WO2019106959A1 - 流体供給ラインの異常診断方法 - Google Patents

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WO2019106959A1
WO2019106959A1 PCT/JP2018/037416 JP2018037416W WO2019106959A1 WO 2019106959 A1 WO2019106959 A1 WO 2019106959A1 JP 2018037416 W JP2018037416 W JP 2018037416W WO 2019106959 A1 WO2019106959 A1 WO 2019106959A1
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valve
control device
flow
pressure
flow control
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PCT/JP2018/037416
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竜太郎 丹野
献治 相川
章弘 原田
裕也 鈴木
隆博 松田
克典 米華
将彦 落石
篠原　努
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株式会社フジキン
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Definitions

  • the present invention relates to a technique for diagnosing an abnormality in a fluid supply line having a plurality of fluid control devices.
  • a fluid control apparatus such as an automatic valve is used for a fluid supply line for supplying a process fluid used in a semiconductor manufacturing process.
  • semiconductor manufacturing processes such as ALD (Atomic Layer Deposition) are advanced, and a fluid supply line capable of finely controlling a process fluid more than ever has been required.
  • a fluid control device capable of monitoring the state of the valve more precisely has been proposed.
  • Patent Document 1 is a valve provided with a body in which the first flow path and the second flow path are formed, and a valve body for communicating or blocking between the first flow path and the second flow path.
  • the first connecting portion has a base having a first surface located on the valve body side and a second surface located on the opposite side of the first surface, and a third surface forming the second surface and the step portion.
  • a second connecting portion having a first surface and a fourth surface forming the stepped portion, the first channel having a 1-1 channel and a 1-2 channel, 1-1 port of the 1st channel opens to the 3rd surface, and the 1st-3 port of the 1st-2 channel communicates with the 1st-2 port of the 1st-1 channel, and the valve body , And the first through fourth ports of the first through second passages open to the fourth surface, and the first through third passages can communicate with the first through the first through third ports.
  • the first connection on the body of another valve That to a portion corresponding to the second connecting portion are connected, a valve and a flow path corresponding to the 1-2 passage in the body of the 1-1 passage and another valve communicates is proposed.
  • a control valve, an orifice, and a pressure detector for detecting an upstream pressure between them and a flow rate setting circuit are provided.
  • the flow control device holds the set flow at a high set flow of 100% flow in the flow control device that holds the flow rate on the downstream side by more than 2 times and calculates the open / close control of the control valve based on the difference signal between the calculated flow and the set flow.
  • each fluid control device is affected by the opening / closing operation of another fluid control device, the flow rate change, and the like. Therefore, the accuracy required for the advanced semiconductor manufacturing process can not be secured only by diagnosing the presence or absence of a single operation abnormality for each fluid control device.
  • one object of the present invention is to diagnose an abnormality in a fluid control device from the operation of the entire fluid supply line configured by a plurality of fluid control devices.
  • the method for diagnosing abnormality of a fluid supply line is a method for diagnosing an abnormality in a fluid supply line including a plurality of fluid control devices in fluid tight communication, the fluid supply line A flow control device connected between the mechanism outside the fluid supply line and the first connection means and having a valve in the flow control device and a pressure detection mechanism for detecting the pressure in the flow passage; and branching from the first connection means
  • the first valve is connected to the mechanism outside the fluid supply line by the second connection means, and the first valve disposed on the upstream side of the flow control device and the second connection means branched from the first connection means.
  • a second valve connected to a mechanism outside the fluid supply line and disposed downstream of the flow control device, wherein the flow control device internal valve, the first valve, and the second valve A valve operation step of opening or closing any one or more valves, and a pressure for evacuating or pressurizing a part or all of the flow path from the first valve to the second valve through the flow control device.
  • an abnormality determination step of determining the presence or absence of an abnormality by comparing it with the pressure characteristic at the time of normal measurement previously measured below.
  • a first step of opening the first valve, a second step of closing the valve in the flow control device, a third step of opening the second valve, and A fifth step of closing the second valve from a state in which the inside of the flow passage from the valve portion of the valve in the flow control device to the valve portion of the second valve is evacuated is constituted by the fifth step.
  • the pressure detection mechanism is configured by a sixth step of acquiring temporal pressure characteristics in the flow path from the valve portion of the valve in the flow control device to the valve portion of the second valve Also good
  • a first step of closing the first valve a second step of opening the valve in the flow control device, a third step of opening the second valve, and The fifth step of closing the second valve from the state in which the inside of the flow path from the valve portion of the first valve to the valve portion of the second valve is evacuated through the flow path of the flow control device
  • the pressure adjusting step after the third step, the inside of the flow passage extending from the valve portion of the first valve to the valve portion of the second valve via the flow passage of the flow control device is evacuated.
  • the pressure detection process comprises four steps, and after the execution of the fifth step, the pressure detection mechanism causes the valve portion of the first valve to flow through the flow path of the flow control device. Pressure in the flow path to the It may alternatively be constituted by a sixth step of acquiring sexual.
  • a first step of opening the first valve a second step of opening the valve in the flow control device, a third step of closing the second valve, and The fifth step of closing the valve in the flow control device from the state where the inside of the flow passage from the valve portion of the first valve to the valve portion of the second valve is pressurized via the flow passage of the flow control device
  • the pressure adjusting step pressurizes the inside of the flow passage from the valve portion of the first valve to the valve portion of the second valve through the flow passage of the flow control device after the third step.
  • the pressure detection step is performed by the pressure detection mechanism from the valve portion of the first valve through the flow path of the flow control device after the execution of the fifth step. Over time in the flow path leading to the valve part of the valve It may constitute a sixth step of obtaining a pressure properties.
  • the pressure detection step comprises the fourth step of pressurizing the inside of the flow path leading to the second pressure, and the pressure detection step is performed by the pressure detection mechanism from the valve portion of the valve in the flow control device after execution of the sixth step.
  • Two-valve valve Pressure over time characteristics of leading flow channel may constitute the seventh step of acquiring.
  • the first connection means and the second connection means may be drive pressure supply paths for supplying a drive fluid used to drive the fluid control device from a mechanism outside the fluid supply line.
  • first connection means and the second connection means may be electrical wiring that enables communication between a mechanism outside the fluid supply line and the fluid control device.
  • a plurality of the fluid supply lines are juxtaposed to constitute a gas unit, and the first connection means is branched for each of the plurality of fluid supply lines in the vicinity of the gas unit, and the plurality of fluid supplies are provided. It is good also as what is connected for every predetermined fluid control apparatus on a line.
  • the flow rate control device is a flow rate range variable type flow rate control device
  • the flow rate range variable type flow rate control device is a fluid passage to a flow rate detection unit of the flow rate control device.
  • a fluid passage is provided, fluid in a small flow rate region is circulated to the flow rate detection unit through the small flow rate fluid passage, and the detection level of the flow rate control unit is switched to a detection level suitable for detection in the small flow rate region.
  • the detection level of the flow rate control unit is switched to the detection level suitable for detecting the flow rate in the large flow rate region. It is good also as what switches the fluid of a small flow area, respectively, and carries out flow control.
  • the flow rate control device is a differential pressure type flow rate control device
  • the differential pressure type flow rate control device includes a control valve portion provided with a valve drive portion, an orifice provided on the downstream side of the control valve, A detector of fluid pressure upstream of the orifice, a detector of fluid pressure downstream of the orifice, a detector of fluid temperature upstream of the orifice, detected pressure and detected temperature from each of the detectors
  • the control operation circuit may include a flow rate comparison circuit that calculates the fluid flow rate and calculates the difference between the calculated flow rate and the set flow rate.
  • FIG. 6 is an external perspective view showing a gas unit configured by a plurality of fluid supply lines in the fluid supply line abnormality diagnosis method according to the embodiment of the present invention.
  • the fluid supply line abnormality diagnosis method according to the present embodiment it is a plan view showing a gas unit configured of a plurality of fluid supply lines.
  • the fluid supply line abnormality diagnosis method according to the present embodiment it is a side view showing a gas unit configured by a plurality of fluid supply lines.
  • the valve which comprises the fluid supply line to which the abnormality diagnosis method of the fluid supply line which concerns on this embodiment is applied it is sectional drawing which shows an internal structure at the time of providing a magnetic sensor, Comprising: (a) General view, b) It is a partially enlarged view.
  • the gas unit comprised by the fluid supply line to which the abnormality diagnosis method of the fluid supply line which concerns on this embodiment is applied WHEREIN: It is the schematic diagram which showed the wiring structure of the cable.
  • the gas unit comprised by the fluid supply line to which the abnormality diagnosis method of the fluid supply line which concerns on this embodiment is applied WHEREIN: It is the model which showed the connection structure of a drive pressure supply path.
  • the gas unit of another form comprised by the fluid supply line to which the abnormality diagnosis method of the fluid supply line which concerns on this embodiment is applied is the schematic diagram which showed the wiring structure of the cable.
  • the gas unit of another form comprised by the fluid supply line to which the abnormality diagnosis method of the fluid supply line which concerns on this embodiment is applied WHEREIN: It is the model which showed the connection structure of a drive pressure supply path.
  • the gas unit 1 shown in FIGS. 1 to 3 includes fluid supply lines L1, L2, and L3.
  • the "fluid supply line (L1, L2, L3)" is one of the structural units of the gas unit (1), and a path through which the process fluid flows, and a group disposed on the path These are the smallest structural units capable of controlling the process fluid and processing the object independently.
  • the gas unit is usually configured by arranging a plurality of the fluid supply lines in parallel.
  • out-of-line referred to in the following description is a part or mechanism that does not constitute this fluid supply line, and the mechanism outside the line supplies power necessary to drive the fluid supply line.
  • a drive pressure supply source for supplying a reduction pressure or a drive pressure, a device configured to be communicable with a fluid supply line, and the like are included.
  • the fluid supply lines L1, L2 and L3 respectively connect a plurality of fluid control devices in fluid tight communication, and the fluid control devices include valves (V11 to V14, V21 to V24, V31 to V34) and flow rate control devices (F1 to F3).
  • the valves V11 to V14, V21 to V24, V31 to V34
  • the flow control devices F1 to F3 as the flow control device F.
  • the flow control device F is a device that controls the flow rate of fluid in each of the fluid supply lines L1, L2, and L3.
  • the flow control device F can be configured, for example, by a flow range variable type flow control device.
  • the variable flow rate range type flow rate control device is a device that can switch and select a flow rate control area automatically by the operation of a switching valve. This variable flow rate range type flow rate control device has, for example, fluid passages for small flow rate and large flow rate as fluid passages to the flow rate detection unit of the flow rate control device.
  • the fluid in the small flow rate region is circulated to the flow rate detection unit through the small flow rate fluid passage, and the detection level of the flow rate control unit is switched to the detection level suitable for detection in the small flow rate region, and the large flow rate range through the large flow rate fluid passage.
  • Fluid in the large flow rate area and the small flow rate area by switching the detection level of the flow rate control section to a detection level suitable for detecting the flow rate in the large flow rate area while Control the flow rate.
  • the fluid passage between the downstream side of the fluid supply conduit and the fluid supply conduit is at least two parallel fluid passages, and orifices having different fluid flow characteristics intervene in each parallel fluid passage.
  • the flow control of the fluid in the small flow area is made to flow the fluid in the small flow area to one orifice
  • the flow control of the fluid in the large flow area is made to flow the fluid in the large flow area to the other orifice .
  • the range of the flow rate can also be made into three steps. In this case, there are three types of orifices, a high flow rate orifice, a medium flow rate orifice, and a low flow rate orifice, and the first switching valve, the second switching valve, and the high flow orifice are connected in series in one fluid passage.
  • the flow control device F can be configured by a differential pressure control flow control device.
  • the differential pressure control type flow control device is a device that calculates and controls the fluid flow rate by adding various corrections to it using the flow rate calculation equation derived from Bernoulli's theorem as a basis.
  • the differential pressure type flow control device includes a control valve unit including a valve drive unit, an orifice provided downstream of the control valve, a detector for fluid pressure P 1 upstream of the orifice, and a downstream side of the orifice a detector in fluid pressure P 2, and a detector of fluid temperature T on the upstream side of the orifice.
  • the differential pressure type flow control device it can be used in an in-line form without any restriction on the mounting posture, and moreover, it is possible to measure the flow with high accuracy, with little influence of the control flow on pressure fluctuation. Alternatively, flow control can be performed in real time.
  • Such a flow control device F monitors the valves V by collecting operation information of the operation information acquisition mechanism for acquiring operation information of the flow control devices F and operation information of the valves V forming the same line.
  • Is equipped with an information processing module that can control The processing that can be executed by the flow control device F will be described in detail later, but the operation information acquisition mechanism may be, for example, various sensors incorporated in the flow control device F, an arithmetic device performing flow control, these sensors, It can be configured by an information processing module or the like that executes processing of information such as a computing device.
  • the drive pressure is supplied from a mechanism outside the line through the flow rate control device F, or each valve V can be communicated.
  • the flow control device F can aggregate the operation information of As a result, together with the operation information of each valve V and the operation information of the flow control device F, the operation information of the entire line is configured.
  • the valve V is a valve used in a gas line of a fluid control device, such as a diaphragm valve.
  • a pressure sensor, a temperature sensor, a limit switch, a magnetic sensor or the like is attached to a predetermined portion of the valve V as an operation information acquiring mechanism for acquiring operation information of the valve V, and further, these pressure sensors, An information processing module for processing data detected by a temperature sensor, a limit switch, a magnetic sensor or the like is incorporated.
  • the mounting position of the operation information acquisition mechanism is not limited, and may be mounted outside the valve V such as on the drive pressure supply path or on the electrical wiring in view of its function.
  • the pressure sensor is, for example, a pressure-sensitive element that detects a pressure change in a predetermined space, or a piezoelectric element that converts a detection value of pressure detected by the pressure-sensitive element into an electrical signal. Detect pressure changes in the internal space.
  • the temperature sensor is, for example, a sensor for measuring the temperature of the fluid, and the temperature sensor is disposed in the vicinity of the flow path and the temperature of the relevant place is measured. It can be regarded as temperature.
  • the limit switch is fixed, for example, in the vicinity of the piston, and the switch is switched according to the vertical movement of the piston. Thereby, it is possible to detect the number of times of opening and closing of the valve V, the opening and closing frequency, the opening and closing speed and the like.
  • the magnetic sensor can measure not only the open / close state of the valve V but also the opening degree by sensing a change in distance from the magnet attached to the predetermined position. More specifically, as shown in the example of FIG. 4, the magnetic sensor S is attached to the inner side of the pressing adapter 52 that presses the peripheral edge of the diaphragm 51 and to the surface facing the stem 53. Further, a magnet M is attached in the vicinity of the pressing adapter 52 of the stem 53 which slides in accordance with the opening and closing operation of the valve V.
  • the magnetic sensor S has a planar coil, an oscillation circuit, and an integration circuit, and the oscillation frequency changes in accordance with a change in distance from the magnet M at the opposing position. Then, by converting this frequency by the integration circuit to obtain the integrated value, not only the open / close state of the valve V but also the opening degree at the time of valve opening can be measured.
  • the valve V By configuring the valve V in this manner, it is possible to diagnose the following operation abnormality. That is, the presence or absence of abnormality can be determined depending on whether the position of the upper surface or the lower surface of the stem 53 at the time of abnormality diagnosis is at the position of the upper surface or the lower surface at the normal time. That is, based on the change in the distance between the magnetic sensor S and the magnet M, the upper surface position and the lower surface position of the stem 53 during operation are measured. It is determined whether the upper surface position and the lower surface position coincide with the previously measured normal upper surface position and the lower surface position, and if they coincide, it can be judged that there is no abnormality, and if they do not coincide, it can be judged as abnormal.
  • the presence or absence of an abnormality can be determined depending on whether or not the stroke of the stem 53 at the time of abnormality diagnosis matches the stroke at the normal time. That is, based on the change in the distance between the magnetic sensor S and the magnet M, the movement distance (stroke) from the upper surface position to the lower surface position of the stem 53 during operation is measured. It is determined whether or not this stroke matches the stroke measured at normal time, and if it matches, it can be determined that there is no abnormality, and if it does not match, it can be determined that there is an abnormality.
  • the presence or absence of an abnormality can be determined depending on whether or not the operation speed of the stem 53 at the time of abnormality diagnosis matches the operation speed at the normal time. That is, based on the change in the distance between the magnetic sensor S and the magnet M, the operation speed of the stem 53 at the time of operation is measured. It is determined whether the operating speed matches the normal operating speed measured in advance. If the operating speeds match, it can be determined that there is no abnormality, and if they do not match, it can be determined that there is an abnormality.
  • the information acquired by the information acquiring mechanism in the valve V is integrated into the flow control device F constituting the same fluid supply line L1, L2, L3, and the operation information of the flow control device F is combined with the line. It can also be transmitted to a predetermined information processing device provided outside.
  • the gas unit 1 is connected to a mechanism outside the line including a drive pressure supply source for supplying a drive pressure, a power supply source for supplying electric power, and a communication device for performing communication.
  • the fluid control device constituting the gas unit 1 is branched from the first connection means directly connecting the mechanism outside the line and the predetermined fluid control device and the first connection means, or
  • the first connection means is connected via a fluid control device connected by a second connection means for connecting the mechanism outside the line and the other fluid control device.
  • the main cable 10 and the extension cable 11 constitute the first connection means in the power supply from outside the line and the communication with the outside of the line.
  • the sub cables 111, 112, 113, 114 constitute a second connection means.
  • the main tube 20 in the supply of the driving pressure from the outside of the line, the main tube 20, the extension tube 21 and the sub tube 214 constitute the first connection means.
  • the subtubes 215, 216, 217, 218 constitute a second connection means.
  • the supply of power and communication with the outside of the line are made possible by the main cable 10 connecting the mechanism outside the line and the gas unit 1 as shown in FIG.
  • the main cable 10 branches into the extension cable 11 and the branch cable 101 by the branch connector C1 provided in the vicinity of the gas unit, the branch cable 101 branches into the extension cable 12 and the branch cable 102 by the branch connector C2, and the branch cable 102 It is connected to the extension cable 13 via the branch connector C3.
  • the extension cable 11 is connected to the flow control device F1.
  • the sub-cable 111 is connected to the valve V11, and the sub-cable 112 is connected to the valve V12.
  • the sub cable 113 is drawn out from the valve V12 to which the sub cable 112 is connected, and the sub cable 113 is connected to the valve V13.
  • the sub cable 114 is led out from the valve V13 to which the sub cable 113 is connected, and the sub cable 114 is connected to the valve V14.
  • the fluid supply line L2 is also connected to the mechanism outside the line by the same configuration as the fluid supply line L1. That is, the extension cable 12 is connected to the flow control device F2. From the flow control device F2 to which the extension cable 12 is connected, sub-cables 121 and 122 are drawn out, the sub-cable 121 is connected to the valve V21, and the sub-cable 122 is connected to the valve V22. Further, the sub cable 123 is drawn out from the valve V22 to which the sub cable 122 is connected, and the sub cable 123 is connected to the valve V23. Further, the sub cable 124 is led out from the valve V23 to which the sub cable 123 is connected, and the sub cable 124 is connected to the valve V24.
  • the fluid supply line L3 is also connected to the mechanism outside the line by the same configuration as the fluid supply line L1. That is, the extension cable 13 is connected to the flow control device F3. From the flow control device F3 to which the extension cable 13 is connected, sub-cables 131 and 132 are led out, the sub-cable 131 is connected to the valve V31, and the sub-cable 132 is connected to the valve V32. Further, the sub cable 133 is drawn out from the valve V32 to which the sub cable 132 is connected, and the sub cable 133 is connected to the valve V33. Further, the sub cable 134 is led out from the valve V33 to which the sub cable 133 is connected, and the sub cable 134 is connected to the valve V34.
  • the extension cable 11 is connected to the flow control device F1, and the sub cables 111 and 112 are derived from the flow control device F1, but in the flow control device F1, the extension cable 11 and the sub The cables 111 and 112 are connected.
  • the connection may be via an information processing module provided in the flow control device F1, or the extension cable 11 may be branched.
  • the sub cable 112 is connected to the sub cable 113, and the sub cable 113 is connected to the sub cable 114.
  • the connection of the sub cables 112, 113, and 114 can also be performed via an information processing module provided in the valves V12 and V13, or the sub cables 112 and 113 can be branched.
  • the mechanism outside the line and the valves V11, V12, V13, and V14 may be communicably connected via the flow control device F1, and power may be supplied.
  • valves V21, V22, V23 and V24 have flow rates by the main cable 10, the extension cable 12, and the sub cables 121, 122, 123 and 124. It is connected with the mechanism outside the line through the control device F2.
  • the valves V31, V32, V33 and V34 are connected to the mechanism outside the line via the flow control device F3 by the main cable 10, the extension cable 13, and the sub cables 131, 132, 133 and 134.
  • the driving pressure is supplied from the mechanism outside the line to the gas unit 1 by the main tube 20 as shown in FIG.
  • the main tube 20 branches into extension tubes 21, 22 and 23 for supplying a driving pressure for each of the fluid supply lines L1, L2 and L3 by a branch joint J1 provided in the vicinity of the gas unit 1.
  • the extension tube 21 branches into the extension tube 211 and the sub tube 214 by the joint J11.
  • the sub-tube 214 is connected to the flow control device F1, whereby driving pressure is supplied to the flow control device F1.
  • the extension tube 211 further branches into the extension tube 212 and the sub tube 215 by the joint J111.
  • the sub tube 215 is connected to the valve V11, whereby the driving pressure is supplied to the valve V11.
  • the extension tube 212 further branches into the extension tube 213 and the sub tube 216 by the joint J112.
  • the sub tube 216 is connected to the valve V12, whereby the driving pressure is supplied to the valve V12.
  • the extension tube 213 further branches into a sub-tube 217 and a sub-tube 218 by a joint J113.
  • the sub tube 217 is connected to the valve V13, whereby the driving pressure is supplied to the valve V13.
  • the sub tube 218 is connected to the valve V14, whereby the drive pressure is supplied to the valve V14.
  • the driving pressure is also supplied to the fluid supply line L2 by the same configuration as the fluid supply line L1. That is, the extension tube 22 branches into the extension tube 221 and the sub tube 224 by the joint J12. The sub tube 224 is connected to the flow control device F2, whereby the drive pressure is supplied to the flow control device F2.
  • the extension tube 221 further branches into the extension tube 222 and the sub tube 225 by the joint J121.
  • the sub tube 225 is connected to the valve V21, whereby the drive pressure is supplied to the valve V21.
  • the extension tube 222 further branches into the extension tube 223 and the sub tube 226 by the joint J122.
  • the sub tube 226 is connected to the valve V22, whereby the drive pressure is supplied to the valve V22.
  • the extension tube 223 further branches into a sub-tube 227 and a sub-tube 228 by a joint J123.
  • the sub tube 227 is connected to the valve V23, whereby the drive pressure is supplied to the valve V23.
  • the sub tube 228 is connected to the valve V24, whereby the driving pressure is supplied to the valve V24.
  • the drive pressure is supplied to the fluid supply line L3 by the same configuration as the fluid supply line L1. That is, the extension tube 23 branches into the extension tube 231 and the sub tube 234 by the joint J13.
  • the sub tube 234 is connected to the flow control device F3, whereby the driving pressure is supplied to the flow control device F3.
  • the extension tube 231 further branches into the extension tube 232 and the sub tube 235 by the joint J131.
  • the sub tube 235 is connected to the valve V31, whereby the driving pressure is supplied to the valve V31.
  • the extension tube 232 further branches into the extension tube 233 and the sub tube 236 by the joint J132.
  • the sub tube 236 is connected to the valve V32, whereby the driving pressure is supplied to the valve V32.
  • the extension tube 233 further branches into a sub-tube 237 and a sub-tube 238 by a joint J133.
  • the sub tube 237 is connected to the valve V33, whereby the drive pressure is supplied to the valve V33.
  • the sub tube 238 is connected to the valve V34, whereby the driving pressure is supplied to the valve V34.
  • all of the flow control device F1 and the valves V11, V12, V13, and V14 have joints J11, J111, J112, J113, extension tubes 211, 212, 213, and subtubes 214, 215, Although the extension tube 21 and the main tube 20 beyond it are connected via 216, 217 and 218, the extension tube 21 and the flow control device F1 are connected as shown in FIG. 7 without being limited thereto. Also, the driving pressure can be supplied from the flow control device F1 to the valves V11, V12, V13, and V14.
  • a mechanism for distributing the driving pressure supplied from the main tube 20 to the valves V11, V12, V13, and V14 may be provided in the flow control device F1, or the mechanism is drawn into the flow control device F1.
  • the main tube may be branched within the flow control device F1. The same can be applied to the fluid supply lines L2 and L3.
  • a cable for performing power supply and communication becomes simple, noise can be reduced, and delay of transmission speed of the instruction signal can be suppressed. it can.
  • the opening and closing speeds of the fluid control devices such as the valve V and the flow rate control device F can be maintained, and errors do not occur in the opening and closing speeds of the fluid control devices. can do.
  • the variation in the operation of each fluid control device can be suppressed, and the control accuracy of the fluid supply lines L1, L2, and L3 can be improved.
  • the flow rate control device F can be configured, for example, as shown in FIG.
  • FIG. 8 shows the structure of the flow control device F1 constituting the fluid supply line L1
  • a daisy chain in which the flow control device F1 is a master and the plurality of valves V11, V12, V13, and V14 are slaves is formed.
  • the state of the daisy chain it is possible to construct a system that analyzes not only individual valves V and flow control devices F but also the entire line as one device.
  • the senor constitutes an operation information acquisition mechanism for acquiring operation information of the flow control device F1, and as described above, a pressure sensor, a temperature sensor or a magnetic sensor as described above A sensor etc. are comprised singly or in combination.
  • the arithmetic device is a device that controls the flow rate of the flow rate control device F1.
  • the flow control device internal valve FV receives the supply of the drive pressure from the drive pressure supply source G, and supplies the drive pressure to the valves V11, V12, V13, and V14.
  • the information processing module is connected to a sensor or an arithmetic device to collect operation information of the flow control device F1, and executes predetermined information processing on the collected operation information. Furthermore, the information processing module is communicably connected to the valves V11, V12, V13, and V14 that constitute the fluid supply line L1, and can combine operation information of the valves V11, V12, V13, and V14. It is also possible to control the valves V11, V12, V13 and V14 by actively emitting a predetermined instruction signal.
  • valves V11, V12, V13, and V14 that configure the same line are individually identified to diagnose the presence or absence of an abnormality, or each valve V11 viewed from the entire line. , V12, V13, and V14 can be analyzed. Specifically, for diagnosis of each valve V11, V12, V13, V14 by the flow control device F1, for example, pressure measurement means are provided upstream and downstream of the flow control device F1 and each valve V, and opening and closing of each valve V is appropriately made. Control to measure the pressure at the predetermined position.
  • the main cable 10 not only causes the flow control device F to diagnose the presence or absence of an abnormality or causes the operation to be analyzed, but also the operation information of the fluid supply lines L1, L2, and L3 collected in the flow control device F. Can be transmitted to an external information processing apparatus to cause the information processing apparatus to diagnose the presence or absence of an abnormality or to analyze the operation. Even with this configuration, the operations of the fluid supply lines L1, L2, and L3 can be analyzed based on the operation information acquired from the gas unit 1.
  • the external information processing apparatus may constitute a part of the mechanism outside the line, or may be an apparatus connected communicably to the mechanism outside the line. Further, the external information processing apparatus can be configured by a so-called server computer or the like.
  • the valve V can be individually identified and its operation state diagnosed without removing the valve V from the line.
  • the flow control device F provided with a plurality of valves V thereunder, and flow control
  • the information processing apparatus configured to be communicable with the apparatus F can monitor the operating state of each valve V based on the operation of all the plurality of valves V. As a result, it is possible not only to analyze the operation information for each valve V or flow control device F, but also to monitor the entire line precisely.
  • valves V11, V12, V13, and V14 that constitute the fluid supply line L1. This is because the valves V11 and V12 are affected by the opening and closing operations of the valves V13 and V14 even when the opening and closing operations of V13 and V14 are performed and the opening and closing operations of the remaining valves V11 and V12 are not performed.
  • the flow control device F1 connected to the valves V11, V12, V13, V14 does not perform the opening / closing operation in a certain time slot while It is possible to grasp that the valves V13 and V14 are performing the opening and closing operation, and it is possible to analyze precisely the state of the valves V11 and V12 which can not be grasped by the single operation of the valves V11 and V12.
  • the analysis result of the operation information of the entire line can be used, for example, for data mining to determine the presence or absence of an abnormality in the fluid supply lines L1, L2, and L3, and to predict an abnormality.
  • grasp the operation time of the valve V and the flow control device F in the whole line, the number of times the predetermined valve V actually performs the opening and closing operation, and the time affected by the opening and closing operation of the other valve V Since it is possible to determine the timing of maintenance and parts replacement based on the operation time of the entire line, it is possible to detect an abnormality by comparing the opening and closing speeds of each valve V on the same line.
  • the fluid supply lines L1, L2 and L3 described above can also constitute the gas unit 2 shown in FIGS. Unlike the gas unit 1, the fluid supply lines L 1, L 2 and L 3 constituting the gas unit 2 are each separately connected to an off-line mechanism.
  • the communication between the gas unit 2 and the power supply and out-of-line communication is the main cable 10a connecting the mechanism out of line and the fluid supply line L1, the mechanism out of line and the fluid supply line This is made possible by the main cable 10b connecting L2 and the main cable 10c connecting the mechanism outside the line and the fluid supply line L3.
  • the connection from the flow control device F to the valve V is the same as that of the gas unit 1.
  • the driving pressure is supplied from the mechanism outside the line to the gas unit 2 by the main tubes 20a, 20b and 20c for each of the fluid supply lines L1, L2 and L3.
  • the connections from the joints J11, J12, and J13 to the flow control device F and the valve V in each of the fluid supply lines L1, L2, and L3 are the same as in the gas unit 1.
  • valve V includes a valve body 3 and a drive pressure control device 4 connected to the valve body 3.
  • the valve body 3 is, for example, a valve used in a gas line of a fluid control device, such as a diaphragm valve, and includes a drive pressure inlet 3a for introducing at least a drive pressure supplied from the outside into the inside.
  • the drive pressure control device 4 is connected to the drive pressure inlet 3 a of the valve body 3, and supplies the drive pressure supplied from the drive pressure supply source G outside the line to the valve body 3.
  • the drive pressure control device 4 includes drive pressure introduction paths 431, 432, 433 as introduction paths for introducing the drive pressure from the drive pressure supply source G outside the line to the valve main body 3.
  • the drive pressure introduction path 431 is connected to the drive pressure supply source G outside the line.
  • the drive pressure introduction passage 432 connects the drive pressure introduction passage 431 and the drive pressure introduction passage 433 via the automatic valve 411 and the automatic valve 412.
  • the drive pressure introduction path 433 is connected to the drive pressure introduction port 3 a of the valve body 3.
  • the drive pressure control device 4 opens and closes the drive pressure introduction path 433 in conjunction with the automatic valve 411 of NC (normally closed: normally closed) for opening and closing the drive pressure introduction path 431 and A NO (normally open: normally open) automatic valve 412 for opening and closing the exhaust passage 44 for exhausting the drive pressure from the pressure introduction path 433 to the outside of the apparatus A is provided.
  • NC normally closed: normally closed
  • NO normally open: normally open
  • the automatic valves 411, 412 are opened and closed by valve drivers 421, 422, respectively.
  • the valve drive units 421 and 422 receive an instruction signal instructing operation together with power supply from the power supply source E and the instruction signal source Q via the wiring 45, and execute an operation based on the instruction signal.
  • Each of the automatic valves 411 and 412 can be configured by various valves such as a normal solenoid valve, an air operated solenoid valve, or an electric valve.
  • the automatic valves 411 and 412, the valve drive units 421 and 422, the drive pressure introduction paths 431, 432, and 433 are covered with a hollow cap-like casing 40.
  • a cover 40 is integrated with the valve body 3.
  • the valve main body 3 and the casing 40 can be integrated as appropriate by means such as screwing and adhesion with an adhesive.
  • the drive pressure supplied from the drive pressure supply source G outside the line is always automatically set via the drive pressure introduction path 431 regardless of the open / close state of the automatic valves 411 and 412.
  • the valve 411 is supplied.
  • the opening and closing operation of the drive pressure control device 4 will be described. First, when the automatic valve 411 is opened by the valve drive unit 421, the drive pressure supplied to the automatic valve 411 is automatically communicated via the drive pressure introduction passage 432. Derived to Further, the automatic valve 412 is interlocked with the automatic valve 411, and is closed as the automatic valve 411 is opened, the exhaust passage 44 is closed, and the drive pressure is supplied to the valve main body 3 via the drive pressure introduction passage 433. Be done.
  • valve V since the drive pressure control device 4 and the valve body 3 are integrally connected, the wiring connected to the valve V can be simplified. Also, the drive pressure is always supplied up to the position of the automatic valve 411 of the drive pressure control device 4 integrally connected to the valve body 3, and the drive pressure is constant near the drive pressure inlet 3 a of the valve body 3. An elevated state is maintained. As a result, when the valve body 3 is opened and closed, the valve body 3 is not susceptible to the pressure change of the driving pressure, the opening and closing speed can be kept constant, and the accuracy of control of the material gas can be improved.
  • valve V described above has a structure in which the drive pressure control device 4 is connected to the valve main body 3, the present invention is not limited to this, and a space for incorporating the drive pressure control device 4 in the valve main body 3 is secured.
  • the driving pressure control device 4 can be built in the space.
  • the gas units 1 and 2 are both configured by the three fluid supply lines L1, L2 and L3, but the application of the present invention is limited by the number of lines. There is no.
  • the fluid supply lines L1, L2, and L3 are the fluid supply line L
  • the flow control devices F1, F2, and F3 are the flow control device F.
  • a valve V1 is disposed upstream of the flow control device F
  • a valve V2 is disposed downstream thereof. The valves V1 and V2 correspond to the valves V12 and V11 in the fluid supply line L1 described above.
  • the fluid supply line L includes the flow control device F, a valve V1 disposed upstream of the flow control device F, and a valve V2 disposed downstream of the flow control device F.
  • the flow control device F is connected to the mechanism outside the fluid supply line L by the first connection means, and the pressure detection such as the pressure control valve FV and the pressure sensor for detecting the pressure in the flow passage inside Mechanisms P1 and P2 are provided.
  • the pressure detection mechanisms P1 and P2 are provided downstream or upstream of the orifice OR provided in the flow control device F, respectively.
  • valve V1 is connected to the mechanism outside the fluid supply line L by the second connection means branched from the first connection means, and the valve V2 is fluid from the second connection means branched from the first connection means It is connected to a mechanism outside the supply line L.
  • the abnormality diagnosis method of the fluid supply line is for diagnosing abnormalities in the valve FV, the valve V1, and the valve V2 in the flow control device, and includes a valve operation process, a pressure adjustment process, a pressure detection process, and It is comprised by the abnormality determination process.
  • the valve operation step is a step of opening and closing any one or a plurality of valves in the flow control device valve FV, the valve V1, and the valve V2.
  • the pressure adjustment step is a step of bringing a part or all of the flow paths R1 and R2 from the valve portion of the valve V1 to the valve V2 through the flow path of the flow control device F into a vacuum state or a pressurized state.
  • the flow path R1 is a flow path from the valve portion of the valve V1 to the valve portion of the valve FV in the flow control device
  • the flow path R2 is a flow from the valve portion of the valve FV in the flow control device to the valve portion of the valve V2 It is a road.
  • the abnormality diagnosis generates a differential pressure on the upstream side and the downstream side of the valve part of the valves V1 and V2 and the flow control device internal valve FV that perform diagnosis, and the pressure increases or decreases. It is something to detect. Therefore, the differential pressure can be provided either in a vacuum state or in a pressurized state.
  • the pressure detection step the pressure characteristics of part or all of the flow paths R1 and R2 from the valve portion of the valve V1 through the flow path of the flow control device F by the pressure detection mechanisms P1 and P2 over time are measured. It is a process to acquire.
  • the abnormality determination step is a step of comparing the pressure characteristics acquired by the pressure detection mechanisms P1 and P2 with the normal pressure characteristics measured in advance under the same conditions to determine the presence or absence of an abnormality.
  • ⁇ Diagnosis of seat leak abnormality of valve FV in flow control device> When diagnosing a seat leak abnormality of the valve FV in the flow control device, the following steps are sequentially executed.
  • the pressure detection mechanisms P1 and P2 acquire temporal pressure characteristics in the flow path R2.
  • ⁇ Seat leak diagnosis of valve V1> First step (valve operation step): The valve V1 is closed. Second step (valve operation step): The flow control device internal valve FV is opened. Third step (valve operation step): The valve V2 is opened. Fourth step (pressure adjustment step): The inside of the flow paths R1 and R2 from the valve portion of the valve V1 to the valve portion of the valve V2 through the flow path of the flow control device F by vacuuming from the valve V2 side Put in vacuum. Fifth step (valve operation step): Close the valve V2 when the inside of the flow paths R1 and R2 is in a vacuum state. Sixth step (pressure detection step): The pressure detection mechanisms P1 and P2 acquire temporal pressure characteristics in the flow paths R1 and R2. Seventh step (abnormality determination step): The pressure characteristics in the flow paths R1 and R2 acquired by the pressure detection mechanisms P1 and P2 are compared with the pressure characteristics measured in advance under the same conditions, and there is an abnormality Determine
  • valve V1 and the valve V2 are closed, the inside of the flow paths R1 and R2 is maintained in a vacuum state if normal. On the contrary, when the pressure in the flow paths R1 and R2 gradually increases, it is assumed that the fluid leaks from the valve V1 side into the flow paths R1 and R2, and an abnormality occurs in the valve V1. Are diagnosed.
  • ⁇ Seat leak diagnosis of valve V2> First step (valve operation step): The valve V1 is opened. Second step (valve operation step): The flow control device internal valve FV is opened. Third step (valve operation step): The valve V2 is closed. Fourth step (pressure adjustment step): A fluid is caused to flow in from the valve V1 side, and the flow paths R1 and R2 extending from the valve portion of the valve V1 through the flow path of the flow control device F are added Put in pressure.
  • this diagnosis is premised on no leak occurring in the valve FV in the flow control device, it is preferable to perform an abnormality diagnosis also for the valve FV in the flow control device.
  • ⁇ Cv value change diagnosis of valve V2> ⁇ First step (valve operation process): Open valve V1 ⁇ Second step (valve operation process): Open valve FV in the flow control device ⁇ Third step (valve operation process): Close valve V2 4th step (pressure adjustment step): A fluid is caused to flow in from the valve V1 side, and the inside of the flow path R2 is pressurized. Fifth step (valve operation step): Close the valve FV in the flow control device when the inside of the flow path R2 is pressurized. Sixth step (about valve operation): Open the valve V2. Seventh step (pressure detection step): The pressure detection mechanisms P1 and P2 acquire temporal pressure characteristics in the flow path R2.
  • Eighth step (abnormality determination step): The pressure characteristics in the flow path R2 acquired by the pressure detection mechanisms P1 and P2 are compared with the pressure characteristics measured in advance under the same conditions to determine the presence or absence of an abnormality Do.
  • the Cv value is a flow coefficient of fluid under a predetermined condition.
  • the valve FV in the flow control device Since the valve FV in the flow control device is closed and the valve V2 is opened, the fluid flows downstream while exhibiting a predetermined Cv value characteristic if normal.
  • the Cv value characteristic at the normal time when the Cv value characteristic at the normal time is not shown, it is assumed that a failure such as clogging or corrosion occurs in the valve portion of the valve V2, and it is diagnosed that an abnormality occurs in the valve V2. Be done. If the fluid flows out earlier than the Cv value characteristic at the normal time, it is assumed that the valve seat is crushed and the flow path is enlarged, or the stroke is enlarged due to the stagnation of the spring, If the fluid flows out later than the normal Cv value characteristic, it is assumed that clogging has occurred.
  • this diagnosis is premised on no leak occurring in the valve FV in the flow control device, it is preferable to perform an abnormality diagnosis also for the valve FV in the flow control device.
  • the operation of the entire fluid supply line L1 configured by a plurality of fluid control devices such as the valve V2, the valve V1 and the flow rate control device F Can be diagnosed as abnormal.
  • the fluid supply line L1 to which the method for diagnosing abnormality of the fluid supply line is applied has a simple cable for performing power supply and communication and an inner volume of a tube for supplying a driving pressure. Because of the small size, noise reduction, delay suppression of the transmission speed of the instruction signal, maintenance of the opening / closing speed of each fluid control device, and error suppression in the opening / closing speed of each fluid control device are realized. As a result, also in the abnormality diagnosis of each fluid control device, it is possible to perform the fluid supply line L1 more accurately and precisely while suppressing the variation in the operation of each fluid control device.
  • the flow control device F includes the two pressure detection mechanisms P1 and P2, but basically, the same diagnosis can be realized by providing only one of them.
  • the pressure detection mechanisms P1 and P2 measure the pressure on the upstream side and the downstream side of the orifice OR to check whether there is an abnormality in the orifice OR. Cv value change can be diagnosed while determining.
  • the flow path R1 and / or the flow path R1 in a pressurized state or a vacuum state in the abnormality determination step.
  • a time lag occurs in detection of the pressure drop or rise in the pressure detection mechanism P1, P2.
  • valve V1 when the pressure in the flow paths R1 and R2 in a vacuum state increases, if the seat leak occurs in the valve V1, the pressure on the valve V1 side The detection mechanism P1 first detects an increase in pressure, and the pressure detection mechanism P2 delays and detects an increase in pressure. On the other hand, if a seat leak occurs in the valve V2, the pressure detection mechanism P2 on the valve V2 side first detects an increase in pressure, and the pressure detection mechanism P1 delays and detects an increase in pressure.

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Abstract

【課題】複数の流体制御機器によって構成される流体供給ライン全体の動作から流体制御機器の異常を診断する。 【解決手段】流体密に連通する複数の流体制御機器Ｆ、Ｖ１、Ｖ２からなる流体供給ラインの異常を診断する方法は、流量制御装置内バルブＦＶ、バルブＶ１、及びバルブＶ２のいずれか又は複数の弁を開閉する弁操作工程と、バルブＶ１から流量制御装置を介してバルブＶ２に至る流路Ｒ１、Ｒ２内の一部又は全部を真空状態又は加圧状態とする圧力調整工程と、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって、流量制御装置Ｆの流路内の経時的な圧力特性を取得する圧力検出工程と、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって取得された異常診断時の圧力特性と、同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する異常判定工程とを有する。

Description

流体供給ラインの異常診断方法
　本発明は、複数の流体制御機器を有する流体供給ラインの異常を診断する技術に関する。
　半導体製造プロセスに用いられるプロセス流体を供給する流体供給ラインには、自動弁などの流体制御機器が用いられる。
　近年、ALD(Atomic Layer Deposition)等、半導体製造プロセスが高度化し、従来以上にプロセス流体を微細に制御可能な流体供給ラインが求められている。そして、高度化した半導体製造プロセスの要求を満たすため、例えばバルブの状態をより精密に監視可能な流体制御機器が提案されている。
　この点、特許文献１では、第１流路および第２流路が形成されたボディと、第１流路と第２流路との間を連通または遮断する弁体とを備えたバルブであって、ボディは弁体側に位置する第１面と、第１面の反対側に位置する第２面とを有する基部と、第２面と段差部を形成する第３面を有する第１連結部と、第１面と段差部を形成する第４面を有する第２連結部とを有し、第１流路は第１－１流路と第１－２流路とを有し、第１－１流路の第１－１ポートは第３面に開口し、第１－２流路の第１－３ポートは第１－１流路の第１－２ポートに連通し、かつ弁体に向かって開口し、第１－２流路の第１－４ポートは第４面に開口し、第１－３ポートを介して第１流路と前記第２流路とが連通可能であり、第１連結部は別のバルブのボディにおける第２連結部に相当する部分に対し連結され、第１－１流路と別のバルブのボディにおける第１－２流路に相当する流路とが連通するバルブが提案されている。
　また、バルブの異常を診断する技術として、特許文献２では、コントロール弁とオリフィスとこれらの間の上流側圧力を検出する圧力検出器と流量設定回路からなり、上流側圧力を下流側圧力の約２倍以上に保持して下流側の流量を演算し、この演算流量と設定流量との差信号によりコントロール弁を開閉制御する流量制御装置において、設定流量を１００％流量の高設定流量に保持する第１工程と、この高設定流量を０％流量の低設定流量に切り換えて保持し上流側圧力を測定して圧力減衰データを得る第２工程と、同条件でオリフィスに目詰まりがないときに測定された基準圧力減衰データと前記圧力減衰データとを対比する第３工程と、前記低設定流量に切り換えてから所定時間後の圧力減衰データが基準圧力減衰データより所定度以上開離したときに目詰まりを報知する第４工程とからなる圧力式流量制御装置におけるオリフィス目詰検出方法が提案されている。
特開２０１６－２２３５３３号公報 特許第３５４６１５３号公報
　しかし、複数の流体制御機器によって構成される流体供給ラインでは、各流体制御機器は他の流体制御機器の開閉動作や流量変化等による影響を受ける。そのため、流体制御機器ごとに単独での動作異常の有無を診断するだけでは、高度化した半導体製造プロセスに求められる精度を担保できない。
　また、流体制御機器の高機能化によって電気配線やエアチューブが複雑化すると、複雑化した電気配線がノイズや指示信号の伝送速度の遅延を惹き起こすほか、エアチューブの内容積の増加が流体制御機器の開閉速度を低下させたり、各流体制御機器の開閉速度に誤差を生じさせたりすることになる。このことは、異常の有無を診断する場合においても正確且つ精密な診断を妨げる理由となる。
　そこで本発明は、複数の流体制御機器によって構成される流体供給ライン全体の動作から流体制御機器の異常を診断することを目的の一つとする。
　上記目的を達成するため、本発明に係る流体供給ラインの異常診断方法は、流体密に連通する複数の流体制御機器からなる流体供給ラインの異常を診断する方法であって、前記流体供給ラインは、前記流体供給ライン外の機構と第一の接続手段によって接続され、流量制御装置内バルブと流路内圧力を検出する圧力検出機構とを有する流量制御装置と、前記第一の接続手段から分岐した第二の接続手段によって前記流体供給ライン外の機構と接続され、前記流量制御装置の上流側に配された第一バルブと、前記第一の接続手段から分岐した第二の接続手段によって前記流体供給ライン外の機構と接続され、前記流量制御装置の下流側に配された第二バルブと、からなり、前記流量制御装置内バルブ、前記第一バルブ、及び前記第二バルブのいずれか又は複数の弁を開閉する弁操作工程と、前記第一バルブから前記流量制御装置を介して前記第二バルブに至る流路内の一部又は全部を真空状態又は加圧状態とする圧力調整工程と、前記圧力検出機構によって、前記流量制御装置の流路内の経時的な圧力特性を取得する圧力検出工程と、前記圧力検出機構によって取得された異常診断時の圧力特性と、同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する異常判定工程と、を有する。
　また、前記弁操作工程は、前記第一バルブを開弁する第一ステップと、前記流量制御装置内バルブを閉弁する第二ステップと、前記第二バルブを開弁する第三ステップと、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内が真空にされた状態から、前記第二バルブを閉弁する第五ステップによって構成され、前記圧力調整工程は、前記第三ステップ後に、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内を真空状態とする第四ステップによって構成され、前記圧力検出工程は、前記第五ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第六ステップによって構成されるものとしてもよい。
　また、前記弁操作工程は、前記第一バルブを閉弁する第一ステップと、前記流量制御装置内バルブを開弁する第二ステップと、前記第二バルブを開弁する第三ステップと、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内が真空にされた状態から、前記第二バルブを閉弁する第五ステップによって構成され、前記圧力調整工程は、前記第三ステップ後に、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内を真空状態とする第四ステップによって構成され、前記圧力検出工程は、前記第五ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第六ステップによって構成されるものとしてもよい。
　また、前記弁操作工程は、前記第一バルブを開弁する第一ステップと、前記流量制御装置内バルブを開弁する第二ステップと、前記第二バルブを閉弁する第三ステップと、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内が加圧された状態から、前記流量制御装置内バルブを閉弁する第五ステップによって構成され、前記圧力調整工程は、前記第三ステップ後に、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内を加圧状態とする第四ステップによって構成され、前記圧力検出工程は、前記第五ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第六ステップを構成するものとしてもよい。
　また、前記弁操作工程は、前記第一バルブを開弁する第一ステップと、前記流量制御装置内バルブを開弁する第二ステップと、前記第二バルブを閉弁する第三ステップと、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内が加圧された状態から、前記流量制御装置内バルブを閉弁する第五ステップと、前記流量制御装置内バルブの閉弁後に前記第二バルブを開弁する第六ステップと、によって構成され、前記圧力調整工程は、前記第三ステップ後に、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内を加圧状態とする第四ステップによって構成され、前記圧力検出工程は、前記第六ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第七ステップを構成するものとしてもよい。
　また、前記第一の接続手段及び前記第二の接続手段が、前記流体供給ライン外の機構から前記流体制御機器の駆動に用いる駆動流体を供給する駆動圧供給路であるものとしてもよい。
　また、前記第一の接続手段及び前記第二の接続手段が、前記流体供給ライン外の機構と前記流体制御機器とを通信可能にする電気配線であるものとしてもよい。
　また、前記流体供給ラインは複数、並設されてガスユニットを構成しており、前記第一の接続手段は、前記ガスユニット近傍において複数の前記流体供給ライン毎に分岐し、前記複数の流体供給ライン上の所定の流体制御機器毎に接続するものとしてもよい。
　また、前記流量制御装置は、流量レンジ可変型流量制御装置であって、前記流量レンジ可変型流量制御装置は、流量制御装置の流量検出部への流体通路として少なくとも小流量用と大流量用の流体通路を設け、前記小流量用流体通路を通して小流量域の流体を流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを小流量域の検出に適した検出レベルに切換えし、また、前記大流量用流体通路を通して大流量域の流体を前記流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを大流量域の流量の検出に適した検出レベルに切換えすることにより、大流量域と小流量域の流体を夫々切り換えて流量制御するものとしてもよい。
　また、前記流量制御装置は、差圧式流量制御装置であって、前記差圧式流量制御装置は、バルブ駆動部を備えたコントロールバルブ部と、前記コントロールバルブの下流側に設けられたオリフィスと、前記オリフィスの上流側の流体圧力の検出器と、前記オリフィスの下流側の流体圧力の検出器と、前記オリフィスの上流側の流体温度の検出器と、前記各検出器からの検出圧力及び検出温度を用いて流体流量を演算すると共に、演算流量と設定流量との差を演算する流量比較回路を備えた制御演算回路と、を有するものとしてもよい。
　本発明によれば、複数の流体制御機器によって構成される流体供給ライン全体の動作から流体制御機器の異常を診断することができる。
本発明の実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法において、複数の流体供給ラインによって構成されたガスユニットを示した外観斜視図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法において、複数の流体供給ラインによって構成されたガスユニットを示した平面図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法において、複数の流体供給ラインによって構成されたガスユニットを示した側面図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインを構成するバルブについて、磁気センサを備えさせた場合の内部構造を示す断面図であって、（ａ）全体図、（ｂ）部分拡大図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインによって構成されたガスユニットにおいて、ケーブルの配線構造を示した模式図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインによって構成されたガスユニットにおいて、駆動圧供給路の接続構造を示した模式図である。 本実施形態の変形例に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインによって構成されたガスユニットにおいて、駆動圧供給路の接続構造を示した模式図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインを構成する流量制御装置の内部構成を模式的に示した構成図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインによって構成された別形態のガスユニットを示した外観斜視図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインによって構成された別形態のガスユニットにおいて、ケーブルの配線構造を示した模式図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインによって構成された別形態のガスユニットにおいて、駆動圧供給路の接続構造を示した模式図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインに好適に用いられるバルブの内部構造を示した模式図である。 本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法の工程を説明するための模式図である。
　以下、本発明の実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法について説明する。
　まず、本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法を適用するのに適した流体供給ラインについて説明する。図１～図３に示されるガスユニット１は、流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３を備えたものである。
　ここで、「流体供給ライン（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）」とは、ガスユニット（１）の構成単位の一つであって、プロセス流体が流通する経路と、当該経路上に配設された一群の流体制御機器によって構成され、プロセス流体を制御し、独立して被処理体を処理することが可能な最小の構成単位である。ガスユニットは通常、当該流体供給ラインを複数、並設させて構成されている。また、以下の説明において言及する「ライン外」とは、この流体供給ラインを構成しない部分又は機構であって、ライン外の機構には、流体供給ラインの駆動に必要な電力を供給する電力供給減や駆動圧を供給する駆動圧供給源、流体供給ラインと通信可能に構成された装置等が含まれる。
　流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３は夫々、複数の流体制御機器を流体密に連通させたものであり、流体制御機器は、バルブ（Ｖ１１～Ｖ１４、Ｖ２１～Ｖ２４、Ｖ３１～Ｖ３４）や流量制御装置（Ｆ１～Ｆ３）によって構成される。なお、以下の説明では、バルブ（Ｖ１１～Ｖ１４、Ｖ２１～Ｖ２４、Ｖ３１～Ｖ３４）をバルブＶ、流量制御装置（Ｆ１～Ｆ３）を流量制御装置Ｆとまとめて称することがある。
　流量制御装置Ｆは、各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３において流体の流量を制御する装置である。
　この流量制御装置Ｆは例えば、流量レンジ可変型流量制御装置によって構成することができる。流量レンジ可変型流量制御装置は、切換弁の操作により自動的に流量制御域を切換選択できる装置である。
　この流量レンジ可変型流量制御装置は、流量制御装置の流量検出部への流体通路として例えば、小流量用と大流量用の流体通路を有している。小流量用流体通路を通して小流量域の流体を流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを小流量域の検出に適した検出レベルに切換えし、大流量用流体通路を通して大流量域の流体を前記流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを大流量域の流量の検出に適した検出レベルに切換えすることにより、大流量域と小流量域の流体を夫々切り換えて流量制御する。
　また、このような流量レンジ可変型流量制御装置は、オリフィス上流側圧力Ｐ1及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ2を用いて、オリフィスを流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ1（Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ2 m（Ｐ1－Ｐ2）n（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置であって、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路を少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させたものとすることもできる。この場合、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には少なくとも他方のオリフィスへ大流量域の流体を流通させる。
　また、流量のレンジを三段階にすることもできる。この場合、オリフィスを大流量用オリフィスと中流量用オリフィスと小流量用オリフィスの三種類とすると共に、一方の流体通路に第一の切換用バルブと第二の切換用バルブと大流量オリフィスを直列状に介在させ、また他方の流体通路に小流量オリフィスと中流量オリフィスを介在させ、更に、両切換バルブ間を連通する通路と、小流量オリフィスと中流量オリフィス間を連通する通路とを連通させる。
　この流量レンジ可変型流量制御装置によれば、流量制御範囲を拡大させつつ、高い制御精度を維持することができる。
　また、他の例では、流量制御装置Ｆを差圧制御式流量制御装置によって構成することができる。差圧制御式流量制御装置は、ベルヌーイの定理から導出した流量演算式を基礎として用い、これに各種の補正を加えることにより流体流量を演算し、制御する装置である。
　この差圧式流量制御装置は、バルブ駆動部を備えたコントロールバルブ部と、コントロールバルブの下流側に設けられたオリフィスと、オリフィスの上流側の流体圧力Ｐ１の検出器と、オリフィスの下流側の流体圧力Ｐ２の検出器と、オリフィスの上流側の流体温度Ｔの検出器とを有している。そして、内蔵する制御演算回路により、各検出器からの検出圧力及び検出温度を用いて流体流量ＱをＱ＝Ｃ１・Ｐ１／√Ｔ・（（Ｐ２／Ｐ１）ｍ－（Ｐ２／Ｐ１）ｎ）１／２（但しＣ１は比例定数、ｍ及びｎは定数）により演算すると共に、演算流量と設定流量との差を演算する。
　差圧式流量制御装置によれば、インラインの形態で且つ取付姿勢に制約を受けることもなく使用でき、そのうえ圧力の変動に対しても制御流量がほとんど影響されることなしに、高精度な流量計測又は流量制御をリアルタイムで行うことができる。
　このような流量制御装置Ｆは、流量制御装置Ｆの動作情報を取得する動作情報取得機構や、同一のラインを形成するバルブＶの動作情報を集約してバルブＶを監視すると共に、各バルブＶを制御可能な情報処理モジュールを備えている。
　なお、流量制御装置Ｆによって実行可能な処理等については後に詳述するが、動作情報取得機構は例えば、流量制御装置Ｆに内蔵される各種のセンサや流量制御を行う演算装置、これらのセンサや演算装置等の情報の処理を実行する情報処理モジュール等によって構成することができる。また、同一の流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３を構成するバルブＶについて、流量制御装置Ｆを介してライン外の機構から駆動圧を供給させたり、通信可能にさせたりすることで、各バルブＶの動作情報を流量制御装置Ｆに集約させることができる。その結果、各バルブＶの動作情報と流量制御装置Ｆの動作情報と合わせてライン全体の動作情報が構成される。
　バルブＶは、ダイヤフラムバルブ等、流体制御装置のガスラインで使用されるバルブである。
　このバルブＶには、バルブＶの動作情報を取得する動作情報取得機構として、所定の箇所に圧力センサ、温度センサ、リミットスイッチ、あるいは磁気センサ等が取り付けられており、さらにはこれらの圧力センサ、温度センサ、リミットスイッチ、あるいは磁気センサ等によって検出されたデータを処理する情報処理モジュールが内蔵されている。
　なお、動作情報取得機構の取付け位置は制限されず、その機能を鑑みて駆動圧供給路上や電気配線上等のバルブＶ外に取り付けられる場合がある。
　ここで、圧力センサは例えば、所定の空間内の圧力変化を検出する感圧素子や、感圧素子によって検出された圧力の検出値を電気信号に変換する圧電素子等によって構成され、密閉された内部空間の圧力変化を検出する。
　また、温度センサは例えば、流体の温度を測定するセンサであり、流路の近傍に設置して当該箇所の温度を測定することで、当該設置個所の温度を、流路内を流通する流体の温度とみなすことができる。
　また、リミットスイッチは例えば、ピストンの近傍に固定され、ピストンの上下動に応じてスイッチが切り替えられる。これにより、バルブＶの開閉回数や開閉頻度、開閉速度等を検知することができる。
　また、磁気センサは、所定の位置に取り付けられた磁石との距離変化をセンシングすることにより、バルブＶの開閉状態のみならず、開度を計測することができる。
　より具体的には、図４の例に示されるように、磁気センサＳは、ダイヤフラム５１の周縁を押さえる押えアダプタ５２の内側であって、ステム５３に対向する面に取り付けられている。また、バルブＶの開閉動作に応じて摺動するステム５３の押えアダプタ５２近傍には、磁石Ｍが取り付けられている。
　ここで、磁気センサＳは平面コイル、発振回路、及び積算回路を有しており、対向する位置にある磁石Ｍとの距離変化に応じて発振周波数が変化する。そして、この周波数を積算回路で変換して積算値を求めることにより、バルブＶの開閉状態のみならず、開弁時の開度を計測することができる。
　なお、バルブＶをこのように構成することによって、以下のような動作異常の診断を行うことができる。
　即ち、異常診断時のステム５３の上面又は下面の位置が正常時の上面又は下面の位置にあるか否かによって異常の有無を判定することができる。即ち、磁気センサＳと磁石Ｍの距離変化に基づき、ステム５３の作動時の上面位置と下面位置が計測される。この上面位置と下面位置が、予め測定された正常時の上面位置と下面位置と一致するか否かを判別し、一致すれば異常なしと判定でき、一致しなければ異常ありと判定できる。
　また、異常診断時のステム５３のストロークが正常時のストロークと一致するか否かによって異常の有無を判定することができる。即ち、磁気センサＳと磁石Ｍの距離変化に基づき、ステム５３の作動時の上面位置から下面位置までの移動距離（ストローク）が計測される。このストロークが、予め測定された正常時のストロークと一致するか否かを判別し、一致すれば異常なしと判定でき、一致しなければ異常ありと判定できる。
　また、異常診断時のステム５３の作動速度が正常時の作動速度と一致するか否かによって異常の有無を判定することができる。即ち、磁気センサＳと磁石Ｍの距離変化に基づき、ステム５３の作動時の作動速度が計測される。この作動速度が、予め測定された正常時の作動速度と一致するか否かを判別し、一致すれば異常なしと判定でき、一致しなければ異常ありと判定できる。
　これにより、流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３を複雑化させることもなく、正確且つ簡便にバルブＶの動作異常を診断することができる。
　なお、バルブＶ内の情報取得機構によって取得された情報は、同一の流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３を構成する流量制御装置Ｆに集約させた上、流量制御装置Ｆの動作情報と合わせてライン外に設けられた所定の情報処理装置に送信することもできる。
　ガスユニット１は、駆動圧を供給する駆動圧供給源、電力を供給する電力供給源、通信を行う通信装置等によって構成されるライン外の機構と接続されている。
　ここで、ガスユニット１を構成する流体制御機器は、ライン外の機構と所定の流体制御機器とを直接、接続する第一の接続手段と、当該第一の接続手段から分岐して、あるいは当該第一の接続手段が接続する流体制御機器を介して、ライン外の機構と他の流体制御機器とを接続する第二の接続手段によって接続されている。具体的には、流体供給ラインＬ１であれば、後に詳述する図５において、ライン外からの電力供給及びライン外との通信では、メインケーブル１０と延長ケーブル１１が第一の接続手段を構成し、サブケーブル１１１、１１２、１１３、１１４が第二の接続手段を構成する。また、後に詳述する図６において、ライン外からの駆動圧の供給では、メインチューブ２０、延長チューブ２１、及びサブチューブ２１４が第一の接続手段を構成し、延長チューブ２１１、２１２、２１３、サブチューブ２１５、２１６、２１７、２１８が第二の接続手段を構成する。
　電力の供給及びライン外との通信は、図５に示されるように、ライン外の機構とガスユニット１とを接続するメインケーブル１０によって可能となっている。
　メインケーブル１０は、ガスユニット近傍に設けられた分岐コネクタＣ１によって延長ケーブル１１と分岐ケーブル１０１に分岐し、分岐ケーブル１０１は分岐コネクタＣ２によって延長ケーブル１２と分岐ケーブル１０２に分岐し、分岐ケーブル１０２は分岐コネクタＣ３を介して延長ケーブル１３に接続する。
　各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３についてみると、流体供給ラインＬ１では、延長ケーブル１１は流量制御装置Ｆ１に接続している。延長ケーブル１１が接続している流量制御装置Ｆ１からは、サブケーブル１１１、１１２が導出され、サブケーブル１１１はバルブＶ１１に接続し、サブケーブル１１２はバルブＶ１２に接続する。
　また、サブケーブル１１２が接続しているバルブＶ１２からはサブケーブル１１３が導出され、サブケーブル１１３はバルブＶ１３に接続する。さらに、サブケーブル１１３が接続しているバルブＶ１３からはサブケーブル１１４が導出され、サブケーブル１１４はバルブＶ１４に接続する。
　流体供給ラインＬ２も流体供給ラインＬ１と同様の構成によってライン外の機構と接続する。
　即ち、延長ケーブル１２は流量制御装置Ｆ２に接続している。延長ケーブル１２が接続している流量制御装置Ｆ２からは、サブケーブル１２１、１２２が導出され、サブケーブル１２１はバルブＶ２１に接続し、サブケーブル１２２はバルブＶ２２に接続する。
　また、サブケーブル１２２が接続しているバルブＶ２２からはサブケーブル１２３が導出され、サブケーブル１２３はバルブＶ２３に接続する。さらに、サブケーブル１２３が接続しているバルブＶ２３からはサブケーブル１２４が導出され、サブケーブル１２４はバルブＶ２４に接続する。
　流体供給ラインＬ３も流体供給ラインＬ１と同様の構成によってライン外の機構と接続する。
　即ち、延長ケーブル１３は流量制御装置Ｆ３に接続している。延長ケーブル１３が接続している流量制御装置Ｆ３からは、サブケーブル１３１、１３２が導出され、サブケーブル１３１はバルブＶ３１に接続し、サブケーブル１３２はバルブＶ３２に接続する。
　また、サブケーブル１３２が接続しているバルブＶ３２からはサブケーブル１３３が導出され、サブケーブル１３３はバルブＶ３３に接続する。さらに、サブケーブル１３３が接続しているバルブＶ３３からはサブケーブル１３４が導出され、サブケーブル１３４はバルブＶ３４に接続する。
　ここで、流体供給ラインＬ１について、延長ケーブル１１は流量制御装置Ｆ１に接続し、流量制御装置Ｆ１からはサブケーブル１１１、１１２が導出されているが、流量制御装置Ｆ１内において延長ケーブル１１とサブケーブル１１１、１１２は接続している。接続は、流量制御装置Ｆ１内に設けられた情報処理モジュールを介したものとすることもできるし、延長ケーブル１１を分岐させるものとすることもできる。
　また、バルブＶ１２、Ｖ１３においても、サブケーブル１１２はサブケーブル１１３と接続し、サブケーブル１１３はサブケーブル１１４と接続している。このサブケーブル１１２、１１３、１１４の接続についても、バルブＶ１２、Ｖ１３内に設けられた情報処理モジュールを介したものとすることもできるし、サブケーブル１１２、１１３を分岐させるものとすることもできる。
　いずれの接続についても、ライン外の機構とバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４が流量制御装置Ｆ１を介して通信可能に接続されると共に、電力が供給されるようになっていればよい。
　なお、他の流体供給ラインＬ２、Ｌ３における接続についても同様であって、バルブＶ２１、Ｖ２２、Ｖ２３、Ｖ２４は、メインケーブル１０、延長ケーブル１２、及びサブケーブル１２１、１２２、１２３、１２４により、流量制御装置Ｆ２を介してライン外の機構と接続している。また、バルブＶ３１、Ｖ３２、Ｖ３３、Ｖ３４は、メインケーブル１０、延長ケーブル１３、及びサブケーブル１３１、１３２、１３３、１３４により、流量制御装置Ｆ３を介してライン外の機構と接続している。
　駆動圧は、図６に示されるように、ライン外の機構からガスユニット１へメインチューブ２０によって供給される。
　メインチューブ２０は、ガスユニット１近傍に設けられた分岐継手Ｊ１により、流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３毎に駆動圧を供給するための延長チューブ２１、２２、２３に分岐する。
　各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３についてみると、流体供給ラインＬ１では、延長チューブ２１は継手Ｊ１１によって延長チューブ２１１とサブチューブ２１４に分岐する。サブチューブ２１４は流量制御装置Ｆ１に接続しており、これにより流量制御装置Ｆ１に駆動圧が供給される。
　延長チューブ２１１はさらに、継手Ｊ１１１によって延長チューブ２１２とサブチューブ２１５に分岐する。サブチューブ２１５はバルブＶ１１に接続しており、これによりバルブＶ１１に駆動圧が供給される。
　同様に、延長チューブ２１２はさらに、継手Ｊ１１２によって延長チューブ２１３とサブチューブ２１６に分岐する。サブチューブ２１６はバルブＶ１２に接続しており、これによりバルブＶ１２に駆動圧が供給される。
　また、延長チューブ２１３はさらに、継手Ｊ１１３によってサブチューブ２１７とサブチューブ２１８に分岐する。サブチューブ２１７はバルブＶ１３に接続しており、これによりバルブＶ１３に駆動圧が供給される。また、サブチューブ２１８はバルブＶ１４に接続しており、これによりバルブＶ１４に駆動圧が供給される。
　流体供給ラインＬ２にも流体供給ラインＬ１と同様の構成によって駆動圧が供給される。
　即ち、延長チューブ２２は継手Ｊ１２によって延長チューブ２２１とサブチューブ２２４に分岐する。サブチューブ２２４は流量制御装置Ｆ２に接続しており、これにより流量制御装置Ｆ２に駆動圧が供給される。
　延長チューブ２２１はさらに、継手Ｊ１２１によって延長チューブ２２２とサブチューブ２２５に分岐する。サブチューブ２２５はバルブＶ２１に接続しており、これによりバルブＶ２１に駆動圧が供給される。
　同様に、延長チューブ２２２はさらに、継手Ｊ１２２によって延長チューブ２２３とサブチューブ２２６に分岐する。サブチューブ２２６はバルブＶ２２に接続しており、これによりバルブＶ２２に駆動圧が供給される。
　また、延長チューブ２２３はさらに、継手Ｊ１２３によってサブチューブ２２７とサブチューブ２２８に分岐する。サブチューブ２２７はバルブＶ２３に接続しており、これによりバルブＶ２３に駆動圧が供給される。また、サブチューブ２２８はバルブＶ２４に接続しており、これによりバルブＶ２４に駆動圧が供給される。
　流体供給ラインＬ３にも流体供給ラインＬ１と同様の構成によって駆動圧が供給される。
　即ち、延長チューブ２３は継手Ｊ１３によって延長チューブ２３１とサブチューブ２３４に分岐する。サブチューブ２３４は流量制御装置Ｆ３に接続しており、これにより流量制御装置Ｆ３に駆動圧が供給される。
　延長チューブ２３１はさらに、継手Ｊ１３１によって延長チューブ２３２とサブチューブ２３５に分岐する。サブチューブ２３５はバルブＶ３１に接続しており、これによりバルブＶ３１に駆動圧が供給される。
　同様に、延長チューブ２３２はさらに、継手Ｊ１３２によって延長チューブ２３３とサブチューブ２３６に分岐する。サブチューブ２３６はバルブＶ３２に接続しており、これによりバルブＶ３２に駆動圧が供給される。
　また、延長チューブ２３３はさらに、継手Ｊ１３３によってサブチューブ２３７とサブチューブ２３８に分岐する。サブチューブ２３７はバルブＶ３３に接続しており、これによりバルブＶ３３に駆動圧が供給される。また、サブチューブ２３８はバルブＶ３４に接続しており、これによりバルブＶ３４に駆動圧が供給される。
　ここで、流体供給ラインＬ１について、流量制御装置Ｆ１とバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４はいずれも、継手Ｊ１１、Ｊ１１１、Ｊ１１２、Ｊ１１３、延長チューブ２１１、２１２、２１３、及びサブチューブ２１４、２１５、２１６、２１７、２１８を介して延長チューブ２１やその先のメインチューブ２０と接続しているが、これに限らず、図７に示されるように、延長チューブ２１と流量制御装置Ｆ１とを接続した上、流量制御装置Ｆ１から駆動圧を各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４に供給することもできる。この場合、流量制御装置Ｆ１内に、メインチューブ２０から供給された駆動圧を各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４に分配するための機構を設けてもよいし、流量制御装置Ｆ１内に引き込んだメインチューブを流量制御装置Ｆ１内で分岐させるようにしてもよい。
　なお、流体供給ラインＬ２、Ｌ３についてもこれと同様にすることができる。
　このような流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３の構成によれば、電力供給や通信を行うためのケーブルがシンプルなものとなり、ノイズを低減できると共に、指示信号の伝送速度の遅延を抑制することができる。また、駆動圧を供給するチューブの内容積を小さくできるため、バルブＶや流量制御装置Ｆといった各流体制御機器の開閉速度を維持すると共に、各流体制御機器の開閉速度に誤差を生じさせないようにすることができる。その結果、流体制御機器ごとの動作のばらつきを抑えて流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３の制御精度を向上させることができる。
　また、このような流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３において、流量制御装置Ｆは例えば、図８に示すように構成することができる。なお、図８は、流体供給ラインＬ１を構成する流量制御装置Ｆ１の構造を示しているが、他の流体供給ラインＬ２、Ｌ３夫々を構成する流量制御装置Ｆ２、Ｆ３についても同様である。
　この例では、流体供給ラインＬ１において、流量制御装置Ｆ１をマスタ、複数のバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４をスレーブとしたデイジーチェーンが形成される。そしてこの場合、デイジーチェーンの状態を利用することで、個々のバルブＶや流量制御装置Ｆのみならず、ライン全体を一つの装置とみなして動作を解析するシステムを構築することができる。
　まず、流量制御装置Ｆ１内の構成について言及すると、センサは、流量制御装置Ｆ１の動作情報を取得する動作情報取得機構を構成するものであって、上述したように圧力センサ、温度センサ、あるいは磁気センサ等を単独又は複数組み合わせて構成される。また、演算装置は、流量制御装置Ｆ１の流量制御を行う装置である。また、流量制御装置内バルブＦＶは、駆動圧供給源Ｇから駆動圧の供給を受けると共に、当該駆動圧をバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４へ供給する。
　情報処理モジュールは、センサや演算装置と接続されて流量制御装置Ｆ１の動作情報を収集し、当該収集した動作情報に対して所定の情報処理を実行する。さらに情報処理モジュールは、流体供給ラインＬ１を構成するバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４と通信可能に接続しており、各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４の動作情報を集約することができると共に、所定の指示信号を能動的に発して各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４を制御することもできる。
　流量制御装置Ｆ１をこのように構成した場合には、同一のラインを構成する各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４を個別に識別して異常の有無を診断したり、ライン全体からみた各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４の動作を解析したりすることができる。
　具体的に、流量制御装置Ｆ１による各バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４の診断は例えば、流量制御装置Ｆ１や各バルブＶの上流及び下流に圧力測定手段を設け、各バルブＶの開閉を適宜に制御して、所定位置での圧力を測定する。この圧力の測定値から、所定のバルブＶを閉じていれば検出されないはずの圧力を検出したり、所定のバルブＶを開いていれば検出されるはずの圧力を検出できなかったりすることで、バルブＶの異常を診断することができる。また、バルブＶの開閉状態の切り替えに応じた所定位置での圧力降下特性を、正常な状態における圧力降下特性と対比することにより、シートリークなどのバルブＶの不具合を診断することもできる。なお、各圧力測定手段による測定値は流量制御装置Ｆの情報処理モジュールに集約されるようにするとよい。
　なお、流量制御装置Ｆに異常の有無を診断させたり、動作を解析させたりするのみならず、流量制御装置Ｆに集約された各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３の動作情報を、メインケーブル１０を介して外部の情報処理装置に対して送信し、当該情報処理装置において異常の有無を診断させたり、動作を解析させたりすることもできる。このように構成しても、ガスユニット１から取得した動作情報に基づいて各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３の動作を解析することができる。なお、外部の情報処理装置は、ライン外の機構の一部を構成するものであってもよいし、ライン外の機構と通信可能に接続された装置であってもよい。また、当該外部の情報処理装置は所謂サーバコンピュータ等によって構成することができる。
　これにより、多数の流体制御機器が密に集積したガスユニット１において、バルブＶをラインから取り外したりすることなく、個別に識別してその動作状態を診断することができる。また、流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３毎に各バルブＶが流量制御装置Ｆを介してライン外の機構と接続しているため、複数のバルブＶを配下に備える流量制御装置Ｆや、流量制御装置Ｆと通信可能に構成された情報処理装置は、複数のバルブＶ全体の動作を踏まえながら各バルブＶの動作状態を監視することができる。その結果、バルブＶや流量制御装置Ｆ毎に動作情報を解析するのみならず、ライン全体を精密に監視することが可能である。
　なお、ライン全体の動作の解析が流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３の精密な監視に資するのは例えば、流体供給ラインＬ１を構成する複数のバルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４について、一部のバルブＶ１３、Ｖ１４は開閉動作が実行され、残るバルブＶ１１、Ｖ１２は開閉動作が実行されない場合でも、バルブＶ１１、Ｖ１２はバルブＶ１３、Ｖ１４による開閉動作の影響を受けるためである。
　そして、流体供給ラインＬ１全体の動作情報に基づけば、バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１４と接続する流量制御装置Ｆ１はある時間帯において、バルブＶ１１、Ｖ１２が開閉動作を実行していない一方で、バルブＶ１３、Ｖ１４が開閉動作を実行していることを把握することができ、バルブＶ１１、Ｖ１２の単独の動作では把握できない、バルブＶ１１、Ｖ１２の状態を精密に解析することができる。
　また、このようなライン全体の動作情報の解析結果は例えば、データマイニングを行って流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３の異常の有無の判定や異常の予期等に利用することができる。具体的には、ライン全体でのバルブＶや流量制御装置Ｆの動作時間、所定のバルブＶが実際に開閉動作を行った回数と他のバルブＶの開閉動作の影響を受けた時間などを把握することができることから、ライン全体での動作時間に基づいてメンテナンスや部品交換の時期を判定したり、同一ライン上のバルブＶ毎の開閉速度を比較して異常を検知したりすることができる。
　なお、上述した流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３は、図９～図１１に示すガスユニット２を構成することもできる。
　ガスユニット１と異なり、ガスユニット２を構成する流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３は夫々、別個にライン外の機構と接続されている。
　即ち、ガスユニット２と電力の供給及びライン外との通信は、図１０に示されるように、ライン外の機構と流体供給ラインＬ１とを接続するメインケーブル１０ａ、ライン外の機構と流体供給ラインＬ２とを接続するメインケーブル１０ｂ、ライン外の機構と流体供給ラインＬ３とを接続するメインケーブル１０ｃによって可能となっている。
　なお、各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３において、流量制御装置ＦからバルブＶへの接続はガスユニット１と同様である。
　また、駆動圧は図１１に示されるように、ライン外の機構からガスユニット２へ、各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３毎にメインチューブ２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって供給される。
　なお、各流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３において、継手Ｊ１１、Ｊ１２、Ｊ１３から流量制御装置ＦやバルブＶへの接続はガスユニット１と同様である。
　なお、上述の本実施形態に係る流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３において好適に用いられるバルブＶの内部構造を示した模式図を図１２に示す。
　バルブＶは、バルブ本体３とバルブ本体３に連結された駆動圧制御装置４とを備える。
　バルブ本体３は、例えばダイヤフラムバルブなど、流体制御装置のガスラインで使用されるバルブであって、少なくとも外部から供給される駆動圧を内部に導入するための駆動圧導入口３ａを備えている。
　駆動圧制御装置４は、バルブ本体３の駆動圧導入口３ａに連結されており、ライン外の駆動圧供給源Ｇから供給される駆動圧をバルブ本体３に供給する。
　駆動圧制御装置４には、ライン外の駆動圧供給源Ｇからバルブ本体３に駆動圧を導入する導入路として、駆動圧導入路４３１、４３２、４３３を備えている。駆動圧導入路４３１はライン外の駆動圧供給源Ｇに接続している。駆動圧導入路４３２は、自動弁４１１及び自動弁４１２を介して、駆動圧導入路４３１と駆動圧導入路４３３を連結している。駆動圧導入路４３３は、バルブ本体３の駆動圧導入口３ａに連結している。
　また、駆動圧制御装置４には、駆動圧導入路４３１を開閉するN.C.（ノーマルクローズ：常時閉）の自動弁４１１と、自動弁４１１と連動して駆動圧導入路４３３を開閉すると共に、駆動圧導入路４３３から駆動圧を装置外Ａへ排気する排気通路４４を開閉するN.O.（ノーマルオープン：常時開）の自動弁４１２とが設けられている。
　自動弁４１１、４１２は夫々、弁駆動部４２１、４２２によって開閉させられる。弁駆動部４２１、４２２は、電源供給源E及び指示信号発信源Ｑから配線４５を介して電源の供給と共に動作を指示する指示信号を受け、指示信号に基づいた動作を実行する。
　なお、自動弁４１１、４１２はいずれも、通常の電磁弁やエアー作動型電磁弁、あるいは電気弁など、各種の弁によって構成することができる。
　この駆動圧制御装置４は、自動弁４１１、４１２、弁駆動部４２１、４２２、駆動圧導入路４３１、４３２、４３３等が中空のキャップ状のケーシング４０で覆われており、バルブ本体３にケーシング４０を被せるようにして、バルブ本体３と一体化させられている。
　なお、バルブ本体３とケーシング４０は適宜、ネジ止めや接着剤による接着等の手段によって一体化させることができる。
　このような構成からなる駆動圧制御装置４では、自動弁４１１、４１２の開閉状態にかかわらず、ライン外の駆動圧供給源Gから供給される駆動圧が常に駆動圧導入路４３１を介して自動弁４１１のところまで供給されている。
　駆動圧制御装置４の開閉動作について説明すると、まず自動弁４１１が弁駆動部４２１によって開弁させられると、自動弁４１１まで供給されていた駆動圧は駆動圧導入路４３２を介して自動弁４１２へ導出される。また、自動弁４１２は自動弁４１１と連動しており、自動弁４１１の開弁に伴って閉弁して排気通路４４が閉じ、駆動圧導入路４３３を介してバルブ本体３へ駆動圧が供給される。
　一方、自動弁４１１が弁駆動部４２１によって閉弁させられると、駆動圧供給源Ｇから供給される駆動圧は自動弁４１１によって遮られる。また、自動弁４１１に連動する自動弁４１２は開弁し、排気通路４４が開かれてバルブ本体３内の駆動圧が排気される。
　このようなバルブＶによれば、駆動圧制御装置４とバルブ本体３とが一体的に連結していることから、バルブＶに接続する配線をシンプルにすることができる。
　また、常にバルブ本体３と一体的に連結された駆動圧制御装置４の自動弁４１１のところまで駆動圧が供給されており、バルブ本体３の駆動圧導入口３ａに近いところで駆動圧が一定圧力に高められた状態が維持される。その結果、バルブ本体３は開閉の際、駆動圧の圧力変化を受けにくく、開閉速度を一定に保つことができ、ひいては材料ガスの制御の精度を向上させることができる。
　なお、上述したバルブＶは、バルブ本体３に駆動圧制御装置４を連結させた構造としたが、これに限らず、バルブ本体３内に駆動圧制御装置４を内蔵させるための空間を確保し、当該空間に駆動圧制御装置４を内蔵させることもできる。
　なお、上述の本実施形態について、ガスユニット１、２はいずれも、３つの流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３によって構成されるものとしたが、本発明の適用がラインの数によって制限されることはない。
　次に、以上の構成からなる流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３に対し、本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法を適用して異常を検出する流れについて、図１３を参照して説明する。
　なお、以下の説明及び図１３では、流体供給ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３を流体供給ラインＬとし、流量制御装置Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３は流量制御装置Ｆとしている。また、流量制御装置Ｆの上流にバルブＶ１、下流にＶ２を配しているが、このバルブＶ１、Ｖ２は夫々、上述した流体供給ラインＬ１ではバルブＶ１２、Ｖ１１に対応する。
　流体供給ラインＬは上述の通り、流量制御装置Ｆ、流量制御装置Ｆの上流側に配されたバルブＶ１、及び流量制御装置Ｆの下流側に配されたバルブＶ２を備えている。また、流量制御装置Ｆは第一の接続手段によって流体供給ラインＬ外の機構と接続されており、内部には流量制御装置内バルブＦＶと、流路内圧力を検出する圧力センサ等の圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２が設けられている。なお、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２は夫々、流量制御装置Ｆ内に設けられているオリフィスＯＲを挟んで下流側又は上流側に設けられている。
　また、バルブＶ１は、第一の接続手段から分岐した第二の接続手段によって流体供給ラインＬ外の機構と接続され、バルブＶ２は、第一の接続手段から分岐した第二の接続手段によって流体供給ラインＬ外の機構と接続されている。
　ここで、本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法は、流量制御装置内バルブＦＶ、バルブＶ１、バルブＶ２の異常を診断するもので、弁操作工程、圧力調整工程、圧力検出工程、及び異常判定工程によって構成される。
　弁操作工程は、流量制御装置内バルブＦＶ、バルブＶ１、及びバルブＶ２のいずれか又は複数の弁を開閉する工程である。
　圧力調整工程は、バルブＶ１の弁部から流量制御装置Ｆの流路を介してバルブＶ２に至る流路Ｒ１、Ｒ２の一部又は全部を真空状態又は加圧状態とする工程である。なお、流路Ｒ１はバルブＶ1の弁部から流量制御装置内バルブＦＶの弁部に至る流路であり、流路Ｒ２は流量制御装置内バルブＦＶの弁部からバルブＶ２の弁部に至る流路である。また、真空状態又は加圧状態に関して、異常診断は、診断を行うバルブＶ１、Ｖ２、流量制御装置内バルブＦＶの弁部の上流側と下流側に差圧を生じさせ、圧力の上昇又は下降を検出するものである。そのため、差圧の設け方は真空状態又は加圧状態のいずれによることもできる。
　圧力検出工程は、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって、バルブＶ１の弁部から流量制御装置Ｆの流路を介してバルブＶ２に至る流路Ｒ１、Ｒ２の一部又は全部の経時的な圧力特性を取得する工程である。
　異常判定工程は、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって取得された圧力特性と、同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する工程である。
＜流量制御装置内バルブＦＶのシートリーク異常診断＞
　流量制御装置内バルブＦＶのシートリーク異常を診断する場合、以下のステップを順次、実行する。
　・第一ステップ（弁操作工程）：バルブＶ１を開弁する。
　・第二ステップ（弁操作工程）：流量制御装置内バルブＦＶを閉弁する。
　・第三ステップ（弁操作工程）：バルブＶ２を開弁する。
　・第四ステップ（圧力調整工程）：バルブＶ２側から真空引きすることにより、流量制御装置内バルブＦＶの弁部からバルブＶ２の弁部に至る流路Ｒ２内を真空状態とする。
　・第五ステップ（弁操作工程）：流路Ｒ２内が真空状態になったところでバルブＶ２を閉弁する。
　・第六ステップ（圧力検出工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって、流路Ｒ２内の経時的な圧力特性を取得する。
　・第七ステップ（異常判定工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって取得した流路Ｒ２内の圧力特性と同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する。
　流量制御装置内バルブＦＶとバルブＶ２が閉弁していることから、正常であれば、流路Ｒ２内は真空状態を維持する。これに反して流路Ｒ２内の圧力が徐々に上昇する場合には、流体が流路Ｒ１から流路Ｒ２内にリークしていることが想定され、流量制御装置内バルブＦＶに異常が発生していると診断される。
　なお、この診断は、バルブＶ２及びバルブＶ１にリークが発生していないことが前提であるため、バルブＶ２及びバルブＶ１それぞれについても併せて異常診断を行うことが好ましい。
＜バルブＶ１のシートリーク異常診断＞
　・第一ステップ（弁操作工程）：バルブＶ１を閉弁する。
　・第二ステップ（弁操作工程）：流量制御装置内バルブＦＶを開弁する。
　・第三ステップ（弁操作工程）：バルブＶ２を開弁する。
　・第四ステップ（圧力調整工程）：バルブＶ２側から真空引きすることにより、バルブＶ１の弁部から流量制御装置Ｆの流路を介してバルブＶ２の弁部に至る流路Ｒ１、Ｒ２内を真空状態とする。
　・第五ステップ（弁操作工程）：流路Ｒ１、Ｒ２内が真空状態になったところでバルブＶ２を閉弁する。
　・第六ステップ（圧力検出工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって、流路Ｒ１、Ｒ２内の経時的な圧力特性を取得する。
　・第七ステップ（異常判定工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって取得した流路Ｒ１、Ｒ２内の圧力特性と同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する。
　バルブＶ１とバルブＶ２が閉弁していることから、正常であれば、流路Ｒ１、Ｒ２内は真空状態を維持する。これに反して流路Ｒ１、Ｒ２内の圧力が徐々に上昇する場合には、流体がバルブＶ１側から流路Ｒ１、Ｒ２内にリークしていることが想定され、バルブＶ１に異常が発生していると診断される。
　なお、この診断は、バルブＶ２にリークが発生していないことが前提であるため、バルブＶ２についても併せて異常診断を行うことが好ましい。
＜バルブＶ２のシートリーク異常診断＞
　・第一ステップ（弁操作工程）：バルブＶ１を開弁する。
　・第二ステップ（弁操作工程）：流量制御装置内バルブＦＶを開弁する。
　・第三ステップ（弁操作工程）：バルブＶ２を閉弁する。
　・第四ステップ（圧力調整工程）：バルブＶ１側から流体を流入させ、バルブＶ１の弁部から流量制御装置Ｆの流路を介してバルブＶ２の弁部に至る流路Ｒ１、Ｒ２内を加圧状態とする。
　・第五ステップ（弁操作工程）：流路Ｒ１、Ｒ２内が加圧状態になったところで流量制御装置内バルブＦＶを閉弁する。
　・第六ステップ（圧力検出工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって、流路Ｒ２内の経時的な圧力特性を取得する。
　・第七ステップ（異常判定工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって取得した流路Ｒ２内の圧力特性と同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する。
　流量制御装置内バルブＦＶとバルブＶ２が閉弁していることから、正常であれば、流路Ｒ２内は加圧状態を維持する。これに反して流路Ｒ２内の圧力が徐々に降下する場合には、流体がバルブＶ２から下流へリークしていることが想定され、バルブＶ２に異常が発生していると診断される。
