斜視図である。 図１に示される移動体の断面図である。 図１に示される移動体の平面図である。 図１に示されるホールセンサが検出する磁束又は磁束ベクトルのグラフである。 図１に示されるホールセンサが出力する電圧のグラフである。 実施の形態１に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す断面図である。 実施の形態１に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す側面図である。 実施の形態１に係る変位センサにおけるセンサ部の変形例を示す斜視図である。 実施の形態１に係る変位センサにおけるセンサ部の変形例を示す斜視図である。 実施の形態１に係る変位センサにおけるセンサ部の変形例を示す斜視図である。 実施の形態１に係る変位センサにおけるセンサ部の変形例を示す斜視図である。 実施の形態２に係る変位センサの構成例を示す斜視図である。 図１２に示される移動体の断面図である。 図１２に示される移動体の平面図である。 実施の形態２に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す断面図である。 実施の形態２に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す斜視図である。 実施の形態２に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す平面図である。 実施の形態３に係る変位センサの構成例を示す斜視図である。 図１８に示される移動体の断面図である。 実施の形態３に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す断面図である。 実施の形態３に係る変位センサにおける移動体の変形例を示す斜視図である。 実施の形態４に係る回転式アクチュエータの一例を説明する図である。 実施の形態４に係る直動式アクチュエータの一例を説明する図である。
　以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態１．
　図１は、実施の形態１に係る変位センサ１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示される移動体１０の断面図である。図３は、図１に示される移動体１０の平面図である。
　変位センサ１は、移動体１０と、センサ部２０とを備える。移動体１０は、円柱形状の磁性体１１である。移動体１０は、円柱の軸線である回転軸Ｘを中心にして矢印方向に回転する。実施の形態１の変位センサ１は、移動体１０の回転角度を検出するものである。この移動体１０の周面には、全周にわたって凸形状の変位部１２が設けられている。移動体１０の周面に対向する位置には、センサ部２０が固定されている。センサ部２０は、マグネット２１とホールセンサ２２が一体になった構成である。センサ部２０は、不図示の被固定部に固定されているため、移動体１０が回転してもセンサ部２０の位置は変わらない。
　図示例では、移動体１０の周面に近い位置にホールセンサ２２が配置され、この周面から遠い位置にマグネット２１が配置されているが、配置順は任意である。また、図示例では、マグネット２１は、ホールセンサ２２が固定された側がＮ極２１Ｎ、反対側がＳ極２１Ｓに着磁されているが、着磁方向は任意である。
　変位部１２は、移動体１０の回転に伴って回転軸Ｘの方向へ変位する軌跡を描く形状である。つまり、変位部１２は、移動体１０の回転角度に比例して、回転軸Ｘの方向におけるセンサ部２０までの距離が変化する形状である。移動体１０の回転角度は、移動体１０の「移動距離」に相当する。図１に示される移動体１０の回転角度においては、回転軸Ｘの方向における変位部１２からセンサ部２０までの距離が最も短くなり、この状態から移動体１０が１８０度回転すると、回転軸Ｘの方向における変位部１２からセンサ部２０までの距離が最も遠くなり、この状態からさらに移動体１０が１８０度回転すると、図１に示される状態に戻る。マグネット２１と変位部１２とで構成される磁界の磁束又は磁束ベクトルは、移動体１０の回転角度に応じて変化する。
