WO2019021577A1 - 平面モータ - Google Patents

平面モータ Download PDF

Info

Publication number
WO2019021577A1
WO2019021577A1 PCT/JP2018/018562 JP2018018562W WO2019021577A1 WO 2019021577 A1 WO2019021577 A1 WO 2019021577A1 JP 2018018562 W JP2018018562 W JP 2018018562W WO 2019021577 A1 WO2019021577 A1 WO 2019021577A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
mover
coils
control circuit
coil
switching elements
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/018562
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
稔博 秋山
沙季 青木
哲夫 石田
Original Assignee
パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by パナソニックＩｐマネジメント株式会社 filed Critical パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority to JP2019532387A priority Critical patent/JP6846722B2/ja
Publication of WO2019021577A1 publication Critical patent/WO2019021577A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
    • H02P25/06—Linear motors
    • H02P25/064—Linear motors of the synchronous type

Definitions

  • the present invention relates to a planar motor that moves a mover two-dimensionally along a plane.
  • Patent Document 1 discloses a direct current surface motor capable of obtaining thrust in all directions 360 degrees with one unit.
  • the present invention provides a planar motor capable of simplifying the control circuit.
  • a planar motor includes a movable element having a permanent magnet or an electromagnet, a principal surface facing the movable element, and a plurality of coils arranged in a matrix along the principal surface. And a control circuit having a plurality of switching elements for turning on and off power supply to the plurality of coils.
  • a planar motor is realized in which the control circuit can be simplified.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a flat motor according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the flat motor according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of arrangement of the S pole and the N pole of the permanent magnet of the mover along the main surface of the stator.
  • FIG. 4 is a plan view showing an example of the arrangement of permanent magnets when the mover has two permanent magnets.
  • FIG. 5 is a plan view showing the surface of the circuit board.
  • FIG. 6 is a plan view showing the back surface of the circuit board.
  • FIG. 7 is a plan view showing another example of the surface of the circuit board.
  • FIG. 8 is a plan view showing another example of the back surface of the circuit board.
  • FIG. 9 is a view showing an example in which the mover is moved by a suction force.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example in which the mover is moved by the repulsive force.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example in which the mover is moved by suction and repulsion.
  • FIG. 12 is a plan view of a substrate including a magnetic body.
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of a substrate including a magnetic body.
  • FIG. 14 is a plan view of a circuit board having a pattern coil in which a magnetic body is disposed at the center.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of a pattern coil in which a magnetic body is disposed at the center.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of a flat motor according to a second embodiment.
  • FIG. 17 is a perspective view showing a configuration of a flat motor according to a modification of the second embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram showing a specific configuration of a first control circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 19 is a diagram for explaining the operation of the first control circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 20 is a diagram showing a specific configuration of the second control circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 21 is a diagram for explaining the operation of the second control circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 22 is a diagram showing a specific configuration of a third control circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 23 is a diagram schematically showing the amount of current flowing through each wire in the position detection operation using the third control circuit according to the third embodiment.
  • the Z-axis direction in the coordinate axes is, for example, the vertical direction, the Z-axis + side is expressed as upper side (upper), and the Z-axis-side is expressed as lower side (lower).
  • the Z-axis direction is, in other words, a direction perpendicular to the main surface of the stator.
  • the X-axis direction and the Y-axis direction are directions orthogonal to each other on a plane (horizontal plane) perpendicular to the Z-axis direction.
  • the XY plane is a plane parallel to the main surface of the stator.
  • “plan view” means viewing from the Z-axis direction.
  • the N pole of the permanent magnet or electromagnet is described as "N”
  • the S pole of the permanent magnet or electromagnet is described as "S”.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a flat motor according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the flat motor according to the first embodiment.
  • the planar motor 10 includes a mover 20, a stator 30, and a control circuit 40.
  • the planar motor 10 is a linear motor (electromagnetic actuator) that moves the mover 20 two-dimensionally along the main surface 31 a of the stator 30.
  • the mover 20 is a moving object in the planar motor 10.
  • the mover 20 has a permanent magnet 21.
  • the permanent magnet 21 is, for example, a ferrite magnet, but may be an alnico magnet, a neodymium magnet, or the like, and the magnetic material forming the permanent magnet 21 is not particularly limited.
  • the permanent magnet 21 is arranged such that the arrangement direction of the S pole and the N pole intersects the main surface 31 a and the N pole is positioned closer to the main surface 31 a than the S pole.
  • the permanent magnet 21 may be arranged such that the south pole is closer to the main surface 31 a than the north pole.
  • the permanent magnet 21 may be disposed so that the arrangement direction of the S pole and the N pole of the permanent magnet 21 intersects the major surface 31 a.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an arrangement example in which the arrangement direction of the S pole and the N pole of the permanent magnet 21 of the mover 20 is along the main surface 31 a.
  • the mover 20 only needs to have at least one permanent magnet 21, and the number of permanent magnets 21 included in the mover 20 is not particularly limited.
  • each of the two permanent magnets 21 is arranged such that the arrangement direction of the S pole and the N pole is along the main surface 31a, as shown in FIG. Be placed.
  • FIG. 4 is a plan view showing an example of the arrangement of permanent magnets when the mover 20 has two permanent magnets 21.
  • the stator 30 is a structure for moving the mover 20, and is fixed to a building or the like.
  • the stator 30 has a cover member 31 and a circuit board 32.
  • the cover member 31 is a plate-like or sheet-like member that covers the circuit board 32.
  • the plan view shape of the cover member 31 is a rectangle, but may be another shape such as a circle.
  • the upper surface of the cover member 31 is the main surface 31 a of the stator 30.
  • the main surface 31 a faces the mover 20.
  • the main surface 31 a is formed of a material having a low magnetic permeability in order to suppress adsorption of the mover 20 (permanent magnet 21) to the stator 30.
  • the cover member 31 is formed of a nonmetallic material (a material having an insulating property) such as a resin material.
  • the circuit board 32 is a thin film (sheet) substrate on which a plurality of thin film pattern coils 33 are formed.
  • the plan view shape of the circuit board 32 is rectangular, but may be another shape such as a circle.
  • the base material of the circuit board 32 is formed of, for example, a resin material such as glass epoxy.
  • the thickness of the circuit board 32 is, for example, about 170 ⁇ m to 200 ⁇ m.
  • FIG. 5 is a plan view showing the surface of the circuit board 32. As shown in FIG. 5 is a schematic view, and the number of the plurality of pattern coils 33 shown in FIG. 5 is an example.
  • a plurality of pattern coils 33 are arranged in a matrix.
  • Each of the plurality of pattern coils 33 is a rectangular wound wiring in which the winding axis is in the direction perpendicular to the major surface 31 a, but may be another winding such as a circular winding.
  • the winding directions of the plurality of pattern coils 33 are the same but may be different.
  • FIG. 6 is a plan view showing the back surface of the circuit board 32. As shown in FIG. The other end located on the outer peripheral side of the pattern coil 33 is electrically connected to the control circuit 40.
  • the pattern coil 33, the conductive via structure 35, and the wiring 36 are formed of, for example, a metal material such as copper.
  • the pattern coil 33 and the wiring 36 are formed, for example, by etching.
  • the control circuit 40 is a circuit that controls the driving of the plurality of pattern coils 33. As schematically shown in FIG. 5, the control circuit 40 has a control unit 41. Although the control circuit 40 (the control unit 41) is illustrated to control the drive of one pattern coil 33 in FIG. 5, the control circuit 40 (the control unit 41) actually controls the drive of the plurality of pattern coils 33.
  • the control unit 41 may, for example, (a) supply no power, (b) supply a DC voltage of a first polarity (for example, positive polarity) to each of the plurality of pattern coils 33; And (d) supplying a DC voltage of a second polarity (eg, negative polarity) opposite to the first polarity.
  • the pattern coil 33 to which the DC voltage of the first polarity is supplied functions as an electromagnet of the S pole on the main surface 31a side, for example, and the pattern coil 33 to which the DC voltage of the second polarity is supplied is, for example, the main surface The 31a side functions as an N pole electromagnet.
  • control circuit 40 (the control unit 41) can supply a DC voltage to each of the plurality of pattern coils 33, and can switch the polarity of the DC voltage. It is not essential to switch the polarity of the DC voltage, as long as the control circuit 40 can turn on and off at least the supply of the DC voltage.
  • control unit 41 is realized by at least one or more of a processor, a microcomputer, and a circuit.
  • the control circuit 40 is disposed below the circuit board 32 in FIG. 2, the control circuit 40 may be disposed to the side of the circuit board 32.
  • control circuit 40 controls each of the plurality of pattern coils 33 individually, but even if the plurality of pattern coils 33 are controlled for each group Good.
  • FIG. 7 is a plan view showing another example of the front surface of the circuit board 32
  • FIG. 8 is a plan view showing another example of the back surface of the circuit board 32.
  • the control circuit 40 collectively controls a group of four pattern coils 33.
  • the mover 20 can be finely moved by laying small pattern coils 33 in a matrix. At this time, when the magnetic force of one pattern coil 33 is weak, the magnetic force can be increased while realizing fine movement of the mover 20 by controlling the plurality of pattern coils 33 as one group.
  • FIG. 9 is a view showing an example in which the mover 20 is moved by a suction force.
  • the control circuit 40 controls the mover 20 among the plurality of pattern coils 33.
  • the direct current voltage of the first polarity is supplied to the pattern coil 33 located on the X axis + direction side of
  • the pattern coil 33 to which the DC voltage of the first polarity is supplied functions as an S-pole electromagnet on the main surface 31 a side, and a suction force is generated between the pattern coil 33 and the permanent magnet 21.
  • the mover 20 moves in the X axis + direction by such a suction force.
  • control circuit 40 may move the mover 20 by the repulsive force generated between the permanent magnet 21 and the pattern coil 33.
  • FIG. 10 is a view showing an example in which the mover 20 is moved by the repulsive force.
  • the control circuit 40 controls the mover 20 of the plurality of pattern coils 33.
  • the direct current voltage of the second polarity is supplied to the pattern coil 33 located on the X axis ⁇ direction side of
  • the pattern coil 33 to which the direct current voltage of the second polarity is supplied functions as an electromagnet of N pole on the main surface 31 a side, and a repulsive force is generated between the pattern coil 33 and the permanent magnet 21.
  • the mover 20 moves in the X axis + direction by such a repulsive force.
  • control circuit 40 may move the mover 20 by the attractive force generated between the permanent magnet 21 and the pattern coil 33 and the repulsive force generated between the permanent magnet 21 and the pattern coil 33.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example in which the mover 20 is moved by suction and repulsion.
  • the control circuit 40 controls the mover 20 of the plurality of pattern coils 33.
  • the direct current voltage of the first polarity is supplied to the pattern coil 33 located on the X axis + direction side of
  • the pattern coil 33 to which the DC voltage of the first polarity is supplied functions as an S-pole electromagnet on the main surface 31 a side, and a suction force is generated between the pattern coil 33 and the permanent magnet 21.
  • control circuit 40 supplies a DC voltage of the second polarity to the pattern coil 33 located on the X axis negative direction side of the mover 20 among the plurality of pattern coils 33.
  • the pattern coil 33 to which the direct current voltage of the second polarity is supplied functions as an electromagnet of N pole on the main surface 31 a side, and a repulsive force is generated between the pattern coil 33 and the permanent magnet 21.
  • the control circuit 40 can move the mover 20 in the X-axis + direction by simultaneously using the suction force and the repulsive force.
  • DC voltages of the first polarity are simultaneously supplied to two or more pattern coils 33 positioned on the X axis + direction side of mover 20, and on the X axis ⁇ direction side of mover 20.
  • a direct current voltage of the second polarity is simultaneously supplied to two or more pattern coils 33 located. Thereby, a relatively large thrust can be applied to the mover 20.
  • the planar motor 10 moves the mover 20 using the plurality of pattern coils 33 of the stator 30.
  • the size and thickness of the stator 30 can be reduced more easily than a flat motor using winding coils.
  • the stator 30 may further have a magnetic body between the plurality of pattern coils 33 and the main surface 31 a.
  • a substrate including a magnetic body may be disposed above the circuit board 32.
  • FIG. 12 is a plan view of a substrate including a magnetic body
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of a substrate including a magnetic body.
  • the magnetic body 51 is disposed at a position corresponding to the pattern coil 33.
  • the plurality of magnetic bodies 51 correspond to the plurality of pattern coils 33 one to one.
  • the magnetic body 51 has a flat cylindrical shape.
  • the magnetic body 51 is, for example, ferrite, a silicon steel plate, iron oxide, chromium oxide, cobalt or the like.
  • the base material of the substrate 50 is an insulating material such as a resin material.
  • the magnetic force of the plurality of pattern coils 33 can be strengthened.
  • substrate 50 is arrange
  • the entire substrate 50 may be a magnetic body.
  • stator 30 may have a magnetic body at each central portion of the plurality of pattern coils 33.
  • FIG. 14 is a plan view of a circuit board 32 having a pattern coil 33 in which a magnetic body is disposed at the center
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of the pattern coil 33 in which a magnetic body is disposed at the center.
  • the magnetic body 52 is disposed at the center of the pattern coil 33.
  • a conductive via structure 35 including a through hole is provided at a position corresponding to the central portion of the plurality of pattern coils 33 of the circuit board 32a, and the magnetic body 52 is embedded in the through hole.
  • the magnetic body 52 is disposed in the through hole by screen-printing a mixture of a fine powder magnetic body and a resin binder (for example, paste-like ferrite etc.).
  • the resin adhesive is coated in advance in the through hole, and the fine powder magnetic body is disposed on the circuit board 32.
  • the through holes may be fitted with a solid ferrite or silicon steel plate or the like.
  • the magnetic body 52 is disposed at the center of the plurality of pattern coils 33, the magnetic force of the plurality of pattern coils 33 can be strengthened.
  • the magnetic body 52 is embedded in the through hole included in the conductive via structure 35, and the magnetic body 52 may be disposed in the center of the pattern coil 33 in any manner.
  • the planar motor 10 includes the mover 20 having the permanent magnet 21 (or the electromagnet), the main surface 31a facing the mover 20, and a plurality of thin film-like members disposed along the main surface 31a. And a control circuit 40 for controlling the drive of the plurality of pattern coils 33.
  • stator 30 may further have a magnetic body 51 between the plurality of pattern coils 33 and the main surface 31 a.
  • stator 30 may have a magnetic body at each central portion of the plurality of pattern coils 33.
  • the stator 30 has a circuit board 32 on which a plurality of pattern coils 33 are formed, and through holes are provided at positions corresponding to central portions of the plurality of pattern coils 33 of the circuit board 32. 52 may be embedded in the through holes.
  • the magnetic force of the plurality of pattern coils 33 can be strengthened by using the through holes of the circuit board 32.
  • the mover 20 may have the permanent magnet 21, and the arrangement direction of the S pole and the N pole of the permanent magnet 21 may intersect with the main surface 31 a.
  • planar motor 10 can move the mover 20 having the permanent magnet 21 disposed such that the S pole and the N pole intersect the major surface 31 a.
  • the mover 20 may have the permanent magnet 21, and the arrangement direction of the S pole and the N pole of the permanent magnet 21 may be along the main surface 31 a.
  • planar motor 10 can move the mover 20 having the permanent magnet 21 arranged such that the S pole and the N pole are along the major surface 31 a.
  • control circuit 40 may supply a DC voltage to each of the plurality of pattern coils 33 and switch the polarity of the DC voltage.
  • planar motor 10 can switch whether each of the plurality of pattern coils 33 functions as an electromagnet having an S pole on the main surface 31 a side or an electromagnet having an N pole on the main surface 31 a side.
  • control circuit 40 supplies a DC voltage of the first polarity to the first pattern coil positioned on the first direction side of the mover 20 among the plurality of pattern coils 33, and the plurality of pattern coils 33
  • the movable element 20 can be formed by supplying a DC voltage of a second polarity opposite to the first polarity to a second pattern coil located on the second direction side opposite to the first direction of the movable element 20, thereby You may move in the direction.
  • planar motor 10 can increase the thrust of the mover 20 by simultaneously using the repulsive force between the pattern coil 33 and the permanent magnet 21 and the attraction force between the pattern coil 33 and the permanent magnet 21. .
  • FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of a flat motor according to a second embodiment. In the following second embodiment, description will be made focusing on the difference from the first embodiment, and the description of the matters already described will be omitted.
  • a planar motor 10b includes a mover 20b, a stator 30b, and a control circuit 40b.
  • the control circuit 40 b is illustrated to control the drive of one pattern coil 33 and one power supply coil 34, but in actuality, a plurality of pattern coils 33 and a plurality of power supply coils 34 are illustrated. Control the driving of
  • the mover 20b is a moving object in the planar motor 10b.
  • the mover 20b includes an electromagnet 21b, a power receiving coil 22b, and a drive circuit 23b.
  • the electromagnet 21b is formed by winding an electric wire around a core formed of a magnetic material.
  • the core material is, for example, iron
  • the electric wire is, for example, an enameled wire in which a copper core wire is insulated and coated with enamel, but the material adopted as the core material and the material adopted as the electric wire are not particularly limited.
  • the shape of the core material is not particularly limited.
  • the electromagnet 21b is disposed such that the winding axis is along the main surface 31a, but may be disposed such that the winding axis intersects the main surface 31a.
  • the power receiving coil 22b receives power from the power feeding coil 34 without contact.
  • the power receiving coil 22b is formed by winding an electric wire around a coil bobbin.
  • the coil bobbin is formed of, for example, a resin or a magnetic material, and the electric wire is, for example, an enameled wire in which a core wire of copper is covered with enamel for insulation.
  • the power receiving coil 22b is disposed such that the winding axis perpendicularly intersects the main surface 31a. With such an arrangement, the power receiving coil 22 b can receive AC power from the power feeding coil 34 by electromagnetic induction.
  • the drive circuit 23 b drives the electromagnet 21 b using AC power obtained through the power receiving coil 22 b.
  • drive circuit 23 b includes a rectification circuit that rectifies AC power.
  • the stator 30b Similar to the stator 30, the stator 30b has a main surface 31a facing the mover 20b, and a thin film pattern coil 33 disposed along the main surface 31a. In FIG. 16, the pattern coil 33 is illustrated in a circular winding shape.
  • the stator 30b further includes a feeding coil 34 (a coil illustrated smaller than the pattern coil 33 in FIG. 16) for performing noncontact feeding to the mover 20b.
  • the feeding coil 34 is a thin film-like feeding pattern coil, and a plurality of feeding coils 34 are disposed along the main surface 31 a.
  • the plurality of feed coils 34 are arranged in a matrix so as not to overlap the pattern coil 33 in plan view.
  • Each of the plurality of power supply coils 34 is a circular wound wiring in which the winding axis is in the direction perpendicular to the major surface 31 a, but may be another winding such as a rectangular wound.
  • the winding directions of the plurality of feeding coils 34 are identical but may be different.
  • the control circuit 40 b supplies AC power to the power supply coil 34 in addition to the drive control of the plurality of pattern coils 33.
  • the frequency of the AC power supplied to the feeding coil 34 is about several kHz to several MHz.
  • the supply of AC power to the power supply coil 34 may be performed by an AC power supply circuit different from the control circuit 40 b.
  • the supply of alternating current power to the feeding coil 34 may be performed constantly or intermittently.
  • the mover 20b includes the electromagnet 21b, and the stator 30b further includes the power supply coil 34 that performs noncontact power supply to the mover 20b.
  • the drive control of the electromagnet 21b is performed on the mover 20b side, which enables fine control such as applying a brake to the mover 20b. It becomes.
  • the feeding coil 34 is a thin film-like feeding pattern coil, and a plurality of feeding coils 34 are disposed along the major surface 31 a.
  • FIG. 17 is a perspective view showing the configuration of a flat motor according to a modification of the second embodiment.
  • a planar motor 10c includes a mover 20b, a stator 30, and a control circuit 40c. As described in the first embodiment, the stator 30 does not have the feeding coil 34.
  • the control circuit 40 c is illustrated to control the drive of one pattern coil 33, but actually controls the drive of a plurality of pattern coils 33.
  • the control circuit 40 c is a circuit that controls the drive of the plurality of pattern coils 33.
  • the control circuit 40c has a control unit 41c.
  • the control unit 41c does not supply power to each of the plurality of pattern coils 33, (b) supplies DC voltage of the first polarity (for example, positive polarity), (c) Either a direct current voltage of a second polarity (e.g., negative polarity) opposite to one polarity is supplied, and (d) an alternating current power is supplied.
  • the control circuit 40c controls the direct-current voltage of the first polarity to the pattern coil 33 located on the X-axis + direction side of the mover 20b among the plurality of pattern coils 33.
  • Supply As a result, the pattern coil 33 to which the DC voltage of the first polarity is supplied functions as an electromagnet of the S pole on the main surface 31a side, and a suction force is generated between the pattern coil 33 and the electromagnet 21b.
  • the mover 20b moves in the X axis + direction by such a suction force.
  • control circuit 40 c supplies AC power to the pattern coil 33 located in the vicinity of the mover 20 b among the plurality of pattern coils 33.
  • the control circuit 40c can perform noncontact power feeding to the mover 20b.
  • the control circuit 40c supplies the alternating current power to the one pattern coil 33 to perform the first control for performing the contactless power supply to the mover 20b, and the direct current to the one pattern coil 33.
  • the second control for moving the mover 20b is selectively executed by supplying power.
  • planar motor 10c can share the pattern coil 33 for movement of the mover 20b and non-contact power feeding to the mover 20b.
  • the mover 20b may have a battery or a storage battery serving as a power source for driving the electromagnet 21b. In this case, non-contact power feeding from the stator 30 or the stator 30b to the mover 20b may be omitted.
  • FIG. 18 is a diagram showing a specific configuration of a first control circuit according to the third embodiment.
  • the plurality of pattern coils 33 are arranged in a matrix of 4 rows ⁇ 7 columns.
  • the four lines are distinguished by numbers, and are described as lines 1 to 4.
  • the seven columns are distinguished by the alphabet and are described as column A to column G.
  • the plurality of pattern coils 33 are distinguished by an address defined by a number indicating a row and an alphabet indicating a column.
  • the pattern coil 33 belonging to the row 1 and the column A is the pattern coil 33 corresponding to the address 1-A.
  • the control circuit 60 shown in FIG. 18 includes first wirings R1 to R4, second wirings CA to CG, a plurality of switching elements (first switching elements s1 to s4 and second switching elements SA to SG), and One decoder 61, a second decoder 62, a control unit 63, and a DC power supply 64 are provided.
  • the first wires R1 to R4 are wires extending in the row direction, arranged one by one for each row.
  • the first wires R1 to R4 are patterned, for example, by a metal material such as copper on a circuit board 32 (not shown in FIG. 18).
  • Each of the first wires R1 to R4 is electrically connected to a first coil group belonging to the same row among the plurality of pattern coils 33.
  • the first wiring R1 is electrically connected to the first coil group belonging to row 1.
  • the first coil group belonging to row 1 is constituted by seven pattern coils 33 corresponding to address 1-A to address 1-G.
  • the second wirings CA to CG are wirings extending in the column direction, arranged one by one for each column.
  • the second wirings CA to CG are patterned, for example, by a metal material such as copper on the circuit board 32 (not shown in FIG. 18).
  • Each of the second wirings CA to CG is electrically connected to a second coil group belonging to the same column among the plurality of pattern coils 33.
  • the second wiring CA is electrically connected to the second coil group belonging to the column A.
  • the second coil group belonging to column A is constituted by four pattern coils 33 corresponding to address 1-A to address 4-A.
  • each of the plurality of pattern coils 33 arranged in a matrix is electrically connected to the first wiring corresponding to the row to which the pattern coil 33 belongs, and the other end is the pattern coil 33 to which the pattern coil 33 belongs. It is electrically connected to the second wiring corresponding to the column.
  • the control circuit 60 also has a plurality of switching elements for turning on and off the power supply to the plurality of pattern coils 33.
  • the plurality of switching elements include first switching elements s1 to s4 for turning on and off power supply to the first coil group belonging to the same row among the plurality of coils, and the same one of the plurality of pattern coils 33.
  • the second switching elements SA to SG are included to turn on and off the power supply to the second coil group belonging to the row.
  • the first switching element s1 is located between the first wiring R1 and the DC power supply 64, and turns on and off the electrical connection between the first wiring R1 and the negative electrode terminal of the DC power supply 64.
  • the second switching element SA is located between the second wiring CA and the DC power supply 64, and turns on and off the electrical connection between the second wiring CA and the positive electrode terminal of the DC power supply 64.
  • Each of the first switching elements s1 to s4 and the second switching elements SA to SG as described above is, for example, an FET (Field Effect Transistor), but may be another switching element (transistor).
  • the first switching elements s1 to s4 and the second switching elements SA to SG may be disposed on the circuit board 32 or may be disposed outside the circuit board 32.
  • each of the first switching elements s1 to s4 and the second switching elements SA to SG is a thin film transistor (TFT : Thin Film Transistor) may be sufficient.
  • the circuit board 32 is a thin film-like substrate including the plurality of pattern coils 33 and the plurality of switching elements (thin film transistors).
  • the first decoder 61 turns on the first switching element corresponding to the address notified from the control unit 63.
  • the first decoder 61 is electrically connected to control terminals (gates) of the first switching elements s1 to s4.
  • the first decoder 61 is realized by, for example, a circuit, but may include a processor or a microcomputer.
  • the second decoder 62 turns on the second switching element corresponding to the address notified from the control unit 63.
  • the second decoder 62 is electrically connected to the control terminals (gates) of the second switching elements SA to SG.
  • the second decoder 62 is implemented by, for example, a circuit, but may include a processor or a microcomputer.
  • the control unit 63 is a control device that notifies the first decoder 61 and the second decoder 62 of the addresses.
  • the control unit 63 is realized by, for example, a microcomputer, but may be realized by a processor or a circuit.
  • the control unit 63 may be realized by a combination of two or more of a microcomputer, a processor, and a circuit.
  • FIG. 19 is a diagram for describing the operation of control unit 63 (control circuit 60).
  • the control unit 63 notifies each of the first decoder 61 and the second decoder 62 of the address 2-E.
  • Address 2-E means that the row address is 2 and the column address is E.
  • the first decoder 61 turns on the first switching element s2 corresponding to the row address 2
  • the second decoder 62 turns on the second switching element SE corresponding to the column address E.
  • the first wiring R2 is electrically connected to the negative electrode of the DC power supply 64
  • the second wiring CE is electrically connected to the positive electrode of the DC power supply 64.
  • control circuit 60 can control the drive of the plurality of pattern coils 33 arranged in a matrix, and can move the mover 20.
  • a DC power supply capable of switching the polarity shown in FIG. 5 may be used for the control circuit 60.
  • the control circuit 60 can switch whether the main surface 31a side functions as an electromagnet of S pole, or the main surface 31a side functions as an electromagnet of N pole.
  • control circuit 60 may use a power supply capable of switching between direct current and alternating current, instead of DC power supply 64.
  • control circuit 60 may drive (turn on) the plurality of pattern coils 33 simultaneously. That is, the control circuit 60 may simultaneously supply power to two or more pattern coils 33 in order to move one mover 20.
  • the size of one permanent magnet 21 (or one electromagnet 21 b) in plan view is, for example, larger than the size of one pattern coil 33.
  • FIG. 20 is a diagram showing a specific configuration of the second control circuit according to the third embodiment.
  • a control circuit 70 shown in FIG. 20 includes a plurality of switching elements S, first wirings R1 to R4, second wirings CA to CG, a first decoder 71, a second decoder 72, and a control unit 73. Prepare.
  • the plurality of switching elements S correspond to the plurality of pattern coils 33 one to one.
  • the plurality of switching elements S are arranged in a matrix. Similar to the plurality of pattern coils 33, the plurality of switching elements S are distinguished by an address defined by a number indicating a row and an alphabet indicating a column. For example, the switching element S belonging to the row 1 and the column A is the switching element S corresponding to the address 1-A.
  • each of the first wirings R1 to R4 is electrically connected to a switching element group belonging to the same row among the plurality of switching elements S.
  • the first wiring R1 is electrically connected to the switching element group belonging to the row 1.
  • the switching element group belonging to row 1 is constituted by seven switching elements S corresponding to the address 1-A to the address 1-G.
  • each of the second wirings CA to CG is electrically connected to the switching element group belonging to the same column among the plurality of switching elements S.
  • the second wiring CA is electrically connected to the switching element group belonging to the column A.
  • the switching element group belonging to the column A is constituted by four switching elements S corresponding to the address 1-A to the address 4-A.
  • each of the first wirings R1 to R4 is electrically connected to the control terminal (gate) of the switching element S, and each of the second wirings CA to CG is specifically, Electrically connected to the source.
  • the pattern coil 33 is electrically connected to the drain of the switching element S.
  • Each of the plurality of switching elements S as described above is, for example, an FET, but may be another switching element (transistor).
  • the plurality of switching elements S may be disposed on the circuit board 32 or may be disposed outside the circuit board 32.
  • each of the plurality of switching elements S may be a thin film transistor (TFT).
  • the circuit board 32 is a thin film-like substrate including the plurality of pattern coils 33 and the plurality of switching elements S.
  • the first decoder 71 is electrically connected to control terminals (gates) of the plurality of switching elements S via the first wirings R1 to R4, and a gate voltage is applied to the first wiring corresponding to the address notified from the control unit 73. Supply.
  • the first decoder 71 is realized by, for example, a circuit, but may include a processor or a microcomputer.
  • the second decoder 72 is electrically connected to the sources of the plurality of switching elements S via the second wirings CA to CG, and supplies DC power to the second wiring corresponding to the address notified from the control unit 73.
  • the second decoder 72 is implemented by, for example, a circuit, but may include a processor or a microcomputer.
  • the control unit 73 is a control device that notifies the first decoder 71 and the second decoder 72 of the addresses.
  • the control unit 73 is realized by, for example, a microcomputer, but may be realized by a processor or a circuit.
  • the control unit 73 may be realized by a combination of two or more of a microcomputer, a processor, and a circuit.
  • FIG. 21 is a diagram for explaining the operation of the control unit 73 (control circuit 70).
  • the control unit 73 notifies each of the first decoder 71 and the second decoder 72 of the address 2-E.
  • the first decoder 71 supplies the gate voltage to the first wiring R2 corresponding to the row address 2
  • the second decoder 72 supplies DC power to the second wiring CE corresponding to the column address E.
  • the switching element S corresponding to the address 2-E is turned on, a current flows through the pattern coil 33 corresponding to the address 2-E, and the pattern coil 33 functions as an electromagnet.
  • each of the plurality of switching elements S turns on and off the power supply to the pattern coil 33 corresponding to the switching element S among the plurality of pattern coils 33. Therefore, the control circuit 70 can control the drive of the plurality of pattern coils 33 arranged in a matrix and move the mover 20.
  • the DC power (DC voltage) supplied by the second decoder 72 may be switchable in polarity.
  • the control circuit 70 can switch whether the main surface 31a side functions as an S-pole electromagnet or whether the main surface 31a side functions as an N-pole electromagnet.
  • one of the main surfaces 31a can function as an S pole electromagnet and the other main surface 31a can function as an N pole electromagnet.
  • the control circuit 70 can move the mover 20 using suction and repulsion simultaneously.
  • the second decoder 72 may switch and supply DC power (DC voltage) and AC power (AC voltage).
  • control circuit 70 may drive (turn on) the plurality of pattern coils 33 simultaneously. That is, the control circuit 70 may simultaneously supply power to two or more pattern coils 33 in order to move one mover 20.
  • the size of one permanent magnet 21 (or one electromagnet 21 b) in plan view is, for example, larger than the size of one pattern coil 33.
  • FIG. 22 is a diagram showing a specific configuration of a third control circuit according to the third embodiment.
  • the control circuit 80 shown in FIG. 22 is a circuit having a configuration in which the first detection resistors r1 to r4 and the second detection resistors rA to rG are added to the control circuit 70.
  • the control circuit 80 includes a plurality of switching elements S, first wirings R1 to R4, second wirings CA to CG, a first decoder 81, a second decoder 82, and a control unit 83.
  • the mover 20 can be moved by the same operation as the above.
  • the control circuit 80 can also detect the position of the mover 20 using the first detection resistors r1 to r4 and the second detection resistors rA to rG.
  • the first detection resistors r1 to r4 are an example of a first detection element for detecting the current flowing through the first wires R1 to R4.
  • the first detection resistors r1 to r4 correspond to the first wirings R1 to R4 on a one-to-one basis.
  • the first detection resistor r1 corresponds to the first wiring R1 and is disposed between the first wiring R1 and the first decoder 81.
  • the first decoder 81 can detect the current flowing through the first wiring R1 based on voltage values at both ends of the first detection resistor r1 (hereinafter, also simply described as a voltage value of the first detection resistor r1).
  • the first detection resistors r1 to r4 have, for example, the same resistance value.
  • the second detection resistors rA to rG are an example of a second detection element for detecting the current flowing through the second wires CA to CG.
  • the second detection resistors rA to rG correspond to the second wirings CA to CG on a one-to-one basis.
  • the second detection resistor rA corresponds to the second wiring CA, and is disposed between the second wiring CA and the second decoder 82.
  • the second decoder 82 can detect the current flowing through the second wiring CA based on voltage values at both ends of the second detection resistor rA (hereinafter, also simply described as a voltage value of the second detection resistor rA).
  • the second detection resistors rA to rG have, for example, the same resistance value.
  • the control unit 83 first supplies power to the plurality of pattern coils 33 belonging to the same row, and stores the voltage value of the first detection resistor corresponding to the row. For example, when the row address 1 is notified to the first decoder 81 and the second decoder 82 by the control unit 83, power is supplied to the seven pattern coils 33 of the addresses 1-A to 1-G.
  • the control unit 83 obtains the voltage value V1 of the first detection resistor r1 at this time, and stores the voltage value V1 in a storage unit (not shown) such as a semiconductor memory.
  • the voltage value V1 indicates the value of the current flowing through the first wiring R1. The same operation is performed for rows 2 to 4.
  • the voltage value V2 of the first detection resistor r2, the voltage value V3 of the first detection resistor r3, and the voltage value V4 of the first detection resistor r4 are stored in the storage unit. Be done.
  • the control unit 83 supplies power to the plurality of pattern coils 33 belonging to the same column, and stores the voltage value of the second detection resistor corresponding to the column. For example, when the column address A is notified to the first decoder 81 and the second decoder 82 by the control unit 83, power is supplied to the four pattern coils 33 of the addresses 1-A to 4-A.
  • the control unit 83 obtains the voltage value VA of the second detection resistor rA at this time, and stores the voltage value VA in the storage unit.
  • the voltage value VA indicates a current value flowing through the second wiring CA.
  • the same operation is performed for columns B to G, and the voltage value VB of the second detection resistor rB, the voltage value VC of the second detection resistor rC, the voltage value VD of the second detection resistor rD, and the second detection resistor rE
  • the voltage value VE, the voltage value VF of the second detection resistor rF, and the voltage value VG of the second detection resistor rG are stored in the storage unit.
  • V1, V2, V3, and V4 become substantially equal, and VA, VB, VC, VD, VE, VF, and VG substantially become Become equal.
  • FIG. 23 is a diagram schematically showing the amount of current flowing through each wire in the position detection operation. Therefore, when the mover 20 is disposed at the address 2-D on the stator 30, V2 becomes smaller than V1, V3 and V4, and VA, VB, VC, VE, VF and VG VD is smaller than.
  • control unit 83 compares V1, V2, V3 and V4 stored in the storage unit and moves in the vicinity of the row corresponding to the lowest (or lower than average value) voltage value The position of the child 20 can be detected. Similarly, the control unit 83 compares VA, VB, VC, VD, VE, VF, and VG stored in the storage unit, and sets the voltage value to the lowest (or lower than the average value by a predetermined value) voltage value. The position of the mover 20 can be detected in the vicinity of the corresponding row.
  • the identification method of the voltage value with a small value is not limited to the relative comparison of several voltage value.
  • a small voltage value (voltage value below the threshold) may be specified by comparing the threshold value with each of the plurality of voltage values.
  • the first detection resistors r1 to r4 are an example of a first detection element for detecting the current flowing through the first wires R1 to R4.
  • the first detection element may be a current detection element other than a resistor. The same applies to the second detection element.
  • the planar motor 10 (or the planar motor 10 b or the planar motor 10 c) described in the first and second embodiments may include any control circuit of the control circuit 60, the control circuit 70, and the control circuit 80. Further, the control circuit 60, the control circuit 70, and the control circuit 80 can be applied not only to the pattern coil 33 but also to drive other coils such as a winding coil.
  • the planar motor 10 includes a mover 20 having a permanent magnet 21 or an electromagnet 21b, a main surface 31a facing the mover 20, and a plurality of coils arranged in a matrix along the main surface 31a.
  • a control circuit 60 (or a control circuit 70, a control circuit 80) having a plurality of switching elements for turning on and off power supply to the plurality of coils is provided.
  • control circuit 60 can be simplified by driving the plurality of coils arranged in a matrix by switching of the switching elements.
  • the plurality of switching elements include first switching elements s1 to s4 for turning on and off power supply to the first coil group belonging to the same row among the plurality of coils, and a plurality of switching elements.
  • Second switching elements SA to SG are provided to turn on and off the power supply to the second coil group belonging to the same row among the coils.
  • control circuit 60 the number of switching elements is reduced compared to a circuit in which a plurality of switching elements corresponding to a plurality of coils are arranged one to one. Since the number of switching elements is reduced, control circuit 60 with a simplified circuit configuration is realized.
  • control circuit 60 further includes DC power supply 64, first wirings R1 to R4 electrically connected to the first coil group, and second wirings CA to CG electrically connected to the second coil group. And.
  • the first switching elements s1 to s4 turn on and off electrical connection of the first wirings R1 to R4 and the DC power supply 64, and the second switching elements SA to SG include second wirings CA to CG and the DC power supply 64. Turn electrical connections on and off.
  • control circuit 60 the number of DC power supplies 64 is reduced compared to the circuit in which the DC power supplies 64 are arranged corresponding to each of the plurality of coils. Since the number of DC power supplies is reduced, a control circuit 60 with a simplified circuit configuration is realized.
  • the plurality of switching elements S correspond to the plurality of coils on a one-to-one basis, and each of the plurality of switching elements S is power to the coil corresponding to the switching element S among the plurality of coils. Turn the supply on and off.
  • the power supply to the plurality of coils can be turned on and off by the plurality of switching elements S corresponding to the plurality of coils on a one-to-one basis.
  • each of the plurality of coils is a thin film pattern coil 33
  • each of the plurality of switching elements S is a thin film transistor
  • the stator 30 is a plurality of coils and a plurality of switching elements S.
  • a thin film circuit board 32 may be included.
  • the plurality of coils and the plurality of switching elements can be integrally formed as part of the circuit board 32.
  • control circuit 80 further detects the current flowing through the first wires R1 to R4 electrically connected to the switching element group belonging to the same row among the plurality of switching elements S, and the first wires R1 to R4. Flow through the first detection resistors r1 to r4, the second wirings CA to CG electrically connected to the switching element group belonging to the same row among the plurality of switching elements S, and the second wirings CA to CG And second detection resistors rA to rG for detecting a current.
  • the first detection resistors r1 to r4 are an example of a first detection element
  • the second detection resistors rA to rG are an example of a second detection element.
  • control circuit 80 can detect the position of the mover 20 without using a sensing device such as a Hall element.
  • control circuit 60 (or the control circuit 70, the control circuit 80) may supply power to two or more coils in order to move one mover 20.
  • the stator includes the thin film pattern coil, but the coil included in the stator is not limited to the pattern coil.
  • the stator may include a plurality of winding coils instead of the pattern coil.
  • the plurality of pattern coils are arranged in a matrix, but may be arranged in a layout other than the matrix.
  • the planar motor may include a stator having another laminated structure that can realize the characteristic functions of the present invention.
  • the planar motor may include, for example, a stator in which another layer is provided between the layers of the laminated structure of the above-described embodiment, as long as the same function as the laminated structure described in the above-described embodiment can be realized. .
  • each layer of the laminated structure of the stator is exemplified, but the same function as the laminated structure of the above embodiment is provided for each layer of the laminated structure of the stator.
  • Other materials may be included as long as
  • the components such as the control unit may be realized by dedicated hardware or by executing a software program suitable for each component.
  • Each component may be realized by a program execution unit such as a CPU or a processor reading and executing a software program recorded in a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory.
  • the embodiments can be realized by various combinations that each person skilled in the art can think of for each embodiment, or by combining components and functions in each embodiment without departing from the scope of the present invention.
  • the embodiments of the present invention are included in the present invention.
  • the present invention may be realized as a single control circuit included in a planar motor, or may be realized as a method of detecting the position of the mover according to the above embodiment.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Control Of Linear Motors (AREA)

Abstract

平面モータは、永久磁石または電磁石を有する可動子と、可動子と対向する主面、及び、主面に沿ってマトリクス状に配置される複数のパターンコイル（３３）を有する固定子と、複数のパターンコイル（３３）への電力供給をオン及びオフするための複数のスイッチング素子Ｓを有する制御回路（７０）とを備える。

Description

平面モータ
　本発明は、可動子を平面に沿って二次元的に移動させる平面モータに関する。
　可動子を平面に沿って二次元的に移動させる平面モータが知られている。このような平面モータとして、特許文献１には、１台で３６０度全方向に推力を得ることができる直流サーフェイスモータが開示されている。
特開平５－３３６７３０号公報
　複数のコイルを使用して可動子を移動させる平面モータにおいては、複数のコイルの駆動を制御する制御回路の簡素化が課題となる。
　本発明は、制御回路の簡素化が可能な平面モータを提供する。
　本発明の一態様に係る平面モータは、永久磁石または電磁石を有する可動子と、前記可動子と対向する主面、及び、前記主面に沿ってマトリクス状に配置される複数のコイルを有する固定子と、前記複数のコイルへの電力供給をオン及びオフするための複数のスイッチング素子を有する制御回路とを備える。
　本発明によれば、制御回路の簡素化が可能な平面モータが実現される。
図１は、実施の形態１に係る平面モータの概略構成を示す平面図である。 図２は、実施の形態１に係る平面モータの模式断面図である。 図３は、可動子が有する永久磁石のＳ極及びＮ極の並び方向が、固定子の主面に沿う配置例を示す模式断面図である。 図４は、可動子が２つの永久磁石を有する場合の永久磁石の配置の一例を示す平面図である。 図５は、回路基板の表面を示す平面図である。 図６は、回路基板の裏面を示す平面図である。 図７は、回路基板の表面の別の例を示す平面図である。 図８は、回路基板の裏面の別の例を示す平面図である。 図９は、可動子を吸引力によって移動させる例を示す図である。 図１０は、可動子を反発力によって移動させる例を示す図である。 図１１は、可動子を吸引力及び反発力によって移動させる例を示す図である。 図１２は、磁性体を含む基板の平面図である。 図１３は、磁性体を含む基板の模式断面図である。 図１４は、中心部に磁性体が配置されたパターンコイルを有する回路基板の平面図である。 図１５は、中心部に磁性体が配置されたパターンコイルの模式断面図である。 図１６は、実施の形態２に係る平面モータの構成を示す斜視図である。 図１７は、実施の形態２の変形例に係る平面モータの構成を示す斜視図である。 図１８は、実施の形態３に係る第一の制御回路の具体的構成を示す図である。 図１９は、実施の形態３に係る第一の制御回路の動作を説明するための図である。 図２０は、実施の形態３に係る第二の制御回路の具体的構成を示す図である。 図２１は、実施の形態３に係る第二の制御回路の動作を説明するための図である。 図２２は、実施の形態３に係る第三の制御回路の具体的構成を示す図である。 図２３は、実施の形態３に係る第三の制御回路を用いた位置検出動作において各配線に流れる電流量を模式的に示す図である。
　以下、実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
　なお、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化される場合がある。
　また、以下の実施の形態で説明に用いられる図面においては座標軸が示される場合がある。座標軸におけるＺ軸方向は、例えば、鉛直方向であり、Ｚ軸＋側は、上側（上方）と表現され、Ｚ軸－側は、下側（下方）と表現される。Ｚ軸方向は、言い換えれば、固定子が有する主面に垂直な方向である。また、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は、Ｚ軸方向に垂直な平面（水平面）上において、互いに直交する方向である。Ｘ－Ｙ平面は、固定子が有する主面に平行な平面である。例えば、以下の実施の形態において、「平面視」とは、Ｚ軸方向から見ることを意味する。また、図面において、永久磁石または電磁石のＮ極は、「Ｎ」と記載され、永久磁石または電磁石のＳ極は、「Ｓ」と記載される。
　（実施の形態１）
　［構成］
　以下、実施の形態１に係る平面モータの構成について図面を用いて説明する。図１は、実施の形態１に係る平面モータの概略構成を示す平面図である。図２は、実施の形態１に係る平面モータの模式断面図である。
　図１及び図２に示されるように、実施の形態１に係る平面モータ１０は、可動子２０と、固定子３０と、制御回路４０とを備える。平面モータ１０は、固定子３０が有する主面３１ａに沿って可動子２０を２次元的に移動させるリニアモータ（電磁アクチュエータ）である。
　まず、可動子２０について説明する。可動子２０は、平面モータ１０における移動対象物である。可動子２０は、永久磁石２１を有する。永久磁石２１は、例えば、フェライト磁石であるが、アルニコ磁石、または、ネオジム磁石などであってもよく、永久磁石２１を形成する磁性材料は特に限定されない。
　図２の例では、永久磁石２１は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａに交差し、Ｎ極がＳ極よりも主面３１ａ寄りに位置するように配置されている。しかしながら、永久磁石２１は、Ｓ極がＮ極よりも主面３１ａ寄りに位置するように配置されてもよい。永久磁石２１は、永久磁石２１のＳ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａと交差するように配置されればよい。
　また、永久磁石２１は、永久磁石２１のＳ極及びＮ極の並び方向が、主面３１ａに沿うように配置されてもよい。図３は、可動子２０が有する永久磁石２１のＳ極及びＮ極の並び方向が、主面３１ａに沿う配置例を示す模式断面図である。
　なお、可動子２０は、少なくとも１つの永久磁石２１を有していればよく、可動子２０が有する永久磁石２１の個数は特に限定されない。例えば、可動子２０が２つの永久磁石２１を有する場合、２つの永久磁石２１のそれぞれは、例えば、図４に示されるように、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａに沿うように配置される。図４は、可動子２０が２つの永久磁石２１を有する場合の永久磁石の配置の一例を示す平面図である。
　次に、固定子３０について説明する。固定子３０は、可動子２０を移動させるための構造体であり、建築物などに固定される。固定子３０は、カバー部材３１と、回路基板３２とを有する。
　カバー部材３１は、回路基板３２を覆う板状またはシート状の部材である。カバー部材３１の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。カバー部材３１の上面は、固定子３０が有する主面３１ａとなる。主面３１ａは、可動子２０と対向する。主面３１ａは、可動子２０（永久磁石２１）が固定子３０に吸着してしまうことを抑制するために、透磁率が低い材料によって形成される。カバー部材３１は、具体的には、樹脂材料などの非金属材料（絶縁性を有する材料）によって形成される。
　回路基板３２は、表面に薄膜状のパターンコイル３３が複数形成される薄膜状（シート状）の基板である。回路基板３２の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。回路基板３２の基材は、例えば、ガラエポなどの樹脂材料によって形成される。回路基板３２の厚みは、例えば、１７０μｍ～２００μｍ程度である。
　回路基板３２の表面には、複数のパターンコイル３３が形成される。図５は、回路基板３２の表面を示す平面図である。なお、図５は、模式図であり、図５に示される複数のパターンコイル３３の数は一例である。
　図５に示されるように、回路基板３２の表面には、複数のパターンコイル３３がマトリクス状に配置される。複数のパターンコイル３３のそれぞれは、巻回軸が主面３１ａに垂直な方向に沿う矩形巻回状の配線であるが、円形巻回状等、他の巻回状であってもよい。複数のパターンコイル３３の巻回方向は、同一であるが、異なってもよい。
　パターンコイル３３の巻回中心付近に位置する一方の端部（内周側に位置する一方の端部）は、導電ビア構造３５によって回路基板３２の裏面に形成された配線３６に電気的に接続される。図６は、回路基板３２の裏面を示す平面図である。パターンコイル３３の外周側に位置する他方の端部は、制御回路４０に電気的に接続される。
　パターンコイル３３、導電ビア構造３５、及び、配線３６は、例えば、銅などの金属材料によって形成される。パターンコイル３３及び配線３６は、例えば、エッチングによって形成される。
　次に、制御回路４０について説明する。制御回路４０は、複数のパターンコイル３３の駆動を制御する回路である。図５に模式的に示されるように、制御回路４０は、制御部４１を有する。図５では、制御回路４０（制御部４１）は、一つのパターンコイル３３の駆動を制御するように図示されているが、実際には、複数のパターンコイル３３の駆動を制御する。
　制御部４１は、例えば、複数のパターンコイル３３のそれぞれに対して、（ａ）電力を供給しない、（ｂ）第一の極性（例えば、正極性）の直流電圧を供給する、及び、（ｃ）第一の極性の逆の第二の極性（例えば、負極性）の直流電圧を供給する、のいずれかを行う。第一の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、例えば、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能し、第二の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、例えば、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能する。
　このように、制御回路４０（制御部４１）は、複数のパターンコイル３３のそれぞれに直流電圧を供給し、当該直流電圧の極性を切り替えることができる。なお、直流電圧の極性を切り替えることは必須ではなく、制御回路４０は、少なくとも直流電圧の供給をオン及びオフできればよい。
　制御部４１は、具体的には、プロセッサ、マイクロコンピュータ、及び、回路の少なくとも１つ以上によって実現される。図２では、制御回路４０は、回路基板３２の下方に配置されているが、回路基板３２の側方に配置されてもよい。
　なお、図５及び図６に示される例では、制御回路４０（制御部４１）は、複数のパターンコイル３３のそれぞれを個別に制御するが、複数のパターンコイル３３をグループごとに制御してもよい。図７は、回路基板３２の表面の別の例を示す平面図であり、図８は、回路基板３２の裏面の別の例を示す平面図である。図７及び図８に示される回路基板３２に対しては、制御回路４０は、４つのパターンコイル３３からなるグループを一括して制御する。
　一般に、小さなパターンコイル３３をマトリクス状に敷き詰めることで可動子２０の細かい移動が可能である。このとき、一つのパターンコイル３３の磁力が弱いような場合に、複数のパターンコイル３３を一つのグループとして制御することで、可動子２０の細かい移動を実現しつつ、磁力を高めることができる。
　［動作］
　次に、平面モータ１０の動作について説明する。平面モータ１０において、制御回路４０は、永久磁石２１及びパターンコイル３３の間に生じる吸引力によって可動子２０を移動させる。図９は、可動子２０を吸引力によって移動させる例を示す図である。
　図９に示されるように、Ｎ極が主面３１ａに対向する永久磁石２１を有する可動子２０をＸ軸＋方向に移動させる場合、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０のＸ軸＋方向側に位置するパターンコイル３３に第一の極性の直流電圧を供給する。これにより、第一の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能し、パターンコイル３３及び永久磁石２１の間に吸引力が発生する。可動子２０は、このような吸引力によってＸ軸＋方向に移動する。
　なお、図９では、１つの可動子２０（永久磁石）を移動させるために、可動子２０のＸ軸＋方向側に位置する２つ以上のパターンコイル３３に第一の極性の直流電圧が同時に供給されている。これにより、可動子２０に対して比較的大きな推力を与えることができる。
　また、制御回路４０は、永久磁石２１及びパターンコイル３３の間に生じる反発力によって可動子２０を移動させてもよい。図１０は、可動子２０を反発力によって移動させる例を示す図である。
　図１０に示されるように、Ｎ極が主面３１ａに対向する永久磁石２１を有する可動子２０をＸ軸＋方向に移動させる場合、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０のＸ軸－方向側に位置するパターンコイル３３に第二の極性の直流電圧を供給する。これにより、第二の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能し、パターンコイル３３及び永久磁石２１の間に反発力が発生する。可動子２０は、このような反発力によってＸ軸＋方向に移動する。
　なお、図１０では、１つの可動子２０（永久磁石）を移動させるために、可動子２０のＸ軸－方向側に位置する２つ以上のパターンコイル３３に第二の極性の直流電圧が同時に供給されている。これにより、可動子２０に対して比較的大きな推力を与えることができる。なお、平面視における一つの永久磁石２１の大きさは、例えば、一つのパターンコイル３３の大きさよりも大きい。
　また、制御回路４０は、永久磁石２１及びパターンコイル３３の間に生じる吸引力、並びに、永久磁石２１及びパターンコイル３３の間に生じる反発力によって可動子２０を移動させてもよい。図１１は、可動子２０を吸引力及び反発力によって移動させる例を示す図である。
　図１１に示されるように、Ｎ極が主面３１ａに対向する永久磁石２１を有する可動子２０をＸ軸＋方向に移動させる場合、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０のＸ軸＋方向側に位置するパターンコイル３３に第一の極性の直流電圧を供給する。これにより、第一の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能し、パターンコイル３３及び永久磁石２１の間に吸引力が発生する。
　また、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０のＸ軸－方向側に位置するパターンコイル３３に第二の極性の直流電圧を供給する。これにより、第二の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能し、パターンコイル３３及び永久磁石２１の間に反発力が発生する。これにより、制御回路４０は、吸引力及び反発力を同時に使用して可動子２０をＸ軸＋方向に移動させることができる。
　なお、図１１では、可動子２０のＸ軸＋方向側に位置する２つ以上のパターンコイル３３に第一の極性の直流電圧が同時に供給され、かつ、可動子２０のＸ軸－方向側に位置する２つ以上のパターンコイル３３に第二の極性の直流電圧が同時に供給されている。これにより、可動子２０に対して比較的大きな推力を与えることができる。
　以上説明したように、平面モータ１０は、固定子３０が有する複数のパターンコイル３３を用いて可動子２０を移動させる。平面モータ１０においては、巻線コイルを使用した平面モータよりも固定子３０の小型化及び薄型化が容易となる。
　［変形例］
　固定子３０は、さらに、複数のパターンコイル３３及び主面３１ａの間に磁性体を有してもよい。例えば、回路基板３２の上方には、磁性体を含む基板が配置されてもよい。図１２は、磁性体を含む基板の平面図であり、図１３は、磁性体を含む基板の模式断面図である。
　図１２及び図１３に示されるように、基板５０では、パターンコイル３３に対応する位置に磁性体５１が配置されている。複数の磁性体５１は、複数のパターンコイル３３に１対１で対応する。磁性体５１は、平たい円柱状である。磁性体５１は、例えば、フェライト、ケイ素鋼板、酸化鉄、酸化クロム、または、コバルトなどである。基板５０の基材は、樹脂材料などの絶縁性を有する材料である。
　このように、複数のパターンコイル３３のそれぞれの上方に磁性体５１が配置されれば、複数のパターンコイル３３の磁力を強めることができる。なお、基板５０は、例えば、カバー部材３１及び回路基板３２の間に配置されるが、基板５０に代えて、磁性体５１が埋め込まれたカバー部材３１が用いられてもよい。また、基板５０の全体が磁性体であってもよい。
　また、固定子３０は、複数のパターンコイル３３の各中心部に磁性体を有してもよい。図１４は、中心部に磁性体が配置されたパターンコイル３３を有する回路基板３２の平面図であり、図１５は、中心部に磁性体が配置されたパターンコイル３３の模式断面図である。
　図１４及び図１５に示されるように、回路基板３２ａでは、パターンコイル３３の中心部に磁性体５２が配置されている。回路基板３２ａの複数のパターンコイル３３の中心部に対応する位置には、スルーホールを含む導電ビア構造３５が設けられ、磁性体５２は、スルーホールに埋め込まれている。磁性体５２は、具体的には、樹脂バインダーに微粉末状の磁性体を混ぜたもの（例えば、ペースト状のフェライトなど）がスクリーン印刷されることにより、スルーホール内に配置される。なお、あらかじめスルーホール内に樹脂接着剤がコーティングされ、回路基板３２上に微粉末状の磁性体が配置された状態で回路基板３２に微細な振動を与えることによりスルーホール内に磁性体５２を配置することもできる。スルーホールには、固体のフェライトまたはケイ素鋼板などがはめ込まれていてもよい。
　このように、複数のパターンコイル３３の中心部に磁性体５２が配置されれば、複数のパターンコイル３３の磁力を強めることができる。なお、磁性体５２が導電ビア構造３５に含まれるスルーホールに埋め込まれることは必須ではなく、磁性体５２は、どのような態様でパターンコイル３３の中心部に配置されてもよい。
　［効果等］
　以上説明したように、平面モータ１０は、永久磁石２１（または電磁石）を有する可動子２０と、可動子２０と対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿って配置される薄膜状の複数のパターンコイル３３を有する固定子３０と、複数のパターンコイル３３の駆動を制御する制御回路４０とを備える。
　これにより、薄膜状のパターンコイル３３によって可動子２０が移動されるため、平面モータ１０（固定子３０）の小型化及び薄型化が容易となる。
　また、固定子３０は、さらに、複数のパターンコイル３３及び主面３１ａの間に磁性体５１を有してもよい。
　これにより、複数のパターンコイル３３の磁力を強めることができる。
　また、固定子３０は、複数のパターンコイル３３の各中心部に磁性体を有してもよい。
　これにより、複数のパターンコイル３３の磁力を強めることができる。
　また、固定子３０は、複数のパターンコイル３３が形成された回路基板３２を有し、回路基板３２の複数のパターンコイル３３の中心部に対応する位置には、スルーホールが設けられ、磁性体５２は、スルーホールに埋め込まれてもよい。
　これにより、回路基板３２のスルーホールを利用して複数のパターンコイル３３の磁力を強めることができる。
　また、可動子２０は、永久磁石２１を有し、永久磁石２１のＳ極及びＮ極の並び方向は、主面３１ａと交差してもよい。
　これにより、平面モータ１０は、Ｓ極及びＮ極が主面３１ａと交差するように配置された永久磁石２１を有する可動子２０を移動させることができる。
　また、可動子２０は、永久磁石２１を有し、永久磁石２１のＳ極及びＮ極の並び方向は、主面３１ａに沿ってもよい。
　これにより、平面モータ１０は、Ｓ極及びＮ極が主面３１ａに沿うように配置された永久磁石２１を有する可動子２０を移動させることができる。
　また、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のそれぞれに直流電圧を供給し、当該直流電圧の極性を切り替えてもよい。
　これにより、平面モータ１０は、複数のパターンコイル３３のそれぞれを、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能させるか、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能させるかを切り替えることができる。
　また、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０の第一方向側に位置する第一のパターンコイルに第一の極性の直流電圧を供給し、かつ、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０の第一方向と反対の第二方向側に位置する第二のパターンコイルに第一の極性と逆の第二の極性の直流電圧を供給することにより、可動子２０を第一方向に移動させてもよい。
　これにより、平面モータ１０は、パターンコイル３３及び永久磁石２１の間に反発力、及び、パターンコイル３３及び永久磁石２１の間の吸引力を同時に使用して可動子２０の推力を高めることができる。
　（実施の形態２）
　実施の形態１に係る平面モータ１０においては、可動子２０は、永久磁石２１を有していたが、可動子２０は、永久磁石２１に代えて電磁石を有してもよい。以下、このような実施の形態２に係る平面モータの構成について説明する。図１６は、実施の形態２に係る平面モータの構成を示す斜視図である。なお、以下の実施の形態２では、実施の形態１との相違点を中心に説明が行われ、既出事項についての説明は省略される。
　図１６に示されるように、実施の形態２に係る平面モータ１０ｂは、可動子２０ｂと、固定子３０ｂと、制御回路４０ｂとを備える。図１６では、制御回路４０ｂは、一つのパターンコイル３３及び一つの給電用コイル３４の駆動を制御するように図示されているが、実際には、複数のパターンコイル３３及び複数の給電用コイル３４の駆動を制御する。
　まず、可動子２０ｂについて説明する。可動子２０ｂは、平面モータ１０ｂにおける移動対象物である。可動子２０ｂは、電磁石２１ｂと、受電コイル２２ｂと、駆動回路２３ｂとを有する。電磁石２１ｂは、具体的には、磁性体により形成された芯材に、電線が巻きつけられることによって形成される。芯材は、例えば、鉄であり、電線は、例えば、銅の芯線がエナメルで絶縁被覆されたエナメル線であるが、芯材として採用される材料及び電線として採用される材料は、特に限定されない。また、芯材の形状なども特に限定されない。
　電磁石２１ｂは、巻回軸が主面３１ａに沿うように配置されるが、巻回軸が主面３１ａと交差するように配置されてもよい。
　受電コイル２２ｂは、給電用コイル３４から非接触で給電を受ける。受電コイル２２ｂは、具体的には、コイルボビンに電線が巻きつけられることによって形成される。コイルボビンは、例えば、樹脂または磁性体により形成され、電線は、例えば、銅の芯線がエナメルで絶縁被覆されたエナメル線である。
　受電コイル２２ｂは、巻回軸が主面３１ａと垂直に交差するように配置される。このような配置により、受電コイル２２ｂは、電磁誘導によって給電用コイル３４から交流電力を受電することができる。
　駆動回路２３ｂは、受電コイル２２ｂを通じて得られる交流電力を用いて電磁石２１ｂを駆動する。駆動回路２３ｂは、具体的には、交流電力を整流する整流回路などを含む。
　次に、固定子３０ｂについて説明する。固定子３０ｂは、固定子３０と同様に、可動子２０ｂと対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿って複数配置される薄膜状のパターンコイル３３を有する。なお、図１６においては、パターンコイル３３は、円形巻回状に図示されている。
　また、固定子３０ｂは、さらに、可動子２０ｂに非接触給電を行う給電用コイル３４（図１６でパターンコイル３３よりも小さく図示されているコイル）を有する。給電用コイル３４は、薄膜状の給電用パターンコイルであり、主面３１ａに沿って複数配置される。複数の給電用コイル３４は、平面視においてパターンコイル３３に重ならないようにマトリクス状に配置される。複数の給電用コイル３４のそれぞれは、巻回軸が主面３１ａに垂直な方向に沿う円形巻回状の配線であるが、矩形巻回状等、他の巻回状であってもよい。複数の給電用コイル３４の巻回方向は、同一であるが、異なってもよい。
　制御回路４０ｂは、複数のパターンコイル３３の駆動制御に加えて、給電用コイル３４に交流電力を供給する。給電用コイル３４に供給される交流電力の周波数は、数ｋＨｚ～数ＭＨｚ程度である。なお、給電用コイル３４への交流電力の供給は、制御回路４０ｂとは別の交流電源回路によって行われてもよい。給電用コイル３４への交流電力の供給は、定常的に行われてもよいし、間欠的に行われてもよい。
　以上説明したように、平面モータ１０ｂでは、可動子２０ｂは、電磁石２１ｂを有し、固定子３０ｂは、さらに、可動子２０ｂに非接触給電を行う給電用コイル３４を有する。
　このように、可動子２０ｂが永久磁石ではなく電磁石２１ｂを有していれば、可動子２０ｂ側で電磁石２１ｂの駆動制御が行われることにより、可動子２０ｂにブレーキをかけるなどの細かい制御が可能となる。
　また、給電用コイル３４は、薄膜状の給電用パターンコイルであり、主面３１ａに沿って複数配置される。
　これにより、給電用コイル３４が配置されることによる固定子３０の大型化（厚型化）が抑制される。
　［実施の形態２の変形例］
　可動子２０ｂ（電磁石２１ｂ）への給電は、パターンコイル３３を介して行われてもよい。図１７は、このような実施の形態２の変形例に係る平面モータの構成を示す斜視図である。
　図１７に示されるように、実施の形態２の変形例に係る平面モータ１０ｃは、可動子２０ｂと、固定子３０と、制御回路４０ｃとを備える。実施の形態１で説明されたように、固定子３０は、給電用コイル３４を有していない。図１７では、制御回路４０ｃは、一つのパターンコイル３３の駆動を制御するように図示されているが、実際には、複数のパターンコイル３３の駆動を制御する。
　制御回路４０ｃは、複数のパターンコイル３３の駆動を制御する回路である。制御回路４０ｃは、制御部４１ｃを有する。制御部４１ｃは、例えば、複数のパターンコイル３３のそれぞれに対して、（ａ）電力を供給しない、（ｂ）第一の極性（例えば、正極性）の直流電圧を供給する、（ｃ）第一の極性の逆の第二の極性（例えば、負極性）の直流電圧を供給する、及び、（ｄ）交流電力を供給する、のいずれかを行う。
　例えば、可動子２０ｂをＸ軸＋方向に移動させる場合、制御回路４０ｃは、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０ｂのＸ軸＋方向側に位置するパターンコイル３３に第一の極性の直流電圧を供給する。これにより、第一の極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能し、パターンコイル３３及び電磁石２１ｂの間に吸引力が発生する。可動子２０ｂは、このような吸引力によってＸ軸＋方向に移動する。
　一方で、制御回路４０ｃは、複数のパターンコイル３３のうち可動子２０ｂの近傍に位置するパターンコイル３３には、交流電力を供給する。これにより、制御回路４０ｃは、可動子２０ｂへの非接触給電を行うことができる。
　このように、平面モータ１０ｃにおいて、制御回路４０ｃは、一つのパターンコイル３３に交流電力を供給することにより可動子２０ｂに非接触給電を行う第一制御、及び、当該一つのパターンコイル３３に直流電力を供給することにより可動子２０ｂを移動させる第二制御を選択的に実行する。
　これにより、平面モータ１０ｃは、パターンコイル３３を、可動子２０ｂの移動、及び、可動子２０ｂへの非接触給電に共用することができる。
　なお、可動子２０ｂが電磁石２１ｂを備える場合、可動子２０ｂは、電磁石２１ｂを駆動するための電源となる電池、または、蓄電池を有していてもよい。この場合、固定子３０または固定子３０ｂから可動子２０ｂへの非接触給電は省略されてもよい。
　（実施の形態３）
　［制御回路の具体的構成１］
　実施の形態３では、マトリクス状に配置された複数のパターンコイル３３を駆動するためのより具体的な制御回路について説明する。図１８は、実施の形態３に係る第一の制御回路の具体的構成を示す図である。
　図１８において、複数のパターンコイル３３は、４行×７列にマトリクス状に配置されている。以下の実施の形態３では、４行は数字によって区別され、行１～行４のように記載される。７列はアルファベットによって区別され、列Ａ～列Ｇのように記載される。複数のパターンコイル３３は、行を示す数字及び列を示すアルファベットによって定められるアドレスによって区別される。例えば、行１に属し、かつ、列Ａに属するパターンコイル３３には、アドレス１－Ａに対応するパターンコイル３３である。
　図１８に示される制御回路６０は、第一配線Ｒ１～Ｒ４と、第二配線ＣＡ～ＣＧと、複数のスイッチング素子（第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４及び第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧ）と、第一デコーダ６１と、第二デコーダ６２と、制御部６３と、直流電源６４とを備える。
　第一配線Ｒ１～Ｒ４は、行ごとに１つずつ配置される、行方向に延在する配線である。第一配線Ｒ１～Ｒ４は、例えば、回路基板３２（図１８では図示せず）上に、銅などの金属材料によってパターン形成される。
　第一配線Ｒ１～Ｒ４のそれぞれは、複数のパターンコイル３３のうち同一の行に属する第一コイル群に電気的に接続される。例えば、第一配線Ｒ１は、行１に属する第一コイル群に電気的に接続される。行１に属する第一コイル群は、アドレス１－Ａ～アドレス１－Ｇに対応する７つのパターンコイル３３によって構成される。
　第二配線ＣＡ～ＣＧは、列ごとに１つずつ配置される、列方向に延在する配線である。第二配線ＣＡ～ＣＧは、例えば、回路基板３２（図１８では図示せず）上に、銅などの金属材料によってパターン形成される。
　第二配線ＣＡ～ＣＧのそれぞれは、複数のパターンコイル３３のうち同一の列に属する第二コイル群に電気的に接続される。例えば、第二配線ＣＡは、列Ａに属する第二コイル群に電気的に接続される。列Ａに属する第二コイル群は、アドレス１－Ａ～アドレス４－Ａに対応する４つのパターンコイル３３によって構成される。
　このように、マトリクス状に配置された複数のパターンコイル３３のそれぞれは、一端が当該パターンコイル３３が属する行に対応する第一配線に電気的に接続され、他端が当該パターンコイル３３が属する列に対応する第二配線に電気的に接続される。
　また、制御回路６０は、複数のパターンコイル３３への電力供給をオン及びオフするための複数のスイッチング素子を有する。複数のスイッチング素子には、複数のコイルのうち同一の行に属する第一コイル群への電力供給をオン及びオフするための第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４と、複数のパターンコイル３３のうち同一の列に属する第二コイル群への電力供給をオン及びオフするための第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧが含まれる。
　例えば、第一スイッチング素子ｓ１は、第一配線Ｒ１及び直流電源６４の間に位置し、第一配線Ｒ１と直流電源６４の負極端子との電気的な接続をオン及びオフする。第二スイッチング素子ＳＡは、第二配線ＣＡ及び直流電源６４の間に位置し、第二配線ＣＡと直流電源６４の正極端子との電気的な接続をオン及びオフする。
　以上のような第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４及び第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧのそれぞれは、例えば、ＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ　Ｅｆｆｅｃｔ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）であるが、その他のスイッチング素子（トランジスタ）であってもよい。第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４及び第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧは、回路基板３２上に配置されてもよいし、回路基板３２外に配置されてもよい。なお、第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４及び第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧが回路基板３２上に配置される場合、第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４及び第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧのそれぞれは、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）であってもよい。この場合、回路基板３２は、複数のパターンコイル３３及び複数のスイッチング素子（薄膜トランジスタ）を含む薄膜状の基板となる。
　第一デコーダ６１は、制御部６３から通知されたアドレスに対応する第一スイッチング素子をオンする。第一デコーダ６１は、第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４の制御端子（ゲート）に電気的に接続される。第一デコーダ６１は、例えば、回路によって実現されるが、プロセッサまたはマイクロコンピュータを含んでもよい。
　第二デコーダ６２は、制御部６３から通知されたアドレスに対応する第二スイッチング素子をオンする。第二デコーダ６２は、第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧの制御端子（ゲート）に電気的に接続される。第二デコーダ６２は、例えば、回路によって実現されるが、プロセッサまたはマイクロコンピュータを含んでもよい。
　制御部６３は、第一デコーダ６１及び第二デコーダ６２にアドレスを通知する制御装置である。制御部６３は、例えば、マイクロコンピュータによって実現されるが、プロセッサまたは回路によって実現されてもよい。制御部６３は、マイクロコンピュータ、プロセッサ、及び、回路のうち２つ以上の組み合わせによって実現されてもよい。
　図１９は、制御部６３（制御回路６０）の動作を説明するための図である。例えば、制御部６３は、第一デコーダ６１及び第二デコーダ６２のそれぞれに、アドレス２－Ｅを通知する。アドレス２－Ｅは、行アドレスが２であり、列アドレスがＥであることを意味する。そうすると、第一デコーダ６１は、行アドレス２に対応する第一スイッチング素子ｓ２をオンし、第二デコーダ６２は、列アドレスＥに対応する第二スイッチング素子ＳＥをオンする。この結果、図１９に示されるように、第一配線Ｒ２が直流電源６４の負極に電気的に接続され、第二配線ＣＥが直流電源６４の正極に電気的に接続される。そうすると、一端が第一配線Ｒ２に電気的に接続され、他端が第二配線ＣＥに電気的に接続されたアドレス２－Ｅに対応するパターンコイル３３に電流が流れ、当該パターンコイル３３が電磁石として機能する。
　このように、制御回路６０は、マトリクス状に配置された複数のパターンコイル３３の駆動を制御することができ、可動子２０を移動させることができる。なお、制御回路６０には、直流電源６４に代えて、図５に示される極性の切り替えが可能な直流電源が用いられてもよい。これにより、制御回路６０は、パターンコイル３３を、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能させるか、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能させるかを切り替えることができる。また、制御回路６０が実施の形態２の変形例と組み合わされる場合には、制御回路６０には、直流電源６４に代えて、直流及び交流の切り替えが可能な電源が用いられてもよい。
　また、制御回路６０は、複数のパターンコイル３３を同時に駆動（オン）してもよい。つまり、制御回路６０は、一つの可動子２０を移動させるために２つ以上のパターンコイル３３に同時に電力を供給してもよい。
　これにより、大きな推力を得ることができる。なお、この場合、平面視における一つの永久磁石２１（または一つの電磁石２１ｂ）の大きさは、例えば、一つのパターンコイル３３の大きさよりも大きい。
　［制御回路の具体例２］
　図２０は、実施の形態３に係る第二の制御回路の具体的構成を示す図である。図２０に示される制御回路７０は、複数のスイッチング素子Ｓと、第一配線Ｒ１～Ｒ４と、第二配線ＣＡ～ＣＧと、第一デコーダ７１と、第二デコーダ７２と、制御部７３とを備える。
　制御回路７０において、複数のスイッチング素子Ｓは、複数のパターンコイル３３に１対１で対応する。複数のスイッチング素子Ｓは、マトリクス状に配置される。複数のスイッチング素子Ｓは、複数のパターンコイル３３と同様に、行を示す数字及び列を示すアルファベットによって定められるアドレスによって区別される。例えば、行１に属し、かつ、列Ａに属するスイッチング素子Ｓは、アドレス１－Ａに対応するスイッチング素子Ｓである。
　制御回路７０において、第一配線Ｒ１～Ｒ４のそれぞれは、複数のスイッチング素子Ｓのうち同一の行に属するスイッチング素子群に電気的に接続される。例えば、第一配線Ｒ１は、行１に属するスイッチング素子群に電気的に接続される。行１に属するスイッチング素子群は、アドレス１－Ａ～アドレス１－Ｇに対応する７つのスイッチング素子Ｓによって構成される。
　また、第二配線ＣＡ～ＣＧのそれぞれは、複数のスイッチング素子Ｓのうち同一の列に属するスイッチング素子群に電気的に接続される。例えば、第二配線ＣＡは、列Ａに属するスイッチング素子群に電気的に接続される。列Ａに属するスイッチング素子群は、アドレス１－Ａ～アドレス４－Ａに対応する４つのスイッチング素子Ｓによって構成される。
　第一配線Ｒ１～Ｒ４のそれぞれは、具体的には、スイッチング素子Ｓの制御端子（ゲート）に電気的に接続され、第二配線ＣＡ～ＣＧのそれぞれは、具体的には、スイッチング素子Ｓのソースに電気的に接続される。なお、スイッチング素子Ｓのドレインには、パターンコイル３３が電気的に接続される。
　以上のような複数のスイッチング素子Ｓのそれぞれは、例えば、ＦＥＴであるが、その他のスイッチング素子（トランジスタ）であってもよい。複数のスイッチング素子Ｓは、回路基板３２上に配置されてもよいし、回路基板３２外に配置されてもよい。なお、複数のスイッチング素子Ｓが回路基板３２上に配置される場合、複数のスイッチング素子Ｓのそれぞれは、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）であってもよい。この場合、回路基板３２は、複数のパターンコイル３３及び複数のスイッチング素子Ｓを含む薄膜状の基板となる。
　第一デコーダ７１は、複数のスイッチング素子Ｓの制御端子（ゲート）に第一配線Ｒ１～Ｒ４を介して電気的に接続され、制御部７３から通知されたアドレスに対応する第一配線にゲート電圧を供給する。第一デコーダ７１は、例えば、回路によって実現されるが、プロセッサまたはマイクロコンピュータを含んでもよい。
　第二デコーダ７２は、複数のスイッチング素子Ｓのソースに第二配線ＣＡ～ＣＧを介して電気的に接続され、制御部７３から通知されたアドレスに対応する第二配線に直流電力を供給する。第二デコーダ７２は、例えば、回路によって実現されるが、プロセッサまたはマイクロコンピュータを含んでもよい。
　制御部７３は、第一デコーダ７１及び第二デコーダ７２にアドレスを通知する制御装置である。制御部７３は、例えば、マイクロコンピュータによって実現されるが、プロセッサまたは回路によって実現されてもよい。制御部７３は、マイクロコンピュータ、プロセッサ、及び、回路のうち２つ以上の組み合わせによって実現されてもよい。
　図２１は、制御部７３（制御回路７０）の動作を説明するための図である。例えば、制御部７３は、第一デコーダ７１及び第二デコーダ７２のそれぞれに、アドレス２－Ｅを通知する。そうすると、第一デコーダ７１は、行アドレス２に対応する第一配線Ｒ２にゲート電圧を供給し、第二デコーダ７２は、列アドレスＥに対応する第二配線ＣＥに直流電力を供給する。この結果、図２１に示されるように、アドレス２－Ｅに対応するスイッチング素子Ｓがオンし、アドレス２－Ｅに対応するパターンコイル３３に電流が流れ、当該パターンコイル３３が電磁石として機能する。
　このように、制御回路７０において、複数のスイッチング素子Ｓのそれぞれは、複数のパターンコイル３３のうち当該スイッチング素子Ｓに対応するパターンコイル３３への電力供給をオン及びオフする。したがって、制御回路７０は、マトリクス状に配置された複数のパターンコイル３３の駆動を制御し、可動子２０を移動させることができる。
　なお、制御回路７０において、第二デコーダ７２が供給する直流電力（直流電圧）は、極性が切り替え可能であってもよい。これにより、制御回路７０は、パターンコイル３３を、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能させるか主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能させるかを切り替えることができる。この場合、行アドレス及び列アドレスがいずれも異なる２つのパターンコイル３３については、一方を主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能させ、他方を主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能させることもできる。つまり、図１１に示されるように、制御回路７０は、吸引力及び反発力を同時に使用して可動子２０を移動させることができる。
　また、制御回路７０が実施の形態２の変形例と組み合わされる場合には、第二デコーダ７２は、直流電力（直流電圧）及び交流電力（交流電圧）を切り替えて供給してもよい。
　また、制御回路７０は、複数のパターンコイル３３を同時に駆動（オン）してもよい。つまり、制御回路７０は、一つの可動子２０を移動させるために２つ以上のパターンコイル３３に同時に電力を供給してもよい。
　これにより、大きな推力を得ることができる。なお、この場合、平面視における一つの永久磁石２１（または一つの電磁石２１ｂ）の大きさは、例えば、一つのパターンコイル３３の大きさよりも大きい。
　［制御回路の具体例３］
　図２２は、実施の形態３に係る第三の制御回路の具体的構成を示す図である。図２２に示される制御回路８０は、制御回路７０に、第一検出抵抗ｒ１～ｒ４、及び、第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧが追加された構成の回路である。制御回路８０は、複数のスイッチング素子Ｓと、第一配線Ｒ１～Ｒ４と、第二配線ＣＡ～ＣＧと、第一デコーダ８１と、第二デコーダ８２と、制御部８３とを備え、制御回路７０と同様の動作によって可動子２０を移動させることができる。
　また、制御回路８０は、第一検出抵抗ｒ１～ｒ４、及び、第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧを用いて可動子２０の位置検出を行うことができる。
　第一検出抵抗ｒ１～ｒ４は、第一配線Ｒ１～Ｒ４に流れる電流を検出するための第一検出素子の一例である。第一検出抵抗ｒ１～ｒ４は、第一配線Ｒ１～Ｒ４に１対１で対応する。例えば、第一検出抵抗ｒ１は、第一配線Ｒ１に対応し、第一配線Ｒ１及び第一デコーダ８１の間に配置される。第一デコーダ８１は、第一検出抵抗ｒ１の両端の電圧値（以下、単に第一検出抵抗ｒ１の電圧値とも記載する）に基づいて第一配線Ｒ１に流れる電流を検出することができる。第一検出抵抗ｒ１～ｒ４は、例えば、同じ抵抗値である。
　第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧは、第二配線ＣＡ～ＣＧに流れる電流を検出するための第二検出素子の一例である。第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧは、第二配線ＣＡ～ＣＧに１対１で対応する。例えば、第二検出抵抗ｒＡは、第二配線ＣＡに対応し、第二配線ＣＡ及び第二デコーダ８２の間に配置される。第二デコーダ８２は、第二検出抵抗ｒＡの両端の電圧値（以下、単に第二検出抵抗ｒＡの電圧値とも記載する）に基づいて第二配線ＣＡに流れる電流を検出することができる。第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧは、例えば、同じ抵抗値である。
　次に、可動子２０の位置検出動作について説明する。制御部８３は、まず、同一行に属する複数のパターンコイル３３に電力供給を行い、当該行に対応する第一検出抵抗の電圧値を記憶する。例えば、制御部８３によって第一デコーダ８１及び第二デコーダ８２に行アドレス１が通知されることにより、アドレス１－Ａ～１－Ｇの７つのパターンコイル３３に電力供給を行う。制御部８３は、このときの第一検出抵抗ｒ１の電圧値Ｖ１を取得し、半導体メモリなどの記憶部（図示せず）に記憶する。なお、電圧値Ｖ１は、第一配線Ｒ１に流れる電流値を示す。行２～行４についても同様の動作が行われ、第一検出抵抗ｒ２の電圧値Ｖ２、第一検出抵抗ｒ３の電圧値Ｖ３、及び、第一検出抵抗ｒ４の電圧値Ｖ４が記憶部に記憶される。
　次に、制御部８３は、同一列に属する複数のパターンコイル３３に電力供給を行い、当該列に対応する第二検出抵抗の電圧値を記憶する。例えば、制御部８３によって第一デコーダ８１及び第二デコーダ８２に列アドレスＡが通知されることにより、アドレス１－Ａ～４－Ａの４つのパターンコイル３３に電力供給を行う。制御部８３は、このときの第二検出抵抗ｒＡの電圧値ＶＡを取得し、記憶部に記憶する。なお、電圧値ＶＡは、第二配線ＣＡに流れる電流値を示す。列Ｂ～列Ｇについても同様の動作が行われ、第二検出抵抗ｒＢの電圧値ＶＢ、第二検出抵抗ｒＣの電圧値ＶＣ、第二検出抵抗ｒＤの電圧値ＶＤ、第二検出抵抗ｒＥの電圧値ＶＥ、第二検出抵抗ｒＦの電圧値ＶＦ、及び、第二検出抵抗ｒＧの電圧値ＶＧが記憶部に記憶される。
　ここで、固定子３０上に可動子２０が配置されていないときには、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、及び、Ｖ４はほぼ等しくなり、ＶＡ、ＶＢ、ＶＣ、ＶＤ、ＶＥ、ＶＦ、及び、ＶＧは、ほぼ等しくなる。
　一方、図２３に示されるように、固定子３０上のアドレス２－Ｄに可動子２０が配置されていると、行２に属する複数のパターンコイル３３に電力供給を行ったときの電流、及び、列Ｄに属する複数のパターンコイル３３に電力供給を行ったときの電流が比較的小さくなる。図２３は、位置検出動作において各配線に流れる電流量を模式的に示す図である。したがって、固定子３０上のアドレス２－Ｄに可動子２０が配置されていると、Ｖ１、Ｖ３、及び、Ｖ４に比べてＶ２が小さくなり、ＶＡ、ＶＢ、ＶＣ、ＶＥ、ＶＦ、及び、ＶＧに比べてＶＤが小さくなる。
　そこで、制御部８３は、記憶部に記憶されたＶ１、Ｖ２、Ｖ３、及び、Ｖ４を比較し、最も低い（あるいは、平均値よりも所定値以上低い）電圧値に対応する行の近傍に可動子２０が位置することを検出することができる。同様に、制御部８３は、記憶部に記憶されたＶＡ、ＶＢ、ＶＣ、ＶＤ、ＶＥ、ＶＦ、及び、ＶＧを比較し、最も低い（あるいは、平均値よりも所定値以上低い）電圧値に対応する列の近傍に可動子２０が位置することを検出することができる。
　なお、値の小さい電圧値の特定方法は、複数の電圧値の相対比較に限定されない。例えば、閾値と複数の電圧値のそれぞれとの比較により、値の小さい電圧値（閾値を下回った電圧値）が特定されてもよい。
　また、第一検出抵抗ｒ１～ｒ４は、第一配線Ｒ１～Ｒ４に流れる電流を検出するための第一検出素子の一例である。第一検出素子は、抵抗以外の電流検出素子であってもよい。第二検出素子についても同様である。
　［実施の形態３の効果等］
　実施の形態１及び２で説明した平面モータ１０（または、平面モータ１０ｂ、平面モータ１０ｃ）は、制御回路６０、制御回路７０、及び、制御回路８０のいずれの制御回路を備えてもよい。また、制御回路６０、制御回路７０、及び、制御回路８０は、パターンコイル３３ではなく巻線コイルなどの他のコイルの駆動にも適用できる。
　例えば、平面モータ１０は、永久磁石２１または電磁石２１ｂを有する可動子２０と、可動子２０と対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿ってマトリクス状に配置される複数のコイルを有する固定子３０と、複数のコイルへの電力供給をオン及びオフするための複数のスイッチング素子を有する制御回路６０（または、制御回路７０、制御回路８０）とを備える。
　これにより、マトリクス状に配置された複数のコイルをスイッチング素子のスイッチングによって駆動することにより、制御回路６０の簡素化を図ることができる。
　また、制御回路６０において、複数のスイッチング素子には、複数のコイルのうち同一の行に属する第一コイル群への電力供給をオン及びオフするための第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４と、複数のコイルのうち同一の列に属する第二コイル群への電力供給をオン及びオフするための第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧとが含まれる。
　これにより、制御回路６０においては、複数のコイルに１対１で対応する複数のスイッチング素子が配置される回路よりも、スイッチング素子の数が低減される。スイッチング素子の数が低減されるため、回路構成が簡素化された制御回路６０が実現される。
　また、制御回路６０は、さらに、直流電源６４と、第一コイル群に電気的に接続された第一配線Ｒ１～Ｒ４と、第二コイル群に電気的に接続された第二配線ＣＡ～ＣＧとを有する。第一スイッチング素子ｓ１～ｓ４は、第一配線Ｒ１～Ｒ４及び直流電源６４の電気的な接続をオン及びオフし、第二スイッチング素子ＳＡ～ＳＧは、第二配線ＣＡ～ＣＧ及び直流電源６４の電気的な接続をオン及びオフする。
　これにより、制御回路６０においては、複数のコイルのそれぞれに対応して直流電源６４が配置される回路よりも、直流電源６４の数が低減される。直流電源の数が低減されるため、回路構成が簡素化された制御回路６０が実現される。
　また、制御回路７０において、複数のスイッチング素子Ｓは、複数のコイルに１対１で対応し、複数のスイッチング素子Ｓのそれぞれは、複数のコイルのうち当該スイッチング素子Ｓに対応するコイルへの電力供給をオン及びオフする。
　これにより、複数のコイルに１対１で対応する複数のスイッチング素子Ｓによって複数のコイルへの電力供給をオン及びオフすることができる。
　また、制御回路７０において、複数のコイルのそれぞれは、薄膜状のパターンコイル３３であり、複数のスイッチング素子Ｓのそれぞれは、薄膜トランジスタであり、固定子３０は、複数のコイル及び複数のスイッチング素子Ｓを含む薄膜状の回路基板３２を有してもよい。
　これにより、複数のコイル及び複数のスイッチング素子を回路基板３２の一部として一体形成することができる。
　また、制御回路８０は、さらに、複数のスイッチング素子Ｓのうち同一の行に属するスイッチング素子群に電気的に接続された第一配線Ｒ１～Ｒ４と、第一配線Ｒ１～Ｒ４に流れる電流を検出するための第一検出抵抗ｒ１～ｒ４と、複数のスイッチング素子Ｓのうち同一の列に属するスイッチング素子群に電気的に接続された第二配線ＣＡ～ＣＧと、第二配線ＣＡ～ＣＧに流れる電流を検出するための第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧとを有する。第一検出抵抗ｒ１～ｒ４は、第一検出素子の一例であり、第二検出抵抗ｒＡ～ｒＧは、第二検出素子の一例である。
　これにより、制御回路８０は、ホール素子などのセンシングデバイスを使用せずに可動子２０の位置検出を行うことができる。
　また、制御回路６０（または、制御回路７０、制御回路８０）は、一つの可動子２０を移動させるために２つ以上のコイルに電力を供給してもよい。
　これにより、一つの可動子２０に対して比較的大きな推力を与えることができる。
　（その他の実施の形態）
　以上、実施の形態に係る平面モータについて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
　例えば、上記実施の形態では、固定子は薄膜状のパターンコイルを有していたが、固定子が備えるコイルは、パターンコイルに限定されない。固定子は、パターンコイルに代えて複数の巻線コイルを備えてもよい。また、上記実施の形態では、複数のパターンコイルは、マトリクス状に配置されたが、マトリクス状以外のレイアウトで配置されてもよい。
　また、上記実施の形態の固定子の模式断面図に示される積層構造は一例である。平面モータは、本発明の特徴的な機能を実現できる他の積層構造を有する固定子を備えてもよい。平面モータは、例えば、上記実施の形態で説明された積層構造と同様の機能を実現できる範囲で、上記実施の形態の積層構造の層間に別の層が設けられた固定子を備えてもよい。
　また、上記実施の形態では、固定子が有する積層構造の各層を構成する主たる材料について例示しているが、固定子が有する積層構造の各層には、上記実施の形態の積層構造と同様の機能を実現できる範囲で他の材料が含まれてもよい。
　また、上記実施の形態において、制御部等の構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
　その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
　例えば、本発明は、平面モータに含まれる制御回路単体として実現されてもよいし、上記実施の形態の可動子の位置検出方法として実現されてもよい。
　１０、１０ｂ、１０ｃ　平面モータ
　２０、２０ｂ　可動子
　２１　永久磁石
　２１ｂ　電磁石
　３０、３０ｂ　固定子
　３１ａ　主面
　３２、３２ａ　回路基板
　３３　パターンコイル（コイル）
　６０、７０、８０　制御回路
　６４　直流電源

Claims (11)

  1. 　永久磁石または電磁石を有する可動子と、
    　前記可動子と対向する主面、及び、前記主面に沿ってマトリクス状に配置される複数のコイルを有する固定子と、
    　前記複数のコイルへの電力供給をオン及びオフするための複数のスイッチング素子を有する制御回路とを備える
    　平面モータ。
  2. 　前記複数のスイッチング素子には、
    　前記複数のコイルのうち同一の行に属する第一コイル群への電力供給をオン及びオフするための第一スイッチング素子と、
    　前記複数のコイルのうち同一の列に属する第二コイル群への電力供給をオン及びオフするための第二スイッチング素子とが含まれる
    　請求項１に記載の平面モータ。
  3. 　前記制御回路は、さらに、
    　電源と、
    　前記第一コイル群に電気的に接続された第一配線と、
    　前記第二コイル群に電気的に接続された第二配線とを有し、
    　前記第一スイッチング素子は、前記第一配線及び前記電源の電気的な接続をオン及びオフし、
    　前記第二スイッチング素子は、前記第二配線及び前記電源の電気的な接続をオン及びオフする
    　請求項２に記載の平面モータ。
  4. 　前記複数のスイッチング素子は、前記複数のコイルに１対１で対応し、
    　前記複数のスイッチング素子のそれぞれは、前記複数のコイルのうち当該スイッチング素子に対応するコイルへの電力供給をオン及びオフする
    　請求項１に記載の平面モータ。
  5. 　前記複数のコイルのそれぞれは、薄膜状のパターンコイルであり、
    　前記複数のスイッチング素子のそれぞれは、薄膜トランジスタであり、
    　前記固定子は、前記複数のコイル及び前記複数のスイッチング素子を含む薄膜状の基板を有する
    　請求項４に記載の平面モータ。
  6. 　前記制御回路は、さらに、
    　前記複数のスイッチング素子のうち同一の行に属するスイッチング素子群に電気的に接続された第一配線と、
    　前記第一配線に流れる電流を検出するための第一検出素子と、
    　前記複数のスイッチング素子のうち同一の列に属するスイッチング素子群に電気的に接続された第二配線と、
    　前記第二配線に流れる電流を検出するための第二検出素子とを有する
    　請求項４または５に記載の平面モータ。
  7. 　前記制御回路は、一つの前記可動子を移動させるために２つ以上の前記コイルに電力を供給する
    　請求項１～６のいずれか１項に記載の平面モータ。
  8. 　前記可動子は、前記永久磁石を有し、
    　当該永久磁石のＳ極及びＮ極の並び方向は、前記主面と交差する
    　請求項１～７のいずれか１項に記載の平面モータ。
  9. 　前記可動子は、前記永久磁石を有し、
    　当該永久磁石のＳ極及びＮ極の並び方向は、前記主面に沿う
    　請求項１～７のいずれか１項に記載の平面モータ。
  10. 　前記可動子は、前記電磁石を有し、
    　前記制御回路は、一つの前記コイルに交流電力を供給することにより前記可動子に非接触給電を行う第一制御、及び、当該一つの前記コイルに直流電力を供給することにより前記可動子を動かす第二制御を選択的に実行する
    　請求項１～７のいずれか１項に記載の平面モータ。
  11. 　前記可動子は、前記電磁石を有し、
    　前記固定子は、さらに、前記可動子に非接触給電を行う給電用コイルを有する
    　請求項１～７のいずれか１項に記載の平面モータ。
PCT/JP2018/018562 2017-07-26 2018-05-14 平面モータ WO2019021577A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019532387A JP6846722B2 (ja) 2017-07-26 2018-05-14 平面モータ

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-144755 2017-07-26
JP2017144755 2017-07-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019021577A1 true WO2019021577A1 (ja) 2019-01-31

Family

ID=65041166

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/018562 WO2019021577A1 (ja) 2017-07-26 2018-05-14 平面モータ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6846722B2 (ja)
WO (1) WO2019021577A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11344900B2 (en) * 2020-01-14 2022-05-31 Beckhoff Automation Gmbh Linear transport system, motor module and guide rail for a linear transport system
JP7478891B2 (ja) 2019-10-01 2024-05-07 株式会社日立ハイテク 搬送装置、および分析システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10248224A (ja) * 1997-03-03 1998-09-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd ハードディスクドライブ用モータ
JPH1159901A (ja) * 1997-08-11 1999-03-02 Murata Mach Ltd キャリヤー移動装置
JPH1169760A (ja) * 1997-08-21 1999-03-09 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd リニア電磁型マイクロアクチュエータ
JP2013123319A (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 Fuji Mach Mfg Co Ltd 非接触給電装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60190177U (ja) * 1984-05-28 1985-12-17 株式会社東芝 ブラシレスモ−タ
JP2894080B2 (ja) * 1992-04-14 1999-05-24 松下電器産業株式会社 小型モータ用の薄膜コイルおよびその製造方法
JPH0638439A (ja) * 1992-07-20 1994-02-10 Toshiba Corp モータ
JP2000228858A (ja) * 1999-02-08 2000-08-15 Matsushita Electric Works Ltd リニアモータのコイル構造
JP4724297B2 (ja) * 2000-12-26 2011-07-13 キヤノン株式会社 露光装置、デバイス製造方法
JP2010057229A (ja) * 2008-08-27 2010-03-11 Kazuo Kobayashi 電動アクチュエーター

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10248224A (ja) * 1997-03-03 1998-09-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd ハードディスクドライブ用モータ
JPH1159901A (ja) * 1997-08-11 1999-03-02 Murata Mach Ltd キャリヤー移動装置
JPH1169760A (ja) * 1997-08-21 1999-03-09 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd リニア電磁型マイクロアクチュエータ
JP2013123319A (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 Fuji Mach Mfg Co Ltd 非接触給電装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7478891B2 (ja) 2019-10-01 2024-05-07 株式会社日立ハイテク 搬送装置、および分析システム
US11344900B2 (en) * 2020-01-14 2022-05-31 Beckhoff Automation Gmbh Linear transport system, motor module and guide rail for a linear transport system

Also Published As

Publication number Publication date
JP6846722B2 (ja) 2021-03-24
JPWO2019021577A1 (ja) 2020-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10424223B2 (en) Braille actuator and braille outputting device using same
WO2010050285A1 (ja) リニアモータおよびリニアモータを備えた携帯機器
JP6846722B2 (ja) 平面モータ
US20090219633A1 (en) Lens driving device
US11276518B2 (en) Haptic engine module with array-riddled-of-dual (AROD) magnets
US20130141084A1 (en) Electromagnetic input device and electromagnetic input panel
US20220045558A1 (en) Translation Unit for Wireless Power Transfer
WO2019225284A1 (ja) 平面モータ、及び、制御方法
WO2019058735A1 (ja) 平面モータ
US20190319524A1 (en) Power generation element and smart key
JP2019030067A (ja) 平面モータ
US9178406B2 (en) Linear motor and stage device
JP2020089109A (ja) 磁気搬送装置、及び、制御方法
WO2019142605A1 (ja) 平面モータ
JP2002354779A (ja) リニアモータ
JP2004112937A (ja) 磁気アクチュエータ及び触覚呈示装置
US11586289B2 (en) Information output device
JP2019161834A (ja) 平面モータ
JP2008109772A (ja) スイッチング素子、スイッチ回路、モータおよび発電装置
JP3817967B2 (ja) リニアモータ
JPWO2019176507A1 (ja) 平面モータ
WO2019239797A1 (ja) 平面モータ、及び、制御方法
JP2019115134A (ja) 平面モータ
WO2019208144A1 (ja) 平面モータ、及び、制御方法
JP2016136497A (ja) 回転入力装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18838353

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019532387

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18838353

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1