WO2020217508A1

WO2020217508A1 - センサ

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Publication number: WO2020217508A1
Application number: PCT/JP2019/018107
Authority: WO
Inventors: 和彦櫻井; 原田　昌樹
Original assignee: ナブテスコ株式会社
Priority date: 2019-04-26
Filing date: 2019-04-26
Publication date: 2020-10-29
Also published as: US20220178857A1; EP3961201A4; CN113728225A; EP3961201A1; KR20220005467A; CN113728225B

Abstract

センサ５は、一対の電極と、一対の電極の間に設けられ、導体粒子が集積されることにより一対の電極間の電気抵抗を変化させる検知エリアとを含む複数の検知ユニットと、少なくとも２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に検知信号を出力する検知部５０と、を備える。

Description

センサ

　本発明は、センサに関する。

　減速機等の機械装置は、歯車等の機械部品の損傷を抑制するために、潤滑油が貯められたハウジング内に収容さる。このような機械装置の運転時に機械部品が摩耗すると、摩耗粉が潤滑油内に混入する。この摩耗粉は、例えば、鉄粉等の導体物質である。機械部品の摩耗が進んで故障率曲線（バスタブ曲線）における摩耗故障期に入ると、潤滑油内に混入したの摩耗粉の量が増加する。このため、潤滑油内の摩耗粉の量を検知するセンサにより、機械部品の予防保全を的確に行うことができる。

　このようなセンサとして、例えば特許文献１には、自動車のトランスミッション等に装着され、オイル容器内のオイルの劣化や、オイルで潤滑される機械部品の摩擦程度などをチェックするオイルチェックセンサが開示されている。このセンサは、一対の電極と、オイル中に含まれる鉄粉等を吸着する磁石とを備えており、吸着された導体物質によって変化する一対の電極間の抵抗値に基づいて、オイル中の導体物質の量を検知する。

特開２００２－２８６６９７号公報

　ところで、機械装置の製造時には、切削加工等によって発生した大粒子径の異物（例えば、切粉等）が当該機械装置の構成部材に付着し、潤滑油内に混入する可能性がある。このような大粒子径の異物がセンサに付着すると、摩耗粉がほとんど発生してなくとも一対の電極間が短絡する。このように、摩耗粉の量を検知するセンサにおいては、摩耗粉の量が少なくても、予期せずにセンサが作動する場合がある。

　本発明の目的の一つは、異物の混入による予期しない作動を抑制することが可能なセンサを提供することである。本発明のこれ以外の目的は、明細書全体の記載を通じて明らかにされる。

　本発明の一実施形態に係るセンサは、一対の電極と、一対の電極の間に設けられ導体粒子が集積されることにより一対の電極間の電気抵抗を変化させる検知エリアと、を含む複数の検知ユニットと、少なくとも２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に検知信号を出力する検知部と、を備える。

　本発明の一実施形態において、複数の検知ユニットは、第１の検知ユニット及び第２の検知ユニットを含み、第１の検知ユニットは、第１の電極と、第２の電極と、第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた第１の検知エリアとによって構成され、第２の検知ユニットは、第１の電極と、第３の電極と、第１の電極と第３の電極との間に設けられた第２の検知エリアとによって構成されてもよい。

　本発明の一実施形態において、複数の検知ユニットは、第３の検知ユニット及び第４の検知ユニットを含み、第３の検知ユニットは、第４の電極と、第５の電極と、第４の電極と第５の電極との間に設けられた第３の検知エリアとによって構成され、第４の検知ユニットは、第４の電極と、第６の電極と、第４の電極と第６の電極との間に設けられた第４の検知エリアとによって構成されてもよい。

　本発明の一実施形態において、複数の検知ユニットは、互いに直列に接続されていてもよい。

　本発明の一実施形態において、複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されていてもよい。

　本発明の一実施形態において、複数の検知ユニットの各々は、一対の電極間に微電流を流すための抵抗体を含んでいてもよい。

　本発明の一実施形態において、センサは、複数の検知ユニットに電圧の印加する電源を含む電圧印加制御部と、検出信号の出力を検出する信号検出部と、検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する記憶部と、を備え、電源印加制御部は、検知信号の出力が記憶部に記憶されている間、電源による電圧の印加を遮断してもよい。

　本発明の一実施形態に係るセンサ配列は、上記のセンサを複数備え、センサのそれぞれは、互いに異なる検出位置に配置されてもよい。

　本発明によれは、異物の混入による予期しない作動を抑制することが可能なセンサが提供される。

本発明の一実施形態に係るセンサを備える機構の一例を示す断面図である。本発明の一実施形態に係るセンサの上面図及び断面図である。本発明の一実施形態に係るセンサの接続態様を示す概略図である。本発明の一実施形態に係るセンサの接続態様を示す概略図である。本発明の一実施形態に係るセンサの接続態様を示す概略図である。本発明の一実施形態に係るセンサの接続態様を示す概略図である。本発明の一実施形態に係るセンサの上面図及び断面図である。本発明の一実施形態に係るセンサを備える信号処理回路の概略図である。本発明の一実施形態に係るセンサを備える信号処理回路の概略図である。

　以下、適宜図面を参照し、本発明の様々な実施形態を説明する。なお、複数の図面において共通する構成要素には当該複数の図面を通じて同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない点に留意されたい。

　図１は、本発明の一実施形態に係るセンサ５を備える機構１の一例を示す断面図である。機構１は、例えばロボットアーム等の可動部であり、減速機２と、入力側に設けられたフランジ３と、サーボモータ４と、出力側の装置Ａ１と、を備えている。

　減速機２は、フランジ３に取り付けられたケース４１と、サーボモータ４の出力軸４２に接続された入力軸４３と、出力側の装置Ａ１に接続された出力軸２４とを備えている。入力軸４３及び出力軸４４は、ケース４１に対して軸ＡＸを中心として回転可能に支持されている。サーボモータ４の出力は、入力軸４３を介して減速機２に入力され、減速機２によって減速された後、出力軸４４を介して出力側の装置Ａ１に伝達される。これにより、出力側の装置Ａ１とフランジ３とは相対回転可能となっている。

　フランジ３は筒状の部材であり、減速機２の少なくとも一部を収容する。また、フランジ３には、サーボモータ４が取り付けられる。軸ＡＸに沿った方向におけるフランジ３の一端の開口部は減速機２によって塞がれ、他端の開口部はサーボモータ４によって塞がれている。これにより、フランジ３には、密閉された中空部（空間Ｓ）が形成されている。空間Ｓ内には潤滑油が収容されており、フランジ３はオイルバスとしても機能する。

　減速機２のケース４１内には、例えば歯車機構が収容されている。ケース４１内の空間は、フランジ３内の空間Ｓと連続している。減速機２が作動すると、ケース４１内の歯車機構の回転に伴い、ケース４１内の空間とフランジ１０内の空間Ｓとの間で潤滑油の循環が生じる。この潤滑油の循環により、減速機２の内部で発生した摩耗粉等の導体物質がフランジ３内の空間Ｓに排出される。

　空間Ｓ内には、潤滑油内に含まれる導体物質の量を検知するためのセンサ５が取り付けられている。センサ５は、例えば支持部材４５を介してフランジ３に固定される。センサ５は、磁石によって潤滑油内に含まれる導体物質を一対の電極間に集積させ、一対の電極間の電気抵抗の変化に基づいて潤滑油内の導体物質の量をを検知する。センサ５が配置される位置は、例えばケース４１内でもよく、潤滑油が収容された空間内であれば機構１内の任意の場所に配置することができる。

　次に、図２を参照して、センサ５の構造について詳細に説明する。図２は、本発明の一実施形態におけるセンサ５の構成を示す図である。図２は、センサ５の上面図、及び当該上面図のＡ－Ａ線に沿った断面を示されている。

　図２に示されるように、センサ５は、略円柱状の外形を有しており、複数の検知ユニットと、当該検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する検知部５０（図１参照）とを備えている。それぞれの検知ユニットは、一対の電極と、導体粒子が集積されることにより一対の電極間の電気抵抗を変化させる検知エリアとを含む。より具体的に、センサ５は、中心付近の第１の電極（中心電極）６と、外側に位置する第２の電極（外側電極）７と、第３の電極（外側電極）８と、中心付近の第４の電極（中心電極）９と、外側に位置する第５の電極（外側電極）１０と、第６の電極（外側電極）１１と、磁石４０と、締結部材１２と、樹脂材１３とを備えている。図２の断面図に示されるように、中心電極６、９は、外側電極７、８、１０、１１よりも内側に間隔を空けて形成されている。これにより、中心電極６、９と、外側電極７、８、１０、１１との間において、樹脂材１３の上部に複数の検知エリアが形成されている。

