WO2019009206A1 - コールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置 - Google Patents

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WO2019009206A1
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working gas
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博隆 深沼
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プラズマ技研工業株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
    • C23C24/04—Impact or kinetic deposition of particles

Definitions

  • the invention according to the present application relates to a cold spray gun that ejects raw material powder together with working gas from a nozzle at high speed and causes the raw material to collide with a substrate in a solid state to form a film, and a cold spray device equipped with the same.
  • the invention according to the present application particularly relates to a feeding mechanism of raw material powder.
  • a technique of forming a film such as nickel, copper, aluminum, chromium or an alloy thereof has been adopted for the purpose of improving wear resistance and corrosion resistance.
  • a general film formation method there are an electroplating method, an electroless plating method, a sputtering vapor deposition method, a plasma spraying method, and the like.
  • thermal spraying and cold spraying have attracted attention as methods to replace these methods.
  • Thermal spraying methods include low pressure plasma spraying (LPPS), flame spraying, high speed flame spraying (HVOF), atmospheric plasma spraying and the like.
  • LPPS low pressure plasma spraying
  • HVOF high speed flame spraying
  • atmospheric plasma spraying the film-forming material is heated to form a film by colliding with the surface of the substrate at high speed in the form of molten or semi-molten fine particles.
  • the raw material powder carried by the carrier gas is jetted out from the powder port into the chamber of the cold spray gun supplied with the high pressure working gas, and the operation containing the raw material powder
  • a gas is ejected as a supersonic flow, and the raw material powder is made to collide with the base material in the solid phase state to form a film.
  • the temperature of the working gas in the cold spray gun is set to a temperature lower than the melting point or softening point of the raw material powder such as a metal, an alloy, an intermetallic compound, or a ceramic forming a film.
  • the metal film formed by using the cold spray method has less oxidation and thermal deterioration than the metal film of the same kind formed by using the above-mentioned conventional method, and it is dense and has high density and good adhesion. At the same time, it is known that the conductivity and the thermal conductivity increase.
  • FIG. 1 includes a tapered conical compression section and a forward conical expansion section communicating with the compression section, and uses the working gas obtained by heating the raw material powder to a temperature below the melting point.
  • a cold spray nozzle which is introduced from the nozzle inlet of the nozzle and jetted out as a supersonic flow from the nozzle outlet at the tip of the expansion portion, and the expansion portion has at least the inner peripheral wall surface of nitride ceramics, zirconia ceramics or silicon carbide ceramics It is disclosed that it is formed of a ceramic material of
  • the cold gas spray gun described in Patent Document 2 passes through a high pressure gas heater having a cylindrical pressure vessel through which a gas flow to be heated flows and a heater disposed inside the pressure vessel, and a high pressure gas heater.
  • a mixing chamber capable of supplying particles to the gas flow from the outside through a particle supply pipe, a convergence passage converging toward the downstream, and a Laval nozzle continuing to a diffusion passage through a nozzle throat section, the high pressure A gas heater, the mixing chamber, and the Laval nozzle are sequentially arranged from the upstream side of the gas flow, and at least a part of the contact surface of the high pressure gas heater and the gas flow inside the mixing chamber is thermally insulated It is characterized by being.
  • Patent Document 1 described above supplies raw material powder into a chamber into which a high temperature working gas flows, heats the raw material powder to a high temperature below its melting point or softening point, and superimposes with the working gas flow from a cold spray nozzle. Erupts as a sonic flow.
  • the expansion portion is formed of a ceramic material such as nitrided ceramic, adhesion of the raw material powder to the cold spray nozzle and blockage of the nozzle resulting therefrom can be suppressed.
  • the powder port formed at the tip of the raw material powder supply line for supplying the raw material powder into the chamber is present in the chamber and opens toward the cold spray nozzle near the outlet of the chamber.
  • the powder port itself of the raw material powder supply line for supplying the raw material powder into the chamber rises to the temperature of the working gas, and the raw material powder flowing inside adheres to the inner wall of the powder port. Blockage of the powder port.
  • metals such as aluminum (melting point about 660 ° C.), tin (melting point about 232 ° C.), zinc (melting point about 419 ° C.), copper (melting point about 1083 ° C.), silver (melting point about 961 ° C.) or the like as raw material powder
  • the raw material powder naturally adheres to the inner wall of the powder port when the temperature of the raw material powder exceeds its melting point.
  • Patent Document 2 a mixing chamber is provided between the outlet of the pressure vessel for heating the gas flow and the Laval nozzle, and the particle supply pipe is drawn into the mixing chamber laterally through the outer shell and the covering material from the outside Particles are supplied to the gas stream.
  • the particle supply pipe since the particle supply pipe is disposed in a state of being drawn into the mixing chamber, the supply port portion of the raw material powder rises to the working gas temperature.
  • the raw material powder adheres to the inner wall of the particle outlet portion of the particle supply pipe, and the port is clogged due to the adhesion.
  • a cold spray gun that enables operation gas temperature to be operated at a high temperature closer to the melting point and the softening point of the raw material powder by effectively suppressing the clogging of the raw material powder supply port.
  • the cold spray gun according to the present invention spouts the raw material powder transported by the carrier gas in a supersonic flow together with the working gas heated to a temperature lower than the melting point or softening point of the raw material powder to solidify the raw material powder. It is made to collide with the substrate as it is to form a film, and a cold is formed in a chamber for containing the working gas and a working gas flow path for making the working gas discharged from the chamber a supersonic flow at the outlet. It is characterized by comprising a spray nozzle, a raw material powder supply flow path for supplying the raw material powder to the working gas discharged from the chamber, and a cooling means for cooling the raw material powder supply flow path.
  • the cooling means simultaneously cools the inner wall constituting the working gas flow channel.
  • the raw material powder supply flow path is formed to be inclined toward the downstream side of the working gas flow path.
  • the raw material powder supply flow path obliquely toward the upstream side of the working gas flow path.
  • the cooling means is a water cooling type cooling unit provided with a coolant flow path through which a coolant is circulated.
  • the cold spray apparatus according to the present invention is characterized by including the cold spray gun described above.
  • a cold spray nozzle having a working gas flow path formed with a working gas discharged from the chamber as a supersonic flow at the outlet, and a raw material for supplying raw material powder to the working gas discharged from the chamber Since the powder supply flow path and the cooling means for cooling the raw material powder supply flow path, the raw material powder in the raw material powder supply flow path can be prevented from being heated to a high temperature by the working gas. The raw material powder in the flow path can be maintained at a low temperature at all times. Therefore, since clogging of the raw material powder supply flow path can be effectively suppressed, it becomes possible to operate the working gas temperature at a temperature close to the melting point and the softening point of the raw material powder used conventionally. Therefore, the working gas flow can be ejected from the cold spray nozzle at a temperature closer to the melting point and the softening point of the raw material powder, and it becomes possible to realize a dense and high-quality film formation with high adhesion efficiency.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the cold spray gun of FIG. It is a raw material powder supply flow-path partial enlarged view of the cold spray gun which concerns on other embodiment.
  • the present invention spouts the raw material powder conveyed by the carrier gas together with the working gas heated to a temperature lower than the melting point or softening point of the raw material powder in a supersonic flow, and holds the raw material powder in the solid state Cold spray gun for forming a film by collision with the chamber, the chamber containing the working gas, and the cold spray having a working gas flow path for making the working gas discharged from the chamber a supersonic flow at the outlet It is characterized by comprising a nozzle, a raw material powder supply flow path for supplying the raw material powder to the working gas discharged from the chamber, and a cooling means for cooling the raw material powder supply flow path.
  • a cold spray apparatus using a cold spray gun of the present invention will be described with reference to the drawings.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a schematic configuration of a cold spray device C according to the present embodiment.
  • the cold spray device C according to the present embodiment includes a cold spray gun 1 to which the present invention is applied, a raw material powder feeding device 6 for supplying the raw material powder to the cold spray gun 1 together with a carrier gas, and the cold spray gun 1. And a compressed gas supply unit for supplying a carrier gas of a predetermined pressure to the raw material powder supply device 6.
  • any compressed gas supply unit may be employed as long as it can supply high pressure gas to the cold spray gun 1 and the raw material powder supply device 6.
  • a compressed gas cylinder 2 in which high pressure gas is stored is used. Therefore, in the present invention, the compressed gas supply unit may be supplied from, for example, a compressor or the like.
  • helium, nitrogen, air, argon, a mixed gas of these, etc. can be used as a working gas supplied to the cold spray gun 1 from the compressed gas supply unit and a gas used as a carrier gas supplied to the raw material powder supply device 6.
  • a gas used as a carrier gas supplied to the raw material powder supply device 6 helium, nitrogen, air, argon, a mixed gas of these, etc. can be used.
  • helium nitrogen, air, argon, a mixed gas of these, etc.
  • it can select arbitrarily. It is preferable to use helium when achieving a high flow rate.
  • the gas supply line 3 connected to the compressed gas cylinder 2 is branched into a working gas line 4 connected to the cold spray gun 1 and a carrier gas line 5 connected to the raw material powder supply device 6.
  • the working gas line 4 is provided with a heater 7 as a heating device composed of an electrical resistance heating element in which a working gas flow passage is formed.
  • a pressure regulator 8 and a flow meter 9 are interposed in the working gas line 4 to adjust the pressure and the flow rate of the working gas supplied from the compressed gas cylinder 2 to the heater 7.
  • the heater 7 is applied with a voltage from the power supply 10 to generate resistance heat generation by energization, and heats the working gas passing through the working gas flow passage formed therein to a predetermined temperature below the melting point or softening point of the raw material powder.
  • a heater composed of an electric resistance heating element is used as a device for heating the working gas, but it is possible to heat the working gas to a predetermined temperature below the melting point or softening point of the raw material powder under high pressure. If it is, it will not be limited in particular.
  • the outlet of the working gas line 4 is connected to the chamber 21 of the cold spray gun 1.
  • the end of the carrier gas line 5 is connected to the raw material powder feeder 6.
  • the raw material powder supply device 6 includes a hopper 11 containing the raw material powder, a meter 12 for measuring the raw material powder supplied from the hopper 11, and a cold together with the carrier gas supplied from the carrier gas line 5 with the measured raw material powder.
  • the raw material powder supply line 13 to be transported into the chamber 21 of the spray gun 1 is provided.
  • a pressure regulator 16, a flow meter 17, and a pressure gauge 18 are interposed in the carrier gas line 5, and the pressure and the flow rate of the carrier gas supplied from the compressed gas cylinder 2 to the raw material powder supply device 6 are adjusted.
  • a metal, an alloy, an intermetallic compound etc. can be mentioned. Specifically, powders of nickel, iron, silver, chromium, titanium, copper, or alloys of these can be exemplified.
  • FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of the cold spray gun 1 according to the present embodiment
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the cold spray gun 1 of FIG.
  • the cold spray gun 1 includes a main body 20 constituting a chamber 21 for containing a high pressure working gas therein, a cold spray nozzle 30 connected to the tip of the chamber 21, and raw material powder as a working gas discharged from the chamber 21.
  • the raw material powder supply flow path 40 to be supplied and a cooling means for cooling at least the raw material powder supply flow path 40 are provided.
  • the main body 20 is formed of, for example, a bottomed cylindrical member provided with pressure resistance to withstand high pressure of 3 MPa to 10 MPa.
  • the main body 20 is preferably made of, for example, a stainless alloy or a nickel-based heat-resistant alloy.
  • a working gas inlet 22 is formed, and a working gas after heating by the heater 7 flows out to the working gas inlet 22 via the working gas supply nozzle 23.
  • the outlet of line 4 is connected.
  • the chamber outlet 24 is formed in the main body 20 in this Embodiment,
  • tip is integrally formed in the said chamber outlet 24.
  • reference numeral 28 denotes a straightening vane for straightening the working gas flow in the chamber 21 to prevent turbulence.
  • the cold spray nozzle 30 has a compression portion 32 formed in a conical shape tapered in the extending direction from the nozzle inlet 31 at the tip, a narrow throat portion 33 following the compression portion 32, and the other end from the throat portion 33 And an expanding portion 34 formed in a conical shape that spreads over the nozzle outlet 35.
  • the compression section 32, the throat section 33 and the expansion section 34 constitute a working gas flow path 36 from the nozzle inlet 31 to the nozzle outlet 35.
  • the cold spray nozzle 30 may be made of stainless steel, tool steel, cemented carbide or the like. However, when using nickel, copper, aluminum, stainless steel, or an alloy thereof as the raw material powder, the raw material powder may adhere to each part of the nozzle, particularly the expansion portion, and the nozzle may be clogged. At least the inner wall surface of the cold spray nozzle 30 is preferably made of a glass material, a ceramic material, a tungsten carbide alloy or the like.
  • the glass material mentioned here is not particularly limited, and examples thereof include silicate glass, alkali silicate glass, soda lime glass, potassium lime glass, lead glass, barium glass, borosilicate glass, etc. Glass, specifically silicate glass or alkali silicate glass is preferred.
  • the material and the shape of the cold spray nozzle 30 are not limited to the shape and the material described here, and an existing cold spray nozzle may be adopted.
  • the raw material powder supply flow path 40 supplies raw material powder to the working gas after being discharged from the chamber 21 of the main body 20 described above, more preferably to the working gas before flowing into the throat portion 33 of the cold spray nozzle 30.
  • the raw material powder supply flow path 40 is downstream of the chamber outlet 24 of the nozzle connection 25 of the main body 20, and preferably the throat 33 of the cold spray nozzle 30, more preferably the upstream of the nozzle inlet 31. Provided on the side.
  • the raw material powder supply flow path 40 is formed in the raw material powder flow path configuration member 41 disposed in the nozzle connection portion 25 of the main body 20.
  • the raw material powder flow channel constituting member 41 is preferably made of a stainless steel alloy or a nickel-based heat-resistant alloy having a pressure resistance capable of withstanding a high pressure of 3 MPa to 10 MPa as the main body 20.
  • One end of the raw material powder supply flow path 40 is connected in communication with a raw material powder supply nozzle 42 provided in the nozzle connection portion 25.
  • the raw material powder supply line 13 described above is connected to the raw material powder supply nozzle 42.
  • the other end of the raw material powder supply channel 40 is opened in the channel through which the working gas formed in the nozzle connection portion 25 flows or in the working gas channel 36 of the cold spray nozzle 30.
  • the raw material powder supply flow path 40 is connected in a direction substantially perpendicular to the flow direction of the working gas from the chamber outlet 24 to the throat portion 33 of the cold spray nozzle 30, and the raw material powder is used as the working gas. It may be supplied from a direction substantially perpendicular to the flow direction of the above, but it may be formed with a predetermined inclination angle with respect to the flow direction of the working gas.
  • the raw material powder supply channel 40 is formed to be inclined at a predetermined angle toward the downstream side of the working gas channel 36.
  • the contact time between the raw material powder supplied to the working gas and the working gas can be set shorter than in the case where the working gas is supplied from a direction substantially perpendicular to the flow direction of the working gas.
  • the temperature rise can be suppressed.
  • the raw material powder supply channel 40 is formed to be inclined at a predetermined angle toward the upstream side of the working gas channel 36.
  • the contact time between the raw material powder supplied to the working gas and the working gas can be set longer than in the case where the working gas is supplied from the direction substantially perpendicular to the flow direction of the working gas. Therefore, high melting point raw material powders such as titanium, tantalum and Inconel (trademark) can be heated to a high temperature near the melting point. Therefore, the raw material to be supplied to the working gas can be selected by arbitrarily selecting and using the plurality of raw material powder flow path constituting members 41 in which the raw material powder supply flow path 40 is formed at different inclination angles with respect to the flow direction of the working gas. It is possible to adjust the contact time between the powder and the working gas.
  • the cold spray gun 1 in the present invention is provided with a cooling means for cooling at least the raw material powder supply channel 40 described above.
  • the cooling means is preferably a water cooling type cooling unit 45 provided with a cooling liquid flow path 46 through which the cooling liquid circulates, and in the present embodiment, a raw material powder flow path constituting member constituting the raw material powder supply flow path 40 A cooling fluid channel 46 is provided at 41 or at a position where heat exchange with the raw material powder channel component 41 is possible.
  • the water cooling type cooling unit 45 constituting the cooling means in the present invention cools the raw material powder supply flow passage 40 and simultaneously cools at least the inner wall surface 36A of the working gas flow passage 36 of the cold spray nozzle 30. Is preferred.
  • the water cooling type cooling unit 45 is formed between the plurality of flow path forming members 48 to 50 and the cold spray nozzle 30 in which the working gas flow path 36 is formed.
  • a series of coolant flow paths 47 and a coolant flow path 46 for cooling the raw material powder supply flow path 40 described above are provided.
  • the flow path forming member 48 forms a coolant flow path 47 with the outer peripheral surface of the cold spray nozzle 30, and the flow path forming member 49 and the flow path forming member 50 form the nozzle connection portion 25 of the main body 20 and the cold. It arrange
  • the cooling fluid channel 47 for cooling the inner wall surface of the cold spray nozzle 30 and the cooling fluid channel 46 for cooling the raw material powder supply channel 40 constitute a series of cooling channels.
  • the coolant flowing through the coolant channels 46 and 47 is more preferably countercurrent to the flow direction of the working gas flowing through the working gas channel 36 of the cold spray nozzle 30. This is because the inner wall surface 36A of the working gas passage 36 through which the working gas flows can be efficiently cooled, and the adhesion of the raw material powder can be effectively suppressed.
  • the cooling liquid used in the water cooling type cooling unit 45 is not particularly limited, but for example, cooling water can be used.
  • the cooling means is comprised with the water cooling type cooling part, if it can cool at least the raw material powder supply flow path 40, it will not be limited to this.
  • high-pressure carrier gas is supplied to the raw material powder feeder 6 from the compressed gas cylinder 2 as a high-pressure gas supplier via the gas supply line 3 and the carrier gas line 5.
  • the high-pressure carrier gas entrains a predetermined amount of raw material powder measured by the measuring instrument 12 in the raw material powder supply device 6, and the raw material powder supply nozzle provided in the cold spray gun 1 via the raw material powder supply line 13 It flows into 42.
  • the raw material powder supply flow path 40 connected to the raw material powder supply nozzle 42 opens toward the flow path of the working gas from the chamber outlet 24 to the throat portion 33 of the cold spray nozzle 30. Therefore, the carrier gas with the raw material powder is supplied to the high-speed working gas flow spouted from the chamber outlet 24.
  • the high-speed working gas flow with the raw material powder supplied from the raw material powder supply flow path 40 passes from the compression part 32 of the cold spray nozzle 30 through the throat part 33 to become a supersonic flow, and further a cone of forward spread It ejects from the nozzle outlet 35 located in the front-end
  • the raw material powder ejected from the cold spray nozzle 30 collides with and deposits on the surface of the base material 60 in the solid state to form a film 61.
  • the raw material powder supply flow path 40 is a flow of working gas.
  • the low temperature can be maintained at all times without being heated to a predetermined high temperature below the melting point or the softening point of the raw material powder. Therefore, it can be effectively suppressed that the raw material powder in the raw material powder supply flow path 40 is heated to a high temperature by the working gas, and the raw material powder in the raw material powder supply flow path 40 can always be maintained at a low temperature. it can.
  • the water cooling type cooling unit 45 keeps the temperature low until just before joining the working gas. Can be maintained. Therefore, the problem that the raw material powder blocks the raw material powder supply channel 40 can be effectively suppressed. Therefore, the temperature of the working gas can be made closer to the melting point and the softening point of the raw material powder without considering the blockage of the raw material powder flow path, and a dense and good film formation can be realized with high adhesion efficiency. It becomes possible.
  • the cooling fluid flow path 46 for cooling the raw material powder supply flow path 40 described above is a cooling fluid formed between the cold spray nozzle 30 forming the working gas flow path 36 therein and the flow path forming member 50 It is comprised by the water cooling type cooling part 45 which comprises the flow path 47 and a series of cooling fluid flow paths.
  • the water cooling type cooling part 45 which comprises the flow path 47 and a series of cooling fluid flow paths.
  • the inner wall surface 36A of the working gas passage 36 through which the working gas flows is also efficiently cooled, and the raw material powder adheres to the inner wall surface 36A of the working gas passage 36 on the downstream side of the raw material powder supply passage 40 It is possible to effectively suppress the inconvenience.
  • the cold spray gun and the cold spray apparatus according to the present invention can effectively prevent the raw material powder from being heated by the high-temperature working gas in the raw material powder supply path and adhering to the inner wall and clogging. Therefore, the working gas can be set to a high temperature closer to the melting point and the softening point of the raw material powder without considering the clogging of the raw material powder in the raw material powder supply path. Therefore, it is possible to realize dense and high-quality film formation with higher adhesion efficiency than before.
  • Cold spray device 1 Cold spray gun 2 Compressed gas cylinder (high pressure gas supply unit) Reference Signs List 3 gas supply line 4 working gas line 5 carrier gas line 6 raw material powder supply device 7 heater 13 carrier gas line 20 main body 21 chamber 22 working gas inlet 23 working gas supply nozzle 24 chamber outlet 25 nozzle connection part 30 nozzle for cold spray 31 nozzle Inlet 32 compression unit 33 throat unit 34 expansion unit 35 nozzle outlet 36 working gas passage 36A inner wall surface 40 raw material powder supply passage 41 raw material powder flow passage component 42 raw material powder supply nozzle 45 water cooling type cooling unit 46, 47 coolant flow Passage 60 Base material 61 Coating

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Abstract

原料粉末供給ポートの閉塞を効果的に抑制して、作動ガス温度を原料粉末の融点や軟化点により近い高温で運転することを可能とするコールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置を提供することを目的とする。この目的を達成するため、搬送ガスにより搬送した原料粉末を、当該原料粉末の融点又は軟化点以下の温度に加熱した作動ガスと共に超音速流で噴出して、原料粉末を固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成するコールドスプレーガンであって、作動ガスを収容するチャンバーと、チャンバーから吐出した作動ガスを出口で超音速流とする作動ガス流路を形成したコールドスプレー用ノズルと、チャンバーから吐出した作動ガスに原料粉末を供給する原料粉末供給流路と、原料粉末供給流路を冷却する冷却手段とを備えることを特徴とする。

Description

コールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置
　本件出願に係る発明は、原料粉末を作動ガスと共にノズルから高速で噴出し、固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成するコールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置に関する。本件出願に係る発明は、特に、原料粉末の供給機構に関する。
　従来より、種々の金属部材には、耐摩耗性や耐食性の向上を目的として、ニッケル、銅、アルミニウム、クロムまたはこれら合金等の皮膜を形成する技術が採用されている。一般的な皮膜形成方法としては、電気めっき法、無電解めっき法、スパッタリング蒸着法やプラズマ溶射法等がある。近年では、これらの方法に変わる手法として、溶射法や、コールドスプレー法が注目されている。
　溶射法は、減圧プラズマ溶射（ＬＰＰＳ）、フレーム溶射、高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）、大気プラズマ溶射等がある。これらの溶射法では、皮膜形成材料を加熱し、溶融または半溶融の微粒子の状態で、基材表面に高速度で衝突させることにより、皮膜を形成する。
　これに対して、コールドスプレー法は、高圧の作動ガスが供給されているコールドスプレーガンのチャンバー内に、パウダーポートから搬送ガスにより搬送した原料粉末を噴出して投入し、当該原料粉末を含む作動ガスを超音速流として噴出し、当該原料粉末を固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成する方法である。このとき、コールドスプレーガン内の作動ガスの温度は、皮膜を形成する金属、合金、金属間化合物、セラミックス等の原料粉末の融点又は軟化点よりも低い温度に設定している。よって、コールドスプレー法を用いて形成した金属皮膜は、上述したような従来の手法を用いて形成した同種の金属皮膜に比べて酸化や熱変質が少なく、緻密、高密度で密着性が良好であると同時に導電性、熱伝導率が高くなることが知られている。
　例えば、従来のコールドスプレー方法を採用したコールドスプレー用ノズルとしては、特許文献１がある。この特許文献１は、先細で円錐状の圧縮部と該圧縮部に連通する先広がりで円錐状の膨張部とを含み、原料粉末を融点以下の温度に加熱した作動ガスを用いて該圧縮部のノズル入口から流入させ、該膨張部先端のノズル出口より超音速流として噴出させるコールドスプレー用ノズルであって、膨張部は、少なくとも内周壁面が窒化セラミックス、ジルコニアセラミックス、炭化ケイ素セラミックスのいずれかのセラミックス材で形成されていることが開示されている。
　また、特許文献２に記載のコールドガス・スプレーガンは、加熱対象のガス流が貫流する筒状圧力容器及び該圧力容器の内部に配置された加熱ヒーターを有する高圧ガス加熱器と、内部を通過する前記ガス流に外部から粒子供給管を介して粒子を供給可能な混合チャンバーと、下流へ向かって収斂する収斂通路、次いでノズルスロート部を介して拡散通路へと続くラバルノズルとを備え、前記高圧ガス加熱器と、前記混合チャンバーと、前記ラバルノズルとが前記ガス流の上流側から順に連設され、前記高圧ガス加熱器と混合チャンバーの内部における前記ガス流との接触面の少なくとも一部が断熱されていることを特徴とする。
特開２００８－２５３８８９号公報 特表２００９－５３１１６７号公報
　上述した特許文献１は、原料粉末を高温の作動ガスが流入するチャンバー内に供給して、当該原料粉末をその融点又は軟化点以下の高温に加熱し、コールドスプレーノズルから作動ガス流と共に、超音速流として噴出する。この特許文献１では、膨張部が窒化セラミックス等のセラミックス材で形成しているため、コールドスプレー用ノズルへの原料粉末の付着やこれに起因するノズルの閉塞が抑制できる。しかし、原料粉末をチャンバー内に供給する原料粉末供給ラインの先端に形成したパウダーポートはチャンバー内に存在し、当該チャンバー出口付近においてコールドスプレーノズルに向けて開口している。
　そのため、チャンバー内に原料粉末を供給する原料粉末供給ラインのパウダーポート自体が、作動ガスの温度に上昇してしまい、内部を流通する原料粉末が、当該パウダーポートの内壁に付着し、これに起因するパウダーポートの閉塞が生じる。特に、原料粉末として、アルミニウム（融点約６６０℃）や、スズ（融点約２３２℃）、亜鉛（融点約４１９℃）、銅（融点約１０８３℃）、銀（融点約９６１℃）などの金属若しくはこれらの合金を用いた場合、原料粉末の温度がその融点を超えると当然に原料粉末がパウダーポートの内壁に付着してしまう。中でもロウ材として用いられるような金属を原料粉末として用いた場合、原料粉末は、高温の金属に触れると、その温度が原料粉末の融点よりもかなり低い温度であっても接触箇所に付着し、閉塞を生じる。したがって、緻密で良質な皮膜を形成するためには、作動ガスの温度を原料粉末の融点や軟化点により近い温度とすべきであるにもかかわらず、パウダーポートの閉塞を抑制するために、作動ガスの温度をより低く抑える必要があった。
　また、特許文献２では、ガス流を加熱する圧力容器の出口とラバルノズルとの間に混合チャンバーを設け、粒子供給管をこの混合チャンバーに側方から外殻を貫通して引き込み、外部から被覆材料粒子をガス流に供給している。しかしながら、特許文献２の場合も、粒子供給管は、混合チャンバー内に引き込まれた状態で配設されているため、原料粉末の供給ポート部分が作動ガス温度に上昇してしまう。よって、特許文献１と同様に、粒子供給管の粒子出口部分の内壁に原料粉末が付着し、これに起因するポートの閉塞が生じる。
　そこで、市場からは、原料粉末供給ポートの閉塞を効果的に抑制して、作動ガス温度を原料粉末の融点や軟化点により近い高温で運転することを可能とするコールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置の開発が要望されていた。
　そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、本発明に係るコールドスプレーガン及びそれを用いたコールドスプレー装置に想到した。以下、「コールドスプレーガン」と「コールドスプレー装置」に分けて述べる。
＜本発明に係るコールドスプレーガン＞
　本発明に係るコールドスプレーガンは、搬送ガスにより搬送した原料粉末を、当該原料粉末の融点又は軟化点以下の温度に加熱した作動ガスと共に超音速流で噴出して、当該原料粉末を固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成するものであって、前記作動ガスを収容するチャンバーと、前記チャンバーから吐出した前記作動ガスを出口で超音速流とする作動ガス流路を形成したコールドスプレー用ノズルと、前記チャンバーから吐出した前記作動ガスに前記原料粉末を供給する原料粉末供給流路と、当該原料粉末供給流路を冷却する冷却手段とを備えることを特徴とする。
　本発明に係るコールドスプレーガンは、前記冷却手段が、前記作動ガス流路を構成する内壁の冷却を同時に行うものであることが好ましい。
　本発明に係るコールドスプレーガンは、前記原料粉末供給流路を、前記作動ガス流路の下流側に向けて傾斜して形成することが好ましい。
　本発明に係るコールドスプレーガンは、前記原料粉末供給流路を、前記作動ガス流路の上流側に向けて傾斜して形成することも好ましい。
　本発明に係るコールドスプレーガンにおいて、前記冷却手段は、冷却液が循環する冷却液流路を備えた水冷式冷却部であることが好ましい。
＜本発明に係るコールドスプレー装置＞
　本発明に係るコールドスプレー装置は、上述したコールドスプレーガンを備えたことを特徴とする。
　本発明のコールドスプレーガンによれば、チャンバーから吐出した作動ガスを出口で超音速流とする作動ガス流路を形成したコールドスプレー用ノズルと、チャンバーから吐出した作動ガスに原料粉末を供給する原料粉末供給流路と、原料粉末供給流路を冷却する冷却手段とを備えるため、原料粉末供給流路内の原料粉末が作動ガスによって高温に加熱されることを抑制することができ、原料粉末供給流路内の原料粉末を常に低温に維持することができる。よって、原料粉末供給流路が閉塞することを効果的に抑制することができるため、作動ガス温度を従来よりも用いる原料粉末の融点や軟化点に近い温度で運転することが可能となる。従って、コールドスプレー用ノズルからより原料粉末の融点や軟化点に近い温度で作動ガス流を噴出することができ、高い付着効率で緻密で良質な皮膜形成を実現することが可能となる。
本実施の形態に係るコールドスプレー装置の概略構成を示す模式図である。 本実施の形態に係るコールドスプレーガンの断面斜視図である。 図２のコールドスプレーガンの概略断面図である。 他の実施の形態に係るコールドスプレーガンの原料粉末供給流路部分拡大図である。
　本発明は、搬送ガスにより搬送された原料粉末を、当該原料粉末の融点又は軟化点以下の温度に加熱した作動ガスと共に超音速流で噴出して、当該原料粉末を固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成するコールドスプレーガンであって、前記作動ガスを収容するチャンバーと、前記チャンバーから吐出した前記作動ガスを出口で超音速流とする作動ガス流路が形成されたコールドスプレー用ノズルと、前記チャンバーから吐出した前記作動ガスに前記原料粉末を供給する原料粉末供給流路と、当該原料粉末供給流路を冷却する冷却手段とを備えることを特徴とするものである。以下、本発明のコールドスプレーガンを用いたコールドスプレー装置の実施形態を、図面を参照して説明する。
　図１は本実施の形態に係るコールドスプレー装置Ｃの概略構成を示す模式図である。本実施の形態に係るコールドスプレー装置Ｃは、本発明を適用したコールドスプレーガン１と、当該コールドスプレーガン１に原料粉末を搬送ガスと共に供給する原料粉末供給装置６と、コールドスプレーガン１に所定の圧力の作動ガスを供給し、原料粉末供給装置６に所定の圧力の搬送ガスを供給する圧縮ガス供給部とを備えている。
　圧縮ガス供給部は、高圧ガスをコールドスプレーガン１や原料粉末供給装置６に供給可能とするものであれば、いずれのものを採用することができる。本実施の形態では、高圧ガスが貯蔵された圧縮ガスボンベ２を用いる。よって、本発明において、当該圧縮ガス供給部は、例えば、圧縮機等から供給するものであってもよい。
　圧縮ガス供給部からコールドスプレーガン１に供給する作動ガスや、原料粉末供給装置６に供給する搬送ガスとして用いるガスは、ヘリウム、窒素、空気、アルゴン、これらの混合ガス等を用いることができる。皮膜形成に用いる原料粉末に応じて、任意に選択することができる。高い流速を実現する場合には、ヘリウムを用いることが好ましい。
　本実施の形態において、圧縮ガスボンベ２に接続するガス供給ライン３は、コールドスプレーガン１に接続する作動ガスライン４と、原料粉末供給装置６に接続する搬送ガスライン５とに分岐する。
　作動ガスライン４には、内部に作動ガス流路を形成した電気抵抗発熱体からなる加熱装置としてのヒータ７が介設されている。当該作動ガスライン４には、圧力調整器８、流量計９が介設されており、圧縮ガスボンベ２からヒータ７に供給する作動ガスの圧力及び流量を調整する。ヒータ７は、電源１０から電圧が印加されて、通電により抵抗発熱が生じ、内部に形成した作動ガス流路を通過する作動ガスを原料粉末の融点又は軟化点以下の所定の温度まで加熱する。本実施の形態では、作動ガスを加熱する装置として電気抵抗発熱体からなるヒータを用いているが、作動ガスを高圧下で原料粉末の融点又は軟化点以下の所定の温度まで加熱することが可能であれば、特に限定されない。そして、当該作動ガスライン４の出口は、コールドスプレーガン１のチャンバー２１に接続している。
　搬送ガスライン５の端部は、原料粉末供給装置６に接続している。原料粉末供給装置６は、原料粉末が収容されたホッパー１１と、当該ホッパー１１から供給した原料粉末を計量する計量器１２と、当該計量した原料粉末を搬送ガスライン５から供給した搬送ガスと共にコールドスプレーガン１のチャンバー２１内に搬送する原料粉末供給ライン１３を備えている。当該搬送ガスライン５には、圧力調整器１６、流量計１７、圧力計１８が介設されており、圧縮ガスボンベ２から原料粉末供給装置６に供給する搬送ガスの圧力及び流量を調整する。
　本発明において用いられる原料粉末としては、金属、合金、金属間化合物等を挙げることができる。具体的には、ニッケル、鉄、銀、クロム、チタン、銅、又は、これらの合金の粉末を例示することができる。
　次に、本発明に係るコールドスプレーガンの実施の形態としてのコールドスプレーガン１について、図２及び図３を参照して詳しく説明する。図２は本実施の形態に係るコールドスプレーガン１の断面斜視図、図３は図２のコールドスプレーガン１の概略断面図である。
　コールドスプレーガン１は、内部に高圧の作動ガスを収容するチャンバー２１を構成した本体２０と、当該チャンバー２１の先端に接続したコールドスプレー用ノズル３０と、チャンバー２１から吐出した作動ガスに原料粉末を供給する原料粉末供給流路４０と、少なくとも当該原料粉末供給流路４０を冷却する冷却手段を備えている。
　本体２０は、例えば、３ＭＰａ～１０ＭＰａの高圧に耐えられるような耐圧性能を備えた有底筒状部材により構成されている。当該本体２０は、例えば、ステンレス合金或いはニッケル基耐熱合金により構成することが好ましい。この本体２０の底部には、作動ガス入口２２が形成されており、当該作動ガス入口２２には、作動ガス供給ノズル２３を介して、ヒータ７にて加熱した後の作動ガスが流出する作動ガスライン４の出口が接続されている。そして、本実施の形態における本体２０には、チャンバー出口２４が形成されており、当該チャンバー出口２４には、先端にコールドスプレー用ノズル３０を接続するためのノズル接続部２５が一体に形成されている。なお、図中、２８は、チャンバー２１内の作動ガス流を整流して乱流にならないようにするための整流板である。
　コールドスプレー用ノズル３０は、先端のノズル入口３１から延在方向にわたって先細りの円錐状に形成した圧縮部３２と、当該圧縮部３２に続く狭小なスロート部３３と、当該スロート部３３から他端のノズル出口３５にわたって先広がりの円錐状に形成した膨張部３４とを備えている。これら圧縮部３２と、スロート部３３と、膨張部３４とは、ノズル入口３１からノズル出口３５に至る作動ガス流路３６を構成する。
　当該コールドスプレー用ノズル３０は、ステンレス鋼や、工具鋼、超硬合金等により製造してもよい。しかし、ニッケルや、銅、アルミニウム、ステンレス鋼、又はこれらの合金を原料粉末として用いる場合には、ノズルの各部、特に膨張部に原料粉末が付着し、さらにはノズルが閉塞する場合があるため、少なくとも当該コールドスプレー用ノズル３０の内壁面は、ガラス材や、セラミックス材、タングステンカーバイド合金などにより構成されていることが好ましい。ここでいうガラス材としては、特に限定されないが、ケイ酸ガラス、ケイ酸アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリ石灰ガラス、鉛ガラス、バリウムガラス、ホウケイ酸ガラス等を例示することができるが、耐摩耗性ガラス、具体的にはケイ酸ガラス又はケイ酸アルカリガラスが好ましい。また、セラミックス材としては、窒化ケイ素セラミックス、ジルコニアセラミックス、炭化ケイ素セラミックスなどを採用することができる。なお、本発明において、当該コールドスプレー用ノズル３０の材質や形状は、ここで述べた形状や材質に限定されるものではなく、既存のコールドスプレー用ノズルを採用することもできる。
　原料粉末供給流路４０は、上述した本体２０のチャンバー２１から吐出した後の作動ガス、より好ましくは、コールドスプレー用ノズル３０のスロート部３３に流入するまでの作動ガスに原料粉末を供給する。本実施の形態では、原料粉末供給流路４０は、本体２０のノズル接続部２５のチャンバー出口２４の下流側、かつ、コールドスプレー用ノズル３０のスロート部３３、より好ましくは、ノズル入口３１の上流側に設けられる。
　本実施の形態では、原料粉末供給流路４０は、本体２０のノズル接続部２５内に配設した原料粉末流路構成部材４１に形成されている。当該原料粉末流路構成部材４１は、本体２０と同様に、３ＭＰａ～１０ＭＰａの高圧に耐えられるような耐圧性能を備えたステンレス合金或いはニッケル基耐熱合金により構成することが好ましい。当該原料粉末供給流路４０の一端は、当該ノズル接続部２５に設けた原料粉末供給ノズル４２と連通して接続する。この原料粉末供給ノズル４２には、上述した原料粉末供給ライン１３が接続されている。当該原料粉末供給流路４０の他端は、ノズル接続部２５内に形成した作動ガスが流通する流路、又は、コールドスプレー用ノズル３０の作動ガス流路３６内にて開口している。
　本発明において、当該原料粉末供給流路４０は、チャンバー出口２４からコールドスプレー用ノズル３０のスロート部３３に至る作動ガスの流通方向に対して、略垂直方向から接続されて、原料粉末を作動ガスの流通方向に対して略垂直方向から供給するものとしてもよいが、当該作動ガスの流通方向に対して、所定の傾斜角度をなして形成してもよい。
　すなわち、図３に示す実施の形態では、原料粉末供給流路４０は、作動ガス流路３６の下流側に向けて所定角度で傾斜して形成されている。これにより、作動ガスの流通方向に対して略垂直方向から供給する場合と比べて、作動ガスに供給される原料粉末と当該作動ガスとの接触時間をより短く設定することができ、原料粉末の温度上昇を抑制することができる。これに対して、図４に示す他の実施の形態では、原料粉末供給流路４０は、作動ガス流路３６の上流側に向けて所定角度で傾斜して形成されている。これにより、作動ガスの流通方向に対して略垂直方向から供給する場合と比べて、作動ガスに供給される原料粉末と当該作動ガスとの接触時間をより長く設定することができる。よって、チタン、タンタル、インコネル（商標）などの高融点の原料粉末を当該融点近傍の高温にまで加熱することができる。よって、作動ガスの流通方向に対して異なる傾斜角度で原料粉末供給流路４０が形成された複数の原料粉末流路構成部材４１を任意に選択して用いることで、作動ガスに供給される原料粉末と当該作動ガスとの接触時間を調整することが可能となる。
　本発明におけるコールドスプレーガン１は、少なくとも上述した原料粉末供給流路４０を冷却する冷却手段を備える。当該冷却手段は、冷却液が循環する冷却液流路４６を備えた水冷式冷却部４５であることが好ましく、本実施の形態では、原料粉末供給流路４０を構成する原料粉末流路構成部材４１に、若しくは、当該原料粉末流路構成部材４１と熱交換可能な位置に、冷却液流路４６を備えている。本発明における冷却手段を構成する水冷式冷却部４５は、原料粉末供給流路４０を冷却すると共に、コールドスプレー用ノズル３０のうち、作動ガス流路３６の少なくとも内壁面３６Ａの冷却を同時に行うものであることが好ましい。
　具体的に、本実施の形態では、水冷式冷却部４５は、複数の流路構成部材４８～５０と内部に作動ガス流路３６が形成されるコールドスプレー用ノズル３０との間に形成される一連の冷却液流路４７と、上述した原料粉末供給流路４０を冷却する冷却液流路４６とを備える。流路構成部材４８は、コールドスプレー用ノズル３０の外周面との間に冷却液流路４７を形成し、流路構成部材４９及び流路構成部材５０は、本体２０のノズル接続部２５とコールドスプレー用ノズル３０との間に配設して、当該ノズル接続部２５とコールドスプレー用ノズル３０との間に冷却液流路４７を形成する。コールドスプレー用ノズル３０の内壁面を冷却する冷却液流路４７と、原料粉末供給流路４０を冷却する冷却液流路４６とは、一連の冷却流路を構成することが好ましい。これら冷却液流路４６、４７を流れる冷却液は、コールドスプレー用ノズル３０の作動ガス流路３６を流れる作動ガスの流通方向に対して対向流とすることがより好ましい。作動ガスが流れる作動ガス流路３６の内壁面３６Ａを効率的に冷却して、原料粉末の付着を効果的に抑制することが可能となるからである。なお、本発明において、水冷式冷却部４５において用いる冷却液に特に限定はないが、例えば、冷却水を用いることができる。なお、本実施の形態において、冷却手段は、水冷式冷却部により構成しているが、少なくとも原料粉末供給流路４０を冷却することができれば、これに限定されない。
　以上の構成により、本実施の形態におけるコールドスプレー装置Ｃを用いて皮膜を形成する動作について説明する。まず、高圧ガス供給部としての圧縮ガスボンベ２からガス供給ライン３及び作動ガスライン４を介して高圧の作動ガスをヒータ７に送出する。ヒータ７に流入した作動ガスは、当該ヒータ７内を通過する過程で、当該皮膜の形成に用いる原料粉末の融点又は軟化点以下の所定の高温に加熱した後、作動ガス供給ノズル２３を介してチャンバー２１内に噴射する。
　一方、原料粉末供給装置６には、高圧ガス供給部としての圧縮ガスボンベ２からガス供給ライン３及び搬送ガスライン５を介して高圧の搬送ガスを供給する。当該高圧の搬送ガスは、原料粉末供給装置６において、計量器１２によって計量した所定量の原料粉末を同伴して、原料粉末供給ライン１３を介して、コールドスプレーガン１に設けた原料粉末供給ノズル４２に流入する。この原料粉末供給ノズル４２に接続した原料粉末供給流路４０は、チャンバー出口２４からコールドスプレー用ノズル３０のスロート部３３に至る作動ガスの流路に向けて開口している。そのため、チャンバー出口２４から噴出した高速の作動ガス流に、原料粉末を伴った搬送ガスが供給される。
　原料粉末供給流路４０から供給された原料粉末を伴った高速の作動ガス流は、コールドスプレー用ノズル３０の圧縮部３２からスロート部３３を通過して、超音速流となり、さらに先広がりの円錐状に形成した膨張部３４の先端に位置するノズル出口３５から噴出する。このコールドスプレー用ノズル３０から噴出した原料粉末は、固相状態のまま、基材６０の表面に衝突して堆積し、皮膜６１を形成する。
　このとき、原料粉末供給流路４０を形成した原料粉末流路構成部材４１は、冷却液が循環する冷却液流路４６を備えているため、当該原料粉末供給流路４０は、作動ガスの流通によってコールドスプレー用ノズル３０が加熱されても、原料粉末の融点又は軟化点以下の所定の高温にまで加熱されることなく、常時、低温を維持することができる。よって、原料粉末供給流路４０内の原料粉末が作動ガスによって高温に加熱されることを効果的に抑制することができ、原料粉末供給流路４０内の原料粉末を常に低温に維持することができる。そのため、原料粉末として、融点よりもかなり低い温度でも高温の金属に触れると付着してしまうような金属粉末を用いた場合であっても、作動ガスに合流する直前まで水冷式冷却部４５によって低温に維持することができる。よって、当該原料粉末が原料粉末供給流路４０を閉塞する不都合を効果的に抑制することができる。従って、原料粉末流路の閉塞を考慮することなく、作動ガスの温度を原料粉末の融点や軟化点により近い温度とすることができ、高い付着効率で緻密で良質な皮膜形成を実現することが可能となる。
　また、上述した原料粉末供給流路４０を冷却する冷却液流路４６は、内部に作動ガス流路３６を形成するコールドスプレー用ノズル３０と、流路構成部材５０との間に形成した冷却液流路４７と一連の冷却液流路を構成する水冷式冷却部４５により構成される。これにより、水冷式冷却部４５に冷却液を循環させることで、原料粉末供給流路４０を冷却することができると同時に、コールドスプレー用ノズル３０の作動ガス流路３６の内壁３６Ａをも冷却することができる。よって、作動ガスが流れる作動ガス流路３６の内壁面３６Ａをも効率的に冷却して、原料粉末供給流路４０の下流側において、当該作動ガス流路３６の内壁面３６Ａに原料粉末が付着する不都合も効果的に抑制することが可能となる。
　本件発明にかかるコールドスプレーガン及びコールドスプレー装置は、原料粉末供給経路において、原料粉末が高温の作動ガスにより加熱され、内壁に付着し閉塞することを効果的に抑制することができる。よって、当該原料粉末供給経路における原料粉末の閉塞を考慮することなく、作動ガスを原料粉末の融点や軟化点により近い高温に設定することができる。従って、従来よりも高い付着効率で、緻密で良質な皮膜形成を実現することが可能となる。
　　Ｃ　コールドスプレー装置
　　１　コールドスプレーガン
　　２　圧縮ガスボンベ（高圧ガス供給部）
　　３　ガス供給ライン
　　４　作動ガスライン
　　５　搬送ガスライン
　　６　原料粉末供給装置
　　７　ヒータ
　１３　搬送ガスライン
　２０　本体
　２１　チャンバー
　２２　作動ガス入口
　２３　作動ガス供給ノズル
　２４　チャンバー出口
　２５　ノズル接続部
　３０　コールドスプレー用ノズル
　３１　ノズル入口
　３２　圧縮部
　３３　スロート部
　３４　膨張部
　３５　ノズル出口
　３６　作動ガス流路
　３６Ａ　内壁面
　４０　原料粉末供給流路
　４１　原料粉末流路構成部材
　４２　原料粉末供給ノズル
　４５　水冷式冷却部
　４６、４７　冷却液流路
　６０　基材
　６１　皮膜

Claims (6)

  1. 　搬送ガスにより搬送した原料粉末を、当該原料粉末の融点又は軟化点以下の温度に加熱した作動ガスと共に超音速流で噴出して、当該原料粉末を固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成するコールドスプレーガンであって、
    　前記作動ガスを収容するチャンバーと、前記チャンバーから吐出した前記作動ガスを出口で超音速流とする作動ガス流路を形成したコールドスプレー用ノズルと、前記チャンバーから吐出した前記作動ガスに前記原料粉末を供給する原料粉末供給流路と、当該原料粉末供給流路を冷却する冷却手段とを備えることを特徴とするコールドスプレーガン。
  2. 　前記冷却手段が、前記作動ガス流路を構成する内壁の冷却を同時に行うものである請求項１に記載のコールドスプレーガン。
  3. 　前記原料粉末供給流路が、前記作動ガス流路の下流側に向けて傾斜して形成される請求項１又は請求項２に記載のコールドスプレーガン。
  4. 　前記原料粉末供給流路が、前記作動ガス流路の上流側に向けて傾斜して形成される請求項１又は請求項２に記載のコールドスプレーガン。
  5. 　前記冷却手段は、冷却液が循環する冷却液流路を備えた水冷式冷却部である請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のコールドスプレーガン。
  6. 　請求項１～請求項５のいずれか一項に記載のコールドスプレーガンを備えたことを特徴とするコールドスプレー装置。
PCT/JP2018/024845 2017-07-05 2018-06-29 コールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置 WO2019009206A1 (ja)

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