WO2019064711A1 - 仮固定シート - Google Patents

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WO2019064711A1
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silicone foam
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亮 伊関
英幸 徳山
清明 児玉
齋藤 誠
充宏 金田
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日東電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a temporarily fixed sheet.
  • silicone foam is excellent in heat resistance, weather resistance, chemical resistance, etc., for example, by further imparting conductivity, it is useful as a temporary fixing member to an adherend for which antistatic prevention is required. Become.
  • An object of the present invention is to provide a temporary fixing sheet having a silicone foam layer, which has excellent antistatic performance and a good appearance.
  • the temporarily fixed sheet in one embodiment of the present invention is A temporary fixing sheet having a silicone foam layer
  • the silicone foam layer is (A) Organopolysiloxane having at least 2 alkenyl groups in one molecule: 100 parts by mass, (B) Organopolysiloxanes having at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule: silicon-bonded hydrogen atoms in component (B) are 0.4 per mol of alkenyl group in component (A) An amount of 20 to 20 moles, (C) Mixture of water and inorganic thickener: 100 parts by mass to 1000 parts by mass, (D-1) nonionic surfactant having a HLB value of 3 or more: 0.2 parts by mass to 1.2 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G), (D-2) nonionic surfactant having an HLB value of less than 3: 0.01 parts by mass to 0.14 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G), (E) hydrosilylation reaction catalyst, (F) cu
  • the amount of the component (D-1) is 0.5 parts by mass to 1.1 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G).
  • the amount of the component (D-1) is 0.7 parts by mass to 1.0 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G).
  • the amount of the component (D-2) is 0.02 parts by mass to 0.10 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G).
  • the amount of the component (D-2) is 0.04 parts by mass to 0.07 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G).
  • the component (G) is carbon black.
  • the carbon black is ketjen black.
  • the apparent density of the silicone foam layer is 0.15 g / cm 3 to 0.90 g / cm 3 .
  • the temporary fixing sheet is used for temporary fixing of the electronic member.
  • a temporary fixing sheet having a silicone foam layer which has excellent antistatic performance and a good appearance.
  • the temporarily fixed sheet is a temporarily fixed sheet having a silicone foam layer.
  • the form of the temporary fixing sheet is, for example, a form having a silicone foam layer in the entire temporary fixing sheet, a form having a silicone foam layer in a part of the temporary fixing sheet, and at least one of the outermost layers of the temporary fixing sheet The form etc. which are this silicone foam layer are mentioned.
  • a separator may be attached to the surface of the silicone foam layer, for example, until use.
  • a separator is not made to function as a support, preferably, the member to be temporarily fixed is peeled from the surface of the silicone foam layer before being placed on the temporary fixing sheet.
  • the temporarily fixed sheet has a surface resistivity of 1.0 ⁇ 10 4 ⁇ / ⁇ to 1.0 ⁇ 10 10 ⁇ / ⁇ , preferably 1.0 ⁇ 10 5 ⁇ / ⁇ to 1.0 ⁇ 10 9 ⁇ / ⁇ , more preferably 5.0 ⁇ 10 5 ⁇ / ⁇ to 5.0 ⁇ 10 8 ⁇ / ⁇ , still more preferably 1.0 ⁇ 10 6 ⁇ / ⁇ to 1.0 ⁇ 10 8 ⁇ / ⁇ , particularly preferably 5.0 ⁇ 10 6 ⁇ / ⁇ to 5.0 ⁇ 10 7 ⁇ / ⁇ .
  • the temporary fixing sheet has excellent antistatic performance.
  • the thickness of the temporary fixing sheet is preferably 10 ⁇ m to 3500 ⁇ m, more preferably 20 ⁇ m to 2500 ⁇ m, still more preferably 30 ⁇ m to 1500 ⁇ m, particularly preferably 40 ⁇ m to 950 ⁇ m, and most preferably 50 ⁇ m to 800 ⁇ m. .
  • the temporary fixing sheet can have a good appearance even with such a small thickness.
  • the silicone foam layer is formed of a silicone resin composition.
  • the silicone foam layer is preferably formed by heat curing of the silicone resin composition.
  • the silicone resin composition contains the following components (A), (B), (C), (D-1), (D-2), (E), (F) and (G).
  • the ratio of the total of the following components (A), (B), (C), (D-1), (D-2), (E), (F), (G) in the silicone resin composition is , Preferably 50% by mass to 100% by mass, more preferably 70% by mass to 100% by mass, still more preferably 90% by mass to 100% by mass, still more preferably 95% by mass to It is 100% by weight, particularly preferably 98% by weight to 100% by weight, and most preferably substantially 100% by weight.
  • the ratio of the total of the following components (A), (B), (C), (D-1), (D-2), (E), (F), (G) in the silicone resin composition is within the above range, the effects of the present invention can be further developed.
  • the silicone resin composition is (A) Organopolysiloxane having at least 2 alkenyl groups in one molecule: 100 parts by mass, (B) Organopolysiloxanes having at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule: silicon-bonded hydrogen atoms in component (B) are 0.4 per mol of alkenyl group in component (A) An amount of 20 to 20 moles, (C) Mixture of water and inorganic thickener: 100 parts by mass to 1000 parts by mass, (D-1) nonionic surfactant having a HLB value of 3 or more: 0.2 parts by mass to 1.2 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G), (D-2) nonionic surfactant having an HLB value of less than 3: 0.01 parts by mass to 0.14 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G), (E) hydrosilylation reaction catalyst, (F) curing retarder: 0.001 to 5 parts by mass, (G) Conductive substance: 0.1 parts by
  • the component (A) is an organopolysiloxane having at least two alkenyl groups in one molecule, and is a main component of the present composition.
  • alkenyl group in the component (A) include a vinyl group, an allyl group and a hexenyl group, preferably a vinyl group.
  • alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group and hexyl group; phenyl group, tolyl group, xylyl group And aryl groups such as benzyl; aralkyl groups such as phenethyl and the like; halogen-substituted alkyl groups such as 3,3,3-trifluoropropyl and the like; and the like, with preference given to methyl.
  • the component (A) may be only one type, or two or more types.
  • the component (A) is dimethylvinylsiloxy group-blocked dimethylpolysiloxane, dimethylvinylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, trimethylsiloxy group-blocked methylvinylpolysiloxane, trimethylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane Examples thereof include methylvinylsiloxane copolymer and trimethylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane methylvinylsiloxane methylphenylsiloxane copolymer, and preferred are diorganopolysiloxanes whose main chain is substantially linear.
  • the component (B) is an organopolysiloxane having at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule, and is a crosslinking agent of the present composition.
  • the bonding position of the silicon-bonded hydrogen atom in the component (B) is not limited, and the molecular chain end and / or the molecular side chain is exemplified.
  • silicon-bonded organic groups other than hydrogen atoms in component (B) include alkyl groups such as methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl and hexyl; phenyl, tolyl, xylyl and the like Examples thereof include aryl groups; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; halogen-substituted alkyl groups such as 3,3,3-trifluoropropyl group; and the like, with preference given to methyl group.
  • the component (B) may be only one type or two or more types.
  • (B) component dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylpolysiloxane, dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane copolymer, trimethylsiloxy group-blocked methylhydrogenpolysiloxane, trimethylsiloxy group Blocked dimethylsiloxane / methyl hydrogen siloxane copolymer, a siloxane unit represented by (CH 3 ) 3 SiO 1/2 and a siloxane unit represented by H (CH 3 ) 2 SiO 1/2 and represented by SiO 4/2
  • An organopolysiloxane composed of siloxane units is exemplified, preferably a linear organopolysiloxane.
  • the content of the component (B) is such that the silicon-bonded hydrogen atoms in the component (B) are in the range of 0.4 mol to 20 mol with respect to 1 mol of the alkenyl group in the component (A).
  • the amount is preferably in the range of 1.5 mol to 20 mol, and more preferably in the range of 1.5 mol to 10 mol. This is because when the number of moles of silicon-bonded hydrogen in the component (B) is in the above range, the compression set of the resulting silicone foam layer is improved.
  • the component (C) is a mixture of water and an inorganic thickener, and is used to form a silicone foam layer by removing water in the component (C) from the silicone rubber obtained by crosslinking the present composition. It is an ingredient.
  • Water in the component (C) is preferably ion-exchanged water because the component (C) is stably dispersed in the component (A).
  • the inorganic thickener in the component (C) is blended to increase the viscosity of water, to easily disperse the component (C) in the component (A), and to stabilize the dispersed state of the component (C).
  • the inorganic thickeners may be natural or synthetic, and natural or synthetic smectite clays such as bentonite, montmorillonite, hectorite, saponite, sauconite, beidellite and nontronite; magnesium aluminum silicate; Examples thereof include composites with water-soluble organic polymers such as carboxyvinyl polymers, preferably smectite clays such as bentonite and montmorillonite.
  • smectite clay for example, smecton SA (manufactured by Kunimine Industrial Co., Ltd.) which is a hydrothermally synthesized product, and Bengel (manufactured by Hojun Co., Ltd.) which is a naturally purified product are available.
  • the pH of these smectite clays is preferably in the range of pH 5.0 to 9.0 in order to maintain the heat resistance of the silicone rubber sponge.
  • the content of the inorganic thickener in the component (C) is preferably in the range of 0.1 parts by mass to 10 parts by mass, and more preferably 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of water. It is in the range of part to 5 parts by mass.
  • the inorganic thickener in the component (C) may be only one, or two or more.
  • the content of the component (C) is in the range of 100 parts by mass to 1000 parts by mass, preferably 100 parts by mass to 800 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A), and more preferably It is in the range of 100 parts by mass to 500 parts by mass, more preferably in the range of 200 parts by mass to 500 parts by mass, and particularly preferably in the range of 200 parts by mass to 350 parts by mass. This is because when the content of the component (C) is at least the lower limit of the above range, a low-density silicone foam layer can be formed, while if it is at the upper limit of the above range, uniform and fine open cells This is because a silicone foam layer having a structure can be formed.
  • nonionic surfactants (D-1) and (D-2) include glycerin fatty acid ester, polyglycerin fatty acid ester, sorbitan fatty acid ester, sucrose fatty acid ester, polyethylene glycol fatty acid ester, polypropylene glycol fatty acid ester And polyoxyethylene glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene / polyoxypropylene block copolymer, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkyl phenyl ether, polyoxyethylene fatty acid amide and the like.
  • the component (D-1) may be only one type or two or more types.
  • the component (D-2) may be only one type, or two or more types.
  • the mass ratio of the component (D-1) to the component (D-2) is preferably 1 or more, more preferably 5 or more, still more preferably 8 or more, and particularly preferably 10 or more. Preferably it is 15 or more.
  • the mass ratio of the component (D-1) to the component (D-2) is preferably 100 or less, more preferably 80 or less, still more preferably 70 or less, and particularly preferably 60 or less. , Most preferably 50 or less.
  • the component (C) is dispersed in the components (A) and (B) with high stability. As a result, it is possible to form a silicone foam layer having a uniform and fine open cell structure.
  • the content of the component (D-1) is 0.2 parts by mass to 1.2 parts by mass, preferably 0.4 parts by mass to 1.1 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G). , More preferably 0.5 parts by mass to 1.1 parts by mass, still more preferably 0.6 parts by mass to 1.0 parts by mass, and particularly preferably 0.7 parts by mass to 1.0 parts by mass is there. If the content of the component (D-1) is within the above range, a temporary fixing sheet having a silicone foam layer with a good appearance can be provided.
  • the content of the component (D-2) is 0.01 parts by mass to 0.14 parts by mass, preferably 0.02 parts by mass to 0.10 parts by mass with respect to 1 part by mass of the component (G).
  • the amount is more preferably 0.03 parts by mass to 0.09 parts by mass, still more preferably 0.04 parts by mass to 0.08 parts by mass, and particularly preferably 0.04 parts by mass to 0.07 parts by mass is there. If the content of the component (D-2) is within the above range, a temporary fixing sheet having a silicone foam layer with a good appearance can be provided.
  • the component (E) is a hydrosilylation reaction catalyst for promoting the hydrosilylation reaction of the silicone resin composition, and examples thereof include a platinum catalyst, a palladium catalyst and a rhodium catalyst, preferably a platinum catalyst .
  • component for example, chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, chloroplatinic acid and olefins, coordination compound of vinylsiloxane or acetylene compound, olefin of platinum, vinylsiloxane or acetylene compound And coordination compounds thereof, tetrakis (triphenylphosphine) palladium, chlorotris (triphenylphosphine) rhodium and the like.
  • the component (E) may be only one type, or two or more types.
  • the content of the component (E) is an amount sufficient to crosslink the silicone resin composition, and specifically, the catalyst in the component (E) relative to the total amount of the components (A) and (B).
  • the amount of metal is preferably in the range of 0.01 ppm to 500 ppm, more preferably in the range of 0.1 ppm to 100 ppm, in terms of mass.
  • the silicone resin composition may contain (F) a curing retarder.
  • a curing retarder for example, 3-methyl-1-butyn-3-ol, 3,5-dimethyl-1-hexyn-3-ol, 3-phenyl-1-butyn-3-ol, And alkyne alcohols such as 1-ethynyl-1-cyclohexanol.
  • the component (F) may be only one type, or two or more types.
  • the content of the component (F) is appropriately selected according to the method of use and molding method of the silicone resin composition, but generally, 0.001 parts by mass to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A). Within the range of parts by mass.
  • the component (G) is a conductive substance, and any suitable conductive substance can be adopted as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • conductive materials include carbon black, carbon fibers, carbon nanofibers, carbon nanotubes, carbon nanotubes, graphite, and other carbon-based conductive agents; metal powders such as gold, silver, and nickel; conductive zinc oxide, conductive Conductive titanium oxide, conductive aluminum oxide; conductive fillers obtained by performing conductive coating on filler surfaces such as metal plating on the surface of various fillers; and the like.
  • the component (G) may be only one type, or two or more types.
  • the content of the component (G) is preferably 0.1 parts by mass or less when the total amount of the components (A) and (B) is 100 parts by mass in that the effect of the present invention can be further exhibited. 100 parts by mass, more preferably 0.2 parts by mass to 50 parts by mass, still more preferably 0.3 parts by mass to 20 parts by mass, particularly preferably 0.3 parts by mass to 15 parts by mass .
  • the conductive substance is preferably carbon black in that the effect of the present invention can be further developed.
  • any suitable carbon black can be adopted as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • carbon black for example, ketjen black, acetylene black, conductive furnace black (CF), super conductive furnace black (SCF), extra conductive furnace black (XCF), conductive channel black (CC), about 1500 ° C. Furnace black heat-treated at a high temperature, and channel black heat-treated at a high temperature of about 1500.degree.
  • ketjen black examples include, for example, ketjen black EC (manufactured by ketjen black international Ltd.), ketjen black EC-600JD (manufactured by ketjen black international Ltd.), and the like.
  • acetylene black examples include Denka Black (manufactured by Electrochemical Corporation), Shawnigan Acetylene Black (manufactured by Shawnigan Chemical Co., Ltd.), and the like.
  • Continux CF made by Continental Carbon Co., Ltd.
  • Vulcan C made by Cabot Co., Ltd.
  • super conductive furnace black examples include, for example, Continux SCF (made by Continental Carbon Co., Ltd.), Vulcan SC (made by Cabot Co., Ltd.), and the like.
  • extra conductive furnace black examples include Asahi HS-500 (manufactured by Asahi Carbon Co., Ltd.) and Vulcan XC-72 (manufactured by Cabot Co., Ltd.).
  • a conductive channel black for example, Kolux L (manufactured by Degussa, Inc.) and the like can be mentioned.
  • ketjen black is preferably mentioned in that the effect of the present invention can be further developed.
  • the silicone resin composition may further contain (H) a reinforcing fine silica powder from the viewpoint of improving the strength of the resulting silicone foam sheet.
  • a silica fine powder having a BET specific surface area of preferably 50 m 2 / g to 350 m 2 / g, more preferably 80 m 2 / g to 250 m 2 / g, is preferable. Desilica, precipitated silica are exemplified. Also, these fine silica powders may be surface-treated with organosilane or the like.
  • the content of the component (H) is preferably 20 parts by mass or less, more preferably 15 parts by mass or less, and still more preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the component (A).
  • the content of the component (H) is preferably 0.1 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the component (A).
  • the silicone resin composition may contain a pigment (but excluding carbon black) such as bengal as long as the object of the present invention is not impaired.
  • the silicone resin composition may be produced by any appropriate method as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • the silicone resin composition preferably has a content of 50.1% by mass or more of the total amount of the component (A) and 60 of the total amount of the component (G) from the viewpoint that the effects of the present invention can be expressed more.
  • Step (II) of preparing a second silicone liquid containing 60% by mass or more of the total amount of the composition and step of preparing a liquid mixture by mixing the first silicone liquid and the second silicone liquid (III And the step (IV) of mixing “60% by mass or more of the total amount of the component (C)” into the mixture solution.
  • stirring is performed.
  • any appropriate mixer such as a homomixer, a paddle mixer, a homodisper, a colloid mill, a vacuum mixing and stirring mixer, a rotation and revolution mixer, and the like may be used.
  • step (I) preferably, “50.1% by mass or more of the total amount of the component (A)” and “60% by mass or more of the total amount of the component (G)” are mixed and stirred. .
  • the amount of the component (A) used in step (I) is preferably 70% by mass or more of the total amount, more preferably 80% by mass or more of the total amount, and still more preferably 90% of the total amount % Or more, particularly preferably 95% by mass or more of the total amount used, and most preferably substantially 100% by mass (total amount) of the total amount used.
  • the amount of component (G) used in step (I) is preferably 70% by mass or more of the total amount, more preferably 80% by mass or more of the total amount, and still more preferably 90% of the total amount % Or more, particularly preferably 95% by mass or more of the total amount used, and most preferably substantially 100% by mass (total amount) of the total amount used.
  • step (II) preferably, "60% by mass or more of the total amount of the component (B)" and "60% by mass or more of the total amount of the components (D-1) and (D-2)" Mix and stir.
  • the amount of component (B) used in step (II) is preferably 70% by mass or more of the total amount, more preferably 80% by mass or more of the total amount, and still more preferably 90% of the total amount % Or more, particularly preferably 95% by mass or more of the total amount used, and most preferably substantially 100% by mass (total amount) of the total amount used.
  • the use amount of the (D-1) component and the (D-2) component in the step (II) is preferably 70% by mass or more of the total amount used, more preferably 80% by mass or more of the total amount used, More preferably, it is 90% by mass or more of the total amount, particularly preferably 95% by mass or more of the total amount, and most preferably 100% by mass (total amount) of the total amount.
  • the first silicone fluid prepared in step (I) preferably does not contain component (B).
  • the first silicone fluid prepared in step (I) preferably does not contain components (D-1) and (D-2).
  • the second silicone fluid prepared in step (II) preferably does not contain component (A).
  • the second silicone fluid prepared in step (II) preferably does not contain component (G).
  • step (IV) preferably, “60% by mass or more of the total amount of the component (C)” is mixed with the mixture and stirred.
  • the amount of component (C) used in step (IV) is preferably 70% by mass or more of the total amount, more preferably 80% by mass or more of the total amount, and still more preferably 90% of the total amount % Or more, particularly preferably 95% by mass or more of the total amount used, and most preferably substantially 100% by mass (total amount) of the total amount used.
  • the temperature at the time of production of the silicone resin composition is preferably 0 ° C. to 50 ° C., more preferably 5 ° C. to 45 ° C., in all the steps in that the effect of the present invention can be exhibited more.
  • the temperature is preferably 10 ° C to 40 ° C, and particularly preferably 15 ° C to 35 ° C.
  • the production of the silicone resin composition is preferably carried out under normal pressure or vacuum.
  • the component (E) may be added at any appropriate step or timing as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • the component (E) is preferably added as late as possible and at the timing of contact with the component (B), in that the effects of the present invention can be further developed.
  • the component (F) may be added at any suitable step or timing as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • the component (F) is preferably added in advance in combination with the component (E), in that the effects of the present invention can be further developed.
  • the method for producing a silicone resin composition is particularly preferably "substantially 100% by mass (total amount) of the total amount of the component (A)" and “substantially 100% by mass of the total amount of the component (G)".
  • Step (I) of preparing the first silicone liquid containing (the total amount), “substantially 100 mass% (the total amount) of the total amount of the component (B)”, “(D-1) component and D-2) A step (II) of preparing a second silicone liquid containing substantially 100% by mass (total amount) of the total amount used of the component, mixing the first silicone liquid and the second silicone liquid Manufacturing method including a step (III) of preparing a mixed solution and a step (IV) of mixing "substantially 100 mass% (total amount) of the total amount of the component (C) used" with the mixed solution It is.
  • the silicone foam layer is formed of a silicone resin composition.
  • the silicone resin composition is coated on a separator A (hereinafter, this step is referred to as step (1)), and the separator of the coated silicone resin composition A separator B is placed on the surface opposite to A (hereinafter this step is referred to as step (2)), and the silicone resin composition is thermally cured (hereinafter this step is referred to as step (3))
  • a material obtained by peeling at least one selected from the separator A and the separator B is dried by heating (hereinafter, this step is referred to as step (4)) to form a silicone foam layer.
  • at least one of the peeled separators is preferably a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • a silicone resin composition is coated on a separator A (hereinafter, this step is referred to as step (1)), and the coated silicone resin composition A separator B is placed on the surface opposite to the separator A (hereinafter this step is referred to as step (2)), and the silicone resin composition is thermally cured (hereinafter this step is referred to as step (3)) And at least one selected from the separator A and the separator B is dried by heating (hereinafter, this step is referred to as a step (4)), and bonded to a support (hereinafter, this step is referred to as Step (5)), form a silicone foam layer.
  • At least one of the peeled separators is a separator having a surface with a specific arithmetic average surface roughness Ra.
  • the said support body is arrange
  • the thickness of the separator A or the separator B is preferably 1 ⁇ m to 500 ⁇ m, more preferably 3 ⁇ m to 450 ⁇ m, still more preferably 5 ⁇ m to 400 ⁇ m, and particularly preferably 10 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • Arithmetic mean surface roughness Ra in a separator having a surface of a specific arithmetic mean surface roughness Ra is preferably 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m, more preferably 0.15 ⁇ m to 4.5 ⁇ m, still more preferably 0. It is 2 ⁇ m to 4 ⁇ m, particularly preferably 0.22 ⁇ m to 3.5 ⁇ m.
  • the silicone foam layer formed can have a sufficient shear adhesion in the same direction as the surface, and It may have weaker adhesion in the perpendicular direction.
  • the arithmetic mean surface roughness Ra of the surface of the silicone foam layer obtained after peeling is preferably 0.1 ⁇ m to 10 ⁇ m. It is more preferably 0.2 ⁇ m to 9 ⁇ m, still more preferably 0.3 ⁇ m to 8.5 ⁇ m, and particularly preferably 0.4 ⁇ m to 8 ⁇ m.
  • the temporarily fixed sheet has a sufficient shear adhesion in the same direction as the surface. And may have weaker adhesion in the direction perpendicular to the surface.
  • separator which has the surface of the above specific arithmetic mean surface roughness Ra
  • paper for example, paper, a plastic film, a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, a plastic film whose surface is siliconized or fluorinated silicone, etc.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • plastic film examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, A polyurethane film, an ethylene-vinyl acetate copolymer film, a polyimide film, a polyamide (nylon) film, an aromatic polyamide (aramid) film, etc. may be mentioned, and in particular, silicone treatment or A plastic film which has not been subjected to surface treatment such as fluorosilicone treatment is preferred.
  • a separator is particularly preferably a polyethylene terephthalate (PET) film which has not been subjected to surface treatment such as silicone treatment or fluorosilicone treatment.
  • the surface of the separator A or B serving as a support is coated with an undercoating agent such as a silane coupling agent in order to increase the anchoring property with the silicone foam layer. It is preferable to perform surface treatment such as corona treatment or plasma treatment.
  • separator A or the separator B When a separator other than a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m is used as the separator A or the separator B, for example, a plastic or metal having no air permeability is used as such a separator. And glass sheets and films are preferred.
  • an olefin-based resin having an ⁇ -olefin such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA) as a monomer component
  • Polyester-based resins such as PET), polyethylene naphthalate (PEN), polybutylene terephthalate (PBT); polyvinyl chloride (PVC); vinyl acetate-based resin; polyphenylene sulfide (PPS); polyamide (nylon), wholly aromatic polyamide (polyamide) Amide-based resins such as aramid); polyimide-based resins; polyetheretherketone (PEEK); copper; aluminum; any glass;
  • the surface of the base material (liner base material) of a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, a paper or a plastic film is a silicone treatment, the release liner in which the silicon fluoride was processed, etc.
  • plastic films as liner substrates include polyethylene films, polypropylene films, polybutene films, polybutadiene films, polymethylpentene films, polyvinyl chloride films, vinyl chloride copolymer films, polyethylene terephthalate films, polybutylene terephthalate films, Examples include polyethylene naphthalate film, polyurethane film, ethylene-vinyl acetate copolymer film, polyimide film, polyamide (nylon) film, aromatic polyamide (aramid) film, and the like.
  • the release liner that can be used as the separator is preferably a substrate of polytetrafluoroethylene (PTFE) film, paper or plastic film (liner substrate).
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • liner substrate The surface of the above is a silicone fluoride treated release liner.
  • the surface of a substrate (liner substrate) of a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, paper or plastic film is treated with silicone fluoride as the separator in the case where there is a separator that is not removed during heating and drying in step (4)
  • an adhesive layer may be provided on the separator A and the separator B.
  • the separator A used in step (1) and the separator B used in step (2) may be the same or different. Further, each of the separator A used in the step (1) and the separator B used in the step (2) may have only one layer, or may have two or more layers.
  • the silicone resin composition in contact with the surface changes.
  • a highly hydrophilic separator such as a polyethylene terephthalate (PET) film
  • PET polyethylene terephthalate
  • the surface of the silicone resin composition in contact with the separator is fine There can be fewer surface openings of diameter. Therefore, in order to express high air permeability and high adsorptivity to the silicone foam layer, it is preferable to use a highly hydrophilic separator, and to express high water repellency and high dust resistance to the silicone foam layer. When desired, it is preferable to use a highly hydrophobic separator. When removability between the silicone foam layer and the separator is required, it is preferable to use a highly hydrophobic separator.
  • PET polyethylene terephthalate
  • the degree of hydrophilicity / hydrophobicity can be defined, for example, by the contact angle with water. For example, when the contact angle with water is less than 90 degrees, it can be defined as hydrophilic, and when the contact angle with water is 90 degrees or more, it can be defined as hydrophobic.
  • the silicone resin composition is thermally cured.
  • the temperature of the heat curing is preferably 50 ° C. or more and less than 100 ° C. in that the silicone resin composition can be heat cured efficiently. If the temperature of the heat curing is less than 50 ° C., the heat curing may take too long. When the temperature of heat curing is 100 ° C. or higher, coarsening and densification of the cells to be formed occur due to evaporation of the water in the silicone resin composition which is sandwiched between the separator A and the separator B and is in a substantially sealed state. There is a fear.
  • what is formed from a silicone resin composition by process (3) shall be called a silicone foam layer precursor.
  • the one from which at least one selected from the separator A and the separator B is peeled off is heated and dried.
  • the substantially closed state in step (3) is released by peeling at least one selected from separator A and separator B, and the silicone foam formed in step (3) is released by heating and drying in this released state.
  • Water is efficiently volatilized and removed from the sheet precursor to obtain a silicone foam layer.
  • the heating and drying temperature in the step (4) is preferably 120 ° C. to 250 ° C. in that the silicone foam layer can be effectively formed. If the heating and drying temperature in the step (4) is less than 120 ° C., drying and curing may take too much time, and a silicone foam sheet having an open cell structure and a fine cell diameter may not be obtained. When the heating and drying temperature in the step (4) exceeds 250 ° C., the shrinkage and expansion of the base material may make sheet formation difficult.
  • a silicone foam layer is formed by bonding to a support.
  • the silicone foam layer preferably comprises an open cell structure. That is, the silicone foam layer preferably has an open cell structure having through holes between adjacent cells.
  • the open cell structure of the silicone foam layer combined with other features of the silicone foam layer, excellent foamability can be exhibited, and adherends can be bonded and temporarily fixed without biting more air bubbles. It can be peeled off more easily without adhesive residue when releasing temporary fixing. In addition, even if the thickness of the silicone foam layer is reduced, expression of these effects can be maintained.
  • the silicone foam layer preferably has cells (spherical cells).
  • the cells (spherical cells) do not have to be strictly spherical cells, and may be, for example, partially distorted, substantially spherical cells, or cells formed of a space having a large strain.
  • the silicone foam layer preferably has an open cell ratio of 90% or more, more preferably 90% to 100%, still more preferably 92% to 100%, and still more preferably 95% to 100%. And particularly preferably 99% to 100%, and most preferably substantially 100%. If the open cell ratio of the silicone foam layer is in the above range, it is possible to express more excellent air bubble-releasing property in combination with other features of the silicone foam layer, and adhere the adherend without further biting air bubbles. It can be fixed, and can be peeled off more easily without adhesive residue when releasing temporary fixing. In addition, even if the thickness of the silicone foam layer is reduced, expression of these effects can be further maintained.
  • the open cell rate can be measured, for example, as follows. That is, the silicone foam layer is submerged in water and left for 3 minutes under a reduced pressure of -750 mmHg to replace the air in the air bubbles with water to reduce the mass of absorbed water, and the density of water is 1.0 g / g.
  • a bubble partial volume is computed by the following formula, for example.
  • the resin density is a value obtained by measuring the density of a resin molded product produced by removing the emulsifier in the resin forming the silicone foam layer.
  • Cellular part volume (cm 3 ) ⁇ (mass of silicone foam layer) / (apparent density of silicone foam layer) ⁇ - ⁇ (mass of silicone foam layer) / (resin density) ⁇
  • the silicone foam layer preferably has an average cell diameter of 1 ⁇ m to 200 ⁇ m, more preferably 1.5 ⁇ m to 180 ⁇ m, still more preferably 2 ⁇ m to 170 ⁇ m, particularly preferably 2.5 ⁇ m to 160 ⁇ m, and most preferably Preferably, it is 3 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the average cell diameter when the average cell diameter is in the above range, combined with other features of the silicone foam layer, it is possible to express more excellent air bubble escape property, and adhere the adherend without further biting air bubbles. It can be temporarily fixed and can be removed more easily without adhesive residue when releasing the temporary fixation. In addition, even if the thickness of the silicone foam layer is reduced, expression of these effects can be further maintained.
  • the silicone foam layer preferably has a cell diameter of at least 90% of all cells is 300 ⁇ m or less, more preferably, a cell diameter of at least 92% of all cells is 300 ⁇ m or less, and still more preferably 95% of all cells. % Or more cell diameter is 300 ⁇ m or less, particularly preferably 97% or more cell diameter of all cells is 300 ⁇ m or less, most preferably substantially 100% cell diameter of all cells is 300 ⁇ m or less .
  • the silicone foam layer more preferably has a cell diameter of 90% or more of all cells is 250 ⁇ m or less, more preferably, a cell diameter of 90% or more of all cells is 200 ⁇ m or less, particularly preferably all
  • the cell diameter of 90% or more of the cells is 180 ⁇ m or less, and most preferably, the cell diameter of 90% or more of all the cells is 150 ⁇ m or less. If the ratio of the cell diameter of 300 ⁇ m or less and the cell diameter of 90% or more of all the cells in the silicone foam layer fall within the above range, it is possible to express better bubble releasability by combining with other features of the silicone foam layer.
  • the adherend can be bonded and temporarily fixed without further entrapment of air bubbles, and when releasing temporary fixing, it can be removed more easily without adhesive residue. In addition, even if the thickness of the silicone foam layer is reduced, expression of these effects can be further maintained.
  • the maximum cell diameter in all the cells is preferably 300 ⁇ m or less, more preferably 250 ⁇ m or less, still more preferably 200 ⁇ m or less, particularly preferably 180 ⁇ m or less, most preferably 150 ⁇ m or less It is.
  • the maximum cell diameter in all the cells is in the above range, combined with other features of the silicone foam layer, it is possible to express more excellent air bubble escape property and adherend without further bite of air bubbles. Can be pasted and temporarily fixed, and when releasing temporary fixing, it can be peeled off more easily without adhesive residue. In addition, even if the thickness of the silicone foam layer is reduced, expression of these effects can be further maintained.
  • the minimum cell diameter in all the cells is preferably 100 ⁇ m or less, more preferably 80 ⁇ m or less, still more preferably 70 ⁇ m or less, particularly preferably 60 ⁇ m or less, and most preferably 50 ⁇ m or less It is.
  • the minimum cell diameter in all the cells is in the above range, combined with the other features of the silicone foam layer, it is possible to express more excellent air bubble escape property and adherend without further bite of air bubbles. Can be pasted and temporarily fixed, and when releasing temporary fixing, it can be peeled off more easily without adhesive residue. In addition, even if the thickness of the silicone foam layer is reduced, expression of these effects can be further maintained.
  • the silicone foam layer preferably has an open cell structure, and preferably, the cell diameter is as fine as described above, excellent bubble release can be exhibited to bite the air bubbles.
  • the adherend can be bonded and temporarily fixed, and when releasing temporary fixing, it can be peeled off without adhesive residue, which is suitable for a temporary fixing sheet.
  • the average cell diameter can be determined, for example, by capturing an enlarged image of the cross section of the silicone foam layer with a low vacuum scanning electron microscope ("S-3400N scanning electron microscope", manufactured by Hitachi High-Tech Science Systems) and analyzing the image. Can.
  • the number of cells to be analyzed is, for example, 20.
  • the minimum cell diameter ( ⁇ m) and the maximum cell diameter ( ⁇ m) can be determined.
  • the silicone foam layer preferably has a surface opening.
  • the surface opening referred to herein means an opening having an average pore diameter of a certain size, which is present on the surface of the silicone foam layer.
  • the adherend can be bonded and temporarily fixed without biting more air bubbles, and it can be easily removed without adhesive residue when releasing the temporary fixing. . It is presumed that this is because the surface opening functions as an appropriate suction cup, whereby the temporary fixing sheet having a silicone foam layer can exhibit better temporary fixing.
  • the opening ratio of the surface opening is preferably 1% to 99%, more preferably 2% to 95%, still more preferably 3% to 90%, and particularly preferably 4% to 85%. And most preferably 5% to 80%. If the open area ratio of the surface opening is within the above range, the silicone foam layer can bond and temporarily fix adherends without biting more air bubbles, and when releasing temporary fixing, there is no adhesive residue. It can be peeled off easily.
  • the average pore diameter of the surface opening is preferably 150 ⁇ m or less, more preferably 0.5 ⁇ m to 145 ⁇ m, still more preferably 1.0 ⁇ m to 140 ⁇ m, particularly preferably 1.5 ⁇ m to 135 ⁇ m, and most preferably Is 2.0 ⁇ m to 130 ⁇ m. If the average pore diameter of the surface opening is in the above range, the silicone foam layer can bond and temporarily fix adherends without biting more air bubbles, and when releasing temporary fixing, it does not have adhesive residue. It can be peeled off easily.
  • the average pore diameter of the surface opening is determined, for example, by capturing an enlarged image of the surface of the silicone foam layer with a low vacuum scanning electron microscope ("S-3400N scanning electron microscope", manufactured by Hitachi High-Tech Fielding) and analyzing the image. be able to.
  • the number of holes to be analyzed is, for example, 20.
  • the apparent density of the silicone foam layer is preferably 0.15 g / cm 3 to 0.90 g / cm 3 , more preferably 0.20 g / cm 3 to 0.85 g / cm 3 , still more preferably 0. It is 25 g / cm 3 to 0.80 g / cm 3 , particularly preferably 0.30 g / cm 3 to 0.75 g / cm 3 .
  • the silicone foam layer has an arithmetic average surface roughness Ra of preferably 0.1 ⁇ m to 10 ⁇ m, more preferably 0.2 ⁇ m to 9 ⁇ m, and still more preferably 0.3 ⁇ m to 8.5 ⁇ m. Particularly preferably, it is 0.4 ⁇ m to 8 ⁇ m.
  • the temporary fixing sheet can have a sufficient shear adhesion in the same direction as the surface and with respect to the surface It may have weaker adhesion in the vertical direction.
  • a separator may be attached to the surface of the silicone foam layer, for example, until use.
  • a separator is not made to function as a support, preferably, the member to be temporarily fixed is peeled off from the surface of the silicone foam layer before being placed on the temporary fixing sheet.
  • the thickness of the separator is preferably 1 ⁇ m to 500 ⁇ m, more preferably 3 ⁇ m to 450 ⁇ m, still more preferably 5 ⁇ m to 400 ⁇ m, and particularly preferably 10 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • separator examples include paper, a plastic film, a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, and a plastic film whose surface is siliconized or fluorinated.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • plastic film examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, Polyurethane films, ethylene-vinyl acetate copolymer films, polyimide films, polyamide (nylon) films, aromatic polyamide (aramid) films, etc. may be mentioned.
  • a plastic film not subjected to surface treatment such as silicone treatment or fluorosilicone treatment is attached as a separator to at least one surface of the silicone foam layer in that the effects of the present invention can be further developed.
  • a separator is particularly preferably a polyethylene terephthalate (PET) film which has not been subjected to surface treatment such as silicone treatment or fluorosilicone treatment.
  • the arithmetic mean surface roughness Ra of the surface is preferably 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m, more preferably 0.15 ⁇ m to 4.5 ⁇ m, and still more preferably 0.2 ⁇ m to 4 ⁇ m. And particularly preferably 0.22 ⁇ m to 3.5 ⁇ m.
  • a silicone foam layer is provided on the entire temporary fixing sheet. That is, in one embodiment of the temporary fixing sheet, the temporary fixing sheet is made of a silicone foam layer.
  • a silicone foam layer is provided on a part of the temporary fixing sheet, and at least one of the outermost layers of the temporary fixing sheet is the silicone foam layer.
  • a support is provided on one surface side of the silicone foam layer.
  • a separator may be attached to the other surface of the silicone foam layer, for example, until use.
  • Such separator is preferably a separator of arithmetic mean surface roughness Ra of a particular surface, as described above.
  • the adhesive layer is provided on one surface side of the silicone foam layer.
  • a separator may be attached to the other surface of the silicone foam layer and the other surface of the pressure-sensitive adhesive layer, for example, until use.
  • the separator attached to the other surface of the silicone foam layer is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of preferably 0.1 to 5 ⁇ m as described above. It is.
  • a support is provided on one surface side of the silicone foam layer, and a pressure-sensitive adhesive layer is further provided on the surface of the support opposite to the silicone foam layer. That is, it is in the form of silicone foam layer / support / adhesive layer.
  • a separator may be attached to the other surface of the silicone foam layer and the other surface of the pressure-sensitive adhesive layer, for example, until use.
  • the separator attached to the other surface of the silicone foam layer is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of preferably 0.1 to 5 ⁇ m as described above. It is.
  • a support is provided on one surface side of the silicone foam layer, and a silicone foam layer is provided on the surface of the support opposite to the silicone foam layer. That is, in the form of silicone foam layer / support / silicone foam layer.
  • a separator may be attached to the other surface of the silicone foam layer, for example, until use.
  • Such a separator is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of preferably 0.1 to 5 ⁇ m, as described above.
  • any suitable support can be adopted as long as it can support the silicone foam layer.
  • a support include plastic films and sheets, tapes, paper, non-woven fabrics, metal foils and metal meshes, glass and glass cloth, and the like.
  • the support may have one layer or two or more layers.
  • undercoats such as a silane coupling agent, to surface of a support body, or to perform surface treatments, such as corona treatment and plasma treatment.
  • plastic film examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, Polyurethane films, ethylene-vinyl acetate copolymer films, polyimide films, polyamide (nylon) films, aromatic polyamide (aramid) films, etc. may be mentioned.
  • the pressure-sensitive adhesive layer a layer made of any appropriate pressure-sensitive adhesive may be employed.
  • an adhesive for example, rubber-based adhesives (synthetic rubber-based adhesives, natural rubber-based adhesives, etc.), urethane-based adhesives, acrylic urethane-based adhesives, acrylic-based adhesives, silicone-based adhesives, Examples thereof include polyester-based pressure-sensitive adhesives, polyamide-based pressure-sensitive adhesives, epoxy-based pressure-sensitive adhesives, vinyl alkyl ether-based pressure-sensitive adhesives, and fluorine-based pressure-sensitive adhesives.
  • a pressure-sensitive adhesive may be only one type, or two or more types.
  • the pressure-sensitive adhesive layer may be a single layer or two or more layers.
  • the pressure-sensitive adhesive may be classified, for example, as an emulsion-type pressure-sensitive adhesive, a solvent-type pressure-sensitive adhesive, a UV-crosslinking (UV-crosslinking) pressure-sensitive adhesive, an electron beam-crosslinking (EB-crosslinking) pressure-sensitive adhesive, a heat melting-type pressure-sensitive adhesive Agents (hot melt pressure sensitive adhesive) and the like.
  • a pressure-sensitive adhesive may be only one type, or two or more types.
  • any suitable other foam layer may be adopted as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • another foam layer an acrylic foam layer etc. are mentioned, for example.
  • Measurement object for example, micro slide glass S, manufactured by Matsunami Glass Industry Co., Ltd.
  • a 3D measurement laser microscope LXT OLS4000, manufactured by Olympus Corporation
  • An adsorption temporary fixing sheet was placed, and a 3D image from the surface of the glass plate to the top of the object to be measured was measured, and the height was taken as the thickness.
  • a measurement object for example, an adsorption temporary fixing sheet
  • the thickness was calculated from the value of the above-mentioned ⁇ measurement of thickness> to calculate the volume of the measurement object from these values.
  • the mass of the object to be measured was measured by an upper balance with a minimum scale of 0.01 g or more.
  • the apparent density (g / cm 3 ) of the object to be measured was calculated from these values.
  • x 0.3 mm 2 or more and 0.7 mm 2 smaller pinholes 50 fewer than 10 or more, or, 0.7 mm 2 or more pinholes 1 or more
  • ⁇ Surface resistivity> An object to be measured (for example, an adsorption temporary fixing sheet) was cut into a size of 100 cm ⁇ 100 cm, and a surface resistivity ( ⁇ / ⁇ ) was determined using Hiresta HT-210 (manufactured by Mitsubishi Yuka Co., Ltd.).
  • Preparation Example 7 Preparation of Mixture (C-1) Composed of Water and Inorganic Thickener Smectite clay (organic polymer composite hydrophilic refined bentonite (pH 6.5), manufactured by Hojun Co.): 1 part by mass Ion-exchanged water: 99 parts by mass was charged into a homomixer and mixed until uniform at room temperature to produce a mixture of water and an inorganic thickener (component (C)) (C-1).
  • component (C)) component (C-1).
  • Preparation Example 8 Preparation of Nonionic Surfactant (D-1-1) Having a HLB Value of 3 or Higher Nonionic Surfactant (Sorbitan Fatty Acid Ester, trade name: Leodol SP-O10V, manufactured by Kao Corporation) HLB 4.3) was used as the nonionic surfactant (component (D-1) component) (D-1-1) having an HLB value of 3 or more.
  • Preparation Example 9 Preparation of a nonionic surfactant (D-2-1) having a HLB value of less than 3
  • a nonionic surfactant (Sorbitan fatty acid ester, trade name: Leodol SP-O30V, manufactured by Kao Corporation) HLB 1.8) was used as the nonionic surfactant ((D-2) component) (D-2-1) having an HLB value of less than 3.
  • Examples 1 to 8, Comparative Examples 1 to 6 A homomixer (specialized mechanical conversion) of masterbatch of component (A) and component (G), component (A), component (C), component (D-1) and component (D-2) in the composition ratio of Table ) And mixed at 25 ° C. until uniform. Subsequently, (B) component, (E) component, and (F) component are mix
  • a homomixer made by Tokushu Kika Co., Ltd.
  • the obtained silicone resin composition is coated on a fluorosilicone-treated PET film (Nippa sheet PET 38x1-SS4A, manufactured by NIPPA) using an applicator, and a PET film (Lumirror S10, manufactured by Toray Industries) is then covered thereon. Then, the resin composition was cured by heating at 85 ° C. for 10 minutes in a hot air oven. After curing, the PET film was peeled off and further dried by heating at 200 ° C. for 3 minutes to obtain 200 ⁇ m-thick sheet-like temporary fixing sheets (1) to (8) and (C1) to (C6). The results are shown in Table 1.
  • the temporary fixing sheet of the present invention can be used as a temporary fixing material in various fields.
  • the temporarily fixed sheet of the present invention is suitably used for temporarily fixing an electronic member.

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Abstract

優れた帯電防止性能を有し、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供する。 本発明の一つの実施形態における仮固定シートは、シリコーン発泡層を有する仮固定シートであって、該シリコーン発泡層が、(A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、(B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン、(C)水と無機系増粘剤からなる混合物、(D-1)HLBの値が3以上であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.2質量部~1.2質量部、(D-2)HLBの値が3未満であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.01質量部~0.14質量部、(E)ヒドロシリル化反応触媒、(F)硬化遅延剤、(G)導電性物質、を含むシリコーン樹脂組成物から形成される。

Description

仮固定シート
 本発明は、仮固定シートに関する。
 近年、発泡材料として、シリコーン発泡体が注目されている(例えば、特許文献1、2)。
 シリコーン発泡体は、耐熱性、耐候性、耐薬品性などに優れているため、例えば、導電性をさらに付与することにより、帯電防止が求められる被着体への仮固定部材として有用なものとなる。
 しかし、シリコーン発泡体に導電性物質を含有させて十分な帯電防止性能を付与させようと設計を試みると、シート状にした場合に外観不良が生じることがわかった。
特許第5702899号公報 特開2014-167067号公報
 本発明の課題は、優れた帯電防止性能を有し、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することにある。
 本発明の一つの実施形態における仮固定シートは、
 シリコーン発泡層を有する仮固定シートであって、
 該シリコーン発泡層が、
 (A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン:100質量部、
 (B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン:(A)成分中のアルケニル基1モルに対して(B)成分中のケイ素原子結合水素原子が0.4モル~20モルとなる量、
 (C)水と無機系増粘剤からなる混合物:100質量部~1000質量部、
 (D-1)HLBの値が3以上であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.2質量部~1.2質量部、
 (D-2)HLBの値が3未満であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.01質量部~0.14質量部、
 (E)ヒドロシリル化反応触媒、
 (F)硬化遅延剤:0.001質量部~5質量部、
 (G)導電性物質:(A)成分と(B)成分の合計を100質量部としたときに0.1質量部~100質量部、
を含むシリコーン樹脂組成物から形成される。
 一つの実施形態においては、上記(D-1)成分の量が、上記(G)成分1質量部に対して0.5質量部~1.1質量部である。
 一つの実施形態においては、上記(D-1)成分の量が、上記(G)成分1質量部に対して0.7質量部~1.0質量部である。
 一つの実施形態においては、上記(D-2)成分の量が、上記(G)成分1質量部に対して0.02質量部~0.10質量部である。
 一つの実施形態においては、上記(D-2)成分の量が、上記(G)成分1質量部に対して0.04質量部~0.07質量部である。
 一つの実施形態においては、上記(G)成分がカーボンブラックである。
 一つの実施形態においては、上記カーボンブラックがケッチェンブラックである。
 一つの実施形態においては、上記シリコーン発泡層の見かけ密度が0.15g/cm~0.90g/cmである。
 一つの実施形態においては、上記仮固定シートは、電子部材の仮固定に用いられる。
 本発明によれば、優れた帯電防止性能を有し、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することができる。
 仮固定シートは、シリコーン発泡層を有する仮固定シートである。
 仮固定シートの形態としては、例えば、シリコーン発泡層を仮固定シートの全体に有する形態、シリコーン発泡層を仮固定シートの一部に有する形態であって該仮固定シートの最外層の少なくとも一方が該シリコーン発泡層である形態などが挙げられる。
 仮固定シートにおいて、シリコーン発泡層の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、支持体として機能させるものではない場合、好ましくは、仮固定したい部材を仮固定シートに載置する前に、シリコーン発泡層の表面から剥離する。
 仮固定シートは、表面抵抗率が、1.0×10Ω/□~1.0×1010Ω/□であり、好ましくは1.0×10Ω/□~1.0×10Ω/□であり、より好ましくは5.0×10Ω/□~5.0×10Ω/□であり、さらに好ましくは1.0×10Ω/□~1.0×10Ω/□であり、特に好ましくは5.0×10Ω/□~5.0×10Ω/□である。仮固定シートの表面抵抗率が上記範囲内にあることにより、仮固定シートは、優れた帯電防止性能を有する。
 仮固定シートの厚みは、好ましくは10μm~3500μmであり、より好ましくは20μm~2500μmであり、さらに好ましくは30μm~1500μmであり、特に好ましくは40μm~950μmであり、最も好ましくは50μm~800μmである。仮固定シートは、厚みがこのように薄くても、外観が良好なものとなり得る。
 シリコーン発泡層は、シリコーン樹脂組成物から形成される。シリコーン発泡層は、好ましくは、シリコーン樹脂組成物の熱硬化によって形成される。
 シリコーン樹脂組成物は、下記の成分(A)、(B)、(C)、(D-1)、(D-2)、(E)、(F)、(G)を含む。
 シリコーン樹脂組成物中の、下記の成分(A)、(B)、(C)、(D-1)、(D-2)、(E)、(F)、(G)の合計の割合は、質量基準で、好ましくは50質量%~100質量%であり、より好ましくは70質量%~100質量%であり、さらに好ましくは90質量%~100質量%であり、さらに好ましくは95質量%~100質量%であり、特に好ましくは98質量%~100質量%であり、最も好ましくは実質的に100質量%である。シリコーン樹脂組成物中の、下記の成分(A)、(B)、(C)、(D-1)、(D-2)、(E)、(F)、(G)の合計の割合が上記範囲内にあれば、本発明の効果をより発現させ得る。
 シリコーン樹脂組成物は、
 (A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン:100質量部、
 (B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン:(A)成分中のアルケニル基1モルに対して(B)成分中のケイ素原子結合水素原子が0.4モル~20モルとなる量、
 (C)水と無機系増粘剤からなる混合物:100質量部~1000質量部、
 (D-1)HLBの値が3以上であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.2質量部~1.2質量部、
 (D-2)HLBの値が3未満であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.01質量部~0.14質量部、
 (E)ヒドロシリル化反応触媒、
 (F)硬化遅延剤:0.001質量部~5質量部、
 (G)導電性物質:(A)成分と(B)成分の合計を100質量部としたときに0.1質量部~100質量部、
を含む。
 (A)成分は、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンであり、本組成物の主剤である。(A)成分中のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基である。また、(A)成分中のアルケニル基以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;3,3,3-トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が例示され、好ましくは、メチル基である。(A)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 (A)成分は、具体的には、ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体が例示され、好ましくは、主鎖が実質的に直鎖状であるジオルガノポリシロキサンである。
 (B)成分は、一分子中にケイ素原子結合水素原子を少なくとも2個有するオルガノポリシロキサンであり、本組成物の架橋剤である。(B)成分中のケイ素原子結合水素原子の結合位置は限定されず、分子鎖末端および/または分子鎖側鎖が例示される。(B)成分中の水素原子以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;3,3,3-トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が例示され、好ましくは、メチル基である。(B)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 このような(B)成分としては、ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、(CHSiO1/2で示されるシロキサン単位とH(CHSiO1/2で示されるシロキサン単位とSiO4/2で示されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンが例示され、好ましくは、直鎖状のオルガノポリシロキサンである。
 (B)成分の含有量は、(A)成分中のアルケニル基1モルに対して、(B)成分中のケイ素原子結合水素原子が0.4モル~20モルの範囲内となる量であり、好ましくは1.5モル~20モルの範囲内となる量であり、より好ましくは1.5モル~10モルの範囲内となる量である。これは、(B)成分中のケイ素原子結合水素のモル数が上記範囲内であると、得られるシリコーン発泡層の圧縮永久歪が改善されるからである。
 (C)成分は水と無機系増粘剤からなる混合物であり、本組成物を架橋して得られるシリコーンゴムから(C)成分中の水を除去することにより、シリコーン発泡層とするための成分である。(A)成分中に(C)成分が安定して分散することから、(C)成分中の水はイオン交換水であることが好ましい。
 (C)成分中の無機系増粘剤は、水の粘度を高め、(A)成分中に(C)成分が容易に分散し、(C)成分の分散状態を安定させるために配合される。この無機増粘剤としては、天然または合成のものがあり、ベントナイト、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイト、ソーコナイト、バイデライトおよびノントロナイト等の天然または合成のスメクタイトクレー;ケイ酸アルミニウムマグネシウム;および、これらとカルボキシビニルポリマーなどの水溶性有機ポリマーとの複合品が例示され、好ましくは、ベントナイトやモンモリロナイトなどのスメクタイトクレーである。このような、スメクタイトクレーとしては、例えば、水熱合成品であるスメクトンSA(クニミネ工業(株)製)、天然精製品であるベンゲル((株)ホージュン製)が入手可能である。これらのスメクタイトクレーのpHはシリコーンゴムスポンジの耐熱性を維持する点からpH5.0~9.0の範囲内であることが好ましい。また、(C)成分中の無機系増粘剤の含有量は、水100質量部に対して、好ましくは0.1質量部~10質量部の範囲内であり、より好ましくは0.5質量部~5質量部の範囲内である。(C)成分中の無機系増粘剤は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 (C)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して100質量部~1000質量部の範囲内であり、好ましくは100質量部~800質量部の範囲内であり、より好ましくは100質量部~500質量部の範囲であり、さらに好ましくは200質量部~500質量部の範囲内であり、特に好ましくは200質量部~350質量部の範囲内である。これは、(C)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、低密度のシリコーン発泡層を形成できるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡層を形成できるからである。
 (D-1)成分および(D-2)成分のノニオン系界面活性剤としては、例えば、グリセリン脂肪酸エステル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、スクロース脂肪酸エステル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコール脂肪酸エステル、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロック共重合体、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸アミドなどが挙げられる。(D-1)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。(D-2)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 (D-2)成分に対する(D-1)成分の質量比は、好ましくは1以上であり、より好ましくは5以上であり、さらに好ましくは8以上であり、特に好ましくは10以上であり、最も好ましくは15以上である。また、(D-2)成分に対する(D-1)成分の質量比は、好ましくは100以下であり、より好ましくは80以下であり、さらに好ましくは70以下であり、特に好ましくは60以下であり、最も好ましくは50以下である。(D-2)成分に対する(D-1)成分の質量比が上記下限値より大きくなれば、均一で微細な連続気泡構造を有する低密度のシリコーン発泡層を形成し得る。一方、(D-2)成分に対する(D-1)成分の質量比が上記上限値より小さくなれば、(A)成分と(B)成分中に(C)成分を安定性良く分散することができ、結果として、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡層を形成し得る。
 (D-1)成分の含有量は、(G)成分1質量部に対して0.2質量部~1.2質量部であり、好ましくは0.4質量部~1.1質量部であり、より好ましくは0.5質量部~1.1質量部であり、さらに好ましくは0.6質量部~1.0質量部であり、特に好ましくは0.7質量部~1.0質量部である。(D-1)成分の含有量が上記範囲内にあれば、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することができる。
 (D-2)成分の含有量は、(G)成分1質量部に対して0.01質量部~0.14質量部であり、好ましくは0.02質量部~0.10質量部であり、より好ましくは0.03質量部~0.09質量部であり、さらに好ましくは0.04質量部~0.08質量部であり、特に好ましくは0.04質量部~0.07質量部である。(D-2)成分の含有量が上記範囲内にあれば、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することができる。
 (E)成分は、シリコーン樹脂組成物のヒドロシリル化反応を促進するためのヒドロシリル化反応触媒であり、例えば、白金系触媒、パラジウム系触媒、ロジウム系触媒が例示され、好ましくは白金系触媒である。このような(E)成分としては、例えば、塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、塩化白金酸とオレフィン類、ビニルシロキサン又はアセチレン化合物との配位化合物、白金のオレフィン類、ビニルシロキサン又はアセチレン化合物との配位化合物、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム、クロロトリス(トリフェニルホスフィン)ロジウムなどが挙げられる。(E)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 (E)成分の含有量はシリコーン樹脂組成物を架橋させるに十分な量であり、具体的には、(A)成分および(B)成分の合計量に対して、(E)成分中の触媒金属が質量換算で、好ましくは0.01ppm~500ppmの範囲内となる量であり、より好ましくは0.1ppm~100ppmの範囲内となる量である。
 シリコーン樹脂組成物の硬化速度や作業可使時間を調整するため、(F)硬化遅延剤を含有してもよい。このような(F)成分としては、例えば、3-メチル-1-ブチン-3-オール、3,5-ジメチル-1-ヘキシン-3-オール、3-フェニル-1-ブチン-3-オール、1-エチニル-1-シクロヘキサノール等のアルキンアルコールなどが挙げられる。(F)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 (F)成分の含有量は、シリコーン樹脂組成物の使用方法や成形方法に応じて適宜選択されるが、一般的には、(A)成分100質量部に対して0.001質量部~5質量部の範囲内である。
 (G)成分は、導電性物質であり、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な導電性物質を採用し得る。このような導電性物質としては、例えば、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、グラファイト、グラフェンなどのカーボン系導電剤;金、銀、ニッケルなどの金属粉;導電性酸化亜鉛、導電性酸化チタン、導電性酸化アルミニウム;各種フィラー表面に金属メッキ処理するなどのフィラー表面に導電被覆処理した導電性充填剤;などが挙げられる。(G)成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 (G)成分の含有量は、本発明の効果をより発現させ得る点で、(A)成分および(B)成分の合計量を100質量部としたときに、好ましくは0.1質量部~100質量部であり、より好ましくは0.2質量部~50質量部であり、さらに好ましくは0.3質量部~20質量部であり、特に好ましくは0.3質量部~15質量部である。
 導電性物質としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、カーボンブラックである。
 カーボンブラックとしては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なカーボンブラックを採用し得る。このようなカーボンブラックとしては、例えば、ケッチェンブラック、アセチレンブラック、コンダクティブファーネスブラック(CF)、スーパーコンダクティブファーネスブラック(SCF)、エクストラコンダクティブファーネスブラック(XCF)、コンダクティブチャンネルブラック(CC)、1500℃程度の高温で熱処理されたファーネスブラック、1500℃程度の高温で熱処理されたチャンネルブラックなどが挙げられる。
 ケッチェンブラックの具体例としては、例えば、ケッチェンブラックEC(ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製)、ケッチェンブラックEC-600JD(ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製)などが挙げられる。
 アセチレンブラックの具体例としては、例えば、デンカブラック(電気化学株式会社製)、シャウニガンアセチレンブラック(シャウニガンケミカル株式会社製)などが挙げられる。
 コンダクティブファーネスブラックの具体例としては、例えば、コンチネックスCF(コンチネンタルカーボン株式会社製)、バルカンC(キャボット株式会社製)などが挙げられる。
 スーパーコンダクティブファーネスブラックの具体例としては、例えば、コンチネックスSCF(コンチネンタルカーボン株式会社製)、バルカンSC(キャボット株式会社製)などが挙げられる。
 エクストラコンダクティブファーネスブラックの具体例としては、例えば、旭HS-500(旭カーボン株式会社製)、バルカンXC-72(キャボット株式会社製)などが挙げられる。
 コンダクティブチャンネルブラックとしては、例えば、コウラックスL(デグッサ株式会社製)などが挙げられる。
 カーボンブラックとしては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、ケッチェンブラックが挙げられる。
 シリコーン樹脂組成物には、得られるシリコーン発泡シートの強度を向上させるという点から、さらに(H)補強性シリカ微粉末を含有してもよい。このような(H)成分としては、BET比表面積が、好ましくは50m/g~350m/gであり、より好ましくは80m/g~250m/gであるシリカ微粉末が好ましく、ヒュームドシリカ、沈降シリカが例示される。また、これらのシリカ微粉末は、オルガノシラン等で表面処理されていてもよい。
 (H)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して、好ましくは20質量部以下であり、より好ましくは15質量部以下であり、さらに好ましくは10質量部以下である。(H)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部以上である。
 シリコーン樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、ベンガラ等の顔料(ただし、カーボンブラックを除く)を含有してもよい。
 シリコーン樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な方法によって製造し得る。本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン樹脂組成物は、好ましくは、「(A)成分の全使用量の50.1質量%以上」と「(G)成分の全使用量の60質量%以上」とを含む第1シリコーン液を調製する工程(I)と、「(B)成分の全使用量の60質量%以上」と「(D-1)成分および(D-2)成分の全使用量の60質量%以上」とを含む第2シリコーン液を調製する工程(II)と、該第1シリコーン液と該第2シリコーン液とを混合して混合液を調製する工程(III)と、該混合液に「(C)成分の全使用量の60質量%以上」を混合する工程(IV)と、を含む製造方法によって製造され得る。シリコーン樹脂組成物をこのような方法によって製造することにより、本発明の効果がより発現され得る。特に、シリコーン樹脂組成物をこのような方法によって製造することにより、最終的に得られる吸着仮固定シートが、非常に優れた帯電防止性能を発現し得る。
 シリコーン樹脂組成物の製造の際の混合操作においては、好ましくは、撹拌を行う。このような撹拌としては、例えば、ホモミキサー、パドルミキサー、ホモディスパー、コロイドミル、真空混合攪拌ミキサー、自転公転ミキサーなどの、任意の適切なミキサー等を使用し得る。
 工程(I)においては、好ましくは、「(A)成分の全使用量の50.1質量%以上」と「(G)成分の全使用量の60質量%以上」とを混合して撹拌する。
 工程(I)における(A)成分の使用量は、好ましくは全使用量の70質量%以上であり、より好ましくは全使用量の80質量%以上であり、さらに好ましくは全使用量の90質量%以上であり、特に好ましくは全使用量の95質量%以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の100質量%(全量)である。
 工程(I)における(G)成分の使用量は、好ましくは全使用量の70質量%以上であり、より好ましくは全使用量の80質量%以上であり、さらに好ましくは全使用量の90質量%以上であり、特に好ましくは全使用量の95質量%以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の100質量%(全量)である。
 工程(II)においては、好ましくは、「(B)成分の全使用量の60質量%以上」と「(D-1)成分および(D-2)成分の全使用量の60質量%以上」とを混合して撹拌する。
 工程(II)における(B)成分の使用量は、好ましくは全使用量の70質量%以上であり、より好ましくは全使用量の80質量%以上であり、さらに好ましくは全使用量の90質量%以上であり、特に好ましくは全使用量の95質量%以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の100質量%(全量)である。
 工程(II)における(D-1)成分および(D-2)成分の使用量は、好ましくは全使用量の70質量%以上であり、より好ましくは全使用量の80質量%以上であり、さらに好ましくは全使用量の90質量%以上であり、特に好ましくは全使用量の95質量%以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の100質量%(全量)である。
 工程(I)で調製される第1シリコーン液には、好ましくは、(B)成分は含まれない。
 工程(I)で調製される第1シリコーン液には、好ましくは、(D-1)成分および(D-2)成分は含まれない。
 工程(II)で調製される第2シリコーン液には、好ましくは、(A)成分は含まれない。
 工程(II)で調製される第2シリコーン液には、好ましくは、(G)成分は含まれない。
 工程(IV)においては、好ましくは、混合液に「(C)成分の全使用量の60質量%以上」を混合して撹拌する。
 工程(IV)における(C)成分の使用量は、好ましくは全使用量の70質量%以上であり、より好ましくは全使用量の80質量%以上であり、さらに好ましくは全使用量の90質量%以上であり、特に好ましくは全使用量の95質量%以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の100質量%(全量)である。
 シリコーン樹脂組成物の製造の際の温度は、本発明の効果をより発現させ得る点で、全工程を通じて、好ましくは0℃~50℃であり、より好ましくは5℃~45℃であり、さらに好ましくは10℃~40℃であり、特に好ましくは15℃~35℃である。
 シリコーン樹脂組成物の製造は、好ましくは、常圧もしくは真空で行う。
 シリコーン樹脂組成物の製造において、(E)成分は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な工程やタイミングで添加すればよい。本発明の効果をより発現させ得る点で、(E)成分は、好ましくは、できるだけ後の工程で且つ(B)成分と接触するタイミングで添加する。
 シリコーン樹脂組成物の製造において、(F)成分は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な工程やタイミングで添加すればよい。本発明の効果をより発現させ得る点で、(F)成分は、好ましくは、予め(E)成分と併用して添加する。
 シリコーン樹脂組成物の製造方法は、特に好ましくは、「(A)成分の全使用量の実質的に100質量%(全量)」と「(G)成分の全使用量の実質的に100質量%(全量)」とを含む第1シリコーン液を調製する工程(I)と、「(B)成分の全使用量の実質的に100質量%(全量)」と「(D-1)成分および(D-2)成分の全使用量の実質的に100質量%(全量)」とを含む第2シリコーン液を調製する工程(II)と、該第1シリコーン液と該第2シリコーン液とを混合して混合液を調製する工程(III)と、該混合液に「(C)成分の全使用量の実質的に100質量%(全量)」を混合する工程(IV)と、を含む製造方法である。
 シリコーン発泡層は、シリコーン樹脂組成物から形成される。
 シリコーン発泡層の形成方法の一つの実施形態は、シリコーン樹脂組成物をセパレーターA上に塗工し(以下、この工程を工程(1)とする)、該塗工したシリコーン樹脂組成物の該セパレーターAと反対側の表面上にセパレーターBを載置し(以下、この工程を工程(2)とする)、該シリコーン樹脂組成物を熱硬化させ(以下、この工程を工程(3)とする)、該セパレーターAおよび該セパレーターBから選ばれる少なくとも1種を剥離したものを加熱乾燥させて(以下、この工程を工程(4)とする)、シリコーン発泡層を形成させる。この場合、剥離したセパレーターの中の少なくとも1種が、算術平均表面粗さRaが0.1μm~5μmの表面を有するセパレーターであることが好ましい。
 シリコーン発泡層の形成方法の別の一つの実施形態は、シリコーン樹脂組成物をセパレーターA上に塗工し(以下、この工程を工程(1)とする)、該塗工したシリコーン樹脂組成物の該セパレーターAと反対側の表面上にセパレーターBを載置し(以下、この工程を工程(2)とする)、該シリコーン樹脂組成物を熱硬化させ(以下、この工程を工程(3)とする)、該セパレーターAおよび該セパレーターBから選ばれる少なくとも1種を剥離したものを加熱乾燥させ(以下、この工程を工程(4)とする)、支持体と貼り合わせて(以下、この工程を工程(5)とする)、シリコーン発泡層を形成する。この場合、剥離したセパレーターの中の少なくとも1種が、特定の算術平均表面粗さRaの表面を有するセパレーターであることが好ましい。そして、熱硬化および加熱乾燥させたシリコーン樹脂組成物の、上記セパレーターを剥離した表面側と反対の表面側に、上記支持体が配置される。
 セパレーターAやセパレーターBの厚みは、好ましくは1μm~500μmであり、より好ましくは3μm~450μmであり、さらに好ましくは5μm~400μmであり、特に好ましくは10μm~300μmである。
 特定の算術平均表面粗さRaの表面を有するセパレーターにおける算術平均表面粗さRaは、好ましくは0.1μm~5μmであり、より好ましくは0.15μm~4.5μmであり、さらに好ましくは0.2μm~4μmであり、特に好ましくは0.22μm~3.5μmである。このような範囲の算術平均表面粗さRaの表面を有するセパレーターを採用することにより、形成されるシリコーン発泡層は、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。
 上記のような特定の算術平均表面粗さRaの表面を有するセパレーターを採用すると、それを剥離した後に得られるシリコーン発砲層の表面の算術平均表面粗さRaが、好ましくは0.1μm~10μmとなり、より好ましくは0.2μm~9μmとなり、さらに好ましくは0.3μm~8.5μmとなり、特に好ましくは0.4μm~8μmとなる。上記のように剥離した後に得られるシリコーン発砲層の表面が、このような範囲の算術平均表面粗さRaを有することにより、仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。
 上記のような特定の算術平均表面粗さRaの表面を有するセパレーターとしては、例えば、紙、プラスチックフィルム、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム、表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン-酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド(ナイロン)フィルム、芳香族ポリアミド(アラミド)フィルムなどが挙げられ、特に、本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないプラスチックフィルムが好ましい。このようなセパレーターとしては、特に好ましくは、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムである。
 セパレーターAやセパレーターBがそのまま支持体として用いられる場合には、シリコーン発泡層との投錨性を上げるために、支持体となるセパレーターAやセパレーターBの表面にシランカップリング剤等の下塗り剤を塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの表面処理を行ったりすることが好ましい。
 セパレーターAやセパレーターBとして、算術平均表面粗さRaが0.1μm~5μmの表面を有するセパレーター以外のセパレーターが用いられる場合、このようなセパレーターとしては、例えば、通気性を有さないプラスチックや金属やガラスのシートやフィルムが好ましい。このようなシートやフィルムの材料としては、例えば、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)等のα-オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂;ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等のポリエステル系樹脂;ポリ塩化ビニル(PVC);酢酸ビニル系樹脂;ポリフェニレンスルフィド(PPS);ポリアミド(ナイロン)、全芳香族ポリアミド(アラミド)等のアミド系樹脂;ポリイミド系樹脂;ポリエーテルエーテルケトン(PEEK);銅;アルミ;任意のガラス;などが挙げられる。また、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルムや、紙やプラスチックフィルムの基材(ライナー基材)の表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理された剥離ライナーなどが挙げられる。ライナー基材としてのプラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン-酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド(ナイロン)フィルム、芳香族ポリアミド(アラミド)フィルム、などが挙げられる。
 工程(4)における加熱乾燥の際に除去しないセパレーターがある場合は、該セパレーターとして用い得る剥離ライナーは、好ましくは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム、紙やプラスチックフィルムの基材(ライナー基材)の表面がフッ化シリコーン処理された剥離ライナーである。工程(4)における加熱乾燥の際に除去しないセパレーターがある場合の該セパレーターとして、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム、紙やプラスチックフィルムの基材(ライナー基材)の表面がフッ化シリコーン処理された剥離ライナーを用いることによって、加熱乾燥後の剥離を容易に行うことができる。また、セパレーターAやセパレーターBには、粘着剤層が設けられていてもよい。
 工程(1)において使用するセパレーターAと工程(2)において使用するセパレーターBは、同一のものであってもよいし、異種のものであってもよい。また、工程(1)において使用するセパレーターAと工程(2)において使用するセパレーターBは、それぞれ、1層のみのものであってもよいし、2層以上からなるものであってもよい。
 工程(1)において使用するセパレーターAおよび工程(2)において使用するセパレーターBの、シリコーン樹脂組成物に接する方の表面の親水性・疎水性の程度によって、該表面に接する該シリコーン樹脂組成物の表面形状が変化する。例えば、セパレーターAやセパレーターBとしてポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムのような親水性の高いセパレーターを用いる場合は、該セパレーターに接するシリコーン樹脂組成物の表面において微細な径の表面開口部を多く存在させることができる。また、例えば、セパレーターAやセパレーターBとしてフッ化シリコーン処理を施したポリエチレンテレフタレート(PET)剥離ライナーのような疎水性の高いセパレーターを用いる場合は、該セパレーターに接するシリコーン樹脂組成物の表面において微細な径の表面開口部を少なく存在させることができる。したがって、シリコーン発泡層に対して高い通気性や高い吸着性を発現させたい場合には、親水性の高いセパレーターを用いることが好ましく、シリコーン発泡層に対して高い止水性や高い防塵性を発現させたい場合には、疎水性の高いセパレーターを用いることが好ましい。また、シリコーン発泡層とセパレーターとの再剥離性が必要な場合は、疎水性の高いセパレーターを用いることが好ましい。なお、親水性・疎水性の程度は、例えば、水との接触角によって定義することができる。例えば、水との接触角が90度未満の場合を親水性、水との接触角が90度以上の場合を疎水性と定義し得る。
 工程(3)においては、シリコーン樹脂組成物を熱硬化させる。この熱硬化の温度は、効率的にシリコーン樹脂組成物を熱硬化させ得る点で、好ましくは50℃以上100℃未満である。熱硬化の温度が50℃未満では、熱硬化に時間がかかりすぎるおそれがある。熱硬化の温度が100℃以上では、セパレーターAおよびセパレーターBに挟まれて略密閉状態となったシリコーン樹脂組成物中の水分が揮発することにより、形成するセルの粗大化や高密度化が起こるおそれがある。なお、工程(3)によってシリコーン樹脂組成物から形成するものをシリコーン発泡層前駆体と称することとする。
 工程(3)のように、シリコーン樹脂組成物をセパレーターAおよびセパレーターBで挟んだ略密閉状態において熱硬化するという特殊な熱硬化方法を行うことにより、シリコーン樹脂組成物中の水分が除去されない状態において熱硬化され、続く工程(4)との連携により、連続気泡構造を有しセル径が微細なシリコーン発泡層を効果的に得ることが可能となる。
 工程(4)においては、セパレーターAおよびセパレーターBから選ばれる少なくとも1種を剥離したものを加熱乾燥させる。セパレーターAおよびセパレーターBから選ばれる少なくとも1種を剥離させることにより、工程(3)における上記略密閉状態が解放され、この解放状態において加熱乾燥させることにより、工程(3)で形成されたシリコーン発泡シート前駆体から水分が効率的に揮発して除去され、シリコーン発泡層が得られる。シリコーン発泡層を効果的に形成させ得る点で、工程(4)における加熱乾燥温度は、120℃~250℃が好ましい。工程(4)における加熱乾燥温度が120℃未満では、乾燥および硬化に時間がかかりすぎるおそれがあり、また、連続気泡構造を有しセル径が微細なシリコーン発泡シートが得られないおそれがある。工程(4)における加熱乾燥温度が250℃を超えると、基材の収縮や膨張によりシート形成が困難となるおそれがある。
 工程(5)においては、工程(4)の後、支持体と貼り合わせることにより、シリコーン発泡層が形成される。
 シリコーン発泡層は、好ましくは、連続気泡構造を備える。すなわち、シリコーン発泡層は、好ましくは、隣接するセル間に貫通孔を有する連続気泡構造を備える。シリコーン発泡層が連続気泡構造を備えることにより、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、優れた気泡抜け性を発現でき、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現を維持できる。
 シリコーン発泡層は、好ましくは、セル(球状気泡)を有する。なお、セル(球状気泡)は、厳密な真球状の気泡でなくてもよく、例えば、部分的にひずみのある略球状の気泡や、大きなひずみを有する空間からなる気泡であってもよい。
 連続気泡構造が存在するかどうかの観察は、低真空走査電子顕微鏡(「S-3400N型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクフィールディング社製)により、シリコーン発泡層の断面の拡大画像を取り込み、セル壁の貫通孔の有無を確認することによって行うことができる。
 シリコーン発泡層は、連続気泡率が、好ましくは90%以上であり、より好ましくは90%~100%であり、さらに好ましくは92%~100%であり、さらに好ましくは95%~100%であり、特に好ましくは99%~100%であり、最も好ましくは実質的に100%である。シリコーン発泡層の連続気泡率が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
 なお、連続気泡率は、例えば、下記のようにして測定することができる。すなわち、シリコーン発泡層を水中に沈め、-750mmHgの減圧下で3分間放置することで、気泡中の空気を水に置換し、吸収された水の質量を図り、水の密度を1.0g/cmとして吸収された水の体積を算出し、下記の式により算出する。
連続気泡率(%)={(吸水した水の体積)/(気泡部分体積)}×100
 なお、気泡部分体積は、例えば、下記の式により算出する。ここで、樹脂密度は、シリコーン発泡層を形成する樹脂中の乳化剤を除いて作製した樹脂成形体の密度を測定することで得られる値である。
気泡部分体積(cm)={(シリコーン発泡層の質量)/(シリコーン発泡層の見かけ密度)}-{(シリコーン発砲層の質量)/(樹脂密度)}
 シリコーン発泡層は、平均セル径が、好ましくは1μm~200μmであり、より好ましくは1.5μm~180μmであり、さらに好ましくは2μm~170μmであり、特に好ましくは2.5μm~160μmであり、最も好ましくは3μm~150μmである。シリコーン発泡層において、平均セル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
 シリコーン発泡層は、好ましくは、全セルの90%以上のセル径が300μm以下であり、より好ましくは、全セルの92%以上のセル径が300μm以下であり、さらに好ましくは、全セルの95%以上のセル径が300μm以下であり、特に好ましくは、全セルの97%以上のセル径が300μm以下であり、最も好ましくは、全セルの実質的に100%のセル径が300μm以下である。また、シリコーン発泡層は、より好ましくは、全セルの90%以上のセル径が250μm以下であり、さらに好ましくは、全セルの90%以上のセル径が200μm以下であり、特に好ましくは、全セルの90%以上のセル径が180μm以下であり、最も好ましくは、全セルの90%以上のセル径が150μm以下である。シリコーン発泡層において、300μm以下のセル径の割合や全セルの90%以上のセル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
 シリコーン発泡層は、全セル中の最大セル径が、好ましくは300μm以下であり、より好ましくは250μm以下であり、さらに好ましくは200μm以下であり、特に好ましくは180μm以下であり、最も好ましくは150μm以下である。シリコーン発泡層において、全セル中の最大セル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
 シリコーン発泡層は、全セル中の最小セル径が、好ましくは100μm以下であり、より好ましくは80μm以下であり、さらに好ましくは70μm以下であり、特に好ましくは60μm以下であり、最も好ましくは50μm以下である。シリコーン発泡層において、全セル中の最小セル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
 このように、シリコーン発泡層が、好ましくは、連続気泡構造を備え、また、好ましくは、セル径が上記のように微細であることにより、優れた気泡抜け性を発現でき、気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなく剥がすことができ、仮固定シートに好適なものとなる。
 平均セル径は、例えば、低真空走査電子顕微鏡(「S-3400N型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクサイエンスシステムズ社製)により、シリコーン発泡層の断面の拡大画像を取り込み、画像解析することにより求めることができる。なお、解析するセル数としては、例えば20個である。同様の方法で、最小セル径(μm)および最大セル径(μm)を求めることができる。
 シリコーン発泡層は、好ましくは、表面開口部を有する。ここにいう表面開口部とは、シリコーン発泡層の表面に存在する、ある大きさの平均孔径を有する開口部を意味する。シリコーン発泡層が表面開口部を有することにより、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。これは、表面開口部が、適切な吸盤として働くためと推察され、これにより、シリコーン発泡層を有する仮固定シートは、より優れた仮固定性を発現できる。
 表面開口部の開口率は、好ましくは1%~99%であり、より好ましくは2%~95%であり、さらに好ましくは3%~90%であり、特に好ましくは4%~85%であり、最も好ましくは5%~80%である。表面開口部の開口率が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層は、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。
 表面開口部の平均孔径は、好ましくは150μm以下であり、より好ましくは0.5μm~145μmであり、さらに好ましくは1.0μm~140μmであり、特に好ましくは1.5μm~135μmであり、最も好ましくは2.0μm~130μmである。表面開口部の平均孔径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層は、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。
 表面開口部の平均孔径は、例えば、低真空走査電子顕微鏡(「S-3400N型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクフィールディング社製)により、シリコーン発泡層表面の拡大画像を取り込み、画像解析することにより求めることができる。解析する孔数は、例えば20個である。
 シリコーン発泡層の見かけ密度は、好ましくは0.15g/cm~0.90g/cmであり、より好ましくは0.20g/cm~0.85g/cmであり、さらに好ましくは0.25g/cm~0.80g/cmであり、特に好ましくは0.30g/cm~0.75g/cmである。シリコーン発泡層の見かけ密度が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現を維持できる。
 シリコーン発泡層は、その表面の算術平均表面粗さRaが、好ましくは0.1μm~10μmであり、より好ましくは0.2μm~9μmであり、さらに好ましくは0.3μm~8.5μmであり、特に好ましくは0.4μm~8μmである。シリコーン発泡層の表面が、このような範囲の算術平均表面粗さRaを有することにより、仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。
 シリコーン発泡層の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、支持体として機能させるものではない場合、好ましくは、仮固定したい部材を仮固定シートに載置する前に、シリコーン発泡層表面から剥離する。
 セパレーターの厚みは、好ましくは1μm~500μmであり、より好ましくは3μm~450μmであり、さらに好ましくは5μm~400μmであり、特に好ましくは10μm~300μmである。
 セパレーターとしては、例えば、紙、プラスチックフィルム、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム、表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。
 プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン-酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド(ナイロン)フィルム、芳香族ポリアミド(アラミド)フィルムなどが挙げられる。
 特に、本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないプラスチックフィルムが、セパレーターとして、シリコーン発泡層の少なくとも一方の表面に貼着されていることが好ましい。このようなセパレーターとしては、特に好ましくは、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムである。
 上記のようなセパレーターとしては、その表面の算術平均表面粗さRaが、好ましくは0.1μm~5μmであり、より好ましくは0.15μm~4.5μmであり、さらに好ましくは0.2μm~4μmであり、特に好ましくは0.22μm~3.5μmである。このような範囲の算術平均表面粗さRaの表面を有するセパレーターを採用することにより、このようなセパレーターを、仮固定したい部材を仮固定シートに載置する前にシリコーン発泡層表面から剥離することにより、仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。
 仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層を仮固定シートの全体に有する。すなわち、仮固定シートの一つの実施形態においては、仮固定シートはシリコーン発泡層からなる。
 仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層を仮固定シートの一部に有し、該仮固定シートの最外層の少なくとも一方が該シリコーン発泡層である。
 仮固定シートの一つの好ましい実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に支持体を有する。この実施形態においては、シリコーン発泡層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、好ましくは、前述したような、特定の表面の算術平均表面粗さRaのセパレーターである。
 仮固定シートの一つの好ましい実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に粘着剤層を有する。この実施形態において、シリコーン発泡層のもう一方の表面、および、粘着剤層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターの中でも、シリコーン発泡層のもう一方の表面に貼着されるセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さRaが好ましくは0.1μm~5μmであるセパレーターである。
 仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に支持体を有し、さらに、該支持体の該シリコーン発泡層と反対側の表面に粘着剤層を有する。すなわち、シリコーン発泡層/支持体/粘着剤層の形態である。この実施形態において、シリコーン発泡層のもう一方の表面、および、粘着剤層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターの中でも、シリコーン発泡層のもう一方の表面に貼着されるセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さRaが好ましくは0.1μm~5μmであるセパレーターである。
 仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に支持体を有し、さらに、該支持体の該シリコーン発泡層と反対側の表面にシリコーン発泡層を有する。すなわち、シリコーン発泡層/支持体/シリコーン発泡層の形態である。この実施形態において、シリコーン発泡層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さRaが好ましくは0.1μm~5μmであるセパレーターである。
 支持体としては、シリコーン発泡層を支持できるものであれば、任意の適切な支持体を採用し得る。このような支持体としては、プラスチックフィルムやシートやテープ、紙、不織布、金属箔や金属メッシュ、ガラスやガラスクロスなどである。支持体は、1層であってもよいし、2層以上であってもよい。また、支持体とシリコーン発泡層の投錨性を上げるために、支持体表面にシランカップリング剤等の下塗り剤を塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの表面処理を行ったりすることが好ましい。
 プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン-酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド(ナイロン)フィルム、芳香族ポリアミド(アラミド)フィルムなどが挙げられる。
 粘着剤層としては、任意の適切な粘着剤からなる層を採用し得る。このような粘着剤としては、例えば、ゴム系粘着剤(合成ゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤など)、ウレタン系粘着剤、アクリルウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、エポキシ系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、フッ素系粘着剤などが挙げられる。このような粘着剤は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。粘着剤層は、1層であってもよいし、2層以上であってもよい。
 粘着剤としては、粘着形態で分類すると、例えば、エマルジョン型粘着剤、溶剤型粘着剤、紫外線架橋型(UV架橋型)粘着剤、電子線架橋型(EB架橋型)粘着剤、熱溶融型粘着剤(ホットメルト型粘着剤)などが挙げられる。このような粘着剤は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 仮固定シートの一つの実施形態においては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な他の発泡層を採用し得る。このような他の発泡層としては、例えば、アクリル系発泡層などが挙げられる。
 以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。なお、実施例等における、試験および評価方法は以下のとおりである。なお、「部」と記載されている場合は、特記事項がない限り「質量部」を意味し、「%」と記載されている場合は、特記事項がない限り「質量%」を意味する。
<厚みの測定>
 3D測定レーザー顕微鏡(LEXT OLS4000、オリンパス(株)社製)にて、高精度・対物レンズ10倍の設定でガラス板(マイクロスライドガラスS、松浪硝子工業株式会社製)に測定対象物(例えば、吸着仮固定シート)を乗せ、ガラス板表面から測定対象物の最上部までの3D画像を測定し、その高さを厚みとした。
<見掛け密度の測定>
 50mm×50mmの打ち抜き刃型にて測定対象物(例えば、吸着仮固定シート)を打ち抜き、厚みは前述した<厚みの測定>の値を用い、これらの値から測定対象物の体積を算出した。
 次に、測定対象物の質量を最小目盛り0.01g以上の上皿天秤にて測定した。これらの値より、測定対象物の見掛け密度(g/cm)を算出した。
<厚み200μmのシートの外観評価>
 100mm×100mmの打ち抜き刃型にて測定対象物(例えば、仮固定シート)を打ち抜き、夾雑物測定図表を用いてピンホールのサイズと個数を評価した。
◎:0.3mm以上かつ0.7mmより小さいピンホールが10個未満
○:0.3mm以上かつ0.7mmより小さいピンホールが10個以上50個未満
×:0.3mm以上かつ0.7mmより小さいピンホールが10個以上50個未満、もしくは、0.7mm以上のピンホールが1個以上
<表面抵抗率>
 100cm×100cmのサイズに測定対象物(例えば、吸着仮固定シート)を切り抜き、Hiresta HT-210(三菱油化株式会社製)を用いて、表面抵抗率(Ω/□)を求めた。
〔製造例1〕:マスターバッチ(AG-1)の製造
 粘度8000mPa・sの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体(ビニル基含有量0.30質量%):80質量部と、アセチレンブラック(デンカブラック、電気化学工業株式会社製):20質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、3本ロールミルにかけて5パスして、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン((A)成分)と導電性物質((G)成分)との、流動性のあるマスターバッチ(AG-1)を製造した。
〔製造例2〕:マスターバッチ(AG-2)の製造
 粘度40000mPa・sの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体(ビニル基含有量0.13質量%):65質量部と、アセチレンブラック(デンカブラック、電気化学工業株式会社製):35質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、3本ロールミルにかけて5パスして、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン((A)成分)と導電性物質((G)成分)との、流動性のあるカーボンブラックマスターバッチ(AG-2)を調製した。
〔製造例3〕:マスターバッチ(AG-3)の製造
 粘度8000mPa・sの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体(ビニル基含有量0.30質量%):80質量部と、ケッチェンブラック(EC-600JD、ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製):20質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、3本ロールミルにかけて5パスして、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン((A)成分)と導電性物質((G)成分)との、流動性のあるマスターバッチ(AG-3)を製造した。
〔製造例4〕:マスターバッチ(AG-4)の製造
 粘度40000mPa・sの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体(ビニル基含有量0.13質量%):65質量部と、ケッチェンブラック(EC-600JD、ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製):35質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、3本ロールミルにかけて5パスして、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン((A)成分)と導電性物質((G)成分)との、流動性のあるカーボンブラックマスターバッチ(AG-2)を調製した。
〔製造例5〕:一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン(A-1)の準備
 粘度40000mPa・sの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体(ビニル基含有量0.13質量%)を、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン((A)成分)(A-1)とした。
〔製造例6〕:一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン(B-1)の準備
 動粘度43.5mm/sの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体(ケイ素原子結合水素原子含有量0.69質量%)を、一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン((B)成分)(B-1)とした。
〔製造例7〕:水と無機系増粘剤からなる混合物(C-1)の製造
 スメクタイトクレー(有機ポリマー複合親水性精製ベントナイト(pH6.5)、(株)ホージュン製):1質量部とイオン交換水:99質量部をホモミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合して、水と無機系増粘剤からなる混合物((C)成分)(C-1)を製造した。
〔製造例8〕:HLBの値が3以上であるノニオン系界面活性剤(D-1-1)の準備
 ノニオン系界面活性剤(ソルビタン脂肪酸エステル、商品名:レオドールSP-O10V、花王社製、HLB4.3)を、HLBの値が3以上であるノニオン系界面活性剤((D-1)成分)(D-1-1)とした。
〔製造例9〕:HLBの値が3未満であるノニオン系界面活性剤(D-2-1)の準備
 ノニオン系界面活性剤(ソルビタン脂肪酸エステル、商品名:レオドールSP-O30V、花王社製、HLB1.8)を、HLBの値が3未満であるノニオン系界面活性剤((D-2)成分)(D-2-1)とした。
〔製造例10〕:ヒドロシリル化反応触媒(E-1)の準備
 白金の1,3-ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体の1,3-ジビニルテトラメチルジシロキサン溶液(白金金属含有量4000ppm)を、ヒドロシリル化反応触媒((E)成分)(E-1)とした。
〔製造例11〕:硬化遅延剤(F-1)の製造
 エチニルシクロヘキサノール:2質量部と粘度10000mPa・sの分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン:98質量部とを混合して、硬化遅延剤((F)成分)(F-1)を製造した。
〔実施例1~8、比較例1~6〕
 (A)成分と(G)成分とのマスターバッチ、(A)成分、(C)成分、(D-1)成分、(D-2)成分を表1の配合比でホモミキサー(特殊機化(株)製)に投入し、25℃で均一になるまで混合した。ついで、得られた混合物に、(B)成分、(E)成分、(F)成分を配合し、ホモミキサー(特殊機化(株)製)に投入し、25℃で均一になるまで混合し脱気して、シリコーン樹脂組成物を調製した。
 得られたシリコーン樹脂組成物を、フロロシリコーン処理PETフィルム(ニッパシートPET38x1-SS4A、ニッパ社製)上にアプリケータを用いて塗布し、その上からPETフィルム(ルミラーS10、東レ社製)を被せて、熱風オーブンによって85℃で10分間加熱し、樹脂組成物を硬化させた。硬化後、PETフィルムを剥離し、さらに、200℃で3分間加熱乾燥を行い、厚み200μmのシート状の仮固定シート(1)~(8)、(C1)~(C6)を得た。結果を表1に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 本発明の仮固定シートは、各種分野における仮固定材として利用可能である。特に、本発明の仮固定シートは、電子部材の仮固定に好適に用いられる。

Claims (9)

  1.  シリコーン発泡層を有する仮固定シートであって、
     該シリコーン発泡層が、
     (A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン:100質量部、
     (B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン:(A)成分中のアルケニル基1モルに対して(B)成分中のケイ素原子結合水素原子が0.4モル~20モルとなる量、
     (C)水と無機系増粘剤からなる混合物:100質量部~1000質量部、
     (D-1)HLBの値が3以上であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.2質量部~1.2質量部、
     (D-2)HLBの値が3未満であるノニオン系界面活性剤:(G)成分1質量部に対して0.01質量部~0.14質量部、
     (E)ヒドロシリル化反応触媒、
     (F)硬化遅延剤:0.001質量部~5質量部、
     (G)導電性物質:(A)成分と(B)成分の合計を100質量部としたときに0.1質量部~100質量部、
    を含むシリコーン樹脂組成物から形成される、
     仮固定シート。
  2.  前記(D-1)成分の量が、前記(G)成分1質量部に対して0.5質量部~1.1質量部である、請求項1に記載の仮固定シート。
  3.  前記(D-1)成分の量が、前記(G)成分1質量部に対して0.7質量部~1.0質量部である、請求項2に記載の仮固定シート。
  4.  前記(D-2)成分の量が、前記(G)成分1質量部に対して0.02質量部~0.10質量部である、請求項1に記載の仮固定シート。
  5.  前記(D-2)成分の量が、前記(G)成分1質量部に対して0.04質量部~0.07質量部である、請求項4に記載の仮固定シート。
  6.  前記(G)成分がカーボンブラックである、請求項1から5までのいずれかに記載の仮固定シート。
  7.  前記カーボンブラックがケッチェンブラックである、請求項6に記載の仮固定シート。
  8.  前記シリコーン発泡層の見かけ密度が0.15g/cm~0.90g/cmである、請求項1から7までのいずれかに記載の仮固定シート。
  9.  電子部材の仮固定に用いられる、請求項1から8までのいずれかに記載の仮固定シート。
     
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