WO2019171531A1 - 情報処理装置 - Google Patents

情報処理装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2019171531A1
WO2019171531A1 PCT/JP2018/008980 JP2018008980W WO2019171531A1 WO 2019171531 A1 WO2019171531 A1 WO 2019171531A1 JP 2018008980 W JP2018008980 W JP 2018008980W WO 2019171531 A1 WO2019171531 A1 WO 2019171531A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electronic component
layer
resin
wiring
ultraviolet curable
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/008980
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
良崇 橋本
Original Assignee
株式会社Ｆｕｊｉ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社Ｆｕｊｉ filed Critical 株式会社Ｆｕｊｉ
Priority to PCT/JP2018/008980 priority Critical patent/WO2019171531A1/ja
Priority to JP2020504586A priority patent/JP6909920B2/ja
Publication of WO2019171531A1 publication Critical patent/WO2019171531A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern

Definitions

  • the present invention is formed by laser irradiation of a plurality of resin layers, a plurality of electronic components disposed in each of the plurality of resin layers, and a metal-containing liquid containing metal fine particles.
  • the present invention relates to an information processing apparatus for designing a circuit composed of a plurality of wirings that electrically connect the electronic components.
  • the present specification includes a plurality of resin layers, a plurality of electronic components disposed in each of the plurality of resin layers, and a metal containing metal fine particles.
  • An information processing apparatus for designing a circuit formed by irradiating a liquid with a laser and including a plurality of wirings for electrically connecting the plurality of electronic components, and disposed in an Nth resin layer An information processing apparatus is disclosed in which a position of an electronic component disposed in a resin layer below the Nth layer is displayed on a display device as a wiring formation prohibition area when a wiring to be designed is designed.
  • the wiring arranged in the Nth resin layer when the wiring arranged in the Nth resin layer is designed, the position of the electronic component arranged in the resin layer below the Nth layer is displayed as the wiring formation prohibition region. Displayed on the device. Thereby, it becomes possible to prevent the laser irradiated at the time of wiring formation from irradiating the electronic component disposed in the lower layer, and proper circuit formation is ensured.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where a resin laminate is formed between a cavity and an electronic component in a first layer resin laminate. It is sectional drawing which shows the circuit of the state by which the wiring was formed in the 1st resin laminated body.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where wiring and electronic components are connected by a conductive ultraviolet curable resin in the first layered resin laminate.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where wiring and electronic components are connected by a conductive ultraviolet curable resin in a second layered resin laminate. It is sectional drawing which shows the circuit of the state by which the 3rd layer resin laminated body was laminated
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where wiring and electronic components are connected by a conductive ultraviolet curable resin in a third layer resin laminate. It is a figure which shows roughly the wiring of the 3rd layer arranged and designed by the conventional method. It is a figure which shows the 1st layer design screen displayed on a display by the process of a design program. It is a figure which shows the 2nd layer design screen displayed on a display by the process of a design program. It is a figure which shows the 3rd layer design screen displayed on a display by the process of a design program.
  • FIG. 1 shows a circuit forming apparatus 10.
  • the circuit forming apparatus 10 includes a transport device 20, a first modeling unit 22, a second modeling unit 24, a mounting unit 26, and a control device (see FIG. 2) 27.
  • the conveying device 20, the first modeling unit 22, the second modeling unit 24, and the mounting unit 26 are disposed on the base 28 of the circuit forming device 10.
  • the base 28 has a generally rectangular shape.
  • the longitudinal direction of the base 28 is orthogonal to the X-axis direction
  • the short direction of the base 28 is orthogonal to both the Y-axis direction, the X-axis direction, and the Y-axis direction.
  • the direction will be described as the Z-axis direction.
  • the transport device 20 includes an X-axis slide mechanism 30 and a Y-axis slide mechanism 32.
  • the X-axis slide mechanism 30 has an X-axis slide rail 34 and an X-axis slider 36.
  • the X-axis slide rail 34 is disposed on the base 28 so as to extend in the X-axis direction.
  • the X-axis slider 36 is held by an X-axis slide rail 34 so as to be slidable in the X-axis direction.
  • the X-axis slide mechanism 30 has an electromagnetic motor (see FIG. 2) 38, and the X-axis slider 36 moves to an arbitrary position in the X-axis direction by driving the electromagnetic motor 38.
  • the Y axis slide mechanism 32 includes a Y axis slide rail 50 and a stage 52.
  • the Y-axis slide rail 50 is disposed on the base 28 so as to extend in the Y-axis direction, and is movable in the X-axis direction.
  • One end of the Y-axis slide rail 50 is connected to the X-axis slider 36.
  • a stage 52 is held on the Y-axis slide rail 50 so as to be slidable in the Y-axis direction.
  • the Y-axis slide mechanism 32 has an electromagnetic motor (see FIG. 2) 56, and the stage 52 moves to an arbitrary position in the Y-axis direction by driving the electromagnetic motor 56.
  • the stage 52 moves to an arbitrary position on the base 28 by driving the X-axis slide mechanism 30 and the Y-axis slide mechanism 32.
  • the stage 52 has a base 60, a holding device 62, and a lifting device 64.
  • the base 60 is formed in a flat plate shape, and a substrate is placed on the upper surface.
  • the holding device 62 is provided on both sides of the base 60 in the X-axis direction. The both edges in the X-axis direction of the substrate placed on the base 60 are sandwiched between the holding devices 62, so that the substrate is fixedly held.
  • the lifting device 64 is disposed below the base 60 and lifts the base 60.
  • the first modeling unit 22 is a unit that models wiring on a substrate (see FIG. 3) 70 placed on the base 60 of the stage 52, and includes a first printing unit 72 and a firing unit 74. ing.
  • the first printing unit 72 has an inkjet head (see FIG. 2) 76, and ejects metal ink in a linear manner onto the substrate 70 placed on the base 60.
  • the metal ink is obtained by dispersing metal fine particles in a solvent.
  • the inkjet head 76 ejects metal ink from a plurality of nozzles by, for example, a piezo method using a piezoelectric element.
  • the firing unit 74 has a laser irradiation device (see FIG. 2) 78.
  • the laser irradiation device 78 is a device that irradiates a metal ink discharged onto the substrate 70 with a laser, and the metal ink irradiated with the laser is baked to form a wiring.
  • the firing of the metal ink is a phenomenon in which, by applying energy, the solvent is vaporized, the metal particulate protective film is decomposed, etc., and the metal particulates are brought into contact with or fused to increase the conductivity. is there.
  • metal wiring is formed by baking metal ink.
  • the second modeling unit 24 is a unit that models a resin layer on the substrate 70 placed on the base 60 of the stage 52, and includes a second printing unit 84, a discharge unit 85, and a curing unit 86. have.
  • the second printing unit 84 has an inkjet head (see FIG. 2) 88 and discharges an ultraviolet curable resin onto the substrate 70 placed on the base 60.
  • the ultraviolet curable resin is a resin that is cured by irradiation with ultraviolet rays.
  • the inkjet head 88 may be, for example, a piezo method using a piezoelectric element, or a thermal method in which bubbles are generated by heating a resin to be discharged from a plurality of nozzles.
  • the discharge unit 85 has a dispense head (see FIG. 2) 89 and discharges a conductive ultraviolet curable resin onto the substrate 70 placed on the base 60.
  • the conductive ultraviolet curable resin is obtained by dispersing metal fine particles in a resin that is cured by irradiation with ultraviolet rays. Then, the resin is cured and contracted by the irradiation of ultraviolet rays, whereby the metal fine particles adhere to each other, and the conductive ultraviolet curable resin exhibits conductivity.
  • the dispense head 89 is configured to remove the conductive ultraviolet curable resin from one nozzle having a diameter larger than the diameter of the nozzle of the inkjet head 76. Discharge.
  • the dispense head 89 may be a transfer head that transfers paste with a stamp, for example, and the conductive ultraviolet curable resin may be, for example, a conductive thermosetting resin.
  • the curing unit 86 includes a flattening device (see FIG. 2) 90 and an irradiation device (see FIG. 2) 92.
  • the flattening device 90 is for flattening the upper surface of the ultraviolet curable resin discharged onto the substrate 70 by the inkjet head 88. By scraping with a blade, the thickness of the UV curable resin is made uniform.
  • the irradiation device 92 includes a mercury lamp or LED as a light source, and irradiates the ultraviolet curable resin discharged on the substrate 70 or the conductive ultraviolet curable resin with ultraviolet rays. As a result, the ultraviolet curable resin discharged onto the substrate 70 is cured to form a resin layer, and the conductive ultraviolet curable resin discharged onto the substrate 70 is cured to form a wiring.
  • the mounting unit 26 is a unit that mounts an electronic component (see FIG. 4) 96 on a substrate 70 placed on the base 60 of the stage 52, and includes a supply unit 100 and a mounting unit 102. ing.
  • the supply unit 100 includes a plurality of tape feeders 110 (see FIG. 2) that send out the taped electronic components 96 one by one, and supplies the electronic components 96 at the supply position.
  • the supply unit 100 is not limited to the tape feeder 110, and may be a tray-type supply device that picks up and supplies the electronic component 96 from the tray.
  • the supply unit 100 may be configured to include both a tape type and a tray type, or other supply devices.
  • the mounting unit 102 includes a mounting head (see FIG. 2) 112 and a moving device (see FIG. 2) 114.
  • the mounting head 112 has a suction nozzle (see FIG. 4) 118 for holding the electronic component 96 by suction.
  • the suction nozzle 118 sucks and holds the electronic component 96 by sucking air when negative pressure is supplied from a positive / negative pressure supply device (not shown). Then, the electronic component 96 is detached by supplying a slight positive pressure from the positive / negative pressure supply device.
  • the moving device 114 moves the mounting head 112 between the supply position of the electronic component 96 by the tape feeder 110 and the substrate 70 placed on the base 60. Thereby, in the mounting unit 102, the electronic component 96 supplied from the tape feeder 110 is held by the suction nozzle 118, and the electronic component 96 held by the suction nozzle 118 is mounted on the substrate 70.
  • the control device 27 includes a controller 120 and a plurality of drive circuits 122 as shown in FIG.
  • the plurality of drive circuits 122 include the electromagnetic motors 38 and 56, the holding device 62, the lifting device 64, the ink jet head 76, the laser irradiation device 78, the ink jet head 88, the dispense head 89, the flattening device 90, the irradiation device 92, and the tape feeder. 110, the mounting head 112, and the moving device 114.
  • the controller 120 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, is mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 122. Thereby, the operation of the transport device 20, the first modeling unit 22, the second modeling unit 24, and the mounting unit 26 is controlled by the controller 120.
  • the circuit is formed by mounting the electronic component 96 on the substrate 70 and forming a wiring with the above-described configuration. Specifically, the substrate 70 is set on the base 60 of the stage 52, and the stage 52 is moved below the second modeling unit 24. And in the 2nd modeling unit 24, as shown in FIG. 3, the resin laminated body 130 is formed on the board
  • the inkjet head 88 discharges an ultraviolet curable resin onto the upper surface of the substrate 70 in a thin film shape.
  • the inkjet head 88 discharges the ultraviolet curable resin so that a predetermined portion of the upper surface of the substrate 70 is exposed in a generally rectangular shape.
  • the ultraviolet curable resin is flattened by the flattening device 90 so that the film thickness of the ultraviolet curable resin becomes uniform in the curing unit 86.
  • the irradiation device 92 irradiates the thin film ultraviolet curable resin with ultraviolet rays. Thereby, a thin resin layer 133 is formed on the substrate 70.
  • the inkjet head 88 discharges the ultraviolet curable resin into a thin film only on the portion above the thin resin layer 133. That is, the inkjet head 88 discharges the ultraviolet curable resin in a thin film shape onto the thin resin layer 133 so that a predetermined portion of the upper surface of the substrate 70 is exposed in a generally rectangular shape. Then, the thin film ultraviolet curable resin is flattened by the flattening device 90, and the irradiation device 92 irradiates the ultraviolet curable resin discharged in the thin film shape with ultraviolet rays, so that the thin film resin layer 133 is formed on the thin film resin layer 133. A thin resin layer 133 is laminated.
  • the discharge of the ultraviolet curable resin onto the thin resin layer 133 excluding the generally rectangular portion on the upper surface of the substrate 70 and the irradiation with the ultraviolet rays are repeated, and a plurality of resin layers 133 are laminated. Thereby, the resin laminate 130 having the cavity 132 is formed.
  • the stage 52 is moved below the mounting unit 26.
  • the electronic component 96 is supplied by the tape feeder 110, and the electronic component 96 is held by the suction nozzle 118 of the mounting head 112.
  • the mounting head 112 is moved by the moving device 114, and the electronic component 96 held by the suction nozzle 118 is mounted inside the cavity 132 of the resin laminate 130 as shown in FIG. Note that the height dimension of the resin laminate 130 and the height dimension of the electronic component 96 are substantially the same.
  • the stage 52 When the electronic component 96 is mounted inside the cavity 132, the stage 52 is moved below the second modeling unit 24, and as shown in FIG. 5, the gap between the cavities 132, that is, the inner wall surface defining the cavity 132 A resin laminate 150 is formed between the electronic component 96. Similar to the resin laminate 130, the resin laminate 150 is formed by repeating the discharge of the ultraviolet curable resin by the inkjet head 88 and the irradiation of the ultraviolet rays by the irradiation device 92. The height of the resin laminate 150 is substantially the same as the height of the resin laminate 130 and the electronic component 96. Thereby, the upper surface of the resin laminate 130, the upper surface of the resin laminate 150, and the upper surface of the electronic component 96 are flush with each other.
  • the stage 52 is moved below the first modeling unit 22.
  • the metal ink is ejected linearly on the resin laminates 130 and 150 by the inkjet head 76 according to the circuit pattern. Then, the metal ink is baked by laser irradiation to the metal ink, and wiring for electrically connecting the electronic component 96 is formed.
  • the metal ink is ejected linearly to the vicinity of the electronic component 96 so as not to be ejected onto the electronic component 96. This is to prevent the electronic component 96 from being damaged by the laser irradiation of the electronic component 96. Further, the laser irradiated to the electronic component 96 is absorbed by the electronic component 96, and the metal ink discharged onto the electronic component 96 may not be properly baked, which may result in poor connection.
  • the metal ink is ejected to the vicinity of the electronic component 96, the laser is irradiated on the metal ink by the laser irradiation device 78 in the firing unit 74. Thereby, the metal ink is baked, and wirings 166a and 166b extending to the vicinity of the electronic component 96 are formed as shown in FIG.
  • the stage 52 is moved below the second modeling unit 24 so that the dispensing head 89 connects the electrode 162 of the electronic component 96 and the wirings 166a and 166b as shown in FIG.
  • the conductive ultraviolet curable resin 170 is discharged.
  • the irradiation device 92 irradiates the conductive ultraviolet curable resin 170 with ultraviolet rays.
  • the conductive ultraviolet curable resin 170 exhibits electrical conductivity, and the electrode 162 of the electronic component 96 and the wirings 166a and 166b are electrically connected by the conductive ultraviolet curable resin 170.
  • a second resin laminate 180 is formed on the resin laminate 130. Similar to the resin laminate 130, the resin laminate 180 is formed by repeating the discharge of the ultraviolet curable resin from the inkjet head 88 and the irradiation of the ultraviolet rays by the irradiation device 92 to the discharged ultraviolet curable resin. . Note that a cavity 182 and a via hole 184 are formed in the resin laminate 180. The cavity 182 and the via hole 184 are formed by the same method as the cavity 132 of the resin laminate 130, but the inner dimension of the via hole 184 is smaller than the inner dimension of the cavity 182. A part of the wiring 166 b is exposed at the bottom of the via hole 184.
  • the electronic component 190 is mounted inside the cavity 182 of the second-layer resin laminate 180.
  • the gap between the cavities 182, that is, A resin laminate 192 is formed between the inner wall surface defining the cavity 182 and the electronic component 190.
  • the mounting method of the electronic component 190 and the forming method of the resin laminate 192 are the same as the mounting method of the electronic component 96 and the forming method of the resin laminate 150.
  • the metal ink is ejected into the via hole 184 of the second-layer resin laminate, and the metal ink is irradiated with a laser, as shown in FIG.
  • a wiring 196 is formed inside 184.
  • the wiring 196 is connected to the wiring 166b formed in the first resin laminate 130 at the lower end, and is exposed on the upper surface of the second resin laminate 180 at the upper end.
  • metal ink is discharged from the upper end of the wiring 196 to the vicinity of the electronic component 190, and the metal ink is irradiated with a laser, whereby the wiring 198a is formed.
  • the wiring 196 and the wiring 198a are connected.
  • metal ink is ejected linearly on the opposite side of the wiring 198a across the electronic component 190, and the metal ink is irradiated with a laser to form the wiring 198b.
  • the conductive ultraviolet curable resin 200 is discharged so as to connect the electrode 199 of the electronic component 190 and the wirings 198a and 198b. Then, by irradiating the conductive ultraviolet curable resin 200 with ultraviolet rays, the conductive ultraviolet curable resin 200 exhibits conductivity, and the electrodes 199 of the electronic component 190 and the wirings 198a and 198b are connected. As a result, the electronic component 96 disposed in the first layer resin laminate 130 and the electronic component 190 disposed in the second layer resin laminate 180 are connected to the wiring 166 and the like and the conductive ultraviolet curable resin 170. Etc. are electrically connected.
  • a third-layer resin laminate 210 is formed on the resin laminate 180.
  • a cavity 212 and a via hole 214 are formed in the resin laminate 210.
  • the resin laminate 210 is formed in the same manner as the resin laminate 180.
  • the electronic component 220 is mounted inside the cavity 212 of the third layer resin laminate 210, and the second modeling unit 24 defines the cavity 212.
  • a resin laminate 218 is formed between the wall surface and the electronic component 220.
  • the wiring 222 is formed inside the via hole 214, and the wirings 224a and 224b are formed on the upper surface of the third layered resin laminate 210. .
  • the conductive ultraviolet curable resin 228 is discharged so as to connect the electrode 226 of the electronic component 220 and the wirings 224a and 224b, and the conductive ultraviolet curable resin 228 is electrically conductive by irradiation of the conductive ultraviolet curable resin 228 with ultraviolet rays. Demonstrate sex.
  • the electronic component 190 disposed in the second-layer resin laminate 180 and the electronic component 220 disposed in the third-layer resin laminate 210 include the wiring 198 and the conductive ultraviolet curable resin 200. Etc. are electrically connected.
  • the circuit forming apparatus 10 can form a multilayer circuit on the substrate 70.
  • a multilayer circuit when an upper layer wiring is formed, there is a possibility that a laser is irradiated to an electronic component or the like disposed in a layer below the layer where the wiring is formed.
  • the multilayer circuit 300 formed by the above procedure will be described with reference to FIG.
  • the electronic components 220 arranged in the above are arranged on a straight line from the viewpoint from above.
  • the wiring 224a is formed in the third layer resin laminate 210 of the circuit 300
  • the wiring 222 formed inside the via hole 214 and the third layer resin laminate 210 are generally connected.
  • Metal ink is ejected onto the upper surface of the resin laminate 210 so as to connect the electronic component 220 disposed with the shortest distance.
  • the electronic component 96 and the conductive UV curable resin 170 of the first layer resin laminate 130, and the second layer resin laminate are provided below the metal ink discharged to the third layer resin laminate 210.
  • the electronic component 96 and the conductive UV curable resin 170 of the first layer resin laminate 130, and the second layer resin laminate are provided below the metal ink discharged to the third layer resin laminate 210. 180 electronic components 190 and conductive ultraviolet curable resin 200 are located.
  • the electronic component 190 of the second layer resin laminate 180 and the electronic component 190 of the second layer resin laminate 210 are passed through the third layer resin laminate 210.
  • the conductive ultraviolet curable resin 200 is also irradiated.
  • the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170 of the first resin laminate 130 are also irradiated with laser through the third resin laminate 210 and the second resin laminate 180. . Since the electronic component and the conductive ultraviolet curable resin have low laser resistance and the resin laminate is relatively thin, the electronic component and the conductive ultraviolet curable resin are considered in consideration of damage to the electronic component and the conductive ultraviolet curable resin. Laser irradiation is not preferred.
  • a circuit formed by the circuit forming apparatus 10 when wiring is formed in an upper layer, an electronic component or the like disposed in a layer below the layer in which the wiring is formed, Circuit design is performed so that the laser is not irradiated.
  • a circuit formed by the circuit forming apparatus 10 is created by an information processing apparatus (see FIG. 15) 352 in which a design program (see FIG. 15) 350 is installed.
  • the information processing device 352 is connected to a display (see FIG. 15) 354, and a screen for designing each layer of the circuit is displayed on the display 354 in accordance with the processing of the design program 350.
  • a first layer design screen 360 is displayed on the display 354 as shown in FIG.
  • the arrangement of the electronic component 96, the conductive ultraviolet curable resin 170, and the wirings 166a and b is designed by a user operation such as a cursor. Note that no electronic component or the like is disposed below the first resin laminate 130. For this reason, the user designs the arrangement of the electronic component 96, the conductive ultraviolet curable resin 170, and the wirings 166a, b at any position of the first layer resin laminate 130 on the first layer design screen 360. Can do.
  • a second layer design screen 370 is displayed on the display 354 as shown in FIG.
  • the arrangement of the electronic component 190, the conductive ultraviolet curable resin 200, the wirings 196, 198a, and b is designed by a user operation.
  • the first resin laminate 130 is positioned below the second resin laminate 180, and the arrangement design of the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170 on the resin laminate 130 is determined. This is performed on the first layer design screen 360 (see FIG. 15). For this reason, the wiring formation prohibition area 372 including the planned placement positions of the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170 designed on the first layer design screen 360 is displayed on the second layer design screen 370.
  • the wiring formation prohibition area 372 is an area in which wiring layout design is prohibited, and is configured so that wiring layout design cannot be performed in the wiring formation prohibition area 372 by a user operation.
  • the wiring formation prohibition area 372 includes the planned placement positions of the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170, and is displayed in a state where a predetermined width area is added to the outer edge of the planned placement position. This is in order to prevent the laser irradiation to the electronic component or the like with certainty in consideration of the spot diameter of the laser with which the metal ink is irradiated with the laser.
  • the laser irradiation range is generally circular, and the diameter of the circle is called the laser spot diameter. Therefore, even when the center of the laser and the outer edge of the electronic component are separated, the distance between the center of the laser and the outer edge of the electronic component is half the spot diameter, that is, less than the radius. In this case, the outer edge of the electronic component is irradiated with a laser. Therefore, the wiring formation prohibition region 372 is displayed on the outer edge of the planned placement position of the electronic component 96 and the conductive UV-curable resin 170, while the area of the width L 1 corresponding to half of the laser spot diameter is added .
  • the spot diameter of the laser can adopt D4 ⁇ width, D86 width, effective beam diameter, 10/90 knife edge width, and the like.
  • the D4 ⁇ width is an ISO international standard, and is calculated by using a predetermined formula. Since this formula is a known formula, description thereof is omitted.
  • the D86 width is defined as the diameter of a circle including 86% of the beam power with the center of gravity of the beam profile as the center. For this reason, the area is increased circularly from the center of gravity of the beam profile, and the diameter of the circle is calculated when the total beam power in the area reaches 86%. And this diameter becomes D86 width.
  • the effective beam diameter is defined as the diameter of a circle having an area equal to the area of all pixels having an intensity greater than a certain percentage with respect to the peak intensity of the measured beam.
  • 70% is selected as a specific percentage, the total number of all pixels that are greater than or equal to 70% of the peak intensity is used to calculate the effective beam diameter.
  • the 10/90 knife edge width is a kind of definition of the width of the orthogonal X axis / Y axis, and the integrated energy is 10% and 90% with respect to the total energy of the profile cross section of each axis 2. Defined by the distance between points.
  • the laser irradiation range is circular, it is preferable to adopt the D4 ⁇ width as the spot diameter, and when the laser irradiation range is asymmetric and complicated, the D86 width can be used as the spot diameter. preferable.
  • the laser irradiation range is rectangular, that is, when the laser is a line beam, it is preferable to adopt a 10/90 knife edge width as the spot diameter.
  • a width that decreases from the maximum intensity of the laser to 1 / e 2 of the maximum intensity may be simply adopted as the spot diameter.
  • ⁇ is the wavelength of the laser.
  • the width L 1 of the outer edge region in the wiring formation prohibition region 372 is calculated, taking into account also the diffusion of the laser, it is possible to perform the layout design of the wiring. Thereby, at the time of laser irradiation to the wiring, it is possible to surely prevent the laser irradiation to the electronic component or the like disposed in a layer below the layer where the wiring is formed.
  • the user designs the layout of the wirings 196, 198 a, b avoiding the wiring formation prohibition area 372, so that when the second layer resin laminate 180 is created, 1 It becomes possible to reliably prevent laser irradiation of the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170 disposed in the resin laminate 130 of the layer.
  • the wiring formation prohibition area 372 is not located between the wiring 196 formed inside the via hole 184 and the electronic component 190. Therefore, the user connects the wiring 196 formed in the via hole 184 and the electronic component 190 in the shortest distance on the second layer design screen 370 regardless of the wiring formation prohibition region 372. 198a may be arranged and designed.
  • a third layer design screen 380 is displayed on the display 354 as shown in FIG.
  • the arrangement of the electronic component 220, the conductive ultraviolet curable resin 228, and the wirings 222, 224a, and b is designed by a user operation.
  • a first resin laminate 130 and a second resin laminate 180 are positioned below the third resin laminate 210.
  • the arrangement design of the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170 on the first layer resin laminate 130 is performed on the first layer design screen (see FIG. 15) 360.
  • the layout design of the electronic component 190 and the conductive ultraviolet curable resin 200 on the second layer resin laminate 180 is performed on the second layer design screen (see FIG. 16) 370.
  • the electronic component 96 designed on the first layer design screen 360 and the wiring formation prohibition region 382 including the planned placement position of the conductive UV curable resin 170, the electronic component 190 designed on the second layer design screen 370, and A wiring formation prohibition area 384 including the planned placement position of the conductive ultraviolet curable resin 200 is displayed on the third layer design screen 380.
  • the width L 2 of the outer edge region of the wiring formation prohibition region 382 and the width L 3 of the outer edge region of the wiring formation prohibition region 384 are calculated by the same method as the width L 1 of the outer edge region of the wiring formation prohibition region 372. .
  • the width L 2 of the outer edge region of the wiring formation prohibition region 382 is larger than the width L 3 of the outer edge region of the wiring formation prohibition region 384.
  • the electronic component 96 included in the wiring formation prohibition region 382 is disposed below the electronic component 190 included in the wiring formation prohibition region 382. That is, the laser irradiation range when forming the third layer wiring is wider in the first layer where the electronic component 96 is disposed than in the second layer where the electronic component 190 is disposed.
  • the electronic component etc. It is possible to prevent laser irradiation on the surface.
  • the wiring formation prohibition area 382 and the wiring formation prohibition area 384 are located between the wiring 222 formed inside the via hole 214 and the electronic component 220. For this reason, the user cannot place and design the wiring 224b on the third-layer design screen 380 so as to connect the wiring 222 formed inside the via hole 214 and the electronic component 220 with the shortest distance. Therefore, the user designs the arrangement of the wiring 224b on the third layer design screen 380, avoiding the wiring formation prohibition area 382 and the wiring formation prohibition area 384. Then, when the third layer resin laminate 210 is formed, the electronic component 96 and the conductive ultraviolet curable resin 170 disposed in the first layer resin laminate 130 and the second layer resin laminate 180 are disposed.
  • the metal ink is printed on the resin laminate 210 while avoiding the upper side of the electronic component 190 and the conductive ultraviolet curable resin 200. As a result, it is possible to reliably prevent laser irradiation of the first and second electronic components 96 and 190 and the conductive ultraviolet curable resins 170 and 200 when the third layer resin laminate 210 is formed. It becomes.
  • the electronic components 96, 190, and 220 are examples of electronic components.
  • the resin laminates 130, 180, and 210 are examples of resin layers.
  • the wirings 166, 196, 198, 222, and 224 are examples of wirings.
  • the conductive ultraviolet curable resin 170, 200, 228 is an example of a conductive portion.
  • the circuit 300 is an example of a circuit.
  • the information processing device 352 is an example of an information processing device.
  • the display 354 is an example of a display device.
  • the wiring formation prohibition regions 372, 382, and 384 are examples of the wiring formation prohibition region.
  • this invention is not limited to the said Example, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art.
  • the wiring formation prohibition area 382 and the like are displayed on the display 354, and the user designs the wiring 224b and the like while avoiding the wiring formation prohibition area 382 and the like.
  • the wiring 224b and the like may be arranged and designed so as to avoid the formation prohibition region 382 and the like.
  • the electronic components and the like disposed in all the layers below the Nth layer are displayed, but the layers below the Nth layer are displayed. Only the electronic components and the like disposed on the selected layer may be displayed. That is, for example, when the wiring of the third layer is designed, only the electronic components and the like arranged in the selected layer of the first layer and the second layer may be displayed. At this time, normally, the second layer immediately below the third layer is selected, and electronic components and the like disposed on the second layer are displayed. As a result, it is possible to display only electronic components and the like that are greatly affected by laser irradiation as the wiring formation prohibited area 382 and the like, and the degree of freedom in wiring layout design is increased.
  • the member which comprises not only an electronic component and electroconductive ultraviolet curable resin but another circuit
  • an arrangement position of a support member for supporting an electronic component or the like may be included in the wiring formation prohibited area.
  • Circuit 352 Information processing device 354: Display 372: Wiring formation prohibition area 382: Wiring formation prohibition area 384: Wiring formation prohibition area

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

複数の樹脂層と、複数の樹脂層のうちの任意の層の各々に配設される複数の電子部品と、金属微粒子を含有する金属含有液へのレーザ照射により形成され、複数の電子部品を電気的に接続する複数の配線とにより構成される回路を設計するための情報処理装置であって、Ｎ層目の樹脂層に配設される配線が設計される際に、Ｎ層目より下層の樹脂層に配設される電子部品の位置を、配線形成禁止領域として表示装置に表示させる情報処理装置。

Description

情報処理装置
　本発明は、複数の樹脂層と、複数の樹脂層のうちの任意の層の各々に配設される複数の電子部品と、金属微粒子を含有する金属含有液へのレーザ照射により形成され、複数の電子部品を電気的に接続する複数の配線とにより構成される回路を設計するための情報処理装置に関する。
　下記特許文献に記載されているように、金属微粒子を含有する金属含有液にレーザを照射することで、金属含有液を焼成して、配線を形成する技術が開発されている。
特開２００６－５９９４２号公報
　金属含有液へのレーザ照射により形成される配線を含む回路の適切な形成を担保する。
　上記課題を解決するために、本明細書は、複数の樹脂層と、前記複数の樹脂層のうちの任意の層の各々に配設される複数の電子部品と、金属微粒子を含有する金属含有液へのレーザ照射により形成され、前記複数の電子部品を電気的に接続する複数の配線とにより構成される回路を設計するための情報処理装置であって、Ｎ層目の樹脂層に配設される配線が設計される際に、前記Ｎ層目より下層の樹脂層に配設される電子部品の位置を、配線形成禁止領域として表示装置に表示させる情報処理装置を開示する。
　本開示によれば、Ｎ層目の樹脂層に配設される配線が設計される際に、Ｎ層目より下層の樹脂層に配設される電子部品の位置が、配線形成禁止領域として表示装置に表示される。これにより、配線形成時に照射されるレーザを、下層に配設されている電子部品に照射することを防止することが可能となり、適切な回路形成が担保される。
回路形成装置を示す図である。 制御装置を示すブロック図である。 １層目の樹脂積層体を示す断面図である。 １層目の樹脂積層体に電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。 １層目の樹脂積層体において、キャビティと電子部品との間に樹脂積層体が形成された状態の回路を示す断面図である。 １層目の樹脂積層体に配線が形成された状態の回路を示す断面図である。 １層目の樹脂積層体において、配線と電子部品とが導電性紫外線硬化樹脂により結線された状態の回路を示す断面図である。 １層目の樹脂積層体の上に２層目の樹脂積層体が積層された状態の回路を示す断面図である。 ２層目の樹脂積層体に電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。 ２層目の樹脂積層体において、配線と電子部品とが導電性紫外線硬化樹脂により結線された状態の回路を示す断面図である。 ２層目の樹脂積層体の上に３層目の樹脂積層体が積層された状態の回路を示す断面図である。 ３層目の樹脂積層体に電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。 ３層目の樹脂積層体において、配線と電子部品とが導電性紫外線硬化樹脂により結線された状態の回路を示す断面図である。 従来の手法により配置設計された３層目の配線を概略的に示す図である。 設計プログラムの処理によりディスプレイに表示される１層目設計画面を示す図である。 設計プログラムの処理によりディスプレイに表示される２層目設計画面を示す図である。 設計プログラムの処理によりディスプレイに表示される３層目設計画面を示す図である。
　図１に回路形成装置１０を示す。回路形成装置１０は、搬送装置２０と、第１造形ユニット２２と、第２造形ユニット２４と、装着ユニット２６と、制御装置（図２参照）２７を備える。それら搬送装置２０と第１造形ユニット２２と第２造形ユニット２４と装着ユニット２６とは、回路形成装置１０のベース２８の上に配置されている。ベース２８は、概して長方形状をなしており、以下の説明では、ベース２８の長手方向をＸ軸方向、ベース２８の短手方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方に直交する方向をＺ軸方向と称して説明する。
　搬送装置２０は、Ｘ軸スライド機構３０と、Ｙ軸スライド機構３２とを備えている。そのＸ軸スライド機構３０は、Ｘ軸スライドレール３４とＸ軸スライダ３６とを有している。Ｘ軸スライドレール３４は、Ｘ軸方向に延びるように、ベース２８の上に配設されている。Ｘ軸スライダ３６は、Ｘ軸スライドレール３４によって、Ｘ軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、Ｘ軸スライド機構３０は、電磁モータ（図２参照）３８を有しており、電磁モータ３８の駆動により、Ｘ軸スライダ３６がＸ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｙ軸スライド機構３２は、Ｙ軸スライドレール５０とステージ５２とを有している。Ｙ軸スライドレール５０は、Ｙ軸方向に延びるように、ベース２８の上に配設されており、Ｘ軸方向に移動可能とされている。そして、Ｙ軸スライドレール５０の一端部が、Ｘ軸スライダ３６に連結されている。そのＹ軸スライドレール５０には、ステージ５２が、Ｙ軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、Ｙ軸スライド機構３２は、電磁モータ（図２参照）５６を有しており、電磁モータ５６の駆動により、ステージ５２がＹ軸方向の任意の位置に移動する。これにより、ステージ５２は、Ｘ軸スライド機構３０及びＹ軸スライド機構３２の駆動により、ベース２８上の任意の位置に移動する。
　ステージ５２は、基台６０と、保持装置６２と、昇降装置６４とを有している。基台６０は、平板状に形成され、上面に基板が載置される。保持装置６２は、基台６０のＸ軸方向の両側部に設けられている。そして、基台６０に載置された基板のＸ軸方向の両縁部が、保持装置６２によって挟まれることで、基板が固定的に保持される。また、昇降装置６４は、基台６０の下方に配設されており、基台６０を昇降させる。
　第１造形ユニット２２は、ステージ５２の基台６０に載置された基板（図３参照）７０の上に配線を造形するユニットであり、第１印刷部７２と、焼成部７４とを有している。第１印刷部７２は、インクジェットヘッド（図２参照）７６を有しており、基台６０に載置された基板７０の上に、金属インクを線状に吐出する。金属インクは、金属の微粒子が溶剤中に分散されたものである。なお、インクジェットヘッド７６は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式によって複数のノズルから金属インクを吐出する。
　焼成部７４は、レーザ照射装置（図２参照）７８を有している。レーザ照射装置７８は、基板７０の上に吐出された金属インクにレーザを照射する装置であり、レーザが照射された金属インクは焼成し、配線が形成される。なお、金属インクの焼成とは、エネルギーを付与することによって、溶媒の気化や金属微粒子保護膜の分解等が行われ、金属微粒子が接触または融着をすることで、導電率が高くなる現象である。そして、金属インクが焼成することで、金属製の配線が形成される。
　また、第２造形ユニット２４は、ステージ５２の基台６０に載置された基板７０の上に樹脂層を造形するユニットであり、第２印刷部８４と、吐出部８５と、硬化部８６とを有している。第２印刷部８４は、インクジェットヘッド（図２参照）８８を有しており、基台６０に載置された基板７０の上に紫外線硬化樹脂を吐出する。紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射により硬化する樹脂である。なお、インクジェットヘッド８８は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式でもよく、樹脂を加熱して気泡を発生させ複数のノズルから吐出するサーマル方式でもよい。
　吐出部８５は、ディスペンスヘッド（図２参照）８９を有しており、基台６０に載置された基板７０の上に導電性紫外線硬化樹脂を吐出する。導電性紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射により硬化する樹脂に、金属微粒子が分散されたものである。そして、紫外線の照射により樹脂が硬化し、収縮することで、金属微粒子が密着し、導電性紫外線硬化樹脂が導電性を発揮する。なお、導電性紫外線硬化樹脂の粘度は、金属インクと比較して、比較的高いため、ディスペンスヘッド８９は、インクジェットヘッド７６のノズルの径より大きな径の１個のノズルから導電性紫外線硬化樹脂を吐出する。なお、ディスペンスヘッド８９は、例えば、スタンプにてペースト転写する転写ヘッドでもよく、導電性紫外線硬化樹脂は、例えば、導電性熱硬化性樹脂でもよい。
　硬化部８６は、平坦化装置（図２参照）９０と照射装置（図２参照）９２とを有している。平坦化装置９０は、インクジェットヘッド８８によって基板７０の上に吐出された紫外線硬化樹脂の上面を平坦化するものであり、例えば、紫外線硬化樹脂の表面を均しながら余剰分の樹脂を、ローラもしくはブレードによって掻き取ることで、紫外線硬化樹脂の厚みを均一させる。また、照射装置９２は、光源として水銀ランプもしくはＬＥＤを備えており、基板７０の上に吐出された紫外線硬化樹脂、若しくは、導電性紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板７０の上に吐出された紫外線硬化樹脂が硬化し、樹脂層が形成され、基板７０の上に吐出された導電性紫外線硬化樹脂が硬化し、配線が形成される。
　また、装着ユニット２６は、ステージ５２の基台６０に載置された基板７０の上に電子部品（図４参照）９６を装着するユニットであり、供給部１００と、装着部１０２とを有している。供給部１００は、テーピング化された電子部品９６を１つずつ送り出すテープフィーダ（図２参照）１１０を複数有しており、供給位置において、電子部品９６を供給する。なお、供給部１００は、テープフィーダ１１０に限らず、トレイから電子部品９６をピックアップして供給するトレイ型の供給装置でもよい。また、供給部１００は、テープ型とトレイ型との両方、あるいはそれ以外の供給装置を備えた構成でもよい。
　装着部１０２は、装着ヘッド（図２参照）１１２と、移動装置（図２参照）１１４とを有している。装着ヘッド１１２は、電子部品９６を吸着保持するための吸着ノズル（図４参照）１１８を有する。吸着ノズル１１８は、正負圧供給装置（図示省略）から負圧が供給されることで、エアの吸引により電子部品９６を吸着保持する。そして、正負圧供給装置から僅かな正圧が供給されることで、電子部品９６を離脱する。また、移動装置１１４は、テープフィーダ１１０による電子部品９６の供給位置と、基台６０に載置された基板７０との間で、装着ヘッド１１２を移動させる。これにより、装着部１０２では、テープフィーダ１１０から供給された電子部品９６が、吸着ノズル１１８により保持され、その吸着ノズル１１８によって保持された電子部品９６が、基板７０に装着される。
　また、制御装置２７は、図２に示すように、コントローラ１２０と、複数の駆動回路１２２とを備えている。複数の駆動回路１２２は、上記電磁モータ３８，５６、保持装置６２、昇降装置６４、インクジェットヘッド７６、レーザ照射装置７８、インクジェットヘッド８８、ディスペンスヘッド８９、平坦化装置９０、照射装置９２、テープフィーダ１１０、装着ヘッド１１２、移動装置１１４に接続されている。コントローラ１２０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１２２に接続されている。これにより、搬送装置２０、第１造形ユニット２２、第２造形ユニット２４、装着ユニット２６の作動が、コントローラ１２０によって制御される。
　回路形成装置１０では、上述した構成によって、基板７０上に電子部品９６が装着され、配線が形成されることで、回路が形成される。具体的には、ステージ５２の基台６０に基板７０がセットされ、そのステージ５２が、第２造形ユニット２４の下方に移動される。そして、第２造形ユニット２４において、図３に示すように、基板７０の上に樹脂積層体１３０が形成される。樹脂積層体１３０は、電子部品９６を装着するためのキャビティ１３２を有しており、インクジェットヘッド８８からの紫外線硬化樹脂の吐出と、吐出された紫外線硬化樹脂への照射装置９２による紫外線の照射とが繰り返されることにより形成される。
　詳しくは、第２造形ユニット２４の第２印刷部８４において、インクジェットヘッド８８が、基板７０の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。この際、インクジェットヘッド８８は、基板７０の上面の所定の部分が概して矩形に露出するように、紫外線硬化樹脂を吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、硬化部８６において、紫外線硬化樹脂の膜厚が均一となるように、紫外線硬化樹脂が平坦化装置９０によって平坦化される。そして、照射装置９２が、その薄膜状の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板７０の上に薄膜状の樹脂層１３３が形成される。
　続いて、インクジェットヘッド８８が、その薄膜状の樹脂層１３３の上の部分にのみ紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。つまり、インクジェットヘッド８８は、基板７０の上面の所定の部分が概して矩形に露出するように、薄膜状の樹脂層１３３の上に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、平坦化装置９０によって薄膜状の紫外線硬化樹脂が平坦化され、照射装置９２が、その薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することで、薄膜状の樹脂層１３３の上に薄膜状の樹脂層１３３が積層される。このように、基板７０の上面の概して矩形の部分を除いた薄膜状の樹脂層１３３の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線の照射とが繰り返され、複数の樹脂層１３３が積層されることで、キャビティ１３２を有する樹脂積層体１３０が形成される。
　上述した手順により樹脂積層体１３０が形成されると、ステージ５２が装着ユニット２６の下方に移動される。装着ユニット２６では、テープフィーダ１１０により電子部品９６が供給され、その電子部品９６が装着ヘッド１１２の吸着ノズル１１８によって、保持される。そして、装着ヘッド１１２が、移動装置１１４によって移動され、吸着ノズル１１８により保持された電子部品９６が、図４に示すように、樹脂積層体１３０のキャビティ１３２の内部に装着される。なお、樹脂積層体１３０の高さ寸法と、電子部品９６の高さ寸法とは略同じとされている。
　電子部品９６がキャビティ１３２の内部に装着されると、ステージ５２が第２造形ユニット２４の下方に移動され、図５に示すように、キャビティ１３２の隙間、つまり、キャビティ１３２を区画する内壁面と電子部品９６との間に、樹脂積層体１５０が形成される。なお、樹脂積層体１５０は、樹脂積層体１３０と同様に、インクジェットヘッド８８による紫外線硬化樹脂の吐出と、照射装置９２による紫外線の照射とが繰り返されることで、形成される。また、樹脂積層体１５０の高さ寸法は、樹脂積層体１３０および電子部品９６の高さ寸法と略同じとされている。これにより、樹脂積層体１３０の上面と樹脂積層体１５０の上面と電子部品９６の上面とは、面一とされる。
　次に、キャビティ１３２の隙間に樹脂積層体１５０が形成されると、ステージ５２は第１造形ユニット２２の下方に移動される。そして、第１印刷部７２において、インクジェットヘッド７６によって、金属インクが樹脂積層体１３０，１５０の上に、回路パターンに応じて線状に吐出される。そして、金属インクへのレーザ照射によって金属インクを焼成させ、電子部品９６を電気的に接続するための配線が形成される。
　ただし、電子部品９６へのレーザ照射を防止するべく、金属インクは、電子部品９６の上に吐出されないように、電子部品９６の近傍まで線状に吐出される。これは、電子部品９６へのレーザ照射による電子部品９６の損傷を防止するためである。また、電子部品９６に照射されたレーザが電子部品９６に吸収され、電子部品９６の上に吐出された金属インクが適切に焼成せずに、結線不良が生じる虞があるためである。そして、金属インクが電子部品９６の近傍まで吐出されると、焼成部７４において、レーザ照射装置７８によって金属インクにレーザが照射される。これにより、金属インクが焼成し、図６に示すように、電子部品９６の近傍まで延び出す配線１６６ａ，ｂが形成される。
　次に、ステージ５２が第２造形ユニット２４の下方に移動され、吐出部８５において、ディスペンスヘッド８９が、図７に示すように、電子部品９６の電極１６２と、配線１６６ａ，ｂとを繋ぐように、導電性紫外線硬化樹脂１７０を吐出する。そして、硬化部８６において、照射装置９２が、導電性紫外線硬化樹脂１７０に紫外線を照射する。これにより、導電性紫外線硬化樹脂１７０が導電性を発揮し、導電性紫外線硬化樹脂１７０により、電子部品９６の電極１６２と、配線１６６ａ，ｂとが電気的に結線される。
　続いて、図８に示すように、樹脂積層体１３０の上に、２層目の樹脂積層体１８０が形成される。樹脂積層体１８０は、樹脂積層体１３０と同様に、インクジェットヘッド８８からの紫外線硬化樹脂の吐出と、吐出された紫外線硬化樹脂への照射装置９２による紫外線の照射とが繰り返されることにより形成される。なお、樹脂積層体１８０には、キャビティ１８２とビア穴１８４とが形成される。キャビティ１８２とビア穴１８４とは、樹脂積層体１３０のキャビティ１３２と同様の手法により形成されるが、ビア穴１８４の内寸は、キャビティ１８２の内寸より小さくされている。また、ビア穴１８４の底部には、配線１６６ｂの一部が露出している。
　次に、装着ユニット２６において、図９に示すように、２層目の樹脂積層体１８０のキャビティ１８２の内部に、電子部品１９０が装着され、第２造形ユニット２４において、キャビティ１８２の隙間、つまり、キャビティ１８２を区画する内壁面と電子部品１９０との間に、樹脂積層体１９２が形成される。なお、電子部品１９０の装着手法、及び、樹脂積層体１９２の形成手法は、電子部品９６の装着手法、及び、樹脂積層体１５０の形成手法と同じである。
　続いて、第１造形ユニット２２において、２層目樹脂積層体のビア穴１８４の内部に金属インクが吐出され、その金属インクにレーザが照射されることで、図１０に示すように、ビア穴１８４の内部に配線１９６が形成される。これにより、配線１９６は、下端において、１層目の樹脂積層体１３０に形成された配線１６６ｂと結線され、上端において、２層目の樹脂積層体１８０の上面に露出する。さらに、配線１９６の上端から電子部品１９０の近傍まで、金属インクが吐出され、その金属インクにレーザが照射されることで、配線１９８ａが形成される。これにより、配線１９６と配線１９８ａとが結線される。また、電子部品１９０を挟んで配線１９８ａの反対側に、金属インクが線状に吐出され、その金属インクにレーザが照射されることで、配線１９８ｂが形成される。
　次に、第２造形ユニット２４において、電子部品１９０の電極１９９と、配線１９８ａ，ｂとを繋ぐように、導電性紫外線硬化樹脂２００が吐出される。そして、導電性紫外線硬化樹脂２００に紫外線が照射されることで、導電性紫外線硬化樹脂２００が導電性を発揮し、電子部品１９０の電極１９９と配線１９８ａ，ｂとが結線される。これにより、１層目の樹脂積層体１３０に配設された電子部品９６と、２層目の樹脂積層体１８０に配設された電子部品１９０とが、配線１６６等及び導電性紫外線硬化樹脂１７０等により、電気的に接続される。
　続いて、第２造形ユニット２４において、図１１に示すように、樹脂積層体１８０の上に、３層目の樹脂積層体２１０が形成される。そして、樹脂積層体２１０には、キャビティ２１２とビア穴２１４とが形成されている。なお、樹脂積層体２１０は、樹脂積層体１８０と同様に形成される。
　次に、装着ユニット２６において、図１２に示すように、３層目の樹脂積層体２１０のキャビティ２１２の内部に、電子部品２２０が装着され、第２造形ユニット２４において、キャビティ２１２を区画する内壁面と電子部品２２０との間に、樹脂積層体２１８が形成される。そして、金属インクの吐出とレーザ焼成とにより、図１３に示すように、ビア穴２１４の内部に配線２２２が形成され、３層目の樹脂積層体２１０の上面に配線２２４ａ，ｂが形成される。また、電子部品２２０の電極２２６と、配線２２４ａ，ｂとを繋ぐように、導電性紫外線硬化樹脂２２８が吐出され、導電性紫外線硬化樹脂２２８への紫外線の照射により導電性紫外線硬化樹脂２２８が導電性を発揮する。これにより、２層目の樹脂積層体１８０に配設された電子部品１９０と、３層目の樹脂積層体２１０に配設された電子部品２２０とが、配線１９８等及び導電性紫外線硬化樹脂２００等により、電気的に接続される。
　このように、回路形成装置１０は、基板７０の上に多層的な回路を形成することが可能とされている。しかしながら、多層的な回路では、上層での配線形成時において、その配線が形成される層より下方の層に配設された電子部品等に、レーザが照射される虞がある。具体的に、上記手順で形成された多層的な回路３００を、上方からの視点において示す図１４を用いて説明する。なお、回路３００では、１層目の樹脂積層体１３０に配設された電子部品９６と、２層目の樹脂積層体１８０に配設された電子部品１９０と、３層目の樹脂積層体２１０に配設された電子部品２２０とが、上方からの視点において、１直線上に配置されている。
　そして、回路３００の３層目の樹脂積層体２１０に、配線２２４ａが形成される際に、一般的に、ビア穴２１４の内部に形成された配線２２２と、３層目の樹脂積層体２１０に配設された電子部品２２０とを最短距離で接続するように、樹脂積層体２１０の上面に金属インクが吐出される。この際、３層目の樹脂積層体２１０に吐出された金属インクの下方には、１層目の樹脂積層体１３０の電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０と、２層目の樹脂積層体１８０の電子部品１９０及び導電性紫外線硬化樹脂２００とが位置する。
　このため、３層目の樹脂積層体２１０に吐出された金属インクにレーザが照射されると、３層目の樹脂積層体２１０を介して、２層目の樹脂積層体１８０の電子部品１９０及び導電性紫外線硬化樹脂２００にも照射される。また、３層目の樹脂積層体２１０及び２層目の樹脂積層体１８０を介して、１層目の樹脂積層体１３０の電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０にも、レーザが照射される。そして、電子部品及び導電性紫外線硬化樹脂は、レーザ耐性が低く、樹脂積層体は、比較的薄いため、電子部品及び導電性紫外線硬化樹脂へのダメージを考慮すると、電子部品及び導電性紫外線硬化樹脂へのレーザ照射は好ましくない。
　このようなことに鑑みて、回路形成装置１０で形成される回路の設計時において、上層での配線形成時に、その配線が形成される層より下方の層に配設された電子部品等に、レーザが照射されないように、回路設計が行われる。具体的には、回路形成装置１０で形成される回路は、設計プログラム（図１５参照）３５０がインストールされた情報処理装置（図１５参照）３５２によって作成される。情報処理装置３５２は、ディスプレイ（図１５参照）３５４に接続されており、設計プログラム３５０の処理に従って、回路の各層を設計するための画面が、ディスプレイ３５４に表示される。
　例えば、回路３００の１層目の樹脂積層体１３０が設計される場合は、図１５に示すように、１層目設計画面３６０が、ディスプレイ３５４に表示される。この１層目設計画面３６０では、電子部品９６，導電性紫外線硬化樹脂１７０，配線１６６ａ，ｂの配置が、カーソル等のユーザ操作により設計される。なお、１層目の樹脂積層体１３０の下方に、電子部品等は配置されない。このため、ユーザは、１層目設計画面３６０において、１層目の樹脂積層体１３０の何れの位置にでも、電子部品９６，導電性紫外線硬化樹脂１７０，配線１６６ａ，ｂの配置を設計することができる。
　また、回路３００の２層目の樹脂積層体１８０が設計される場合は、図１６に示すように、２層目設計画面３７０が、ディスプレイ３５４に表示される。この２層目設計画面３７０では、電子部品１９０，導電性紫外線硬化樹脂２００，配線１９６，１９８ａ，ｂの配置が、ユーザ操作により設計される。なお、２層目の樹脂積層体１８０の下方には、１層目の樹脂積層体１３０が位置しており、その樹脂積層体１３０への電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０の配置設計が、１層目設計画面（図１５参照）３６０において行われている。このため、１層目設計画面３６０において設計された電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０の配置予定位置を含む配線形成禁止領域３７２が、２層目設計画面３７０に表示される。
　配線形成禁止領域３７２は、配線の配置設計を禁止する領域であり、ユーザ操作により、配線形成禁止領域３７２において、配線の配置設計を行うことができないように構成されている。なお、配線形成禁止領域３７２は、電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０の配置予定位置を含み、その配置予定位置の外縁に所定の幅の領域が付加された状態で表示される。これは、金属インクにレーザが照射されるレーザのスポット径を考慮し、電子部品等へのレーザの照射を確実に防止するためである。
　詳しくは、レーザの照射範囲は、一般的に、円形とされており、その円の直径がレーザのスポット径と呼ばれる。このため、レーザの中心と電子部品の外縁とが離れている場合であっても、レーザの中心と電子部品の外縁との間の距離が、スポット径の半分、つまり、半径以下である場合には、電子部品の外縁にレーザが照射される。そこで、配線形成禁止領域３７２は、電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０の配置予定位置の外縁に、レーザのスポット径の半分に相当する幅Ｌ１の領域が付加された状態で表示される。
　なお、レーザのスポット径は、Ｄ４σ幅，Ｄ８６幅，有効ビーム径，１０／９０ナイフエッジ幅等を採用することが可能である。Ｄ４σ幅は、ＩＳＯの国際標準規格であり、所定の式を用いることで演算されるが、この式は、公知の式であるため、記載を省略する。また、Ｄ８６幅は、ビームプロファイルの重心を中心として、ビームパワーの８６％が含まれる円の直径として定義される。このため、ビームプロファイルの重心から円形に領域を増加させていき、領域内のトータルのビームパワーが８６％になったところで、円の直径を算出する。そして、この直径がＤ８６幅となる。
　また、有効ビーム径は、測定されたビームのピーク強度に対して特定のパーセンテージ以上の強度をもつすべてのピクセルの面積と等しい面積の円の直径として定義される。このため、例えば、特定のパーセンテージとして、７０％が選択された場合に、ピーク強度の７０％の強度以上の全てのピクセルの総数が、有効ビーム径の計算に用いられる。そして、ピクセルの総数が演算されると、センサーのピクセルピッチは既知であるため、このピクセル総数と同じ面積の円に置き換えられ、その円の直径が有効ビーム径となる。
　また、１０／９０ナイフエッジ幅は、直行するＸ軸／Ｙ軸の幅の定義の一種であり、各々の軸のプロファイル断面の総エネルギーに対して、積算エネルギーが１０％と９０％となる２点の間の距離で定義される。ちなみに、レーザの照射範囲が円形である場合に、スポット径として、Ｄ４σ幅を採用することが好ましく、レーザの照射範囲が非対称で複雑である場合に、スポット径として、Ｄ８６幅を採用することが好ましい。また、レーザの照射範囲が矩形である場合、つまり、レーザがラインビームである場合に、スポット径として、１０／９０ナイフエッジ幅を採用することが好ましい。なお、上記Ｄ４σ幅など以外に、簡易的に、レーザの最大強度から、最大強度の１／ｅ２まで下がる幅を、スポット径として採用してもよい。
　このように、レーザの照射範囲の形状に応じたスポット径に基づいて、配線形成禁止領域３７２における電子部品等の配置予定位置の外縁に付加される領域（以下、「外縁領域」と記載する）の幅Ｌ１が演算される。さらに言えば、レーザの拡散をも考慮して、外縁領域の幅Ｌ１が演算される。詳しくは、レーザは拡散するため、焦点の有った状態から、照射距離が長くなると、スポット径が大きくなる。このため、焦点の有った状態でのスポット径の１／２、つまり、半径を、Ｒ０とし、焦点から上下方向に距離Ｚ、ズレた状態でのスポット径の１／２、つまり、半径を、ＲＺとすると、Ｒ０とＲＺとは、下記式により示される。
　ＲＺ＝Ｒ０［１＋{（λｚ）／（πＲ０ ２）}２］１／２
ここで、λは、レーザの波長である。
　そこで、上記式に基づいて、配線形成禁止領域３７２における外縁領域の幅Ｌ１が演算されることで、レーザの拡散をも考慮して、配線の配置設計を行うことができる。これにより、配線へのレーザ照射時において、その配線が形成される層より下方の層に配設された電子部品等へのレーザ照射を確実に防止することが可能となる。つまり、２層目設計画面３７０において、ユーザが、配線形成禁止領域３７２を避けて、配線１９６，１９８ａ，ｂの配置を設計することで、２層目の樹脂積層体１８０の作成時において、１層目の樹脂積層体１３０に配置された電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０へのレーザ照射を確実に防止することが可能となる。
　なお、２層目設計画面３７０では、ビア穴１８４の内部に形成された配線１９６と、電子部品１９０との間に、配線形成禁止領域３７２は位置していない。このため、ユーザは、２層目設計画面３７０において、配線形成禁止領域３７２に関わらず、ビア穴１８４の内部に形成された配線１９６と、電子部品１９０とを最短距離で接続するように、配線１９８ａを配置設計すればよい。
　また、回路３００の３層目の樹脂積層体２１０が設計される場合は、図１７に示すように、３層目設計画面３８０が、ディスプレイ３５４に表示される。この３層目設計画面３８０では、電子部品２２０，導電性紫外線硬化樹脂２２８，配線２２２，２２４ａ，ｂの配置が、ユーザ操作により設計される。なお、３層目の樹脂積層体２１０の下方には、１層目の樹脂積層体１３０及び２層目の樹脂積層体１８０が位置している。そして、１層目の樹脂積層体１３０への電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０の配置設計が、１層目設計画面（図１５参照）３６０において行われている。また、２層目の樹脂積層体１８０への電子部品１９０及び導電性紫外線硬化樹脂２００の配置設計が、２層目設計画面（図１６参照）３７０において行われている。このため、１層目設計画面３６０において設計された電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０の配置予定位置を含む配線形成禁止領域３８２と、２層目設計画面３７０において設計された電子部品１９０及び導電性紫外線硬化樹脂２００の配置予定位置を含む配線形成禁止領域３８４とが、３層目設計画面３８０に表示される。
　なお、配線形成禁止領域３８２の外縁領域の幅Ｌ２及び、配線形成禁止領域３８４の外縁領域の幅Ｌ３は、上記配線形成禁止領域３７２の外縁領域の幅Ｌ１と同じ手法により演算される。ちなみに、配線形成禁止領域３８２の外縁領域の幅Ｌ２は、配線形成禁止領域３８４の外縁領域の幅Ｌ３より大きくされている。これは、配線形成禁止領域３８２に含まれる電子部品９６は、配線形成禁止領域３８２に含まれる電子部品１９０より下方に配置されているためである。つまり、３層目の配線形成時におけるレーザの照射範囲が、電子部品９６が配置されている１層目において、電子部品１９０が配置されている２層目より広くなるためである。これにより、１層目に配設されている電子部品９６と、２層目に配設されている電子部品１９０との各々の配設高さが異なる場合であっても、確実に電子部品等へのレーザ照射を防止することが可能となる。
　つまり、３層目設計画面３８０では、配線形成禁止領域３８２及び配線形成禁止領域３８４が、ビア穴２１４の内部に形成された配線２２２と、電子部品２２０との間に位置している。このため、ユーザは、３層目設計画面３８０において、ビア穴２１４の内部に形成された配線２２２と、電子部品２２０とを最短距離で接続するように、配線２２４ｂを配置設計することができない。そこで、ユーザは、３層目設計画面３８０において、配線形成禁止領域３８２及び配線形成禁止領域３８４を避けて、配線２２４ｂの配置を設計する。すると、３層目の樹脂積層体２１０の作成時において、１層目の樹脂積層体１３０に配置された電子部品９６及び導電性紫外線硬化樹脂１７０と、２層目の樹脂積層体１８０に配置された電子部品１９０及び導電性紫外線硬化樹脂２００との上方を避けて、金属インクが樹脂積層体２１０に印刷される。これにより、３層目の樹脂積層体２１０の作成時において、１層目及び２層目の電子部品９６，１９０及び導電性紫外線硬化樹脂１７０，２００へのレーザ照射を確実に防止することが可能となる。
　ちなみに、上記実施例において、電子部品９６，１９０，２２０は、電子部品の一例である。樹脂積層体１３０，１８０，２１０は、樹脂層の一例である。配線１６６，１９６，１９８，２２２，２２４は、配線の一例である。導電性紫外線硬化樹脂１７０，２００，２２８は、導電部の一例である。回路３００は、回路の一例である。情報処理装置３５２は、情報処理装置の一例である。ディスプレイ３５４は、表示装置の一例である。配線形成禁止領域３７２，３８２，３８４は、配線形成禁止領域の一例である。
　なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記実施例では、ディスプレイ３５４に配線形成禁止領域３８２等が表示され、ユーザが配線形成禁止領域３８２等を避けて、配線２２４ｂ等を配置設計するが、情報処理装置３５２が自動的に配線形成禁止領域３８２等を避けて、配線２２４ｂ等を配置設計してもよい。
　また、上記実施例では、Ｎ層目の配線が設計される際に、Ｎ層目より下層の全ての層に配設される電子部品等が表示されるが、Ｎ層目より下層の層のうちの選択された層に配設される電子部品等のみが表示されてもよい。つまり、例えば、３層目の配線が設計される際に、１層目と２層目とのうちの選択された層に配設される電子部品等のみが表示されてもよい。この際、通常は、３層目の直下の２層目が選択され、２層目に配設される電子部品等が表示される。これにより、レーザ照射の影響の大きい電子部品等のみを、配線形成禁止領域３８２等として表示することが可能となり、配線の配置設計の自由度が高くなる。
　また、上記実施例では、電子部品及び導電性紫外線硬化樹脂の配設位置が、配線形成禁止領域３８２に含まれるが、電子部品及び導電性紫外線硬化樹脂だけでなく、他の回路を構成する部材、例えば、電子部品等を支持するためのサポート部材の配設位置が、配線形成禁止領域に含まれてもよい。
　３００：回路　　３５２：情報処理装置　　３５４：ディスプレイ　　３７２：配線形成禁止領域　　３８２：配線形成禁止領域　　３８４：配線形成禁止領域

Claims (4)

  1. 　複数の樹脂層と、前記複数の樹脂層のうちの任意の層の各々に配設される複数の電子部品と、金属微粒子を含有する金属含有液へのレーザ照射により形成され、前記複数の電子部品を電気的に接続する複数の配線とにより構成される回路を設計するための情報処理装置であって、
    　Ｎ層目の樹脂層に配設される配線が設計される際に、前記Ｎ層目より下層の樹脂層に配設される電子部品の位置を、配線形成禁止領域として表示装置に表示させる情報処理装置。
  2. 　前記Ｎ層目より下層の樹脂層に配設される電子部品の外縁に、前記金属含有液に照射されるレーザのスポット径に応じた幅の領域を付加した状態で、前記配線形成禁止領域を前記表示装置に表示させる請求項１に記載の情報処理装置。
  3. 　前記回路が、さらに、
    　導電性ペーストの硬化により形成され、電子部品と配線とを電気的に接続する導電部を含み、
    　前記Ｎ層目より下層の樹脂層に配設される電子部品及び導電部の位置を、前記配線形成禁止領域として前記表示装置に表示させる請求項１または請求項２に記載の情報処理装置。
  4. 　前記Ｎ層目より下層の樹脂層のうちの任意に選択された樹脂層に配設される電子部品の位置を、前記配線形成禁止領域として前記表示装置に表示させる請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
PCT/JP2018/008980 2018-03-08 2018-03-08 情報処理装置 WO2019171531A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/008980 WO2019171531A1 (ja) 2018-03-08 2018-03-08 情報処理装置
JP2020504586A JP6909920B2 (ja) 2018-03-08 2018-03-08 情報処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/008980 WO2019171531A1 (ja) 2018-03-08 2018-03-08 情報処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019171531A1 true WO2019171531A1 (ja) 2019-09-12

Family

ID=67845657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/008980 WO2019171531A1 (ja) 2018-03-08 2018-03-08 情報処理装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6909920B2 (ja)
WO (1) WO2019171531A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023209960A1 (ja) * 2022-04-28 2023-11-02 株式会社Fuji 設計方法、設計プログラム、および回路基板作製方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH096816A (ja) * 1995-06-20 1997-01-10 Mitsubishi Electric Corp 配線板設計装置
JP2001282881A (ja) * 2000-03-29 2001-10-12 Fujitsu Ltd プリント配線板パターン設計装置及び多層パターン処理方法
JP2007329452A (ja) * 2006-05-09 2007-12-20 Canon Inc 配線モジュール、配線モジュールの製造装置および配線モジュールの製造方法
WO2016042657A1 (ja) * 2014-09-19 2016-03-24 富士機械製造株式会社 製造装置及び製造方法
JP2016131201A (ja) * 2015-01-14 2016-07-21 エレクトロ・システム株式会社 回路基板製造装置及び方法
JP2017130553A (ja) * 2016-01-20 2017-07-27 株式会社ミマキエンジニアリング 電子素子設置基材の製造方法、電子部材の製造方法、及び造形装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH096816A (ja) * 1995-06-20 1997-01-10 Mitsubishi Electric Corp 配線板設計装置
JP2001282881A (ja) * 2000-03-29 2001-10-12 Fujitsu Ltd プリント配線板パターン設計装置及び多層パターン処理方法
JP2007329452A (ja) * 2006-05-09 2007-12-20 Canon Inc 配線モジュール、配線モジュールの製造装置および配線モジュールの製造方法
WO2016042657A1 (ja) * 2014-09-19 2016-03-24 富士機械製造株式会社 製造装置及び製造方法
JP2016131201A (ja) * 2015-01-14 2016-07-21 エレクトロ・システム株式会社 回路基板製造装置及び方法
JP2017130553A (ja) * 2016-01-20 2017-07-27 株式会社ミマキエンジニアリング 電子素子設置基材の製造方法、電子部材の製造方法、及び造形装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023209960A1 (ja) * 2022-04-28 2023-11-02 株式会社Fuji 設計方法、設計プログラム、および回路基板作製方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6909920B2 (ja) 2021-07-28
JPWO2019171531A1 (ja) 2020-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6714109B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP7053832B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP6554541B2 (ja) 配線形成方法および配線形成装置
JP6987975B2 (ja) ３次元構造物形成方法、および３次元構造物形成装置
JP6811770B2 (ja) 回路形成方法
WO2019171531A1 (ja) 情報処理装置
JP2017028053A (ja) 回路形成方法
WO2016189577A1 (ja) 配線形成方法
JP6663516B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP6949751B2 (ja) ３次元積層造形のビア形成方法
JP7282906B2 (ja) 部品装着方法、および部品装着装置
JP7549006B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP6987972B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
WO2024057474A1 (ja) 樹脂積層体形成装置、回路基板、および回路基板形成方法
WO2023079607A1 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP7062795B2 (ja) 回路形成装置
WO2024057475A1 (ja) 樹脂積層体形成装置、および樹脂積層体形成方法
WO2023058111A1 (ja) 吐出装置、および検出方法
JP7358614B2 (ja) 配線形成方法
WO2024018615A1 (ja) インタポーザ部材、回路基板作製方法、および設計方法
JP7411452B2 (ja) 回路形成方法
JP7075481B2 (ja) プリント基板形成方法、およびプリント基板形成装置
WO2021176498A1 (ja) 配線形成方法
WO2022101965A1 (ja) 回路形成方法
WO2023157111A1 (ja) 電気回路形成方法、および電気回路形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18908931

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2020504586

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18908931

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1