WO2019111137A1 - 半導体装置、表示装置、電子機器、及び動作方法 - Google Patents

半導体装置、表示装置、電子機器、及び動作方法 Download PDF

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豊高耕平
高橋圭
川島進
山崎舜平
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株式会社半導体エネルギー研究所
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    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
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Definitions

  • One embodiment of the present invention relates to a semiconductor device, a display device, an electronic device, and an operation method.
  • one embodiment of the present invention is not limited to the above technical field.
  • the technical field of the invention disclosed in the present specification and the like relates to an object, a method, or a method of manufacturing.
  • one aspect of the present invention relates to a process, a machine, a manufacture, or a composition (composition of matter). Therefore, the technical field of one embodiment of the present invention disclosed in this specification more specifically includes a semiconductor device, a display device, a liquid crystal display device, a light emitting device, a power storage device, an imaging device, a memory device, a processor, an electronic device, A system, a method of driving them, a method of manufacturing them, or a method of inspecting them can be mentioned as an example.
  • a switching element included in a pixel circuit included in a display device a technique in which a transistor in which an oxide semiconductor is a semiconductor thin film is applied can be given.
  • Oxide semiconductor materials are widely known as semiconductor thin films applicable to transistors, but oxide semiconductors are attracting attention as other materials.
  • oxide semiconductor for example, not only single-component metal oxides such as indium oxide and zinc oxide but also multi-component metal oxides are known.
  • oxides of multi-element metals in particular, research on In-Ga-Zn oxide (hereinafter also referred to as IGZO) has been actively conducted.
  • Non-Patent Documents 1 to 3 a c-axis aligned crystalline (CAAC) structure and an nc (nanocrystalline) structure which are neither single crystal nor amorphous are found in an oxide semiconductor (see Non-Patent Documents 1 to 3) ).
  • Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2 also disclose a technique for manufacturing a transistor using an oxide semiconductor having a CAAC structure.
  • non-patent documents 4 and 5 disclose that even oxide semiconductors that are less crystalline than the CAAC structure and the nc structure have minute crystals.
  • Patent Document 2 discloses an invention in which a transistor including IGZO in an active layer is used for a pixel circuit of a display device.
  • the display device As a condition for the display device to display a high-quality image, the display device is required to have, for example, high resolution, multiple gradations, and a wide color gamut.
  • a display device including a light emitting element such as an organic EL (Electro Luminescence) element
  • the variation in the characteristics of the driving transistor is suppressed and the image data transmitted to the pixel is appropriately selected. It needs to be corrected.
  • One object of one embodiment of the present invention is to provide a pixel circuit (referred to as a semiconductor device in this specification and the like) capable of suppressing variation in characteristics of a driving transistor and correcting image data. Do. Alternatively, an object of one embodiment of the present invention is to provide a display device including the semiconductor device. Alternatively, an object of one embodiment of the present invention is to provide an electronic device including the display device. Another object of one embodiment of the present invention is to provide a method for operating the semiconductor device, the display device, and the electronic device.
  • the problem of one embodiment of the present invention is not limited to the problems listed above.
  • the issues listed above do not disturb the existence of other issues.
  • Still other problems are problems which are not mentioned in this item described in the following description.
  • the problems not mentioned in this item can be derived by the person skilled in the art from the description such as the specification or the drawings, and can be appropriately extracted from these descriptions.
  • one embodiment of the present invention is to solve at least one of the above-listed problems and the other problems. Note that one embodiment of the present invention does not have to solve all of the above-listed problems and the other problems.
  • One embodiment of the present invention includes an image data holding unit, a correction data holding unit, a driver circuit unit, a display element, and a threshold voltage correction circuit unit, and the driver circuit unit includes a back gate. It has a first transistor, the first terminal of the first transistor is electrically connected to the input terminal of the display element, and the image data holding unit has a function of holding the first image data, and a correction data holding unit Has a function of holding correction data, and a function of generating second image data according to the first image data and the correction data by holding the first image data by the image data holding unit;
  • the circuit unit has a function of generating a first current between a first terminal and a second terminal of the first transistor by applying a first potential corresponding to the second image data to the gate of the first transistor. Display the first current Has a function to flow to the child, the threshold voltage correcting circuit section has a function of correcting the threshold voltage of the first transistor included in the driver circuit portion is a semiconductor device.
  • one aspect of the present invention has the first to third capacitors in the configuration of the above (1), the image data storage unit includes a second transistor, and the correction data storage unit includes a third transistor.
  • the threshold voltage correction circuit has a fourth transistor, the first terminal of the second transistor is electrically connected to the first terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the third transistor is Is electrically connected to the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element, and the first terminal of the first transistor is the second capacitive element
  • the back gate of the first transistor is electrically connected to the second terminal and the first terminal of the third capacitive element, and the back gate of the first transistor is connected to the first terminal of the fourth transistor and the second terminal of the third capacitive element. It is a semiconductor device electrically connected.
  • one embodiment of the present invention is the semiconductor device in the structure of the above (2), wherein each of the first to fourth transistors has one of metal oxide and silicon in a channel formation region.
  • the driver circuit portion includes a fifth transistor, and the first terminal of the third transistor and the input terminal of the display element include A semiconductor device electrically connected between the first terminal and the second terminal of the fifth transistor.
  • one embodiment of the present invention is the semiconductor device in the above structure (4), in which the fifth transistor includes one of a metal oxide or silicon in a channel formation region.
  • one aspect of the present invention has the sixth transistor in any one of the configurations (2) to (5), and the first terminal of the sixth transistor is electrically connected to the gate of the first transistor.
  • the semiconductor device is connected and the second terminal of the sixth transistor is electrically connected to the first terminal of the first transistor.
  • one embodiment of the present invention is the semiconductor device in the above (6), in which the sixth transistor includes one of a metal oxide or silicon in a channel formation region.
  • one embodiment of the present invention has the first function to the third function in any one of the structures (2) to (7), and the first function turns on the third transistor, A function of applying a first initialization potential to the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element, and the fourth transistor being turned on; A function of applying a second initialization potential to the back gate of the transistor, a first terminal of the first transistor, a second terminal of the second capacitive element, and a third terminal of the third capacitive element.
  • one embodiment of the present invention is a display device including the semiconductor device having any one of the structures (1) to (8) and a peripheral circuit.
  • one embodiment of the present invention is an electronic device including the display device having the above structure (9) and a housing.
  • one embodiment of the present invention is an operation method of a semiconductor device including an image data holding unit, a correction data holding unit, a driver circuit unit, a display element, and a threshold voltage correction circuit unit.
  • the driver circuit portion includes a first transistor having a back gate
  • the method of operating the semiconductor device includes a threshold voltage correction period, a correction data writing period, an image data writing period, and an image display period.
  • the threshold voltage correction period includes a period in which the threshold voltage correction circuit unit corrects the threshold voltage of the first transistor by applying a potential to the back gate of the first transistor.
  • one aspect of the present invention includes the initialization period, the semiconductor device includes a first capacitor element to a third capacitor element, and the image data storage unit includes a second
  • the correction data holding unit includes a third transistor, the threshold voltage correction circuit includes a fourth transistor, and the first terminal of the second transistor is a first terminal of the first capacitive element.
  • the first terminal of the third transistor is electrically connected to the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element
  • the first terminal of the first transistor is electrically connected to the second terminal of the second capacitive element, the first terminal of the third capacitive element, and the input terminal of the display element, and the back gate of the first transistor is ,
  • the first terminal of the fourth transistor, and the third terminal of the third capacitive element The third transistor is electrically connected to the terminal, and in the initialization period, the third transistor is turned on, and the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element , And a period during which the first initialization potential is applied, the fourth transistor is turned on, and the second initialization potential is applied to the back gate of the first transistor and the second terminal of the third capacitive element.
  • the threshold voltage correction period is a period in which the current from the first terminal of the first transistor to the display element is cut off, the third transistor is turned off, and the second capacitance element is set to the first initialization potential.
  • a period during which the potential difference with the third initialization potential is held, and the first transistor By applying a high potential to the second terminal, the first terminal-second terminal of the first transistor until the potential of the first terminal of the first transistor reaches the second potential at which the first transistor is turned off And a period in which the fourth transistor is turned off and the third capacitance element holds the potential difference between the second potential and the second initialization potential, and the correction data is written.
  • the third transistor is turned on, and the third potential according to the correction data is applied to the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element.
  • the third transistor is turned off, and the third potential is held by the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element.
  • Period, and image data writing During the second period, the second transistor is turned on, and a fourth potential according to the first image data is applied to the first terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the first capacitive element is As the fourth potential is written, the third potential held in the gate of the first transistor, the second terminal of the first capacitive element, and the first terminal of the second capacitive element is the second image data. And a period during which the first potential fluctuates according to the above.
  • one embodiment of the present invention is a method of operating a display device in which the first to fourth transistors each have one of metal oxide and silicon in a channel formation region in the operation method of (12). .
  • the driver circuit portion in the operation method according to (12) or (13), includes a fifth transistor, and a first terminal of the third transistor and an input terminal of a display element. Is electrically connected between the first terminal and the second terminal of the fifth transistor, and the fifth transistor is turned off in the initializing period, the correction data writing period, and the image data writing period.
  • the method for operating a semiconductor device has a period, and the image display period includes a period in which the fifth transistor is turned on.
  • one embodiment of the present invention is a method of operating a semiconductor device in which the fifth transistor has one of metal oxide and silicon in a channel formation region in the operation method of (14).
  • the semiconductor device in the operation method according to any one of the above (12) to (15), includes a sixth transistor, and the first terminal of the sixth transistor is the first transistor.
  • the second terminal of the sixth transistor is electrically connected to the gate, the second terminal of the sixth transistor is electrically connected to the first terminal of the first transistor, and the threshold voltage correction period has a period during which the sixth transistor is turned on. And an operating method of the semiconductor device.
  • one embodiment of the present invention is a method of operating a semiconductor device in which the sixth transistor has one of metal oxide and silicon in a channel formation region in the operation method of (16).
  • one embodiment of the present invention is a method of operating a display device including the method of operating a semiconductor device according to any one of the above (11) to (17), wherein the display device is a matrix of a plurality of semiconductor devices.
  • the plurality of semiconductor devices function as a first pixel and a second pixel, and the first pixel and the second pixel are arranged in different rows in the display portion.
  • a semiconductor device which can suppress variation in characteristics of a driving transistor and can correct image data can be provided.
  • a display device including the semiconductor device can be provided.
  • an electronic device including the display device can be provided.
  • an operation method of the semiconductor device, the display device, and the electronic device can be provided.
  • a display device having a source driver circuit with a small circuit area can be provided.
  • a display device having a source driver circuit with low power consumption can be provided.
  • the effect of one embodiment of the present invention is not limited to the effects listed above.
  • the above listed effects do not disturb the existence of other effects.
  • Still other effects are the effects not mentioned in this item, which will be described in the following description.
  • the effects not mentioned in this item can be derived by the person skilled in the art from the description such as the specification or the drawings, and can be appropriately extracted from these descriptions.
  • one embodiment of the present invention has at least one of the effects listed above and the other effects. Therefore, one aspect of the present invention may not have the effects listed above in some cases.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a display device.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of the configuration of a pixel.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of the configuration of a pixel.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration example of a pixel.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of the configuration of a pixel.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration example of a pixel.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration example of a pixel.
  • 7 is a timing chart showing an operation example of a pixel.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining an example of timing of operation of a pixel and voltage application to a wiring.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining an example of timing of operation of a pixel and voltage application to a wiring.
  • FIG. 2 is a block diagram showing an example of configuration of a display portion and its peripheral circuit.
  • FIG. 6 is a top view illustrating an example of a display device.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of a touch panel.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a display device.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a configuration example of a transistor.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a configuration example of a transistor.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of an electronic device.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of an electronic device.
  • the metal oxide is a metal oxide in a broad sense. Metal oxides are classified into oxide insulators, oxide conductors (including transparent oxide conductors), oxide semiconductors (also referred to as oxide semiconductor or simply OS), and the like.
  • the metal oxide may be referred to as an oxide semiconductor. That is, in the case where the metal oxide can form a channel formation region of a transistor having at least one of an amplification action, a rectification action, and a switching action, the metal oxide is referred to as a metal oxide semiconductor (metal oxide semiconductor). It can be called OS.
  • OS metal oxide semiconductor
  • the transistor can be put in another way as a transistor having a metal oxide or an oxide semiconductor.
  • metal oxides having nitrogen may also be collectively referred to as metal oxides.
  • a metal oxide having nitrogen may be referred to as metal oxynitride.
  • Embodiment 1 In this embodiment, a semiconductor device of one embodiment of the present invention or a display device including the semiconductor device is described.
  • FIG. 1 is a block diagram showing an example of a display device having light emitting elements such as inorganic EL elements and organic EL elements.
  • the display device DD includes a display unit PA, and a source driver circuit SD and a gate driver circuit GD as peripheral circuits of the display unit PA.
  • the display unit PA has a plurality of pixels PIX.
  • FIG. 1 only one of the plurality of pixels PIX included in the display unit PA is illustrated, and the other pixels PIX are omitted. Further, it is preferable that the plurality of pixels PIX included in the display unit PA be arranged in a matrix.
  • the pixel PIX is electrically connected to the source driver circuit SD through the wiring DL.
  • the pixel PIX is electrically connected to the gate driver circuit GD via the wiring GL.
  • the display portion PA includes a plurality of pixels PIX, a plurality of pixels PIX electrically connected to the wiring DL may be provided.
  • a plurality of pixels PIX may be electrically connected to the wiring GL.
  • a plurality of each of the wiring DL and the wiring GL may be provided in accordance with the number of the pixels PIX included in the display unit PA.
  • a plurality of wirings DL or a plurality of wirings GL may be electrically connected to one pixel PIX.
  • the pixel PIX can be configured to have one or more sub-pixels.
  • the pixel PIX has a configuration having one sub-pixel (any one color such as red (R), green (G), blue (B), white (W), etc.) and three sub-pixels. (Three colors of red (R), green (G), and blue (B), etc.) or a configuration having four sub-pixels (red (R), green (G), blue (B), white (W) Or four colors of red (R), green (G), blue (B), and yellow (Y).
  • the color elements applied to the sub-pixels are not limited to the above, and may be combined with cyan (C) and magenta (M) as needed.
  • the source driver circuit SD has a function of generating image data to be input to the pixel PIX included in the display unit PA, and a function of transmitting the image data to the pixel PIX.
  • the source driver circuit SD can have, for example, a shift register SR, a latch circuit LAT, a level shift circuit LVS, a digital-to-analog converter circuit DAC, an amplifier circuit AMP, and a data bus wiring DB.
  • the output terminal of shift register SR is electrically connected to the clock input terminal of latch circuit LAT
  • the input terminal of latch circuit LAT is electrically connected to data bus wiring DB
  • the output terminal of latch circuit LAT is
  • the output terminal of the level shift circuit LVS is electrically connected to the input terminal of the digital analog conversion circuit DAC
  • the output terminal of the digital analog conversion circuit DAC is electrically connected to the input terminal of the level shift circuit LVS. It is electrically connected to the input terminal, and the output terminal of the amplifier circuit AMP is electrically connected to the display unit PA.
  • the latch circuit LAT, the level shift circuit LVS, the digital / analog conversion circuit DAC, and the amplifier circuit AMP shown in FIG. 1 are provided for one wiring DL. That is, it is necessary to provide a plurality of latch circuits LAT, level shift circuits LVS, digital-to-analog conversion circuits DAC, and amplifier circuits AMP in accordance with the number of the wirings DL.
  • the shift register SR may be configured to sequentially transmit pulse signals to each of the clock input terminals of the plurality of latch circuits LAT.
  • the data bus wiring DB is a wiring for transmitting a digital signal including image data to be input to the display unit PA.
  • the image data has a gradation, and as the gradation is larger, the change in color or brightness can be expressed by a smooth gradation, and an image close to natural can be displayed on the display unit PA.
  • the larger the gradation the larger the data amount of the image data, and it is necessary to use a high-resolution digital-to-analog converter.
  • a digital signal including image data is input from the data bus wiring DB to the input terminal of the latch circuit LAT. Then, the latch circuit LAT performs one operation of holding the image data or outputting the held image data from the output terminal according to a signal transmitted from the shift register SR.
  • the level shift circuit LVS has a function of converting an input signal into an output signal of a larger amplitude voltage or a smaller amplitude voltage. In FIG. 1, it has a role of converting the amplitude voltage of a digital signal including image data sent from the latch circuit LAT into an amplitude voltage which the digital-to-analog conversion circuit DAC properly operates.
  • the digital-to-analog conversion circuit DAC has a function of converting a digital signal including input image data into an analog signal, and a function of outputting the analog signal from an output terminal.
  • the digital-to-analog converter circuit DAC needs to be a high-resolution digital-to-analog converter circuit.
  • the amplifier circuit AMP has a function of amplifying an analog signal input to an input terminal and outputting the analog signal from an output terminal.
  • image data can be stably transmitted to the display unit PA.
  • a voltage follower circuit having an operational amplifier or the like can be applied.
  • the offset voltage of the differential input circuit is preferably 0 V without limit.
  • the source driver circuit SD can convert a digital signal including image data sent from the data bus wiring DB into an analog signal and transmit it to the display unit PA by performing the above-described operation.
  • the gate driver circuit GD has a function of selecting a pixel PIX as an input destination of image data among the plurality of pixels PIX included in the display unit PA.
  • the gate driver circuit GD transmits a selection signal to a plurality of pixels PIX electrically connected to a certain one of the wirings GL
  • the write switching element of the image data included in PIX is turned on, and thereafter, the image data may be transmitted from the source driver circuit SD to the plurality of pixels PIX via the wiring DL to perform writing.
  • one embodiment of the present invention is not limited to the structure of the display device DD illustrated in FIG. According to one aspect of the present invention, for example, the components of the display device DD can be changed as appropriate depending on conditions such as design specifications and purposes.
  • pixel PIX shown in the block diagram of FIG. 2A can be applied as the pixel PIX.
  • 2A also shows the electrical connection with the pixel PIX, the gate driver circuit GD, the source driver circuit SD, the display portion PA, the wiring DL, and the wiring GL are also shown. It shows.
  • a pixel PIX illustrated in FIG. 2A includes an image data holding unit 101, a drive circuit unit 102, and a display element 103.
  • the image data holding unit 101 is electrically connected to the drive circuit unit 102, and the drive circuit unit 102 is electrically connected to the display element 103.
  • the image data holding unit 101 has a function of holding image data sent from the source driver circuit SD via the wiring DL.
  • the image data holding unit 101 can also have a write switching element, a capacitive element, and the like for holding image data.
  • the display element 103 has a function of controlling light emitted from the pixel PIX.
  • the intensity of the light (which can be rephrased as luminance, height of gradation, etc.) is determined according to the image data stored in the image data storage unit 101.
  • a light emitting element such as an inorganic EL element or an organic EL element, a transmissive liquid crystal element, a reflective liquid crystal element, or the like can be used.
  • the drive circuit unit 102 has a function of driving the display element 103 in accordance with the image data held in the image data holding unit 101.
  • the driver circuit portion 102 can include a driving transistor which controls the current. Note that the driving transistor has a function of supplying a driving current to the display element 103.
  • the wiring VA is electrically connected to the pixel PIX.
  • the wiring VA can be, for example, a capacitance line for holding image data in the image data holding unit 101, a voltage supply line for driving the drive circuit unit 102, or the like. Therefore, the wiring VA can be one or more wirings.
  • the configuration of the wiring VA is not limited to the above, and can be appropriately changed according to the configuration of the pixel PIX.
  • the wiring VA can be a current supply line for driving the light emitting element.
  • the wiring VA does not have to be a current supply line.
  • the wiring GL is described as having a function of transmitting a selection signal in advance when writing image data to the pixel PIX.
  • the pixel PIX illustrated in FIG. In the display device DD the wiring GL may have a function of transmitting a signal for switching between the conductive state and the nonconductive state between the pixel PIX and the wiring VA in FIG. 2A. Therefore, the wiring GL can be a plurality of wirings because a plurality of signals are transmitted. Thus, the voltage and / or current supplied from the wiring VA can be temporarily stopped.
  • the pixel PIX may have a function of performing correction on image data.
  • the configuration of the pixel PIX in this case is shown in the block diagram of FIG.
  • the pixel PIX shown in FIG. 2B has a configuration in which the correction data holding unit 104 is provided to the pixel PIX in FIG. 2A.
  • the correction data holding unit 104 is electrically connected to the image data holding unit 101 and the drive circuit unit 102.
  • the correction data holding unit 104 has a function of holding correction data sent from the circuit WSD via the wiring WDL, and a function of correcting the image data held in the image data holding unit 101 based on the correction data. And.
  • the drive circuit unit 102 has a function of driving the display element 103 in accordance with the image data corrected by the correction data holding unit 104.
  • correction data holding unit 104 can have a write switching element, a capacitive element, and the like for holding correction data.
  • Examples of the method of correcting image data include a method using a capacitive element.
  • the first potential corresponding to the correction data is held in one of the pair of terminals of the capacitive element, and thereafter the pair of one of the terminals of the capacitive element is electrically floated
  • the image data holding unit 101 holds the second potential corresponding to the image data in the other terminal of the pair of capacitance elements. Accordingly, it is assumed that the first potential of one of the pair of terminals of the capacitive element is raised and lowered according to the second potential by the capacitive coupling and becomes the third potential.
  • the third potential corresponds to the corrected image data.
  • the drive circuit portion 102 can drive the display element 103 in accordance with the third potential by applying the third potential to the drive circuit portion 102.
  • the circuit WSD has a function of generating correction data for correcting an image displayed by the pixel PIX included in the display unit PA, and a function of transmitting the correction data to the pixel PIX.
  • the source driver circuit SD may include the function of the circuit WSD described above.
  • a demultiplexer or the like may be provided inside or at the output destination of the source driver circuit SD, and image data and correction data may be transmitted from one circuit to the wiring DL and the wiring WDL, respectively. .
  • the image data held in the image data holding unit 101 is subjected to an image according to the correction data held in the correction data holding unit 104.
  • a correction can be made. Examples of the image correction here include amplification of luminance, conversion to a multi-gradation image, and the like.
  • the circuit WSD when the correction data to be transmitted from the circuit WSD to the pixel PIX can be generated by the source driver circuit SD, the circuit WSD is omitted and the wiring WDL is electrically connected to the source driver circuit SD.
  • the source driver circuit SD generates image data, transmits the image data to the image data holding unit 101 via the wiring DL, and the source driver circuit SD
  • the correction data is generated, and the correction data is transmitted to the correction data holding unit 104 through the wiring WDL.
  • FIG. 4 shows an example of the circuit configuration of the pixel PIX shown in FIG. 2 (B).
  • the pixel PIX illustrated in FIG. 4 includes transistors Tr1 to Tr5, a capacitive element C1, a capacitive element C2, and a light emitting element LD.
  • the wiring DL, the wiring WDL, the wirings GL1 to GL3, the wiring VL, the wiring AL, and the wiring CAT are electrically connected to the pixel PIX.
  • Each of the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, and the transistor Tr5 functions as a switching element.
  • the transistor Tr3 functions as a drive transistor that controls the current flowing to the light emitting element LD.
  • the configurations of the transistors described in Embodiment 3 to be described later can be applied to the transistors Tr1 to Tr5.
  • the wiring DL is a wiring for transmitting image data to the pixel PIX, and can be a wiring corresponding to the wiring DL illustrated in FIG. 2B.
  • the wiring WDL is a wiring for transmitting correction data for the image data, and can be a wiring corresponding to the wiring WDL illustrated in FIG. 2B.
  • each of the wirings GL1 to GL3 is a selection signal line for the pixel PIX and can be a wiring corresponding to the wiring GL illustrated in FIG. 2B.
  • the wiring VL is a wiring for applying a predetermined potential to a specific node in the pixel PIX.
  • the wiring AL is a wiring for supplying a current for causing the light emitting element LD to flow.
  • the wiring VL and the wiring AL can be a wiring corresponding to the wiring VA illustrated in FIG.
  • the wiring CAT is a wiring for applying a predetermined potential to the output terminal of the light emitting element LD.
  • the predetermined potential can be, for example, a reference potential, a low level potential, or a potential lower than them.
  • the wiring CAT can be a wiring corresponding to the wiring VA illustrated in FIG.
  • the wire CAT preferably functions as a wire for applying a common potential in the plurality of pixels PIX included in the display unit PA.
  • the first terminal of the transistor Tr1 is electrically connected to the first terminal of the capacitive element C1, the second terminal of the transistor Tr1 is electrically connected to the wiring DL, and the gate of the transistor Tr1 is electrically connected to the wiring GL1. It is connected to the.
  • the first terminal of the transistor Tr2 is electrically connected to the gate of the transistor Tr3, the second terminal of the capacitive element C1, and the first terminal of the capacitive element C2, and the second terminal of the transistor Tr2 is connected to the wiring WDL.
  • the gate of the transistor Tr2 is electrically connected to the wiring GL2.
  • an electrical connection point between the first terminal of the transistor Tr1 and the first terminal of the capacitive element C1 is referred to as a node ND1
  • the first terminal of the transistor Tr2 and the gate of the transistor Tr3 The electrical connection point between the second terminal of the capacitive element C1 and the first terminal of the capacitive element C2 is referred to as a node ND2.
  • the first terminal of the transistor Tr3 is electrically connected to the wiring AL, and the second terminal of the transistor Tr3 is a first terminal of the transistor Tr4, a first terminal of the transistor Tr5, and a second terminal of the capacitive element C2. Are connected electrically.
  • the second terminal of the transistor Tr4 is electrically connected to the wiring VL, and the gate of the transistor Tr4 is electrically connected to the wiring GL1.
  • the second terminal of the transistor Tr5 is electrically connected to the input terminal of the light emitting element LD, and the gate of the transistor Tr5 is electrically connected to the wiring GL3.
  • the output terminal of the light emitting element LD is electrically connected to the wiring CAT.
  • the transistor Tr5 Since the second terminal of the transistor Tr3 and the light emitting element LD are electrically connected through the first terminal and the second terminal of the transistor Tr5, the transistor Tr5 emits light with the second terminal of the transistor Tr3. It functions as a switching element capable of switching between the conduction state and the non-conduction state with the input terminal of the element LD.
  • the capacitive element C1 has a function of holding the potential difference between the node ND1 and the node ND2, and the capacitive element C2 has a function of holding the potential difference between the second terminal of the transistor Tr3 and the gate.
  • At least one of the transistors Tr1 to Tr5 is preferably an OS transistor.
  • the OS transistor preferably includes an oxide containing at least one of indium, an element M (the element M is aluminum, gallium, yttrium, or tin), or zinc in a channel formation region.
  • the oxide is described in detail in Embodiment 4.
  • the off current is achieved by using the transistor Tr2 as an OS transistor.
  • the transistor Tr5 as an OS transistor.
  • the OS transistor by applying the OS transistor to all of the transistors Tr1 to Tr5, the respective transistors can be formed at the same time, which may shorten the manufacturing process of the display portion PA. That is, since the production time of the display unit PA can be shortened, the number of productions per fixed time can be increased.
  • a transistor including silicon in a channel formation region can be applied to at least one of the transistors Tr1 to Tr5 (hereinafter, referred to as a Si transistor).
  • silicon for example, hydrogenated amorphous silicon, microcrystalline silicon, polycrystalline silicon, single crystal silicon, or the like can be used.
  • some of the transistors may be Si transistors, and the remaining transistors may be OS transistors.
  • the image data holding unit 101 illustrated in FIG. 2B can include, for example, the transistor Tr1 illustrated in FIG.
  • the driver circuit portion 102 can include, for example, the transistors Tr3 to Tr5 illustrated in FIG.
  • the display element 103 can include, for example, a light emitting element LD illustrated in FIG.
  • the correction data holding unit 104 can include, for example, a transistor Tr2 shown in FIG.
  • Each of the image data holding unit 101, the drive circuit unit 102, and the correction data holding unit 104 shares the function of holding the potential of each of the capacitive element C1 and the capacitive element C2 shown in FIG. It can not be uniquely determined which circuit each of C1 and capacitive element C2 is included. In other words, each of the capacitive element C1 and the capacitive element C2 can be said to be included in any one of the image data holding unit 101, the drive circuit unit 102, and the correction data holding unit 104.
  • the display quality of the display device DD may be affected by the variation in the characteristics of the drive transistors included in the drive circuit unit 102.
  • the influence is increased. Therefore, in order to improve the display quality of the display device DD, correction of the threshold voltage of the transistor Tr3 functioning as a driving transistor is performed. It will be necessary.
  • the external circuit acquires the current flowing between the first terminal and the second terminal of the driving transistor, and sequentially uses the current. Because it is necessary to calculate image data, it takes time to correct the threshold voltage, and power consumption may be increased.
  • One embodiment of the present invention is made in view of the above, and performs correction of the threshold voltage of the drive transistor included in the drive circuit unit 102 in the pixel PIX including the image data holding unit 101 and the correction data holding unit 104.
  • a threshold voltage correction circuit unit is provided.
  • the threshold voltage correction circuit unit is configured to correct the threshold voltage by applying a predetermined potential to the back gate of the drive transistor to correct the threshold voltage of the drive transistor. Arithmetic processing on image data can be omitted.
  • FIG. 1 An example of a circuit configuration of the pixel PIX which is a semiconductor device of one embodiment of the present invention is illustrated in a block diagram of FIG.
  • the pixel PIX illustrated in FIG. 5A includes an image data holding unit 101, a driving circuit unit 102, a display element 103, a correction data holding unit 104, and a threshold voltage correction circuit unit 105.
  • the pixel PIX shown in FIG. 5A has a configuration in which the threshold voltage correction circuit unit 105 is provided in the pixel PIX in FIG. 2B.
  • the threshold voltage correction circuit unit 105 is electrically connected to the drive circuit unit 102.
  • the threshold voltage correction circuit unit 105 has a function of correcting the threshold voltage of the drive transistor included in the drive circuit unit 102. Further, the threshold voltage correction circuit unit 105 can include a switching element, a capacitor, and the like for holding content for correcting the threshold voltage.
  • the threshold voltage correction circuit unit 105 is electrically connected to the wiring GL, the wiring VA, and the like to operate with the selection signal transmitted from the wiring GL and the voltage and / or current transmitted from the wiring VA. be able to.
  • a drive circuit by the threshold voltage correction circuit unit 105 By applying the pixel PIX shown in FIG. 5A to the display device DD, in addition to the correction of image data by the image data holding unit 101 and the correction data holding unit 104, a drive circuit by the threshold voltage correction circuit unit 105. Correction of the threshold voltage of the driving transistor included in the portion 102 can be performed.
  • the display device DD to which the pixel PIX shown in FIG. 5A is applied is suitable for a display device using a light emitting element such as an organic EL element as a display element, for example. Since the luminance of a light emitting element such as an organic EL element is determined by the magnitude of the current flowing to the light emitting element, the display quality of the display device is degraded if the characteristics of the drive transistor for flowing the current vary.
  • the threshold voltage of the drive transistor can be corrected, so that the current flowing through the drive transistor does not increase or decrease due to the variation in transistor characteristics. It is possible to prevent the display quality of the display device from being degraded.
  • the display quality of the display device can be enhanced.
  • the variation in the characteristics of the driving transistor tends to be large. Therefore, by applying the pixel PIX shown in FIG. 5A to the display device, the influence of the variation in the characteristics is reduced. can do.
  • the correction of the threshold voltage is performed inside the pixel PIX, an external circuit that performs the correction of the threshold voltage becomes unnecessary, and the cost can be reduced.
  • the circuit WSD is omitted, correction data is generated by the source driver circuit SD, and the correction data is It may be configured to transmit to the correction data holding unit 104 through the wiring WDL.
  • FIG. 5 (B) Such a configuration is shown in FIG. 5 (B).
  • FIGS. 5A and 5B a specific circuit configuration of the pixel PIX shown in FIGS. 5A and 5B will be described.
  • 6A shows an example of the circuit configuration of the pixel PIX shown in FIGS. 5A and 5B.
  • the pixel PIX shown in FIG. 6A has a configuration in which a transistor Tr7 and a capacitive element C3 are provided to the pixel PIX shown in FIG.
  • the pixel PIX shown in FIG. 6A is different from the pixel PIX shown in FIG. 4 in that the transistor Tr3 has a back gate.
  • the back gate of the transistor Tr3 is electrically connected to the first terminal of the transistor Tr7 and the first terminal of the capacitive element C3.
  • the second terminal of the transistor Tr7 is electrically connected to the wiring BGL, and the gate of the transistor Tr7 is electrically connected to the wiring GL4.
  • the second terminal of the capacitive element C3 is electrically connected to the second terminal of the transistor Tr3, the first terminal of the transistor Tr4, the first terminal of the transistor Tr5, and the second terminal of the capacitive element C2. .
  • the electrical connection point is referred to as a node ND3, and the electrical connection point between the back gate of the transistor Tr3, the first terminal of the transistor Tr7, and the first terminal of the capacitive element C3 is referred to as a node ND4.
  • the wiring GL4 is a selection signal line for the pixel PIX, similarly to each of the wirings GL1 to GL3, and is a wiring corresponding to the wiring GL illustrated in FIGS.
  • the wiring BGL is a wiring for applying a predetermined potential to a specific node in the pixel PIX. Further, the wiring BGL can be a wiring corresponding to the wiring VA illustrated in FIGS. 5A and 5B.
  • the transistor Tr7 functions as a switching element.
  • the configuration of the transistor described in Embodiment 3 can be applied to the transistor Tr7.
  • the transistor Tr7 be an OS transistor as in the transistor Tr1, the transistor Tr2, and the transistor Tr5.
  • the description of the transistors Tr1 to Tr5 is referred to for the other components of the transistor Tr7.
  • the threshold voltage correction circuit unit 105 illustrated in FIGS. 5A and 5B can include, for example, a transistor Tr7. Note that since the drive circuit portion 102 and the threshold voltage correction circuit portion 105 share the function of holding the potential of the capacitive element C3 shown in FIG. 6A, the capacitive element C3 is included in any circuit. Can not be determined uniquely. In other words, it can be said that the capacitive element C3 is included in any one of the drive circuit portion 102 and the threshold voltage correction circuit portion 105.
  • the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, the transistor Tr5, and the transistor Tr7 illustrated in FIG. 6A may be a transistor having a back gate.
  • the pixel PIX shown in FIG. 6B has a configuration in which a back gate is provided to each of the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, the transistor Tr5, and the transistor Tr7 which the pixel PIX shown in FIG. 6A has.
  • the gate and the back gate of each of the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, the transistor Tr5, and the transistor Tr7 are electrically connected.
  • the transistor in which the gate and the back gate are electrically connected can increase the on-state current of the transistor, so that the pixel PIX can operate at high speed by adopting the configuration shown in FIG. 6B.
  • the pixel PIX shown in FIG. 6B is configured such that the gate and the back gate are connected to all of the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, the transistor Tr5, and the transistor Tr7, but the back gate is separated by another wiring A potential may be applied.
  • back gates are provided for all of the transistors Tr1, Tr2, Tr4, Tr5, and Tr7, but back gates are provided for only some of the transistors. It is good also as composition.
  • FIG. 7A shows an example of the circuit configuration of the pixel PIX shown in FIGS. 5A and 5B, which is different from the PIX shown in FIG. 6A.
  • the pixel PIX shown in FIG. 7A has a configuration in which a transistor Tr6 is provided to the pixel PIX shown in FIG. 6A.
  • a first terminal of the transistor Tr6 is electrically connected to a second terminal of the transistor Tr2, a gate of the transistor Tr3, a second terminal of the capacitive element C1, and a first terminal of the capacitive element C2.
  • the second terminal is electrically connected to the second terminal of the transistor Tr3, the first terminal of the transistor Tr4, the first terminal of the transistor Tr5, the second terminal of the capacitive element C2, and the second terminal of the capacitive element C3.
  • the gate of the transistor Tr6 is electrically connected to the wiring GL4.
  • the transistor Tr6 functions as a switching element.
  • the configuration described in Embodiment 3 can be applied to the transistor Tr6.
  • the transistor Tr6 be an OS transistor, like the transistor Tr1, the transistor Tr2, and the transistor Tr5.
  • the description of the transistors Tr1 to Tr5 is referred to for the other components of the transistor Tr6.
  • the transistor Tr6 is provided in the pixel PIX. preferable.
  • the transistor Tr6 is provided in the pixel PIX.
  • the switching function of the transistor Tr6 is shared by the drive circuit unit 102 and the correction data holding unit 104, it can not be uniquely determined which circuit the transistor Tr6 is included in. In other words, it can be said that the transistor Tr6 is included in any one of the drive circuit unit 102 and the correction data holding unit 104.
  • FIG. 7B shows a circuit configuration example of the pixel PIX shown in FIGS. 5A and 5B, which is different from the PIX shown in FIGS. 6A and 6B and 7A, respectively. It shows.
  • the pixel PIX shown in FIG. 7B has a configuration in which the transistor Tr5 is removed from the pixel PIX shown in FIG. 6A. Since the pixel PIX shown in FIG. 7B has a smaller number of transistors than the pixel PIX shown in FIGS. 6A and 6B and FIG. 7A, the area of the pixel circuit is reduced to increase the aperture ratio. can do. Note that in the pixel PIX shown in FIG. 7B, in the case where the light emitting element LD is not to emit light, it is not necessary to flow a current to the input terminal of the light emitting element LD. A potential which lowers or turns off the transistor Tr3 may be applied to the gate of the transistor Tr3. In particular, in the case of lowering the potential applied to the wiring AL, it is preferable to set the potential of the wiring AL lower than the potential of the wiring CAT.
  • FIG. 8 is a timing chart showing an operation example of the pixel PIX shown in FIG. 6 (A).
  • the timing chart in FIG. 8 shows the potentials of the potentials of the wiring DL, the wiring WDL, the wiring VL, the wiring BGL, the wirings GL1 to GL4, and the nodes ND1 to ND4 before time T1, from time T1 to time T7, and after time T7. It shows a change. Note that high described in FIG. 8 indicates a high level potential and low indicates a low level potential. Further, V GND described in FIG. 8 indicates a reference potential.
  • V 1 is always applied to the wiring VL, and V 0 is always applied to the wiring BGL.
  • the potential V 1 is lower than the voltage supplied by the wiring AL, and the potential V 0 is higher than V 1 .
  • the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, the transistor Tr5, and the transistor Tr7 operate in the linear region in the on state unless otherwise noted. That is, the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of the transistor Tr1, the transistor Tr2, the transistor Tr4, the transistor Tr5, and the transistor Tr7 are appropriately biased to a voltage in a range operating in the linear region. It shall be.
  • the transistor Tr3 operates in the saturation region unless otherwise noted. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of the transistor Tr3 are appropriately biased to voltages in the range of operation in the saturation region. If the accuracy of the output current can be obtained within the desired range even if the operation of the transistor Tr3 deviates from the operation in the ideal saturation region, the gate voltage and the source voltage of the transistor Tr3, And the drain voltage are considered to be properly biased.
  • a high level potential is applied to the wiring GL1 and the wiring GL3, and a low level potential is applied to the wiring GL2 and the wiring GL4.
  • a high level potential is applied to the gates of the transistor Tr1 and the transistor Tr4, so the transistor Tr1 and the transistor Tr4 are turned on. That is, the wiring DL and the node ND1 are in a conductive state, and the wiring VL and the node ND3 are in a conductive state.
  • the potential of the wiring GL2 is a low level potential, a low level potential is applied to the gate of the transistor Tr2, so that the transistor Tr2 is turned off.
  • the wiring WDL and the node ND2 are in a non-conductive state.
  • the potential of the wiring GL3 is a high level potential
  • a high level potential is applied to the gate of the transistor Tr5, so that the transistor Tr5 is turned on. That is, a conduction state is established between the input terminal of the light emitting element LD and the first terminal of the transistor Tr5.
  • the potential of the wiring GL4 is a low level potential
  • a low level potential is applied to the gate of the transistor Tr7, so that the transistor Tr7 is turned off. That is, the wiring BGL and the node ND4 are in a non-conductive state.
  • the potential V GND is applied to the wiring DL, and the potential V 1 is applied to the wiring WDL. Since the transistor Tr1 is in the on state, the potential of the node ND1 is V GND . In addition, since transistor Tr4 is in the on state, node ND3 and wiring VL for applying potential V 1 are in a conductive state, but at this time, transistor Tr5 is also in the on state. The potential is lower than one . Then, the potential V 1 is applied to the wiring WDL.
  • the transistor Tr3 when the difference between the potential of the node ND2 and the potential of the source of the transistor Tr3 (gate-source voltage) is higher than the threshold voltage of the transistor Tr3, the transistor Tr3 is turned on, and the gate of the transistor Tr3 is turned on.
  • the current flowing between the source and drain of the transistor Tr3 is determined according to the source voltage.
  • the second terminal of the transistor Tr3 is a source
  • a current flows from the wiring AL to the input terminal of the light emitting element LD through the transistor Tr3 and the transistor Tr5.
  • the light emitting element LD emits light.
  • the potential of the node ND2 is set to a potential at which the transistor Tr3 is turned off, and the potential of the node ND2 is described as V GND in the timing chart shown in FIG.
  • a high level potential is applied to the wiring GL2 and the wiring GL4 between time T1 and time T2.
  • a high level potential is applied to the gates of the transistor Tr2 and the transistor Tr7, so that the transistor Tr2 and the transistor Tr7 are turned on.
  • the potential of the node ND2 is V 1
  • the potential of the node ND4 becomes V 0.
  • the node ND3 is, the transistor Tr5 is turned on, a time T1 subsequently previously, has a potential lower than the potential V 1.
  • a low level potential is applied to the wiring GL3 from time T2 to time T3.
  • a low level potential is applied to the gate of the transistor Tr5, and the transistor Tr5 is turned off. Therefore, no current flows from the node ND3 to the input terminal of the light emitting element LD via the transistor Tr5.
  • the transistor Tr5 Since the transistor Tr5 is turned off state and the transistor Tr4 is turned on, the potential of the node ND3 rises to V 1. Strictly speaking, between the wiring VL and the node ND3 is because it is through the transistor Tr4, the potential of the node ND3 is lower than V 1 becomes a value close to V 1. In this case, the node ND2 because the potential of the (transistor gates of Tr3), and the potential of the node ND3 (the second terminal of the transistor Tr3), is substantially V 1 Both first terminal of the capacitor C2 - the second terminal The potential between them is approximately 0V.
  • a low level potential is applied to the wiring GL1 and the wiring GL2 from time T3 to time T4.
  • a low level potential is applied to the gates of the transistor Tr1, the transistor Tr2, and the transistor Tr4, so the transistor Tr1, the transistor Tr2, and the transistor Tr4 are turned off.
  • the potential V GND is held at the first terminal (node ND1) of the capacitive element C1
  • the transistor Tr2 is turned off, the second terminal of the capacitive element C1, the capacitive element C2
  • the potential V 1 is held at the first terminal of the transistor Tr3 and the gate (node ND2) of the transistor Tr3.
  • the first terminal of the transistor Tr3 - shall high bias is afflicted between the second terminal. At this time, the transistor Tr3 is turned on, and a current flows from the first terminal to the second terminal of the transistor Tr3.
  • the potential of the node ND3 is boosted by the current. Since the voltage between the first terminal and the second terminal of capacitive element C2 is approximately 0 V and transistor Tr2 is off (as node ND2 is electrically floating), the gate-source voltage of transistor Tr3 is By the boosting of the potential of the node ND3, the voltage remains almost 0V.
  • the potential of the node ND3 is boosted until the transistor Tr3 is turned off. Since the gate-source voltage of the transistor Tr3 is approximately 0 V, the transistor Tr3 is turned off when the threshold voltage of the transistor Tr3 becomes 0 or more or exceeds 0. That is, when the back gate-source voltage of the transistor Tr3 becomes a voltage that sets the threshold voltage of the transistor Tr3 to 0, the transistor Tr3 is turned off. Assuming that the threshold voltage of the transistor Tr3 is 0 and the back gate-source voltage of the transistor Tr3 is V C , the potential of the node ND3 is V 0 -V C.
  • the potential of the node ND3 is boosted from V 1 to V 0 -V C, and at the same time, the potential of the node ND2 is also boosted.
  • the boosted voltage at node ND2 is determined by the capacitive coupling coefficient between node ND2 and node ND3.
  • the node ND1 is also in the electrically floating state. Therefore, by boosting the potential of the node ND2, the potential of the node ND1 is also boosted.
  • the boosted voltage at node ND1 is determined by the capacitive coupling coefficient between node ND1 and node ND2.
  • FIG. 7A In the case where the pixel PIX shown in FIG. 7A is applied, since the gate of the transistor Tr3 and the second terminal are in a conductive state from time T3 to time T4, FIG.
  • the pixel PIX shown in (A) operates in the same manner as the pixel PIX shown in FIG. 6A described above.
  • the operation after time T4 of the pixel PIX illustrated in FIG. 7A can be referred to the description of the operation of the pixel PIX illustrated in FIG. 6A described below.
  • a potential V W corresponding to the correction data is applied to the wiring WDL from time T4 to time T5.
  • the transistor Tr1 Since the transistor Tr1 is in the on state, the wiring DL and the node ND1 are in the conductive state. Therefore, the potential V GND is applied from the wiring DL to the node ND1. Further, since the transistor Tr2 is in the on state, the wiring WDL and the node ND2 are in the conductive state. Therefore, the potential V W is applied to the node ND2 from the wiring WDL.
  • the transistor Tr4 Since the transistor Tr4 is in the on state, the wiring VL and the node ND3 are in the conductive state. Therefore, the potential V 1 is applied from the wiring VL to the node ND3. Since the transistor Tr7 is in the off state (the node ND4 is in the electrically floating state), the potential of the node ND4 also changes due to the change of the potential of the node ND3.
  • the capacitive coupling coefficient between the node ND3 and the node ND4 is 1
  • the potential of the node ND4 changes from V 0 to V 1 + V C.
  • the back gate-source voltage of the transistor Tr3 remains unchanged at V C from the voltage between time T3 and time T4, so the threshold voltage of the transistor Tr3 from time T4 to time T5 Is zero.
  • a low level potential is applied to the wiring GL2 between time T5 and time T6.
  • a low level potential is applied to the gate of the transistor Tr2, and the transistor Tr2 is turned off.
  • the potential V W is held by the second terminal of the capacitive element C1, the first terminal of the capacitive element C2, and the gate (node ND2) of the transistor Tr3.
  • V DATA a potential V DATA corresponding to image data is applied to the wiring DL between time T5 and time T6.
  • the transistor Tr1 Since the transistor Tr1 is in the on state, the wiring DL and the node ND1 are in the conductive state. Therefore, the potential V DATA is applied from the wiring DL to the node ND1. Since the transistor Tr2 is in the off state (the node ND2 is in the electrically floating state), the potential of the node ND2 is also changed by the change of the potential of the node ND1. In particular, when the capacitance value of the capacitive element C1 is sufficiently larger than the capacitance value of the capacitive element C2, the capacitive coupling coefficient between the node ND1 and the node ND2 approaches 1 without limit. The amount of change in the potential of ND1 is approximately equal to the amount of change in the potential of node ND2. In this case, the node ND2 is V DATA + V W.
  • a low level potential is applied to the wiring GL1 between time T6 and time T7.
  • a low level potential is applied to the gate of the transistor Tr1, and the transistor Tr1 is turned off.
  • the potential V DATA is held at the first terminal (node ND1) of the capacitive element C1.
  • a high level potential is applied to the wiring GL3.
  • a high level potential is applied to the gate of the transistor Tr5, and the transistor Tr5 is turned on.
  • the transistor Tr5 is turned on, the current flowing from the wiring AL is input to the input terminal of the light emitting element LD through the transistor Tr3 and the transistor Tr5, so that the light emitting element LD emits light.
  • the luminance of the light emitting element LD is determined by the current flowing to the light emitting element LD.
  • the current flowing to the light emitting element LD is approximately equal to the current flowing between the source and the drain of the transistor Tr3, so the luminance of the light emitting element LD is determined by the gate-source voltage of the transistor Tr3. Since the gate and the source of the transistor Tr3 are electrically connected to the first and second terminals of the capacitive element C2, the luminance of the light emitting element LD is determined by the potential V DATA + V W of the gate of the transistor Tr3. . Therefore, the light emitting element LD emits light at a luminance according to the correction data and the image data.
  • FIG. 9 shows the order of operations of the pixels PIX included in each of the i-th row, the i + 1th row, and the i + 2th row (i is an integer of 3 or more) included in the display unit PA, and the wiring DL The timing of data transmission and the timing of data transmission from the wiring WDL are shown.
  • Time T1 to time T6 described in FIG. 9 correspond to time T1 to time T6 described in the timing chart of FIG. That is, the period PD1 to the period PD5 described in the i-th row correspond to the “first initialization period”, “second initialization period”, “threshold voltage correction period”, “correction data writing” in the operation example of the pixel circuit described above. It corresponds to a period "image data writing period”.
  • the times of the periods PD1 to PD5 are set to 0.5 ⁇ s, 1.5 ⁇ s, 19 ⁇ s, 2.0 ⁇ s, and 2.0 ⁇ s, respectively.
  • the period PD3 is set to be longer than the other periods (PD1, PD2, PD4, PD5).
  • the operations in the periods PD1 to PD5 are performed on the pixels PIX in the (i + 1) th row and the (i + 2) th row in addition to the pixel PIX in the i-th row.
  • the period PD1, the period PD2, the period PD4, and the period PD5 do not overlap with each other in the i-th, i + 1-th, and i + 2-th rows.
  • the pixel PIX in a certain row is any one of the period PD1, the period PD2, the period PD4, and the period PD5, the pixels PIX other than that row are made to be the period PD3.
  • the operation of data transmission from the wiring DL includes a period PD GND and a period PD DATA [i ⁇ 2] to a period PD DATA [i + 2].
  • a period PD GND is a period in which the potential V GND is applied to the wiring DL.
  • a potential corresponding to image data to be written to the node ND1 of the pixel PIX in the k-th row is applied to the wiring DL.
  • the operation of data transmission from the wiring WDL includes a period PD V1 and a period PD W [i-2] to a period PD W [i + 2].
  • Period PD V1 is a period in which the potential V 1 is being applied to the wiring WDL.
  • the period PD W [k] is applied to the wiring WDL according to the potential (corresponding to V W described in the above-described operation example of the pixel circuit) according to the correction data to be written to the node ND2 of the pixel PIX in the k-th row. It is a period that has been
  • the potential V GND is applied to the wiring DL in order to set the potential V GND of the node ND1 in the period PD1 (first initialization period). That is, when the operation of the period PD1 is performed in the pixel PIX of the row, the operation of the period PD GND is performed in the wiring DL. Further, in the period PD1, to the potential of the node ND2 to V 1, the potential V 1 is being applied to the wiring WDL. That is, when the operation in the period PD1 in the pixel PIX of the row is performed, the wiring WDL, operation in the period PD V1 is performed.
  • the correction data is written to the node ND2 in the period PD4 (correction data writing period), so a potential corresponding to the correction data is applied to the wiring WDL . That is, in the pixel PIX in the I-th row (I is an integer of 1 or more), when the operation in the period PD4 is performed, the operation in the period PD W [I] is performed in the wiring WDL. .
  • the image data is written to the node ND1 in the period PD5 (image data writing period), and a potential corresponding to the image data is applied to the wiring DL . That is, when the operation in the period PD5 is performed in the pixel PIX in the I-th row, the operation in the period PD DATA [I] is performed in the wiring DL.
  • the pixel PIX in the row performs the operation in the period PD3.
  • the pixel PIX in the (i + 1) th row there is no need to write the potential to the node ND1 through the wiring DL and write the potential to the node ND2 through the wiring WDL.
  • Can change the potential of the Therefore when the pixel PIX in the (i + 1) th row is operating in the period PD3, the potential of the wiring DL and the potential of the wiring WDL are changed in each operation of the period PD4 and the period PD5 in the pixel PIX in the i-th row can do.
  • image data and correction data can be written to the pixel PIX in the i-th row.
  • the potential of the wiring DL and the potential of the wiring WDL can be similarly varied also when the threshold voltage of the driving transistor of the pixel PIX in the (i + 2) th row is corrected. Image data and correction data can be written to the pixel PIX in the (i + 1) th row.
  • the correction data and the image data are written in the pixels PIX of the respective rows in the order of the i-th row to the i + 2-th row, but the order of writing the correction data and the image data into the pixels PIX is as shown in FIG. Not limited to The order of writing the correction data and the image data to the pixel PIX may be, for example, the order of sequentially writing the pixels PIX in the odd rows first and then sequentially writing the pixels PIX in the even rows.
  • each operation period shown in FIG. 9 is classified by function and shown as operation periods independent of each other.
  • the operation period shown in FIG. 9 is not limited to each operation period described in the specification, and can be appropriately rephrased according to the situation. Specifically, depending on the situation, it is possible to change the order of each operation period, add an operation, delete an operation, and the like.
  • each of the period PD1 and the period PD2 is described as a first initialization period and a second initialization period.
  • Each of the conversion period and the second initialization period can be performed simultaneously. Therefore, the first initialization period and the second initialization period can be collectively described as an initialization period.
  • the operation of writing the image data and the correction data to the pixel PIX of another row is performed,
  • the reduction of the operating frequency due to the correction of the threshold voltage of the drive transistor can be suppressed, and the operating frequency can be made higher than the conventional operating method.
  • FIG. 10A shows an example of the circuit configuration of each of the source driver circuit SD and the circuit WSD in FIG. 5A. Note that FIG. 10A also shows the display unit PA in order to show the connection configuration with the pixel PIX.
  • the source driver circuit SD includes a transistor Tr11, a transistor Tr12, and a circuit SDa.
  • the circuit WSD further includes a transistor Tr13, a transistor Tr14, and a circuit WSDa.
  • the transistors Tr11 to Tr14 are n-channel transistors, but all or part of the transistors Tr11 to Tr14 may be p-channel transistors.
  • the transistors Tr11 to Tr14 are preferably OS transistors with low off current.
  • FIG. 10 illustrates the transistors Tr11 to Tr14 as transistors having a back gate
  • all or part of the transistors Tr11 to Tr14 may be transistors without a back gate.
  • the gate and the back gate are electrically connected in order to increase the on current, but all or one of the back gates of the transistors Tr11 to Tr14 is The portion may be electrically connected to a wiring to which an arbitrary potential is applied.
  • the first terminal of the transistor Tr11 is electrically connected to the circuit SDa, and the second terminal of the transistor Tr11 is electrically connected to the first terminal of the transistor Tr12 and the wiring DL.
  • the gate of the transistor Tr11 is electrically connected to the wiring SELD, the second terminal of the transistor Tr12 is electrically connected to the wiring GNDL, and the gate of the transistor Tr12 is electrically connected to the wiring SELG.
  • Circuit SDa in order to display an image on the display unit PA, generates an electric potential V DATA corresponding to the image, it has a function of outputting a potential V DATA to the first terminal of the transistor Tr11.
  • the circuit SDa can be configured, for example, as the source driver circuit SD shown in FIG. That is, circuit SDa has shift register SR, latch circuit LAT, level shift circuit LVS, digital / analog conversion circuit DAC, amplifier circuit AMP, and data bus wiring DB in order to generate image data. be able to.
  • the output terminal of the amplifier circuit AMP may be electrically connected to the first terminal of the transistor Tr11.
  • the first terminal of the transistor Tr13 is electrically connected to the circuit WSDa, and the second terminal of the transistor Tr13 is electrically connected to the first terminal of the transistor Tr14 and the wiring WDL.
  • the gate of the transistor Tr13 is electrically connected to the wiring SELW, the second terminal of the transistor Tr14 is electrically connected to the wiring V 1 L, and the gate of the transistor Tr14 is electrically connected to the wiring SELV .
  • Circuit WSDa to correct the image to be displayed on the display unit PA using the correction data, a function to generate a potential V W in accordance with the corrected data and outputs the potential V W to the first terminal of the transistor Tr13 Have.
  • circuit WSDa has a configuration having shift register SR, latch circuit LAT, level shift circuit LVS, digital / analog conversion circuit DAC, amplifier circuit AMP, and data bus wiring DB, for example. can do.
  • the output terminal of the amplifier circuit AMP may be electrically connected to the first terminal of the transistor Tr13.
  • the wiring SELD, the wiring SELG, the wiring SELW, and the wiring SELV are wirings for applying a potential to the gates of the transistors Tr11 to Tr14, and the on / off states of the transistors Tr11 to Tr14 are different depending on the potentials. It is possible to switch.
  • the wiring GNDL is a wiring that supplies the reference potential V GND to the wiring DL
  • the wiring V 1 L is a wiring that supplies the potential V 1 to the wiring WDL.
  • the potential of the wiring WDL is V 1 .
  • a low level potential is applied to the wiring SELW to turn off the transistor Tr13, and a high level potential is applied to the wiring SELV to turn on the transistor Tr14.
  • An operation to put it into a state is performed.
  • the wiring V 1 L and the wiring WDL are brought into conduction, and the potential of the wiring WDL becomes V 1 .
  • the potential of the wiring WDL is V W from time T4 to time T5.
  • a high level potential is applied to the wiring SELW to turn on the transistor Tr13, and a low level potential is applied to the wiring SELV to turn off the transistor Tr14. Action is performed. Then, since the circuit WSDa outputs the potential V W according to the correction data, the potential of the wiring WDL becomes V W.
  • the potential of the wiring DL Prior to time T5 and after time T6, the potential of the wiring DL is V GND .
  • a low level potential is applied to the wiring SELD to turn off the transistor Tr11, and a high level potential is applied to the wiring SELG to perform the transistor Tr12.
  • An operation is performed to turn on the
  • the wiring GNDL and the wiring DL are brought into conduction, and the potential of the wiring DL is V GND .
  • the potential of the wiring DL is V DATA .
  • a high level potential is applied to the wiring SELD to turn on the transistor Tr11, and a low level potential is applied to the wiring SELG to turn off the transistor Tr12. An operation to put it into a state is performed. Further, since the circuit SDa outputs the potential V DATA according to the image data, the potential of the wiring DL becomes V DATA .
  • the source driver circuit SD and the circuit WSD are configured as illustrated in FIG. An appropriate potential can be applied to each in a timely manner.
  • the source driver circuit SD is, for example, the circuit in FIG. It should just be composition.
  • the source driver circuit SD illustrated in FIG. 10B includes transistors Tr11 to Tr14 and a circuit SDa. Note that for the transistors Tr11 to Tr14 and the circuit SDa, the description of the transistors Tr11 to Tr14 in FIG. 10A and the circuit SDa can be referred to.
  • the circuit SDa is electrically connected to the first terminal of the transistor Tr11 and the first terminal of the transistor Tr13.
  • the second terminal of the transistor Tr11 is electrically connected to the first terminal of the transistor Tr12 and the wiring DL, and the second terminal of the transistor Tr13 is electrically connected to the first terminal of the transistor Tr14 and the wiring WDL. It is connected to the.
  • the second terminal of the transistor Tr12 is electrically connected to the wiring GNDL, and the second terminal of the transistor Tr14 is electrically connected to the wiring V 1 L.
  • the gate of the transistor Tr11 is electrically connected to the wiring SELD
  • the gate of the transistor Tr12 is electrically connected to the wiring SELG
  • the gate of the transistor Tr13 is electrically connected to the wiring SELW
  • the gate of the transistor Tr14 is , And are electrically connected to the wiring SELV.
  • the wiring SELD For each of the wiring SELD, the wiring SELG, the wiring SELW, the wiring SELV, the wiring V 1 L, and the wiring GNDL, the wiring SELD in FIG. 10A, the wiring SELG, the wiring SELW, the wiring SELV, the wiring V 1 L, and the wiring Refer to the description of GNDL.
  • the source driver circuit SD illustrated in FIG. 5B is configured to select one of the wiring DL and the wiring WDL and apply a potential to the selected wiring by the connection configuration of the transistor Tr11, the transistor Tr13, and the circuit SDa. ing.
  • the circuit SDa also has a function of generating a potential V DATA according to image data for application to the wiring DL and a potential V W according to correction data for application to the wiring WDL.
  • the potential V DATA can be applied to the wiring DL by turning on the transistor Tr11 and turning off the transistor Tr13, and the potential V DATA in the circuit SDa
  • the potential V W can be applied to the wiring WDL by turning off the transistor Tr11 and turning on the transistor Tr13.
  • the transistor Tr11 may be turned off and the transistor Tr12 may be turned on. Further, when applying a reference potential V 1 to the wiring WDL, the transistor Tr13 is turned off, it may be a transistor Tr14 is turned on.
  • the potential of the wiring WDL is V 1 .
  • a low level potential is applied to the wiring SELW to turn off the transistor Tr13, and a high level potential is applied to the wiring SELV.
  • An operation is performed to turn on the
  • the wiring V 1 L and the wiring WDL are brought into conduction, and the potential of the wiring WDL becomes V 1 .
  • the potential of the wiring WDL is V W from time T4 to time T5.
  • the source driver circuit SD between time T4 and time T5, a high level potential is applied to the wiring SELW to turn on the transistor Tr13, and a low level potential is applied to the wiring SELV to turn off the transistor Tr14. An operation to put it into a state is performed. Then, the circuit SDa outputs the potential V W according to the correction data, whereby the potential of the wiring WDL becomes V W.
  • the potential of the wiring DL Prior to time T5 and after time T6, the potential of the wiring DL is V GND .
  • a low level potential is applied to the wiring SELD to turn off the transistor Tr11, and a high level potential is applied to the wiring SELG to drive the transistor Tr12. An operation to turn on is performed.
  • the wiring GNDL and the wiring DL are brought into conduction, and the potential of the wiring DL is V GND .
  • the potential of the wiring DL is V DATA .
  • a high level potential is applied to the wiring SELD to turn on the transistor Tr11, and a low level potential is applied to the wiring SELG to turn off the transistor Tr12. The action to turn on is performed.
  • a potential V DATA corresponding to image data is output from the circuit SDa, whereby the potential of the wiring WDL becomes V DATA .
  • the source driver circuit SD is configured as illustrated in FIG. 10B to be suitable for each of the wiring DL and the wiring WDL. Potential can be applied in a timely manner.
  • one embodiment of the present invention is not limited to the pixel PIX shown in FIGS. 2A and 2B, 3 and 5A and 5B described above.
  • the configuration of the pixel PIX illustrated in FIGS. 2A and 2B, 3, and 5A and 5B may be changed as appropriate.
  • the image data holding unit 101, the drive circuit unit 102, and the correction data holding unit 104 are electrically connected to each other.
  • the electrical connection between the unit 101 and the drive circuit unit 102 may be omitted. That is, transmission of image data from the image data holding unit 101 to the drive circuit unit 102 may be performed via the correction data holding unit 104.
  • the electrical connection between the drive circuit unit 102 and the correction data holding unit 104 may be omitted. That is, the correction data may be transmitted from the correction data holding unit 104 to the image data holding unit 101 to generate the image data corrected by the image data holding unit 101 and may be transmitted to the drive circuit unit 102.
  • Second Embodiment a structural example of a display device using an EL element as a display element will be described.
  • the description of the drive circuit portion and the threshold voltage correction circuit portion described in the first embodiment is omitted.
  • a sealant 4005 is provided so as to surround the display portion 215 provided over the first substrate 4001, and the display portion 215 is sealed with the sealant 4005 and the second substrate 4006. .
  • the display unit 215 is provided with a pixel array having the pixel PIX described in Embodiment 1.
  • the scan line driver circuit 221a, the signal line driver circuit 231a, the signal line driver circuit 232a, and the common line driver circuit 241a each include a plurality of integrated circuits 4042 provided over a printed substrate 4041.
  • the integrated circuit 4042 is formed of a single crystal semiconductor or a polycrystalline semiconductor.
  • the signal line driver circuit 231a and the signal line driver circuit 232a have the function of the source driver circuit SD described in the first embodiment.
  • the scanning line drive circuit 221 a has the function of the gate driver circuit GD described in Embodiment 1.
  • the common line drive circuit 241 a has a function of applying a prescribed potential to a predetermined circuit element included in the pixel PIX described in Embodiment 1 or supplying a current.
  • the common line driver circuit 241 a and the pixel PIX can be electrically connected to each other through the wiring VA described in Embodiment 1.
  • Various signals and potentials supplied to the scan line driver circuit 221 a, the common line driver circuit 241 a, the signal line driver circuit 231 a, and the signal line driver circuit 232 a are supplied through a flexible printed circuit (FPC) 4018.
  • FPC flexible printed circuit
  • the integrated circuit 4042 included in the scan line driver circuit 221 a and the common line driver circuit 241 a has a function of supplying a selection signal to the display portion 215.
  • the integrated circuit 4042 included in the signal line driver circuit 231 a and the signal line driver circuit 232 a has a function of supplying an image signal to the display portion 215.
  • the integrated circuit 4042 is mounted in a region different from a region surrounded by the sealant 4005 on the first substrate 4001.
  • connection method of the integrated circuit 4042 is not particularly limited, and wire bonding, COG (chip on glass), TCP (tape carrier package), COF (chip on film), or the like may be used. it can.
  • FIG. 11B illustrates an example in which the integrated circuit 4042 included in the signal line driver circuit 231a and the signal line driver circuit 232a is mounted by a COG method.
  • part or all of the driver circuit can be integrally formed over the same substrate as the display portion 215 to form a system on panel.
  • FIG. 11B illustrates an example in which the scan line driver circuit 221 a and the common line driver circuit 241 a are formed over the same substrate as the display portion 215.
  • the driver circuit By forming the driver circuit at the same time as the pixel circuit in the display portion 215, the number of components can be reduced. Thus, the productivity can be improved.
  • a sealing material 4005 is provided so as to surround the display portion 215 provided over the first substrate 4001, the scan line driver circuit 221a, and the common line driver circuit 241a.
  • a second substrate 4006 is provided over the display portion 215, the scan line driver circuit 221a, and the common line driver circuit 241a.
  • FIG. 11B illustrates an example in which the signal line driver circuit 231a and the signal line driver circuit 232a are separately formed and mounted on the first substrate 4001, the present invention is not limited to this structure.
  • the scan line driver circuit may be separately formed and mounted, or part of the signal line driver circuit or part of the scan line driver circuit may be separately formed and mounted.
  • the display device may include a panel in which the display element is sealed and a module in which an IC or the like including a controller is mounted on the panel.
  • the display portion and the scan line driver circuit provided over the first substrate each include a plurality of transistors.
  • the transistor an OS transistor or a transistor including silicon in a channel formation region can be applied.
  • the structures of the transistors included in the peripheral drive circuit and the transistors included in the pixel circuit of the display portion may be the same or different.
  • the transistors included in the peripheral drive circuit may all have the same structure, or two or more types of structures may be used in combination.
  • the transistors included in the pixel circuit may all have the same structure, or two or more types of structures may be used in combination.
  • an input device 4200 described later can be provided over the second substrate 4006.
  • the structure in which the input device 4200 is provided in the display device illustrated in FIGS. 11A and 11B can function as a touch panel.
  • the sensing element also referred to as a sensor element included in the touch panel of one embodiment of the present invention is not limited.
  • Various sensors capable of detecting the proximity or contact of a detection object such as a finger or a stylus can be applied as the detection element.
  • various systems such as an electrostatic capacity system, a resistance film system, a surface acoustic wave system, an infrared system, an optical system, a pressure sensing system, can be used, for example.
  • a touch panel having a capacitive sensing element is described as an example.
  • a capacitance method there are a surface type capacitance method, a projection type capacitance method, and the like. Further, as a projected capacitive system, there are a self-capacitance system, a mutual capacitance system and the like. The mutual capacitance method is preferable because simultaneous multipoint detection becomes possible.
  • the touch panel according to one embodiment of the present invention has a structure in which a display device and a detection element which are separately manufactured are attached to each other, a structure in which a substrate supporting the display element and / or an opposite substrate are provided with electrodes forming the detection element Various configurations can be applied.
  • FIG. 12A and 12B show an example of the touch panel.
  • FIG. 12A is a perspective view of the touch panel 4210.
  • FIG. 12B is a schematic perspective view of the input device 4200. Note that only representative components are shown for the sake of clarity.
  • the touch panel 4210 has a structure in which a display device and a detection element which are separately manufactured are attached to each other.
  • the touch panel 4210 includes an input device 4200 and a display device, and these are provided in an overlapping manner.
  • the input device 4200 includes a substrate 4263, an electrode 4227, an electrode 4228, a plurality of wirings 4237, a plurality of wirings 4238, and a plurality of wirings 4239.
  • the electrode 4227 can be electrically connected to the wiring 4237 or the wiring 4239.
  • the electrode 4228 can be electrically connected to the wiring 4239.
  • the FPC 4272 b is electrically connected to each of the plurality of wirings 4237 and the plurality of wirings 4238.
  • the FPC 4272 b can be provided with an IC 4273 b.
  • a touch sensor may be provided between the first substrate 4001 and the second substrate 4006 of the display device.
  • a touch sensor is provided between the first substrate 4001 and the second substrate 4006, an optical touch sensor using a photoelectric conversion element may be used in addition to a capacitive touch sensor.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of a portion indicated by a dashed line N1-N2 in FIG. 11 (B).
  • the display device illustrated in FIG. 13 includes an electrode 4015, and the electrode 4015 is electrically connected to a terminal of the FPC 4018 through an anisotropic conductive layer 4019. Further, in FIG. 13, the electrode 4015 is electrically connected to the wiring 4014 in an opening formed in the insulating layer 4112, the insulating layer 4111, and the insulating layer 4110.
  • the electrode 4015 is formed of the same conductive layer as the first electrode layer 4030, and the wiring 4014 is formed of the same conductive layer as the source electrode and the drain electrode of the transistor 4010 and the transistor 4011.
  • the display portion 215 and the scan line driver circuit 221a provided over the first substrate 4001 have a plurality of transistors, and in FIG. 13, the transistor 4010 included in the display portion 215 and the scan line driver circuit 221a.
  • the transistor 4011 included in FIG. Note that although bottom-gate transistors are illustrated as the transistors 4010 and 4011 in FIG. 13, top-gate transistors may be used.
  • the transistor 4010 can be the transistor Tr5 described in Embodiment 1.
  • the transistor 4011 can be a transistor included in the gate driver circuit GD described in Embodiment 1.
  • the insulating layer 4112 is provided over the transistor 4010 and the transistor 4011.
  • partition walls 4510 are formed over the insulating layer 4112.
  • the transistor 4010 and the transistor 4011 are provided over the insulating layer 4102.
  • the transistor 4010 and the transistor 4011 each include an electrode 4017 formed over the insulating layer 4111.
  • the electrode 4017 can function as a back gate electrode.
  • the display device illustrated in FIG. 13 includes a capacitor 4020.
  • the capacitor 4020 includes an electrode 4021 formed in the same step as the gate electrode of the transistor 4010, and an electrode formed in the same step as the source electrode and the drain electrode. The respective electrodes overlap with each other through the insulating layer 4103. Further, the capacitor 4020 can be one of the capacitor C2 and the capacitor C3 described in Embodiment 1.
  • the capacitance of a capacitor provided in a pixel portion of a display device is set so as to be able to hold charge during a predetermined period, in consideration of leakage current or the like of a transistor provided in the pixel portion.
  • the capacitance of the capacitor may be set in consideration of the off current of the transistor and the like.
  • the transistor 4010 provided in the display portion 215 is electrically connected to the display element.
  • the display device illustrated in FIG. 13 includes the insulating layer 4111 and the insulating layer 4102.
  • As the insulating layer 4111 and the insulating layer 4102 an insulating layer which hardly transmits an impurity element is used. By sandwiching the transistor between the insulating layer 4111 and the insulating layer 4102, entry of impurities into the semiconductor layer from the outside can be prevented.
  • a light-emitting element (EL element) using electroluminescence can be applied.
  • the EL element has a layer containing a light-emitting compound (also referred to as “EL layer”) between a pair of electrodes.
  • a potential difference larger than the threshold voltage of the EL element is generated between the pair of electrodes, holes are injected into the EL layer from the anode side, and electrons are injected from the cathode side. The injected electrons and holes are recombined in the EL layer, and the light-emitting substance contained in the EL layer emits light.
  • EL elements are distinguished depending on whether the light emitting material is an organic compound or an inorganic compound, and in general, the former is called an organic EL element and the latter is called an inorganic EL element.
  • the organic EL element In the organic EL element, electrons are injected from one electrode and holes are injected from the other electrode to the EL layer by applying a voltage. Then, the carriers (electrons and holes) recombine to form an excited state of the light emitting organic compound, and light is emitted when the excited state returns to the ground state. From such a mechanism, such a light emitting element is referred to as a current excitation light emitting element.
  • the EL layer is a substance having a high hole injection property, a substance having a high hole transport property, a hole blocking material, a substance having a high electron transport property, a substance having a high electron injection property, or a bipolar other than a light emitting compound. It may have a polar substance (a substance having a high electron transporting property and a hole transporting property) or the like.
  • the EL layer can be formed by an evaporation method (including a vacuum evaporation method), a transfer method, a printing method, an inkjet method, a coating method, or the like.
  • Inorganic EL elements are classified into a dispersion-type inorganic EL element and a thin-film-type inorganic EL element according to the element configuration.
  • the dispersion-type inorganic EL element has a light-emitting layer in which particles of a light-emitting material are dispersed in a binder, and the light emission mechanism is donor-acceptor recombination light emission utilizing a donor level and an acceptor level.
  • the thin film type inorganic EL element has a structure in which the light emitting layer is sandwiched by dielectric layers and further sandwiched by electrodes, and the light emission mechanism is localized light emission utilizing inner shell electron transition of metal ions.
  • an organic EL element is described as a light emitting element.
  • one of at least a pair of electrodes may be transparent in order to extract light emission.
  • a transistor and a light emitting element are formed over the substrate, and top emission (top emission) structure in which light emission is extracted from the surface opposite to the substrate, or bottom emission (bottom emission) structure in which light emission is extracted from the surface of the substrate.
  • top emission (top emission) structure in which light emission is extracted from the surface opposite to the substrate
  • bottom emission (bottom emission) structure in which light emission is extracted from the surface of the substrate
  • FIG. 13 illustrates an example of a light-emitting display device (also referred to as “EL display device”) using a light-emitting element as a display element.
  • a light emitting element 4513 which is a display element is electrically connected to a transistor 4010 provided in the display portion 215.
  • the structure of the light-emitting element 4513 is a stacked structure of the first electrode layer 4030, the light-emitting layer 4511, and the second electrode layer 4031, but is not limited to this structure.
  • the structure of the light emitting element 4513 can be changed as appropriate in accordance with the direction of light extracted from the light emitting element 4513 or the like.
  • the light-emitting element 4513 can be the light-emitting element LD described in Embodiment 1.
  • the partition 4510 is formed using an organic insulating material or an inorganic insulating material.
  • the light emitting layer 4511 may be either a single layer or a plurality of layers stacked.
  • the emission color of the light-emitting element 4513 can be made white, red, green, blue, cyan, magenta, yellow, or the like depending on the material of the light-emitting layer 4511.
  • a method of realizing color display there are a method of combining a light emitting element 4513 of white light emitting color and a coloring layer, and a method of providing a light emitting element 4513 of different light emitting color for each pixel.
  • the former method is more productive than the latter method.
  • the productivity is lower than the former method.
  • luminescent color having higher color purity can be obtained than in the former method.
  • the color purity can be further enhanced by providing the light emitting element 4513 with a microcavity structure.
  • the light emitting layer 4511 may have an inorganic compound such as a quantum dot.
  • a quantum dot for the light-emitting layer, it can also function as a light-emitting material.
  • a protective layer may be formed over the second electrode layer 4031 and the partition 4510 so that oxygen, hydrogen, moisture, carbon dioxide, and the like do not enter the light-emitting element 4513.
  • the protective layer silicon nitride, silicon nitride oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum oxynitride, aluminum nitride oxide, DLC (Diamond Like Carbon), or the like can be formed.
  • a filler 4514 is provided in a space sealed by the first substrate 4001, the second substrate 4006, and the sealant 4005 and sealed.
  • a protective film such as a laminated film or an ultraviolet curable resin film
  • a cover material which has high airtightness and low degassing so as not to be exposed to the outside air.
  • an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin in addition to an inert gas such as nitrogen or argon, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin can be used, and PVC (polyvinyl chloride), acrylic resin, polyimide, epoxy resin, silicone resin, PVB ( Polyvinyl butyral) or EVA (ethylene vinyl acetate) etc. can be used.
  • the filler 4514 may contain a desiccant.
  • sealant 4005 a glass material such as a glass frit, a cured resin such as a two-component mixed resin that cures at normal temperature, a photocurable resin, or a thermosetting resin can be used.
  • the sealant 4005 may contain a desiccant.
  • an optical film such as a polarizing plate or a circularly polarizing plate (including an elliptically polarizing plate), a retardation plate ( ⁇ / 4 plate, ⁇ / 2 plate), or a color filter may be provided on the emission surface of the light emitting element. You may provide suitably.
  • an antireflective film may be provided on the polarizing plate or the circularly polarizing plate. For example, anti-glare processing can be performed to diffuse reflected light and reduce reflection due to the unevenness of the surface.
  • light with high color purity can be extracted by forming the light-emitting element with a microcavity structure.
  • reflection can be reduced, and the visibility of a display image can be enhanced.
  • first electrode layer and the second electrode layer (also referred to as a pixel electrode layer, a common electrode layer, a counter electrode layer, and the like) which apply voltage to the display element, the direction of light to be extracted, the location where the electrode layer is provided, and Translucency and reflectivity may be selected depending on the pattern structure of the electrode layer.
  • the first electrode layer 4030 and the second electrode layer 403 are indium oxide containing tungsten oxide, indium zinc oxide containing tungsten oxide, indium oxide containing titanium oxide, indium tin oxide, indium containing titanium oxide
  • a light-transmitting conductive material such as tin oxide, indium zinc oxide, or indium tin oxide to which silicon oxide is added can be used.
  • the first electrode layer 4030 and the second electrode layer 4031 are made of tungsten (W), molybdenum (Mo), zirconium (Zr), hafnium (Hf), vanadium (V), niobium (Nb), tantalum (Ta) , Chromium (Cr), cobalt (Co), nickel (Ni), titanium (Ti), platinum (Pt), aluminum (Al), copper (Cu), metals such as silver (Ag), or alloys thereof, or It can be formed using one or more of metal nitrides.
  • the first electrode layer 4030 and the second electrode layer 4031 can be formed using a conductive composition containing a conductive high molecule (also referred to as a conductive polymer).
  • a conductive high molecule also referred to as a conductive polymer.
  • a so-called ⁇ electron conjugated conductive high molecule can be used.
  • polyaniline or a derivative thereof, polypyrrole or a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof, or a copolymer of two or more of aniline, pyrrole and thiophene or a derivative thereof can be given.
  • a protective circuit for protecting the driver circuit is preferably provided.
  • the protection circuit is preferably configured using a non-linear element.
  • the semiconductor device or the display device of one embodiment of the present invention can be manufactured using various types of transistors such as a bottom-gate transistor and a top-gate transistor. Therefore, according to the existing manufacturing line, the material of the semiconductor layer to be used and the transistor structure can be easily replaced.
  • FIG. 14A1 is a cross-sectional view of a channel protective transistor 810 which is a kind of bottom gate transistor.
  • the transistor 810 is formed over a substrate 771.
  • the transistor 810 includes an electrode 746 over the substrate 771 with the insulating layer 772 interposed therebetween.
  • the semiconductor layer 742 is provided over the electrode 746 with the insulating layer 726 interposed therebetween.
  • the electrode 746 can function as a gate electrode.
  • the insulating layer 726 can function as a gate insulating layer.
  • the insulating layer 741 is provided over the channel formation region of the semiconductor layer 742.
  • an electrode 744 a and an electrode 744 b are provided over the insulating layer 726 in contact with part of the semiconductor layer 742.
  • the electrode 744a can function as one of a source electrode and a drain electrode.
  • the electrode 744 b can function as the other of the source electrode and the drain electrode.
  • a portion of the electrode 744 a and a portion of the electrode 744 b are formed over the insulating layer 741.
  • the insulating layer 741 can function as a channel protective layer. By providing the insulating layer 741 over the channel formation region, exposure of the semiconductor layer 742 which is generated at the time of formation of the electrodes 744a and 744b can be prevented. Thus, the channel formation region of the semiconductor layer 742 can be prevented from being etched when the electrode 744a and the electrode 744b are formed. According to one embodiment of the present invention, a transistor with favorable electrical characteristics can be realized.
  • the transistor 810 includes the insulating layer 728 over the electrode 744a, the electrode 744b, and the insulating layer 741, and the insulating layer 729 over the insulating layer 728.
  • an oxide semiconductor for the semiconductor layer 742 a material capable of generating oxygen vacancy by removing oxygen from part of the semiconductor layer 742 in at least a portion of the electrode 744 a and the electrode 744 b in contact with the semiconductor layer 742 is used.
  • the region of the semiconductor layer 742 in which oxygen vacancies occur has an increased carrier concentration, and the region becomes n-type to become an n-type region (n + layer). Thus, the region can function as a source region or a drain region.
  • tungsten, titanium, or the like can be given as an example of a material that can deprive the semiconductor layer 742 of oxygen and cause oxygen vacancies.
  • the contact resistance between the electrode 744 a and the electrode 744 b and the semiconductor layer 742 can be reduced. Accordingly, electrical characteristics of the transistor such as field effect mobility and threshold voltage can be improved.
  • a layer functioning as an n-type semiconductor or a p-type semiconductor is preferably provided between the semiconductor layer 742 and the electrode 744 a and between the semiconductor layer 742 and the electrode 744 b.
  • a layer functioning as an n-type semiconductor or a p-type semiconductor can function as a source region or a drain region of a transistor.
  • the insulating layer 729 is preferably formed using a material having a function of preventing or reducing diffusion of impurities into the transistor from the outside. Note that the insulating layer 729 can be omitted as needed.
  • a transistor 811 illustrated in FIG. 14A2 is different from the transistor 810 in that an electrode 723 which can function as a back gate electrode is provided over the insulating layer 729.
  • the electrode 723 can be formed by the same material and method as the electrode 746.
  • the back gate electrode is formed of a conductive layer, and the gate electrode and the back gate electrode are disposed so as to sandwich the channel formation region of the semiconductor layer.
  • the back gate electrode can function similarly to the gate electrode.
  • the potential of the back gate electrode may be the same as that of the gate electrode, or may be the ground potential (GND potential) or any potential.
  • the threshold voltage of the transistor can be changed by changing the potential of the back gate electrode independently without interlocking with the gate electrode.
  • the electrode 746 and the electrode 723 can both function as a gate electrode.
  • the insulating layer 726, the insulating layer 728, and the insulating layer 729 can each function as a gate insulating layer.
  • the electrode 723 may be provided between the insulating layer 728 and the insulating layer 729.
  • the other is referred to as a “back gate electrode”.
  • the electrode 746 when the electrode 723 is referred to as a “gate electrode”, the electrode 746 is referred to as a “back gate electrode”.
  • the transistor 811 can be considered as a kind of top gate transistor.
  • one of the electrode 746 and the electrode 723 may be referred to as “first gate electrode”, and the other may be referred to as “second gate electrode”.
  • the region in which the carriers flow in the semiconductor layer 742 becomes larger in the film thickness direction.
  • the amount of carrier movement increases.
  • the on current of the transistor 811 is increased, and the field effect mobility is increased.
  • the transistor 811 is a transistor having a large on current with respect to the occupied area. That is, the area occupied by the transistor 811 can be reduced with respect to the on current required. According to one embodiment of the present invention, the area occupied by the transistor can be reduced. Thus, according to one embodiment of the present invention, a semiconductor device with a high degree of integration can be realized.
  • the gate electrode and the back gate electrode are formed of a conductive layer, they have a function to prevent an electric field generated outside the transistor from acting on the semiconductor layer in which a channel is formed (in particular, an electric field shielding function against static electricity). .
  • the electric field shielding function can be enhanced by forming the back gate electrode larger than the semiconductor layer and covering the semiconductor layer with the back gate electrode.
  • the back gate electrode is formed using a light-shielding conductive film
  • light can be prevented from entering the semiconductor layer from the back gate electrode side. Accordingly, light deterioration of the semiconductor layer can be prevented, and deterioration of the electrical characteristics such as shift of the threshold voltage of the transistor can be prevented.
  • a highly reliable transistor can be realized.
  • a highly reliable semiconductor device can be realized.
  • FIG. 14B1 is a cross-sectional view of a channel protective transistor 820 which is one of bottom-gate transistors.
  • the transistor 820 has substantially the same structure as the transistor 810, except that the insulating layer 741 covers an end portion of the semiconductor layer 742.
  • the semiconductor layer 742 and the electrode 744 a are electrically connected to each other in an opening formed by selectively removing part of the insulating layer 741 overlapping with the semiconductor layer 742.
  • the semiconductor layer 742 and the electrode 744 b are electrically connected to each other in another opening which is formed by selectively removing part of the insulating layer 741 overlapping with the semiconductor layer 742.
  • the region of the insulating layer 741 overlapping with the channel formation region can function as a channel protective layer.
  • a transistor 821 illustrated in FIG. 14B2 is different from the transistor 820 in that an electrode 723 which can function as a back gate electrode is provided over the insulating layer 729.
  • the insulating layer 741 can prevent the semiconductor layer 742 from being exposed when the electrodes 744a and 744b are formed. Thus, thinning of the semiconductor layer 742 can be prevented at the time of formation of the electrodes 744a and 744b.
  • the distance between the electrode 744a and the electrode 746 and the distance between the electrode 744b and the electrode 746 are longer than those in the transistors 810 and 811.
  • parasitic capacitance generated between the electrode 744a and the electrode 746 can be reduced.
  • parasitic capacitance generated between the electrode 744 b and the electrode 746 can be reduced.
  • a transistor with favorable electrical characteristics can be realized.
  • a transistor 825 illustrated in FIG. 14C1 is a channel etching transistor which is one of bottom-gate transistors.
  • the transistor 825 forms the electrode 744a and the electrode 744b without using the insulating layer 741. Therefore, part of the semiconductor layer 742 exposed when forming the electrode 744a and the electrode 744b may be etched. On the other hand, since the insulating layer 741 is not provided, productivity of the transistor can be improved.
  • a transistor 826 illustrated in FIG. 14C2 is different from the transistor 825 in that the electrode 723 which can function as a back gate electrode is provided over the insulating layer 729.
  • the transistor 842 illustrated in FIG. 15A1 is one of top-gate transistors.
  • the transistor 842 is different from the transistors 810, 811, 820, 821, 825, and 826 in that the electrode 744a and the electrode 744b are formed after the insulating layer 729 is formed.
  • the electrode 744a and the electrode 744b are electrically connected to the semiconductor layer 742 in an opening formed in the insulating layer 728 and the insulating layer 729.
  • a portion of the insulating layer 726 which does not overlap with the electrode 746 is removed, and the impurity 755 is introduced into the semiconductor layer 742 using the electrode 746 and the remaining insulating layer 726 as a mask, whereby self-alignment in the semiconductor layer 742 ( An impurity region can be formed in a self alignment manner (see FIG. 15A3).
  • the transistor 842 has a region where the insulating layer 726 extends beyond the end of the electrode 746.
  • the impurity concentration of the region into which the impurity 755 is introduced through the insulating layer 726 of the semiconductor layer 742 is smaller than that of the region into which the impurity 755 is introduced without interposing the insulating layer 726.
  • a lightly doped drain (LDD) region is formed in a region which does not overlap with the electrode 746.
  • the transistor 843 illustrated in FIG. 15A2 is different from the transistor 842 in that the electrode 723 is provided.
  • the transistor 843 has an electrode 723 formed over the substrate 771.
  • the electrode 723 has a region overlapping with the semiconductor layer 742 with the insulating layer 772 interposed therebetween.
  • the electrode 723 can function as a back gate electrode.
  • the transistor 844 illustrated in FIG. 15B1 and the transistor 845 illustrated in FIG. 15B2 all the insulating layer 726 in a region which does not overlap with the electrode 746 may be removed.
  • the insulating layer 726 may be left.
  • the transistors 842 to 847 can also form impurity regions in the semiconductor layer 742 in a self-aligned manner by introducing the impurity 755 into the semiconductor layer 742 using the electrode 746 as a mask after forming the electrode 746. .
  • a transistor with favorable electrical characteristics can be realized.
  • a semiconductor device with a high degree of integration can be realized.
  • CAC-OS Cloud-Aligned Composite Oxide Semiconductor
  • CAAC-OS c-axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor
  • the CAC-OS or CAC-metal oxide has a conductive function in part of the material and an insulating function in part of the material, and functions as a semiconductor throughout the material.
  • the conductive function is a function of flowing electrons (or holes) serving as carriers
  • the insulating function is electrons serving as carriers. Is a function that does not A function of switching (function of turning on / off) can be imparted to the CAC-OS or the CAC-metal oxide by causing the conductive function and the insulating function to be complementary to each other.
  • CAC-OS or CAC-metal oxide has a conductive region and an insulating region.
  • the conductive region has the above-mentioned conductive function
  • the insulating region has the above-mentioned insulating function.
  • the conductive region and the insulating region may be separated at the nanoparticle level.
  • the conductive region and the insulating region may be unevenly distributed in the material.
  • the conductive region may be observed as connected in a cloud shape with a blurred periphery.
  • the conductive region and the insulating region are each dispersed in the material with a size of 0.5 nm or more and 10 nm or less, preferably 0.5 nm or more and 3 nm or less There is.
  • CAC-OS or CAC-metal oxide is composed of components having different band gaps.
  • CAC-OS or CAC-metal oxide is composed of a component having a wide gap resulting from the insulating region and a component having a narrow gap resulting from the conductive region.
  • the carrier when the carrier flows, the carrier mainly flows in the component having the narrow gap.
  • the component having the narrow gap acts complementarily to the component having the wide gap, and the carrier also flows to the component having the wide gap in conjunction with the component having the narrow gap. Therefore, when the above-described CAC-OS or CAC-metal oxide is used for a channel formation region of a transistor, high current driving force, that is, high on current, and high field effect mobility can be obtained in the on state of the transistor.
  • CAC-OS or CAC-metal oxide can also be called a matrix composite (matrix composite) or a metal matrix composite (metal matrix composite).
  • Oxide semiconductors can be divided into single crystal oxide semiconductors and other non-single crystal oxide semiconductors.
  • the non-single crystal oxide semiconductor for example, CAAC-OS, polycrystalline oxide semiconductor, nc-OS (nanocrystalline oxide semiconductor), pseudo-amorphous oxide semiconductor (a-like OS: a-like OS: a-like OS), and There are amorphous oxide semiconductors and the like.
  • the CAAC-OS has c-axis orientation, and a plurality of nanocrystals are connected in the a-b plane direction to form a strained crystal structure.
  • distortion refers to a portion where the orientation of the lattice arrangement changes between the region in which the lattice arrangement is aligned and the region in which another lattice arrangement is aligned in the region where the plurality of nanocrystals are connected.
  • the nanocrystals are based on hexagons, but may not be regular hexagons and may be non-hexagonal. Moreover, distortion may have a lattice arrangement such as pentagon and heptagon.
  • a clear crystal grain boundary also referred to as a grain boundary
  • the formation of crystal grain boundaries is suppressed by the distortion of the lattice arrangement. This is because the CAAC-OS can tolerate distortion due to the fact that the arrangement of oxygen atoms is not dense in the a-b plane direction, or that the bonding distance between atoms is changed due to metal element substitution. It is thought that it is for.
  • a CAAC-OS is a layered crystal in which a layer containing indium and oxygen (hereinafter referred to as In layer) and a layer containing element M, zinc and oxygen (hereinafter referred to as (M, Zn) layer) are stacked. It tends to have a structure (also referred to as a layered structure).
  • In layer a layer containing indium and oxygen
  • M, Zn zinc and oxygen
  • indium and the element M can be substituted with each other, and when the element M in the (M, Zn) layer is replaced with indium, it can also be expressed as a (In, M, Zn) layer.
  • indium in the In layer is substituted with the element M, it can also be represented as an (In, M) layer.
  • the CAAC-OS is an oxide semiconductor with high crystallinity.
  • CAAC-OS can not confirm clear crystal grain boundaries, so that it can be said that the decrease in electron mobility due to crystal grain boundaries does not easily occur.
  • the crystallinity of the oxide semiconductor may be lowered due to the mixing of impurities, generation of defects, or the like, so that the CAAC-OS can also be said to be an oxide semiconductor with few impurities or defects (such as oxygen vacancies). Therefore, the oxide semiconductor having a CAAC-OS has stable physical properties. Therefore, an oxide semiconductor having a CAAC-OS is resistant to heat and has high reliability.
  • the CAAC-OS is stable also to a high temperature (so-called thermal budget) in the manufacturing process. Therefore, when CAAC-OS is used for the OS transistor, the degree of freedom of the manufacturing process can be expanded.
  • the nc-OS has periodicity in atomic arrangement in a minute region (eg, a region of 1 nm to 10 nm, particularly a region of 1 nm to 3 nm).
  • nc-OS has no regularity in crystal orientation among different nanocrystals. Therefore, no orientation can be seen in the entire film. Therefore, the nc-OS may not be distinguished from the a-like OS or the amorphous oxide semiconductor depending on the analysis method.
  • the a-like OS is an oxide semiconductor having a structure between nc-OS and an amorphous oxide semiconductor.
  • the a-like OS has a wrinkle or low density region. That is, a-like OS has lower crystallinity than nc-OS and CAAC-OS.
  • Oxide semiconductors have various structures, and each has different characteristics.
  • the oxide semiconductor of one embodiment of the present invention may have two or more of an amorphous oxide semiconductor, a polycrystalline oxide semiconductor, an a-like OS, an nc-OS, and a CAAC-OS.
  • an oxide semiconductor with low carrier density is preferably used for the transistor.
  • the impurity concentration in the oxide semiconductor film may be reduced to reduce the density of defect states.
  • the low impurity concentration and the low density of defect level states are referred to as high purity intrinsic or substantially high purity intrinsic.
  • the oxide semiconductor has a carrier density of less than 8 ⁇ 10 11 / cm 3 , preferably less than 1 ⁇ 10 11 / cm 3 , more preferably less than 1 ⁇ 10 10 / cm 3 , and 1 ⁇ 10 ⁇ 9 / cm 3. It should be cm 3 or more.
  • the density of trap states may also be low.
  • the charge trapped in the trap level of the oxide semiconductor takes a long time to disappear, and may behave like fixed charge. Therefore, the transistor in which the channel formation region is formed in the oxide semiconductor with a high trap state density may have unstable electrical characteristics.
  • the impurities include hydrogen, nitrogen, alkali metals, alkaline earth metals, iron, nickel, silicon and the like.
  • the concentration of silicon or carbon in the oxide semiconductor and the concentration of silicon or carbon in the vicinity of the interface with the oxide semiconductor are 2 ⁇ 10 18 atoms / It is set to cm 3 or less, preferably 2 ⁇ 10 17 atoms / cm 3 or less.
  • the oxide semiconductor contains an alkali metal or an alkaline earth metal
  • a defect state may be formed and a carrier may be generated. Therefore, a transistor including an oxide semiconductor which contains an alkali metal or an alkaline earth metal is likely to be normally on. Therefore, it is preferable to reduce the concentration of alkali metal or alkaline earth metal in the oxide semiconductor.
  • the concentration of an alkali metal or an alkaline earth metal in an oxide semiconductor obtained by SIMS is 1 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 or less, preferably 2 ⁇ 10 16 atoms / cm 3 or less.
  • the nitrogen concentration in the oxide semiconductor is less than 5 ⁇ 10 19 atoms / cm 3 , preferably 5 ⁇ 10 18 in SIMS. atoms / cm 3 or less, more preferably 1 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 or less, still more preferably 5 ⁇ 10 17 atoms / cm 3 or less.
  • hydrogen contained in the oxide semiconductor reacts with oxygen bonded to a metal atom to be water, which may form an oxygen vacancy.
  • oxygen vacancies When hydrogen enters the oxygen vacancies, electrons which are carriers may be generated.
  • a part of hydrogen may be bonded to oxygen which is bonded to a metal atom to generate an electron which is a carrier.
  • a transistor including an oxide semiconductor which contains hydrogen is likely to be normally on.
  • hydrogen in the oxide semiconductor is preferably reduced as much as possible.
  • the hydrogen concentration obtained by SIMS is less than 1 ⁇ 10 20 atoms / cm 3 , preferably less than 1 ⁇ 10 19 atoms / cm 3 , more preferably 5 ⁇ 10 18 atoms / cm. It is less than 3 and more preferably less than 1 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 .
  • FIG. 16A illustrates a laptop personal computer which is a type of information terminal device, which includes a housing 5401, a display portion 5402, a keyboard 5403, a pointing device 5404, and the like.
  • FIG. 16B illustrates a smart watch which is a type of wearable terminal, which includes a housing 5901, a display portion 5902, operation buttons 5903, an operator 5904, a band 5905, and the like.
  • a display device to which a function as a position input device is added may be used as the display portion 5902.
  • the function as a position input device can be added by providing a touch panel on the display device.
  • the function as a position input device can be added by providing a photoelectric conversion element also called a photosensor in a pixel portion of a display device.
  • the operation button 5903 can be provided with a power switch for activating a smart watch, a button for operating an application of the smart watch, a volume adjustment button, or a switch for lighting or extinguishing the display portion 5902.
  • the smart watch illustrated in FIG. 16B illustrates two operation buttons 5903, the number of operation buttons included in the smart watch is not limited thereto.
  • the operator 5904 functions as a crown that adjusts the time of the smart watch.
  • the operation element 5904 may be used as an input interface for operating an application of the smart watch. Note that although the smart watch illustrated in FIG. 16B includes the operators 5904, the present invention is not limited to this. The smart watch illustrated in FIG. 16B may not include the operators 5904.
  • the semiconductor device or the display device of one embodiment of the present invention can be applied to a video camera.
  • the video camera illustrated in FIG. 16C includes a first housing 5801, a second housing 5802, a display portion 5803, operation keys 5804, a lens 5805, a connection portion 5806, and the like.
  • the operation key 5804 and the lens 5805 are provided in the first housing 5801
  • the display portion 5803 is provided in the second housing 5802.
  • the first housing 5801 and the second housing 5802 are connected by the connection portion 5806, and the angle between the first housing 5801 and the second housing 5802 can be changed by the connection portion 5806. is there.
  • the video in the display portion 5803 may be switched in accordance with the angle between the first housing 5801 and the second housing 5802 in the connection portion 5806.
  • FIG. 16D illustrates a mobile phone having a function of an information terminal, which includes a housing 5501, a display portion 5502, a microphone 5503, a speaker 5504, and an operation button 5505.
  • a display device to which a function as a position input device is added may be used for the display portion 5502.
  • the function as a position input device can be added by providing a touch panel on the display device.
  • the function as a position input device can be added by providing a photoelectric conversion element also called a photosensor in a pixel portion of a display device.
  • the operation button 5505 can be provided with any of a power switch for activating a mobile phone, a button for operating an application of the mobile phone, a volume adjustment button, and a switch for lighting or extinguishing the display portion 5502.
  • the number of operation buttons 5505 is two in the mobile phone illustrated in FIG. 16D, the number of operation buttons included in the mobile phone is not limited thereto.
  • the mobile phone illustrated in FIG. 16D may have a light-emitting device as a flash light or a lighting application.
  • the semiconductor device or the display device of one embodiment of the present invention can be applied to a television set.
  • the television set shown in FIG. 16E includes a housing 9000, a display portion 9001, a speaker 9003, an operation key 9005 (including a power switch or an operation switch), a connection terminal 9006, and the like.
  • the television set can incorporate a large screen, eg, a display 9001 of 50 inches or more, or 100 inches or more.
  • the semiconductor device or the display device of one embodiment of the present invention can be applied around the driver's seat of a mobile vehicle.
  • FIG. 16 (F) is a diagram showing the area around the windshield in the interior of a car.
  • FIG. 16F illustrates a display panel 5704 attached to a pillar in addition to the display panel 5701 attached to a dashboard, the display panel 5702, and the display panel 5703.
  • the display panel 5701 to the display panel 5703 can provide various information by displaying navigation information, a speedometer or tachometer, a travel distance, a fuel gauge, a gear state, settings of an air conditioner, and the like.
  • display items, layouts, and the like displayed on the display panel can be appropriately changed in accordance with the user's preference, and design can be enhanced.
  • the display panels 5701 to 5703 can also be used as lighting devices.
  • the display panel 5704 By projecting an image from an imaging unit provided on the vehicle body on the display panel 5704, it is possible to complement the view (dead angle) blocked by the pillar. That is, by displaying the image from the imaging means provided on the outside of the automobile, the blind spot can be compensated and the safety can be enhanced. In addition, by displaying an image that complements the invisible part, it is possible to check the safety more naturally and without discomfort.
  • the display panel 5704 can also be used as a lighting device.
  • FIG. 17A shows an example of an electronic signboard (digital signage) that can be attached to a wall.
  • FIG. 17A shows the electronic signboard 6200 attached to the wall 6201.
  • FIG. 17B shows a tablet-type information terminal having a foldable structure.
  • the information terminal illustrated in FIG. 17B includes a housing 5321a, a housing 5321b, a display portion 5322, and an operation button 5323.
  • the display portion 5322 has a flexible base material, and the base material can realize a foldable structure.
  • the housing 5321a and the housing 5321b are connected by a hinge portion 5321c, and can be folded in two by the hinge portion 5321c.
  • the display portion 5322 is provided in the housing 5321a, the housing 5321b, and the hinge portion 5321c.
  • the electronic devices illustrated in FIGS. 16A to 16C and 17E and FIGS. 17A and 17B may have a microphone and a speaker.
  • the above-described electronic device can have a voice input function.
  • the electronic devices illustrated in FIGS. 16A, 16B, 16D, 17A, and 17B may have a camera.
  • the electronic devices shown in FIGS. 16A to 16F, 17A and 17B have sensors (force, displacement, position, velocity, acceleration) inside the housing. , Angular velocity, number of rotations, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemicals, voice, time, hardness, electric field, current, voltage, electric power, radiation, flow rate, humidity, inclination, vibration, odor or infrared light etc. It may be a configuration having a function). In particular, by providing the mobile phone shown in FIG.
  • a detection device having a sensor such as a gyro, an acceleration sensor, or the like for detecting an inclination, the direction of the mobile phone (the To automatically switch the screen display of the display unit 5502 in accordance with the orientation of the mobile phone.
  • the electronic devices illustrated in FIGS. 16A to 16F, 17A, and 17B are devices that acquire biological information such as fingerprints, veins, irises, and voiceprints. It may have a configuration. By applying this configuration, an electronic device having a biometric authentication function can be realized.
  • a flexible base material may be used as a display portion of the electronic device illustrated in FIGS. 16A to 16E and FIG. 17A.
  • the display portion may have a structure in which a transistor, a capacitor, a display element, and the like are provided over a flexible substrate.
  • a material having a light transmitting property to visible light is exemplified.
  • PET Polyethylene terephthalate resin
  • PEN polyethylene naphthalate resin
  • PES polyether sulfone resin
  • acrylic resin polyimide resin
  • polymethyl methacrylate resin polycarbonate resin
  • polyamide resin polycycloolefin resin
  • Polystyrene resin polyamide imide resin
  • polypropylene resin polyester resin
  • polyhalogenated vinyl resin aramid resin
  • epoxy resin etc.
  • these materials may be used by mixing or laminating.
  • the software used in the calculation is a circuit simulator called Gateway (version 3.4.1. R) of SILVACO.
  • Gateway version 3.4.1. R
  • the current change rate of the light emitting element LD with respect to the change of the threshold voltage Vth of the transistor Tr3 was calculated.
  • calculation of the current change rate with respect to each of the threshold voltage Vth after change was performed under five conditions of ⁇ 1 V, ⁇ 0.5 V, 0 V, 0.5 V, and 1 V.
  • V data corresponding to image data is 5 V
  • V W corresponding to correction data is 5 V
  • the high level potential applied to the wirings GL1 to GL4 is 15 V
  • the low level potential is ⁇ 5 V
  • the potential of the wiring VL is 0.5 V
  • the wiring BGL is The potential was set to ⁇ 10 V
  • the potential of the wiring AL was set to 13 V
  • the reference potential V GND applied to the wiring CAT was set to ⁇ 4 V.
  • FIG. 18 shows the current change rate of the light emitting element LD when the change amount of the threshold voltage Vth is between ⁇ 1 V and 1 V. From the calculation results, it is understood that the current change rate is suppressed to a range of approximately -10% to 10% when the threshold voltage Vth is between -1V and 1V.
  • the amount of current flowing through the transistor is proportional to the square of the difference between the gate-source voltage and the threshold voltage, so that only a slight change in the threshold voltage causes the transistor to The change in the current flowing through the
  • the current change rate is suppressed to a range of approximately ⁇ 10% to 10%, so the threshold voltage of the transistor Tr3 is It turns out that it is corrected moderately.
  • the software used in the calculation is a circuit simulator called Smartspice (4.26.7. R) of SILVACO, which is similar to the above-mentioned calculation.
  • the threshold voltage of the transistor Tr3 is variously set, and the amount of current flowing to the light emitting element LD when the threshold voltage is corrected. Calculations were made for
  • FIG. 19 shows the result of calculation using the circuit simulator, in which the horizontal axis represents the wiring DL and the wiring WDL, and the same data is input to the correction data holding unit (node ND1) and the image data holding unit (node ND2).
  • the graph shows a voltage (V) (hereinafter referred to as a data voltage) and a vertical axis as a drive current (A) flowing to the light emitting element LD.
  • the threshold voltage of the transistor Tr3 corresponding to the drive transistor is ⁇ 0.9 V, ⁇ 0.4 V, 0.1 V, 0.6 V, 1.1 V, 1.6 V, 2.1 V, The cases of nine conditions of 2.6 V and 3.1 V are shown.
  • the amount of current flowing to the drive transistor is approximately 1.85 ⁇ 10 ⁇ 6 A to 2.80 ⁇ 10 5 under the above nine conditions. It becomes the range to -6 A.
  • the threshold voltage of the drive transistor is 1.1 V as a reference, it can be seen that the change in the amount of current due to the correction is approximately in the range of -20% to 20%.
  • FIG. 20A shows the characteristics of an OS transistor whose channel length is 60 nm and whose channel width is 60 nm, which is the LSI scale
  • FIG. 20B shows the channel included in the display device. 6 ⁇ m length
  • the drain current of the OS transistor channel width is 4 [mu] m I D and the gate - which is a graph showing characteristics of the voltage between the source V G and field-effect mobility ⁇ FE [cm 2 / Vs] .
  • the characteristics CHR1 and CHR2 shown in FIG. 20A show the characteristics when the source-drain voltage is 0.1 V and 1.2 V, respectively. As shown in FIG. 20A, the OS transistor exhibits excellent characteristics as a scale of LSI, and the off-state current is smaller than the measurement lower limit.
  • the characteristics CHR3 and CHR4 shown in FIG. 20B show the characteristics when the source-drain voltage is 0.1 V and 10 V, respectively.
  • the characteristics CHR3 and CHR4 correspond to the vertical axis in the direction of the arrow A.
  • the characteristic CHR5 indicates the characteristics of the gate-source voltage of the OS transistor and the field-effect mobility.
  • the characteristic CHR5 corresponds to the vertical axis in the direction of the arrow B.
  • the OS transistor exhibits good characteristics as a scale directed to a display device as well as a scale of an LSI, and the off-state current is smaller than the measurement lower limit.
  • the OS transistor having the characteristics of FIG. 20B since the OS transistor having the characteristics of FIG. 20B has a small off-state current, it should be applied to the transistors Tr1 and Tr2 shown in FIG. 4 and the transistors Tr1, Tr2 and Tr7 shown in FIGS. Can. Further, the present invention may be applied to all of the transistors Tr1 to Tr4 shown in FIG. 4 and the transistors Tr1 to Tr6 in FIGS.
  • FIG. 21 shows the appearance of a display device actually manufactured as a pixel PIX shown in FIG. 6 (B).
  • the above-described OS transistor is used for the pixel PIX.
  • the display device is manufactured using a flexible substrate; therefore, the display portion of the display device can be folded in two.
  • the image data holding unit (node ND2) holds image data that is all white (image data only) and in that case, the correction data that indicates all white is sent to the correction data holding unit (node ND1)
  • the luminance of the display device in each of the cases of holding is as shown in the following table.
  • the image data is held in the image data holding unit (node ND2), and the correction data is held in the correction data holding unit (node ND3), whereby the image data is held in the image data holding unit (node ND2) It can be understood that the luminance of the display device is improved more than in the case of
  • the peak luminance in the 4% region was approximately 2000 cd / m 2 .
  • image data can be displayed with higher luminance by manufacturing a display device in which the pixel is the pixel PIX illustrated in FIG. 6B.
  • the correction data is held in the correction data holding unit (node ND3) of the pixel PIX, so that a voltage higher than the output of the source driver of the display device can be applied to the gate of the drive transistor (transistor Tr3). It is because it can. Therefore, since the source driver of the display device does not need to increase the output voltage, power consumption of the source driver can be reduced.
  • contents described in one certain embodiment or example may be other contents (or part of the contents) described in the embodiment or example; Application, combination, replacement, or the like can be performed on at least one of the contents described in one or more other embodiments (or some of the contents).
  • a figure (may be a part) described in one embodiment or an example is another figure (may be a part) described in another part of the figure, the embodiment, or the example. More figures can be configured by combining with at least one figure with one or more other embodiments or the figures (may be part of the figures) described in the examples.
  • the terms indicating the arrangement such as “above” and “below” are used for the sake of convenience to explain the positional relationship between the configurations with reference to the drawings.
  • the positional relationship between the components changes appropriately in accordance with the direction in which each component is depicted. Therefore, the words and phrases indicating the arrangement are not limited to the description described in the specification and the like, and can be appropriately paraphrased depending on the situation. For example, in the expression "insulator located on the upper surface of the conductor”, it can be rephrased as "insulator located on the lower surface of the conductor” by rotating the direction of the drawing shown by 180 degrees.
  • electrode B does not have to be formed in direct contact with insulating layer A, and another configuration may be provided between insulating layer A and electrode B. Do not exclude those that contain elements.
  • the sizes, the thicknesses of layers, or the regions are shown in arbitrary sizes for the convenience of description. Therefore, it is not necessarily limited to the scale.
  • the drawings are schematically shown for the sake of clarity, and are not limited to the shapes or values shown in the drawings. For example, variations in signal, voltage or current due to noise, or variations in signal, voltage or current due to timing deviation can be included.
  • a channel formation region refers to a region in which a channel is formed, and this region is formed by applying a potential to a gate, so that current can flow between the source and the drain.
  • the functions of the source and the drain may be switched when adopting transistors of different polarities or when the direction of current changes in circuit operation. Therefore, in this specification and the like, the terms “source” and “drain” can be used interchangeably.
  • electrode and “wiring” do not functionally limit these components.
  • electrodes may be used as part of “wirings” and vice versa.
  • the terms “electrode” and “wiring” include the case where a plurality of “electrodes” and “wirings” are integrally formed.
  • the voltage and the potential can be appropriately rephrased.
  • the voltage is a potential difference from a reference potential.
  • the reference potential is a ground potential (ground potential)
  • the voltage can be rephrased as a potential.
  • the ground potential does not necessarily mean 0 V. Note that the potential is relative, and the potential given to the wiring or the like may be changed depending on the reference potential.
  • membrane and layer can be replaced with each other depending on the situation or depending on the situation.
  • the terms “insulating layer” and “insulating film” may be able to be changed to the term "insulator”.
  • terms such as “wiring”, “signal line”, and “power supply line” can be replaced with each other depending on the case or depending on the situation. For example, it may be possible to change the term “wiring” to the term “signal line”. Also, for example, it may be possible to change the term “wiring” to a term such as "power supply line”. Also, the reverse is also true, and it may be possible to change the terms such as “signal line” and “power supply line” to the term “wiring”. Terms such as “power supply line” may be able to be changed to terms such as “signal line”. Also, the reverse is also true, and terms such as “signal line” may be able to be changed to terms such as "power supply line”.
  • the term “potential” applied to the wiring may be changed to the term “signal” or the like. Also, the reverse is also true, and a term such as “signal” may be able to be changed to the term “potential”.
  • the impurity of the semiconductor means, for example, elements other than the main components of the semiconductor layer.
  • an element having a concentration of less than 0.1 atomic% is an impurity.
  • the inclusion of impurities may cause, for example, formation of DOS (Density of States) in a semiconductor, reduction in carrier mobility, or reduction in crystallinity.
  • examples of the impurity that changes the characteristics of the semiconductor include elements other than the group 1 element, the group 2 element, the group 13 element, the group 14 element, the group 15 element, and the main component.
  • transition metals and the like there are transition metals and the like, and in particular, for example, hydrogen (also included in water), lithium, sodium, silicon, boron, phosphorus, carbon, nitrogen and the like.
  • oxygen vacancies may be formed by mixing of impurities such as hydrogen.
  • the semiconductor is a silicon layer
  • examples of the impurity that changes the characteristics of the semiconductor include oxygen, a group 1 element excluding hydrogen, a group 2 element, a group 13 element, and a group 15 element.
  • a switch is a switch which is turned on (on) or turned off (off) and has a function of controlling whether current flows or not.
  • a switch refers to one having a function of selecting and switching a path through which current flows.
  • an electrical switch or a mechanical switch can be used. That is, the switch may be any switch that can control the current, and is not limited to a specific switch.
  • Examples of electrical switches include transistors (eg, bipolar transistors, MOS transistors, etc.), diodes (eg, PN diodes, PIN diodes, Schottky diodes, MIM (Metal Insulator Metal) diodes, MIS (Metal Insulator Semiconductor) diodes. , A diode-connected transistor, or a logic circuit combining these.
  • transistors eg, bipolar transistors, MOS transistors, etc.
  • diodes eg, PN diodes, PIN diodes, Schottky diodes, MIM (Metal Insulator Metal) diodes, MIS (Metal Insulator Semiconductor) diodes.
  • MIM Metal Insulator Metal
  • MIS Metal Insulator Semiconductor
  • the “conductive state” of the transistor refers to a state in which the source electrode and the drain electrode of the transistor can be regarded as being electrically shorted.
  • the “non-conductive state” of a transistor refers to a state in which the source electrode and the drain electrode of the transistor can be regarded as being electrically disconnected.
  • the polarity (conductivity type) of the transistor is not particularly limited.
  • a mechanical switch is a switch using MEMS (micro-electro-mechanical system) technology, such as a digital micro mirror device (DMD).
  • MEMS micro-electro-mechanical system
  • DMD digital micro mirror device
  • the switch has a mechanically movable electrode, and the movement of the electrode operates to control conduction and non-conduction.
  • connection relation for example, the connection relation shown in the figure or the sentence, and includes other than the connection relation shown in the figure or the sentence.
  • X, Y, and the like used here are objects (eg, devices, elements, circuits, wirings, electrodes, terminals, conductive films, layers, and the like).
  • an element for example, a switch, a transistor, a capacitor, an inductor, a resistor, a diode, a display, or the like
  • the switch has a function of controlling on and off. That is, the switch has a function of turning on (on) or non-conducting (off) and controlling whether current flows or not.
  • a circuit for example, a logic circuit (for example, an inverter, a NAND circuit, a NOR circuit, etc.) that enables functional connection of X and Y, signal conversion Circuits (DA converter circuit, AD converter circuit, gamma correction circuit, etc.), potential level converter circuits (power supply circuits (boost circuit, step-down circuit etc.), level shifter circuits for changing the potential level of signals, etc.) voltage source, current source, switching A circuit, an amplifier circuit (a circuit capable of increasing the signal amplitude or current amount, etc., an operational amplifier, a differential amplifier circuit, a source follower circuit, a buffer circuit, etc.), a signal generation circuit, a memory circuit, a control circuit, etc. It is possible to connect one or more in between. As an example, even if another circuit is interposed between X and Y, X and Y are functionally connected if the signal output from X is transmitted to Y. Do.
  • the source (or the first terminal or the like) of the transistor is electrically connected to X via (or not via) Z1 and the drain (or the second terminal or the like) of the transistor is or the transistor Z2
  • the source of the transistor (or the first terminal or the like) is directly connected to a part of Z1
  • another part of Z1 Is directly connected to X
  • the drain (or the second terminal, etc.) of the transistor is directly connected to a part of Z2
  • another part of Z2 is directly connected to Y
  • X and Y, the source (or the first terminal or the like) of the transistor and the drain (or the second terminal or the like) are electrically connected to each other, and X, the source of the transistor (or the first And the like), the drain (or the second terminal or the like) of the transistor, and Y are electrically connected in this order.
  • the source of the transistor (or the first terminal, etc.) is electrically connected to X, the drain of the transistor (or the second terminal, etc. is electrically connected to Y, X, the source of the transistor ( Alternatively, it can be expressed that “the drain (or the second terminal) of the transistor (such as the second terminal) and Y are electrically connected in this order”.
  • X is electrically connected to Y through the source (or the first terminal or the like) and the drain (or the second terminal or the like) of the transistor
  • X, the source of the transistor (or the first A terminal or the like), a drain (or a second terminal or the like) of the transistor, and Y can be expressed as “provided in this order of connection”.
  • the source (or the first terminal or the like) and the drain (or the second terminal or the like) of the transistor can be defined.
  • these expression methods are an example and are not limited to these expression methods.
  • X, Y, Z1, and Z2 each denote an object (eg, a device, an element, a circuit, a wiring, an electrode, a terminal, a conductive film, a layer, or the like).
  • DD display device PA display unit, GD gate driver circuit, SD source driver circuit, WSD circuit, PIX pixel, SR shift register, LAT latch circuit, LVS level shift circuit, DAC digital analog conversion circuit, AMP amplifier circuit, GL wiring, VA wiring, DB data bus wiring, Tr1 transistor, Tr2 transistor, Tr3 transistor, Tr4 transistor, Tr5 transistor, Tr6 transistor, Tr7 transistor, C1 capacitive element, C2 capacitive element, C3 capacitive element, LD light emitting element, GL1 wiring, GL2 wiring , GL3 wiring, GL4 wiring, DL wiring, WDL wiring, VL wiring, AL wiring, BGL wiring, CAT wiring, ND1 node, ND2 node, ND3 node, ND4 node, SDa circuit, WSDa times , Tr11 transistor, Tr12 transistor, Tr 13 transistors, Tr14 transistor, SELD wiring SELG wiring SELV wiring SELW wiring GNDL wiring, V 1 L lines, 101 image data holding unit, 102 drive

Abstract

要約書 駆動トランジスタの特性のばらつきを抑え、且つ画像データの補正を行う半導体装置を提供する。 画像データ保持部と、補正データ保持部と、駆動回路部と、表示素子と、しきい値電圧補正回路部と、 を有する半導体装置である。 画像データ保持部は、 第1画像データを保持する機能を有し、 補正デー タ保持部は、 補正データを保持する機能と、 画像データ保持部が第1画像データを保持することによ って、 第1画像データ及び補正データに応じた第2画像データを生成する機能と、 を有する。 駆動回 路部は、第2画像データに応じた電流を生成する機能と、当該電流を表示素子に流す機能と、を有し、 しきい値電圧補正回路部は、駆動回路部の駆動トランジスタのしきい値電圧を補正する機能を有する。 上記構成によって、 半導体装置は、 画像データの補正、 駆動トランジスタのしきい値電圧の補正、 及 び第2画像データに基づく表示を行うことができる。

Description

半導体装置、表示装置、電子機器、及び動作方法
 本発明の一態様は、半導体装置、表示装置、電子機器、及び動作方法に関する。
 なお本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、蓄電装置、撮像装置、記憶装置、プロセッサ、電子機器、システム、それらの駆動方法、それらの製造方法、又はそれらの検査方法を一例として挙げることができる。
 近年、スマートフォンなどの携帯電話、タブレット型情報端末、ノート型PC(パーソナルコンピュータ)、携帯ゲーム機等が有する表示装置において、様々な面で改良が進められている。例えば、解像度を大きくする、色再現性を高くする、駆動回路を小さくする、消費電力を低減する、等の表示装置の開発が行われている。また、例えば、表示装置の表示品位を高くするため、画素に含まれる駆動トランジスタの特性のばらつきを低減する回路などの開発も進められている。特に、駆動トランジスタのしきい値電圧を補正する回路を有する画素回路の発明が、特許文献1に開示されている。
 また、表示装置が有する画素回路に含まれるスイッチング素子として、酸化物半導体を半導体薄膜としたトランジスタを適用する技術などが挙げられる。
 トランジスタに適用可能な半導体薄膜として、シリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸化物半導体が注目されている。酸化物半導体としては、例えば、酸化インジウム、酸化亜鉛などの一元系金属の酸化物のみでなく、多元系金属の酸化物も知られている。多元系金属の酸化物の中でも、特に、In−Ga−Zn酸化物(以下、IGZOとも呼ぶ。)に関する研究が盛んに行われている。
 IGZOに関する研究により、酸化物半導体において、単結晶でも非晶質でもない、CAAC(c−axis aligned crystalline)構造およびnc(nanocrystalline)構造が見出された(非特許文献1乃至非特許文献3参照。)。非特許文献1および非特許文献2では、CAAC構造を有する酸化物半導体を用いてトランジスタを作製する技術も開示されている。さらに、CAAC構造およびnc構造よりも結晶性の低い酸化物半導体でさえも、微小な結晶を有することが、非特許文献4および非特許文献5に開示されている。
 さらに、IGZOを活性層として用いたトランジスタは極めて低いオフ電流を持ち(非特許文献6参照。)、その特性を利用したLSIおよび表示装置が報告されている(非特許文献7および非特許文献8参照。)。また、特許文献2には、IGZOを活性層に含むトランジスタを、表示装置の画素回路に用いる発明が開示されている。
特開2017−10000号公報 特開2010−156963号公報
S.Yamazaki et al.,"SID Symposium Digest of Technical Papers",2012,volume 43,issue 1,p.183−186 S.Yamazaki et al.,"Japanese Journal of Applied Physics",2014,volume 53,Number 4S,p.04ED18−1−04ED18−10 S.Ito et al.,"The Proceedings of AM−FPD’13 Digest of Technical Papers",2013,p.151−154 S.Yamazaki et al.,"ECS Journal of Solid State Science and Technology",2014,volume 3,issue 9,p.Q3012−Q3022 S.Yamazaki,"ECS Transactions",2014,volume 64,issue 10,p.155−164 K.Kato et al.,"Japanese Journal of Applied Physics",2012,volume 51,p.021201−1−021201−7 S.Matsuda et al.,"2015 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers",2015,p.T216−T217 S.Amano et al.,"SID Symposium Digest of Technical Papers",2010,volume 41,issue 1,p.626−629
 表示装置が高品位な画像を表示する条件として、表示装置は、例えば、高解像度、多階調、広色域などであることが求められる。例えば、有機EL(Electro Luminescence)素子などの発光素子を含む表示装置において、表示品位の高い画像を表示するには、駆動トランジスタの特性のばらつきを抑え、且つ画素に送信される画像データを適切に補正する必要がある。
 本発明の一態様は、駆動トランジスタの特性のばらつきを抑え、且つ画像データの補正を行うことができる画素回路(本明細書等では半導体装置と記載する。)を提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、当該半導体装置を有する表示装置を提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、当該表示装置を有する電子機器を提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、当該半導体装置、当該表示装置、当該電子機器の動作方法を提供することを課題の一とする。
 なお本発明の一態様の課題は、上記列挙した課題に限定されない。上記列挙した課題は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお他の課題は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない課題である。本項目で言及していない課題は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した課題、及び他の課題のうち、少なくとも一つの課題を解決するものである。なお、本発明の一態様は、上記列挙した課題、及び他の課題の全てを解決する必要はない。
(1)
 本発明の一態様は、画像データ保持部と、補正データ保持部と、駆動回路部と、表示素子と、しきい値電圧補正回路部と、を有し、駆動回路部は、バックゲートを有する第1トランジスタを有し、第1トランジスタの第1端子は、表示素子の入力端子に電気的に接続され、画像データ保持部は、第1画像データを保持する機能を有し、補正データ保持部は、補正データを保持する機能と、画像データ保持部が第1画像データを保持することによって、第1画像データ及び補正データに応じた第2画像データを生成する機能と、を有し、駆動回路部は、第1トランジスタのゲートに、第2画像データに応じた第1電位が印加されることによって、第1トランジスタの第1端子‐第2端子間において、第1電流を生成する機能と、第1電流を表示素子に流す機能と、を有し、しきい値電圧補正回路部は、駆動回路部に含まれる第1トランジスタのしきい値電圧を補正する機能を有する、半導体装置である。
(2)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)の構成において、第1乃至第3容量素子を有し、画像データ保持部は、第2トランジスタを有し、補正データ保持部は、第3トランジスタを有し、しきい値電圧補正回路は、第4トランジスタを有し、第2トランジスタの第1端子は、第1容量素子の第1端子と電気的に接続され、第3トランジスタの第1端子は、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に電気的に接続され、第1トランジスタの第1端子は、第2容量素子の第2端子と、第3容量素子の第1端子と、に電気的に接続され、第1トランジスタのバックゲートは、第4トランジスタの第1端子と、第3容量素子の第2端子と、に電気的に接続される、半導体装置である。
(3)
 又は、本発明の一態様は、上記(2)の構成において、第1乃至第4トランジスタのそれぞれは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置である。
(4)
 又は、本発明の一態様は、上記(2)又は(3)の構成において、駆動回路部は、第5トランジスタを有し、第3トランジスタの第1端子と、表示素子の入力端子と、は、第5トランジスタの第1端子‐第2端子間を介して電気的に接続される、半導体装置である。
(5)
 又は、本発明の一態様は、上記(4)の構成において、第5トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置である。
(6)
 又は、本発明の一態様は、上記(2)乃至(5)のいずれか一の構成において、第6トランジスタを有し、第6トランジスタの第1端子は、第1トランジスタのゲートに電気的に接続され、第6トランジスタの第2端子は、第1トランジスタの第1端子に電気的に接続される、半導体装置である。
(7)
 又は、本発明の一態様は、上記(6)の構成において、第6トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置である。
(8)
 又は、本発明の一態様は、上記(2)乃至(7)のいずれか一の構成において、第1機能乃至第3機能を有し、第1機能は、第3トランジスタをオン状態にして、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に第1初期化電位を印加する機能と、第4トランジスタをオン状態にして、第1トランジスタのバックゲートに第2初期化電位を印加する機能と、第1トランジスタの第1端子と、第2容量素子の第2端子と、第3容量素子の第1端子と、に第3初期化電位を印加する機能と、第3トランジスタをオフ状態にして、第2容量素子によって、第1初期化電位と第3初期化電位との電位差を保持する機能と、第1トランジスタの第1端子から表示素子の入力端子への電流を遮断し、第1トランジスタの第1端子‐第2端子間に電圧を印加して第1トランジスタをオン状態にし、その後、第1トランジスタの第1端子の電位が第2電位になって、第1トランジスタがオフ状態となったとき、第3容量素子によって第2初期化電位と第2電位との電位差を保持する機能と、を有し、第2機能は、第3トランジスタをオン状態にして、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に補正データに応じた第3電位を書き込む機能と、第3トランジスタをオフ状態にして、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、によって第3電位を保持する機能と、を有し、第3機能は、第2トランジスタをオン状態にして、第1容量素子の第1端子に第1画像データに応じた第4電位を書き込む機能と、第1容量素子の第1端子に第4電位が書き込まれたことによって、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に保持されている第3電位が、第2画像データに応じた第1電位に変動する機能と、を有する、半導体装置である。
(9)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)乃至(8)のいずれか一の構成の半導体装置と、周辺回路と、を有する、表示装置である。
(10)
 又は、本発明の一態様は、上記(9)の構成の表示装置と、筐体と、を有する、電子機器である。
(11)
 又は、本発明の一態様は、画像データ保持部と、補正データ保持部と、駆動回路部と、表示素子と、しきい値電圧補正回路部と、を有する半導体装置の動作方法であって、駆動回路部は、バックゲートを有する第1トランジスタを有し、半導体装置の動作方法は、しきい値電圧補正期間と、補正データ書き込み期間と、画像データ書き込み期間と、画像表示期間と、を有し、しきい値電圧補正期間は、しきい値電圧補正回路部が第1トランジスタのバックゲートに電位を与えることで第1トランジスタのしきい値電圧を補正する期間を有し、補正データ書き込み期間は、補正データ保持部に補正データを書き込む期間を有し、画像データ書き込み期間は、画像データ保持部に第1画像データを書き込んで、補正データ保持部が第1画像データ及び補正データに応じた第2画像データを生成する期間を有し、画像表示期間は、第1トランジスタのゲートに、第2画像データに応じた第1電位が印加されることによって、駆動回路部が、第1トランジスタの第1端子‐第2端子間において、第1電流を生成して、第1電流を表示素子に流す期間を有する、半導体装置の動作方法である。
(12)
 又は、本発明の一態様は、上記(11)の動作方法において、初期化期間を有し、半導体装置は、第1容量素子乃至第3容量素子を有し、画像データ保持部は、第2トランジスタを有し、補正データ保持部は、第3トランジスタを有し、しきい値電圧補正回路は、第4トランジスタを有し、第2トランジスタの第1端子は、第1容量素子の第1端子と電気的に接続され、第3トランジスタの第1端子は、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に電気的に接続され、第1トランジスタの第1端子は、第2容量素子の第2端子と、第3容量素子の第1端子と、表示素子の入力端子と、に電気的に接続され、第1トランジスタのバックゲートは、第4トランジスタの第1端子と、第3容量素子の第2端子と、に電気的に接続され、初期化期間は、第3トランジスタがオン状態になって、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に第1初期化電位が印加される期間と、第4トランジスタがオン状態になって、第1トランジスタのバックゲートと、第3容量素子の第2端子と、に第2初期化電位が印加される期間と、第1トランジスタの第1端子と、第2容量素子の第2端子と、第3容量素子の第1端子と、に第3初期化電位が印加される期間と、を有し、しきい値電圧補正期間は、第1トランジスタの第1端子から表示素子への電流を遮断する期間と、第3トランジスタがオフ状態になって、第2容量素子が第1初期化電位と第3初期化電位との電位差を保持する期間と、第1トランジスタの第2端子に高電位が印加されることで、第1トランジスタの第1端子の電位が、第1トランジスタがオフ状態になる第2電位に達するまで、第1トランジスタの第1端子‐第2端子間に第2電流が流れる期間と、第4トランジスタがオフ状態になって、第3容量素子が第2電位と第2初期化電位との電位差を保持する期間と、を有し、補正データ書き込み期間は、第3トランジスタがオン状態になって、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に補正データに応じた第3電位が印加される期間と、第3トランジスタがオフ状態になって、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、によって第3電位が保持される期間と、を有し、画像データ書き込み期間は、第2トランジスタがオン状態になって、第1容量素子の第1端子に第1画像データに応じた第4電位が印加される期間と、第1容量素子の第1端子に第4電位が書き込まれたことによって、第1トランジスタのゲートと、第1容量素子の第2端子と、第2容量素子の第1端子と、に保持されている第3電位が、第2画像データに応じた第1電位に変動する期間と、を有する、半導体装置の動作方法である。
(13)
 又は、本発明の一態様は、上記(12)の動作方法において、第1乃至第4トランジスタのそれぞれは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、表示装置の動作方法である。
(14)
 又は、本発明の一態様は、上記(12)又は(13)の動作方法において、駆動回路部は、第5トランジスタを有し、第3トランジスタの第1端子と、表示素子の入力端子と、は、第5トランジスタの第1端子‐第2端子間を介して電気的に接続され、初期化期間と、補正データ書き込み期間と、画像データ書き込み期間と、は、第5トランジスタがオフ状態になる期間を有し、画像表示期間は、第5トランジスタがオン状態になる期間を有する、半導体装置の動作方法である。
(15)
 又は、本発明の一態様は、上記(14)の動作方法において、第5トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置の動作方法である。
(16)
 又は、本発明の一態様は、上記(12)乃至(15)のいずれか一の動作方法において、半導体装置は、第6トランジスタを有し、第6トランジスタの第1端子は、第1トランジスタのゲートに電気的に接続され、第6トランジスタの第2端子は、第1トランジスタの第1端子に電気的に接続され、しきい値電圧補正期間は、第6トランジスタがオン状態になる期間を有する、半導体装置の動作方法である。
(17)
 又は、本発明の一態様は、上記(16)の動作方法において、第6トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置の動作方法である。
(18)
 又は、本発明の一態様は、上記(11)乃至(17)のいずれか一に記載の半導体装置の動作方法を含む表示装置の動作方法であって、表示装置は、複数の半導体装置がマトリクス状に配置された表示部を有し、複数の半導体装置の一部は、第1画素及び第2画素として機能し、第1画素と、第2画素と、は、表示部において互いに異なる行に位置し、第1画素がしきい値電圧補正期間の動作を行っているとき、第2画素は補正データ書き込み期間、及び画像データ書き込み期間のそれぞれの動作を行う、表示装置の動作方法である。
 本発明の一態様によって、駆動トランジスタの特性のばらつきを抑え、且つ画像データの補正を行うことができる半導体装置を提供することができる。又は、本発明の一態様によって、当該半導体装置を有する表示装置を提供することができる。又は、本発明の一態様によって、当該表示装置を有する電子機器を提供することができる。又は、本発明の一態様によって、当該半導体装置、当該表示装置、当該電子機器の動作方法を提供することができる。
 又は、本発明の一態様によって、回路面積の小さいソースドライバ回路を有する表示装置を提供することができる。又は、本発明の一態様によって、消費電力の小さいソースドライバ回路を有する表示装置を提供することができる。
 なお本発明の一態様の効果は、上記列挙した効果に限定されない。上記列挙した効果は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した効果、及び他の効果のうち、少なくとも一つの効果を有するものである。従って本発明の一態様は、場合によっては、上記列挙した効果を有さない場合もある。
表示装置の一例を示すブロック図。 画素の構成例を説明するブロック図。 画素の構成例を説明するブロック図。 画素の構成例を示す回路図。 画素の構成例を説明するブロック図。 画素の構成例を示す回路図。 画素の構成例を示す回路図。 画素の動作例を示すタイミングチャート。 画素の動作と配線への電圧印加とのタイミングの一例を説明する図。 表示部とその周辺回路の構成例を示すブロック図。 表示装置の一例を示す上面図。 タッチパネルの一例を示す斜視図。 表示装置の一例を示す断面図。 トランジスタの構成例を示す断面図。 トランジスタの構成例を示す断面図。 電子機器の一例を示す斜視図。 電子機器の一例を示す斜視図。 しきい値電圧の補正による電流の変化率を示したグラフ。 画像データ(電圧)とトランジスタに流れる電流量の関係を示したグラフ。 トランジスタのドレイン電流とゲート−ソース間電圧の特性を示したグラフ。 試作した表示装置の外観写真。
 本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い意味での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductorまたは単にOSともいう)などに分類される。例えば、トランジスタの活性層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整流作用、及びスイッチング作用の少なくとも1つを有するトランジスタのチャネル形成領域を構成し得る場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor)、略してOSと呼ぶことができる。また、OS FET、又はOSトランジスタと記載する場合においては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
 また、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。
(実施の形態1)
 本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置、又は当該半導体装置を有する表示装置について説明する。
<表示装置の構成>
 初めに、表示装置の構成の例について説明する。図1は、無機EL素子、有機EL素子などの発光素子を有する表示装置の一例を示したブロック図である。表示装置DDは、表示部PAと、表示部PAの周辺回路として、ソースドライバ回路SDと、ゲートドライバ回路GDと、を有する。
 表示部PAは、複数の画素PIXを有する。なお、図1では、表示部PA内が有する複数の画素PIXのうち一つのみを図示しており、他の画素PIXについては省略している。また、表示部PAが有する複数の画素PIXは、マトリクス状に配置されていることが好ましい。
 図1では、画素PIXは、配線DLを介して、ソースドライバ回路SDと電気的に接続されている。加えて、画素PIXは、配線GLを介して、ゲートドライバ回路GDと電気的に接続されている。なお、表示部PAは、画素PIXを複数有しているため、配線DLに電気的に接続される画素PIXは複数としてもよい。同様に、配線GLに電気的に接続される画素PIXも複数としてもよい。また、配線DL及び配線GLのそれぞれは、表示部PAに含まれる画素PIXの個数に応じて、複数設けてもよい。更に、画素PIXの回路構成によっては、一つの画素PIXに対して、複数の配線DL、又は複数の配線GLを電気的に接続する構成としてもよい。
 画素PIXは、1つ以上の副画素を有する構成とすることができる。例えば、画素PIXには、副画素を1つ有する構成(赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、白色(W)などのいずれか一つの色)、副画素を3つ有する構成(赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)の3色など)、あるいは、副画素を4つ有する構成(赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、白色(W)の4色、または、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、黄色(Y)の4色など)を適用できる。なお、副画素に適用される色要素は、上記に限定されず、必要に応じて、シアン(C)及びマゼンタ(M)などを組み合わせてもよい。
 ソースドライバ回路SDは、表示部PAに含まれる画素PIXに入力するための画像データを生成する機能と、当該画像データを画素PIXに送信する機能と、を有する。
 ソースドライバ回路SDは、例えば、シフトレジスタSRと、ラッチ回路LATと、レベルシフト回路LVSと、デジタルアナログ変換回路DACと、アンプ回路AMPと、データバス配線DBと、を有することができる。図1では、シフトレジスタSRの出力端子がラッチ回路LATのクロック入力端子に電気的に接続され、ラッチ回路LATの入力端子がデータバス配線DBに電気的に接続され、ラッチ回路LATの出力端子がレベルシフト回路LVSの入力端子に電気的に接続され、レベルシフト回路LVSの出力端子がデジタルアナログ変換回路DACの入力端子に電気的に接続され、デジタルアナログ変換回路DACの出力端子がアンプ回路AMPの入力端子に電気的に接続され、アンプ回路AMPの出力端子が表示部PAに電気的に接続されている。
 なお、図1に図示しているラッチ回路LATと、レベルシフト回路LVSと、デジタルアナログ変換回路DACと、アンプ回路AMPと、は1本の配線DLに対して設けられている。つまり、配線DLの本数に応じて、ラッチ回路LATと、レベルシフト回路LVSと、デジタルアナログ変換回路DACと、アンプ回路AMPと、のそれぞれを複数設ける必要がある。なお、この場合、シフトレジスタSRは、複数のラッチ回路LATのクロック入力端子のそれぞれに対して、順次パルス信号を送信する構成とすればよい。
 データバス配線DBは、表示部PAに入力するための画像データを含むデジタル信号を送信するための配線である。当該画像データは、階調度を有しており、階調度が大きいほど、色又は明るさの変化をなめらかなグラデーションで表現でき、自然に近い画像を表示部PAに表示することができる。但し、階調度が大きいほど、当該画像データのデータ量は大きくなり、且つ分解能の高いデジタルアナログ変換回路を用いる必要がある。
 ラッチ回路LATの入力端子には、データバス配線DBから画像データを含むデジタル信号が入力される。そして、ラッチ回路LATは、シフトレジスタSRから送信される信号によって、当該画像データの保持、又は保持した当該画像データを出力端子から出力、のどちらか一方の動作を行う。
 レベルシフト回路LVSは、入力信号をより大きい振幅電圧またはより小さい振幅電圧の出力信号に変換する機能を有する。図1では、ラッチ回路LATから送られる画像データを含むデジタル信号の振幅電圧を、デジタルアナログ変換回路DACが適切に動作する振幅電圧に変換する役割を有する。
 デジタルアナログ変換回路DACは、入力された画像データを含むデジタル信号をアナログ信号に変換する機能と、当該アナログ信号を出力端子から出力する機能と、を有する。特に、表示部PAに多階調の画像データを表示する場合、デジタルアナログ変換回路DACは高分解能のデジタルアナログ変換回路とする必要がある。
 アンプ回路AMPは、入力端子に入力されたアナログ信号を増幅して、アナログ信号を出力端子から出力する機能を有する。デジタルアナログ変換回路DACと表示部PAとの間にアンプ回路AMPを設けることにより、画像データを安定的に表示部PAに送ることができる。アンプ回路AMPとしては、オペアンプなどを有するボルテージフォロワ回路などを適用することができる。なお、アンプ回路として差動入力回路を有する回路を用いる場合、当該差動入力回路のオフセット電圧は、限りなく0Vとすることが好ましい。
 ソースドライバ回路SDは、上述の動作を行うことによって、データバス配線DBから送られる、画像データを含むデジタル信号をアナログ信号に変換して、表示部PAに送信することができる。
 ゲートドライバ回路GDは、表示部PAに含まれる複数の画素PIXのうち、画像データの入力先となる画素PIXを選択する機能を有する。
 表示部PAに画像データを入力する方法としては、例えば、ゲートドライバ回路GDは、ある一本の配線GLに電気的に接続されている複数の画素PIXに選択信号を送信して、複数の画素PIXに含まれる画像データの書き込みスイッチング素子をオン状態とし、その後、ソースドライバ回路SDから、配線DLを介して、複数の画素PIXに画像データを送信して、書き込みを行えばよい。
 なお、本発明の一態様は、図1に示した表示装置DDの構成に限定されない。本発明の一態様は、例えば、設計仕様、目的などの状況に応じて、表示装置DDの構成要素を適宜変更したものとすることができる。
<画素の構成例1>
 次に、画素PIXの構成例について説明する。画素PIXとしては、例えば、図2(A)のブロック図に示す画素PIXを適用することができる。なお、図2(A)は、画素PIXとの電気的な接続の関係も示すため、ゲートドライバ回路GDと、ソースドライバ回路SDと、表示部PAと、配線DLと、配線GLと、も図示している。
 図2(A)に示す画素PIXは、画像データ保持部101と、駆動回路部102と、表示素子103と、を有する。
 画像データ保持部101は、駆動回路部102と電気的に接続され、駆動回路部102は、表示素子103と電気的に接続されている。
 画像データ保持部101は、ソースドライバ回路SDから、配線DLを介して、送られる画像データを保持する機能を有する。また、画像データ保持部101は、画像データを保持するための、書き込みスイッチング素子、容量素子などを有することができる。
 表示素子103は、画素PIXから射出される光を制御する機能を有する。当該光の強さ(輝度、階調の高さなどと言い換えることができる。)は、画像データ保持部101に保持された画像データに応じて決まる。
 表示素子103としては、例えば、無機EL素子、有機EL素子などの発光素子、透過型液晶素子、反射型液晶素子などを適用することができる。
 駆動回路部102は、画像データ保持部101に保持された画像データに応じて、表示素子103を駆動する機能を有する。例えば、表示素子103として、有機EL素子など電流によって発光輝度が決まる素子を適用している場合、駆動回路部102は、当該電流を制御する駆動トランジスタを有することができる。なお、駆動トランジスタは表示素子103に対して、駆動電流を流す機能を有する。
 配線VAは、画素PIXに電気的に接続されている。配線VAは、例えば、画像データ保持部101に画像データを保持するための容量線、駆動回路部102を駆動するための電圧供給線などとすることができる。そのため、配線VAは、一又は複数の配線とすることができる。なお、配線VAの構成は、上述に限定せず、画素PIXの構成によって適宜変更することができる。例えば、表示素子103が有機EL素子などの発光素子である場合、配線VAとしては、当該発光素子を駆動するための電流供給線とすることができる。また、例えば、表示素子103を液晶素子とする場合、発光素子と異なり、配線VAを電流供給線とする必要はない。
 図1の表示装置DDの説明では、配線GLは、画素PIXに画像データを書き込む際に、事前に選択信号を送信する機能を有する、と説明したが、図2(A)に示す画素PIXを有する表示装置DDにおいて、配線GLは、図2(A)の画素PIXと配線VAとの間の導通状態、非導通状態を切り替えるための信号を送信する機能を有してもよい。そのため、配線GLは、複数の信号を送信するため、複数の配線とすることができる。これにより、配線VAから供給される電圧及び/又は電流を一時的に停止することができる。
<画素の構成例2>
 また、画素PIXは、画像データに対して補正を行う機能を有してもよい。この場合の画素PIXの構成を図2(B)のブロック図に示す。図2(B)に示す画素PIXは、図2(A)の画素PIXに補正データ保持部104を設けた構成となっている。
 補正データ保持部104は、画像データ保持部101と、駆動回路部102と、に電気的に接続されている。
 補正データ保持部104は、回路WSDから、配線WDLを介して、送られる補正データを保持する機能と、当該補正データに基づいて画像データ保持部101に保持された画像データに補正を行う機能と、を有する。
 この場合、駆動回路部102は、補正データ保持部104において補正された画像データに応じて、表示素子103を駆動する機能を有する。
 また、補正データ保持部104は、補正データを保持するための、書き込みスイッチング素子、容量素子などを有することができる。
 画像データの補正方法としては、例えば、容量素子を用いた方法が挙げられる。具体的には、補正データ保持部104において、容量素子の一対の一方の端子に補正データに相当する第1電位を保持して、その後に当該容量素子の一対の一方の端子を電気的に浮遊状態にし、画像データ保持部101において、当該容量素子の一対の他方の端子に画像データに相当する第2電位を保持する。これにより、当該容量素子の一対の一方の端子の第1電位は、容量結合によって、第2電位に応じて昇降されて、第3電位になったとする。この第3電位が、補正された画像データに相当する。その後に、第3電位を駆動回路部102に与えることによって、駆動回路部102は第3電位に応じて表示素子103の駆動を行うことができる。
 回路WSDは、表示部PAに含まれる画素PIXで表示する画像を補正するための補正データを生成する機能と、当該補正データを画素PIXに送信する機能と、を有する。なお、図2(B)では、回路WSDと、ソースドライバ回路SDと、の両方を図示しているが、例えば、ソースドライバ回路SDが、上述した回路WSDの機能を含んだ構成としてもよい。具体的には、ソースドライバ回路SDの内部、又は出力先にデマルチプレクサなどを設けて、1つの回路から配線DL、配線WDLのそれぞれに画像データと、補正データと、を送信する構成としてもよい。
 図2(B)に示す画素PIXを表示装置DDに適用することによって、画像データ保持部101に保持された画像データに対して、補正データ保持部104に保持された補正データに応じて、画像補正を施すことができる。ここでの画像補正とは、例えば、輝度の増幅、多階調の画像への変換などが挙げられる。
 なお、図2(B)において、回路WSDから画素PIXに送信する補正データが、ソースドライバ回路SDによって生成ができる場合、回路WSDを省略して、配線WDLをソースドライバ回路SDに電気的に接続された構成とすることができる。そのような構成を図3に示す。図3に示す画素PIX及びその周辺の回路は、ソースドライバ回路SDが画像データを生成して、当該画像データを、配線DLを介して画像データ保持部101に送信し、且つソースドライバ回路SDが補正データを生成して、当該補正データを、配線WDLを介して補正データ保持部104に送信する構成となっている。図3に示す回路構成を表示装置DDに適用することによって、表示装置DDの回路面積を低減することができる。
<<画素の回路構成例1>>
 次に、図2(B)に示した画素PIXの具体的な回路構成について説明する。図4は、図2(B)に示した画素PIXの回路構成例を図示している。
 図4に図示している画素PIXは、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5と、容量素子C1と、容量素子C2と、発光素子LDと、を有する。また、配線DL、配線WDL、配線GL1乃至配線GL3、配線VL、配線AL、配線CATは、画素PIXと電気的に接続されている。
 トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr4、及びトランジスタTr5のそれぞれは、スイッチング素子として機能する。トランジスタTr3は、発光素子LDに流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。また、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5は、後述する実施の形態3に記載のトランジスタの構成を適用することができる。
 配線DLは、画素PIXに画像データを送信するための配線であり、図2(B)に示す配線DLに相当する配線とすることができる。また、配線WDLは、当該画像データに対する補正データを送信するための配線であり、図2(B)に示す配線WDLに相当する配線とすることができる。加えて、配線GL1乃至配線GL3のそれぞれは、画素PIXに対する選択信号線であり、図2(B)に示す配線GLに相当する配線とすることができる。
 配線VLは、画素PIX内の特定のノードに所定の電位を与えるための配線である。加えて、配線ALは、発光素子LDに流すための電流を供給するための配線である。配線VL及び配線ALは、図2(B)に示す配線VAに相当する配線とすることができる。
 配線CATは、発光素子LDの出力端子に所定の電位を与えるための配線である。所定の電位としては、例えば、基準電位、低レベル電位、それらよりも低い電位などとすることができる。また、配線CATは、図2(B)に示す配線VAに相当する配線とすることができる。配線CATは、表示部PAに含まれる複数の画素PIXにおいて、共通電位を与える配線として機能することが好ましい。
 トランジスタTr1の第1端子は、容量素子C1の第1端子に電気的に接続され、トランジスタTr1の第2端子は、配線DLに電気的に接続され、トランジスタTr1のゲートは、配線GL1に電気的に接続されている。トランジスタTr2の第1端子は、トランジスタTr3のゲートと、容量素子C1の第2端子と、容量素子C2の第1端子と、に電気的に接続され、トランジスタTr2の第2端子は、配線WDLに電気的に接続され、トランジスタTr2のゲートは、配線GL2に電気的に接続されている。
 なお、本実施の形態では、トランジスタTr1の第1端子と、容量素子C1の第1端子と、の電気的接続点をノードND1と呼称し、トランジスタTr2の第1端子と、トランジスタTr3のゲートと、容量素子C1の第2端子と、容量素子C2の第1端子と、の電気的接続点をノードND2と呼称する。
 トランジスタTr3の第1端子は、配線ALに電気的に接続され、トランジスタTr3の第2端子は、トランジスタTr4の第1端子と、トランジスタTr5の第1端子と、容量素子C2の第2端子と、に電気的に接続されている。トランジスタTr4の第2端子は、配線VLに電気的に接続され、トランジスタTr4のゲートは、配線GL1に電気的に接続されている。トランジスタTr5の第2端子は、発光素子LDの入力端子に電気的に接続され、トランジスタTr5のゲートは、配線GL3に電気的に接続されている。発光素子LDの出力端子は、配線CATに電気的に接続されている。
 トランジスタTr3の第2端子と、発光素子LDと、は、トランジスタTr5の第1端子‐第2端子間を介して電気的に接続されているので、トランジスタTr5は、トランジスタTr3の第2端子と発光素子LDの入力端子との間を導通状態又は非導通状態のいずれかに切り替えることができるスイッチング素子として機能する。
 容量素子C1は、ノードND1とノードND2との間の電位差を保持する機能を有し、容量素子C2は、トランジスタTr3の第2端子とゲートとの間の電位差を保持する機能を有する。
 図4の画素PIXにおいて、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5の少なくとも一は、OSトランジスタであることが好ましい。特に、OSトランジスタは、チャネル形成領域にインジウム、元素M(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、又はスズ)、亜鉛の少なくとも一を有する酸化物を含むことが好ましい。また、当該酸化物は、実施の形態4で詳述する。このようなOSトランジスタをトランジスタTr1乃至トランジスタTr5の少なくとも一に適用することで、適用したトランジスタのオフ電流を非常に低くすることができる。容量素子C1の第1端子(ノードND1)にデータを保持する場合、トランジスタTr1をOSトランジスタとすることで、オフ電流による、ノードND1に保持されたデータの破壊を防ぐことができる。同様に、トランジスタTr3のゲートと、容量素子C1の第2端子と、容量素子C2の第1端子(ノードND2)と、にデータを保持する場合、トランジスタTr2をOSトランジスタとすることで、オフ電流による、ノードND2に保持されたデータの破壊を防ぐことができる。また、発光素子LDの発光を一時的に止める場合、トランジスタTr5をOSトランジスタとすることで、オフ電流による発光素子LDの発光を防ぐことができる。また、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5の全てに、OSトランジスタを適用することによって、それぞれのトランジスタを同時に形成することができるため、表示部PAの作製工程を短縮することができる場合がある。つまり、表示部PAの生産時間を短くすることができるため、一定時間当たりの生産数を増加することができる。
 また、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5の少なくとも一に、例えば、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタを適用することができる(以後、Siトランジスタと記載する。)。シリコンとしては、例えば、水素化アモルファスシリコン、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコン等を用いることができる。また、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5のうち、一部のトランジスタをSiトランジスタとし、残りのトランジスタをOSトランジスタとしてもよい。
 図2(B)に示す画像データ保持部101は、例えば、図4に示すトランジスタTr1を有することができる。また、駆動回路部102は、例えば、図4に示すトランジスタTr3乃至トランジスタTr5を有することができる。また、表示素子103は、例えば、図4に示す発光素子LDを有することができる。補正データ保持部104は、例えば、図4に示すトランジスタTr2を有することができる。なお、画像データ保持部101、駆動回路部102、補正データ保持部104のそれぞれは、図4に示す容量素子C1、容量素子C2のそれぞれの電位を保持する機能を共有しているため、容量素子C1、容量素子C2のそれぞれがどの回路に含まれているか、は一意的に定めることはできない。換言すれば、容量素子C1、容量素子C2のそれぞれは、画像データ保持部101、駆動回路部102、補正データ保持部104のうちいずれか一に有する、ということができる。
 ところで、図2において、表示装置DDの表示品位は、駆動回路部102に含まれる駆動トランジスタの特性のばらつきの影響を受ける場合がある。特に、表示素子103として発光素子LDを適用している場合、その影響は大きくなるため、表示装置DDの表示品位を高めるためには、駆動トランジスタとして機能するトランジスタTr3のしきい値電圧の補正が必要となる。しきい値電圧の補正を表示部PAの外部回路によって行う場合、当該外部回路は、駆動トランジスタの第1端子と第2端子との間に流れる電流を取得して、当該電流を用いて逐次的に画像データの演算を行う必要があるため、しきい値電圧の補正に時間がかかり、消費電力が大きくなってしまう場合がある。
<画素の構成例3>
 本発明の一態様は、上記を鑑みなされたもので、画像データ保持部101、補正データ保持部104を含む画素PIXに、駆動回路部102に含まれる駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行うしきい値電圧補正回路部を設けた構成となっている。これにより、表示部PAの外部回路によって、駆動トランジスタのしきい値電圧に応じた画像データの演算を行う必要が無いため、表示装置DDにおいて当該外部回路を省略することができる。また、しきい値電圧補正回路部を、駆動トランジスタのバックゲートに所定の電位を与えて、しきい値電圧を補正する方式とすることで、駆動トランジスタのしきい値電圧補正を行うための、画像データへの演算処理を省略することができる。
 本発明の一態様の半導体装置である、画素PIXの回路構成の例を図5(A)のブロック図に示す。
 図5(A)に図示している画素PIXは、画像データ保持部101と、駆動回路部102と、表示素子103と、補正データ保持部104と、しきい値電圧補正回路部105と、を有する。図5(A)に示す画素PIXは、図2(B)の画素PIXにしきい値電圧補正回路部105を設けた構成となっている。
 しきい値電圧補正回路部105は、駆動回路部102と電気的に接続されている。
 しきい値電圧補正回路部105は、駆動回路部102に含まれる駆動トランジスタのしきい値電圧を補正する機能を有する。また、しきい値電圧補正回路部105は、しきい値電圧を補正する内容を保持するための、スイッチング素子、容量素子などを有することができる。
 しきい値電圧補正回路部105は、配線GL、配線VAなどに電気的に接続されることで、配線GLから送信される選択信号、配線VAから送信される電圧及び/又は電流によって、動作することができる。
 図5(A)に示す画素PIXを表示装置DDに適用することによって、画像データ保持部101と補正データ保持部104とによる画像データの補正に加え、しきい値電圧補正回路部105による駆動回路部102に含まれる駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行うことができる。
 また、図5(A)に示す画素PIXを適用した表示装置DDは、例えば、有機EL素子などの発光素子を表示素子とする表示装置に好適である。有機EL素子などの発光素子は、発光素子に流れる電流の大きさによって輝度が決まるため、当該電流を流す駆動トランジスタの特性のばらつきが生じている場合、表示装置の表示品位の低下に繋がる。表示装置に図5(A)に示す画素PIXを適用することによって、駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行うことができるため、当該駆動トランジスタに流れる電流がトランジスタ特性のばらつきによって増減しなくなり、表示装置の表示品位の低下を防ぐことができる。また、図5(A)に示す画素PIXに含まれる補正データ保持部104によって、画像データに補正を施すことにより、表示装置の表示品位を高くすることができる。特に、大型の表示装置の場合、駆動トランジスタの特性のばらつきが大きくなる傾向があるため、当該表示装置に図5(A)に示す画素PIXを適用することによって、当該特性のばらつきの影響を低減することができる。また、しきい値電圧の補正を画素PIXの内部で行うため、しきい値電圧の補正を行う外部回路が不要になり、コストを低くすることができる。
 また、図5(A)に示す画素PIX及びその周辺の回路の構成は、図3と同様に、回路WSDを省略して、補正データをソースドライバ回路SDで生成して、当該補正データを、配線WDLを介して補正データ保持部104に送信する構成としてもよい。そのような構成を図5(B)に示す。図5(B)に示す回路構成を表示装置DDに適用することによって、回路WSDを省略することができるため、表示装置DDの回路面積を低減することができる。
<<画素の回路構成例2>>
 次に、図5(A)(B)に示した画素PIXの具体的な回路構成について説明する。図6(A)では、図5(A)(B)に示した画素PIXの回路構成例を図示している。
 図6(A)に示す画素PIXは、図4に示した画素PIXに対して、トランジスタTr7と、容量素子C3と、が設けられた構成となっている。また、図6(A)に示す画素PIXは、トランジスタTr3がバックゲートを有している点で、図4に示した画素PIXと相違する。
 トランジスタTr3のバックゲートは、トランジスタTr7の第1端子と、容量素子C3の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタTr7の第2端子は、配線BGLに電気的に接続され、トランジスタTr7のゲートは、配線GL4に電気的に接続されている。容量素子C3の第2端子は、トランジスタTr3の第2端子と、トランジスタTr4の第1端子と、トランジスタTr5の第1端子と、容量素子C2の第2端子と、に電気的に接続されている。
 なお、本実施例では、トランジスタTr3の第2端子と、トランジスタTr4の第1端子と、トランジスタTr5の第1端子と、容量素子C2の第2端子と、容量素子C3の第2端子と、の電気的接続点をノードND3と呼称し、トランジスタTr3のバックゲートと、トランジスタTr7の第1端子と、容量素子C3の第1端子と、の電気的接続点をノードND4と呼称する。
 配線GL4は、配線GL1乃至配線GL3のそれぞれと同様に、画素PIXに対する選択信号線であり、図5(A)(B)に示す配線GLに相当する配線である。
 配線BGLは、画素PIX内の特定のノードに所定の電位を与えるための配線である。また、配線BGLは、図5(A)(B)に示す配線VAに相当する配線とすることができる。
 トランジスタTr7は、スイッチング素子として機能する。また、トランジスタTr7は、実施の形態3に記載のトランジスタの構成を適用することができる。更に、トランジスタTr7は、トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr5と同様に、OSトランジスタであることが好ましい。なお、トランジスタTr7のその他に関しては、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5の記載を参酌する。
 図5(A)(B)に示すしきい値電圧補正回路部105は、例えば、トランジスタTr7を有することができる。なお、駆動回路部102、しきい値電圧補正回路部105は、図6(A)に示す容量素子C3の電位を保持する機能を共有しているため、容量素子C3がどの回路に含まれているか、は一意的に定めることはできない。換言すれば、容量素子C3は、駆動回路部102、しきい値電圧補正回路部105のうちいずれか一に有する、ということができる。
 なお、図6(A)に示すトランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr4、トランジスタTr5、トランジスタTr7は、バックゲートを有するトランジスタであってもよい。図6(B)に示す画素PIXは、図6(A)に示す画素PIXが有するトランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr4、トランジスタTr5、トランジスタTr7のそれぞれにバックゲートを設けた構成となっている。図6(B)では、トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr4、トランジスタTr5、トランジスタTr7のそれぞれは、ゲートとバックゲートとが電気的に接続されている。ゲートとバックゲートとが電気的に接続されたトランジスタは、当該トランジスタのオン電流を高くすることができるため、図6(B)に示す構成にすることによって、画素PIXを速く動作することができる。なお、図6(B)に示す画素PIXは、トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr4、トランジスタTr5、トランジスタTr7の全てにゲートとバックゲートと接続した構成としているが、バックゲートには別の配線によって電位を与える構成としてもよい。また、図6(B)に示す画素PIXは、トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr4、トランジスタTr5、トランジスタTr7の全てにバックゲートを設けているが、一部のトランジスタに対してのみバックゲートを設けた構成としてもよい。
<<画素の回路構成例3>>
 図7(A)では、図6(A)に示したPIXとは異なる、図5(A)(B)に示した画素PIXの回路構成例を図示している。
 図7(A)に示す画素PIXは、図6(A)に示した画素PIXに対して、トランジスタTr6が設けられた構成となっている。
 トランジスタTr6の第1端子は、トランジスタTr2の第2端子と、トランジスタTr3のゲートと、容量素子C1の第2端子と、容量素子C2の第1端子と、に電気的に接続され、トランジスタTr6の第2端子は、トランジスタTr3の第2端子と、トランジスタTr4の第1端子と、トランジスタTr5の第1端子と、容量素子C2の第2端子と、容量素子C3の第2端子と、に電気的に接続され、トランジスタTr6のゲートは、配線GL4に電気的に接続されている。
 トランジスタTr6は、スイッチング素子として機能する。また、トランジスタTr6は、実施の形態3に記載の構成を適用することができる。更に、トランジスタTr6は、トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr5と同様に、OSトランジスタであることが好ましい。なお、トランジスタTr6のその他に関しては、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5の記載を参酌する。
 駆動トランジスタであるトランジスタTr3のしきい値電圧の補正を、図6(A)に示す画素PIXよりも精度良く行いたい場合、図7(A)に示すとおり、画素PIXにトランジスタTr6を設けるのが好ましい。しきい値電圧の補正を行うとき、その動作原理上、トランジスタTr3の第2端子(ノードND3)とノードND2とのそれぞれの電位を極力等しくしたほうがよいため、図7(A)に示す画素PIXを適用することで、しきい値電圧の補正時におけるノードND3とノードND2との電位差を、図6(A)に示す画素PIXよりも0Vに近づけることができる。
 ところで、トランジスタTr6のスイッチング機能は、駆動回路部102と、補正データ保持部104と、において共有されているため、トランジスタTr6がどの回路に含まれているか、は一意的に定めることはできない。換言すれば、トランジスタTr6は、駆動回路部102、補正データ保持部104のうちいずれか一に有する、ということができる。
<<画素の回路構成例4>>
 図7(B)では、図6(A)(B)及び図7(A)のそれぞれに示したPIXとは異なる、図5(A)(B)に示した画素PIXの回路構成例を図示している。
 図7(B)に示す画素PIXは、図6(A)に示した画素PIXに対して、トランジスタTr5を除いた構成となっている。図7(B)に示す画素PIXは、図6(A)(B)、図7(A)に示す画素PIXよりもトランジスタ数が少ないため、画素回路の面積を小さくして、開口率を高くすることができる。なお、図7(B)に示す画素PIXにおいて、発光素子LDを発光させない場合、発光素子LDの入力端子に電流を流さなければよいので、そのタイミングに合わせて配線ALに印加されている電位を下げる、又は、トランジスタTr3をオフ状態にする電位をトランジスタTr3のゲートに印加すればよい。特に、配線ALに印加されている電位を下げる場合、配線ALの電位を配線CATの電位よりも低くすることが好ましい。
<画素の動作例>
 次に、上述した画素回路、特に図6(A)に示した画素PIXの動作例について説明する。
 図8は、図6(A)に図示した画素PIXの動作例を示したタイミングチャートである。図8に示すタイミングチャートは、時刻T1以前、時刻T1乃至時刻T7、及び時刻T7以降における、配線DL、配線WDL、配線VL、配線BGL、配線GL1乃至配線GL4、ノードND1乃至ノードND4の電位の変化を示している。なお、図8に記載しているhighは高レベル電位を指し、lowは低レベル電位を指す。また、図8に記載しているVGNDは、基準電位を指す。
 なお、時刻T1以前、時刻T1乃至時刻T7、及び時刻T7以降において、配線VLには常にVが印加されており、配線BGLには常にVが印加されているものとする。電位Vは、配線ALが与える電圧よりも低い電位とし、電位Vは、Vよりも高い電位とする。
 なお、本動作例において、トランジスタTr1と、トランジスタTr2と、トランジスタTr4と、トランジスタTr5と、トランジスタTr7と、は、特に断りのない場合は、オン状態では、線形領域で動作するものとする。すなわち、トランジスタTr1と、トランジスタTr2と、トランジスタTr4と、トランジスタTr5と、トランジスタTr7と、のゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされているものとする。
 また、本動作例において、トランジスタTr3は、特に断りのない場合は、飽和領域で動作するものとする。すなわち、トランジスタTr3のゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされているものとする。なお、トランジスタTr3の動作が、理想的な飽和領域での動作からずれていても、出力される電流の精度が所望の範囲内で得られる場合であれば、トランジスタTr3のゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、適切にバイアスされているものとみなす。
[時刻T1の直前]
 時刻T1の直前において、配線GL1及び配線GL3には高レベル電位、配線GL2及び配線GL4には低レベル電位が印加されている。配線GL1の電位が高レベル電位であるとき、トランジスタTr1及びトランジスタTr4のそれぞれのゲートに高レベル電位が印加されるため、トランジスタTr1及びトランジスタTr4がオン状態となる。つまり、配線DLとノードND1との間は、導通状態となり、配線VLとノードND3との間は、導通状態となる。また、配線GL2の電位が低レベル電位であるとき、トランジスタTr2のゲートに、低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr2がオフ状態となる。つまり、配線WDLと、ノードND2と、の間は、非導通状態となる。加えて、配線GL3の電位が高レベル電位であるとき、トランジスタTr5のゲートに、高レベル電位が印加されるため、トランジスタTr5がオン状態となる。つまり、発光素子LDの入力端子と、トランジスタTr5の第1端子と、の間は、導通状態となる。更に、配線GL4の電位が低レベル電位であるとき、トランジスタTr7のゲートに、低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr7がオフ状態となる。つまり、配線BGLとノードND4との間は、非導通状態となる。
 時刻T1の直前において、配線DLには、電位VGNDが印加され、配線WDLには、電位Vが印加されている。トランジスタTr1がオン状態になっているため、ノードND1の電位はVGNDとなる。また、トランジスタTr4がオン状態になっているため、ノードND3と電位Vを与える配線VLとが導通状態となるが、このときトランジスタTr5もオン状態になっているため、ノードND3の電位はVよりも低い電位となる。そして、配線WDLには、電位Vが印加されている。
 ところで、ノードND2の電位と、トランジスタTr3のソースの電位と、の差(ゲート‐ソース電圧)が、トランジスタTr3のしきい値電圧よりも高い場合、トランジスタTr3はオン状態となり、トランジスタTr3のゲート‐ソース電圧に応じて、トランジスタTr3のソース‐ドレイン間に流れる電流が決まる。このとき、トランジスタTr3の第2端子がソースとなる場合、配線ALから、トランジスタTr3及びトランジスタTr5を介して、発光素子LDの入力端子へ電流が流れる。これによって、発光素子LDが発光する。なお、本動作例では、ノードND2の電位は、トランジスタTr3がオフ状態となるような電位としており、図8に示すタイミングチャートでは、ノードND2の電位をVGNDと記載している。
[時刻T1から時刻T2まで(第1初期化期間)]
 時刻T1から時刻T2までの間において、配線GL2及び配線GL4には高レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr2、トランジスタTr7のそれぞれのゲートに高レベル電位が印加されるため、トランジスタTr2、トランジスタTr7のそれぞれはオン状態となる。これにより、ノードND2の電位はVとなり、ノードND4の電位はVとなる。ところで、ノードND3は、トランジスタTr5がオン状態となっているため、時刻T1以前から引き続き、電位Vよりも低い電位となっている。
[時刻T2から時刻T3まで(第2初期化期間)]
 時刻T2から時刻T3までの間において、配線GL3には低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr5のゲートに低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr5がオフ状態となる。このため、ノードND3から、トランジスタTr5を介して、発光素子LDの入力端子に電流は流れない。
 トランジスタTr5がオフ状態になっており、かつトランジスタTr4がオン状態となっているため、ノードND3の電位はVまで上昇する。厳密には、配線VLとノードND3との間には、トランジスタTr4を介しているため、ノードND3の電位はVよりも低いがVに近い値となる。このとき、ノードND2(トランジスタTr3のゲート)の電位と、ノードND3(トランジスタTr3の第2端子)の電位と、は両者ともほぼVであるため、容量素子C2の第1端子‐第2端子間の電位は、ほぼ0Vとなる。
 ところで、図7(A)に示す画素PIXを適用している場合、時刻T2から時刻T3までの間において、配線GL4には、高レベル電位が印加されるため、トランジスタTr6がオン状態になる。これにより、トランジスタTr3のゲートと第2端子との間が導通状態になるので、容量素子C2の第1端子‐第2端子間の電位は、ほぼ0Vとなる。
[時刻T3から時刻T4まで(しきい値電圧補正期間)]
 時刻T3から時刻T4までの間において、配線GL1及び配線GL2には低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr1と、トランジスタTr2と、トランジスタTr4と、のそれぞれのゲートに低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr1と、トランジスタTr2と、トランジスタTr4と、がオフ状態となる。トランジスタTr1がオフ状態となることによって、容量素子C1の第1端子(ノードND1)に電位VGNDが保持され、トランジスタTr2がオフ状態となることによって、容量素子C1の第2端子、容量素子C2の第1端子、トランジスタTr3のゲート(ノードND2)に電位Vが保持される。
 ここで、ノードND3の電位Vと配線ALの電位とによって、トランジスタTr3の第1端子‐第2端子間に高バイアスがかかっているものとする。このとき、トランジスタTr3はオン状態となり、トランジスタTr3の第1端子から第2端子の方向に電流が流れる。
 ところで、トランジスタTr4及びトランジスタTr5がオフ状態となっているため、ノードND3の電位は、当該電流によって昇圧される。なお、容量素子C2の第1端子‐第2端子間の電圧はほぼ0Vであり、かつトランジスタTr2がオフ状態なので(ノードND2が電気的に浮遊状態なので)、トランジスタTr3のゲート‐ソース電圧は、ノードND3の電位の昇圧によって、ほぼ0Vのまま変化しない。
 ノードND3の電位は、トランジスタTr3がオフ状態になるまで昇圧する。トランジスタTr3のゲート‐ソース電圧はほぼ0Vであるため、トランジスタTr3のしきい値電圧が0以上になったとき、若しくは0を超えたとき、トランジスタTr3はオフ状態となる。つまり、トランジスタTr3のバックゲート‐ソース間電圧が、トランジスタTr3のしきい値電圧を0とする電圧になったとき、トランジスタTr3がオフ状態となる。トランジスタTr3のしきい値電圧を0とするトランジスタTr3のバックゲート‐ソース間電圧をVとしたとき、ノードND3の電位はV−Vとなる。
 なお、ノードND2が電気的に浮遊状態なので、ノードND3の電位がVからV−Vに昇圧されたことで、同時にノードND2の電位も昇圧される。ノードND2において昇圧された電圧は、ノードND2とノードND3との間の容量結合係数によって決まる。
 また、トランジスタTr1がオフ状態になっているので、ノードND1も電気的に浮遊状態となっている。このため、ノードND2の電位が昇圧されることで、ノードND1の電位も昇圧される。ノードND1において昇圧された電圧は、ノードND1とノードND2との間の容量結合係数によって決まる。
 なお、図7(A)に示す画素PIXを適用している場合、時刻T3から時刻T4までの間において、トランジスタTr3のゲートと第2端子との間が導通状態となっているので、図7(A)に示す画素PIXは、上述の図6(A)に示す画素PIXと同様に、動作する。また、図7(A)に示す画素PIXの時刻T4以降の動作は、以下に記載する図6(A)に示す画素PIXの動作の説明を参酌する。
[時刻T4から時刻T5まで(補正データ書き込み期間)]
 時刻T4から時刻T5までの間において、配線GL1及び配線GL2に高レベル電位が印加され、配線GL4に低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr1と、トランジスタTr2と、トランジスタTr4と、のそれぞれのゲートに高レベル電位が印加されるため、トランジスタTr1と、トランジスタTr2と、トランジスタTr4と、がオン状態となり、トランジスタTr7のゲートに低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr7がオフ状態となる。このため、ノードND4は電気的に浮遊状態となり、ノードND4の電位は、容量素子C3の第1端子によって保持される。
 なお、本動作例では、時刻T4において、配線GL1、配線GL2、及び配線GL4に同時に信号を入力しているが、実際の回路では各配線から送られるそれぞれの信号には遅延が生じることがあるため、それぞれの信号が画素PIXに同時に入力されない場合がある。信号の遅延を考慮する場合、時刻T4における配線GL1及び配線GL2への高レベル電位の印加は、ノードND4を確実に電気的に浮遊状態にしてから、行うのが好ましい。つまり、配線GL4への低レベル電位の印加は、時刻T4よりも前に行うのが好ましい。
 また、時刻T4から時刻T5までの間において、補正データに相当する電位Vが配線WDLに印加される。
 トランジスタTr1がオン状態となっているため、配線DLとノードND1との間は導通状態になる。このため、配線DLからノードND1に電位VGNDが印加される。また、トランジスタTr2がオン状態となっているため、配線WDLとノードND2との間は導通状態になる。このため、配線WDLからノードND2に電位Vが印加される。
 トランジスタTr4がオン状態となっているため、配線VLとノードND3との間は導通状態になる。このため、配線VLからノードND3に電位Vが印加される。ところで、トランジスタTr7はオフ状態なので(ノードND4は電気的に浮遊状態なので)、ノードND3の電位の変化によって、ノードND4の電位も変化する。ここで、ノードND3とノードND4との容量結合係数を1とすると、ノードND4の電位は、VからV+Vに変化する。このとき、トランジスタTr3のバックゲート‐ソース間電圧は、時刻T3から時刻T4までの間の当該電圧から、Vのまま変化していないため、時刻T4から時刻T5におけるトランジスタTr3のしきい値電圧は0となる。
[時刻T5から時刻T6まで(画像データ書き込み期間)]
 時刻T5から時刻T6までの間において、配線GL2に低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr2のゲートに低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr2がオフ状態となる。トランジスタTr2がオフ状態となることによって、容量素子C1の第2端子、容量素子C2の第1端子、トランジスタTr3のゲート(ノードND2)に電位Vが保持される。
 また、時刻T5から時刻T6までの間において、画像データに相当する電位VDATAが配線DLに印加される。
 トランジスタTr1がオン状態となっているため、配線DLとノードND1との間は導通状態になる。このため、配線DLからノードND1に電位VDATAが印加される。ところで、トランジスタTr2はオフ状態なので(ノードND2は電気的に浮遊状態なので)、ノードND1の電位の変化によって、ノードND2の電位も変化する。特に、容量素子C1の静電容量の値が、容量素子C2の静電容量の値よりも十分に大きいとき、ノードND1とノードND2との間の容量結合係数は限りなく1に近づくため、ノードND1の電位の変化量は、ノードND2の電位の変化量とほぼ等しくなる。この場合、ノードND2は、VDATA+Vとなる。
[時刻T6から時刻T7まで(画像表示期間)]
 時刻T6から時刻T7までの間において、配線GL1に低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr1のゲートに低レベル電位が印加されるため、トランジスタTr1がオフ状態となる。トランジスタTr1がオフ状態となることによって、容量素子C1の第1端子(ノードND1)に電位VDATAが保持される。
 配線GL1に低レベル電位が印加された後に、配線GL3に高レベル電位が印加される。これにより、トランジスタTr5のゲートに高レベル電位が印加されるため、トランジスタTr5がオン状態となる。トランジスタTr5がオン状態となることにより、配線ALから流れる電流は、トランジスタTr3及びトランジスタTr5を介して、発光素子LDの入力端子に入力されるため、発光素子LDが発光する。
 このとき、発光素子LDの輝度は、発光素子LDに流れる電流によって決まる。キルヒホッフの法則により、発光素子LDに流れる電流は、トランジスタTr3のソース‐ドレイン間に流れる電流と概ね等しいため、発光素子LDの輝度は、トランジスタTr3のゲート‐ソース電圧で決まる。トランジスタTr3のゲート及びソースのそれぞれは、容量素子C2の第1端子及び第2端子と電気的に接続されているため、発光素子LDの輝度は、トランジスタTr3のゲートの電位VDATA+Vによって決まる。したがって、発光素子LDは、補正データと画像データとに応じた輝度で、発光する。
 また、このとき、発光素子LDの入力端子と出力端子との間において、電圧がかかっており、かつ配線CATに所定の電位が与えられているため、トランジスタTr3の第2端子と、トランジスタTr4の第1端子と、トランジスタTr5の第1端子と、容量素子C2の第2端子と、容量素子C3の第2端子と、の電気的接続点の電位は高くなる。そして、ノードND1、ノードND2、ノードND4のそれぞれは電気的に浮遊状態であるため、当該電気的接続点の電位が高くなることによって、ノードND1、ノードND2、ノードND4のそれぞれの電位も容量結合によって高くなる場合がある。図8のタイミングチャートでは、時刻T7以降のノードND1、ノードND2のそれぞれの電位は、時刻T6から時刻T7までの間におけるノードND1、ノードND2のそれぞれの電位よりも高く示している。
 上記の通り、図6(A)に図示した画素PIXについて、図8のタイミングチャートの時刻T1乃至時刻T7及びその近傍の時刻の動作を行うことにより、画像データへの補正と、駆動トランジスタのしきい値電圧の補正と、を行うことができる。
<表示装置の動作例>
 ところで、図6(A)に示す画素PIXを含む表示装置DDが大型である場合、画素PIXに電気的に接続されている配線の抵抗が大きくなり、駆動トランジスタのしきい値電圧の補正などの処理に時間を要する場合がある。そのため、当該表示装置に正常に画像を表示する場合、当該表示装置の動作周波数が低くなってしまうことがある。
 そこで、上記を鑑みなされた動作例について説明する。本動作例では、図6(A)に示す画素PIXが、マトリクス状に複数配置された表示部PAが当該表示装置に適用されたものとして説明する。
 図9は、表示部PAに含まれるi行目、i+1行目、i+2行目(iは、3以上の整数とする。)のそれぞれに含まれる画素PIXの動作の順序と、配線DLからのデータの送信のタイミングと、配線WDLからのデータの送信のタイミングと、を示したものである。
 図9に記載の時刻T1乃至時刻T6は、図8のタイミングチャートに記載の時刻T1乃至時刻T6に相当する。つまり、i行目に記載の期間PD1乃至期間PD5は、それぞれ上述の画素回路の動作例の「第1初期化期間」「第2初期化期間」「しきい値電圧補正期間」「補正データ書き込み期間」「画像データ書き込み期間」に相当する。図9では、一例として、期間PD1乃至期間PD5のそれぞれの時間を、0.5μs、1.5μs、19μs、2.0μs、2.0μsとしている。
 特に、上述したとおり、画素PIXを含む表示装置が大型である場合、駆動トランジスタのしきい値電圧の補正などの処理に時間を要する場合がある。そのため、期間PD3の時間を他の期間(PD1、PD2、PD4、PD5)と比べて長く設定している。
 また、図9に図示している画素PIXの動作、特に期間PD4及び期間PD5のそれぞれの動作において、i行、i+1行、及びi+2行のそれぞれが有する各画素PIXには、それぞれに適切な補正データ及び画像データが書き込まれるものとする。そのため、下記の説明では、i行、i+1行、及びi+2行が有する複数の画素PIXのうち、互いに同じ列の画素PIXについて説明する。
 図9に図示している通り、i行目の画素PIXの他に、i+1行目、i+2行目のそれぞれの画素PIXについても、期間PD1乃至期間PD5の動作が行われる。但し、i行目、i+1行目、i+2行目のそれぞれにおいて、互いに期間PD1、期間PD2、期間PD4、期間PD5が重ならないようにしている。換言すれば、ある行の画素PIXが期間PD1、期間PD2、期間PD4、期間PD5のいずれか一であるとき、その行以外の画素PIXは、期間PD3となるようにしている。
 図9に図示している表示装置の動作例において、配線DLからのデータ送信の動作は、期間PDGNDと、期間PDDATA[i−2]乃至期間PDDATA[i+2]と、を有する。期間PDGNDは、配線DLに電位VGNDが印加されている期間である。期間PDDATA[k](kは、i−2以上i+2以下の整数である。)は、配線DLに、k行目に有する画素PIXのノードND1に書き込む画像データに応じた電位が印加されている期間である。
 また、図9に図示している表示装置の動作例において、配線WDLからのデータ送信の動作は、期間PDV1と、期間PD[i−2]乃至期間PD[i+2]と、を有する。期間PDV1は、配線WDLに電位Vが印加されている期間である。期間PD[k]は、配線WDLに、k行目に有する画素PIXのノードND2に書き込む補正データに応じた電位(上述の画素回路の動作例で説明したVに相当する。)が印加されている期間である。
 複数ある行のうち一の行が有する画素PIXの動作において、期間PD1(第1初期化期間)では、ノードND1の電位VGNDにするため、配線DLには電位VGNDが印加されている。つまり、当該行の画素PIXにおいて期間PD1の動作が行われているとき、配線DLにおいて、期間PDGNDの動作が行われている。また、期間PD1では、ノードND2の電位をVにするため、配線WDLには電位Vが印加されている。つまり、当該行の画素PIXにおいて期間PD1の動作が行われているとき、配線WDLにおいて、期間PDV1の動作が行われている。
 複数ある行のうち一の行が有する画素PIXの動作において、期間PD4(補正データ書き込み期間)では、ノードND2に補正データを書き込むため、配線WDLには当該補正データに応じた電位が印加される。つまり、I行目(Iは、1以上の整数である。)の画素PIXにおいて、期間PD4の動作が行われているとき、配線WDLにおいて、期間PD[I]の動作が行われている。
 複数ある行のうち一の行が有する画素PIXの動作において、期間PD5(画像データ書き込み期間)では、ノードND1に画像データを書き込むため、配線DLには当該画像データに応じた電位が印加される。つまり、I行目の画素PIXにおいて、期間PD5の動作が行われているとき、配線DLにおいて、期間PDDATA[I]の動作が行われている。
 図9に示すとおり、i+1行目の画素PIXにおいて駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行うとき、当該行の画素PIXは期間PD3の動作を行う。このとき、i+1行目の画素PIXにおいて、配線DLを介してのノードND1への電位の書き込み、配線WDLを介してのノードND2への電位の書き込みを行う必要が無いため、配線DL及び配線WDLの電位を変動することができる。そのため、i+1行目の画素PIXが期間PD3の動作を行っているときに、i行目の画素PIXにおいて、期間PD4及び期間PD5のそれぞれの動作で配線DLの電位、及び配線WDLの電位を変動することができる。つまり、i+1行目の画素PIXの駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行っている間に、i行目の画素PIXに対して、画像データ及び補正データを書き込むことができる。また、図9に示すとおり、i+2行目の画素PIXの駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行っているときも同様に、配線DLの電位、及び配線WDLの電位を変動することができるため、i+1行目の画素PIXに対して、画像データ及び補正データを書き込むことができる。
 なお、図9では、i行目乃至i+2行目の順に、それぞれの行の画素PIXに補正データ及び画像データを書き込んでいるが、画素PIXへの補正データ及び画像データの書き込む順序は、図9に限定しない。画素PIXへの補正データ及び画像データの書き込む順序は、例えば、初めに奇数行の画素PIXに順次書き込み、その後、偶数行の画素PIXに順次書き込む、という順序としてもよい。
 なお、本発明の一態様の動作方法は、上述の期間PD1乃至期間PD5に限定されない。本明細書等において、図9に示すそれぞれの動作期間は、機能毎に分類し、互いに独立した動作期間として示している。しかしながら実際の動作等においては、画素PIXの動作を機能毎に切り分けることが難しく、一つの動作に複数の別の動作が係わる場合や、複数の動作にわたって一つの動作が関わる場合があり得る。そのため、図9に示す動作期間は、明細書で説明した動作期間毎に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。具体的には、状況に応じて、それぞれの動作期間の順序の入れ替え、動作の追加、及び削除などを行うことができる。例えば、本明細書等では、図9に示す画素PIXの動作において、期間PD1及び期間PD2のそれぞれを、第1初期化期間、第2初期化期間として分けて説明しているが、第1初期化期間及び第2初期化期間のそれぞれは同時に行うことができる。そのため、第1初期化期間及び第2初期化期間は、まとめて初期化期間として記載することができる。
 上述のとおり、ある行の画素PIXの駆動トランジスタのしきい値電圧の補正を行っている間に、別の行の画素PIXに画像データ及び補正データを書き込む動作を行うことによって、表示装置の、駆動トランジスタのしきい値電圧の補正による動作周波数の低下を抑制することができ、従来の動作方法よりも動作周波数を高くすることができる。
<ソースドライバ回路SD、及び回路WSDの回路構成例>
 ここで、画素PIX及びその周辺の回路が図5(A)に示す構成であり、且つ画素PIXが図8に示すタイミングチャートの動作を行う場合の、ソースドライバ回路SDと回路WSDとの回路構成例について説明する。
 図10(A)には、図5(A)におけるソースドライバ回路SDと回路WSDとのそれぞれの回路構成例を示している。なお、図10(A)には、画素PIXとの接続構成を示すため、表示部PAも図示している。
 ソースドライバ回路SDは、トランジスタTr11と、トランジスタTr12と、回路SDaと、を有する。また、回路WSDは、トランジスタTr13と、トランジスタTr14と、回路WSDaと、を有する。
 図10において、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14は、それぞれnチャネル型トランジスタとしているが、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14の全て、又は一部はpチャネル型トランジスタとしてもよい。また、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14は、オフ電流が低いOSトランジスタであることが好ましい。
 また、図10は、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14を、バックゲートを有するトランジスタとして図示しているが、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14の全て、又は一部はバックゲートを有さないトランジスタとしてもよい。また、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14のそれぞれは、オン電流を増やすために、ゲートとバックゲートとが電気的に接続された構成としているが、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14のそれぞれのバックゲートの全て、又は一部は、任意の電位が与えられる配線に電気的に接続された構成としてもよい。
 ソースドライバ回路SDにおいて、トランジスタTr11の第1端子は、回路SDaに電気的に接続され、トランジスタTr11の第2端子は、トランジスタTr12の第1端子と、配線DLと、に電気的に接続されている。トランジスタTr11のゲートは、配線SELDに電気的に接続され、トランジスタTr12の第2端子は、配線GNDLに電気的に接続され、トランジスタTr12のゲートは、配線SELGに電気的に接続されている。
 回路SDaは、表示部PAに画像を表示するために、当該画像に応じた電位VDATAを生成して、電位VDATAをトランジスタTr11の第1端子に出力する機能を有する。回路SDaは、例えば、図1に示すソースドライバ回路SDの構成にすることができる。つまり、回路SDaは、画像データを生成するために、シフトレジスタSRと、ラッチ回路LATと、レベルシフト回路LVSと、デジタルアナログ変換回路DACと、アンプ回路AMPと、データバス配線DBと、を有することができる。この場合、アンプ回路AMPの出力端子は、トランジスタTr11の第1端子に電気的に接続される構成とすればよい。
 回路WSDにおいて、トランジスタTr13の第1端子は、回路WSDaに電気的に接続され、トランジスタTr13の第2端子は、トランジスタTr14の第1端子と、配線WDLと、に電気的に接続されている。トランジスタTr13のゲートは、配線SELWに電気的に接続され、トランジスタTr14の第2端子は、配線VLに電気的に接続され、トランジスタTr14のゲートは、配線SELVに電気的に接続されている。
 回路WSDaは、補正データを用いて表示部PAに表示する画像を補正するために、当該補正データに応じた電位Vを生成して、電位VをトランジスタTr13の第1端子に出力する機能を有する。回路WSDaは、例えば、回路SDaと同様に、シフトレジスタSRと、ラッチ回路LATと、レベルシフト回路LVSと、デジタルアナログ変換回路DACと、アンプ回路AMPと、データバス配線DBと、を有する構成とすることができる。また、この場合、アンプ回路AMPの出力端子は、トランジスタTr13の第1端子に電気的に接続される構成とすればよい。
 配線SELD、配線SELG、配線SELW、配線SELVのそれぞれは、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14のゲートに電位を与えるための配線であり、当該電位によってトランジスタTr11乃至トランジスタTr14のそれぞれのオン状態とオフ状態との切り替えを行うことができる。
 配線GNDLは、配線DLに対して基準電位VGNDを与える配線であり、配線VLは、配線WDLに対して電位Vを与える配線である。
 ここで、画素PIXの動作が図8のタイミングチャートに示す動作例である場合の、図10(A)のソースドライバ回路SDと回路WSDの動作を具体的に説明する。
 時刻T4より前、及び時刻T5より後において、配線WDLの電位はVとなっている。時刻T4より前、及び時刻T5より後での回路WSDでは、配線SELWには低レベル電位が印加されてトランジスタTr13をオフ状態にして、配線SELVには高レベル電位が印加されてトランジスタTr14をオン状態にする動作が行われる。これによって、配線VLと配線WDLとの間が導通状態になるため、配線WDLの電位はVとなる。
 また、時刻T4から時刻T5までの間において、配線WDLの電位はVとなっている。時刻T4から時刻T5までの間での回路WSDでは、配線SELWには高レベル電位が印加されてトランジスタTr13をオン状態にして、配線SELVには低レベル電位が印加されてトランジスタTr14をオフ状態にする動作が行われる。そして、回路WSDaから、補正データに応じた電位Vが出力されるので、配線WDLの電位はVとなる。
 時刻T5より前、及び時刻T6より後において、配線DLの電位はVGNDとなっている。時刻T5より前、及び時刻T6より後でのソースドライバ回路SDでは、配線SELDには低レベル電位が印加されてトランジスタTr11をオフ状態にして、配線SELGには高レベル電位が印加されてトランジスタTr12をオン状態にする動作が行われる。これによって、配線GNDLと配線DLとの間が導通状態になるため、配線DLの電位はVGNDとなる。
 また、時刻T5から時刻T6までの間において、配線DLの電位はVDATAとなっている。時刻T5から時刻T6までの間でのソースドライバ回路SDでは、配線SELDには高レベル電位が印加されてトランジスタTr11をオン状態にして、配線SELGには低レベル電位が印加されてトランジスタTr12をオフ状態にする動作が行われる。更に回路SDaから、画像データに応じた電位VDATAが出力されるので、配線DLの電位はVDATAとなる。
 図5(A)に示す画素PIXが、図8に示すタイミングチャートの動作を行う場合、ソースドライバ回路SD及び回路WSDを図10(A)に示す構成とすることによって、配線DL及び配線WDLのそれぞれに適切な電位を適時に印加することができる。
 なお、画素PIX及びその周辺の回路が図5(B)に示す構成で、画素PIXが図8に示すタイミングチャートの動作を行う場合、ソースドライバ回路SDは、例えば、図10(B)の回路構成とすればよい。
 図10(B)に示すソースドライバ回路SDは、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14と、回路SDaと、を有する。なお、トランジスタTr11乃至トランジスタTr14及び回路SDaについては、図10(A)のトランジスタTr11乃至トランジスタTr14及び回路SDaの説明の記載を参酌する。
 回路SDaは、トランジスタTr11の第1端子と、トランジスタTr13の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタTr11の第2端子は、トランジスタTr12の第1端子と、配線DLと、に電気的に接続され、トランジスタTr13の第2端子は、トランジスタTr14の第1端子と、配線WDLと、に電気的に接続されている。トランジスタTr12の第2端子は、配線GNDLに電気的に接続され、トランジスタTr14の第2端子は、配線VLに電気的に接続されている。トランジスタTr11のゲートは、配線SELDに電気的に接続され、トランジスタTr12のゲートは、配線SELGに電気的に接続され、トランジスタTr13のゲートは、配線SELWに電気的に接続され、トランジスタTr14のゲートは、配線SELVに電気的に接続されている。
 配線SELD、配線SELG、配線SELW、配線SELV、配線VL、及び配線GNDLのそれぞれについては、図10(A)の配線SELD、配線SELG、配線SELW、配線SELV、配線VL、及び配線GNDLの説明の記載を参酌する。
 トランジスタTr11、トランジスタTr13、回路SDaの接続構成によって、図5(B)に示すソースドライバ回路SDは、配線DL又は配線WDLの一方を選択して、選択した配線に対して電位を与える構成となっている。また、回路SDaは、配線DLに印加するための、画像データに応じた電位VDATAと、配線WDLに印加するための、補正データに応じた電位Vと、を生成する機能を有する。そのため、回路SDaで電位VDATAを生成して出力する場合、トランジスタTr11をオン状態、トランジスタTr13をオフ状態とすることで、配線DLに電位VDATAを印加することができ、回路SDaで電位Vを生成して出力する場合、トランジスタTr11をオフ状態、トランジスタTr13をオン状態とすることで、配線WDLに電位Vを印加することができる。
 また、配線DLに基準電位VGNDを印加する場合、トランジスタTr11をオフ状態とし、トランジスタTr12をオン状態とすればよい。また、配線WDLに基準電位Vを印加する場合、トランジスタTr13をオフ状態とし、トランジスタTr14をオン状態とすればよい。
 ここでは、画素PIXの動作が図8のタイミングチャートに示す動作例である場合の、図10(B)のソースドライバ回路SDの動作を具体的に説明する。
 時刻T4より前、及び時刻T5より後において、配線WDLの電位はVとなっている。時刻T4より前、及び時刻T5より後でのソースドライバ回路SDでは、配線SELWには低レベル電位が印加されてトランジスタTr13をオフ状態にして、配線SELVには高レベル電位が印加されてトランジスタTr14をオン状態にする動作が行われる。これによって、配線VLと配線WDLとの間が導通状態になるため、配線WDLの電位はVとなる。
 また、時刻T4から時刻T5までの間において、配線WDLの電位はVとなっている。時刻T4から時刻T5までの間でのソースドライバ回路SDでは、配線SELWには高レベル電位が印加されてトランジスタTr13をオン状態にして、配線SELVには低レベル電位が印加されてトランジスタTr14をオフ状態にする動作が行われる。そして、回路SDaから、補正データに応じた電位Vが出力されることで、配線WDLの電位はVとなる。
 時刻T5より前、及び時刻T6より後において、配線DLの電位はVGNDとなっている。時刻T5より前、及び時刻T6より後でのソースドライバ回路SDでは、配線SELDには低レベル電位が印加されてトランジスタTr11をオフ状態に、配線SELGには高レベル電位が印加されてトランジスタTr12をオン状態にする動作が行われる。これによって、配線GNDLと配線DLとの間が導通状態になるため、配線DLの電位はVGNDとなる。
 また、時刻T5から時刻T6までの間において、配線DLの電位はVDATAとなっている。時刻T5から時刻T6までの間でのソースドライバ回路SDでは、配線SELDには高レベル電位が印加されてトランジスタTr11をオン状態に、配線SELGには低レベル電位が印加されてトランジスタTr12をオフ状態にする動作が行われる。更に回路SDaから、画像データに応じた電位VDATAが出力されることで、配線WDLの電位はVDATAとなる。
 図5(B)に示す画素PIXが、図8に示すタイミングチャートの動作を行う場合、ソースドライバ回路SDを図10(B)に示す構成とすることによって、配線DL及び配線WDLのそれぞれに適切な電位を適時に印加することができる。
 なお、本明細書等において、ブロック図では、構成要素を機能毎に分類し、互いに独立したブロックを示している。しかしながら実際の回路等においては、構成要素を機能毎に切り分けることが難しく、一つの回路に複数の機能が係わる場合や、複数の回路にわたって一つの機能が関わる場合があり得る。そのため、ブロック図に示すブロックは、明細書で説明した構成要素に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
 なお、本発明の一態様は、上述した、図2(A)(B)、図3、図5(A)(B)に示した画素PIXに限定されない。本発明の一態様は、図2(A)(B)、図3、図5(A)(B)に示した画素PIXの構成を、適宜変更したものとしてもよい。例えば、図5(A)(B)に示す画素PIXでは、画像データ保持部101と、駆動回路部102と、補正データ保持部104と、が互いに電気的に接続されているが、画像データ保持部101と駆動回路部102との間の電気的接続を省略してもよい。つまり、画像データ保持部101から駆動回路部102への画像データの送信は、補正データ保持部104を介して行う構成としてもよい。また、例えば、駆動回路部102と補正データ保持部104との間の電気的接続を省略してもよい。つまり、補正データ保持部104から画像データ保持部101に補正データを送信して、画像データ保持部101で補正された画像データを生成して、駆動回路部102に送信する構成としてもよい。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態及び/又は実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態2)
 本実施の形態では、表示素子としてEL素子を用いた表示装置の構成例について説明する。なお、本実施の形態においては、実施の形態1で説明した、駆動回路部としきい値電圧補正回路部の説明は省略する。
 図11(A)において、第1の基板4001上に設けられた表示部215を囲むようにして、シール材4005が設けられ、表示部215がシール材4005および第2の基板4006によって封止されている。
 表示部215には、実施の形態1に示した画素PIXを有する画素アレイが設けられる。
 図11(A)では、走査線駆動回路221a、信号線駆動回路231a、信号線駆動回路232a、および共通線駆動回路241aは、それぞれがプリント基板4041上に設けられた集積回路4042を複数有する。集積回路4042は、単結晶半導体または多結晶半導体で形成されている。信号線駆動回路231aおよび信号線駆動回路232aは、実施の形態1に示したソースドライバ回路SDの機能を有する。走査線駆動回路221aは、実施の形態1に示したゲートドライバ回路GDの機能を有する。共通線駆動回路241aは、実施の形態1に示した画素PIXが有する所定の回路素子に規定の電位を印加する、又は電流を供給する機能を有する。特に、共通線駆動回路241aと画素PIXは、実施の形態1に示した配線VAを介して、電気的に接続することができる。
 走査線駆動回路221a、共通線駆動回路241a、信号線駆動回路231a、および信号線駆動回路232aに与えられる各種信号および電位は、FPC(Flexible printed circuit)4018を介して供給される。
 走査線駆動回路221aおよび共通線駆動回路241aが有する集積回路4042は、表示部215に選択信号を供給する機能を有する。信号線駆動回路231aおよび信号線駆動回路232aが有する集積回路4042は、表示部215に画像信号を供給する機能を有する。集積回路4042は、第1の基板4001上のシール材4005によって囲まれている領域とは異なる領域に実装されている。
 なお、集積回路4042の接続方法は、特に限定されるものではなく、ワイヤボンディング法、COG(Chip On Glass)法、TCP(Tape Carrier Package)法、COF(Chip On Film)法などを用いることができる。
 図11(B)は、信号線駆動回路231aおよび信号線駆動回路232aに含まれる集積回路4042をCOG法により実装する例を示している。また、駆動回路の一部または全体を表示部215と同じ基板上に一体形成して、システムオンパネルを形成することができる。
 図11(B)では、走査線駆動回路221aおよび共通線駆動回路241aを、表示部215と同じ基板上に形成する例を示している。駆動回路を表示部215内の画素回路と同時に形成することで、部品点数を削減することができる。よって、生産性を高めることができる。
 また、図11(B)では、第1の基板4001上に設けられた表示部215と、走査線駆動回路221aおよび共通線駆動回路241aと、を囲むようにして、シール材4005が設けられている。また表示部215、走査線駆動回路221a、および共通線駆動回路241aの上に第2の基板4006が設けられている。よって、表示部215、走査線駆動回路221a、および共通線駆動回路241aは、第1の基板4001とシール材4005と第2の基板4006とによって、表示素子と共に封止されている。
 また、図11(B)では、信号線駆動回路231aおよび信号線駆動回路232aを別途形成し、第1の基板4001に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部を別途形成して実装しても良い。
 また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むIC等を実装した状態にあるモジュールとを含む場合がある。
 また第1の基板上に設けられた表示部および走査線駆動回路は、トランジスタを複数有している。当該トランジスタとして、OSトランジスタ、又は、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタを適用することができる。
 周辺駆動回路が有するトランジスタと、表示部の画素回路が有するトランジスタの構造は同じであってもよく、異なっていてもよい。周辺駆動回路が有するトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、2種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。同様に、画素回路が有するトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、2種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。
 また、第2の基板4006上には、後述する入力装置4200を設けることができる。図11(A)(B)に示す表示装置に入力装置4200を設けた構成はタッチパネルとして機能させることができる。
 本発明の一態様のタッチパネルが有する検知素子(センサ素子ともいう)に限定は無い。指やスタイラスなどの被検知体の近接または接触を検知することのできる様々なセンサを、検知素子として適用することができる。
 センサの方式としては、例えば、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。
 本実施の形態では、静電容量方式の検知素子を有するタッチパネルを例に挙げて説明する。
 静電容量方式としては、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。また、投影型静電容量方式としては、自己容量方式、相互容量方式等がある。相互容量方式を用いると、同時多点検知が可能となるため好ましい。
 本発明の一態様のタッチパネルは、別々に作製された表示装置と検知素子とを貼り合わせる構成、表示素子を支持する基板および対向基板の一方または双方に検知素子を構成する電極等を設ける構成等、様々な構成を適用することができる。
 図12(A)、(B)に、タッチパネルの一例を示す。図12(A)は、タッチパネル4210の斜視図である。図12(B)は、入力装置4200の斜視概略図である。なお、明瞭化のため、代表的な構成要素のみを示している。
 タッチパネル4210は、別々に作製された表示装置と検知素子とを貼り合わせた構成である。
 タッチパネル4210は、入力装置4200と、表示装置とを有し、これらが重ねて設けられている。
 入力装置4200は、基板4263、電極4227、電極4228、複数の配線4237、複数の配線4238および複数の配線4239を有する。例えば、電極4227は配線4237または配線4239と電気的に接続することができる。また、電極4228は配線4239と電気的に接続することができる。FPC4272bは、複数の配線4237および複数の配線4238の各々と電気的に接続する。FPC4272bにはIC4273bを設けることができる。
 または、表示装置の第1の基板4001と第2の基板4006との間にタッチセンサを設けてもよい。第1の基板4001と第2の基板4006との間にタッチセンサを設ける場合は、静電容量方式のタッチセンサのほか、光電変換素子を用いた光学式のタッチセンサを適用してもよい。
 図13は、図11(B)中でN1−N2の鎖線で示した部位の断面図である。図13に示す表示装置は電極4015を有しており、電極4015はFPC4018が有する端子と異方性導電層4019を介して、電気的に接続されている。また、図13では、電極4015は、絶縁層4112、絶縁層4111、および絶縁層4110に形成された開口において配線4014と電気的に接続されている。
 電極4015は、第1の電極層4030と同じ導電層から形成され、配線4014は、トランジスタ4010、およびトランジスタ4011のソース電極およびドレイン電極と同じ導電層で形成されている。
 また、第1の基板4001上に設けられた表示部215と走査線駆動回路221aは、トランジスタを複数有しており、図13では、表示部215に含まれるトランジスタ4010、および走査線駆動回路221aに含まれるトランジスタ4011を例示している。なお、図13では、トランジスタ4010およびトランジスタ4011としてボトムゲート型のトランジスタを例示しているが、トップゲート型のトランジスタであってもよい。また、トランジスタ4010は、実施の形態1で説明したトランジスタTr5とすることができる。また、トランジスタ4011は、実施の形態1で説明したゲートドライバ回路GDに含まれるトランジスタとすることができる。
 図13では、トランジスタ4010およびトランジスタ4011上に絶縁層4112が設けられている。また、絶縁層4112上に隔壁4510が形成されている。
 また、トランジスタ4010およびトランジスタ4011は、絶縁層4102上に設けられている。また、トランジスタ4010およびトランジスタ4011は、絶縁層4111上に形成された電極4017を有する。電極4017はバックゲート電極として機能することができる。
 また、図13に示す表示装置は、容量素子4020を有する。容量素子4020は、トランジスタ4010のゲート電極と同じ工程で形成された電極4021と、ソース電極およびドレイン電極と同じ工程で形成された電極と、を有する。それぞれの電極は、絶縁層4103を介して重なっている。また、容量素子4020は、実施の形態1で説明した容量素子C2又は容量素子C3の一方とすることができる。
 一般に、表示装置の画素部に設けられる容量素子の容量は、画素部に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間に、電荷を保持できるように設定される。容量素子の容量は、トランジスタのオフ電流等を考慮して設定すればよい。
 表示部215に設けられたトランジスタ4010は表示素子と電気的に接続する。
 また、図13に示す表示装置は、絶縁層4111と絶縁層4102を有する。絶縁層4111と絶縁層4102として、不純物元素を透過しにくい絶縁層を用いる。絶縁層4111と絶縁層4102でトランジスタを挟むことで、外部から半導体層への不純物の浸入を防ぐことができる。
 表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子(EL素子)を適用することができる。EL素子は、一対の電極の間に発光性の化合物を含む層(「EL層」ともいう。)を有する。一対の電極間に、EL素子の閾値電圧よりも大きい電位差を生じさせると、EL層に陽極側から正孔が注入され、陰極側から電子が注入される。注入された電子と正孔はEL層において再結合し、EL層に含まれる発光物質が発光する。
 また、EL素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機EL素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。
 有機EL素子は、電圧を印加することにより、一方の電極から電子、他方の電極から正孔がそれぞれEL層に注入される。そして、それらキャリア(電子および正孔)が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このような発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
 なお、EL層は、発光性の化合物以外に、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性および正孔輸送性が高い物質)などを有していてもよい。
 EL層は、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法などの方法で形成することができる。
 無機EL素子は、その素子構成により、分散型無機EL素子と薄膜型無機EL素子とに分類される。分散型無機EL素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機EL素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機EL素子を用いて説明する。
 発光素子は発光を取り出すために少なくとも一対の電極の一方が透明であればよい。そして、基板上にトランジスタおよび発光素子を形成し、当該基板とは逆側の面から発光を取り出す上面射出(トップエミッション)構造や、基板側の面から発光を取り出す下面射出(ボトムエミッション)構造や、両面から発光を取り出す両面射出(デュアルエミッション)構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用することができる。
 図13は、表示素子として発光素子を用いた発光表示装置(「EL表示装置」ともいう。)の一例である。表示素子である発光素子4513は、表示部215に設けられたトランジスタ4010と電気的に接続している。なお、発光素子4513の構成は、第1の電極層4030、発光層4511、第2の電極層4031の積層構造であるが、この構成に限定されない。発光素子4513から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子4513の構成は適宜変えることができる。また、発光素子4513は、実施の形態1で説明した発光素子LDとすることができる。
 隔壁4510は、有機絶縁材料、または無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、第1の電極層4030上に開口部を形成し、その開口部の側面が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
 発光層4511は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成されていてもどちらでも良い。
 発光素子4513の発光色は、発光層4511を構成する材料によって、白、赤、緑、青、シアン、マゼンタ、または黄などとさせることができる。
 カラー表示を実現する方法としては、発光色が白色の発光素子4513と着色層を組み合わせて行う方法と、画素毎に発光色の異なる発光素子4513を設ける方法がある。前者の方法は後者の方法よりも生産性が高い。一方、後者の方法では画素毎に発光層4511を作り分ける必要があるため、前者の方法よりも生産性が劣る。ただし、後者の方法では、前者の方法よりも色純度の高い発光色を得ることができる。後者の方法に加えて、発光素子4513にマイクロキャビティ構造を付与することにより色純度をさらに高めることができる。
 なお、発光層4511は、量子ドットなどの無機化合物を有していてもよい。例えば、量子ドットを発光層に用いることで、発光材料として機能させることもできる。
 発光素子4513に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第2の電極層4031および隔壁4510上に保護層を形成してもよい。保護層としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、DLC(Diamond Like Carbon)などを形成することができる。また、第1の基板4001、第2の基板4006、およびシール材4005によって封止された空間には充填材4514が設けられ密封されている。このように、外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム(貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等)やカバー材でパッケージング(封入)することが好ましい。
 充填材4514としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポリビニルクロライド)、アクリル樹脂、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテート)などを用いることができる。また、充填材4514に乾燥剤が含まれていてもよい。
 シール材4005には、ガラスフリットなどのガラス材料や、二液混合型の樹脂などの常温で硬化する硬化樹脂、光硬化性の樹脂、熱硬化性の樹脂などの樹脂材料を用いることができる。また、シール材4005に乾燥剤が含まれていてもよい。
 また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、または円偏光板(楕円偏光板を含む)、位相差板(λ/4板、λ/2板)、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよい。また、偏光板または円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
 また、発光素子をマイクロキャビティ構造とすることで、色純度の高い光を取り出すことができる。また、マイクロキャビティ構造とカラーフィルタを組み合わせることで、映り込みが低減し、表示画像の視認性を高めることができる。
 表示素子に電圧を印加する第1の電極層および第2の電極層(画素電極層、共通電極層、対向電極層などともいう)においては、取り出す光の方向、電極層が設けられる場所、および電極層のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
 第1の電極層4030、第2の電極層4031は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、インジウム錫酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。
 また、第1の電極層4030、第2の電極層4031はタングステン(W)、モリブデン(Mo)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)などの金属、またはその合金、もしくはその金属窒化物から一種以上を用いて形成することができる。
 また、第1の電極層4030、第2の電極層4031として、導電性高分子(導電性ポリマーともいう)を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子を用いることができる。例えば、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、または、アニリン、ピロールおよびチオフェンの2種以上からなる共重合体若しくはその誘導体などがあげられる。
 また、トランジスタは静電気などにより破壊されやすいため、駆動回路保護用の保護回路を設けることが好ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態及び/又は実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
 本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置に用いることができるトランジスタの構成について説明する。
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、ボトムゲート型のトランジスタや、トップゲート型トランジスタなどの様々な形態のトランジスタを用いて作製することができる。よって、既存の製造ラインに合わせて、使用する半導体層の材料やトランジスタ構造を容易に置き換えることができる。
〔ボトムゲート型トランジスタ〕
 図14(A1)は、ボトムゲート型のトランジスタの一種であるチャネル保護型のトランジスタ810の断面図である。図14(A1)において、トランジスタ810は基板771上に形成されている。また、トランジスタ810は、基板771上に絶縁層772を介して電極746を有する。また、電極746上に絶縁層726を介して半導体層742を有する。電極746はゲート電極として機能できる。絶縁層726はゲート絶縁層として機能できる。
 また、半導体層742のチャネル形成領域上に絶縁層741を有する。また、半導体層742の一部と接して、絶縁層726上に電極744aおよび電極744bを有する。電極744aは、ソース電極またはドレイン電極の一方として機能できる。電極744bは、ソース電極またはドレイン電極の他方として機能できる。電極744aの一部、および電極744bの一部は、絶縁層741上に形成される。
 絶縁層741は、チャネル保護層として機能できる。チャネル形成領域上に絶縁層741を設けることで、電極744aおよび電極744bの形成時に生じる半導体層742の露出を防ぐことができる。よって、電極744aおよび電極744bの形成時に、半導体層742のチャネル形成領域がエッチングされることを防ぐことができる。本発明の一態様によれば、電気特性の良好なトランジスタを実現することができる。
 また、トランジスタ810は、電極744a、電極744bおよび絶縁層741上に絶縁層728を有し、絶縁層728の上に絶縁層729を有する。
 半導体層742に酸化物半導体を用いる場合、電極744aおよび電極744bの、少なくとも半導体層742と接する部分に、半導体層742の一部から酸素を奪い、酸素欠損を生じさせることが可能な材料を用いることが好ましい。半導体層742中の酸素欠損が生じた領域はキャリア濃度が増加し、当該領域はn型化し、n型領域(n層)となる。したがって、当該領域はソース領域またはドレイン領域として機能することができる。半導体層742に酸化物半導体を用いる場合、半導体層742から酸素を奪い、酸素欠損を生じさせることが可能な材料の一例として、タングステン、チタン等を挙げることができる。
 半導体層742にソース領域およびドレイン領域が形成されることにより、電極744aおよび電極744bと半導体層742の接触抵抗を低減することができる。よって、電界効果移動度や、しきい値電圧などの、トランジスタの電気特性を良好なものとすることができる。
 半導体層742にシリコンなどの半導体を用いる場合は、半導体層742と電極744aの間、および半導体層742と電極744bの間に、n型半導体またはp型半導体として機能する層を設けることが好ましい。n型半導体またはp型半導体として機能する層は、トランジスタのソース領域またはドレイン領域として機能することができる。
 絶縁層729は、外部からのトランジスタへの不純物の拡散を防ぐ、または低減する機能を有する材料を用いて形成することが好ましい。なお、必要に応じて絶縁層729を省略することもできる。
 図14(A2)に示すトランジスタ811は、絶縁層729上にバックゲート電極として機能できる電極723を有する点が、トランジスタ810と異なる。電極723は、電極746と同様の材料および方法で形成することができる。
 一般に、バックゲート電極は導電層で形成され、ゲート電極とバックゲート電極で半導体層のチャネル形成領域を挟むように配置される。よって、バックゲート電極は、ゲート電極と同様に機能させることができる。バックゲート電極の電位は、ゲート電極と同電位としてもよいし、接地電位(GND電位)や、任意の電位としてもよい。また、バックゲート電極の電位をゲート電極と連動させず独立して変化させることで、トランジスタのしきい値電圧を変化させることができる。
 電極746および電極723は、どちらもゲート電極として機能することができる。よって、絶縁層726、絶縁層728、および絶縁層729は、それぞれがゲート絶縁層として機能することができる。なお、電極723は、絶縁層728と絶縁層729の間に設けてもよい。
 なお、電極746または電極723の一方を、「ゲート電極」という場合、他方を「バックゲート電極」という。例えば、トランジスタ811において、電極723を「ゲート電極」と言う場合、電極746を「バックゲート電極」と言う。また、電極723を「ゲート電極」として用いる場合は、トランジスタ811をトップゲート型のトランジスタの一種と考えることができる。また、電極746および電極723のどちらか一方を、「第1のゲート電極」といい、他方を「第2のゲート電極」という場合がある。
 半導体層742を挟んで電極746および電極723を設けることで、更には、電極746および電極723を同電位とすることで、半導体層742においてキャリアの流れる領域が膜厚方向においてより大きくなるため、キャリアの移動量が増加する。この結果、トランジスタ811のオン電流が大きくなると共に、電界効果移動度が高くなる。
 したがって、トランジスタ811は、占有面積に対して大きいオン電流を有するトランジスタである。すなわち、求められるオン電流に対して、トランジスタ811の占有面積を小さくすることができる。本発明の一態様によれば、トランジスタの占有面積を小さくすることができる。よって、本発明の一態様によれば、集積度の高い半導体装置を実現することができる。
 また、ゲート電極とバックゲート電極は導電層で形成されるため、トランジスタの外部で生じる電界が、チャネルが形成される半導体層に作用しないようにする機能(特に静電気などに対する電界遮蔽機能)を有する。なお、バックゲート電極を半導体層よりも大きく形成し、バックゲート電極で半導体層を覆うことで、電界遮蔽機能を高めることができる。
 また、バックゲート電極を、遮光性を有する導電膜で形成することで、バックゲート電極側から半導体層に光が入射することを防ぐことができる。よって、半導体層の光劣化を防ぎ、トランジスタのしきい値電圧がシフトするなどの電気特性の劣化を防ぐことができる。
 本発明の一態様によれば、信頼性の良好なトランジスタを実現することができる。また、信頼性の良好な半導体装置を実現することができる。
 図14(B1)に、ボトムゲート型のトランジスタの1つであるチャネル保護型のトランジスタ820の断面図を示す。トランジスタ820は、トランジスタ810とほぼ同様の構造を有しているが、絶縁層741が半導体層742の端部を覆っている点が異なる。また、半導体層742と重なる絶縁層741の一部を選択的に除去して形成した開口部において、半導体層742と電極744aが電気的に接続している。また、半導体層742と重なる絶縁層741の一部を選択的に除去して形成した他の開口部において、半導体層742と電極744bが電気的に接続している。絶縁層741の、チャネル形成領域と重なる領域は、チャネル保護層として機能できる。
 図14(B2)に示すトランジスタ821は、絶縁層729上にバックゲート電極として機能できる電極723を有する点が、トランジスタ820と異なる。
 絶縁層741を設けることで、電極744aおよび電極744bの形成時に生じる半導体層742の露出を防ぐことができる。よって、電極744aおよび電極744bの形成時に半導体層742の薄膜化を防ぐことができる。
 また、トランジスタ820およびトランジスタ821は、トランジスタ810およびトランジスタ811よりも、電極744aと電極746の間の距離と、電極744bと電極746の間の距離が長くなる。よって、電極744aと電極746の間に生じる寄生容量を小さくすることができる。また、電極744bと電極746の間に生じる寄生容量を小さくすることができる。本発明の一態様によれば、電気特性の良好なトランジスタを実現できる。
 図14(C1)に示すトランジスタ825は、ボトムゲート型のトランジスタの1つであるチャネルエッチング型のトランジスタである。トランジスタ825は、絶縁層741を用いずに電極744aおよび電極744bを形成する。このため、電極744aおよび電極744bの形成時に露出する半導体層742の一部がエッチングされる場合がある。一方、絶縁層741を設けないため、トランジスタの生産性を高めることができる。
 図14(C2)に示すトランジスタ826は、絶縁層729上にバックゲート電極として機能できる電極723を有する点が、トランジスタ825と異なる。
〔トップゲート型トランジスタ〕
 図15(A1)に例示するトランジスタ842は、トップゲート型のトランジスタの1つである。トランジスタ842は、絶縁層729を形成した後に電極744aおよび電極744bを形成する点がトランジスタ810、811、820、821、825、826と異なる。電極744aおよび電極744bは、絶縁層728および絶縁層729に形成した開口部において半導体層742と電気的に接続する。
 また、電極746と重ならない絶縁層726の一部を除去し、電極746と残りの絶縁層726をマスクとして用いて不純物755を半導体層742に導入することで、半導体層742中に自己整合(セルフアライメント)的に不純物領域を形成することができる(図15(A3)参照)。トランジスタ842は、絶縁層726が電極746の端部を越えて延伸する領域を有する。半導体層742の絶縁層726を介して不純物755が導入された領域の不純物濃度は、絶縁層726を介さずに不純物755が導入された領域よりも小さくなる。よって、半導体層742は、電極746と重ならない領域にLDD(Lightly Doped Drain)領域が形成される。
 図15(A2)に示すトランジスタ843は、電極723を有する点がトランジスタ842と異なる。トランジスタ843は、基板771の上に形成された電極723を有する。電極723は、絶縁層772を介して半導体層742と重なる領域を有する。電極723は、バックゲート電極として機能することができる。
 また、図15(B1)に示すトランジスタ844および図15(B2)に示すトランジスタ845のように、電極746と重ならない領域の絶縁層726を全て除去してもよい。また、図15(C1)に示すトランジスタ846および図15(C2)に示すトランジスタ847のように、絶縁層726を残してもよい。
 トランジスタ842乃至トランジスタ847も、電極746を形成した後に、電極746をマスクとして用いて不純物755を半導体層742に導入することで、半導体層742中に自己整合的に不純物領域を形成することができる。本発明の一態様によれば、電気特性の良好なトランジスタを実現することができる。また、本発明の一態様によれば、集積度の高い半導体装置を実現することができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態及び/又は実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
 本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したOSトランジスタに用いることができる金属酸化物であるCAC‐OS(Cloud‐Aligned Composite Oxide Semiconductor)、及びCAAC‐OS(c‐axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor)の構成について説明する。なお、明細書等において、CACは機能、又は材料の構成の一例を表し、CAACは結晶構造の一例を表す。
<金属酸化物の構成>
 CAC−OSまたはCAC−metal oxideとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC−OSまたはCAC−metal oxideを、トランジスタの活性層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSまたはCAC−metal oxideに付与することができる。CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
 また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
 また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
 また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC−OSまたはCAC−metal oxideをトランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
 すなわち、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
<金属酸化物の構造>
 酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、CAAC−OS、多結晶酸化物半導体、nc−OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)および非晶質酸化物半導体などがある。
 CAAC−OSは、c軸配向性を有し、かつa−b面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
 ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC−OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリーともいう)を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC−OSが、a−b面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。
 また、CAAC−OSは、インジウム、および酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛、および酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能であり、(M,Zn)層の元素Mがインジウムと置換した場合、(In,M,Zn)層と表すこともできる。また、In層のインジウムが元素Mと置換した場合、(In,M)層と表すこともできる。
 CAAC−OSは結晶性の高い酸化物半導体である。一方、CAAC−OSは、明確な結晶粒界を確認することはできないため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物や欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、CAAC−OSを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。また、CAAC−OSは、製造工程における高い温度(所謂サーマルバジェット)に対しても安定である。したがって、OSトランジスタにCAAC−OSを用いると、製造工程の自由度を広げることが可能となる。
 nc−OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc−OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、nc−OSは、分析方法によっては、a−like OSや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
 a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a−like OSは、鬆または低密度領域を有する。即ち、a−like OSは、nc−OSおよびCAAC−OSと比べて、結晶性が低い。
 酸化物半導体は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a−like OS、nc−OS、CAAC−OSのうち、二種以上を有していてもよい。
<酸化物半導体を有するトランジスタ>
 続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
 なお、上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
 また、トランジスタには、キャリア密度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。酸化物半導体膜のキャリア密度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性と言う。例えば、酸化物半導体は、キャリア密度が8×1011/cm未満、好ましくは1×1011/cm未満、さらに好ましくは1×1010/cm未満であり、1×10−9/cm以上とすればよい。
 また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
 また、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
 従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
<不純物>
 ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
 酸化物半導体において、第14族元素の一つであるシリコンや炭素が含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコンや炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコンや炭素の濃度(二次イオン質量分析法(SIMS)により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
 また、酸化物半導体にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を低減することが好ましい。具体的には、SIMSにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
 また、酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。従って、該酸化物半導体において、窒素はできる限り低減されていることが好ましい、例えば、酸化物半導体中の窒素濃度は、SIMSにおいて、5×1019atoms/cm未満、好ましくは5×1018atoms/cm以下、より好ましくは1×1018atoms/cm以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm以下とする。
 また、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、SIMSにより得られる水素濃度を、1×1020atoms/cm未満、好ましくは1×1019atoms/cm未満、より好ましくは5×1018atoms/cm未満、さらに好ましくは1×1018atoms/cm未満とする。
 不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態及び/又は実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態5)
 本実施の形態では、上述の実施の形態で説明した半導体装置、又は表示装置を電子機器に適用した製品例について説明する。
<ノート型パーソナルコンピュータ>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、情報端末装置に備えられるディスプレイに適用することができる。図16(A)は、情報端末装置の一種であるノート型パーソナルコンピュータであり、筐体5401、表示部5402、キーボード5403、ポインティングデバイス5404等を有する。
<スマートウォッチ>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、ウェアラブル端末に適用することができる。図16(B)はウェアラブル端末の一種であるスマートウォッチであり、筐体5901、表示部5902、操作ボタン5903、操作子5904、バンド5905などを有する。また、表示部5902に、位置入力装置としての機能が付加された表示装置を用いるようにしてもよい。また、位置入力装置としての機能は、表示装置にタッチパネルを設けることで付加することができる。あるいは、位置入力装置としての機能は、フォトセンサとも呼ばれる光電変換素子を表示装置の画素部に設けることでも、付加することができる。また、操作ボタン5903にスマートウォッチを起動する電源スイッチ、スマートウォッチのアプリケーションを操作するボタン、音量調整ボタン、または表示部5902を点灯、あるいは消灯するスイッチなどのいずれかを備えることができる。また、図16(B)に示したスマートウォッチでは、操作ボタン5903の数を2個示しているが、スマートウォッチの有する操作ボタンの数は、これに限定されない。また、操作子5904は、スマートウォッチの時刻合わせを行うリューズとして機能する。また、操作子5904は、時刻合わせ以外に、スマートウォッチのアプリケーションを操作する入力インターフェースとして、用いるようにしてもよい。なお、図16(B)に示したスマートウォッチでは、操作子5904を有する構成となっているが、これに限定せず、操作子5904を有さない構成であってもよい。
<ビデオカメラ>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、ビデオカメラに適用することができる。図16(C)に示すビデオカメラは、第1筐体5801、第2筐体5802、表示部5803、操作キー5804、レンズ5805、接続部5806等を有する。操作キー5804及びレンズ5805は第1筐体5801に設けられており、表示部5803は第2筐体5802に設けられている。そして、第1筐体5801と第2筐体5802とは、接続部5806により接続されており、第1筐体5801と第2筐体5802の間の角度は、接続部5806により変更が可能である。表示部5803における映像を、接続部5806における第1筐体5801と第2筐体5802との間の角度に従って切り替える構成としてもよい。
<携帯電話>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、携帯電話に適用することができる。図16(D)は、情報端末の機能を有する携帯電話であり、筐体5501、表示部5502、マイク5503、スピーカ5504、操作ボタン5505を有する。また、表示部5502に、位置入力装置としての機能が付加された表示装置を用いるようにしてもよい。また、位置入力装置としての機能は、表示装置にタッチパネルを設けることで付加することができる。あるいは、位置入力装置としての機能は、フォトセンサとも呼ばれる光電変換素子を表示装置の画素部に設けることでも、付加することができる。また、操作ボタン5505に携帯電話を起動する電源スイッチ、携帯電話のアプリケーションを操作するボタン、音量調整ボタン、または表示部5502を点灯、あるいは消灯するスイッチなどのいずれかを備えることができる。
 また、図16(D)に示した携帯電話では、操作ボタン5505の数を2個示しているが、携帯電話の有する操作ボタンの数は、これに限定されない。また、図示していないが、図16(D)に示した携帯電話は、フラッシュライト、または照明の用途として発光装置を有する構成であってもよい。
<テレビジョン装置>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、テレビジョン装置に適用することができる。図16(E)に示すテレビジョン装置は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子9006などを有する。テレビジョン装置は、大画面、例えば、50インチ以上、または100インチ以上の表示部9001を組み込むことが可能である。
<移動体>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、移動体である自動車の運転席周辺に適用することができる。
 例えば、図16(F)は、自動車の室内におけるフロントガラス周辺を表す図である。図16(F)では、ダッシュボードに取り付けられた表示パネル5701、表示パネル5702、表示パネル5703の他、ピラーに取り付けられた表示パネル5704を図示している。
 表示パネル5701乃至表示パネル5703は、ナビゲーション情報、スピードメーターやタコメーター、走行距離、燃料計、ギア状態、エアコンの設定などを表示することで、様々な情報を提供することができる。また、表示パネルに表示される表示項目やレイアウトなどは、ユーザの好みに合わせて適宜変更することができ、デザイン性を高めることが可能である。表示パネル5701乃至表示パネル5703は、照明装置として用いることも可能である。
 表示パネル5704には、車体に設けられた撮像手段からの映像を映し出すことによって、ピラーで遮られた視界(死角)を補完することができる。すなわち、自動車の外側に設けられた撮像手段からの画像を表示することによって、死角を補い、安全性を高めることができる。また、見えない部分を補完する映像を映すことによって、より自然に違和感なく安全確認を行うことができる。表示パネル5704は、照明装置として用いることもできる。
<電子広告用の電子機器>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、電子広告を用途とするディスプレイに適用することができる。図17(A)は、壁に取り付けが可能な電子看板(デジタルサイネージ)の例を示している。図17(A)は、電子看板6200が壁6201に取り付けられている様子を示している。
<折り畳み式のタブレット型情報端末>
 本発明の一態様の半導体装置、又は表示装置は、タブレット型の情報端末に適用することができる。図17(B)には、折り畳むことができる構造を有するタブレット型の情報端末を示している。図17(B)に示す情報端末は、筐体5321aと、筐体5321bと、表示部5322と、操作ボタン5323と、を有している。特に、表示部5322は可撓性を有する基材を有しており、当該基材によって折り畳むことができる構造を実現できる。
 また、筐体5321aと筐体5321bと、は、ヒンジ部5321cにより結合されており、ヒンジ部5321cによって、2つ折りが可能となっている。また、表示部5322は、筐体5321a、筐体5321b、及びヒンジ部5321cに設けられている。
 また、図示していないが、図16(A)乃至(C)、(E)、図17(A)、(B)に示した電子機器は、マイク及びスピーカを有する構成であってもよい。この構成により、例えば、上述した電子機器に音声入力機能を付することができる。
 また、図示していないが、図16(A)、(B)、(D)、図17(A)、(B)に示した電子機器は、カメラを有する構成であってもよい。
 また、図示していないが、図16(A)乃至(F)、図17(A)、(B)に示した電子機器は、筐体の内部にセンサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線などを測定する機能を含むもの)を有する構成であってもよい。特に、図16(D)に示す携帯電話に、ジャイロ、加速度センサなどの傾きを検出するセンサを有する検出装置を設けることで、該携帯電話の向き(鉛直方向に対して該携帯電話がどの向きに向いているか)を判断して、表示部5502の画面表示を、該携帯電話の向きに応じて自動的に切り替えるようにすることができる。
 また、図示していないが、図16(A)乃至(F)、図17(A)、(B)に示した電子機器は、指紋、静脈、虹彩、又は声紋など生体情報を取得する装置を有する構成であってもよい。この構成を適用することによって、生体認証機能を有する電子機器を実現することができる。
 また、図16(A)乃至(E)、図17(A)に示した電子機器の表示部として、可撓性を有する基材を用いてもよい。具体的には、該表示部は、可撓性を有する基材上にトランジスタ、容量素子、及び表示素子などを設けた構成としてもよい。この構成を適用することによって、図16(A)乃至(E)、図17(A)に示した電子機器のように平らな面を有する筐体だけでなく、図16(F)に示したダッシュボード、ピラーのように、曲面を有するような筐体の電子機器を実現することができる。
 図16(A)乃至(F)、図17(A)、(B)の表示部に適用できる、可撓性を有する基材としては、可視光に対する透光性を有する材料を例に挙げると、ポリエチレンテレフタレート樹脂(PET)、ポリエチレンナフタレート樹脂(PEN)、ポリエーテルサルフォン樹脂(PES)、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリシクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリハロゲン化ビニル樹脂、アラミド樹脂、エポキシ樹脂などを用いることができる。また、これらの材料を混合または積層して用いてもよい。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態及び/又は実施例と適宜組み合わせることができる。
<計算とその結果1>
 図6(A)に示す画素PIXの回路構成において、駆動トランジスタのしきい値電圧を補正する動作が適切に行われているかどうかを確認するため、回路シミュレータを用いて計算を行った。ここでは、画素PIXの駆動トランジスタに相当するトランジスタTr3のしきい値電圧を0Vとし、当該しきい値電圧を意図的に0Vから変化させて、発光素子LDに流れる電流の変化量を計算した結果について説明する。
 当該計算で使用したソフトウェアは、SILVACO社のGateway(version 3.4.1.R)という回路シミュレータである。当該シミュレータを用いて、トランジスタTr3のしきい値電圧Vthの変化に対する、発光素子LDの電流変化率を計算した。なお、変化後のしきい値電圧Vthを、−1V、−0.5V、0V、0.5V、1Vの5条件として、それぞれに対する電流変化率の計算を行った。
 当該計算の条件において、画像データに相当するVdataを5Vとし、補正データに相当するVを5Vとした。また、画素PIXに電気的に接続されている配線において、配線GL1乃至GL4に印加される高レベル電位を15V、低レベル電位を−5Vとし、配線VLの電位を0.5Vとし、配線BGLの電位を−10Vとし、配線ALの電位を13Vとし、配線CATに印加されている基準電位VGNDを−4Vとした。
 また、トランジスタTr3のしきい値電圧Vthを0Vから変化させたときの発光素子LDに流れる電流をIELとし、当該しきい値電圧の変化が0、すなわち駆動トランジスタのしきい値電圧が0における発光素子LDに流れる電流をIEL0とし、IEL−IEL0=ΔIELとする。そして、当該計算で求める発光素子LDの電流変化率を、ΔIEL/IEL×100%として、算出した。
 当該計算の結果を図18に示す。図18は、しきい値電圧Vthの変化量が‐1Vから1Vまでの間のときにおける、発光素子LDの電流変化率を示している。当該計算結果から、しきい値電圧Vthが‐1Vから1Vまでの間であれば、電流変化率は概ね−10%から10%までの範囲に抑えられていることが分かる。
 一般的にトランジスタが飽和領域で動作する場合、当該トランジスタに流れる電流量は、ゲート‐ソース電圧としきい値電圧の差の2乗に比例するため、しきい値電圧が少し変化するだけで、トランジスタに流れる電流の変化は非常に大きくなる。一方、図6(A)に示す画素PIXの回路構成での計算結果では、電流変化率が概ね−10%から10%までの範囲に抑えられていることから、トランジスタTr3のしきい値電圧が適度に補正されていることが分かる。
 上述の通り、ある行の画素PIXの駆動トランジスタのしきい値電圧を補正しているとき(図8における時刻T3から時刻T4までの間、又は図9における期間PD3)に、別の行が有する画素PIXに補正データ及び画像データを書き込むことによって、表示装置の動作周波数を高くすることができる。
 なお、本実施例は、本明細書に記載の各実施の形態、又は他の実施例と適宜組み合わせることができる。
<計算とその結果2>
 次に、図6(B)に示す画素PIXの回路構成において、駆動トランジスタのしきい値電圧を補正する動作が適切に行われているかどうかを確認するため、回路シミュレータを用いて計算を行った。ここでは、画素PIXの駆動トランジスタに相当するトランジスタTr3のしきい値電圧を補正したときにおける、発光素子LDに流れる電流量を計算した結果について説明する。
 当該計算で使用したソフトウェアは、上述の計算と同様のSILVACO社のSmartspice(4.26.7.R)という回路シミュレータである。当該シミュレータを用いて、図6(B)に示す画素PIXの回路構成において、トランジスタTr3のしきい値電圧を様々に設定し、当該しきい値電圧を補正したときにおける発光素子LDに流れる電流量について計算を行った。
 図19は、当該回路シミュレータを用いて計算した結果であって、横軸を配線DL、配線WDLのそれぞれから補正データ保持部(ノードND1)、画像データ保持部(ノードND2)に入力した同一の電圧(V)(以後、データ電圧と呼称する。)とし、縦軸を発光素子LDに流れる駆動電流(A)としたグラフを示している。
 また、図19には、駆動トランジスタに相当するトランジスタTr3のしきい値電圧が−0.9V、−0.4V、0.1V、0.6V、1.1V、1.6V、2.1V、2.6V、3.1Vの9条件の場合をそれぞれ示している。
 図19より、データ電圧が高い場合、例えば、データ電圧が7.0Vの場合において、駆動トランジスタに流れる電流量は、上記9条件では、概ね1.85×10−6Aから2.80×10−6Aまでの範囲となる。駆動トランジスタのしきい値電圧が1.1Vである条件を基準として考えると、補正による電流量の変化は概ね−20%以上20%以下の範囲に収まっていることが分かる。
 なお、本実施例は、本明細書に記載の各実施の形態、又は他の実施例と適宜組み合わせることができる。
<試作品>
 上記実施の形態で説明した表示装置を実際に試作した。本実施例では、当該表示装置に備えられているトランジスタの特性と、当該表示装置の詳細と、当該表示装置に対する輝度測定の結果と、について説明する。
 図20(A)(B)は、CAAC−OSであるIn−Ga−Zn酸化物がチャネル形成領域に含まれているOSトランジスタのドレイン電流Iとゲート−ソース間電圧Vの特性を示したグラフである。特に、図20(A)では、LSIのスケールである、チャネル長を60nm、チャネル幅を60nmとするOSトランジスタの特性を示し、図20(B)は、当該表示装置に備えられている、チャネル長を6μm、チャネル幅を4μmとするOSトランジスタのドレイン電流Iとゲート−ソース間電圧V及び電界効果移動度μFE[cm/Vs]の特性を示したグラフである。
 図20(A)に示す特性CHR1、CHR2のそれぞれは、ソース−ドレイン間電圧が0.1V、1.2Vの場合の特性を示している。図20(A)に示すとおり、OSトランジスタは、LSIのスケールとして良好な特性を示しており、オフ電流が測定下限よりも小さくなっている。
 図20(B)に示す特性CHR3、CHR4のそれぞれは、ソース−ドレイン間電圧が0.1V、10Vの場合の特性を示している。なお、特性CHR3、CHR4は矢印Aの方向の縦軸に対応する。また、図20(B)には、特性CHR5は、OSトランジスタのゲート−ソース間電圧と電界効果移動度の特性を示している。なお、特性CHR5は矢印Bの方向の縦軸に対応する。図20(B)に示すとおり、OSトランジスタは、LSIのスケールと同様に、表示装置に向けたスケールとしても良好な特性を示しており、オフ電流が測定下限よりも小さくなっている。
 また、図20(B)の特性を有するOSトランジスタは、オフ電流が小さいため、図4に示すトランジスタTr1、Tr2、図6(A)(B)に示すトランジスタTr1、Tr2、Tr7に適用することができる。また、図4に示すトランジスタTr1乃至Tr4、図6(A)(B)のトランジスタTr1乃至Tr6の全てに適用してもよい。
 図21は、画素を図6(B)に示す画素PIXとして、実際に試作した表示装置の様子を示している。なお、画素PIXには、上述のOSトランジスタを用いている。当該表示装置は、可撓性を有する基板を用いて作製されているため、当該表示装置の表示部を2つに折り畳むことができる。
 当該表示装置の具体的な仕様を下表に記す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 また、全白である画像データを画像データ保持部(ノードND2)に保持した場合(画像データのみ)と、その場合に加えて、全白を示す補正データを補正データ保持部(ノードND1)に保持した場合(画像データ+補正データ)と、のそれぞれにおける、当該表示装置の輝度は、下表の通りとなった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 上表より、画像データを画像データ保持部(ノードND2)に保持し、かつ補正データを補正データ保持部(ノードND3)に保持することによって、画像データを画像データ保持部(ノードND2)に保持する場合よりも、表示装置の輝度が向上したことがわかる。
 また、当該表示装置で全画面の4%を発光させたとき、その4%の領域のピーク輝度は、概ね2000cd/mであった。
 上述の通り、画素を図6(B)に示す画素PIXとした表示装置を作製することで、画像データをより高輝度に表示することができる。これは、画素PIXの補正データ保持部(ノードND3)に補正データを保持する構成のため、表示装置の有するソースドライバの出力以上の電圧を、駆動トランジスタ(トランジスタTr3)のゲートに印加することができるからである。そのため、当該表示装置のソースドライバは出力電圧を高くする必要が無いため、ソースドライバの消費電力を低減することができる。
 なお、本実施例は、本明細書に記載の各実施の形態、又は他の実施例と適宜組み合わせることができる。
(本明細書等の記載に関する付記)
 本明細書に記載の実施の形態、及び実施例における各構成の説明について、以下に付記する。
<実施の形態、実施例で述べた本発明の一態様に関する付記>
 各実施の形態、及び実施例に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて、本発明の一態様とすることができる。また、1つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、互いに構成例を適宜組み合わせることが可能である。
 なお、ある一つの実施の形態、又は実施例の中で述べる内容(一部の内容でもよい)は、その実施の形態、又は実施例で述べる別の内容(一部の内容でもよい)と、一つ若しくは複数の別の実施の形態で述べる内容(一部の内容でもよい)との少なくとも一つの内容に対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを行うことができる。
 なお、実施の形態、又は実施例の中で述べる内容とは、各々の実施の形態、又は実施例において、様々な図を用いて述べる内容、又は明細書に記載される文章を用いて述べる内容のことである。
 なお、ある一つの実施の形態、又は実施例において述べる図(一部でもよい)は、その図の別の部分、その実施の形態、又は実施例において述べる別の図(一部でもよい)と、一つ若しくは複数の別の実施の形態、又は実施例において述べる図(一部でもよい)との少なくとも一つの図に対して、組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることができる。
<序数詞に関する付記>
 本明細書等において、「第1」、「第2」、「第3」という序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものである。従って、構成要素の数を限定するものではない。また、構成要素の順序を限定するものではない。また例えば、本明細書等の実施の形態(又は実施例)の一において「第1」に言及された構成要素が、他の実施の形態(又は実施例)、あるいは特許請求の範囲において「第2」に言及された構成要素とすることもありうる。また例えば、本明細書等の実施の形態(又は実施例)の一において「第1」に言及された構成要素を、他の実施の形態、あるいは特許請求の範囲において省略することもありうる。
<図面を説明する記載に関する付記>
 実施の形態(又は実施例)について図面を参照しながら説明している。但し、実施の形態(又は実施例)は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなく、その形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、実施の形態(又は実施例)の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、実施の形態の発明の構成(又は実施例の構成)において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
 また、本明細書等において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化する。そのため、配置を示す語句は、明細書等で説明した記載に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。例えば、「導電体の上面に位置する絶縁体」の表現では、示している図面の向きを180度回転することによって、「導電体の下面に位置する絶縁体」と言い換えることができる。
 また、「上」や「下」の用語は、構成要素の位置関係が直上又は直下で、かつ、直接接していることを限定するものではない。例えば、「絶縁層A上の電極B」の表現であれば、絶縁層Aの上に電極Bが直接接して形成されている必要はなく、絶縁層Aと電極Bとの間に他の構成要素を含むものを除外しない。
 また、図面において、大きさ、層の厚さ、又は領域は、説明の便宜上任意の大きさに示したものである。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は明確性を期すために模式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。例えば、ノイズによる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、電圧、若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
 また、図面において、斜視図などにおいて、図面の明確性を期すために、一部の構成要素の記載を省略している場合がある。
 また、図面において、同一の要素又は同様な機能を有する要素、同一の材質の要素、あるいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
<言い換え可能な記載に関する付記>
 本明細書等において、トランジスタの接続関係を説明する際、「ソース又はドレインの一方」(又は第1電極、又は第1端子)、「ソース又はドレインの他方」(又は第2電極、又は第2端子)という表記を用いる。これは、トランジスタのソースとドレインは、トランジスタの構造又は動作条件等によって変わるためである。なおトランジスタのソースとドレインの呼称については、ソース(ドレイン)端子や、ソース(ドレイン)電極等、状況に応じて適切に言い換えることができる。また、本明細書等では、ゲート以外の2つの端子を第1端子、第2端子と呼ぶ場合や、第3端子、第4端子と呼ぶ場合がある。なお、本明細書等において、チャネル形成領域はチャネルが形成される領域を指し、ゲートに電位を印加することでこの領域が形成されて、ソース‐ドレイン間に電流を流すことができる。
 また、ソースやドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
 また、本明細書等において「電極」や「配線」の用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」の用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
 また、本明細書等において、電圧と電位は、適宜言い換えることができる。電圧は、基準となる電位からの電位差のことであり、例えば基準となる電位をグラウンド電位(接地電位)とすると、電圧を電位に言い換えることができる。グラウンド電位は必ずしも0Vを意味するとは限らない。なお電位は相対的なものであり、基準となる電位によっては、配線等に与える電位を変化させる場合がある。
 なお本明細書等において、「膜」、「層」などの語句は、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能な場合がある。又は、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。又は、場合によっては、又は、状況に応じて、「膜」、「層」などの語句を使わずに、別の用語に入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」又は「導電膜」という用語を、「導電体」という用語に変更することが可能な場合がある。又は、例えば、「絶縁層」「絶縁膜」という用語を、「絶縁体」という用語に変更することが可能な場合がある。
 なお本明細書等において、「配線」、「信号線」、「電源線」などの用語は、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「配線」という用語を、「信号線」という用語に変更することが可能な場合がある。また、例えば、「配線」という用語を、「電源線」などの用語に変更することが可能な場合がある。また、その逆も同様で、「信号線」「電源線」などの用語を、「配線」という用語に変更することが可能な場合がある。「電源線」などの用語は、「信号線」などの用語に変更することが可能な場合がある。また、その逆も同様で「信号線」などの用語は、「電源線」などの用語に変更することが可能な場合がある。また、配線に印加されている「電位」という用語を、場合によっては、又は、状況に応じて、「信号」などという用語に変更することが可能な場合がある。また、その逆も同様で、「信号」などの用語は、「電位」という用語に変更することが可能な場合がある。
<語句の定義に関する付記>
 以下では、上記実施の形態、及び実施例で言及した語句の定義について説明する。
<<半導体の不純物について>>
 半導体の不純物とは、例えば、半導体層を構成する主成分以外をいう。例えば、濃度が0.1原子%未満の元素は不純物である。不純物が含まれることにより、例えば、半導体にDOS(Density of States)が形成されることや、キャリア移動度が低下することや、結晶性が低下することなどが起こる場合がある。半導体が酸化物半導体である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第1族元素、第2族元素、第13族元素、第14族元素、第15族元素、主成分以外の遷移金属などがあり、特に、例えば、水素(水にも含まれる)、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、リン、炭素、窒素などがある。酸化物半導体の場合、例えば水素などの不純物の混入によって酸素欠損を形成する場合がある。また、半導体がシリコン層である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、酸素、水素を除く第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素などがある。
<<スイッチについて>>
 本明細書等において、スイッチとは、導通状態(オン状態)、又は、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有するものをいう。又は、スイッチとは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有するものをいう。
 一例としては、電気的スイッチ又は機械的なスイッチなどを用いることができる。つまり、スイッチは、電流を制御できるものであればよく、特定のものに限定されない。
 電気的なスイッチの一例としては、トランジスタ(例えば、バイポーラトランジスタ、MOSトランジスタなど)、ダイオード(例えば、PNダイオード、PINダイオード、ショットキーダイオード、MIM(Metal Insulator Metal)ダイオード、MIS(Metal Insulator Semiconductor)ダイオード、ダイオード接続のトランジスタなど)、又はこれらを組み合わせた論理回路などがある。
 なお、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、トランジスタの「導通状態」とは、トランジスタのソース電極とドレイン電極が電気的に短絡されているとみなせる状態をいう。また、トランジスタの「非導通状態」とは、トランジスタのソース電極とドレイン電極が電気的に遮断されているとみなせる状態をいう。なおトランジスタを単なるスイッチとして動作させる場合には、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。
 機械的なスイッチの一例としては、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)のように、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いたスイッチがある。そのスイッチは、機械的に動かすことが可能な電極を有し、その電極が動くことによって、導通と非導通とを制御して動作する。
<<接続について>>
 本明細書等において、XとYとが接続されている、と記載する場合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続されている場合とを含むものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図又は文章に示された接続関係に限定されず、図又は文章に示された接続関係以外のものも含むものとする。
 ここで使用するX、Yなどは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。
 XとYとが電気的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイッチは、導通状態(オン状態)、又は、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している。
 XとYとが機能的に接続されている場合の一例としては、XとYとの機能的な接続を可能とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅又は電流量などを大きく出来る回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。
 なお、XとYとが電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、XとYとが電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟んで接続されている場合)と、XとYとが機能的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、XとYとが直接接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)とを含むものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同じであるとする。
 なお、例えば、トランジスタのソース(又は第1の端子など)が、Z1を介して(又は介さず)、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z2を介して(又は介さず)、Yと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソース(又は第1の端子など)が、Z1の一部と直接的に接続され、Z1の別の一部がXと直接的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z2の一部と直接的に接続され、Z2の別の一部がYと直接的に接続されている場合では、以下のように表現することが出来る。
 例えば、「XとYとトランジスタのソース(又は第1の端子など)とドレイン(又は第2の端子など)とは、互いに電気的に接続されており、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yの順序で電気的に接続されている。」と表現することができる。又は、「トランジスタのソース(又は第1の端子など)は、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)はYと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この順序で電気的に接続されている」と表現することができる。又は、「Xは、トランジスタのソース(又は第1の端子など)とドレイン(又は第2の端子など)とを介して、Yと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トランジスタのソース(又は第1の端子など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。なお、これらの表現方法は、一例であり、これらの表現方法に限定されない。ここで、X、Y、Z1、Z2は、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。
 なお、回路図上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されている場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もある。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
DD 表示装置、PA 表示部、GD ゲートドライバ回路、SD ソースドライバ回路、WSD 回路、PIX 画素、SR シフトレジスタ、LAT ラッチ回路、LVS レベルシフト回路、DAC デジタルアナログ変換回路、AMP アンプ回路、GL 配線、VA 配線、DB データバス配線、Tr1 トランジスタ、Tr2 トランジスタ、Tr3 トランジスタ、Tr4 トランジスタ、Tr5 トランジスタ、Tr6 トランジスタ、Tr7 トランジスタ、C1 容量素子、C2 容量素子、C3 容量素子、LD 発光素子、GL1 配線、GL2 配線、GL3 配線、GL4 配線、DL 配線、WDL 配線、VL 配線、AL 配線、BGL 配線、CAT 配線、ND1 ノード、ND2 ノード、ND3 ノード、ND4 ノード、SDa 回路、WSDa 回路、Tr11 トランジスタ、Tr12 トランジスタ、Tr13 トランジスタ、Tr14 トランジスタ、SELD 配線、SELG 配線、SELV 配線、SELW 配線、GNDL 配線、VL 配線、101 画像データ保持部、102 駆動回路部、103 表示素子、104 補正データ保持部、105 しきい値電圧補正回路部、215 表示部、221a 走査線駆動回路、231a 信号線駆動回路、232a 信号線駆動回路、241a 共通線駆動回路、723 電極、726 絶縁層、728 絶縁層、729 絶縁層、741 絶縁層、742 半導体層、744a 電極、744b 電極、746 電極、755 不純物、771 基板、772 絶縁層、810 トランジスタ、811 トランジスタ、820 トランジスタ、821 トランジスタ、825 トランジスタ、826 トランジスタ、842 トランジスタ、843 トランジスタ、844 トランジスタ、845 トランジスタ、846 トランジスタ、847 トランジスタ、4001 第1の基板、4005 シール材、4006 第2の基板、4010 トランジスタ、4011 トランジスタ、4014 配線、4015 電極、4017 電極、4018 FPC、4019 異方性導電層、4020 容量素子、4021 電極、4030 第1の電極層、4031 第2の電極層、4041 プリント基板、4042 集積回路、4102 絶縁層、4103 絶縁層、4110 絶縁層、4111 絶縁層、4112 絶縁層、4200 入力装置、4210 タッチパネル、4227 電極、4228 電極、4237 配線、4238 配線、4239 配線、4263 基板、4272b FPC、4273b IC、4510 隔壁、4511 発光層、4513 発光素子、4514 充填材、5321a 筐体、5321b 筐体、5321c ヒンジ部、5322 表示部、5323 操作ボタン、5401 筐体、5402 表示部、5403 キーボード、5404 ポインティングデバイス、5501 筐体、5502 表示部、5503 マイク、5504 スピーカ、5505 操作ボタン、5701 表示パネル、5702 表示パネル、5703 表示パネル、5704 表示パネル、5801 第1筐体、5802 第2筐体、5803 表示部、5804 操作キー、5805 レンズ、5806 接続部、5901 筐体、5902 表示部、5903 操作ボタン、5904 操作子、5905 バンド、6200 電子看板、6201 壁、9000 筐体、9001 表示部、9003 スピーカ、9005 操作キー、9006 接続端子

Claims (18)

  1.  画像データ保持部と、補正データ保持部と、駆動回路部と、表示素子と、しきい値電圧補正回路部と、を有し、
     前記駆動回路部は、バックゲートを有する第1トランジスタを有し、
     前記第1トランジスタの第1端子は、前記表示素子の入力端子に電気的に接続され、
     前記画像データ保持部は、第1画像データを保持する機能を有し、
     前記補正データ保持部は、
     補正データを保持する機能と、
     前記画像データ保持部が前記第1画像データを保持することによって、前記第1画像データ及び前記補正データに応じた第2画像データを生成する機能と、を有し、
     前記駆動回路部は、前記第1トランジスタのゲートに、前記第2画像データに応じた第1電位が印加されることによって、前記第1トランジスタの第1端子‐第2端子間において、第1電流を生成する機能と、前記第1電流を前記表示素子に流す機能と、を有し、
     前記しきい値電圧補正回路部は、前記駆動回路部に含まれる前記第1トランジスタのしきい値電圧を補正する機能を有する、半導体装置。
  2.  請求項1において、
     第1乃至第3容量素子を有し、
     前記画像データ保持部は、第2トランジスタを有し、
     前記補正データ保持部は、第3トランジスタを有し、
     前記しきい値電圧補正回路は、第4トランジスタを有し、
     前記第2トランジスタの第1端子は、前記第1容量素子の第1端子と電気的に接続され、
     前記第3トランジスタの第1端子は、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第1トランジスタの第1端子は、前記第2容量素子の第2端子と、前記第3容量素子の第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第1トランジスタのバックゲートは、前記第4トランジスタの第1端子と、前記第3容量素子の第2端子と、に電気的に接続される、半導体装置。
  3.  請求項2において、
     前記第1乃至第4トランジスタのそれぞれは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置。
  4.  請求項2又は請求項3において、
     前記駆動回路部は、第5トランジスタを有し、
     前記第3トランジスタの第1端子と、前記表示素子の入力端子と、は、前記第5トランジスタの第1端子‐第2端子間を介して電気的に接続される、半導体装置。
  5.  請求項4において、
     前記第5トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置。
  6.  請求項2乃至請求項5のいずれか一において、
     第6トランジスタを有し、
     前記第6トランジスタの第1端子は、前記第1トランジスタのゲートに電気的に接続され、
     前記第6トランジスタの第2端子は、前記第1トランジスタの第1端子に電気的に接続される、半導体装置。
  7.  請求項6において、
     前記第6トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置。
  8.  請求項2乃至請求項7のいずれか一において、
     第1機能乃至第3機能を有し、
     前記第1機能は、
     前記第3トランジスタをオン状態にして、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に第1初期化電位を印加する機能と、
     前記第4トランジスタをオン状態にして、前記第1トランジスタのバックゲートと、前記第3容量素子の第2端子と、に第2初期化電位を印加する機能と、
     前記第1トランジスタの第1端子と、前記第2容量素子の第2端子と、前記第3容量素子の第1端子と、に第3初期化電位を印加する機能と、
     前記第3トランジスタをオフ状態にして、前記第2容量素子によって、前記第1初期化電位と前記第3初期化電位との電位差を保持する機能と、
     前記第1トランジスタの第1端子から前記表示素子の入力端子への電流を遮断して、
     前記第1トランジスタの第1端子‐第2端子間に電圧を印加して第1トランジスタをオン状態にし、
     その後、前記第1トランジスタの第1端子の電位が第2電位になって、第1トランジスタがオフ状態となったとき、前記第3容量素子によって、前記第2初期化電位と前記第2電位との電位差を保持する機能と、を有し、
     前記第2機能は、
     前記第3トランジスタをオン状態にして、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に前記補正データに応じた第3電位を書き込む機能と、
     前記第3トランジスタをオフ状態にして、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、によって前記第3電位を保持する機能と、を有し、
     前記第3機能は、
     前記第2トランジスタをオン状態にして、前記第1容量素子の第1端子に前記第1画像データに応じた第4電位を書き込む機能と、
     前記第1容量素子の第1端子に前記第4電位が書き込まれたことによって、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に保持されている前記第3電位が、前記第2画像データに応じた前記第1電位に変動する機能と、を有する、半導体装置。
  9.  請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の半導体装置と、周辺回路と、を有する、表示装置。
  10.  請求項9に記載の表示装置と、筐体と、を有する、電子機器。
  11.  画像データ保持部と、補正データ保持部と、駆動回路部と、表示素子と、しきい値電圧補正回路部と、を有する半導体装置の動作方法であって、
     前記駆動回路部は、バックゲートを有する第1トランジスタを有し、
     前記第1トランジスタの第1端子は、前記表示素子の入力端子に電気的に接続され、
     前記半導体装置の動作方法は、しきい値電圧補正期間と、補正データ書き込み期間と、画像データ書き込み期間と、画像表示期間と、を有し、
     前記しきい値電圧補正期間は、前記しきい値電圧補正回路部が前記第1トランジスタのバックゲートに電位を与えることで前記第1トランジスタのしきい値電圧を補正する期間を有し、
     前記補正データ書き込み期間は、前記補正データ保持部に補正データを書き込む期間を有し、
     前記画像データ書き込み期間は、前記画像データ保持部に第1画像データを書き込んで、前記補正データ保持部が前記第1画像データ及び前記補正データに応じた第2画像データを生成する期間を有し、
     前記画像表示期間は、前記第1トランジスタのゲートに、前記第2画像データに応じた第1電位が印加されることによって、前記駆動回路部が、前記第1トランジスタの第1端子‐第2端子間において、第1電流を生成して、前記第1電流を前記表示素子に流す期間を有する、半導体装置の動作方法。
  12.  請求項11において、
     前記半導体装置の動作方法は、初期化期間を有し、
     前記半導体装置は、第1容量素子乃至第3容量素子を有し、
     前記画像データ保持部は、第2トランジスタを有し、
     前記補正データ保持部は、第3トランジスタを有し、
     前記しきい値電圧補正回路は、第4トランジスタを有し、
     前記第2トランジスタの第1端子は、前記第1容量素子の第1端子と電気的に接続され、
     前記第3トランジスタの第1端子は、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第1トランジスタの第1端子は、前記第2容量素子の第2端子と、前記第3容量素子の第1端子と、前記表示素子の入力端子と、に電気的に接続され、
     前記第1トランジスタのバックゲートは、前記第4トランジスタの第1端子と、前記第3容量素子の第2端子と、に電気的に接続され、
     前記初期化期間は、
     前記第3トランジスタがオン状態になって、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に第1初期化電位が印加される期間と、
     前記第4トランジスタがオン状態になって、前記第1トランジスタのバックゲートと、前記第3容量素子の第2端子と、に第2初期化電位が印加される期間と、
     前記第1トランジスタの第1端子と、前記第2容量素子の第2端子と、前記第3容量素子の第1端子と、に第3初期化電位が印加される期間と、を有し、
     前記しきい値電圧補正期間は、
     前記第1トランジスタの第1端子から前記表示素子への電流を遮断する期間と、
     前記第3トランジスタがオフ状態になって、前記第2容量素子が前記第1初期化電位と前記第3初期化電位との電位差を保持する期間と、
     前記第1トランジスタの第2端子に高電位が印加されることで、前記第1トランジスタの第1端子の電位が、前記第1トランジスタがオフ状態になる第2電位に達するまで、前記第1トランジスタの第1端子‐第2端子間に第2電流が流れる期間と、
     前記第4トランジスタがオフ状態になって、前記第3容量素子が前記第2電位と前記第2初期化電位との電位差を保持する期間と、を有し、
     前記補正データ書き込み期間は、
     前記第3トランジスタがオン状態になって、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に前記補正データに応じた第3電位が印加される期間と、
     前記第3トランジスタがオフ状態になって、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、によって前記第3電位が保持される期間と、を有し、
     前記画像データ書き込み期間は、
     前記第2トランジスタがオン状態になって、前記第1容量素子の第1端子に前記第1画像データに応じた第4電位が印加される期間と、
     前記第1容量素子の第1端子に前記第4電位が書き込まれたことによって、前記第1トランジスタのゲートと、前記第1容量素子の第2端子と、前記第2容量素子の第1端子と、に保持されている前記第3電位が、前記第2画像データに応じた前記第1電位に変動する期間と、を有する、半導体装置の動作方法。
  13.  請求項12において、
     前記第1乃至第4トランジスタのそれぞれは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、表示装置の動作方法。
  14.  請求項12又は請求項13において、
     前記駆動回路部は、第5トランジスタを有し、
     前記第3トランジスタの第1端子と、前記表示素子の入力端子と、は、前記第5トランジスタの第1端子‐第2端子間を介して電気的に接続され、
     前記初期化期間と、前記補正データ書き込み期間と、前記画像データ書き込み期間と、は、前記第5トランジスタがオフ状態になる期間を有し、
     前記画像表示期間は、前記第5トランジスタがオン状態になる期間を有する、半導体装置の動作方法。
  15.  請求項14において、
     前記第5トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置の動作方法。
  16.  請求項12乃至請求項15のいずれか一において、
     前記半導体装置は、第6トランジスタを有し、
     前記第6トランジスタの第1端子は、前記第1トランジスタのゲートに電気的に接続され、
     前記第6トランジスタの第2端子は、前記第1トランジスタの第1端子に電気的に接続され、
     前記しきい値電圧補正期間は、前記第6トランジスタがオン状態になる期間を有する、半導体装置の動作方法。
  17.  請求項16において、
     前記第6トランジスタは、チャネル形成領域に、金属酸化物又はシリコンの一方を有する、半導体装置の動作方法。
  18.  請求項11乃至請求項17のいずれか一に記載の半導体装置の動作方法を含む表示装置の動作方法であって、
     前記表示装置は、複数の前記半導体装置がマトリクス状に配置された表示部を有し、
     前記複数の前記半導体装置の一部は、第1画素及び第2画素として機能し、
     前記第1画素と、前記第2画素と、は、前記表示部において互いに異なる行に位置し、
     前記第1画素が前記しきい値電圧補正期間の動作を行っているとき、前記第2画素は前記補正データ書き込み期間、及び前記画像データ書き込み期間のそれぞれの動作を行う、表示装置の動作方法。
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