JP2008302317A - コールドスプレー方法、コールドスプレー装置 - Google Patents

コールドスプレー方法、コールドスプレー装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008302317A
JP2008302317A JP2007152894A JP2007152894A JP2008302317A JP 2008302317 A JP2008302317 A JP 2008302317A JP 2007152894 A JP2007152894 A JP 2007152894A JP 2007152894 A JP2007152894 A JP 2007152894A JP 2008302317 A JP2008302317 A JP 2008302317A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
material powder
temperature
base material
cold spray
melting point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007152894A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4973324B2 (ja
Inventor
Yohei Sakakibara
洋平 榊原
Keiji Kubushiro
圭司 久布白
Akihiro Sato
彰洋 佐藤
Koki Yoshizawa
廣喜 吉澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP2007152894A priority Critical patent/JP4973324B2/ja
Publication of JP2008302317A publication Critical patent/JP2008302317A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4973324B2 publication Critical patent/JP4973324B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/02Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
    • C23C24/04Impact or kinetic deposition of particles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

【課題】材料粉末の付着効率を確実に向上させることができ、また、均一な品質の皮膜を形成することができるコールドスプレー装置、方法を提案する。
【解決手段】材料粉末Aをノズルから高速で噴射して基材B上に堆積させるコールドスプレー装置1において、基材Bを材料粉末Aの融点以下の第一所定温度に加熱する基材加熱部50と、基材B向けて材料粉末Aを噴射するコールドスプレー部10と、を備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、コールドスプレー方法、コールドスプレー装置に関する。
近年、新しいコーティング方法として、コールドスプレー方法が注目されている。このコールドスプレーは、材料粉末を作動ガスと共にノズルから高速で噴射し、固相状態のまま基材に衝突させて被膜を形成する技術である。
材料粉末としては、金属、合金、金属間化合物、セラミックスなどが用いられる。また、作動ガスとしては、空気、窒素、ヘリウムなどが用いられ、材料粉末の融点よりも低い温度に設定される。
このコールドスプレーでは、従来のプラズマ溶射法、フレーム溶射法、高速フレーム溶射法などに比べて、材料粉末を高温に加熱する必要がない。このため、加熱による材質変化(酸化や熱変質)が殆どなく、意図した性質を有する被膜を形成することができる。つまり、緻密で密度が高く、密着性が良好な被膜が得られる。
また、コールドスプレーでは、材料粉末の付着効率、すなわち噴射した材料粉末が基材に付着する割合を向上させるために、材料粉末の粒径を微細化したり、材料粉末の噴射速度を上げたり、作動ガスを温度制御(例えば600〜700℃)して材料粉末を材質変化が発生しない程度に加熱したりする技術が提案されている(特許文献1参照)。
米国特許第7,178,744号明細書
しかしながら、従来の技術では、以下のような問題がある。
まず、材料粉末の粒径を微細化すると却って粉砕処理に時間がかかってコスト上昇を招いてしまう。同様に、材料粉末の噴射速度を上げると、作動ガスの使用量が増加してコスト上昇を招いてしまう。
更に、作動ガスを一定温度に制御するのは実際には困難な場合が少なくなく、作動ガスの温度のばらついた場合には、形成される皮膜の品質が不均一になってしまう等の問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、材料粉末の付着効率を確実に向上させることができ、また、均一な品質の皮膜を形成することができるコールドスプレー方法、コールドスプレー装置を提案することを目的とする。
本発明に係るコールドスプレー方法、コールドスプレー装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第一の発明は、材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー方法において、前記基材を第一所定温度に温度制御する第一工程と、前記基材に向けて前記材料粉末を噴射する第二工程と、を有することを特徴とする。
これにより、ノズルから高速で噴射された材料粉末が基材に衝突した際に、基材から熱を吸収して変形しやすくなる。
また、前記第一所定温度は、前記材料粉末の融点以下の温度であることを特徴とする。
また、前記第一所定温度(絶対温度)は、前記材料粉末の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする。
これにより、材料粉末に熱変質等が発生することを回避できる。
また、前記第一所定温度は、前記基材の融点以下の温度であることを特徴とする。
また、前記第一所定温度(絶対温度)は、前記基材の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする。
これにより、材料粉末及び基材に熱変質等が発生することを回避できる。
また、第二工程は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスにより前記材料粉末を前記第一所定温度以下の第二所定温度に予加熱する工程を含むことを特徴とする。
これにより、材料粉末が更に変形しやすくなる。
第二の発明は、材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー装置において、前記基材を前記材料粉末の融点以下の第一所定温度に加熱する基材加熱部と、前記基材に向けて前記材料粉末を噴射するコールドスプレー部と、を備えることを特徴とする。
これにより、ノズルから高速で噴射された材料粉末が基材に衝突した際に、基材から熱を吸収して変形しやすくなる。
また、前記コールドスプレー部は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスを前記第一所定温度以下の第二所定温度に加熱するガス加熱部を備えることを特徴とする。
これにより、材料粉末が更に変形しやすくなる。
本発明によれば以下の効果を得ることができる。
材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させる際に、基材を第一所定温度に温度制御して、材料粉末が変形しやすくしているので、噴射された材料粉末の殆どが基材に付着するようになり、材料粉末の付着効率向上を達成することができる。
また、ノズルから噴射される材料粉末を予め加熱しておくことで、更に材料粉末が変形しやすくなり、材料粉末の付着効率の向上を図ることができる。
以下、本発明に係るコールドスプレー方法の実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係るコールドスプレー装置1の概略構成を示す模式図である。
図2は、本実施形態に係るコールドスプレー部10の概略構成を示す模式図である。
コールドスプレーシステム1は、コールドスプレー部10と、基材Bを載置すると共に基材Bを一定温度に温度制御する基材温度調整部50等から構成される。
コールドスプレー部10は、材料粉末Aを音速〜超音速で基材Bの表面に固体状態で衝突させて皮膜Rを成膜するための装置であって、材料粉末Aを高圧の作動ガスGと共に噴射するスプレーガン11、所望量の材料粉末Aを作動ガスGと共にスプレーガン11に供給する粉末供給部12、作動ガスGを加熱してスプレーガン11に供給するガス加熱器13、粉末供給部12及びガス加熱器13に対して作動ガスGを供給する不図示のガス供給部等を備えている。
ガス供給部から供給される高圧の作動ガスGは2つの経路に分岐され、一方の作動ガスG1はガス加熱器13を経て、室温以上に加熱された後、スプレーガン11に供給される。他方の作動ガスG2は、粉末供給部12へ送気され、キャリアガスとして材料粉末Aと共にスプレーガン11に供給される。
そして、スプレーガン11に供給された作動ガスG(G1,G2)と材料粉末Aは、スプレーガン11の先端のノズル11Nを経て音速〜超音速流となり、ノズル11Nの出口から噴出される。材料粉末Aの吹き付け速度(噴射速度)は、300〜800m/s程度である。
なお、作動ガスGとしては、空気、窒素、ヘリウムなどが用いられる。特に、不活性ガス(ヘリウム)が好適である。ガス圧力は、0.27〜0.69MPa程度であるが、特に、0.59〜0.69MPa程度が好適である。
ノズル11Nの出口から噴出した材料粉末Aは、固体のまま基材Bに衝突する。そして、高速で基材Bに衝突した材料粉末Aは、塑性変形して基材Bに付着(皮膜Rを形成)する。また、材料粉末Aが基材Bに衝突した際に運動エネルギーが熱エネルギーに変わり、材料によっては材料表面が融点を超え結合し強固な密着力を得ることができる。
このように、コールドスプレー部10は、材料粉末Aを溶融またはガス化させること無く、作動ガスGと共に音速〜超音速流で固相状態のまま基材Bに衝突させて皮膜Rを形成することができる。
従来のプラズマ溶射法、フレーム溶射法、高速フレーム溶射法などに比べ、材料粉末をあまり加熱せずに固相状態のまま基材Bに付着させることができる。
これによって得た皮膜Rは、緻密で密度、熱伝導率・導電性が高い、密着性も良好である等の優れた性質を有する。特に、材料粉末Aを加熱して溶融させないので、酸化や熱変質が殆どないという優れた性質を有する。
基材温度調整部50は、基材Bを載置すると共に基材Bを加熱可能な加熱プレート52と、加熱プレート52内に埋め込まれて加熱ヒータ54と、加熱プレート52の温度を検出する温度センサ56と、温度センサ56の検出結果に基づいて加熱ヒータ54を作動させる温度制御部58等から構成されている。
加熱プレート52としては、熱伝導率が高い材料、例えば、銅やアルミニウム等が好適に用いられる。
加熱ヒータ54としては、高周波コイル(高周波誘導加熱装置)が好適に用いられる。交流電源に接続された加熱ヒータ54(高周波コイル)を作動させると、加熱プレート52の表面付近に高密度のうず電流が発生し、そのジュール熱で加熱プレート52が誘導加熱するようになっている。
これにより、基材Bが例えばセラミックスのように非導電性物質の場合であっても、加熱プレート52上に基材Bを載置することで、加熱プレート52からの熱伝導により加熱される。
温度センサ56としては、熱電対が好適に用いられる。加熱プレート52に埋め込んだ温度センサ56(熱電対)により加熱プレート52の温度を検出する。加熱プレート52の温度は、基材Bの加熱温度とほぼ等しいので、この温度を基材Bの加熱温度とみなすことができる。
したがって、温度制御部58は、温度センサ56の検出結果に基づいて加熱ヒータ54を制御することで、基材Bを所望の温度に加熱・維持することが可能となっている。
基材Bの加熱温度K1(第一所定温度)としては、材料粉末Aの融点よりも低い温度に設定される。
基材Bが加熱されていると、基材Bに材料粉末Aが衝突した際に、基材Bから材料粉末Aに熱が伝導し、これにより材料粉末Aが塑性変形しやすくなる。この際、基材Bが材料粉末Aの融点よりも低い温度に設定されているので、材料粉末Aが溶解したり、材質変化(酸化や熱変質)が発生したりすることはない。更に、噴射された材料粉末Aの殆どが基材Bに付着するようになり、材料粉末Aの付着効率向上を達成することができる。
特に、基材Bの加熱温度K1として、材料粉末Aの融点(絶対温度)の約半分程度の温度(絶対温度)とすることが好ましい。材質変化の発生を確実に回避するためである。
具体的には、材料粉末Aがアルミニウムの場合には、アルミニウムの融点が993Kなので、基材Bの加熱温度を466.5K以下に設定する。材料粉末Aがニッケル(融点1726K)の場合には、基材Bの加熱温度を863K以下に設定する。
同様に、金(融点1337K)の場合は加熱温度668.5K以下、銀(融点1234K)の場合は加熱温度617K以下、銅(融点1356K)の場合は加熱温度678K以下、鉄(融点1808K)の場合は加熱温度904K以下に、それぞれ設定する。
例えば、基材Bの表面の耐摩耗性を向上させるために、タングステンカーバーイド(WC)を付着させることが考えられる。WCの融点は3020Kであるため、基材Bの温度を1510K以下にすることが望ましい。
しかし、一般に基材Bの融点はWCのそれより大幅に低く、たとえばNi基合金を基材Bとして用いるのであれば、その融点は1600〜1900K程ほどであるから、その半分以下の800〜950K以下が望ましい。
また、基材Bの加熱温度K1として、基材Bの融点よりも低い温度に設定される。基材B自体に材質変化が発生しないようにするためである。
特に、基材Bの加熱温度K1として、基材Bの融点(絶対温度)の約半分程度の温度(絶対温度)とすることが好ましい。材質変化の発生を確実に回避するためである。
具体的には、基材Bがアルミニウムの場合には、アルミニウムの融点が993Kなので、基材Bの加熱温度を466.5K以下に設定する。基材Bがニッケル(融点1726K)の場合には、基材Bの加熱温度を863K以下に設定する。
同様に、金(融点1337K)の場合は加熱温度668.5K以下、銀(融点1234K)の場合は加熱温度617K以下、銅(融点1356K)の場合は加熱温度678K以下、鉄(融点1808K)の場合は加熱温度904K以下に、それぞれ設定する。
例えば、基材BとしてAl系合金を使用する際には、たとえばAl−4wt%Cuの融点は920Kであるので、その半分以下、すなわち460K以下が望ましい。より具体的に言えば、Al−Cu系の鋳物のAC1A−Fでは、T6熱処理(788Kで36ks溶体化後、433Kで21.6ks焼き戻し)が行われる。したがって、コールドスプレーをする際にも、基材Bの温度は焼き戻し温度より低い温度(433K以下)とすることが望ましい。
また、コールドスプレー部10から材料粉末Aを噴射する際に、材料粉末Aを作動ガスGにより、上述した基材Bの加熱温度K1よりも低い温度K2(第二所定温度)に加熱する。すなわち、作動ガスGを、上述した基材Bの加熱温度K1(第一所定温度)よりも低い温度K2に加熱して、材料粉末Aを予め加熱する。
これにより、材料粉末Aと基材Bとの温度差が小さくなるので、材料粉末Aが基材Bに衝突した際に、瞬間的に確実に熱伝導が行われて、材料粉末Aが塑性変形しやすくなる。つまり、基材Bから材料粉末Aへの熱伝導量を少なくすることができ、基材Bから材料粉末Aへの熱伝導が確実となる。
また、作動ガスGによる材料粉末Aの加熱温度K2は、基材Bの加熱温度K1よりも低く設定されているので、材料粉末Aの熱が基材Bに吸収されてしまうことを防止できる。
作動ガスGの加熱温度K2としては、材料粉末Aの材質毎にそれぞれ設定することが望ましい。
例えば、材料粉末AがAlの場合は、作動ガスG温度K2は466.5K以下、Niの場合(融点1728K)には864K以下、Tiの場合(融点1940K)には970K以下に設定する。
その他に、例えば、材料粉末Aが軟質材料の場合と、硬質材料の場合で別々に設定してもよい。
具体的には、材料粉末Aが軟質材料であるアルミニウムの場合には、作動ガスGの加熱温度K2を437K(200℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高466K程度である。これにより、材料粉末Aと基材Bとの温度差が小さくなり、材料粉末Aが基材Bに衝突した際に、瞬間的に確実に熱伝導が行われて、材料粉末Aが塑性変形し、良好な皮膜Rが形成できる。
また、材料粉末Aが軟質材料である銅の場合には、作動ガスGの加熱温度K2を437K(200℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高678K程度である。
同様に、材料粉末Aが金,銀の場合も、作動ガスGの加熱温度K2を437K(200℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高668K,617K程度である。
材料粉末Aが硬質材料であるニッケルの場合には、作動ガスGの加熱温度K2を637K(400℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高863K程度である。
材料粉末Aが硬質材料である鉄の場合には、作動ガスGの加熱温度K2を637K(400℃)程度に設定する。この際、基材Bの加熱温度K1は、最高904K程度である。
上述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において各種条件や設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上述した実施形態では、基材温度調整部50の加熱プレート52を誘導加熱して、加熱プレート52上に載置された基材Bを熱伝導により加熱する場合について説明したが、これに限らない。
例えば、基材Bが導電体の場合には、加熱プレート52を用いなくてもよい。すなわち、加熱ヒータ54(高周波コイル)を作動させると、基材Bにうず電流が発生して、非接触かつ直接に基材Bを誘導加熱される。
また、高周波コイルに代えて、レーザ加熱装置を用いてもよい。レーザ加熱装置の場合には、基材Bの表面のうち、材料粉末Aを噴き付ける領域のみを局所的に加熱することができるので、装置のコンパクト化を図ることができる。
温度センサ56としては、赤外線検出型温度センサを用いて、基材Bの表面温度を非接触かつ直接に検出してもよい。特に、加熱プレート52を用いずに、基材Bにうず電流を発生させて誘導加熱する場合には、赤外線検出型温度センサが好適である。
本発明の実施形態に係るコールドスプレー装置の概略構成を示す模式図である。 本実施形態に係るコールドスプレー部の概略構成を示す模式図である。
符号の説明
1…コールドスプレー装置
10…コールドスプレー部
11N…ノズル
13…ガス加熱器(ガス加熱部)
50…基材温度調整部(基材加熱部)
B…基材
A…材料粉体
G…作動ガス
R…皮膜
K1…基材の加熱温度(第一所定温度)
K2…作動ガスの加熱温度(第二所定温度)

Claims (8)

  1. 材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー方法において、
    前記基材を第一所定温度に温度制御する第一工程と、
    前記基材に向けて前記材料粉末を噴射する第二工程と、
    を有することを特徴とするコールドスプレー方法。
  2. 前記第一所定温度は、前記材料粉末の融点以下の温度であることを特徴とする請求項1に記載のコールドスプレー方法。
  3. 前記第一所定温度(絶対温度)は、前記材料粉末の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする請求項2に記載のコールドスプレー方法。
  4. 前記第一所定温度は、前記基材の融点以下の温度であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のコールドスプレー方法。
  5. 前記第一所定温度(絶対温度)は、前記基材の融点(絶対温度)の約半分の温度であることを特徴とする請求項4に記載のコールドスプレー方法。
  6. 第二工程は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスにより前記材料粉末を前記第一所定温度以下の第二所定温度に予加熱する工程を含むことを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のコールドスプレー方法。
  7. 材料粉末をノズルから高速で噴射して基材上に堆積させるコールドスプレー装置において、
    前記基材を前記材料粉末の融点以下の第一所定温度に加熱する基材加熱部と、
    前記基材に向けて前記材料粉末を噴射するコールドスプレー部と、
    を備えることを特徴とするコールドスプレー装置。
  8. 前記コールドスプレー部は、前記ノズルから前記材料粉末と共に噴射する作動ガスを前記第一所定温度以下の第二所定温度に加熱するガス加熱部を備えることを特徴とする請求項7に記載のコールドスプレー装置。
JP2007152894A 2007-06-08 2007-06-08 コールドスプレー方法、コールドスプレー装置 Expired - Fee Related JP4973324B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007152894A JP4973324B2 (ja) 2007-06-08 2007-06-08 コールドスプレー方法、コールドスプレー装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007152894A JP4973324B2 (ja) 2007-06-08 2007-06-08 コールドスプレー方法、コールドスプレー装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008302317A true JP2008302317A (ja) 2008-12-18
JP4973324B2 JP4973324B2 (ja) 2012-07-11

Family

ID=40231495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007152894A Expired - Fee Related JP4973324B2 (ja) 2007-06-08 2007-06-08 コールドスプレー方法、コールドスプレー装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4973324B2 (ja)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010162602A (ja) * 2009-01-07 2010-07-29 General Electric Co <Ge> コールド・スプレー技術を用いて金属部品を結合するシステム及び方法
JP2011023475A (ja) * 2009-07-14 2011-02-03 Mitsubishi Materials Corp 絶縁基板、絶縁回路基板、半導体装置、絶縁基板の製造方法及び絶縁回路基板の製造方法
WO2012128327A1 (ja) 2011-03-23 2012-09-27 日本発條株式会社 積層体、導電材料および積層体の製造方法
WO2012137950A1 (ja) 2011-04-06 2012-10-11 日本発條株式会社 積層体および積層体の製造方法
US8414977B2 (en) 2010-05-10 2013-04-09 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Masking jig, substrate heating device, and coating method
JP2013513029A (ja) * 2009-12-04 2013-04-18 ザ リージェンツ オブ ユニバーシティー オブ ミシガン 同軸レーザ支援コールド・スプレー・ノズル
JP2013177670A (ja) * 2012-02-09 2013-09-09 Tocalo Co Ltd フッ化物溶射皮膜の形成方法およびフッ化物溶射皮膜被覆部材
WO2014128952A1 (ja) * 2013-02-25 2014-08-28 株式会社 日立製作所 Ti被覆構造体とその製法
JP2015145538A (ja) * 2015-04-28 2015-08-13 日本発條株式会社 積層体の製造方法
US9421570B2 (en) 2012-02-09 2016-08-23 Tocalo Co., Ltd. Method for forming fluoride spray coating and fluoride spray coating covered member
JP2016209563A (ja) * 2015-04-30 2016-12-15 アービンメリトール・テクノロジー,エルエルシー シャフト釣合いシステムおよびシャフトの釣合いをとる方法
EP3156514A4 (en) * 2014-06-11 2018-01-24 NHK Spring Co., Ltd. Method for producing laminate, and laminate
CN108188401A (zh) * 2018-03-22 2018-06-22 顺德职业技术学院 高频感应加热辅助冷喷涂沉积金属3d打印方法与设备
CN108247043A (zh) * 2018-03-22 2018-07-06 顺德职业技术学院 可熔化去除支撑的冷喷涂沉积金属3d打印方法与设备
US10119195B2 (en) 2009-12-04 2018-11-06 The Regents Of The University Of Michigan Multichannel cold spray apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102084235B1 (ko) * 2015-12-28 2020-03-03 아이원스 주식회사 투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09184080A (ja) * 1995-12-27 1997-07-15 Vacuum Metallurgical Co Ltd 超微粒子による薄膜形成方法、およびその薄膜形成装置
JP2005095886A (ja) * 2003-09-02 2005-04-14 Nippon Steel Corp コールドスプレー用ノズル並びにコールドスプレー被膜及び製造方法
JP2006116532A (ja) * 2004-08-23 2006-05-11 Delphi Technologies Inc 動的スプレー処理による、高速被覆溶着のための連続インライン製造工程
JP2008544092A (ja) * 2005-06-28 2008-12-04 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト セラミック層を製作する方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09184080A (ja) * 1995-12-27 1997-07-15 Vacuum Metallurgical Co Ltd 超微粒子による薄膜形成方法、およびその薄膜形成装置
JP2005095886A (ja) * 2003-09-02 2005-04-14 Nippon Steel Corp コールドスプレー用ノズル並びにコールドスプレー被膜及び製造方法
JP2006116532A (ja) * 2004-08-23 2006-05-11 Delphi Technologies Inc 動的スプレー処理による、高速被覆溶着のための連続インライン製造工程
JP2008544092A (ja) * 2005-06-28 2008-12-04 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト セラミック層を製作する方法

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010162602A (ja) * 2009-01-07 2010-07-29 General Electric Co <Ge> コールド・スプレー技術を用いて金属部品を結合するシステム及び方法
JP2011023475A (ja) * 2009-07-14 2011-02-03 Mitsubishi Materials Corp 絶縁基板、絶縁回路基板、半導体装置、絶縁基板の製造方法及び絶縁回路基板の製造方法
US10119195B2 (en) 2009-12-04 2018-11-06 The Regents Of The University Of Michigan Multichannel cold spray apparatus
US9481933B2 (en) 2009-12-04 2016-11-01 The Regents Of The University Of Michigan Coaxial laser assisted cold spray nozzle
KR101770576B1 (ko) * 2009-12-04 2017-08-23 더 리젠츠 오브 더 유니버시티 오브 미시건 동축 레이저 보조형 콜드 스프레이 노즐
JP2013513029A (ja) * 2009-12-04 2013-04-18 ザ リージェンツ オブ ユニバーシティー オブ ミシガン 同軸レーザ支援コールド・スプレー・ノズル
US8414977B2 (en) 2010-05-10 2013-04-09 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Masking jig, substrate heating device, and coating method
WO2012128327A1 (ja) 2011-03-23 2012-09-27 日本発條株式会社 積層体、導電材料および積層体の製造方法
KR20130126734A (ko) 2011-04-06 2013-11-20 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 적층체 및 적층체의 제조 방법
CN103459671A (zh) * 2011-04-06 2013-12-18 日本发条株式会社 层叠体及层叠体的制造方法
EP2695972A1 (en) * 2011-04-06 2014-02-12 NHK Spring Co., Ltd. Laminate, and method for producing laminate
CN105195746A (zh) * 2011-04-06 2015-12-30 日本发条株式会社 层叠体及层叠体的制造方法
EP2695972A4 (en) * 2011-04-06 2014-12-17 Nhk Spring Co Ltd LAMINATE AND MANUFACTURING PROCESS FOR THE LAMINATE
JP2012219304A (ja) * 2011-04-06 2012-11-12 Nhk Spring Co Ltd 積層体および積層体の製造方法
WO2012137950A1 (ja) 2011-04-06 2012-10-11 日本発條株式会社 積層体および積層体の製造方法
US9162251B2 (en) 2011-04-06 2015-10-20 Nhk Spring Co., Ltd. Lamination and method for manufacturing lamination
JP2013177670A (ja) * 2012-02-09 2013-09-09 Tocalo Co Ltd フッ化物溶射皮膜の形成方法およびフッ化物溶射皮膜被覆部材
US9421570B2 (en) 2012-02-09 2016-08-23 Tocalo Co., Ltd. Method for forming fluoride spray coating and fluoride spray coating covered member
JP2015042786A (ja) * 2012-02-09 2015-03-05 トーカロ株式会社 フッ化物溶射皮膜の形成方法およびフッ化物溶射皮膜被覆部材
JPWO2014128952A1 (ja) * 2013-02-25 2017-02-02 株式会社日立製作所 Ti被覆構造体とその製法
WO2014128952A1 (ja) * 2013-02-25 2014-08-28 株式会社 日立製作所 Ti被覆構造体とその製法
EP3156514A4 (en) * 2014-06-11 2018-01-24 NHK Spring Co., Ltd. Method for producing laminate, and laminate
US10315388B2 (en) 2014-06-11 2019-06-11 Nhk Spring Co., Ltd. Method of manufacturing laminate and laminate
JP2015145538A (ja) * 2015-04-28 2015-08-13 日本発條株式会社 積層体の製造方法
JP2016209563A (ja) * 2015-04-30 2016-12-15 アービンメリトール・テクノロジー,エルエルシー シャフト釣合いシステムおよびシャフトの釣合いをとる方法
CN108188401A (zh) * 2018-03-22 2018-06-22 顺德职业技术学院 高频感应加热辅助冷喷涂沉积金属3d打印方法与设备
CN108247043A (zh) * 2018-03-22 2018-07-06 顺德职业技术学院 可熔化去除支撑的冷喷涂沉积金属3d打印方法与设备
CN108247043B (zh) * 2018-03-22 2024-04-02 顺德职业技术学院 可熔化去除支撑的冷喷涂沉积金属3d打印方法及设备

Also Published As

Publication number Publication date
JP4973324B2 (ja) 2012-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4973324B2 (ja) コールドスプレー方法、コールドスプレー装置
CA3067686C (en) Cold spray gun and cold spray device equipped therewith
Amin et al. A review on thermal spray coating processes
JP3918379B2 (ja) 溶射方法、溶射装置及び粉末通路装置
JP4795157B2 (ja) コールドスプレー装置
TWI432603B (zh) 冷噴霧器用噴嘴及使用該冷噴霧器用噴嘴之冷噴霧器裝置
US7654223B2 (en) Cold spray apparatus having powder preheating device
US20100193480A1 (en) Deposition of materials with low ductility using solid free-form fabrication
JP5745315B2 (ja) 積層体および積層体の製造方法
US20160047052A1 (en) Gas dynamic cold spray method and apparatus
CN103459667A (zh) 层叠体、导电材料及层叠体的制造方法
JP2012025983A (ja) 被膜形成方法及びその方法により形成される複合材
JP2022552886A (ja) コールドスプレーシステムにおける多重ノズルの設計および関連する方法
WO2008119696A1 (en) Composite aluminium or aluminium alloy porous structures
US7244466B2 (en) Kinetic spray nozzle design for small spot coatings and narrow width structures
JP2019014914A (ja) 金属セラミックス基材、金属セラミックス接合構造、金属セラミックス接合構造の作製方法、及び混合粉末材料
JP2018178149A (ja) コールドスプレーガン及びそれを備えたコールドスプレー装置
JP2008302311A (ja) コールドスプレー方法
JP5130991B2 (ja) コールドスプレー方法、コールドスプレー装置
Li et al. Effects of spray parameters on the microstructure and property of Al2O3 coatings sprayed by a low power plasma torch with a novel hollow cathode
JP6014199B2 (ja) 積層体の製造方法
CN100560781C (zh) 表面改质方法及装置、旋转部件及流体机械
US20050074560A1 (en) Correcting defective kinetically sprayed surfaces
JP5428302B2 (ja) 樹脂構造体の製造方法および樹脂構造体製造装置
US20120193126A1 (en) Method of forming sensors and circuits on components

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100426

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111025

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111226

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120313

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120326

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4973324

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees