WO2019049575A1 - 計測機能付き軸受 - Google Patents

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石田　真彦
寺島　浩一
亮人 澤田
英治 齊藤
康之 追川
亮 井口
正雄 小野
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Tohoku University
NEC Corp
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Tohoku University
NEC Corp
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    • F16C35/00—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers
    • F16C35/04—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers in the case of ball or roller bearings
    • F16C35/06—Mounting or dismounting of ball or roller bearings; Fixing them onto shaft or in housing
    • F16C35/07—Fixing them on the shaft or housing with interposition of an element
    • F16C35/077—Fixing them on the shaft or housing with interposition of an element between housing and outer race ring

Definitions

  • the present invention relates to a bearing with a measuring function.
  • Bearings are element members used in mechanical systems that rotate, such as wind power generation and vehicles, and play an extremely important role in reducing friction during rotational movement and achieving highly efficient mechanical motion. At the same time, if the bearing performance is degraded or damaged, the drive of the mechanical system is also adversely affected. For this reason, in recent years, various sensors have been attached to the bearings to monitor the condition for detecting abnormalities of the bearings and preventive maintenance.
  • the signal of the temperature sensor depends on the external temperature and the heat capacity of the surroundings. For this reason, it is not possible to measure the calorific value in the bearing in real time.
  • the attached temperature sensor may disturb the heat flow or break the mechanical balance, which may adversely affect the performance of the bearing itself.
  • An object of the present invention is to provide a bearing with a measuring function, which solves any of the above-mentioned problems.
  • a bearing with a measurement function is provided with an outer ring fixed to a fixing member and an inner side of the outer ring and fixed to a shaft rotating in a circumferential direction with respect to the fixing member. And an inner ring, and a heat flow sensor coated on the fixed side surface including the outer ring to generate a thermoelectromotive force including information on frictional heat generated as the shaft rotates.
  • FIG. 1A It is a partial longitudinal cross-sectional view of a rolling bearing with a heat generation measurement function concerning a modification of the first example of the present invention. It is a partial cross-sectional view of the rolling bearing with a heat generation measurement function shown to FIG. 2A.
  • FIG. 3B is a partial vertical cross-sectional view showing a state in a temperature measurement mode in the rolling bearing with a temperature measuring function shown in FIG. 3A. It is a figure for demonstrating the method to estimate internal temperature using the rolling bearing with a bearing internal temperature measurement function shown to FIG. 3A and 3B. It is a fragmentary longitudinal cross-sectional view which shows the rolling bearing with a bearing inside temperature measurement function for demonstrating another sensing system of 2nd Example of this invention. It is a wave form diagram which shows the change of the output voltage in the rolling bearing with a bearing internal temperature measurement function shown to FIG. 5A. It is a fragmentary longitudinal cross-sectional view of the rolling bearing with the rotation speed and heat generation measurement function which concerns on the 3rd Example of this invention.
  • FIG. 6B is a partial cross-sectional view of the rolling bearing with rotational speed and heat generation measurement function shown in FIG. 6A. It is a figure for demonstrating the operation principle of the rolling bearing with a rotation speed and heat_generation
  • FIG. 8A and 8B It is a wave form diagram which shows the output of the 1st and 2nd spin heat flow sensor in the rolling bearing with rotation speed and heat_generation
  • a bearing with a measurement function is characterized in that a spin Seebeck thermoelectric element is coated on the outside of the bearing and information on friction heat generated as the shaft rotates is monitored by a thermoelectromotive force (voltage) signal.
  • the measuring function bearing according to the first embodiment of the present invention has a structure in which a heat flow sensor is coated on the outside of the bearing.
  • a heat flow sensor converts the heat flow generated by frictional heat generation of the bearing into an electromotive force (voltage) signal in the film surface direction and measures it.
  • the heat flow sensor comprises, for example, a laminated structure of a magnetic film and a metal film.
  • the bearing with a measurement function according to the second embodiment of the present invention performs temperature measurement in addition to heat flow by using the metal film as a resistance thermometer. By simultaneously grasping the heat flow (temperature gradient) and the temperature, the temperature of the friction heating portion inside the bearing can be grasped more accurately from the heat flow sensor coated on the outside of the bearing.
  • a magnetic encoder in which permanent magnets having different magnetization directions are alternately arranged along the rotation direction is disposed on the side of the rotating shaft.
  • the magnetic film that constitutes the heat flow sensor is subjected to magnetization reversal by the magnetic field emitted by the magnetic encoder.
  • information on the number of rotations of the shaft is also acquired.
  • FIGS. 1A and 1B are views showing a rolling bearing 10 with a heat generation measurement function according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1A is a partial vertical cross-sectional view of a rolling bearing 10 with a heat generation measurement function
  • FIG. 1B is a partial cross-sectional view of the rolling bearing 10 with a heat generation measurement function.
  • a cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used.
  • r is a radial direction with the rotation axis RA as the origin (center), and ⁇ rotates around the rotation axis RA.
  • the rotational direction (circumferential direction), and Z is the axial direction in which the rotational axis RA extends.
  • the rolling bearing 10 with a heat measurement function includes an inner ring 11, an outer ring 12, balls (rolling elements) 13, a spin heat flow sensor 14, and a pair of seal portions 15.
  • the outer ring 12 is fixed to a fixing member (not shown), and the inner ring 11 rotates. That is, the inner ring 11 is fixed to a rotating member (shaft) 30 that rotates in the circumferential direction with respect to the fixing member.
  • the rotating member (shaft) 30 extends in the axial direction Z which is the direction of the rotation axis RA.
  • a plurality of balls (rolling elements) 13 are disposed between the inner ring 11 and the outer ring 12.
  • the pair of seal portions 15 is made of a synthetic rubber material or the like.
  • the pair of seal portions 15 is disposed between the inner ring 11 and the outer ring 12 on the outer peripheral side of the ball (rolling element) 13 and each has an annular shape.
  • One side (the outer peripheral end side) of each seal portion 15 is fixed to the outer ring 12, and the other side (the inner peripheral end side) is in close contact with the inner ring 11 by elastic force.
  • the spin thermal current sensor 14 is a layered device having a magnetic film having magnetization in the in-plane direction.
  • the spin thermal current sensor 14 is characterized in that an electromotive force in the in-plane direction is generated in proportion to the heat flow rate flowing in the in-plane direction based on the thermomagnetic effect of converting the heat flow in the magnetic body into the spin flow. Do.
  • the spin thermal sensor 14 comprises a magnetic film 14a and a conductive film 14b.
  • the spin thermal current sensors 14 are arranged in such a manner that they are stacked on the surface of the outer ring 12 in the radial direction r and coated. More specifically, the magnetic film 14 a is coated on the surface of the outer ring 12. The conductive film 14b is coated on the surface of the magnetic film 14a.
  • Yttrium iron garnet (Bi: YIG, BiY 2 Fe 5 O 12, etc.) doped with a rare earth element such as yttrium iron garnet (YIG, Y 3 Fe 5 O 12 ) or Bi as the magnetic film 14 a Oxide magnetic materials such as CoFe 2 O 4 ) and magnetite (Fe 3 O 4 ) can be used.
  • a conductive material having a large spin-orbit interaction such as a metal material such as Pt or W, or a conductive oxide material such as FePt, CoPt, NiPt, FeW, CoW, NiW alloy, or RuO 2 as the conductive film 14b. It is desirable to use
  • the magnetic film 14a can be formed by a coating method such as an organic metal decomposition method (MOD method), a ferrite plating method, sputtering, liquid phase epitaxy (LPE), chemical vapor deposition (CVD) or the like.
  • the conductive film 14 b can be formed by sputtering, pulsed laser deposition (PLD), electron beam evaporation, plating, or the like.
  • control circuit 25 and the transmission / reception device 26 are provided outside the bearing 10, and can communicate with the outside wirelessly.
  • the operation mode of the control circuit 25 can be wirelessly set from the outside. Therefore, the combination of the control circuit 25 and the transmission / reception device 26 is connected to the spin heat flow sensor 14 and acts as a communication means for wirelessly communicating with the outside.
  • the heat flow measurement result data of the observed voltage V
  • the control circuit 25 regards the occurrence of an abnormality and immediately transmits a radio signal via the transmission / reception device 26 to transmit the abnormality to the administrator.
  • the control circuit 25, the transmission / reception device 26, and the operation method are the same as in the following embodiments.
  • a magnetic conductive film having both magnetism and conductivity may be used instead of the configuration of the magnetic film 14 a and the conductive film 14 b. Also in the case of using this magnetic conductive film, an electromotive force is similarly generated by the anomalous Nernst effect (one of the thermomagnetic effects of converting the heat flow into a spin-polarized current) due to the heat flow flowing into the magnetic conductive film. By measuring the output voltage signal across the magnetic conductive film, it is possible to detect the heat generated in the bearing 10.
  • FePt, CoPt, NiPt, FeW, CoW, NiW alloy or the like can be used besides Fe, Ni, Co.
  • communication with the outside is performed wirelessly using the communication means, but in the present invention, communication does not have to be performed wirelessly. Because the spin heat flow sensor 14 is disposed on the fixed side (in this example, the surface of the outer ring 12), it is possible to communicate with the outside from the spin heat flow sensor 14 via a wire.
  • FIG. 2A and FIG. 2B are views showing a rolling bearing with heat measurement function 10A according to a modification of the present embodiment.
  • FIG. 2A is a partial vertical cross-sectional view of the rolling bearing 10A with a heat generation measurement function
  • FIG. 2B is a partial cross-sectional view of the rolling bearing 10A with a heat generation measurement function.
  • FIGS. 2A and 2B a cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used as in FIGS. 1A and 1B.
  • the bearing 10A of FIGS. 2A and 2B is different in that the spin heat flow sensor 14 is attached to the surface of the seal portion 15 instead of the surface of the outer ring 12.
  • the magnetic film 14 a and the conductive film 14 b are stacked and coated in the axial direction Z on the surface of the seal portion 15 by using a ferrite plating method or the like.
  • FIGS. 3A and 3B are views showing a rolling bearing 10B having a function of measuring the temperature inside of a bearing according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 3A is a partial vertical cross-sectional view showing the state of the rolling bearing with temperature measurement function 10B in the heat flow (temperature gradient) measurement mode
  • FIG. 3B is a rolling bearing with temperature measurement function in the temperature measurement mode. It is a fragmentary longitudinal cross-sectional view which shows the state of 10B.
  • FIGS. 3A and 3B a cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used as in FIGS. 1A and 1B.
  • temperature measurement is performed in addition to heat flow by utilizing the conductive film 14b as a resistance thermometer.
  • the heat flow temperature gradient
  • the temperature of the friction heating portion inside the bearing can be more accurately evaluated.
  • the basic configuration is the same as that of the rolling bearing 10 with a heat generation measuring device according to the first embodiment shown in FIGS. 1A and 1B, but a DC current source 21 and a switch 22 are newly introduced in this bearing 10B. It is done.
  • the direct current source 21 and the switch 22 are connected in series to the spin thermal current sensor 14.
  • the heat flow rate generated by frictional heat generation of the bearing 10B is determined between the two ends of the conductive film 14b constituting the spin thermal current sensor 14. Measured through the output voltage (heat flow measurement mode).
  • the absolute temperature of the surface of the outer ring 12 and the heat flow rate (proportional to the temperature gradient) flowing there can be evaluated by the rolling bearing 10B with a bearing internal temperature measurement function shown in FIGS. 3A and 3B. .
  • FIG. 4 is a diagram for explaining a method of estimating the internal temperature from the two parameters.
  • the horizontal axis indicates the position inside the bearing, and the vertical axis indicates the temperature.
  • FIG. 4 shows that the internal temperature in the frictional heating portion can be estimated from the outer ring surface temperature and the temperature gradient.
  • the second embodiment it is possible to evaluate the temperature of the friction heating portion (the contact portion between the outer ring 12 and the ball 13) inside the bearing.
  • FIG. 5A and 5B are diagrams for explaining another sensing method of the second embodiment.
  • FIG. 5A is a partial longitudinal cross-sectional view showing a rolling bearing 10C with a bearing internal temperature measurement function
  • FIG. 5B is a waveform diagram showing fluctuations in output voltage.
  • the switch 22 is eliminated by using an alternating current source 23 instead of using the direct current source 21 of FIG.
  • the output voltage V is a sum of a DC voltage component proportional to the heat flow (temperature gradient) and an AC current component depending on the resistance determined from the absolute temperature. It is generated. From this fact, it is possible to simultaneously perform heat flow (temperature gradient) measurement and absolute temperature measurement by separately evaluating them.
  • FIG. 6A and 6B are views showing a rolling bearing 10D having a rotation speed and heat generation measurement function according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6A is a partial longitudinal cross-sectional view of a rolling bearing 10D having a rotational speed and heat generation measurement function
  • FIG. 6B is a partial cross-sectional view of a rolling bearing 10D having a rotational speed and heat generation measurement function.
  • the cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used in FIGS. 6A and 6B as in FIGS. 1A and 1B.
  • a plurality of permanent magnets having different magnetic poles alternately are disposed along the rotational direction ⁇ , and the magnetic field emitted by them Invert the magnetization of the body film.
  • the rotation information of the axis is acquired.
  • the magnetic encoder 16 is fixed to the inner ring 11 side.
  • the magnetic encoder 16 has a structure in which permanent magnets in which the magnetic poles (N and S poles) are alternately arranged along the rotational direction ⁇ .
  • FIG. 7 is a view for explaining the operation principle of the rolling bearing 10D having the rotation speed and heat generation measurement function shown in FIGS. 6A and 6B.
  • the magnetization direction of the spin thermal sensor 14 is reversed at each rotation due to the magnetic field emitted from the permanent magnet of the magnetic encoder 16 with the relative rotational movement between the inner ring 11 and the outer ring 12. Do. From this, as a result, the output voltage V is also sign-inverted (FIG. 7). Therefore, in the third embodiment, it is possible to estimate the rotational frequency of the rotational movement from the frequency of the output voltage V.
  • the frequency can be measured only by arranging one spin heat flow sensor 14.
  • two spin heat flow sensors at appropriate positions (for example, positions separated by 90 degrees in the rotational angle direction ⁇ ), not only the rotational frequency but also the direction of rotation and between the inner ring and outer ring at a certain time
  • the relative position (rotational angle) can also be evaluated.
  • FIGS. 8A and 8B are views showing a rolling bearing 10E having a rotational speed / heat generation measuring function when using a plurality of heat flow sensors according to a modification of the third embodiment.
  • FIG. 8A is a partial longitudinal cross-sectional view of a rolling bearing 10E having a rotational speed and heat generation measurement function
  • FIG. 8B is a partial cross-sectional view of a rolling bearing 10E having a rotational speed and heat generation measurement function.
  • FIGS. 8A and 8B the cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used as in FIGS. 1A and 1B.
  • the first spin heat flow sensor 14 is disposed on the surface of the seal portion 15 at a position 90 degrees apart from each other in the rotational direction ⁇ on the surface of the seal portion 15. And a second spin heat flow sensor 14-2.
  • FIG. 9 is a waveform diagram showing the output of the first spin thermal current sensor 14-1 and the output of the second spin thermal current sensor 14-2.
  • the output of the first spin thermal current sensor 14-1 is indicated by a solid line "spin thermal current sensor 1 output”
  • the output of the second spin thermal current sensor 14-2 is indicated by a dotted line “spin thermal current sensor 2 output”. It shows.
  • the outputs of the plurality of sensors 14-1 and 14-2 are not sine waves but square waves.
  • the code of sensor 1, the code of sensor 2) (+, +), (+,-), (-, +), (-,-) by identifying four ways, at which moment It is possible to see what you are doing. Also, increasing the number of sensors can increase the accuracy.
  • FIGS. 10A and 10B are views showing a rolling bearing 10F with a self-supporting heat generation function according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 10A is a partial longitudinal sectional view of the self-supporting type rolling bearing with heat generation function 10F
  • FIG. 10B is a partial cross-sectional view of the self-supporting type rolling bearing with heat generation function 10F.
  • FIGS. 10A and 10B a cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used as in FIGS. 1A and 1B.
  • thermoelectromotive force as electric power is provided. That is, in the fourth embodiment, self-sustaining driving can be performed without external battery or external power supply, and sensing data can be transmitted to the outside wirelessly.
  • FIGS. 11A and 11B are views showing a slide bearing 40 with a heat generation measurement function according to a modification of the present invention.
  • 11A is a schematic perspective view of the slide bearing 40 with a heat generation measurement function
  • FIG. 11B is an enlarged perspective view of a spin thermal flow sensor provided in the slide bearing 40 with a heat generation measurement function.
  • a cylindrical coordinate system (r, ⁇ , Z) is used.
  • r is a radial direction around the rotation axis RA
  • ⁇ is a rotation direction that rotates around the rotation axis RA
  • Z is the axial direction in which the rotation axis RA extends.
  • the bearing 40 of this modification includes an inner ring 41, an outer ring 42, and a spin heat flow sensor 44.
  • the outer ring 42 is fixed to a fixing member (not shown).
  • the inner ring 41 is fixed to a shaft 30 which is a rotating member so as to rotate.
  • the outer ring 42 and the inner ring 41 rotate relative to each other through the sliding surface 43.
  • the combination of the inner ring 41, the outer ring 42 and the sliding surface 43 constitutes a slide bearing (41, 42, 43).
  • the slide bearing 40 with a heat generation measurement function has, for example, a configuration in which a spin heat flow sensor 44 is disposed on the surface of an outer ring 42 which is an outer peripheral portion of the slide bearing (41, 42, 43). ing.
  • the spin thermal current sensor 44 is composed of a magnetic film 44a and a metal film 44b, and these are arranged in the radial direction r on the surface of the outer ring 42 and coated.
  • the magnetic film 44 a has magnetization in the in-plane direction (direction parallel to the axial direction Z).
  • the spin thermal current sensor 44 generates an electromotive force in the in-plane direction (rotational direction ⁇ ) in proportion to the heat flow amount flowing in the surface orthogonal direction (radial direction r). By measuring the electromotive force generated in this way as the output voltage V across the metal film 44b, it is possible to detect the heat generation occurring in the slide bearings (41, 42, 43).
  • the bearing includes a rolling bearing including a plurality of rolling elements disposed between the outer ring and the inner ring, and a seal portion fixed to the outer ring and sealing the plurality of rolling elements.
  • the bearing with a measurement function according to appendix 1, wherein the heat flow sensor is coated on the surface of the seal portion.
  • Appendix 9 The bearing with a measurement function according to Appendix 4, wherein the heat flow sensor is formed of a magnetic conductive film having both magnetism and conductivity which exhibit anomalous Nernst effect as the thermomagnetic effect.

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Abstract

軸受（１０）における発熱の情報を、簡潔に把握する。軸受（１０）は、固定部材に固定された外輪（１２）と、この外輪（１２）の内側に設けられて、固定部材に対して円周方向に回転する軸に固定された内輪（１１）と、を含む。熱流センサ（１４）は、外輪（１２）を含む固定側の表面にコーティングされて、軸の回転に伴って生じる摩擦熱の情報を含む熱起電力を生成する。

Description

計測機能付き軸受
　本発明は、計測機能付き軸受に関する。
　軸受（ベアリング）は、風力発電や車両など、回転運動する機械システムに用いられる要素部材であり、回転運動時の摩擦を減らして高効率な機械運動を実現する上で極めて重要な役割を果たす。同時に、仮に軸受の性能劣化や破損が生じた場合、機械システムの駆動にも大きな悪影響をもたらす。このため、最近では軸受の異常発見や予防保全のために、軸受に様々なセンサを取り付けて、状態を監視する取り組みが広がっている。
　このうち、軸受の発熱計測は予防保全に極めて重要である。軸受での摩擦による発熱をリアルタイムで計測できれば、グリスの投入量制御や軸受の異常・性能劣化検知が可能となり、事業者にとって大きなメリットとなる。実際、熱電対型の温度センサを備えた軸受（特許文献１）や、回転センサを備えた軸受（特許文献２、特許文献３）などが報告されている。
特開２０１３－５７６５９号公報 特開２０１３－６１０３０号公報 特許第４６３９２８２号公報
　しかしながら、このような周知の軸受における発熱や回転数の検知技術には、以下の３つの課題がある。
　第一に、温度センサで本当に計測したいのは軸と軸受（または玉と保持輪）の接触部である。しかしながら、接触部に直接センサを取り付けることはできないため、摩擦部分の正確な温度を計測することはできない。
　第二に、温度センサの信号は外部温度や周囲の熱容量に依存する。このため、軸受部での発熱量をリアルタイムで計測することはできない。
　そして第三に、取り付けた温度センサが熱流を阻害したり機械的なバランスを崩したりして、軸受自体の性能に悪影響をもたらす可能性がある。
　本発明の目的は、上述した課題のいずれかを解決する、計測機能付き軸受を提供することにある。
　本発明の一実施の形態に係る計測機能付き軸受は、固定部材に固定された外輪と、該外輪の内側に設けられて、前記固定部材に対して円周方向に回転する軸に固定された内輪と、を含む軸受を備え、前記外輪を含む固定側の表面にコーティングされて、前記軸の回転に伴って生じる摩擦熱の情報を含む熱起電力を生成する熱流センサを備える。
　本発明によれば、軸受における発熱の情報を簡潔に把握することができる。
本発明の第一の実施例に係る発熱計測機能付き転がり軸受の部分縦断面図である。 図１Ａに示す発熱計測機能付き転がり軸受の部分横断面図である。 本発明の第一の実施例の変形例に係る発熱計測機能付き転がり軸受の部分縦断面図である。 図２Ａに示す発熱計測機能付き転がり軸受の部分横断面図である。 本発明の第二の実施例に係る軸受内部温度計測機能付き転がり軸受において、熱流（温度勾配）測定モード時での状態を示す部分縦断面図である。 図３Ａに示す軸受内部温度計測機能付き転がり軸受において、温度測定モード時での状態を示す部分縦断面図である。 図３Ａおよび図３Ｂに示す軸受内部温度計測機能付き転がり軸受を用いて、内部温度を推定する方法を説明するための図である。 本発明の第二の実施例の別のセンシング方式を説明するための、軸受内部温度計測機能付き転がり軸受を示す部分縦断面図である。 図５Ａに示す軸受内部温度計測機能付き転がり軸受における、出力電圧の変動を示す波形図である。 本発明の第三の実施例に係る回転数・発熱計測機能付き転がり軸受の部分縦断面図である。 図６Ａに示す回転数・発熱計測機能付き転がり軸受の部分横断面図である。 図６Ａおよび図６Ｂに示した回転数・発熱計測機能付き転がり軸受の動作原理を説明するための図である。 第三の実施例の変形例に係る、複数の熱流センサを用いた場合の回転数・発熱計測機能付き転がり軸受の部分縦断面図である。 図８Ａに示す回転数・発熱計測機能付き転がり軸受の部分横断面図である。 図８Ａおよび図８Ｂの回転数・発熱計測機能付き転がり軸受における第１および第２のスピン熱流センサの出力を示す波形図である。 本発明の第四の実施例に係る自立駆動型発熱計測機能付き転がり軸受の部分縦断面図である。 図１０Ａに示す自立駆動型発熱計測機能付き転がり軸受の部分横断面図である。 本発明の変形例に係る発熱計測機能付き滑り軸受の概略斜視図である。 図１１Ａに示す発熱計測機能付き滑り軸受に設けられるスピン熱電型熱流センサを拡大して示す斜視図である。
　以下、本発明の実施形態について説明する。
　本発明の実施形態に係る計測機能付き軸受は、軸受外部にスピンゼーベック熱電素子をコーティングし、軸の回転に伴って生じる摩擦熱の情報を熱起電力（電圧）信号によってモニタリングすることを特徴とする。
　本発明の第一の実施形態に係る計測機能付き軸受は、軸受外部に熱流センサをコーティングした構造を有している。軸受部の摩擦発熱によって生じる熱流を、熱流センサによって膜面方向の起電力（電圧）信号に変換して計測する。熱流センサは、例えば、磁性膜と金属膜との積層構造から成る。
　本発明の第二の実施形態に係る計測機能付き軸受は、上記金属膜を抵抗温度計として活用することで、熱流に加えて温度計測をも行う。熱流（温度勾配）と温度とを同時に把握することで、軸受外部にコーティングした熱流センサから、軸受内部の摩擦発熱部の温度をより正確に把握することができる。
　本発明の第三の実施形態に係る計測機能付き軸受は、回転する軸の側に、磁化方向が異なる永久磁石を回転方向に沿って交互に配置した磁気エンコーダを配置する。磁気エンコーダが発する磁場で、熱流センサを構成する磁性膜を磁化反転させる。これにより、発熱情報に加えて、軸の回転数の情報をも取得する。
　図１Ａおよび図１Ｂは、本発明の第一の実施例に係る発熱計測機能付き転がり軸受１０を示す図である。図１Ａは発熱計測機能付き転がり軸受１０の部分縦断面図であり、図１Ｂは発熱計測機能付き転がり軸受１０の部分横断面図である。
　ここでは、図1Ａおよび図１Ｂに示されるように、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。図１Ａおよび図１Ｂに示した状態では、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）において、ｒは回転軸ＲＡを原点（中心）とした半径方向であり、θは回転軸ＲＡを中心として回転する回転方向（円周方向）であり、Ｚは回転軸ＲＡが延在する軸方向である。
　本実施例の発熱計測機能付き転がり軸受１０は、内輪１１、外輪１２、玉（転動体）１３、スピン熱流センサ１４、および一対のシール部１５とからなる。
　本実施例では外輪１２は固定部材（図示せず）に固定されており、内輪１１が回転する仕組みとなっている。すなわち、内輪１１は、固定部材に対して円周方向に回転する回転部材（軸）３０に固定されている。回転部材（軸）３０は、回転軸ＲＡの方向である軸方向Ｚに延在する。
　玉（転動体）１３は、内輪１１と外輪１２との間に複数個配置される。
　一対のシール部１５は合成ゴム材料などからなる。一対のシール部１５は、玉（転動体）１３の外周側で内輪１１と外輪１２との間に配置されて、各々が環状をしている。各シール部１５の片側（外周端側）は外輪１２に固定され、もう片側（内周端側）は弾性力で内輪１１に押し付けられるように密着されている。このような構造を採用することで、一対のシール部１５は軸受内部を密封している。
　スピン熱流センサ１４は、面内方向の磁化を有する磁性膜を有する層状デバイスである。スピン熱流センサ１４は、磁性体における熱の流れをスピンの流れに変換する熱磁気効果に基づき、面直方向に流れる熱流量に比例して、面内方向の起電力を生成することを特徴とする。
　図１Ａおよび図１Ｂに示す実施例では、スピン熱流センサ１４は磁性体膜１４ａと導電膜１４ｂとからなる。スピン熱流センサ１４は、これらが外輪１２の表面に半径方向ｒに積層されてコーティングされた配置となっている。詳述すると、磁性体膜１４ａは外輪１２の表面にコーティングされている。導電膜１４ｂは磁性体膜１４ａの表面にコーティングされている。
　ここで、軸受内部（具体的には玉１３と外輪１２、および玉１３と内輪１１との間）の摩擦に起因して発熱が生じると、熱流が外輪１２を通してスピン熱流センサ１４へと流れる。この熱流から誘起されるスピンゼーベック効果（熱流をスピン流に変換する熱磁気効果の一つ）によって磁性体膜１４ａにおいてスピン流が生じる。このスピン流が導電膜１４ｂに到達すると、導電膜１４ｂにおける逆スピンホール効果（スピン流を電流へと変換する効果）によって起電力へと変換される。こうして生じる起電力を導電膜１４ｂの両端間の出力電圧Vとして計測することで、軸受１０において生じる発熱を検知することができる。
　上記磁性体膜１４ａとしては、イットリウム鉄ガーネット（YIG, Y3Fe5O12）やBi等の希土類元素をドープしたイットリウム鉄ガーネット（Bi:YIG, BiY2Fe5O12等）、Coフェライト(CoFe2O4)、マグネタイト(Fe3O4)などの酸化物磁性材料を用いることできる。また、導電膜１４ｂとしてはPtやW等の金属材料や、FePt、CoPt、NiPt、FeW、CoW、NiW合金、もしくはRuO2等の導電性酸化物材料など、スピン軌道相互作用が大きい導電性材料を用いることが望ましい。
　磁性体膜１４ａは、有機金属分解法（MOD法）等の塗布法やフェライトめっき法、スパッタ、液相エピタキシー法（LPE）、化学気相堆積法(CVD)等で形成することができる。また、導電膜１４ｂは、スパッタ法、パルスレーザ堆積法（ＰＬＤ法）、電子ビーム蒸着法、めっき法等で形成することができる。
　さらに軸受１０の外部には制御回路２５および送受信装置２６が備えられており、無線で外部との通信が可能となっている。制御回路２５の動作モードは外部から無線で設定できるようになっている。したがって、制御回路２５と送受信装置２６との組み合わせは、スピン熱流センサ１４に接続されて、無線で外部との通信を行う通信手段として働く。
　次に、通信手段の動作モードの一例について説明する。平時は熱流測定の結果（観測した電圧Vのデータ）を制御回路２５内に一時的に保存して、送受信装置２６はその保存したデータを５分おきに外部に送信する。一方、熱流（出力電圧）が一定の閾値を超えた場合には、制御回路２５は異常発生とみなして、送受信装置２６を介して即座に無線を飛ばして異常を管理者に伝える。なお、これら制御回路２５と送受信装置２６、および動作方法については、以後の実施例でも同様のものを用いるものとする。
　なお、上記スピン熱流センサとしては、磁性体膜１４ａと導電膜１４ｂとからなる構成の代わりに、磁性と導電性とを兼ね備えた磁性導電膜を用いてもよい。この磁性導電膜を用いる場合も、上記熱流が磁性導電膜に流れ込むことによる異常ネルンスト効果（熱流をスピン偏極電流に変換する熱磁気効果の一つ）によって、同様に起電力が生じる。この磁性導電膜の両端間の出力電圧信号を計測することで、軸受１０において生じる発熱を検知することができる。
　磁性導電膜の材料としては、Fe、Ni、Coのほか、FePt、CoPt、NiPt、FeW、CoW、NiW合金等を用いることができる。
　本第一の実施例によれば、出力電圧Vを計測することで、軸受内部の摩擦発熱をモニタリングできるという効果がある。
　尚、第一の実施例では、通信手段を使用して無線で外部と通信を行っているが、本発明では通信を必ずしも無線で行う必要はない。何故なら、スピン熱流センサ１４を固定側（本例では、外輪１２の表面）に配置しているので、スピン熱流センサ１４から有線を介して外部と通信することが可能だからである。
　図２Ａおよび図２Ｂは、本実施例の変形例に係る熱計測機能付き転がり軸受１０Ａを示す図である。図２Ａは発熱計測機能付き転がり軸受１０Ａの部分縦断面図であり、図２Ｂは発熱計測機能付き転がり軸受１０Ａの部分横断面図である。
　図２Ａおよび図２Ｂにおいても、図1Ａおよび図１Ｂと同様に、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。
　構成要素は図１Ａおよび図１Ｂの軸受１０と同じだが、図２Ａおよび図２Ｂの軸受１０Ａではスピン熱流センサ１４を外輪１２の表面ではなく、シール部１５の表面に取り付けている点が異なる。
　本変形例では、フェライトめっき法などを用いることで、磁性体膜１４ａと導電膜１４ｂをシール部１５の表面上に軸方向Ｚに積層してコーティングしている。
　本変形例でも、出力電圧Vを計測することで、軸受内部の摩擦発熱をモニタリングできるという効果がある。
　図３Ａおよび図３Ｂは、本発明の第二の実施例に係る軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｂを示す図である。図３Ａは熱流（温度勾配）測定モード時での軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｂの状態を示す部分縦断面図であり、図３Ｂは温度測定モード時での軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｂの状態を示す部分縦断面図である。
　図３Ａおよび図３Ｂにおいても、図１Ａおよび図１Ｂと同様に、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。
　本発明の第二の実施例では、前記導電膜１４ｂを抵抗温度計として活用することで、熱流に加えて温度計測も行う。熱流（温度勾配）と温度を同時に把握することで、軸受内部の摩擦発熱部の温度をより正確に評価することができる。
　基本構成は図１Ａおよび図１Ｂに示す第一の実施例の発熱計測装置付き転がり軸受１０と同じだが、この軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｂでは新たに直流電流源２１とスイッチ２２とが導入されている。
　直流電流源２１とスイッチ２２とは、スピン熱流センサ１４に直列に接続されている。
　図３Ａに示されるように、スイッチ２２がOFFの場合は第一の実施例と同様に、軸受１０Ｂの摩擦発熱によって生じた熱流量を、スピン熱流センサ１４を構成する導電膜１４ｂの両端間の出力電圧を通して計測する（熱流測定モード）。
　一方、図３Ｂに示されるように、スイッチ２２がONの状態になると、直流電流源２１からスピン熱流センサ１４の導電膜１４ｂに一定電流が流れ込むことから、前記出力電圧Ｖが変化する。この変化分は、前記一定電流と導電膜１４ｂの抵抗との積に比例する。このことから、この変化分を観測することで導電膜１４ｂの抵抗変化を評価することができる。多くの導電性材料では、抵抗率は温度に単調に依存することから、これによって導電膜１４ｂの部分の温度を計測することができる（温度測定モード）。
　この熱流測定モードと温度測定モードとを交互に繰り返せば、摩擦発熱部の温度のより正確な評価が可能となる。
　一般的に、軸受では、主に外輪１２と玉１３の摩擦部などで発熱が生じるが、この箇所に温度センサを直接取り付けることは機械設計上難しい。このことから、一般的な通常知られている方法では、摩擦発熱部の温度を直接評価することはできない。
　これに対して、図３Ａおよび図３Ｂに示す軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｂによって、外輪１２の表面の絶対温度とそこで流れている熱流量（温度勾配に比例）とを評価することができる。
　図４は、その２つのパラメータから内部温度を推定する方法を説明するための図である。図４において、横軸は軸受内部位置を示し、縦軸は温度を示す。図４は、外輪表面温度と温度勾配とから摩擦発熱部での内部温度を推定できることを示している。
　このように、第二の実施例によれば、軸受内部の摩擦発熱部（外輪１２と玉１３との接触部）の温度を評価することが可能となるという効果を奏する。
　図５Ａおよび図５Ｂは、第二の実施例の別のセンシング方式を説明するための図である。図５Ａは軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｃを示す部分縦断面図であり、図５Ｂは出力電圧の変動を示す波形図である。
　本方式では、図５Ａに示されるように、図３の直流電流源２１を用いる代わりに交流電流源２３を用いて、スイッチ２２を削除している。
　このような構成を採用すれば、図５Ｂに示されるように、出力電圧Vは、熱流（温度勾配）に比例する直流電圧成分と、絶対温度から決まる抵抗に依存する交流電流成分との和として生成される。このことから、これらを分離して評価することで、熱流（温度勾配）計測と絶対温度計測とを同時に行うことができる。
　図５Ａおよび図５Ｂに示した別のセンシング方式によれば、上記第二の実施例の効果に加えて、図３Ａおよび図３Ｂに示す軸受内部温度計測機能付き転がり軸受１０Ｂで測定モードを切り替えるために必要だったスイッチ２２が不要となり、素子構成が簡素化されるという効果をも奏する。
　図６Ａおよび図６Ｂは、本発明の第三の実施例に係る回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｄを示す図である。図６Ａは回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｄの部分縦断面図であり、図６Ｂは回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｄの部分横断面図である。
　図６Ａおよび図６Ｂにおいても、図１Ａおよび図１Ｂと同様に、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。
　本発明の第三の実施例では、軸受１０Ｄの内輪１１側に、磁極が交互に異なる複数の永久磁石を回転方向θに沿って配置し、それが発する磁場で軸受側のスピンゼーベック素子の磁性体膜を磁化反転させる。これにより、第三の実施例では、発熱情報に加えて軸の回転情報も取得する。
　図６Ａおよび図６Ｂに示す回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｄでは図２Ａおよび図２Ｂで示した軸受１０Ａと同様の構成に加えて、内輪１１側に磁気エンコーダ１６が固定されている。磁気エンコーダ１６は、回転方向θに沿って磁極（N極、S極）が互い違いになった永久磁石が配置された構造を有している。
　図７は、図６Ａおよび図６Ｂに示した回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｄの動作原理を説明するための図である。
　このような構成をとれば、内輪１１と外輪１２との間の相対的な回転運動に伴い、磁気エンコーダ１６の永久磁石からの発せられる磁場によってスピン熱流センサ１４の磁化方向が回転の度に反転する。このことから、結果としてその出力電圧Vも符号反転する（図７）。したがって、第三の実施例では、出力電圧Vの周波数から回転運動の回転周波数を評価することが可能となる。
　このように、第三の実施例によれば、発熱情報に加えて軸３０の回転数の情報も取得することができるという効果を奏する。
　上記第三の実施例では、スピン熱流センサ１４を１個配置するだけで周波数の計測を可能としている。一方、スピン熱流センサを適切な位置（例えば回転角方向θに９０度離れた位置）に２個配置することで、回転周波数だけでなく、回転の方向、およびある時間における内輪と外輪の間の相対位置（回転角度）も評価することができる。
　図８Ａおよび図８Ｂは、第三の実施例の変形例に係る、複数の熱流センサを用いた場合の回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｅを示す図である。図８Ａは回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｅの部分縦断面図であり、図８Ｂは回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｅの部分横断面図である。
　図８Ａおよび図８Ｂにおいても、図１Ａおよび図１Ｂと同様に、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。
　図８Ｂに示されるように、回転数・発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｅは、シール部１５の表面上に、互いに回転方向θに９０度離れた位置に配置された、第１のスピン熱流センサ１４－１と第２のスピン熱流センサ１４－２とを有する。
　図９は、第１のスピン熱流センサ１４－１の出力と第２のスピン熱流センサ１４－２の出力とを示す波形図である。図９では、第１のスピン熱流センサ１４－１の出力を実線で「スピン熱流センサ１出力」で示し、第２のスピン熱流センサ１４－２の出力を点線で「スピン熱流センサ２出力」で示している。
　図９から明らかなように、複数のセンサ１４－１、１４－２の相対出力を見ることで、ある瞬間における回転の角度（位置）をより細かく検知することができる。
　本変形例では、図９から分かるように、複数のセンサ１４－１、１４－２の出力は、正弦波ではなく矩形波になる。（センサ１の符号，センサ２の符号）＝（＋，＋）、（＋，－）、（－，＋）、（－，－）の４通りを見分けることによって、その瞬間にどのエリアに位置しているかを見ることが可能となる。また、センサの数を増やすとより精度を高めることができる。
　図８Ａおよび図８Ｂに示した変形例によれば、上記第三の実施例の効果に加えて、回転の方向や相対位置（回転角度）をも検出できるという効果をも奏する。
　図１０Ａおよび図１０Ｂは、本発明の第四の実施例に係る自立駆動型発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｆを示す図である。図１０Ａは自立駆動型発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｆの部分縦断面図であり、図１０Ｂは自立駆動型発熱計測機能付き転がり軸受１０Ｆの部分横断面図である。
　図１０Ａおよび図１０Ｂにおいても、図１Ａおよび図１Ｂと同様に、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。
　第四の実施例では、図１Ａおよび図１Ｂに示した第一の実施例の発熱計測機能付き転がり軸受１０の上記構成に加えて、熱起電力を電力として蓄積するキャパシタ２４を備える。すなわち、第四の実施例では、外部電池や外部からの給電無しに自立駆動し、センシングデータを無線で外部に送信することができる。
　このように、第四の実施例によれば、外部からの給電無しに、センシングデータを無線で外部に送信できるという効果を奏する。
　なお、上記の実施例では、様々な種類のある軸受の中でも、転がり軸受、特に玉軸受についての実装方法を記述したが、本発明は、他の軸受方式（滑り軸受やころ軸受）についても同様の実装が可能となる。
［変形例］
　図１１Ａおよび図１１Ｂは、本発明の変形例に係る発熱計測機能付き滑り軸受４０を示す図である。図１１Ａは発熱計測機能付き滑り軸受４０の概略斜視図であり、図１１Ｂは発熱計測機能付き滑り軸受４０に設けられるスピン熱流センサを拡大して示す斜視図である。
　ここでは、図1１Ａおよび図１１Ｂに示されるように、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）を使用している。図１１Ａおよび図１１Ｂに示した状態では、円柱座標系（ｒ、θ、Ｚ）において、ｒは回転軸ＲＡを中心とした半径方向であり、θは回転軸ＲＡの回りに回転する回転方向であり、Ｚは回転軸ＲＡが延在する軸方向である。
　本変形例の軸受４０は、内輪４１と、外輪４２と、スピン熱流センサ４４とから成る。外輪４２は、固定部材（図示せず）に固定されている。内輪４１は回転部材である軸３０に固定されて、回転するようになっている。外輪４２と内輪４１とは滑り面４３を介して相対回転するようになっている。
　すなわち、内輪４１と外輪４２と滑り面４３との組み合わせによって、滑り軸受（４１，４２，４３）が構成されている。
　図１１Ａに示されるように、発熱計測機能付き滑り軸受４０は、その一例として、滑り軸受（４１，４２，４３）の外周部である外輪４２の表面にスピン熱流センサ４４を配置した構成をしている。
　図１１Ｂに示されるように、スピン熱流センサ４４は磁性膜４４ａと金属膜４４ｂとからなり、これらを外輪４２の表面上に半径方向ｒに積層してコーティングされた配置となっている。磁性膜４４ａは、面内方向（軸方向Ｚと平行な方向）に磁化を有する。スピン熱流センサ４４は、面直方向（半径方向ｒ）に流れる熱流量に比例して、面内方向（回転方向θ）の起電力を生成する。こうして生じる起電力を金属膜４４ｂの両端間の出力電圧Vとして計測することで、滑り軸受（４１，４２，４３）において生じる発熱を検知することができる。
　このように、変形例によれば、出力電圧Vを計測することで、滑り軸受（４１，４２，４３）の内部の摩擦発熱をモニタリングできるという効果がある。
　以上、実施形態および実施例などを参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態や実施例などに限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しえる様々な変更をすることができる。
　上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
（付記１）
　固定部材に固定された外輪と、
　該外輪の内側に設けられて、前記固定部材に対して円周方向に回転する軸に固定された内輪と、
を含む軸受を備え、
　前記外輪を含む固定側の表面にコーティングされて、前記軸の回転に伴って生じる摩擦熱の情報を含む熱起電力を生成する熱流センサを備える、計測機能付き軸受。
（付記２）
　前記熱流センサは、前記外輪の表面上にコーティングされている、付記１に記載の計測機能付き軸受。
（付記３）
　前記軸受は、前記外輪と前記内輪との間に配置された複数の転動体と、前記外輪に固定されて前記複数の転動体を密封するシール部とを備えた、転がり軸受からなり、
　前記熱流センサは、前記シール部の表面上にコーティングされている、付記１に記載の計測機能付き軸受。
（付記４）
　前記熱流センサは、熱磁気効果を発現する少なくとも一層の膜から成る、付記１乃至３のいずれか１つに記載の計測機能付き軸受。
（付記５）
　前記熱流センサは、前記熱磁気効果としてスピンゼーベック効果を発現する磁性体膜と導電膜とから成る、付記４に記載の計測機能付き軸受。
（付記６）
　熱流計測と温度計測とを可能にする計測制御手段を更に有する、付記５に記載の計測機能付き軸受。
(付記７)
　前記計測制御手段は、前記熱流センサに直列に接続された、直流電流源とスイッチとから成る、付記６に記載の計測機能付き軸受。
（付記８）
　前記計測制御手段は、前記熱流センサに接続された交流電流源から成る、付記６に記載の計測機能付き軸受。
（付記９）
　前記熱流センサは、前記熱磁気効果として異常ネルンスト効果を発現する磁性と導電性とを兼ね備えた磁性導電膜から成る、付記４に記載の計測機能付き軸受。
（付記１０）
　前記熱流センサと近接するように、前記内輪に取り付けられた磁気エンコーダを更に有する、付記３に記載の計測機能付き軸受。
（付記１１）
　前記熱流センサが、前記シール部の表面上に、離間して複数個配置されている、付記３に記載の計測機能付き軸受。
（付記１２）
　前記熱流センサに接続されて、無線で外部との通信を行う通信手段を更に備える、付記１乃至１１のいずれか１つに記載の計測機能付き軸受。
（付記１３）
　前記熱起電力を電力として蓄積するキャパシタを更に含む、付記１２に記載の計測機能付き軸受。
　この出願は、２０１７年９月１１日に出願された日本出願特願２０１７－１７３８７７を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
　１０、１０Ａ　　発熱計測機能付き転がり軸受
　１０Ｂ、１０Ｃ　　軸受内部温度計測機能付き転がり軸受
　１０Ｄ、１０Ｅ　　回転数・発熱計測機能付き転がり軸受
　１０Ｆ　　自立駆動型発熱計測機能付き転がり軸受
　１１　　内輪
　１２　　外輪
　１３　　玉（転動体）
　１４　　スピン熱流センサ
　１４－１　　第１のスピン熱流センサ
　１４－２　　第２のスピン熱流センサ
　１４ａ　　磁性体膜
　１４ｂ　　導電膜
　１５　　シール部
　１６　　磁気エンコーダ
　２１　　直流電流源
　２２　　スイッチ
　２３　　交流電流源
　２４　　キャパシタ
　２５　　制御回路
　２６　　送受信装置
　３０　　回転部材（軸）
　４０　　発熱計測機能付き滑り軸受
　４１　　内輪
　４２　　外輪
　４３　　滑り面
　４４　　スピン熱流センサ
　４４ａ　　磁性膜
　４４ｂ　　金属膜
　ＲＡ　　回転軸
　ｒ　　半径方向
　θ　　回転方向（円周方向）
　Ｚ　　軸方向
　Ｖ　　出力電圧

Claims (13)

  1. 　固定部材に固定された外輪と、
    　該外輪の内側に設けられて、前記固定部材に対して円周方向に回転する軸に固定された内輪と、
    を含む軸受を備え、
    　前記外輪を含む固定側の表面にコーティングされて、前記軸の回転に伴って生じる摩擦熱の情報を含む熱起電力を生成する熱流センサを備える、計測機能付き軸受。
  2. 　前記熱流センサは、前記外輪の表面上にコーティングされている、請求項１に記載の計測機能付き軸受。
  3. 　前記軸受は、前記外輪と前記内輪との間に配置された複数の転動体と、前記外輪に固定されて前記複数の転動体を密封するシール部とを備えた、転がり軸受からなり、
    　前記熱流センサは、前記シール部の表面上にコーティングされている、請求項１に記載の計測機能付き軸受。
  4. 　前記熱流センサは、熱磁気効果を発現する少なくとも一層の膜から成る、請求項１乃至３のいずれか１つに記載の計測機能付き軸受。
  5. 　前記熱流センサは、前記熱磁気効果としてスピンゼーベック効果を発現する磁性体膜と導電膜とから成る、請求項４に記載の計測機能付き軸受。
  6. 　熱流計測と温度計測とを可能にする計測制御手段を更に有する、請求項５に記載の計測機能付き軸受。
  7. 　前記計測制御手段は、前記熱流センサに直列に接続された、直流電流源とスイッチとから成る、請求項６に記載の計測機能付き軸受。
  8. 　前記計測制御手段は、前記熱流センサに接続された交流電流源から成る、請求項６に記載の計測機能付き軸受。
  9. 　前記熱流センサは、前記熱磁気効果として異常ネルンスト効果を発現する磁性と導電性とを兼ね備えた磁性導電膜から成る、請求項４に記載の計測機能付き軸受。
  10. 　前記熱流センサと近接するように、前記内輪に取り付けられた磁気エンコーダを更に有する、請求項３に記載の計測機能付き軸受。
  11. 　前記熱流センサが、前記シール部の表面上に、離間して複数個配置されている、請求項３に記載の計測機能付き軸受。
  12. 　前記熱流センサに接続されて、無線で外部との通信を行う通信手段を更に備える、請求項１乃至１１のいずれか１つに記載の計測機能付き軸受。
  13. 　前記熱起電力を電力として蓄積するキャパシタを更に含む、請求項１２に記載の計測機能付き軸受。
     
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