WO2020093470A1 - 一种显示面板的检测方法和检测设备 - Google Patents

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WO2020093470A1
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detection
panel
abnormal
tested
machine
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English (en)
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何怀亮
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惠科股份有限公司
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Definitions

  • the present application relates to the field of display technology, and more specifically, to a detection method and a detection device for a display panel.
  • the present application provides a detection method and a detection device for a display panel to improve detection efficiency.
  • the present application provides a method for detecting a display panel, including the steps of:
  • the first test machine generates test results
  • the pipeline control system determines whether there is an abnormality in the detection result, and then determines that the panel to be detected is abnormal, and sends the panel to be detected to the second testing machine for the second detection;
  • the pipeline control system determines whether the detection result is abnormal, and then the step of sending the panel to be detected to the second detection machine for the second detection includes the process:
  • the conveying device When the detection result is abnormal, the conveying device directly sends the panel to be detected from the first detection machine to the second detection machine for a second detection;
  • the pipeline control system determines whether the detection result is abnormal, and then the step of sending the panel to be detected to the second detection machine for the second detection includes the process:
  • the conveying device first retracts the panel to be inspected to the cassette, and then automatically sends the panel to be inspected with abnormal results to the second inspection machine for the second inspection;
  • the detection items of the first detection and the second detection are the same.
  • the conveying device first retracts the panel to be inspected to the cassette, and then automatically sends the panel to be inspected with abnormal results to the second inspection machine for the second inspection process:
  • the conveying device first retracts the panel to be inspected to the cassette, and then automatically sends the panel to be inspected with abnormal results to the second inspection machine for the second inspection process:
  • the cassette withdraws a batch of the panels to be inspected, it is judged whether the corresponding inspection result is abnormal, and then the abnormal panels to be inspected are sent to the second inspection machine for the second inspection.
  • the step of generating a test result if there is no abnormality in the test result, it is determined that the panel to be tested is qualified, and the panel to be tested is returned directly to the qualified product cartridge;
  • the determination of the presence of abnormality corresponding to the first detection includes at least when it is detected that the detection panel has an open circuit or a short circuit, the determination of the presence of abnormality in the first detection; the determination of the presence of abnormality corresponding to the second detection includes at least When it is detected that there is an open circuit or a short circuit in a certain section of the circuit or a certain interface of the detection panel, it is determined that there is an abnormality in the second detection.
  • the step of returning the panel to be detected to the corresponding cassette specifically includes:
  • the second detection result is analyzed, and the panel to be tested with abnormality in the second detection result is returned to the abnormal product cassette; at the same time, the abnormal to be detected is not detected The panel returns to the qualified product cassette.
  • the pipeline control system determines whether the detection result is abnormal, and then the step of sending the panel to be detected to the second detection machine for the second detection further includes:
  • the panel to be tested is returned to the qualified product cassette.
  • the present application also discloses a method for detecting a display panel, including the steps of:
  • the first test machine generates test results
  • the pipeline control system judges whether there is abnormality in the detection result, if not, it judges that the panel to be inspected is qualified, and returns the qualified panel to be inspected to the qualified product cassette through the conveying device; if it is judged that the panel to be inspected is abnormal, and passes the conveying device The panel is directly sent from the first inspection machine to the second inspection machine for the second inspection; and
  • This application also discloses a detection device, including:
  • the cassette is set to load the panel to be inspected and retract the panel after inspection;
  • the first testing machine is set to test the panel to be tested
  • a second testing machine configured to perform a second test on the panel to be tested
  • the pipeline controller is set to install a pipeline control system to judge the detection result of the panel to be inspected, and send the panel to be inspected with abnormal results from the first inspection machine to the second inspection machine for the second time Detection; and a conveying device configured to send the first detection machine of the panel to be detected to the second detection machine, or return the panel to be detected to the corresponding cassette.
  • the pipeline control system is directly controlled to send the panel to be inspected that has an abnormality (that is, an abnormality is detected) to the second
  • the testing machine performs a second test to further determine the detection status of the panel to be tested; because the panel to be tested does not need to return to the cassette and wait for the relevant personnel to make a designated selection, the panel to be detected with abnormality will be sent
  • the second inspection to the second inspection machine reduces manual operations, improves inspection efficiency, and saves labor costs.
  • FIG. 1 is a flowchart of a method for detecting a display panel according to an embodiment of the application
  • FIG. 2 is another flowchart of a method for detecting a display panel according to an embodiment of the application
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a detection device for a display panel according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 1 is a flowchart of a display panel detection method of the present application.
  • the present application provides a display panel detection method, including steps:
  • S11 Send the panel to be tested to the first testing machine for testing
  • the pipeline control system is directly controlled to send the panel to be inspected that has an abnormality (that is, an abnormality is detected) to the second
  • the testing machine conducts the second test to determine the detection problem of the panel to be detected; because the panel to be detected does not need to return to the cassette and wait for the relevant personnel to make a designated choice, the panel to be detected will be sent to the abnormal detection panel.
  • the second inspection machine performs the second inspection, which reduces manual operations, improves inspection efficiency, and saves labor costs.
  • the display panel referred to in the present application may be the entire panel of the display panel, or may refer to some devices of the display panel, such as the glass substrate therein.
  • the testing items of the testing machine can include one or more. Taking the Open / Short test (Open / Short test) as an example, it is also called continuity test (Continuity test) or connection test (Contact test). The main purpose is to confirm whether the pins of the circuit in the panel to be tested are properly connected to the internal circuit, and to confirm that there is no pin or the circuit is open or broken.
  • the testing items of the first testing machine and the second testing machine may be the same; they may not be completely the same. Specifically, the testing items of the first testing machine and the second testing machine may be checked according to specific conditions, for example , The second testing machine can be enhanced or advanced testing items based on the testing items of the first machine. Taking the Open / Short test as an example, the first testing machine can only detect whether it exists Open circuit or short circuit, and the second testing machine adds positioning function to locate the position of open circuit or short circuit, but the test items of the second test will include all the test items of the first test.
  • the pipeline control system determines whether the detected result is abnormal, and then sends the panel to be detected to the second testing machine for the second detection step S13 includes the process:
  • the conveying device When the detection result is abnormal, the conveying device directly sends the panel to be detected from the first detection machine to the second detection machine for the second detection; the detection of the first detection and the second detection The items are the same.
  • the pipeline control system determines that the panel to be inspected needs to be tested a second time after being inspected by the first inspection machine, it will be directly passed by the first inspection machine without returning to the cassette. Send to the second inspection machine for the second inspection.
  • This setting not only saves labor cost, but also reduces the process of manual judgment and selection, thus improving the inspection efficiency; specifically, the first inspection machine A conveyor device, such as a conveyor belt, etc. is placed between the second inspection machine, and then the pipeline control system controls the transmission device to switch, and the panel to be inspected is sent back to the cassette or sent to the second inspection machine.
  • the pipeline control system determines whether the detection result is abnormal, and then sends the panel to be detected to the second detection machine for the second detection step S13 includes the process:
  • the conveying device first retracts the panel to be inspected to the cassette, and then automatically sends the panel to be inspected with abnormal results to the second inspection machine for the second inspection.
  • the pipeline control system believes that it needs to be inspected for a second time, it will automatically detect the abnormality directly after the panel to be inspected is returned to the cassette , The panel to be inspected that needs to be inspected for the second time is sent to the second inspection machine for the second inspection.
  • This setting not only saves labor cost, but also reduces the process of manual judgment and selection, thus improving the inspection efficiency ;
  • the original pipeline can be basically used, reducing the cost of pipeline reform; specifically, a switching mechanism can be set at the cassette, the pipeline control system controls the switching, and the panel to be tested is sent back to the cassette Store or send to the second testing machine.
  • the pipeline control system first retracts the panel to be inspected to the cassette, and then automatically sends the panel to be inspected with abnormal results to the second inspection machine for the second inspection process:
  • the pipeline control system first retracts the panel to be inspected to the cassette, and then automatically sends the panel to be inspected with abnormal results to the second inspection machine for the second inspection process:
  • the cassette withdraws a batch of the panels to be inspected, it is judged whether the corresponding inspection result is abnormal, and then the abnormal panels to be inspected are sent to the second inspection machine for the second inspection.
  • the cassette is judged by the batch as a unit, which panels in the batch are to be inspected are abnormal, and if they match, the batch is transferred to the second testing machine for the second inspection. Batch inspection to avoid confusion and facilitate subsequent management.
  • step S12 of generating a test result if there is no abnormality in the test result, it is determined that the panel to be tested is qualified, and the panel to be tested is returned directly to the qualified product cassette;
  • the determination of the presence of an abnormality corresponding to the first detection includes at least when it is detected that the detection panel has an open or short circuit problem, the determination of the presence of an abnormality at the first detection; the determination of the presence of an abnormality corresponding to the second detection at least includes When it is detected that there is an open circuit or a short circuit problem in a certain section of the circuit or a certain interface of the detection panel, it is determined that there is an abnormality in the second detection.
  • the pipeline control system determines whether the detection result is abnormal, and then determines that the panel to be detected is abnormal and sends the panel to be detected to the second testing machine for the second detection step. When there is no abnormality in the detection result, the panel to be detected is still sent to the second detection machine for the second detection;
  • the step of returning the panel to be detected to the corresponding cassette specifically includes:
  • the two inspection results are analyzed, and then the panel to be inspected with abnormality is returned to the abnormal product cassette; meanwhile, the panel to be inspected without abnormality is returned to the qualified product Cassette.
  • the panel to be tested is sent to the second testing machine for testing, as long as it has completed the testing of the first testing machine. Yes; in this way, the calculation amount of the pipeline control system can be saved, that is, the pipeline control system only needs to have the most basic function of judging that the panel to be inspected has completed the detection of the first inspection machine, and cannot have more calculation and judgment capabilities, reducing The hardware requirements of the detection method are reduced, and the cost input is reduced; at the same time, the problem of misjudgment caused by errors in the detection results at one time can be avoided, and the product yield is improved.
  • the panel to be inspected in the step of sending the panel to be inspected to the second inspection machine for the second inspection, regardless of the detection result of the panel to be inspected, the panel to be inspected is sent to all Describe the second test machine for the second test;
  • the step of returning the panel to be detected to the corresponding cassette specifically includes:
  • the second detection result is analyzed, and the panel to be tested with abnormality in the second detection result is returned to the abnormal product cassette; at the same time, the abnormal to be detected is not detected The panel returns to the qualified product cassette.
  • the first detection may cause a false detection
  • the second detection is to prevent qualified products from being treated as waste and causing losses.
  • FIG. 2 is another flowchart of the display panel detection method of the present application. Referring to FIG. 2. It can be seen in conjunction with FIG. 1 that the present application also discloses a display panel detection method, including steps:
  • S21 Send the panel to be tested to the first testing machine for testing
  • the pipeline control system judges whether there is an abnormality in the detection result, if not, it judges that the panel to be inspected is qualified, and returns the qualified panel to be inspected to the qualified product cassette through the conveying device;
  • the panel to be inspected is directly sent from the first inspection machine to the second inspection machine for the second inspection;
  • S24 Determine whether the test result obtained by the second test is abnormal, if not, determine that the panel to be tested is qualified, and return the qualified panel to be tested to the qualified product cartridge through the conveying device; The conveying device returns the panel to be detected to the abnormal product cassette.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a detection device for a display panel of the present application. Referring to FIG. 3, as can be seen in conjunction with FIGS. 1 and 2, the present application also discloses a detection device, including:
  • the cassette 10 is set to load the panel to be detected (not shown in the figure), and retract the panel after detection;
  • the first testing machine 20 is configured to detect the panel to be tested
  • the second testing machine 30 is configured to perform the second testing on the panel to be tested
  • a pipeline controller (not shown in the figure) is set to install a pipeline control system to judge the detection result of the panel to be inspected, and send the panel to be inspected with abnormal results from the first inspection machine to the second The testing machine performs the second test;
  • the conveying device (not shown in the figure) is configured to send the first inspection machine of the panel to be inspected to the second inspection machine, or return the panel to be inspected to the corresponding cassette.
  • the panel of this application may be a TN panel (full name Twisted Nematic, namely twisted nematic panel), IPS panel (In-Plane Switching, plane switching), VA panel (Multi-domain Vertical Alignment, multi-quadrant vertical alignment technology), of course , Can also be OLED panel (Organic Light-Emitting Diode), QLED panel (Quantum Dot Light Emitting Display), or other types of panels, just apply.
  • TN panel full name Twisted Nematic, namely twisted nematic panel
  • IPS panel In-Plane Switching, plane switching
  • VA panel Multi-domain Vertical Alignment, multi-quadrant vertical alignment technology
  • OLED panel Organic Light-Emitting Diode
  • QLED panel Quadantum Dot Light Emitting Display

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Abstract

一种显示面板的检测方法和检测设备，检测方法包括步骤：将待检测面板送至第一检测机台（20）进行检测（S11）；将待检测面板送至第二检测机台（30）进行第二次检测（S13）；将待检测面板返回至对应卡匣（10）(S14)。

Description

一种显示面板的检测方法和检测设备
本申请要求于2018年11月07日提交中国专利局、申请号为CN201811316619.8、发明名称为“一种显示面板的检测方法和检测设备”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。
技术领域
本申请涉及显示技术领域，更具体的说，涉及一种显示面板的检测方法和检测设备。
背景技术
这里的陈述仅提供与本申请有关的背景信息，而不必然地构成现有技术。
随着科技的发展和进步，液晶显示器由于具备机身薄、省电和辐射低等热点而成为显示器的主流产品，各式各样的显示器广泛应用在生活中的方方面面。而显示面板，以及组成显示面板的玻璃基板等，在出场以前是进行多项检测的，以卡匣和两个检测机台组成的检测设备为例，其中的一个检测机台进行异常检测，而出现异常的待检测物则将被送到另一个检测机台进行深度检测，以确定问题所在；而发明人知晓的检测设备，一般是在进行前者的检测之后，返回至卡匣，而后由相关人员进行判断，并手动选定其中进行第二次检测的待检测物送至后者处进行第二次检测，如此设置不仅检测效率低下，而且，人工成本高。
如何提供一种检测效果高的检测方法是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术解决方案
本申请提供一种显示面板的检测方法和检测设备，以提高检测效率。
为实现上述目的，本申请提供了一种显示面板的检测方法，包括步骤：
将待检测面板送至第一检测机台进行检测；
第一检测机台生成检测结果；
流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则判断待检测面板异常，并将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测；以及
将待检测面板返回至对应卡匣。
可选的，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
当所述检测结果存在异常时，输送装置将所述待检测面板直接由所述第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；
可选的，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测；
所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。
可选的，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
卡匣每收回一个所述待检测面板即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
可选的，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
卡匣收回一批次所述待检测面板后，即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将存在异常的所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
可选的，所述生成检测结果的步骤之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路时，判定第二次检测存在异常。
所述将待检测面板返回至对应卡匣的步骤，具体包括：
第二次检测操作完成后，对第二次检测结果进行分析，并将第二次检测结果存在异常的所述待检测面板返回至异常品卡匣；同时，将不存在异常的所述待检测面板返回至合格品卡匣。
可选的，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤之后还包括：
若第二次检测得到的检测结果不存在异常，则将所述待检测面板返回至合格品卡匣。
本申请还公开了一种显示面板的检测方法，包括步骤：
将待检测面板送至第一检测机台进行检测；
第一检测机台生成检测结果；
流水线控制系统判断检测结果是否存在异常，若否则判断待检测面板合格，并通过输送装置将合格的待检测面板返回至合格品卡匣；若是则判断待检测面板异常，并通过输送装置将待检测面板直接由第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；以及
判断第二次检测得到的检测结果是否存在异常，若否则判断待检测面板合格，并通过输送装置将合格的待检测面板返回至合格品卡匣；若是则判断待检测面板异常，并通过输送装置将待检测面板返回至异常品卡匣。
本申请还公开了一种检测设备，包括：
卡匣，设置为载入待检测面板，并收回检测后的面板；
第一检测机台，设置为对所述待检测面板进行检测；
第二检测机台，设置为对所述待检测面板进行第二次检测；
流水线控制器，设置为安装流水线控制系统，判断所述待检测面板的检测结果，并将检测结果存在异常的待检测面板由所述第一检测机台送至第二检测机台进行第二次检测；以及输送装置，设置为将所述待检测面板所述第一检测机台送至第二检测机台，或者将所述待检测面板返回至对应卡匣。
本申请的检测方法，对于完成第一检测机台检测之后的待检测面板的检测结果进行判断后，直接由该流水线控制系统控制将存在异常(即检出异常)的待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测，以进一步判断该待检测面板的检测情况；由于该待检测面板无需在返回卡匣后，等待相关人员进行指定选择后，才将检出异常的待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测，减少了人工的操作，提高了检测效率，并节约了人力成本。
附图说明
所包括的附图用来提供对本申请实施例的可选的理解，其构成了说明书的一部分，例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在 不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是本申请一实施例一种显示面板的检测方法的流程图；
图2是本申请一实施例一种显示面板的检测方法的另一流程图；
图3是本申请另一实施例一种显示面板的检测设备的示意图。
本申请的实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都应当属于本申请保护的范围。
下面结合附图和可选的实施例对本申请作说明。
图1是本申请显示面板的检测方法的流程图，参考图1，本申请提供了一种显示面板的检测方法，包括步骤：
S11:将待检测面板送至第一检测机台进行检测；
S12:第一检测机台生成检测结果；
S13:流水线控制系统判断检测结果是否存在异常，是则判断待检测面板异常，并将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测；以及
S14:将待检测面板返回至对应卡匣。
本申请的检测方法，对于完成第一检测机台检测之后的待检测面板的检测结果进行判断后，直接由该流水线控制系统控制将存在异常(即检出异常)的待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测，以判断该待检测面板的检测问题；由于该待 检测面板无需在返回卡匣后，等待相关人员进行指定选择后，才将检出异常的待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测，减少了人工的操作，提高了检测效率，并节约了人力成本。
其中，本申请所指的显示面板可以是显示面板的整板，也可以指显示面板的部分器件，比如其中的玻璃基板。
其中，检测机台的检测项目可以包括一个也可以包括多个，以开路与短路测试(Open/Short test)为例，也称为连续性测试(Continuity test)或连接测试(Contact test)，测试的主要目的是确认待测试面板中电路的接脚等是否正确连接至内部电路，并确认没有接脚或者电路存在开路或者断路的情况。
该第一检测机台和第二检测机台的检测项目可以相同；也可以不完全相同，具体的，第一检测机台和第二检测机台的测试项目可以根据具体情况进行勾选，例如，第二检测机台可以在第一机台检测项目的基础上进行增强或者进阶的检测项目，以开路与短路测试(Open/Short test)为例，第一检测机台可以只检测是否存在开路或短路情况，而第二检测机台则增加定位功能，定位开路或短路的位置，但第二次检测的检测项目将包括第一次检测的所有检测项目。
在一实施例中，流水线控制系统判断所检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤S13包括过程：
当检测结果存在异常时，输送装置将待检测面板直接由所述第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。
本方案中，经过第一检测机台检测之后的待检测面板，如果流水线控制系统认为其需要进行第二次检测，则将其直接由第一检测机台在不返回卡匣的情况下，直 接送至第二检测机台进行第二次检测，如此设置，不仅节约了人力成本，而且减少了人工判断和选定的过程，因而，提高了检测效率；具体的，可以在第一检测机台和第二检测机台之间搭设传送设备，如传送皮带等，而后由流水线控制系统控制传送设备切换，将待检测面板送回卡匣或者送去第二检测机台。
在一实施例中，流水线控制系统判断检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤S13包括过程：
输送装置先将待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测。
本方案中，经过第一检测机台检测之后的待检测面板，如果流水线控制系统认为其需要进行第二次检测，则将在将待检测面板送回至卡匣后，直接自动将检出异常，需要进行第二次检测的待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测，如此设置，不仅节约了人力成本，而且减少了人工判断和选定的过程，因而，提高了检测效率；而且，由于如此设计，可以基本采用原有的流水线，减少了流水线改造的成本；具体的，可以在卡匣处设置一切换机关，由流水线控制系统控制切换，将待检测面板送回卡匣收存或者送去第二检测机台。
在一实施例中，流水线控制系统先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
卡匣每收回一个所述待检测面板即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
本方案中，该卡匣处，每收到一个第一检测机台送回的待检测面板便判断其检测结果是否存在异常，符合，则立即转送至第二检测机台进行第二次检测，避免待 检测面板积压在该卡匣处，造成检测效率低下的问题。
在一实施例中，流水线控制系统先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
卡匣收回一批次所述待检测面板后，即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将存在异常的所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
本方案中，该卡匣处，以批次为单位，判断该批次中的哪些待检测面板存在异常，符合的，即呈批次的转送至第二检测机台处进行第二次检测，批次检测，避免出现混乱的问题，方便后续管理。
在一实施例中，生成检测结果的步骤S12之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路问题时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路问题时，判定第二次检测存在异常。本方案具体的还可以针对每一个检测项目对应一个检测值的判断，当所述检测值超出正常数值范围时，所述检测结果判定为存在异常。
本方案中，该待检测面板的检测结果不存在异常时，或者说检测及格时，即返回合格品卡匣处，进行后续收存工作。
在一实施例中，流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则判断所述待检测面板异常，并将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤中，当所述检测结果不存在异常时，仍然将所述待检测面板送至所述第二检测机台进行 第二次检测；
所述将待检测面板返回至对应卡匣的步骤，具体包括：
第二次检测操作完成后，对两次检测结果进行分析，并则将存在异常的所述待检测面板返回至异常品卡匣；同时，将不存在异常的所述待检测面板返回至合格品卡匣。
本方案中，为了节约流程，设定为不去判断检测结果或者无论检测结果如何，都将待检测面板送至第二检测机台进行检测，只要其已经完成了第一检测机台的检测即可；如此，可以节约流水线控制系统的计算量，即流水线控制系统仅须具备最基本判断待检测面板已经完成第一检测机台检测的功能即可，无法具备更多的计算和判断能力，降低了检测方法的硬件需要，减少了成本的投入；同时，可以避免一次检测结果出现误差而造成误判的问题，提高产品良率。
在一实施例中，所述并将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤中，无论所述待检测面板的检测结果如何，都将所述待检测面板送至所述第二检测机台进行第二次检测；
所述将待检测面板返回至对应卡匣的步骤，具体包括：
第二次检测操作完成后，对第二次检测结果进行分析，并将第二次检测结果存在异常的所述待检测面板返回至异常品卡匣；同时，将不存在异常的所述待检测面板返回至合格品卡匣。
本方案中，第一次检测可能出现误检测情况，而第二次检测就是为了防止合格品被当作废品处理而造成损失。
图2是本申请显示面板的检测方法的另一流程图，参考图2.结合图1可知，本 申请还公开了一种显示面板的检测方法，包括步骤：
S21:将待检测面板送至第一检测机台进行检测；
S22:第一检测机台生成检测结果；
S23:流水线控制系统判断检测结果是否存在异常，若否则判断待检测面板合格，并通过输送装置将合格的待检测面板返回至合格品卡匣；若是则判断待检测面板异常，并通过输送装置将待检测面板直接由第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；以及
S24:判断第二次检测得到的检测结果是否存在异常，若否则判断待检测面板合格，并通过输送装置将合格的待检测面板返回至合格品卡匣；若是则判断待检测面板异常，并通过输送装置将待检测面板返回至异常品卡匣。
图3是本申请一种显示面板的检测设备的示意图，参考图3，结合图1和图2可知，本申请还公开了一种检测设备，包括：
卡匣10，设置为载入待检测面板(图中未示出)，并收回检测后的面板；
第一检测机台20，设置为对所述待检测面板进行检测；
第二检测机台30，设置为对所述待检测面板进行第二次检测；
流水线控制器(图中未示出)，设置为安装流水线控制系统，判断所述待检测面板的检测结果，并将检测结果存在异常的待检测面板由所述第一检测机台送至第二检测机台进行第二次检测；以及
输送装置(图中未示出)，设置为将所述待检测面板所述第一检测机台送至第二检测机台，或者将所述待检测面板返回至对应卡匣。
本申请的面板可以是TN面板(全称为Twisted Nematic，即扭曲向列型面板)、 IPS面板(In-PlaneSwitching，平面转换)、VA面板(Multi-domain Vertical Alignment，多象限垂直配向技术)，当然，也可以是OLED面板(Organic Light-Emitting Diode)，QLED面板(Quantum Dot Light Emitting Display)，或者其他类型的面板，适用即可。
以上详细描述了本申请可选的具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本申请的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本申请的构思在本申请技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (18)

  1. 一种显示面板的检测方法，包括步骤：
    将待检测面板送至第一检测机台进行检测；
    第一检测机台生成检测结果；
    流水线控制系统判断检测结果是否存在异常，是则判断所述待检测面板异常，并将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测；以及
    将待检测面板返回至对应卡匣。
  2. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
    当所述检测结果存在异常时，输送装置将所述待检测面板直接由所述第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。
  3. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
    输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测；
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。
  4. 如权利要求3所述的一种显示面板的检测方法，其中，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行 第二次检测的过程包括：
    卡匣每收回一个所述待检测面板即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
  5. 如权利要求3所述的一种显示面板的检测方法，其中，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
    卡匣收回批次所述待检测面板后，即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将存在异常的所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
  6. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则判断所述待检测面板异常，并将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤中，当所述检测结果不存在异常时，仍然将所述待检测面板送至所述第二检测机台进行第二次检测；
    所述将待检测面板返回至对应卡匣的步骤，具体包括：
    第二次检测操作完成后，对第二次检测结果进行分析，并将第二次检测结果存在异常的所述待检测面板返回至异常品卡匣；同时，将不存在异常的所述待检测面板返回至合格品卡匣。
  7. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤之后还包括：
    若第二次检测得到的检测结果不存在异常，则将所述待检测面板返回至合格品卡匣。
  8. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判 断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
    当所述检测结果存在异常时，输送装置将所述待检测面板直接由所述第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。以及
    所述生成检测结果的步骤之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
    所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路问题时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路问题时，判定第二次检测存在异常。
  9. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
    输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测；
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。以及
    所述生成检测结果的步骤之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
    所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路问题时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少 包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路问题时，判定第二次检测存在异常。
  10. 如权利要求1所述的一种显示面板的检测方法，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
    输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测；
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。以及
    所述生成检测结果的步骤之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
    所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路问题时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路问题时，判定第二次检测存在异常。
  11. 如权利要求10所述的一种显示面板的检测方法，其中，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
    卡匣每收回一个所述待检测面板即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。以及
    所述生成检测结果的步骤之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
    所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路问题时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路问题时，判定第二次检测存在异常。
  12. 如权利要求10所述的一种显示面板的检测方法，其中，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
    卡匣收回批次所述待检测面板后，即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将存在异常的所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。以及
    所述生成检测结果的步骤之后，如果检测结果不存在异常，则判断所述待检测面板合格，并将所述待检测面板直接返回合格品卡匣；
    所述第一次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板存在开路或短路问题时，判定第一次检测存在异常；所述第二次检测对应的存在异常的判定至少包括当检测到所述检测面板的某一段电路或者某一个接口存在开路或短路问题时，判定第二次检测存在异常。
  13. 一种显示面板的检测方法，包括步骤：
    将待检测面板送至第一检测机台进行检测；
    第一检测机台生成检测结果；
    流水线控制系统判断检测结果是否存在异常，若否则判断待检测面板合格，并通过输送装置将合格的待检测面板返回至合格品卡匣；若是则判断待检测面板异常，并通过输送装置将待检测面板直接由第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；以 及
    判断第二次检测得到的检测结果是否存在异常，若否则判断待检测面板合格，并通过输送装置将合格的待检测面板返回至合格品卡匣；若是则判断待检测面板异常，并通过输送装置将待检测面板返回至异常品卡匣。
  14. 一种显示面板的检测设备，包括：
    卡匣，设置为载入待检测面板，并收回检测后的面板；
    第一检测机台，设置为对所述待检测面板进行检测；
    第二检测机台，设置为对所述待检测面板进行第二次检测；
    流水线控制器，设置为安装流水线控制系统，判断所述待检测面板的检测结果，并将检测结果存在异常的待检测面板由所述第一检测机台送至第二检测机台进行第二次检测；以及
    输送装置，设置为将所述待检测面板所述第一检测机台送至第二检测机台，或者将所述待检测面板返回至对应卡匣。
  15. 如权利要求14所述的一种显示面板的检测设备，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测的步骤包括过程：
    当所述检测结果存在异常时，输送装置将所述待检测面板直接由所述第一检测机台送至所述第二检测机台进行第二次检测；以及
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。
  16. 如权利要求14所述的一种显示面板的检测设备，其中，所述流水线控制系统判断所述检测结果是否存在异常，是则将待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测 的步骤包括过程：
    输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测；
    所述第一次检测和第二次检测的检测项目相同。
  17. 如权利要求16所述的一种显示面板的检测设备，其中，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
    卡匣每收回一个所述待检测面板即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
  18. 如权利要求16所述的一种显示面板的检测设备，其中，输送装置先将所述待检测面板收回至卡匣后，再将检测结果存在异常的待检测面板自动送至第二检测机台进行第二次检测的过程包括：
    卡匣收回批次所述待检测面板后，即判断对应的检测结果是否存在异常，是则将存在异常的所述待检测面板送至第二检测机台进行第二次检测。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110378646B (zh) * 2019-06-17 2023-07-28 北海惠科光电技术有限公司 管控异常玻璃基板的方法和玻璃基板生产控制系统
CN110208286B (zh) * 2019-06-21 2020-08-28 上海精测半导体技术有限公司 一种检测设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010058628A (ko) * 1999-12-30 2001-07-06 구본준, 론 위라하디락사 액정표시패널의 테스트 방법
CN204155593U (zh) * 2014-08-19 2015-02-11 珠海格力电器股份有限公司 显示板检测装置及检测系统
CN105783813A (zh) * 2016-05-09 2016-07-20 杭州电子科技大学 液晶屏幕后面板尺寸自动检测装置及检测方法
CN205785130U (zh) * 2016-05-09 2016-12-07 杭州电子科技大学 液晶屏幕后面板尺寸自动检测装置
CN108169934A (zh) * 2017-12-15 2018-06-15 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种液晶面板检测方法和系统
CN207937538U (zh) * 2018-01-31 2018-10-02 江西合力泰科技有限公司 一种显示屏电性功能自动检测装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7084970B2 (en) * 2004-05-14 2006-08-01 Photon Dynamics, Inc. Inspection of TFT LCD panels using on-demand automated optical inspection sub-system
KR100926117B1 (ko) * 2005-12-30 2009-11-11 엘지디스플레이 주식회사 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법
TWI366706B (en) * 2006-07-03 2012-06-21 Olympus Corp Semiconductor substrate defects detection device and method of detection of defects
JP4257374B2 (ja) * 2007-08-27 2009-04-22 シャープ株式会社 表示制御装置、検査システム、表示制御方法、プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
CN101446699B (zh) * 2008-12-30 2010-06-02 友达光电股份有限公司 检测装置与用于此检测装置的检测方法
TWI460114B (zh) * 2010-12-30 2014-11-11 Au Optronics Corp 面板暫存卡匣
KR101290981B1 (ko) * 2011-12-13 2013-07-30 (주) 에스엘테크 Ｌｃｄ ｔｆｔ 패턴 글라스의 결함을 발견하여 수리하는 장치
CN105629909B (zh) * 2014-10-31 2018-03-30 群创光电股份有限公司 自动化检测方法
CN106773165A (zh) * 2016-12-23 2017-05-31 武汉精立电子技术有限公司 用于显示模组检测的图像显示检测装置及其检测方法
CN106842641B (zh) * 2016-12-23 2019-11-01 武汉精立电子技术有限公司 显示模组的移动检测图像采集装置
JP2018112515A (ja) * 2017-01-13 2018-07-19 日本電産サンキョー株式会社 パネル検査システム
CN108426890A (zh) * 2018-03-30 2018-08-21 昆山精讯电子技术有限公司 一种面板的检测设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010058628A (ko) * 1999-12-30 2001-07-06 구본준, 론 위라하디락사 액정표시패널의 테스트 방법
CN204155593U (zh) * 2014-08-19 2015-02-11 珠海格力电器股份有限公司 显示板检测装置及检测系统
CN105783813A (zh) * 2016-05-09 2016-07-20 杭州电子科技大学 液晶屏幕后面板尺寸自动检测装置及检测方法
CN205785130U (zh) * 2016-05-09 2016-12-07 杭州电子科技大学 液晶屏幕后面板尺寸自动检测装置
CN108169934A (zh) * 2017-12-15 2018-06-15 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种液晶面板检测方法和系统
CN207937538U (zh) * 2018-01-31 2018-10-02 江西合力泰科技有限公司 一种显示屏电性功能自动检测装置

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