　図示の実施形態では、センサ５は４つの検知ユニットを有しており、樹脂材１３の上部には第１の検知エリアＧＡ１、第２の検知エリアＧＡ２、第３の検知エリアＧＡ３、及び第４の検知エリアＧＡ４の４つの検知エリアが形成されている。第１の検知ユニットは、第１の電極６と、第２の電極７と、第１の電極６と第２の電極７との間に設けられた第１の検知エリアＧＡ１とによって構成されている。第２の検知ユニットは、第１の電極６と、第３の電極８と、第１の電極６と第３の電極８との間に設けられた第２の検知エリアＧＡ２とによって構成されている。第３の検知ユニットは、第４の電極９と、第５の電極１０と、第４の電極９と第５の電極１０との間に設けられた第３の検知エリアＧＡ３とによって構成されている。第４の検知ユニットは、第４の電極９と、第６の電極１１と、第４の電極９と第６の電極１１との間に設けられた第４の検知エリアＧＡ４とによって構成されている。なお、磁石４０を用いず、中心電極６を、当該磁石と電極とを兼ねるように構成してもよい。

　ここで、電極は、例えば、鉄やフェライトコア、ケイ素鋼等の導電性を有する磁性材料によって形成された磁性体の部材である。これらの電極の間には、非磁性体（絶縁体）である樹脂材１３が配置されている。このようにして、各電極及び磁石４０は、これらの少なくとも一部が、当該樹脂材の中央領域に埋め込まれるようにして形成される。なお、各電極や磁石４０の形状は、図示の例に限定されず、様々な形状を採用することができる。

　中心電極６、９、外側電極７、８、１０、１１の各電極には、出力ライン（図示しない）が接続されている。なお、中心電極６、９の下部等に磁石４０が取り付けられていてもよいし、そうでなくても構わない。また、磁石４０を取り付ける場合、当該磁石４０は磁石や電磁石で構成されるが、磁石を銅などの非磁性体で被覆しこの被覆層に信号線（図示しない）を接続するように構成してもよい。磁石４０により、各検出エリアＧＡ１，ＧＡ２，ＧＡ３，ＧＡ４の周辺には磁束線が形成される。これにより、潤滑油内に含まれる導体物質は、各検出エリアＧＡ１，ＧＡ２，ＧＡ３，ＧＡ４の周辺に集積される。

　センサ５は、その抵抗値をモニタして、導体物質の電極間への集積による抵抗値の変動に基づき、機械部品の故障予知を行うセンサ駆動回路（図示しない）を含む検知部５０と接続されている。一定量を超える導体物質が検知エリアに集積されると、電圧が印加された電極６及び９と、電極７、８、１０、１１との間の少なくともいずれか（すなわち、何れかの検出ユニット）の電気抵抗が低下して（すなわち短絡して）、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５０のセンサ駆動回路は、この電気抵抗の変化を検知することで、機械部品の故障予知を可能とする。また、電気抵抗の低下には、非通電と電通によるオンオフ信号も含まれ、非通電と通電の２つの状態で検知（以下、「デジタル検知」と言う）するようにしてもよい。

　センサ駆動回路は、有線又は無線により、マニピュレータ等の上位制御装置に接続されている。図１の回路基板４３は、出力ラインの出力（センサ４０Ａの出力）を上位制御装置に常時送信してもよく、また、省電力化のため、上位制御装置に間欠的（所定の時間間隔毎）に送信してもよい。

　上位制御装置は、回路基板４３より受け取った出力ラインの出力レベルの変化を検知すると、所定の報知手段（表示装置や音声出力装置）により、例えば、減速機２のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。

　次に、図３を参照して、本発明の一実施形態におけるセンサ５の接続態様につき説明する。図示のように、外側に位置する第５の電極（外側電極）１０は、接続線１５により検出回路１７と接続され、外側に位置する第２の電極（外側電極）７は、接続線１６により検出回路１７と接続される。また、図示のように、第３の電極（外側電極）８と、第６の電極（外側電極）１１とは接続線１４により接続される。このようにして、第５の電極（外側電極）１０、中心付近の第４の電極（中心電極）９、第６の電極（外側電極）１１、第３の電極（外側電極）８、中心付近の第１の電極（中心電極）６、第２の電極（外側電極）７の順に、４回路の論理積を採るよう構成することができる。このように構成することで、リード線の本数を２本に減らすことができる。中心付近の第１の電極（中心電極）６と、中心付近の第４の電極（中心電極）９とが一体の場合、外側電極７、８、１０、１１の各電極に合わせて５本のリード線が必要となるが、上記構成により、リード線の本数を大幅に低減することができる。

