WO2020241488A1 - Dispositif de chauffage et procédé de chauffage - Google Patents

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WO2020241488A1
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利彰 神吉
貴大 木邊
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株式会社九州日昌
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Abstract

[Problème] Fournir un dispositif de chauffage et un procédé de chauffage avec lesquels on peut obtenir une uniformité de répartition de la température dans le sens de la profondeur d'un dispositif de chauffage à étages multiples. [Solution] Dispositif de chauffage (100) caractérisé en ce qu'il comprend : une pluralité de corps de paroi de chauffe qui sont érigés de façon à s'opposer l'un à l'autre avec une distance entre eux ; une pluralité de moyens de production de chaleur (11) disposés respectivement sur la pluralité de corps de paroi chauffante (10) ; et une pluralité d'éléments métalliques de rayonnement de chaleur (12) qui sont disposés espacés d'une manière de type étagère dans le sens vertical dans des régions entre les corps de paroi chauffante opposés (10), et qui conduisent la chaleur à partir des corps de paroi chauffante. Ce dispositif de chauffage est également caractérisé en ce que : la pluralité de corps de paroi chauffante (10) et la pluralité d'éléments de rayonnement de chaleur (12) définissent, dans le sens vertical, une pluralité d'espaces de réception (14) destinés à recevoir respectivement des objets (13) à chauffer ; le sommet et le fond de chaque espace de la pluralité d'espaces de réception (14) sont définis par les éléments de rayonnement de chaleur opposés (12) ; et le moyen de génération de chaleur (11) est disposé selon une densité plus élevée dans une section périphérique par rapport à une section centrale, dans le sens de la profondeur des corps de paroi chauffante.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS488653B1 (fr) * 1969-05-31 1973-03-16
JP3066387U (ja) * 1999-08-05 2000-02-18 昭和鉄工株式会社 多段型ガラス基板焼成炉
JP2003245591A (ja) * 2001-12-03 2003-09-02 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 被膜形成装置、被膜形成方法および基板用トレイ
JP2005055152A (ja) * 2003-08-07 2005-03-03 Kyushu Nissho:Kk 加熱装置
JP2007173481A (ja) * 2005-12-21 2007-07-05 Kyushu Nissho:Kk 加熱装置
JP2011528501A (ja) * 2008-07-16 2011-11-17 株式会社テラセミコン バッチ式熱処理装置及び該装置に適用されるヒータ
JP6388041B2 (ja) * 2017-01-27 2018-09-12 株式会社九州日昌 加熱装置および加熱方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS488653B1 (fr) * 1969-05-31 1973-03-16
JP3066387U (ja) * 1999-08-05 2000-02-18 昭和鉄工株式会社 多段型ガラス基板焼成炉
JP2003245591A (ja) * 2001-12-03 2003-09-02 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 被膜形成装置、被膜形成方法および基板用トレイ
JP2005055152A (ja) * 2003-08-07 2005-03-03 Kyushu Nissho:Kk 加熱装置
JP2007173481A (ja) * 2005-12-21 2007-07-05 Kyushu Nissho:Kk 加熱装置
JP2011528501A (ja) * 2008-07-16 2011-11-17 株式会社テラセミコン バッチ式熱処理装置及び該装置に適用されるヒータ
JP6388041B2 (ja) * 2017-01-27 2018-09-12 株式会社九州日昌 加熱装置および加熱方法

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