WO2020080004A1 - 制御回路及びセンサ装置 - Google Patents

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WO2020080004A1
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pmos transistor
transistor
power supply
control circuit
pmos
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PCT/JP2019/036025
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尭生 佐藤
晃 小田部
樹生 中川
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Astemo Ltd
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Hitachi Automotive Systems Ltd
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    • H—ELECTRICITY
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10D84/80—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs
    • H10D84/82—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components
    • H10D84/83—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components of only insulated-gate FETs [IGFET]
    • H10D84/85—Complementary IGFETs, e.g. CMOS
    • H10D84/859—Complementary IGFETs, e.g. CMOS comprising both N-type and P-type wells, e.g. twin-tub

Definitions

  • the present invention relates to a control circuit and a sensor device.
  • a control circuit that operates by receiving a power supply voltage
  • one that protects the circuit from a reverse connection of a power supply is known (for example, see Patent Document 1).
  • a first transistor (PMOS transistor) is provided between a power line and a signal line
  • a well controlling first transistor (PMOS transistor) is provided between the power line and a well (body) of the first transistor.
  • Two transistors (PMOS transistors) are provided. The gate terminals of the first and second transistors are connected to the ground.
  • the first and second transistors are cut off to prevent a current flowing from the ground to the power supply line.
  • the present invention is to solve the above problems, and an object thereof is to provide a control circuit and a sensor device that can prevent the output of an intermediate potential by suppressing the sneak of the current from the signal line to the power supply line when the power supply is disconnected. Is to provide.
  • a control circuit is a control circuit that receives a power supply voltage from a power supply line and outputs an output signal to a signal line, and includes a load provided between the power supply line and the signal line, A first transistor provided between the load and the signal line or between the power supply line and the load; a second transistor provided between the well of the first transistor and the power supply line; A gate control circuit that connects the gate terminal of the first transistor and the gate terminal of the second transistor to the signal line when the wire is disconnected, and shuts off the first transistor and the second transistor. Characterize.
  • FIG. 3 is a circuit diagram of the sensor device according to the first embodiment.
  • FIG. Explanatory drawing at the time of normal operation which concerns on 1st Embodiment.
  • the circuit diagram of the sensor apparatus concerning a 2nd embodiment.
  • the circuit diagram of the sensor device concerning a 3rd embodiment.
  • the circuit diagram of the sensor device concerning a 4th embodiment.
  • the circuit diagram of the sensor device concerning a 5th embodiment.
  • the circuit diagram of the sensor apparatus concerning a 6th embodiment.
  • FIG. 1 is a circuit diagram of the sensor device according to the first embodiment.
  • the sensor device may be, for example, an air flow sensor, but is not particularly limited as long as it is a device whose electrical characteristics change according to a physical quantity.
  • the sensor device 10 is connected to a host device such as an ECU (not shown) via a power supply terminal 12 and a signal terminal 13, and an LSI internal circuit (detection circuit) in which a sensor element is mounted. 14 and a control circuit 11 that processes a detection signal from the sensor element.
  • the LSI internal circuit 14 is connected to a power supply line L11 connected to the power supply terminal 12, and receives a power supply voltage from a host device through the power supply line L11 to operate the sensor element and the like. Further, the LSI internal circuit 14 performs various processes on the physical quantity detected by the sensor element, and outputs a control signal according to the physical quantity to the control circuit 11.
  • the control circuit 11 receives the power supply voltage from the host device via the power supply line L11 connected to the power supply terminal 12, and outputs the output signal corresponding to the control signal of the LSI internal circuit 14 via the signal line L12 connected to the signal terminal 13 Outputting to the device.
  • the control circuit 11 is provided with a first NMOS transistor N11 for driving the circuit between the signal line L12 and the ground G11.
  • P11 and a second PMOS transistor (second transistor) P12 for well control provided between the well of the first PMOS transistor P11 and the power supply line L11 are provided.
  • control circuit 11 is provided with a gate control circuit 15 that shuts off the first and second PMOS transistors P11 and P12 when the power is cut off.
  • the gate control circuit 15 is provided with a second NMOS transistor N12 and a third PMOS transistor P13.
  • the second NMOS transistor N12 is provided between the connection point 17 of the gate terminal of the first PMOS transistor P11 and the gate terminal of the second PMOS transistor P12 and the ground G12.
  • the third PMOS transistor P13 is provided between the signal line L12 and a connection point 17 between the gate terminal of the first PMOS transistor P11 and the gate terminal of the second PMOS transistor P12.
  • the drain terminal of the first NMOS transistor N11 for driving the circuit is connected to the signal line L12, and the source terminal of the first NMOS transistor N11 is connected to the ground G11.
  • the LSI internal circuit 14 is connected to the gate terminal of the first NMOS transistor N11, and the first NMOS transistor N11 is driven by receiving a control signal from the LSI internal circuit 14.
  • the first NMOS transistor N11 is ON / OFF driven in response to a control signal from the LSI internal circuit 14 to generate an output signal according to a physical quantity detected by a sensor element in the LSI internal circuit 14.
  • the first PMOS transistor P11 for cutting off current has one input / output terminal connected to the load R11 and the other input / output terminal connected to the signal line L12.
  • the first PMOS transistor P11 is used to disconnect the current path from the signal line L12 to the power supply line L11.
  • the second PMOS transistor P12 for well control has one input / output terminal connected to the power supply line L11 and the other input / output terminal connected to the wells of the first to third PMOS transistors P11 to P13.
  • the second PMOS transistor P12 fixes the well potentials of the first to third PMOS transistors P11 to P13 at a constant level.
  • the drain terminal of the second NMOS transistor N12 of the gate control circuit 15 is connected to the gate terminals of the first and second PMOS transistors P11 and P12, and the source terminal is connected to its own well and the ground G12.
  • the gate terminal of the second NMOS transistor N12 is connected to the power supply line L11.
  • the second NMOS transistor N12 is turned on during the normal operation in which the gate potential of the second NMOS transistor N12 is the power supply potential.
  • the gate terminals of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are connected to the ground G12, and the first and second PMOS transistors P11 and P12 become conductive.
  • the third PMOS transistor P13 of the gate control circuit 15 has one input / output terminal connected to the gate terminals of the first and second PMOS transistors P11 and P12 and the other input / output terminal connected to the signal line L12. There is.
  • the gate terminal of the third PMOS transistor P13 is connected to the power supply line L11.
  • the gate potential of the third PMOS transistor P13 is the ground potential and the power is disconnected, the third PMOS transistor P13 becomes conductive.
  • the gate terminals of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are connected to the signal line L12, and the first and second PMOS transistors P11 and P12 are cut off.
  • the gate control circuit 15 prevents the current from flowing from the signal line L12 to the power supply line L11 when the power supply is cut off, and the first and second PMOS transistors P11 and P12 are cut off when the power supply is cut off. Is shut off.
  • the first PMOS transistor P11 disconnects the DC path from the signal line L12 to the power supply line L11.
  • the second PMOS transistor P12 disconnects the current path from the signal line L12 to the power supply line L11 through the parasitic diodes D1 and D2 (see FIG. 3) of the first and third PMOS transistors P11 and P13.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram of a normal operation according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram when the power source is disconnected according to the first embodiment.
  • the power supply voltage is applied to the gate terminal of the second NMOS transistor N12 and the gate terminal of the third PMOS transistor P13 of the gate control circuit 15.
  • the gate potential of the second NMOS transistor N12 becomes the power supply potential to render the second NMOS transistor N12 conductive
  • the gate potential of the third PMOS transistor P13 becomes the power supply potential to shut off the third PMOS transistor P13.
  • the gate terminals of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are connected to the ground G12.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P11 and P12 become the ground potential, the well potentials of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are fixed to the power supply potential, and the first and second PMOS transistors P11 and P12 are fixed.
  • the conduction state of P11 and P12 is maintained.
  • the first PMOS transistor P11 one input / output terminal connected to the load R11 functions as a source, and the other input / output terminal connected to the signal line L12 functions as a drain.
  • the second PMOS transistor P12 one input / output terminal connected to the power supply line L11 functions as a source, and the other input / output terminal connected to the wells of the PMOS transistors P11-P13 functions as a drain.
  • the conduction of the second PMOS transistor P12 fixes the well potential of the third PMOS transistor P13 to the power supply potential, and the cutoff state of the third PMOS transistor P13 is maintained. This prevents the signal line L12 from being connected to the ground G12 via the third PMOS transistor P13 and the second NMOS transistor N12.
  • the gate terminal of the first PMOS transistor P11 is connected to the ground G12, and the well potential of the first PMOS transistor P11 is set to the power supply potential, so that the first PMOS transistor P11 is in the conductive state. Has been maintained.
  • the gate terminal of the second NMOS transistor N12 and the gate terminal of the third PMOS transistor P13 of the gate control circuit 15 are connected to the ground G13 via the load of the LSI internal circuit 14. .
  • the gate potential of the second NMOS transistor N12 becomes the ground potential
  • the second NMOS transistor N12 is cut off
  • the gate potential of the third PMOS transistor P13 becomes the ground potential
  • the third PMOS transistor P13 becomes conductive.
  • the second NMOS transistor N12 is cut off and the third PMOS transistor P13 is turned on, so that the gate terminals of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are connected to the signal line L12.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P11 and P12 become the signal potential through the third PMOS transistor P13. Further, the well potentials of the first to third PMOS transistors P11 to P13 are fixed to potentials lower than the signal potential by the parasitic diode D1 of the first PMOS transistor P11. In this case, the threshold voltages of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are lowered, but the gate-source voltages of the first and second PMOS transistors P11 and P12 are lower than the threshold voltage, so that the first , The second PMOS transistors P11 and P12 are maintained in the cutoff state.
  • the source-drain of the pair of input / output terminals of the first PMOS transistor P11 is switched from the normal operation, and the source-drain of the pair of input / output terminals of the second PMOS transistor P12 is switched.
  • the first PMOS transistor P11 one input / output terminal connected to the load R11 functions as a drain, and the other input / output terminal connected to the signal line L12 functions as a source.
  • the second PMOS transistor P12 one input / output terminal connected to the power supply line L11 functions as a drain, and the other input / output terminal connected to the well of each PMOS transistor P11-P13 functions as a source.
  • the DC path of the current flowing from the signal line L12 to the power supply line L11 is cut off.
  • a current path is formed in the first PMOS transistor P11 by the parasitic diode D1 shown by the broken line, but the second PMOS transistor P12 is maintained in the cutoff state, so that the power is supplied from the signal line L12 through the parasitic diode D1.
  • the current path toward the line L11 is cut off.
  • a current path is also formed in the third PMOS transistor P13 by the parasitic diode D2 indicated by the broken line, but a current path from the signal line L12 to the power supply line L11 via the parasitic diode D2 by the second PMOS transistor P12. Is disconnected.
  • the second PMOS transistor P12 controls the wells of the PMOS transistors P11 to P13 and disconnects the current paths of the parasitic diodes D1 and D2 of the first and third PMOS transistors P11 and P13. Therefore, it is not necessary to separately prepare transistors for well control of the first and third PMOS transistors P11 and P13 and disconnection of the current paths of the parasitic diodes D1 and D2. By making the wells of the PMOS transistors P11 to P13 common, it is possible to reduce the area of the chip. In this embodiment, the transistors may be individually prepared for the well control of the first and third PMOS transistors P11 and P13.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P11 and P12 become signal potentials when the power is cut off, and the well potentials of the first and second PMOS transistors P11 and P12 change. It is fixed at a predetermined potential.
  • the first PMOS transistor P11 is cut off, and the DC path from the signal line L12 to the power supply line L11 is cut off.
  • the second PMOS transistor P12 is cut off, and the current path from the signal line L12 to the power supply line L11 is cut off through the parasitic diodes D1 and D2 of the first and third PMOS transistors P11 and P13.
  • the sneak of the current flowing from the signal line L12 to the power supply line L11 is suppressed and the output of the intermediate potential is prevented.
  • the damage to the LSI and the erroneous diagnosis of the output signal by the host device are suppressed.
  • FIG. 4 is a circuit diagram of the sensor device according to the second embodiment.
  • the sensor device 20 according to the second embodiment is different from that of the first embodiment in that a fourth PMOS transistor P24 is provided for well control when the power is cut off. That is, the control circuit 21 is provided with the load R21, the first and second NMOS transistors N21 and N22, and the first to third PMOS transistors P21 to P23, like the control circuit 11 of the first embodiment. ing. In addition, the control circuit 21 includes a fourth PMOS transistor P24 for well control at the time of power supply disconnection between the signal line L22 and a connection point 28 between the well of the first PMOS transistor P21 and the well of the second PMOS transistor P22. Is provided.
  • the fourth PMOS transistor P24 has one input / output terminal connected to the well of each PMOS transistor P21-P24, and the other input / output terminal connected to the signal line L22.
  • the gate terminal of the fourth PMOS transistor P24 is connected to the power supply line L21.
  • one input / output terminal connected to the well of each PMOS transistor P21-P24 functions as a source
  • the other input / output terminal connected to the signal line L22 functions as a drain in the normal operation.
  • one input / output terminal connected to the wells of the PMOS transistors P21-P24 functions as a drain
  • the other input / output terminal connected to the signal line L22 functions as a source.
  • the power supply voltage is applied to the gate terminal of the fourth PMOS transistor P24, and the gate potential of the fourth PMOS transistor P24 becomes the power supply potential.
  • the second PMOS transistor P22 becomes conductive, the well potential of the fourth PMOS transistor P24 is fixed to the power supply potential, and the cutoff state of the fourth PMOS transistor P24 is maintained.
  • the control circuit 21 of the second embodiment operates similarly to the control circuit 11 of the first embodiment, so that the operation of the control circuit 21 is adversely affected by the addition of the fourth PMOS transistor P24. There is no.
  • the gate terminal of the fourth PMOS transistor P24 is connected to the ground G23 via the load of the LSI internal circuit 24.
  • the gate potential of the fourth PMOS transistor P24 becomes the ground potential, and the well potentials of the first to third PMOS transistors P21 to P23 are fixed to the signal potential through the fourth PMOS transistor P24.
  • the voltage drop corresponding to the parasitic diode of the first PMOS transistor P21 as in the first embodiment is eliminated, and the threshold voltages of the first and second PMOS transistors P21 and P22 increase, so that the current is cut off. Leakage current can be reduced.
  • the fourth PMOS transistor P24 can enhance the current interruption effect of the first and second PMOS transistors P21 and P22.
  • FIG. 5 is a circuit diagram of the sensor device according to the third embodiment.
  • the sensor device 30 according to the third embodiment is different from the first embodiment in that the positions of the first PMOS transistor P31 and the load R31 are exchanged. That is, the control circuit 31 is provided with the load R31, the first and second NMOS transistors N31 and N32, and the first to third PMOS transistors P31 to P33, as in the control circuit 11 of the first embodiment. ing. Since the first PMOS transistor P31 is provided between the power supply line L31 and the load R31, the gate-source voltage of the first PMOS transistor P31 increases during normal operation. Therefore, the ON resistance of the first PMOS transistor P31 can be reduced and the area of the chip can be reduced.
  • the third embodiment it is possible to suppress the sneak of the current flowing from the signal line L32 to the power supply line L31 at the time of the power supply disconnection, as in the first embodiment. Further, it is possible to reduce the area of the chip of the first PMOS transistor P31.
  • the second NMOS transistor is used as the first element of the gate control circuit and the third PMOS transistor is used as the second element, but the present invention is not limited to this configuration.
  • the gate control circuit connects the first element that connects the gate terminals of the first and second PMOS transistors to the ground during normal operation, and connects the gate terminals of the first and second PMOS transistors to the signal line when the power is disconnected.
  • the second element may be provided.
  • the first element of the gate control circuit may be composed of a resistor.
  • FIG. 6 is a circuit diagram of the sensor device according to the fourth embodiment.
  • the sensor device 40 according to the fourth embodiment is different from the first embodiment in that the second NMOS transistor N12 (see FIG. 1) is replaced with a resistor R42. That is, the control circuit 41 is provided with the load R41, the first NMOS transistor N41, and the first to third PMOS transistors P41 to P43, as in the control circuit 11 of the first embodiment.
  • the resistor R42 of the gate control circuit 45 is provided between the connection point 47 of the gate terminals of the first and second PMOS transistors P41 and P42 and the ground G42.
  • the resistance value of the resistor R42 is set to be larger than the resistance value of the ON resistance of the third PMOS transistor P43.
  • the power supply voltage is applied to the gate terminal of the third PMOS transistor P43 of the gate control circuit 45.
  • the gate potential of the third PMOS transistor P43 becomes the power supply potential, and the third PMOS transistor P43 is cut off. Therefore, the gate terminals of the first and second PMOS transistors P41 and P42 are connected to the ground G42 via the resistor R42.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P41 and P42 become the ground potential, and the well potentials of the first and second PMOS transistors P41 and P42 are fixed to the power supply potential, so that the first and second PMOS transistors P41 and P42 are fixed. The conduction state of P41 and P42 is maintained.
  • the gate terminal of the third PMOS transistor P43 of the gate control circuit 45 is connected to the ground G43 via the load of the LSI internal circuit 44.
  • the gate potential of the third PMOS transistor P43 becomes the ground potential, and the third PMOS transistor P43 becomes conductive. Since the third PMOS transistor P43 is conductive and the resistance value of the resistor R42 is set high, the gate terminals of the first and second PMOS transistors P41 and P42 are connected to the signal line L42.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P41 and P42 become signal potentials, and the cutoff states of the first and second PMOS transistors P41 and P42 are maintained.
  • the gate control circuit 45 can be composed of the resistor R42 and the third PMOS transistor P43.
  • the second element of the gate control circuit may be composed of a resistor.
  • a sensor device according to the fifth embodiment will be described with reference to FIG. 7.
  • the sensor device according to the fifth embodiment uses an NMOS transistor as the first element of the gate control circuit and a resistor as the second element.
  • the description of the same configuration as the first embodiment is omitted as much as possible.
  • FIG. 7 is a circuit diagram of the sensor device according to the fifth embodiment.
  • the sensor device 50 according to the fifth embodiment is different from the first embodiment in that the third PMOS transistor P13 (see FIG. 1) is replaced with a resistor R52. That is, the control circuit 51 is provided with the load R51, the first and second NMOS transistors N51 and N52, and the first and second PMOS transistors P51 and P52 as in the control circuit 11 of the first embodiment. ing.
  • the resistor R52 of the gate control circuit 55 is provided between the connection point 57 of the gate terminals of the first and second PMOS transistors P51 and P52 and the signal line L52. Further, the resistance value of the resistor R52 is set to be larger than the resistance value of the combined resistance of the load R51 and the ON resistance of the first PMOS transistor P51.
  • the power supply voltage is applied to the gate terminal of the second NMOS transistor N52 of the gate control circuit 55.
  • the gate potential of the second NMOS transistor N52 becomes the power supply potential, and the second NMOS transistor N52 becomes conductive. Since the resistance value of the resistor R52 is set to be high, the gate terminals of the first and second PMOS transistors P51 and P52 are connected to the ground G52 via the second NMOS transistor N52.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P51 and P52 become the ground potential, the well potentials of the first and second PMOS transistors P51 and P52 are fixed to the power supply potential, and the first and second PMOS transistors P51 and P52 are fixed. The conduction state of P51 and P52 is maintained.
  • the gate terminal of the second NMOS transistor N52 of the gate control circuit 55 is connected to the ground G53 via the load of the LSI internal circuit 54.
  • the gate potential of the second NMOS transistor N52 becomes the ground potential, and the second NMOS transistor N52 is cut off.
  • the gate terminals of the first and second PMOS transistors P51 and P52 are connected to the signal line L52 via the resistor R52.
  • the gate potentials of the first and second PMOS transistors P51 and P52 increase, and the cutoff states of the first and second PMOS transistors P51 and P52 are maintained.
  • the gate control circuit 55 can be composed of the second NMOS transistor N52 and the resistor R52.
  • FIG. 8 is a circuit diagram of the sensor device according to the sixth embodiment.
  • the sensor device 60 according to the sixth embodiment is different from the second embodiment in that the second PMOS transistor P22 for well control (see FIG. 4) is replaced with a resistor R62. is doing. That is, as in the control circuit 21 of the second embodiment, the control circuit 61 includes the load R61, the first and second NMOS transistors N61 and N62, the first, third and fourth PMOS transistors P61 and P63. , P64 are provided. The well control resistor R62 is provided between the power supply line L61 and the fourth PMOS transistor P64. The resistance value of the resistor R62 is set to be larger than the resistance value of the pull-up resistor of a host device such as an ECU (not shown).
  • the power supply voltage is applied to the gate terminal of the fourth PMOS transistor P64, and the gate potential of the fourth PMOS transistor P64 becomes the power supply potential. Since the fourth PMOS transistor P64 is cut off, the well potential of the first, third, and fourth PMOS transistors P61, P63, and P64 is fixed to a high potential via the well control resistor R62. The conduction state of the first PMOS transistor P61 is maintained, and the cutoff states of the third and fourth PMOS transistors P63 and P64 are maintained. Thus, the well potential of each of the PMOS transistors P61, P63, P64 can be controlled by the resistor R62 and the fourth PMOS transistor P64 as in the control circuit 11 of the first embodiment.
  • the gate terminal of the fourth PMOS transistor P64 is connected to the ground G63 via the load of the LSI internal circuit 64.
  • the gate potential of the fourth PMOS transistor P64 becomes the ground potential, and the fourth PMOS transistor P64 becomes conductive. Since the resistance value of the resistor R62 is set high, the well potentials of the first, third, and fourth PMOS transistors P61, P63, and P64 are fixed to the signal potential through the fourth PMOS transistor P64.
  • the voltage drop corresponding to the parasitic diode of the first PMOS transistor P61 as in the first embodiment is eliminated, and the threshold voltage of the first PMOS transistor P61 is increased to cut off the current as in the second embodiment.
  • the leak current can be reduced.
  • the sixth embodiment it is possible to suppress the sneak of the current flowing from the signal line L62 to the power supply line L61 when the power supply is disconnected, as in the second embodiment. Further, the well potential of the first, third, and fourth PMOS transistors P61, P63, and P64 can be controlled by the resistor R62 and the fourth PMOS transistor P64.
  • FIG. 9 is a circuit diagram of the sensor device according to the seventh embodiment.
  • the sensor device 70 according to the seventh embodiment differs from the sensor device 70 according to the second embodiment in that the well controlling fourth PMOS transistor P24 (see FIG. 4) is replaced with a resistor R72. is doing. That is, the control circuit 71 is provided with the load R71, the first and second NMOS transistors N71 and N72, and the first to third PMOS transistors P71 to P73, as in the control circuit 21 of the second embodiment. ing.
  • the well controlling resistor R72 is provided between the second PMOS transistor P72 and the signal line L72.
  • the gate terminal of the second PMOS transistor P72 is connected to the ground G72 through the second NMOS transistor N72 of the gate control circuit 75, and the gate potential of the second PMOS transistor P72 becomes the ground potential. Therefore, the well potentials of the first to third PMOS transistors P71 to P73 are fixed to the power supply potential via the second PMOS transistor P72. The conduction state of the first and second PMOS transistors P71 and P72 is maintained, and the cutoff state of the third PMOS transistor P73 is maintained.
  • the first and second PMOS transistors P71 and P72 become conductive, and the series circuit of the load R71 and the first PMOS transistor P71 and the second PMOS transistor P72 are connected between the power supply line L71 and the signal line L72. And a resistor R72 in series are formed in parallel. Therefore, by dividing the resistance value of the combined resistance of the parallel circuit including the two series circuits and the resistance value of the ON resistance of the first NMOS transistor N71 for driving the circuit, the reference of the low voltage of the host device is satisfied. Is set to the resistance value of each element of the parallel circuit.
  • the second PMOS transistor P72 When the power is cut off, the second PMOS transistor P72 is cut off, and the well potential of the first to third PMOS transistors P71 to P73 is controlled by the resistor R72. As a result, the well potential of each of the PMOS transistors P71-P73 can be controlled by the second PMOS transistor P72 and the resistor R72, as in the control circuit 21 of the second embodiment.
  • the seventh embodiment it is possible to suppress the sneak of the current flowing from the signal line L72 to the power supply line L71 at the time of power supply disconnection, as in the second embodiment. Also, the well potentials of the first to third PMOS transistors P71 to P73 can be controlled by the second PMOS transistor P72 and the resistor R72.
  • the control circuit is provided with a load, but the load may be formed of a resistor or a transistor.
  • the load may be composed of PMOS transistors.
  • the sensor device according to the eighth embodiment will be described with reference to FIG. 10. Here, the description of the same configuration as the first embodiment is omitted as much as possible.
  • FIG. 10 is a circuit diagram of the sensor device according to the eighth embodiment.
  • the sensor device 80 differs from that of the first embodiment in that a fifth PMOS transistor P85 is provided as a current adjustment load. That is, the control circuit 81 is provided with the first and second NMOS transistors N81 and N82 and the first to third PMOS transistors P81 to P83, similarly to the control circuit 11 of the first embodiment. Further, the control circuit 81 is provided with a fifth PMOS transistor P85 for current adjustment between the power supply line L81 and the first PMOS transistor P81. By configuring the load with a transistor, the effect of adjusting the current is enhanced.
  • the fifth PMOS transistor P85 has one input / output terminal (source terminal) connected to the power supply line L81 and the other input / output terminal (drain terminal) connected to one input / output terminal of the first PMOS transistor P81. ing.
  • the LSI internal circuit 84 is connected to the gate terminal of the fifth PMOS transistor P85, and the fifth PMOS transistor P85 is driven by receiving a control signal from the LSI internal circuit 84.
  • the well potential of the fifth PMOS transistor P85 is controlled by the second PMOS transistor P82. Therefore, the wells of the PMOS transistors P81-P83 and P85 can be shared to reduce the area of the chip.
  • the eighth embodiment it is possible to suppress the sneak of the current flowing from the signal line L82 to the power supply line L81 at the time of the power supply disconnection, as in the first embodiment. Further, by using the fifth PMOS transistor P85 as the load, the effect of adjusting the current can be enhanced.
  • each sensor of this embodiment may be controlled by a pull-up circuit in order to comply with the SENT (Signal Edge Nibble Transmission) standard. Even if the power supply is disconnected while the signal potential is always pulled up without using the pull-up circuit, it is possible to prevent the current from flowing from the signal line to the power supply line and prevent the output of the intermediate potential.
  • SENT Synignal Edge Nibble Transmission

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Abstract

電源断線時に信号線から電源線への電流の回り込みを抑えて中間電位の出力を防止すること。 電源線（Ｌ１１）からの電源電圧を受けて出力信号を信号線（Ｌ１２）に出力する制御回路（１１）であって、電源線と信号線の間に設けられた負荷（Ｒ１１）と、負荷と信号線の間に設けられた第１のトランジスタ（Ｐ１１）と、第１のトランジスタのウェルと電源線の間に設けられた第２のトランジスタ（Ｐ１２）と、電源断線時に第１のトランジスタのゲート端子及び第２のトランジスタのゲート端子を信号線に接続し、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを遮断するゲート制御回路（１５）とを備えている。

Description

制御回路及びセンサ装置
　本発明は制御回路及びセンサ装置に関する。
　従来、電源電圧を受けて動作する制御回路として、電源の逆接続から回路を保護するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の制御回路は、電源線と信号線の間に第１のトランジスタ（ＰＭＯＳトランジスタ）が設けられ、電源線と第１のトランジスタのウェル（ボディ）の間にウェル制御用の第２のトランジスタ（ＰＭＯＳトランジスタ）が設けられている。第１、第２のトランジスタのゲート端子はグランドに接続されている。電源の逆接続時には、第１、第２のトランジスタが遮断されてグランドから電源線に向かう電流が防止されている。
特開２０１６－１９２８３８号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の制御回路では、電源断線時には第１、第２のトランジスタのゲートが接地電位になることで、第１、第２のトランジスタが導通される。また、電源線が接地電位になるため、信号電位がＨｉｇｈのときに第１、第２のトランジスタが導通して信号線から電源線に電流が回り込んで中間電位を出力するという問題があった。
　本発明は前記課題を解決するもので、その目的とするところは、電源断線時に信号線から電源線への電流の回り込みを抑えて中間電位の出力を防止することができる制御回路及びセンサ装置を提供することである。
　本発明の一態様の制御回路は、電源線からの電源電圧を受けて出力信号を信号線に出力する制御回路であって、前記電源線と前記信号線の間に設けられた負荷と、前記負荷と前記信号線の間又は前記電源線と前記負荷の間に設けられた第１のトランジスタと、前記第１のトランジスタのウェルと前記電源線の間に設けられた第２のトランジスタと、電源断線時に前記第１のトランジスタのゲート端子及び前記第２のトランジスタのゲート端子を前記信号線に接続し、前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタを遮断するゲート制御回路とを備えたことを特徴とする。
　本発明によれば、電源断線時に第１、第２のトランジスタを遮断することで、信号線から電源線への電流の回り込みを抑えて中間電位の出力を防止できる。本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
第１の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第１の実施形態に係る通常動作時の説明図。 第１の実施形態に係る電源断線時の説明図。 第２の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第３の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第４の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第５の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第６の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第７の実施形態に係るセンサ装置の回路図。 第８の実施形態に係るセンサ装置の回路図。
　[第１の実施形態]
　以下、図１から図３を参照して、第１の実施形態に係るセンサ装置について説明する。
図１は、第１の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。なお、センサ装置としては、例えばエアフローセンサが挙げられるが、物理量に応じて電気的特性の変化する装置であれば特に限定されない。
　図１に示すように、センサ装置１０は、電源端子１２及び信号端子１３を介してＥＣＵ（不図示）等の上位装置に接続されており、センサエレメントが実装されたＬＳＩ内部回路（検出回路）１４と、センサエレメントからの検出信号を処理する制御回路１１とを備えている。ＬＳＩ内部回路１４は、電源端子１２に連なる電源線Ｌ１１に接続されており、上位装置から電源線Ｌ１１を通じて電源電圧を受けてセンサエレメント等を動作させている。また、ＬＳＩ内部回路１４は、センサエレメントで検出した物理量に対して各種処理を施して、物理量に応じた制御信号を制御回路１１に出力している。
　制御回路１１は、電源端子１２に連なる電源線Ｌ１１を介して上位装置から電源電圧を受けて、信号端子１３に連なる信号線Ｌ１２を介してＬＳＩ内部回路１４の制御信号に応じた出力信号を上位装置に出力している。制御回路１１には、信号線Ｌ１２とグランドＧ１１との間に回路駆動用の第１のＮＭＯＳトランジスタＮ１１が設けられている。また、制御回路１１には、電源線Ｌ１１に接続された電流調整用の負荷Ｒ１１と、負荷Ｒ１１と信号線Ｌ１２の間に設けられた電流遮断用の第１のＰＭＯＳトランジスタ（第１のトランジスタ）Ｐ１１と、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１のウェルと電源線Ｌ１１の間に設けられたウェル制御用の第２のＰＭＯＳトランジスタ（第２のトランジスタ）Ｐ１２とが設けられている。
　さらに、制御回路１１には、電源断線時に第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２を遮断するゲート制御回路１５が設けられている。ゲート制御回路１５には第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２と、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３とが設けられている。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２は、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１のゲート端子及び第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２のゲート端子の接続点１７とグランドＧ１２との間に設けられている。第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３は、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１のゲート端子及び第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２のゲート端子の接続点１７と信号線Ｌ１２との間に設けられている。
　より詳細には、回路駆動用の第１のＮＭＯＳトランジスタＮ１１のドレイン端子は信号線Ｌ１２に接続され、第１のＮＭＯＳトランジスタＮ１１のソース端子はグランドＧ１１に接続されている。第１のＮＭＯＳトランジスタＮ１１のゲート端子にはＬＳＩ内部回路１４が接続されており、第１のＮＭＯＳトランジスタＮ１１はＬＳＩ内部回路１４からの制御信号を受けて駆動される。第１のＮＭＯＳトランジスタＮ１１は、ＬＳＩ内部回路１４からの制御信号に応じてＯＮ／ＯＦＦ駆動されて、ＬＳＩ内部回路１４内のセンサエレメントで検出した物理量に応じた出力信号を生成している。
　電流遮断用の第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１は、一方の入出力端子が負荷Ｒ１１に接続され、他方の入出力端子が信号線Ｌ１２に接続されている。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１は、信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に向かう電流パスの切断に使用される。ウェル制御用の第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２は、一方の入出力端子が電源線Ｌ１１に接続され、他方の入出力端子が第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェルに接続されている。第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２は、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェル電位を一定に固定している。
　ゲート制御回路１５の第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２は、ドレイン端子が第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート端子に接続され、ソース端子が自身のウェル及びグランドＧ１２に接続されている。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２のゲート端子は電源線Ｌ１１に接続されている。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２のゲート電位が電源電位の通常動作時に第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２が導通する。これにより、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート端子がグランドＧ１２に接続して第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２が導通する。
　ゲート制御回路１５の第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３は、一方の入出力端子が第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート端子に接続され、他方の入出力端子が信号線Ｌ１２に接続されている。第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のゲート端子は電源線Ｌ１１に接続されている。第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のゲート電位が接地電位の電源断線時に第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３が導通する。これにより、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート端子が信号線Ｌ１２に接続して第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２が遮断される。
　このように、本実施形態のセンサ装置１０では、電源断線時に信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に電流が回り込まないように、ゲート制御回路１５によって電源断線時に第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２を遮断している。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１によって信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に向かう直流パスが切断される。第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２によって信号線Ｌ１２から第１、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１３の寄生ダイオードＤ１、Ｄ２（図３参照）を通じて電源線Ｌ１１に向かう電流パスが切断される。これにより、ＬＳＩ内部回路１４に影響を及ぼす可能性がある中間電位の出力が防止されている。
　以下、図２及び図３を参照して、通常動作時及び電源断線時の制御回路について説明する。図２は、第１の実施形態に係る通常動作時の説明図である。図３は、第１の実施形態に係る電源断線時の説明図である。
　図２に示すように、通常動作時にはゲート制御回路１５の第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２のゲート端子及び第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のゲート端子に電源電圧が印加される。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２のゲート電位が電源電位になって第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２が導通され、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のゲート電位が電源電位になって第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３が遮断される。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２が導通して、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３が遮断することで、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート端子がグランドＧ１２に接続される。
　第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート電位が接地電位になり、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のウェル電位が電源電位に固定されて、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２の導通状態が維持される。このとき、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１では、負荷Ｒ１１に連なる一方の入出力端子がソースとして働き、信号線Ｌ１２に連なる他方の入出力端子がドレインとして働いている。また、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２では、電源線Ｌ１１に連なる一方の入出力端子がソースとして働き、各ＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェルに連なる他方の入出力端子がドレインとして働いている。
　また、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２が導通することで、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のウェル電位が電源電位に固定されて、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３の遮断状態が維持される。これにより、信号線Ｌ１２が第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３及び第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２を介してグランドＧ１２に接続されることがない。このように、通常動作時には、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１のゲート端子をグランドＧ１２に接続し、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１のウェル電位を電源電位にすることで、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１の導通状態が維持されている。
　図３に示すように、電源断線時にはゲート制御回路１５の第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２のゲート端子及び第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のゲート端子がＬＳＩ内部回路１４の負荷を介してグランドＧ１３に接続される。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２のゲート電位が接地電位になって第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２が遮断され、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３のゲート電位が接地電位になって第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３が導通する。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２が遮断され、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３が導通することで、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート端子が信号線Ｌ１２に接続される。
　通常は信号電位がプルアップされているため、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３を通じて第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート電位が信号電位になる。
また、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェル電位が第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１の寄生ダイオードＤ１分だけ信号電位から低下した電位に固定される。この場合、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２の閾値電圧が低下するが、閾値電圧よりも第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート－ソース間電圧が低くなるため、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２が遮断状態で維持される。
　電源断線時は、通常動作時から第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１の一対の入出力端子のソース－ドレインが入れ替わると共に、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２の一対の入出力端子のソース－ドレインが入れ替わる。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１では、負荷Ｒ１１に連なる一方の入出力端子がドレインとして働き、信号線Ｌ１２に連なる他方の入出力端子がソースとして働いている。また、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２では、電源線Ｌ１１に連なる一方の入出力端子がドレインとして働き、各ＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェルに連なる他方の入出力端子がソースとして働いている。
　そして、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１が遮断状態に維持されることで、信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に向かう電流の直流パスが切断される。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１には破線で示す寄生ダイオードＤ１で電流パスが形成されるが、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２が遮断状態で維持されることで、信号線Ｌ１２から寄生ダイオードＤ１を通って電源線Ｌ１１に向かう電流パスが切断される。同様に、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３にも破線で示す寄生ダイオードＤ２で電流パスが形成されるが、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２によって信号線Ｌ１２から寄生ダイオードＤ２を通って電源線Ｌ１１に向かう電流パスが切断される。
　第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２は、各ＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェルを制御すると共に、第１、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１３の寄生ダイオードＤ１、Ｄ２の電流パスを切断している。よって、第１、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１３のウェル制御用及び寄生ダイオードＤ１、Ｄ２の電流パスの切断用に個別にトランジスタを用意する必要がない。各ＰＭＯＳトランジスタＰ１１－Ｐ１３のウェルを共通化してチップの小面積化を図ることが可能になっている。なお、本実施形態では、第１、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１３のウェル制御用に個別にトランジスタが用意されていてもよい。
　以上のように、第１の実施の形態では、電源断線時に第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のゲート電位が信号電位となり、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１２のウェル電位が所定の電位に固定される。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ１１が遮断されて、信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に向かう直流パスが切断される。また、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ１２が遮断されて、第１、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１１、Ｐ１３の寄生ダイオードＤ１、Ｄ２を通じて信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に向かう電流パスが切断される。よって、信号線Ｌ１２から電源線Ｌ１１に向かう電流の回り込みが抑制されて、中間電位の出力を防止する。中間電位出力の防止により、ＬＳＩが破損すること、上位装置による出力信号の誤診断が抑止される。
[第２の実施形態]
　図４を参照して、第２の実施形態に係るセンサ装置について説明する。第１の実施形態では、電源断線時に各ＰＭＯＳトランジスタのウェル電位が寄生ダイオード分だけ信号電位から低下した電位に固定される。このため、閾値電圧が下がって電流遮断時のリーク電流が僅かに生じる場合がある。そこで、第２の実施形態に係るセンサ装置は、電源断線時のウェル制御用に第４のＰＭＯＳトランジスタを備えている。ここでは、第１の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図４は、第２の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図４に示すように、第２の実施形態に係るセンサ装置２０は、電源断線時のウェル制御用に第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４を備えた点で第１の実施形態と相違している。すなわち、制御回路２１には、第１の実施形態の制御回路１１と同様に、負荷Ｒ２１、第１、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ２１、Ｎ２２、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ２１－Ｐ２３が設けられている。また、制御回路２１には第１のＰＭＯＳトランジスタＰ２１のウェルと第２のＰＭＯＳトランジスタＰ２２のウェルの接続点２８と信号線Ｌ２２との間に電源断線時のウェル制御用の第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４が設けられている。
　第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４は、一方の入出力端子が各ＰＭＯＳトランジスタＰ２１－Ｐ２４のウェルに接続され、他方の入出力端子が信号線Ｌ２２に接続されている。
第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４のゲート端子は電源線Ｌ２１に接続されている。第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４では、通常動作時に各ＰＭＯＳトランジスタＰ２１－Ｐ２４のウェルに連なる一方の入出力端子がソースとして働き、信号線Ｌ２２に連なる他方の入出力端子がドレインとして働いている。電源断線時に各ＰＭＯＳトランジスタＰ２１－Ｐ２４のウェルに連なる一方の入出力端子がドレインとして働き、信号線Ｌ２２に連なる他方の入出力端子がソースとして働いている。
　通常動作時には、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４のゲート端子に電源電圧が印加されて、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４のゲート電位が電源電位になる。また、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ２２が導通することで、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４のウェル電位が電源電位に固定されて、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４の遮断状態が維持される。これにより、第２の実施形態の制御回路２１においても、第１の実施形態の制御回路１１と同様に動作するため、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４の追加によって制御回路２１の動作が悪影響を受けることがない。
　電源断線時には、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４のゲート端子がＬＳＩ内部回路２４の負荷を介してグランドＧ２３に接続される。第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４のゲート電位が接地電位になり、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４を通じて第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ２１－Ｐ２３のウェル電位が信号電位に固定される。これにより、第１の実施形態のような第１のＰＭＯＳトランジスタＰ２１の寄生ダイオード分の電圧低下が無くなり、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ２１、Ｐ２２の閾値電圧が上昇することで、電流遮断時のリーク電流を小さくすることができる。
　以上のように、第２の実施形態でも、第１の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ２２から電源線Ｌ２１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、電源断線時には第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４によって第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ２１、Ｐ２２の電流遮断効果を高めることができる。
[第３の実施形態]
　図５を参照して、第３の実施形態に係るセンサ装置について説明する。第１の実施形態では、負荷と信号線の間に第１のＰＭＯＳトランジスタを設けているため、負荷によって第１のＰＭＯＳトランジスタのゲート－ソース間電圧が小さくなってチップの小面積化を十分に図ることができなかった。そこで、第３の実施形態に係るセンサ装置は、電源線と負荷の間に第１のＰＭＯＳトランジスタを設けている。ここでは、第１の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図５は、第３の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図５に示すように、第３の実施形態に係るセンサ装置３０は、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ３１と負荷Ｒ３１の位置が入れ替えられた点で第１の実施形態と相違している。すなわち、制御回路３１には、第１の実施形態の制御回路１１と同様に、負荷Ｒ３１、第１、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ３１、Ｎ３２、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ３１－Ｐ３３が設けられている。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ３１は電源線Ｌ３１と負荷Ｒ３１の間に設けられているため、通常動作時に第１のＰＭＯＳトランジスタＰ３１のゲート－ソース間電圧が大きくなる。よって、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ３１のＯＮ抵抗を小さくできチップの小面積化を図ることできる。
　以上のように、第３の実施形態でも、第１の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ３２から電源線Ｌ３１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、第１のＰＭＯＳトランジスタＰ３１のチップの小面積化を図ることができる。
[第４の実施形態]
　上記した各実施形態では、ゲート制御回路の第１の素子として第２のＮＭＯＳトランジスタ、第２の素子として第３のＰＭＯＳトランジスタを例示したが、この構成に限定されない。ゲート制御回路は、通常動作時に第１、第２のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子をグランドに接続する第１の素子と、電源断線時に第１、第２のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子を信号線に接続する第２の素子を備えていればよい。例えば、図６に示すように、ゲート制御回路の第１の素子を抵抗で構成してもよい。
　図６を参照して、第４の実施形態に係るセンサ装置について説明する。第４の実施形態に係るセンサ装置は、ゲート制御回路の第１の素子として抵抗を使用し、第２の素子としてＰＭＯＳトランジスタを使用している。ここでは、第１の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図６は、第４の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図６に示すように、第４の実施形態に係るセンサ装置４０は、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ１２（図１参照）が抵抗Ｒ４２に置き換えられた点で第１の実施形態と相違している。すなわち、制御回路４１には、第１の実施形態の制御回路１１と同様に、負荷Ｒ４１、第１のＮＭＯＳトランジスタＮ４１、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４１－Ｐ４３が設けられている。ゲート制御回路４５の抵抗Ｒ４２は第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２のゲート端子の接続点４７とグランドＧ４２の間に設けられている。
また、抵抗Ｒ４２の抵抗値は第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３のＯＮ抵抗の抵抗値よりも大きく設定されている。
　通常動作時にはゲート制御回路４５の第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３のゲート端子に電源電圧が印加される。第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３のゲート電位が電源電位になって第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３が遮断される。このため、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２のゲート端子が抵抗Ｒ４２を介してグランドＧ４２に接続される。第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２のゲート電位が接地電位になり、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２のウェル電位が電源電位に固定されて、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２の導通状態が維持される。
　電源断線時にはゲート制御回路４５の第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３のゲート端子がＬＳＩ内部回路４４の負荷を介してグランドＧ４３に接続される。第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３のゲート電位が接地電位になって第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３が導通する。第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３が導通し、抵抗Ｒ４２の抵抗値が高く設定されているため、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２のゲート端子が信号線Ｌ４２に接続される。第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２のゲート電位が信号電位になって第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ４１、Ｐ４２の遮断状態が維持される。
　以上のように、第４の実施形態でも、第１の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ４２から電源線Ｌ４１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、ゲート制御回路４５を抵抗Ｒ４２と第３のＰＭＯＳトランジスタＰ４３で構成することができる。
[第５の実施形態]
　また、図７に示すように、ゲート制御回路の第２の素子を抵抗で構成してもよい。図７を参照して、第５の実施形態に係るセンサ装置について説明する。第５の実施形態に係るセンサ装置は、ゲート制御回路の第１の素子としてＮＭＯＳトランジスタを使用し、第２の素子として抵抗を使用している。ここでは、第１の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図７は、第５の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図７に示すように、第５の実施形態に係るセンサ装置５０は、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ１３（図１参照）が抵抗Ｒ５２に置き換えられた点で第１の実施形態と相違している。すなわち、制御回路５１には、第１の実施形態の制御回路１１と同様に、負荷Ｒ５１、第１、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５１、Ｎ５２、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２が設けられている。ゲート制御回路５５の抵抗Ｒ５２は第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２のゲート端子の接続点５７と信号線Ｌ５２の間に設けられている。また、抵抗Ｒ５２の抵抗値は、負荷Ｒ５１と第１のＰＭＯＳトランジスタＰ５１のＯＮ抵抗の合成抵抗の抵抗値よりも大きく設定されている。
　通常動作時にはゲート制御回路５５の第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２のゲート端子に電源電圧が印加される。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２のゲート電位が電源電位になって第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２が導通する。抵抗Ｒ５２の抵抗値が高く設定されているため、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２のゲート端子が第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２を介してグランドＧ５２に接続される。第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２のゲート電位が接地電位になり、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２のウェル電位が電源電位に固定されて、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２の導通状態が維持される。
　電源断線時にはゲート制御回路５５の第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２のゲート端子がＬＳＩ内部回路５４の負荷を介してグランドＧ５３に接続される。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２のゲート電位が接地電位になって第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２が遮断される。第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２の遮断によって、第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２のゲート端子が抵抗Ｒ５２を介して信号線Ｌ５２に接続される。第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２のゲート電位が高くなって第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ５１、Ｐ５２の遮断状態が維持される。
　以上のように、第５の実施形態でも、第１の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ５２から電源線Ｌ５１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、ゲート制御回路５５を第２のＮＭＯＳトランジスタＮ５２と抵抗Ｒ５２で構成することができる。
［第６の実施形態］
　上記した第２の実施形態では、第２、第４のＰＭＯＳトランジスタによってウェル制御する構成を例示したが、この構成に限定されない。例えば、図８に示すように、通常動作時に導通する第２のＰＭＯＳトランジスタを抵抗に置き換えてもよい。図８を参照して、第６の実施形態に係るセンサ装置について説明する。ここでは、第２の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図８は、第６の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図８に示すように、第６の実施形態に係るセンサ装置６０は、ウェル制御用の第２のＰＭＯＳトランジスタＰ２２（図４参照）が抵抗Ｒ６２に置き換えられた点で第２の実施形態と相違している。すなわち、制御回路６１には、第２の実施形態の制御回路２１と同様に、負荷Ｒ６１、第１、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ６１、Ｎ６２、第１、第３、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６１、Ｐ６３、Ｐ６４が設けられている。ウェル制御用の抵抗Ｒ６２は電源線Ｌ６１と第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４の間に設けられている。抵抗Ｒ６２の抵抗値は、ＥＣＵ（不図示）等の上位装置のプルアップ抵抗の抵抗値よりも大きく設定されている。
　通常動作時には、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４のゲート端子に電源電圧が印加されて、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４のゲート電位が電源電位になる。第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４が遮断されるため、ウェル制御用の抵抗Ｒ６２を介して第１、第３、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６１、Ｐ６３、Ｐ６４のウェル電位が高い電位に固定される。第１のＰＭＯＳトランジスタＰ６１の導通状態が維持され、第３、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６３、Ｐ６４の遮断状態が維持される。これにより、抵抗Ｒ６２と第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４によって、第１の実施形態の制御回路１１と同様に、各ＰＭＯＳトランジスタＰ６１、Ｐ６３、Ｐ６４のウェル電位を制御できる。
　電源断線時には、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４のゲート端子がＬＳＩ内部回路６４の負荷を介してグランドＧ６３に接続される。第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４のゲート電位が接地電位になり、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４が導通する。抵抗Ｒ６２の抵抗値が高く設定されているため、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４を通じて第１、第３、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６１、Ｐ６３、Ｐ６４のウェル電位が信号電位に固定される。これにより、第１の実施形態のような第１のＰＭＯＳトランジスタＰ６１の寄生ダイオード分の電圧低下が無くなり、第２の実施形態と同様に第１のＰＭＯＳトランジスタＰ６１の閾値電圧が上昇して電流遮断時のリーク電流を小さくすることができる。
　以上のように、第６の実施形態でも、第２の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ６２から電源線Ｌ６１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、抵抗Ｒ６２と第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６４によって第１、第３、第４のＰＭＯＳトランジスタＰ６１、Ｐ６３、Ｐ６４のウェル電位を制御することができる。
［第７の実施形態］
　また、図９に示すように、電源断線時に導通する第４のＰＭＯＳトランジスタを抵抗に置き換えてもよい。図９を参照して、第７の実施形態に係るセンサ装置について説明する。ここでは、第２の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図９は、第７の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図９に示すように、第７の実施形態に係るセンサ装置７０は、ウェル制御用の第４のＰＭＯＳトランジスタＰ２４（図４参照）が抵抗Ｒ７２に置き換えられた点で第２の実施形態と相違している。すなわち、制御回路７１には、第２の実施形態の制御回路２１と同様に、負荷Ｒ７１、第１、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ７１、Ｎ７２、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ７１－Ｐ７３が設けられている。ウェル制御用の抵抗Ｒ７２は第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２と信号線Ｌ７２の間に設けられている。
　通常動作時には、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２のゲート端子がゲート制御回路７５の第２のＮＭＯＳトランジスタＮ７２を通じてグランドＧ７２に接続されて、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２のゲート電位が接地電位になる。よって、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２を介して第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ７１－Ｐ７３のウェル電位が電源電位に固定される。第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７１、Ｐ７２の導通状態が維持され、第３のＰＭＯＳトランジスタＰ７３の遮断状態が維持される。
　なお、通常動作時には第１、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７１、Ｐ７２が導通して、電源線Ｌ７１と信号線Ｌ７２の間に負荷Ｒ７１と第１のＰＭＯＳトランジスタＰ７１の直列回路と第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２と抵抗Ｒ７２の直列回路が並列に形成される。このため、２つの直列回路からなる並列回路の合成抵抗の抵抗値と回路駆動用の第１のＮＭＯＳトランジスタＮ７１のＯＮ抵抗の抵抗値との分圧で、上位装置のＬｏｗ電圧の基準を満たすように並列回路の各素子の抵抗値が設定されている。
　電源断線時には、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２が遮断されることで、抵抗Ｒ７２によって第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ７１－Ｐ７３のウェル電位が制御される。
これにより、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２と抵抗Ｒ７２によって、第２の実施形態の制御回路２１と同様に、各ＰＭＯＳトランジスタＰ７１－Ｐ７３のウェル電位を制御できる。
　以上のように、第７の実施形態でも、第２の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ７２から電源線Ｌ７１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ７２と抵抗Ｒ７２によって第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ７１－Ｐ７３のウェル電位を制御することができる。
［第８の実施形態］
　上記した各実施形態では、制御回路に負荷が設けられる構成にしたが、負荷は抵抗で構成されていてもよいし、トランジスタで構成されていてもよい。例えば、図１０に示すように、負荷をＰＭＯＳトランジスタで構成してもよい。図１０を参照して、第８の実施形態に係るセンサ装置について説明する。ここでは、第１の実施形態と同様な構成については説明を極力省略する。図１０は、第８の実施形態に係るセンサ装置の回路図である。
　図１０に示すように、第８の実施形態に係るセンサ装置８０は、電流調整用の負荷として第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５を備えた点で第１の実施形態と相違している。すなわち、制御回路８１には、第１の実施形態の制御回路１１と同様に、第１、第２のＮＭＯＳトランジスタＮ８１、Ｎ８２、第１－第３のＰＭＯＳトランジスタＰ８１－Ｐ８３が設けられている。また、制御回路８１には電源線Ｌ８１と第１のＰＭＯＳトランジスタＰ８１の間に電流調整用の第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５が設けられている。負荷をトランジスタで構成することで電流の調整効果が高められている。
　第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５は、一方の入出力端子（ソース端子）が電源線Ｌ８１に接続され、他方の入出力端子（ドレイン端子）が第１のＰＭＯＳトランジスタＰ８１の一方の入出力端子に接続されている。第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５のゲート端子にはＬＳＩ内部回路８４が接続されており、第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５はＬＳＩ内部回路８４からの制御信号を受けて駆動される。第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５のウェル電位は、第２のＰＭＯＳトランジスタＰ８２によって制御されている。よって、各ＰＭＯＳトランジスタＰ８１－Ｐ８３、Ｐ８５のウェルを共通化してチップの小面積化を図ることが可能になっている。
　以上のように、第８の実施形態でも、第１の実施形態と同様に電源断線時の信号線Ｌ８２から電源線Ｌ８１に向かう電流の回り込みを抑制することができる。また、負荷として第５のＰＭＯＳトランジスタＰ８５を使用することで電流の調整効果を高めることができる。
　また、本実施形態の各センサはＳＥＮＴ（Signal　Edge　Nibble　Transmission）規格に対応させるために、プルアップ回路によって信号電位が制御されていてもよい。プルアップ回路を使用せずに、信号電位が常時プルアップされた状態で電源断線した場合であっても、信号線から電源線への電流の回り込みを抑えて中間電位の出力を防止できる。
　以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、前記の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。例えば、前記した実施の形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。さらに、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０　センサ装置
１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、８１　制御回路
１４、２４、３４、４４、５４、６４、７４、８４　ＬＳＩ内部回路（検出回路）
１５、４５、５５、７５　ゲート制御回路
Ｌ１１、Ｌ２１、Ｌ３１、Ｌ４１、Ｌ５１、Ｌ６１、Ｌ７１、Ｌ８１　電源線Ｌ１２、Ｌ２２、Ｌ３２、Ｌ４２、Ｌ５２、Ｌ６２、Ｌ７２、Ｌ８２　信号線
Ｎ１２、Ｎ２２、Ｎ３２、Ｎ５２、Ｎ６２、Ｎ７２、Ｎ８２　第２のＮＭＯＳトランジスタ
Ｐ１１、Ｐ２１、Ｐ３１、Ｐ４１、Ｐ５１、Ｐ６１、Ｐ７１、Ｐ８１　第１のＰＭＯＳトランジスタ（第１のトランジスタ）
Ｐ１２、Ｐ２２、Ｐ３２、Ｐ４２、Ｐ５２、Ｐ７２、Ｐ８２　第２のＰＭＯＳトランジスタ（第２のトランジスタ）
Ｐ１３、Ｐ２３、Ｐ３３、Ｐ４３、Ｐ６３，Ｐ７３、Ｐ８３　第３のＰＭＯＳトランジスタ
Ｐ２４、Ｐ６４　第４のＰＭＯＳトランジスタ
Ｐ８５　第５のＰＭＯＳトランジスタ
Ｒ１１、Ｒ２１、Ｒ３１、Ｒ４１、Ｒ５１、Ｒ６１、Ｒ７１　負荷
Ｒ４２、Ｒ５２、Ｒ６２、Ｒ７２　抵抗

Claims (12)

  1. 　電源線からの電源電圧を受けて出力信号を信号線に出力する制御回路であって、
    　前記電源線と前記信号線の間に設けられた負荷と、
    　前記負荷と前記信号線の間又は前記電源線と前記負荷の間に設けられた第１のトランジスタと、
    　前記第１のトランジスタのウェルと前記電源線の間に設けられた第２のトランジスタと、
    　電源断線時に前記第１のトランジスタのゲート端子及び前記第２のトランジスタのゲート端子を前記信号線に接続し、前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタを遮断するゲート制御回路とを備えたことを特徴とする制御回路。
  2. 　前記ゲート制御回路は、
    　通常動作時には前記第１のトランジスタのゲート端子及び前記第２のトランジスタのゲート端子をグランドに接続し、前記第２のトランジスタを介して前記第１のトランジスタのウェル電位を電源電位にすることで前記第１のトランジスタを導通させることを特徴とする請求項１に記載の制御回路。
  3. 　前記第１のトランジスタは第１のＰＭＯＳトランジスタであり、
    　前記第２のトランジスタは第２のＰＭＯＳトランジスタであり、
    　前記ゲート制御回路は、前記第１のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子及び前記第２のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子の接続点とグランドとの間に設けられた第１の素子と、
    前記第１のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子及び前記第２のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子の接続点と前記信号線との間に設けられた第２の素子とを有し、
    　通常動作時に前記第１の素子を介して前記第１のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子及び前記第２のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子をグランドに接続し、電源断線時に前記第２の素子を介して前記第１のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子及び前記第２のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子を前記信号線に接続することを特徴とする請求項１に記載の制御回路。
  4. 　前記第１の素子はＮＭＯＳトランジスタであり、前記第２の素子は第３のＰＭＯＳトランジスタであり、
    　前記ＮＭＯＳトランジスタのゲート端子は前記電源線に接続され、前記第３のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子は前記電源線に接続されたことを特徴とする請求項３に記載の制御回路。
  5. 　前記第２のＰＭＯＳトランジスタの一方の入出力端子は前記電源線に接続され、前記第２のＰＭＯＳトランジスタの他方の入出力端子は前記第１のＰＭＯＳトランジスタのウェル、前記第２のＰＭＯＳトランジスタのウェル、前記第３のＰＭＯＳトランジスタのウェルに接続されたことを特徴とする請求項４に記載の制御回路。
  6. 　前記第１のＰＭＯＳトランジスタのウェルと前記第２のＰＭＯＳトランジスタのウェルの接続点と前記信号線との間に設けられた第４のＰＭＯＳトランジスタを備え、
    　前記第４のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子は前記電源線に接続されたことを特徴とする請求項５に記載の制御回路。
  7. 　前記第４のＰＭＯＳトランジスタの一方の入出力端子は前記第１のＰＭＯＳトランジスタのウェル、前記第２のＰＭＯＳトランジスタのウェル、前記第３のＰＭＯＳトランジスタのウェル、前記第４のＰＭＯＳトランジスタのウェルに接続され、前記第４のＰＭＯＳトランジスタの他方の入出力端子は前記信号線に接続されたことを特徴とする請求項６に記載の制御回路。
  8. 　前記第２のＰＭＯＳトランジスタ及び前記第４のＰＭＯＳトランジスタのいずれか一方を抵抗に置き換えたことを特徴とする請求項７に記載の制御回路。
  9. 　前記第１の素子は抵抗であり、前記第２の素子は第３のＰＭＯＳトランジスタであり、
    　前記第３のＰＭＯＳトランジスタのゲート端子は前記電源線に接続されたことを特徴とする請求項３に記載の制御回路。
  10. 　前記第１の素子はＮＭＯＳトランジスタであり、前記第２の素子は抵抗であり、
    　前記ＮＭＯＳトランジスタのゲート端子は前記電源線に接続されたことを特徴とする請求項３に記載の制御回路。
  11. 　前記負荷が抵抗又はトランジスタで構成されたことを特徴とする請求項１に記載の制御回路。
  12. 　請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の制御回路と、
    　前記制御回路に物理量に応じた制御信号を出力する検出回路とを備えたことを特徴とするセンサ装置。
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