　図４は、図１に示されるホールセンサ２２が検出する磁束又は磁束ベクトルのグラフである。グラフの横軸は移動体１０の回転角度、縦軸はホールセンサ２２が検出する磁束又は磁束ベクトルである。図５は、図１に示されるホールセンサ２２が出力する電圧のグラフである。グラフの横軸は移動体１０の回転角度、縦軸はホールセンサ２２が出力する電圧である。
　ホールセンサ２２は、図４に示されるように、移動体１０の回転角度に応じて変化する磁束又は磁束ベクトルを検出する。図４のグラフにおいて、回転角度１８０度に対応する磁束は、図１に示される状態でホールセンサ２２が検出した磁束に相当する。ホールセンサ２２は、図５に示されるように、検出した磁束又は磁束ベクトルを、移動体１０の回転角度を示す電圧に変換して外部出力する。磁束又は磁束ベクトルを電圧に変換する方法は、周知の技術であるため説明を省略する。
　以上のように、実施の形態１に係る変位センサ１は、円柱形状の移動体１０と、移動体１０の周面に対向する位置に固定され、マグネット２１とホールセンサ２２が一体になったセンサ部２０とを備える。移動体１０は、移動体１０の回転角度に比例して、移動体１０の軸方向におけるセンサ部２０までの距離が変化する形状の、磁性体１１で構成された変位部１２を有する。従来の変位センサは、移動体に相当する磁心の外側全周にわたって接極子及びホールセンサ等を配置する必要があるのに対し、実施の形態１に係る変位センサ１は、移動体１０の周面に対向する任意の位置にセンサ部２０を配置すればよい。そのため、従来の変位センサに比べて、レイアウト性が高い変位センサ１を提供することができる。また、従来の変位センサは、接極子にマグネットを嵌め込み、かつ、ホールセンサを磁束が通過するように接極子の両端形状を加工する必要があるため、構造が複雑であった。これに対し、実施の形態１に係る変位センサ１は、マグネット２１にホールセンサ２２を固定するだけでよいため、構造が簡易である。
　なお、図１～図３における移動体１０は、磁性体１１で構成されたが、これに限定されない。図６は、実施の形態１に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す断面図である。図６の変形例では、移動体１０が円柱形状の非磁性体１３で構成され、非磁性体１３の周面から突出した形状の変位部１２のみが磁性体１１で構成されている。この変形例の変位部１２は、円筒形状の磁性体１１を斜めに切断した形状である。
　また、図１～図３における変位部１２は、移動体１０の周面に設けられた凸形状であったが、これに限定されない。変位部１２は、移動体１０の周面に設けられた凹形状、溝、又は突条等であってもよい。図７は、実施の形態１に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す側面図である。図７の変形例では、移動体１０の周面に、溝形状の変位部１２が設けられている。
　また、図１～図３における変位部１２は、移動体１０の周面の全周に設けられ、センサ部２０による３６０度の回転角度が検出可能な構成であったが、移動体１０の周面の一部に設けられてもよい。上述した図７の変形例では、移動体１０の周面の一部に、溝形状の変位部１２が設けられている。この場合、センサ部２０は、変位部１２が設けられている角度範囲において移動体１０の回転角度を検出可能である。
　また、図１～図３におけるマグネット２１は、平板形状であったが、これに限定されない。図８～図１１は、実施の形態１に係る変位センサ１におけるセンサ部２０の変形例を示す斜視図である。図８の変形例では、マグネット２１が円筒形状であり、円筒中央の空隙にホールセンサ２２が配置されている。図９の変形例では、マグネット２１が四角枠形状であり、四角枠中央の空隙にホールセンサ２２が配置されている。図１０の変形例では、保持部２３が２つのマグネット２１を上下に間隔をあけて保持しており、２つのマグネット２１の間にホールセンサ２２が配置されている。図１１の変形例では、保持部２３が２つのマグネット２１を左右に間隔を空けて保持しており、２つのマグネット２１の間にホールセンサ２２が配置されている。これらように、マグネット２１の空隙にホールセンサ２２を配置した場合、及び、２つのマグネット２１の間にホールセンサ２２を配置した場合、移動体１０が回転したときにホールセンサ２２を通過する磁束の変化量が大きくなるため、ホールセンサ２２による移動体１０の回転角度の検出精度が向上する。
実施の形態２．
　実施の形態１に係る変位センサ１は、センサ部２０が移動体１０の周面に配置された構成であった。これに対し、実施の形態２に係る変位センサ１は、センサ部２０が移動体１０の端面に配置される構成である。
　図１２は、実施の形態２に係る変位センサ１の構成例を示す斜視図である。図１３は、図１２に示される移動体１０の断面図である。図１４は、図１２に示される移動体１０の平面図である。
　変位センサ１は、移動体１０と、センサ部２０とを備える。移動体１０は、円柱形状の磁性体１１である。移動体１０は、回転軸Ｘを中心にして矢印方向に回転する。変位センサ１は、移動体１０の回転角度を検出するものである。この移動体１０の端面には、移動体１０より直径の小さい円形状の凸部である変位部１２が設けられている。この変位部１２は、移動体１０の回転軸Ｘに対して偏心した位置に配置されている。移動体１０の変位部１２が設けられた端面と対向する位置には、センサ部２０が固定されている。センサ部２０は、マグネット２１とホールセンサ２２が一体になった構成である。センサ部２０は、不図示の被固定部に固定されているため、移動体１０が回転してもセンサ部２０の位置は変わらない。
　図示例では、移動体１０の端面に近い位置にホールセンサ２２が配置され、この端面から遠い位置にマグネット２１が配置されているが、配置順は任意である。また、図示例では、マグネット２１は、ホールセンサ２２が固定された側がＮ極２１Ｎ、反対側がＳ極２１Ｓに着磁されているが、着磁方向は任意である。
　また、センサ部２０は、実施の形態１の図８～図１１に示される構成であってもよい。
　変位部１２は、移動体１０の回転に伴って径方向へ変位する軌跡を描く形状である。つまり、変位部１２は、移動体１０の回転角度に比例して、移動体１０の径方向におけるセンサ部２０までの距離が変化する形状である。移動体１０の回転角度は、移動体１０の「移動距離」に相当する。移動体１０の回転に伴い、変位部１２からセンサ部２０までの距離が変化するため、マグネット２１と変位部１２とで構成される磁界の磁束又は磁束ベクトルは、移動体１０の回転角度に応じて変化する。ホールセンサ２２は、実施の形態１の図４及び図５に示されるように、移動体１０の回転角度に応じて変化する磁束又は磁束ベクトルを検出し、検出した磁束又は磁束ベクトルを、移動体１０の回転角度を示す電圧に変換して外部出力する。
　以上のように、実施の形態２の移動体１０は、端面がセンサ部２０に対向する円柱形状である。変位部１２は、円柱形状の移動体１０の端面に設けられ、移動体１０の回転角度に比例して移動体１０の径方向におけるセンサ部２０までの距離が変化する形状である。従来の変位センサは、移動体に相当する磁心の外側全周にわたって接極子及びホールセンサ等を配置する必要があるのに対し、実施の形態２に係る変位センサ１は、移動体１０の端面に対向する任意の位置にセンサ部２０を配置すればよい。そのため、従来の変位センサに比べて、レイアウト性が高い変位センサ１を提供することができる。また、従来の変位センサは、接極子にマグネットを嵌め込み、かつ、ホールセンサを磁束が通過するように接極子の両端形状を加工する必要があるため、構造が複雑であった。これに対し、実施の形態２に係る変位センサ１は、マグネット２１にホールセンサ２２を固定するだけでよいため、構造が簡易である。
　なお、図１２～図１４における移動体１０は、磁性体１１で構成されたが、これに限定されない。図１５は、実施の形態２に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す断面図である。図１５の変形例では、移動体１０が円柱形状の非磁性体１３で構成され、非磁性体１３の端面から突出した円柱形状の変位部１２のみが磁性体１１で構成されている。
　また、図１２～図１４における変位部１２は、移動体１０の端面に設けられた凸形状であったが、これに限定されない。変位部１２は、移動体１０の端面に設けられた凹形状、溝、又は突条等であってもよい。図１６は、実施の形態２に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す斜視図である。図１６の変形例では、移動体１０の端面に、凹形状の変位部１２が設けられている。
　また、図１２～図１４における変位部１２は、移動体１０の端面において円形状をなし、センサ部２０による３６０度の回転角度が検出可能な構成であったが、移動体１０の端面において円弧形状をなす構成であってもよい。変位部１２が円弧形状をなす場合、センサ部２０は、変位部１２が設けられている角度範囲において移動体１０の回転角度を検出可能である。また、変位部１２は、円形状に限定されず、図１７に示されるような渦巻形状等であってもよい。図１７は、実施の形態２に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す平面図である。
実施の形態３．
　実施の形態１，２に係る変位センサ１は、移動体１０が回転する構成であった。これに対し、実施の形態３に係る変位センサ１は、移動体１０が直線移動する構成である。
　図１８は、実施の形態３に係る変位センサ１の構成例を示す斜視図である。図１９は、図１８に示される移動体１０の断面図である。
　変位センサ１は、移動体１０と、センサ部２０とを備える。移動体１０は、平板形状の磁性体１１である。移動体１０は、矢印方向に直線移動する。変位センサ１は、移動体１０の移動距離を検出するものである。この移動体１０の平板面には、移動方向に対して傾斜した形状の凸部である変位部１２が設けられている。移動体１０の変位部１２が設けられた平板面と対向する位置には、センサ部２０が固定されている。センサ部２０は、マグネット２１とホールセンサ２２が一体になった構成である。センサ部２０は、不図示の被固定部に固定されているため、移動体１０が移動してもセンサ部２０の位置は変わらない。
　図示例では、移動体１０の平板面に近い位置にホールセンサ２２が配置され、この平板面から遠い位置にマグネット２１が配置されているが、配置順は任意である。また、図示例では、マグネット２１は、ホールセンサ２２が固定された側がＮ極２１Ｎ、反対側がＳ極２１Ｓに着磁されているが、着磁方向は任意である。
　また、センサ部２０は、実施の形態１の図８～図１１に示される構成であってもよい。
　変位部１２は、移動体１０の移動に伴って移動方向に直交する方向へ変位する軌跡を描く形状である。つまり、変位部１２は、移動体１０の移動距離に比例して、移動体１０の移動方向に直交する方向におけるセンサ部２０までの距離が変化する形状である。移動体１０の移動に伴い、変位部１２からセンサ部２０までの距離が変化するため、マグネット２１と変位部１２とで構成される磁界の磁束又は磁束ベクトルは、移動体１０の移動距離に応じて変化する。ホールセンサ２２は、実施の形態１の図４及び図５に示されるように、移動体１０の移動距離に応じて変化する磁束又は磁束ベクトルを検出し、検出した磁束又は磁束ベクトルを、移動体１０の移動距離を示す電圧に変換して外部出力する。なお、実施の形態３においては、図４及び図５の各グラフの横軸を、「回転角度」から「移動距離」に読み替える。
　以上のように、実施の形態３の移動体１０は、平板面がセンサ部２０に対向する平板形状である。変位部１２は、移動体１０の平板面に設けられ、移動体１０の移動距離に比例して、移動体１０の直線移動の方向に直交する方向におけるセンサ部２０までの距離が変化する形状である。従来の変位センサは、移動体に相当する磁心の外側全周にわたって接極子及びホールセンサ等を配置する必要があるのに対し、実施の形態３に係る変位センサ１は、移動体１０の平板面に対向する任意の位置にセンサ部２０を配置すればよい。そのため、従来の変位センサに比べて、レイアウト性が高い変位センサ１を提供することができる。また、従来の変位センサは、接極子にマグネットを嵌め込み、かつ、ホールセンサを磁束が通過するように接極子の両端形状を加工する必要があるため、構造が複雑であった。これに対し、実施の形態３に係る変位センサ１は、マグネット２１にホールセンサ２２を固定するだけでよいため、構造が簡易である。
　なお、図１８及び図１９における移動体１０は、磁性体１１により構成されたが、これに限定されない。図２０は、実施の形態３に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す断面図である。図２０の変形例では、移動体１０が平板形状の非磁性体１３で構成され、非磁性体１３の平板面から突出した形状の変位部１２のみが磁性体１１で構成されている。
　また、図１８及び図１９における変位部１２は、移動体１０の平板面に設けられた凸形状であったが、これに限定されない。変位部１２は、移動体１０の平板面に設けられた凹形状、溝、又は突条等であってもよい。図２１は、実施の形態３に係る変位センサ１における移動体１０の変形例を示す斜視図である。図２１の変形例では、移動体１０の平板面に、溝状の変位部１２が設けられている。なお、変位部１２は、移動体１０の平板面の一方の端部からもう一方の端部まで全面に設けられていてもよいし、平板面の一部に設けられていてもよい。
実施の形態４．
　実施の形態４では、実施の形態１～３に係る変位センサ１を備えたアクチュエータ及びモータについて説明する。
　図２２は、実施の形態４に係る回転式アクチュエータ３０の一例を説明する図である。回転式アクチュエータ３０は、モータ３１と、減速機構３２と、出力機構３３とを備える。モータ３１の回転駆動力は、減速機構３２に伝達され、減速機構３２により減速されて出力機構３３に伝達される。出力機構３３は、減速機構３２から伝達される減速後の回転駆動力によって回転する。この回転式アクチュエータ３０に対して、実施の形態１及び実施の形態２に係る変位センサ１が適用される。具体的には、出力機構３３が磁性体１１である場合、この出力機構３３に変位部１２が設けられる。出力機構３３が非磁性体１３である場合、この出力機構３３に対して磁性体１１で構成される変位部１２が設けられる。この出力機構３３の周面又は端面に対向する位置にセンサ部２０が固定され、センサ部２０が出力機構３３の回転角度を検出する。
　例えば、エンジンの排気ガスを吸気側へ再循環させるＥＧＲ（Ｅｘｈａｕｓｔ　Ｇａｓ　Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ）システムにおいて、回転式アクチュエータ３０が、再循環量を調整するＥＧＲバルブを作動させるＥＧＲアクチュエータとして用いられる場合、出力機構３３にＥＧＲバルブが連結される。出力機構３３の回転に伴い、ＥＧＲバルブが開閉する。この例において、回転式アクチュエータ３０は、変位センサ１が検出する出力機構３３の回転角度を用いてＥＧＲバルブの開弁量を調整する。
　なお、回転式アクチュエータ３０は、ＥＧＲアクチュエータとして用いられる他、可変容量（ＶＧ：Ｖａｒｉａｂｌｅ　Ｇｅｏｍｅｔｒｙ）ターボチャージャが有するタービンの可変ベーンを作動させるＶＧアクチュエータ、又は、ターボチャージャの排気圧力を調整するＷＧ（Ｗａｓｔｅｇａｔｅ）バルブを作動させるＷＧアクチュエータ等として用いられてもよい。
　また、実施の形態１及び実施の形態２に係る変位センサ１は、例えば、ブラシレスモータが有するロータの回転角度を検出するために用いられてもよい。
　図２３は、実施の形態４に係る変位センサ１を適用した直動式アクチュエータ４０の一例を説明する図である。直動式アクチュエータ４０は、モータ３１と、減速機構３２と、直動変換機構４１とを備える。図２２の例と同様に、モータ３１の回転駆動力は、減速機構３２に伝達され、減速機構３２により減速されて直動変換機構４１に伝達される。直動変換機構４１は、減速機構３２から伝達される減速後の回転駆動力を直動駆動力に変換する。この直動式アクチュエータ４０に対して、実施の形態３に係る変位センサ１が適用される。具体的には、直動変換機構４１の直動駆動力を受けて直線移動するアクチュエータ軸が移動体１０として構成される。アクチュエータ軸が磁性体１１である場合、このアクチュエータ軸に変位部１２が設けられる。アクチュエータ軸が非磁性体１３である場合、このアクチュエータ軸に対して磁性体１１で構成される変位部１２が設けられる。この移動体１０に対向する位置にセンサ部２０が固定され、センサ部２０がアクチュエータ軸の移動距離を検出する。
　直動式アクチュエータ４０が、ＥＧＲアクチュエータとして用いられる場合、直動変換機構４１のアクチュエータ軸にＥＧＲバルブが連結される。アクチュエータ軸の直線移動に伴い、ＥＧＲバルブが開閉する。この例において、直動式アクチュエータ４０は、変位センサ１が検出するアクチュエータ軸の移動距離を用いてＥＧＲバルブの開弁量を調整する。なお、直動式アクチュエータ４０は、ＥＧＲアクチュエータとして用いられる他、ＶＧアクチュエータ、又はＷＧアクチュエータ等として用いられてもよい。
　本発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、各実施の形態の任意の構成要素の変形、又は各実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
　この発明に係る変位センサは、移動体の回転角度又は移動距離を検出するようにしたので、モータ及びアクチュエータ等に用いる変位センサに適している。
　１　変位センサ、１０　移動体、１１　磁性体、１２　変位部、１３　非磁性体、２０　センサ部、２１　マグネット、２１Ｎ　Ｎ極、２１Ｓ　Ｓ極、２２　ホールセンサ、２３　保持部、３０　回転式アクチュエータ、３１　モータ、３２　減速機構、３３　出力機構、４０　直動式アクチュエータ、４１　直動変換機構、Ｘ　回転軸。

Claims (12)

  1. 　移動体と、
    　前記移動体と対向する位置に固定され、マグネットとホールセンサが一体になったセンサ部とを備え、
    　前記移動体は、前記移動体の移動距離に比例して、前記センサ部までの距離が変化する形状の、磁性体で構成された変位部を有することを特徴とする変位センサ。
  2. 　前記移動体は、周面が前記センサ部に対向する円柱形状であって回転し、
    　前記変位部は、前記移動体の前記周面に設けられ、前記移動体の回転角度に比例して、前記移動体の軸方向における前記センサ部までの距離が変化する形状であることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
  3. 　前記変位部は、前記移動体の前記周面に設けられた凸形状又は凹形状であることを特徴とする請求項２記載の変位センサ。
  4. 　前記変位部は、前記移動体の前記周面の全周又は一部に設けられていることを特徴とする請求項３記載の変位センサ。
  5. 　前記移動体は、端面が前記センサ部に対向する円柱形状であって回転し、
    　前記変位部は、前記移動体の前記端面に設けられ、前記移動体の回転角度に比例して、前記移動体の径方向における前記センサ部までの距離が変化する形状であることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
  6. 　前記変位部は、円柱形状の前記移動体の端面に設けられた凸形状又は凹形状であることを特徴とする請求項５記載の変位センサ。
  7. 　前記変位部は、前記移動体の前記端面において円形状又は円弧形状をなすことを特徴とする請求項６記載の変位センサ。
  8. 　前記移動体は、平板面が前記センサ部に対向する平板形状であって直線移動し、
    　前記変位部は、前記移動体の前記平板面に設けられ、前記移動体の移動距離に比例して、前記直線移動の方向に直交する方向における前記センサ部までの距離が変化する形状であることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
  9. 　前記変位部は、前記移動体の前記平板面に設けられた凸形状又は凹形状であることを特徴とする請求項８記載の変位センサ。
  10. 　前記移動体は、非磁性体で構成され、前記変位部を構成する前記磁性体は、前記非磁性体に固定されていることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
  11. 　請求項１記載の変位センサを備えたモータ。
  12. 　請求項１記載の変位センサを備えたアクチュエータ。
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