WO2020017047A1

WO2020017047A1 - 蒸着装置

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Publication number: WO2020017047A1
Application number: PCT/JP2018/027373
Authority: WO
Inventors: 裕士今田; 優人塚本
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2018-07-20
Filing date: 2018-07-20
Publication date: 2020-01-23

Abstract

ラインソース蒸着源（１）と、水晶振動子（２）とを備えた蒸着装置（３）であって、第１ノズル（５Ｓ）から水晶振動子（２）に蒸着粒子を導く第１導通開口（７Ｋ）を有する管部（７）と、防着板（６・８）とを備え、管部（７）の第１ノズル（５Ｓ）側は、防着板（６）に接続されており、防着板（６）には、第２導通開口（ＤＫ）が形成されており、第２導通開口（ＤＫ）の少なくとも一部は、第１導通開口（７Ｋ）より大きい。

Description

蒸着装置

　本発明は、基板に対して成膜を行う蒸着装置に関する。

　近年、さまざまな表示デバイスが開発されており、特に、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた表示デバイスや、無機発光ダイオードまたはＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えた表示デバイスは、低消費電力化、薄型化および高画質化などを実現できる点から、高い注目を浴びている。

　このような表示デバイスの製造工程においては、表示画面の大型化、製造コストの抑制、等の観点から、多くの場合、基板として、大面積基板である大型のマザー基板が用いられる。このような大型の基板に蒸着膜の成膜を行う場合、ラインソース蒸着源（リニアソース蒸着源とも称する）を使用し、基板とラインソース蒸着源との相対位置を変化させることにより、例えば、基板及びラインソース蒸着源の何れか一方を他方に対して走査しながら蒸着を行うスキャン蒸着が行われる（例えば、下記特許文献１参照）。

日本国公開特許公報「特開２０１４‐０７７１９３号」公報（２０１４年０５月０１日公開）

　ところで、前記のような従来の蒸着装置は、蒸着粒子の蒸着レートを測定するための水晶振動子を備えており、当該水晶振動子に対し、ノズルから蒸着粒子を飛翔させて付着させることによって、蒸着レートをモニタリングしながら、蒸着処理を精度よく行うようになっていた。

　しかしながら、前記のような従来の蒸着装置では、蒸着レートの検出精度が低下することがあった。特に、前記のような従来の蒸着装置では、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合に、ノズルから水晶振動子に至る経路の途中部分に蒸着粒子が堆積されることがあった。このため、従来の蒸着装置では、ノズルから水晶振動子に至る経路の途中部分に堆積された蒸着粒子に起因して、水晶振動子に適切に蒸着粒子を付着することができない。すなわち、水晶振動子に、本来、付着されるべき蒸着粒子の量より少ない量の蒸着粒子が付着され、蒸着レートの検出精度の低下を招いてしまうことがあった。

　本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる蒸着装置を提供することを目的とする。

　本発明の蒸着装置は、前記の課題を解決するために、
　蒸着粒子を射出する複数のノズルを有する蒸着源と、前記蒸着粒子の蒸着レートを測定するための水晶振動子と、を備え、基板に対して成膜を行う蒸着装置であって、
　前記複数のノズル中の一部のノズルである第１ノズルと前記水晶振動子との間に設けられ、かつ、前記第１ノズルから前記水晶振動子に前記蒸着粒子を導く第１導通開口を有する管部と、
　成膜不要領域への前記蒸着粒子の飛翔を防止する防着板と、を備え、
　前記管部の前記第１ノズル側は、前記防着板に接続されており、
　前記防着板には、第２導通開口が形成されており、
　前記第２導通開口の少なくとも一部は、前記第１導通開口より大きい。

　前記蒸着装置は、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる。

　本発明の一態様によれば、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる蒸着装置を提供できる。

（ａ）は、実施形態１の蒸着装置の概略構成を示す図であり、（ｂ）は、実施形態１の蒸着装置に備えられた防着板の概略構成を示す図である。（ａ）は、実施形態２の蒸着装置の概略構成を示す図であり、（ｂ）は、実施形態２の蒸着装置に備えられたレボルバー型水晶振動子の概略構成を示す図である。実施形態３の蒸着装置に備えられた防着板の概略構成を示す図である。実施形態４の蒸着装置に備えられた防着板の概略構成を示す図である。実施形態５の蒸着装置に備えられた防着板及びレボルバー型水晶振動子の概略構成を示す図である。比較例の蒸着装置の問題点を説明するための図である。

　本発明の実施の形態について図１から図６に基づいて説明すれば、次の通りである。以下、説明の便宜上、特定の実施形態にて説明した構成と同一の機能を有する構成については、同一の符号を付記し、その説明を省略する場合がある。

　〔実施形態１〕
　図１（ａ）は、蒸着装置３の概略構成を示す図であり、図１の（ｂ）は、蒸着装置３に備えられた防着板６の概略構成を示す図である。

　図１の（ａ）に図示するように、蒸着装置３は、蒸着粒子を射出する複数のノズルである第１ノズル５Ｓ及び第２ノズル５Ｎを有するラインソース蒸着源１と、前記蒸着粒子の蒸着レートを測定するための水晶振動子２と、を備え、基板５２に対して成膜を行う蒸着装置である。

　ラインソース蒸着源１には、蒸着粒子を射出する第１ノズル５Ｓ及び第２ノズル５Ｎが、ラインソース蒸着源１の走査方向に直交する方向（図中の左右方向）に沿って、ライン状に一列で設けられている。そして、例えば、カラー表示を行う表示デバイスを製造するためには、発光色が異なる発光層を、画素毎に塗り分ける必要がある。このとき、高精細化のためには、図示していない蒸着マスクとして、高精度なマスク開口が設けられたＦＭＭ（Fine Metal Mask；ファインメタルマスク）が使用される。ラインソース蒸着源１の複数の第１ノズル５Ｓ及び第２ノズル５Ｎから射出された蒸着粒子は、図示していない蒸着マスクのマスク開口を介して、基板５２に、所定のパターンの蒸着膜として成膜される。

　本実施形態においては、蒸着粒子を射出する第１ノズル５Ｓ及び第２ノズル５Ｎを、ライン状に一列で設けた場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、蒸着粒子を射出する第１ノズル５Ｓ及び第２ノズル５Ｎは、複数列で設けてもよい。

　ラインソース蒸着源１は、蒸着材料が格納された坩堝４を含み、坩堝４の天面には、加熱された前記蒸着材料が飛翔して出てくる第１ノズル５Ｓ及び第２ノズル５Ｎが配置されている。

　ラインソース蒸着源１は、さらに、成膜不要領域への前記蒸着材料の飛翔防止用の防着板６・８と、前記蒸着材料の飛翔角度を制限する角度制限板９・１０とを備えている。

　そして、蒸着装置３は、前記蒸着粒子の蒸着レートを測定するための水晶振動子２を備えている。水晶振動子２に隣接する防着板６には、複数のノズル中の一部である第１ノズル５Ｓと水晶振動子２との間に設けられ、かつ、第１ノズル５Ｓから水晶振動子２に前記蒸着粒子を導く第１導通開口７Ｋを有する管部７が備えられている。

　第１ノズル５Ｓは、水晶振動子２の近傍に配置されたノズルであり、本実施形態においては、第１ノズル５Ｓを水晶振動子２に向けて傾けて形成しているが、これに限定されることはない。このように、第１ノズル５Ｓを水晶振動子２に向けて傾けて形成することで、水晶振動子２により確実に蒸着粒子を付着できる。なお、第２ノズル５Ｎは、水晶振動子２から第１ノズル５Ｓよりも離れた位置に配置されたノズルである。

　図１の（ｂ）に図示しているように、水晶振動子２に隣接する防着板６は、複数枚（本実施形態においては３枚）の孔開け加工が施された孔開きシート１２・１３・１４と、孔開きシート１２・１３・１４と管部７とを接続するための接続部材１１とを含む。

　孔開きシート１２には一つの開口１２Ｋが形成されており、孔開きシート１３には一つの開口１３Ｋが形成されており、孔開きシート１４には一つの開口１４Ｋが形成されており、これらの３枚の孔開きシート１２・１３・１４を密接して気密に配置したときに、これらの３つの開口１２Ｋ・１３Ｋ・１４Ｋが第２導通開口ＤＫを構成する。

　すなわち、防着板６は、管部７側に配置された孔開きシート１２と、第１ノズル５Ｓ側に配置された孔開きシート１４と、孔開きシート１２と孔開きシート１４との間に配置された孔開きシート１３とを備えている。また、防着板６においては、接続部材１１の開口１１Ｋ、開口１２Ｋ、開口１３Ｋ及び開口１４Ｋが重畳するように配置されている。

　そして、孔開きシート１２・１３・１４と、開口１１Ｋを有する接続部材１１とを密接して気密に配置するとともに、接続部材１１の開口１１Ｋ内に管部７を挿入することで、管部７と、防着板６とを気密に接続できる。

　本実施形態においては、３枚の孔開きシート１２・１３・１４を用いた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、用いる孔開きシートの枚数は、１枚または、２枚であっても、４枚以上であってもよい。また、本実施形態においては、３枚の孔開きシート１２・１３・１４のそれぞれに、一つの開口１２Ｋ・１３Ｋ・１４Ｋを設けた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、１枚当たりに形成する開口の数などは適宜決定することができる。なお、孔開きシート１２・１３・１４は、例えば、孔開けのためにパンチングされたメタルシートなどであってもよい。

　蒸着装置３においては、第２導通開口ＤＫの少なくとも一部が第１導通開口７Ｋより大きいので、第２導通開口ＤＫが、蒸着粒子の付着物２５ａ・２５ｂにより容易に狭められてしまうのを抑制できる。したがって、蒸着装置３は、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる。

　また、本実施形態においては、第１ノズル５Ｓからの蒸着粒子を、管部７の第１導通開口７Ｋに導くための第２導通開口ＤＫの表面積を増加させるため、孔開きシート１３の開口１３Ｋの大きさは、孔開きシート１２の開口１２Ｋの大きさより大きく形成し、孔開きシート１４の開口１４Ｋの大きさは、孔開きシート１２の開口１２Ｋの大きさ及び孔開きシート１３の開口１３Ｋの大きさより大きく形成した。したがって、第２導通開口ＤＫは、管部７側より第１ノズル５Ｓ側において、広く形成されているとともに、階段状に形成されている。

　本実施形態においては、第２導通開口ＤＫが、管部７側から第１ノズル５Ｓ側に行く程、その広さが段階的に大きくなるようにした場合を一例に挙げて説明したが、第２導通開口ＤＫの表面積を増加できるのであれば、これに限定されることはない。

　図６は、比較例の蒸着装置の問題点を説明するための図である。

　図６に図示する蒸着装置の場合、第１導通開口７Ｋを有する管部７が防着板である接続部材６１の開口６１Ｋに挿入され、管部７と防着板である接続部材６１とが気密に接続されている。しかしながら、このような構成の場合、比較的短時間の蒸着によっても、防着板である接続部材６１に形成された前記蒸着粒子を第１導通開口７Ｋに導く開口６１Ｋが、前記蒸着粒子の接続部材６１の開口６１Ｋ周辺部分への付着物６２ａ・６２ｂにより容易に狭められてしまう。

　したがって、図６に図示する蒸着装置の場合、使用初期に比べると、使用時間の経過に伴い、水晶振動子２へ付着する前記蒸着粒子の量が著しく減少するため、前記蒸着粒子の蒸着レートのモニタリングを精度高く行うのは困難である。

　以上のように、図１の（ａ）及び図１の（ｂ）に図示する蒸着装置３においては、第２導通開口ＤＫの表面積は、図６に図示する防着板である接続部材６１の開口６１の表面積より大きい。したがって、図１の（ａ）及び図１の（ｂ）に図示する蒸着装置３の場合は、図６に図示する蒸着装置の場合と比較すると、より長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる。

　なお、本実施形態においては、管部７は、円筒状部材により構成され、第１導通開口７Ｋも円筒状に形成され、この形状に合わせて、開口１１Ｋと、第２導通開口ＤＫを構成する開口１２Ｋ、開口１３Ｋ及び開口１４Ｋとを、円形の開口に形成した場合を一例に挙げて説明するが、管部７の形状及び第１導通開口７Ｋの形状と、開口１１Ｋの形状と、第２導通開口ＤＫを構成する開口１２Ｋの形状、開口１３Ｋの形状及び開口１４Ｋの形状がこれに限定されることはない。

　また、防着板６に含まれる３枚の孔開きシート１２・１３・１４は、それぞれ個別に分離することができるので、必要に応じて、１枚ずつ交換することができる。

　また、本実施形態においては、１つの水晶振動子２の大きさと、管部７における第１導通開口７Ｋの大きさとを等しく形成したが、これに限定されることはない。

　〔実施形態２〕
　次に、図２に基づき、本発明の実施形態２について説明する。本実施形態の蒸着装置３’には、複数の水晶振動子５１ａ～５１ｌが、管部７に対して、回転可能に配列されたレボルバー型水晶振動子５０が備えられている点において、実施形態１とは異なり、その他については実施形態１において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図２の（ａ）は、蒸着装置３’の概略構成を示す図であり、図２の（ｂ）は、蒸着装置３’に備えられたレボルバー型水晶振動子５０の概略構成を示す図である。

　図示しているように、レボルバー型水晶振動子５０には、１２個の水晶振動子５１ａ～５１ｌが、管部７に対して、回転可能に配列されている。

　レボルバー型水晶振動子５０には、１２個の水晶振動子５１ａ～５１ｌが円周上に沿って配置されており、水晶振動子５１ａ～５１ｌの各々に対して、管部７から放出された蒸着粒子が蒸着（積層）していくことで振動周波数が変化することにより蒸着レートを検出するようになっている。また、例えば、水晶振動子５１ａに検出不可能な量の蒸着粒子が付着すると、円周上で隣の水晶振動子５１ｂが管部７と対向するよう配置、すなわち、図中の矢印方向にレボルバー型水晶振動子５０が回転して蒸着レートの検出するようになっている。

　１２個の水晶振動子５１ａ～５１ｌを備えたレボルバー型水晶振動子５０を備えた蒸着装置３’の場合、１つの水晶振動子２を備えた上述した実施形態１の蒸着装置３と比較すると、水晶振動子を交換することなく、より長時間、蒸着レートの検出を行うことができる。

　なお、本実施形態においては、レボルバー型水晶振動子５０が１２個の水晶振動子５１ａ～５１ｌを備えた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、レボルバー型水晶振動子が備える水晶振動子の数は、２個以上１２個未満であってもよく、１３個以上であってもよい。

　〔実施形態３〕
　次に、図３に基づき、本発明の実施形態３について説明する。本実施形態の蒸着装置に備えられた防着板２１における第２導通開口ＤＫ’は、凹凸状である点において、実施形態１及び２とは異なり、その他については実施形態１及び２において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１及び２の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図３は、実施形態３の蒸着装置に備えられた防着板２１の概略構成を示す図である。

　図３に図示しているように、水晶振動子２に隣接する防着板２１は、複数枚（本実施形態においては５枚）の孔開け加工が施された孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６と、孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６と管部７とを接続するための接続部材１１とを含む。

　孔開きシート２２には一つの開口２２Ｋが形成されており、孔開きシート２３には一つの開口２３Ｋが形成されており、孔開きシート２４には一つの開口２４Ｋが形成されており、孔開きシート２５には一つの開口２５Ｋが形成されており、孔開きシート２６には一つの開口２６Ｋが形成されており、これらの５枚の孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６を密接して気密に配置したときに、これらの５つの開口２２Ｋ・２３Ｋ・２４Ｋ・２５Ｋ・２６Ｋが第２導通開口ＤＫ’を構成する。

　防着板２１においては、接続部材１１の開口１１Ｋ、開口２２Ｋ、開口２３Ｋ、開口２４Ｋ、開口２５Ｋ及び開口２６Ｋが重畳するように配置されている。

　そして、孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６と、開口１１Ｋを有する接続部材１１とを密接して気密に配置するとともに、接続部材１１の開口１１Ｋ内に管部７を挿入することで、管部７と、防着板２１とを気密に接続できる。

　防着板２１においては、第１ノズル５Ｓからの蒸着粒子を、管部７の第１導通開口７Ｋに導くための第２導通開口ＤＫ’の表面積を増加させるため、開口２３Ｋの大きさは、開口２２Ｋの大きさより小さく形成し、開口２４Ｋの大きさは、開口２３Ｋの大きさより大きく形成し、開口２５Ｋの大きさは、開口２４Ｋの大きさより小さく形成し、開口２６Ｋの大きさは、開口２５Ｋの大きさより大きく形成し、蒸着粒子を第１導通開口７Ｋに導く第２導通開口ＤＫ’を凹凸状に形成した。なお、蒸着粒子を第１導通開口７Ｋに導く第２導通開口ＤＫ’を凹凸状に形成できるのであれば、開口２２Ｋ・２３Ｋ・２４Ｋ・２５Ｋ・２６Ｋの形状は、図３に図示した形状に限定されない。

　以上のように、図３に図示する防着板２１における第２導通開口ＤＫ’の表面積は、図６に図示する比較例である蒸着装置の場合の接続部材６１の開口６１Ｋの表面積より大きい。したがって、図３に図示する防着板２１を備えた蒸着装置は、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる。

　本実施形態においては、５枚の孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６を用いた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、用いる孔開きシートの枚数は、第２導通開口ＤＫ’を凹凸状に形成できるのであれば、適宜決定することができる。また、本実施形態においては、５枚の孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６のそれぞれに、一つの開口２２Ｋ・２３Ｋ・２４Ｋ・２５Ｋ・２６Ｋを設けた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、１枚当たりに形成する開口の数などは適宜決定することができる。なお、孔開きシート２２・２３・２４・２５・２６は、例えば、孔開けのためにパンチングされたメタルシートなどであってもよい。

　なお、本実施形態においては、管部７は、円筒状部材により構成され、第１導通開口７Ｋも円筒状に形成され、この形状に合わせて、開口１１Ｋと、第２導通開口ＤＫ’を構成する開口２２Ｋ、開口２３Ｋ、開口２４Ｋ、開口２５Ｋ及び開口２６Ｋとを、円形の開口に形成した場合を一例に挙げて説明するが、管部７の形状及び第１導通開口７Ｋの形状と、開口１１Ｋの形状と、第２導通開口ＤＫ’を構成する開口２２Ｋの形状、開口２３Ｋの形状、開口２４Ｋの形状、開口２５Ｋの形状及び開口２６Ｋの形状がこれに限定されることはない。

　〔実施形態４〕
　次に、図４に基づき、本発明の実施形態４について説明する。本実施形態の蒸着装置に備えられた防着板３１における第２導通開口３０Ｋは、１枚の孔開きシート３０からなる点において、実施形態１から３とは異なり、その他については実施形態１から３において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１から３の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図４は、実施形態４の蒸着装置に備えられた防着板３１の概略構成を示す図である。

　図４に図示しているように、防着板３１における第２導通開口３０Ｋは、１枚の孔開きシート３０からなり、防着板３１に備えられた蒸着粒子を第１導通開口７Ｋに導くための第２導通開口３０Ｋは、１枚の孔開きシート３０の開口である。

　そして、防着板３１に備えられた蒸着粒子を第１導通開口７Ｋに導くための第２導通開口３０Ｋ、すなわち、１枚の孔開きシート３０の開口は、管部７側より第１ノズル５Ｓ側において、広く形成されている。

　なお、本実施形態においては、第２導通開口３０Ｋの表面積を増加させるため、第２導通開口３０Ｋ、すなわち、１枚の孔開きシート３０の開口を、テーパー形状に形成したが、これに限定されることはない。

　防着板３１においては、接続部材１１の開口１１Ｋと、第２導通開口３０Ｋ、すなわち、１枚の孔開きシート３０の開口とが重畳するように配置されている。

　そして、孔開きシート３０と、開口１１Ｋを有する接続部材１１とを密接して気密に配置するとともに、接続部材１１の開口１１Ｋ内に管部７を挿入することで、管部７と、防着板３１とを気密に接続できる。

　以上のように、図４に図示する第２導通開口３０Ｋの表面積は、図６に図示する比較例である蒸着装置の場合の接続部材６１の開口６１Ｋの表面積より大きい。したがって、図４に図示する防着板３１を備えた蒸着装置は、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる。

　〔実施形態５〕
　次に、図５に基づき、本発明の実施形態５について説明する。本実施形態の蒸着装置に備えられた防着板４０においては、開口３１Ｋ、開口３２Ｋ及び開口３３Ｋからなる第２導通開口ＤＫ’’が、第１導通路７Ｋより上側より、第１導通開口７Ｋより下側が大きく形成されている点において、実施形態１から４とは異なり、その他については実施形態１から４において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１から４の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図５は、実施形態５の蒸着装置に備えられた防着板４０の概略構成を示す図である。

　図５に図示するように、防着板４０においては、防着板４０の下の方が、防着板４０の上の方より蒸着粒子が付着（蓄積）しやすい点を考慮し、開口３１Ｋ、開口３２Ｋ及び開口３３Ｋからなる第２導通開口ＤＫ’’を、第１導通路７Ｋより上側より、第１導通開口７Ｋより下側が大きくなるように形成した。

　図５に図示しているように、レボルバー型水晶振動子５０に隣接する防着板４０は、複数枚（本実施形態においては３枚）の孔開け加工が施された孔開きシート３１・３２・３３と、孔開きシート３１・３２・３３と管部７とを接続するための接続部材１１とを含む。

　孔開きシート３１には一つの開口３１Ｋが形成されており、孔開きシート３２には一つの開口３２Ｋが形成されており、孔開きシート３３には一つの開口３３Ｋが形成されており、これらの３枚の孔開きシート３１・３２・３３を密接して気密に配置したときに、これらの３つの開口３１Ｋ・３２Ｋ・３３Ｋが第２導通開口ＤＫ’’を構成する。

　防着板４０においては、接続部材１１の開口１１Ｋ、開口３１Ｋ、開口３２Ｋ及び開口３３Ｋが重畳するように配置されている。

　そして、孔開きシート３１・３２・３３と、開口１１Ｋを有する接続部材１１とを密接して気密に配置するとともに、接続部材１１の開口１１Ｋ内に管部７を挿入することで、管部７と、防着板４０とを気密に接続できる。

　以上のように、図５に図示する第２導通開口ＤＫ’’の表面積は、図６に図示する比較例である蒸着装置の場合の接続部材６１の開口６１Ｋの表面積より大きい。したがって、図５に図示する防着板４０を備えた蒸着装置は、長時間、蒸着処理を連続的に行った場合でも、蒸着レートの検出精度が低下するのを防ぐことができる。

　本実施形態においては、３枚の孔開きシート３１・３２・３３を用いた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、用いる孔開きシートの枚数は、１枚または、２枚であっても、４枚以上であってもよい。また、本実施形態においては、３枚の孔開きシート３１・３２・３３のそれぞれに、一つの開口３１Ｋ・３２Ｋ・３３Ｋを設けた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、１枚当たりに形成する開口の数などは適宜決定することができる。なお、孔開きシート３１・３２・３３は、例えば、孔開けのためにパンチングされたメタルシートなどであってもよい。

　〔まとめ〕
　〔態様１〕
　蒸着粒子を射出する複数のノズルを有する蒸着源と、前記蒸着粒子の蒸着レートを測定するための水晶振動子と、を備え、基板に対して成膜を行う蒸着装置であって、
　前記複数のノズル中の一部のノズルである第１ノズルと前記水晶振動子との間に設けられ、かつ、前記第１ノズルから前記水晶振動子に前記蒸着粒子を導く第１導通開口を有する管部と、
　成膜不要領域への前記蒸着粒子の飛翔を防止する防着板と、を備え、
　前記管部の前記第１ノズル側は、前記防着板に接続されており、
　前記防着板には、第２導通開口が形成されており、
　前記第２導通開口の少なくとも一部は、前記第１導通開口より大きい蒸着装置。

　〔態様２〕
　前記複数のノズルは、前記水晶振動子の近傍に配置された前記第１ノズルと、前記水晶振動子から当該第１ノズルよりも離れた位置に配置された少なくとも一つの第２ノズルとを含み、
　前記第１ノズルは、前記水晶振動子に向けて傾けて形成されている態様１に記載の蒸着装置。

　〔態様３〕
　前記防着板は、複数枚の孔開け加工が施された孔開きシートを含み、
　前記複数枚の孔開きシートの各々は、開口を有し、
　前記第２導通開口は、前記複数枚の孔開きシートの開口により構成されている態様１または２に記載の蒸着装置。

　〔態様４〕
　前記第２導通開口は、前記管部側より前記第１ノズル側において、広く形成されている態様１から３の何れかに記載の蒸着装置。

　〔態様５〕
　前記第２導通開口は、階段状である態様４に記載の蒸着装置。

　〔態様６〕
　前記第２導通開口は、凹凸状である態様４に記載の蒸着装置。

　〔態様７〕
　前記防着板は、１枚の孔開け加工が施された孔開きシートを含み、
　前記第２導通開口は、前記１枚の孔開きシートの開口により構成され、
　前記第２導通開口は、前記管部側より前記第１ノズル側において、広く形成されている態様１に記載の蒸着装置。

　〔態様８〕
　前記管部は、円筒状部材により構成され、
　前記防着板には、前記第２導通開口として円形の開口が形成されている態様１に記載の蒸着装置。

　〔態様９〕
　前記第２導通開口では、前記第１導通開口より上側より、前記第１導通開口より下側が大きく形成されている態様１から８の何れかに記載の蒸着装置。

　〔態様１０〕
　前記水晶振動子は、前記管部に対して、回転可能に複数個配列されている態様１から９の何れかに記載の蒸着装置。

　〔付記事項〕
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

　本発明は、蒸着装置に利用することができる。

　１　　　　　　　　　　　　ラインソース蒸着源（蒸着源）
　２　　　　　　　　　　　　水晶振動子
　３、３’　　　　　　　　　蒸着装置
　４　　　　　　　　　　　　坩堝
　５Ｓ　　　　　　　　　　　第１ノズル
　５Ｎ　　　　　　　　　　　第２ノズル
　６、８、２１、３１、４０　防着板
　７　　　　　　　　　　　　管部
　７Ｋ　　　　　　　　　　　第１導通開口
　９、１０　　　　　　　　　角度制限板
　１１　　　　　　　　　　　接続部材
　１１Ｋ　　　　　　　　　　接続部材の開口
　１２～１４　　　　　　　　孔開きシート
　１２Ｋ～１４Ｋ　　　　　　孔開きシートの開口
　２２～２６　　　　　　　　孔開きシート
　２２Ｋ～２６Ｋ　　　　　　孔開きシートの開口
　３０　　　　　　　　　　　孔開きシート
　３０Ｋ　　　　　　　　　　孔開きシートの開口
　３１～３３　　　　　　　　孔開きシート
　３１Ｋ～３３Ｋ　　　　　　孔開きシートの開口
　ＤＫ　　　　　　　　　　　第２導通開口
　ＤＫ’　　　　　　　　　　第２導通開口
　ＤＫ’’　　　　　　　　　第２導通開口
　５０　　　　　　　レボルバー型水晶振動子
　５１ａ～５１ｌ　　水晶振動子
　５２　　　　　　　基板

Claims

　蒸着粒子を射出する複数のノズルを有する蒸着源と、前記蒸着粒子の蒸着レートを測定するための水晶振動子と、を備え、基板に対して成膜を行う蒸着装置であって、
　前記複数のノズル中の一部のノズルである第１ノズルと前記水晶振動子との間に設けられ、かつ、前記第１ノズルから前記水晶振動子に前記蒸着粒子を導く第１導通開口を有する管部と、
　成膜不要領域への前記蒸着粒子の飛翔を防止する防着板と、を備え、
　前記管部の前記第１ノズル側は、前記防着板に接続されており、
　前記防着板には、第２導通開口が形成されており、
　前記第２導通開口の少なくとも一部は、前記第１導通開口より大きいことを特徴とする蒸着装置。
　前記複数のノズルは、前記水晶振動子の近傍に配置された前記第１ノズルと、前記水晶振動子から当該第１ノズルよりも離れた位置に配置された少なくとも一つの第２ノズルとを含み、
　前記第１ノズルは、前記水晶振動子に向けて傾けて形成されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
　前記防着板は、複数枚の孔開け加工が施された孔開きシートを含み、
　前記複数枚の孔開きシートの各々は、開口を有し、
　前記第２導通開口は、前記複数枚の孔開きシートの開口により構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着装置。
　前記第２導通開口は、前記管部側より前記第１ノズル側において、広く形成されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の蒸着装置。
　前記第２導通開口は、階段状であることを特徴とする請求項４に記載の蒸着装置。
　前記第２導通開口は、凹凸状であることを特徴とする請求項４に記載の蒸着装置。
　前記防着板は、１枚の孔開け加工が施された孔開きシートを含み、
　前記第２導通開口は、前記１枚の孔開きシートの開口により構成され、
　前記第２導通開口は、前記管部側より前記第１ノズル側において、広く形成されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
　前記管部は、円筒状部材により構成され、
　前記防着板には、前記第２導通開口として円形の開口が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
　前記第２導通開口では、前記第１導通開口より上側より、前記第１導通開口より下側が大きく形成されていることを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の蒸着装置。
　前記水晶振動子は、前記管部に対して、回転可能に複数個配列されていることを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載の蒸着装置。