WO2019021845A1

WO2019021845A1 - 校正装置、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、エンコーダ装置の製造方法、及び校正プログラム

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Publication number: WO2019021845A1
Application number: PCT/JP2018/026343
Authority: WO
Inventors: 昭宏渡邉; 政久高崎
Original assignee: 株式会社ニコン
Priority date: 2017-07-27
Filing date: 2018-07-12
Publication date: 2019-01-31
Also published as: JPWO2019021845A1; CN110959101A; CN110959101B; JP7173010B2; US11579001B2; US20200370927A1

Abstract

【課題】回転体の回転位置情報を高精度に検出する。【解決手段】校正装置は、回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部と第２検出部との相対位置を算出する位置算出部と、位置算出部が算出した相対位置、及び検出信号に基づいて、回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出する誤差算出部と、を備える。

Description

校正装置、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、エンコーダ装置の製造方法、及び校正プログラム

　本発明は、校正装置、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、エンコーダ装置の製造方法、及び校正プログラムに関する。

　回転位置情報を検出するロータリーエンコーダは、駆動装置（例、モータ装置）などの各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。また、ロータリーエンコーダ等の角度検出器における誤差の校正値を求める技術が提案されている。

特開平８－５００３４号公報

　本発明の第１の態様に従えば、回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部と第２検出部との相対位置を算出する位置算出部と、位置算出部が算出した相対位置、及び検出信号に基づいて、回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出する誤差算出部と、を備える校正装置が提供される。

　本発明の第２の態様に従えば、第１の態様の校正装置から出力される誤差情報を記憶する記憶部と、第２回転体に取り付けられるスケールと、スケールに対して配置される検出部と、記憶部に記憶された誤差情報に基づいて、検出部の検出結果から得られる第２回転体の回転位置情報を補正する補正部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。

　本発明の第３の態様に従えば、第２回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部と、第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部と第２検出部との相対位置を算出する位置算出部と、位置算出部が算出した相対位置、及び検出信号に基づいて、第２回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出する誤差算出部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
　本発明の第４の態様に従えば、回転軸に取り付けられるスケールと、スケールを検出して第１検出信号を出力する第１検出部と、第１検出信号と第１検出部とは異なる２つの検出部がスケールを検出して出力する第２検出信号及び第３検出信号とに基づいて算出した第１検出部と２つの検出部の少なくとも１つとの相対位置を用いて算出された誤差情報を記憶する記憶部と、誤差情報を用いて、第１検出信号から得られる回転軸の回転位置情報を補正する補正部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
　本発明の第５の態様に従えば、回転軸の回転位置情報を算出するエンコーダ装置であって、回転軸に取り付けられるスケールと、基板に固定され、スケールを検出して第１検出信号を出力する被校正用検出部と、第１検出信号をもとに回転位置情報を算出する処理部と、記憶部に記憶された誤差情報を用いて回転位置情報を補正する補正部と、を備え、記誤差情報を算出する場合に２つの校正用検出部が基板に取り付けられ、誤差情報は、第１検出信号と２つの校正用検出部がスケールを検出して出力する第２検出信号及び第３検出信号とを用いて算出された、被校正用検出部と少なくとも１つの校正用検出部との相対位置に基づいて算出される、エンコーダ装置が提供される。

　本発明の第６の態様に従えば、第２の態様または第３の態様のエンコーダ装置と、第２回転体に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。
　本発明の第７の態様に従えば、第４の態様または第５の態様のエンコーダ装置と、回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。

　本発明の第８の態様に従えば、第６の態様又は第７の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置が提供される。

　本発明の第９の態様に従えば、第６の態様又は第７の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置が提供される。

　本発明の第１０の態様に従えば、回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部と第２検出部との相対位置を算出することと、算出された相対位置、及び検出信号に基づいて、回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出することと、誤差情報をエンコーダ装置の記憶部に記憶させることと、を含むエンコーダ装置の製造方法が提供される。

　本発明の第１１の態様に従えば、コンピュータに、回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部と第２検出部との相対位置を算出することと、算出された相対位置、及び検出信号に基づいて、回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出することと、を実行させる校正プログラムが提供される。

第１実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第１実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第１実施形態に係るスケールおよび検出部を示す図である。第１実施形態に係る相対位置の算出処理のパラメータを示す図である。実施形態に係るエンコーダ装置の製造方法を示すフローチャートである。第２実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第３実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第４実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第５実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第６実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第７実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。第７実施形態に係る検出部の配置方法の例を示す図である。第８実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。第９実施形態に係る校正装置を示す図である。第１０実施形態に係る校正装置を示す図である。実施形態に係る駆動装置を示す図である。実施形態に係るステージ装置を示す図である。実施形態に係るロボット装置を示す図である。

［第１実施形態］
　第１実施形態について説明する。図１および図２は、第１実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。エンコーダ装置ＥＣは、測定対象の回転体の回転位置情報を検出する。回転位置情報は、多回転情報および１回転内の角度位置の一方または双方を含む。多回転情報は、回転の数を示す情報（例、１回転、２回転）である。角度位置は、１回転未満の回転角を示す情報（例、３０［ｄｅｇ］、π［ｒａｄ］）である。

　校正装置１は、エンコーダ装置ＥＣに対する校正処理を実行する。校正装置１は、例えば、エンコーダ装置ＥＣの製造時に使用される。校正装置１は、校正処理において、エンコーダ装置ＥＣの検出結果の補正に使われる誤差情報を算出（生成）する。図１には、校正処理におけるエンコーダ装置ＥＣの動作および校正装置１の動作を示した。図２には、校正処理後のエンコーダ装置ＥＣの動作を示した。

　図１に示すように、校正装置１が校正処理を実行する際に、エンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦ１に取り付けられる。校正処理において、エンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦ１に取り付けられるスケールＳを検出する。校正装置１は、エンコーダ装置ＥＣがスケールＳを検出して得られる検出信号に基づいて、回転体ＳＦ１の回転位置情報に対する誤差情報を算出する。校正装置１は、算出した誤差情報を校正対象のエンコーダ装置ＥＣに記憶させる。エンコーダ装置ＥＣは、上記の校正処理の終了後に、校正装置１から取り外される。

　図２に示すように、校正処理後のエンコーダ装置ＥＣは、例えば回転体ＳＦ２の回転位置情報を検出する。回転体ＳＦ２は、校正処理に用いられる回転体ＳＦ１と同じでもよいし、回転体ＳＦ１と別の回転体でもよい。エンコーダ装置ＥＣは、校正処理の後に回転体ＳＦ１（第１回転体）から取り外され、回転体ＳＦ１と異なる検出対象の回転体ＳＦ２（第２回転体）に取り付けられてもよい。校正処理後のエンコーダ装置ＥＣは、検出した回転体ＳＦ２の回転位置情報を、校正処理において記憶した誤差情報に基づいて補正する。そして、エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部へ出力する。以下、エンコーダ装置ＥＣの各部、及び校正装置１の各部について説明する。

　図１に示すように、エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳ、検出部２、処理部３、記憶部４、及び補正部５を備える。スケールＳは、校正装置１が校正処理を実行する際に、校正用の回転体ＳＦ１に取り付けられる。スケールＳは、検出部２の少なくとも一部に対して対向配置され、回転体ＳＦ１ともに回転する。

　検出部２（検出系）は、スケールＳを検出する。検出部２は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３を含む。また、本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８を備える。第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、それぞれ、例えばエンコーダヘッド（検出ヘッド）を含む。第１検出部１１は、第１ヘッド６に設けられる。第２検出部１２は、第２ヘッド７に設けられる。第３検出部１３は、第３ヘッド８に設けられる。また、検出部２（複数の検出ヘッド）は、後述のエンコーダ本体部に固定されて配置される。

　第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、スケールＳに対向して配置される。スケールＳは、回転体ＳＦ１の回転によって、第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８のそれぞれに対して相対的に回転する。第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、それぞれ、スケールＳのパターンを検出する。

　第１ヘッド６は、例えば、被校正用の検出ヘッド（校正対象の検出ヘッド（検出部））である。第２ヘッド７および第３ヘッド８は、それぞれ、校正用の検出ヘッドである。校正用の検出ヘッドは、第１ヘッド６に対する校正処理に使われる情報を取得する。第１ヘッド６は、校正処理後において、第２回転体（例、図２の回転体ＳＦ２）の回転位置情報の検出に用いられる。なお、第２ヘッド７および第３ヘッド８の一方又は双方は、第２回転体の回転位置の検出に用いられてもよいし、第２回転体の回転位置の検出に用いられなくてもよい。

　図３は、第１実施形態に係るスケールおよび検出部を示す図である。以下の説明において、適宜、図３等に示すＸＹＺ直交座標系を参照する。このＸＹＺ直交座標系において、Ｚ方向は、回転体ＳＦ１の回転軸ＡＸと平行な方向である。Ｘ方向およびＹ方向は、それぞれ、Ｚ方向に垂直な方向である。図３（Ａ）は、回転軸ＡＸの方向（アキシャル方向、Ｚ方向）から見た図である。以下の説明において、回転軸の方向から見た状態を、適宜、回転軸方向視の状態という。図３（Ｂ）は、回転体ＳＦ１と垂直な方向（ラジアル方向）から見た図である。

　本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、光学式エンコーダを含む。エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳを光学的に検出する。スケールＳは、例えば、円板状あるいはフランジ状の部材である。スケールＳは、反射型又は透過型のインクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳを含む。インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳは、それぞれ、円環状である。インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳは、ＸＹ平面上のスケールＳの中心に関して、同心円状に配置される。なお、エンコーダ装置ＥＣは、磁気式エンコーダを含む構成であってもよい。

　第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、回転体ＳＦ１の周囲に配置される。第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、それぞれ、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳと対向するように配置される。第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、回転体ＳＦ１からの距離がほぼ同じになるように配置される。

　第１ヘッド６は、照射部１０ａ、及び第１検出部１１を備える。照射部１０ａは、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳのそれぞれに対して光を照射する。第１検出部１１は、センサ部１１ａおよびセンサ部１１ｂを含む。センサ部１１ａおよびセンサ部１１ｂは、それぞれ、光を検出する受光素子（例、フォトダイオード、光電変換素子、受光部）を含む。センサ部１１ａは、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出する。センサ部１１ｂは、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出する。

　第２ヘッド７および第３ヘッド８は、それぞれ、第１ヘッド６と同様の構成である。第２ヘッド７は、照射部１０ｂおよび第２検出部１２を備える。第３ヘッド８は、照射部１０ｃおよび第３検出部１３を備える。照射部１０ｂおよび照射部１０ｃは、それぞれ、上述の照射部１０ａと同様である。照射部１０ｂおよび照射部１０ｃは、それぞれ、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳのそれぞれに対して光を照射する。第２検出部１２および第３検出部１３は、それぞれ、第１検出部１１と同様の構成である。第２検出部１２および第３検出部１３は、それぞれ、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光およびアブソリュートパターンＡＢＳからの光のそれぞれを検出する。

　図３（Ｂ）に示すように、本実施形態における第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、それぞれ反射型の検出ヘッドである。第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８は、それぞれ、インクリメンタルパターンＩＮＣで反射した光およびアブソリュートパターンＡＢＳで反射した光のそれぞれを検出する。第１ヘッド６は、透過型の検出ヘッドでもよい。この場合、第１ヘッド６は、インクリメンタルパターンＩＮＣを透過した光およびアブソリュートパターンＡＢＳを透過した光のそれぞれを検出する。また、第２ヘッド７と第３ヘッド８との一方または双方は、透過型の検出ヘッドでもよい。

　図１の説明に戻り、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３は、それぞれ、処理部３と接続される。第１検出部１１は、スケールＳを検出した検出結果として検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。第２検出部１２は、スケールＳを検出した検出結果として検出信号Ｓ２ａを処理部３に出力する。第３検出部１３は、スケールＳを検出した検出結果として検出信号Ｓ３ａを処理部３に出力する。

　処理部３は、検出部２から得られる検出信号（検出信号Ｓ１ａ、検出信号Ｓ２ａ、検出信号Ｓ３ａ）を処理する。処理部３は、検出部２から得られる検出信号（検出信号Ｓ１ａ、検出信号Ｓ２ａ、検出信号Ｓ３ａ）に基づいて、検出対象の回転体（図１では回転体ＳＦ１、図２では回転体ＳＦ２）の回転位置情報を算出する。例えば、処理部３は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出した結果を使って第１分解能の角度位置情報を検出する。また、処理部３は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出した結果を使って、第１分解能の角度位置情報に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置情報を検出する。

　処理部３は、第１検出部１１から得られる検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転体ＳＦ１の回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。回転位置情報Ｓ１ｂは、第１検出部１１から得られる検出信号である。また、処理部３は、第２検出部１２から得られる検出信号Ｓ２ａに基づいて、回転体ＳＦ１の回転位置情報Ｓ２ｂを算出する。回転位置情報Ｓ２ｂは、第２検出部１２から得られる検出信号である。また、処理部３は、第３検出部１３から得られる検出信号Ｓ３ａに基づいて、回転体ＳＦ１の回転位置情報Ｓ３ｂを算出する。回転位置情報Ｓ３ｂは、第３検出部１３から得られる検出信号である。

　処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、及び回転位置情報Ｓ３ｂを、それぞれ、校正装置１に出力する。校正装置１は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、回転位置情報Ｓ３ｂ）に基づいて、誤差情報を算出する。校正装置１は、算出した誤差情報をエンコーダ装置ＥＣに出力する。エンコーダ装置ＥＣの記憶部４は、校正装置１から出力される誤差情報を記憶する。校正装置１の各部については、後に説明する。

　エンコーダ装置ＥＣは、校正処理後に、例えば図２に示す駆動装置ＭＴＲ（回転体ＳＦ２）に搭載される。駆動装置ＭＴＲは、例えば電動モータなどである。駆動装置ＭＴＲは、回転体ＳＦ２、駆動部ＭＤ、及び制御部ＭＣを備える。回転体ＳＦ２は、例えば、駆動装置ＭＴＲにおける出力軸（例、シャフト）を含む。回転体ＳＦ２は、駆動装置ＭＴＲの出力軸と接続される作用軸でもよい。駆動部ＭＤは、例えば電気子および固定子を含み、回転体ＳＦ２を回転させる。制御部ＭＣは、回転体ＳＦ２の角度位置、角速度、及び角加速度の少なくとも１つが目標値に近づくように、駆動部ＭＤを制御する。

　エンコーダ装置ＥＣのスケールＳは、回転体ＳＦ２に取り付けられる。第１検出部１１は、回転体ＳＦ２とともに回転するスケールＳを検出する。第１検出部１１は、スケールＳを検出した検出結果として検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転体ＳＦ２の回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂを補正部５に出力する。以下の説明において、処理部３が算出した回転位置情報を、適宜、第１の回転位置情報という。第１の回転位置情報は、補正前の回転位置情報である

　補正部５は、処理部３から出力された第１の回転位置情報（例、回転位置情報Ｓ１ｂ）を、記憶部４に記憶されている誤差情報に基づいて補正する（自己校正処理）。例えば、補正部５は、第１の回転位置情報（例、回転位置情報Ｓ１ｂ）および誤差情報に基づいて、第２の回転位置情報を算出（生成）する。第２の回転位置情報は、補正後の回転位置情報である。補正部５は、算出した第２の回転位置情報（補正後の回転位置情報）を出力する。駆動装置ＭＴＲの制御部ＭＣは、第２の回転位置情報に基づいて、駆動部ＭＤを制御する。

　ここで、誤差情報について説明する。処理部３が算出する第１の回転位置情報は、例えば、検出部２の検出結果に基づく読取値（測定値）である。この読取値は、例えば、スケールＳの製造誤差、スケールＳと検出部２との位置誤差（例、組み立て誤差）などの周期的な誤差（回転による周期誤差成分）によって、真の値からずれる場合がある。スケールＳの製造誤差は、例えば、アブソリュートパターンＡＢＳあるいはインクリメンタルパターンＩＮＣの形状のゆがみ、アブソリュートパターンＡＢＳあるいはインクリメンタルパターンＩＮＣスケールＳ上での位置ずれを含む。

　上記の誤差情報は、読取値に対する校正値を含む。校正値は、例えば、読取値に対する真の値として推定される値（真の値の推定値）を含む。例えば、読取値が８９°であって、この読取値に対する校正値が９０°である場合、上記の誤差情報は、読取値（例、８９°）と校正値（例、９０°）とを組にした情報を含む。エンコーダ装置ＥＣの補正部５は、読取値（例、８９°）が入力された場合に、誤差情報を参照して、読取値に対する校正値（例、９０°）を出力することで、回転位置情報を補正する。

　また、上記の誤差情報は、校正値と読取値との誤差の情報を含んでもよい。例えば、読取値が８９°であって、この読取値に対する校正値が９０°である場合、読取値に対する誤差は、－１°である。この場合、上記の誤差情報は、読取値（例、８９°）と誤差（例、－１°）とを組にした情報を含んでもよい。エンコーダ装置ＥＣの補正部５は、読取値（例、８９°）が入力された場合に、誤差情報を参照して、読取値に対する誤差（例、－１°）を読取値から差し引く演算（例、８９°－（－１°））を実行し、回転位置情報を補正してもよい。

　上記の誤差情報は、読取値に対する補正量の情報を含んでもよい。例えば、読取値が８９°であって、この読取値に対する校正値が９０°である場合、読取値に対する補正量は、＋１°である。この場合、上記の誤差情報は、読取値（例、８９°）と補正量（例、＋１°）とを組にした情報を含んでもよい。エンコーダ装置ＥＣの補正部５は、読取値（例、８９°）が入力された場合に、誤差情報を参照して、読取値に対する補正量（例、＋１°）を読取値に加える演算（例、８９°＋（＋１°））を実行し、回転位置情報を補正してもよい。

　上述のような誤差情報は、例えば、等分割平均法を利用した手法によって算出される。このような手法において、誤差情報の算出には、複数の検出位置から対象物を検出した検出結果と、複数の検出位置（検出部（センサ）の位置）とが用いられる。複数の検出位置として予め設定された設定値を用いて誤差情報を算出する場合、例えば、実際の検出位置と設定値との誤差によって、誤差情報の精度が低下する。しかしながら、エンコーダ装置の製造工程において実際の検出位置を設定値と高精度に一致させる場合、例えば、位置合わせのコストが増加する。

　本実施形態において、校正装置１は、検出部２における相対的な検出位置（回転体の回転軸方向視において回転体の回転軸ＡＸを中心とした角度位置（例、第１検出部と第２検出部とがなす角に基づく位置））を算出し、算出した該検出位置（例、２つの検出部における相対位置）を用いて誤差情報を生成する。校正装置１は、例えば、検出部２の検出位置が設定値に対して誤差を含む場合においても、位置算出部１５によって算出した実際の検出位置を用いるので、高精度な誤差情報を生成可能である。以下、図１を参照して校正装置１の各部について説明する。

　校正装置１は、位置算出部１５および誤差算出部１６を備える。位置算出部１５は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号（この場合、３つの検出信号）に基づいて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を算出する（相対位置の算出処理を実行する）。位置算出部１５は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号として、例えば、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、及び回転位置情報Ｓ３ｂを用いる。相対位置の算出処理については、後に図４、式（１）から式（２１）などを参照して説明する。位置算出部１５は、算出した相対位置を誤差算出部１６に出力する。

　誤差算出部１６は、位置算出部１５が算出した相対位置、及び検出部２から得られる検出信号に基づいて、回転体ＳＦ１の回転位置情報に対する誤差情報を算出する（誤差情報の算出処理を実行する）。誤差算出部１６は、検出部２から得られる検出信号として、例えば、回転位置情報Ｓ１ｂと回転位置情報Ｓ２ｂと回転位置情報Ｓ３ｂとの少なくとも一部を用いる。誤差算出部１６は、算出した誤差情報を出力する。校正装置１は、誤差算出部１６が出力した誤差情報を、エンコーダ装置ＥＣの記憶部４に記憶させる。

　次に、校正装置１による校正処理（相対位置の算出処理、誤差情報の算出処理）について説明する。図４は、第１実施形態に係る相対位置の算出処理に用いられるパラメータを示す図である。

　図４において、符号Ｐ１は、スケールＳの回転方向又は回転軸ＡＸの軸方向視において、第１検出部１１が配置された位置であり、第１検出部１１による検出位置（検出対象の領域）である。第１検出部１１は、例えば、スケールＳにおける検出位置Ｐ１からの光を検出する。例えば、第１検出部１１は、スケールＳにおける検出位置Ｐ１の部分の像を検出する。また、符号Ｐ２は、スケールＳの回転方向又は回転軸ＡＸの軸方向視において、第２検出部１２が配置された位置であり、第２検出部１２による検出位置（検出対象の領域）である。第２検出部１２は、例えば、スケールＳにおける検出位置Ｐ２からの光を検出する。例えば、第２検出部１２は、スケールＳにおける検出位置Ｐ１の部分の像を検出する。また、符号Ｐ３は、スケールＳの回転方向又は回転軸ＡＸの軸方向視において、第３検出部１３が配置された位置であり、第３検出部１３による検出位置（検出対象の領域）である。第３検出部１３は、例えば、スケールＳにおける検出位置Ｐ３からの光を検出する。例えば、第３検出部１３は、スケールＳにおける検出位置Ｐ３の部分の像を検出する。

　符号φ１は、回転体ＳＦ１の回転軸ＡＸを中心にして、図３（Ａ）に示した第１検出部１１と第２検出部１２とがなす角度である。角度φ１は、スケールＳの回転方向における第１検出部１１の角度位置と第２検出部１２の角度位置との差（回転角）である。この場合、角度φ１は、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（相対的な角度位置）を示すパラメータである。

　角度φ１は、例えば、スケールＳの回転方向又は回転軸ＡＸの軸方向視において、回転軸ＡＸと検出位置Ｐ１とを結ぶ線Ｌ１と、回転軸ＡＸと検出位置Ｐ２とを結ぶ線Ｌ２とがなす角度である。線Ｌ１は、例えば、第１検出部１１が検出対象とするスケールＳ上の領域（例、検出位置Ｐ１）における所定の点（例、中心）と、スケールＳ上の回転軸ＡＸとを結ぶ線である。また、線Ｌ２は、例えば、第２検出部１２が検出対象とするスケールＳ上の領域（例、検出位置Ｐ２）における所定の点（例、中心）と、スケールＳ上の回転軸ＡＸとを結ぶ線である。

　また、符号φ２は、回転体ＳＦ１の回転軸ＡＸを中心にして、図３（Ａ）に示した第１検出部１１と第３検出部１３とがなす角度である。角度φ２は、スケールＳの回転方向における第１検出部１１の角度位置と第３検出部１３の角度位置との差（回転角）である。角度φ２は、第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（相対的な角度位置）を示すパラメータである。角度φ２は、例えば、スケールＳの回転方向又は回転軸ＡＸの軸方向視において、線Ｌ１と、回転軸ＡＸと検出位置Ｐ３とを結ぶ線Ｌ３とがなす角度である。線Ｌ３は、例えば、第３検出部１３が検出対象とするスケールＳ上の領域（例、検出位置Ｐ３）における所定の点（例、中心）と、スケールＳ上の回転軸ＡＸとを結ぶ線である。

　以下の説明において、第１検出部１１から得られる角度位置の読取値（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、測定値）を、ｆ（θ）［ｒａｄ］で表す。θは、回転軸ＡＸを中心とする円周上の検出位置Ｐ１の角度位置である。θは、例えば、真の値と推定される値、校正の目標値（校正値）である。また、第２検出部１２から得られる角度位置の読取値（例、回転位置情報Ｓ２ｂ、測定値）を、ｆ（θ＋φ１）［ｒａｄ］で表す。また、第３検出部１３から得られる角度位置の読取値（例、回転位置情報Ｓ３ｂ、測定値）を、ｆ（θ＋φ２）［ｒａｄ］で表す。

　上記のｆ（θ）、ｆ（θ＋φ１）、及びｆ（θ＋φ２）は、それぞれ、２π［ｒａｄ］を周期とする周期関数である。ｆ（θ）は、フーリエ級数を用いて下記の式（１）で表される。以下の式において、ｎは、高調波の次数を表す自然数（１、２、３、・・・）である。また、Ａｎは、第ｎ高調波の振幅であり、αｎは第ｎ高調波の初期位相である。Ｎは、データ点の数（例、スケールＳの目盛の数）である。

　また、ｆ（θ＋φ１）は、フーリエ級数を用いて下記の式（２）で表される。

　また、ｆ（θ＋φ２）は、フーリエ級数を用いて下記の式（３）で表される。

　まず、図１および図４を参照して、相対位置の算出処理について説明する。本実施形態において、図１に示した位置算出部１５は、相対処理の算出処理において、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、図４のφ１）を算出する。位置算出部１５は、第１検出部１１から得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ）と第２検出部１２から得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ２ｂ）との差、及び第１検出部１１から得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ）と第３検出部１３から得られる検出信号（例、例、回転位置情報Ｓ３ｂ）との差に基づいて、相対位置を算出する。回転位置情報Ｓ１ｂと回転位置情報Ｓ２ｂとの差は、ｆ（θ＋φ１）－ｆ（θ）で表される。上記の式（１）と式（２）との差を取ることで、下記の式（４）が得られる。

　以下の説明において、適宜、ｆ（θ）を基準波形（基準信号、基準曲線）と称する。また、ｆ（θ＋φ１）－ｆ（θ）を、適宜、第２検出部１２に関する差分波形（差分信号、差分曲線）という。上記の式（４）から分かるように、第２検出部１２に関する差分波形は、正弦波（１次からｎ次の高調波）の重ね合わせで表される。式（４）の大括弧中の式を変形すると、下記の式（５）が得られる。

　ここで、第２検出部１２に関する差分波形における第ｎ高調波の振幅をＢｎ１とする。Ｂｎ１は下記の式（６）で表される。

　また、第２検出部１２に関する差分波形における第ｎ高調波の位相について、ｎθに対する変化量をβｎ１とする。βｎ１は、第２検出部１２に関する第ｎ高調波の位相とｎθとの差である。βｎ１は、下記の式（７）で表される。

　また、回転位置情報Ｓ１ｂと回転位置情報Ｓ３ｂとの差は、ｆ（θ＋φ２）－ｆ（θ）で表される。以下の説明において、ｆ（θ＋φ２）－ｆ（θ）を、適宜、第３検出部１３に関する差分波形（差分信号、差分曲線）という。第３検出部１３に関する差分波形は、上記の式（１）と式（３）との差を取ることで得られる。また、第３検出部１３に関する差分波形について、第２検出部１２に関する差分波形と同様に変形し、第３検出部１３に関する差分波形における第ｎ高調波の振幅をＢｎ２とする。Ｂｎ２は下記の式（８）で表される。

　また、第３検出部１３に関する差分波形における第ｎ高調波の位相について、ｎθに対する変化量をβｎ２とする。βｎ２は、第３検出部１３に関する第ｎ高調波の位相とｎθとの差である。βｎ２は、下記の式（９）で表される。

　上記の式（６）および式（８）を用いてＡｎについて解くと、下記の式（１０）が得られる。

　上記の式（１０）を変形すると、下記の式（１１）が得られる。

　また、上記の式（７）および式（９）を用いてαｎについて解くと、下記の式（１２）が得られる。

　上記の式（１２）を変形すると、下記の式（１３）が得られる。

　第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を示す角度φ１、及び第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置を示す角度φ２は、上記の式（１１）と式（１３）とを連立して解くことで、算出される。上記の式（１３）の右辺を上記の式（１１）に代入することにより、上記の式（１１）から角度φ２を消去すると、下記の式（１４）が得られる。

　上記の式（１４）を変形すると、下記の式（１５）が得られる。

　式（１５）におけるＣｎ１は、下記の式（１６）で表される。

　また、式（１５）におけるγｎ１は、下記の式（１７）で表される。

　式（１５）において、Ｃｎ１が０でない条件で、ｓｉｎ（ｎφ１／２＋γｎ１）＝０である。この場合、自然数であるｍを用いて、下記の式（１８）が成り立つ。

　式（１８）を変形すると、φ１は、下記の式（１９）で表される。

　ここで、ｎ＝ｋである場合について、０より大きく２π以下の範囲におけるφ１の解を、φ１（ｎ＝ｋ）で表す。例えば、ｎ＝１、かつ０＜φ１≦２πを満たすφ１の解を、φ１（ｎ＝１）で表す。１次の成分（ｎ＝１の場合）については、０＜φ１≦２πを満たす条件がｍ＝１である。φ１（ｎ＝１）は、一意に定まり、下記の式（２０）で表される。

　２次以上の成分（ｎが２以上である場合）については、φ１の解の数がｎと同じである。例えば、ｎが３である場合、φ１（ｎ＝３）は、下記の式（２１）で表され、ｍ＝１，２，３のそれぞれに対応する解を含む３つの解がある。

　このように、複数の解が得られる場合、ｍ＝１，２，・・・ｋのうち２つ以上のｍの値について、それぞれφ１（ｎ＝ｋ）の解を算出し、得られたφ１（ｎ＝ｋ）の複数の解に基づいて、φ１を特定してもよい。例えば、ｎ＝３である場合、ｍ＝１，２，３のそれぞれについてφ１（ｎ＝３）の解を算出し、φ１（ｎ＝３）の複数の解のうち、上記の式（２０）から得られるφ１（ｎ＝１）に最も値が近い解をφ１（ｎ＝３）の解として採用してもよい。また、φ１（ｎ＝３）の複数の解から演算される値（例、平均値）を、φ１（ｎ＝３）の解として採用してもよい。

　０次（ｎ＝０）の成分は、直流成分であり、例えばノイズの影響を受けやすい。１次以上の成分を用いると、例えば、角度φ１を高精度に算出可能（特定可能）である。なお、ｎは、本実施形態において自然数（１，２，・・・）であるが、０を含んでもよい。例えば、スケールＳがアブソリュートパターンＡＢＳを含む場合、０次の成分を用いて角度φ１を算出してもよい。また、スケールＳがインクリメンタルパターンＩＮＣを含み、アブソリュートパターンＡＢＳを含まない場合、スケールＳが所定の角度位置（例、基準位置、０°、原点）にある際の０次の成分を用いて、角度φ１を算出してもよい。

　本実施形態において、図１に示した位置算出部１５は、第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（例、図４の角度φ２）も算出する。以下、φ２の解について説明する。上記の式（１２）を用いて式（１１）からφ１を消去すると、下記の式（２２）が得られる。

　式（２２）を変形すると、下記の式（２３）が得られる。

　上記の式（２３）におけるＣｎ２は、下記の式（２４）で表される。

　上記の式（２３）におけるγｎ２は、下記の式（２５）で表される。

　上記の式（２３）において、Ｃｎ２が０でない条件で、ｓｉｎ（ｎφ２／２＋γｎ２）＝０である。この場合、自然数であるｍを用いて、下記の式（２６）が成り立つ。

　ここで、ｎ＝ｋである場合について、０より大きく２π以下の範囲におけるφ２の解を、φ２（ｎ＝ｋ）で表す。例えば、ｎ＝１、０＜φ２≦２πを満たす場合のφ２の解を、φ２（ｎ＝１）で表す。１次の成分（ｎ＝１である場合）については、０＜φ２≦２πを満たす条件がｍ＝１である。φ２（ｎ＝１）は、一意に定まり、下記の式（２７）で表される。

　また、２次以上の成分（ｎが２以上である場合）については、φ１の解について説明したように、ｍ＝１，２，・・・ｋのうち２つ以上のｍの値について、それぞれφ２（ｎ＝ｋ）の解を算出し、得られたφ２（ｎ＝ｋ）の複数の解に基づいて、φ２を特定してもよい。

　次に、誤差情報の算出処理について説明する。上述のように算出されたφ１を、上記の式（１０）に代入すると、Ａｎが既知になる。また、相対位置の算出処理によって算出されたφ１を、上記の式（１２）に代入すると、αｎが既知になる。ここで、上記の式（１）における高調波成分（右辺の第２項）を、Ｅｒｒで表す。Ｅｒｒは、下記の式（２８）で表され、既知になったＡｎおよびαｎを用いて算出される。

　Ｅｒｒは、測定値であるｆ（θ）と真の値であるθとの差（誤差）を表す誤差曲線である。第１検出部１１の検出結果から得られるｆ（θ）と、算出されたＥｒｒとを用いると、真の値であるθは、下記の式（２９）によって算出される。

　図１に示した誤差算出部１６は、ｆ（θ）と算出したＥｒｒ（誤差）とを用いて、θ（校正値）を算出する。誤差算出部１６は、例えば、ｆ（θ）とθとを一組にした情報を、誤差情報として生成する。例えば、誤差算出部１６は、φ１に基づいてＡｎおよびαｎを算出する。また、誤差算出部１６は、φ１に基づくＡｎおよびαｎを用いて、Ｅｒｒを算出する。以下の説明において、φ１に基づいて算出されるＥｒｒを、適宜、Ｅｒｒ１と表記する。

　誤差算出部１６は、ｆ（θ）と、Ｅｒｒ１とを用いてθを算出する。以下の説明において、φ１に基づいて算出されるθを、適宜、θ１と表記する。誤差算出部１６は、ｆ（θ）と、θ１とを一組にした情報を、第１誤差情報として生成する。

　また、Ｅｒｒは、φ２から算出することも可能である。例えば算出されたφ２を、上記の式（１０）に代入すると、Ａｎが既知になる。また、算出されたφ２を、上記の式（１２）に代入すると、αｎが既知になる。例えば、誤差算出部１６は、φ２に基づいてＡｎおよびαｎを算出する。また、誤差算出部１６は、φ２に基づくＡｎおよびαｎを用いて、Ｅｒｒを算出する。以下の説明において、φ２に基づいて算出されるＥｒｒを、適宜、Ｅｒｒ２と表記する。誤差算出部１６は、ｆ（θ）と、Ｅｒｒ２とを用いてθを算出する。以下の説明において、φ２に基づいて算出されるθを、適宜、θ２と表記する。誤差算出部１６は、ｆ（θ）と、θ２とを一組にした情報を、第２誤差情報として生成する。

　誤差算出部１６は、第１誤差情報と第２誤差情報とに基づいて、誤差情報を算出する。例えば、誤差算出部１６は、第１検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、ｆ（θ））と第２検出信号（例、回転位置情報Ｓ２ｂ、ｆ（θ＋φ１））との差の振幅、及び第１検出信号と第３検出信号（例、回転位置情報Ｓ３ｂ、ｆ（θ＋φ２））との差の振幅に基づいて、誤差情報を算出する。例えば、第１検出信号と第２検出信号との差はｆ（θ＋φ１）－ｆ（θ）であり、その振幅はＢｎ１である。また、第１検出信号と第３検出信号との差はｆ（θ＋φ２）－ｆ（θ）であり、その振幅はＢｎ２である。

　誤差算出部１６は、Ｂｎ１とＢｎ２と大小関係に基づいて、θ１またはθ２をθとして選択してもよい。例えば、誤差算出部１６は、Ｂｎ１とＢｎ２とを比較し、Ｂｎ１の方が値が大きい場合にＢｎ１に対応するθ１を、θとして選択（採用）してもよい。また、誤差算出部１６は、θ１とθ２との平均値（例、加算平均値、加重平均値）を、θとして算出してもよい。例えば、誤差算出部１６は、上記の加算平均値である（θ１＋θ２）／２をθとして採用してもよい。また、誤差算出部１６は、Ｂｎ１およびＢｎ２を用いた重み付けによってθを算出してもよい。例えば、誤差算出部１６は、上記の加重平均値である（Ｂｎ１×θ１＋Ｂｎ２×θ２）／（Ｂｎ１＋Ｂｎ２）を、θとして採用してもよい。

　誤差算出部１６が第１誤差情報と第２誤差情報とに基づいて誤差情報を算出する場合、例えば、読取値の取得時に発生する誤差（例、ノイズ、量子化誤差）、誤差情報の算出時に発生する誤差（例、丸め誤差）の影響を低減することができる。なお、誤差算出部１６は、第１誤差情報と第２誤差情報との一方を誤差情報として算出してもよい。例えば、誤差算出部１６は、誤差情報として第１誤差情報を算出し、第２誤差情報を算出しなくてもよい。

　なお、誤差算出部１６は、誤差情報として、ｆ（θ）とＥｒｒ（誤差）とを一組にした情報を生成してもよい。また、誤差算出部１６は、ｆ（θ）と、Ｅｒｒから算出される補正量（例、－Ｅｒｒ）とを一組にした情報を、誤差情報として生成してもよい。

　誤差算出部１６は、第１誤差情報および第２誤差情報に基づいて、Ｅｒｒを算出してもよい。誤差算出部１６は、Ｂｎ１とＢｎ２とに基づいて、Ｅｒｒ１またはＥｒｒ２をＥｒｒとして選択してもよい。例えば、誤差算出部１６は、Ｂｎ１とＢｎ２とを比較し、Ｂｎ１の方が値が大きい場合にＢｎ１に対応するＥｒｒ１を、Ｅｒｒとして選択してもよい。

　また、誤差算出部１６は、Ｅｒｒ１とＥｒｒ２との平均値（例、加算平均値、加重平均値）をＥｒｒとして算出してもよい。誤差算出部１６は、Ｂｎ１とＢｎ２とを用いた重み付けによって、Ｅｒｒを算出してもよい。例えば、誤差算出部１６は、加重平均値である（Ｂｎ１×Ｅｒｒ１＋Ｂｎ２×Ｅｒｒ２）／（Ｂｎ１＋Ｂｎ２）を、Ｅｒｒとして算出してもよい。

　ここで、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、φ１）の設定値、及び第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（例、φ２）の設定値について説明する。本実施形態において、誤差算出部１６は、２以上の整数であるｉについて、第１検出部１１の検出結果を表すフーリエ級数のｉ次成分の誤差を算出する。φ１の設定値およびφ２の設定値が円周をｉ等分する角度に設定される場合、読取値の差（例、ｆ（θ＋φ１）－ｆ（θ）、ｆ（θ＋φ２）－ｆ（θ））のフーリエ級数には、ｉの整数倍の次数の成分が含まれない。そのため、φ１の設定値とφ２の設定値との一方または双方は、２以上の整数であるｊについて、２π／ｊ×ｉ［ｒａｄ］以外の角度に設定される。

　次に、上述のエンコーダ装置ＥＣおよび校正装置１の構成に基づき、実施形態に係るエンコーダ装置の製造方法について説明する。図５は、実施形態に係るエンコーダ装置の製造方法を示すフローチャートである。エンコーダ装置ＥＣの各部、及び校正装置１の各部については、適宜、図１等を参照する。

　ステップＳ１において、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３（図１参照）は、それぞれ、スケールＳに対して配置される。ステップＳ２において、スケールＳを少なくとも１周分（１回転分）回転させて、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３は、それぞれ、スケールＳを検出する。第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３は、それぞれ、検出信号を処理部３（図１参照）に出力する。

　処理部３は、第１検出部１１の検出結果を処理して、回転位置情報Ｓ１ｂ（例、ｆ（θ））を算出する。また、処理部３は、第２検出部１２の検出結果を処理して、回転位置情報Ｓ２ｂ（例、ｆ（θ＋φ１））を算出する。また、処理部３は、第３検出部１３の検出結果を処理して、回転位置情報Ｓ３ｂ（例、ｆ（θ＋φ２））を算出する。処理部３は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号として、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、及び回転位置情報Ｓ３ｂを校正装置１（図１参照）に出力する。

　なお、本実施形態におけるエンコーダ装置の製造方法は、実施形態に係る校正方法によってエンコーダ装置を校正する（校正処理を実行する）ことを含む。この校正処理は、図５におけるステップＳ３の処理（相対位置の算出処理）、及びステップＳ４の処理（誤差情報の算出処理）を含む。

　ステップＳ３において、位置算出部１５（図１参照）は、エンコーダ装置ＥＣ（例、処理部３）からの検出信号に基づいて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、第１相対位置、φ１）を算出する。本実施形態に係る位置算出部１５は、上記の式（１）から式（２１）で説明した手法によって、φ１を算出する。また、本実施形態に係る位置算出部１５は、上記の式（２２）から式（２７）で説明した手法によって、第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（例、第２相対位置、φ２）を算出する。

　ステップＳ４において、誤差算出部１６（図１参照）は、位置算出部１５が算出した相対位置およびエンコーダ装置ＥＣからの検出信号（例、回転位置情報）に基づいて、誤差情報を算出する。本実施形態において、ステップＳ４の処理（誤差情報の算出処理）は、ステップＳ５からステップＳ７の処理を含む。

　ステップＳ５において、誤差算出部１６は、第１検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、ｆ（θ））、第２検出信号（例、回転位置情報Ｓ２ｂ、ｆ（θ＋φ１））、及び第１相対位置（例、φ１）に基づいて、第１誤差情報を算出する。第１誤差情報は、例えば、ｆ（θ）と、φ１から算出されるθ１とを関係づけた情報を含む。

　ステップＳ６において、誤差算出部１６は、第２検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、ｆ（θ））、第３検出信号（例、回転位置情報Ｓ３ｂ、ｆ（θ＋φ２））、及び第２相対位置（例、φ２）に基づいて、第２誤差情報を算出する。第２誤差情報は、例えば、ｆ（θ）と、φ２から算出されるθ２とを関係づけた情報を含む。

　ステップＳ７において、誤差算出部１６は、第１誤差情報と第２誤差情報とに基づいて、上記の誤差情報を算出する。誤差情報は、例えば、読取値であるｆ（θ）と、校正値であるθとを関係づけた情報を含む。誤差算出部１６は、第１誤差情報におけるθ１と第２誤差情報におけるθ２との平均値（例、加算平均値、加重平均値）をθとして算出し、誤差情報を算出してもよい。また、誤差算出部１６は、第１誤差情報におけるθ１または第２誤差情報におけるθ２をθとして選択し、誤差情報を生成してもよい。校正装置１（図１参照）は、誤差算出部１６が算出した誤差情報を出力する。ステップＳ８において、校正装置１は、誤差算出部１６が算出した誤差情報をエンコーダ装置ＥＣの記憶部４（図１参照）に記憶させる。

　ステップＳ９において、エンコーダ装置ＥＣは、例えば校正装置１から取り外される。校正装置１から取り外されたエンコーダ装置ＥＣは、例えば、検出対象の回転体ＳＦ２（図２参照）に取り付けられる。エンコーダ装置ＥＣの検出部２の少なくとも一部は、回転体ＳＦ２に取り付けられたスケールＳを検出する。例えば、図２に示した第１検出部１１は、スケールＳを検出し、検出信号Ｓ１ａを出力する、第２検出部１２と第３検出部１３との一方または双方は、回転体ＳＦ２に取り付けられたスケールＳを検出しなくてもよい。

　処理部３は、検出部２から出力される検出信号に基づいて、回転体ＳＦ２の第１の回転位置情報を算出する。例えば、処理部３は、第１検出部１１から出力される検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報を補正部５に出力する。補正部５は、処理部３が算出した回転位置情報を、記憶部４に記憶された誤差情報に基づいて補正する。そして、エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部の装置（例、制御部ＭＣ）に出力する。

　なお、図５のステップＳ３において、位置算出部１５は、第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（例、第２相対位置、φ２）を算出しなくてもよい。この場合、誤差算出部１６は、ステップＳ４において、誤差情報として第１誤差情報を算出し、ステップＳ６の処理およびステップＳ７の処理を実行しなくてもよい。

　なお、実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、校正装置１の少なくとも一部（例、位置算出部１５、誤差算出部１６）を備えてもよい。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦ１に取り付けられるスケールＳと、スケールＳに対して配置される第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３と、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を算出する位置算出部１５と、位置算出部１５が算出した相対位置、及び検出信号に基づいて、回転体ＳＦ１の回転位置情報に対する誤差情報を算出する誤差算出部１６と、を備えてもよい。

　なお、第３検出部１３は、第２検出部１２による検出処理の終了後に、スケールＳに対して配置されてもよい。例えば、第２検出部１２は、検出処理の終了後に角度位置が変更されて、第３検出部１３として配置されてもよい。位置算出部１５は、角度位置が変更された後の第２検出部１２から得られる検出信号を、第３検出部１３から得られる検出信号として用いて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を算出してもよい。実施形態に係る校正装置１は、検出部２における相対位置を算出するので、第２検出部１２の角度位置が変更される場合においても誤差情報を高精度に算出可能である。

　なお、位置算出部１５は、検出部２から得られる検出信号として、検出信号Ｓ１ａ、検出信号Ｓ２ａ、及び検出信号Ｓ３ａを用いて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を算出してもよい。

［第２実施形態］
　次に、第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図６は、第２実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。本実施形態において、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３の少なくとも１つは、検出部２から取り外し可能である。図６（Ａ）は、検出部２に第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３が設けられた状態である。図６（Ｂ）は、検出部２から第３検出部１３が取り外された状態である。

　図６（Ａ）の状態において、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３は、それぞれ、スケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。第２検出部１２は、検出信号Ｓ２ａを処理部３に出力する。第３検出部１３は、検出信号Ｓ３ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出部２から得られる検出信号として、検出信号Ｓ１ａに基づく回転位置情報Ｓ１ｂと、検出信号Ｓ２ａに基づく回転位置情報Ｓ２ｂと、検出信号Ｓ３ａに基づく回転位置情報Ｓ３ｂと、を校正装置１に出力する。

　校正装置１は、位置算出部１５、誤差算出部１６、及び記憶部１７を備える。校正装置１の位置算出部１５は、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、及び回転位置情報Ｓ３ｂに基づいて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、φ１）を算出する。位置算出部１５は、算出した第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を、記憶部１７に記憶させる。ここで、第３検出部１３は、図６（Ｂ）に示すように、位置算出部１５による相対位置の算出処理に用いられる検出結果を取得した後に、検出部２から取り外される。

　図６（Ｂ）の状態において、第１検出部１１および第２検出部１２は、それぞれ、スケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。第２検出部１２は、検出信号Ｓ２ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出部２から得られる検出信号として、検出信号Ｓ１ａに基づく回転位置情報Ｓ１ｂと、検出信号Ｓ２ａに基づく回転位置情報Ｓ２ｂと、を校正装置１に出力する。

　校正装置１の誤差算出部１６は、図６（Ａ）において位置算出部１５が算出した相対位置、並びに図６（Ｂ）において処理部３から出力された回転位置情報Ｓ１ｂおよび回転位置情報Ｓ２ｂに基づいて、誤差情報を算出する。誤差算出部１６は、図６（Ａ）において位置算出部１５が算出した相対位置を記憶部１７から読み出し、読み出した相対位置、並びに回転位置情報Ｓ１ｂおよび回転位置情報Ｓ２ｂに基づいて誤差情報を算出する。校正装置１は、誤差算出部１６が算出した誤差情報をエンコーダ装置ＥＣの記憶部４に記憶させる。

［第３実施形態］
　次に、第３実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図７は、第３実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。本実施形態において、検出部２（第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３）は、エンコーダ装置ＥＣと校正装置１とに分かれている。図７において、エンコーダ装置ＥＣは、第１検出部１１を備える。また、校正装置１は、第２検出部１２および第３検出部１３を備える。第２検出部１２および第３検出部１３は、検出部２から取り外し可能である。

　図７（Ａ）において、スケールＳは、回転体ＳＦ１（第１回転体）に取り付けられている。第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３は、それぞれ、スケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。第２検出部１２は、検出信号Ｓ２ａを処理部３に出力する。第３検出部１３は、検出信号Ｓ３ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出部２から得られる検出信号として、検出信号Ｓ１ａに基づく回転位置情報Ｓ１ｂと、検出信号Ｓ２ａに基づく回転位置情報Ｓ２ｂと、検出信号Ｓ３ａに基づく回転位置情報Ｓ３ｂと、を校正装置１に出力する。

　校正装置１の位置算出部１５は、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、及び回転位置情報Ｓ３ｂに基づいて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、φ１）を算出する。誤差算出部１６は、位置算出部１５が算出した相対位置、及び検出部２がスケールＳを検出して得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、回転位置情報Ｓ３ｂに基づいて、誤差情報を算出する。校正装置１は、誤差算出部１６が算出した誤差情報を、エンコーダ装置ＥＣの記憶部４に記憶させる。

　エンコーダ装置ＥＣは、記憶部４が誤差情報を記憶した後に、校正装置１から取り外される。校正装置１からエンコーダ装置ＥＣが取り外されることで、図７（Ｂ）に示すように、検出部２から第２検出部１２および第３検出部１３が取り外された状態になる。図７（Ｂ）において、スケールＳは、回転体ＳＦ２（第２回転体）に取り付けられている。回転体ＳＦ２は、図７（Ａ）の回転体ＳＦ１と同じでもよいし、回転体ＳＦ１と異なってもよい。

　第１検出部１１は、回転体ＳＦ２に取り付けられたスケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転体ＳＦ２の回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂを補正部５に出力する。補正部５は、記憶部４から誤差情報を読み出し、回転体ＳＦ２の回転位置情報Ｓ１ｂを誤差情報に基づいて補正する。エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部へ出力する。

［第４実施形態］
　次に、第４実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図８は、第４実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、第１検出部１１、処理部３、記憶部４、及び補正部５を備える。また、本実施形態において、校正装置１は、第２検出部１２、第３検出部１３、処理部１８、位置算出部１５、及び誤差算出部１６を備える。

　図８（Ａ）において、エンコーダ装置ＥＣの第１検出部１１は、スケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。エンコーダ装置ＥＣ（例、処理部３）は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂを校正装置１に出力する。

　また、校正装置１の第２検出部１２および第３検出部１３は、それぞれ、スケールＳを検出する。第２検出部１２および第３検出部１３は、それぞれ、第１検出部１１によるスケールＳの検出処理と並行して、スケールＳを検出する。第２検出部１２は、検出信号Ｓ２ａを処理部１８に出力する。処理部１８は、検出信号Ｓ２ａに基づいて、回転位置情報Ｓ２ｂを算出する。第３検出部１３は、検出信号Ｓ３ａを処理部１８に出力する。処理部１８は、検出信号Ｓ３ａに基づいて、回転位置情報Ｓ３ｂを算出する。処理部１８は、回転位置情報Ｓ２ｂおよび回転位置情報Ｓ３ｂを、位置算出部１５と誤差算出部１６とのそれぞれに出力する。

　位置算出部１５は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号として、エンコーダ装置ＥＣ（例、処理部３）から出力された回転位置情報Ｓ１ｂ、並びに校正装置１の処理部１８から出力された回転位置情報Ｓ２ｂおよび回転位置情報Ｓ３ｂを用いて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、φ１）を算出する。位置算出部１５は、第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（例、φ２）を算出してもよい。位置算出部１５は、算出した相対位置を誤差算出部１６に出力する。

　誤差算出部１６は、エンコーダ装置ＥＣ（例、処理部３）から出力された回転位置情報Ｓ１ｂ、処理部１８が算出した回転位置情報Ｓ２ｂ、及び位置算出部１５が算出した相対位置（例、φ１）に基づいて、第１誤差情報を算出する。誤差算出部１６は、回転位置情報Ｓ１ｂ、処理部１８が算出した回転位置情報Ｓ３ｂ、及び位置算出部１５が算出した相対位置（例、φ２）に基づいて、第２誤差情報を算出する。誤差算出部１６は、第１誤差情報および第２誤差情報に基づいて、誤差情報を算出する。なお、誤差算出部１６は、誤差情報として第１誤差情報を算出し、第２誤差情報を算出しなくてもよい。校正装置１は、誤差算出部１６が算出した誤差情報をエンコーダ装置ＥＣの記憶部４に記憶させる。

　エンコーダ装置ＥＣは、記憶部４が誤差情報を記憶した後に、図８（Ｂ）に示すように校正装置１から取り外される。図８（Ｂ）において、第１検出部１１は、回転体（第２回転体）ＳＦ２に取り付けられたスケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂを補正部５に出力する。補正部５は、記憶部４から誤差情報を読み出し、回転位置情報Ｓ１ｂを誤差情報に基づいて補正する。エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部へ出力する。

　本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、例えば、処理部３と第２検出部１２との接続、及び処理部３と第３検出部１３との接続を省くことができる。また、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、例えば、処理部３に対する検出信号Ｓ２ａの入力処理および検出信号Ｓ３ａの入力処理、並びに処理部３からの回転位置情報Ｓ２ｂの出力処理および回転位置情報Ｓ３ｂの出力処理を省略することができ、処理部３の処理が簡略化される。

［第５実施形態］
　第５実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図９は、第５実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。本実施形態において、校正装置１は、エンコーダ装置ＥＣの補正部５から出力される情報に基づいて、誤差情報を算出する。エンコーダ装置ＥＣは、記憶部４に記憶された誤差情報を、校正装置１が算出した誤差情報へ更新する。ここでは、図９（Ａ）において、記憶部４に初期の誤差情報が記憶されているとする。初期の誤差情報は、例えば、補正量が０である誤差情報である。

　図９（Ａ）において、エンコーダ装置ＥＣの第１検出部１１は、回転体ＳＦ１に取り付けられたスケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂを補正部５に出力する。補正部５は、記憶部４に記憶された誤差情報に基づいて回転位置情報Ｓ１ｂを補正する。補正部５は、補正後の回転位置情報を出力する。記憶部４に記憶された誤差情報による補正量が０に相当する場合、補正後の回転位置情報は、補正前の回転位置情報Ｓ１ｂと同じである。

　また、校正装置１の第２検出部１２および第３検出部１３は、それぞれ、回転体ＳＦ１に取り付けられたスケールＳを検出する。第２検出部１２は、検出信号Ｓ２ａを処理部１８に出力する。処理部１８は、検出信号Ｓ２ａに基づいて、回転位置情報Ｓ２ｂを算出する。第３検出部１３は、検出信号Ｓ３ａを処理部１８に出力する。処理部１８は、検出信号Ｓ３ａに基づいて、回転位置情報Ｓ３ｂを算出する。処理部１８は、回転位置情報Ｓ２ｂおよび回転位置情報Ｓ３ｂを、位置算出部１５と誤差算出部１６とのそれぞれに出力する。

　位置算出部１５は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号として、エンコーダ装置ＥＣ（例、補正部５）から出力された補正後の回転位置情報（例、回転位置情報Ｓ１ｂ）、並びに処理部１８から出力された回転位置情報Ｓ２ｂおよび回転位置情報Ｓ３ｂを用いて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置（例、φ１）を算出する。位置算出部１５は、第１検出部１１と第３検出部１３との相対位置（例、φ２）を算出してもよい。位置算出部１５は、算出した相対位置を誤差算出部１６に出力する。

　誤差算出部１６は、エンコーダ装置ＥＣ（例、処理部３）から出力された回転位置情報Ｓ１ｂ、処理部１８が算出した回転位置情報Ｓ２ｂ、及び位置算出部１５が算出した相対位置（例、φ１）に基づいて、第１誤差情報を算出する。誤差算出部１６は、回転位置情報Ｓ１ｂ、処理部１８が算出した回転位置情報Ｓ３ｂ、及び位置算出部１５が算出した相対位置（例、φ２）に基づいて、第２誤差情報を算出する。誤差算出部１６は、第１誤差情報および第２誤差情報に基づいて、誤差情報を算出する。なお、誤差算出部１６は、誤差情報として第１誤差情報を算出し、第２誤差情報を算出しなくてもよい。校正装置１は、誤差算出部１６が算出した誤差情報をエンコーダ装置ＥＣに出力する。エンコーダ装置ＥＣは、記憶部４に記憶される誤差情報を、誤差算出部１６が算出した誤差情報へ更新する。

　エンコーダ装置ＥＣは、誤差情報が更新された後に、図９（Ｂ）に示すように校正装置１から取り外される。図９（Ｂ）において、第１検出部１１は、スケールＳを検出する。第１検出部１１は、検出信号Ｓ１ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ１ａに基づいて、回転位置情報Ｓ１ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ１ｂを補正部５に出力する。補正部５は、更新された誤差情報を記憶部４から読み出し、回転位置情報Ｓ１ｂを誤差情報に基づいて補正する。エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部へ出力する。

　本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、補正部５の処理が図９（Ａ）と図９（Ｂ）とで同様になり、補正部５における信号の入力および出力に係る処理が簡略化される。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、図２に示した制御部ＭＣに対して補正後の回転位置情報を出力する出力系統（例、外部出力端子）を、校正装置１に対して回転位置情報Ｓ１ｂを出力する出力系統として用いることができ、エンコーダ装置ＥＣの構成が複雑になることを避けることができる。

　なお、図９（Ａ）における記憶部４は、校正装置１が前回の校正処理で算出した誤差情報を記憶していてもよい。エンコーダ装置ＥＣは、記憶部４に記憶される誤差情報を、校正装置１が今回の校正処理で算出した誤差情報へ更新してもよい。

［第６実施形態］
　第６実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１０は、第６実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。本実施形態において、第１検出部１１は、複数の検出部（検出部２１ａ、検出部２１ｂ）を含む。位置算出部１５および誤差算出部１６の一方または双方は、複数の検出部（検出部２１ａ、検出部２１ｂ）から得られる信号を平均化した信号を、第１検出部１１の検出信号として用いる。

　図１０（Ｂ）は、本実施形態に係るスケールおよび検出ヘッドを示す図である。エンコーダ装置ＥＣには、第１ヘッド６および第４ヘッド９が設けられる。検出部２１ａは、第１ヘッド６に設けられる。検出部２１ｂは、第４ヘッド９に設けられる。第４ヘッド９は、第１ヘッド６と同様の構成である。検出部２１ａおよび検出部２１ｂは、それぞれ、スケールＳのインクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳのそれぞれを検出する。

　ここで、第１検出部１１（図１０（Ａ）参照）が備える検出部（例、検出部２１ａ、検出部２１ｂ）の数をＳｋ（例、２）とする。回転軸ＡＸを中心とする第１ヘッド６の検出位置と第４ヘッド９の検出位置との角度Δθ（角度位置の差）は、例えば２π／Ｓｊ［ｒａｄ］に設定される。例えば、図１０（Ａ）においてＳｊは２であり、Δθはπ［ｒａｄ］（１８０°）に設定される。

　図１０（Ａ）の第１検出部１１は、信号処理部２２を含む。検出部２１ａおよび検出部２１ｂは、それぞれ、スケールＳを検出した検出結果に相当する検出信号を信号処理部２２へ出力する。信号処理部２２は、検出部２１ａからの検出信号と検出部２１ｂからの検出信号とを平均化する。信号処理部２２は、平均化した信号を第１検出部１１の検出信号Ｓ１ａとして出力する。検出信号Ｓ１ａから得られる回転位置情報をフーリエ級数で表す場合、奇数次の誤差が相殺される。そのため、本実施形態に係る誤差算出部１６は、検出信号Ｓ１ａから得られる回転位置情報をフーリエ級数で表した際の偶数次の成分について、誤差情報を算出する。

［第７実施形態］
　第７実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１１は、第７実施形態に係るエンコーダ装置および校正装置を示す図である。図１１（Ａ）には、校正処理におけるエンコーダ装置ＥＣおよび校正装置１を示した。本実施形態において、校正装置１は、検出部２及び記憶部２５を備える。検出部２は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３を含む。

　位置算出部１５は、第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のそれぞれから得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、回転位置情報Ｓ３ｂ）に基づいて、第１検出部１１と第２検出部１２との相対位置を算出する。誤差算出部１６は、位置算出部１５が算出した相対位置、及び検出部２から得られる検出信号（例、回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ）に基づいて、誤差情報を算出する。記憶部２５は、誤差算出部１６が算出した誤差情報を記憶する。校正装置１は、記憶部２５に記憶された誤差情報をエンコーダ装置ＥＣに出力する。エンコーダ装置ＥＣの記憶部４は、校正装置１から出力された誤差情報を記憶する。エンコーダ装置ＥＣは、記憶部４が誤差情報を記憶した後（例、校正処理の終了後）に、校正装置１から取り外される。

　図１１（Ｂ）には、校正処理後のエンコーダ装置ＥＣおよび校正装置１を示した。図１１（Ｂ）において、エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳ、記憶部４、補正部５、及び検出部２６を備える。スケールＳは、回転体ＳＦ２に取り付けられる。回転体ＳＦ２は、図１１（Ａ）の回転体ＳＦ１と同じでもよいし、回転体ＳＦ１と異なってもよい。

　検出部２６（第４検出部）は、スケールＳに対して配置される。検出部２６は、図１１（Ａ）に示した第１検出部１１、第２検出部１２、及び第３検出部１３のいずれとも異なる。検出部２６は、例えば、校正装置１から取り外されたエンコーダ装置ＥＣ（例、校正処理後のエンコーダ装置ＥＣ）に取り付けられる。検出部２６は、第１検出部１１の位置に基づいてスケールＳに対して配置される。検出部２６は、検出部２６とスケールＳとの相対位置が、第１検出部１１とスケールＳとの相対位置と同じになるように、位置決めされる。

　図１２は、第７実施形態に係るエンコーダ装置の検出部の配置方法の例を示す図である。図１２（Ａ）は、校正処理における校正装置１を示す図である。校正装置１は、第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８を備える。第１検出部１１は、第１ヘッド６に設けられる。第２検出部１２は、第２ヘッド７に設けられる。第３検出部１３は、第３ヘッド８に設けられる。第１ヘッド６は、アライメント部材２７によって位置決めされる。アライメント部材２７は、例えば、位置決めピンを含む。第１ヘッド６は、例えば、アライメント部材２７に接触するように配置されることで、スケールＳに対して位置決めされる。第１検出部１１は、第１ヘッド６が位置決めされることで、スケールＳに対して位置決めされる。

　図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）の校正装置１が取り外されたエンコーダ装置を示す図である。エンコーダ装置ＥＣは、検出ヘッド２８を備える。検出ヘッド２８は、図１２（Ａ）の第１ヘッド６と同様の構成である。検出ヘッド２８は、検出部２６および照射部２９を備える。照射部２９は、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳのそれぞれに光を照射する。検出部２６は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光およびアブソリュートパターンＡＢＳからの光をそれぞれ検出する。

　検出ヘッド２８は、図１２（Ａ）の第１ヘッド６と同様に、アライメント部材２７によって位置決めされる。検出ヘッド２８は、例えば、アライメント部材２７に接触するように配置されることで、スケールＳに対して位置決めされる。検出部２６は、検出ヘッド２８が位置決めされることで、スケールＳに対して位置決めされる。

　図１１（Ｂ）の説明に戻り、検出部２６は、回転体ＳＦ２に取り付けられたスケールＳを検出する。検出部２６は、検出信号Ｓ４ａを処理部３に出力する。処理部３は、検出信号Ｓ４ａに基づいて、回転体ＳＦ２の回転位置情報Ｓ４ｂを算出する。処理部３は、算出した回転位置情報Ｓ４ｂを補正部５に出力する。補正部５は、記憶部４に記憶された誤差情報に基づいて、検出部２６の検出結果から得られる回転体ＳＦ２の回転位置情報Ｓ４ｂを補正する。エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部に出力する。

［第８実施形態］
　第８実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１３は、第８実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳ、検出部２６、照射部２９、処理部３、記憶部４、補正部５、及びエンコーダ本体部５１を備える。

　エンコーダ本体部５１は、エンコーダ装置ＥＣが搭載される駆動装置ＭＴＲの本体部ＢＤに固定される。本体部ＢＤ（駆動部）は、駆動装置ＭＴＲの可動子（例、電気子）と固定子（例、永久磁石）を収容する。駆動装置ＭＴＲの可動子は、固定子に対して移動（例、回転）する。回転体ＳＦ２は、駆動装置ＭＴＲの可動子と接続され、可動子とともに移動（例、回転）する。

　エンコーダ本体部５１は、第１支持部５２（第１支持部材）および第２支持部５３（第２支持部材）を含む。第１支持部５２は、駆動装置ＭＴＲにおける固定子側の部材（例、本体部ＢＤ）と固定される。第１支持部５２は、例えばモールドあるいはスペーサを含む。第１支持部５２は、例えば、中空の部材（例、円筒状の部材）である。第１支持部５２は、その内部にスケールＳを収容する。スケールＳは、例えばフランジ状の部材であり、ベアリング５４を介して第１支持部５２に支持される。スケールＳは、第１支持部５２に対して回転可能に支持される。

　第２支持部５３は、第１支持部５２に対して駆動装置ＭＴＲと反対側（＋Ｚ側）に配置される。第２支持部５３は、第１支持部５２に固定されている。第２支持部５３は、例えば、円筒状の第１支持部５２の片方の開口を塞ぐように設けられる。スケールＳは、駆動装置ＭＴＲの本体部ＢＤ、第１支持部５２、及び第２支持部５３に囲まれる空間に配置（収容）される。

　第２支持部５３は、処理基板（例、プリント基板）を含む。第２支持部５３には、例えば、処理回路、配線、端子等が形成される。第２支持部５３には、例えば、処理回路を含む電子部品が実装される。検出ヘッド２８（検出部２６、照射部２９）は、第２支持部５３においてスケールＳと対向する面に支持される。図１１（Ｂ）に示した処理部３、記憶部４、及び補正部５は、それぞれ、第２支持部５３に実装される。

　エンコーダ装置ＥＣは、例えば、スケールＳとエンコーダ本体部５１とが組立られることで、製造される。スケールＳは、例えば、ベアリング５４を介してエンコーダ本体部５１（例、第１支持部５２）に支持されることで、回転軸ＡＸに垂直な方向（Ｘ方向、Ｙ方向）において検出部２６と位置決めされる。

［第９実施形態］
　第９実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１４は、第９実施形態に係る校正装置を示す図である。この校正装置１（例、校正システム、製造装置）は、駆動装置６１、移動装置６２、検出装置６３、アライメント装置６４、及び処理装置６５を備える。

　図１４（Ａ）の状態において、駆動装置６１および検出装置６３は、測定エリアＡＲａに配置される。駆動装置６１は、回転体ＳＦ１および駆動部６６を備える。エンコーダ装置ＥＣのスケールＳは、回転体ＳＦ１に取り付けられる。駆動部６６は、例えば電動モータを含み、回転体ＳＦ１を回転させる。検出装置６３は、図１２（Ａ）に示した第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８を備える。検出装置６３は、回転体ＳＦ１に取り付けられたスケールＳと対向する位置に配置される。検出装置６３は、スケールＳを検出し、検出信号Ｓ１ａ、検出信号Ｓ２ａ、及び検出信号Ｓ３ａを処理装置６５へ出力する。

　処理装置６５は、位置算出部１５、誤差算出部１６、処理部１８、記憶部２５、及び制御部６７を備える。位置算出部１５、誤差算出部１６、処理部１８、及び記憶部２５は、それぞれ、図１１（Ａ）と同様である。処理部１８は、検出装置６３から出力された検出信号Ｓ１ａ、検出信号Ｓ２ａ、及び検出信号Ｓ３ａのそれぞれについて、回転位置情報（例、図１１（Ａ）の回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、回転位置情報Ｓ３ｂ）を算出する。

　位置算出部１５は、検出装置６３（検出部）から得られる検出信号に基づいて、第１検出部１１（図１２（Ａ）参照）と第２検出部１２（図１２（Ａ）参照）との相対位置を算出する。位置算出部１５は、検出装置６３（検出部）から得られる検出信号として、処理部１８が算出した回転位置情報を用いる。誤差算出部１６は、検出装置６３（検出部２、検出系）から得られる検出信号、及び位置算出部１５が算出した相対位置に基づいて、誤差情報を算出する。誤差算出部１６は、検出装置６３（検出部）から得られる検出信号として、処理部１８が算出した回転位置情報を用いる。誤差算出部１６は、算出した誤差情報を記憶部２５に記憶させる。

　移動装置６２は、駆動装置６１を測定エリアＡＲａと組立エリアＡＲｂとの間で移動させる。移動装置６２は、検出装置６３によるスケールＳの検出処理が終了した後に、図１４（Ｂ）に示すように、スケールＳが取り付けられた駆動装置６１を測定エリアＡＲａから組立エリアＡＲｂに移動させる。アライメント装置６４は、組立エリアＡＲｂに配置される。アライメント装置６４は、保持部６８および移動部６９を備える。保持部６８は、エンコーダ本体部５１（図１３参照）を保持する。

　エンコーダ本体部５１は、図１１（Ｂ）と同様であり、処理部３、記憶部４、補正部５、及び検出部２６を支持する。保持部６８は、エンコーダ本体部５１を、駆動装置６１の回転体ＳＦ１に取り付けられたスケールＳと対向する位置に保持する。移動部６９は、エンコーダ本体部５１を保持した保持部６８と、回転体ＳＦ１に取り付けられたスケールＳとを接近させ、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳとエンコーダ本体部５１とを位置決めする。例えば、スケールＳは、エンコーダ本体部５１の下方に配置され、移動部６９は、エンコーダ本体部５１を保持した保持部６８を下降させる。

　スケールＳとエンコーダ本体部５１とは、組立エリアＡＲｂにおいて組立られる。スケールＳは、エンコーダ本体部５１と位置決めされた状態で、例えば、図１３に示したベアリング５４を介してエンコーダ本体部５１に取り付けられる。アライメント装置６４は、スケールＳとエンコーダ本体部５１との組立処理の少なくとも一部を実行してもよい。スケールＳがエンコーダ本体部５１に取り付けられることで、エンコーダ装置ＥＣが組み立てられる（製造される）。

　図１４（Ｃ）に示すように、処理装置６５は、コンタクトプローブ７０（例、外部接続端子）を介して、エンコーダ本体部５１と通信可能に接続される。処理装置６５は、記憶部２５に記憶された誤差情報を、コンタクトプローブ７０を介してエンコーダ本体部５１に出力する。図１１（Ｂ）に示した記憶部４は、コンタクトプローブ７０を介して誤差情報を取得し、誤差情報を記憶する。

　処理装置６５の制御部６７は、校正装置１の各部を制御する。制御部６７は、図１４（Ａ）の状態において駆動装置６１を制御し、スケールＳが取り付けられた回転体ＳＦ１を回転させる。また、制御部６７は、検出装置６３を制御し、回転体ＳＦ１とともに回転するスケールＳに対する検出処理を実行させる。制御部６７は、検出装置６３から、検出信号Ｓ１ａ、検出信号Ｓ２ａ、及び検出信号Ｓ３ａをそれぞれ出力させる。制御部６７は、位置算出部１５に相対位置の算出処理を実行させる。また、制御部６７は、誤差算出部１６に誤差情報の算出処理を実行させる。

　制御部６７は、移動装置６２を制御し、検出装置６３による検出処理の終了後に駆動装置６１を組立エリアＡＲｂに移動させる。制御部６７は、アライメント装置６４を制御し、例えば組立エリアＡＲｂにおいてエンコーダ装置ＥＣを組み立てさせる。制御部６７は、記憶部２５に記憶されている誤差情報を、エンコーダ装置ＥＣの記憶部４（図１１（Ｂ）参照）に記憶させる。なお、制御部６７は、処理装置６５と別の装置（例、制御装置）に設けられてもよい。また、制御部６７は、上述の制御の少なくとも一部を実行しなくてもよい。例えば、上述の制御の少なくとも一部は、オペレータによって実行されてもよい。

［第１０実施形態］
　第１０実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１５は、第１０実施形態に係る校正装置を示す図である。校正装置１は、駆動装置６１、回転体ＳＦ１、エンコーダ装置ＥＣ２、及び処理装置６５を備える。校正装置１は、エンコーダ装置ＥＣ２に対して校正処理を実行する。校正装置１は、校正されたエンコーダ装置ＥＣ２が検出する回転体ＳＦ１の回転位置情報と、校正対象のエンコーダ装置ＥＣが検出する回転体ＳＦ１の回転位置情報とに基づいて、エンコーダ装置ＥＣに対する誤差情報を生成する。

　校正装置１の回転体ＳＦ１は、動力伝達部材７５を介して、駆動装置６１と接続されている。動力伝達部材７５は、例えばベルトなどであり、回転体ＳＦ１と駆動装置６１の回転体ＳＦ３とに掛け渡されている。駆動装置６１は、回転体ＳＦ３を回転させることで、動力伝達部材７５を介して駆動力（回転力）を回転体ＳＦ１に供給し、回転体ＳＦ１を回転させる。

　校正対象のエンコーダ装置ＥＣは、図１１（Ｂ）と同様の構成である。エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳおよびエンコーダ本体部５１を備える。スケールＳは、回転体ＳＦ１に取り付けられる。例えば、スケールＳは、回転体ＳＦ１の端部に取り付けられる。エンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦ１に取り付けられたスケールＳを検出して得られる検出信号を処理装置６５に出力する。

　エンコーダ装置ＥＣ２は、校正対象のエンコーダ装置ＥＣと別に設けられる。エンコーダ装置ＥＣ２は、スケールＳＢおよびエンコーダ本体部７６を備える。スケールＳＢは、校正対象のエンコーダ装置ＥＣのスケールＳと同じ回転体ＳＦ１に取り付けられる。例えば、スケールＳＢは、回転体ＳＦ１において、スケールＳと反対側の端部に取り付けられる。回転体ＳＦ１が回転した際に、スケールＳＢが回転する角度は、スケールＳが回転する角度と同じである。

　エンコーダ本体部７６には、図１２に示した第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８が設けられる。エンコーダ本体部７６は、図１２に示した第１ヘッド６、第２ヘッド７、及び第３ヘッド８がスケールＳＢを検出して得られる検出信号を出力する。エンコーダ本体部７６は、スケールＳＢを検出して得られる検出信号として、例えば図１１（Ａ）に示した回転位置情報Ｓ１ｂ、回転位置情報Ｓ２ｂ、及び回転位置情報Ｓ３ｂを処理装置６５に出力する。

　処理装置６５は、位置算出部１５、誤差算出部１６、記憶部２５、制御部６７、及び比較部７７を備える。位置算出部１５は、エンコーダ装置ＥＣ２から出力された検出信号に基づいて、図１２に示した第１ヘッド６と第２ヘッド７との相対位置を算出する。誤差算出部１６は、位置算出部１５が算出した相対位置に基づいて、エンコーダ装置ＥＣに対する誤差情報を算出する。処理装置６５は、誤差算出部１６が算出した誤差情報を、エンコーダ本体部７６に出力する。エンコーダ装置ＥＣ２は、誤差情報に基づいて、回転位置情報を補正する。エンコーダ装置ＥＣ２は、補正後の回転位置情報を処理装置６５に出力可能である。

　比較部７７は、エンコーダ装置ＥＣから出力される回転位置情報と、エンコーダ装置ＥＣ２から出力される補正後の回転位置情報とを比較する。比較部７７は、例えば、エンコーダ装置ＥＣから出力される回転位置情報を読取値とし、エンコーダ装置ＥＣ２から出力される補正後の回転位置情報を校正値として、エンコーダ装置ＥＣに対する誤差情報を算出（生成）する。例えば、比較部７７は、エンコーダ装置ＥＣから出力される回転位置情報（読取値）と、エンコーダ装置ＥＣ２から出力される補正後の回転位置情報（校正値）とを一組にした情報を、エンコーダ装置ＥＣに対する誤差情報として生成する。記憶部２５は、エンコーダ装置ＥＣに対する誤差情報を記憶する。

　処理装置６５は、比較部７７が算出した誤差情報をエンコーダ装置ＥＣに出力する。エンコーダ装置ＥＣは、処理装置６５から出力された誤差情報を記憶部４（図１１（Ｂ）参照）に記憶させる。エンコーダ装置ＥＣの補正部５（図１１（Ｂ）参照）は、記憶部４に記憶された誤差情報に基づいて、検出部２６の検出結果から得られる回転位置情報を補正する。エンコーダ装置ＥＣは、補正後の回転位置情報を外部の装置へ出力する。

［駆動装置］
　次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図１６は、実施形態に係る駆動装置を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転体ＳＦと、本体部ＢＤと、エンコーダ装置ＥＣとを備える。回転体ＳＦは、例えば、図１に示した回転体ＳＦ１あるいは図２に示した回転体ＳＦ２である。

　回転体ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有している。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、固定部を介してスケールＳが固定される。本体部ＢＤは、回転体ＳＦを回転駆動する。エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳの固定とともに、本体部ＢＤに取り付けられる。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態あるいはその組み合わせに係るエンコーダ装置である。

　駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣが補正後の回転位置情報を出力するので、回転体ＳＦの回転を高精度に制御することができる。なお、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。

［ステージ装置］
　次に、実施形態に係るステージ装置について説明する。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図１７は、実施形態に係るステージ装置を示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図１７に示した駆動装置ＭＴＲの回転体ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、ステージ（回転テーブルＴＢ、移動物体）を取り付けた構成である。

　ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転体ＳＦを回転させる。この回転は、回転テーブルＴＢに伝達され、エンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦの回転位置情報を検出する。ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いて回転テーブルＴＢの位置が制御される。ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣが補正後の回転位置情報を出力するので、回転テーブルＴＢの位置を高精度に制御することができる。

　なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。また、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。また、ステージ装置ＳＴＧは、回転体ＳＦの回転運動を直線運動に変換して、ステージを移動させる装置（例、Ｘステージ、ＸＹステージ、ＸＹＺステージ）でもよい。

［ロボット装置］
　次に、実施形態に係るロボット装置について説明する。図１８は、実施形態に係るロボット装置を示す図である。図１８には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略装置または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。

　第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転体ＳＦＲと一体的に設けられている。回転体ＳＦＲは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転体ＳＦＲのうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。

　減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されている。減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲの回転を、所定の変速比で減速して回転体ＳＦＲに伝達する。駆動装置ＭＴＲの回転体の負荷側端部は、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転体の反負荷側端部には、エンコーダ装置ＥＣのスケールが取り付けられている。

　ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転体を回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転体ＳＦＲに伝達される。回転体ＳＦＲの回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、第２アームＡＲ２が第１アームＡＲ１に対して回転する。その際に、エンコーダ装置ＥＣは、駆動装置ＭＴＲの回転体の回転位置情報を検出する。ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣから出力される回転位置情報を用いて、第２アームＡＲ２の位置を制御する。ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣが補正後の回転位置情報を出力するので、第２アームＡＲ２の位置が高精度に制御される。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、関節を備える各種ロボット装置に適用できる。

　上述の実施形態において、校正装置１は、例えばコンピュータシステムを含む。校正装置１は、記憶装置（例、図１４（Ａ）の記憶部２５）に記憶されている校正プログラムを読み出し、この校正プログラムに従って各種の処理を実行する。この校正プログラムは、コンピュータに、回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、第１検出部と第２検出部との相対位置を算出することと、算出された相対位置、及び検出信号に基づいて、回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出することと、を実行させる。この校正プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体（例、非一時的な記録媒体、non-transitory tangible media）に記録されて提供されてもよい。

　なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

１・・・校正装置、２・・・検出部、４・・・記憶部、５・・・補正部、Ｓ・・・スケール、１１・・・第１検出部、１２・・・第２検出部、１３・・・第３検出部、１５・・・位置算出部、１６・・・誤差算出部、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＥＣ２・・・エンコーダ装置、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置、ＳＦ１・・・回転体、ＳＦ２・・・回転体、ＳＴＧ・・・ステージ装置

Claims

　回転軸に取り付けられるスケールと、
　前記スケールを検出して第１検出信号を出力する第１検出部と、
　前記第１検出信号と前記第１検出部とは異なる２つの検出部が前記スケールを検出して出力する第２検出信号及び第３検出信号とに基づいて算出した前記第１検出部と前記２つの検出部の少なくとも１つとの相対位置を用いて算出された誤差情報を記憶する記憶部と、
　前記誤差情報を用いて、前記第１検出信号から得られる前記回転軸の回転位置情報を補正する補正部と
　を備えるエンコーダ装置。
　前記第１検出信号に基づいて前記回転位置情報を算出する処理部を備える請求項１に記載のエンコーダ装置。
　前記回転軸の回転軸方向視において、前記回転軸を中心にして前記第１検出部と前記２つの検出部のうちの１つとがなす角を前記相対位置として算出する位置算出部を備える請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出信号と前記第２検出信号との差、及び前記第１検出信号と前記第３検出信号との差に基づいて、前記相対位置を算出する、請求項３に記載のエンコーダ装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出信号と前記第２検出信号との差の振幅および位相、並びに前記第１検出信号と前記第３検出信号との差の振幅および位相に基づいて、前記相対位置を算出する、請求項３又は請求項４に記載のエンコーダ装置。
　回転軸の回転位置情報を算出するエンコーダ装置であって、
　前記回転軸に取り付けられるスケールと、
　基板に固定され、前記スケールを検出して第１検出信号を出力する被校正用検出部と、
　前記第１検出信号をもとに前記回転位置情報を算出する処理部と、
　記憶部に記憶された誤差情報を用いて前記回転位置情報を補正する補正部と、を備え、
　前記誤差情報を算出する場合に２つの校正用検出部が前記基板に取り付けられ、前記誤差情報は、前記第１検出信号と前記２つの校正用検出部が前記スケールを検出して出力する第２検出信号及び第３検出信号とを用いて算出された、前記被校正用検出部と少なくとも１つの前記校正用検出部との相対位置に基づいて算出される、
　エンコーダ装置。
　前記回転位置情報を算出する場合に前記２つの校正用検出部が前記基板から取り外された状態において、前記処理部は前記第１検出信号を用いて前記回転位置情報を算出する、請求項６に記載のエンコーダ装置。
　前記回転軸の回転軸方向視において、前記回転軸を中心にして前記被校正用検出部と前記２つの校正用検出部のうちの１つとがなす角を前記相対位置として算出する位置算出部を備える請求項６又は請求項７に記載のエンコーダ装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出信号と前記第２検出信号との差、及び前記第１検出信号と前記第３検出信号との差に基づいて、前記相対位置を算出する、請求項８に記載のエンコーダ装置。
　回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、前記第１検出部と前記第２検出部との相対位置を算出する位置算出部と、
　前記位置算出部が算出した前記相対位置、及び前記検出信号に基づいて、前記回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出する誤差算出部と、を備える校正装置。
　前記位置算出部は、前記回転体の回転軸方向視において、前記回転体の回転軸を中心にして前記第１検出部と前記第２検出部とがなす角を前記相対位置として算出する、請求項１０に記載の校正装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出部から得られる第１検出信号と前記第２検出部から得られる第２検出信号との差、及び前記第１検出信号と前記第３検出部から得られる第３検出信号との差に基づいて、前記相対位置を算出する、請求項１０または請求項１１に記載の校正装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出信号と前記第２検出信号との差の振幅および位相、並びに前記第１検出信号と前記第３検出信号との差の振幅および位相に基づいて、前記相対位置を算出する、請求項１２に記載の校正装置。
　前記誤差算出部は、前記位置算出部が算出した前記相対位置を用いて、前記誤差情報として、前記第１検出部から得られる第１検出信号に対する第１誤差情報を算出する、請求項１０から請求項１３のいずれか一項に記載の校正装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出部と前記第３検出部との第２の相対位置を算出し、
　前記誤差算出部は、前記位置算出部が算出した前記第２の相対位置を用いて、前記誤差情報として、前記第１検出部から得られる第１検出信号に対する第２誤差情報を算出する、請求項１４に記載の校正装置。
　前記位置算出部は、前記第１検出部から得られる第１検出信号と前記第２検出部から得られる第２検出信号との差、及び前記第１検出信号と前記第３検出部から得られる第３検出信号との差に基づいて、前記第２の相対位置を算出する、請求項１５に記載の校正装置。
　前記誤差算出部は、前記第１誤差情報と前記第２誤差情報とに基づいて、前記誤差情報を算出する、請求項１５または請求項１６に記載の校正装置。
　前記誤差算出部は、前記第１誤差情報と前記第２誤差情報との平均によって、前記誤差情報を算出する、請求項１７に記載の校正装置。
　前記誤差算出部は、前記第１検出部から得られる第１検出信号と前記第２検出部から得られる第２検出信号との差の振幅、及び前記第１検出信号と前記第３検出部から得られる第３検出信号との差の振幅に基づいて、前記誤差情報を算出する、請求項１０から請求項１８のいずれか一項に記載の校正装置。
　前記誤差算出部は、前記誤差情報として、前記回転体の回転位置情報に対する補正量を算出する、請求項１０から請求項１９のいずれか一項に記載の請求項校正装置。
　前記第１検出部は、複数の検出部を含み、
　前記位置算出部および前記誤差算出部の一方または双方は、前記複数の検出部から得られる信号を平均化した信号を、前記第１検出部の検出信号として用いる、請求項１０から請求項２０のいずれか一項に記載の校正装置。
　前記誤差算出部は、２以上の整数をｉとして、前記第１検出部の検出結果を表すフーリエ級数のｉ次成分の誤差を算出し、
　前記回転体の回転方向における前記第１検出部と前記第２検出部との角度と、前記回転体の回転方向における前記第１検出部と前記第３検出部との角度との一方または双方は、２以上の整数をｊとして、２π／ｊ×ｉ［ｒａｄ］以外の角度に設定される、請求項１０から請求項２１のいずれか一項に記載の校正装置。
　前記第１検出部、前記第２検出部、及び前記第３検出部を含む検出部を備え、
　前記第１検出部、前記第２検出部、及び前記第３検出部の少なくとも１つは、前記検出部から取り外し可能である、請求項１０から請求項２２のいずれか一項に記載の校正装置。
　請求項１から請求項２３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
　前記回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
　請求項２４に記載の駆動装置と、
　前記駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置。
　請求項２４に記載の駆動装置と、
　前記駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置。
　回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、前記第１検出部と前記第２検出部との相対位置を算出することと、
　前記算出された前記相対位置、及び前記検出信号に基づいて、前記回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出することと、
　前記誤差情報をエンコーダ装置の記憶部に記憶させることと、を含むエンコーダ装置の製造方法。
　前記相対位置は、前記回転体の回転軸方向視において前記第１検出部と前記第２検出部とがなす角である角度位置を含む、請求項２７に記載のエンコーダ装置の製造方法。
　前記誤差情報が算出された後に、前記第１検出部、前記第２検出部、及び前記第３検出部のうち少なくとも１つの検出部を前記エンコーダ装置から取り外すことを含む、請求項２７又は請求項２８に記載のエンコーダ装置の製造方法。
　前記誤差情報が算出された後に、前記第１検出部、前記第２検出部、及び前記第３検出部を前記エンコーダ装置から取り外し、前記スケールに対して被校正用検出部を前記エンコーダ装置に取り付けることを含む、請求項２７から請求項２９のいずれか一項に記載のエンコーダ装置の製造方法。
　前記第１検出部と前記第３検出部との第２の相対位置を算出し、前記第２の相対位置を用いて前記誤差情報として第２誤差情報を算出する、請求項２７から請求項３０のいずれか一項に記載のエンコーダ装置の製造方法。
　コンピュータに、
　回転体に取り付けられるスケールに対して配置される第１検出部、第２検出部、及び第３検出部のそれぞれから得られる検出信号に基づいて、前記第１検出部と前記第２検出部との相対位置を算出することと、
　前記算出された前記相対位置、及び前記検出信号に基づいて、前記回転体の回転位置情報に対する誤差情報を算出することと、を実行させる校正プログラム。