WO2020045557A1 - 光照射装置 - Google Patents

光照射装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2020045557A1
WO2020045557A1 PCT/JP2019/033869 JP2019033869W WO2020045557A1 WO 2020045557 A1 WO2020045557 A1 WO 2020045557A1 JP 2019033869 W JP2019033869 W JP 2019033869W WO 2020045557 A1 WO2020045557 A1 WO 2020045557A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
light
guide plate
light guide
plate
irradiation device
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/033869
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
憲久 吉村
Original Assignee
シーシーエス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シーシーエス株式会社 filed Critical シーシーエス株式会社
Priority to CN201980055311.9A priority Critical patent/CN112585451A/zh
Priority to US17/270,603 priority patent/US11761900B2/en
Priority to SG11202101854YA priority patent/SG11202101854YA/en
Priority to EP19855121.0A priority patent/EP3845888A4/en
Priority to JP2020539581A priority patent/JPWO2020045557A1/ja
Priority to KR1020217004598A priority patent/KR20210049794A/ko
Publication of WO2020045557A1 publication Critical patent/WO2020045557A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/0035—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided on the surface of the light guide or in the bulk of it
    • G02B6/0038—Linear indentations or grooves, e.g. arc-shaped grooves or meandering grooves, extending over the full length or width of the light guide
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0081—Mechanical or electrical aspects of the light guide and light source in the lighting device peculiar to the adaptation to planar light guides, e.g. concerning packaging
    • G02B6/0086—Positioning aspects
    • G02B6/0091—Positioning aspects of the light source relative to the light guide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
    • F21S8/00—Lighting devices intended for fixed installation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/0035—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided on the surface of the light guide or in the bulk of it
    • G02B6/0036—2-D arrangement of prisms, protrusions, indentations or roughened surfaces
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0066—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form characterised by the light source being coupled to the light guide
    • G02B6/0068—Arrangements of plural sources, e.g. multi-colour light sources
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
    • G01N2021/8819—Diffuse illumination, e.g. "sky" by using retroreflecting screen

Definitions

  • the present invention relates to a light irradiation device that irradiates light for surface inspection of a product or the like.
  • a light irradiating device capable of irradiating an object such as a product (hereinafter, also referred to as a work) with as uniform light as possible from all directions to inspect the object.
  • an omnidirectional light irradiation device does not create a shadow due to a curved surface or unevenness in the inspection part of the work, and for example, it can make a print or color difference on the work surface float, so that a sphere, Suitable for inspection of R-shaped workpieces, solder parts, etc.
  • Such an omnidirectional light irradiating device is a pioneer in the form of a dome, but since its height is slightly larger, recently, as shown in Patent Literature 1 and Patent Literature 2, a flat light guide plate has been used. A flat-panel omnidirectional light irradiation apparatus has been developed.
  • This type of flat panel omnidirectional light irradiation device includes a flat light guide plate, and a plurality of LEDs arranged around the light guide plate. Are provided with a gap therebetween.
  • the term “diffusion” in this specification includes, for example, a mode in which light is spread by being reflected on a spherical surface.
  • the diffuse reflection portion Is reflected so as to spread there and is emitted outward from the other plate surface of the light guide plate, that is, only the other plate surface of the light guide plate emits light in a planar manner.
  • a dot layer formed by painting or printing on one plate surface of the light guide plate, or a V-shaped concave portion ( Patent Document 2) and the like.
  • the other plate surface of the light guide plate is arranged toward the work, and the work is illuminated with diffused light emitted from the other plate surface. Then, the work illuminated in this manner is observed and inspected from the opposite side of the light guide plate, that is, from one plate surface side of the light guide plate through the light guide plate by an observation means such as a camera or the naked eye. .
  • the present invention has been made in view of the above-described problem, and reduces the leakage light leaking from the light guide plate to the observation means side as much as possible, thereby reducing the noise component, and irradiating the target object with light.
  • the purpose of the present invention is to provide a light irradiation device capable of improving the uniformity of the light beam and improving the inspection accuracy.
  • the light irradiation device includes a light guide plate having a flat plate shape, and a light source body for introducing light from the side peripheral surface of the light guide plate into the inside thereof, and on one plate surface of the light guide plate.
  • a plurality of concave portions are formed, and light incident on the light guide plate is diffusely reflected by the concave portions, emitted to the outside from the other plate surface of the light guide plate, and irradiated to the inspection object, The object to be inspected can be observed through the light guide plate from one plate surface side of the light guide plate.
  • the surface of the concave portion is formed as a smooth concave curved surface, and in a sectional shape obtained by cutting the concave portion perpendicularly to the plate surface and passing through the center thereof, a tangent line at an opening edge of the concave portion and the plate are formed.
  • a tangent angle which is an angle formed with the surface, is set to be not less than 50 ° and not more than 85 °.
  • the present invention having such a configuration, when a part of the light hitting the concave portion passes through the light guide plate and is emitted from one of the face plates as leak light, the light distribution characteristics and intensity of the leak light are reduced. It is an epoch-making thing which the inventor of the present application paid attention to for the first time to be able to control by adjusting the tangent angle at the opening edge of the concave portion.
  • the present invention by setting the tangent angle at the opening edge of the concave portion to 85 ° or less, the light intensity in the direction perpendicular to the plate surface in the light distribution characteristics of the leaked light is suppressed. It is possible to reduce leaked light incident on the observation means arranged in a direction perpendicular to the surface and to improve the S / N ratio.
  • the tangent angle is set to 50 ° or more, suitable illumination for the object can be secured.
  • the surface of the concave portion is a smooth curved surface, it is possible to improve the uniformity of light diffusely reflected toward the object.
  • the upper limit of the tangent angle is more preferably 80 ° or less, and even more preferably 75 ° or less. Further, the lower limit of the tangent angle is more preferably 52 ° to 53 ° or more, and even more preferably 55 ° or more.
  • Specific examples of the shape of the concave portion include a partially concave spherical shape.
  • the opening diameter of the concave portion is preferably 0.02 mm or more, and in order to suppress reflection of the concave portion on the observation means, the opening diameter of the concave portion is 0.2 mm or less. It is preferable that The uniformity of the irradiation light also depends on the pitch between the concave portions, and from that viewpoint, it is desirable that the average pitch between the concave portions is not less than twice and not more than 5 times the opening diameter.
  • the leakage light leaking from the light guide plate to the observation means side is reduced as much as possible, thereby reducing the noise component and the uniformity of the irradiation light to the object. Can be increased. Therefore, for example, inspection accuracy can be improved.
  • FIG. 3 is a plan view of the light guide plate in the same embodiment as viewed from one plate surface side. It is sectional drawing which cut
  • FIG. 6 It is a figure which shows the light distribution characteristic of the leak light at the tangent angle (theta) of 55 degrees, 50 degrees, and 45 degrees.
  • 6 is a graph showing a relationship between a tangent angle ⁇ and a noise ratio.
  • 6 is a normalized graph showing a relationship between a tangent angle ⁇ and a noise ratio. It is a figure which shows the light distribution characteristic of irradiation light in each case where a tangent angle (theta) is 90 degrees, 75 degrees, 72.2 degrees, 55 degrees, 50 degrees, and 45 degrees.
  • the difference distribution light characteristic between the light distribution characteristic of the irradiation light and the Lambertian light distribution characteristic when the tangent angle ⁇ is 90 °, 75 °, 72.2 °, 55 °, 50 °, and 45 ° is shown. It is a drawing. 9 is a graph showing a change in PV value of a difference between a Lambertian light distribution characteristic and an irradiation light distribution characteristic when a tangent angle ⁇ is used as a parameter. It is a top view showing arrangement of a crevice in other embodiments of the present invention.
  • the inspection light irradiation device 100 has a thin square flat plate shape as a whole. As described in the background art, the inspection light irradiation device 100 is almost omnidirectional with respect to a workpiece W to be inspected. By irradiating uniform diffused light from (approximately 180 ° all-sky direction), a function of canceling a shadow due to a curved surface of the surface of the work W or some unevenness is provided.
  • the light guide plate 1 has a plate shape, a plurality of LEDs 2 serving as a light source disposed around the light guide plate 1, and the LED 2. And a frame 3 for supporting the side peripheral portion of the light guide plate 1.
  • the light guide plate 1 is, for example, a transparent plate made of resin (here, made of PMMA) having an equal thickness and a square shape.
  • a large number of fine recesses 4 are formed on one plate surface 1a of the parallel plate surfaces facing each other, and the other plate surface 1b is formed as a smooth mirror surface.
  • the concave portion 4 is a partially concave spherical shape formed over one plate surface 1a of the light guide plate 1.
  • the concave portion 4 is regularly arranged on a square lattice point. Aligned
  • the LEDs 2 are of, for example, a surface mount type.
  • a plurality of LEDs 2 are mounted in a row on the surface of an elongated wiring board 21.
  • a plurality of colors such as white, red, and blue are available as a lineup of emission colors.
  • the frame 3 has a square frame shape composed of four side members 31, and each side member 31 is open toward the inside and extends in the longitudinal direction. And a bottomed groove 3a extending from one end to the other.
  • the light guide plate 1 is held in such a manner that the peripheral edge of the light guide plate 1 is fitted into the bottomed groove 3a.
  • the wiring board 21 is mounted on the bottom of the bottomed groove 3 a, and the light emitting surface of the LED 2 mounted on the wiring board 21 faces the side peripheral surface 1 c of the light guide plate 1. . With such a configuration, light emitted from the LED 2 is introduced into the inside of the light guide plate 1 from the four-side peripheral surface 1c.
  • the light emitted from the LED 2 enters from the side peripheral surface 1c of the light guide plate 1 and is repeatedly totally reflected between the opposing plate surfaces of the light guide plate 1. Proceed inside. Most of the light hits the concave portion 4 while traveling, diffuses and reflects there, and is emitted outward from the other plate surface 1 b of the light guide plate 1. That is, the other plate surface 1b becomes the light emitting surface. Note that light slightly leaks from the one plate surface 1a, and this leaking light will be described later.
  • reference numeral 8 denotes a transparent cover plate that covers one plate surface 1a of the light guide plate 1.
  • Reference numeral 5 denotes a viscoelastic heat conductor 5 that is interposed between the back surface of the wiring board 21 and the frame 3 and is in close contact with both to conduct the heat of the LED 2 to the frame 3 and radiate the heat.
  • Reference numeral 6 in the figure denotes a spacer 6 interposed between the surface of the wiring board 21 and the side peripheral surface 1c of the light guide plate 1 to keep the distance therebetween constant.
  • the spacer 6 is urged inward (in the opening direction of the bottomed groove 3a) by an elastic body 7 (coil spring or leaf spring) provided on the outside thereof.
  • an elastic body 7 coil spring or leaf spring
  • the wiring board 21 (and the LED 2) is urged inward (in the opening direction of the bottomed groove 3 a) by the heat conductor 5, whereby the wiring board 21 (and the LED 2) is brought into close contact with the rear contact surface of the spacer 6. It is.
  • the spacer 6 is closely interposed between the surface of the wiring board 21 and the side peripheral surface 1c of the light guide plate 1, and the distance therebetween is kept constant.
  • the light guide plate 1 is sandwiched and held by opposing spacers 6 elastically biased inward in a direction parallel to the plate surface.
  • the expansion of the light guide plate 1 due to the heat generated by the lighting of the LED 2 can be absorbed by the contraction of the elastic body 7.
  • the maximum contraction of the elastic body 7 is set to be equal to or larger than the maximum extension of the light guide plate 5 due to expected heat generation.
  • the LED 2 and the wiring board 21 are also pushed outward through the spacers 6 and move, and the maximum contraction of the heat conductor 5 from room temperature is reduced by the maximum of the light guide plate 5.
  • the expansion is set to be equal to or greater than the extension, so that the movement of the LED 2 and the wiring board 21 due to the extension of the light guide plate 5 can be absorbed by the contraction of the heat conductor 5.
  • the inspection system 200 includes a camera C in addition to the inspection light irradiation device 100.
  • the other plate surface 1b of the light guide plate 1 is arranged so as to face the work W, and the work W is illuminated by the diffused light emitted from the other plate surface 1b, while being illuminated in this manner.
  • the workpiece W is picked up by the camera C from the opposite side of the light guide plate 1, that is, from one plate surface 1 a of the light guide plate 1, and the picked-up image is used for inspection.
  • the concave portion 4 has the following mode.
  • a tangent line at the opening edge of the concave portion 4 and the plate surface Tangent angle ⁇ is 55 ° or more and 75 ° or less
  • opening diameter ⁇ of recess 4 is 0.02 mm or more and 0.2 mm or less
  • the pitch p between them is set to be 2 times or more and 5 times or less of the opening diameter ⁇ .
  • the light intensity in the direction perpendicular to the plate surface 1a is suppressed in the light distribution characteristics of the leak light emitted to the camera C side.
  • Leakage light incident on the camera C disposed opposite to the plate surface 1a and in a direction perpendicular to the plate surface 1a is reduced, and the SN ratio in a captured image is improved.
  • the concave portion 4 becomes closer to a flat surface, and the degree of diffusion (uniformity) of the irradiation light diffusely reflected toward the workpiece W decreases, and the tangent angle is set to 55 ° or more. Therefore, it is possible to solve such a problem and secure suitable illumination for the work W.
  • 6 and 7 show light distribution characteristics of leaked light when the tangent angle ⁇ is 90 °, 75 °, 72.2 °, 55 °, 50 °, and 45 °. Note that the light distribution characteristics here are the light distribution characteristics when the present inspection light irradiation device 100 is viewed from a location sufficiently far away as to be regarded as a point light source.
  • FIG. 9 shows a graph obtained by normalizing the noise ratio at 75 ° as 1.
  • the light distribution characteristics of the irradiation light are the light distribution characteristics when the present inspection light irradiation device 100 is viewed from a place sufficiently far away as to be regarded as a point light source. Is preferably equal to the light distribution characteristic according to Lambert's cosine law (hereinafter referred to as Lambertian light distribution characteristic).
  • FIG. 10 shows the result.
  • FIG. 11 shows the difference between the light distribution characteristics of the irradiation light and the Lambertian light distribution characteristics at each tangent angle ⁇ .
  • the tangent angle ⁇ is 72.2 °, the light distribution characteristics of the irradiation light are almost equal to the Lambertian light distribution characteristics.
  • the tangent angle ⁇ is set to 55 ° or more and 75 ° or less as described above, it is possible to reduce the leakage light incident on the camera C as much as possible, and to improve the light distribution characteristics of the irradiation light to a Lambertian distribution suitable for inspection.
  • the optical characteristics can be kept within a predetermined range.
  • the opening diameter ⁇ of the concave portion 4 is 0.02 mm or more, manufacturing difficulty does not become remarkable, and if the opening diameter ⁇ is 0.2 mm or less, reflection on a camera can be greatly reduced. Further, when the pitch p between the concave portions 4 is 2 times or more and 5 times or less of the opening diameter ⁇ , the light distribution characteristics of the irradiation light can be maintained.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the tangent angle ⁇ is not limited to 75 ° or less. As shown in FIG. 9, for example, when the angle is 85 ° or less, the leakage light is reduced by about 10% from 90 ° (hemispherical surface). %, The leakage light is reduced, so that a sufficient effect can be obtained even if the upper limit of the tangent angle is set to 85 ° or 80 ° depending on the required accuracy of the inspection.
  • the tangent angle ⁇ is not limited to 55 ° or more, and may be about 50 ° or more, or about 52 ° or more.
  • the shape of the concave portion is not limited to a partially concave spherical surface, but may be any shape in which the surface is smooth and the tangent angle only gradually increases (or only decreases) as it advances in the circumferential direction.
  • a partial ellipsoidal sphere or a partial ellipsoidal sphere may be used.
  • the arrangement of the concave portions is not limited to a square lattice point, but may be a regular triangular lattice point as shown in FIG. 13, a random arrangement, or a rectangular lattice point.
  • the definition of the pitch (interval) in the case of random is that the interval to the nearest recess is an individual pitch, and the average is the pitch. In the case of a rectangular grid point, an average of a long pitch and a short pitch is used.
  • the leakage light leaking from the light guide plate to the observation means side is reduced as much as possible to reduce the noise component, and the uniformity of the irradiation light to the object is increased, and the inspection accuracy is improved.
  • a light irradiation device that can be improved can be provided.

Abstract

導光板から観察手段側に漏れ出る漏れ光を可及的に減少させてそれによるノイズ成分を低減させるとともに、ワークへの照射光の一様性を高め、検査精度を向上させる。平板状をなす導光板と、該導光板の側周面からその内部に光を導入する光源体とを備えるとともに、前記導光板の一方の板面に複数の凹部が形成されており、前記導光板に入射した光が前記凹部で拡がるように反射し、該導光板の他方の板面から外部に射出されるようにした光照射装置において、前記凹部の表面が滑らかな凹曲面で形成されており、前記凹部を前記板面に垂直にかつその中心を通るように切った断面形状において、該凹部の開口縁での接線と前記板面とのなす角度である接線角が、５０°以上８５°以下であるようにした。

Description

光照射装置
　本発明は、製品の表面検査などのために光を照射する光照射装置に関するものである。
　従来、製品などの対象物（以下、ワークともいう。）に対し、その全方位から可及的に一様な光を照射して検査できるようにした光照射装置（以下、全方位光照射装置ともいう。）が知られている。このような全方位光照射装置は、ワークの検査部位に曲面や凸凹があってもそれによる影を作らず、例えばワーク表面の印字や色の違い等を浮だたせることができるので、球体、Ｒ形状ワーク、半田部分などの検査に適している。
　かかる全方位光照射装置は、ドーム型をもって嚆矢とするが、高さ寸法がやや大きくなるため、近時では、特許文献１や特許文献２に示すように、平板状の導光板を用いて薄型にした平板型全方位光照射装置が開発されている。
　この種の平板型全方位光照射装置は、平板状をなす導光板と、該導光板の周囲に配置された複数のＬＥＤとを備えており、この導光板の一方の板面には、多数の微細な拡散反射部が互いに隙間を空けて設けられている。なお、本明細書でいう「拡散」とは、例えば球面で反射することにより光が拡がる態様も含むものである。
　そして、ＬＥＤから射出されて該導光板の側周面からその内部に入射した光を、導光板の対向する板面間で繰り返し全反射させて進行させつつ、その光のうち、前記拡散反射部に当たった光を、そこで拡がるように反射させ、導光板の他方の板面から外側に射出する、つまり、導光板の他方の板面だけを面状に発光させるようにしてある。前記拡散反射部としては、導光板の一方の板面上に塗装やプリントなどによって形成されたドット層（特許文献１）や、前記一方の板面に穿たれた、例えばＶ字型の凹部（特許文献２）などがある。
　ワークを検査する場合は、前記導光板の他方の板面をワークに向けて配置し、該他方の板面から射出される拡散光でワークを照明する。そして、このようにして照明されたワークを、導光板を挟んで逆側から、すなわち導光板の一方の板面側から該導光板を介して、カメラや肉眼などの観察手段によって観察・検査する。
　しかしながら、この種の平板型全方位光照射装置においては、導光板の内部に導かれた光が、観察手段側の板面（一方の板面）からも若干漏れ、その漏れ光がノイズ成分となって、検査におけるＳＮ比が悪化する場合がある。
　また、前記特許文献２のようなＶ字型の凹部では、導光板からワークに向かって射出される拡散光の配光性に偏りが生じるため、ドーム型のものに比べると、ワークへの照射光の一様性が劣り、検査の精度を高められないという不具合も認められる。
特開２００３－９８０９３号公報 特開２０１６－１３６１２４号公報
　本願発明は、前記不具合に鑑みてなされたものであって、導光板から観察手段側に漏れ出る漏れ光を可及的に減少させてそれによるノイズ成分を低減させるとともに、対象物への照射光の一様性を高め、検査精度を向上させることのできる光照射装置を提供すべく図ったものである。
　すなわち、本発明に係る光照射装置は、平板状をなす導光板と、該導光板の側周面からその内部に光を導入する光源体とを備えるとともに、前記導光板の一方の板面に複数の凹部が形成されたものであり、前記導光板に入射した光が前記凹部で拡散反射し、該導光板の他方の板面から外部に射出されて、検査対象物に照射されるとともに、該検査対象物を、導光板の一方の板面側から該導光板を通じて観察できるようにしたものである。
　そして、前記凹部の表面が滑らかな凹曲面で形成されており、前記凹部を前記板面に垂直にかつその中心を通るように切った断面形状において、該凹部の開口縁での接線と前記板面とのなす角度である接線角が、５０°以上８５°以下に設定されていることを特徴とする。
　このような構成の本願発明は、前記凹部に当たった光のうち、一部が導光板を透過して一方の面板側から漏れ光として射出されるところ、その漏れ光の配光特性や強度を、凹部開口縁における接線角の調整によってコントロール可能であることを本願発明者が初めて着目してなされた画期的なものである。
　すなわち、本願発明によれば、凹部開口縁での前記接線角を８５°以下に設定することによって、漏れ光の配光特性において板面と垂直な方向の光強度が抑制されるので、該板面と対向するように垂直な方向を向いて配置される観察手段に対して入射する漏れ光を低減させることができ、ＳＮ比を向上させることが可能になる。
　他方、接線角を小さくし過ぎると、凹部が平坦面に近くなり、対象物側へ拡散反射する光（以下、照射光ともいう。）の拡散度合い（一様性）が低くなるところ、該接線角を５０°以上としているので、対象物に対する好適な照明を担保することができる。
　また、凹部の表面が滑らかな曲面なので、対象物側へ拡散反射する光の一様性を向上させることができる。
　前記接線角は、上限においては、８０°以下であればより好ましく、７５°以下であればさらに好適である。また、該接線角は、下限においては、５２°～５３°以上であればより好ましく、５５°以上であればさらに好適である。
　前記凹部の具体的な形状としては、部分凹球状のものを挙げることができる。
　凹部の加工を可能ならしめるには、該凹部の開口径が０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、凹部の観察手段への写り込みを抑制するには、該凹部の開口径が０．２ｍｍ以下であることが好ましい。
　照射光の一様性には、凹部間のピッチも関係しており、その観点から言えば、凹部間の平均ピッチが前記開口径の２倍以上５倍以下であることが望ましい。
　このような構成の光照射装置によれば、導光板から観察手段側に漏れ出る漏れ光を可及的に減少させてそれによるノイズ成分を低減させるとともに、対象物への照射光の一様性を高めることができる。したがって、例えば検査精度を向上させることができるようになる。
本実施形態における検査用光照射装置を含む検査システムを示す斜視図である。 同実施形態における検査用光照射装置の縦断面図である。 同実施形態における導光板の一方の板面側から見た平面図である。 同実施形態における凹部を、板面に垂直にかつその中心を通るように切断した断面図である。 同実施形態における凹部を平面方向から視た部分拡大図である。 接線角θが９０°、７５°、７２．２°それぞれでの漏れ光の配光特性を示す図面である。 接線角θが５５°、５０°、４５°それぞれでの漏れ光の配光特性を示す図面である。 接線角θとノイズ比との関係を示すグラフである。 接線角θとノイズ比との関係を示す正規化したグラフである。 接線角θを９０°、７５°、７２．２°、５５°、５０°、４５°としたときのそれぞれでの照射光の配光特性を示す図面である。 接線角θを９０°、７５°、７２．２°、５５°、５０°、４５°としたときのそれぞれでの照射光の配光特性とランバーシアン配光特性との差分配光特性を示す図面である。 接線角θをパラメータとしたときの、ランバーシアン配光特性と照射光配光特性との差分のＰＶ値の変化を示すグラフである。 本発明の他の実施形態における凹部の配列を示す平面図である。
１００　検査用光照射装置
２００　検査システム
１　導光板
１ａ　一方の板面
１ｂ　他方の板面
１ｃ　側周面
２　ＬＥＤ（発光体）
４　凹部
　以下、本発明に係る光照射装置の一例たる検査用光照射装置１００の一実施形態を図面に基づいて説明する。
　この検査用光照射装置１００は、図１に示すように、全体として薄い正方平板状をなすものであり、背景技術でも述べたが、検査の対象物であるワークＷに対し、そのほぼ全方位（ほぼ１８０°全天方向）から一様な拡散光を照射することによって、ワークＷの表面の曲面や多少の凸凹などによる影をキャンセルする機能を有している。
　より具体的に説明すると、このものは、図１、図２に示すように、平板状をなす導光板１と、該導光板１の周囲に配置された光源体たる複数のＬＥＤ２と、該ＬＥＤ２を収容するとともに前記導光板１の側周縁部を支持する枠体３とを備えたものである。
　前記導光板１は、図３に示すように、例えば等厚で正方形状をなす樹脂製（ここでは、ＰＭＭＡ製）の透明板である。そして、互いに対向する平行な板面のうちの一方の板面１ａには多数の微細な凹部４が形成してあり、他方の板面１ｂは平滑鏡面に形成してある。
　前記凹部４は、図４、図５に示すように、前記導光板１の一方の板面１ａに亘って穿たれた部分凹球状のものであり、この実施形態では、正方格子点上に規則正しく整列させてある、
　前記ＬＥＤ２は、図２に示すように、例えば表面実装型のものであり、この実施形態では、複数のＬＥＤ２が細長い配線基板２１の表面に１列に搭載されている。なお、発光色のラインナップとしては、白色、赤色、青色など、複数色が取り揃えられている。
　前記枠体３は、図１、図２に示すように、４つの辺部材３１からなる正方枠状をなすものであり、各辺部材３１には、内側に向かって開口し、かつ、長手方向に沿って端から端まで延びる有底溝３ａが設けてある。そして、この有底溝３ａに、前記導光板１の周縁部が嵌め込まれるようにして保持されている。また、該有底溝３ａの底部には前記配線基板２１が装着されており、この配線基板２１に搭載されたＬＥＤ２の発光面が導光板１の側周面１ｃに臨むように構成されている。このような構成によって、ＬＥＤ２から射出された光が、導光板１の四辺側周面１ｃからその内部に導入されるようにしてある。
　このような構成の検査用光照射装置１００においては、ＬＥＤ２から射出された光は、導光板１の側周面１ｃから入射し、該導光板１の対向する板面間で繰り返し全反射しながら内部を進行する。そして、その光のほとんどは、進行中に凹部４に当たり、そこで拡散反射して、導光板１の他方の板面１ｂから外側に射出される。つまり、他方の板面１ｂが発光面となるわけである。なお、一方の板面１ａからも光はわずかに漏れ出るが、この漏れ光については後述する。
　なお、図２中、符号８は、導光板１の一方の板面１ａ上を覆う透明なカバー板である。符号５は、配線基板２１の裏面と枠体３との間に介在するとともに双方に密着して、ＬＥＤ２の熱を枠体３に伝導し放熱させる、粘弾性を有する熱伝導体５である。また、同図中符号６は、配線基板２１の表面と導光板１の側周面１ｃとの間に介在して、これらの間の距離を一定に保つスペーサ６である。
　このスペーサ６は、本実施形態では、図２に示すように、その外側に設けられた弾性体７（コイルばねや板バネ）によって、内側（有底溝３ａの開口方向）に向かって付勢してあり、このことによって、スペーサ６の表側当たり面が導光板１の側周面１ｃに密接するようにしてある。
　他方、配線基板２１（及びＬＥＤ２）は、前記熱伝導体５によって、内側（有底溝３ａの開口方向）に向かって付勢してあり、このことによって、スペーサ６の裏側当たり面に密接させてある。
　かかる構造によって、スペーサ６が配線基板２１の表面と導光板１の側周面１ｃとの間に密接介在することとなり、その間の距離が一定に保たれるわけである。
　この構造について付言しておくと、前記導光板１は、その板面と平行な方向においては、互いに内側に向かって弾性付勢された対向するスペーサ６によって挟まれて保持されているわけであるが、この構造によって、ＬＥＤ２の点灯発熱による導光板１の伸びを、前記弾性体７が縮むことによって吸収することができるようにしている。そのために、前記弾性体７の最大縮みしろを、予想される発熱による導光板５の最大伸びしろ以上に設定してある。
　他方、前記導光板１の伸びによって、ＬＥＤ２及び配線基板２１も、スペーサ６を介して外側に押され、移動するところ、熱伝導体５の室温からの最大縮みしろが、導光板５の前記最大伸びしろ以上に設定してあって、導光板５の伸びによるＬＥＤ２及び配線基板２１の移動を、前記熱伝導体５が縮むことによって吸収することができるようにしてある。
　次に、このような構成の検査用光照射装置１００を用いた検査システム２００について簡単に説明する。この検査システム２００は、図１、図２に示すとおり、検査用光照射装置１００の他に、カメラＣを備えている。そして、前記導光板１の他方の板面１ｂがワークＷを向くように配置されて、該他方の板面１ｂから射出される拡散光によりワークＷが照明される一方、このようにして照明されたワークＷを、導光板１を挟んで逆側から、すなわち導光板１の一方の板面１ａ側からカメラＣによって撮像し、その撮像画像が検査に供されるようにしてある。
　さて、以上に述べた前提構成の下、この実施形態においては、この凹部４を以下のような態様としている。
　すなわち、図４、図５に示すように、この凹部４の中心を通り、かつ前記板面１ａに垂直な面で切った断面形状において、該凹部４の開口縁での接線と前記板面とのなす角度である接線角θ（あるいは、凹部４の中心角αの１／２）が５５°以上７５°以下、凹部４の開口径φが０．０２ｍｍ以上０．２ｍｍ以下、かつ、凹部４間のピッチｐが前記開口径φの２倍以上５倍以下に設定してある。
　このようなものであれば、前記導光板１に入射した光のうち、カメラＣ側に出射される漏れ光の配光特性において、板面１ａと垂直な方向の光強度が抑制されるので、該板面１ａと対向するように、かつその垂直な方向を向いて配置されるカメラＣに入射する漏れ光が低減し、撮像画像でのＳＮ比が向上する。
　他方、接線角θを小さくし過ぎると、凹部４が平坦面に近くなり、ワークＷ側へ拡散反射する照射光の拡散度合い（一様性）が低くなるところ、該接線角を５５°以上としているので、そのような不具合を解消して、ワークＷに対する好適な照明を担保することができる。
　次に、上述した効果を検証した具体的なシミュレーション結果を示す。
　まず、カメラＣ側に漏れる漏れ光の特性について述べる。
　図６、図７は、接線角θが９０°、７５°、７２．２°、５５°、５０°、４５°での漏れ光の各配光特性である。なお、ここでの配光特性は、本検査用光照射装置１００を点光源とみなせるだけ十分離れた箇所からみたときの配光特性のことである。
　同図から明らかのように、接線角θが小さくなるほど、垂直方向を中心にした低い光強度の角度範囲が広がっていくことがわかる。
　そこで、カメラＣには、精々、一方の板面１ａに垂直な方向±２０°の範囲で出る漏れ光が入射することから、その角度範囲での漏れ光の光エネルギの、ワークＷ側に射出される光エネルギに対する割合をノイズ比（ＳＮ比の逆数）として、接線角θとノイズ比との関係を調べた。その結果を図８に示す。
　図８から明らかのように、接線角θが７５°において、ノイズ比に明らかな変曲点があり、これを超えるとノイズ比が急激に大きくなる。
　他方、接線角θを７５°から小さくしていくと、ノイズ比は６０°くらいまではほぼ同じで、それ以下になるとゆっくりと小さくなっていく。図９に７５°でのノイズ比を１として正規化したグラフを示す。
　このような傾向は、凹部４の開口径、凹部４のピッチ、導光板１の厚み又は導光板１の素材を変えても同様であることが図８、図９から看取できる。
　そして、これら図８、図９からすると、漏れ光に関しては、接線角θを７５°以下にすれば非常に好適であることがわかる。
　次に、ワークＷ側に射出される照射光の特性に関して述べる。
　検査のためには、前記照射光の配光特性（ここでの配光特性は、本検査用光照射装置１００を点光源とみなせるだけ十分離れた箇所からみたときの配光特性である。）が、ランベルトの余弦則に則った配光特性（以下、ランバーシアン配光特性という。）とできるだけ等しいことが好ましいとされている。
　そこで、接線角θを９０°、７５°、７２．２°、５５°、５０°、４５°としたときのそれぞれでの照射光の配光特性を調べた。その結果が図１０である。また、前記各接線角θにおける照射光の配光特性とランバーシアン配光特性との差分を図１１に示す。接線角θが７２．２°において照射光の配光特性はランバーシアン配光特性とほぼ等しくなり、その前後では、ややずれることがわかる。
　これらから、接線角θをパラメータとして、ランバーシアン配光特性と照射光配光特性との差分のＰＶ値がどのように変わるのかを調べ、グラフ化した。これが図１２である。同図から約７２°で配光特性がランバーシアン配光特性に最も近似し、５５°を下回るとＰＶ値が急激に悪化しだすことがわかる。そして、凹部４の開口径、凹部４のピッチ、導光板１の厚み又は導光板１の素材を変えても同様であることが同図から看取できる。
　したがって、前述したように接線角θを５５°以上７５°以下にすれば、カメラＣに入射する漏れ光を可及的に低減でき、かつ、照射光の配光特性を検査に好ましいランバーシアン配光特性の所定範囲内に収めることができる。
　また、凹部４の開口径φが０．０２ｍｍ以上であれば、製造の困難性が顕著になることはないし、該開口径φ０．２ｍｍ以下であればカメラへの映り込みを大きく低減できる。さらに凹部４間のピッチｐが前記開口径φの２倍以上５倍以下であれば、照射光の配光特性を維持できる。
　なお、本発明は前記実施形態に限られない。
　例えば、接線角θは、７５°以下に限られない。図９に示すように、例えば８５°以下であれば、９０°（半球面）より約１０％も漏れ光が低減されるし、８０°以下であれば、９０°（半球面）より約２０％も漏れ光が低減されるので、検査の要求精度によっては、接線角の上限を８５°や８０°としても十分な効果を得られる。
　同様な理由から、接線角θは、５５°以上に限られず、約５０°以上であってもよいし、約５２°以上であっても構わない。
　さらに、凹部の形状は部分凹球面のみならず、その表面が滑らかに、かつ、周方向に進むにつれ、接線角度が徐々に増加のみ（又は減少のみ）するような形態であればよい。例えば部分楕円球面や部分長円球面などでも構わない。
　また、凹部の配列は正方格子点のみならず、図１３に示すように正三角格子点でもよいし、ランダムな配列や、矩形格子点でもよい。ランダムの場合のピッチ（間隔）の定義は、最も近い凹部までの間隔を個別ピッチとして、その平均をピッチとする。また、矩形格子点の場合は、長いピッチと短いピッチの平均とする。
　その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
　本願発明によれば、導光板から観察手段側に漏れ出る漏れ光を可及的に減少させてそれによるノイズ成分を低減させるとともに、対象物への照射光の一様性を高め、検査精度を向上させることのできる光照射装置を提供することができる。

 

Claims (10)

  1. 　平板状をなす導光板と、該導光板の側周面からその内部に光を導入する光源体とを備えるとともに、前記導光板の一方の板面に複数の凹部が形成されており、
    　前記導光板に入射した光が前記凹部で拡がるように反射し、該導光板の他方の板面から外部に射出されて、所定の対象物に照射されるとともに、該対象物を、該導光板の一方の板面側から該導光板を通じて観察できるように構成したものであって、
    　前記凹部の表面が滑らかな凹曲面で形成されており、
    　前記凹部を前記板面に垂直にかつその中心を通るように切った断面形状において、該凹部の開口縁での接線と前記板面とのなす角度である接線角が、５０°以上８５°以下であることを特徴とする光照射装置。
  2. 　前記接線角が７５°以下である請求項１記載の光照射装置。
  3. 　前記接線角が５５°以上である請求項１記載の光照射装置。
  4. 　前記凹部が、部分凹球状のものである請求項１記載の光照射装置。
  5. 　前記凹部の開口径が、０．０２ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である請求項１記載の光照射装置。
  6. 　隣り合う前記凹部間の間隔が、凹部開口径の２倍以上５倍以下である請求項１記載の光照射装置。
  7. 　平板状をなす導光板と、該導光板の側周面からその内部に光を導入する光源体とを備えるとともに、前記導光板の一方の板面に複数の凹部が形成されており、
    　前記導光板に入射した光が前記凹部で拡がるように反射し、該導光板の他方の板面から外部に射出されて、所定の対象物に照射されるとともに、該対象物を、該導光板の一方の板面側から該導光板を通じて観察できるようにしたものであって、
    　前記凹部が中心角を１８０°未満とする部分凹球面であることを特徴とする光照射装置。
  8. 　前記中心角が１００°以上１７０°以下であることを特徴とする請求項７記載の光照射装置。
  9. 　前記中心角が１１０°以上１５０°以下である請求項１記載の光照射装置。
  10. 　請求項１記載の光照射装置と、前記導光板の一方の面側に配置されたカメラとを備え、前記導光板の他方の面側に配置された対象物を、該導光板を介して前記カメラで撮像することにより検査できるように構成されたものであることを特徴とする検査システム。

     
PCT/JP2019/033869 2018-08-31 2019-08-29 光照射装置 WO2020045557A1 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201980055311.9A CN112585451A (zh) 2018-08-31 2019-08-29 光照射装置
US17/270,603 US11761900B2 (en) 2018-08-31 2019-08-29 Light projecting device
SG11202101854YA SG11202101854YA (en) 2018-08-31 2019-08-29 Light projecting device
EP19855121.0A EP3845888A4 (en) 2018-08-31 2019-08-29 LIGHT PROJECTION DEVICE
JP2020539581A JPWO2020045557A1 (ja) 2018-08-31 2019-08-29 光照射装置
KR1020217004598A KR20210049794A (ko) 2018-08-31 2019-08-29 광 조사 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018163523 2018-08-31
JP2018-163523 2018-08-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020045557A1 true WO2020045557A1 (ja) 2020-03-05

Family

ID=69643642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2019/033869 WO2020045557A1 (ja) 2018-08-31 2019-08-29 光照射装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11761900B2 (ja)
EP (1) EP3845888A4 (ja)
JP (1) JPWO2020045557A1 (ja)
KR (1) KR20210049794A (ja)
CN (1) CN112585451A (ja)
SG (1) SG11202101854YA (ja)
WO (1) WO2020045557A1 (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002109928A (ja) * 2000-09-27 2002-04-12 Yuka Denshi Co Ltd 導光体及びこれを用いた面照明装置と液晶ディスプレイ装置
JP2003098093A (ja) 2001-09-25 2003-04-03 Ccs Inc 検査用照明装置
WO2006120932A1 (ja) * 2005-05-12 2006-11-16 Nippon Sheet Glass Company, Limited 導光体及び画像読取装置
JP2007311365A (ja) * 1996-09-24 2007-11-29 Seiko Epson Corp 液晶表示装置および電子機器
JP2010112735A (ja) * 2008-11-04 2010-05-20 Imac Co Ltd 検査用照明装置
JP2011192484A (ja) * 2010-03-12 2011-09-29 Nanocreate Co Ltd 導光板及びこの導光板を備える照明装置
JP2012528467A (ja) * 2009-05-29 2012-11-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 照明デバイスおよび該照明デバイスの製造方法
JP2016136124A (ja) 2015-01-24 2016-07-28 株式会社イマック 検査用照明装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100498721B1 (ko) * 1996-09-24 2005-11-28 세이코 엡슨 가부시키가이샤 조명장치 및 그 장치를 사용하는 표시기기
JP2004349182A (ja) * 2003-05-23 2004-12-09 Omron Corp フロントライト及び反射型表示装置
CN101248348B (zh) * 2005-08-26 2012-05-30 Ccs株式会社 光照射装置和光学构件
JP5951928B2 (ja) 2007-09-06 2016-07-13 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 光出力の領域制御を提供する光抽出構造体を有する光ガイド
JP2013206834A (ja) * 2012-03-29 2013-10-07 Toppan Printing Co Ltd 導光体を用いた照明ユニット及びこれを備えた表示装置
KR20190077440A (ko) 2016-10-31 2019-07-03 가부시키가이샤 이맥 검사 장치

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007311365A (ja) * 1996-09-24 2007-11-29 Seiko Epson Corp 液晶表示装置および電子機器
JP2002109928A (ja) * 2000-09-27 2002-04-12 Yuka Denshi Co Ltd 導光体及びこれを用いた面照明装置と液晶ディスプレイ装置
JP2003098093A (ja) 2001-09-25 2003-04-03 Ccs Inc 検査用照明装置
WO2006120932A1 (ja) * 2005-05-12 2006-11-16 Nippon Sheet Glass Company, Limited 導光体及び画像読取装置
JP2010112735A (ja) * 2008-11-04 2010-05-20 Imac Co Ltd 検査用照明装置
JP2012528467A (ja) * 2009-05-29 2012-11-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 照明デバイスおよび該照明デバイスの製造方法
JP2011192484A (ja) * 2010-03-12 2011-09-29 Nanocreate Co Ltd 導光板及びこの導光板を備える照明装置
JP2016136124A (ja) 2015-01-24 2016-07-28 株式会社イマック 検査用照明装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP3845888A1 (en) 2021-07-07
SG11202101854YA (en) 2021-03-30
EP3845888A4 (en) 2022-05-04
CN112585451A (zh) 2021-03-30
KR20210049794A (ko) 2021-05-06
US20210247326A1 (en) 2021-08-12
JPWO2020045557A1 (ja) 2021-09-24
US11761900B2 (en) 2023-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4649553B2 (ja) 導光板及びこれを有する液晶ディスプレー装置
TW201426104A (zh) 可調整光場結構之背光模組
JPH112598A (ja) 微細領域の照明装置
US11639899B2 (en) Lighting apparatus for emitting uniform light
WO2020045557A1 (ja) 光照射装置
WO2019049871A1 (ja) 発光装置、面光源装置および表示装置
CN103133993B (zh) 透镜和照明装置
KR20110013044A (ko) 엘이디 조명장치 및 엘이디 조명장치의 면발광 방법
JP2014215067A (ja) 照明装置及び検査装置
TWI400441B (zh) 照明系統及用於提供一列光線之方法
CN116908092A (zh) 整合型光源装置及其光学检测系统
CN206555823U (zh) 用于pcb板自动检测装置的灯箱
JP2021085808A (ja) 光照射装置
TWI582502B (zh) 背光模組及顯示裝置
JP2010146986A (ja) 照明用レンズ、発光装置、面光源および液晶ディスプレイ装置
JP2011222239A (ja) 照明装置および検査装置
TW201632965A (zh) 顯示裝置以及光源模組
KR102185960B1 (ko) 반사도트들이 구비된 검사용 조명장치
JP2015195082A (ja) 面状光源装置
CN210572027U (zh) Oled屏偏光检测装置
JP7144578B1 (ja) 照明装置
JP6678524B2 (ja) 照明装置
US20120236539A1 (en) Light guide plate, light source device, and display device
JP2014143139A (ja) 照明装置
WO2012042931A1 (ja) 擬似太陽光照射装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19855121

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2020539581

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019855121

Country of ref document: EP

Effective date: 20210331