JP2007134242A - 表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】表示パネルの生産効率の向上と、焼成工程時の放出熱量の削減を図る。
【解決手段】焼成炉Ｆ１内に設置されたローラ・コンベアＶ１を構成するセラミック・ローラＲ１の端部が焼成炉Ｆ１内から外方に突出されており、複数枚のガラス基板Ｐを、それぞれ長手方向が搬送方向と平行になる向きに向けられるとともに搬送方向と直交する方向に並べられた状態でセッタＳ１上に載置して、セッタＳ１とともにローラ・コンベアＶ１によって焼成炉Ｆ１内を搬送し、この焼成炉Ｆ１内において加熱することによりガラス基板Ｐの焼成を行う。
【選択図】図３

Description

この発明は、表示パネルの製造方法に関する。

一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）やフィールド・エミッション・ディスプレイパネル（ＦＥＤ）等の平面型表示パネルの製造工程において、パネルを構成するガラス基板上に配置される誘電体層や電極，リブ，蛍光体等の各種構造物は、これらの構造物を形成する材料層が所要の形状に成形された後、ガラス基板とともに焼成炉内において加熱されて焼成されることにより形成される。

図１および２は、従来の表示パネルの製造方法における焼成炉内部の稼働状態を示しており、図１はこの焼成炉Ｆの内部の側断面図、図２は平断面図である。

この図１および２において、Ｆは連続搬送式焼成炉（以下、単に焼成炉という）を示しており、ガラス基板Ｐ上に形成された材料層が各種構造物の所要の形状に成形された後、このガラス基板Ｐが、セッタＳに載せられた状態で、焼成炉Ｆ内をローラ・コンベアＶによって搬送されながら、加熱されてゆく（例えば、特許文献１参照）。

ここで、平面型表示パネルは、通常、横辺と縦辺の長さの比が４：３または１６：９となるように設定されており、従来の表示パネルの製造方法では、ガラス基板Ｐの長手方向の辺がローラ・コンベアＶの搬送方向と直角向きになるようにセッタＳ上に載置されて（以下、この状態を横置き状態という）、焼成炉Ｆ内を搬送される。

これは、焼成炉Ｆ内において、昇温エリアでは搬送方向に沿って上流側から下流側にゆくにしたがって加熱温度が上昇し、降温エリアでは搬送方向に沿って上流側から下流側にゆくにしたがって加熱温度が下降して、それぞれ上流側と下流側で加熱温度に差が生じるため、ガラス基板Ｐが、その長手方向の辺が搬送方向に対して平行になるようにセッタＳ上に載置される（以下、この状態を縦置き状態という）と、搬送方向においてガラス基板Ｐの前側部分と後側部分の間の面内温度差が、ガラス基板Ｐを横置き状態で搬送する場合に比べて大きくなることによって、ガラス基板Ｐに歪み等による割れが発生する虞が生じるためである。

このような従来の表示パネルの製造方法においては、以下のような問題が生じている。

すなわち、焼成炉Ｆ内においてガラス基板Ｐを搬送するローラ・コンベアＶは、一般にセラミック・ローラＲによって構成され、このセラミック・ローラＲの両端部が、焼成炉Ｆの外部に配置される駆動部との連結のために、図２に示されるように焼成炉Ｆの炉壁から外方に突き出た構造になっている。

このため、焼成炉Ｆ内の熱エネルギの一部が、このローラ・コンベアＶを構成するセラミック・ローラＲを介して焼成炉Ｆの外部に放出されてしまい、この放出される熱エネルギが、ロス・エネルギになってしまう。

前述したように、ガラス基板Ｐを横置きしてローラ・コンベアＶによって搬送する場合には、縦置きで搬送する場合に比べて、セラミック・ローラＲの軸長を長くしなければならず、さらに、このセラミック・ローラＲの軸長が長くなるのにともなって、自重で撓むのを防止するためにその直径を大きくする必要が生じる。

このセラミック・ローラＲを介して外部に放出される放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑは、
Ｑ＝Ｋ×ΔＴ×Ａ／Ｌ
Ｋ ：セラミック・ローラの熱伝導率
ΔＴ：炉内と炉外の温度差
Ａ ：セラミック・ローラの断面積
Ｌ ：セラミック・ローラの軸長
の式によって求められ、この式から、放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑは、セラミック・ローラＲの断面積Ａに比例し、軸長Ｌに反比例することが分かる。

ここで、セラミック・ローラの軸長Ｌが、例えば２８００ｍｍ，３６００ｍｍ，４３００ｍｍ，５６００ｍｍのとき、これらの軸長Ｌのセラミック・ローラＲの自重による撓みが一定になるようにするためには、各軸長Ｌに対してそれぞれ直径を以下のように設定する必要がある。

２８００ｍｍ：φ ６０ｍｍ
３６００ｍｍ：φ１１０ｍｍ
４３００ｍｍ：φ１７０ｍｍ
５６００ｍｍ：φ３４０ｍｍ
このように、セラミック・ローラは、軸長Ｌが長くなると、自重による撓みが一定になるようにするために、直径を軸長Ｌよりも大きい率で大きくしなければならず、断面積Ａは直径の二乗に比例してさらに大きくなってしまう。

前述したように、ロス・エネルギＱはセラミック・ローラＲの軸長Ｌに反比例し断面積Ａに比例するために、セラミック・ローラＲの軸長Ｌが長くなると、この軸長Ｌが大きくなることによって放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑは減少するが、断面積Ａが大きくなることによってロス・エネルギＱは増加し、断面積Ａが大きくなる率の方が軸長Ｌが長くなる率よりも大きいことによって、全体として放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑは増加することになる。

このため、ガラス基板Ｐを横置きにして焼成炉Ｆ内を搬送する場合には、縦置きにして搬送する場合に比べて、ローラ・コンベアＶを構成するセラミック・ローラＲの軸長Ｌが長くなり、これに伴ってセラミック・ローラＲの断面積Ａを大きくしなければならないので、焼成炉Ｆ内からの放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑが増大してしまうという問題が生じる。

この問題を解決するために、ガラス基板Ｐを縦置きにして焼成炉Ｆ内からの放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑを小さくするとともに、焼成炉Ｆ内の昇温速度と降温速度を低下させることによって、ガラス基板Ｐの面内温度差による基板割れの発生を防止するようにすることも考えられる。

しかしながら、焼成炉Ｆ内の昇温速度と降温速度を低下させると、単位時間当たりの処理台数が減少して生産効率が低下してしまう。

また、昇温速度と降温速度を低下させた場合に、生産効率を確保するためには、焼成炉Ｆの炉長を長くする必要があり、この場合は、工場内のスペース効率が悪化したり、消費エネルギが増加するといった新たな問題が生じる。

特開２００３−３３１７２４号公報

この発明は、表示パネルの製造方法における上記のような従来の問題点を解決することをその技術的課題の一つとしている。

この発明による表示パネルの製造方法は、上記目的を達成するために、焼成炉内に設置されたローラ・コンベアのローラの端部が焼成炉内から外方に突出され、このローラ・コンベアによって表示パネル基板が載置された基板搬送板が焼成炉内を搬送されることにより、表示パネル基板の焼成が行われる表示パネルの製造方法において、複数枚の前記表示パネル基板を、それぞれ長手方向が搬送方向と平行になる向きに向けられるとともに搬送方向と直交する方向に並べられた状態で基板搬送板上に載置して、ローラ・コンベアにより焼成炉内を搬送することを特徴としている。

この発明は、焼成炉内に設置されたローラ・コンベアを構成するローラの端部が焼成炉内から外方に突出されており、複数枚の表示パネル基板を、それぞれ長手方向が搬送方向と平行になる向きに向けられるとともに搬送方向と直交する方向に並べられた状態で基板搬送板上に載置して、基板搬送板とともにローラ・コンベアによって焼成炉内を搬送し、この焼成炉内において加熱することにより表示パネル基板の焼成を行う表示パネルの製造方法を最良の実施形態としている。

この実施形態による表示パネルの製造方法によれば、表示パネル基板の焼成工程が、複数枚の表示パネルが一枚の基板搬送板上に搬送方向と直交する方向に並べられた状態で焼成炉内を搬送されることによって行われることにより、表示パネル基板を基板搬送板上に長手方向が搬送方向と平行な向き（縦置き）に載置した場合でも、各表示パネル基板に発生する面内温度差が低下することによって、焼成炉内の昇温と降温速度を低下させることなく基板割れの発生を防止することが出来るようになるとともに、基板搬送板上に複数枚の表示パネル基板を縦置きに配列することによって、表示パネル基板の一枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が従来と同等か従来よりも小さくなり、基板割れと放出熱量（ロス・エネルギ）の増大を防止しながら表示パネル基板の搬送数を増加させることによって、生産効率の向上を図ることが出来るようになる。

上記実施形態の表示パネルの製造方法において、表示パネル基板が基板搬送板上に縦向きに３列に並べられて載置されることによって、表示パネル基板の一枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が、従来のように基板搬送板上に１枚の表示パネル基板を長手方向が搬送方向と直交する方向に向けられた状態で載置して搬送する場合と比べて、大幅に小さくなる。

さらに、上記実施形態の表示パネルの製造方法において、表示パネル基板が搬送方向と平行な方向に複数行並べられた状態で基板搬送板上に載置されることによって、表示パネル基板の搬送数が増加されて、さらに生産効率が向上される。

さらに、上記実施形態の表示パネルの製造方法において、表示パネル基板が基板搬送板上に２行３列に並べられて載置されることによって、表示パネル基板の一枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が、従来のように基板搬送板上に１枚の表示パネル基板を長手方向が搬送方向と直交する方向に向けられた状態で載置して搬送する場合と比べて、大幅に小さくなるとともに、表示パネル基板の搬送数が大幅に増加されて、さらに生産効率が向上される。

さらに、上記実施形態の表示パネルの製造方法において、表示パネル基板が、プラズマディスプレイパネルのガラス基板である場合には、プラズマディスプレイパネルの生産効率の向上を図ることが出来るとともに、ガラス基板の焼成工程時における放出熱量（ロス・エネルギ）を減少させることが出来る。

以下、この発明による表示パネルの製造方法の実施例について、図面を参照しながら説明を行う。

なお、この発明は、連続搬送式焼成炉によって焼成工程を行う種々の平面型表示パネルの製造方法に適用することが可能であるが、以下においては、この発明をＰＤＰの製造に適用した実施例について説明を行う。

図３は、この実施例において、ＰＤＰのガラス基板が連続搬送式焼成炉内を搬送されている状態を示す横断面図である。

この図３において、連続搬送式焼成炉（以下、単に焼成炉という）Ｆ１は、縦置きされた複数枚のガラス基板Ｐを搬送方向と直交する方向に並べた状態で収容することが出来る寸法の炉内有効幅ｗを有している。

この焼成炉Ｆ１内には、炉床と平行に、セラミック・ローラＲ１によって構成されるローラ・コンベアＶ１が設置されており、このローラ・コンベアＶ１の搬送方向と直交する方向に延びる各セラミック・ローラＲ１の両端部が、それぞれ焼成炉Ｆ１の側壁部から外方に突出して、図示しない駆動装置に連結されている。

ガラス基板Ｐが載置されてローラ・コンベアＶ１上を搬送されるセッタＳ１は、その搬送方向に直交する方向の幅が、縦置きのガラス基板Ｐを搬送方向と直交する方向に複数枚（図３の例では三枚）並べて載置出来る大きさに設定されている。

このセッタＳ１は、図４に示されるように、搬送方向と平行な方向の幅（図において上下方向の幅）が縦置きのガラス基板Ｐを１行分載置出来る大きさに設定されていても良く、図５に示されるように、複数行分（図示の例では２行分）載置出来る大きさに設定されていても良い。

すなわち、セッタＳ１は、縦置きのガラス基板Ｐをｍ行ｎ列（ｍ＝１，２…，ｎ＝２，３…）に並べて載置出来る大きさを備えている。

この焼成炉Ｆ１によるガラス基板Ｐの焼成工程は、以下の様にして行われる。

すなわち、先ず、図４または５に示されるように、セッタＳ１上に、焼成を行うガラス基板Ｐが、縦置きの状態でｍ行ｎ列（図４においては１行３列，図５においては２行３列）に並べて載置される。

この複数枚のガラス基板Ｐが載置されたセッタＳ１は、ローラ・コンベアＶ１に載せられて、このローラ・コンベアＶ１の駆動により、上流側から焼成炉Ｆ１内に搬入される。

焼成炉Ｆ１は、内部の加熱温度が、搬送路に沿って上流側から炉内のほぼ中央位置まで昇温され、その後、下流側に向かって降温されるように設定されており、セッタＳ１上に搭載されたガラス基板Ｐは、それぞれ、ローラ・コンベアＶ１によってセッタＳ１とともに焼成炉Ｆ１内の昇温エリアと降温エリアを搬送されながら加熱されて、ガラス基板Ｐに形成されている、例えば、電極や誘電体層，隔壁等の各種構造物の焼成が行われる。

ここで、前述したように、１枚のガラス基板を縦置きの状態でセッタに載せて焼成炉内で加熱を行った場合には、ガラス基板の搬送方向に沿った前側部分と後側部分の間の面内温度差が大きくなって、歪みによる基板割れが発生するが、上記のように、セッタＳ１上に複数枚のガラス基板Ｐをｍ行ｎ列（ｍ＝１，２…，ｎ＝２，３…）に並べて載置して、焼成炉Ｆ１内を搬送することによって、ガラス基板Ｐの面内温度差による基板割れの発生を防止することが出来るとともに、焼成工程におけるガラス基板Ｐの１枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）を、従来の場合と比べて、減少させることが出来る。

すなわち、１枚のセッタＳ１上にｍ行ｎ列（ｍ＝１，２…，ｎ＝２，３…）に複数枚のガラス基板Ｐを載置して焼成炉Ｆ１内を搬送すると、このセッタＳ１とこのセッタＳ１上に載置された複数枚のガラス基板Ｐが有する合計の熱容量が、セッタＳ１のサイズが大きくなるとともに載置されたガラス基板Ｐの枚数が増えることによって、従来のように１枚のセッタ上に１枚のガラス基板を載置して焼成炉内を搬送する場合に比べて大きくなる。

このため、焼成炉Ｆ１内における昇温および降温の条件が同一の場合、セッタＳ１上に載置されて焼成炉Ｆ１内を搬送される各ガラス基板Ｐの昇温する速度と降温する速度がそれぞれ従来の場合と比べて遅くなり、ガラス基板Ｐの搬送方向に沿った前部部分と後部部分の間に発生する面内温度差が従来の場合よりも小さくなる。

これによって、焼成炉Ｆ１内における昇温および降温の条件が従来と同一の場合において、ガラス基板Ｐを縦置きにして搬送しても、ガラス基板Ｐに面内温度差による基板割れが発生するのが防止される。

図６は、セッタＳ１上に複数枚の縦置きのガラス基板Ｐを搬送方向に対して直交する方向に並べて焼成炉Ｆ１内を搬送した際にガラス基板Ｐに発生する面内温度差を、セッタＳ１上に載置されたガラス基板Ｐの枚数毎に示すグラフである。

この図６に示される面内温度差の測定値は、図７に示されるように、焼成炉Ｆ１の炉内有効幅ｗを３０００ｍｍとし、基板サイズ１２００×８００ｍｍの縦置きのガラス基板Ｐを（ａ）４枚載置したセッタＳ１ａ，（ｂ）３枚載置したセッタＳ１ｂ，（ｃ）２枚載置したセッタＳ１ｃ，（ｄ）１枚載置したセッタＳを、それぞれ搬送速度３００ｍｍ／ｍｉｎで焼成炉Ｆ１内を搬送し、図８に示されるように、ガラス基板Ｐの中央部ポイントｐｃにおける昇温速度を２５℃／ｍｉｎに設定して、ガラス基板Ｐの前部ポイントｐｆと後部ポイントｐｒにおけるそれぞれの基板温度を測定して算出した結果を示している。

この図６から分かるように、セッタＳ１上に載置されているガラス基板Ｐの枚数が多いほど、セッタＳ１のサイズが大きくなりガラス基板Ｐの枚数も多くなって、セッタＳ１とガラス基板Ｐの合計の熱容量が大きくなることにより、面内温度差が小さくなっていることが分かる。

そして、この図６から、従来のようにセッタ上に１枚のガラス基板Ｐが縦置きに載置されて搬送される場合（図７の（ｄ）の場合）において、ガラス基板Ｐの面内温度差が基板割れを発生させる１００℃になるような条件下（焼成炉Ｆ１内における昇温および降温速度，搬送速度等）においても、複数枚のガラス基板Ｐが搬送方向と直交する方向に並べて搬送される場合（図７の（ａ）〜（ｃ）の場合）には、各ガラス基板Ｐの面内温度差が基板割れが発生する１００℃よりも低くなることが分かる。

図９は、セッタＳ１上に複数のガラス基板Ｐを縦置きにｍ行ｎ列（ｍ＝１，２…，ｎ＝２，３…）に載置して焼成炉Ｆ１内を搬送した場合に、ローラ・コンベアＶ１のセラミック・ローラＲ１を介して外部に放出される放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑの、ガラス基板一枚当たりの値を示している。

この図９において、セラミック・ローラＲ１の１本当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑは、前述したように、
Ｑ＝Ｋ×ΔＴ×Ａ／Ｌ
Ｋ ：セラミック・ローラの熱伝導率
ΔＴ：炉内と炉外の温度差
Ａ ：セラミック・ローラの断面積
Ｌ ：セラミック・ローラの軸長
の式から求められる。

そして、ガラス基板Ｐの基板サイズは１２００×８００ｍｍであり、セッタＳ１の搬送方向の幅（以下、セッタ長さ）Ｂは、ガラス基板Ｐが１行配列の場合には、セッタＳ１上に載置されたガラス基板Ｐの前後に３０ｍｍずつの余裕があるように１２６０ｍｍに設定され、２行配列の場合には、セッタＳ１上に載置された２行の前側のガラス基板Ｐの前方側と後側のガラス基板Ｐの後方側にそれぞれ３０ｍｍずつの余裕とこの２行のガラス基板Ｐ間に６０ｍｍの間隔が空くように、２５２０ｍｍに設定されている。

さらに、ローラ数は、一枚のセッタＳ１を支持するのに必要なセラミック・ローラＲ１の本数を示しており、図１０から、
（セッタ長さＢ）／（セラミック・ローラＲ１間のピッチｐ）＋１
の式によって求められる。

図９には、セラミック・ローラＲ１間のピッチｐを３５０ｍｍとして算出したローラ数が記載されている。

そして、セッタＳ１上に載置された複数枚のガラス基板Ｐの１枚当たりの放出熱量は、セラミック・ローラＲ１の１本当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）Ｑから、
（放出熱量Ｑ）×（ローラ数）／（ガラス基板Ｐの枚数）
によって求められ、図９にはガラス基板ＰがセッタＳ１上に１行３列（３枚），２行３列（６枚），１行４列（４枚），２行４列（８枚）に載置されている場合の、それぞれ上式から算出されたガラス基板Ｐの１枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が記載されている。

図１１は、セッタ上に１枚のガラス基板Ｐを縦置きに載置した場合（１行１列）の放出熱量（ロス・エネルギ）と、従来のように１枚のガラス基板Ｐを横置きに載置した場合の放出熱量（ロス・エネルギ）とを示している。

この図１１と図９を比較すると、セッタＳ１上にガラス基板Ｐが縦置きに複数枚配列されて焼成炉Ｆ１内を搬送される場合には、セッタＳ１上にガラス基板Ｐが縦置きに１枚載置されて搬送される場合に比べて、ガラス基板Ｐの１枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が小さくなっていることが分かる。

さらに、従来のように１枚のガラス基板Ｐが横置きに載置される場合と比較して、ガラス基板Ｐの１枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）は、ガラス基板Ｐの配列が１行３列または２行３列の場合には大幅に小さくなっており、１行４列または２行４列の場合にも、従来とほぼ同等の値になっていることが分かる。

以上のように、上記表示パネルの製造方法によれば、ガラス基板Ｐの焼成工程が、複数枚のガラス基板Ｐが１枚のセッタＳ１上にｍ行ｎ列（ｍ＝１，２…，ｎ＝２，３…）に載置された状態で焼成炉Ｆ１内を搬送されることによって行われることにより、ガラス基板ＰをセッタＳ１上に縦置きに載置した場合でも各ガラス基板Ｐに発生する面内温度差が小さくなることによって、焼成炉内の昇温と降温速度を低下させることなく基板割れの発生を防止することが出来るようになるとともに、セッタＳ１上にガラス基板Ｐを縦置きに配列することによって、ガラス基板Ｐの１枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が従来と同等か従来よりも小さくなり、基板割れと放出熱量（ロス・エネルギ）の増大を防止しながら、ガラス基板Ｐの搬送数の増大による生産効率の向上を図ることが出来るようになる。

上記実施例のＰＤＰの製造方法は、焼成炉内に設置されたローラ・コンベアを構成するローラの端部が焼成炉内から外方に突出されており、複数枚の表示パネル基板を、それぞれ長手方向が搬送方向と平行になる向きに向けられるとともに搬送方向と直交する方向に並べられた状態で基板搬送板上に載置して、基板搬送板とともにローラ・コンベアによって焼成炉内を搬送し、この焼成炉内において加熱することにより表示パネル基板の焼成を行う表示パネルの製造方法をその上位概念の実施形態としている。

この上位概念を構成する表示パネルの製造方法によれば、表示パネル基板の焼成工程が、複数枚の表示パネルが一枚の基板搬送板上に搬送方向と直交する方向に並べられた状態で焼成炉内を搬送されることによって行われることにより、表示パネル基板を基板搬送板上に長手方向が搬送方向と平行な向き（縦置き）に載置した場合でも、各表示パネル基板に発生する面内温度差が小さくなることによって、焼成炉内の昇温と降温速度を低下させることなく基板割れの発生を防止することが出来るようになるとともに、基板搬送板上に表示パネル基板を縦置きに配列することによって、表示パネル基板の１枚当たりの放出熱量（ロス・エネルギ）が従来と同等か従来よりも小さくなり、基板割れと放出熱量（ロス・エネルギ）の増大を防止しながら表示パネル基板の搬送数を増加させることによって、生産効率の向上を図ることが出来るようになる。

従来例を示す焼成炉の概略側断面図である。 従来例を示す焼成炉の概略平断面図である。 この発明の実施例を示す焼成炉の横断面図である。 同実施例においてガラス基板がセッタに載置されている状態を示す説明図である。 同実施例においてガラス基板がセッタに載置されている状態の他の例を示す説明図である。 同実施例においてセッタに載置されるガラス基板の枚数毎の面内温度差を示すグラフである。 同実施例において焼成炉の炉内有効寸法とガラス基板の枚数との関係を示す説明図である。 同実施例において昇温速度と面内温度差の測定ポイントを示す説明図である。 同実施例においてガラス基板１枚当たりの放出熱量を示す表図である。 同実施例においてセッタを支持するセラミック・ローラの本数の算出方法を示す説明図である。 ガラス基板の放出熱量の比較例を示す表図である。

符号の説明

Ｆ１ …焼成炉
Ｐ …ガラス基板（表示パネル基板）
Ｒ１ …セラミック・ローラ（ローラ）
Ｓ１ …セッタ（基板搬送板）
Ｖ１ …ローラ・コンベア

Claims (5)

1. 焼成炉内に設置されたローラ・コンベアのローラの端部が焼成炉内から外方に突出され、このローラ・コンベアによって表示パネル基板が載置された基板搬送板が焼成炉内を搬送されることにより、表示パネル基板の焼成が行われる表示パネルの製造方法において、
   複数枚の前記表示パネル基板を、それぞれ長手方向が搬送方向と平行になる向きに向けられるとともに搬送方向と直交する方向に並べられた状態で基板搬送板上に載置して、ローラ・コンベアにより焼成炉内を搬送することを特徴とする表示パネルの製造方法。
2. 前記表示パネル基板が、基板搬送板上に３列に並べられて載置される請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
3. 前記表示パネル基板が、搬送方向と平行な方向に複数行並べられた状態で基板搬送板上に載置される請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
4. 前記表示パネル基板が、基板搬送板上に２行３列に並べられて載置される請求項３に記載の表示パネルの製造方法。
5. 前記表示パネル基板が、プラズマディスプレイパネルのガラス基板である請求項１に記載の表示パネルの製造方法。

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