KR102305808B1 - 유체 공급 라인의 이상 진단 방법 - Google Patents

유체 공급 라인의 이상 진단 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102305808B1
KR102305808B1 KR1020207010545A KR20207010545A KR102305808B1 KR 102305808 B1 KR102305808 B1 KR 102305808B1 KR 1020207010545 A KR1020207010545 A KR 1020207010545A KR 20207010545 A KR20207010545 A KR 20207010545A KR 102305808 B1 KR102305808 B1 KR 102305808B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
control device
pressure
flow control
fluid
Prior art date
Application number
KR1020207010545A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200047711A (ko
Inventor
류타로 단노
겐지 아이카와
아키히로 하라다
유야 스즈키
다카히로 마츠다
가츠노리 고메하나
마사히코 오치이시
츠토무 시노하라
Original Assignee
가부시키가이샤 후지킨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 후지킨 filed Critical 가부시키가이샤 후지킨
Publication of KR20200047711A publication Critical patent/KR20200047711A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102305808B1 publication Critical patent/KR102305808B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
    • G05D7/0664—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a plurality of diverging flows from a single flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F16K37/0033—Electrical or magnetic means using a permanent magnet, e.g. in combination with a reed relays
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45561—Gas plumbing upstream of the reaction chamber
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F16K31/124—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston servo actuated
    • F16K31/1245—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston servo actuated with more than one valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F16K37/005—Electrical or magnetic means for measuring fluid parameters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G—PHYSICS
    • G07—CHECKING-DEVICES
    • G07C—TIME OR ATTENDANCE REGISTERS; REGISTERING OR INDICATING THE WORKING OF MACHINES; GENERATING RANDOM NUMBERS; VOTING OR LOTTERY APPARATUS; ARRANGEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS FOR CHECKING NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • G07C3/00—Registering or indicating the condition or the working of machines or other apparatus, other than vehicles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Abstract

[과제] 복수의 유체 제어 기기에 의해 구성되는 유체 공급 라인 전체의 동작으로부터 유체 제어 기기의 이상을 진단한다. [해결수단] 유체밀하게 연통하는 복수의 유체 제어 기기(F, V1, V2)로 이루어지는 유체 공급 라인의 이상을 진단하는 방법은, 유량 제어 장치 내 밸브(FV), 밸브(V1), 및 밸브(V2) 중 어느 하나 또는 복수의 밸브를 개폐하는 밸브 조작 공정과, 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치를 개재하여 밸브(V2)에 이르는 유로(R1, R2) 내의 일부 또는 전부를 진공 상태 또는 가압 상태로 하는 압력 조정 공정과, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 유량 제어 장치(F)의 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 압력 검출 공정과, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득된 이상 진단시의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정하는 이상 판정 공정을 가진다.

Description

유체 공급 라인의 이상 진단 방법
본 발명은, 복수의 유체 제어 기기를 갖는 유체 공급 라인의 이상을 진단하는 기술에 관한 것이다.
반도체 제조 프로세스에 이용되는 프로세스 유체를 공급하는 유체 공급 라인에는, 자동 밸브 등의 유체 제어 기기가 이용된다.
최근, ALD(Atomic Layer Deposition) 등, 반도체 제조 프로세스가 고도화되어, 종래 이상으로 프로세스 유체를 미세하게 제어 가능한 유체 공급 라인이 요구되고 있다. 그리고, 고도화된 반도체 제조 프로세스의 요구를 만족시키기 위해, 예를 들어 밸브의 상태를 보다 정밀하게 감시 가능한 유체 제어 기기가 제안되어 있다.
이로부터, 특허문헌 1에서는, 제1 유로 및 제2 유로가 형성된 몸체와, 제1 유로와 제2 유로의 사이를 연통 또는 차단하는 밸브체를 구비한 밸브로서, 몸체는 밸브체 측에 위치하는 제1면과, 제1면의 반대측에 위치하는 제2면을 갖는 베이스부와, 제2면과 단차부를 형성하는 제3면을 갖는 제1 연결부와, 제1면과 단차부를 형성하는 제4면을 갖는 제2 연결부를 가지며, 제1 유로는 제1-1 유로와 제1-2 유로를 가지며, 제1-1 유로의 제1-1 포트는 제3면에 개구되고, 제1-2 유로의 제1-3 포트는 제1-1 유로의 제1-2 포트에 연통되고, 또한 밸브체로 향하여 개구되며, 제1-2 유로의 제1-4 포트는 제4면에 개구되고, 제1-3 포트를 개재하여 제1 유로와 상기 제2 유로가 연통 가능하며, 제1 연결부는 다른 밸브의 몸체에서의 제2 연결부에 상당하는 부분에 대해 연결되고, 제1-1 유로와 다른 밸브의 몸체에서의 제1-2 유로에 상당하는 유로가 연통하는 밸브가 제안되어 있다.
또한, 밸브의 이상을 진단하는 기술로서, 특허문헌 2에서는, 컨트롤 밸브와 오리피스와 이들 사이의 상류측 압력을 검출하는 압력 검출기와 유량 설정 회로로 이루어지며, 상류측 압력을 하류측 압력의 약 2배 이상으로 유지하여 하류측의 유량을 연산하고, 이 연산 유량과 설정 유량의 차이 신호에 의해 컨트롤 밸브를 개폐 제어하는 유량 제어 장치에 있어서, 설정 유량을 100% 유량의 고설정 유량으로 유지하는 제1 공정과, 이 고설정 유량을 0% 유량의 저설정 유량으로 전환하여 유지하고 상류측 압력을 측정하여 압력 감쇠 데이터를 얻는 제2 공정과, 동일 조건으로 오리피스에 막힘이 없을 때에 측정된 기준 압력 감쇠 데이터와 상기 압력 감쇠 데이터를 대비하는 제3 공정과, 상기 저설정 유량으로 전환하고 나서 소정 시간 후의 압력 감쇠 데이터가 기준 압력 감쇠 데이터로부터 소정도 이상 떨어졌을 때에 막힘을 알리는 제4 공정으로 이루어지는 압력식 유량 제어 장치에서의 오리피스 막힘 검출 방법이 제안되어 있다.
특허문헌 1: 일본공개특허 2016-223533호 공보 특허문헌 2: 일본특허 제3546153호 공보
그러나, 복수의 유체 제어 기기에 의해 구성되는 유체 공급 라인에서는, 각 유체 제어 기기는 다른 유체 제어 기기의 개폐 동작이나 유량 변화 등에 의한 영향을 받는다. 그 때문에, 유체 제어 기기마다 단독에서의 동작 이상의 유무를 진단하는 것만으로는, 고도화된 반도체 제조 프로세스에 요구되는 정밀도를 담보할 수 없다.
또한, 유체 제어 기기의 고기능화에 따라 전기 배선이나 에어 튜브가 복잡화되면, 복잡화된 전기 배선이 노이즈나 지시 신호의 전송 속도의 지연을 야기하는 것 외에, 에어 튜브의 내용적의 증가가 유체 제어 기기의 개폐 속도를 저하시키거나, 각 유체 제어 기기의 개폐 속도에 오차를 발생시키거나 하게 된다. 이는, 이상의 유무를 진단하는 경우에도 정확하고 정밀한 진단을 방해하는 이유가 된다.
그래서, 본 발명은, 복수의 유체 제어 기기에 의해 구성되는 유체 공급 라인 전체의 동작으로부터 유체 제어 기기의 이상을 진단하는 것을 목적의 하나로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법은, 유체가 연통하는 유로에 서로 연통하도록 배치된 복수의 유체 제어 기기로 이루어지는 유체 공급 라인의 이상을 진단하는 방법으로서, 상기 유체 공급 라인은, 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 제1 접속 수단에 의해 접속되고, 유량 제어 장치 내 밸브와 유로 내 압력을 검출하는 압력 검출 기구를 갖는 유량 제어 장치와, 상기 제1 접속 수단으로부터 분기한 제2 접속 수단에 의해 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 접속되고, 상기 유량 제어 장치의 상류측에 배치된 제1 밸브와, 상기 제1 접속 수단으로부터 분기한 제2 접속 수단에 의해 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 접속되고, 상기 유량 제어 장치의 하류측에 배치된 제2 밸브로 이루어지며, 상기 유량 제어 장치 내 밸브, 상기 제1 밸브, 및 상기 제2 밸브 중 어느 하나 또는 복수의 밸브를 개폐하는 밸브 조작 공정과, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 일부 또는 전부를 진공 상태 또는 가압 상태로 하는 압력 조정 공정과, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 유량 제어 장치의 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 압력 검출 공정과, 상기 압력 검출 기구에 의해 취득된 이상 진단시의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정하는 이상 판정 공정을 가진다.
또한, 상기 밸브 조작 공정은, 상기 제1 밸브를 개방하는 제1 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 폐쇄하는 제2 단계와, 상기 제2 밸브를 개방하는 제3 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 진공이 된 상태로부터, 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제5 단계에 의해 구성되고, 상기 압력 조정 공정은, 상기 제3 단계 후에, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 진공 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며, 상기 압력 검출 공정은, 상기 제5 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제6 단계에 의해 구성되는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 밸브 조작 공정은, 상기 제1 밸브를 폐쇄하는 제1 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 개방하는 제2 단계와, 상기 제2 밸브를 개방하는 제3 단계와, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 진공이 된 상태로부터, 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제5 단계에 의해 구성되고, 상기 압력 조정 공정은, 상기 제3 단계 후에, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 진공 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며, 상기 압력 검출 공정은, 상기 제5 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제6 단계에 의해 구성되는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 밸브 조작 공정은, 상기 제1 밸브를 개방하는 제1 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 개방하는 제2 단계와, 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제3 단계와, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 가압된 상태로부터, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 폐쇄하는 제5 단계에 의해 구성되고, 상기 압력 조정 공정은, 상기 제3 단계 후에, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 가압 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며, 상기 압력 검출 공정은, 상기 제5 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제6 단계를 구성하는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 밸브 조작 공정은, 상기 제1 밸브를 개방하는 제1 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 개방하는 제2 단계와, 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제3 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 가압된 상태로부터, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 폐쇄하는 제5 단계와, 상기 유량 제어 장치 내 밸브의 폐쇄 후에 상기 제2 밸브를 개방하는 제6 단계에 의해 구성되고, 상기 압력 조정 공정은, 상기 제3 단계 후에, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 가압 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며, 상기 압력 검출 공정은, 상기 제6 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제7 단계를 구성하는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 제1 접속 수단 및 상기 제2 접속 수단이, 상기 유체 공급 라인 밖의 기구로부터 상기 유체 제어 기기의 구동에 이용하는 구동 유체를 공급하는 구동압 공급로인 것으로 해도 된다.
또한, 상기 제1 접속 수단 및 상기 제2 접속 수단이, 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 상기 유체 제어 기기를 통신 가능하게 하는 전기 배선인 것으로 해도 된다.
또한, 상기 유체 공급 라인은, 복수 병설(竝設)되어 가스 유닛을 구성하고 있고, 상기 제1 접속 수단은, 상기 가스 유닛 근방에 있어서 복수의 상기 유체 공급 라인마다 분기하여, 상기 복수의 유체 공급 라인 상의 소정의 유체 제어 기기마다 접속하는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 유량 제어 장치는, 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치이며, 상기 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치는, 유량 제어 장치의 유량 검출부로의 유체 통로로서 적어도 소유량용과 대유량용의 유체 통로를 마련하고, 상기 소유량용 유체 통로를 통해 소유량 영역의 유체를 유량 검출부로 유통시킴과 아울러, 유량 제어부의 검출 레벨을 소유량 영역의 검출에 적합한 검출 레벨로 전환하고, 또한, 상기 대유량용 유체 통로를 통해 대유량 영역의 유체를 상기 유량 검출부로 유통시킴과 아울러, 유량 제어부의 검출 레벨을 대유량 영역의 유량의 검출에 적합한 검출 레벨로 전환함으로써, 대유량 영역과 소유량 영역의 유체를 각각 전환하여 유량 제어하는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 유량 제어 장치는, 차압(差壓)식 유량 제어 장치이며, 상기 차압식 유량 제어 장치는, 밸브 구동부를 구비한 컨트롤 밸브와, 상기 컨트롤 밸브의 하류측에 설치된 오리피스와, 상기 오리피스의 상류측의 유체 압력의 검출기와, 상기 오리피스의 하류측의 유체 압력의 검출기와, 상기 오리피스의 상류측의 유체 온도의 검출기와, 상기 각 검출기로부터의 검출 압력 및 검출 온도를 이용하여 유체 유량을 연산함과 아울러, 연산 유량과 설정 유량의 차를 연산하는 유량 비교 회로를 구비한 제어 연산 회로를 갖는 것으로 해도 된다.
본 발명에 의하면, 복수의 유체 제어 기기에 의해 구성되는 유체 공급 라인 전체의 동작으로부터 유체 제어 기기의 이상을 진단할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법에 있어서, 복수의 유체 공급 라인에 의해 구성된 가스 유닛을 나타낸 외관 사시도이다.
도 2는, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법에 있어서, 복수의 유체 공급 라인에 의해 구성된 가스 유닛을 나타낸 평면도이다.
도 3은, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법에 있어서, 복수의 유체 공급 라인에 의해 구성된 가스 유닛을 나타낸 측면도이다.
도 4는, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인을 구성하는 밸브에 대해, 자기(磁氣) 센서를 구비시킨 경우의 내부 구조를 나타내는 단면도로서, (a) 전체도, (b) 부분 확대도이다.
도 5는, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 의해 구성된 가스 유닛에 있어서, 케이블의 배선 구조를 나타낸 모식도이다.
도 6은, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 의해 구성된 가스 유닛에 있어서, 구동압 공급로의 접속 구조를 나타낸 모식도이다.
도 7은, 본 실시형태의 변형예에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 의해 구성된 가스 유닛에 있어서, 구동압 공급로의 접속 구조를 나타낸 모식도이다.
도 8은, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인을 구성하는 유량 제어 장치의 내부 구성을 모식적으로 나타낸 구성도이다.
도 9는, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 의해 구성된 다른 형태의 가스 유닛을 나타낸 외관 사시도이다.
도 10은, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 의해 구성된 다른 형태의 가스 유닛에 있어서, 케이블의 배선 구조를 나타낸 모식도이다.
도 11은, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 의해 구성된 다른 형태의 가스 유닛에 있어서, 구동압 공급로의 접속 구조를 나타낸 모식도이다.
도 12는, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인에 적합하게 이용되는 밸브의 내부 구조를 나타낸 모식도이다.
도 13은, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법의 공정을 설명하기 위한 모식도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법에 대해 설명한다.
우선, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법을 적용하는 데에 적합한 유체 공급 라인에 대해 설명한다. 도 1~도 3에 도시된 가스 유닛(1)은, 유체 공급 라인(L1, L2, L3)을 구비한 것이다.
여기서, 「유체 공급 라인(L1, L2, L3)」이란, 가스 유닛(1)의 구성단위의 하나로서, 프로세스 유체가 유통하는 유로와, 이 유로 상에 배치된 일군의 유체 제어 기기에 의해 구성되고, 프로세스 유체를 제어하여, 독립적으로 피처리체를 처리하는 것이 가능한 최소의 구성단위이다. 가스 유닛은, 통상 이러한 유체 공급 라인을 복수 병설시켜 구성되어 있다. 또한, 이하의 설명에서 언급하는 「라인 밖」이란, 이 유체 공급 라인을 구성하지 않는 부분 또는 기구로서, 라인 밖의 기구에는, 유체 공급 라인의 구동에 필요한 전력을 공급하는 전력 공급원이나 구동압을 공급하는 구동압 공급원, 유체 공급 라인과 통신 가능하게 구성된 장치 등이 포함된다.
유체 공급 라인(L1, L2, L3)은 각각, 복수의 유체 제어 기기를 서로 연통하도록 배치한 것이고, 유체 제어 기기는, 밸브(V11~V14, V21~V24, V31~V34)와 유량 제어 장치(F1~F3)에 의해 구성된다. 또, 이하의 설명에서는, 밸브(V11~V14, V21~V24, V31~V34)를 밸브(V), 유량 제어 장치(F1~F3)를 유량 제어 장치(F)라고 합쳐 부르는 경우가 있다.
유량 제어 장치(F)는, 각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 있어서 유체의 유량을 제어하는 장치이다.
이 유량 제어 장치(F)는 예를 들어, 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치에 의해 구성할 수 있다. 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치는, 전환 밸브의 조작에 의해 자동으로 유량 제어 영역을 전환 선택할 수 있는 장치이다.
이 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치는, 유량 제어 장치의 유량 검출부로의 유체 통로로서 예를 들어, 소유량용과 대유량용의 유체 통로를 가지고 있다. 소유량용 유체 통로를 통해 소유량 영역의 유체를 유량 검출부로 유통시킴과 아울러, 유량 제어부의 검출 레벨을 소유량 영역의 검출에 적합한 검출 레벨로 전환하고, 대유량용 유체 통로를 통해 대유량 영역의 유체를 상기 유량 검출부로 유통시킴과 아울러, 유량 제어부의 검출 레벨을 대유량 영역의 유량의 검출에 적합한 검출 레벨로 전환함으로써, 대유량 영역과 소유량 영역의 유체를 각각 전환하여 유량 제어한다.
또한, 이러한 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치는, 오리피스 상류측 압력(P1) 및/또는 오리피스 하류측 압력(P2)을 이용하여, 오리피스를 유통하는 유체의 유량을 Qc=KP1(K는 비례 상수) 또는 Qc=KP2 m(P1-P2)n(K는 비례 상수, m과 n은 상수)으로서 연산하도록 한 압력식 유량 제어 장치이며, 이 압력식 유량 제어 장치의 컨트롤 밸브의 하류측과 유체 공급용 관로 사이의 유체 통로를 적어도 2개 이상의 병렬형상의 유체 통로로 함과 아울러, 각 병렬형상의 유체 통로로 유체 유량 특성이 다른 오리피스를 각각 개재시킨 것으로 할 수도 있다. 이 경우, 소유량 영역의 유체의 유량 제어에는 한쪽의 오리피스로 소유량 영역의 유체를 유통시키고, 또한 대유량 영역의 유체의 유량 제어에는 적어도 다른 쪽의 오리피스로 대유량 영역의 유체를 유통시킨다.
또한, 유량의 레인지를 3단계로 할 수도 있다. 이 경우, 오리피스를 대유량용 오리피스와 중유량용 오리피스와 소유량용 오리피스의 3종류로 함과 아울러, 한쪽의 유체 통로에 제1 전환용 밸브와 제2 전환용 밸브와 대유량 오리피스를 직렬형상으로 개재시키고, 또한 다른 쪽의 유체 통로에 소유량 오리피스와 중유량 오리피스를 개재시키며, 또한, 두 전환 밸브 사이를 연통하는 통로와, 소유량 오리피스와 중유량 오리피스 사이를 연통하는 통로를 연통시킨다.
이 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치에 의하면, 유량 제어 범위를 확대시키면서, 높은 제어 정밀도를 유지할 수 있다.
또한, 다른 예에서는, 유량 제어 장치(F)를 차압 제어식 유량 제어 장치에 의해 구성할 수 있다. 차압 제어식 유량 제어 장치는, 베르누이의 정리로부터 도출한 유량 연산식을 기초로서 이용하고, 이에 각종 보정을 가함으로써 유체 유량을 연산하여 제어하는 장치이다.
이 차압식 유량 제어 장치는, 밸브 구동부를 구비한 컨트롤 밸브와, 컨트롤 밸브의 하류측에 설치된 오리피스와, 오리피스의 상류측의 유체 압력(P1)의 검출기와, 오리피스의 하류측의 유체 압력(P2)의 검출기와, 오리피스의 상류측의 유체 온도(T)의 검출기를 가지고 있다. 그리고, 내장하는 제어 연산 회로에 의해, 각 검출기로부터의 검출 압력 및 검출 온도를 이용하여 유체 유량(Q)을 Q=C1·P1/√T·((P2/P1)m-(P2/P1)n)1/2(단 C1은 비례 상수, m 및 n은 상수)에 의해 연산함과 아울러, 연산 유량과 설정 유량의 차를 연산한다.
차압식 유량 제어 장치에 의하면, 인라인의 형태로 또한 장착 자세에 제약을 받지 않고 사용할 수 있으며, 게다가 압력의 변동에 대해서도 제어 유량이 거의 영향을 받지 않고, 고정밀도의 유량 계측 또는 유량 제어를 실시간으로 행할 수 있다.
이러한 유량 제어 장치(F)는, 유량 제어 장치(F)의 동작 정보를 취득하는 동작 정보 취득 기구나, 동일한 라인을 형성하는 밸브(V)의 동작 정보를 집약하여 밸브(V)를 감시함과 아울러, 각 밸브(V)를 제어 가능한 정보 처리 모듈을 구비하고 있다.
또, 유량 제어 장치(F)에 의해 실행 가능한 처리 등에 대해서는 나중에 상술하지만, 동작 정보 취득 기구는 예를 들어, 유량 제어 장치(F)에 내장되는 각종 센서나 유량 제어를 행하는 연산 장치, 이들 센서나 연산 장치 등의 정보의 처리를 실행하는 정보 처리 모듈 등에 의해 구성할 수 있다. 또한, 동일한 유체 공급 라인(L1, L2, L3)을 구성하는 밸브(V)에 대해, 유량 제어 장치(F)를 개재하여 라인 밖의 기구로부터 구동압을 공급시키거나, 통신 가능하게 시킴으로써, 각 밸브(V)의 동작 정보를 유량 제어 장치(F)에 집약시킬 수 있다. 그 결과, 각 밸브(V)의 동작 정보와 유량 제어 장치(F)의 동작 정보를 합하여 라인 전체의 동작 정보가 구성된다.
밸브(V)는, 다이어프램 밸브 등, 유체 제어 장치의 가스 라인으로 사용되는 밸브이다.
이 밸브(V)에는, 밸브(V)의 동작 정보를 취득하는 동작 정보 취득 기구로서, 소정의 개소에 압력 센서, 온도 센서, 리미트 스위치, 혹은 자기 센서 등이 장착되어 있고, 또한, 이들 압력 센서, 온도 센서, 리미트 스위치, 혹은 자기 센서 등에 의해 검출된 데이터를 처리하는 정보 처리 모듈이 내장되어 있다.
또, 동작 정보 취득 기구의 장착 위치는 제한되지 않고, 그 기능을 감안하여 구동압 공급로 상이나 전기 배선 상 등의 밸브(V) 밖에 장착되는 경우가 있다.
여기서, 압력 센서는 예를 들어, 소정의 공간 내의 압력 변화를 검출하는 감압 소자나, 감압 소자에 의해 검출된 압력의 검출값을 전기 신호로 변환하는 압전 소자 등에 의해 구성되고, 밀폐된 내부 공간의 압력 변화를 검출한다.
또한, 온도 센서는 예를 들어, 유체의 온도를 측정하는 센서로서, 유로의 근방에 설치하여 해당 개소의 온도를 측정함으로써, 해당 설치 개소의 온도를, 유로 내를 유통하는 유체의 온도라고 간주할 수 있다.
또한, 리미트 스위치는 예를 들어, 피스톤의 근방에 고정되고, 피스톤의 상하 이동에 따라 스위치가 전환된다. 이에 의해, 밸브(V)의 개폐 횟수나 개폐 빈도, 개폐 속도 등을 검지할 수 있다.
또한, 자기 센서는, 소정의 위치에 장착된 자석과의 거리 변화를 센싱함으로써, 밸브(V)의 개폐 상태뿐만 아니라, 개방도를 계측할 수 있다.
보다 구체적으로는, 도 4의 예에 도시된 바와 같이, 자기 센서(S)는, 다이어프램(51)의 주연(周緣)을 누르는 누름 어댑터(52)의 내측으로서, 스템(53)에 대향하는 면에 장착되어 있다. 또한, 밸브(V)의 개폐 동작에 따라 슬라이딩하는 스템(53)의 누름 어댑터(52) 근방에는, 자석(M)이 장착되어 있다.
여기서, 자기 센서(S)는 평면 코일, 발진 회로, 및 적산 회로를 가지고 있고, 대향하는 위치에 있는 자석(M)과의 거리 변화에 따라 발진 주파수가 변화한다. 그리고, 이 주파수를 적산 회로에서 변환하여 적산값을 구함으로써, 밸브(V)의 개폐 상태뿐만 아니라, 개방시의 개방도를 계측할 수 있다.
또, 밸브(V)를 이와 같이 구성함으로써, 이하와 같은 동작 이상의 진단을 행할 수 있다.
즉, 이상 진단시의 스템(53)의 상면 또는 하면의 위치가 정상시의 상면 또는 하면의 위치에 있는지 여부에 따라 이상의 유무를 판정할 수 있다. 즉, 자기 센서(S)와 자석(M)의 거리 변화에 기초하여, 스템(53)의 작동시의 상면 위치와 하면 위치가 계측된다. 이 상면 위치와 하면 위치가, 미리 측정된 정상시의 상면 위치와 하면 위치와 일치하는지 여부를 판별하여, 일치하면 이상 없음으로 판정할 수 있고, 일치하지 않으면 이상 있음으로 판정할 수 있다.
또한, 이상 진단시의 스템(53)의 스트로크가 정상시의 스트로크와 일치하는지 여부에 따라 이상의 유무를 판정할 수 있다. 즉, 자기 센서(S)와 자석(M)의 거리 변화에 기초하여, 스템(53)의 작동시의 상면 위치로부터 하면 위치까지의 이동거리(스트로크)가 계측된다. 이 스트로크가, 미리 측정된 정상시의 스트로크와 일치하는지 여부를 판별하여, 일치하면 이상 없음으로 판정할 수 있고, 일치하지 않으면 이상 있음으로 판정할 수 있다.
또한, 이상 진단시의 스템(53)의 작동 속도가 정상시의 작동 속도와 일치하는지 여부에 따라 이상의 유무를 판정할 수 있다. 즉, 자기 센서(S)와 자석(M)의 거리 변화에 기초하여, 스템(53)의 작동시의 작동 속도가 계측된다. 이 작동 속도가, 미리 측정된 정상시의 작동 속도와 일치하는지 여부를 판별하여, 일치하면 이상 없음으로 판정할 수 있고, 일치하지 않으면 이상 있음으로 판정할 수 있다.
이에 의해, 유체 공급 라인(L1, L2, L3)을 복잡화시키지 않고, 정확하고 간편하게 밸브(V)의 동작 이상을 진단할 수 있다.
또, 밸브(V) 내의 정보 취득 기구에 의해 취득된 정보는, 동일한 유체 공급 라인(L1, L2, L3)을 구성하는 유량 제어 장치(F)에 집약시킨 후, 유량 제어 장치(F)의 동작 정보와 합하여 라인 밖에 설치된 소정의 정보 처리 장치에 송신할 수도 있다.
가스 유닛(1)은, 구동압을 공급하는 구동압 공급원, 전력을 공급하는 전력 공급원, 통신을 행하는 통신 장치 등에 의해 구성되는 라인 밖의 기구와 접속되어 있다.
여기서, 가스 유닛(1)을 구성하는 유체 제어 기기는, 라인 밖의 기구와 소정의 유체 제어 기기를 직접 접속하는 제1 접속 수단과, 이 제1 접속 수단으로부터 분기하여, 혹은 이 제1 접속 수단이 접속하는 유체 제어 기기를 개재하여, 라인 밖의 기구와 다른 유체 제어 기기를 접속하는 제2 접속 수단에 의해 접속되어 있다. 구체적으로는, 유체 공급 라인(L1)이면, 나중에 상술하는 도 5에서, 라인 밖으로부터의 전력 공급 및 라인 밖과의 통신에서는, 메인 케이블(10)과 연장 케이블(11)이 제1 접속 수단을 구성하고, 서브 케이블(111, 112, 113, 114)이 제2 접속 수단을 구성한다. 또한, 나중에 상술하는 도 6에서, 라인 밖으로부터의 구동압의 공급에서는, 메인 튜브(20), 연장 튜브(21), 및 서브 튜브(214)가 제1 접속 수단을 구성하고, 연장 튜브(211, 212, 213), 서브 튜브(215, 216, 217, 218)가 제2 접속 수단을 구성한다.
전력의 공급 및 라인 밖과의 통신은, 도 5에 도시된 바와 같이, 라인 밖의 기구와 가스 유닛(1)을 접속하는 메인 케이블(10)에 의해 가능하게 되어 있다.
메인 케이블(10)은, 가스 유닛 근방에 설치된 분기 커넥터(C1)에 의해 연장 케이블(11)과 분기 케이블(101)로 분기되고, 분기 케이블(101)은 분기 커넥터(C2)에 의해 연장 케이블(12)과 분기 케이블(102)로 분기되며, 분기 케이블(102)은 분기 커넥터(C3)를 개재하여 연장 케이블(13)에 접속한다.
각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 대해 보면, 유체 공급 라인(L1)에서는, 연장 케이블(11)은 유량 제어 장치(F1)에 접속되어 있다. 연장 케이블(11)이 접속되어 있는 유량 제어 장치(F1)로부터는, 서브 케이블(111, 112)이 도출되고, 서브 케이블(111)은 밸브(V11)에 접속하며, 서브 케이블(112)은 밸브(V12)에 접속한다.
또한, 서브 케이블(112)이 접속되어 있는 밸브(V12)로부터는 서브 케이블(113)이 도출되고, 서브 케이블(113)은 밸브(V13)에 접속한다. 또한, 서브 케이블(113)이 접속되어 있는 밸브(V13)로부터는 서브 케이블(114)이 도출되고, 서브 케이블(114)은 밸브(V14)에 접속한다.
유체 공급 라인(L2)도 유체 공급 라인(L1)과 마찬가지의 구성에 의해 라인 밖의 기구와 접속한다.
즉, 연장 케이블(12)은 유량 제어 장치(F2)에 접속되어 있다. 연장 케이블(12)이 접속되어 있는 유량 제어 장치(F2)로부터는, 서브 케이블(121, 122)이 도출되고, 서브 케이블(121)은 밸브(V21)에 접속하며, 서브 케이블(122)은 밸브(V22)에 접속한다.
또한, 서브 케이블(122)이 접속되어 있는 밸브(V22)로부터는 서브 케이블(123)이 도출되고, 서브 케이블(123)은 밸브(V23)에 접속한다. 또한, 서브 케이블(123)이 접속되어 있는 밸브(V23)로부터는 서브 케이블(124)이 도출되고, 서브 케이블(124)은 밸브(V24)에 접속한다.
유체 공급 라인(L3)도 유체 공급 라인(L1)과 마찬가지의 구성에 의해 라인 밖의 기구와 접속한다.
즉, 연장 케이블(13)은 유량 제어 장치(F3)에 접속되어 있다. 연장 케이블(13)이 접속되어 있는 유량 제어 장치(F3)로부터는, 서브 케이블(131, 132)이 도출되고, 서브 케이블(131)은 밸브(V31)에 접속하며, 서브 케이블(132)은 밸브(V32)에 접속한다.
또한, 서브 케이블(132)이 접속되어 있는 밸브(V32)로부터는 서브 케이블(133)이 도출되고, 서브 케이블(133)은 밸브(V33)에 접속한다. 또한, 서브 케이블(133)이 접속되어 있는 밸브(V33)로부터는 서브 케이블(134)이 도출되고, 서브 케이블(134)은 밸브(V34)에 접속한다.
여기서, 유체 공급 라인(L1)에 대해, 연장 케이블(11)은 유량 제어 장치(F1)에 접속하고, 유량 제어 장치(F1)로부터는 서브 케이블(111, 112)이 도출되어 있지만, 유량 제어 장치(F1) 내에서 연장 케이블(11)과 서브 케이블(111, 112)은 접속되어 있다. 접속은, 유량 제어 장치(F1) 내에 설치된 정보 처리 모듈을 개재한 것으로 할 수도 있고, 연장 케이블(11)을 분기시키는 것으로 할 수도 있다.
또한, 밸브(V12, V13)에서도, 서브 케이블(112)은 서브 케이블(113)과 접속하고, 서브 케이블(113)은 서브 케이블(114)과 접속하고 있다. 이 서브 케이블(112, 113, 114)의 접속에 대해서도, 밸브(V12, V13) 내에 설치된 정보 처리 모듈을 개재한 것으로 할 수도 있고, 서브 케이블(112, 113)을 분기시키는 것으로 할 수도 있다.
어떤 접속에 대해서도, 라인 밖의 기구와 밸브(V11, V12, V13, V14)가 유량 제어 장치(F1)를 개재하여 통신 가능하게 접속됨과 아울러, 전력이 공급되도록 되어 있으면 된다.
또, 다른 유체 공급 라인(L2, L3)에서의 접속에 대해서도 마찬가지로서, 밸브(V21, V22, V23, V24)는, 메인 케이블(10), 연장 케이블(12), 및 서브 케이블(121, 122, 123, 124)에 의해, 유량 제어 장치(F2)를 개재하여 라인 밖의 기구와 접속되어 있다. 또한, 밸브(V31, V32, V33, V34)는, 메인 케이블(10), 연장 케이블(13), 및 서브 케이블(131, 132, 133, 134)에 의해, 유량 제어 장치(F3)를 개재하여 라인 밖의 기구와 접속되어 있다.
구동압은, 도 6에 도시된 바와 같이, 라인 밖의 기구로부터 가스 유닛(1)으로 메인 튜브(20)에 의해 공급된다.
메인 튜브(20)는, 가스 유닛(1) 근방에 설치된 분기 조인트(J1)에 의해, 유체 공급 라인(L1, L2, L3)마다 구동압을 공급하기 위한 연장 튜브(21, 22, 23)로 분기된다.
각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 대해 보면, 유체 공급 라인(L1)에서는, 연장 튜브(21)는 조인트(J11)에 의해 연장 튜브(211)와 서브 튜브(214)로 분기된다. 서브 튜브(214)는 유량 제어 장치(F1)에 접속되어 있고, 이에 의해 유량 제어 장치(F1)에 구동압이 공급된다.
연장 튜브(211)는 다시, 조인트(J111)에 의해 연장 튜브(212)와 서브 튜브(215)로 분기된다. 서브 튜브(215)는 밸브(V11)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V11)에 구동압이 공급된다.
마찬가지로, 연장 튜브(212)는 다시, 조인트(J112)에 의해 연장 튜브(213)와 서브 튜브(216)로 분기된다. 서브 튜브(216)는 밸브(V12)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V12)에 구동압이 공급된다.
또한, 연장 튜브(213)는 다시, 조인트(J113)에 의해 서브 튜브(217)와 서브 튜브(218)로 분기된다. 서브 튜브(217)는 밸브(V13)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V13)에 구동압이 공급된다. 또한, 서브 튜브(218)는 밸브(V14)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V14)에 구동압이 공급된다.
유체 공급 라인(L2)에도 유체 공급 라인(L1)과 마찬가지의 구성에 의해 구동압이 공급된다.
즉, 연장 튜브(22)는 조인트(J12)에 의해 연장 튜브(221)와 서브 튜브(224)로 분기된다. 서브 튜브(224)는 유량 제어 장치(F2)에 접속되어 있고, 이에 의해 유량 제어 장치(F2)에 구동압이 공급된다.
연장 튜브(221)는 다시, 조인트(J121)에 의해 연장 튜브(222)와 서브 튜브(225)로 분기된다. 서브 튜브(225)는 밸브(V21)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V21)에 구동압이 공급된다.
마찬가지로, 연장 튜브(222)는 다시, 조인트(J122)에 의해 연장 튜브(223)와 서브 튜브(226)로 분기된다. 서브 튜브(226)는 밸브(V22)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V22)에 구동압이 공급된다.
또한, 연장 튜브(223)는 다시, 조인트(J123)에 의해 서브 튜브(227)와 서브 튜브(228)로 분기된다. 서브 튜브(227)는 밸브(V23)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V23)에 구동압이 공급된다. 또한, 서브 튜브(228)는 밸브(V24)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V24)에 구동압이 공급된다.
유체 공급 라인(L3)에도 유체 공급 라인(L1)과 마찬가지의 구성에 의해 구동압이 공급된다.
즉, 연장 튜브(23)는 조인트(J13)에 의해 연장 튜브(231)와 서브 튜브(234)로 분기된다. 서브 튜브(234)는 유량 제어 장치(F3)에 접속되어 있고, 이에 의해 유량 제어 장치(F3)에 구동압이 공급된다.
연장 튜브(231)는 다시, 조인트(J131)에 의해 연장 튜브(232)와 서브 튜브(235)로 분기된다. 서브 튜브(235)는 밸브(V31)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V31)에 구동압이 공급된다.
마찬가지로, 연장 튜브(232)는 다시, 조인트(J132)에 의해 연장 튜브(233)와 서브 튜브(236)로 분기된다. 서브 튜브(236)는 밸브(V32)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V32)에 구동압이 공급된다.
또한, 연장 튜브(233)는 다시, 조인트(J133)에 의해 서브 튜브(237)와 서브 튜브(238)로 분기된다. 서브 튜브(237)는 밸브(V33)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V33)에 구동압이 공급된다. 또한, 서브 튜브(238)는 밸브(V34)에 접속되어 있고, 이에 의해 밸브(V34)에 구동압이 공급된다.
여기서, 유체 공급 라인(L1)에 대해, 유량 제어 장치(F1)와 밸브(V11, V12, V13, V14)는, 모두 조인트(J11, J111, J112, J113), 연장 튜브(211, 212, 213), 및 서브 튜브(214, 215, 216, 217, 218)를 개재하여 연장 튜브(21)나 그 앞의 메인 튜브(20)와 접속되어 있지만, 이에 한정하지 않고, 도 7에 도시된 바와 같이, 연장 튜브(21)와 유량 제어 장치(F1)를 접속한 후, 유량 제어 장치(F1)로부터 구동압을 각 밸브(V11, V12, V13, V14)에 공급할 수도 있다. 이 경우, 유량 제어 장치(F1) 내에, 메인 튜브(20)로부터 공급된 구동압을 각 밸브(V11, V12, V13, V14)에 분배하기 위한 기구를 설치해도 되고, 유량 제어 장치(F1) 내에 끌어넣은 메인 튜브를 유량 제어 장치(F1) 내에서 분기시키도록 해도 된다.
또, 유체 공급 라인(L2, L3)에 대해서도 이와 마찬가지로 할 수 있다.
이러한 유체 공급 라인(L1, L2, L3)의 구성에 의하면, 전력 공급이나 통신을 행하기 위한 케이블이 심플한 것이 되고, 노이즈를 저감할 수 있음과 아울러, 지시 신호의 전송 속도의 지연을 억제할 수 있다. 또한, 구동압을 공급하는 튜브의 내용적을 작게 할 수 있기 때문에, 밸브(V)나 유량 제어 장치(F)라는 각 유체 제어 기기의 개폐 속도를 유지함과 아울러, 각 유체 제어 기기의 개폐 속도에 오차를 발생시키지 않도록 할 수 있다. 그 결과, 유체 제어 기기마다의 동작의 불균일을 억제하여 유체 공급 라인(L1, L2, L3)의 제어 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 이러한 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 있어서, 유량 제어 장치(F)는 예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이 구성할 수 있다. 또, 도 8은, 유체 공급 라인(L1)을 구성하는 유량 제어 장치(F1)의 구조를 나타내고 있지만, 다른 유체 공급 라인(L2, L3) 각각을 구성하는 유량 제어 장치(F2, F3)에 대해서도 마찬가지이다.
이 예에서는, 유체 공급 라인(L1)에 있어서, 유량 제어 장치(F1)를 마스터, 복수의 밸브(V11, V12, V13, V14)를 슬레이브로 한 데이지 체인이 형성된다. 그리고 이 경우, 데이지 체인의 상태를 이용함으로써, 개개의 밸브(V)나 유량 제어 장치(F)뿐만 아니라, 라인 전체를 하나의 장치로 간주하여 동작을 해석하는 시스템을 구축할 수 있다.
우선, 유량 제어 장치(F1) 내의 구성에 대해 언급하면, 센서는, 유량 제어 장치(F1)의 동작 정보를 취득하는 동작 정보 취득 기구를 구성하는 것으로, 상술한 바와 같이 압력 센서, 온도 센서, 혹은 자기 센서 등을 단독 또는 복수 조합하여 구성된다. 또한, 연산 장치는, 유량 제어 장치(F1)의 유량 제어를 행하는 장치이다. 또한, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)는, 구동압 공급원(G)으로부터 구동압의 공급을 받음과 아울러, 이 구동압을 밸브(V11, V12, V13, V14)로 공급한다.
정보 처리 모듈은, 센서나 연산 장치와 접속되어 유량 제어 장치(F1)의 동작 정보를 수집하고, 이 수집한 동작 정보에 대해 소정의 정보 처리를 실행한다. 또한, 정보 처리 모듈은, 유체 공급 라인(L1)을 구성하는 밸브(V11, V12, V13, V14)와 통신 가능하게 접속되어 있고, 각 밸브(V11, V12, V13, V14)의 동작 정보를 집약할 수 있음과 아울러, 소정의 지시 신호를 능동적으로 발하여 각 밸브(V11, V12, V13, V14)를 제어할 수도 있다.
유량 제어 장치(F1)를 이와 같이 구성한 경우에는, 동일한 라인을 구성하는 각 밸브(V11, V12, V13, V14)를 개별적으로 식별하여 이상의 유무를 진단하거나, 라인 전체에서 본 각 밸브(V11, V12, V13, V14)의 동작을 해석하거나 할 수 있다.
구체적으로, 유량 제어 장치(F1)에 의한 각 밸브(V11, V12, V13, V14)의 진단은 예를 들어, 유량 제어 장치(F1)나 각 밸브(V)의 상류 및 하류에 압력 측정 수단을 마련하고, 각 밸브(V)의 개폐를 적절히 제어하여, 소정 위치에서의 압력을 측정한다. 이 압력의 측정값으로부터, 소정의 밸브(V)를 닫고 있으면 검출되지 않아야 할 압력을 검출하거나, 소정의 밸브(V)를 열고 있으면 검출되어야 할 압력을 검출할 수 없거나 함으로써, 밸브(V)의 이상을 진단할 수 있다. 또한, 밸브(V)의 개폐 상태의 전환에 따른 소정 위치에서의 압력 강하 특성을, 정상적인 상태에서의 압력 강하 특성과 대비함으로써, 시트 누설 등의 밸브(V)의 결함을 진단할 수도 있다. 또, 각 압력 측정 수단에 의한 측정값은 유량 제어 장치(F)의 정보 처리 모듈에 집약되도록 하면 된다.
또, 유량 제어 장치(F)에 이상의 유무를 진단시키거나, 동작을 해석시키거나 할 뿐만 아니라, 유량 제어 장치(F)에 집약된 각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)의 동작 정보를, 메인 케이블(10)을 개재하여 외부의 정보 처리 장치에 대해 송신하고, 이 정보 처리 장치에서 이상의 유무를 진단시키거나, 동작을 해석시키거나 할 수도 있다. 이와 같이 구성해도, 가스 유닛(1)으로부터 취득한 동작 정보에 기초하여 각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)의 동작을 해석할 수 있다. 또, 외부의 정보 처리 장치는, 라인 밖의 기구의 일부를 구성하는 것이어도 되고, 라인 밖의 기구와 통신 가능하게 접속된 장치이어도 된다. 또한, 이러한 외부의 정보 처리 장치는 이른바 서버 컴퓨터 등에 의해 구성할 수 있다.
이에 의해, 다수의 유체 제어 기기가 조밀하게 집적된 가스 유닛(1)에 있어서, 밸브(V)를 라인으로부터 분리하거나 하지 않고, 개별적으로 식별하여 그 동작 상태를 진단할 수 있다. 또한, 유체 공급 라인(L1, L2, L3)마다 각 밸브(V)가 유량 제어 장치(F)를 개재하여 라인 밖의 기구와 접속되어 있기 때문에, 복수의 밸브(V)를 배하(配下)에 구비하는 유량 제어 장치(F)나, 유량 제어 장치(F)와 통신 가능하게 구성된 정보 처리 장치는, 복수의 밸브(V) 전체의 동작에 입각하면서 각 밸브(V)의 동작 상태를 감시할 수 있다. 그 결과, 밸브(V)나 유량 제어 장치(F)마다 동작 정보를 해석할 뿐만 아니라, 라인 전체를 정밀하게 감시하는 것이 가능하다.
또, 라인 전체의 동작의 해석이 유체 공급 라인(L1, L2, L3)의 정밀한 감시에 도움이 되는 것은 예를 들어, 유체 공급 라인(L1)을 구성하는 복수의 밸브(V11, V12, V13, V14)에 대해, 일부의 밸브(V13, V14)는 개폐 동작이 실행되고, 나머지 밸브(V11, V12)는 개폐 동작이 실행되지 않는 경우에도, 밸브(V11, V12)는 밸브(V13, V14)에 의한 개폐 동작의 영향을 받기 때문이다.
그리고, 유체 공급 라인(L1) 전체의 동작 정보에 기초하면, 밸브(V11, V12, V13, V14)와 접속하는 유량 제어 장치(F1)는 어떤 시간대에 있어서, 밸브(V11, V12)가 개폐 동작을 실행하지 않는 한편, 밸브(V13, V14)가 개폐 동작을 실행하고 있음을 파악할 수 있고, 밸브(V11, V12)의 단독 동작으로는 파악할 수 없는, 밸브(V11, V12)의 상태를 정밀하게 해석할 수 있다.
또한, 이러한 라인 전체의 동작 정보의 해석 결과는 예를 들어, 데이터 마이닝을 행하여 유체 공급 라인(L1, L2, L3)의 이상 유무의 판정이나 이상의 예기(豫期) 등에 이용할 수 있다. 구체적으로는, 라인 전체에서의 밸브(V)나 유량 제어 장치(F)의 동작시간, 소정의 밸브(V)가 실제로 개폐 동작을 행한 횟수와 다른 밸브(V)의 개폐 동작의 영향을 받은 시간 등을 파악할 수 있기 때문에, 라인 전체에서의 동작시간에 기초하여 유지보수나 부품 교환의 시기를 판정하거나, 동일 라인 상의 밸브(V)마다의 개폐 속도를 비교하여 이상을 검지하거나 할 수 있다.
또, 상술한 유체 공급 라인(L1, L2, L3)은, 도 9~도 11에 도시된 가스 유닛(2)을 구성할 수도 있다.
가스 유닛(1)과 달리, 가스 유닛(2)을 구성하는 유체 공급 라인(L1, L2, L3)은, 각각 별개로 라인 밖의 기구와 접속되어 있다.
즉, 가스 유닛(2)과 전력의 공급 및 라인 밖과의 통신은, 도 10에 도시된 바와 같이, 라인 밖의 기구와 유체 공급 라인(L1)을 접속하는 메인 케이블(10a), 라인 밖의 기구와 유체 공급 라인(L2)을 접속하는 메인 케이블(10b), 라인 밖의 기구와 유체 공급 라인(L3)을 접속하는 메인 케이블(10c)에 의해 가능하게 되어 있다.
또, 각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 있어서, 유량 제어 장치(F)로부터 밸브(V)에의 접속은 가스 유닛(1)과 마찬가지이다.
또한, 구동압은 도 11에 도시된 바와 같이, 라인 밖의 기구로부터 가스 유닛(2)으로, 각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)마다 메인 튜브(20a, 20b, 20c)에 의해 공급된다.
또, 각 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 있어서, 조인트(J11, J12, J13)로부터 유량 제어 장치(F)나 밸브(V)에의 접속은 가스 유닛(1)과 마찬가지이다.
또, 상술한 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 있어서 적합하게 이용되는 밸브(V)의 내부 구조를 나타낸 모식도를 도 12에 나타낸다.
밸브(V)는, 밸브 본체(3)와 밸브 본체(3)에 연결된 구동압 제어 장치(4)를 구비한다.
밸브 본체(3)는, 예를 들어 다이어프램 밸브 등, 유체 제어 장치의 가스 라인에서 사용되는 밸브로서, 적어도 외부로부터 공급되는 구동압을 내부에 도입하기 위한 구동압 도입구(3a)를 구비하고 있다.
구동압 제어 장치(4)는, 밸브 본체(3)의 구동압 도입구(3a)에 연결되어 있고, 라인 밖의 구동압 공급원(G)으로부터 공급되는 구동압을 밸브 본체(3)에 공급한다.
구동압 제어 장치(4)에는, 라인 밖의 구동압 공급원(G)으로부터 밸브 본체(3)에 구동압을 도입하는 도입로로서, 구동압 도입로(431, 432, 433)를 구비하고 있다. 구동압 도입로(431)는 라인 밖의 구동압 공급원(G)에 접속되어 있다. 구동압 도입로(432)는, 자동 밸브(411) 및 자동 밸브(412)를 개재하여, 구동압 도입로(431)와 구동압 도입로(433)를 연결하고 있다. 구동압 도입로(433)는, 밸브 본체(3)의 구동압 도입구(3a)에 연결되어 있다.
또한, 구동압 제어 장치(4)에는, 구동압 도입로(431)를 개폐하는 N.C.(Normal Close: 상시 폐쇄)의 자동 밸브(411)와, 자동 밸브(411)와 연동하여 구동압 도입로(433)를 개폐함과 아울러, 구동압 도입로(433)로부터 구동압을 장치 밖(A)으로 배기하는 배기 통로(44)를 개폐하는 N.O.(Normal Open: 상시 개방)의 자동 밸브(412)가 설치되어 있다.
자동 밸브(411, 412)는 각각, 밸브 구동부(421, 422)에 의해 개폐된다. 밸브 구동부(421, 422)는, 전원 공급원(E) 및 지시 신호 발신원(Q)으로부터 배선(45)을 개재하여 전원의 공급과 함께 동작을 지시하는 지시 신호를 받고, 지시 신호에 기초한 동작을 실행한다.
또, 자동 밸브(411, 412)는 모두, 통상적인 전자 밸브나 에어 작동형 전자 밸브, 혹은 전기 밸브 등, 각종 밸브에 의해 구성할 수 있다.
이 구동압 제어 장치(4)는, 자동 밸브(411, 412), 밸브 구동부(421, 422), 구동압 도입로(431, 432, 433) 등이 중공의 캡형상의 케이싱(40)으로 덮여 있고, 밸브 본체(3)에 케이싱(40)을 씌우도록 하여, 밸브 본체(3)와 일체화되어 있다.
또, 밸브 본체(3)와 케이싱(40)은, 적절히 나사 멈춤이나 접착제에 의한 접착 등의 수단에 의해 일체화시킬 수 있다.
이러한 구성으로 이루어지는 구동압 제어 장치(4)에서는, 자동 밸브(411, 412)의 개폐 상태에 관계없이, 라인 밖의 구동압 공급원(G)으로부터 공급되는 구동압이 항상 구동압 도입로(431)를 개재하여 자동 밸브(411)가 있는 곳까지 공급되고 있다.
구동압 제어 장치(4)의 개폐 동작에 대해 설명하면, 우선 자동 밸브(411)가 밸브 구동부(421)에 의해 개방되면, 자동 밸브(411)까지 공급되어 있던 구동압은 구동압 도입로(432)를 개재하여 자동 밸브(412)로 도출된다. 또한, 자동 밸브(412)는 자동 밸브(411)와 연동되어 있고, 자동 밸브(411)의 개방에 따라 폐쇄되어 배기 통로(44)가 닫혀, 구동압 도입로(433)를 개재하여 밸브 본체(3)로 구동압이 공급된다.
한편, 자동 밸브(411)가 밸브 구동부(421)에 의해 폐쇄되면, 구동압 공급원(G)으로부터 공급되는 구동압은 자동 밸브(411)에 의해 차단된다. 또한, 자동 밸브(411)에 연동하는 자동 밸브(412)는 개방되고, 배기 통로(44)가 열려 밸브 본체(3) 내의 구동압이 배기된다.
이러한 밸브(V)에 의하면, 구동압 제어 장치(4)와 밸브 본체(3)가 일체적으로 연결되어 있기 때문에, 밸브(V)에 접속하는 배선을 심플하게 할 수 있다.
또한, 항상 밸브 본체(3)와 일체적으로 연결된 구동압 제어 장치(4)의 자동 밸브(411)가 있는 곳까지 구동압이 공급되고 있고, 밸브 본체(3)의 구동압 도입구(3a)에 가까운 곳에서 구동압이 일정 압력으로 높아진 상태가 유지된다. 그 결과, 밸브 본체(3)는 개폐시 구동압의 압력 변화를 받기 어렵고, 개폐 속도를 일정하게 유지할 수 있으며, 나아가서는 재료 가스의 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또, 상술한 밸브(V)는, 밸브 본체(3)에 구동압 제어 장치(4)를 연결시킨 구조로 하였지만, 이에 한정하지 않고, 밸브 본체(3) 내에 구동압 제어 장치(4)를 내장시키기 위한 공간을 확보하고, 이 공간에 구동압 제어 장치(4)를 내장시킬 수도 있다.
또, 상술한 본 실시형태에 대해, 가스 유닛(1, 2)은, 모두 3개의 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 의해 구성되는 것으로 하였지만, 본 발명의 적용이 라인의 수에 의해 제한되는 일은 없다.
다음에, 이상의 구성으로 이루어지는 유체 공급 라인(L1, L2, L3)에 대해, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법을 적용하여 이상을 검출하는 흐름에 대해, 도 13을 참조하여 설명한다.
또, 이하의 설명 및 도 13에서는, 유체 공급 라인(L1, L2, L3)을 유체 공급 라인(L)으로 하고, 유량 제어 장치(F1, F2, F3)는 유량 제어 장치(F)로 하고 있다. 또한, 유량 제어 장치(F)의 상류에 밸브(V1), 하류에 밸브(V2)를 배치하고 있는데, 이 밸브(V1, V2)는 각각, 상술한 유체 공급 라인(L1)에서는 밸브(V12, V11)에 대응한다.
유체 공급 라인(L)은 상술한 바와 같이, 유량 제어 장치(F), 유량 제어 장치(F)의 상류측에 배치된 밸브(V1), 및 유량 제어 장치(F)의 하류측에 배치된 밸브(V2)를 구비하고 있다. 또한, 유량 제어 장치(F)는 제1 접속 수단에 의해 유체 공급 라인(L) 밖의 기구와 접속되어 있고, 내부에는 유량 제어 장치 내 밸브(FV)와, 유로 내 압력을 검출하는 압력 센서 등의 압력 검출 기구(P1, P2)가 설치되어 있다. 또, 압력 검출 기구(P1, P2)는 각각, 유량 제어 장치(F) 내에 설치되어 있는 오리피스(OR)를 사이에 두고 하류측 또는 상류측에 설치되어 있다.
또한, 밸브(V1)는, 제1 접속 수단으로부터 분기된 제2 접속 수단에 의해 유체 공급 라인(L) 밖의 기구와 접속되고, 밸브(V2)는, 제1 접속 수단으로부터 분기된 제2 접속 수단에 의해 유체 공급 라인(L) 밖의 기구와 접속되어 있다.
여기서, 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법은, 유량 제어 장치 내 밸브(FV), 밸브(V1), 밸브(V2)의 이상을 진단하는 것으로, 밸브 조작 공정, 압력 조정 공정, 압력 검출 공정, 및 이상 판정 공정에 의해 구성된다.
밸브 조작 공정은, 유량 제어 장치 내 밸브(FV), 밸브(V1), 및 밸브(V2) 중 어느 하나 또는 복수의 밸브를 개폐하는 공정이다.
압력 조정 공정은, 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치(F)의 유로를 개재하여 밸브(V2)에 이르는 유로(R1, R2)의 일부 또는 전부를 진공 상태 또는 가압 상태로 하는 공정이다. 또, 유로(R1)는 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치 내 밸브(FV)에 이르는 유로이며, 유로(R2)는 유량 제어 장치 내 밸브(FV)로부터 밸브(V2)에 이르는 유로이다. 또한, 진공 상태 또는 가압 상태에 관해, 이상 진단은, 진단을 행하는 밸브(V1, V2), 유량 제어 장치 내 밸브(FV)의 상류측과 하류측에 차압을 발생시켜, 압력의 상승 또는 하강을 검출하는 것이다. 그 때문에, 차압 마련 방법은 진공 상태 또는 가압 상태 중 어느 것에 의할 수도 있다.
압력 검출 공정은, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치(F)의 유로를 개재하여 밸브(V2)에 이르는 유로(R1, R2)의 일부 또는 전부의 경시적인 압력 특성을 취득하는 공정이다.
이상 판정 공정은, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득된 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정하는 공정이다.
<유량 제어 장치 내 밸브(FV)의 시트 누설 이상 진단>
유량 제어 장치 내 밸브(FV)의 시트 누설 이상을 진단하는 경우, 이하의 단계를 순차적으로 실행한다.
·제1 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V1)를 개방한다.
·제2 단계(밸브 조작 공정): 유량 제어 장치 내 밸브(FV)를 폐쇄한다.
·제3 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V2)를 개방한다.
·제4 단계(압력 조정 공정): 밸브(V2) 측으로부터 진공화함으로써, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)로부터 밸브(V2)에 이르는 유로(R2) 내를 진공 상태로 한다.
·제5 단계(밸브 조작 공정): 유로(R2) 내가 진공 상태가 된 곳에서 밸브(V2)를 폐쇄한다.
·제6 단계(압력 검출 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 유로(R2) 내의 경시적인 압력 특성을 취득한다.
·제7 단계(이상 판정 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득한 유로(R2) 내의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정한다.
유량 제어 장치 내 밸브(FV)와 밸브(V2)가 폐쇄되어 있기 때문에, 정상적이면, 유로(R2) 내는 진공 상태를 유지한다. 이에 반해 유로(R2) 내의 압력이 서서히 상승하는 경우에는, 유체가 유로(R1)로부터 유로(R2) 내에 누설되고 있는 것이 예상되고, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)에 이상이 발생하였다고 진단된다.
또, 이 진단은, 밸브(V2) 및 밸브(V1)에 누설이 발생하고 있지 않다는 것이 전제이기 때문에, 밸브(V2) 및 밸브(V1) 각각에 대해서도 아울러 이상 진단을 행하는 것이 바람직하다.
<밸브(V1)의 시트 누설 이상 진단>
·제1 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V1)를 폐쇄한다.
·제2 단계(밸브 조작 공정): 유량 제어 장치 내 밸브(FV)를 개방한다.
·제3 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V2)를 개방한다.
·제4 단계(압력 조정 공정): 밸브(V2) 측으로부터 진공화함으로써, 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치(F)의 유로를 개재하여 밸브(V2)에 이르는 유로(R1, R2) 내를 진공 상태로 한다.
·제5 단계(밸브 조작 공정): 유로(R1, R2) 내가 진공 상태가 된 곳에서 밸브(V2)를 폐쇄한다.
·제6 단계(압력 검출 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 유로(R1, R2) 내의 경시적인 압력 특성을 취득한다.
·제7 단계(이상 판정 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득한 유로(R1, R2) 내의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정한다.
밸브(V1)와 밸브(V2)가 폐쇄되어 있기 때문에, 정상적이면, 유로(R1, R2) 내는 진공 상태를 유지한다. 이에 반해 유로(R1, R2) 내의 압력이 서서히 상승하는 경우에는, 유체가 밸브(V1) 측으로부터 유로(R1, R2) 내에 누설되고 있는 것이 예상되고, 밸브(V1)에 이상이 발생하였다고 진단된다.
또, 이 진단은, 밸브(V2)에 누설이 발생하고 있지 않다는 것이 전제이기 때문에, 밸브(V2)에 대해서도 아울러 이상 진단을 행하는 것이 바람직하다.
<밸브(V2)의 시트 누설 이상 진단>
·제1 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V1)를 개방한다.
·제2 단계(밸브 조작 공정): 유량 제어 장치 내 밸브(FV)를 개방한다.
·제3 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V2)를 폐쇄한다.
·제4 단계(압력 조정 공정): 밸브(V1) 측으로부터 유체를 유입시켜, 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치(F)의 유로를 개재하여 밸브(V2)에 이르는 유로(R1, R2) 내를 가압 상태로 한다.
·제5 단계(밸브 조작 공정): 유로(R1, R2) 내가 가압 상태가 된 곳에서 유량 제어 장치 내 밸브(FV)를 폐쇄한다.
·제6 단계(압력 검출 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 유로(R2) 내의 경시적인 압력 특성을 취득한다.
·제7 단계(이상 판정 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득한 유로(R2) 내의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정한다.
유량 제어 장치 내 밸브(FV)와 밸브(V2)가 폐쇄되어 있기 때문에, 정상적이면, 유로(R2) 내는 가압 상태를 유지한다. 이에 반해 유로(R2) 내의 압력이 서서히 강하하는 경우에는, 유체가 밸브(V2)로부터 하류로 누설되고 있는 것이 예상되고, 밸브(V2)에 이상이 발생하였다고 진단된다.
또, 이 진단은, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)에 누설이 발생하고 있지 않다는 것이 전제이기 때문에, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)에 대해서도 아울러 이상 진단을 행하는 것이 바람직하다.
<밸브(V2)의 Cv값 변화 진단>
·제1 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V1)를 개방한다.
·제2 단계(밸브 조작 공정): 유량 제어 장치 내 밸브(FV)를 개방한다.
·제3 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V2)를 폐쇄한다.
·제4 단계(압력 조정 공정): 밸브(V1) 측으로부터 유체를 유입시켜, 유로(R2) 내를 가압 상태로 한다.
·제5 단계(밸브 조작 공정): 유로(R2) 내가 가압 상태가 된 곳에서 유량 제어 장치 내 밸브(FV)를 폐쇄한다.
·제6 단계(밸브 조작 공정): 밸브(V2)를 개방한다.
·제7 단계(압력 검출 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 유로(R2) 내의 경시적인 압력 특성을 취득한다.
·제8 단계(이상 판정 공정): 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득한 유로(R2) 내의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정한다.
또, Cv값은, 소정 조건에서의 유체의 유량 계수이다.
유량 제어 장치 내 밸브(FV)가 폐쇄되어 있는 한편, 밸브(V2)가 개방되어 있기 때문에, 정상적이면, 유체는 소정의 Cv값 특성을 나타내면서 하류로 유출된다. 이에 반해 정상시의 Cv값 특성을 나타내지 않는 경우에는, 밸브(V2)에 막힘이나 부식 등의 결함이 일어나 있는 것이 예상되고, 밸브(V2)에 이상이 발생하였다고 진단된다. 또, 정상시의 Cv값 특성보다 빨리 유체가 유출되는 경우에는, 밸브 시트가 무너져 유로가 커졌거나, 스프링의 처짐에 의해 스트로크가 커졌거나 하는 것이 예상되고, 정상시의 Cv값 특성보다 늦게 유체가 유출되는 경우에는 막힘이 일어나 있는 것이 예상된다.
또, 이 진단은, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)에 누설이 발생하고 있지 않다는 것이 전제이기 때문에, 유량 제어 장치 내 밸브(FV)에 대해서도 아울러 이상 진단을 행하는 것이 바람직하다.
이상의 본 실시형태에 관한 유체 공급 라인의 이상 진단 방법에 의하면, 밸브(V2), 밸브(V1), 및 유량 제어 장치(F)라는 복수의 유체 제어 기기에 의해 구성되는 유체 공급 라인(L1) 전체의 동작으로부터 유체 제어 기기의 이상을 진단할 수 있다. 특히, 이 유체 공급 라인의 이상 진단 방법이 적용되는 유체 공급 라인(L1)은 상술한 바와 같이, 전력 공급이나 통신을 행하기 위한 케이블이 심플하게 구성됨과 아울러, 구동압을 공급하는 튜브의 내용적이 작기 때문에, 노이즈의 저감, 지시 신호의 전송 속도의 지연 억제, 각 유체 제어 기기의 개폐 속도의 유지, 각 유체 제어 기기의 개폐 속도에 오차 억제를 실현하고 있다. 그 결과, 각 유체 제어 기기의 이상 진단에 대해서도, 유체 제어 기기마다의 동작의 불균일을 억제하여 유체 공급 라인(L1)을 보다 정확하고 정밀하게 행하는 것이 가능하다.
또, 본 실시형태에서는, 유량 제어 장치(F)가 2개의 압력 검출 기구(P1, P2)를 구비하는 것으로 하였지만, 기본적으로는 어느 한쪽만을 설치하면 마찬가지의 진단을 실현할 수 있다.
단, 밸브(V2)의 Cv값 변화 진단에서는, 오리피스(OR)를 닫을 수 없기 때문에, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 오리피스(OR)의 상류측과 하류측의 압력을 측정함으로써, 오리피스(OR)의 이상의 유무를 판정하면서, Cv값 변화를 진단할 수 있다.
또한, 2개의 압력 검출 기구(P1, P2)가 오리피스(OR)를 사이에 두고 상류측과 하류측에 설치되어 있기 때문에, 이상 판정 공정에 있어서, 가압 상태 또는 진공 상태가 된 유로(R1) 및/또는 유로(R2) 내의 압력이 강하 또는 상승하는 경우, 압력 검출 기구(P1, P2)로 압력의 강하 또는 상승의 검출에 타임래그가 발생한다. 예를 들어, 상술한 <밸브(V1)의 시트 누설 이상 진단>에 있어서, 진공 상태가 된 유로(R1, R2) 내의 압력이 상승하는 경우, 밸브(V1)에 시트 누설이 발생하면, 밸브(V1) 측의 압력 검출 기구(P1)가 먼저 압력의 상승을 검출하고, 압력 검출 기구(P2)가 늦게 압력의 상승을 검출한다. 한편, 밸브(V2)에 시트 누설이 발생하면, 밸브(V2) 측의 압력 검출 기구(P2)가 먼저 압력의 상승을 검출하고, 압력 검출 기구(P1)가 늦게 압력의 상승을 검출한다.
또, 다른 이상 진단에 대해서도 마찬가지로, <유량 제어 장치 내 밸브(FV)의 시트 누설 이상 진단>이면 유량 제어 장치 내 밸브(FV)와 밸브(V2), <밸브(V2)의 시트 누설 이상 진단>이면 밸브(V2)와 유량 제어 장치 내 밸브(FV), <밸브(V2)의 Cv값 변화 진단>이면 밸브(V2)와 유량 제어 장치 내 밸브(FV) 중 어느 것에서 이상이 발생하였는지를 판별할 수 있다.
이와 같이, 압력 검출 기구(P1, P2)에서의 압력의 강하 또는 상승의 타임래그를 검출함으로써, 폐공간을 구성하는 상류측과 하류측의 유체 제어 기기 중 어느 것에 이상이 발생하였는지를 판별할 수 있다. 특히, 압력 검출 기구(P1, P2)의 사이에 오리피스(OR)가 개재함으로써, 타임래그가 현실적으로 측정 가능한 정도의 것이 된다. 또한, 상술한 유체 공급 라인(L)과 같이 배선을 행하여, 복수의 유체 제어 기기마다의 동작의 불균일을 억제한 정밀도가 높은 가스 유닛(1)으로서 구성하면, 미소한 시간의 타임래그도 정밀도 높게 검출할 수 있다.
또, 본 발명의 실시형태는 상술한 실시형태에 한정되는 일은 없고, 당업자라면, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위에 있어서, 구성, 수단, 혹은 기능의 변경이나 추가 등이 여러 가지 가능하다.
1, 2 가스 유닛
10, 10a, 10b, 10c 메인 케이블
101, 102 분기 케이블
11, 12, 13 연장 케이블
111, 112, 113, 114 서브 케이블
121, 122, 123, 124 서브 케이블
131, 132, 133, 134 서브 케이블
20, 20a, 20b, 20c 메인 튜브
21, 22, 23 연장 튜브
211, 212, 213 연장 튜브
214, 215, 216, 217, 218 서브 튜브
221, 222, 223 연장 튜브
224, 225, 226, 227, 228 서브 튜브
231, 232, 233 연장 튜브
234, 235, 236, 237, 238 서브 튜브
L1, L2, L3 유체 공급 라인
C1, C2, C3 분기 커넥터
F(F1, F2, F3) 유량 제어 장치
FV 유량 제어 장치 내 밸브
J1 분기 조인트
J11, J111, J112, J113 조인트
J12, J121, J122, J123 조인트
J13, J131, J132, J133 조인트
OR 오리피스
P1, P2 압력 검출 기구
R1, R2 유로
V(V11~V14, V21~24, V31~34), V1, V2 밸브

Claims (10)

  1. 유체가 연통하는 유로에 서로 연통하도록 배치된 복수의 유체 제어 기기로 이루어지는 유체 공급 라인의 이상을 진단하는 방법으로서,
    상기 유체 공급 라인은,
    상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 제1 접속 수단에 의해 접속되고, 유량 제어 장치 내 밸브와 유로 내 압력을 검출하는 압력 검출 기구를 갖는 유량 제어 장치와,
    상기 제1 접속 수단으로부터 분기한 제2 접속 수단에 의해 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 접속되고, 상기 유량 제어 장치의 상류측에 배치된 제1 밸브와,
    상기 제1 접속 수단으로부터 분기한 제2 접속 수단에 의해 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 접속되고, 상기 유량 제어 장치의 하류측에 배치된 제2 밸브로 이루어지며,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브, 상기 제1 밸브, 및 상기 제2 밸브 중 어느 하나 또는 복수의 밸브를 개폐하는 밸브 조작 공정과,
    상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 일부 또는 전부를 진공 상태 또는 가압 상태로 하는 압력 조정 공정과,
    상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 유량 제어 장치의 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 압력 검출 공정과,
    상기 압력 검출 기구에 의해 취득된 이상 진단시의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정하는 이상 판정 공정을 갖는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 조작 공정은,
    상기 제1 밸브를 개방하는 제1 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브를 폐쇄하는 제2 단계와,
    상기 제2 밸브를 개방하는 제3 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 진공이 된 상태로부터, 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제5 단계에 의해 구성되고,
    상기 압력 조정 공정은,
    상기 제3 단계 후에, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 진공 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며,
    상기 압력 검출 공정은,
    상기 제5 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제6 단계에 의해 구성되는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 조작 공정은,
    상기 제1 밸브를 폐쇄하는 제1 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브를 개방하는 제2 단계와,
    상기 제2 밸브를 개방하는 제3 단계와,
    상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 진공이 된 상태로부터, 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제5 단계에 의해 구성되고,
    상기 압력 조정 공정은,
    상기 제3 단계 후에, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 진공 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며,
    상기 압력 검출 공정은,
    상기 제5 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제6 단계에 의해 구성되는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 조작 공정은,
    상기 제1 밸브를 개방하는 제1 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브를 개방하는 제2 단계와,
    상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제3 단계와,
    상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 가압된 상태로부터, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 폐쇄하는 제5 단계에 의해 구성되고,
    상기 압력 조정 공정은,
    상기 제3 단계 후에, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 가압 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며,
    상기 압력 검출 공정은,
    상기 제5 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 제1 밸브로부터 상기 유량 제어 장치의 유로를 개재하여 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제6 단계를 구성하는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 조작 공정은,
    상기 제1 밸브를 개방하는 제1 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브를 개방하는 제2 단계와,
    상기 제2 밸브를 폐쇄하는 제3 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내가 가압된 상태로부터, 상기 유량 제어 장치 내 밸브를 폐쇄하는 제5 단계와,
    상기 유량 제어 장치 내 밸브의 폐쇄 후에 상기 제2 밸브를 개방하는 제6 단계에 의해 구성되고,
    상기 압력 조정 공정은,
    상기 제3 단계 후에, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내를 가압 상태로 하는 제4 단계에 의해 구성되며,
    상기 압력 검출 공정은,
    상기 제6 단계의 실행 후, 상기 압력 검출 기구에 의해, 상기 유량 제어 장치 내 밸브로부터 상기 제2 밸브에 이르는 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 제7 단계를 구성하는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 접속 수단 및 상기 제2 접속 수단이, 상기 유체 공급 라인 밖의 기구로부터 상기 유체 제어 기기의 구동에 이용하는 구동 유체를 공급하는 구동압 공급로인, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 접속 수단 및 상기 제2 접속 수단이, 상기 유체 공급 라인 밖의 기구와 상기 유체 제어 기기를 통신 가능하게 하는 전기 배선인, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  8. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 공급 라인은, 복수 병설(竝設)되어 가스 유닛을 구성하고 있고,
    상기 제1 접속 수단은, 상기 가스 유닛 근방에 있어서 복수의 상기 유체 공급 라인마다 분기하여, 상기 복수의 유체 공급 라인 상의 소정의 유체 제어 기기마다 접속하는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  9. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유량 제어 장치는, 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치이며,
    상기 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치는,
    유량 제어 장치의 유량 검출부로의 유체 통로로서 적어도 소유량용과 대유량용의 유체 통로를 마련하고,
    상기 소유량용 유체 통로를 통해 소유량 영역의 유체를 유량 검출부로 유통시킴과 아울러, 유량 제어부의 검출 레벨을 소유량 영역의 검출에 적합한 검출 레벨로 전환하고, 또한, 상기 대유량용 유체 통로를 통해 대유량 영역의 유체를 상기 유량 검출부로 유통시킴과 아울러, 유량 제어부의 검출 레벨을 대유량 영역의 유량의 검출에 적합한 검출 레벨로 전환함으로써, 대유량 영역과 소유량 영역의 유체를 각각 전환하여 유량 제어하는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
  10. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유량 제어 장치는, 차압(差壓)식 유량 제어 장치이며,
    상기 차압식 유량 제어 장치는,
    밸브 구동부를 구비한 컨트롤 밸브와,
    상기 컨트롤 밸브의 하류측에 설치된 오리피스와,
    상기 오리피스의 상류측의 유체 압력의 검출기와,
    상기 오리피스의 하류측의 유체 압력의 검출기와,
    상기 오리피스의 상류측의 유체 온도의 검출기와,
    상기 각 검출기로부터의 검출 압력 및 검출 온도를 이용하여 유체 유량을 연산함과 아울러, 연산 유량과 설정 유량의 차를 연산하는 유량 비교 회로를 구비한 제어 연산 회로를 갖는, 유체 공급 라인의 이상 진단 방법.
KR1020207010545A 2017-11-29 2018-10-05 유체 공급 라인의 이상 진단 방법 KR102305808B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017229481 2017-11-29
JPJP-P-2017-229481 2017-11-29
PCT/JP2018/037416 WO2019106959A1 (ja) 2017-11-29 2018-10-05 流体供給ラインの異常診断方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200047711A KR20200047711A (ko) 2020-05-07
KR102305808B1 true KR102305808B1 (ko) 2021-09-28

Family

ID=66664822

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207010545A KR102305808B1 (ko) 2017-11-29 2018-10-05 유체 공급 라인의 이상 진단 방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11340636B2 (ko)
JP (1) JP7146284B2 (ko)
KR (1) KR102305808B1 (ko)
CN (1) CN111213109A (ko)
SG (1) SG11202003902XA (ko)
TW (1) TWI691703B (ko)
WO (1) WO2019106959A1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111811623B (zh) * 2020-07-23 2022-06-07 三门核电有限公司 一种高压气体供气流量测量的辅助判断方法
KR102632541B1 (ko) * 2022-03-21 2024-02-02 주식회사 플로워크연구소 제수밸브의 고장진단 방법 및 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004316837A (ja) 2003-04-18 2004-11-11 Koganei Corp 流体圧バルブユニット
JP2012033188A (ja) 2011-10-03 2012-02-16 Tohoku Univ 流量レンジ可変型流量制御装置

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2305030C3 (de) 1973-02-02 1983-02-10 Wäschle Maschinenfabrik GmbH, 7980 Ravensburg Anlage zum pneumatischen Fördern von Schüttgütern
JPS601749B2 (ja) 1977-06-17 1985-01-17 ティーディーケイ株式会社 マグネトロン発振装置
DE3730778A1 (de) * 1987-09-12 1989-03-30 Wabco Westinghouse Fahrzeug Relaisventileinrichtung
JP3107138B2 (ja) * 1995-03-31 2000-11-06 東京瓦斯株式会社 ガス漏洩検知装置
JP3182717B2 (ja) * 1996-06-06 2001-07-03 株式会社山武 調節弁異常検出方法および検出装置
US6296711B1 (en) * 1998-04-14 2001-10-02 Cvd Systems, Inc. Film processing system
JP3546153B2 (ja) * 1998-08-24 2004-07-21 忠弘 大見 圧力式流量制御装置におけるオリフィス目詰検出方法およびその検出装置
CN1114847C (zh) 1998-08-24 2003-07-16 株式会社富士金 压力式流量控制装置的孔板堵塞检测方法及其检测装置
US6363958B1 (en) * 1999-05-10 2002-04-02 Parker-Hannifin Corporation Flow control of process gas in semiconductor manufacturing
KR100440750B1 (ko) * 2002-02-05 2004-07-21 (주)영인테크 밸브 개폐상태 감시 장치
JP3827597B2 (ja) * 2002-03-20 2006-09-27 株式会社佐山製作所 減圧逆流防止装置
JP4006404B2 (ja) * 2004-01-22 2007-11-14 アドバンスエレクトリックジャパン株式会社 混合弁及び混合装置
JP2006319190A (ja) * 2005-05-13 2006-11-24 Ckd Corp ガス供給集積ユニット、ガスユニット及びモジュールユニット
US20070029401A1 (en) * 2005-07-22 2007-02-08 Hooshang Kaen LAN-based sprinkler system
JP4866682B2 (ja) * 2005-09-01 2012-02-01 株式会社フジキン 圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法
JP4820698B2 (ja) * 2006-07-03 2011-11-24 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置の絞り機構下流側バルブの作動異常検出方法
JP4598044B2 (ja) * 2007-10-29 2010-12-15 シーケーディ株式会社 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム
CN103502902B (zh) * 2011-05-10 2015-12-02 株式会社富士金 带有流量监测器的压力式流量控制装置、使用该装置的流体供给系统的异常检测方法及监测流量异常时的处置方法
JP5833403B2 (ja) * 2011-10-06 2015-12-16 株式会社堀場エステック 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材
US9188990B2 (en) * 2011-10-05 2015-11-17 Horiba Stec, Co., Ltd. Fluid mechanism, support member constituting fluid mechanism and fluid control system
US8899264B2 (en) * 2011-12-15 2014-12-02 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic proof of closure system
JP6078487B2 (ja) * 2014-02-18 2017-02-08 アズビル株式会社 流量制御弁リーク診断装置
US10121686B2 (en) * 2015-01-30 2018-11-06 Hitachi High-Technologies Corporation Vacuum processing apparatus
JP6588237B2 (ja) 2015-05-29 2019-10-09 株式会社フジキン バルブおよび流体制御装置
JP6892687B2 (ja) * 2015-12-25 2021-06-23 株式会社フジキン 流量制御装置および流量制御装置を用いる異常検知方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004316837A (ja) 2003-04-18 2004-11-11 Koganei Corp 流体圧バルブユニット
JP2012033188A (ja) 2011-10-03 2012-02-16 Tohoku Univ 流量レンジ可変型流量制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019106959A1 (ja) 2019-06-06
US11340636B2 (en) 2022-05-24
JPWO2019106959A1 (ja) 2020-12-03
KR20200047711A (ko) 2020-05-07
SG11202003902XA (en) 2020-05-28
TW201925732A (zh) 2019-07-01
CN111213109A (zh) 2020-05-29
US20200363826A1 (en) 2020-11-19
TWI691703B (zh) 2020-04-21
JP7146284B2 (ja) 2022-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102268648B1 (ko) 유체 공급 라인
TWI689674B (zh) 閥、閥的異常診斷方法及電腦程式
CN103502902B (zh) 带有流量监测器的压力式流量控制装置、使用该装置的流体供给系统的异常检测方法及监测流量异常时的处置方法
KR102305808B1 (ko) 유체 공급 라인의 이상 진단 방법
US10895484B2 (en) Gas supply device capable of measuring flow rate, flowmeter, and flow rate measuring method
KR102285972B1 (ko) 유체 공급 라인 및 동작 해석 시스템
KR101495033B1 (ko) 발전소 솔레노이드밸브의 테스트 블록장치 및 방법
CN1973136A (zh) 在流体装置中进行故障定位和诊断的方法
WO2020235422A1 (ja) ガス保安装置
KR101418370B1 (ko) 발전소 솔레노이드밸브 테스트 블록장치 및 방법
Hindman et al. Monitoring the condition of a valve and linear actuator in hydraulic systems

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant