WO2020194445A1 - 加工システム - Google Patents

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WO2020194445A1
WO2020194445A1 PCT/JP2019/012486 JP2019012486W WO2020194445A1 WO 2020194445 A1 WO2020194445 A1 WO 2020194445A1 JP 2019012486 W JP2019012486 W JP 2019012486W WO 2020194445 A1 WO2020194445 A1 WO 2020194445A1
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processing
stage
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壮史 松田
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株式会社ニコン
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency

Definitions

  • the present invention relates to, for example, the technical field of a processing system that performs a processing operation.
  • Patent Document 1 describes a processing system that performs a processing operation of forming a modeled object by melting a powdery material with an energy beam and then solidifying the melted material. In such a processing system, ensuring the safety of the processing system is a technical issue.
  • a support device for supporting an object, a processing device for supplying powder to the object to perform additional processing on the object, a power source for generating power, and the support device.
  • a power transmission member for transmitting the power to at least one of the processing apparatus and a through hole provided between the power source and at least a part of the processing apparatus to penetrate the power transmission member are formed.
  • a processing system including a partition member and a seal member that seals between the power transmission member and the partition member is provided.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of the processing system of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a system configuration diagram showing a system configuration of the processing system of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the first stage device in which a part of the partition member is omitted.
  • FIG. 4 is a perspective view showing the structure of the first stage device in which the description of a part of the partition member is not omitted.
  • FIG. 5 is a perspective view showing the structure of the second stage device in which a part of the partition member is omitted.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the structure of the second stage device in which the description of a part of the partition member is not omitted.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of the processing system of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a system configuration diagram showing a system configuration of the processing system of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the first stage device in which
  • FIGS. 11 (a) to 11 (e) is a cross-sectional view showing a state in which light is irradiated and a modeling material is supplied in a certain region on the work.
  • FIGS. 11 (a) to 11 (e) is a cross-sectional view showing a state in which light is irradiated and a modeling material is supplied in a certain region on the work.
  • FIG. 12 (a) to 12 (c) is a cross-sectional view showing a process of forming a three-dimensional structure.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing the structure of the processing system of the second embodiment.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing the structure of the power source included in the processing system of the second embodiment.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing the structure of the processing system of the third embodiment.
  • FIG. 16 is a system configuration diagram showing a system configuration of the processing system of the third embodiment.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view showing the structure of the processing system of the fourth embodiment.
  • an embodiment of the processing system will be described using the processing system SYS that performs additional processing on the work W, which is an example of an object.
  • an embodiment of the processing system will be described using the processing system SYS that performs additional processing based on the laser overlay welding method (LMD: Laser Metal Deposition).
  • LMD Laser Metal Deposition
  • the modeling material M supplied to the work W is melted by the processing light EL to form a three-dimensional structure ST integrated with or separable from the work W. It is an additional process to be performed.
  • the laser overlay welding method includes direct metal deposition, directed energy deposition, laser cladding, laser engineered net shaping, direct light fabrication, and laser consolidation.
  • Foundation, Shape Deposition Manufacturing, Wire-Feed Laser Deposition, Gas Through Wire, Laser Powder Fusion, Laser Metal Forming, Selective Laser Powder Remelting, Laser Direct -It may also be called casting, laser powder deposition, laser additive manufacturing, or laser rapid forming.
  • each of the X-axis direction and the Y-axis direction is a horizontal direction (that is, a predetermined direction in the horizontal plane), and the Z-axis direction is a vertical direction (that is, a direction orthogonal to the horizontal plane). Yes, in effect, in the vertical direction).
  • the rotation directions (in other words, the inclination direction) around the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis are referred to as the ⁇ X direction, the ⁇ Y direction, and the ⁇ Z direction, respectively.
  • the Z-axis direction may be the direction of gravity.
  • the XY plane may be horizontal.
  • machining system SYS1 Processing system SYS of the first embodiment
  • machining system SYS1 the machining system SYS of the first embodiment
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the processing system SYS1 of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a system configuration diagram showing an example of the system configuration of the processing system SYS1 of the first embodiment.
  • the processing system SYS1 can form a three-dimensional structure ST (that is, a three-dimensional object having a size in any of the three-dimensional directions and a three-dimensional object).
  • the processing system SYS1 can form the three-dimensional structure ST on the work W that is the basis for forming the three-dimensional structure ST.
  • This work W may be referred to as a base material or a pedestal.
  • the processing system SYS1 can form a three-dimensional structure ST by performing additional processing on the work W.
  • the machining system SYS1 can form the three-dimensional structure ST on the stage 31.
  • the processing system SYS1 puts the three-dimensional structure ST on the existing structure. It can be formed.
  • the processing system SYS1 may form a three-dimensional structure ST integrated with the existing structure.
  • the operation of forming the three-dimensional structure ST integrated with the existing structure can be regarded as equivalent to the operation of adding a new structure to the existing structure.
  • the existing structure may be, for example, a repair-required product having a defective portion.
  • the processing system SYS1 may form a three-dimensional structure in the repair-required product so as to fill the defective portion of the repair-required product.
  • the processing system SYS1 may form a three-dimensional structure ST separable from the existing structure.
  • FIG. 1 shows an example in which the work W is an existing structure held by the stage 31. Further, in the following, the description will proceed with reference to an example in which the work W is an existing structure held by the stage 31.
  • the processing system SYS1 can form the three-dimensional structure ST by the laser overlay welding method. That is, it can be said that the processing system SYS1 is a 3D printer that forms an object by using the laminated modeling technique.
  • the laminated modeling technique is also referred to as rapid prototyping, rapid manufacturing, or additive manufacturing.
  • the processing system SYS1 has a material supply device 1, a processing device 2, a stage device 3, a light source 4, and a gas supply device 5, as shown in FIGS. 1 and 2.
  • the housing 6 and the control device 7 are provided. At least a part of each of the processing device 2 and the stage device 3 is housed in the chamber space 63IN inside the housing 6.
  • the material supply device 1 supplies the modeling material M to the processing device 2.
  • the material supply device 1 corresponds to the required amount so that the modeling material M required per unit time for the processing device 2 to form the three-dimensional structure ST is supplied to the processing device 2. A desired amount of modeling material M is supplied.
  • the modeling material M is a material that can be melted by irradiation with a processing light EL having a predetermined intensity or higher.
  • a modeling material M for example, at least one of a metal material and a resin material can be used.
  • the modeling material M other materials different from the metal material and the resin material may be used.
  • the modeling material M is a powdery material. That is, the modeling material M is a powder.
  • the powder may contain a granular material in addition to the powdery material.
  • the modeling material M may contain, for example, a powder having a particle size within the range of 90 micrometers ⁇ 40 micrometers.
  • the average particle size of the powder constituting the modeling material M may be, for example, 75 micrometers or any other size.
  • the modeling material M does not have to be powder, and for example, a wire-shaped modeling material or a gaseous modeling material may be used.
  • the processing system SYS1 may process the modeling material M with an energy beam such as a charged particle beam to form a modeled object.
  • the processing device 2 forms the three-dimensional structure ST using the modeling material M supplied from the material supply device 1.
  • the processing apparatus 2 includes a processing head 21.
  • the processing head 21 includes an irradiation optical system 211 and a material nozzle (that is, a supply system for supplying the modeling material M) 212.
  • the processing head 21 is housed in the chamber space 63IN. However, at least a part of the processing head 21 may be arranged in the external space 64OUT, which is the space outside the housing 6.
  • the external space 64OUT may be a space accessible to the operator of the processing system SYS1.
  • the irradiation optical system 211 is an optical system (for example, a condensing optical system) for emitting the processed light EL from the injection unit 213. Specifically, the irradiation optical system 211 is optically connected to the light source 4 that emits the processed light EL via an optical transmission member (not shown) such as an optical fiber or a light pipe. The irradiation optical system 211 emits processed light EL propagating from the light source 4 via the optical transmission member. The irradiation optical system 211 emits the processing light EL so that the processing light EL advances in the chamber space 63IN.
  • an optical transmission member not shown
  • the irradiation optical system 211 emits processed light EL propagating from the light source 4 via the optical transmission member.
  • the irradiation optical system 211 emits the processing light EL so that the processing light EL advances in the chamber space 63IN.
  • the irradiation optical system 211 irradiates the processed light EL downward (that is, the ⁇ Z side) from the irradiation optical system 211.
  • a stage 31 is arranged below the irradiation optical system 211.
  • the irradiation optical system 211 irradiates the work W with the processing light EL.
  • the irradiation optical system 211 can irradiate the irradiation area EA set on the work W as the area where the processing light EL is irradiated (typically, the light is focused). ..
  • the state of the irradiation optical system 211 can be switched between a state in which the irradiation area EA is irradiated with the processing light EL and a state in which the irradiation area EA is not irradiated with the processing light EL under the control of the control device 7. ..
  • the direction of the processed light EL emitted from the irradiation optical system 211 is not limited to directly below (that is, coincident with the ⁇ Z axis direction), and is, for example, a direction inclined by a predetermined angle with respect to the Z axis. May be good.
  • the material nozzle 212 has a supply outlet 214 for supplying the modeling material M.
  • the material nozzle 212 supplies the modeling material M from the supply outlet 214 (for example, spraying, ejecting, or spraying).
  • the material nozzle 212 is physically connected to the material supply device 1 which is a supply source of the modeling material M via a pipe (not shown) or the like.
  • the material nozzle 212 supplies the modeling material M supplied from the material supply device 1 via the pipe.
  • the material nozzle 212 may pump the modeling material M supplied from the material supply device 1 via a pipe. That is, the modeling material M from the material supply device 1 and a gas for transportation (for example, an inert gas such as nitrogen or argon) may be mixed and pumped to the material nozzle 212 via a pipe.
  • a gas for transportation for example, an inert gas such as nitrogen or argon
  • the purge gas supplied from the gas supply device 5 may be used as the transport gas.
  • the material nozzle 212 is drawn in a tubular shape in FIG. 1, the shape of the material nozzle 212 is not limited to this shape.
  • the material nozzle 212 supplies the modeling material M toward the chamber space 63IN.
  • the material nozzle 212 supplies the modeling material M downward (that is, the ⁇ Z side) from the material nozzle 212.
  • a stage 31 is arranged below the material nozzle 212. When the work W is mounted on the stage 31, the material nozzle 212 supplies the modeling material M toward the work W.
  • the traveling direction of the modeling material M supplied from the material nozzle 212 is a direction inclined by a predetermined angle (an acute angle as an example) with respect to the Z-axis direction, but even if it is on the ⁇ Z side (that is, directly below). Good.
  • the material nozzle 212 is aligned with the irradiation optical system 211 so that the irradiation optical system 211 supplies the modeling material M toward the irradiation region EA on which the processing light EL is irradiated. That is, the material nozzle 212 and the irradiation region 212 are irradiated so that the supply region MA and the irradiation region EA set on the work W as the region for supplying the modeling material M coincide with (or at least partially overlap) the material nozzle 212.
  • the optical system 211 is aligned.
  • the material nozzle 212 may be aligned so as to supply the modeling material M to the molten pool MP formed by the processing light EL emitted from the irradiation optical system 211.
  • the stage device 3 includes a stage 31.
  • the stage 31 is housed in the chamber space 63IN.
  • the stage 31 can support the work W.
  • the state of "the stage 31 supporting the work W" here may mean a state in which the work W is directly or indirectly supported by the stage 31.
  • the stage 31 may be able to hold the work W. That is, the stage 31 may support the work W by holding the work W. Alternatively, the stage 31 does not have to be able to hold the work W.
  • the work W may be placed on the stage 31. That is, the stage 31 may support the work W placed on the stage 31. At this time, the work W may be mounted on the stage 31 without being clamped.
  • the "stage 31 supporting the work W" state in the present embodiment may also include a state in which the stage 31 holds the work W and a state in which the work W is placed on the stage 31.
  • the stage 31 may be referred to as a support device for supporting the work W, a mounting device on which the work W is placed, or a holding device for holding the work W. Since the stage 31 is housed in the chamber space 63IN, the work W supported by the stage 31 is also housed in the chamber space 63IN. Further, the stage 31 can release the held work W when the work W is held.
  • the irradiation optical system 211 described above irradiates the processed beam PL at least during a period in which the stage 31 supports the work W.
  • the material nozzle 212 described above supplies the modeling material M during at least a part of the period in which the stage 31 supports the work W.
  • a part of the modeling material M supplied by the material nozzle 212 may be scattered or spilled from the surface of the work W to the outside of the work W (for example, around the stage 31). Therefore, the processing system SYSA may be provided with a recovery device for recovering the scattered or spilled modeling material M around the stage 31.
  • the stage 31 may be provided with a mechanical chuck, a vacuum suction chuck, or the like in order to hold the work W.
  • the stage device 3 further includes a power source 32 and a power transmission member 33.
  • the power source 32 and the power transmission member 33 form a stage drive system for moving the stage 31 within the chamber space 63IN.
  • the power source 32 is a device (that is, a power generator) that generates power for moving the stage 31. Specifically, the power source 32 electrically generates power. That is, the power source 32 generates power by using a current supplied from a power source (not shown). In other words, the power source 32 generates power by converting a current supplied from a power source (not shown) into power. Generates power electrically.
  • An example of the power source 32 is an actuator such as a motor.
  • the power source 32 includes a portion that can be an ignition source (hereinafter, for simplification of description, the portion that can be an ignition source is simply referred to as an “ignition source”).
  • An example of an ignition source is a conductive portion (for example, a coil) to which an electric current is supplied. This is because the supply of the conductive portion to the coil causes electric sparks in the conductive portion and / or the conductive portion generates heat.
  • the power transmission member 33 is a device that transmits the power generated by the power source 32 to the stage 31. As a result, the stage 31 is moved by the power transmitted from the power source 32 via the power transmission member 33.
  • the power transmission member 33 non-electrically transmits the power generated by the power source 32 to the stage 31.
  • the power transmission member 33 may mechanically transmit the power generated by the power source 32 to the stage 31.
  • the power transmission member 33 may transmit the power generated by the power source 32 to the stage 31 by mechanically connecting the power source 32 and the stage 31.
  • the power transmission member 33 does not include an ignition source.
  • the power transmission member 33 may include a member capable of mechanically transmitting the power.
  • a member capable of mechanically transmitting power a screw (for example, at least one of a trapezoidal screw, a ball screw, a pulley screw and a triangular screw), a gear (for example, a spur gear, an internal gear combined with an external gear) , Worm gears combined with worms, bevel gears, rack and pinions, at least one of screw and hassle gears), belts (eg spur belts, round belts, toothed belts), pulleys, wire ropes, chains, At least one of a shaft and a pulley can be mentioned.
  • the power transmission member 33 uses at least one of these members to form a power transmission path extending from the power source 32 to the stage 31. Specifically, since the power transmission member 33 itself serves as a power transmission path, the power transmission member 33 extends from the power source 32 to the stage 31.
  • FIG. 1 shows an example in which the processing system SYS1 includes a plurality of (two in the example shown in FIG. 1) power sources 32, but the processing system SYS1 includes a single power source 32. May be good.
  • FIG. 1 shows an example in which the machining system SYS1 includes a plurality of power transmission members 33 (in the example shown in FIG. 1, two), whereas the machining system SYS1 includes a single power transmission member 33. You may have it.
  • the stage drive system composed of the power source 32 and the power transmission member 33 can function as a device for changing the relative positions of the stage 31 and the processing device 2 (particularly, the processing head 21).
  • the stage drive system may move the stage 31 along at least one of the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis.
  • the stage drive system composed of the power source 32 and the power transmission member 33 can function as a device for changing the relative positions of the stage 31 and the processing device 2 (particularly, the processing head 21).
  • each of the irradiation region EA and the supply region MA moves on the work W along at least one of the X-axis and the Y-axis.
  • the stage drive system may move the stage 31 along at least one rotation direction in the ⁇ X direction, the ⁇ Y direction, and the ⁇ Z direction in addition to at least one of the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis.
  • the stage drive system may rotate the stage 31 around at least one of the X-axis, Y-axis, and Z-axis.
  • the stage drive system may change the posture of the stage 31 around at least one of the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis.
  • the stage drive system composed of the power source 32 and the power transmission member 33 can function as a device for changing the relative postures of the stage 31 and the processing device 2 (particularly, the processing head 21).
  • the light source 4 emits, for example, at least one of infrared light and ultraviolet light as processed light EL.
  • the processed light EL light of other wavelengths, for example, light having a wavelength in the visible region may be used.
  • the processing light EL is a laser beam.
  • the light source 4 may include a laser light source such as a semiconductor laser. Examples of the laser light source include at least one such as a laser diode (LD: Laser Diode), a fiber laser, a CO 2 laser, a YAG laser, and an excimer laser.
  • the processing light EL does not have to be a laser beam, and the light source 4 may include an arbitrary light source (for example, at least one such as an LED (Light Emitting Side) and a discharge lamp).
  • the gas supply device 5 is a supply source of purge gas for purging the chamber space 631IN.
  • the purge gas is a gas that does not contain oxygen gas (or contains only a very small amount of oxygen gas, if any).
  • the purge gas contains an inert gas.
  • An example of the inert gas is nitrogen gas or argon gas.
  • the gas supply device 5 supplies purge gas to the chamber space 63IN. As a result, the chamber space 63IN becomes a space purged by the purge gas.
  • the gas supply device 5 may be a cylinder in which an inert gas such as nitrogen gas or argon gas is stored. When the inert gas is nitrogen gas, the gas supply device 5 may be a nitrogen gas generator that generates nitrogen gas from the atmosphere as a raw material.
  • the gas supply device 5 may supply purge gas to the chamber space 63IN so that the oxygen concentration in the chamber space 63IN is equal to or less than a predetermined concentration.
  • the predetermined concentration may be a fixed value (or a variable value) set for the processing system SYS1.
  • the predetermined concentration is set to an oxygen concentration capable of preventing an explosion (typically, a dust explosion) caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 32 in the chamber space 63IN. May be good.
  • the predetermined concentration may be set to 0.5%.
  • the gas supply device 5 may supply purge gas to the chamber space 63IN so that the oxygen concentration in the chamber space 63IN is lower than the oxygen concentration in the external space 64OUT. That is, the gas supply device 5 may supply the purge gas to the chamber space 63IN so that the oxygen concentration in the external space 64OUT is higher than the oxygen concentration in the chamber space 63IN.
  • the gas supply device 5 may supply purge gas to the chamber space 63IN so that the pressure in the chamber space 63IN is higher than the pressure in the space other than the chamber space 63IN (for example, the external space 64OUT). That is, the gas supply device 5 may supply purge gas to the chamber space 63IN so that the pressure in the space other than the chamber space 63IN (for example, the external space 64OUT) is lower than the pressure in the chamber space 63IN.
  • the housing 6 is a storage device that accommodates at least a part of each of the processing device 2 and the stage device 3 in the chamber space 63IN, which is the internal space of the housing 6.
  • the housing 6 includes a partition member 61 that defines the chamber space 63IN.
  • the partition member 61 is a member that separates (that is, isolates) the chamber space 63IN and the external space 64OUT of the housing 6.
  • the partition member 61 may be referred to as a partition member.
  • the partition member 61 is a member provided between the chamber space 63IN and the external space 64OUT.
  • the partition member 61 faces the chamber space 63IN via the inner wall 61IS, and faces the outer space 64OUT via the outer wall 61OS.
  • the space surrounded by the partition member 61 (more specifically, the space surrounded by the inner wall 61IS of the partition member 61) becomes the chamber space 63IN.
  • the partition member 61 may be provided with a door that can be opened and closed. This door may be opened when the work W is supported on the stage 31 and when the work W and / or the modeled object is taken out from the stage 31, and may be closed during the modeling.
  • a power source 32 is arranged in the external space 64OUT. That is, the power source 32 is not arranged in the chamber space 63IN.
  • the power source 32 is isolated from the chamber space 63IN by the partition member 61.
  • the power source 32 is arranged at a position isolated from the chamber space 63IN by the partition member 61.
  • the partition member 61 is a member that isolates the power source 32 from the chamber space 63IN by surrounding the chamber space 63IN.
  • the ignition source (for example, the conduction portion described above) included in the power source 32 is also arranged in the external space 64OUT. That is, the ignition source included in the power source 32 is not arranged in the chamber space 63IN.
  • the ignition source included in the power source 32 is isolated from the chamber space 63IN by the partition member 61.
  • the ignition source included in the power source 32 is arranged at a position isolated from the chamber space 63IN by the partition member 61.
  • the partition member 61 surrounds the chamber space 63IN to isolate the ignition source provided by the power source 32 from the chamber space 63IN (that is, isolates the chamber space 63IN from the ignition source provided by the power source 32). Can function as.
  • the partition member 61 surrounds the chamber space 63IN to prevent the modeling material M supplied to the chamber space 63IN from leaking to the external space 64OUT.
  • the "contact between the modeling material M and the ignition source” is not only the “contact between the modeling material M and the ignition source itself” but also the “contact between the modeling material M and the electric spark generated at the ignition source”. Also includes “contact”. Therefore, an explosion (typically, a dust explosion) caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 32 in the chamber space 63IN is prevented.
  • the housing 6 may have an explosion-proof structure capable of preventing an explosion caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 32 in the chamber space 63IN.
  • the housing 6 may have an intrinsically safe explosion-proof structure capable of preventing the explosion of the modeling material M by an electric spark or a high temperature portion generated in the ignition source included in the power source 32.
  • the housing 6 has a safety-enhanced explosion-proof structure in which the degree of structural safety is increased so as not to generate electric sparks or high-temperature parts in the chamber space 63IN where electric sparks or high-temperature parts should not be generated. May be good.
  • the power transmission member 33 transmits the power generated by the power source 32 in the external space 64OUT to the stage 31 arranged in the chamber space 63IN. That is, the power transmission member 33 transmits power from the external space 64OUT to the chamber space 63IN.
  • at least a part of the power transmission member 33 is arranged in the chamber space 63IN. Even if at least a part of the power transmission member 33 is arranged in the chamber space 63IN, the explosion in the chamber space 63IN can be prevented because the power transmission member 33 does not have an ignition source as described above. There is no change.
  • An opening 65 is formed in the partition member 61 in order to transmit power from the external space 64OUT to the chamber space 63IN.
  • the opening 65 is a through hole that penetrates the partition member 61 from the external space 64OUT toward the chamber space 63IN.
  • a part of the power transmission member 33 is arranged in the opening 65. That is, the power transmission member 33 extends from the external space 64OUT to the chamber space 63IN through the opening 65.
  • the power transmission member 33 can transmit power from the external space 64OUT to the chamber space 63IN through the opening 65. That is, the power generated by the power source 32 in the external space 64OUT is transmitted to the stage 31 arranged in the chamber space 63IN through the opening 65.
  • the opening 65 When the opening 65 is formed in the partition member 61, the chamber space 63IN and the external space 64OUT are connected to each other through the opening 65. Therefore, when there is a gap (particularly, a relatively large gap) between the wall surface of the partition member 61 defining the opening 65 and the power transmission member 33 arranged in the opening 65, the inside of the chamber space 63IN. There is a possibility that the modeling material M and the ignition source included in the power source 32 come into contact with each other through the opening 65. Therefore, the opening 65 may be sealed by the sealing member 66.
  • the seal member 66 is a member that seals between the wall surface of the partition member 61 that defines the opening 65 and the power transmission member 33 that is arranged in the opening 65.
  • the seal member 66 is a member for filling a gap between the wall surface of the partition member 61 that defines the opening 65 and the power transmission member 33 arranged in the opening 65.
  • “filling the gap between the wall surface of the partition member 61 and the power transmission member 33” here completely eliminates (that is, closes) the gap between the wall surface of the partition member 61 and the power transmission member 33. ), Or it may mean that the gap between the wall surface of the partition member 61 and the power transmission member 33 is made small enough to seal the chamber space 63IN. That is, the seal member 66 can function as a member that seals the chamber space 63IN (that is, maintains the airtightness of the chamber space 63IN).
  • the seal member 66 seals the chamber space 63IN together with the partition member 61 and the power transmission member 33.
  • the seal member 66 at least one of a rubber seal, an oil seal and a labyrinth seal can be mentioned.
  • the seal member 66 can function as a member for preventing contact between the modeling material M in the chamber space 63IN and the ignition source provided in the power source 32 through the opening 65.
  • the seal member 66 the electric spark generated by the power source 32 in the external space 64OUT is supplied to the molding material M through the opening 65 together with the partition member 61 and the power transmission member 33. It can function as a member that prevents entry into the chamber space 63IN.
  • the modeling material M supplied to the chamber space 63IN together with the partition member 61 and the power transmission member 33 is arranged in the external space 64OUT in which the power source 32 including the ignition source is arranged through the opening 65. It can function as a member that prevents entry.
  • the control device 7 controls the operation of the processing system SYS1.
  • the control device 7 may include, for example, a CPU (Central Processing Unit) (or a GPU (Graphics Processing Unit) in addition to or in place of the CPU) and a memory.
  • the control device 7 functions as a device that controls the operation of the machining system SYS1 by the CPU executing a computer program.
  • This computer program is a computer program for causing the control device 7 (for example, the CPU) to perform (that is, execute) the operation described later to be performed by the control device 7. That is, this computer program is a computer program for making the control device 7 function so that the processing system SYS1 performs the operation described later.
  • the computer program executed by the CPU may be recorded in a memory (that is, a recording medium) included in the control device 7, or may be an arbitrary storage medium built in the control device 7 or externally attached to the control device 7 (that is, a recording medium). For example, it may be recorded on a hard disk or a semiconductor memory). Alternatively, the CPU may download the computer program to be executed from a device external to the control device 7 via the network interface.
  • a memory that is, a recording medium
  • the CPU may download the computer program to be executed from a device external to the control device 7 via the network interface.
  • the control device 7 may control the injection mode of the processed light EL by the irradiation optical system 211.
  • the injection mode may include, for example, at least one of the intensity of the processing light EL and the injection timing of the processing light EL.
  • the injection mode may include, for example, the ratio of the length of the emission time of the pulsed light to the emission period of the pulsed light (so-called duty ratio).
  • the injection mode may include, for example, the length of the emission time of the pulsed light itself or the emission cycle itself.
  • the control device 7 may control the movement mode of the stage 31 by the power source 32.
  • the movement mode may include, for example, at least one of a movement amount, a movement speed, a movement direction, and a movement timing.
  • the control device 7 may control the supply mode of the modeling material M by the material supply device 1.
  • the supply mode of the modeling material M by the material nozzle 212 is mainly determined by the supply mode of the modeling material M by the material supply device 1. Therefore, controlling the supply mode of the modeling material M by the material supply device 1 can be regarded as equivalent to controlling the supply mode of the modeling material M by the material nozzle 212.
  • the supply mode may include, for example, at least one of a supply amount (particularly, a supply amount per unit time) and a supply timing.
  • the control device 7 does not have to be provided inside the processing system SYS1.
  • the control device 7 may be provided outside the processing system SYS1 as a server or the like.
  • the control device 7 and the processing system SYS1 may be connected by a wired and / or wireless network (or a data bus and / or a communication line).
  • a wired network for example, a network using a serial bus type interface represented by at least one of IEEE1394, RS-232x, RS-422, RS-423, RS-485 and USB may be used.
  • a network using a parallel bus interface may be used.
  • a network using an Ethernet (registered trademark) compliant interface represented by at least one of 10BASE-T, 100BASE-TX and 1000BASE-T may be used.
  • a network using radio waves may be used.
  • An example of a network using radio waves is a network conforming to IEEE802.1x (for example, at least one of wireless LAN and Bluetooth®).
  • a network using infrared rays may be used.
  • a network using optical communication may be used.
  • the control device 7 and the processing system SYS1 may be configured so that various types of information can be transmitted and received via the network. Further, the control device 7 may be able to transmit information such as commands and control parameters to the processing system SYS1 via the network.
  • the processing system SYS1 may include a receiving device that receives information such as commands and control parameters from the control device 7 via the network.
  • a part of the control device 7 may be provided inside the processing system SYS1 and a part of the control device 7 may be provided outside the processing system SYS1.
  • Recording media for recording computer programs executed by the CPU include CD-ROMs, CD-Rs, CD-RWs, flexible disks, MOs, DVD-ROMs, DVD-RAMs, DVD-Rs, DVD + Rs, and DVD-RWs. , DVD + RW and Blu-ray (registered trademark) and other optical discs, magnetic tape and other magnetic media, magneto-optical disks, USB memory and other semiconductor memories, and any other medium that can store programs. May be good.
  • the recording medium may include a device capable of recording a computer program (for example, a general-purpose device or a dedicated device in which the computer program is implemented in at least one form such as software and firmware).
  • each process or function included in the computer program may be realized by a logical processing block realized in the control device 7 by the control device 7 (that is, a computer) executing the computer program. It may be realized by hardware such as a predetermined gate array (FPGA, ASIC) included in the control device 7, or a mixture of a logical processing block and a partial hardware module that realizes a part of the hardware. It may be realized in the form of.
  • FPGA predetermined gate array
  • the processing system SYS1 uses at least one of the first stage device 3a, the second stage device 3b, the third stage device 3c, and the fourth stage device 3d as the stage device 3. May be good. Therefore, in the following, the structures of the first stage device 3a to the fourth stage device 3d will be described in order.
  • the first stage devices 3a to the fourth stage devices 3d described below are merely examples. That is, the processing system SYS1 may include a stage device 3 having a structure different from that of the first stage device 3a to the fourth stage device 3d.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the first stage device 3a in which a part of the partition member 61a is not shown.
  • FIG. 4 is a perspective view showing the structure of the first stage device 3a in which a part of the partition member 61b is not omitted.
  • the first stage device 3a includes a stage 31a which is an example of the stage 31.
  • the first stage device 3a further includes three motors 32a (specifically, motors 32a # 1, motors 32a # 2 and motors 32a # 3), each of which is an example of a power source 32.
  • the first stage device 3a further includes three power transmission members 33a (specifically, power transmission member 33a # 1, power transmission member 33a # 2, and power transmission member 33a #, each of which is an example of the power transmission member 33. 3) is provided.
  • the power transmission members 33a # 1 to 33a # 3 respectively, transmit the power generated by the motors 32a # 1 to 32a # 3 to the stage 31a.
  • the power transmission member 33a # 1 includes a ball screw (or a sliding screw, the same applies hereinafter) 330a # 1 and a connecting member 333a # 1.
  • the ball screw 330a # 1 includes a shaft member 331a # 1 and a nut 332a # 1.
  • the power transmission member 33a # 2 includes a ball screw 330a # 2 and a connecting member 333a # 2.
  • the ball screw 330a # 2 includes a shaft member 331a # 2 and a nut 332a # 2.
  • the power transmission member 33 # 3 includes a ball screw 330a # 2 and a connecting member 333a # 3.
  • the ball screw 330a # 3 includes a shaft member 331a # 3 and a nut 332a # 3.
  • Each of the shaft members 331a # 1 to 331a # 3 is a screw shaft having a thread formed on the side surface.
  • Each of the shaft members 331a # 1 to 331a # 3 is arranged so as to extend along the Z-axis direction.
  • the shaft members 331a # 1 to 331a # 3, respectively, are connected to the rotating shafts of the motors 32a # 1 to 32a # 3, respectively.
  • the shaft members 331a # 1 to 331a # 3, respectively, are rotated along the Z axis by the motors 32a # 1 to 32a # 3, respectively.
  • the nuts 332a # 1 to 332a # 3 respectively fitted in the shaft members 331a # 1 to 331a # 3, move along the Z-axis direction.
  • the shaft members 331a # 1 to the shaft members 331a # 3 transmit the power generated by the motors 32a # 1 to 32a # 3, respectively, along the Z-axis direction.
  • the shaft members 331a # 1 to 331a # 3, respectively, are arranged in the plane along the XY plane at or near the apex of a triangular (typically equilateral triangle) shaped region.
  • the motors 32a # 1 to 32a # 3 are also arranged in the plane along the XY plane at or near the apex of the triangular (typically equilateral triangle) shaped region.
  • One ends of the connecting members 333a # 1 to 333a # 3 are connected to the nuts 332a # 1 to 332a # 3, respectively.
  • the other ends of the connecting members 333a # 1 to 333a # 3 are connected to the stage 31a.
  • the nuts 332a # 1 to 332a # 3 move in the Z-axis direction
  • one ends of the connecting members 333a # 1 to 333a # 3 also move along the Z-axis direction, respectively.
  • the other ends of the connecting members 333a # 1 to 333a # 3 are along at least one of the X-axis, Y-axis, and Z-axis in accordance with the movement of one end of the connecting members 333a # 1 to 333a # 3, respectively. And move.
  • the stage 31a moves along at least one of the X-axis, the Y-axis, the Z-axis, the ⁇ X direction, the ⁇ Y direction, and the ⁇ Z direction.
  • the processing system SYS1 including such power transmission members 33a # 1 to 33a # 3 is a so-called delta type 3D printer.
  • the processing system SYS1 is provided with the housing 6a corresponding to the first stage device 3a as the housing 6.
  • the housing 6a includes a ceiling member 611a, a bottom member 612a, a strut member 613a # 1, a strut member 613a # 2, and a strut member 613a # 3, each of which constitutes a part of the partition member 61.
  • the side wall member 614a # 1, the side wall member 614a # 2, and the side wall member 614a # 3 are provided.
  • the ceiling member 611a is a member that defines an upper boundary (that is, + Z side) of the chamber space 63IN.
  • the ceiling member 611a is, for example, a plate-shaped member along an XY plane.
  • the bottom member 612a is a member that defines the lower boundary (that is, the ⁇ Z side) of the chamber space 63IN.
  • the bottom member 612a is arranged below the ceiling member 611a.
  • the bottom member 612a is, for example, a plate-shaped member along the XY plane.
  • Each of the column members 613a # 1 to 613a # 3 is a columnar member extending from the bottom member 612a toward the ceiling member 611a. That is, each of the column members 613a # 1 to 613a # 3 is a columnar member extending along the Z-axis direction.
  • Each of the side wall members 614a # 1 to 614a # 3 is a member that defines a lateral boundary of the chamber space 63IN.
  • Each of the side wall members 614a # 1 to 614a # 3 is a plate-shaped member extending along the Z axis.
  • the side wall member 614a # 1 is arranged so as to block the opening between the ceiling member 611a, the bottom member 612a, the support column member 613a # 1, and the support column member 613 # 2. However, in FIG. 3, the description of the side wall member 614a # 1 is omitted.
  • the side wall member 614a # 2 is arranged so as to block the opening between the ceiling member 611a, the bottom member 612a, the support column member 613a # 2, and the support column member 613 # 3.
  • the side wall member 614a # 3 is arranged so as to block the opening between the ceiling member 611a, the bottom member 612a, the support column member 613a # 3, and the support column member 613 # 1.
  • the space surrounded by the ceiling member 611a, the bottom member 612a, the side wall member 614a # 1, the side wall member 614a # 2, and the side wall member 614a # 3 is defined as the chamber space 63IN.
  • the ceiling member 611a, the bottom member 612a, and the support column member 613a # 1 are used.
  • the gap between the support member 613a # 2, the support member 613a # 3, the side wall member 614a # 1, the side wall member 614a # 2, and the side wall member 614a # 3 may be sealed by the seal member. ..
  • Power transmission members 33a # 1 to 33a # 3 are arranged in the chamber space 63IN.
  • motors 32a # 1 to 32a # 3 are arranged in the external space 64OUT.
  • the shaft members 331a # 1 to the shaft members 331a # 3 rotate the motors 32a # 1 to 32a # 3 from the chamber space 63IN via the openings 65a # 1 to 65a # 3 formed in the ceiling member 611a, respectively. Extends towards the axis.
  • Each of the openings 65a # 1 to 65a # 3 penetrates the ceiling member 611a along the Z-axis direction (that is, penetrates the ceiling member 611a along the direction intersecting the surface of the plate-shaped ceiling member 611a).
  • each part of the shaft member 331a # 1 to the shaft member 331a is arranged in the external space 64OUT.
  • the rotation shafts of the motors 32a # 1 to 32a # 3 extend from the external space 64OUT to the chamber space 63IN via the openings 65a # 1 to 65a # 3, the shaft members 331a # 1 to the shaft member 331a
  • Each of the above may not be arranged in the external space 64OUT.
  • the ceiling member 611a has a triangular (typically an equilateral triangle) shape in the plane along the XY plane. Further, the bottom member 612a facing the ceiling member 611a along the Z-axis direction also has a triangular (typically an equilateral triangle) shape in the plane along the XY plane.
  • Motors 32a # 1 to 32a # 3, respectively, are arranged at the three vertices of the triangle of the ceiling member 611a or in the vicinity of the three vertices.
  • Openings 65a # 1 to 65a # 3 which are examples of openings 65, are formed at the three vertices of the triangle of the ceiling member 611a or in the vicinity of the three vertices, respectively.
  • the openings 65a # 1 to 65a # 3 are sealed by the sealing members 66a # 1 to 66a # 3, which are examples of the sealing member 66, respectively.
  • the ceiling member 611a may have a shape other than a triangle. For example, it may have a rectangle, a polygon, or a circle. At that time, the shape of the chamber space 63IN may be a quadrangular prism, a polygonal prism, or a cylinder.
  • FIG. 5 is a perspective view showing the structure of the second stage device 3b in which a part of the partition member 61b is not shown.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the structure of the second stage device 3b in which a part of the partition member 61b is not omitted.
  • the same components as the components included in the first stage device 3a are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the second stage device 3b includes a stage 31b, which is an example of the stage 31.
  • the second stage device 3b includes three motors 32a (specifically, motors 32a # 1 to 32a # 3).
  • the second stage device 3b further includes three power transmission members 33b (specifically, power transmission member 33b # 1, power transmission member 33b # 2, and power transmission member 33b #, each of which is an example of the power transmission member 33. 3) is provided.
  • the power transmission members 33b # 1 to 33b # 3 respectively, transmit the power generated by the motors 32a # 1 to 32a # 3 to the stage 31b.
  • the power transmission member 33b # 1 includes a drive shaft 331b # 1, a bevel gear mechanism 332b # 1, a drive shaft 333b # 1, and an arm mechanism 334b # 1.
  • the power transmission member 33b # 2 includes a drive shaft 331b # 2, a bevel gear mechanism 332b # 2, a drive shaft 333b # 2, and an arm mechanism 334b # 2.
  • the power transmission member 33b # 3 includes a drive shaft 331b # 3, a bevel gear mechanism 332b # 3, a drive shaft 333b # 3, and an arm mechanism 334b # 3.
  • the drive shaft may be referred to as a shaft member.
  • Each of the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3 is arranged so as to extend along the Z-axis direction.
  • the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3, respectively, are connected to the rotation shafts of the motors 32a # 1 to 32a # 3, respectively.
  • the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3, respectively, are rotated along the Z axis by the motors 32a # 1 to 32a # 3, respectively. Therefore, each of the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3 transmits power along the Z-axis direction.
  • the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3 are respectively arranged in the plane along the XY plane at or near the apex of a triangular (typically equilateral triangle) shaped region.
  • the rotation of the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3 around the Z axis is transmitted to the drive shafts 333b # 1 to 333b # 3 by the bevel gear mechanisms 332b # 2 to 332b # 3, respectively.
  • each of the drive shafts 333b # 1 to 333b # 3 rotates about an axis that intersects the Z axis. Therefore, each of the drive shafts 333b # 1 to 333b # 3 transmits power along the direction intersecting the Z-axis direction.
  • the rotations of the drive shafts 333b # 1 to 333b # 3 are transmitted to the arm mechanisms 334b # 1 to 334b # 3, respectively.
  • the arm mechanism 334b # 1 includes a base member 3341b # 1, a joint member 3342b # 1, a link member 3343b # 1, a joint member 3344b # 1, and a link member 3345b # 1.
  • the base member 3341b is fixed to the bottom member 612a.
  • the base member 3341b # 1 and the link member 3343b # 1 are connected by a joint member 3342b # 1.
  • a drive shaft 333b # 1 is connected to the joint member 3342b # 1. Therefore, the rotation of the drive shaft 333b # 1 is transmitted to the joint member 3342b # 1.
  • the indirect member 3342b is fixed to the link member 3343b. Therefore, the link member 3343b # 1 moves with the rotation of the drive shaft 333b # 1.
  • each of the arm mechanisms 334b # 2 and 334b # 3 also has a structure similar to that of the arm mechanism 334b # 1.
  • the stage 31b moves along at least one of the X-axis, the Y-axis, the Z-axis, the ⁇ X direction, the ⁇ Y direction, and the ⁇ Z direction in accordance with the operation of the arm mechanisms 334b # 1 to 334b # 3.
  • the processing system SYS1 When the processing system SYS1 is provided with the second stage device 3b, the processing system SYS1 is provided with the housing 6b corresponding to the second stage device 3b as the housing 6. Since the housing 6b may be the same as the housing 6a described above, detailed description thereof will be omitted. However, when the processing system SYS1 includes the second stage device 3b, the drive shafts 331b # 1 to 331b # 3 have openings 65a instead of the shaft members 331a # 1 to the shaft members 331a # 3, respectively. It extends from the chamber space 63IN toward the rotation axis of the motors 32a # 1 to 32a # 3 via # 1 to 65a # 3.
  • FIG. 7 is a perspective view showing the structure of the third stage device 3c in which a part of the partition member 61c is omitted.
  • FIG. 8 is a perspective view showing the structure of the third stage device 3c in which a part of the partition member 61c is not omitted.
  • the third stage device 3c includes a stage 31c, which is an example of the stage 31.
  • the third stage device 3c further includes two motors 32c (specifically, motors 32c # 1 and motors 32c # 2), each of which is an example of a power source 32.
  • the third stage device 3c further includes two power transmission members 33c (specifically, power transmission member 33c # 1 and power transmission member 33c # 2), each of which is an example of the power transmission member 33.
  • the power transmission members 33c # 1 to 33c # 2 respectively, transmit the power generated by the motors 32c # 1 to 32c # 2 to the stage 31c.
  • the third stage device 3c further includes a movable base 333c and a movable base 334c.
  • the power transmission member 33c # 1 includes a belt 3311c # 1, a belt 3312c # 1, a drive pulley 3321c # 1, a bend pulley 3322c # 1, a bend pulley 3323c # 1, a bend pulley 3324c # 1, and a bend pulley. It is equipped with 3325c # 1.
  • the power transmission member 33c # 2 includes a belt 3311c # 2, a belt 3312c # 2, a drive pulley 3321c # 2, a bend pulley 3322c # 2, a bend pulley 3323c # 2, a bend pulley 3324c # 2, and a bend pulley. It is equipped with 3325c # 2.
  • the belt 3311c # 1 connects the rotating shaft of the motor 32c # 1 and the rotating shaft of the drive pulley 3321c # 1.
  • the rotation axis of the motor 32c # 1 and the rotation axis of the drive pulley 3321c # 1 are parallel to the Z axis, and the belt 3311c # 1 extends along the X-axis direction.
  • the rotating shaft of the motor 32c # 1 and the rotating shaft of the drive pulley 3321c # 1 are connected along the X-axis direction. Therefore, the belt 3311c # 1 moves along the X-axis direction as the rotation axis of the motor 32c # 1 rotates.
  • the drive pulley 3321c # 1 rotates about the Z axis.
  • the rotation of the drive pulley 3321c # 1 is transmitted to the belt 3312c # 1.
  • One end of the belt 3312c # 1 is connected to the ⁇ Y side end of the stage 31c.
  • the other end of the belt 3312c # 1 is connected to the + Y side end of the stage 31c.
  • the belt 3312c # 1 passes through the bend pulley 3322c # 1, the drive pulley 3321c # 1, the bend pulley 3323c # 1, the bend pulley 3324c # 1 and the bend pulley 3325c # 1 in this order from the ⁇ Y side end of the stage 31c.
  • the belt 3312c # 1 extends along at least one of a plurality of directions along the XY plane (for example, at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction).
  • the belt 3311c # 2 connects the rotating shaft of the motor 32c # 2 and the rotating shaft of the drive pulley 3321c # 2.
  • the rotation axis of the motor 32c # 2 and the rotation axis of the drive pulley 3321c # 2 are parallel to the Z axis, and the belt 3311c # 2 extends along the X-axis direction.
  • the rotating shaft of the motor 32c # 2 and the rotating shaft of the drive pulley 3321c # 2 are connected along the X-axis direction. Therefore, the belt 3311c # 2 moves along the X-axis direction as the rotation axis of the motor 32c # 2 rotates.
  • the drive pulley 3321c # 2 rotates about the Z axis.
  • the rotation of the drive pulley 3321c # 2 is transmitted to the belt 3312c # 2.
  • One end of the belt 3312c # 2 is connected to the ⁇ Y side end of the stage 31c.
  • the other end of the belt 3312c # 2 is connected to the + Y side end of the stage 31c.
  • the belt 3312c # 2 passes through the bend pulley 3322c # 2, the drive pulley 3321c # 2, the bend pulley 3323c # 2, the bend pulley 3324c # 2 and the bend pulley 3325c # 2 in this order from the + Y side end of the stage 31c.
  • the belt 3312c # 2 extends along at least one of a plurality of directions along the XY plane (eg, at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction).
  • Bend pulleys 3322c # 1 and 3325c # 2 are arranged on the movable base 333c.
  • the movable base 333c is moved along the XY plane (for example, in the X-axis direction and the Y-axis) by the force applied from the belt 3312c # 1 to the bend pulley 3322c # 1 and / or the force applied from the belt 3312c # 2 to the bend pulley 3325c # 2.
  • Movable (along at least one of the directions).
  • Bend pulleys 3325c # 1 and 3322c # 2 are arranged on the movable base 334c.
  • the movable base 334c is moved along the XY plane (for example, in the X-axis direction and the Y-axis) by the force applied from the belt 3312c # 1 to the bend pulley 3325c # 1 and / or the force applied from the belt 3312c # 2 to the bend pulley 3322c # 2.
  • Movable (along at least one of the directions).
  • the moving direction of the stage 31c is determined by the rotation direction of the rotation axes of the motors 32c # 1 and 32c # 2.
  • the power transmission member 33c # 1 has the motor 32c # 1.
  • the generated power is transmitted to the stage 31c as a force acting to move the stage 31c toward the -Y side, and the power transmission member 33c # 2 transfers the power generated by the motor 32c # 2 to the stage 31c. It is transmitted to the stage 31c as a force acting to move toward the Y side. As a result, the stage 31c moves toward the ⁇ Y side.
  • the power transmission member 33c # 1 transmits the power generated by the motor 32c # 1.
  • the power transmission member 33c # 2 transmits the power generated by the motor 32c # 2 to the stage 31c as a force acting to move the stage 31c toward the + Y side, and the power transmission member 33c # 2 moves the stage 31c toward the + Y side. It is transmitted to the stage 31c as a force acting to cause it. As a result, the stage 31c moves toward the + Y side.
  • the power transmission member 33c # 1 transmits the power generated by the motor 32c # 1 to the stage 31c as a force acting to move the stage 31c toward the ⁇ Y side, and the power transmission member 33c # 2 transfers the power generated by the motor 32c # 1 to the stage 31c.
  • the power generated by the motor 32c # 2 is transmitted to the stage 31c as a force acting to move the stage 31c toward the + Y side.
  • the force transmitted to the stage 31c via the power transmission member 33c # 1 and the force transmitted to the stage 31c via the power transmission member 33c # 2 cancel each other out.
  • the stage 31c does not move along the Y-axis direction.
  • the force causes the bend pulleys 3322c # 1 and 3325c # 1 to move toward the + X side.
  • the stage 31c since the stage 31c is not moved by the force transmitted to the stage 31c via the power transmission member 33c # 2, the force causes the bend pulleys 3322c # 2 and 3325c # 2 to move toward the + X side. As a force acting on the bend pulleys 3322c # 2 and 3325c # 2. As a result, the movable base 333c in which the bend pulleys 3322c # 1 and 3325c # 2 are arranged and the movable base 334c in which the bend pulleys 3325c # 1 and 3322c # 2 are arranged move toward the + X side. As a result, the stage 31c moves toward the + X side in accordance with the movement of the movable bases 333c and 334c.
  • the power transmission member 33c # 1 transmits the power generated by the motor 32c # 1 to the stage 31c as a force acting to move the stage 31c toward the + Y side, and the power transmission member 33c # 2 transfers the power generated by the motor 32c # 1 to the stage 31c.
  • the power generated by the motor 32c # 2 is transmitted to the stage 31c as a force acting to move the stage 31c toward the ⁇ Y side.
  • the force transmitted to the stage 31c via the power transmission member 33c # 1 and the force transmitted to the stage 31c via the power transmission member 33c # 2 cancel each other out.
  • the stage 31c does not move along the Y-axis direction.
  • the force causes the bend pulleys 3322c # 1 and 3325c # 1 to move toward the ⁇ X side. As a force acting in this way, it acts on the bend pulleys 3322c # 1 and 3325c # 1.
  • the stage 31c since the stage 31c is not moved by the force transmitted to the stage 31c via the power transmission member 33c # 2, the force causes the bend pulleys 3322c # 2 and 3325c # 2 to move toward the ⁇ X side. As a force acting in this way, it acts on the bend pulleys 3322c # 2 and 3325c # 2. As a result, the movable base 333c in which the bend pulleys 3322c # 1 and 3325c # 2 are arranged and the movable base 334c in which the bend pulleys 3325c # 1 and 3322c # 2 are arranged move toward the ⁇ X side. As a result, the stage 31c moves toward the ⁇ X side in accordance with the movement of the movable bases 333c and 334c.
  • the processing system SYS1 is provided with the housing 6c corresponding to the third stage device 3c as the housing 6.
  • the housing 6c includes a ceiling member 611c, each of which constitutes a part of the partition member 61, a bottom member 612c, and a side wall member 613c.
  • the ceiling member 611c is a member that defines an upper boundary (that is, + Z side) of the chamber space 63IN.
  • the ceiling member 611c is, for example, a plate-shaped member along the XY plane. However, in FIG. 7, the description of the ceiling member 611c is omitted.
  • the bottom member 612c is a member that defines the lower boundary (that is, the ⁇ Z side) of the chamber space 63IN.
  • the bottom member 612c is arranged below the ceiling member 611c.
  • the bottom member 612c is, for example, a plate-shaped member along the XY plane.
  • the side wall member 613c is a member that defines a lateral boundary of the chamber space 63IN.
  • the side wall member 613c is arranged so as to surround the space between the ceiling member 611c and the bottom member 612c.
  • the side wall member 613c is a tubular (for example, square tubular) member extending along the Z axis.
  • the space surrounded by the ceiling member 611c, the bottom member 612c, and the side wall member 613c is defined as the chamber space 63IN.
  • the gap between the two may be sealed by a sealing member.
  • Power transmission members 33c # 1 to 33c # 2 are arranged in the chamber space 63IN.
  • motors 32c # 1 to 32c # 2 are arranged in the external space 64OUT.
  • the belts 3311c # 1 and 3311c # 2 are moved from the chamber space 63IN to the rotation shafts of the motor 32c # 1 and the motor 32c # 2, respectively, via the openings 65c # 1 and 65c # 2 formed in the side wall member 613c. Extend towards.
  • Each of the openings 65c # 1 and 65c # 2 penetrates the side wall member 613c along the X-axis direction (that is, the side wall member along the direction intersecting the surface of the side wall member 613c (that is, the side surface of the housing 6c).
  • each part of the belts 3311c # 1 and 3311c # 2 is arranged in the external space 64OUT. Further, the openings 65c # 1 to 65c # 2 are sealed by the seal members 66c # 1 to 66c # 2, which are examples of the seal members 66, respectively.
  • the seal members 66c # 1 to 66c # 2 which are examples of the seal members 66, respectively.
  • the belts 3311c # 1 and 3311c # 2 of the power transmission members 33c # 1 to 33c # 2 are driven, the distance between the belts 3311c # 1 and 3311c # 2 and the openings 65a # 1 and 65a # 2 changes. Therefore, incompleteness of the seal by the seal members 66a # 1 and 66a # 2 is unlikely to occur.
  • FIG. 9 is a perspective view showing the structure of the fourth stage device 3d in which a part of the partition member 61d is omitted.
  • FIG. 10 is a perspective view showing the structure of the fourth stage device 3d in which a part of the partition member 61d is not omitted.
  • the fourth stage device 3d includes a stage 31d, which is an example of the stage 31.
  • the fourth stage device 3d further includes two motors 32d (specifically, motors 32d # 1 and motors 32d # 2), each of which is an example of a power source 32.
  • the fourth stage device 3d further includes two power transmission members 33d (specifically, power transmission member 33d # 1 and power transmission member 33d # 2), each of which is an example of the power transmission member 33.
  • the power transmission members 33d # 1 to 33d # 2 respectively, transmit the power generated by the motors 32d # 1 to 32d # 2 to the stage 31d.
  • the power transmission member 33d # 1 includes a belt 3311d # 1, a belt 3312d # 1, a belt 3313d # 1, a pulley 3321d # 1, a pulley 3322d # 1, a pulley 3323d # 1, and a pulley 3324d # 1.
  • the pulley 3325d # 1, the drive shaft 3331d # 1, the drive shaft 3332d # 1, the movable member 3341d # 1, the movable member 3342d # 1, the connecting member 3351d # 1, and the connecting member 3352d # 1 are provided. There is.
  • the power transmission member 33d # 2 includes a belt 3311d # 2, a belt 3312d # 2, a belt 3313d # 2, a pulley 3321d # 2, a pulley 3322d # 2, a pulley 3323d # 2, and a pulley 3324d # 2.
  • the pulley 3325d # 2, the drive shaft 3331d # 2, the drive shaft 3332d # 2, the movable member 3341d # 2, the movable member 3342d # 2, the connecting member 3351d # 2, and the connecting member 3352d # 2 are provided. There is.
  • the belt 3311d # 1 connects the rotating shaft of the motor 32d # 1 and the pulley 3321d # 1.
  • the rotation axis of the motor 32d # 1 and the rotation axis of the pulley 3321d # 1 are respectively parallel to the X axis, and the belt 3311d # 1 extends along the Y axis direction and The rotating shaft of the motor 32d # 1 and the rotating shaft of the pulley 3321d # 1 are connected along the Y-axis direction. Therefore, the belt 3311d # 1 moves along the Y-axis direction as the rotation axis of the motor 32d # 1 rotates.
  • the pulley 3321d # 1 rotates around the X-axis (or around the axis that intersects the Z-axis).
  • a drive shaft 3331d # 1 extending along the X-axis direction is connected to the pulley 3321d # 1. Therefore, in accordance with the rotation of the pulley 3321d # 1, the drive shaft 3331d # 1 also rotates around the X axis (or around the axis intersecting the Z axis).
  • Pulleys 3322d # 1 and 3323d # 1 are connected to both ends of the drive shaft 3331d # 1, respectively. Therefore, each of the pulleys 3322d # 1 and 3323d # 1 also rotates around the X axis (or around the axis intersecting the Z axis) in accordance with the rotation of the drive shaft 3331d # 1.
  • Belt 3312d # 1 extends along the Y-axis direction.
  • the belt 3312d # 1 connects the pulley 3322d # 1 and the pulley 3324d # 1 along the Y-axis direction.
  • the belt 3313d # 1 extends along the Y-axis direction.
  • the belt 3313d # 1 connects the pulley 3323d # 1 and the pulley 3325d # 1 along the Y-axis direction.
  • Pulleys 3324d # 1 and 3325d # 1 are connected to both ends of a drive shaft 3332d # 1 extending along the X-axis direction.
  • the pulleys 3324d # 1 and 3325 # 1 and the drive shaft 3332d # 1 also rotate around the X axis (or around the axis intersecting the Z axis). To do. As a result, the rotation of the pulley 3322d # 1 is converted into the movement of the belt 3312d # 1 connecting the pulley 3322d # 1 and the pulley 3324d # 1 in the Y-axis direction. Similarly, the rotation of the pulley 3323d # 1 is converted into the movement of the belt 3313d # 1 connecting the pulley 3323d # 1 and the pulley 3325d # 1 in the Y-axis direction.
  • a movable member 3341d # 1 is fixed to the belt 3312d # 1. Therefore, the movable member 3341d # 1 moves along the Y-axis direction in accordance with the movement of the belt 3312d # 1 in the Y-axis direction.
  • a movable member 3342d # 1 is fixed to the belt 3313d # 1. Therefore, the movable member 3342d # 1 moves along the Y-axis direction in accordance with the movement of the belt 3313d # 1 in the Y-axis direction.
  • the connecting member 3351d # 1 connects the movable member 3341d # 1 and the stage 31d.
  • the connecting member 3352d # 1 connects the movable member 3342d # 1 and the stage 31d.
  • the belts 3312d # 1 and 3313d # 1 and the movable members 3341d # 1 and 3342d # 1 sandwich the stage 31d along the X-axis direction and the movable members 3341d.
  • # 1 and the movable member 3342d # 1 are arranged so as to sandwich the stage 31d along the X-axis direction. Therefore, the connecting members 3351d # 1 and 3352d # 1 are connected to the stage 31d so as to support the stage 31d along the X-axis direction.
  • the stage 31d moves along the Y-axis direction in accordance with the movement of the movable members 3341d # 1 and 3342d # 1 in the Y-axis direction. Therefore, the motor 32d # 1 and the power transmission member 33d # 1 mainly function as a drive system for moving the stage 31d along the Y-axis direction.
  • the belt 3311d # 2 connects the rotating shaft of the motor 32d # 2 and the pulley 3321d # 2.
  • the rotation axis of the motor 32d # 2 and the rotation axis of the pulley 3321d # 2 are each parallel to the Y axis, and the belt 3311d # 2 extends along the X axis direction and The rotating shaft of the motor 32d # 2 and the rotating shaft of the pulley 3321d # 2 are connected along the X-axis direction. Therefore, the belt 3311d # 2 moves along the X-axis direction as the rotation axis of the motor 32d # 2 rotates.
  • the pulley 3321d # 2 rotates around the Y axis (or around an axis that intersects the Z axis).
  • a drive shaft 3331d # 2 extending along the Y-axis direction is connected to the pulley 3321d # 2. Therefore, in accordance with the rotation of the pulley 3321d # 2, the drive shaft 3331d # 2 also rotates around the Y axis (or around the axis intersecting the Z axis).
  • Pulleys 3322d # 2 and 3323d # 2 are connected to both ends of the drive shaft 3331d # 2, respectively. Therefore, each of the pulleys 3322d # 2 and 3323d # 2 also rotates around the Y axis (or around the axis intersecting the Z axis) in accordance with the rotation of the drive shaft 3331d # 2.
  • Belt 3312d # 2 extends along the X-axis direction.
  • the belt 3312d # 2 connects the pulley 3322d # 2 and the pulley 3324d # 2 along the X-axis direction.
  • the belt 3313d # 2 extends along the X-axis direction.
  • the belt 3313d # 2 connects the pulley 3323d # 2 and the pulley 3325d # 2 along the X-axis direction.
  • the pulleys 3324d # 2 and 3325d # 2 are connected to both ends of the drive shaft 3332d # 2 extending along the Y-axis direction.
  • the pulleys 3324d # 2 and 3325 # 2 and the drive shaft 3332d # 2 also rotate around the Y axis (or around the axis intersecting the Z axis). To do. As a result, the rotation of the pulley 3322d # 2 is converted into the movement of the belt 3312d # 2 connecting the pulley 3322d # 2 and the pulley 3324d # 2 in the X-axis direction. Similarly, the rotation of the pulley 3323d # 2 is converted into the movement of the belt 3313d # 2 connecting the pulley 3323d # 2 and the pulley 3325d # 2 in the X-axis direction.
  • a movable member 3341d # 2 is fixed to the belt 3312d # 2. Therefore, the movable member 3341d # 2 moves along the X-axis direction in accordance with the movement of the belt 3312d # 2 in the X-axis direction.
  • a movable member 3342d # 2 is fixed to the belt 3313d # 2. Therefore, the movable member 3342d # 2 moves along the X-axis direction in accordance with the movement of the belt 3313d # 2 in the X-axis direction.
  • the connecting member 3351d # 2 connects the movable member 3341d # 2 and the stage 31d.
  • the connecting member 3352d # 2 connects the movable member 3342d # 2 and the stage 31d.
  • the belts 3312d # 2 and 3313d # 2 and the movable members 3341d # 2 and 3342d # 2 sandwich the stage 31d along the X-axis direction and the movable members 3341d.
  • # 2 and the movable member 3342d # 2 are arranged so as to sandwich the stage 31d along the Y-axis direction. Therefore, the connecting members 3351d # 2 and 3352d # 2 are connected to the stage 31d so as to support the stage 31d along the Y-axis direction.
  • the stage 31d moves along the X-axis direction in accordance with the movement of the movable members 3341d # 2 and 3342d # 2 in the X-axis direction. Therefore, the motor 32d # 2 and the power transmission member 33d # 2 mainly function as a drive system for moving the stage 31d along the X-axis direction.
  • the connecting members 3351d # 1 and 3352d # 1 that connect the stage 31d and the movable members 3341d # 1 and 3342d # 1 along the X-axis direction can be expanded and contracted along the X-axis direction.
  • the movement of the stage 31d in the X-axis direction in accordance with the movement of the movable members 3341d # 2 and 3342d # 2 is not hindered by the connecting members 3351d # 1 and 3352d # 1.
  • the connecting members 3351d # 2 and 3352d # 2 which connect the stage 31d and the movable members 3341d # 2 and 3342d # 2, respectively, along the Y-axis direction can be expanded and contracted along the Y-axis direction.
  • the movement of the stage 31d in the Y-axis direction in accordance with the movement of the movable members 3341d # 1 and 3342d # 1 is not hindered by the connecting members 3351d # 2 and 3352d # 2.
  • the processing system SYS1 is provided with the fourth stage device 3d
  • the processing system SYS1 is provided with the housing 6d corresponding to the fourth stage device 3d as the housing 6.
  • the housing 6d includes a ceiling member 611d, a bottom member 612d, and a side wall member 613d, each of which constitutes a part of the partition member 61.
  • the ceiling member 611d is a member that defines an upper boundary (that is, + Z side) of the chamber space 63IN.
  • the ceiling member 611d is, for example, a plate-shaped member along the XY plane. However, in FIG. 9, the description of the ceiling member 611d is omitted.
  • the bottom member 612d is a member that defines the lower boundary (that is, the ⁇ Z side) of the chamber space 63IN.
  • the bottom member 612d is arranged below the ceiling member 611d.
  • the bottom member 612d is, for example, a plate-shaped member along the XY plane.
  • the side wall member 613d is a member that defines a lateral boundary of the chamber space 63IN.
  • the side wall member 613d is arranged so as to surround the space between the ceiling member 611d and the bottom member 612d.
  • the side wall member 613d is a tubular (for example, square tubular) member extending along the Z axis.
  • the space surrounded by the ceiling member 611d, the bottom member 612d, and the side wall member 613d is defined as the chamber space 63IN.
  • the gap between the two may be sealed by a sealing member.
  • Power transmission members 33d # 2 to 33d # 2 are arranged in the chamber space 63IN.
  • the motors 32d # 1 to 32d # 2 are arranged in the external space 64OUT.
  • the belts 3311d # 1 and 3311d # 2 are moved from the chamber space 63IN to the rotation shafts of the motor 32d # 1 and the motor 32d # 2, respectively, via the openings 65d # 1 and 65d # 2 formed in the side wall member 613d. Extend towards.
  • the opening 65d # 1 penetrates the side wall member 613d along the Y-axis direction (that is, penetrates the side wall member 613d along the direction intersecting the surface of the side wall member 613d (that is, the side surface of the housing 6d)).
  • the opening 65d # 2 penetrates the side wall member 613d along the X-axis direction (that is, penetrates the side wall member 613d along the direction intersecting the surface of the side wall member 613d (that is, the side surface of the housing 6d)). It is a through hole extending along the X-axis direction. Therefore, each part of the belts 3311d # 1 and 3311d # 2 is arranged in the external space 64OUT. Further, the openings 65d # 1 to 65d # 2 are sealed by the sealing members 66 # 1 to 66d # 2, which are examples of the sealing members 66, respectively.
  • the processing system SYS1 forms the three-dimensional structure ST on the work W based on the three-dimensional model data (for example, CAD (Computer Aided Design) data) of the three-dimensional structure ST to be formed.
  • the three-dimensional model data at least the measurement data of the three-dimensional object measured by the measuring device (not shown) provided in the processing system SYS1 and the measurement data of the three-dimensional shape measuring machine provided separately from the processing system SYS1.
  • the three-dimensional shape measuring machine there is a contact type three-dimensional coordinate measuring machine having a probe that can move with respect to the work W and can contact the work W.
  • An example of a three-dimensional shape measuring machine is a non-contact type three-dimensional measuring machine.
  • a non-contact type 3D measuring machine As an example of a non-contact type 3D measuring machine, a pattern projection type 3D measuring machine, an optical cutting type 3D measuring machine, a time of flight type 3D measuring machine, and a moiretopography type 3D measuring machine , At least one of a holographic interference type three-dimensional measuring machine, a CT (Computed Tomography) type three-dimensional measuring machine, and an MRI (Magnetic resonance imaging) type three-dimensional measuring machine.
  • the three-dimensional model data includes, for example, STL (Stareo Lithografy) format, VRML (Virtual Reality Modeling Language) format, AMF (Adaptive Manufacturing File Format), and IGES (Initial Technology) IGES (Initial Technology) format.
  • the Automotive Manufactures-Surfaces Interface) format, HP / GL (Hewlett-Packard Graphics Language) format, bitmap format and the like can be used.
  • the processing system SYS1 sequentially forms, for example, a plurality of layered partial structures (hereinafter referred to as "structural layers") SLs arranged along the Z-axis direction.
  • structural layers layered partial structures
  • the processing system SYS1 sequentially forms a plurality of structural layers SL obtained by cutting the three-dimensional structure ST into round slices along the Z-axis direction.
  • the three-dimensional structure ST which is a laminated structure in which a plurality of structural layers SL are laminated, is formed.
  • the flow of the operation of forming the three-dimensional structure ST by forming the plurality of structural layers SL one by one in order will be described.
  • each structural layer SL Under the control of the control device 7, the processing system SYS1 sets an irradiation region EA in a desired region on the modeling surface MS corresponding to the surface of the work W or the surface of the formed structural layer SL, and the irradiation region EA is set with respect to the irradiation region EA.
  • the processing light EL is irradiated from the irradiation optical system 211.
  • the region occupied by the processed light EL emitted from the irradiation optical system 211 on the modeling surface MS may be referred to as an irradiation region EA.
  • the focus position (that is, the condensing position) of the processed light EL coincides with the modeling surface MS.
  • the molten pool (that is, the pool of metal melted by the processing light EL) MP is formed in the desired region on the modeling surface MS by the processing light EL emitted from the irradiation optical system 211. It is formed.
  • the processing system SYS1 sets a supply region MA in a desired region on the modeling surface MS under the control of the control device 7, and supplies the modeling material M to the supply region MA from the material nozzle 212.
  • the processing system SYS1 supplies the modeling material M from the material nozzle 212 to the molten pool MP.
  • the modeling material M supplied to the molten pool MP melts.
  • the processing light EL is not irradiated to the molten pool MP with the movement of the stage 31, the modeling material M melted in the molten pool MP is cooled and solidified (that is, solidified).
  • the solidified modeling material M is deposited on the modeling surface MS. That is, a modeled object is formed by the deposit of the solidified modeling material M.
  • a series of modeling processes including formation of a molten pool MP by irradiation with such processing light EL, supply of a modeling material M to the molten pool MP, melting of the supplied modeling material M, and solidification of the molten modeling material M can be performed.
  • the stage 31 is repeatedly moved relative to the processing head 21 along the XY plane. That is, when the stage 31 moves relative to the processing head 21, the irradiation region EA also moves relative to the modeling surface MS. Therefore, a series of modeling processes is repeated while moving the irradiation region EA relative to the modeling surface MS along the XY plane (that is, in the two-dimensional plane).
  • the processed light EL is selectively irradiated to the irradiation region EA set in the region where the modeled object is to be formed on the modeled surface MS, but it is not desired to form the modeled object on the modeled surface MS.
  • the irradiation area EA set in the area is not selectively irradiated (it can be said that the irradiation area EA is not set in the area where the modeled object is not desired to be formed). That is, the processing system SYS1 moves the irradiation region EA along the predetermined movement locus on the modeling surface MS, and transfers the processing light EL to the modeling surface MS at a timing according to the distribution mode of the region where the modeled object is to be formed. Irradiate.
  • the mode of distribution of the region where the modeled object is to be formed may be referred to as a distribution pattern or a pattern of the structural layer SL.
  • the molten pool MP also moves on the modeling surface MS along the movement locus according to the movement locus of the irradiation region EA.
  • the molten pool MP is sequentially formed on the modeling surface MS in the portion of the region along the movement locus of the irradiation region EA that is irradiated with the processing light EL.
  • the supply region MA also moves on the modeling surface MS along the movement locus according to the movement locus of the irradiation region EA. Become.
  • a structural layer SL corresponding to an aggregate of the modeled objects made of the solidified modeling material M is formed on the modeling surface MS. That is, the structural layer SL corresponding to the aggregate of the shaped objects formed on the modeling surface MS in the pattern corresponding to the moving locus of the molten pool MP (that is, the shape corresponding to the moving locus of the molten pool MP in a plan view).
  • the structural layer SL) to have is formed.
  • the modeling material M is supplied to the irradiation region EL, and the irradiation region EL is irradiated with the processing light EL having a strength that does not allow the molten pool MP. You may.
  • the irradiation area EA is moved with respect to the modeling surface MS, but the modeling surface MS may be moved with respect to the irradiation area EA.
  • the processing system SYS1 repeatedly performs the operation for forming such a structural layer SL under the control of the control device 7 based on the three-dimensional model data. Specifically, first, the three-dimensional model data is sliced at a stacking pitch to create slice data. It should be noted that data obtained by partially modifying this slice data according to the characteristics of the processing system SYS1 may be used. The processing system SYS1 performs the operation for forming the first structural layer SL # 1 on the modeling surface MS corresponding to the surface of the work W, that is, the three-dimensional model data corresponding to the structural layer SL # 1, that is, the structural layer. This is performed based on the slice data corresponding to SL # 1.
  • the processing system SYS1 uses information on the tool path that is the locus of the irradiation region EA (supply region MA) that passes through the region where the structural layer SL # 1 exists in the slice data corresponding to the structural layer SL # 1. May be operated. As a result, the structural layer SL # 1 is formed on the modeling surface MS as shown in FIG. 12A. After that, the processing system SYS1 sets the surface (that is, the upper surface) of the structural layer SL # 1 on the new modeling surface MS, and then forms the second structural layer SL # 2 on the new modeling surface MS. To do.
  • the control device 7 first controls the stage drive system (particularly, the power source 32) so that the stage 31 moves along the Z axis. Specifically, the control device 7 controls the stage drive system so that the irradiation region EA and the supply region MA are set on the surface of the structural layer SL # 1 (that is, the new modeling surface MS). The stage 31 is moved toward the Z side. As a result, the focus position of the processing light EL coincides with the new modeling surface MS. After that, the processing system SYS1 operates on the structural layer SL # 1 based on the slice data corresponding to the structural layer SL # 2 in the same operation as the operation of forming the structural layer SL # 1 under the control of the control device 7.
  • the structural layer SL # 2 is formed on the surface. As a result, the structural layer SL # 2 is formed as shown in FIG. 12 (b). After that, the same operation is repeated until all the structural layers SL constituting the three-dimensional structure ST to be formed on the work W are formed. As a result, as shown in FIG. 12 (c), the three-dimensional structure ST is formed by the laminated structure in which a plurality of structural layers SL are laminated.
  • the chamber space 63IN is a space purged with purge gas. Therefore, even if the power source 32 is arranged in the chamber space 63IN, an explosion due to contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 32 in the chamber space 63IN does not occur. However, if the power source 32 is arranged at a position isolated from the chamber space 63IN, the modeling material M and the power source 32 in the chamber space 63IN can be used even when the chamber space 63IN is not purged with the purge gas. No explosion will occur due to contact with the provided ignition source. Therefore, the processing system SYS1 can enjoy the effect that the stage 31 can be moved by using the power generated by the power source 32 even when the chamber space 63IN is not purged with the purge gas. it can.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the processing system SYS2 of the second embodiment.
  • the components that are the same as the components included in the processing system SYS1 of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the machining system SYS2 is different from the machining system SYS1 in that the stage device 3e is provided instead of the stage device 3. Further, the processing system SYS2 is different from the processing system SYS1 in which the opening 65 is formed in the housing 6 in that the opening 65 does not have to be formed in the housing 6. Other features of the processing system SYS2 may be the same as the processing system SYS1.
  • the stage device 3e is different from the stage device 3 in that it includes a power source 34e instead of the power source 32. Further, in the stage device 3e, the power source 32 is arranged in the external space 64OUT (that is, not arranged in the chamber space 63IN) in that the power source 34e may be arranged in the chamber space 63IN. Is different. Other features of the stage device 3e may be the same as those of the stage device 3.
  • the power source 34e is different from the power source 32 which does not have to have an explosion-proof structure in that it has an explosion-proof structure.
  • the power source 34e has an explosion-proof structure capable of preventing an explosion caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 34e in the chamber space 63IN.
  • the power source 34e may have an intrinsically safe explosion-proof structure capable of preventing the explosion of the modeling material M in the chamber space 63IN caused by the ignition source included in the power source 34e.
  • the power source 34e has a safety-enhanced explosion-proof structure in which the structural safety level is increased so as not to generate electric sparks or high-temperature parts in the chamber space 63IN where electric sparks or high-temperature parts should not be generated. You may be.
  • Other features of the power source 34e may be the same as the power source 32.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing the structure of the power source 34e included in the processing system SYS2 of the second embodiment.
  • the power source 34e includes a housing 341e, a power source 342e, and a power transmission member 343e. It is a containment device that accommodates 342.
  • the housing 341e includes a partition member 3411e that defines an accommodation space 344e.
  • the partition member 3411e is a member that separates (that is, isolates) the accommodation space 344e and the space outside the housing 341e.
  • the space outside the housing 341e since the power source 34e is arranged in the chamber space 63IN, the space outside the housing 341e includes at least a part of the chamber space 63IN.
  • the partition member 3411e faces the accommodation space 344e via the inner wall thereof, and faces the space outside the housing 341e (that is, the chamber space 63IN) through the outer wall thereof. In this case, the space surrounded by the partition member 3411e (more specifically, the space surrounded by the inner wall of the partition member 3411e) becomes the accommodation space 344e.
  • the power source 342e is a device that generates power for moving the stage 31. Specifically, the power source 342e electrically generates power. That is, the power source 342e generates power by using a current supplied from a power source (not shown). In other words, the power source 342e generates power by converting a current supplied from a power source (not shown) into power.
  • An example of the power source 342e is a motor.
  • the power source 342e includes an ignition source. As an example of the ignition source, as already described above, there is a conductive portion (for example, a coil) to which an electric current is supplied.
  • the power source 32 described above may be used as the power source 342e. In this case, it can be said that the power source 34e is equivalent to a device including the housing 341e and the power source 32 housed in the internal space 344e of the housing 341e.
  • the ignition source included in the power source 342e is also arranged in the internal space 344e. That is, the ignition source included in the power source 342e is not arranged in the chamber space 63IN.
  • the ignition source included in the power source 342e is isolated from the chamber space 63IN by the partition member 3411e.
  • the ignition source included in the power source 342e is arranged at a position isolated from the chamber space 63IN by the partition member 3411e.
  • the partition member 3411e is a member that surrounds the internal space 344e to isolate the ignition source provided by the power source 342e from the chamber space 63IN (that is, isolates the chamber space 63IN from the ignition source provided by the power source 342e). Can function as.
  • the housing 341e may have an explosion-proof structure capable of preventing an explosion caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the driving force generation source 342e in the chamber space 63IN.
  • the housing 341e may have an intrinsically safe explosion-proof structure capable of preventing the explosion of the modeling material M by an electric spark generated in the ignition source included in the power source 342e or a high temperature portion.
  • the housing 341e has a safety-enhanced explosion-proof structure in which the degree of structural safety is increased so as not to generate electric sparks or high-temperature parts in the chamber space 63IN where electric sparks or high-temperature parts should not be generated. You may be.
  • the power transmission member 343e is a member that transmits the power generated by the power source 342e to the outside of the power source 34e (particularly, the power transmission member 33). Since the power source 342e is arranged in the internal space 344e of the housing 341e, the power transmission member 343e transmits the power generated by the power source 342e in the internal space 344e from the internal space 344e to the outside of the power source 34e. It is a member to be used.
  • the power transmission member 343e non-electrically transmits the power generated by the power source 342e. For example, the power transmission member 343e may mechanically transmit the power generated by the power source 342e.
  • the power transmission member 343e may transmit the power generated by the power source 342e to the outside of the power source 34e by mechanically connecting the power source 342e and the power transmission member 33.
  • An example of a member capable of mechanically transmitting power is already described above. At least a part of the power transmission member 33 described above may be used as the power transmission member 343e.
  • An opening 3412e is formed in the partition member 3411e in order to transmit power from the internal space 344e to the chamber space 63IN.
  • the opening 3412e is a through hole that penetrates the partition member 3411e from the internal space 344e toward the chamber space 63IN.
  • a part of the power transmission member 343e is arranged in the opening 3412e. That is, the power transmission member 343e extends from the internal space 344e to the chamber space 63IN through the opening 3412e.
  • the power transmission member 343e can transmit power from the internal space 344e to the chamber space 63IN via the opening 3412e. That is, the power generated by the power source 342e in the internal space 344e is transmitted to the stage 31 arranged in the chamber space 63IN via the opening 3412e.
  • the opening 3412e When the opening 3412e is formed in the partition member 3411e, the internal space 644e and the chamber space 63IN are connected to each other through the opening 3412e. Therefore, when there is a gap (particularly, a relatively large gap) between the wall surface of the partition member 3411e defining the opening 3412e and the power transmission member 343e arranged in the opening 3412e, the inside of the chamber space 63IN There is a possibility that the modeling material M and the ignition source included in the power source 342e come into contact with each other through the opening 3412e. Therefore, the opening 3412e may be sealed by the sealing member 345e.
  • the seal member 345e is a member that seals between the wall surface of the partition member 3411e that defines the opening 3412e and the power transmission member 343e arranged in the opening 3412e.
  • the seal member 345e is a member for filling a gap between the wall surface of the partition member 3411e defining the opening 3412e and the power transmission member 343e arranged in the opening 3412e. Note that "filling the gap between the wall surface of the partition member 3411e and the power transmission member 343e" here completely eliminates the gap between the wall surface of the partition member 3411e and the power transmission member 343e (that is,).
  • the seal member 345e can function as a member that seals the internal space 344e (that is, maintains the airtightness of the internal space 344e). More specifically, the seal member 345e seals the internal space 344e together with the partition member 3411e and the power transmission member 343e.
  • the seal member 345e at least one of a rubber seal, an oil seal and a labyrinth seal can be mentioned.
  • the seal member 345e can function as a member for preventing contact between the modeling material M in the chamber space 63IN and the ignition source included in the power source 342e through the opening 3412e.
  • the electric spark generated by the power source 342e in the internal space 344e is supplied together with the partition member 3411e and the power transmission member 343e through the opening 3412e. It can function as a member that prevents entry into the chamber space 63IN.
  • the seal member 345e is an internal space 344e in which the modeling material M supplied to the chamber space 63IN together with the partition member 3411e and the power transmission member 343e is arranged with the power source 342e including the ignition source through the opening 3412e. It can function as a member that prevents entry.
  • the processing system SYS2 of the second embodiment described above, additional machining can be appropriately performed on the work W as in the machining system SYS1 of the first embodiment.
  • the ignition source included in the power source 34e (for example, the ignition source of the power source 342e) is arranged in the internal space 344e isolated from the chamber space 63IN by the partition member 3411e. Therefore, the explosion caused by the contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 34e in the chamber space 63IN is prevented. That is, the processing system SYS2 of the second embodiment can enjoy the same effect as the effect that can be enjoyed by the processing system SYS1 of the first embodiment. Further, in the processing system SYS2, since the power source 34e can be accommodated in the chamber space 63IN, the degree of freedom in arranging the power source 34e is increased.
  • the power source 34e may be arranged at a position different from that of the chamber space 63IN.
  • the power source 34e may be arranged in the external space 64OUT as in the power source 32 of the first embodiment.
  • the processing system SYS2 may include a power source 32 arranged in the external space 64OUT in addition to the power source 34e arranged in the chamber space 63IN.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the processing system SYS3 of the third embodiment.
  • FIG. 16 is a system configuration diagram showing an example of the system configuration of the processing system SYS3 of the third embodiment.
  • the components that are the same as the components included in the processing system SYS1 of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the machining system SYS3 is different from at least one of the machining systems SYS1 and SYS2 in that the machining device 2f is provided instead of the machining device 2. Further, the processing system SYS2 is different from the processing system SYS1 in that the stage device 3f is provided instead of the stage device 3. Other features of the machining system SYS3 may be the same as at least one of the machining systems SYS1 and SYS2.
  • the processing device 2f is different from the processing device 2 in that it further includes a power source 22f and a power transmission mechanism 23f.
  • the power source 22f and the power transmission mechanism 23f form a head drive system for moving the processing head 21 within the chamber space 63IN.
  • Other features of the processing apparatus 2f may be the same as those of the processing apparatus 2.
  • the power source 22f is different from the power source 32, which is a device for generating power for moving the stage 31, in that it is a device for generating power for moving the processing head 21.
  • Other features of the power source 22f may be the same as those of the power source 32.
  • the power transmission mechanism 23f is a device that transmits the power generated by the power source 22f to the processing head 21, and is a device that transmits the power generated by the power source 32 to the stage 31. Is different. Therefore, the power transmission mechanism 23f forms a power transmission path extending from the power source 22f to the processing head 21. Specifically, since the power transmission mechanism 23f itself serves as a power transmission path, the power transmission mechanism 23f extends from the power source 22f to the processing head 21. As a result, the processing head 21 is moved by the power transmitted from the power source 22f via the power transmission mechanism 23f. Other features of the power transmission mechanism 23f may be the same as those of the power transmission member 33.
  • FIG. 15 shows an example in which the processing system SYS3 includes a plurality of (two in the example shown in FIG. 15) power sources 22f, but the processing system SYS3 includes a single power source 22f. May be good.
  • FIG. 15 shows an example in which the machining system SYS3 includes a plurality of (two in the example shown in FIG. 15) power transmission mechanisms 23f, whereas the machining system SYS3 includes a single power transmission mechanism 23f. You may have it.
  • the power source 22f is arranged in the external space 64OUT like the power source 32. That is, the power source 22f is not arranged in the chamber space 63IN like the power source 32. Therefore, the ignition source included in the power source 22f is also not arranged in the chamber space 63IN. As a result, contact between the modeling material M supplied to the chamber space 63IN (particularly, the modeling material M which is a powder or granular material) and the ignition source provided by the power source 22f arranged in the external space 64OUT is prevented. To. Therefore, an explosion (typically, a dust explosion) caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 22f in the chamber space 63IN is prevented.
  • an explosion typically, a dust explosion
  • the power generated by the power source 22f in the external space 64OUT needs to be transmitted to the processing head 21 arranged in the chamber space 63IN. Therefore, the power transmission mechanism 23f extends from the external space 64OUT to the chamber space 63IN through the opening 65, similarly to the power transmission member 33. As a result, the power transmission mechanism 23f can transmit power from the external space 64OUT to the chamber space 63IN through the opening 65. That is, the power generated by the power source 22f in the external space 64OUT is transmitted to the processing head 21 arranged in the chamber space 63IN via the opening 65. Further, also in the third embodiment, as in the first embodiment, the opening 65 may be sealed by the sealing member 66.
  • the stage device 3f is different from the stage device 3 in that the power source 32 and the power transmission mechanism 33 do not have to be provided.
  • the stage device 3f is different from the stage device 3e in that the power source 34e and the power transmission mechanism 33 do not have to be provided.
  • the stage device 3 may include at least one of the power sources 32 and 34e and the power transmission member 33.
  • Other features of the stage device 3f may be the same as those of the stage device 3 or 3e.
  • the processing system SYS3 of the third embodiment additional processing can be appropriately performed on the work W.
  • the power source 22f provided with the ignition source is arranged in the external space 64OUT isolated from the chamber space 63IN by the partition member 61. Therefore, an explosion caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 22f in the chamber space 63IN is prevented.
  • the machining system SYS3 can enjoy the effect that the machining head 21 can be moved by using the power generated by the power source 22f even when the chamber space 63IN is not purged with the purge gas. it can.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the processing system SYS4 of the fourth embodiment.
  • the components that are the same as the components included in the processing system SYS3 of the third embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the processing system SYS4 is different from the processing system SYS3 in that it includes a processing device 2g instead of the processing device 2f. Further, the processing system SYS4 is different from the processing system SYS3 in which the opening 65 is formed in the housing 6 in that the opening 65 does not have to be formed in the housing 6. Other features of the processing system SYS4 may be the same as the processing system SYS3.
  • the processing device 2g is different from the processing device 2f in that it includes a power source 24g instead of the power source 22f. Further, in the processing device 2g, the power source 22f is arranged in the external space 64OUT (that is, not arranged in the chamber space 63IN) in that the power source 24g may be arranged in the chamber space 63IN. Is different. Other features of the processing apparatus 2g may be the same as those of the processing apparatus 2f.
  • the power source 24g is different from the power source 22f which does not have to have an explosion-proof structure in that it has an explosion-proof structure.
  • the power source 24g has an explosion-proof structure capable of preventing an explosion caused by contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 24g in the chamber space 63IN.
  • the power source 24g may have an intrinsically safe explosion-proof structure capable of preventing the explosion of the modeling material M in the chamber space 63IN caused by the ignition source included in the power source 24g.
  • the power source 24 g has a safety-enhanced explosion-proof structure in which the structural safety is increased so as not to generate electric sparks or high-temperature parts in the chamber space 63IN where electric sparks or high-temperature parts should not be generated. You may be.
  • the power source 24g may have the same structure as the power source 34e described in the second embodiment. Therefore, a detailed description of the power source 24 g will be omitted. Other features of the power source 24g may be the same as the power source 22f.
  • the processing system SYS4 of the fourth embodiment described above additional processing can be appropriately performed on the work W as in the processing system SYS3 of the third embodiment.
  • the ignition source included in the power source 24g is arranged in a space isolated from the chamber space 63IN (for example, the internal space 344e isolated by the partition member 3411e shown in FIG. 14). Therefore, the explosion caused by the contact between the modeling material M and the ignition source included in the power source 24g in the chamber space 63IN is prevented. That is, the processing system SYS4 of the fourth embodiment can enjoy the same effect as the effect that can be enjoyed by the processing system SYS3 of the third embodiment. Further, in the processing system SYS4, since the power source 24g can be accommodated in the chamber space 63IN, the degree of freedom in arranging the power source 24g is increased.
  • the power source 24g may be arranged at a position different from that of the chamber space 63IN.
  • the power source 24g may be arranged in the external space 64OUT as in the power source 24f of the third embodiment.
  • the processing system SYS4 may include a power source 22f arranged in the external space 64OUT in addition to the power source 24g arranged in the chamber space 63IN.
  • the power transmission member 33 mechanically transmits the power generated by the power source 32 to the stage 31.
  • the power transmission member 33 may be a power transmission mechanism using a fluid such as a hydraulic power transmission device or a pneumatic power transmission device.
  • the processing device 2 melts the modeling material M by irradiating the modeling material M with the processing light EL.
  • the processing apparatus 2 may melt the modeling material M by irradiating the modeling material M with an arbitrary energy beam.
  • the processing device 2 may include a beam irradiation device capable of irradiating an arbitrary energy beam in addition to or in place of the irradiation optical system 211.
  • Any energy beam includes, but is not limited to, a charged particle beam such as an electron beam, an ion beam, or an electromagnetic wave.
  • the processing system SYS can form the three-dimensional structure ST by the laser overlay welding method.
  • the processing system SYS can form the three-dimensional structure ST from the modeling material M by another method capable of forming the three-dimensional structure ST by irradiating the modeling material M with the processing light EL (or an arbitrary energy beam). It may be formed.
  • Other methods include, for example, a powder bed melting bonding method (Power Bed Fusion) such as a powder sintering laminated molding method (SLS: Selective Laser Sintering), a binder jetting method (Binder Jetting), or a laser metal fusion method (LMF:). Laser Metal Fusion) can be mentioned.
  • the processing system SYS may use an arbitrary method for additional processing, which is different from the method capable of forming the three-dimensional structure ST by irradiating the modeling material M with the processing light EL (or an arbitrary energy beam).
  • the three-dimensional structure ST may be formed.
  • the processing system SYS forms the three-dimensional structure ST by supplying the modeling material M from the material nozzle 212 toward the irradiation region EA where the irradiation optical system 211 irradiates the processing light EL. ..
  • the processing system SYS may form the three-dimensional structure ST by supplying the modeling material M from the material nozzle 212 without irradiating the processing light EL from the irradiation optical system 211.
  • the processing system SYS melts the modeling material M on the modeling surface MS by spraying the modeling material M onto the modeling surface MS from the material nozzle 212, and solidifies the melted modeling material M.
  • the dimensional structure ST may be formed.
  • the processing system SYS melts the modeling material M on the modeling surface MS and solidifies the molten modeling material M by blowing a gas containing the modeling material M onto the modeling surface MS from the material nozzle 212 at an ultra-high speed.
  • the three-dimensional structure ST may be formed.
  • the processing system SYS melts the modeling material M on the modeling surface MS by spraying the heated modeling material M onto the modeling surface MS from the material nozzle 212, and solidifies the molten modeling material M.
  • the three-dimensional structure ST may be formed.
  • the processing system SYS (particularly, the processing head 21) does not have to include the irradiation optical system 211. Good.
  • the processing system SYS performs a removal processing capable of removing at least a part of the object by irradiating an object such as a work W with a processing light EL (or an arbitrary energy beam) in addition to or instead of the additional processing. You may.
  • the processing system SYS irradiates an object such as a work W with processing light EL (or an arbitrary energy beam) in addition to or in place of at least one of addition processing and removal processing to mark at least a part of the object. Marking processing capable of forming (for example, letters, numbers or figures) may be performed. Even in this case, the above-mentioned effects can be enjoyed.
  • Appendix 1 A processing device that performs additional processing in the processing space where the object is housed, It is provided with a power generator for generating power for changing the relative position between the object and the processing device.
  • the partition wall member includes a first member that surrounds the processing space and isolates the processing space from the isolation space.
  • Appendix 3 The processing space is located inside the space surrounded by the first member.
  • the processing system according to Appendix 2 wherein the isolated space is located outside the space surrounded by the first member.
  • Appendix 4 The processing system according to Appendix 2 or 3, wherein the power generator is arranged in the isolated space.
  • Appendix 5 The processing system according to any one of Supplementary note 1 to 4, wherein the partition wall member includes a second member that surrounds the isolation space and isolates the isolation space from the processing space.
  • Appendix 6 The processing system according to Appendix 5, wherein the power generator has an explosion-proof structure in which explosion-proof measures are taken by the second member.
  • Appendix 7 The processing system according to Appendix 5 or 6, wherein the power generator includes an explosion-proof motor.
  • the second member includes a housing of the power generator.
  • Appendix 9 The processing system according to any one of Appendix 5 to 8, wherein the power generator is arranged in the processing space.
  • Appendix 10 The processing system according to any one of Appendix 5 to 9, wherein the second member is arranged in the processing space.
  • Appendix 11 The processing system according to any one of Appendix 1 to 10, wherein the partition member has an explosion-proof structure.
  • Appendix 12 The processing system according to any one of Supplementary note 1 to 11, wherein the relative position is changed by moving at least one of the object and the processing apparatus in the processing space using the power.
  • [Appendix 13] The processing system according to any one of Appendix 1 to 12, further comprising a power transmission mechanism for transmitting the power to at least one of the object and the processing apparatus.
  • [Appendix 14] The machining system according to Appendix 13, wherein at least a part of the power transmission mechanism is arranged in the machining space.
  • [Appendix 15] The processing system according to Appendix 13 or 14, wherein at least a part of the power transmission mechanism is arranged in the isolated space.
  • [Appendix 16] The processing system according to any one of Appendix 13 to 15, wherein the power transmission mechanism does not include an ignition source.
  • [Appendix 17] The processing system according to any one of Appendix 13 to 16, wherein the power transmission mechanism transmits the power non-electrically.
  • [Appendix 21] The processing system according to any one of Appendix 1 to 20, wherein the portion of the power generator that serves as an ignition source includes a portion that generates heat when the power is generated.
  • the processing device performs additional processing on the object to be processed and performs additional processing.
  • the processing device performs additional processing on the object to be processed and performs additional processing. Further equipped with a mounting device on which the object to be processed is mounted, The processing system according to any one of Supplementary note 1 to 22, wherein the object includes the above-described device.
  • Appendix 24 The processing system according to any one of Appendix 1 to 23, wherein the processing device includes an irradiation device that irradiates an energy beam in the processing space and a supply device that supplies a material to an irradiation position of the energy beam.
  • Appendix 25 The processing system according to Appendix 24, wherein the material contains powder or granular material.
  • Appendix 26 A mounting device for mounting objects and A processing device that supplies powder to the object and performs additional processing on the object.
  • the power source that generates power and The power is transmitted to at least one of the above-described device and the processing device through an isolation member provided between the power source and at least a part of the processing device and a through hole formed in the isolation member.
  • Power transmission member and A processing system including a sealing member that prevents sparks from entering the space where the power source is located and the space where the above-mentioned device is located.
  • a processing system including a sealing member that prevents the powder from entering the space where the power source is located from the space where the above-mentioned device is located.
  • a mounting device for mounting an object in the first space A processing device that supplies powder to the object and performs additional processing on the object in the first space.
  • a power source that is placed in the second space and generates power
  • An isolation member provided between the first space and the second space, A power transmission member that transmits the power to at least one of the above-described device and the processing device through a through hole formed in the isolation member.
  • a processing system including a seal member that seals between the power transmission member and the isolation member.
  • a mounting device for mounting an object in the first space A processing device that supplies powder to the object and performs additional processing on the object in the first space.
  • a power source that is placed in the second space and generates power An isolation member provided between the first space and the second space, A power transmission member that transmits the power to at least one of the above-described device and the processing device through a through hole formed in the isolation member.
  • a mounting device for mounting an object in the first space A processing device that supplies powder to the object and performs additional processing on the object in the first space.
  • a power source that is placed in the second space and generates power An isolation member that separates the first space from the second space, A power transmission member that transmits the power to at least one of the above-described device and the processing device through a through hole formed in the isolation member.
  • a processing system including a sealing member that prevents the transmission of sparks from the second space to the first space.
  • a mounting device for mounting an object in the first space A processing device that supplies powder to the object and performs additional processing on the object in the first space.
  • a power source that is placed in the second space and generates power, Power for transmitting the power to at least one of the above-described device and the processing device through a separating member provided between the first space and the second space and a through hole formed in the separating member.
  • Transmission member and A processing system including a sealing member that prevents powder from being transmitted from the first space to the second space.
  • [Appendix 34] Placing an object on a mounting device and To supply powder to the object and perform additional processing on the object, To generate power using a power source, Providing an isolation member between the power source and the space where the additional processing is performed, Using a power transmission member that passes through a through hole formed in the isolation member, the power is transmitted to at least one of the above-described device and the processing device.
  • a processing method comprising preventing the transmission of sparks from the space in which the power source is located to the space in which the above-mentioned device is located.
  • [Appendix 35] Placing an object on a mounting device and To supply powder to the object and perform additional processing on the object, To generate power using a power source, Providing an isolation member between the power source and the space where the additional processing is performed, Using a power transmission member that passes through a through hole formed in the isolation member, the power is transmitted to at least one of the above-described device and the processing device.
  • a processing method including preventing the transmission of powder from the space in which the above-mentioned device is located to the space in which the power source is located.
  • [Appendix 36] Placing an object on the mounting device in the first space To supply powder to the object and perform additional processing on the object in the first space.
  • a processing method including preventing the transmission of sparks from the second space to the first space.
  • Appendix 38 Placing an object on the mounting device in the first space To supply powder to the object and perform additional processing on the object in the first space.
  • To generate power with a power source located in the second space Separating the first space and the second space by a separating member, Using a power transmission member that passes through a through hole formed in the isolation member, the power is transmitted to at least one of the above-described device and the processing device.
  • a processing method including preventing the transmission of sparks from the second space to the first space.
  • Appendix 39 Placing an object on the mounting device in the first space To supply powder to the object and perform additional processing on the object in the first space.
  • a processing method including preventing the transmission of powder from the first space to the second space.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately modified within the scope of claims and within the scope not contrary to the gist or idea of the invention that can be read from the entire specification.
  • the processing method is also included in the technical scope of the present invention.
  • SYSTEM processing system 1 Material supply device 2 Processing device 22f, 24g Power source 23f Power transmission member 3 Stage device 31 Stage 32, 34e Power transmission member 33 Power transmission mechanism 6 Housing 61 Partition member 63IN Chamber space 64OUT External space 65 Opening 66 Seal Member W work M modeling material SL structural layer MS modeling surface EA irradiation area MA supply area MP molten pool EL processing light

Abstract

加工システムは、物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、動力を発生させる動力源と、前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材とを備える。

Description

加工システム
　本発明は、例えば、加工動作を行う加工システムの技術分野に関する。
　特許文献１には、粉状の材料をエネルギビームで溶融した後に、溶融した材料を固化させることで造形物を形成する加工動作を行う加工システムが記載されている。このような加工システムでは、加工システムの安全性を確保することが技術的課題となる。
米国特許出願公開第２０１７／０１４９０９号明細書
　第１の態様によれば、物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、動力を発生させる動力源と、前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材とを備える加工システムが提供される。
　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
図１は、第１実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。 図２は、第１実施形態の加工システムのシステム構成を示すシステム構成図である。 図３は、仕切り部材の一部の記載が省略された第１のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図４は、仕切り部材の一部の記載が省略されていない第１のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図５は、仕切り部材の一部の記載が省略された第２のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図６は、仕切り部材の一部の記載が省略されていない第２のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図７は、仕切り部材の一部の記載が省略された第３のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図８は、仕切り部材の一部の記載が省略されていない第３のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図９は、仕切り部材の一部の記載が省略された第４のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図１０は、仕切り部材の一部の記載が省略されていない第４のステージ装置の構造を示す斜視図である。 図１１（ａ）から図１１（ｅ）のそれぞれは、ワーク上のある領域において光を照射し且つ造形材料を供給した場合の様子を示す断面図である。 図１２（ａ）から図１２（ｃ）のそれぞれは、３次元構造物を形成する過程を示す断面図である。 図１３は、第２実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。 図１４は、第２実施形態の加工システムが備える動力源の構造を示す断面図である。 図１５は、第３実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。 図１６は、第３実施形態の加工システムのシステム構成を示すシステム構成図である。 図１７は、第４実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。
　以下、図面を参照しながら、加工システムの実施形態について説明する。以下では、物体の一例であるワークＷに付加加工を行う加工システムＳＹＳを用いて、加工システムの実施形態を説明する。特に、以下では、レーザ肉盛溶接法（ＬＭＤ：Ｌａｓｅｒ　Ｍｅｔａｌ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）に基づく付加加工を行う加工システムＳＹＳを用いて、加工システムの実施形態を説明する。レーザ肉盛溶接法に基づく付加加工は、ワークＷに供給した造形材料Ｍを加工光ＥＬで溶融することで、ワークＷと一体化された又はワークＷから分離可能な３次元構造物ＳＴを形成する付加加工である。尚、レーザ肉盛溶接法（ＬＭＤ）は、ダイレクト・メタル・デポジション、ディレクテッド・エナジー・デポジション、レーザクラッディング、レーザ・エンジニアード・ネット・シェイピング、ダイレクト・ライト・ファブリケーション、レーザ・コンソリデーション、シェイプ・デポジション・マニュファクチャリング、ワイヤ－フィード・レーザ・デポジション、ガス・スルー・ワイヤ、レーザ・パウダー・フージョン、レーザ・メタル・フォーミング、セレクティブ・レーザ・パウダー・リメルティング、レーザ・ダイレクト・キャスティング、レーザ・パウダー・デポジション、レーザ・アディティブ・マニュファクチャリング、レーザ・ラピッド・フォーミングと称してもよい。
　また、以下の説明では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸から定義されるＸＹＺ直交座標系を用いて、加工システムＳＹＳを構成する各種構成要素の位置関係について説明する。尚、以下の説明では、説明の便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれが水平方向（つまり、水平面内の所定方向）であり、Ｚ軸方向が鉛直方向（つまり、水平面に直交する方向であり、実質的には上下方向）であるものとする。また、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸周りの回転方向（言い換えれば、傾斜方向）を、それぞれ、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向と称する。ここで、Ｚ軸方向を重力方向としてもよい。また、ＸＹ平面を水平方向としてもよい。
　（１）第１実施形態の加工システムＳＹＳ
　初めに、第１実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ１”と称する）について説明する。
　（１－１）第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造
　初めに、図１及び図２を参照しながら、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造について説明する。図１は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造の一例を示す断面図である。図２は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１のシステム構成の一例を示すシステム構成図である。
　加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴ（つまり、３次元方向のいずれの方向においても大きさを持つ３次元の物体であり、立体物）を形成可能である。加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴを形成するための基礎となるワークＷ上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。このワークＷを基材又は台座と称してもよい。加工システムＳＹＳ１は、ワークＷに付加加工を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成可能である。ワークＷが後述するステージ３１である場合には、加工システムＳＹＳ１は、ステージ３１上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。ワークＷがステージ３１によって保持されている（或いは、ステージ３１に支持又は載置されている）既存構造物である場合には、加工システムＳＹＳ１は、既存構造物上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。この場合、加工システムＳＹＳ１は、既存構造物と一体化された３次元構造物ＳＴを形成してもよい。既存構造物と一体化された３次元構造物ＳＴを形成する動作は、既存構造物に新たな構造物を付加する動作と等価とみなせる。尚、既存構造物は例えば欠損箇所がある要修理品であってもよい。加工システムＳＹＳ１は、要修理品の欠損箇所を埋めるように、要修理品に３次元構造物を形成してもよい。或いは、加工システムＳＹＳ１は、既存構造物と分離可能な３次元構造物ＳＴを形成してもよい。尚、図１は、ワークＷが、ステージ３１によって保持されている既存構造物である例を示している。また、以下でも、ワークＷがステージ３１によって保持されている既存構造物である例を用いて説明を進める。
　上述したように、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成可能である。つまり、加工システムＳＹＳ１は、積層造形技術を用いて物体を形成する３Ｄプリンタであるとも言える。尚、積層造形技術は、ラピッドプロトタイピング（Ｒａｐｉｄ　Ｐｒｏｔｏｔｙｐｉｎｇ）、ラピッドマニュファクチャリング（Ｒａｐｉｄ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、又は、アディティブマニュファクチャリング（Ａｄｄｉｔｉｖｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）とも称される。
　３次元構造物ＳＴを形成するために、加工システムＳＹＳ１は、図１及び図２に示すように、材料供給装置１と、加工装置２と、ステージ装置３と、光源４と、ガス供給装置５と、筐体６と、制御装置７とを備える。加工装置２とステージ装置３とのそれぞれの少なくとも一部は、筐体６の内部のチャンバ空間６３ＩＮ内に収容されている。
　材料供給装置１は、加工装置２に造形材料Ｍを供給する。材料供給装置１は、加工装置２が３次元構造物ＳＴを形成するために単位時間あたりに必要とする分量の造形材料Ｍが加工装置２に供給されるように、当該必要な分量に応じた所望量の造形材料Ｍを供給する。
　造形材料Ｍは、所定強度以上の加工光ＥＬの照射によって溶融可能な材料である。このような造形材料Ｍとして、例えば、金属材料及び樹脂材料の少なくとも一方が使用可能である。但し、造形材料Ｍとして、金属材料及び樹脂材料とは異なるその他の材料が用いられてもよい。造形材料Ｍは、粉状の材料である。つまり、造形材料Ｍは、粉体である。粉体は、粉状の材料に加えて、粒状の材料を含んでいてもよい。造形材料Ｍは、例えば、９０マイクロメートル±４０マイクロメートルの範囲に収まる粒径の粉体を含んでいてもよい。造形材料Ｍを構成する粉体の平均粒径は、例えば、７５マイクロメートルであってもよいし、その他のサイズであってもよい。但し、造形材料Ｍは、粉体でなくてもよく、例えばワイヤ状の造形材料やガス状の造形材料が用いられてもよい。尚、加工システムＳＹＳ１は、造形材料Ｍを荷電粒子線等のエネルギビームで加工して造形物を形成してもよい。
　加工装置２は、材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを用いて３次元構造物ＳＴを形成する。造形材料Ｍを用いて３次元構造物ＳＴを形成するために、加工装置２は、加工ヘッド２１を備える。加工ヘッド２１は、照射光学系２１１と、材料ノズル（つまり造形材料Ｍを供給する供給系）２１２とを備えている。加工ヘッド２１は、チャンバ空間６３ＩＮ内に収容されている。但し、加工ヘッド２１の少なくとも一部が、筐体６の外部の空間である外部空間６４ＯＵＴに配置されていてもよい。尚、外部空間６４ＯＵＴは、加工システムＳＹＳ１のオペレータが立ち入り可能な空間であってもよい。
　照射光学系２１１は、射出部２１３から加工光ＥＬを射出するための光学系（例えば、集光光学系）である。具体的には、照射光学系２１１は、加工光ＥＬを発する光源４と、光ファイバやライトパイプ等の不図示の光伝送部材を介して光学的に接続されている。照射光学系２１１は、光伝送部材を介して光源４から伝搬してくる加工光ＥＬを射出する。照射光学系２１１は、加工光ＥＬがチャンバ空間６３ＩＮを進むように加工光ＥＬを射出する。照射光学系２１１は、照射光学系２１１から下方（つまり、－Ｚ側）に向けて加工光ＥＬを照射する。照射光学系２１１の下方には、ステージ３１が配置されている。ステージ３１にワークＷが支持又は載置されている場合には、照射光学系２１１は、ワークＷに向けて加工光ＥＬを照射する。具体的には、照射光学系２１１は、加工光ＥＬが照射される（典型的には、集光される）領域としてワークＷ上に設定される照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射可能である。更に、照射光学系２１１の状態は、制御装置７の制御下で、照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射する状態と、照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射しない状態との間で切替可能である。尚、照射光学系２１１から射出される加工光ＥＬの方向は真下（つまり、－Ｚ軸方向と一致）には限定されず、例えば、Ｚ軸に対して所定の角度だけ傾いた方向であってもよい。
　材料ノズル２１２は、造形材料Ｍを供給する供給アウトレット２１４を有する。材料ノズル２１２は、供給アウトレット２１４から造形材料Ｍを供給する（例えば、噴射する、噴出する、又は、吹き付ける）。材料ノズル２１２は、造形材料Ｍの供給源である材料供給装置１と、不図示のパイプ等を介して物理的に接続されている。材料ノズル２１２は、パイプを介して材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２は、パイプを介して材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを圧送してもよい。即ち、材料供給装置１からの造形材料Ｍと搬送用の気体（例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガス）とを混合してパイプを介して材料ノズル２１２に圧送してもよい。この場合、搬送用の気体として、例えば、ガス供給装置５から供給されるパージガスが用いられてもよい。尚、図１において材料ノズル２１２は、チューブ状に描かれているが、材料ノズル２１２の形状は、この形状に限定されない。材料ノズル２１２は、チャンバ空間６３ＩＮに向けて造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２は、材料ノズル２１２から下方（つまり、－Ｚ側）に向けて造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２の下方には、ステージ３１が配置されている。ステージ３１にワークＷが搭載されている場合には、材料ノズル２１２は、ワークＷに向けて造形材料Ｍを供給する。尚、材料ノズル２１２から供給される造形材料Ｍの進行方向はＺ軸方向に対して所定の角度（一例として鋭角）だけ傾いた方向であるが、－Ｚ側（つまり、真下）であってもよい。
　第１実施形態では、材料ノズル２１２は、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡに向けて造形材料Ｍを供給するように、照射光学系２１１に対して位置合わせされている。つまり、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給する領域としてワークＷ上に設定される供給領域ＭＡと照射領域ＥＡとが一致する（或いは、少なくとも部分的に重複する）ように、材料ノズル２１２と照射光学系２１１とが位置合わせされている。尚、照射光学系２１１から射出された加工光ＥＬによって形成される溶融池ＭＰに、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給するように位置合わせされていてもよい。
　ステージ装置３は、ステージ３１を備えている。ステージ３１は、チャンバ空間６３ＩＮに収容される。ステージ３１は、ワークＷを支持可能である。尚、ここで言う「ステージ３１がワークＷを支持する」状態は、ワークＷがステージ３１によって直接的に又は間接的に支えられている状態を意味していてもよい。ステージ３１は、ワークＷを保持可能であってもよい。つまり、ステージ３１は、ワークＷを保持することでワークＷを支持してもよい。或いは、ステージ３１は、ワークＷを保持可能でなくてもよい。この場合、ワークＷは、ステージ３１に載置されていてもよい。つまり、ステージ３１は、ステージ３１に載置されたワークＷを支持してもよい。このとき、ワークＷは、クランプレスでステージ３１に載置されていてもよい。従って、本実施形態における「ステージ３１がワークＷを支持する」状態は、ステージ３１がワークＷを保持する状態及びワークＷがステージ３１に載置される状態をも含んでいてもよい。ステージ３１を、ワークＷを支持する支持装置、ワークＷが載置される載置装置又はワークＷを保持する保持装置と称してもよい。ステージ３１がチャンバ空間６３ＩＮに収容されるため、ステージ３１が支持するワークＷもまた、チャンバ空間６３ＩＮに収容される。更に、ステージ３１は、ワークＷが保持されている場合には、保持したワークＷをリリース可能である。上述した照射光学系２１１は、ステージ３１がワークＷを支持している期間の少なくとも一部において加工ビームＰＬを照射する。更に、上述した材料ノズル２１２は、ステージ３１がワークＷを支持している期間の少なくとも一部において造形材料Ｍを供給する。尚、材料ノズル２１２が供給した造形材料Ｍの一部は、ワークＷの表面からワークＷの外部へと（例えば、ステージ３１の周囲へと）散乱する又はこぼれ落ちる可能性がある。このため、加工システムＳＹＳａは、ステージ３１の周囲に、散乱した又はこぼれ落ちた造形材料Ｍを回収する回収装置を備えていてもよい。尚、ステージ３１は、ワークＷを保持するために、機械的なチャックや真空吸着チャック等を備えていてもよい。
　ステージ装置３は更に、動力源３２と、動力伝達部材３３とを備えている。動力源３２及び動力伝達部材３３は、チャンバ空間６３ＩＮ内でステージ３１を移動させるためのステージ駆動系を構成する。
　動力源３２は、ステージ３１を移動させるための動力を発生させる装置（つまり、動力発生装置）である。具体的には、動力源３２は、電気的に動力を発生させる。つまり、動力源３２は、不図示の電源から供給される電流を用いて動力を発生させる。言い換えれば、動力源３２は、不図示の電源から供給される電流を動力に変換することで動力を発生させる。電気的に動力を発生させる。動力源３２の一例として、モータ等のアクチュエータがあげられる。この場合、動力源３２は、着火源となり得る部分（以降、説明の簡略化のために、着火源となる得る部分を単に“着火源”と称する）を含むことになる。着火源の一例として、電流が供給される導通部分（例えば、コイル）があげられる。なぜならば、コイルに導通部分が供給されることで導通部分に電気火花が生ずる及び／又は導通部分が発熱するからである。
　動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力をステージ３１に伝達する装置である。その結果、ステージ３１は、動力源３２から動力伝達部材３３を介して伝達される動力によって移動する。第１実施形態では特に、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を、非電気的にステージ３１に伝達する。例えば、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を、機械的にステージ３１に伝達してもよい。例えば、動力伝達部材３３は、動力源３２とステージ３１とを機械的に連結することで、動力源３２が発生させた動力をステージ３１に伝達してもよい。この場合、動力伝達部材３３は、動力源３２とは異なり、着火源を備えることはない。動力を機械的に伝達するために、動力伝達部材３３は、動力を機械的に伝達可能な部材を備えていてもよい。動力を機械的に伝達可能な部材の一例として、ねじ（例えば、台形ねじ、ボールねじ、すべりねじ及び三角ねじの少なくとも一つ）、歯車（例えば、平歯車、外歯歯車と組み合わせられる内歯歯車、ウォームと組み合わせられるウォーム歯車、かさ歯車、ラック・アンド・ピニオン、ねじ歯車及びハスバ歯車の少なくとも一つ）、ベルト（例えば、平ベルト、丸ベルト、歯付きベルト）、プーリー、ワイヤロープ、チェーン、シャフト及び滑車の少なくとも一つがあげられる。動力伝達部材３３は、これらの部材の少なくとも一つを用いて、動力源３２からステージ３１へと延びる動力伝達経路を形成する。具体的には、動力伝達部材３３そのものが動力伝達経路となるがゆえに、動力伝達部材３３は、動力源３２からステージ３１へと延びる。
　尚、図１は、加工システムＳＹＳ１が複数の（図１に示す例では、２つの）動力源３２を備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ１は、単一の動力源３２を備えていてもよい。同様に、図１は、加工システムＳＹＳ１が複数の（図１に示す例では、２つの）動力伝達部材３３を備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ１は、単一の動力伝達部材３３を備えていてもよい。
　ステージ３１が移動すると、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置が変化する。このため、動力源３２及び動力伝達部材３３が構成するステージ駆動系は、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置を変更するための装置として機能可能である。
　ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿ってステージ３１を移動させてもよい。ステージ３１がＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿って移動すると、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置が変化する。このため、動力源３２及び動力伝達部材３３が構成するステージ駆動系は、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置を変更するための装置として機能可能である。尚、ステージ３１がＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動すると、照射領域ＥＡ及び供給領域ＭＡのそれぞれは、ワークＷ上をＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動する。
　ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに加えて、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つの回転方向に沿ってステージ３１を移動させてもよい。言い換えると、ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの軸回りにステージ３１を回転させてもよい。ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの軸回りにステージ３１の姿勢を変えてもよい。ステージ３１がθＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つの回転方向に沿って移動すると、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対的な姿勢が変化する。このため、動力源３２及び動力伝達部材３３が構成するステージ駆動系は、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対的な姿勢を変更するための装置として機能可能である。
　光源４は、例えば、赤外光及び紫外光のうちの少なくとも一つを、加工光ＥＬとして射出する。但し、加工光ＥＬとして、その他の波長の光、例えば可視域の波長の光が用いられてもよい。加工光ＥＬは、レーザ光である。この場合、光源４は、半導体レーザ等のレーザ光源を含んでいてもよい。レーザ光源の一例としては、レーザダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ　Ｄｉｏｄｅ）、ファイバ・レーザ、ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ及びエキシマレーザ等の少なくとも一つがあげられる。但し、加工光ＥＬはレーザ光でなくてもよいし、光源４は任意の光源（例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）及び放電ランプ等の少なくとも一つ）を含んでいてもよい。
　ガス供給装置５は、チャンバ空間６３１ＩＮをパージするためのパージガスの供給源である。パージガスは、酸素ガスを含まない（或いは、含んでいたとしてもごく微量の酸素ガスしか含んでいない）ガスである。パージガスは、不活性ガスを含む。不活性ガスの一例として、窒素ガス又はアルゴンガスがあげられる。ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給する。その結果、チャンバ空間６３ＩＮは、パージガスによってパージされた空間となる。尚、ガス供給装置５は、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスが格納されたボンベであってもよい。不活性ガスが窒素ガスである場合には、ガス供給装置５は、大気を原料として窒素ガスを発生する窒素ガス発生装置であってもよい。
　ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにおける酸素濃度が所定濃度以下になるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。所定濃度は、加工システムＳＹＳ１に対して設定された固定値（或いは、可変値）であってもよい。この場合、所定濃度は、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）を防止可能な酸素濃度に設定されてもよい。例えば、所定濃度は、０．５％に設定されてもよい。
　ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにおける酸素濃度が、外部空間６４ＯＵＴにおける酸素濃度よりも低くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。つまり、ガス供給装置５は、外部空間６４ＯＵＴにおける酸素濃度が、チャンバ空間６３ＩＮにおける酸素濃度よりも高くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。
　ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにおける圧力が、チャンバ空間６３ＩＮ以外の空間（例えば、外部空間６４ＯＵＴ）における圧力よりも高くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。つまり、ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮ以外の空間（例えば、外部空間６４ＯＵＴ）における圧力が、チャンバ空間６３ＩＮにおける圧力よりも低くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。
　筐体６は、筐体６の内部空間であるチャンバ空間６３ＩＮに少なくとも加工装置２及びステージ装置３のそれぞれの少なくとも一部を収容する収容装置である。筐体６は、チャンバ空間６３ＩＮを規定する仕切り部材６１を含む。仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮと、筐体６の外部空間６４ＯＵＴとを隔てる（つまり、隔離する）部材である。仕切り部材６１を隔壁部材と称してもよい。仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮと外部空間６４ＯＵＴとの間に設けられる部材である。仕切り部材６１は、その内壁６１ＩＳを介してチャンバ空間６３ＩＮに面し、その外壁６１ＯＳを介して外部空間６４ＯＵＴに面する。この場合、仕切り部材６１によって囲まれた空間（より具体的には、仕切り部材６１の内壁６１ＩＳによって囲まれた空間）が、チャンバ空間６３ＩＮとなる。尚、仕切り部材６１には、開閉可能な扉が設けられていてもよい。この扉は、ワークＷをステージ３１に支持する際、およびステージ３１からワークＷおよび／または造形物を取り出す際に開かれ、且つ造形中には閉じられていてもよい。
　外部空間６４ＯＵＴには、動力源３２が配置される。つまり、動力源３２は、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。動力源３２は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離されている。動力源３２は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されている。この場合、仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮを取り囲むことで動力源３２をチャンバ空間６３ＩＮから隔離する部材となる。
　動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置されると、動力源３２が備える着火源（例えば、上述した導通部分）もまた、外部空間６４ＯＵＴに配置される。つまり、動力源３２が備える着火源は、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。動力源３２が備える着火源は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離されている。動力源３２が備える着火源は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されている。この場合、仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮを取り囲むことで動力源３２が備える着火源をチャンバ空間６３ＩＮから隔離する（つまり、動力源３２が備える着火源からチャンバ空間６３ＩＮを隔離する）部材として機能可能である。また、仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮを取り囲むことで、チャンバ空間６３ＩＮに供給されている造形材料Ｍが外部空間６４ＯＵＴに漏れ出ることを防止している。
　その結果、当該チャンバ空間６３ＩＮに供給される造形材料Ｍ（特に、粉粒体である造形材料Ｍ）と、外部空間６４ＯＵＴに配置されている動力源３２が備える着火源との接触が防止される。尚、「造形材料Ｍと着火源との接触」は、「造形材料Ｍと着火源とそのものとの接触」のみならず、「造形材料Ｍと着火源において発生した電気火花等との接触」をも含む。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）が防止される。
　この場合、筐体６は、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有していてもよい。例えば、筐体６は、動力源３２が備える着火源に発生する電気火花又は高温部による造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。例えば、筐体６は、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。
　但し、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた動力は、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達される必要がある。このため、動力伝達部材３３は、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた動力を、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達する。つまり、動力伝達部材３３は、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達する。この場合、動力伝達部材３３の少なくとも一部はチャンバ空間６３ＩＮに配置される。動力伝達部材３３の少なくとも一部がチャンバ空間６３ＩＮに配置されたとしても、上述したように動力伝達部材３３が着火源を備えていないがゆえに、チャンバ空間６３ＩＮ内における爆発が防止可能であることに変わりはない。
　外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達するために、仕切り部材６１には、開口６５が形成されている。開口６５は、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに向けて仕切り部材６１を貫通する貫通孔である。開口６５には、動力伝達部材３３の一部が配置される。つまり、動力伝達部材３３は、開口６５を介して外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮへと延びる。その結果、動力伝達部材３３は、開口６５を介して、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達することができる。つまり、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた動力は、開口６５を介して、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達される。
　仕切り部材６１に開口６５が形成されると、開口６５を介してチャンバ空間６３ＩＮと外部空間６４ＯＵＴとがつながる。このため、開口６５を規定する仕切り部材６１の壁面と開口６５に配置される動力伝達部材３３との間に隙間（特に、相対的に大きな隙間）が存在する場合には、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと、動力源３２が備える着火源とが、開口６５を介して接触してしまう可能性がある。このため、開口６５は、シール部材６６によってシールされていてもよい。シール部材６６は、開口６５を規定する仕切り部材６１の壁面と開口６５に配置される動力伝達部材３３との間をシールする部材である。具体的には、シール部材６６は、開口６５を規定する仕切り部材６１の壁面と開口６５に配置される動力伝達部材３３との間の隙間を埋めるための部材である。尚、ここで言う「仕切り部材６１の壁面と動力伝達部材３３との間の隙間を埋める」ことは、仕切り部材６１の壁面と動力伝達部材３３との間の隙間を完全になくす（つまり、ふさぐ）ことを意味していてもよいし、仕切り部材６１の壁面と動力伝達部材３３との間の隙間を、チャンバ空間６３ＩＮを密閉することができる程度に小さくすることを意味していてもよい。つまり、シール部材６６は、チャンバ空間６３ＩＮを密閉する（つまり、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する）部材として機能可能である。より具体的には、シール部材６６は、仕切り部材６１及び動力伝達部材３３と共に、チャンバ空間６３ＩＮを密閉する。尚、シール部材６６の一例として、ゴムシール、オイルシール及びラビリンスシールの少なくとも一つがあげられる。
　シール部材６６によって開口６５がシールされると、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との開口６５を介して接することが防止される。つまり、シール部材６６は、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との開口６５を介して接することを防止するための部材として機能可能である。具体的には、例えば、シール部材６６は、仕切り部材６１及び動力伝達部材３３と共に、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた電気火花が、開口６５を介して、造形材料Ｍが供給されるチャンバ空間６３ＩＮに入ることを防止する部材として機能可能である。例えば、シール部材６６は、仕切り部材６１及び動力伝達部材３３と共に、チャンバ空間６３ＩＮに供給された造形材料Ｍが、開口６５を介して、着火源を含む動力源３２が配置される外部空間６４ＯＵＴに入ることを防止する部材として機能可能である。
　制御装置７は、加工システムＳＹＳ１の動作を制御する。制御装置７は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）（或いは、ＣＰＵに加えて又は代えてＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ））と、メモリとを含んでいてもよい。制御装置７は、ＣＰＵがコンピュータプログラムを実行することで、加工システムＳＹＳ１の動作を制御する装置として機能する。このコンピュータプログラムは、制御装置７が行うべき後述する動作を制御装置７（例えば、ＣＰＵ）に行わせる（つまり、実行させる）ためのコンピュータプログラムである。つまり、このコンピュータプログラムは、加工システムＳＹＳ１に後述する動作を行わせるように制御装置７を機能させるためのコンピュータプログラムである。ＣＰＵが実行するコンピュータプログラムは、制御装置７が備えるメモリ（つまり、記録媒体）に記録されていてもよいし、制御装置７に内蔵された又は制御装置７に外付け可能な任意の記憶媒体（例えば、ハードディスクや半導体メモリ）に記録されていてもよい。或いは、ＣＰＵは、実行するべきコンピュータプログラムを、ネットワークインタフェースを介して、制御装置７の外部の装置からダウンロードしてもよい。
　例えば、制御装置７は、照射光学系２１１による加工光ＥＬの射出態様を制御してもよい。射出態様は、例えば、加工光ＥＬの強度及び加工光ＥＬの射出タイミングの少なくとも一方を含んでいてもよい。加工光ＥＬがパルス光である場合には、射出態様は、例えば、パルス光の発光時間の長さとパルス光の発光周期との比（いわゆる、デューティ比）を含んでいてもよい。また、射出態様は、例えば、パルス光の発光時間の長さそのものや、発光周期そのものを含んでいてもよい。更に、制御装置７は、動力源３２によるステージ３１の移動態様を制御してもよい。移動態様は、例えば、移動量、移動速度、移動方向及び移動タイミングの少なくとも一つを含んでいてもよい。更に、制御装置７は、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給態様を制御してもよい。材料ノズル２１２による造形材料Ｍの供給態様は、主として、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給態様によって定まる。このため、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給態様を制御することは、材料ノズル２１２による造形材料Ｍの供給態様を制御することと等価とみなせる。供給態様は、例えば、供給量（特に、単位時間当たりの供給量）及び供給タイミングの少なくとも一方を含んでいてもよい。
　制御装置７は、加工システムＳＹＳ１の内部に設けられていなくてもよく、例えば、加工システムＳＹＳ１外にサーバ等として設けられていてもよい。この場合、制御装置７と加工システムＳＹＳ１とは、有線及び／又は無線のネットワーク（或いは、データバス及び／又は通信回線）で接続されていてもよい。有線のネットワークとして、例えばＩＥＥＥ１３９４、ＲＳ－２３２ｘ、ＲＳ－４２２、ＲＳ－４２３、ＲＳ－４８５及びＵＳＢの少なくとも一つに代表されるシリアルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、パラレルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、１０ＢＡＳＥ－Ｔ、１００ＢＡＳＥ－ＴＸ及び１０００ＢＡＳＥ－Ｔの少なくとも一つに代表されるイーサネット（登録商標）に準拠したインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、電波を用いたネットワークが用いられてもよい。電波を用いたネットワークの一例として、ＩＥＥＥ８０２．１ｘに準拠したネットワーク（例えば、無線ＬＡＮ及びＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）の少なくとも一方）があげられる。無線のネットワークとして、赤外線を用いたネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、光通信を用いたネットワークが用いられてもよい。この場合、制御装置７と加工システムＳＹＳ１とはネットワークを介して各種の情報の送受信が可能となるように構成されていてもよい。また、制御装置７は、ネットワークを介して加工システムＳＹＳ１にコマンドや制御パラメータ等の情報を送信可能であってもよい。加工システムＳＹＳ１は、制御装置７からのコマンドや制御パラメータ等の情報を、上記ネットワークを介して受信する受信装置を備えていてもよい。
　尚、制御装置７は、一部が加工システムＳＹＳ１の内部に設けられ、他の一部が加工システムＳＹＳ１の外部に設けられていてもよい。
　尚、ＣＰＵが実行するコンピュータプログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ、ＣＤ－ＲＷやフレキシブルディスク、ＭＯ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＡＭ、ＤＶＤ－Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ－ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ及びＢｌｕ－ｒａｙ（登録商標）等の光ディスク、磁気テープ等の磁気媒体、光磁気ディスク、ＵＳＢメモリ等の半導体メモリ、及び、その他プログラムを格納可能な任意の媒体の少なくとも一つが用いられてもよい。記録媒体には、コンピュータプログラムを記録可能な機器（例えば、コンピュータプログラムがソフトウェア及びファームウェア等の少なくとも一方の形態で実行可能な状態に実装された汎用機器又は専用機器）が含まれていてもよい。更に、コンピュータプログラムに含まれる各処理や機能は、制御装置７（つまり、コンピュータ）がコンピュータプログラムを実行することで制御装置７内に実現される論理的な処理ブロックによって実現されてもよいし、制御装置７が備える所定のゲートアレイ（ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ）等のハードウェアによって実現されてもよいし、論理的な処理ブロックとハードウェアの一部の要素を実現する部分的ハードウェアモジュールとが混在する形式で実現してもよい。
　（１－２）ステージ装置３の具体例
　続いて、動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置されるステージ装置３の具体例について説明する。第１実施形態では、加工システムＳＹＳ１は、ステージ装置３として、第１のステージ装置３ａ、第２のステージ装置３ｂ、第３のステージ装置３ｃ及び第４のステージ装置３ｄの少なくとも一つを用いてもよい。このため、以下では、第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄのそれぞれの構造について順に説明する。尚、以下に説明する第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄはあくまで一例に過ぎない。つまり、加工システムＳＹＳ１は、第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄとは異なる構造を有するステージ装置３を備えていてもよい。
　（１－２－１）第１のステージ装置３ａの構造
　はじめに、図３及び図４を参照しながら、第１のステージ装置３ａの構造について説明する。図３は、仕切り部材６１ａの一部の図示が省略された第１のステージ装置３ａの構造を示す斜視図である。図４は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略されていない第１のステージ装置３ａの構造を示す斜視図である。
　図３及び図４に示すように、第１のステージ装置３ａは、ステージ３１の一例であるステージ３１ａを備えている。第１のステージ装置３ａは更に、それぞれが動力源３２の一例である３つのモータ３２ａ（具体的には、モータ３２ａ＃１、モータ３２ａ＃２及びモータ３２ａ＃３）を備えている。第１のステージ装置３ａは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である３つの動力伝達部材３３ａ（具体的には、動力伝達部材３３ａ＃１、動力伝達部材３３ａ＃２及び動力伝達部材３３ａ＃３）を備えている。動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が発生させた動力をステージ３１ａに伝達する。
　動力伝達部材３３ａ＃１は、ボールねじ（或いは、すべりねじ、以下同じ）３３０ａ＃１と、連結部材３３３ａ＃１とを備える。ボールねじ３３０ａ＃１は、軸部材３３１ａ＃１と、ナット３３２ａ＃１とを備える。動力伝達部材３３ａ＃２は、ボールねじ３３０ａ＃２と、連結部材３３３ａ＃２とを備える。ボールねじ３３０ａ＃２は、軸部材３３１ａ＃２と、ナット３３２ａ＃２とを備える。動力伝達部材３３＃３は、ボールねじ３３０ａ＃２と、連結部材３３３ａ＃３とを備える。ボールねじ３３０ａ＃３は、軸部材３３１ａ＃３と、ナット３３２ａ＃３とを備える。
　軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３のそれぞれは、側面にねじ山が形成されたねじ軸である。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って延びるように配置される。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に連結される。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３によってＺ軸周りに沿って回転する。その結果、軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３にそれぞれはめ込まれたナット３３２ａ＃１から３３２ａ＃３は、Ｚ軸方向に沿って移動する。このため、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が発生させた動力をＺ軸方向に沿って伝達することになる。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３は、それぞれ、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状の領域の頂点又は当該頂点の近傍に配置される。このため、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３もまた、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状の領域の頂点又は当該頂点の近傍に配置される。
　ナット３３２ａ＃１から３３２ａ＃３には、それぞれ、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の一端が連結されている。連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３のそれぞれの他端は、ステージ３１ａに連結されている。ナット３３２ａ＃１から３３２ａ＃３のＺ軸方向の移動に合わせて、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の一端もまたそれぞれＺ軸方向に沿って移動する。その結果、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の他端は、それぞれ、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の一端の移動に合わせて、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿って移動する。その結果、ステージ３１ａは、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って移動する。このような動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３を備える加工システムＳＹＳ１は、いわゆるデルタ型の３Ｄプリンタと称される。
　加工システムＳＹＳ１が第１のステージ装置３ａを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第１のステージ装置３ａに応じた筐体６ａを、筐体６として備えている。具体的には、筐体６ａは、それぞれが仕切り部材６１の一部を構成する天井部材６１１ａと、底部材６１２ａと、支柱部材６１３ａ＃１と、支柱部材６１３ａ＃２と、支柱部材６１３ａ＃３と、側壁部材６１４ａ＃１と、側壁部材６１４ａ＃２と、側壁部材６１４ａ＃３とを備える。天井部材６１１ａは、チャンバ空間６３ＩＮの上方（つまり、＋Ｚ側）の境界を規定する部材である。天井部材６１１ａは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。底部材６１２ａは、チャンバ空間６３ＩＮの下方（つまり、－Ｚ側）の境界を規定する部材である。底部材６１２ａは、天井部材６１１ａの下方に配置される。底部材６１２ａは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。支柱部材６１３ａ＃１から６１３ａ＃３のそれぞれは、底部材６１２ａから天井部材６１１ａに向かって延びる柱状の部材である。つまり、支柱部材６１３ａ＃１から６１３ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って延びる柱状の部材である。側壁部材６１４ａ＃１から６１４ａ＃３のそれぞれは、チャンバ空間６３ＩＮの側方の境界を規定する部材である。側壁部材６１４ａ＃１から６１４ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸に沿って延びる板状の部材である。側壁部材６１４ａ＃１は、天井部材６１１ａと底部材６１２ａと支柱部材６１３ａ＃１と支柱部材６１３＃２との間の開口をふさぐように配置される。但し、図３では、側壁部材６１４ａ＃１の記載が省略されている。側壁部材６１４ａ＃２は、天井部材６１１ａと底部材６１２ａと支柱部材６１３ａ＃２と支柱部材６１３＃３との間の開口をふさぐように配置される。側壁部材６１４ａ＃３は、天井部材６１１ａと底部材６１２ａと支柱部材６１３ａ＃３と支柱部材６１３＃１との間の開口をふさぐように配置される。その結果、天井部材６１１ａと、底部材６１２ａと、側壁部材６１４ａ＃１と、側壁部材６１４ａ＃２と、側壁部材６１４ａ＃３とによって囲まれた空間が、チャンバ空間６３ＩＮとして規定される。尚、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する（その結果、モータ３２ａからの火花のチャンバ空間６３ＩＮへの侵入を防止する）ために、天井部材６１１ａと、底部材６１２ａと、支柱部材６１３ａ＃１と、支柱部材６１３ａ＃２と、支柱部材６１３ａ＃３と、側壁部材６１４ａ＃１と、側壁部材６１４ａ＃２と、側壁部材６１４ａ＃３との間の隙間は、シール部材によってシールされていてもよい。
　チャンバ空間６３ＩＮには、動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３が配置される。一方で、外部空間６４ＯＵＴには、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が配置される。但し、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３は、それぞれ、天井部材６１１ａに形成される開口６５ａ＃１から６５ａ＃３を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に向かって延びる。開口６５ａ＃１から６５ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って天井部材６１１ａを貫通する（つまり、板状の天井部材６１１ａの表面に交差する方向に沿って天井部材６１１ａを貫通する）ようにＺ軸方向に沿って延びる貫通孔である。このため、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａのそれぞれの一部は、外部空間６４ＯＵＴに配置される。但し、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３のそれぞれの回転軸が、開口６５ａ＃１から６５ａ＃３を介して、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに延びる場合は、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａのそれぞれは、外部空間６４ＯＵＴに配置されていなくてもよい。
　天井部材６１１ａは、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状を有する。また、Ｚ軸方向に沿って天井部材６１１ａに対向する底部材６１２ａもまた、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状を有する。天井部材６１１ａの三角形の３つの頂点又は当該３つの頂点の近傍には、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が配置される。天井部材６１１ａの三角形の３つの頂点又は当該３つの頂点の近傍には、それぞれ、開口６５の一例である開口６５ａ＃１から６５ａ＃３が形成される。開口６５ａ＃１から６５ａ＃３は、それぞれ、シール部材６６の一例であるシール部材６６ａ＃１から６６ａ＃３によってシールされている。ここで、動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３の軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３が回転しても、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３と開口６５ａ＃１から６５ａ＃３との間隔が変化しないため、シール部材６６ａ＃１から６６ａ＃３によるシールの不完全さが生じにくい。尚、天井部材６１１ａは、三角形以外の形状を有していてもよい。例えば、矩形、多角形、円形を有していてもよい。そのときには、チャンバ空間６３ＩＮの形状も、四角柱、多角柱、円柱となってもよい。
　（１－２－２）第２のステージ装置３ｂの構造
　続いて、図５及び図６を参照しながら、第２のステージ装置３ｂの構造について説明する。図５は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略された第２のステージ装置３ｂの構造を示す斜視図である。図６は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略されていない第２のステージ装置３ｂの構造を示す斜視図である。尚、第１のステージ装置３ａが備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
　図５及び図６に示すように、第２のステージ装置３ｂは、ステージ３１の一例であるステージ３１ｂを備えている。第２のステージ装置３ｂは、第１のステージ装置３ａと同様に、３つのモータ３２ａ（具体的には、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３）を備えている。第２のステージ装置３ｂは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である３つの動力伝達部材３３ｂ（具体的には、動力伝達部材３３ｂ＃１、動力伝達部材３３ｂ＃２及び動力伝達部材３３ｂ＃３）を備えている。動力伝達部材３３ｂ＃１から３３ｂ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が発生させた動力をステージ３１ｂに伝達する。
　動力伝達部材３３ｂ＃１は、ドライブシャフト３３１ｂ＃１と、かさ歯車機構３３２ｂ＃１と、ドライブシャフト３３３ｂ＃１と、アーム機構３３４ｂ＃１とを備える。動力伝達部材３３ｂ＃２は、ドライブシャフト３３１ｂ＃２と、かさ歯車機構３３２ｂ＃２と、ドライブシャフト３３３ｂ＃２と、アーム機構３３４ｂ＃２とを備える。動力伝達部材３３ｂ＃３は、ドライブシャフト３３１ｂ＃３と、かさ歯車機構３３２ｂ＃３と、ドライブシャフト３３３ｂ＃３と、アーム機構３３４ｂ＃３とを備える。尚、ドライブシャフトは、軸部材と称してもよい。
　ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って延びるように配置される。ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に連結される。ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３によってＺ軸周りに沿って回転する。このため、ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って動力を伝達する。ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３は、それぞれ、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状の領域の頂点又は当該頂点の近傍に配置される。
　ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３のＺ軸周りの回転は、それぞれ、かさ歯車機構３３２ｂ＃２から３３２ｂ＃３によってドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３に伝達される。その結果、ドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸に交差する軸周りに回転する。このため、ドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に交差する方向に沿って動力を伝達する。ドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３の回転は、それぞれ、アーム機構３３４ｂ＃１から３３４ｂ＃３に伝達される。具体的には、アーム機構３３４ｂ＃１は、ベース部材３３４１ｂ＃１と、関節部材３３４２ｂ＃１と、リンク部材３３４３ｂ＃１と、関節部材３３４４ｂ＃１と、リンク部材３３４５ｂ＃１とを備える。ベース部材３３４１ｂは、底部材６１２ａに固定される。ベース部材３３４１ｂ＃１とリンク部材３３４３ｂ＃１とは、関節部材３３４２ｂ＃１によって連結される。関節部材３３４２ｂ＃１には、ドライブシャフト３３３ｂ＃１が連結される。このため、関節部材３３４２ｂ＃１には、ドライブシャフト３３３ｂ＃１の回転が伝達される。ここで、間接部材３３４２ｂは、リンク部材３３４３ｂに固定される。このため、ドライブシャフト３３３ｂ＃１の回転に伴ってリンク部材３３４３ｂ＃１が移動する。リンク部材３３４３ｂ＃１は、関節部材３３４４ｂ＃１を介してリンク部材３３４５ｂ＃１に連結される。このため、リンク部材３３４３ｂ＃１の移動に伴ってリンク部材３３４５ｂ＃１が移動する。更に、リンク部材３３４５ｂ＃１は、ステージ３１ｂに連結されている。その結果、リンク部材３３４５ｂ＃１の移動に伴ってステージ３１ｂが移動する。説明の簡略化のために詳述しないものの、アーム機構３３４ｂ＃２及び３３４ｂ＃３のそれぞれもまた、アーム機構３３４ｂ＃１と同様の構造を有する。このため、ステージ３１ｂは、アーム機構３３４ｂ＃１から３３４ｂ＃３の動作に合わせて、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って移動する。
　加工システムＳＹＳ１が第２のステージ装置３ｂを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第２のステージ装置３ｂに応じた筐体６ｂを、筐体６として備えている。尚、筐体６ｂは、上述した筐体６ａと同一であってもよいため、その詳細な説明を省略する。但し、加工システムＳＹＳ１が第２のステージ装置３ｂを備えている場合には、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３に代えて、ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３が、それぞれ、開口６５ａ＃１から６５ａ＃３を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に向かって延びる。
　（１－２－３）第３のステージ装置３ｃの構造
　続いて、図７及び図８を参照しながら、第３のステージ装置３ｃの構造について説明する。図７は、仕切り部材６１ｃの一部の記載が省略された第３のステージ装置３ｃの構造を示す斜視図である。図８は、仕切り部材６１ｃの一部の記載が省略されていない第３のステージ装置３ｃの構造を示す斜視図である。
　図７及び図８に示すように、第３のステージ装置３ｃは、ステージ３１の一例であるステージ３１ｃを備えている。第３のステージ装置３ｃは更に、それぞれが動力源３２の一例である２つのモータ３２ｃ（具体的には、モータ３２ｃ＃１及びモータ３２ｃ＃２）を備えている。第３のステージ装置３ｃは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である２つの動力伝達部材３３ｃ（具体的には、動力伝達部材３３ｃ＃１及び動力伝達部材３３ｃ＃２）を備えている。動力伝達部材３３ｃ＃１から３３ｃ＃２は、それぞれ、モータ３２ｃ＃１から３２ｃ＃２が発生させた動力をステージ３１ｃに伝達する。第３のステージ装置３ｃは更に、可動ベース３３３ｃと可動ベース３３４ｃとを備えている。
　動力伝達部材３３ｃ＃１は、ベルト３３１１ｃ＃１と、ベルト３３１２ｃ＃１と、ドライブプーリー３３２１ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２３ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２４ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２５ｃ＃１とを備えている。動力伝達部材３３ｃ＃２は、ベルト３３１１ｃ＃２と、ベルト３３１２ｃ＃２と、ドライブプーリー３３２１ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２３ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２４ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２５ｃ＃２を備えている。
　ベルト３３１１ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転軸とをつなぐ。図７及び図８に示す例では、モータ３２ｃ＃１の回転軸及びドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転軸のそれぞれはＺ軸に平行であり、ベルト３３１１ｃ＃１は、Ｘ軸方向に沿って延びると共に、Ｘ軸方向に沿ってモータ３２ｃ＃１の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１の回転軸の回転に伴い、Ｘ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１ｃ＃１の移動に伴い、ドライブプーリー３３２１ｃ＃１は、Ｚ軸周りに回転する。ドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転は、ベルト３３１２ｃ＃１に伝達される。ベルト３３１２ｃ＃１の一端は、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃１の他端は、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃１は、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部から、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１、ドライブプーリー３３２１ｃ＃１、ベンドプーリー３３２３ｃ＃１、ベンドプーリー３３２４ｃ＃１及びベンドプーリー３３２５ｃ＃１をこの順に経由して、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部に向かって延びる。この場合、ベルト３３１２ｃ＃１は、ＸＹ平面に沿った複数の方向のうちの少なくとも一つ（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方）に沿って延びる。
　ベルト３３１１ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転軸とをつなぐ。図７及び図８に示す例では、モータ３２ｃ＃２の回転軸及びドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転軸のそれぞれはＺ軸に平行であり、ベルト３３１１ｃ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びると共に、Ｘ軸方向に沿ってモータ３２ｃ＃２の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２の回転軸の回転に伴い、Ｘ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１ｃ＃２の移動に伴い、ドライブプーリー３３２１ｃ＃２は、Ｚ軸周りに回転する。ドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転は、ベルト３３１２ｃ＃２に伝達される。ベルト３３１２ｃ＃２の一端は、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃２の他端は、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃２は、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部から、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２、ドライブプーリー３３２１ｃ＃２、ベンドプーリー３３２３ｃ＃２、ベンドプーリー３３２４ｃ＃２及びベンドプーリー３３２５ｃ＃２をこの順に経由して、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部に向かって延びる。この場合、ベルト３３１２ｃ＃２は、ＸＹ平面に沿った複数の方向のうちの少なくとも一つ（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方）に沿って延びる。
　可動ベース３３３ｃには、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１と３３２５ｃ＃２とが配置されている。可動ベース３３３ｃは、ベルト３３１２ｃ＃１からベンドプーリー３３２２ｃ＃１に加わる力及び／又はベルト３３１２ｃ＃２からベンドプーリー３３２５ｃ＃２に加わる力により、ＸＹ平面に沿って（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に沿って）移動可能である。
　可動ベース３３４ｃには、ベンドプーリー３３２５ｃ＃１と３３２２ｃ＃２とが配置されている。可動ベース３３４ｃは、ベルト３３１２ｃ＃１からベンドプーリー３３２５ｃ＃１に加わる力及び／又はベルト３３１２ｃ＃２からベンドプーリー３３２２ｃ＃２に加わる力により、ＸＹ平面に沿って（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に沿って）移動可能である。
　このようなステージ装置３ｃでは、モータ３２ｃ＃１及び３２ｃ＃２の回転軸の回転方向によってステージ３１ｃの移動方向が定まる。
　具体的には、モータ３２ｃ＃１及び３２ｃ＃２のそれぞれの回転軸がＺ軸周りであって且つ時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。その結果、ステージ３１ｃは、－Ｙ側に向かって移動する。
　モータ３２ｃ＃１及び３２ｃ＃２のそれぞれの回転軸がＺ軸周りであって且つ反時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。その結果、ステージ３１ｃは、＋Ｙ側に向かって移動する。
　モータ３２ｃ＃１の回転軸がＺ軸周りであって且つ時計回りに回転している一方で、モータ３２ｃ＃２の回転軸がＺ軸周りであって且つ反時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。このため、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力と、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力とが相殺しあう。その結果、ステージ３１ｃはＹ軸方向に沿って移動しない。一方で、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１を＋Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１に作用する。同様に、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２を＋Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２に作用する。その結果、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃２が配置された可動ベース３３３ｃとベンドプーリー３３２５ｃ＃１及び３３２２ｃ＃２が配置された可動ベース３３４ｃとが＋Ｘ側に向かって移動する。その結果、可動ベース３３３ｃ及び３３４ｃの移動に合わせて、ステージ３１ｃが＋Ｘ側に向かって移動する。
　モータ３２ｃ＃１の回転軸がＺ軸周りであって且つ反時計回りに回転している一方で、モータ３２ｃ＃２の回転軸がＺ軸周りであって且つ時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。このため、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力と、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力とが相殺しあう。その結果、ステージ３１ｃはＹ軸方向に沿って移動しない。一方で、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１を－Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１に作用する。同様に、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２を－Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２に作用する。その結果、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃２が配置された可動ベース３３３ｃとベンドプーリー３３２５ｃ＃１及び３３２２ｃ＃２が配置された可動ベース３３４ｃとが－Ｘ側に向かって移動する。その結果、可動ベース３３３ｃ及び３３４ｃの移動に合わせて、ステージ３１ｃが－Ｘ側に向かって移動する。
　加工システムＳＹＳ１が第３のステージ装置３ｃを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第３のステージ装置３ｃに応じた筐体６ｃを、筐体６として備えている。具体的には、筐体６ｃは、それぞれが仕切り部材６１の一部を構成する天井部材６１１ｃと、底部材６１２ｃと、側壁部材６１３ｃとを備える。天井部材６１１ｃは、チャンバ空間６３ＩＮの上方（つまり、＋Ｚ側）の境界を規定する部材である。天井部材６１１ｃは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。但し、図７では、天井部材６１１ｃの記載が省略されている。底部材６１２ｃは、チャンバ空間６３ＩＮの下方（つまり、－Ｚ側）の境界を規定する部材である。底部材６１２ｃは、天井部材６１１ｃの下方に配置される。底部材６１２ｃは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。側壁部材６１３ｃは、チャンバ空間６３ＩＮの側方の境界を規定する部材である。側壁部材６１３ｃは、天井部材６１１ｃと底部材６１２ｃとの間の空間を取り囲むように配置される。側壁部材６１３ｃは、Ｚ軸に沿って延びる筒状の（例えば、角筒状の）部材である。その結果、天井部材６１１ｃと、底部材６１２ｃと、側壁部材６１３ｃとによって囲まれた空間が、チャンバ空間６３ＩＮとして規定される。尚、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する（その結果、モータ３２ｃからの火花のチャンバ空間６３ＩＮへの侵入を防止する）ために、天井部材６１１ｃと、底部材６１２ｃと、側壁部材６１３ｃとの間の隙間は、シール部材によってシールされていてもよい。
　チャンバ空間６３ＩＮには、動力伝達部材３３ｃ＃１から３３ｃ＃２が配置される。一方で、外部空間６４ＯＵＴには、モータ３２ｃ＃１から３２ｃ＃２が配置される。但し、ベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２は、それぞれ、側壁部材６１３ｃに形成された開口６５ｃ＃１及び６５ｃ＃２を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ｃ＃１及びモータ３２ｃ＃２の回転軸に向かって延びる。開口６５ｃ＃１及び６５ｃ＃２のそれぞれは、Ｘ軸方向に沿って側壁部材６１３ｃを貫通する（つまり、側壁部材６１３ｃの表面（つまり、筐体６ｃの側面）に交差する方向に沿って側壁部材６１３ｃを貫通する）ようにＸ軸方向に沿って延びる貫通孔である。このため、ベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２のそれぞれの一部は、外部空間６４ＯＵＴに配置される。また、開口６５ｃ＃１から６５ｃ＃２は、それぞれ、シール部材６６の一例であるシール部材６６ｃ＃１から６６ｃ＃２によってシールされている。ここで、動力伝達部材３３ｃ＃１から３３ｃ＃２のベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２が駆動されても、ベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２と開口６５ａ＃１及び６５ａ＃２との間隔が変化しないため、シール部材６６ａ＃１及び６６ａ＃２によるシールの不完全さが生じにくい。
　（１－２－４）第４のステージ装置３ｄの構造
　続いて、図９及び図１０を参照しながら、第４のステージ装置３ｄの構造について説明する。図９は、仕切り部材６１ｄの一部の記載が省略された第４のステージ装置３ｄの構造を示す斜視図である。図１０は、仕切り部材６１ｄの一部の記載が省略されていない第４のステージ装置３ｄの構造を示す斜視図である。
　図９及び図１０に示すように、第４のステージ装置３ｄは、ステージ３１の一例であるステージ３１ｄを備えている。第４のステージ装置３ｄは更に、それぞれが動力源３２の一例である２つのモータ３２ｄ（具体的には、モータ３２ｄ＃１及びモータ３２ｄ＃２）を備えている。第４のステージ装置３ｄは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である２つの動力伝達部材３３ｄ（具体的には、動力伝達部材３３ｄ＃１及び動力伝達部材３３ｄ＃２）を備えている。動力伝達部材３３ｄ＃１から３３ｄ＃２は、それぞれ、モータ３２ｄ＃１から３２ｄ＃２が発生させた動力をステージ３１ｄに伝達する。
　動力伝達部材３３ｄ＃１は、ベルト３３１１ｄ＃１と、ベルト３３１２ｄ＃１と、ベルト３３１３ｄ＃１と、プーリー３３２１ｄ＃１と、プーリー３３２２ｄ＃１と、プーリー３３２３ｄ＃１と、プーリー３３２４ｄ＃１と、プーリー３３２５ｄ＃１と、ドライブシャフト３３３１ｄ＃１と、ドライブシャフト３３３２ｄ＃１と、可動部材３３４１ｄ＃１と、可動部材３３４２ｄ＃１と、連結部材３３５１ｄ＃１と、連結部材３３５２ｄ＃１とを備えている。動力伝達部材３３ｄ＃２は、ベルト３３１１ｄ＃２と、ベルト３３１２ｄ＃２と、ベルト３３１３ｄ＃２と、プーリー３３２１ｄ＃２と、プーリー３３２２ｄ＃２と、プーリー３３２３ｄ＃２と、プーリー３３２４ｄ＃２と、プーリー３３２５ｄ＃２と、ドライブシャフト３３３１ｄ＃２と、ドライブシャフト３３３２ｄ＃２と、可動部材３３４１ｄ＃２と、可動部材３３４２ｄ＃２と、連結部材３３５１ｄ＃２と、連結部材３３５２ｄ＃２とを備えている。
　ベルト３３１１ｄ＃１は、モータ３２ｄ＃１の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃１とをつなぐ。図９及び図１０に示す例では、モータ３２ｄ＃１の回転軸及びプーリー３３２１ｄ＃１の回転軸のそれぞれはＸ軸に平行であり、ベルト３３１１ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って延びると共に、Ｙ軸方向に沿ってモータ３２ｄ＃１の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃１の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｄ＃１は、モータ３２ｄ＃１の回転軸の回転に伴い、Ｙ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１＃１の移動に伴い、プーリー３３２１ｄ＃１は、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。プーリー３３２１ｄ＃１には、Ｘ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３１ｄ＃１が連結されている。このため、プーリー３３２１ｄ＃１の回転に合わせて、ドライブシャフト３３３１ｄ＃１もまた、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。ドライブシャフト３３３１ｄ＃１の両端には、プーリー３３２２ｄ＃１及び３３２３ｄ＃１がそれぞれ連結されている。このため、ドライブシャフト３３３１ｄ＃１の回転に合わせて、プーリー３３２２ｄ＃１及び３３２３ｄ＃１のそれぞれもまた、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。
　ベルト３３１２ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１２ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿ってプーリー３３２２ｄ＃１とプーリー３３２４ｄ＃１とをつなぐ。ベルト３３１３ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１３ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿ってプーリー３３２３ｄ＃１とプーリー３３２５ｄ＃１とをつなぐ。プーリー３３２４ｄ＃１及び３３２５ｄ＃１は、Ｘ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３２ｄ＃１の両端に連結されている。このため、プーリー３３２２ｄ＃１及び３３２３ｄ＃１の回転に合わせて、プーリー３３２４ｄ＃１及び３３２５＃１並びにドライブシャフト３３３２ｄ＃１もまた、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。その結果、プーリー３３２２ｄ＃１の回転が、プーリー３３２２ｄ＃１とプーリー３３２４ｄ＃１とをつなぐベルト３３１２ｄ＃１のＹ軸方向における移動に変換される。同様に、プーリー３３２３ｄ＃１の回転が、プーリー３３２３ｄ＃１とプーリー３３２５ｄ＃１とをつなぐベルト３３１３ｄ＃１のＹ軸方向における移動に変換される。
　ベルト３３１２ｄ＃１には、可動部材３３４１ｄ＃１が固定されている。このため、ベルト３３１２ｄ＃１のＹ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４１ｄ＃１がＹ軸方向に沿って移動する。ベルト３３１３ｄ＃１には、可動部材３３４２ｄ＃１が固定されている。このため、ベルト３３１３ｄ＃１のＹ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４２ｄ＃１がＹ軸方向に沿って移動する。連結部材３３５１ｄ＃１は、可動部材３３４１ｄ＃１とステージ３１ｄとを連結する。連結部材３３５２ｄ＃１は、可動部材３３４２ｄ＃１とステージ３１ｄとを連結する。具体的には、ベルト３３１２ｄ＃１及び３３１３ｄ＃１並びに可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１は、ベルト３３１２ｄ＃１とベルト３３１３ｄ＃１とがＸ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込み且つ可動部材３３４１ｄ＃１と可動部材３３４２ｄ＃１とがＸ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込むように配置される。このため、連結部材３３５１ｄ＃１及び３３５２ｄ＃１は、Ｘ軸方向に沿ってステージ３１ｄを支持するようにステージ３１ｄに連結される。この場合、可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１のＹ軸方向における移動に合わせて、ステージ３１ｄがＹ軸方向に沿って移動する。このため、モータ３２ｄ＃１及び動力伝達部材３３ｄ＃１は、主として、ステージ３１ｄをＹ軸方向に沿って移動させるための駆動系として機能する。
　ベルト３３１１ｄ＃２は、モータ３２ｄ＃２の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃２とをつなぐ。図９及び図１０に示す例では、モータ３２ｄ＃２の回転軸及びプーリー３３２１ｄ＃２の回転軸のそれぞれはＹ軸に平行であり、ベルト３３１１ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びると共に、Ｘ軸方向に沿ってモータ３２ｄ＃２の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃２の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｄ＃２は、モータ３２ｄ＃２の回転軸の回転に伴い、Ｘ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１＃２の移動に伴い、プーリー３３２１ｄ＃２は、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。プーリー３３２１ｄ＃２には、Ｙ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３１ｄ＃２が連結されている。このため、プーリー３３２１ｄ＃２の回転に合わせて、ドライブシャフト３３３１ｄ＃２もまた、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。ドライブシャフト３３３１ｄ＃２の両端には、プーリー３３２２ｄ＃２及び３３２３ｄ＃２がそれぞれ連結されている。このため、ドライブシャフト３３３１ｄ＃２の回転に合わせて、プーリー３３２２ｄ＃２及び３３２３ｄ＃２のそれぞれもまた、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。
　ベルト３３１２ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１２ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿ってプーリー３３２２ｄ＃２とプーリー３３２４ｄ＃２とをつなぐ。ベルト３３１３ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１３ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿ってプーリー３３２３ｄ＃２とプーリー３３２５ｄ＃２とをつなぐ。プーリー３３２４ｄ＃２及び３３２５ｄ＃２は、Ｙ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３２ｄ＃２の両端に連結されている。このため、プーリー３３２２ｄ＃２及び３３２３ｄ＃２の回転に合わせて、プーリー３３２４ｄ＃２及び３３２５＃２並びにドライブシャフト３３３２ｄ＃２もまた、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。その結果、プーリー３３２２ｄ＃２の回転が、プーリー３３２２ｄ＃２とプーリー３３２４ｄ＃２とをつなぐベルト３３１２ｄ＃２のＸ軸方向における移動に変換される。同様に、プーリー３３２３ｄ＃２の回転が、プーリー３３２３ｄ＃２とプーリー３３２５ｄ＃２とをつなぐベルト３３１３ｄ＃２のＸ軸方向における移動に変換される。
　ベルト３３１２ｄ＃２には、可動部材３３４１ｄ＃２が固定されている。このため、ベルト３３１２ｄ＃２のＸ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４１ｄ＃２がＸ軸方向に沿って移動する。ベルト３３１３ｄ＃２には、可動部材３３４２ｄ＃２が固定されている。このため、ベルト３３１３ｄ＃２のＸ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４２ｄ＃２がＸ軸方向に沿って移動する。連結部材３３５１ｄ＃２は、可動部材３３４１ｄ＃２とステージ３１ｄとを連結する。連結部材３３５２ｄ＃２は、可動部材３３４２ｄ＃２とステージ３１ｄとを連結する。具体的には、ベルト３３１２ｄ＃２及び３３１３ｄ＃２並びに可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２は、ベルト３３１２ｄ＃２とベルト３３１３ｄ＃２とがＸ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込み且つ可動部材３３４１ｄ＃２と可動部材３３４２ｄ＃２とがＹ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込むように配置される。このため、連結部材３３５１ｄ＃２及び３３５２ｄ＃２は、Ｙ軸方向に沿ってステージ３１ｄを支持するようにステージ３１ｄに連結される。この場合、可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２のＸ軸方向における移動に合わせて、ステージ３１ｄがＸ軸方向に沿って移動する。このため、モータ３２ｄ＃２及び動力伝達部材３３ｄ＃２は、主として、ステージ３１ｄをＸ軸方向に沿って移動させるための駆動系として機能する。
　尚、Ｘ軸方向に沿ってステージ３１ｄと可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１とをそれぞれ連結する連結部材３３５１ｄ＃１及び３３５２ｄ＃１は、Ｘ軸方向に沿って伸縮可能である。その結果、可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２の移動に合わせたステージ３１ｄのＸ軸方向における移動が、連結部材３３５１ｄ＃１及び３３５２ｄ＃１によって妨げられることがなくなる。同様に、Ｙ軸方向に沿ってステージ３１ｄと可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２とをそれぞれ連結する連結部材３３５１ｄ＃２及び３３５２ｄ＃２は、Ｙ軸方向に沿って伸縮可能である。その結果、可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１の移動に合わせたステージ３１ｄのＹ軸方向における移動が、連結部材３３５１ｄ＃２及び３３５２ｄ＃２によって妨げられることがなくなる。
　加工システムＳＹＳ１が第４のステージ装置３ｄを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第４のステージ装置３ｄに応じた筐体６ｄを、筐体６として備えている。具体的には、筐体６ｄは、それぞれが仕切り部材６１の一部を構成する天井部材６１１ｄと、底部材６１２ｄと、側壁部材６１３ｄとを備える。天井部材６１１ｄは、チャンバ空間６３ＩＮの上方（つまり、＋Ｚ側）の境界を規定する部材である。天井部材６１１ｄは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。但し、図９では、天井部材６１１ｄの記載が省略されている。底部材６１２ｄは、チャンバ空間６３ＩＮの下方（つまり、－Ｚ側）の境界を規定する部材である。底部材６１２ｄは、天井部材６１１ｄの下方に配置される。底部材６１２ｄは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。側壁部材６１３ｄは、チャンバ空間６３ＩＮの側方の境界を規定する部材である。側壁部材６１３ｄは、天井部材６１１ｄと底部材６１２ｄとの間の空間を取り囲むように配置される。側壁部材６１３ｄは、Ｚ軸に沿って延びる筒状の（例えば、角筒状の）部材である。その結果、天井部材６１１ｄと、底部材６１２ｄと、側壁部材６１３ｄとによって囲まれた空間が、チャンバ空間６３ＩＮとして規定される。尚、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する（その結果、モータ３２ｄからの火花のチャンバ空間６３ＩＮへの侵入を防止する）ために、天井部材６１１ｄと、底部材６１２ｄと、側壁部材６１３ｄとの間の隙間は、シール部材によってシールされていてもよい。
　チャンバ空間６３ＩＮには、動力伝達部材３３ｄ＃２から３３ｄ＃２が配置される。一方で、外部空間６４ＯＵＴには、モータ３２ｄ＃１から３２ｄ＃２が配置される。但し、ベルト３３１１ｄ＃１及び３３１１ｄ＃２は、それぞれ、側壁部材６１３ｄに形成された開口６５ｄ＃１及び６５ｄ＃２を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ｄ＃１及びモータ３２ｄ＃２の回転軸に向かって延びる。開口６５ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する（つまり、側壁部材６１３ｄの表面（つまり、筐体６ｄの側面）に交差する方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する）ようにＹ軸方向に沿って延びる貫通孔である。開口６５ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する（つまり、側壁部材６１３ｄの表面（つまり、筐体６ｄの側面）に交差する方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する）ようにＸ軸方向に沿って延びる貫通孔である。このため、ベルト３３１１ｄ＃１及び３３１１ｄ＃２のそれぞれの一部は、外部空間６４ＯＵＴに配置される。また、開口６５ｄ＃１から６５ｄ＃２は、それぞれ、シール部材６６の一例であるシール部材６６＃１から６６ｄ＃２によってシールされている。
　（１－３）加工システムＳＹＳ１の加工動作
　続いて、加工システムＳＹＳ１による加工動作（つまり、３次元構造物ＳＴを形成するための動作）について説明する。上述したように、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成する。このため、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法に準拠した既存の加工動作（この場合、造形動作）を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。以下、レーザ肉盛溶接法を用いて３次元構造物ＳＴを形成する加工動作の一例について簡単に説明する。
　加工システムＳＹＳ１は、形成するべき３次元構造物ＳＴの３次元モデルデータ（例えば、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ　Ａｉｄｅｄ　Ｄｅｓｉｇｎ）データ）等に基づいて、ワークＷ上に３次元構造物ＳＴを形成する。３次元モデルデータとして、加工システムＳＹＳ１内に設けられた不図示の計測装置で計測された立体物の計測データ、及び、加工システムＳＹＳ１とは別に設けられた３次元形状計測機の計測データの少なくとも一方を用いてもよい。３次元形状計測機の一例として、ワークＷに対して移動可能でワークＷに接触可能なプローブを有する接触型の３次元座標測定機があげられる。３次元形状計測機の一例として、非接触型の３次元計測機があげられる。非接触型の３次元計測機の一例として、パターン投影方式の３次元計測機、光切断方式の３次元計測機、タイム・オブ・フライト方式の３次元計測機、モアレトポグラフィ方式の３次元計測機、ホログラフィック干渉方式の３次元計測機、ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）方式の３次元計測機、及び、ＭＲＩ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ　ｒｅｓｏｎａｎｃｅ　ｉｍａｇｉｎｇ）方式の３次元計測機等の少なくとも一つがあげられる。尚、３次元モデルデータとしては、例えばＳＴＬ（Ｓｔｅｒｅｏ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）フォーマット、ＶＲＭＬ（Ｖｉｒｔｕａｌ　Ｒｅａｌｉｔｙ　Ｍｏｄｅｌｉｎｇ　Ｌａｎｇｕａｇｅ）フォーマット、ＡＭＦ（Ａｄｄｉｔｉｖｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｆｉｌｅ　Ｆｏｒｍａｔ）、ＩＧＥＳ（Ｉｎｉｔｉａｌ　Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｅｘｃｈａｎｇｅ　Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ）フォーマット、ＶＤＡ－ＦＳ（Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｇｅｒｍａｎ　Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｓ－Ｓｕｒｆａｃｅｓ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）フォーマット、ＨＰ／ＧＬ（Ｈｅｗｌｅｔｔ－Ｐａｃｋａｒｄ　Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｌａｎｇｕａｇｅ）フォーマット、ビットマップフォーマット等を用いることができる。
　加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴを形成するために、例えば、Ｚ軸方向に沿って並ぶ複数の層状の部分構造物（以下、“構造層”と称する）ＳＬを順に形成していく。例えば、加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴをＺ軸方向に沿って輪切りにすることで得られる複数の構造層ＳＬを１層ずつ順に形成していく。その結果、複数の構造層ＳＬが積層された積層構造体である３次元構造物ＳＴが形成される。以下、複数の構造層ＳＬを１層ずつ順に形成していくことで３次元構造物ＳＴを形成する動作の流れについて説明する。
　まず、各構造層ＳＬを形成する動作について図１１（ａ）から図１１（ｅ）を参照して説明する。加工システムＳＹＳ１は、制御装置７の制御下で、ワークＷの表面又は形成済みの構造層ＳＬの表面に相当する造形面ＭＳ上の所望領域に照射領域ＥＡを設定し、当該照射領域ＥＡに対して照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射する。尚、照射光学系２１１から照射される加工光ＥＬが造形面ＭＳ上に占める領域を照射領域ＥＡと称してもよい。第１実施形態においては、加工光ＥＬのフォーカス位置（つまり、集光位置）が造形面ＭＳに一致している。その結果、図１１（ａ）に示すように、照射光学系２１１から射出された加工光ＥＬによって造形面ＭＳ上の所望領域に溶融池（つまり、加工光ＥＬによって溶融した金属のプール）ＭＰが形成される。更に、加工システムＳＹＳ１は、制御装置７の制御下で、造形面ＭＳ上の所望領域に供給領域ＭＡを設定し、当該供給領域ＭＡに対して材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給する。ここで、上述したように照射領域ＥＡと供給領域ＭＡとが一致しているため、供給領域ＭＡは、溶融池ＭＰが形成された領域に設定されている。このため、加工システムＳＹＳ１は、図１１（ｂ）に示すように、溶融池ＭＰに対して、材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給する。その結果、溶融池ＭＰに供給された造形材料Ｍが溶融する。ステージ３１の移動に伴って溶融池ＭＰに加工光ＥＬが照射されなくなると、溶融池ＭＰにおいて溶融した造形材料Ｍは、冷却されて固化（つまり、凝固）する。その結果、図１１（ｃ）に示すように、固化した造形材料Ｍが造形面ＭＳ上に堆積される。つまり、固化した造形材料Ｍの堆積物による造形物が形成される。
　このような加工光ＥＬの照射による溶融池ＭＰの形成、溶融池ＭＰへの造形材料Ｍの供給、供給された造形材料Ｍの溶融及び溶融した造形材料Ｍの固化を含む一連の造形処理が、図１１（ｄ）に示すように、加工ヘッド２１に対してステージ３１をＸＹ平面に沿って相対的に移動されながら繰り返される。つまり、加工ヘッド２１に対してステージ３１が相対的に移動すると、造形面ＭＳに対して照射領域ＥＡもまた相対的に移動する。従って、一連の造形処理が、造形面ＭＳに対して照射領域ＥＡをＸＹ平面に沿って（つまり、二次元平面内において）相対的に移動されながら繰り返される。この際、加工光ＥＬは、造形面ＭＳ上において造形物を形成したい領域に設定された照射領域ＥＡに対して選択的に照射される一方で、造形面ＭＳ上において造形物を形成したくない領域に設定された照射領域ＥＡに対して選択的に照射されない（造形物を形成したくない領域には照射領域ＥＡが設定されないとも言える）。つまり、加工システムＳＹＳ１は、造形面ＭＳ上を所定の移動軌跡に沿って照射領域ＥＡを移動させながら、造形物を形成したい領域の分布の態様に応じたタイミングで加工光ＥＬを造形面ＭＳに照射する。尚、造形物を形成したい領域の分布の態様を分布パターンとも構造層ＳＬのパターンとも称してもよい。その結果、溶融池ＭＰもまた、照射領域ＥＡの移動軌跡に応じた移動軌跡に沿って造形面ＭＳ上を移動することになる。具体的には、溶融池ＭＰは、造形面ＭＳ上において、照射領域ＥＡの移動軌跡に沿った領域のうち加工光ＥＬが照射された部分に順次形成される。更に、上述したように照射領域ＥＡと供給領域ＭＡとが一致しているため、供給領域ＭＡもまた、照射領域ＥＡの移動軌跡に応じた移動軌跡に沿って造形面ＭＳ上を移動することになる。その結果、図１１（ｅ）に示すように、造形面ＭＳ上に、凝固した造形材料Ｍによる造形物の集合体に相当する構造層ＳＬが形成される。つまり、溶融池ＭＰの移動軌跡に応じたパターンで造形面ＭＳ上に形成された造形物の集合体に相当する構造層ＳＬ（つまり、平面視において、溶融池ＭＰの移動軌跡に応じた形状を有する構造層ＳＬ）が形成される。なお、造形物を形成したくない領域に照射領域ＥＡが設定されている場合、加工光ＥＬを照射領域ＥＡに照射するとともに、造形材料Ｍの供給を停止してもよい。また、造形物を形成したくない領域に照射領域ＥＡが設定されている場合に、造形材料Ｍを照射領域ＥＬに供給するとともに、溶融池ＭＰができない強度の加工光ＥＬを照射領域ＥＬに照射してもよい。尚、上述した説明では、造形面ＭＳに対して照射領域ＥＡを移動させたが、照射領域ＥＡに対して造形面ＭＳを移動させてもよい。
　加工システムＳＹＳ１は、このような構造層ＳＬを形成するための動作を、制御装置７の制御下で、３次元モデルデータに基づいて繰り返し行う。具体的には、まず、３次元モデルデータを積層ピッチでスライス処理してスライスデータを作成する。尚、加工システムＳＹＳ１の特性に応じてこのスライスデータを一部修正したデータを用いてもよい。加工システムＳＹＳ１は、ワークＷの表面に相当する造形面ＭＳ上に１層目の構造層ＳＬ＃１を形成するための動作を、構造層ＳＬ＃１に対応する３次元モデルデータ、即ち構造層ＳＬ＃１に対応するスライスデータに基づいて行う。例えば、加工システムＳＹＳ１は、構造層ＳＬ＃１に対応するスライスデータのうち構造層ＳＬ＃１が存在する領域を通過する、照射領域ＥＡ（供給領域ＭＡ）の軌跡であるツールパスに関する情報を用いて動作されてもよい。その結果、造形面ＭＳ上には、図１２（ａ）に示すように、構造層ＳＬ＃１が形成される。その後、加工システムＳＹＳ１は、構造層ＳＬ＃１の表面（つまり、上面）を新たな造形面ＭＳに設定した上で、当該新たな造形面ＭＳ上に２層目の構造層ＳＬ＃２を形成する。構造層ＳＬ＃２を形成するために、制御装置７は、まず、ステージ３１がＺ軸に沿って移動するようにステージ駆動系（特に、動力源３２）を制御する。具体的には、制御装置７は、ステージ駆動系を制御して、照射領域ＥＡ及び供給領域ＭＡが構造層ＳＬ＃１の表面（つまり、新たな造形面ＭＳ）に設定されるように、－Ｚ側に向かってステージ３１を移動させる。これにより、加工光ＥＬのフォーカス位置が新たな造形面ＭＳに一致する。その後、加工システムＳＹＳ１は、制御装置７の制御下で、構造層ＳＬ＃１を形成する動作と同様の動作で、構造層ＳＬ＃２に対応するスライスデータに基づいて、構造層ＳＬ＃１上に構造層ＳＬ＃２を形成する。その結果、図１２（ｂ）に示すように、構造層ＳＬ＃２が形成される。以降、同様の動作が、ワークＷ上に形成するべき３次元構造物ＳＴを構成する全ての構造層ＳＬが形成されるまで繰り返される。その結果、図１２（ｃ）に示すように、複数の構造層ＳＬが積層された積層構造物によって、３次元構造物ＳＴが形成される。
　（１－４）加工システムＳＹＳ１の技術的効果
　以上説明したように、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１によれば、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ１では、着火源を備えている動力源３２が、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された外部空間６４ＯＵＴに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。
　尚、造形材料Ｍがチャンバ空間６３ＩＮに供給されている期間中は、チャンバ空間６３ＩＮは、パージガスでパージされた空間である。このため、仮に動力源３２がチャンバ空間６３ＩＮに配置されていたとしても、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が生ずることはない。しかしながら、動力源３２がチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されていれば、チャンバ空間６３ＩＮがパージガスでパージされていない場合であっても、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が生ずることはない。このため、加工システムＳＹＳ１は、チャンバ空間６３ＩＮがパージガスでパージされていない場合であっても、動力源３２が発生させた動力を用いてステージ３１を移動させることができるという効果を享受することができる。
　（２）第２実施形態の加工システムＳＹＳ
　続いて、図１３を参照しながら、第２実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第２実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ２”と称する）について説明する。図１３は、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２の構造の一例を示す断面図である。尚、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図１３に示すように、加工システムＳＹＳ２は、加工システムＳＹＳ１と比較して、ステージ装置３に代えてステージ装置３ｅを備えているという点で異なる。更に、加工システムＳＹＳ２は、開口６５が筐体６に形成されていなくてもよいと言う点において、開口６５が筐体６に形成されている加工システムＳＹＳ１とは異なる。加工システムＳＹＳ２のその他の特徴は、加工システムＳＹＳ１と同一であってもよい。
　ステージ装置３ｅは、ステージ装置３と比較して、動力源３２に代えて動力源３４ｅを備えていると言う点で異なる。更に、ステージ装置３ｅは、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに配置されていてもよいと言う点において、動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置される（つまり、チャンバ空間６３ＩＮに配置されない）ステージ装置３とは異なる。ステージ装置３ｅのその他の特徴は、ステージ装置３と同一であってもよい。
　動力源３４ｅは、防爆構造を有すると言う点で、防爆構造を有していなくてもよい動力源３２とは異なる。具体的には、動力源３４ｅは、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３４ｅが備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有している。例えば、動力源３４ｅは、動力源３４ｅが備える着火源に起因したチャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。或いは、例えば、動力源３４ｅは、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。動力源３４ｅのその他の特徴は、動力源３２と同一であってもよい。以下、図１４を参照しながら、防爆構造を有する動力源３４ｅの構造について説明する。図１４は、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２が備える動力源３４ｅの構造を示す断面図である。
　図１４に示すように、動力源３４ｅは、筐体３４１ｅと、動力源３４２ｅと、動力伝達部材３４３ｅとを備える
　筐体３４１ｅは、筐体３４１ｅの内部空間である収容空間３４４ｅに少なくとも動力発生源３４２を収容する収容装置である。筐体３４１ｅは、収容空間３４４ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅを含む。仕切り部材３４１１ｅは、収容空間３４４ｅと、筐体３４１ｅの外部の空間とを隔てる（つまり、隔離する）部材である。第２実施形態では、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに配置されているがゆえに、筐体３４１ｅの外部の空間は、チャンバ空間６３ＩＮの少なくとも一部を含む。仕切り部材３４１１ｅは、その内壁を介して収容空間３４４ｅに面し、その外壁を介して筐体３４１ｅの外部の空間（つまり、チャンバ空間６３ＩＮ）に面する。この場合、仕切り部材３４１１ｅによって囲まれた空間（より具体的には、仕切り部材３４１１ｅの内壁によって囲まれた空間）が、収容空間３４４ｅとなる。
　動力源３４２ｅは、ステージ３１を移動させるための動力を発生させる装置である。具体的には、動力源３４２ｅは、電気的に動力を発生させる。つまり、動力源３４２ｅは、不図示の電源から供給される電流を用いて動力を発生させる。言い換えれば、動力源３４２ｅは、不図示の電源から供給される電流を動力に変換することで動力を発生させる。動力源３４２ｅの一例として、モータがあげられる。この場合、動力源３４２ｅは、着火源を含むことになる。着火源の一例として、既に上述したように、電流が供給される導通部分（例えば、コイル）があげられる。尚、上述した動力源３２が、動力源３４２ｅとして用いられてもよい。この場合、動力源３４ｅは、筐体３４１ｅと、筐体３４１ｅの内部空間３４４ｅに収容された動力源３２とを備える装置と等価であると言える。
　動力源３４２ｅが内部空間３４４ｅに配置されると、動力源３４２ｅが備える着火源もまた、内部空間３４４ｅに配置される。つまり、動力源３４２ｅが備える着火源は、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。動力源３４２ｅが備える着火源は、仕切り部材３４１１ｅによってチャンバ空間６３ＩＮから隔離されている。動力源３４２ｅが備える着火源は、仕切り部材３４１１ｅによってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されている。この場合、仕切り部材３４１１ｅは、内部空間３４４ｅを取り囲むことで動力源３４２ｅが備える着火源をチャンバ空間６３ＩＮから隔離する（つまり、動力源３４２ｅが備える着火源からチャンバ空間６３ＩＮを隔離する）部材として機能可能である。
　その結果、当該チャンバ空間６３ＩＮに供給される造形材料Ｍ（特に、粉粒体である造形材料Ｍ）と、内部空間３４４ｅに配置されている動力源３４２ｅが備える着火源との接触が防止される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３４２ｅが備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）が防止される。
　この場合、筐体３４１ｅは、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと駆動力発生源３４２ｅが備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有していてもよい。例えば、筐体３４１ｅは、動力源３４２ｅが備える着火源に発生する電気火花又は高温部による造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。或いは、例えば、筐体３４１ｅは、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。
　動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅが発生させた動力を、動力源３４ｅの外部（特に、動力伝達部材３３）に伝達する部材である。動力源３４２ｅが筐体３４１ｅの内部空間３４４ｅに配置されているがゆえに、動力伝達部材３４３ｅは、内部空間３４４ｅで動力源３４２ｅが発生させた動力を、内部空間３４４ｅから動力源３４ｅの外部に伝達する部材である。動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅが発生させた動力を、非電気的に伝達する。例えば、動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅが発生させた動力を、機械的に伝達してもよい。例えば、動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅと動力伝達部材３３とを機械的に連結することで、動力源３４２ｅが発生させた動力を動力源３４ｅの外部に伝達してもよい。動力を機械的に伝達可能な部材の一例は、既に上述したとおりである。尚、上述した動力伝達部材３３の少なくとも一部が、動力伝達部材３４３ｅとして用いられてもよい。
　内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達するために、仕切り部材３４１１ｅには、開口３４１２ｅが形成されている。開口３４１２ｅは、内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮに向けて仕切り部材３４１１ｅを貫通する貫通孔である。開口３４１２ｅには、動力伝達部材３４３ｅの一部が配置される。つまり、動力伝達部材３４３ｅは、開口３４１２ｅを介して内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮへと延びる。その結果、動力伝達部材３４３ｅは、開口３４１２ｅを介して、内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達することができる。つまり、内部空間３４４ｅにおいて動力源３４２ｅが発生させた動力は、開口３４１２ｅを介して、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達される。
　仕切り部材３４１１ｅに開口３４１２ｅが形成されると、開口３４１２ｅを介して内部空間６４４ｅとチャンバ空間６３ＩＮとがつながる。このため、開口３４１２ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅの壁面と開口３４１２ｅに配置される動力伝達部材３４３ｅとの間に隙間（特に、相対的に大きな隙間）が存在する場合には、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと、動力源３４２ｅが備える着火源とが、開口３４１２ｅを介して接触してしまう可能性がある。このため、開口３４１２ｅは、シール部材３４５ｅによってシールされていてもよい。シール部材３４５ｅは、開口３４１２ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅの壁面と開口３４１２ｅに配置される動力伝達部材３４３ｅとの間をシールする部材である。具体的には、シール部材３４５ｅは、開口３４１２ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅの壁面と開口３４１２ｅに配置される動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を埋めるための部材である。尚、ここで言う「仕切り部材３４１１ｅの壁面と動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を埋める」ことは、「仕切り部材３４１１ｅの壁面と動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を完全になくす（つまり、ふさぐ）」ことを意味していてもよいし、仕切り部材３４１１ｅの壁面と動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を、内部空間３４４ｅを密閉することができる程度に小さくすることを意味していてもよい。つまり、シール部材３４５ｅは、内部空間３４４ｅを密閉する（つまり、内部空間３４４ｅの気密性を維持する）部材として機能可能である。より具体的には、シール部材３４５ｅは、仕切り部材３４１１ｅ及び動力伝達部材３４３ｅと共に、内部空間３４４ｅを密閉する。尚、シール部材３４５ｅの一例として、ゴムシール、オイルシール及びラビリンスシールの少なくとも一方があげられる。
　シール部材３４５ｅによって開口３４１２ｅがシールされると、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３４２ｅが備える着火源との開口３４１２ｅを介した接触が防止される。つまり、シール部材３４５ｅは、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３４２ｅが備える着火源との開口３４１２ｅを介した接触を防止するための部材として機能可能である。具体的には、例えば、シール部材３４５ｅは、仕切り部材３４１１ｅ及び動力伝達部材３４３ｅと共に、内部空間３４４ｅにおいて動力源３４２ｅが発生させた電気火花が、開口３４１２ｅを介して、造形材料Ｍが供給されるチャンバ空間６３ＩＮに入ることを防止する部材として機能可能である。例えば、シール部材３４５ｅは、仕切り部材３４１１ｅ及び動力伝達部材３４３ｅと共に、チャンバ空間６３ＩＮに供給された造形材料Ｍが、開口３４１２ｅを介して、着火源を含む動力源３４２ｅが配置される内部空間３４４ｅに入ることを防止する部材として機能可能である。
　以上説明した第２実施形態の加工システムＳＹＳ２によれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１と同様に、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ２では、動力源３４ｅが備える着火源（例えば、動力源３４２ｅの着火源）が、仕切り部材３４１１ｅによってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された内部空間３４４ｅに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３４ｅが備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。つまり、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。また、加工システムＳＹＳ２では、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに収容可能となるため、動力源３４ｅの配置の自由度が増す。
　尚、動力源３４ｅは、チャンバ空間６３ＩＮとは異なる位置に配置されていてもよい。例えば、動力源３４ｅは、第１実施形態の動力源３２と同様に、外部空間６４ＯＵＴに配置されていてもよい。或いは、加工システムＳＹＳ２は、チャンバ空間６３ＩＮに配置される動力源３４ｅに加えて、外部空間６４ＯＵＴに配置される動力源３２も備えていてもよい。
　（３）第３実施形態の加工システムＳＹＳ
　続いて、図１５及び図１６を参照しながら、第５実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第３実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ３”と称する）について説明する。図１５は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３の構造の一例を示す断面図である。図１６は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３のシステム構成の一例を示すシステム構成図である。尚、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図１５及び図１６に示すように、加工システムＳＹＳ３は、加工システムＳＹＳ１及びＳＹＳ２の少なくとも一方と比較して、加工装置２に代えて加工装置２ｆを備えていると言う点で異なる。更に、加工システムＳＹＳ２は、加工システムＳＹＳ１と比較して、ステージ装置３に代えてステージ装置３ｆを備えていると言う点で異なる。加工システムＳＹＳ３のその他の特徴は、加工システムＳＹＳ１及びＳＹＳ２の少なくとも一方と同一であってもよい。
　加工装置２ｆは、加工装置２と比較して、動力源２２ｆと動力伝達機構２３ｆとを更に備えていると言う点で異なる。動力源２２ｆ及び動力伝達機構２３ｆは、チャンバ空間６３ＩＮ内で加工ヘッド２１を移動させるためのヘッド駆動系を構成する。加工装置２ｆのその他の特徴は、加工装置２と同一であってもよい。
　動力源２２ｆは、加工ヘッド２１を移動させるための動力を発生させる装置であるという点で、ステージ３１を移動させるための動力を発生させる装置である動力源３２とは異なる。動力源２２ｆのその他の特徴は、動力源３２と同一であってもよい。
　動力伝達機構２３ｆは、動力源２２ｆが発生させた動力を加工ヘッド２１に伝達する装置であるという点で、動力源３２が発生させた動力をステージ３１に伝達する装置である動力伝達部材３３とは異なる。このため、動力伝達機構２３ｆは、動力源２２ｆから加工ヘッド２１へと延びる動力伝達経路を形成する。具体的には、動力伝達機構２３ｆそのものが動力伝達経路となるがゆえに、動力伝達機構２３ｆは、動力源２２ｆから加工ヘッド２１へと延びる。その結果、加工ヘッド２１は、動力源２２ｆから動力伝達機構２３ｆを介して伝達される動力によって移動する。動力伝達機構２３ｆのその他の特徴は、動力伝達部材３３と同一であってもよい。
　尚、図１５は、加工システムＳＹＳ３が複数の（図１５に示す例では、２つの）動力源２２ｆを備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ３は、単一の動力源２２ｆを備えていてもよい。同様に、図１５は、加工システムＳＹＳ３が複数の（図１５に示す例では、２つの）動力伝達機構２３ｆを備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ３は、単一の動力伝達機構２３ｆを備えていてもよい。
　動力源２２ｆは、動力源３２と同様に、外部空間６４ＯＵＴに配置される。つまり、動力源２２ｆは、動力源３２と同様に、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。このため、動力源２２ｆが備える着火源もまた、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。その結果、当該チャンバ空間６３ＩＮに供給される造形材料Ｍ（特に、粉粒体である造形材料Ｍ）と、外部空間６４ＯＵＴに配置されている動力源２２ｆが備える着火源との接触が防止される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２２ｆが備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）が防止される。
　但し、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源２２ｆが発生させた動力は、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置される加工ヘッド２１に伝達される必要がある。このため、動力伝達機構２３ｆは、動力伝達部材３３と同様に、開口６５を介して外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮへと延びる。その結果、動力伝達機構２３ｆは、開口６５を介して、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達することができる。つまり、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源２２ｆが発生させた動力は、開口６５を介して、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置される加工ヘッド２１に伝達される。また、第３実施形態においても、第１実施形態と同様に、開口６５は、シール部材６６によってシールされていてもよい。
　ステージ装置３ｆは、ステージ装置３と比較して、動力源３２と動力伝達機構３３とを備えていなくてもよいと言う点で異なる。ステージ装置３ｆは、ステージ装置３ｅと比較して、動力源３４ｅと動力伝達機構３３とを備えていなくてもよいと言う点で異なる。但し、ステージ装置３は、動力源３２及び３４ｅの少なくとも一方と動力伝達部材３３とを備えていてもよい。ステージ装置３ｆのその他の特徴は、ステージ装置３又は３ｅと同一であってもよい。
　以上説明したように、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３によれば、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ３では、着火源を備えている動力源２２ｆが、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された外部空間６４ＯＵＴに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２２ｆが備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。また、加工システムＳＹＳ３は、チャンバ空間６３ＩＮがパージガスでパージされていない場合であっても、動力源２２ｆが発生させた動力を用いて加工ヘッド２１を移動させることができるという効果を享受することができる。
　（４）第４実施形態の加工システムＳＹＳ
　続いて、図１７を参照しながら、第４実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第４実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ４”と称する）について説明する。図１７は、第４実施形態の加工システムＳＹＳ４の構造の一例を示す断面図である。尚、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図１７に示すように、加工システムＳＹＳ４は、加工システムＳＹＳ３と比較して、加工装置２ｆに代えて加工装置２ｇを備えているという点で異なる。更に、加工システムＳＹＳ４は、開口６５が筐体６に形成されていなくてもよいと言う点において、開口６５が筐体６に形成されている加工システムＳＹＳ３とは異なる。加工システムＳＹＳ４のその他の特徴は、加工システムＳＹＳ３と同一であってもよい。
　加工装置２ｇは、加工装置２ｆと比較して、動力源２２ｆに代えて動力源２４ｇを備えていると言う点で異なる。更に、加工装置２ｇは、動力源２４ｇがチャンバ空間６３ＩＮに配置されていてもよいと言う点において、動力源２２ｆが外部空間６４ＯＵＴに配置される（つまり、チャンバ空間６３ＩＮに配置されない）加工装置２ｆとは異なる。加工装置２ｇのその他の特徴は、加工装置２ｆと同一であってもよい。
　動力源２４ｇは、防爆構造を有すると言う点で、防爆構造を有していなくてもよい動力源２２ｆとは異なる。具体的には、動力源２４ｇは、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２４ｇが備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有している。例えば、動力源２４ｇは、動力源２４ｇが備える着火源に起因したチャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。或いは、例えば、動力源２４ｇは、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。動力源２４ｇは、第２実施形態で説明した動力源３４ｅと同一の構造を有していてもよい。このため、動力源２４ｇの詳細な説明については省略する。動力源２４ｇのその他の特徴は、動力源２２ｆと同一であってもよい。
　以上説明した第４実施形態の加工システムＳＹＳ４によれば、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３と同様に、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ４では、動力源２４ｇが備える着火源が、チャンバ空間６３ＩＮから隔離された空間（例えば、図１４に示す、仕切り部材３４１１ｅで隔離された内部空間３４４ｅ）に配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２４ｇが備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。つまり、第４実施形態の加工システムＳＹＳ４は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３が享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。また、加工システムＳＹＳ４では、動力源２４ｇがチャンバ空間６３ＩＮに収容可能となるため、動力源２４ｇの配置の自由度が増す。
　尚、動力源２４ｇは、チャンバ空間６３ＩＮとは異なる位置に配置されていてもよい。例えば、動力源２４ｇは、第３実施形態の動力源２４ｆと同様に、外部空間６４ＯＵＴに配置されていてもよい。或いは、加工システムＳＹＳ４は、チャンバ空間６３ＩＮに配置される動力源２４ｇに加えて、外部空間６４ＯＵＴに配置される動力源２２ｆも備えていてもよい。
　（５）変形例
　上述した説明では、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を機械的にステージ３１に伝達している。しかしながら、動力伝達部材３３は、液圧式動力伝達装置や空圧式動力伝達装置等の流体を利用した動力伝達機構であってもよい。
　上述した説明では、加工装置２は、造形材料Ｍに加工光ＥＬを照射することで、造形材料Ｍを溶融させている。しかしながら、加工装置２は、任意のエネルギビームを造形材料Ｍに照射することで、造形材料Ｍを溶融させてもよい。この場合、加工装置２は、照射光学系２１１に加えて又は代えて、任意のエネルギビームを照射可能なビーム照射装置を備えていてもよい。任意のエネルギビームは、限定されないが、電子ビーム、イオンビーム等の荷電粒子ビーム又は電磁波を含む。
　上述した説明では、加工システムＳＹＳは、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成可能である。しかしながら、加工システムＳＹＳは、造形材料Ｍに加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射することで３次元構造物ＳＴを形成可能なその他の方式により造形材料Ｍから３次元構造物ＳＴを形成してもよい。その他の方式として、例えば、粉末焼結積層造形法（ＳＬＳ：Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ　Ｌａｓｅｒ　Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ）等の粉末床溶融結合法（Ｐｏｗｄｅｒ　Ｂｅｄ　Ｆｕｓｉｏｎ）、結合材噴射法（Ｂｉｎｄｅｒ　Ｊｅｔｔｉｎｇ）又は、レーザメタルフュージョン法（ＬＭＦ：Ｌａｓｅｒ　Ｍｅｔａｌ　Ｆｕｓｉｏｎ）があげられる。或いは、加工システムＳＹＳは、造形材料Ｍに加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射することで３次元構造物ＳＴを形成可能な方式とは異なる、付加加工のための任意の方式により３次元構造物ＳＴを形成してもよい。
　上述した説明では、加工システムＳＹＳは、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡに向けて材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給することで、３次元構造物ＳＴを形成している。しかしながら、加工システムＳＹＳは、照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射することなく、材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給することで３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から、造形面ＭＳに対して造形材料Ｍを吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から造形面ＭＳに対して造形材料Ｍを含む気体を超高速で吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から造形面ＭＳに対して加熱した造形材料Ｍを吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。このように照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射することなく３次元構造物ＳＴを形成する場合には、加工システムＳＹＳ（特に、加工ヘッド２１）は、照射光学系２１１を備えていなくてもよい。
　或いは、加工システムＳＹＳは、付加加工に加えて又は代えて、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部を除去可能な除去加工を行ってもよい。或いは、加工システムＳＹＳは、付加加工及び除去加工の少なくとも一方に加えて又は代えて、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部にマーク（例えば、文字、数字又は図形）を形成可能なマーキング加工を行ってもよい。この場合であっても、上述した効果が享受可能である。
　（６）付記
　以上説明した実施形態に関して、更に以下の付記を開示する。
［付記１］
　物体が収容された加工空間内で付加加工を行う加工装置と、
　前記物体と前記加工装置との相対位置を変更するための動力を発生させる動力発生装置と
　を備え、
　前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、隔壁部材によって前記加工空間から隔離された隔離空間に配置されている
　加工システム。
［付記２］
　前記隔壁部材は、前記加工空間を取り囲んで前記加工空間を前記隔離空間から隔離する第１部材を含む
　付記１に記載の加工システム。
［付記３］
　前記加工空間は、前記第１部材によって取り囲まれる空間の内部に位置し、
　前記隔離空間は、前記第１部材によって取り囲まれる空間の外部に位置する
　付記２に記載の加工システム。
［付記４］
　前記動力発生装置は、前記隔離空間に配置されている
　付記２又は３に記載の加工システム。
［付記５］
　前記隔壁部材は、前記隔離空間を取り囲んで前記隔離空間を前記加工空間から隔離する第２部材を含む
　付記１から４のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記６］
　前記動力発生装置は、前記第２部材によって防爆対策が施された防爆構造を有する
　付記５に記載の加工システム。
［付記７］
　前記動力発生装置は、防爆モータを含む
　付記５又は６に記載の加工システム。
［付記８］
　前記第２部材は、前記動力発生装置の筐体を含み、
　前記隔離空間は、前記筐体の内部空間を含む
　付記５から７のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記９］
　前記動力発生装置は、前記加工空間に配置されている
　付記５から８のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１０］
　前記第２部材は、前記加工空間に配置されている
　付記５から９のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１１］
　前記隔壁部材は、防爆構造を有する
　付記１から１０のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１２］
　前記動力を用いて前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方を前記加工空間内で移動させることで、前記相対位置を変更する
　付記１から１１のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１３］
　前記動力を前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方に伝達する動力伝達機構を更に備える
　付記１から１２のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１４］
　前記動力伝達機構の少なくとも一部は、前記加工空間に配置される
　付記１３に記載の加工システム。
［付記１５］
　前記動力伝達機構の少なくとも一部は、前記隔離空間に配置される
　付記１３又は１４に記載の加工システム。
［付記１６］
　前記動力伝達機構は、着火源を含んでいない
　付記１３から１５のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１７］
　前記動力伝達機構は、非電気的に前記動力を伝達する
　付記１３から１６のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１８］
　前記隔壁部材には、シール部材でシールされた開口が形成されており、
　前記動力伝達機構は、前記開口を介して前記動力を前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方に伝達する
　付記１３から１７のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１９］
　前記動力伝達機構は、前記開口を介して前記隔離空間から前記加工空間に延びる
　付記１８に記載の加工システム。
［付記２０］
　前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、前記動力を発生させるために電流が供給される部分を含む
　付記１から１９のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２１］
　前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、前記動力を発生させる際に発熱する部分を含む
　付記１から２０のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２２］
　前記加工装置は、加工対象物に対して付加加工を行い、
　前記物体は、前記加工対象物を含む
　付記１から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２３］
　前記加工装置は、加工対象物に対して付加加工を行い、
　前記加工対象物が載置される載置装置を更に備え、
　前記物体は、前記載置装置を含む
　付記１から２２のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２４］
　前記加工装置は、前記加工空間内でエネルギビームを照射する照射装置と、前記エネルギビームの照射位置に材料を供給する供給装置とを備える
　付記１から２３のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２５］
　前記材料は、粉粒体を含む
　付記２４に記載の加工システム。
［付記２６］
　物体を載置する載置装置と、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
　動力を発生させる動力源と、
　前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられた隔離部材と
　前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
　前記動力源が位置する空間から前記載置装置が位置する空間へ火花が入ることを防止するシール部材と
　を備える加工システム。
［付記２７］
　物体を載置する載置装置と、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
　動力を発生させる動力源と、
　前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられた隔離部材と、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
　前記載置装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止するシール部材と
　備える加工システム。
［付記２８］
　第１空間内の物体を載置する載置装置と、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
　第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
　前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
　前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールするシール部材と
　を備える加工システム。
［付記２９］
　第１空間内の物体を載置する載置装置と、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
　第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
　前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
　前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止するシール部材と
　を備える加工システム。
［付記３０］
　第１空間内の物体を載置する載置装置と、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
　第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
　前記第１空間と前記第２空間とを隔離する隔離部材と、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
　前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止するシール部材と
　を備える加工システム。
［付記３１］
　第１空間内の物体を載置する載置装置と、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
　第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
　前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と
　前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
　前記第１空間から前記第２空間への粉の伝達を防止するシール部材と
　を備える加工システム。
［付記３２］
　付記１から３１のいずれか一項に記載の加工システムを用いて付加加工を行う加工方法。
［付記３３］
　物体を載置装置に載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
　動力源を用いて動力を発生させることと、
　前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールすることと
　を含む加工方法。
［付記３４］
　物体を載置装置に載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
　動力源を用いて動力を発生させることと、
　前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記動力源が位置する空間から前記載置装置が位置する空間への火花の伝達を防止することと
　を含む備える加工方法。
［付記３５］
　物体を載置装置に載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
　動力源を用いて動力を発生させることと、
　前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記載置装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間への粉の伝達を防止することと
　を含む加工方法。
［付記３６］
　第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
　第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
　前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールすることと
　を含む加工方法。
［付記３７］
　第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
　第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
　前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止することと
　を含む加工方法。
［付記３８］
　第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
　第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
　前記第１空間と前記第２空間を隔離部材によって隔てることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止することと
　を含む加工方法。
［付記３９］
　第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
　前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
　第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
　前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
　前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
　前記第１空間から前記第２空間への粉の伝達を防止することと
　を含む加工方法。
　上述の各実施形態の構成要件の少なくとも一部は、上述の各実施形態の構成要件の少なくとも他の一部と適宜組み合わせることができる。上述の各実施形態の構成要件のうちの一部が用いられなくてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態で引用した全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
　本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う加工システム及び加工方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
　ＳＹＳ　加工システム
　１　材料供給装置
　２　加工装置
　２２ｆ、２４ｇ　動力源
　２３ｆ　動力伝達部材
　３　ステージ装置
　３１　ステージ
　３２、３４ｅ　動力伝達部材
　３３　動力伝達機構
　６　筐体
　６１　仕切り部材
　６３ＩＮ　チャンバ空間
　６４ＯＵＴ　外部空間
　６５　開口
　６６　シール部材
　Ｗ　ワーク
　Ｍ　造形材料
　ＳＬ　構造層
　ＭＳ　造形面
　ＥＡ　照射領域
　ＭＡ　供給領域
　ＭＰ　溶融池
　ＥＬ　加工光

Claims (22)

  1. 　物体を支持する支持装置と、
    　前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
    　動力を発生させる動力源と、
    　前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
    　前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
    　前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
    　を備える加工システム。
  2. 　前記仕切り部材および前記シール部材は、前記動力源が位置する空間から前記支持装置が位置する空間へ火花が入ることを防止する
    　請求項１に記載の加工システム。
  3. 　前記仕切り部材および前記シール部材は、前記支持装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止する
    　請求項１または２に記載の加工システム。
  4. 　前記仕切り部材および前記シール部材は、前記粉体が供給される空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止する
    　請求項１から３のいずれか一項に記載の加工システム。
  5. 　前記仕切り部材、前記動力伝達部材および前記シール部材は、前記物体の周囲の空間を密閉する
    　請求項１から４のいずれか一項に記載の加工システム。
  6. 　前記仕切り部材、前記動力伝達部材および前記シール部材は、前記支持装置が位置する空間を密閉する
    　請求項１から５のいずれか一項に記載の加工システム。
  7. 　前記仕切り部材、前記動力伝達部材および前記シール部材は、前記動力源の周囲の空間を密閉する
    　請求項１から６のいずれか一項に記載の加工システム。
  8. 　前記動力伝達部材は、前記貫通孔が形成される面と交差する方向に前記動力を伝達する
    　請求項１から７のいずれか一項に記載の加工システム。
  9. 　前記動力伝達部材は、前記貫通孔が形成される面と交差する方向に伸びた軸部材を備える
    　請求項１から８のいずれか一項に記載の加工システム。
  10. 　前記軸部材は、前記交差する方向を中心として回転可能である
    　請求項９に記載の加工システム。
  11. 　前記軸部材は、前記交差する方向に沿って移動可能である
    　請求項９または１０に記載の加工システム。
  12. 　前記動力伝達部材は、前記貫通孔が延びる方向に前記動力を伝達する
    　請求項１から１１のいずれか一項に記載の加工システム。
  13. 　前記動力伝達部材は、前記貫通孔が延びる方向に伸びた軸部材を備える
    　請求項１から１１のいずれか一項に記載の加工システム。
  14. 　前記軸部材は、前記延びる方向を中心として回転可能である
    　請求項１３に記載の加工システム。
  15. 　前記軸部材は、前記伸びる方向に沿って移動可能である
    　請求項１３または１４に記載の加工システム。
  16. 　前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に伝達された前記動力により、前記物体と前記加工装置との相対的な位置および相対的な姿勢のうち少なくとも一方が変更される、請求項１から１５のいずれか一項に記載の加工システム。
  17. 　前記動力源は、電気的に前記動力を発生させる
    　請求項１から１６のいずれか一項に記載の加工システム。
  18. 　前記隔離部材は、前記動力源における導通部分を前記物体に前記付加加工が行われる空間から隔てる
    　請求項１７に記載の加工システム。
  19. 　前記物体に前記付加加工が行われる空間は不活性ガスで満たされている
    　請求項１から１８のいずれか一項に記載の加工システム。
  20. 　前記物体に前記付加加工が行われる空間における酸素濃度は０．５％以下である
    　請求項１から１９のいずれか一項に記載の加工システム。
  21. 　前記動力源が位置する空間における酸素濃度は前記物体に前記付加加工が行われる空間における酸素濃度よりも高い
    　請求項１から２０のいずれか一項に記載の加工システム。
  22. 　前記物体に前記付加加工が行われる空間の圧力は、前記空間と異なる空間の圧力よりも高い
    　請求項１から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
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