　なお、この診断は、流量制御装置内バルブＦＶにリークが発生していないことが前提であるため、流量制御装置内バルブＦＶについても併せて異常診断を行うことが好ましい。
＜バルブＶ２のＣｖ値変化診断＞
　・第一ステップ（弁操作工程）：バルブＶ１を開弁する
　・第二ステップ（弁操作工程）：流量制御装置内バルブＦＶを開弁する
　・第三ステップ（弁操作工程）：バルブＶ２を閉弁する
　・第四ステップ（圧力調整工程）：バルブＶ１側から流体を流入させ、流路Ｒ２内を加圧状態とする。
　・第五ステップ（弁操作工程）：流路Ｒ２内が加圧状態になったところで流量制御装置内バルブＦＶを閉弁する
　・第六ステップ（弁操作程）：バルブＶ２を開弁する。
　・第七ステップ（圧力検出工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって、流路Ｒ２内の経時的な圧力特性を取得する。
　・第八ステップ（異常判定工程）：圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によって取得した流路Ｒ２内の圧力特性と同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する。
　なお、Ｃｖ値は、所定条件における流体の流量係数である。
　流量制御装置内バルブＦＶが閉弁している一方、バルブＶ２が開弁していることから、正常であれば、流体は所定のＣｖ値特性を示しながら下流へ流出する。これに対して正常時のＣｖ値特性を示さない場合には、バルブＶ２の弁部に目詰まりや腐食等の不具合が起きていることが想定され、バルブＶ２に異常が発生していると診断される。なお、正常時のＣｖ値特性よりも早く流体が流出する場合には、弁座がつぶれて流路が大きくなっていたり、バネのへたりによってストロークが大きくなったりしていることが想定され、正常時のＣｖ値特性よりも遅く流体が流出する場合には目詰まりが起きていることが想定される。
　なお、この診断は、流量制御装置内バルブＦＶにリークが発生していないことが前提であるため、流量制御装置内バルブＦＶについても併せて異常診断を行うことが好ましい。
　以上の本実施形態に係る流体供給ラインの異常診断方法によれば、バルブＶ２、バルブＶ１、及び流量制御装置Ｆといった複数の流体制御機器によって構成される流体供給ラインＬ１全体の動作から流体制御機器の異常を診断することができる。特に、この流体供給ラインの異常診断方法が適用される流体供給ラインＬ１は上述の通り、電力供給や通信を行うためのケーブルがシンプルに構成されると共に、駆動圧を供給するチューブの内容積が小さいため、ノイズの低減、指示信号の伝送速度の遅延抑制、各流体制御機器の開閉速度の維持、各流体制御機器の開閉速度に誤差抑制を実現している。その結果、各流体制御機器の異常診断についても、流体制御機器ごとの動作のばらつきを抑えて流体供給ラインＬ１をより正確且つ精密に行うことが可能である。
　なお、本実施形態では、流量制御装置Ｆが二つの圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２を備えるものとしたが、基本的にはどちらか一方のみを設ければ同様の診断を実現することができる。
　ただし、バルブＶ２のＣｖ値変化診断においては、オリフィスＯＲを閉じることができないため、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２によってオリフィスＯＲの上流側と下流側の圧力を測定することで、オリフィスＯＲの異常の有無を判定しながら、Ｃｖ値変化を診断することができる。
　また、二つの圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２がオリフィスＯＲを挟んで上流側と下流側に設けられていることから、異常判定工程において、加圧状態又は真空状態とされた流路Ｒ１及び／又は流路Ｒ２内の圧力が降下又は上昇する場合、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２で圧力の降下又は上昇の検出にタイムラグが生じる。例えば、上述した＜バルブＶ１のシートリーク異常診断＞において、真空状態とされた流路Ｒ１、Ｒ２内の圧力が上昇する場合、バルブＶ１にシートリークが発生していれば、バルブＶ１側の圧力検出機構Ｐ１が先に圧力の上昇を検出し、圧力検出機構Ｐ２が遅れて圧力の上昇を検出する。他方、バルブＶ２にシートリークが発生していれば、バルブＶ２側の圧力検出機構Ｐ２が先に圧力の上昇を検出し、圧力検出機構Ｐ１が遅れて圧力の上昇を検出する。
　なお、他の異常診断についても同様、＜流量制御装置内バルブＦＶのシートリーク異常診断＞であれば流量制御装置内バルブＦＶとバルブＶ２、＜バルブＶ２のシートリーク異常診断＞であればバルブＶ２と流量制御装置内バルブＦＶ、＜バルブＶ２のＣｖ値変化診断＞であればバルブＶ２と流量制御装置内バルブＦＶのいずれで異常が発生しているかを判別することができる。
　このように、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２における圧力の降下又は上昇のタイムラグを検出することで、閉空間を構成する上流側と下流側の流体制御機器の弁部のいずれに異常が生じているかを判別することができる。特に、圧力検出機構Ｐ１、Ｐ２の間にオリフィスＯＲが介在することで、タイムラグが現実的に測定可能な程度のものとなる。また、上述した流体供給ラインＬのように配線を行い、複数の流体制御機器ごとの動作のばらつきを抑えた精度の高いガスユニット１として構成すれば、微小な時間のタイムラグも精度よく検出することができる。
　なお、本発明の実施形態は上述した実施形態に限定されることはなく、当業者であれば、本発明の範囲を逸脱しない範囲において、構成、手段、あるいは機能の変更や追加等が種々、可能である。
　１、２　　　ガスユニット
　１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ　　　メインケーブル
　１０１、１０２　　　分岐ケーブル
　１１、１２、１３　　　延長ケーブル
　１１１、１１２、１１３、１１４　　　サブケーブル
　１２１、１２２、１２３、１２４　　　サブケーブル
　１３１、１３２、１３３、１３４　　　サブケーブル
　２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ　　　メインチューブ
　２１、２２、２３　　　延長チューブ
　２１１、２１２、２１３　　　延長チューブ
　２１４、２１５、２１６、２１７、２１８　　　サブチューブ
　２２１、２２２、２２３　　　延長チューブ
　２２４、２２５、２２６、２２７、２２８　　　サブチューブ
　２３１、２３２、２３３　　　延長チューブ
　２３４、２３５、２３６、３２７、２３８　　　サブチューブ
　Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３　　　流体供給ライン
　Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３　　　分岐コネクタ
　Ｆ（Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３）　　　流量制御装置
　ＦＶ　　　流量制御装置内バルブ
　Ｊ１　　　分岐継手
　Ｊ１１、Ｊ１１１、Ｊ１１２、Ｊ１１３　　　継手
　Ｊ１２、Ｊ１２１、Ｊ１２２、Ｊ１２３　　　継手
　Ｊ１３、Ｊ１３１、Ｊ１３２、Ｊ１３３　　　継手
　ＯＲ　　　オリフィス
　Ｐ１、Ｐ２　　　圧力検出機構
　Ｒ１、Ｒ２　　　流路
　Ｖ（Ｖ１１～Ｖ１４、Ｖ２１～２４、Ｖ３１～３４）、Ｖ１、Ｖ２　　　バルブ

 

Claims (10)

  1. 　流体密に連通する複数の流体制御機器からなる流体供給ラインの異常を診断する方法であって、
    　前記流体供給ラインは、
    　前記流体供給ライン外の機構と第一の接続手段によって接続され、流量制御装置内バルブと流路内圧力を検出する圧力検出機構とを有する流量制御装置と、
    　前記第一の接続手段から分岐した第二の接続手段によって前記流体供給ライン外の機構と接続され、前記流量制御装置の上流側に配された第一バルブと、
    　前記第一の接続手段から分岐した第二の接続手段によって前記流体供給ライン外の機構と接続され、前記流量制御装置の下流側に配された第二バルブと、からなり、
    　前記流量制御装置内バルブ、前記第一バルブ、及び前記第二バルブのいずれか又は複数の弁を開閉する弁操作工程と、
    　前記第一バルブから前記流量制御装置を介して前記第二バルブに至る流路内の一部又は全部を真空状態又は加圧状態とする圧力調整工程と、
    　前記圧力検出機構によって、前記流量制御装置の流路内の経時的な圧力特性を取得する圧力検出工程と、
    　前記圧力検出機構によって取得された異常診断時の圧力特性と、同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する異常判定工程と、を有する、
    　流体供給ラインの異常診断方法。
  2. 　前記弁操作工程は、
    　前記第一バルブを開弁する第一ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブを閉弁する第二ステップと、
    　前記第二バルブを開弁する第三ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内が真空にされた状態から、前記第二バルブを閉弁する第五ステップによって構成され、
    　前記圧力調整工程は、
    　前記第三ステップ後に、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内を真空状態とする第四ステップによって構成され、
    　前記圧力検出工程は、
    　前記第五ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第六ステップによって構成される、
    　請求項１記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  3. 　前記弁操作工程は、
    　前記第一バルブを閉弁する第一ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブを開弁する第二ステップと、
    　前記第二バルブを開弁する第三ステップと、
    　前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内が真空にされた状態から、前記第二バルブを閉弁する第五ステップによって構成され、
    　前記圧力調整工程は、
    　前記第三ステップ後に、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内を真空状態とする第四ステップによって構成され、
    　前記圧力検出工程は、
    　前記第五ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第六ステップによって構成される、
    　請求項１記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  4. 　前記弁操作工程は、
    　前記第一バルブを開弁する第一ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブを開弁する第二ステップと、
    　前記第二バルブを閉弁する第三ステップと、
    　前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内が加圧された状態から、前記流量制御装置内バルブを閉弁する第五ステップによって構成され、
    　前記圧力調整工程は、
    　前記第三ステップ後に、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内を加圧状態とする第四ステップによって構成され、
    　前記圧力検出工程は、
    　前記第五ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記第一バルブの弁部から前記流量制御装置の流路を介して前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第六ステップを構成する、
    　請求項１記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  5. 　前記弁操作工程は、
    　前記第一バルブを開弁する第一ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブを開弁する第二ステップと、
    　前記第二バルブを閉弁する第三ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内が加圧された状態から、前記流量制御装置内バルブを閉弁する第五ステップと、
    　前記流量制御装置内バルブの閉弁後に前記第二バルブを開弁する第六ステップと、によって構成され、
    　前記圧力調整工程は、
    　前記第三ステップ後に、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内を加圧状態とする第四ステップによって構成され、
    　前記圧力検出工程は、
    　前記第六ステップの実行後、前記圧力検出機構によって、前記流量制御装置内バルブの弁部から前記第二バルブの弁部に至る流路内の経時的な圧力特性を取得する第七ステップを構成する、
    　請求項１記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  6. 　前記第一の接続手段及び前記第二の接続手段が、前記流体供給ライン外の機構から前記流体制御機器の駆動に用いる駆動流体を供給する駆動圧供給路である、
    　請求項１乃至５いずれかの項に記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  7. 　前記第一の接続手段及び前記第二の接続手段が、前記流体供給ライン外の機構と前記流体制御機器とを通信可能にする電気配線である、
    　請求項１乃至５いずれかの項に記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  8. 　前記流体供給ラインは複数、並設されてガスユニットを構成しており、
    　前記第一の接続手段は、前記ガスユニット近傍において複数の前記流体供給ライン毎に分岐し、前記複数の流体供給ライン上の所定の流体制御機器毎に接続する、
    　請求項１乃至７いずれかの項に記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  9. 　前記流量制御装置は、流量レンジ可変型流量制御装置であって、
    　前記流量レンジ可変型流量制御装置は、
    　流量制御装置の流量検出部への流体通路として少なくとも小流量用と大流量用の流体通路を設け、
    　前記小流量用流体通路を通して小流量域の流体を流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを小流量域の検出に適した検出レベルに切換えし、また、前記大流量用流体通路を通して大流量域の流体を前記流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを大流量域の流量の検出に適した検出レベルに切換えすることにより、大流量域と小流量域の流体を夫々切り換えて流量制御する、
    　請求項１乃至８いずれかの項に記載の流体供給ラインの異常診断方法。
  10. 　前記流量制御装置は、差圧式流量制御装置であって、
    　前記差圧式流量制御装置は、
    　バルブ駆動部を備えたコントロールバルブ部と、
    　前記コントロールバルブの下流側に設けられたオリフィスと、
    　前記オリフィスの上流側の流体圧力の検出器と、
    　前記オリフィスの下流側の流体圧力の検出器と、
    　前記オリフィスの上流側の流体温度の検出器と、
    　前記各検出器からの検出圧力及び検出温度を用いて流体流量を演算すると共に、演算流量と設定流量との差を演算する流量比較回路を備えた制御演算回路と、を有する、
    　請求項１乃至８いずれかの項に記載の流体供給ラインの異常診断方法。

     
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