JP2019507880A - 導電性及び/又は分極性粒子を検出するセンサ、センサシステム、センサを作動させる方法、このタイプのセンサを製造する方法及びこのタイプのセンサの使用 - Google Patents
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Abstract
少なくとも一つの構造化された電極層(32,32)及び/又は一つの構造化された絶縁体(20,21)に、検出される粒子(30,30’)が到達できる少なくとも一つの開口(25,26,35,36)が形成されるように、第1のレベル(E1)の第1の構造化された絶縁体(20)、第2のレベル(E2)の第1の構造化された電極層(31)、第3のレベル(E3)の第2の構造化された絶縁体(21)及び第4のレベル(E4)の第2の構造化された電極層(32)が基板(11)の少なくとも一方の側に直接的又は間接的に配置され、
電極層(31,32)がそれぞれ、少なくとも二つの電極(40,40’,41,41’)、少なくとも二つの導体トラック(38,39)又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの導体トラックの組合せを有することを特徴とするセンサ(10)に関する。
【選択図】図1
Description
定電流に対する電圧の増加率を決定すること、及び/又は、
電圧を印加するとともに充電電流を決定すること、及び/又は、
交流電圧を印加するとともに電流波形を測定すること、及び/又は、
LC共振回路によって共振周波数を決定することによって行うことができる。
11 基板
12 基板の第1の側
13 導電層
14 導電層の第1の側
15 通路
20 第1の絶縁体
21 第2の絶縁体
22 第3の絶縁体
23 第4の絶縁体
25 第1の絶縁体の開口
26 第2の絶縁体の開口
27 第3の絶縁体の開口
28 第4の絶縁体の開口
30,30’ 煤粒子
31 第1の電極層
32 第2の電極層
33 第3の電極層
35 第1の電極層の開口
36 第2の電極層の開口
37 第3の電極層の開口
38 第1の導体トラック
39 第2の導体トラック
40,40’ 第2のレベルの第1の電極/第2の電極
41,41’ 第4のレベルの第1の電極/第2の電極
42,42’ 第6のレベルの第1の電極/第2の電極
90 アンダーカット
a 流れの向き
B1 通路の幅
B2 通路の幅
d 絶縁層の厚さ
x 電極の選択軸
α 電極面の法線と流れの向きとの間の角度
β 選択軸と流れの向きとの間の角度
E1 第1のレベル
E2 第2のレベル
E3 第3のレベル
E4 第4のレベル
E5 第5のレベル
E6 第6のレベル
E7 第7のレベル
Claims (18)
- 導電性及び/又は分極性粒子を検出する、特に、煤粒子を検出するセンサ(10)であって、基板(11)を備えるセンサ(10)において、
少なくとも一つの構造化された電極層(32,32)及び/又は一つの構造化された絶縁体(20,21)に、検出される粒子(30,30’)が到達できる少なくとも一つの開口(25,26,35,36)が形成されるように、第1のレベル(E1)の第1の構造化された絶縁体(20)、第2のレベル(E2)の第1の構造化された電極層(31)、第3のレベル(E3)の第2の構造化された絶縁体(21)及び第4のレベル(E4)の第2の構造化された電極層(32)が前記基板(11)の少なくとも一方の側に直接的又は間接的に配置され、
電極層(31,32)はそれぞれ、少なくとも二つの電極(40,40’,41,41’)、少なくとも二つの導体トラック(38,39)又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの導体トラックの組合せを有することを特徴とするセンサ(10)。 - 少なくとも一つの電極層(31,32,33)は、少なくとも二つの交互に配置された電極(40,40’,41,41’,42,42’)、少なくとも一部の領域において交互に配置された若しくは互いに平行に延在する少なくとも二つの導体トラック(38,39)又は交互に配置された若しくは織り交ぜられた少なくとも一つの電極と少なくとも一つの導体トラックの組合せを有することを特徴とする請求項1に記載のセンサ(10)。
- 検出される粒子(30,30’)が到達できる少なくとも二つのレベル(E1,E2,E3,E4)の重複する開口(25,26,27,28,36,36,37)を、電極(40,40’,41,41’,42,42’)及び/又は導体トラック(38,39)の間に形成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のセンサ(10)。
- 構造化された絶縁体(20,21,22,23)は、少なくとも一部の区域の上に配置される構造化された電極層(31,32,33)の構造、特に、少なくとも一部の区域の上に配置される電極(40,40’,41,41’,42,42’)及び/又は導体トラック(38,39)の構造を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 特に開口(25,26,27,28,35,36,37)の領域の前記基板(11)を被覆する導電層(13)、特に、平面金属層を、前記基板(11)と第1の構造化された絶縁体(20)の間に形成したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 少なくとも一つの導体トラック、特に、加熱導体を、前記基板(11)と第1の構造化された絶縁体(20)の間に及び/又は前記基板(11)の他の側に及び/又は偶数番号のレベル(E2,E4,E6)で形成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 少なくとも一つの電極(40,40’,41,41’,42,42’)及び/又は少なくとも一つの導体トラック(38,39)を、導電材料、特に、金属又は合金、特に、高温耐熱金属又は高温耐熱合金、特に好適には、白金族元素の群からなる金属又は白金族元素の群からなる金属の合金から形成したことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 特にセラミック及び/又はガラス及び/又は金属酸化物又はその組合せから形成されている少なくとも一つの被覆層を、第1の構造化された絶縁体(20)から見て外方に向く最上部の構造化された電極層(33)の側に形成したことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 少なくとも一つの開口(15,15’)を止まり穴として形成したことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 少なくとも一つの開口(15,15’)を線形形状、曲折形状、格子形状又は螺旋形状に形成したことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 少なくとも一つの開口(15,15’)を長手方向の窪みとして形成したことを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載のセンサ(10)。
- 少なくとも一つの請求項1〜11のいずれか一項に記載のセンサ(10)と、前記センサ(10)を測定モード及び/又はクリーニングモード及び/又は監視モードで動作できるように設計された少なくとも一つの回路、特に、少なくとも一つの制御回路と、を備えるセンサシステム。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載のセンサ(10)を制御する方法において、前記センサ(10)を測定モード及び/又はクリーニングモード及び/又は監視モードで動作させることを特徴とする方法。
- 前記測定モードにおいて、前記センサのレベルの電極及び/又は導体トラックの間の電気抵抗の変化及び/又は前記センサのレベルの電極及び/又は導体トラックの容量の変化を測定することを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 導電性及び/又は分極性粒子を検出する、特に、煤粒子(30,30’)を検出する請求項1〜11のいずれか一項に記載のセンサ(10)の使用。
- 粒子(30,30’)の流れ方向(a)は、構造化された電極層(31,32,33)の面(x,y)に直角とならないことを特徴とする請求項15に記載の使用。
- 最上部の構造化された電極層(33)の面(x,y)の法線(z)と粒子(30,30’)の流れ方向(a)の間の角度(α)は、少なくとも1°、好適には、少なくとも10°、特に好適には、少なくとも30°であることを特徴とする請求項15又は16に記載の使用。
- 粒子(30,30’)の流れ方向(a)と電極(40,40’,41,41’,42,42’)又は導体トラック(38,39)の選択軸(x)の間の角度(β)は、20°と90°の間であることを特徴とする請求項15〜17のいずれか一項に記載の使用。
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