WO2019026280A1 - 樹脂基板および表示デバイス - Google Patents

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WO2019026280A1
WO2019026280A1 PCT/JP2017/028400 JP2017028400W WO2019026280A1 WO 2019026280 A1 WO2019026280 A1 WO 2019026280A1 JP 2017028400 W JP2017028400 W JP 2017028400W WO 2019026280 A1 WO2019026280 A1 WO 2019026280A1
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display device
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Inventor
徳生 吉田
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シャープ株式会社
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    • Y02E10/549Organic PV cells

Definitions

  • the present invention relates to a resin substrate and a display device.
  • Patent Document 1 discloses a glass substrate and a polyimide (A) laminated on the glass substrate and having an average linear expansion coefficient of 0 to 30 ppm / K in a temperature range of 50 ° C. to 200 ° C. And a polyimide (B) laminated on at least a part of the surface of the first polyimide layer and having an average linear expansion coefficient of 40 to 100 ppm / K in the temperature range of 50 ° C. to 200 ° C.
  • a substrate laminate comprising a second polyimide layer is disclosed.
  • a first glass layer having a Young's modulus of 10 MPa or less is formed on a sheet glass having a thickness of 10 ⁇ m to 100 ⁇ m and at least one surface of the sheet glass, and a second resin layer having a Young's modulus of 100 MPa or more is formed thereon.
  • a flexible gas barrier member is disclosed, characterized in that
  • Patent Document 1 In the configuration of Patent Document 1, there is a problem that the reliability of the laminate for a substrate is lowered due to the occurrence of a crack.
  • Patent Document 2 The configuration of Patent Document 2 has the same problem.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to further improve the reliability of a resin substrate.
  • the resin substrate concerning one mode of the present invention has the 1st resin layer constituted by the 1st polymer resin which has the 1st major axis direction, and the 1st above-mentioned resin layer.
  • an effect is achieved that the reliability of the resin substrate can be further enhanced.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a cross section of the resin substrate 1.
  • FIG. 2 is a plan view of the resin substrate 1. The AA ′ cross section of FIG. 2 in the resin substrate 1 is shown in FIG.
  • the resin substrate 1 is a substrate made of resin that constitutes various display devices such as an organic EL display device. As shown in FIG. 1, the resin substrate 1 includes a first resin layer 11, an intermediate layer 12, a second resin layer 13, and a base coat 14 in order from the lower side.
  • the first resin layer 11 is made of a polymer resin (first polymer resin) such as polyimide, epoxy, or polyamide.
  • the intermediate layer 12 is an inorganic film composed of an inorganic material such as SiO 2 (silicon dioxide).
  • the second resin layer 13 is made of a polymer resin (second polymer resin) such as polyimide, epoxy, or polyamide.
  • the material of the first resin layer 11 and the material of the second resin layer 13 are both polyimides.
  • the thickness of the first resin layer 11 and the second resin layer 13 is about several ⁇ m to 20 ⁇ m.
  • the total thickness of the resin substrate 1 is about 10 um to 20 um.
  • the polymer resin of the first resin layer 11 has a major axis direction 21 (first major axis direction).
  • the polymer resin of the second resin layer 13 has a major axis direction 23 (second major axis direction) inclined with respect to the major axis direction 21 when the resin substrate 1 is viewed in plan.
  • the long axis direction 21 of the polymer resin in the first resin layer 11 is parallel to the short side direction 31 of the resin substrate 1.
  • the long axis direction 23 of the polymer resin in the second resin layer 13 is parallel to the long side direction 32 of the resin substrate 1.
  • the major axis direction 21 and the major axis direction 23 are orthogonal to each other.
  • the resin substrate 1 has a two-layer resin structure constituted by the first resin layer 11 and the second resin layer 13. Because of this configuration, the resin substrate 1 is flexible as a whole.
  • the display device including the resin substrate 1 is temporarily warped in a warp direction 34 parallel to the short side direction 31 of the resin substrate 1 with the long side direction 32 of the resin substrate 1 as an axis.
  • a force may be applied to the resin substrate 1 to generate a crack parallel to the long side direction 32 in the resin substrate 1.
  • the long axis direction 21 of the polymer resin in the first resin layer 11 is orthogonal to the long side direction 32 of the resin substrate 1, the first resin layer 11 is hard to generate a crack. Therefore, even if a crack along the long side direction 32 is generated in the second resin layer 13 due to the warpage, the crack is prevented from being deep enough to penetrate the resin substrate 1. Since the waterproofness of the resin substrate 1 is maintained by this, the reliability of the resin substrate 1 can be improved more.
  • the crack is so deep that the reliability of the resin substrate 1 is impaired. Occurrence of 1 is prevented. This prevents the occurrence of a dark point in the display unit (display area) of the display device by causing the display unit (display area) to become wet or flooded, thereby further improving the reliability of the display device provided with the resin substrate 1. be able to.
  • FIG. 3 is a view for explaining a method of forming the resin substrate 1 on the glass substrate 41.
  • a glass substrate 41 which is a base on which the resin substrate 1 is to be formed is prepared.
  • the 1st resin layer 11 is formed in the surface of the glass substrate 41 by apply
  • the application direction 51 of the slit coater is made parallel to the short side direction 42 of the glass substrate 41.
  • the long axis direction 21 of the polymer resin substantially coincides with the application direction 51 of the slit coater. Therefore, the long axis direction 21 of the polymer resin in the formed first resin layer 11 is parallel to the short side direction 42.
  • the intermediate layer 12 is formed on the first resin layer 11 by any means (not shown).
  • the second resin layer 13 is formed on the surface of the intermediate layer 12 by applying a polymer resin to the surface of the intermediate layer 12 using a slit coater.
  • the application direction 52 of the slit coater is made different from the application direction 51 of the slit coater when the first resin layer 11 is formed.
  • the application direction 52 is orthogonal to the short side direction 42 of the glass substrate 41.
  • the long axis direction 23 of the polymer resin substantially coincides with the application direction 52 of the slit coater. Therefore, the long axis direction 23 of the polymer resin in the formed second resin layer 13 is orthogonal to the short side direction 42.
  • a base coat 14 is formed on the second resin layer 13 by an arbitrary means (not shown).
  • the formation of the resin substrate 1 is completed.
  • the various components of the display device are sequentially formed on the resin substrate 1, whereby the display device provided with the resin substrate 1 can be manufactured.
  • the polymer resin When forming the first resin layer 11, the polymer resin may be applied with the application direction 51 of the slit coater being parallel to the long side direction of the glass substrate 41 instead of the short side direction 42.
  • the application direction 52 of the slit coater may be made to coincide with the short side direction 42 of the glass substrate 41.
  • FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the display device 2 provided with the resin substrate 1.
  • the display device 2 is a self-emission display device, and is configured, for example, as an organic EL light-emitting device.
  • the display device 2 includes a resin substrate 1, a display area 61, a frame area 62, a bent portion CL, a terminal wiring TW, and a terminal portion TM.
  • the display area 61 is a member having a display function in the display device 2 and is formed of, for example, an organic EL light emitting layer.
  • the frame area 62 surrounds the periphery of the display area 61.
  • the bent portion CL, the terminal wiring TW, and the terminal portion TM are formed in the frame region 62, respectively.
  • the position of the terminal portion TM is an end of the frame area 62.
  • the bent portion CL is provided between the display area 61 and the terminal portion TM.
  • the terminal portion TM is used to connect the display area 61 to an electronic circuit board such as an IC chip and an FPC.
  • the terminal wiring TW electrically connects the display area 61 and the terminal portion TM.
  • the bent portion CL is a portion where the display device 2 is bent.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration example of the display area 61 of the display device 2.
  • the display device 2 includes the lower surface film 110, the resin substrate 1, the barrier layer 103, the TFT layer 104, the light emitting element layer 105, the sealing layer 106, and the functional film 139.
  • the barrier layer 103 is a layer that prevents moisture and impurities from reaching the TFT layer 104 and the light emitting element layer 105 when the display device is used.
  • the barrier layer 103 can be formed of, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or a stacked film thereof formed by CVD.
  • the TFT layer 104 includes a semiconductor film 115, an inorganic insulating film 116 (gate insulating film) above the semiconductor film 115, a gate electrode GE above the inorganic insulating film 116, and an inorganic insulating layer above the gate electrode GE.
  • the thin film transistor Tr is configured to include the semiconductor film 115, the inorganic insulating film 116 (gate insulating film), and the gate electrode GE.
  • the semiconductor film 115 is made of, for example, low temperature polysilicon (LTPS) or an oxide semiconductor.
  • LTPS low temperature polysilicon
  • FIG. 5 shows a top gate TFT having a semiconductor film 115 as a channel, it may have a bottom gate structure (for example, when the channel of the TFT is an oxide semiconductor).
  • the gate electrode GE, the capacitor electrode CE, the source wiring SH, the terminal wiring TW, and the terminal portion TM are, for example, aluminum (Al), tungsten (W), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), chromium (Cr), titanium It is comprised by the single layer film or laminated film of the metal containing at least one of (Ti) and copper (Cu).
  • the inorganic insulating films 116, 118, and 120 can be formed of, for example, a silicon oxide (SiOx) film, a silicon nitride (SiNx) film, or a laminated film thereof formed by a CVD method.
  • SiOx silicon oxide
  • SiNx silicon nitride
  • the planarizing film (interlayer insulating film) 121 can be made of, for example, a coatable photosensitive organic material such as polyimide or acrylic.
  • the light emitting element layer 105 (for example, an organic light emitting diode layer) includes an anode 122 above the planarization film 121, a bank 123 covering the edge of the anode 122, and an EL (electroluminescence) layer 124 above the anode 122.
  • a plurality of light emitting elements including the cathode 125 above the EL layer 124, and the island-like anode 122, the EL layer 124, and the cathode 125 for each sub-pixel, And a sub-pixel circuit for driving the
  • the bank 123 can be made of, for example, a coatable photosensitive organic material such as polyimide or acrylic.
  • the EL layer 124 is configured, for example, by stacking a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in this order from the lower layer side.
  • the light emitting layer is formed in an island shape for each sub-pixel by a vapor deposition method or an ink jet method, but the other layers can be a common layer in a solid state.
  • the structure which does not form one or more layers among a positive hole injection layer, a positive hole transport layer, an electron carrying layer, and an electron injection layer is also possible.
  • the anode (anode) 122 is formed of, for example, a laminate of ITO (Indium Tin Oxide) and an alloy containing Ag, and has light reflectivity.
  • the cathode 125 can be made of a translucent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), or MgAg.
  • the driving current between the anode 122 and the cathode 125 causes holes and electrons to recombine in the EL layer 124, and light generated thereby is dropped to a ground state. Released. Since the cathode 125 is translucent and the anode 122 is light reflective, light emitted from the EL layer 124 is directed upward to be top emission.
  • the light emitting element layer 105 is not limited to forming an OLED element, and may form an inorganic light emitting diode or a quantum dot light emitting diode.
  • the sealing layer 106 is translucent, and the first inorganic sealing film 126 covering the cathode 125, the organic sealing film 127 formed on the upper side of the first inorganic sealing film 126, and the organic sealing film 127. And a second inorganic sealing film 128 covering the The sealing layer 106 covering the light emitting element layer 105 prevents the penetration of foreign matter such as water and oxygen into the light emitting element layer 105.
  • Each of the first inorganic sealing film 126 and the second inorganic sealing film 128 may be formed of, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or a laminated film thereof formed by CVD. it can.
  • the organic sealing film 127 is a translucent organic film that is thicker than the first inorganic sealing film 126 and the second inorganic sealing film 128, and is made of a coatable photosensitive organic material such as polyimide or acrylic. Can.
  • the lower surface film 110 is for adhering to the lower surface of the resin layer 112 after peeling off the support substrate to realize a display device excellent in flexibility, and examples of the material thereof include PET.
  • the functional film 139 has, for example, an optical compensation function such as a polarizing plate, a touch sensor function, and a protection function.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration example of the bent portion CL of the display device 2.
  • the terminal portion TM is connected to the display area 61 by the terminal wiring TW which passes through the bent portion CL.
  • the reinforcing film EZ is made of, for example, a photosensitive organic material that can be applied, such as polyimide or acrylic, and is formed above the inorganic insulating film 120 and below the planarizing film 121.
  • the display device 2 is bent, for example, by 180 ° at the bending portion CL, whereby the terminal portion TM disposed on the lower surface side is connected to the electronic circuit board (such as an IC chip or a flexible printed board).
  • the lower surface film 110, the barrier layer 103, and the inorganic insulating films 116, 118, and 120 are penetrated in the bent portion CL.
  • a penetrating portion Nx is formed in lower surface film 110
  • a penetrating portion Na is formed in barrier layer 103
  • a penetrating portion Nb is formed in inorganic insulating film 116
  • a penetrating portion Nc is formed in inorganic insulating film 118.
  • the penetrating portion Nd is formed in the inorganic insulating film 120.
  • the penetration portion Nx ⁇ Nb ⁇ Nc ⁇ Nd is aligned, and the penetration portion Na aligned with the bending portion CL is located inside the penetration portions Nx ⁇ Nb ⁇ Nc ⁇ Nd.
  • the reinforcing film EZ is provided in the opening SS1 generated by the penetration portion Na and the penetration portion Nb ⁇ Nc ⁇ Nd.
  • the terminal wiring TW is a third wiring WS3 electrically connecting the first wiring WS1 and the second wiring WS2 through the bending portion CL and the first wiring WS1 and the second wiring WS2 positioned on both sides of the bending portion CL. And.
  • the first wiring WS1 is formed in the TFT layer 104 and applies a signal to the pixel circuit.
  • the third wiring WS3 electrically connects the first wiring WS1 and the terminal portion TM.
  • an opening SS1 is provided in at least one of the inorganic insulating films 116 and 118 constituting the TFT layer.
  • the reinforcing film EZ (first planarization film) is filled in the opening SS1.
  • the planarizing film 121 (second planarizing film) is formed to cover the third wiring WS3, and sandwich the third wiring WS3 above the opening SS1 with the reinforcing film EZ.
  • the TFT layer 104 disposed in the display area 61 pixel circuits provided in a matrix in the display area 61 are formed.
  • the thin film transistor Tr constitutes a pixel circuit.
  • the TFT layer 104 disposed in the frame area 62 includes a terminal portion TM used for connection with a gate driver circuit, an emission circuit, and an electronic circuit board such as an IC chip or FPC, a terminal portion TM, and a display area 61.
  • a terminal interconnection TW connecting interconnections and the like is formed.
  • the bent portion CL may be bent together with the resin substrate 1 as needed.
  • the display device 2 is bent at a bending portion CL in a bending direction 64 parallel to the long side direction of the resin substrate 1 along a bending axis parallel to the short side direction 63 of the display device 2.
  • the second resin layer 13 is hard to be cracked. Therefore, even if a crack is generated in the first resin layer 11 due to the bending of the display device 2, it is prevented that the crack has a depth sufficient to penetrate the resin substrate 1. Since the waterproofness of the resin substrate 1 is maintained by this, the reliability of the resin substrate 1 can be improved more. Furthermore, since the bent portion CL is also prevented from being wetted or flooded, the reliability of the display device 2 provided with the bent portion CL can also be enhanced.
  • the flattening film 121 has an opening SS2. Therefore, the directionality of the long axis is unnecessary for the resin material of the reinforcing film EZ. Since the reinforcing film EZ is formed only in the bent portion CL, the polymer resin constituting the reinforcing film EZ does not require the directionality of the long axis.
  • the application direction (the application direction of the slit coater) of the polymer resin constituting them is not particularly limited.
  • the application direction of the slit coater at the time of formation of the reinforcing film EZ may coincide with the application direction 51 at the time of formation of the first resin layer 11 or the application direction 52 at the time of formation of the second resin layer 13.
  • the application direction of the slit coater at the time of formation of the planarization film 121 may also coincide with the application direction 51 at the time of formation of the first resin layer 11 or the application direction 52 at the time of formation of the second resin layer 13.
  • at least one of the reinforcing film EZ and the flattening film 121 is a polymer resin (long-axis direction (third long-axis direction) coincident with the long-axis direction 21 and inclined to The third polymer resin).
  • process control in the long axis direction of the polymer resin forming the reinforcing film EZ or the planarizing film 121 becomes unnecessary when forming the reinforcing film EZ or the planarizing film 121. Furthermore, it is not necessary to rotate the glass substrate 41 or the slit coater at the time of forming the reinforcement film EZ or the planarization film 121. From these things, the tact at the time of manufacture of the display device 2 can be improved.
  • FIG. 7 is a plan view showing a planar configuration of a resin substrate 1B according to the second embodiment.
  • the respective components such as the first resin layer 11 and the like that constitute the resin substrate 1 B and the arrangement thereof are basically the same as the resin substrate 1.
  • the directions of the long axis direction 21 and the long axis direction 23 are different from the directions of the long axis direction 21 and the long axis direction 23 in the resin substrate 1.
  • the major axis direction 21 and the major axis direction 23 are both inclined with respect to the same side direction (long side direction or short side direction) of the resin substrate 1.
  • an angle ⁇ between the long axis direction 21 and the long axis direction 23 satisfies the relationship of 0 ° ⁇ ⁇ 90 °. Furthermore, the angle ⁇ 1 between the long axis direction 21 and the short side direction 31 of the resin substrate 1 B satisfies 0 ° ⁇ 1 ⁇ 45 °. Angle theta 2 formed by the short side direction 31 in the long axis direction 23 and the resin substrate 1B satisfies -45 ° ⁇ 2 ⁇ 0 ° .
  • FIG. 8 is a view for explaining a first method of forming the resin substrate 1 B on the glass substrate 41.
  • a slit coater capable of controlling the application width of the polymer resin is used.
  • the application direction 51 of the slit coater is controlled.
  • the glass substrate 41 is appropriately rotated in a planar manner while fixing the application direction 51 in the same direction during the formation of the first resin layer 11 and the formation of the second resin layer 13.
  • the direction of the glass substrate 41 with respect to the application direction 51 may be controlled.
  • the major axis direction 21 of the polymer resin substantially coincides with the application direction 51 of the slit coater. Therefore, to satisfy the relationship angle theta 5 is 0 ° ⁇ 5 ⁇ 45 ° formed of a polymer resin and the long axis direction 21 and the short-side direction 31 of the first resin layer 11, the first resin layer 11 is formed Be done.
  • the angle theta 4 is 0 ° formed by the short side direction 42 of the slit coater coating direction 51 and the glass substrate 41 ⁇
  • the application direction 51 of the slit coater is controlled to satisfy the relationship of ⁇ 4 ⁇ 45 °.
  • the major axis direction 23 of the polymer resin substantially coincides with the application direction 51 of the slit coater. Therefore, to satisfy the angle theta 6 is -45 ° ⁇ 6 ⁇ 0 ° relationship formed between the polymeric resin and the long axis direction 23 and the short side direction of the second resin layer 13, second resin layer 13 is formed Be done.
  • the polymer resin When forming the first resin layer 11, the polymer resin may be applied such that the application direction 51 of the slit coater is inclined to the long side of the glass substrate 41 instead of the short side direction 42. The same applies to the formation of the second resin layer 13.
  • FIG. 9 is a view for explaining a second method of forming the resin substrate 1 B on the glass substrate 41.
  • a slit coater which can not control the application width of the polymer resin is used.
  • the details of the forming method shown in FIG. 9 are the same as those in FIG. 8 except for the type of the slit coater and the same thereafter, so the specific description thereof will be omitted.
  • the resin substrate 1B in which the angle ⁇ between the long axis direction 21 and the long axis direction 23 satisfies the relationship of 0 ° ⁇ ⁇ 90 °.
  • FIG. 10 is a plan view showing the configuration of a display device 2B provided with a resin substrate 1B.
  • the configuration of the display device 2B is basically the same as that of the display device 2. However, in the display device 2B and the display device 2, the directions of the long axis direction 21 and the long axis direction 23 are different from each other.
  • the long axis direction 21 of the polymer resin in the first resin layer 11 is inclined with respect to the short side direction 63 of the display device 2. Therefore, when the bent portion CL is bent in the bending direction 64 along the short side direction 63, the first resin layer 11 is hard to generate a crack. Similarly, since the long axis direction 23 of the polymer resin in the second resin layer 13 is inclined with respect to the short side direction 63, the second resin layer 13 is hard to be cracked. From these things, the possibility that a deep crack may occur in the resin substrate 1B is lower than that of the resin substrate 1 of the first embodiment. Thereby, the waterproofness of the resin substrate 1B is better maintained, so that the reliability of the resin substrate 1 can be further enhanced. Furthermore, since the bent portion CL is further prevented from being flooded, the reliability of the display device 2 provided with the bent portion CL can be further enhanced.
  • the major axis direction 21 is preferably inclined at least 20 ° with respect to the major axis direction 23.
  • the major axis direction 23 of the polymer resin in the second resin layer 13 is sufficiently inclined with respect to the crack generation direction, so It does not extend to the resin layer 13.
  • the long axis direction 21 of the polymer resin in the first resin layer 11 is sufficiently inclined with respect to the crack generation direction. It does not extend to the resin layer 11.
  • the reliability of the resin substrate 1 can be enhanced.
  • the resin substrate (1) according to aspect 1 of the present invention is formed on a first resin layer (11) made of a first polymer resin having a first long axis direction (21), and the first resin layer.
  • the reliability of the resin substrate can be further enhanced.
  • the resin substrate according to aspect 2 of the present invention is characterized in that, in the aspect 1, the first major axis direction is inclined at least 20 ° with respect to the second major axis direction.
  • the resin substrate according to aspect 3 of the present invention is characterized in that, in the aspect 2, the second major axis direction is orthogonal to the first major axis direction.
  • both the first major axis direction and the second major axis direction are inclined with respect to the same side direction of the resin substrate. It is characterized by
  • the occurrence of cracks in the resin substrate can be further prevented when the resin substrate is bent.
  • the resin substrate according to aspect 5 of the present invention is characterized in that, in any one of the aspects 1 to 4, each of the first polymer resin and the second polymer resin is a polyimide.
  • the resin substrate according to aspect 6 of the present invention is characterized in that, in any one of the aspects 1 to 5, the intermediate layer is made of an inorganic material.
  • a display device (2) according to aspect 7 of the present invention includes the resin substrate according to any one of aspects 1 to 5.
  • the display device is provided at a display area provided with a plurality of light emitting elements, a frame area surrounding the display area, and an end of the frame area Terminal portion, a bent portion provided between the terminal portion and the display region, a TFT layer, a pixel circuit formed in the TFT layer, and provided in a matrix in the display region, the TFT An inorganic film which is formed in a layer and which is formed in the TFT layer, a wiring which applies a signal to the pixel circuit, a lead wiring which electrically connects the wiring and the terminal portion, and an opening is provided in the bent portion. And a first planarization film filling the opening, and a second planarization film sandwiching the lead wiring on the opening with the first planarization film.
  • At least one of the first planarizing film and the second planarizing film coincides with the first long axis direction in plan view, and It is characterized in that it is made of a third polymer resin having a third major axis direction inclined with respect to the second major axis direction.

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Abstract

樹脂基板の信頼性をより高める。第1樹脂層(11)は、長軸方向(21)を有する高分子樹脂によって構成される。第2樹脂層(13)は、平面視した場合に長軸方向(21)に対して傾いた長軸方向(23)を有する高分子樹脂によって構成される。

Description

樹脂基板および表示デバイス
 本発明は、樹脂基板および表示デバイスに関する。
 特許文献1に、ガラス基材と、前記ガラス基材上に積層され、かつ、50℃~200℃の温度範囲における平均線膨張係数が0~30ppm/Kであるポリイミド(A)からなる第一のポリイミド層と、該第一のポリイミド層の表面の少なくとも一部に積層され、かつ、50℃~200℃の温度範囲における平均線膨張係数が40~100ppm/Kであるポリイミド(B)からなる第二のポリイミド層と、を備えることを特徴とする基板用積層体が開示されている。
 特許文献2に、厚み10μm~100μmの板ガラスと、当該板ガラスの少なくとも一方の面上にヤング率が10MPa以下の第一樹脂層が形成され、更にその上にヤング率が100MPa以上の第二樹脂層が形成されたことを特徴とする柔軟ガスバリア性部材が開示されている。
特開2016-132103号公報 特開2006-130855号公報
 特許文献1の構成では、クラックの発生によって基板用積層体の信頼性が低くなるという問題がある。特許文献2の構成にも同様の問題がある。
 本発明は、前記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、樹脂基板の信頼性をより高めることにある。
 本発明の一態様に係る樹脂基板は、前記の課題を解決するために、第1長軸方向を有する第1高分子樹脂によって構成される第1樹脂層と、前記第1樹脂層の上に形成される中間層と、平面視した場合に前記第1長軸方向に対して傾いた第2長軸方向を有する第2高分子樹脂によって構成され、かつ前記中間層の上に形成される第2樹脂層とを備えていることを特徴としている。
 本発明の一態様によれば、樹脂基板の信頼性をより高めることができるという効果を奏する。
樹脂基板の断面を示す断面図である。 樹脂基板の平面構成を示す図である。 ガラス基板上に樹脂基板を形成する方法を説明する図である。 樹脂基板を備えた表示デバイスの構成を示す平面図である。 表示デバイスの表示領域の構成例を示す断面図である。 表示デバイスの折り曲げ部CLの構成例を示す断面図である。 樹脂基板の構成を示す平面図である。 ガラス基板上に樹脂基板を形成する第1の方法を説明する図である。 ガラス基板上に樹脂基板を形成する第2の方法を説明する図である。 樹脂基板を備えた表示デバイスの構成を示す平面図である。
 (樹脂基板1の構成)
 図1は、樹脂基板1の断面を示す断面図である。図2は、樹脂基板1の平面構成を示す図である。樹脂基板1における図2のA-A’断面が、図1に示される。
 樹脂基板1は、有機EL表示デバイスなどの各種の表示デバイスを構成する樹脂製の基板である。図1に示すように、樹脂基板1は、下側から順に第1樹脂層11、中間層12、第2樹脂層13、およびベースコート14を備えている。
 第1樹脂層11は、ポリイミド、エポキシ、またはポリアミドなどの高分子樹脂(第1高分子樹脂)によって構成される。中間層12は、SiO(二酸化珪素)などの無機材料によって構成される無機膜である。第2樹脂層13は、ポリイミド、エポキシ、またはポリアミドなどの高分子樹脂(第2高分子樹脂)によって構成される。一例では、第1樹脂層11の材料および第2樹脂層13の材料は、いずれもポリイミドである。第1樹脂層11および第2樹脂層13の厚さは、数μm~20μm程度である。樹脂基板1全体の厚さは、10um~20um程度である。
 第1樹脂層11の高分子樹脂は、長軸方向21(第1長軸方向)を有する。第2樹脂層13の高分子樹脂は、樹脂基板1を平面視認した場合に長軸方向21に対して傾いている長軸方向23(第2長軸方向)を有する。図1では、第1樹脂層11における高分子樹脂の長軸方向21は、樹脂基板1の短辺方向31と平行である。一方、第2樹脂層13における高分子樹脂の長軸方向23は、樹脂基板1の長辺方向32と平行である。言い換えれば、長軸方向21および長軸方向23は直交している。
 樹脂基板1は、第1樹脂層11および第2樹脂層13によって構成される2層樹脂構造を有する。この構成のため、樹脂基板1は全体としてフレキシブルである。
 (樹脂基板1の利点)
 樹脂基板1を備える表示デバイスが、樹脂基板1の短辺方向31を軸として、樹脂基板1の長辺方向32に平行な反り方向33に仮に反れたとする。この場合、樹脂基板1における短辺方向31に平行なクラックを発生させる力が樹脂基板1に加わる恐れがある。しかし第2樹脂層13における高分子樹脂の長軸方向23は表示デバイスの短辺方向31と直交するため、第2樹脂層13にはクラックが発生し辛い。したがって、この反りを原因として、短辺方向31に沿ったクラックが仮に第1樹脂層11に発生したとしても、このクラックが樹脂基板1を貫通するほどの深さになることは防止される。これにより樹脂基板1の防水性が維持されるため、樹脂基板1の信頼性をより高めることができる。
 樹脂基板1を備える表示デバイスが、樹脂基板1の長辺方向32を軸として、樹脂基板1の短辺方向31に平行な反り方向34に仮に反れたとする。この場合、樹脂基板1における長辺方向32に平行なクラックを発生させる力が樹脂基板1に加わる恐れがある。しかし、第1樹脂層11における高分子樹脂の長軸方向21が樹脂基板1の長辺方向32と直交するため、第1樹脂層11にはクラックが発生し辛い。したがって、この反りを原因として、長辺方向32に沿ったクラックが仮に第2樹脂層13に発生したとしても、このクラックが樹脂基板1を貫通するほどの深さになることは防止される。これにより樹脂基板1の防水性が維持されるため、樹脂基板1の信頼性をより高めることができる。
 以上のように、樹脂基板1を備える表示デバイスが、表示デバイスの長辺方向および短辺方向のうちいずれの方向に仮に反れたとしても、樹脂基板1の信頼性を損ねるほど深いクラックが樹脂基板1に発生することは防止される。これにより、表示デバイスの表示部(表示領域)が浸湿または浸水されるなどして表示部に暗点が発生することが防止されるため、樹脂基板1を備える表示デバイスの信頼性をより高めることができる。
 (樹脂基板1の形成方法)
 図3は、ガラス基板41上に樹脂基板1を形成する方法を説明する図である。まず、樹脂基板1が形成される土台であるガラス基板41を用意する。次に、図3の(a)に示すように、スリットコーターを使用して高分子樹脂をガラス基板41の表面に塗布することによって、ガラス基板41の表面に第1樹脂層11を形成する。その際、スリットコーターの塗布方向51をガラス基板41の短辺方向42に平行にする。第1樹脂層11の形成時、高分子樹脂の長軸方向21はスリットコーターの塗布方向51にほぼ一致する。したがって、形成された第1樹脂層11における高分子樹脂の長軸方向21は、短辺方向42と平行になる。
 第1樹脂層11の形成後、任意の手段によって第1樹脂層11の上に中間層12を形成する(不図示)。中間層12の形成後、図3の(b)に示すように、スリットコーターを使用して高分子樹脂を中間層12の表面に塗布することによって、中間層12の表面に第2樹脂層13を形成する。その際、スリットコーターの塗布方向52を、第1樹脂層11の形成時におけるスリットコーターの塗布方向51と異ならせる。図3では、塗布方向52をガラス基板41の短辺方向42に直交させる。第2樹脂層13の形成時、高分子樹脂の長軸方向23はスリットコーターの塗布方向52にほぼ一致する。したがって、形成された第2樹脂層13における高分子樹脂の長軸方向23は、短辺方向42と直交する。
 第2樹脂層13の形成後、任意の手段によって第2樹脂層13の上にベースコート14を形成する(不図示)。こうして樹脂基板1の形成が完了する。この後、樹脂基板1の上に表示デバイスの各種構成要素を順次形成することによって、樹脂基板1を備えた表示デバイスを製造することができる。
 第1樹脂層11の形成時、スリットコーターの塗布方向51をガラス基板41の短辺方向42ではなく長辺方向に対して平行にして高分子樹脂を塗布してもよい。第2樹脂層13の形成時、スリットコーターの塗布方向52をガラス基板41の短辺方向42に一致させてもよい。
 (表示デバイス2の構成)
 図4は、樹脂基板1を備えた表示デバイス2の構成を示す平面図である。表示デバイス2は、自発光型の表示デバイスであり、例えば有機EL発光デバイスとして構成される。表示デバイス2は、樹脂基板1、表示領域61、額縁領域62、折り曲げ部CL、端子配線TW、および端子部TMを備えている。
 表示領域61は、表示デバイス2における表示機能を担う部材であり、例えば有機EL発光層などによって構成される。額縁領域62は、表示領域61の周囲を囲む。折り曲げ部CL、端子配線TW、および端子部TMは、額縁領域62にそれぞれ形成される。端子部TMの位置は額縁領域62の端部である。折り曲げ部CLは、表示領域61と端子部TMの間に設けられる。端子部TMは、表示領域61と、ICチップおよびFPCなどの電子回路基板との接続に用いられる。端子配線TWは、表示領域61と端子部TMとを電気的に接続する。折り曲げ部CLは、表示デバイス2が折り曲げられる箇所である。
 (表示領域61の構成)
 図5は、表示デバイス2の表示領域61の構成例を示す断面図である。この図に示すように、表示デバイス2は、下面フィルム110、樹脂基板1、バリア層103、TFT層104、発光素子層105、封止層106、および機能フィルム139を備えている。
 バリア層103は、表示デバイスの使用時に、水分および不純物が、TFT層104や発光素子層105に到達することを防ぐ層である。バリア層103は、例えば、CVDにより形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。
 TFT層104は、半導体膜115と、半導体膜115よりも上層の無機絶縁膜116(ゲート絶縁膜)と、無機絶縁膜116よりも上層のゲート電極GEと、ゲート電極GEよりも上層の無機絶縁膜118と、無機絶縁膜118よりも上層の容量配線CEと、容量配線CEよりも上層の無機絶縁膜120と、無機絶縁膜120よりも上層の、ソース配線SHおよび端子部TMと、ソース配線SHおよび端子部TMよりも上層の平坦化膜121とを含む。
 半導体膜115、無機絶縁膜116(ゲート絶縁膜)、およびゲート電極GEを含むように薄層トランジスタTr(TFT)が構成される。
 半導体膜115は、例えば低温ポリシリコン(LTPS)あるいは酸化物半導体で構成される。なお、図5では、半導体膜115をチャネルとするTFTがトップゲート構造で示されているが、ボトムゲート構造でもよい(例えば、TFTのチャネルが酸化物半導体の場合)。
 ゲート電極GE、容量電極CE、ソース配線SH、端子配線TW、および端子部TMは、例えば、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、銅(Cu)の少なくとも1つを含む金属の単層膜あるいは積層膜によって構成される。
 無機絶縁膜116・118・120は、例えば、CVD法によって形成された、酸化シリコン(SiOx)膜あるいは窒化シリコン(SiNx)膜またはこれらの積層膜によって構成することができる。
 平坦化膜(層間絶縁膜)121は、例えば、ポリイミド、アクリルなどの塗布可能な感光性有機材料によって構成することができる。
 発光素子層105(例えば、有機発光ダイオード層)は、平坦化膜121よりも上層のアノード122と、アノード122のエッジを覆うバンク123と、アノード122よりも上層のEL(エレクトロルミネッセンス)層124と、EL層124よりも上層のカソード125とを含み、サブピクセルごとに、島状のアノード122、EL層124、およびカソード125を含む複数の発光素子(例えば、OLED:有機発光ダイオード)と、これを駆動するサブ画素回路とが設けられる。バンク123(アノードエッジカバー)は、例えば、ポリイミド、アクリルなどの塗布可能な感光性有機材料によって構成することができる。
 EL層124は、例えば、下層側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層を積層することで構成される。発光層は、蒸着法あるいはインクジェット法によって、サブピクセルごとに島状に形成されるが、その他の層はベタ状の共通層とすることもできる。また、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のうち1以上の層を形成しない構成も可能である。
 アノード(陽極)122は、例えばITO(Indium Tin Oxide)とAgを含む合金との積層によって構成され、光反射性を有する。カソード125は、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、MgAgなどの透光性の導電材で構成することができる。
 発光素子層105がOLED層である場合、アノード122およびカソード125間の駆動電流によって正孔と電子がEL層124内で再結合し、これによって生じたエキシトンが基底状態に落ちることによって、光が放出される。カソード125が透光性であり、アノード122が光反射性であるため、EL層124から放出された光は上方に向かい、トップエミッションとなる。
 発光素子層105は、OLED素子を構成する場合に限られず、無機発光ダイオードあるいは量子ドット発光ダイオードを構成してもよい。
 封止層106は透光性であり、カソード125を覆う第1無機封止膜126と、第1無機封止膜126よりも上側に形成される有機封止膜127と、有機封止膜127を覆う第2無機封止膜128とを含む。発光素子層105を覆う封止層106は、水、酸素などの異物の発光素子層105への浸透を防いでいる。
 第1無機封止膜126および第2無機封止膜128はそれぞれ、例えば、CVDにより形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。有機封止膜127は、第1無機封止膜126および第2無機封止膜128よりも厚い、透光性有機膜であり、ポリイミド、アクリルなどの塗布可能な感光性有機材料によって構成することができる。
 下面フィルム110は、支持基板を剥離した後に樹脂層112の下面に貼り付けることで、柔軟性に優れた表示デバイスを実現するためのものであり、その材料としては、PETなどが挙げられる。機能フィルム139は、例えば、偏光板等の光学補償機能、タッチセンサ機能、および保護機能などを有する。
 (折り曲げ部CLの構成)
 図6は、表示デバイス2の折り曲げ部CLの構成例を示す断面図である。端子部TMは、折り曲げ部CLを通る端子配線TWによって表示領域61に接続される。補強膜EZは、例えば、ポリイミド、アクリルなどの塗布可能な感光性有機材で構成され、無機絶縁膜120よりも上層かつ平坦化膜121よりも下層に形成される。表示デバイス2は、折り曲げ部CLにおいて例えば180°折り曲げられ、これによって下面側に配された端子部TMと電子回路基板(ICチップまたはフレキシブルプリント基板など)とが接続される。
 図6に示すように、折り曲げ部CLでは、下面フィルム110、バリア層103、および無機絶縁膜116・118・120が貫かれている。具体的には、下面フィルム110に貫き部Nxが形成され、バリア層103に貫き部Naが形成され、無機絶縁膜116に貫き部Nbが形成され、無機絶縁膜118に貫き部Ncが形成され、無機絶縁膜120に貫き部Ndが形成される。表示デバイス2を平面視すると、貫き部Nx・Nb・Nc・Ndが整合し、折り曲げ部CLに整合する貫き部Naが、貫き部Nx・Nb・Nc・Ndの内側に位置する。補強膜EZは、貫き部Naおよび貫き部Nb・Nc・Ndによって生じる開口SS1に設けられる。
 端子配線TWは、折り曲げ部CLの両側に位置する第1配線WS1および第2配線WS2と、折り曲げ部CLを通り、第1配線WS1と第2配線WS2とを電気的に接続する第3配線WS3とを含む。第1配線WS1は、TFT層104に形成され、画素回路に信号を印加する。第3配線WS3は、第1配線WS1と端子部TMとを電気的に接続する。折り曲げ部CLにおいて、TFT層を構成する少なくとも一つの無機絶縁膜116および118に開口SS1が設けられる。開口SS1に補強膜EZ(第1平坦化膜)が充填されている。平坦化膜121(第2平坦化膜)は、第3配線WS3を覆うように形成され、かつ、開口SS1の上の第3配線WS3を補強膜EZとの間で挟んでいる。
 表示領域61に配置されるTFT層104には、表示領域61にマトリクス状に設けられる画素回路が形成される。薄膜トランジスタTrは、画素回路を構成する。額縁領域62に配置されるTFT層104には、ゲートドライバー回路、エミッション回路、および、ICチップ、FPCなどの電子回路基板との接続に用いられる端子部TMと、端子部TMと表示領域61の配線などを繋ぐ端子配線TWとが形成される。
 (表示デバイス2の利点)
 折り曲げ部CLを備える樹脂基板1では、必要に応じて折り曲げ部CLを樹脂基板1と共に折り曲げることがある。図4では、表示デバイス2を、表示デバイス2の短辺方向63に平行な折り曲げ軸に沿って、樹脂基板1の長辺方向に平行な折り曲げ方向64に向かって折り曲げ部CLで折り曲げる。このとき、第2樹脂層13における高分子樹脂の長軸方向23が、表示デバイス2の短辺方向63と直交するため、第2樹脂層13にはクラックが発生し辛い。したがって、表示デバイス2の折り曲げによって仮に第1樹脂層11にクラックが発生したとしても、このクラックが樹脂基板1を貫通するほどの深さになることは防止される。これにより樹脂基板1の防水性が維持されるため、樹脂基板1の信頼性をより高めることができる。さらに、折り曲げ部CLが浸湿または浸水されることも防止されるため、折り曲げ部CLを備えた表示デバイス2の信頼性も高めることができる。
 折り曲げ部CLの付近では、平坦化膜121には開口SS2がある。そのため、補強膜EZの樹脂材料には長軸の方向性が不要である。補強膜EZは、折り曲げ部CL内にのみ形成されるので、補強膜EZを構成する高分子樹脂には長軸の方向性が不要である。まとめると、補強膜EZおよび平坦化膜121の形成時には、これらの構成する高分子樹脂の塗布方向(スリットコーターの塗布方向)は、特に限定されない。言い換えれば、補強膜EZの形成時のスリットコーターの塗布方向は、第1樹脂層11の形成時の塗布方向51または第2樹脂層13の形成時の塗布方向52と一致してもよい。さらに、平坦化膜121の形成時のスリットコーターの塗布方向も、第1樹脂層11の形成時の塗布方向51または第2樹脂層13の形成時の塗布方向52と一致してもよい。言い換えれば、補強膜EZおよび平坦化膜121の少なくともいずれかは、長軸方向21と一致しかつ長軸方向23に対して傾いた長軸方向(第3長軸方向)を有する高分子樹脂(第3高分子樹脂)によって構成される。
 このように塗布方向を共通化することによって、補強膜EZまたは平坦化膜121の形成時に、補強膜EZまたは平坦化膜121を構成する高分子樹脂の長軸方向の工程管理が不要になる。さらに、補強膜EZまたは平坦化膜121の形成時に、ガラス基板41またはスリットコーターを回転させる必要もなくなる。これらのことから、表示デバイス2の製造時のタクトを向上させることができる。
 〔実施形態2〕
 (樹脂基板1Bの構成)
 図7は、実施形態2に係る樹脂基板1Bの平面構成を示す平面図である。樹脂基板1Bを構成する第1樹脂層11などの各構成要素およびそれらの配置は、樹脂基板1と基本的に同一である。しかし、樹脂基板1Bと樹脂基板1とでは、長軸方向21および長軸方向23の向きが、樹脂基板1における長軸方向21および長軸方向23の向きといずれも異なる。樹脂基板1Bでは、長軸方向21および長軸方向23が、いずれも樹脂基板1の同一辺方向(長辺方向または短辺方向)に対して傾いている。
 樹脂基板1Bにおいて、長軸方向21と長軸方向23との成す角度θは、0°<θ<90°の関係を満たす。さらに、長軸方向21と樹脂基板1Bの短辺方向31との成す角度はθは、0°<θ<45°を満たす。長軸方向23と樹脂基板1Bの短辺方向31との成す角度θは、-45°<θ<0°を満たす。
 (樹脂基板1Bの第1の形成方法)
 図8は、ガラス基板41上に樹脂基板1Bを形成する第1の方法を説明する図である。この方法には、高分子樹脂の塗布幅を制御可能なスリットコーターを用いる。本実施形態では、第1樹脂層11の形成時、スリットコーターの塗布方向51とガラス基板41の短辺方向42との成す角度θが-45°<θ<0°の関係を満たすように、スリットコーターの塗布方向51を制御する。例えば、図8に示すように、第1樹脂層11の形成時と第2樹脂層13の形成時とで、塗布方向51を同一方向に固定しつつ、ガラス基板41を平面的に適宜回転させることによって、塗布方向51に対するガラス基板41の向きを制御すればよい。高分子樹脂の塗布時、高分子樹脂の長軸方向21はスリットコーターの塗布方向51にほぼ一致する。したがって、高分子樹脂の長軸方向21と第1樹脂層11の短辺方向31との成す角度θが0°<θ<45°の関係を満たすように、第1樹脂層11が形成される。
 本実施形態では、図8の(b)に示すように、第2樹脂層13の形成時、スリットコーターの塗布方向51とガラス基板41の短辺方向42との成す角度θが0°<θ<45°の関係を満たすように、スリットコーターの塗布方向51を制御する。高分子樹脂の塗布時、高分子樹脂の長軸方向23はスリットコーターの塗布方向51にほぼ一致する。したがって、高分子樹脂の長軸方向23と第2樹脂層13の短辺方向との成す角度θが-45°<θ<0°の関係を満たすように、第2樹脂層13が形成される。
 第1樹脂層11の形成時、スリットコーターの塗布方向51をガラス基板41の短辺方向42ではなく長辺に対して傾けるようにして高分子樹脂を塗布してもよい。第2樹脂層13の形成時も同様である。
 (樹脂基板1Bの第2の形成方法)
 図9は、ガラス基板41上に樹脂基板1Bを形成する第2の方法を説明する図である。この方法には、高分子樹脂の塗布幅を制御不可能なスリットコーターを用いる。図9に示す形成方法の詳細は、図8のものとスリットコーターの種類が異なるだけで後は同一であるため、その具体的な説明を省略する。図9に示す形成方法を実行することによっても、長軸方向21と長軸方向23との成す角度θが0°<θ<90°の関係を満たす樹脂基板1Bを形成することができる。
 (表示デバイス2Bの構成)
 図10は、樹脂基板1Bを備えた表示デバイス2Bの構成を示す平面図である。表示デバイス2Bの構成は、表示デバイス2と基本的に同一である。しかし、表示デバイス2Bと表示デバイス2とでは、長軸方向21および長軸方向23の向きが互いに異なる。
 表示デバイス2Bでは、第1樹脂層11における高分子樹脂の長軸方向21が、表示デバイス2の短辺方向63に対して傾いている。そのため、折り曲げ部CLを短辺方向63に沿って折り曲げ方向64に折り曲げた場合、第1樹脂層11にはクラックが発生し辛い。同様に、第2樹脂層13における高分子樹脂の長軸方向23が、短辺方向63に対して傾いているため、第2樹脂層13にもクラックが発生し辛い。これらのことから、樹脂基板1Bに深いクラックが発生する可能性が、実施形態1の樹脂基板1よりも低くなっている。これにより樹脂基板1Bの防水性がより良く維持されるため、樹脂基板1の信頼性をより一層高めることができる。さらに、折り曲げ部CLが浸水されることがさらに防止されるため、折り曲げ部CLを備えた表示デバイス2の信頼性をより一層高めることができる。
 樹脂基板1Bを平面視した際、長軸方向21は長軸方向23に対して少なくとも20°傾いていることが好ましい。この場合、第1樹脂層11に仮にクラックが発生したとしても、第2樹脂層13における高分子樹脂の長軸方向23はクラックの発生方向に対して充分に傾いているため、クラックが第2樹脂層13にまで拡がることがない。同様に、第2樹脂層13に仮にクラックが発生したとしても、第1樹脂層11における高分子樹脂の長軸方向21はクラックの発生方向に対して充分に傾いているため、クラックが第1樹脂層11にまで拡がることがない。いずれの場合も、樹脂基板1Bを貫くほど深いクラックの発生が防止されるため、樹脂基板1の信頼性を高めることができる。
 〔まとめ〕
 本発明の態様1に係る樹脂基板(1)は、第1長軸方向(21)を有する第1高分子樹脂によって構成される第1樹脂層(11)と、前記第1樹脂層の上に形成される中間層(12)と、平面視した場合に前記第1長軸方向に対して傾いた第2長軸方向(23)を有する第2高分子樹脂によって構成され、かつ前記中間層の上に形成される第2樹脂層(13)とを備えていることを特徴としている。
 前記の構成によれば、樹脂基板の信頼性をより高めることができる。
 本発明の態様2に係る樹脂基板は、前記態様1において、前記第1長軸方向が前記第2長軸方向に対して少なくとも20°傾いていることを特徴としている。
 前記の構成によれば、第1樹脂層および第2樹脂層のいずれかにクラックが発生することを防止することができる。
 本発明の態様3に係る樹脂基板は、前記態様2において、前記第2長軸方向が前記第1長軸方向と直交することを特徴としている。
 前記の構成によれば、第1樹脂層および第2樹脂層のいずれかにクラックが発生することをより効果的に防止することができる。
 本発明の態様4に係る樹脂基板は、前記態様1~3のいずれかにおいて、前記第1長軸方向および前記第2長軸方向がいずれも前記樹脂基板の同一辺方向に対して傾いていることを特徴としている。
 前記の構成によれば、樹脂基板を折り曲げた場合に樹脂基板にクラックが発生することをより一層防止することができる。
 本発明の態様5に係る樹脂基板は、前記態様1~4のいずれかにおいて、前記第1高分子樹脂および前記第2高分子樹脂は、いずれもポリイミドであることを特徴としている。
 本発明の態様6に係る樹脂基板は、前記態様1~5のいずれかにおいて、前記中間層は、無機材料によって構成されることを特徴としている。
 本発明の態様7に係る表示デバイス(2)は、前記態様1~5のいずれかの樹脂基板を備えていることを特徴としている。
 本発明の態様8に係る表示デバイスは、前記態様7において、前記表示デバイスは、複数の発光素子を備えた表示領域と、前記表示領域を囲む額縁領域と、前記額縁領域の端部に設けられた端子部と、前記端子部と前記表示領域との間に設けられた折り曲げ部と、TFT層と、前記TFT層に形成され、前記表示領域にマトリクス状に設けられた画素回路と、前記TFT層に形成され、前記画素回路に信号を印加する配線と、前記配線と前記端子部とを電気的に接続する引き回し配線と、前記TFT層に形成され、前記折り曲げ部において開口が設けられる無機膜と、前記開口に充填される第1平坦化膜と、前記開口の上の前記引き回し配線を前記第1平坦化膜との間で挟む第2平坦化膜とをさらに備えていることを特徴としている。
 本発明の態様9に係る表示デバイスは、前記態様8において、平面視した場合に前記第1平坦化膜および前記第2平坦化膜の少なくともいずれかは、前記第1長軸方向と一致しかつ前記第2長軸方向に対して傾いた第3長軸方向を有する第3高分子樹脂によって構成されることを特徴としている。
 本発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態も、本発明の技術的範囲に含まれる。各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることによって、新しい技術的特徴を形成することもできる。
1,1B 樹脂基板、2,2B 表示デバイス、11 第1樹脂層、12 中間層、13 第2樹脂層、14 ベースコート、21、23 長軸方向、41 ガラス基板、51、52 塗布方向、61 表示領域、62 端子部、TM 額縁領域、CL 折り曲げ部

Claims (9)

  1.  第1長軸方向を有する第1高分子樹脂によって構成される第1樹脂層と、
     前記第1樹脂層の上に形成される中間層と、
     平面視した場合に前記第1長軸方向に対して傾いた第2長軸方向を有する第2高分子樹脂によって構成され、かつ前記中間層の上に形成される第2樹脂層とを備えていることを特徴とする樹脂基板。
  2.  前記第1長軸方向が前記第2長軸方向に対して少なくとも20°傾いていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂基板。
  3.  前記第2長軸方向が前記第1長軸方向と直交することを特徴とする請求項2に記載の樹脂基板。
  4.  前記第1長軸方向および前記第2長軸方向がいずれも前記樹脂基板の同一辺方向に対して傾いていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の樹脂基板。
  5.  前記第1高分子樹脂および前記第2高分子樹脂は、いずれもポリイミドであることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂基板。
  6.  前記中間層は、無機材料によって構成されることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の樹脂基板。
  7.  請求項1~6のいずれか1項に記載の樹脂基板を備えていることを特徴とする表示デバイス。
  8.  前記表示デバイスは、
      複数の発光素子を備えた表示領域と、
      前記表示領域を囲む額縁領域と、
      前記額縁領域の端部に設けられた端子部と、
      前記端子部と前記表示領域との間に設けられた折り曲げ部と、
      TFT層と、
      前記TFT層に形成され、前記表示領域にマトリクス状に設けられた画素回路と、
      前記TFT層に形成され、前記画素回路に信号を印加する配線と、
      前記配線と前記端子部とを電気的に接続する引き回し配線と、
      前記TFT層に形成され、前記折り曲げ部において開口が設けられる無機膜と、
      前記開口に充填される第1平坦化膜と、
      前記開口の上の前記引き回し配線を前記第1平坦化膜との間で挟む第2平坦化膜とをさらに備えていることを特徴とする請求項7に記載の表示デバイス。
  9.  前記第1平坦化膜および前記第2平坦化膜の少なくともいずれかは、平面視した場合に前記第1長軸方向と一致しかつ前記第2長軸方向に対して傾いた第3長軸方向を有する第3高分子樹脂によって構成されることを特徴とする請求項8に記載の表示デバイス。
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