WO2018164048A1 - 複合酸化物 - Google Patents

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WO2018164048A1
WO2018164048A1 PCT/JP2018/008314 JP2018008314W WO2018164048A1 WO 2018164048 A1 WO2018164048 A1 WO 2018164048A1 JP 2018008314 W JP2018008314 W JP 2018008314W WO 2018164048 A1 WO2018164048 A1 WO 2018164048A1
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智靖 薄井
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株式会社村田製作所
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    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • Y02B30/00Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]

Definitions

  • the present invention relates to a composite oxide, and in particular, to a composite oxide exhibiting an electrocaloric effect.
  • ECE electrocaloric effect
  • Non-Patent Document 1 has a problem that it is difficult to apply a high electric field, and the temperature at which a sufficiently large electrocaloric effect is developed is 320 K (47 ° C.) or higher. is there. Further, the ceramic disclosed in Non-Patent Document 2 has a problem that ⁇ T is small because a ferroelectric material based on BaTiO 3 having a small electrocaloric effect is used.
  • an object of the present invention is to provide a composite oxide that exhibits a large electrocaloric effect even at room temperature or lower.
  • the present inventors have doped Nb, Ta, W, or Mo into a Pb (Zr, Sn, Ti) composite oxide, and further made these ratios within a predetermined range, thereby allowing room temperature.
  • the inventors have found that a material exhibiting a large electrocaloric effect can be provided below, and have completed the present invention.
  • the containing mole part of Zr in a total of 100 mole parts of Zr and Sn is p mole part, The content mole part of Ti in a total of 100 mole parts of Zr, Sn and Ti is q mole part,
  • the containing mole part of M 1 or M 2 in a total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 is the r mole part, p is 50 or more and 65 or less, q is 3 or more and 7 or less, r is 1 or more and 3 or less,
  • a composite oxide is provided.
  • an endothermic element comprising a laminate comprising a plurality of electrode layers and a plurality of dielectric layers located between the electrode layers,
  • the dielectric layer is composed of the above complex oxide,
  • the dielectric layer has a thickness of 5 ⁇ m or more.
  • an electronic device having the above-described heat-absorbing / heating element.
  • a method for producing a composite oxide comprising Pb, Zr, Sn, Ti and M 1 (M 1 is Nb or Ta) or M 2 (M 2 is W or Mo), Pb, Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 oxides or salts,
  • the containing mole part of Zr in a total of 100 mole parts of Zr and Sn is p mole part,
  • the content mole part of Ti in a total of 100 mole parts of Zr, Sn and Ti is q mole part
  • the containing mole part of M 1 or M 2 in a total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 is the r mole part,
  • p is 50 or more and 65 or less
  • q is 3 or more and 7 or less
  • the contained mole part of Pb with respect to a total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 1 is (100
  • the Pb (Zr, Sn, Ti) composite oxide is doped with Nb, Ta, W or Mo, and the ratio of these is within a predetermined range, so that a large amount of electric heat can be obtained even at room temperature or lower. A material exhibiting an effect can be provided.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the heat-absorption element used in the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of another heat absorbing / generating element used in the present invention.
  • FIG. 4 is a graph showing the temperature dependence of ⁇ T when an electric field is applied with respect to Sample No. 8.
  • the material exhibiting the electrocaloric effect of the present invention is a Pb (Zr, Sn, Ti) composite oxide doped with M 1 or M 2 .
  • the composite oxide of the present invention has the following formula (I) or (II): Pb 1-z / 2 ([Zr x Sn 1-x ] 1-y Ti y ) 1-z M 1 z O 3 (I) Pb 1-z ([Zr x Sn 1-x ] 1-y Ti y ) 1-z M 2 z O 3 (II) [Where: M 1 is Nb or Ta, M 2 is W or Mo; x is 0.50 or more and 0.65 or less, y is 0.03 or more and 0.07 or less, z is 0.01 or more and 0.03 or less. ] And a complex oxide that causes a phase transition between a ferroelectric and an antiferroelectric material at a temperature of 25 ° C. or lower.
  • x is 0.50 or more and 0.65 or less, preferably more than 0.60 and 0.65 or less, for example, 0.65.
  • y is 0.03 or more and 0.07 or less, preferably 0.03 or more and 0.05 or less, preferably 0.03 or more and less than 0.04, for example, 0.03, 0.04 or 0.05. It can be.
  • the composite oxide of the present invention can exhibit a large electrocaloric effect at room temperature or lower, for example, 25 ° C. or lower.
  • the composite oxide of the present invention can have high voltage resistance and the like.
  • z can be 0.01 or more and 0.03 or less, for example, 0.01, 0.02 or 0.03.
  • the composite oxide of the present invention can have high insulating properties over a wide temperature range.
  • x is 0.50 or more and 0.65 or less, preferably greater than 0.50 and 0.65 or less, y is 0.05, and z is 0.01 or more and 0.03 or less.
  • the composite oxide of the present invention can have a larger electrocaloric effect, higher voltage resistance, etc. at room temperature or lower, for example, 25 ° C. or lower.
  • the composite oxide of the present invention has the formula (I): Pb 1-z / 2 ([Zr x Sn 1-x ] 1-y Ti y ) 1-z M 1 z O 3 (I) It is the complex oxide represented by these. More preferably, in the composite oxide of the present invention, x is 0.50 or more and 0.65 or less, preferably more than 0.50 and 0.65 or less, y is 0.05, and z is 0.01. This is a composite oxide represented by the formula (I) which is 0.03 or more. Particularly preferably, in the composite oxide of the present invention, M 1 is Nb, x is 0.50 or more and 0.65 or less, preferably more than 0.50 and 0.65 or less, and y is 0.05. Yes, a composite oxide represented by the formula (I) in which z is 0.01 or more and 0.03 or less.
  • the composite oxide of the present invention comprises A composite oxide containing Pb, Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 , A phase transition between a ferroelectric and an antiferroelectric material occurs at a temperature of 25 ° C. or lower, M 1 is Nb or Ta, M 2 is W or Mo;
  • the containing mole part of Zr in a total of 100 mole parts of Zr and Sn is p mole part,
  • the content mole part of Ti in a total of 100 mole parts of Zr, Sn and Ti is q mole part
  • the containing mole part of M 1 or M 2 in a total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 is the r mole part, p is 50 or more and 65 or less, q is 3 or more and 7 or less, r is 1 or more and 3 or less, It can be a complex oxide.
  • P is 50 or more and 65 or less, preferably greater than 60 and 65 or less, and may be 65, for example.
  • the q may be 3 or more and 7 or less, preferably 3 or more and 5 or less, preferably 3 or more and less than 4, for example 3, 4 or 5.
  • the composite oxide of the present invention can exhibit a large electrocaloric effect at room temperature or lower, for example, 25 ° C. or lower.
  • the composite oxide of the present invention can have high voltage resistance and the like.
  • the r may be 1 or more and 3 or less, for example, 1, 2 or 3.
  • the composite oxide of the present invention can have high insulating properties over a wide temperature range.
  • p is 50 or more and 65 or less, preferably greater than 50 and 65 or less, q is 5, and r is 1 or more and 3 or less.
  • the composite oxide of the present invention can have a larger electrocaloric effect, higher voltage resistance, etc. at room temperature or lower, for example, 25 ° C. or lower.
  • the composite oxide of the present invention is the composite oxide containing M 1 . More preferably, the composite oxide of the present invention is the above composite oxide wherein p is 50 or more and 65 or less, preferably greater than 50 and 65 or less, q is 5, and r is 1 or more and 3 or less. Particularly preferably, the composite oxide of the present invention comprises M 1, M 1 is Nb, p is 50 or more 65 or less, preferably greater than 50 65 or less, q is 5, r is 1 This is a composite oxide of 3 or less.
  • the Pb-containing mole part relative to the total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 1 is (100- (r / 2)) mole parts
  • M 2 is contained, the Pb-containing mole part relative to the total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 2 is (100-r) mole part.
  • the composite oxide of the present invention may have a perovskite structure.
  • the composite oxide of the present invention exhibits a large electrocaloric effect in a wide temperature range of room temperature or lower, for example, 25 ° C. or lower, particularly 25 ° C. or lower.
  • the composite oxide of the present invention has three phases of ferroelectric, antiferroelectric and paraelectric over a wide temperature range, so that the ferroelectric to paraelectric can be obtained. than the phase transition point (T C) strength of a conventional only can obtain a great effect in the dielectric is considered to exhibit large electrical caloric effect over a wide temperature range.
  • the composite oxide of the present invention exhibits a large electrocaloric effect by showing a phase transition between a ferroelectric and an antiferroelectric at a temperature of 25 ° C. or lower.
  • an electric field of 10 MV / m is applied at a temperature of 25 ° C. or lower, preferably in a temperature range of ⁇ 50 ° C. or higher and 25 ° C. or lower, 0.50 K or higher, preferably 0.60 K or higher, more preferably 0 .DELTA.T of 70K or higher.
  • ⁇ T means a temperature change of the sample caused by applying and removing an electric field to the sample.
  • ⁇ T can be obtained by directly attaching an ultrafine thermocouple to the sample and measuring temperature changes during application and removal of the electric field.
  • ⁇ T can be measured by directly attaching a platinum resistance thermometer or thermistor element, or by using a non-contact IR camera (infrared camera / thermoviewer). Good.
  • the composite oxide of the present invention can have high insulation properties over a wide temperature range.
  • the composite oxide of the present invention is, for example, 1 ⁇ 10 5 ⁇ ⁇ cm or more, preferably 1 ⁇ 10 16 ⁇ ⁇ cm or less, preferably at a temperature of 25 ° C. or less, preferably in a temperature range of ⁇ 50 ° C. or more and 25 ° C. or less.
  • the composite oxide of the present invention can have high withstand voltage characteristics over a wide temperature range.
  • the composite oxide of the present invention has, for example, a temperature of 25 ° C. or lower, preferably a temperature range of ⁇ 50 ° C. or higher and 25 ° C. or lower, 10 MV / m or higher, preferably 20 MV / m or higher, more preferably 30 MV / m. Indicates withstand voltage.
  • the composite oxide of the present invention can undergo phase transition even at a relatively low electric field, that is, can exhibit a large electrocaloric effect. Therefore, the complex oxide of the present invention can exhibit a high electrocaloric effect even in a relatively thick shape in which a strong electric field is difficult to be applied.
  • the composite oxide of the present invention can be obtained, for example, by mixing and baking Pb, Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 oxides or salts. Pb, Zr, Sn, Ti, and M 1 or M 2 are mixed so as to have a predetermined ratio, and firing in a lead atmosphere can suppress lead volatilization from the obtained composite oxide. .
  • the present invention is a method for producing a composite oxide containing Pb, Zr, Sn, Ti and M 1 (M 1 is Nb or Ta) or M 2 (M 2 is W or Mo).
  • Pb, Zr, Sn, Ti and oxides or salts of M 1 or M 2 preferably oxides
  • the containing mole part of Zr in a total of 100 mole parts of Zr and Sn is p mole part
  • the content mole part of Ti in a total of 100 mole parts of Zr, Sn and Ti is q mole part
  • the containing mole part of M 1 or M 2 in a total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 is the r mole part
  • p 50 or more and 65 or less
  • q is 3 or more and 7 or less
  • r is mixed in a ratio of 1 to 3
  • the content mole part of Pb with respect to a total of 100 mole parts of Zr, Sn, Ti, and M 1 is (100- (r / 2)) moles Parts, or when M 2 is included, the Pb-containing mole part relative to the total 100 mole parts of Zr, Sn, Ti and M 2 is (100-r) mole parts.
  • Pb, Zr, Sn, Ti and M 1 or M 2 oxides or salts, preferably oxides are mixed.
  • the composite oxide of the present invention exhibits an excellent electric caloric effect, it can be used as a material for an endothermic element.
  • an endothermic element 1a is a dielectric composed of a pair of electrodes 2 and 4 and the complex oxide of the present invention located between the pair of electrodes. And a body portion 6.
  • a voltage is applied between the electrodes 2 and 4
  • an electric field is applied to the dielectric portion 6.
  • the dielectric portion 6 generates heat.
  • the electric field applied to the dielectric portion 6 disappears.
  • the dielectric portion 6 absorbs heat.
  • the shape of the dielectric portion 6 is not particularly limited, and can be formed into, for example, a sheet shape, a block shape, and other various shapes.
  • the molding method is not particularly limited, and compression, sintering, or the like can be used. Moreover, you may mix and shape
  • the material constituting the electrodes 2 and 4 is not particularly limited, and examples thereof include Ag, Cu, Pt, Ni, Al, Pd, Au, and alloys thereof (for example, Ag—Pd). Among these, Pt, Ag, Pd, or Ag—Pd is preferable.
  • the electrodes 2 and 4 may have a function of conveying the amount of heat of the dielectric part in addition to the function of applying an electric field to the dielectric part. Therefore, from the viewpoint of heat transfer, the material constituting the electrode is preferably a material having high thermal conductivity, such as Ag.
  • the shape of the electrodes 2 and 4 is not particularly limited, but a shape that covers the entire surface of the dielectric portion 6 is preferable from the viewpoint of heat transfer.
  • the heat absorbing / generating element of the present invention exhibits an excellent electric caloric effect, it can be used as a heat management element, particularly a cooling element.
  • the heat-absorbing / heating element of the present invention uses a dielectric portion made of a material that exhibits a large electrocaloric effect at room temperature or lower, particularly ⁇ 50 ° C. or higher and 25 ° C. or lower. Therefore, the heat absorbing / heating element of the present invention can be suitably used particularly in refrigeration and freezing applications.
  • the heat absorbing / heating element of the present invention may include a laminate of a plurality of electrodes and a plurality of dielectric layers. That is, the present invention is a heat-absorbing / heating element comprising a laminate comprising a plurality of electrode layers and a plurality of dielectric layers positioned between the electrode layers, The dielectric layer is composed of the composite oxide of the present invention, The dielectric layer has a thickness of 5 ⁇ m or more. An endothermic element is provided.
  • the plurality of internal electrodes 12a, 12b and the plurality of dielectric portions 14 are alternately stacked.
  • the internal electrodes 12a and 12b are electrically connected to external electrodes 16a and 16b arranged on the end face of the heat absorbing / generating element 1b, respectively.
  • a voltage is applied from the external electrodes 16a and 16b, an electric field is formed between the internal electrodes 12a and 12b. Due to this electric field, the dielectric portion 14 generates heat.
  • the dielectric portion 14 absorbs heat.
  • the laminated dielectric parts 14 may all have the same composition, or one or more dielectric parts having different compositions may be laminated.
  • the thickness of the dielectric layer may be 5 ⁇ m or more, preferably 10 ⁇ m or more, more preferably 15 ⁇ m or more.
  • the electrode and the dielectric portion are substantially in contact with each other, but the present invention is not limited to such a structure, and an electric field can be applied to the dielectric portion. Any structure can be used.
  • the heat absorbing / generating elements 1a and 1b have a rectangular parallelepiped block shape, the shape of the heat absorbing / generating element of the present invention is not limited to this, and may be, for example, a cylindrical shape or a sheet shape. Etc. may be included.
  • the endothermic element of the present invention absorbs heat generated by the heat source mainly when the electric field is released and absorbs heat or when the temperature of the endothermic element decreases due to this endotherm.
  • the heat absorbing / heating element of the present invention releases absorbed heat to the outside mainly when an electric field is applied to dissipate heat. Therefore, the heat absorbing / heating element of the present invention can be used as a cooling device.
  • the present invention also provides an electronic component having the heat absorbing / generating element of the present invention, and an electronic device having the heat absorbing / generating element or electronic component of the present invention.
  • a central processing unit CPU
  • a hard disk HDD
  • a power management IC PMIC
  • PA power amplifier
  • transceiver IC a voltage regulator
  • Light emitting elements such as integrated circuits (ICs), light emitting diodes (LEDs), incandescent bulbs, semiconductor lasers, parts that can be heat sources such as field effect transistors (FETs), and other parts such as lithium ion batteries, substrates, heat sinks And parts commonly used in electronic devices such as housings.
  • the electronic device is not particularly limited, and examples thereof include a refrigerator, a mobile phone, a smartphone, a personal computer (PC), a tablet terminal, a hard disk drive, and a data server after refrigeration.
  • a polyvinyl butyral binder, a plasticizer and ethanol were added and wet mixed by a ball mill to prepare a ceramic slurry.
  • This ceramic slurry was formed into a sheet by a doctor blade method so that the thickness of the dielectric layer after firing was 40 ⁇ m, thereby obtaining a green sheet.
  • Pt paste was screen-printed on the ceramic green sheet to constitute an internal electrode.
  • the outer dimensions of the laminated heat-absorbing / heating element obtained as described above are 7.2 mm in width, 10 mm in length, and 0.92 mm in thickness.
  • the thickness of the dielectric layer interposed between the internal electrodes is 40 ⁇ m.
  • the thickness was 1.5 ⁇ m.
  • the total number of effective dielectric layers was 20, and the counter electrode area per layer was 40.2 mm 2 .
  • a sample having a ⁇ T of less than 0.5K at 25 ° C. and a sample that causes dielectric breakdown when an electric field of 10 MV / m is applied is NG because it is disadvantageous to use the electric calorific effect as a heat management element in a refrigerator or a freezer.
  • the others were G.
  • G * those with ⁇ T exceeding 0.5K even at 0 ° C. were designated as G * as a more preferable composition.
  • an electric field was applied up to 20 MV / m, and it was confirmed that ⁇ T exceeding 1 K was observed.
  • a composition triangular phase diagram of Zr, Sn, and Ti is shown in FIG.
  • FIG. 3 shows the temperature dependence of ⁇ T when the electric field of sample number 8 is applied.
  • the additive element is not restricted to this. Even if the average ionic radius of the additive element is smaller than the average ionic radius taking into account the composition ratio of the B site elements (Zr, Sn, Ti) of the base ceramic that has a perovskite structure as a donor to the base ceramic. I think it would be good. Mo and W are elements satisfying this, and it is considered that the same effect can be obtained even when these elements are added.
  • the composite oxide of the present invention can be suitably used as a material for an endothermic element because it exhibits a high electrocaloric effect.
  • the heat-absorbing / heating element of the present invention can be used as a heat management element in a refrigerator or a freezer, and as a cooling device for various electronic devices, for example, small electronic devices such as mobile phones in which the problem of heat countermeasures has become prominent. Can be used.

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Abstract

本発明は、下記式(I)または(II):Pb1-z/2([ZrxSn1-x]1-yTiy)1-zM1 zO3 (I);Pb1-z([ZrxSn1-x]1-yTiy)1-zM2 zO3 (II)[式中:M1は、NbまたはTaであり、M2は、WまたはMoであり、xは、0.50以上0.65以下であり、yは、0.03以上0.07以下であり、zは、0.01以上0.03以下である。]で表される複合酸化物であって、25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じる複合酸化物を提供する。

Description

複合酸化物
 本発明は、複合酸化物、詳細には、電気熱量効果を示す複合酸化物に関する。
 現在、冷却システムとしては、気体冷媒を用いるシステムが主流である。これに代わる新たな冷却システムとして、強誘電体または反強誘電体に電場を印加した際のエントロピー変化を利用した吸発熱現象である電気熱量効果(Electrocaloric effect:ECE)を利用した固体冷却システムが検討されている。
 上記のような電気熱量効果を示す材料としては、例えば非特許文献1には、Pb0.99[(Zr1-xSn1-yTi0.98Nb0.02(x=0.4、y=0.06~0.09;x=0.5、y=0.04~0.12;およびx=0.6、y=0.08~0.20)で示されるペロブスカイト構造を有するニオブ添加チタン酸ジルコン酸スズ酸鉛系反強誘電体セラミックスが開示されている。非特許文献1には、このセラミックスの電気熱量効果をDirect測定法により評価し、x=0.6およびy=0.14の場合に、370K(97℃)にてΔT=0.6K(14kV/cm)を達成できることが記載されている。
 また、非特許文献2には、BaTiOをベースとした商用の積層セラミックスコンデンサが開示されている。このセラミックスコンデンサの電気熱量効果をDirect測定法により評価し、30MV/mの電場印加が可能であること、ΔT=0.55Kが達成できることが記載されている。
V. V. Shvartsman et al., Ferroelectrics, 258, 13-20 (2001) S Kar-Narayan and N D Mathur, J. Phys. D: Appl. Phys.43(2010) 032002 (4pp)
 電気熱量効果を冷蔵および冷凍用途に利用するためには、高い絶縁性と高い絶縁破壊電圧を有し高電場を印加でき、単一素子で吸発熱に寄与する体積が大きく、室温以下の広い温度領域で電気熱量効果を発現する材料が求められる。しかしながら、非特許文献1に開示されたセラミックスは、高電場を印加することが難しく、十分な大きさの電気熱量効果を発現する温度が、320K(47℃)以上であり比較的高いという問題がある。また、非特許文献2に開示されたセラミックスは、電気熱量効果の小さいBaTiOをベースとした強誘電体材料を用いているため、ΔTが小さいという問題がある。
 従って、本発明の目的は、室温以下でも大きな電気熱量効果を示す複合酸化物を提供することにある。
 本発明者らは、鋭意検討した結果、Pb(Zr,Sn,Ti)複合酸化物に、Nb、Ta、WまたはMoをドープし、さらにこれらの割合を所定の範囲内とすることにより、室温以下でも大きな電気熱量効果を示す材料を提供できることを見出し、本発明を完成するに至った。
 本発明の第1の要旨によれば、下記式(I)または(II):
  Pb1-z/2([ZrSn1-x1-yTi1-z   (I)
  Pb1-z([ZrSn1-x1-yTi1-z    (II)
[式中:
 Mは、NbまたはTaであり、
 Mは、WまたはMoであり、
 xは、0.50以上0.65以下であり、
 yは、0.03以上0.07以下であり、
 zは、0.01以上0.03以下である。]
で表される複合酸化物であって、25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じる複合酸化物が提供される。
 本発明の第2の要旨によれば、
 Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMを含む複合酸化物であって、
 25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じ、
 Mは、NbまたはTaであり、
 Mは、WまたはMoであり、
 ZrおよびSnの合計100モル部におけるZrの含有モル部が、pモル部であり、
 Zr、SnおよびTiの合計100モル部におけるTiの含有モル部が、qモル部であり、
 Zr、Sn、TiおよびMまたはMの合計100モル部におけるMまたはMの含有モル部が、rモル部であり、
 pは、50以上65以下であり、
 qは、3以上7以下であり、
 rは、1以上3以下である、
複合酸化物が提供される。
 本発明の第3の要旨によれば、複数の電極層と、該電極層間に位置する複数の誘電体層とを有して成る積層体を含んで成る吸発熱素子であって、
前記誘電体層が、上記の複合酸化物から構成され、
前記誘電体層の厚みが、5μm以上である、
吸発熱素子が提供される。
 本発明の第4の要旨によれば、上記の吸発熱素子を有してなる電子機器が提供される。
 本発明の第5の要旨によれば、
 Pb、Zr、Sn、TiおよびM(Mは、NbまたはTaである)またはM(Mは、WまたはMoである)を含む複合酸化物の製造方法であって、
 Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMの酸化物または塩を、
  ZrおよびSnの合計100モル部におけるZrの含有モル部が、pモル部であり、
  Zr、SnおよびTiの合計100モル部におけるTiの含有モル部が、qモル部であり、
  Zr、Sn、TiおよびMまたはMの合計100モル部におけるMまたはMの含有モル部が、rモル部であり、
  pは、50以上65以下であり、
  qは、3以上7以下であり、
  rは、1以上3以下
  Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-(r/2))モル部、または
  Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-r)モル部、
となる割合で混合し、焼成後に前記割合となるような鉛雰囲気下で焼成することによる製造方法が提供される。
 本発明によれば、Pb(Zr,Sn,Ti)複合酸化物に、Nb、Ta、WまたはMoをドープし、さらにこれらの割合を所定の範囲内とすることにより、室温以下でも大きな電気熱量効果を示す材料を提供することができる。
図1は、本発明に用いられる吸発熱素子の概略断面図である。 図2は、本発明に用いられる別の吸発熱素子の概略断面図である。 図3は、実施例におけるM=Nbおよびz=0.02の試料についてのZr、SnおよびTiの組成三角相図である。 図4は、試料番号8に関する、電場印加時のΔTの温度依存性を示すグラフである。
 本発明の電気熱量効果を示す材料は、MまたはMがドープされたPb(Zr,Sn,Ti)複合酸化物である。
 一の態様において、本発明の複合酸化物は、下記式(I)または(II):
  Pb1-z/2([ZrSn1-x1-yTi1-z   (I)
  Pb1-z([ZrSn1-x1-yTi1-z    (II)
[式中:
 Mは、NbまたはTaであり、
 Mは、WまたはMoであり、
 xは、0.50以上0.65以下であり、
 yは、0.03以上0.07以下であり、
 zは、0.01以上0.03以下である。]
で表される複合酸化物であって、25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じる、複合酸化物である。
 上記式中、xは、0.50以上0.65以下、好ましくは0.60より大きく0.65以下であり、例えば0.65であり得る。
 上記式中、yは、0.03以上0.07以下、好ましくは0.03以上0.05以下、好ましくは0.03以上0.04未満、例えば0.03、0.04または0.05であり得る。
 xおよびyについて、上記の範囲とすることにより、本発明の複合酸化物は、室温以下、例えば25℃以下で大きな電気熱量効果を発現し得る。また、本発明の複合酸化物は、高い耐電圧性等を有し得る。
 上記式中、zは、0.01以上0.03以下、例えば0.01、0.02または0.03であり得る。
 zについて、上記の範囲とすることにより、本発明の複合酸化物は、広い温度範囲にわたって高い絶縁性を有し得る。
 好ましい態様において、xは0.50以上0.65以下、好ましくは0.50より大きく0.65以下であり、yは0.05であり、zは0.01以上0.03以下である。かかる範囲とすることにより、本発明の複合酸化物は、室温以下、例えば25℃以下でより大きな電気熱量効果、より高い耐電圧性等を有し得る。
 好ましくは、本発明の複合酸化物は、式(I):
  Pb1-z/2([ZrSn1-x1-yTi1-z    (I)
で表される複合酸化物である。より好ましくは、本発明の複合酸化物は、xが0.50以上0.65以下、好ましくは0.50より大きく0.65以下であり、yが0.05であり、zが0.01以上0.03以下である式(I)で表される複合酸化物である。特に好ましくは、本発明の複合酸化物は、MがNbであり、xが0.50以上0.65以下、好ましくは0.50より大きく0.65以下であり、yが0.05であり、zが0.01以上0.03以下である式(I)で表される複合酸化物である。
 一の態様において、本発明の複合酸化物は、
 Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMを含む複合酸化物であって、
 25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じ、
 Mは、NbまたはTaであり、
 Mは、WまたはMoであり、
 ZrおよびSnの合計100モル部におけるZrの含有モル部が、pモル部であり、
 Zr、SnおよびTiの合計100モル部におけるTiの含有モル部が、qモル部であり、
 Zr、Sn、TiおよびMまたはMの合計100モル部におけるMまたはMの含有モル部が、rモル部であり、
 pは、50以上65以下であり、
 qは、3以上7以下であり、
 rは、1以上3以下である、
複合酸化物であり得る。
 上記pは、50以上65以下、好ましくは60より大きく65以下であり、例えば65であり得る。
 上記qは、3以上7以下、好ましくは3以上5以下、好ましくは3以上4未満、例えば3、4または5であり得る。
 pおよびqについて、上記の範囲とすることにより、本発明の複合酸化物は、室温以下、例えば25℃以下で大きな電気熱量効果を発現し得る。また、本発明の複合酸化物は、高い耐電圧性等を有し得る。
 上記rは、1以上3以下、例えば1、2または3であり得る。
 rについて、上記の範囲とすることにより、本発明の複合酸化物は、広い温度範囲にわたって高い絶縁性を有し得る。
 好ましい態様において、pは50以上65以下、好ましくは50より大きく65以下であり、qは5であり、rは1以上3以下である。かかる範囲とすることにより、本発明の複合酸化物は、室温以下、例えば25℃以下でより大きな電気熱量効果、より高い耐電圧性等を有し得る。
 好ましくは、本発明の複合酸化物は、Mを含む上記複合酸化物である。より好ましくは、本発明の複合酸化物は、pが50以上65以下、好ましくは50より大きく65以下であり、qが5であり、rが1以上3以下である上記複合酸化物である。特に好ましくは、本発明の複合酸化物は、Mを含み、MがNbであり、pが50以上65以下、好ましくは50より大きく65以下であり、qが5であり、rが1以上3以下である複合酸化物である。
 一の態様において、
 Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-(r/2))モル部であり、
 Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-r)モル部である。
 本発明の複合酸化物は、ぺロブスカイト構造を有し得る。
 本発明の複合酸化物は、室温以下、例えば25℃以下、特に25℃以下の広い温度範囲にて大きな電気熱量効果を示す。本発明は如何なる理論にも拘束されないが、本発明の複合酸化物は、広い温度領域にわたって強誘電、反強誘電および常誘電の3つの相を有していることにより、強誘電から常誘電の相転移点(T)でのみ大きな効果を得ることができる従来の強誘電体よりも、広い温度領域にわたって大きな電気熱量効果を示すと考えられる。
 上記のように本発明の複合酸化物は、25℃以下の温度で強誘電体-反強誘電体間の相転移を示すことにより、大きな電気熱量効果を示す。特に、25℃以下の温度で、好ましくは-50℃以上25℃以下の温度範囲で、10MV/mの電場を印加した場合に、0.50K以上、好ましくは0.60K以上、より好ましくは0.70K以上のΔTを示す。
 ここに、ΔTとは、試料への電場の印加および除去により生じる試料の温度変化を意味する。ΔTは、試料に極細熱電対を直接はりつけ、電場印加時および除去時の温度変化を測定することにより、求めることができる。また、ΔTの測定方法は試料の温度が測定可能な方法であれば白金測温抵抗体やサーミスタ素子を直接貼りつけてもよく、非接触でIRカメラ(赤外線カメラ・サーモビュワー)を用いてもよい。
 また、本発明の複合酸化物は、広い温度範囲にわたって高い絶縁性を有し得る。
 本発明の複合酸化物は、例えば、25℃以下の温度で、好ましくは-50℃以上25℃以下の温度範囲で、1×10Ω・cm以上、1×1016Ω・cm以下、好ましくは1×10Ω・cm以上、1×1015Ω・cm以下、より好ましくは1×1010Ω・cm以上、1×1014Ω・cm以下の比抵抗を有する。
 また、本発明の複合酸化物は、広い温度範囲にわたって高い耐電圧特性を有し得る。
 本発明の複合酸化物は、例えば、25℃以下の温度で、好ましくは-50℃以上25℃以下の温度範囲で、10MV/m以上、好ましくは20MV/m以上、より好ましくは30MV/mの耐電圧を示す。
 また、本発明の複合酸化物は、比較的低い電場であっても、相転移することができ、即ち大きな電気熱量効果を発現することができる。従って、本発明の複合酸化物は、強電場を印加しにくい比較的厚みの大きな形状であっても、高い電気熱量効果を発現し得る。
 本発明の複合酸化物は、例えば、Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMの酸化物または塩を混合し、焼成することにより得ることができる。Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMが所定の割合となるように混合し、鉛雰囲気中で焼成を行うことにより、得られる複合酸化物中からの鉛揮発を抑制することができる。
 即ち、本発明は、Pb、Zr、Sn、TiおよびM(Mは、NbまたはTaである)またはM(Mは、WまたはMoである)を含む複合酸化物の製造方法であって、
 Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMの酸化物または塩、好ましくは酸化物を、
  ZrおよびSnの合計100モル部におけるZrの含有モル部が、pモル部であり、
  Zr、SnおよびTiの合計100モル部におけるTiの含有モル部が、qモル部であり、
  Zr、Sn、TiおよびMまたはMの合計100モル部におけるMまたはMの含有モル部が、rモル部であり、
  pは、50以上65以下であり、
  qは、3以上7以下であり、
  rは、1以上3以下
となる割合で混合し、
  Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-(r/2))モル部、または
  Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-r)モル部、
となるような鉛雰囲気下で焼成することによる製造方法を提供する。
 好ましくは、上記の製造方法の混合工程において、さらに
 Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-(r/2))モル部であるように、あるいは
 Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-r)モル部であるように、
Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMの酸化物または塩、好ましくは酸化物を混合する。
 本発明の複合酸化物は、優れた電気熱量効果を示すことから、吸発熱素子の材料として用いることができる。
 以下、本発明の吸発熱素子について、図面を参照しながら説明する。但し、下記する実施形態の吸発熱素子および各構成要素の形状および配置等は、図示する例に限定されない。
 図1に示すように、本発明の第1の実施形態の吸発熱素子1aは、一対の電極2,4と、該一対の電極の間に位置する本発明の複合酸化物から構成される誘電体部6とを有して成る。電極2,4間に電圧が印加されると、誘電体部6に電場が印加される。その結果、誘電体部6は発熱する。また、電極2,4間の電圧が除去されると、誘電体部6に印加された電場が消失する。その結果、誘電体部6は吸熱する。
 誘電体部6の形状は、特に限定されず、例えばシート状、ブロック状、その他種々の形状に成形することができる。成形方法は、特に限定されず、圧縮、焼結等を用いることができる。また、樹脂またはガラス等のバインダーと混合して成形してもよい。
 電極2,4を構成する材料としては、特に限定されないが、Ag、Cu、Pt、Ni、Al、Pd、Au、またはこれらの合金(例えば、Ag-Pd等)が挙げられる。中でも、Pt、Ag、PdまたはAg-Pdが好ましい。
 電極2,4は、誘電体部に電場を与える機能に加え、誘電体部の熱量を搬送する機能をも有し得る。従って、熱搬送の観点からは、電極を構成する材料は、熱伝導率が高い材料、例えばAgが好ましい。
 電極2,4の形状は、特に限定されないが、熱搬送の観点からは、誘電体部6の一の表面全体を覆うような形状が好ましい。
 本発明の吸発熱素子は、優れた電気熱量効果を示すことから、熱マネジメント素子、特に冷却素子として用いることができる。
 本発明の吸発熱素子は、室温以下、特に-50℃以上25℃以下において、大きな電気熱量効果を示す材料から構成される誘電体部を用いている。従って、本発明の吸発熱素子は、特に冷蔵および冷凍用途において好適に用いることができる。
 好ましい態様において、本発明の吸発熱素子は、複数の電極と複数の誘電体層の積層体を含み得る。即ち、本発明は、複数の電極層と、該電極層間に位置する複数の誘電体層とを有して成る積層体を含んで成る吸発熱素子であって、
前記誘電体層が、本発明の複合酸化物から構成され、
前記誘電体層の厚みが5μm以上である、
吸発熱素子を提供する。
 例えば、図2に示すような吸発熱素子1bとすることができる。本発明の第2の実施形態の吸発熱素子1bにおいて、複数の内部電極12a,12bと、複数の誘電体部14が交互に積層されている。内部電極12aおよび12bは、それぞれ、吸発熱素子1bの端面に配置される外部電極16aおよび16bに、電気的に接続されている。外部電極16aおよび16bから電圧を印加すると、内部電極12aおよび12b間に電場が形成される。この電場により誘電体部14は発熱する。また、電圧が除去されると、電場が消失し、その結果、誘電体部14は吸熱する。
 一の態様において、積層される誘電体部14は、すべて同じ組成であってもよく、異なる組成を有する1またはそれ以上誘電体部を積層してもよい。
 このような構造とすることにより、誘電体部14により強い電場を印加することが可能になり、より大きなΔTを得ることができる。また、内部電極が、誘電体部内部への熱の伝搬経路としても機能することから、効率のよい熱マネジメントを可能にする。
 上記誘電体層の厚みは、5μm以上、好ましくは10μm以上、より好ましくは15μm以上であり得る。
 以上で説明した吸発熱素子1aおよび1bは、電極と誘電体部が、実質的に全面で接触しているが、本発明はこのような構造に限定されず、誘電体部に電場を印加できる構造であればよい。また、吸発熱素子1aおよび1bは、直方体のブロック形状であるが、本発明の吸発熱素子の形状はこれに限定されず、例えば円筒状、シート状であってもよく、さらに凹凸または貫通孔等を有していてもよい。
 本発明の吸発熱素子は、主に電場が解除されて吸熱する際に、またはこの吸熱により吸発熱素子の温度が低下した際に、発熱源で生じた熱を吸収する。また、本発明の吸発熱素子は、主に電場が印加されて放熱する際に、吸収した熱を外部に放出する。従って、本発明の吸発熱素子は、冷却デバイスとして利用することができる。
 以上、本発明の吸発熱素子を説明したが、本発明は、上記の実施態様に限定されるものではなく、種々の改変が可能である。
 本発明はまた、本発明の吸発熱素子を有して成る電子部品、ならびに本発明の吸発熱素子または電子部品を有して成る電子機器をも提供する。
 電子部品としては、特に限定するものではないが、例えば、中央処理装置(CPU)、ハードディスク(HDD)、パワーマネージメントIC(PMIC)、パワーアンプ(PA)、トランシーバーIC、ボルテージレギュレータ(VR)などの集積回路(IC)、発光ダイオード(LED)、白熱電球、半導体レーザーなどの発光素子、電界効果トランジスタ(FET)などの熱源となり得る部品、および、その他の部品、例えば、リチウムイオンバッテリー、基板、ヒートシンク、筐体等の電子機器に一般的に用いられる部品が挙げられる。
 電子機器としては、特に限定するものではないが、例えば、冷蔵後、冷凍庫、携帯電話、スマートフォン、パーソナルコンピュータ(PC)、タブレット型端末、ハードディスクドライブ、データサーバー等が挙げられる。
・吸発熱素子の調製
 Pb1-z/2([ZrSn1-x1-yTi1-z において、Pb、ZrO、SnO、TiO、およびNbまたはTaを準備して、下記表に示した組成(試料番号1~50)になるように秤量した後、ボールミルにより粉砕および混合した。同様に、(Pb1-(3z/2)La)([ZrSn1-x1-yTi)Oにおいて、Pb、ZrO、SnO、TiO、NbまたはTaを準備して、下記表に示した組成(試料番号51)になるように秤量した後、ボールミルにより粉砕および混合した。得られた混合物を、850℃にて大気中で仮焼を行うことで、ペロブスカイト構造を有する仮焼粉を調製した。
 この仮焼粉に、ポリビニルブチラール系バインダー、可塑剤およびエタノールを加えて、ボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを作製した。このセラミックスラリーをドクターブレード法により、焼成後の誘電体層の厚みが40μmになるようにシート成形し、グリーンシートを得た。次に、上記セラミックスグリーンシート上にPtペーストをスクリーン印刷し、内部電極を構成した。
 次に、内部電極が形成されたセラミックスグリーンシートを内部電極の引き出されている側が互い違いになるように複数枚積層し、積層体グリーンチップを得た。この積層体を450~550℃のN:大気=1:1雰囲気下で脱脂後、アルミナ密閉鞘に10gのPbZrO粉末と1~2gのグリーンチップを封入し1300℃で4時間焼成を行い、セラミックス積層体を得た。最後にAgペーストを外部電極として塗布し、焼き付けを行うことで、積層体の吸発熱素子を調製した。
 上記のようにして得られた積層吸発熱素子の外形寸法は、幅7.2mm、長さ10mm、厚さ0.92mmであり、内部電極間に介在する誘電体層の厚みは40μm、内部電極厚みは1.5μmであった。また、有効誘電体層の総数は20であり、一層当たりの対向電極面積は40.2mmであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
(評価)
・元素分析
 上記で得られた積層吸発熱素子を溶解し、ICP(Inductively Coupled Plasma)分析をしたところ、内部電極成分のPtを除いて、Zr、Sn、[ZrSn]、Ti、[ZrSnTi]、Mの各組成が、上記表に示すような組成であることが確認された。
・XRD構造解析
 上記で得られた積層吸発熱素子を、XRD(X‐ray diffraction)構造解析により分析したところ、主成分がペロブスカイト構造を有していることが確認された。
・電気熱量効果の測定(ΔT測定)
 上記で得られた積層吸発熱素子の電気熱量効果特性を、φ=0.5mmの極細熱電対を素子に直接貼り付け0℃、25℃および120℃にて、電場印加時の温度変化ΔTを読み取ることにより測定した。結果を下記表に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 25℃でのΔTが0.5K未満の試料、10MV/mの電場印加時に絶縁破壊を生じる試料は、電気熱量効果を冷蔵庫または冷凍庫などにおける熱マネジメント素子として利用するのに不利であるためNGとし、他をGとした。Gの試料のうち、0℃においてもΔTが0.5Kを超えるものについてはより好ましい組成としてG※とした。さらに、G※を付した試料に関しては、20MV/mまで電場を印加し、1Kを超えるΔTが観測されることを確認した。M=Nbおよびz=0.02の試料(試料番号1~30)に関して、Zr、SnおよびTiの組成三角相図を図3に示す。図3において、●はG※を、○はGを、×はNGを示す。また、試料番号8の電場印加時のΔTの温度依存性を図4に示す。
 尚、上記の実施例では、チタン酸ジルコン酸スズ酸鉛系反強誘電体セラミックスに対してNbやTaを添加した例を示したが、添加元素はこれに限るものではない。母材セラミックにドナーとして働き、かつ、ペロブスカイト構造である母材セラミックのBサイト元素(Zr、Sn、Ti)の組成比を考慮した平均イオン半径より、添加元素の平均イオン半径が小さい場合であればよいと考えられる。これを満たす元素としてはMo、Wがあり、これらを添加した場合も、同様の効果を得ることができると考えられる。
 本発明の複合酸化物は、高い電気熱量効果を発現することが吸発熱素子の材料として好適に用いることができる。本発明の吸発熱素子は、冷蔵庫または冷凍庫などにおける熱マネジメント素子として用いることができ、また、種々の電子機器、例えば、熱対策問題が顕著化している携帯電話などの小型電子機器の冷却デバイスとして利用することができる。
  1a,1b…吸発熱素子
  2,4…電極
  6…誘電体部
  12a,12b…内部電極
  14…誘電体層
  16a,16b…外部電極

Claims (10)

  1.  下記式(I)または(II):
      Pb1-z/2([ZrSn1-x1-yTi1-z   (I)
      Pb1-z([ZrSn1-x1-yTi1-z    (II)
    [式中:
     Mは、NbまたはTaであり、
     Mは、WまたはMoであり、
     xは、0.50以上0.65以下であり、
     yは、0.03以上0.07以下であり、
     zは、0.01以上0.03以下である。]
    で表される複合酸化物であって、25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じる、複合酸化物。
  2.  xが0.50以上0.65以下であり、yが0.05であり、zが0.01以上0.03以下である、請求項1に記載の式(I)または(II)で表される複合酸化物。
  3.  Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMを含む複合酸化物であって、
     25℃以下の温度において強誘電体-反強誘電体間の相転移を生じ、
     Mは、NbまたはTaであり、
     Mは、WまたはMoであり、
     ZrおよびSnの合計100モル部におけるZrの含有モル部が、pモル部であり、
     Zr、SnおよびTiの合計100モル部におけるTiの含有モル部が、qモル部であり、
     Zr、Sn、TiおよびMまたはMの合計100モル部におけるMまたはMの含有モル部が、rモル部であり、
     pは、50以上65以下であり、
     qは、3以上7以下であり、
     rは、1以上3以下である、
    複合酸化物。
  4.  Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部は、(100-(r/2))モル部であり、
     Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部は、(100-r)モル部である、
    請求項3に記載の複合酸化物。
  5.  pが50以上65以下であり、qが5であり、rが1以上3以下である、請求項3または4に記載の複合酸化物。
  6.  前記複合酸化物は、主成分がペロブスカイト構造を有する、請求項1~5のいずれかに記載の複合酸化物。
  7.  複数の電極層と、該電極層間に位置する複数の誘電体層とを有して成る積層体を含んで成る吸発熱素子であって、
    前記誘電体層が、請求項1~6のいずれかに記載の複合酸化物から構成され、
    前記誘電体層の厚みが、5μm以上である、
    吸発熱素子。
  8.  請求項7に記載の吸発熱素子を有してなる電子機器。
  9.  Pb、Zr、Sn、TiおよびM(Mは、NbまたはTaである)またはM(Mは、WまたはMoである)を含む複合酸化物の製造方法であって、
     Pb、Zr、Sn、TiおよびMまたはMの酸化物または塩を、
      ZrおよびSnの合計100モル部におけるZrの含有モル部が、pモル部であり、
      Zr、SnおよびTiの合計100モル部におけるTiの含有モル部が、qモル部であり、
      Zr、Sn、TiおよびMまたはMの合計100モル部におけるMまたはMの含有モル部が、rモル部であり、
      pは、50以上65以下であり、
      qは、3以上7以下であり、
      rは、1以上3以下であり、
      Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-(r/2))モル部、または
      Mを含む場合、Zr、Sn、TiおよびMの合計100モル部に対するPbの含有モル部が、(100-r)モル部、
    となる割合で混合し、焼成後に前記割合となるような鉛雰囲気下で焼成することによる製造方法。
  10.  前記複合酸化物は、主成分がペロブスカイト構造を有する、請求項9に記載の複合酸化物の製造方法。
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