WO2020100376A1 - 真空加熱装置、リフレクタ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明は、前記単位反射板が加熱されて熱伸びする際には、前記変形部は変形されて、前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係が変更される真空加熱装置である。
また、本発明は、前記変形部は板バネであり、前記単位反射板の熱伸びによって前記板バネの表面に垂直な方向の力が印加される向きに前記板バネが配置された真空加熱装置である。
また、本発明は、前記単位反射板には遊び孔が設けられ、前記保持装置は、前記遊び孔に挿通された第一のねじ止め装置によって前記取付面にねじ止め固定され、前記遊び孔の縁と前記第一のねじ止め装置とは、前記単位反射板が前記取付面に沿って熱伸びしても、前記単位反射板が室温以上で上限温度よりも低温の温度範囲では非接触になるようにされた真空加熱装置である。
また、本発明は、前記固定装置と前記保持装置とは、前記単位反射板に溶接固定された真空加熱装置である。
また、本発明は、前記固定装置は前記単位反射板に溶接固定され、前記保持装置は第二のねじ止め装置によって前記単位反射板にねじ止め固定された真空加熱装置である。
また、本発明は、一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置は、同じ前記単位反射板に固定された前記保持装置と前記保持装置の間に配置された真空加熱装置である。
また、本発明は、一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置を中心にして、同じ前記単位反射板に固定された複数の前記保持装置が配置された真空加熱装置である。
また、本発明は、真空槽の内部で前記真空槽の内壁面のうちの取付面に沿って配置され、加熱源から放射されて前記取付面に向かう赤外線を遮蔽する複数個の単位反射板と、一端が前記真空槽の前記取付面に固定され、他端が前記単位反射板に固定される複数個の固定装置と、一端が前記真空槽の前記取付面に固定され、他端が前記単位反射板に固定される複数個の保持装置と、を有し、前記固定装置が前記取付面に固定された場所と前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置は前記固定装置によって固定され、前記保持装置は変形可能な変形部を有し、前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係は、前記変形部の変形によって変更されるようにされたリフレクタ装置である。
また、本発明は、前記単位反射板が加熱されて熱伸びする際には、前記変形部は変形されて、前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係が変更されるリフレクタ装置である。
また、本発明は、前記変形部は板バネであり、前記単位反射板の熱伸びによって前記板バネの表面に垂直な方向の力が印加される向きに前記板バネが配置されたリフレクタ装置である。
また、本発明は、前記単位反射板には遊び孔が設けられ、前記保持装置は、前記遊び孔に挿通された第一のねじ止め装置によって前記取付面にねじ止め固定され、前記遊び孔の縁と前記第一のねじ止め装置とは、前記単位反射板が前記取付面に沿って熱伸びしても、前記単位反射板が室温以上で上限温度よりも低温の温度範囲では非接触になるようにされたリフレクタ装置である。
また、本発明は、前記固定装置と前記保持装置とは、前記単位反射板に溶接固定されたリフレクタ装置である。
また、本発明は、前記固定装置は前記単位反射板に溶接固定され、前記保持装置は第二のねじ止め装置によって前記単位反射板にねじ止め固定されたリフレクタ装置である。
また、本発明は、一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置は、同じ前記単位反射板に固定された前記保持装置と前記保持装置の間に配置されたリフレクタ装置である。
また、本発明は、一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置を中心にして、同じ前記単位反射板に固定された複数の前記保持装置が配置されたリフレクタ装置である。
図1の符号2は、本発明の一例の真空加熱装置であり、真空槽17を有している。
加熱源88から放射された赤外線のうち、基板配置装置85に向かって放射された赤外線は基板87に照射され基板87が加熱される。
リフレクタ装置110の構造を説明する。リフレクタ装置110は、図2に示すように、複数の単位反射装置111~113、121~123、131~133を有している。各単位反射装置111~113、121~123、131~133は、四角形状の単位反射板31を有しており、各単位反射装置111~113、121~123、131~133の単位反射板31が、ここでは横方向に3個で縦方向に3個の3×3個の行列状に配置されている。単位反射板31は水平に配置されている。
真空槽17の内部は真空排気装置78によって真空排気され、真空雰囲気にされており、真空排気されながら基板配置装置85上に基板87が配置された後、加熱源88に通電して発熱させ、赤外線を放射させると、放射された赤外線は基板87とリフレクタ装置110の単位反射板31とに照射され、基板87と単位反射板31とが加熱される。
図8(a)、(b)の左方の保持装置15aは断面を示しており、右方の保持装置15bは斜め側方を示している。後述の図9(a)、(b)でも同様である。
板側接続部62と単位反射板35とは溶接固定されておらず、板側接続部62には第二の保持側固定孔61が形成され、単位反射板35には第二の板側固定孔48a~48dが形成されている。
保持装置16a~16dは、図11(a)~(e)に示す。
11a~11d、12、13a、13b、14a~14c、15a~15d、16a~16d……保持装置
17……真空槽
19……取付面
21~24、54、55……固定装置
26a~26d……第一のねじ止め装置
28a~28d……第二のねじ止め装置
31~36……単位反射板
46a~46d……遊び孔
64……変形部
87……加熱対象物
88……加熱源
110、210、310、410……リフレクタ装置
Claims (16)
- 真空排気される真空槽と、
前記真空槽の内部に配置され、赤外線を放射して加熱対象物を加熱する加熱源と、
前記真空槽の内部に配置され、前記加熱源から放射されて前記真空槽の内壁面のうちの取付面に向かう赤外線を遮蔽する複数個の単位反射板を有するリフレクタ装置と、
を有し、
前記単位反射板は前記取付面に沿って配置された真空加熱装置であって、
前記リフレクタ装置は、
一端が前記真空槽の前記取付面に固定され、他端が前記単位反射板に固定された複数個の固定装置と、
一端が前記真空槽の前記取付面に固定され、他端が前記単位反射板に固定された複数個の保持装置と、
を有し、
前記固定装置が前記取付面に固定された場所と前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置は前記固定装置によって固定され、
前記保持装置は変形可能な変形部を有し、前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係は、前記変形部の変形によって変更されるようにされた真空加熱装置。 - 前記単位反射板が加熱されて熱伸びする際には、前記変形部は変形されて、前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係が変更される請求項1記載の真空加熱装置。
- 前記変形部は板バネであり、前記単位反射板の熱伸びによって前記板バネの表面に垂直な方向の力が印加される向きに前記板バネが配置された請求項2記載の真空加熱装置。
- 前記単位反射板には遊び孔が設けられ、前記保持装置は、前記遊び孔に挿通された第一のねじ止め装置によって前記取付面にねじ止め固定され、
前記遊び孔の縁と前記第一のねじ止め装置とは、前記単位反射板が前記取付面に沿って熱伸びしても、前記単位反射板が室温以上で上限温度よりも低温の温度範囲では非接触になるようにされた請求項1記載の真空加熱装置。 - 前記固定装置と前記保持装置とは、前記単位反射板に溶接固定された請求項4記載の真空加熱装置。
- 前記固定装置は前記単位反射板に溶接固定され、
前記保持装置は第二のねじ止め装置によって前記単位反射板にねじ止め固定された請求項4記載の真空加熱装置。 - 一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置は、同じ前記単位反射板に固定された前記保持装置と前記保持装置の間に配置された請求項1記載の真空加熱装置。
- 一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置を中心にして、同じ前記単位反射板に固定された複数の前記保持装置が配置された請求項1記載の真空加熱装置。
- 真空槽の内部で前記真空槽の内壁面のうちの取付面に沿って配置され、加熱源から放射されて前記取付面に向かう赤外線を遮蔽する複数個の単位反射板と、
一端が前記真空槽の前記取付面に固定され、他端が前記単位反射板に固定される複数個の固定装置と、
一端が前記真空槽の前記取付面に固定され、他端が前記単位反射板に固定される複数個の保持装置と、
を有し、
前記固定装置が前記取付面に固定された場所と前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置は前記固定装置によって固定され、
前記保持装置は変形可能な変形部を有し、
前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係は、前記変形部の変形によって変更されるようにされたリフレクタ装置。 - 前記単位反射板が加熱されて熱伸びする際には、前記変形部は変形されて、前記保持装置が前記取付面に固定された場所と、前記単位反射板に固定された場所との間の相対的な位置関係が変更される請求項9記載のリフレクタ装置。
- 前記変形部は板バネであり、前記単位反射板の熱伸びによって前記板バネの表面に垂直な方向の力が印加される向きに前記板バネが配置された請求項10記載のリフレクタ装置。
- 前記単位反射板には遊び孔が設けられ、前記保持装置は、前記遊び孔に挿通された第一のねじ止め装置によって前記取付面にねじ止め固定され、
前記遊び孔の縁と前記第一のねじ止め装置とは、前記単位反射板が前記取付面に沿って熱伸びしても、前記単位反射板が室温以上で上限温度よりも低温の温度範囲では非接触になるようにされた請求項9記載のリフレクタ装置。 - 前記固定装置と前記保持装置とは、前記単位反射板に溶接固定された請求項12記載のリフレクタ装置。
- 前記固定装置は前記単位反射板に溶接固定され、
前記保持装置は第二のねじ止め装置によって前記単位反射板にねじ止め固定された請求項12記載のリフレクタ装置。 - 一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置は、同じ前記単位反射板に固定された前記保持装置と前記保持装置の間に配置された請求項9記載のリフレクタ装置。
- 一枚の前記単位反射板に固定された前記固定装置を中心にして、同じ前記単位反射板に固定された複数の前記保持装置が配置された請求項9記載のリフレクタ装置。
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