WO2019012585A1 - マスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

マスクパターンに対して簡便な方法により皺を発生させずに、マスクシートを枠体に接合し得るマスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法を提供する。マスクシート枠体接合装置（１０Ａ）は、マスクパターン（１１ａ）を配したマスクシート（１１）をフレーム（１２）に接合する。マスクシート（１１）のグリップ用端部（１１ｂ・１１ｂ）を保持してマスクシート（１１）に引張り力を作用させるグリッパ（１４・１４）と、引張り力が作用したマスクシート（１１）における、マスクパターン（１１ａ）とグリッパ（１４）の保持位置との間における少なくとも表面である、フレーム（１２）の反対側を押圧する、フレーム（１２）以外の押圧部材であるローラ（１５）を備えている。

Description

マスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法

　本発明は、マスクパターンを配したマスクシートを枠体に接合するマスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法に関するものである。

　有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」という。）ディスプレイは、基板に発光体となる有機発光ダイオードをマトリクス状に多数配設して構成されたディスプレイである。

　有機発光ダイオードは、色の三原色であるＲＧＢをそれぞれ発光する３種類の素子からなっており、各素子は、例えば、各ＲＧＢのための有機系の発光材料を基板に蒸着して形成される。発光材料は、ＲＧＢ毎にパターン状に成膜する必要があり、そのためには、所望のパターン位置を開口し、かつそれ以外を覆うメタルマスクが必要となる。

　メタルマスクは、例えば板厚３０μｍ以下の金属の薄板に、パターンとする部分をエッチング工程で金属除去する加工を施したものである。エッチングされた金属薄板はシート状に裁断され、メタルマスクシートとなる。メタルマスクシートは、工程に応じて、例えば固定枠へ取り付けられて工程に投入される。メタルマスクシートを固定枠へ取り付け固定するときには、メタルマスクシートにキズ、シワ、凹みを発生しないようにするため、及び加工の寸法精度を低下させないために、常に張力をかけておくことが求められている。

　しかしながら、メタルマスクシートを固定枠に取り付ける作業は人が行うことが多く、張力の掛け方がわずかに均等でなくなることにより、シワが発生して、製品が不良となることが多かった。

　そこで、特許文献１に開示されたメタルマスクシートの搬送装置では、メタルマスクシートの表面を吸着手段にて吸着しながら該メタルマスクシートに張力を掛ける架張手段を備えると共に、メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えている。これにより、メタルマスクシートを吸着する直前及び直後に撮像手段にて読取ったアライメントマークの位置のズレ量を求めて、架張手段により幅方向の張力を調整して補正するようになっている。

日本国公開特許公報「特開２０１５－１９９６０７号（２０１５年１１月１２日公開）」

　しかしながら、上記従来の特許文献１に開示されたメタルマスクシートの搬送装置では、シワがなくなるように補正するためには、架張手段による張力の微調整が必要になる。このため、架張手段に加えて、メタルマスクシートに対して均等に精度良く調整して張力を付与する架張手段が必要となるので、高価であると共に、調整に時間を要するという問題を有している。

　本発明は、前記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、マスクパターンに対して簡便な方法により皺を発生させずに、マスクシートを枠体に接合し得るマスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法を提供することにある。

　本発明の一態様におけるマスクシート枠体接合装置は、前記の課題を解決するために、マスクパターンを配したマスクシートを枠体に接合するマスクシート枠体接合装置において、前記マスクシートの両端部を保持して該マスクシートに引張り力を作用させる引張り治具と、前記引張り力が作用したマスクシートにおける、前記マスクパターンと引張り治具の保持位置との間における少なくとも表面である、枠体の反対側を押圧する枠体以外の押圧部材とを備えていることを特徴としている。

　本発明の一態様における蒸着マスクの製造方法は、前記の課題を解決するために、前記記載のマスクシート枠体接合装置を用いてマスクシートを枠体に接合した蒸着マスクを製造する蒸着マスクの製造方法であって、前記マスクシートを両端で保持して該マスクシートに引張り力を付与する引張りステップと、前記マスクパターンが前記枠体の開口内に収まるようにして、該枠体を前記マスクシートに接触させる接触ステップと、押圧部材にて、前記マスクシートの表面を押圧する押圧ステップと、前記マスクシートを前記枠体に接合する接合ステップと、接合完了後に、前記押圧部材のマスクシートへの押圧を解除する押圧解除ステップと、前記マスクシートへの引張り力を解除する引張り力解除ステップと、前記マスクシートの端部を切断して蒸着マスクを製造する切断ステップとをこの順に含んでいることを特徴としている。

　本発明の一態様によれば、マスクパターンに対して簡便な方法により皺を発生させずに、マスクシートを枠体に接合し得るマスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法を提供するという効果を奏する。

（ａ）は本発明の実施形態１におけるマスクシート枠体接合装置を示すものであって、マスクシートをフレームに固定する状態を示す平面図であり、（ｂ）はマスクシートの引張り方法を示す平面図であり、（ｃ）は（ａ）のＡ－Ａ線矢視断面図である。 （ａ）はＯＬＥＤパネルの構成を示す断面図であり、（ｂ）はＯＬＥＤパネルの製造方法を示すフローチャートである。 前記ＯＬＥＤパネルの蒸着工程を示す模式断面図である。 マスクシートのフレームへの接合方法を示すフローチャートである。 全てのマスクシートをフレームに溶接した蒸着マスクの構成を示す平面図である。 （ａ）は本発明の実施形態１における変形例のマスクシート枠体接合装置を示すものであって、マスクシートをフレームに固定する状態を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線矢視断面図であり、（ｃ）はさらなる変形例の断面図である。 （ａ）は本発明の実施形態１における他の変形例のマスクシート枠体接合装置を示すものであって、マスクシートをフレームに固定する状態を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線矢視断面図である。 （ａ）は本発明の実施形態２におけるマスクシート枠体接合装置を示すものであって、分割ローラの構成を示す平面図であり、（ｂ）はマスクシートの幅に合わせて分割ローラを２個使用する状態を示す平面図であり、（ｃ）はマスクシートの幅に合わせて分割ローラを３個使用する状態を示す平面図である。 本発明の実施形態３におけるマスクシート枠体接合装置を示すものであって、マスクシートをフレームに接合する場合に、一軸上に配された分割ローラの構成を示す平面図である。 本発明の実施形態３におけるマスクシート枠体接合装置の変形例を示すものであって、マスクシートをフレームに接合する場合に、二軸上に千鳥状に配された分割ローラの構成を示す平面図である。

　〔実施の形態１〕
　本発明の一実施形態について図１～図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　（ＯＬＥＤパネルの製造方法の概要）
　本実施の形態のマスクシート枠体接合装置を備えた表示パネルとしてのＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode）パネル１の製造方法について、図２の（ａ）（ｂ）及び図３に基づいて説明する。図２の（ａ）は、ＯＬＥＤパネル１の構成を示す断面図である。図２の（ｂ）は、ＯＬＥＤパネル１の製造方法を示すフローチャートである。図３は、ＯＬＥＤパネル１の蒸着工程を示す模式断面図である。

　ＯＬＥＤパネル１は、発光体が有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」という。）からなっているパネルであり、図２の（ａ）に示すように、基板２とＴＦＴアレイ層３とＯＬＥＤ素子層４と保護ガラス５とが順に積層されている。ＴＦＴアレイ層３は、薄膜トランジスタ及び信号線等を含んでいる。ＯＬＥＤ素子層４は、色の三原色であるＲＧＢをそれぞれ発光する３種類の素子を平面的にマトリクス状に配設した層である。各素子は、例えば、各ＲＧＢのための有機系の発光材料を基板に蒸着して形成される。ＯＬＥＤ素子層４は、また、電気的機能層及び陰極を含んでいる。保護ガラス５は、ＯＬＥＤ素子層４の各ＲＧＢの素子を封止するものである。

　ＯＬＥＤパネル１を製造する場合には、図２の（ｂ）に示すように、まず、基板２にＴＦＴアレイ層３を形成する（Ｓ１）。次いで、蒸着マスクを用いて、ＴＦＴアレイ層３の上にＯＬＥＤ素子層４を形成する（Ｓ２）。この工程を、ＯＬＥＤ素子層形成工程と称し、このＯＬＥＤ素子層形成工程は蒸着工程を含んでいる。

　蒸着工程では、図３に示すように、基板２の表面に形成したＴＦＴアレイ層３の表面に、複数の貫通孔を有するマスクシート１１を密着させ、真空下において、蒸着源２０で気化又は昇華させた有機発光材である蒸着粒子Ｚを蒸着マスク１９越しにＴＦＴアレイ層３に蒸着させる。これにより、蒸着マスク１９の貫通孔に対応するパターンにて蒸着パターンを形成する。

　その後、図２の（ｂ）に示すように、ＯＬＥＤ素子層４を保護ガラス５で封止し（Ｓ３）、分断つまり個片化を行い（Ｓ４）、ＯＬＥＤパネル１とする（Ｓ５）。このＳ５では、ＯＬＥＤパネル１に駆動ドライバや偏光板及びタッチパネル等の実装を行う。

　（マスクシート枠体接合装置）
　ＯＬＥＤパネル１の製造における蒸着工程においては、本実施の形態では、蒸着マスク１９を作製するためにマスクシート枠体接合装置１０Ａが使用される。

　本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ａの構成について、図１の（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。図１の（ａ）は、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａを示すものであって、マスクシート１１をフレーム１２に固定する状態を示す平面図である。図１の（ｂ）は、マスクシート１１の引張り方法を示す平面図である。図１の（ｃ）は、図１の（ａ）のＡ－Ａ線矢視断面図である。

　前述したように、蒸着工程においては、蒸着粒子Ｚが蒸着マスク１９を介してＴＦＴアレイ層３に蒸着される。蒸着マスク１９は、図１の（ａ）（ｃ）に示すように、マスクシート１１が枠体としてのフレーム１２に溶接されたものからなっている。尚、図１の（ａ）では、フレーム１２に対して一個のマスクシート１１しか記載していないが、実際の蒸着マスク１９は、フレーム１２の開口１２ａを全て塞ぐように複数のマスクシート１１が並んでいる。また、図１の（ａ）（ｃ）では、マスクシート１１の両端部が、フレーム１２の外側に延設されているが、蒸着マスク１９では、フレーム１２の外側に延設される部分は、切断して除去される。

　マスクシート１１は、図１の（ｂ）に示すように、短冊状に形成されたメタルシートに各ＲＧＢ画素に対応する複数個のマスクパターン１１ａが形成されたものからなっている。マスクシート１１は、母材として、例えば、厚さ１０μｍ～５０μｍのインバー材等が用いられている。

　マスクシート１１の中央部には、前記複数個形成されたマスクパターン１１ａが配されていると共に、マスクシート１１の両端部は、グリップ可能な２つのグリップ用端部１１ｂ・１１ｂとなっている。尚、図１の（ｂ）においては、マスクパターン１１ａを白抜き状にて記載しているが、実際には、ＲＧＢ各画素に対応すべく、１ｍｍ以下の開口が多数形成されている。一個のマスクパターン１１ａは、例えば５インチパネル等の大きさに対応したものからなっている。

　前記マスクシート１１は、シート状になっているので、蒸着マスク１９として蒸着工程で使用する場合には、マスクシート１１を支持する支持体が必要となる。そこで、マスクシート１１は、一般的に、図１の（ａ）に示すように、枠体としてのフレーム１２にマスクシート１１を溶接により接合した蒸着マスク１９の形態で使用される。本実施の形態では、フレーム１２には、補助フレーム１３が形成されている。フレーム１２が大きい場合には、このように、補助フレーム１３を設ける方が好ましい。

　本実施の形態では、マスクシート１１をフレーム１２に接合して蒸着マスク１９を製造するときには、マスクシート枠体接合装置１０Ａが用いられる。

　本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ａは、図１の（ｂ）に示すように、マスクシート１１の両端部のグリップ用端部１１ｂ・１１ｂを保持してマスクシート１１に引張り力を作用させる引張り治具としてのグリッパ１４・１４を備えている。グリッパ１４・１４は、例えば選択ばさみ等の機構により、グリップ用端部１１ｂ・１１ｂを挟む。

　また、本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ａは、引張り力が作用したマスクシート１１における、マスクパターン１１ａとグリッパ１４の保持位置との間における表面及び裏面の少なくとも一方を押圧する押圧部材及び筒状部材としてローラ１５とを備えている。本発明の一態様においては、筒状部材は必ずしもローラ１５のような回転体でなく、湾曲面を有していれば足りる。

　また、本実施の形態では、ローラ１５の軸方向の長さは、マスクシート１１の幅と同じ長さとなっている。ただし、必ずしもこれに限らず、ローラ１５の軸方向の長さは、マスクシート１１の幅よりも大きくてもよく、少なくとも溶接する幅よりも大きい。

　ローラ１５の押圧対象については、マスクシート１１の少なくとも表面である、枠体の反対側が好ましい。0御まし医表面及び裏面のいずれか一方とすることができる。この場合、例えば、フレーム１２をマスクシート１１の下側から該マスクシート１１に当接させ、ローラ１５をその上側から押圧することによりフレーム１２とローラ１５とによって、マスクシート１１を挟持して押圧する方法を採用することが可能である。尚、フレーム１２の配置は、マスクシート１１の上側であってもよい。このことを考慮する場合には、ローラ１５のマスクシート１１への押圧は、マスクシート１１の表面及び裏面のいずれか一方とすることができる。

　このような方法においては、後に詳述するように、グリッパ１４・１４にてグリップ用端部１１ｂ・１１ｂを保持したときに発生する皺Ｃがマスクパターン１１ａにまで延びること押圧位置にて遮断すると共に、マスクシート１１をフレーム１２に密着させて溶接Ｙを容易にするという効果がある。

　或いは、フレーム１２以外の位置において、１つのローラ１５を用いてマスクシート１１の表面及び裏面のいずれか一方を押圧することができる。この場合、例えば、マスクシート１１の裏面のみを押圧するときには、マスクシート１１の両端部のグリップ用端部１１ｂ・１１ｂをローラ１５よりも下側位置となるようにして、グリッパ１４・１４にて引張り力を作用させることが好ましい。これにより、ローラ１５の押圧力を増大させることができる。

　また、ローラ１５の押圧対象について、マスクシート１１の表面及び裏面の両側とすることができる。これにより、２つのローラ１５・１５でマスクシート１１を挟持することができるので、皺Ｃの遮断効果が高まる。

　ここで、ローラ１５の支持方法について、例えば、ローラ１５をマスクシート１１の下側から押圧する場合には、ローラ１５をワイヤ等で吊り下げて支持することが可能である。一方、２つのローラ１５・１５にてマスクシート１１を表面及び裏面の両側から押圧する場合には、それぞれ独立した支持機構を有していることが好ましい。これにより、２つのローラ１５・１５をそれぞれ独立駆動させて押圧することが可能となる。

　前記構成のマスクシート枠体接合装置１０Ａにおけるマスクシート１１のフレーム１２への接合方法について、図４に基づいて説明する。図４はマスクシート１１のフレーム１２への接合方法を示すフローチャートである。図５は、全てのマスクシートをフレームに溶接した蒸着マスクの構成を示す平面図である。尚、図４に示すフローチャートの制御主体は、マスクシート枠体接合装置１０Ａの図示しない制御部である。

　図４に示すように、まず、グリッパ１４・１４にて、マスクシート１１の両端のグリップ用端部１１ｂ・１１ｂを保持し（Ｓ１１）、マスクシート１１を保持が外れない程度の弱い力で引張る（Ｓ１２）。ここでは、これを保持架張という。次いで、マスクシート１１をフレーム１２の上側に配置する（Ｓ１３）。このとき、マスクシート１１が撓まない程度の力で引張る（Ｓ１４）。ここでは、これを予備架張という。予備架張では一定の引張り力を作用させる。この状態で、マスクシート１１のマスクパターン１１ａがフレーム１２の開口１２ａ内に収まるように位置合わせする（Ｓ１５）。このとき、マスクシート１１を目標力まで架張する（Ｓ１６）。尚、このときの架張は、マスクパターン１１ａがフレーム１２の開口１２ａ内に収まるように位置調整しながら行うので、引張り力は徐々に目標力まで増加され、一定の引張り力ではない。

　この作業を行っている場合、通常、図１の（ｂ）に示すように、マスクシート１１における、グリッパ１４・１４での保持部分とマスクパターン１１ａとの間に皺Ｃが発生する。そこで、この皺Ｃがマスクパターン１１ａにまで及ばないように、本実施の形態では、ローラ１５にて、マスクシート１１の表面を押圧する（Ｓ１７）。具体的には、図１の（ｃ）に示すように、フレーム１２に載置されたマスクシート１１をその上面からローラ１５にて押圧する。これにより、皺Ｃは、ローラ１５の押圧部部分よりも内部に延びることがなくなる。

　次いで、この状態で、マスクシート１１をフレーム１２にレーザを用いて溶接する（Ｓ１８）。このとき、例えば、ローラ１５で押さえながら溶接する。ただし、必ずしもこれに限らず、ローラ１５の押圧を解除してから溶接してもよい。

　溶接に際しては、図１の（ａ）（ｃ）に示すように、例えば、マスクシート１１のフレーム１２の接触部分においてレーザをスポット照射する、これにより、マスクシート１１が溶融するので、マスクシート１１をフレーム１２に溶接部Ｙにてスポット溶接することができる。

　溶接が完了すれば、ローラ１５の押圧を解除し（Ｓ１９）、グリップ用端部１１ｂ・１１ｂのグリッパ１４・１４を解除する（Ｓ２０）。このとき、マスクパターン１１ａに皺Ｃが無い状態でマスクシート１１がフレーム１２に旨く溶接できているかの品質検査が行われる。

　次いで、同様にして、複数のマスクシート１１をフレーム１２に溶接する。全ての溶接が完了すると、マスクシート１１における溶接Ｙの外側部分つまり端部を切断する（Ｓ２１）。

　これにより、図５に示すように、フレーム１２に固定されたマスクシート１１、つまり蒸着マスク１９が完成する。

　尚、前述した説明では、マスクシート１１に対するローラ１５の押圧位置を、マスクシート１１におけるフレーム１２の上側部分として説明した。しかし、マスクシート１１に対するローラ１５の押圧位置は、必ずしもこれに限らない。例えば、図６の（ａ）（ｂ）に示すように、ローラ１５ａの押圧位置を、フレーム１２の内部であって、かつマスクパターン１１ａよりも外側とすることが可能である。この場合、押圧部材としてのローラ１５ａ・１５ａは、マスクシート１１の表面及び裏面の両方に設けて、マスクシート１１を挟むようにして押圧することが好ましい。また、この場合、例えば、図６の（ｃ）に示すように、フレーム１２上のマスクシート１１の表面をローラ１５ａ’で押圧することが好ましい。これにより、フレーム１２上のマスクシート１１を該フレーム１２に密着させることができるので、溶接Ｙを容易に行うことができる。

　また、マスクシート１１に対するローラ１５ｂの押圧位置として、図７の（ａ）（ｂ）に示すように、フレーム１２の外側にローラ１５ｂ・１５ｂを配することが可能である。この場合も、ローラ１５ｂ・１５ｂは、マスクシート１１の表面だけであってもよいが、表面及び裏面の両方に設けて、マスクシート１１を挟むようにして押圧することが好ましい。

　このように、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａは、マスクパターン１１ａを配したマスクシート１１を枠体としてのフレーム１２に接合する。また、マスクシート枠体接合装置１０Ａは、マスクシート１１のグリップ用端部１１ｂ・１１ｂを保持してマスクシート１１に引張り力を作用させる引張り治具としてのグリッパ１４・１４と、引張り力が作用したマスクシートにおける、マスクパターン１１ａとグリッパ１４・１４の保持位置との間における少なくとも表面である、枠体の反対側を押圧する、フレーム１２以外のローラ１５とを備えている。

　これにより、ローラ１５のマスクシート１１への押圧位置で皺Ｃが止まる。この結果、マスクシート１１におけるマスクパターン１１ａが配された部分には、皺Ｃが無い状態となっている。したがって、皺Ｃが無く、均一に引張り力を作用させた状態でマスクシート１１をフレーム１２に接合することにより、質の高い蒸着マスク１９を用いで蒸着作業を行うことが可能となる。その結果、不良品の発生の低減を図ることができる。

　また、本実施の形態においては、マスクシート１１における皺Ｃの発生を全て無くすのではなく、必要部分であるマスクパターン１１ａの部分に皺Ｃが発生するのを回避する方法を採用している。具体的には、マスクシート１１におけるマスクパターン１１ａの手前を押圧するローラ１５という簡単な部材にて皺Ｃの低減を実現できるようになっている。このため、グリッパ１４・１４の引張り力の調整も不要であるので、時間も掛からない。

　したがって、マスクパターン１１ａに対して簡便な方法により皺Ｃを発生させずに、マスクシート１１をフレーム１２に接合し得るマスクシート枠体接合装置１０Ａを提供することができる。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５は、筒状部材からなっていることが好ましい。これにより、筒状部材からなるローラ１５にてマスクシート１１を押圧するので、押圧面が湾曲している。この結果、マスクシート１１に傷を付けずに均等に押圧するので、マスクパターン１１ａに対して均等な張力を付与することができる。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５は、マスクシート１１とフレーム１２との接合部分よりも該マスクシート１１の両端部側にて、マスクシート１１を挟んでフレーム１２を押圧することが可能である。

　これにより、フレーム１２とローラ１５との間にマスクシート１１を挟んでマスクシート１１を押圧することができる。このため、フレーム１２を押圧部材として利用することができる。また、マスクシート１１に対するフレーム１２の密着強度を大きくした状態で、マスクシート１１をフレーム１２に溶接することができるので、溶接を効率よく行うことができる。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５は、マスクシート１１における表面及び裏面の両方に設けられ、マスクシート１１を挟んで押圧することが可能である。この結果、押圧面では、グリッパ１４・１４の保持位置から内部に向かって延びてきた皺Ｃを確実に遮断させることができる。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５ａは、フレーム１２の内側に位置しているとするとことができる。これにより、マスクパターン１１ａの直前で皺Ｃを抑制することができる。また、マスクシート１１の上側からレーザを照射してマスクシート１１をフレーム１２に溶接にて接合する場合に、ローラ１５ａが邪魔にならない。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５ｂは、フレーム１２の外側に位置しているとすることができる。これにより、フレーム１２の外側を押圧するので押圧作業が容易である。また、マスクシート１１の上側からレーザを照射してマスクシート１１をフレーム１２に溶接にて接合する場合に、ローラ１５ｂが邪魔にならない。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂにおける、マスクシート１１に対して引張り力を作用させる方向に直交する方向の長さは、マスクシート１１をフレーム１２に溶接するときの溶接長さよりも長いことが好ましい。これにより、溶接長さよりも外側から皺Ｃが延びてマスクパターン１１ａに悪影響を与えるのを防止することができる。

　また、本実施の形態における蒸着マスク１９の製造方法は、本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ａを用いてマスクシート１１をフレーム１２に接合した蒸着マスク１９を製造する。そして、蒸着マスク１９の製造方法は、マスクシート１１を両端で保持してマスクシート１１に引張り力を付与する引張りステップと、マスクシート１１がフレーム１２の開口１２ａ内に収まるようにして、フレーム１２をマスクシート１１に接触させる接触ステップと、ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂにて、マスクシート１１の表面を押圧する押圧ステップと、マスクシート１１をフレーム１２に接合する接合ステップと、接合完了後に、ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂのマスクシート１１への押圧を解除する押圧解除ステップと、マスクシート１１への引張り力を解除する引張り力解除ステップと、マスクシート１１の端部を切断して蒸着マスク１９を製造する切断ステップとをこの順に含んでいる。

　これにより、蒸着マスク１９を製造する際に、マスクパターン１１ａに対して簡便な方法により皺Ｃを発生させずに、マスクシート１１をフレーム１２に接合し得る蒸着マスク１９の製造方法を提供することができる。

　〔実施の形態２〕
　本発明の他の実施の形態について図８に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

　前記実施の形態１のマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５・１５ａ・１５ｂの軸方向の長さがマスクシート１１の幅に一致するようになっていた。これに比べて、本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ｂは、押圧部材としてのローラ１６は、複数の分割ローラ１６ａからなっている点が異なっている。

　本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ｂにおけるローラ１６の構成について、図８の（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。図８の（ａ）は、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｂを示すものであって、複数の分割ローラ１６ａからなるローラ１６の構成を示す平面図である。図８の（ｂ）は、マスクシート１１の幅に合わせて分割ローラ１６ａを２個使用する状態を示す平面図である。図８の（ｃ）は、マスクシート１１の幅に合わせて分割ローラ１６ａを３個使用する状態を示す平面図である。

　本実施の形態のローラ１６は、シャフト１６ｂに分割ローラ１６ａが例えば４個設けられている。シャフト１６ｂは４個の分割ローラ１６ａの長さよりも長く、かつ各分割ローラ１６ａはシャフト１６ｂ上で移動可能になっている。各分割ローラ１６ａの長さは、例えば、長さＬとなっており、本実施の形態では、互いに等しい長さＬとなっている。ただし、本発明の一態様においては、複数の分割ローラ１６ａの長さは、互いに異なっていてもよい。そして、本実施の形態では、マスクシート１１の幅に合わせて、使用される分割ローラ１６ａの個数が決定されるようになっている。

　例えば、図８の（ｂ）に示すように、マスクシート１１の幅が２Ｌの場合には、２個の分割ローラ１６ａが押圧に使用される。また、例えば、図７の（ｃ）に示すように、マスクシート１１の幅が３Ｌの場合には、３個の分割ローラ１６ａが押圧に使用される。尚、図８の（ａ）（ｂ）において、使用しない分割ローラ１６ａは、シャフト１６ｂに沿って側方に移動される。

　このように、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｂでは、押圧部材としてのローラ１６は、マスクシート１１における、引張り力を作用させる方向に対して直交する方向に複数個配置されている。そして、マスクシート１１の幅に応じた長さとなる個数の分割ローラ１６ａがマスクシート１１を押圧するようになっている。

　例えば、表示パネルとしてのＯＬＥＤパネル１の種類によっては、マスクシート１１の幅が異なる場合がある。その場合に、実施の形態１のように、単一の長さのローラ１５では、マスクシート１１の幅よりも短い場合がある。本実施の形態においては、そのような場合に備えて、最初から、ローラ１５はマスクシート１１における、引張り力を作用させる方向に対して直交する方向に複数個配置された分割ローラ１６ａからなっている。そして、使用に際しては、マスクシート１１の幅に合致する個数の分割ローラ１６ａを用いてマスクシート１１を押圧する。例えば、幅の狭いマスクシート１１は、２個の分割ローラ１６ａで押圧する一方、幅の長いマスクシートは、３個の分割ローラ１６ａでマスクシート１１を押圧する。

　これにより、汎用性をもたすことができるマスクシート枠体接合装置１０Ｂを提供することができる。

　〔実施の形態３〕
　本発明のさらに他の実施の形態について図９及び図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１及び実施の形態２と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１及び実施の形態２の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

　前記実施の形態１のマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、ローラ１５・１５ａ・１５ｂの軸方向の長さがマスクシート１１の幅に一致するようになっていた。これに比べて、本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ｃは、押圧部材は、複数の分割ローラ１７ａ及び分割ローラ１８ａからなっていると共に、各分割ローラ１７ａ又は分割ローラ１８ａが同軸上又は２軸上に設けられている点が異なっている。

　本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ｃにおける押圧部材としての複数の分割ローラ１７ａの構成について、図８及び図９に基づいて説明する。図９は、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｃを示すものであって、マスクシート１１をフレーム１２に接合する場合に、一軸上に配された分割ローラ１７ａの構成を示す平面図である。図１０は、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｃの変形例を示すものであって、マスクシート１１をフレーム１２に接合する場合に、二軸上に千鳥状に配された分割ローラ１８ａ・１８ｂ及び分割ローラ１８ｃの構成を示す平面図である。

　本実施の形態の分割ローラ１７ａは、図９に示すように、一軸上に例えば２個設けられており、２個の分割ローラ１７ａによって、略マスクシート１１の幅に一致するようになっている。

　これにより、単一の分割ローラ１７ａではマスクシート１１の幅に満たない場合であっても、例えば２個の分割ローラ１７ａを同一軸上に配することによりマスクシート１１の幅を充足させることができる。この結果、マスクシート１１の幅に対して、マスクシート１１の幅に合致する単一の押圧部材である例えばローラ１５で押圧した場合と同じ作用効果でマスクシート１１を押圧することができる。

　また、本実施の形態のマスクシート枠体接合装置１０Ｃにおいては、分割ローラの配置の方法は、マスクシート１１の片側において必ずしも一軸上とは限らない。

　例えば、図１０に示すように、複数個の押圧部材として分割ローラ１８ａ・１８ｂ及び分割ローラ１８ｃは、少なくとも二軸上に千鳥状に設けられているとすることが可能である。

　すなわち、図９に示すように、例えば、分割ローラ１８ａ・１８ｂは、一軸上に間隔をあけて設けられていると共に、分割ローラ１８ｃは、分割ローラ１８ａ・１８ｂよりも外側においてマスクシート１１の長手方向に沿う中心線上を跨いで１個設けられている。この結果、分割ローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃは二軸上に千鳥状に配されていることになる。尚、分割ローラ１８ｃの長さは、分割ローラ１８ａ・１８ｂの隙間よりも長くなっている。

　このように、二軸上に分割ローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃを配することによって、少なくとも二段で皺Ｃを遮断することになるので、皺Ｃの遮断効果が高まる。一方、二軸上に千鳥状に分割ローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃを配することによって、押圧部材の個数を減らせるので、少ない個数の押圧部材で効率よく皺Ｃを遮断することができる。

　また、本実施の形態におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｃでは、少なくとも二軸上に千鳥状に設けられた複数個のローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃをマスクシート１１の両端側から見たときに、複数個のローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃは、互いに隙間なく配されている。これにより、隙間から皺Ｃがマスクパターン１１ａに延びるのを防止することができる。

　〔まとめ〕
　本発明の態様１におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃは、マスクパターン１１ａを配したマスクシート１１を枠体（フレーム１２）に接合するマスクシート枠体接合装置において、前記マスクシート１１の両端部（グリップ用端部１１ｂ）を保持して該マスクシート１１に引張り力を作用させる引張り治具（グリッパ１４）と、前記引張り力が作用したマスクシート１１における、前記マスクパターン１１ａと引張り治具（グリッパ１４）の保持位置との間における少なくとも表面である、枠体の反対側を押圧する、前記枠体（フレーム１２）以外の押圧部材（ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂ・１６・１６ａ・１７ａ・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）とを備えていることを特徴としている。

　前記構成によれば、マスクシート枠体接合装置は、マスクパターンを配したマスクシートを枠体に接合する。その際、皺を発生させない状態でマスクシートを枠体に接合するために、引張り治具にてマスクシートに張力を掛けておく。しかし、マスクシートに均等に張力を掛けることは難しく、通常、引張り治具のマスクシートの保持位置からマスクシートの中央に配されたマスクパターンに向かって皺が発生する。

　そこで、本発明の一態様においては、引張り力が作用したマスクシートにおける、マスクパターンと引張り治具の保持位置との間における少なくとも表面である、枠体の反対側を押圧する枠体以外の押圧部材とを備えている。

　これにより、押圧部材のマスクシートへの押圧位置で皺が止まる。この結果、マスクシートにおけるマスクパターンが配された部分には、皺が無い状態となっている。したがって、皺が無く、均一に引張り力を作用させた状態でマスクシートを枠体に接合することにより、質の高いマスクシートを用いで蒸着等の作業を行うことが可能となり、不良品の発生の低減を図ることができる。

　また、本発明の一態様においては、マスクシートにおける皺の発生を全て無くすのではなく、必要部分であるマスクパターンの部分に皺が発生するのを回避する方法を採用している。具体的には、マスクシートにおけるマスクパターンの手前を押圧する押圧部材という簡単な部材にて皺Ｃの発生の低減を実現できるようになっている。このため、引張り治具の引張り力の調整も不要であるので、時間も掛からない。

　したがって、マスクパターンに対して簡便な方法により皺を発生させずに、マスクシートを枠体に接合し得るマスクシート枠体接合装置を提供することができる。

　本発明の態様２におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃでは、前記押圧部材（ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂ・１６・１６ａ・１７ａ・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）は、筒状部材からなっていることが好ましい。

　これにより、筒状部材からなる押圧部材にてマスクシートを押圧するので、押圧面が湾曲している。この結果、マスクシートに傷を付けずに均等に押圧するので、マスクパターンに対して均等な張力を付与することができる。

　本発明の態様３におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、前記押圧部材（ローラ１５）は、前記マスクシート１１と前記枠体（フレーム１２）との接合部分よりも該マスクシート１１の両端部側にて、該マスクシート１１を挟んで該枠体（フレーム１２）を押圧する。

　これにより、枠体と押圧部材との間にマスクシートを挟んでマスクシートを押圧することができる。このため、枠体を押圧部材として利用することができる。また、マスクシートに対する枠体の密着強度を大きくした状態で、マスクシートを枠体に接合することができるので、接合を効率よく行うことができる。

　本発明の態様４におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃでは、前記押圧部材（ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂ・１６・１６ａ・１７ａ・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）は、前記マスクシート１１における表面及び裏面の両方に設けられ、該マスクシート１１を挟んで押圧する。

　これにより、押圧部材は、マスクシートを挟んで、マスクシートにおける表面及び裏面の両方から押圧する。この結果、押圧面では、引張り治具のマスクシートの保持位置から内部に向かって延びてきた皺を確実に遮断させることができる。

　本発明の態様５におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、前記押圧部材（ローラ１５ａ）は、前記枠体（フレーム１２）の内側に位置している。

　これにより、マスクパターンの直前で皺を抑制することができる。また、例えば、マスクシートの上側からレーザを照射してマスクシートを枠体に溶接にて接合する場合に、押圧部材が邪魔にならない。

　本発明の態様６におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、前記押圧部材（ローラ１５ｂ）は、前記枠体（フレーム１２）の外側に位置している。

　これにより、枠体の外側を押圧するので押圧作業が容易である。また、例えば、マスクシートの上側からレーザを照射してマスクシートを枠体に溶接にて接合する場合に、押圧部材が邪魔にならない。

　本発明の態様７におけるマスクシート枠体接合装置１０Ａでは、前記押圧部材（ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂ）における、前記マスクシート１１に対して引張り力を作用させる方向に直交する方向の長さは、該マスクシート１１を前記枠体（フレーム１２）に接合するときの接合長さよりも長いことが好ましい。

　これにより、接合長さよりも外側から皺が延びてマスクパターンに悪影響を与えるのを防止することができる。

　本発明の態様８におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｂ・１０Ｃでは、前記押圧部材（１６ａ・１７ａ・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）は、前記マスクシート１１における、引張り力を作用させる方向に対して直交する方向に複数個配置されており、前記マスクシート１１の幅に応じた長さとなる個数の押圧部材（１６ａ・１７ａ・１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）が該マスクシート１１を押圧するようになっていることが好ましい。

　例えば、表示パネルの種類によっては、マスクシートの幅が異なる場合がある。その場合に、単一の長さの押圧部材では、マスクシートの幅よりも短い場合がある。本発明の一態様においては、そのような場合に備えて、最初から、押圧部材として、マスクシートにおける、引張り力を作用させる方向に対して直交する方向に複数個配置されている。そして、使用に際しては、マスクシートの幅に合致する個数の押圧部材を用いてマスクシートを押圧する。例えば、幅の狭いマスクシートは、１個の押圧部材で押圧する一方、幅の長いマスクシートは、複数個の押圧部材で該マスクシートを押圧する。

　これにより、汎用性をもたすことができるマスクシート枠体接合装置を提供することができる。

　本発明の態様９におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｂ・１０Ｃでは、前記複数個の押圧部材（１６ａ・１７ａ）は、互いに同一軸上に設けられている。

　これにより、単一の押圧部材ではマスクシートの幅に満たない場合であっても、複数個の押圧部材を同一軸上に配することによりマスクシートの幅を充足させることができる。この結果、マスクシートの幅に対して、マスクシートの幅に合致する単一の押圧部材で押圧した場合と同じ作用効果でマスクシートを押圧することができる。

　本発明の態様１０におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｃでは、前記複数個の押圧部材（１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）は、少なくとも二軸上に千鳥状に設けられている。

　これにより、二軸上に押圧部材を配することによって、少なくとも二段で皺を遮断することになるので、皺の遮断効果が高まる。一方、二軸上に千鳥状に押圧部材を配することによって、押圧部材の個数を減らせるので、少ない個数の押圧部材で効率よく皺を遮断することができる。

　本発明の態様１１におけるマスクシート枠体接合装置１０Ｃでは、前記少なくとも二軸上に千鳥状に設けられた複数個の押圧部材（ローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）を前記マスクシート１１の両端側から見たときに、該複数個の押圧部材（ローラ１８ａ・１８ｂ・１８ｃ）は、互いに隙間なく配されていることが好ましい。

　これにより、隙間から皺がマスクパターンに延びるのを防止することができる。

　本発明の態様１２における蒸着マスクの製造方法は、前記記載のマスクシート枠体接合装置を用いてマスクシート１１を枠体に接合した蒸着マスク１９を製造する蒸着マスクの製造方法であって、前記マスクシート１１を両端で保持して該マスクシート１１に引張り力を付与する引張りステップと、前記マスクシート１１が前記枠体（フレーム１２）の開口１２ａ内に収まるようにして、該枠体（フレーム１２）を前記マスクシート１１に接触させる接触ステップと、押圧部材（ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂ）にて、前記マスクシート１１の表面を押圧する押圧ステップと、前記マスクシート１１を前記枠体（フレーム１２）に接合する接合ステップと、接合完了後に、前記押圧部材（ローラ１５・１５ａ・１５ａ’・１５ｂ）のマスクシート１１への押圧を解除する押圧解除ステップと、前記マスクシート１１への引張り力を解除する引張り力解除ステップと、前記マスクシート１１の端部を切断して蒸着マスク１９を製造する切断ステップとをこの順に含んでいることを特徴としている。

　前記の方法によれば、蒸着マスクを製造する際に、マスクパターンに対して簡便な方法により皺を発生させずに、マスクシートを枠体に接合し得る蒸着マスクの製造方法を提供することができる。

　尚、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

　１　　　　　　　　　　ＯＬＥＤパネル
　２　　　　　　　　　　基板
　３　　　　　　　　　　ＴＦＴアレイ層
　４　　　　　　　　　　ＯＬＥＤ素子層
　５　　　　　　　　　　保護ガラス
１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ　マスクシート枠体接合装置
１１　　　　　　　　　　マスクシート
１１ａ　　　　　　　　　マスクパターン
１１ｂ　　　　　グリップ用端部（両端部）
１２　　　　　　　　　　フレーム（枠体）
１４　　　　　　　　　　グリッパ（引張り治具）
１５・１５ａ・１５ｂ　　ローラ（押圧部材）
１６　　　　　　　　　　ローラ（押圧部材）
１６ａ　　　　　　　　　分割ローラ（押圧部材）
１６ｂ　　　　　　　　　シャフト
１７ａ　　　　　　　　　分割ローラ
１８ａ・１８ｂ・１８ｃ　分割ローラ
１９　　　　　　　　　　蒸着マスク

Claims (12)

1. 　マスクパターンを配したマスクシートを枠体に接合するマスクシート枠体接合装置において、
   　前記マスクシートの両端部を保持して該マスクシートに引張り力を作用させる引張り治具と、
   　前記引張り力が作用したマスクシートにおける、前記マスクパターンと引張り治具の保持位置との間における少なくとも表面である、枠体の反対側を押圧する、前記枠体以外の押圧部材とを備えていることを特徴とするマスクシート枠体接合装置。
2. 　前記押圧部材は、筒状部材からなっていることを特徴とする請求項１に記載のマスクシート枠体接合装置。
3. 　前記押圧部材は、前記マスクシートと前記枠体との接合部分よりも該マスクシートの両端部側にて、該マスクシートを挟んで該枠体を押圧することを特徴とする請求項２に記載のマスクシート枠体接合装置。
4. 　前記押圧部材は、前記マスクシートにおける表面及び裏面の両方に設けられ、該マスクシートを挟んで押圧することを特徴とする請求項１又は２に記載のマスクシート枠体接合装置。
5. 　前記押圧部材は、前記枠体の内側に位置していることを特徴とする請求項４に記載のマスクシート枠体接合装置。
6. 　前記押圧部材は、前記枠体の外側に位置していることを特徴とする請求項４に記載のマスクシート枠体接合装置。
7. 　前記押圧部材における、前記マスクシートに対して引張り力を作用させる方向に直交する方向の長さは、該マスクシートを前記枠体に接合するときの接合長さよりも長いことを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載のマスクシート枠体接合装置。
8. 　前記押圧部材は、前記マスクシートにおける、引張り力を作用させる方向に対して直交する方向に複数個配置されており、
   　前記マスクシートの幅に応じた長さとなる個数の押圧部材が該マスクシートを押圧するようになっていることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載のマスクシート枠体接合装置。
9. 　前記複数個の押圧部材は、互いに同一軸上に設けられていることを特徴とする特徴とする請求項８に記載のマスクシート枠体接合装置。
10. 　前記複数個の押圧部材は、少なくとも二軸上に千鳥状に設けられていることを特徴とする請求項８に記載のマスクシート枠体接合装置。
11. 　前記少なくとも二軸上に千鳥状に設けられた複数個の押圧部材を前記マスクシートの両端側から見たときに、該複数個の押圧部材は、互いに隙間なく配されていることを特徴とする請求項１０に記載のマスクシート枠体接合装置。
12. 　請求項１～１１のいずれか１項に記載のマスクシート枠体接合装置を用いてマスクシートを枠体に接合した蒸着マスクを製造する蒸着マスクの製造方法であって、
    　前記マスクシートを両端で保持して該マスクシートに引張り力を付与する引張りステップと、
    　前記マスクパターンが前記枠体の開口内に収まるようにして、該枠体を前記マスクシートに接触させる接触ステップと、
    　押圧部材にて、前記マスクシートの表面を押圧する押圧ステップと、
    　前記マスクシートを前記枠体に接合する接合ステップと、
    　接合完了後に、前記押圧部材のマスクシートへの押圧を解除する押圧解除ステップと、
    　前記マスクシートへの引張り力を解除する引張り力解除ステップと、
    　前記マスクシートの端部を切断して蒸着マスクを製造する切断ステップとをこの順に含んでいることを特徴とする蒸着マスクの製造方法。

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