　図３に示す構成では、第２の電極７と第５の電極１０との間に電圧が印加され、第３の電極８と第６の電極１１とが短絡されている。これにより、中心付近の第１の電極（中心電極）６と第２の電極（外側電極）７との間の第１の検知エリアＧＡ１、中心付近の第１の電極（中心電極）６と第３の電極（外側電極）８との間の第２の検知エリアＧＡ２、中心付近の第４の電極（中心電極）９と第５の電極（外側電極）１０との間の第３の検知エリアＧＡ３、中心付近の第４の電極（中心電極）９と第６の電極（外側電極）１１との間の第４の検知エリアＧＡ４が直列に回路構成された状態となっている。このように複数の検知ユニットが互いに直列に接続されることにより、切粉などが潤滑油内に残存した場合などおいても、当該切粉が全ての検知エリアに付着するといったことがない限り、検出回路による誤信号の送出を回避することができるので、結果として異物の混入によるセンサ５の予期しない作動を抑制することが可能である。

　次に、図４に、複数のセンサにより構成されるセンサ配列（センサ群）を設けた場合について説明する。複数のセンサ５のそれぞれは、互いに異なる検知位置に配置される。図示の実施形態では、２つのセンサ５により構成されるセンサ配列（センサ群）が設けられ、２つの検知位置における導体物質の量をそれぞれのセンサ５により検知するよう構成される。検知位置及びセンサ５の数はこれに限られず、適宜変更しても構わない。例えば、潤滑油が収容される空間Ｓ（図１参照）の体積がある程度大きい場合、１つのセンサ５で検知するのが難しい場合もあるが、複数の検知位置を設定し、検知位置毎に１つ又は複数のセンサを配置することで、検知の物理的位置に的確に対応することが可能となる。

　また、このような構成では、、例えば図示のように、２つのセンサ５を直列に接続して回路を構成することができる。２つのセンサ５が直列に構成されているため、一方の検知エリアにおけるセンサ５に導体物質が付着しただけでは回路に電流が流れることはなく、他方の検知エリアにおけるセンサ５にも導体物質が付着した場合に初めて、回路に電流が流れることとなる。このようにして、本発明の一実施形態におけるセンサ配列は、１つのセンサ５による故障予知の誤検出があった場合でも、故障予知に関する出力がなされることを確実に防止できる。

　次に、図５を参照して、本発明の一実施形態におけるセンサ５の接続態様につき説明する。図示のように、図３で説明した複数の検知エリアの内、第２の電極７、第３の電極８、第５の電極１０が、それぞれ接続線２４、接続線２５、接続線２６により並列に接続され、これらと第６の電極１１が接続線２８により直列に接続され、電圧源を含む検出回路２９に接続されている。

　図５に示すように、４つの外側電極（すなわち、第２の電極７、第３の電極８、第５の電極１０、及び第６の電極１１）のうち、１つを多重化（Ｇｎｄ）する構成とし、残りの３つの外側電極を信号として使用することができる。第１の電極６と第４の電極９とは、導体粒子が集積されることによって導通する。中央の円形電極を介して２つの部分を２直列とし、その一方を３並列させることで、電圧を半分程度に低減させることができると共に、断線に対するロバスト性の向上にもつながる。

　次に、図６を参照して、他の実施形態におけるセンサ５の接続態様につき説明する。図６に示されるセンサ５は、図３に示されるセンサと同様の構成を有すが、図３とは異なる接続方法によって検出回路と接続されている。得られる図６に示されるセンサ５では、第２の電極７、第３の電極８、第５の電極１０、第６の電極１１が、接続線１８、接続線１９、接続線２０、接続線２１によりそれぞれ並列に接続され、これらが電圧源を含む検出回路２３に接続されている。

　図６に示すように、４つの外側電極すなわち、第２の電極７、第３の電極８、第５の電極１０、及び第６の電極１１）を並列に接続することで、当該４つの外側電極を直列に接続した場合に比べ、電圧を４分の１程度に低減できると共に、Ｇｎｄ線を多重化することで、断線に対するロバスト性を向上させることができる。

　次に、図７に本発明の他の実施形態のセンサ５の上面図、Ａ－Ａ断面図を示す。

　本発明の他の実施形態におけるセンサ５は、図７に示されるように、中心付近の第１の電極（中心電極）６、外側に位置する第２の電極（外側電極）７、第３の電極（外側電極）８、中心付近の第４の電極（中心電極）９、外側に位置する第５の電極（外側電極）１０、第６の電極（外側電極）１１、磁石４０、締結部材１２及び樹脂材１３を備えている。

　図示の実施形態では、第１の電極（中心電極）６と、第２の電極（外側電極）７との間、第１の電極（中心電極）６と、第３の電極（外側電極）８との間、第４の電極（中心電極）９と、第５の電極（外側電極）１０との間、第４の電極（中心電極）９と、第６の電極（側電極）１１との間で、樹脂材１３の上に抵抗体３０がそれぞれ配置されている。すなわち、センサ５の複数の検知ユニットのそれぞれは、当該検知ユニットを構成する一対の電極間に微電流を流すため抵抗体３０を更に有している。図示の抵抗体３０の配置は一例であり、当該抵抗体３０の形状、構造、配置場所、配置態様等に特段の限定はなく、適宜変更可能である。

　このように、センサ５の検知エリアＧＡ１，ＧＡ２，ＧＡ３，ＧＡ４のそれぞれに大きな抵抗を持つ抵抗体３０を接続することにより、集積された導体物質が少量の場合でも微小な電流が抵抗体３０を介して一対の電極間に流れる。このような構成においては、仮に銅線（接続線など）が破断した際に微小電流が流れなくなるため、回路の断線の検出が可能となる。なお、当該抵抗体３０の抵抗Ｒは、故障検出時のギャップ部分の抵抗値Ωよりも十分大きくなるように構成される。また、減速機の故障により、導体物質が集まった際には、検知エリアの抵抗値が低下し、大きな電流値の電流が流れるため、電流値に閾値を設け、故障予知を行うことができる。上記構成により、回路の断線と故障予知の双方を確実に行うことができる。

　次に、本発明の一実施形態におけるセンサは、閾値を超えると導体物質が付着しセンサがＯＮの状態となると、常に電流が流れる構造となり、エネルギーの浪費となりかねない。また、フォトカブラ（ＰＣ）の寿命は通電している時間と相関関係にあるため、ＰＣの寿命にも影響を与え、回路の破損などの問題を発生させることが考えられる。

　図８は、そのような問題を防止するための信号処理回路の構成を説明する図である。図８に示すように、センサ５には、接続線により、電源３２を備える電源印加制御部３１が接続され、その後、電圧検出部３３、記憶部３４、出力部３５に接続される。記憶部３４は、接続線により電源印加制御部３１に接続される。

　図示の電源印加制御部３１は、センサ５の電極間に電圧の印加する電源３２を含み、当該電源による電圧の印加を遮断することができるように構成される。電圧検出部３３は、電源３２による電圧の印加を検出し、検出信号を出力する。記憶部３４は、信号検出部３３により検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する。図示の記憶部３４は、ＲＳフリップフロップによる状態記憶を示すが、マイコンのメモリ等を含む集積型デバイスであってもよいし、その他の態様であっても構わない。出力部３５は、記憶部３４において検知信号が記憶されると、該検知信号がなされたことを出力し、故障予知の警報のトリガーを発生させる。

　本発明の一実施形態におけるセンサ５は、閾値を超える導体物質が付着すると、電源３２との間で通電（ＯＮの状態）し、これを検出した検出部３３は、検出信号を記憶部３４へ出力し、当該信号は記憶部３４に記憶される。記憶部３４において当該信号が記憶されると、Ｈｉの状態となり、その結果、電源印加制御部３１もＨｉの状態となり、電圧の印加が遮断され、ＰＣ１がＯＦＦの状態となる。そうすると、当該センサ５への通電がＯＦＦの状態となるため、検出部３３の記憶部３４への出力は変化するが、記憶部３４の回路により当該記憶部３４の出力が保持されるように構成されるため、出力部は、引き続き故障予知の警報のトリガーを発生させる。

　このようにして、回路に電流が流れ続けることを防止し、フォトカブラ（ＰＣ）の寿命を延ばすことが可能となり、回路の破損を回避することができる。

　次に、図９は、信号処理回路のその他の構成を説明する図である。図９に示すように、センサ５には、接続線により、電源３２を備える電源印加制御部３１が接続され、その後、電圧検出部３３、記憶部３４、出力部３５に接続される。記憶部３４は、接続線により電源印加制御部３１に接続される。図８の場合と異なり、記憶部３４と電源印加制御部３１との間に、タイマ回路３６が接続されている。

　図示の電源印加制御部３１は、センサ５の電極間に電圧の印加する電源３２を含み、当該電源による電圧の印加を遮断することができるように構成される。電圧検出部３３は、電源３２による電圧の印加を検出し、検出信号を出力する。信記憶部３４は、信号検出部３３により検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する。図示の記憶部３４は、ＲＳフリップフロップによる状態記憶を示すが、マイコンのメモリ等を含む集積型デバイスであってもよいし、その他の態様であっても構わない。出力部３５は、記憶部３４において検知信号が記憶されると、該検知信号がなされたことを出力し、故障予知の警報のトリガーを発生させる。

　本発明の一実施形態におけるセンサ５は、閾値を超える導体物質が付着すると、電源３２との間で通電（ＯＮの状態）し、これを検出した検出部３３は、検出信号を記憶部３４へ出力し、当該信号は記憶部３４に記憶される。しかし、通常導体物質は徐々に増加する傾向を示すため、センサ５に常に電圧を印加し監視を続けることは必ずしも必要なく、間欠的な監視でも故障の予知に有効である。

　図９の示す信号処理回路では、タイマ回路３６が付加され、一定時間間隔毎、若しくは定時刻毎に電圧を印加する。このようにして、常に回路に電流が流れ続けることを防止できるため、エネルギー消費を低減することが可能となる。

　本発明の実施形態は、上記に説明したものに限定されず、本発明の技術的思想の範囲において様々な変形が可能である。例えば、明細書中に例示的に明示される実施形態等又は自明な実施形態等を適宜組み合わせた内容も本願の実施形態に含まれる。

１　機構
２　減速機
３　フランジ部
４　サーボモータ
５　センサ
６　第１の電極（中心電極）
７　第２の電極（外側電極）
８　第３の電極（外側電極）
９　第４の電極（中心電極）
１０　第５の電極（外側電極）
１１　第６の電極（外側電極）
１２　ネジ部材
１３　樹脂
１４　接続線
１５　接続線
１６　接続線
１７　検出回路
１８　接続線
１９　接続線
２０　接続線
２１　接続線
２２　接続線
２３　検出回路
２４　接続線
２５　接続線
２６　接続線
２８　接続線
２９　検出回路
３０　抵抗体
３１　電源印加制御部
３２　電源
３３　電圧検出部
３４　信記憶部
３５　出力部
３６　タイマ回路
４０　磁石
４３　回路基板

Claims

　一対の電極と、前記一対の電極の間に設けられ導体粒子が集積されることにより前記一対の電極間の電気抵抗を変化させる検知エリアと、を含む複数の検知ユニットと、
　少なくとも２つ以上の前記検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に検知信号を出力する検知部と、を備えるセンサ。
　前記複数の検知ユニットは、第１の検知ユニット及び第２の検知ユニットを含み、
　前記第１の検知ユニットは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた第１の検知エリアとによって構成され、
　前記第２の検知ユニットは、前記第１の電極と、第３の電極と、前記第１の電極と前記第３の電極との間に設けられた第２の検知エリアとによって構成される、請求項１に記載のセンサ。
　前記複数の検知ユニットは、第３の検知ユニット及び第４の検知ユニットを含み、
　前記第３の検知ユニットは、第４の電極と、第５の電極と、前記第４の電極と前記第５の電極との間に設けられた第３の検知エリアとによって構成され、
　前記第４の検知ユニットは、前記第４の電極と、第６の電極と、前記第４の電極と前記第６の電極との間に設けられた第４の検知エリアとによって構成される、請求項２に記載のセンサ。
　前記複数の検知ユニットは、互いに直列に接続されている、請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ。
　前記複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている、請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ。
　前記複数の検知ユニットの各々は、前記一対の電極間に微電流を流すための抵抗体を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載のセンサ。
　前記複数の検知ユニットに電圧の印加する電源を含む電圧印加制御部と、
　前記検出信号の出力を検出する信号検出部と、
　前記検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する記憶部と、を備え、
　前記電源印加制御部は、前記検知信号の出力が記憶部に記憶されている間、前記電源による電圧の印加を遮断する、請求項１に記載のセンサ。
　請求項１～７の何れか一項に記載のセンサを複数備え、
　前記センサのそれぞれは、互いに異なる検出位置に配置される、センサ配列。