WO2019167616A1 - Déflecteur optique - Google Patents
Déflecteur optique Download PDFInfo
- Publication number
- WO2019167616A1 WO2019167616A1 PCT/JP2019/004982 JP2019004982W WO2019167616A1 WO 2019167616 A1 WO2019167616 A1 WO 2019167616A1 JP 2019004982 W JP2019004982 W JP 2019004982W WO 2019167616 A1 WO2019167616 A1 WO 2019167616A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- deformation
- base portion
- base
- optical deflector
- main body
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
L'invention concerne un déflecteur optique qui est apte à élargir l'angle d'oscillation d'une plaque réfléchissante. Une déformation inhibitrice (par ex., une déformation selon laquelle un corps principal de section de base (41) s'infléchit dans la direction X) qui inhibe une déformation normale d'une section de base (4) (par ex., une déformation selon laquelle le corps principal de section de base (41) s'infléchit dans la direction Y) est supprimée par la section de base (4) ayant une section de suppression de déformation (43). Par conséquent, un élément d'entraînement (5) peut facilement provoquer un fléchissement normal de la section de base (4) et l'angle d'oscillation de la plaque réfléchissante (2) peut être élargi.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018-032853 | 2018-02-27 | ||
JP2018032853 | 2018-02-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2019167616A1 true WO2019167616A1 (fr) | 2019-09-06 |
Family
ID=67805272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/004982 WO2019167616A1 (fr) | 2018-02-27 | 2019-02-13 | Déflecteur optique |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
WO (1) | WO2019167616A1 (fr) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011018026A (ja) * | 2009-06-09 | 2011-01-27 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2014092630A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Denso Corp | 光走査装置および製造方法 |
JP2015215562A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
JP2017016018A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ装置、およびレーダ装置 |
US20170155879A1 (en) * | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Stmicroelectronics S.R.L. | Resonant biaxial mems reflector with piezoelectric actuators, and projective mems system including the same |
JP2018022003A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像投影装置、画像形成装置、および移動体 |
-
2019
- 2019-02-13 WO PCT/JP2019/004982 patent/WO2019167616A1/fr active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011018026A (ja) * | 2009-06-09 | 2011-01-27 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2014092630A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Denso Corp | 光走査装置および製造方法 |
JP2015215562A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
JP2017016018A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ装置、およびレーダ装置 |
US20170155879A1 (en) * | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Stmicroelectronics S.R.L. | Resonant biaxial mems reflector with piezoelectric actuators, and projective mems system including the same |
JP2018022003A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像投影装置、画像形成装置、および移動体 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4416117B2 (ja) | 偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP6516516B2 (ja) | 光偏向器 | |
US8174750B2 (en) | Optical deflector, optical scanner, image forming apparatus, and image projector | |
JP4984117B2 (ja) | 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 | |
US9091856B2 (en) | Optical reflecting element | |
US7656570B2 (en) | Optical deflector and optical instrument using the same | |
WO2011161943A1 (fr) | Élément de réflexion optique | |
JP7132481B2 (ja) | アクチュエータ及び光走査装置 | |
JP2014215534A (ja) | 光走査装置 | |
JP2012198298A (ja) | 光偏向装置並びにこれを備えた光走査装置、画像投影装置、画像読取装置および画像形成装置 | |
JP2015215562A (ja) | 光走査装置 | |
US8681408B2 (en) | Optical scanning device, image forming apparatus, and image projection device | |
JPWO2015145943A1 (ja) | 光走査デバイス | |
JPWO2012111332A1 (ja) | ミアンダ型振動子および光学反射素子 | |
EP2028523B1 (fr) | Dispositif d'oscillation, déflecteur de lumière, et appareil de formation d'images utilisant le déflecteur de lumière | |
JP5585478B2 (ja) | 光偏向用mems素子 | |
WO2019167616A1 (fr) | Déflecteur optique | |
JP2009122293A (ja) | 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JP2005250077A (ja) | 光偏向器 | |
JP5353761B2 (ja) | 光偏向器の製造方法 | |
JP6648443B2 (ja) | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 | |
CN110320662B (zh) | 促动器以及光扫描装置 | |
JP2005279863A (ja) | アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ | |
JP6287584B2 (ja) | Mems光スキャナ | |
WO2023162674A1 (fr) | Élément réfléchissant optique |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 19760310 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 19760310 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP |