JP2017180865A - 焼成炉 - Google Patents
焼成炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017180865A JP2017180865A JP2016063558A JP2016063558A JP2017180865A JP 2017180865 A JP2017180865 A JP 2017180865A JP 2016063558 A JP2016063558 A JP 2016063558A JP 2016063558 A JP2016063558 A JP 2016063558A JP 2017180865 A JP2017180865 A JP 2017180865A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding plate
- heater
- shielding
- processing space
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
【解決手段】焼成炉10は、セラミック成形体65を焼成する焼成炉であって、内部に処理空間13を有する炉体11と、ヒータ群30(複数のヒータ37)と、遮蔽板群40(複数の遮蔽板47)と、を備えている。複数のヒータ37は、処理空間13内で炉体11内の側面20に沿って配置されている。複数の遮蔽板47は、処理空間13を上下方向に3等分したうちの中段領域15を上段領域14及び下段領域16の各々より多く遮蔽するように、炉体11内の側面20に沿ってヒータ37よりも処理空間13の内側に配置されている。
【選択図】図1
Description
セラミック成形体を焼成する焼成炉であって、
内部に処理空間を有する炉体と、
前記処理空間内で前記炉体内の側面に沿って配置されたヒータと、
前記処理空間を上下方向に3等分したうちの中段領域を上段領域及び下段領域の各々より多く遮蔽するように、前記炉体内の側面に沿って前記ヒータよりも前記処理空間の内側に配置された遮蔽板と、
を備えたものである。
図1〜3に示した、上述した実施形態の焼成炉10を作製して実施例1とした。実施例1の処理空間13の寸法は、上下の高さ(全高H)が760mm、前後の長さが900mm、左右の長さが900mmとした。後遮蔽板群42は、図1,2に示したように上下左右に離間して配置された4枚の遮蔽板47を備えるものとした。この4枚の遮蔽板47は、図1,2に示したようにいずれも中段領域15内に配置した。遮蔽板47は、セラミックファイバーのボードとし、上下の高さが100mm(高さH1,H2がいずれも100mm)、左右の幅が350mm、厚みが20mmのものを用いた。上側の遮蔽板47と下側の遮蔽板47との上下の隙間は10mmとし、左側の遮蔽板47と右側の遮蔽板47の左右の隙間は10mmとした。4枚の遮蔽板47は、前方から後方に水平に見たときに、後ヒータ群32のうち上側のヒータ37の発熱部38の48%を覆い、下側のヒータ37の発熱部38の15%を覆うように配置した。そのため、ヒータ遮蔽率は31%であった。処理空間13の全高Hに占める後遮蔽板群42の4枚の遮蔽板47の高さ割合は、(H1+H2)/H×100=約26%となった。前遮蔽板群41、左遮蔽板群43、右遮蔽板群44についても、配置の方向(各側面21〜24のうちいずれの面に沿って配置されているか)以外は後遮蔽板群42と同じとした。そのため、焼成炉10全体としてのヒータ遮蔽率は26%となり、焼成炉10全体としての高さ割合は26%となった。支持体60は、セッター61とスペーサ62との組を上下方向に26組重ねた構成とし、26組を前後左右に離間して4山並べた配置とした。支持体60の複数のセッター61の位置を、下から順に1段目、2段目、・・・と称するものとする。支持体60は、5〜16段目のセッター61が中段領域15内に位置するように配置した。また、下側の遮蔽板47の下端から上側遮蔽板47の上端までの高さに5〜15段目のセッター61が位置するように配置した。セッター61の厚みは7mmとした。また、スペーサ62の上下の高さ(=セッター61の上下の間隔)は13mmとした。
上側の遮蔽板47と下側の遮蔽板47との上下の隙間を35mmとした点以外は、実施例1と同じ焼成炉10を作製して実施例2とした。なお、実施例2の遮蔽板47の高さ割合は実施例1と同じ26%である。また、実施例2のヒータ遮蔽率は30%であった。
上側の遮蔽板47と下側の遮蔽板47とを分けずに1枚の遮蔽板47とし、各遮蔽板47に穴を設けた点以外は、実施例2と同じ焼成炉10を作製して実施例3とした。すなわち、後遮蔽板群42が左右に離間した2枚の遮蔽板47を有するものとした。2枚の遮蔽板47の寸法は、いずれも、上下の高さが235mm、左右の幅が350mm、厚みが20mmとした。左側の遮蔽板47と右側の遮蔽板47の左右の隙間は実施例1,2と同じく10mmとした。2枚の遮蔽板47の各々の穴は、いずれも遮蔽板47の上下左右の中央に位置するように配設した。穴の直径は67mmとした。前遮蔽板群41、左遮蔽板群43、右遮蔽板群44についても、配置の方向以外は後遮蔽板群42と同じとした。焼成炉10全体としてのヒータ遮蔽率は36%となり、焼成炉10全体としての高さ割合は31%(=235mm/760mm×100)となった。
各遮蔽板47に穴を設けないようにした点以外は、実施例3と同じ焼成炉10を作製して実施例4とした。焼成炉10全体としてのヒータ遮蔽率は38%となった。焼成炉10全体としての高さ割合は実施例3と同じ31%である。
遮蔽板47を備えない点以外は実施例1と同じ焼成炉10を作製して比較例1とした。
実施例1〜4,比較例1について、供給管50から処理空間13内に雰囲気ガスを供給し、複数のヒータ37に電力を供給してヒータ37を加熱し、その状態で1〜24段目のうち奇数段及び24段目のセッター61上の雰囲気の温度を測定した。支持体60は26組を4山配置しているが、代表としてそのうちの1山にて測定した。また、実施例1〜4,比較例1の各々について、測定された温度の最大値と最小値との差を導出したところ、実施例1では3.0℃、実施例2では4.2℃、実施例3では5.1℃、実施例4では5.3℃、比較例1では8.8℃であった。図5は、実施例1〜4及び比較例1におけるセッター61の測定段と温度との関係を示すグラフである。
Claims (9)
- セラミック成形体を焼成する焼成炉であって、
内部に処理空間を有する炉体と、
前記処理空間内で前記炉体内の側面に沿って配置されたヒータと、
前記処理空間を上下方向に3等分したうちの中段領域を上段領域及び下段領域の各々より多く遮蔽するように、前記炉体内の側面に沿って前記ヒータよりも前記処理空間の内側に配置された遮蔽板と、
を備えた焼成炉。 - 前記遮蔽板は、該遮蔽板よりも前記処理空間の内側から水平方向に該遮蔽板と前記ヒータとを見たときに、該ヒータの発熱部のうち該遮蔽板に覆われる部分の面積割合であるヒータ遮蔽率が10%以上40%以下である、
請求項1に記載の焼成炉。 - 前記ヒータ遮蔽率が20%以上35%以下である、
請求項2に記載の焼成炉。 - 前記遮蔽板は、前記処理空間の全高に占める前記遮蔽板の高さ割合が10%以上40%以下である、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の焼成炉。 - 前記高さ割合が20%以上35%以下である、
請求項4に記載の焼成炉。 - 前記遮蔽板は、前記炉体内の側面に沿った方向に離間して複数配置されている、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の焼成炉。 - 前記遮蔽板は、前記中段領域内に隙間が存在するように、互いに離間して複数配置されているか又は穴が配設されているかの少なくとも一方を満たしている、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の焼成炉。 - 前記ヒータは、前記炉体内の側面に沿って千鳥状に複数配置されている、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の焼成炉。 - 前記炉体は、該炉体内の側面として前後左右の4つの側面を有し、
前記ヒータ及び前記遮蔽板は、前記4つの側面の各々に対応して配置されている、
請求項1〜8のいずれか1項に記載の焼成炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016063558A JP6639985B2 (ja) | 2016-03-28 | 2016-03-28 | 焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016063558A JP6639985B2 (ja) | 2016-03-28 | 2016-03-28 | 焼成炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017180865A true JP2017180865A (ja) | 2017-10-05 |
JP6639985B2 JP6639985B2 (ja) | 2020-02-05 |
Family
ID=60004143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016063558A Active JP6639985B2 (ja) | 2016-03-28 | 2016-03-28 | 焼成炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6639985B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020100376A1 (ja) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 株式会社アルバック | 真空加熱装置、リフレクタ装置 |
CN112393593A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-02-23 | 重庆观致科技有限公司 | 一种加热棒及提高炉温均匀性的炉膛结构 |
JP2021188868A (ja) * | 2020-06-03 | 2021-12-13 | 日本碍子株式会社 | バッチ式熱処理炉 |
-
2016
- 2016-03-28 JP JP2016063558A patent/JP6639985B2/ja active Active
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020100376A1 (ja) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 株式会社アルバック | 真空加熱装置、リフレクタ装置 |
JPWO2020100376A1 (ja) * | 2018-11-14 | 2021-06-10 | 株式会社アルバック | 真空加熱装置、リフレクタ装置 |
TWI749366B (zh) * | 2018-11-14 | 2021-12-11 | 日商愛發科股份有限公司 | 真空加熱裝置、反射器裝置 |
JP7044900B2 (ja) | 2018-11-14 | 2022-03-30 | 株式会社アルバック | 真空加熱装置、リフレクタ装置 |
JP2021188868A (ja) * | 2020-06-03 | 2021-12-13 | 日本碍子株式会社 | バッチ式熱処理炉 |
CN112393593A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-02-23 | 重庆观致科技有限公司 | 一种加热棒及提高炉温均匀性的炉膛结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6639985B2 (ja) | 2020-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6639985B2 (ja) | 焼成炉 | |
JP2014034689A (ja) | 鋼板焼入用加熱装置 | |
JP2009540024A (ja) | 水平型コークス炉の床構造 | |
KR100972500B1 (ko) | 전기가열로용 발열구조체 | |
JP2009543996A5 (ja) | ||
JP5281114B2 (ja) | 歯科用窯 | |
CN107006079B (zh) | 加热器单元和渗碳炉 | |
JP5732655B2 (ja) | バッチ式焼成炉 | |
JP3929239B2 (ja) | 遠赤外線薄型ヒータおよび基板加熱炉 | |
JP2007051038A (ja) | 平面ガラス板用連続焼成装置 | |
JP2007247929A (ja) | 焼成用治具および焼成用治具を用いた酸化雰囲気電気炉 | |
CN1351576A (zh) | 玻璃板加热设备 | |
JP2000310491A (ja) | 連続トンネル式電気焼成炉 | |
CN107034350A (zh) | 一种金属薄板带感应加热的辅热均热高温加热炉内腔 | |
CN210108010U (zh) | 独立保温多层辊底炉 | |
GB2475239A (en) | A continuous flow furnace for heat treating components | |
CN102184839B (zh) | 半导体热处理真空炉热场结构 | |
JP2007134242A (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
JP4366685B2 (ja) | セラミックハニカム構造体の焼成方法 | |
CN211451840U (zh) | 用于烧制七彩曜变建盏的窑炉 | |
JP6121305B2 (ja) | 焼成装置 | |
CN210532998U (zh) | 陶瓷制品烧结用推板式节能隧道炉 | |
JP2995049B1 (ja) | 内熱式電気炉用遮熱板 | |
JP2007113051A (ja) | スパッタリングターゲット用ターゲット材の製造方法およびこれに用いる箱体 | |
KR101811785B1 (ko) | 디스플레이 패널 열처리장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6639985 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |