WO2018105444A1 - プローブピン - Google Patents

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WO2018105444A1
WO2018105444A1 PCT/JP2017/042592 JP2017042592W WO2018105444A1 WO 2018105444 A1 WO2018105444 A1 WO 2018105444A1 JP 2017042592 W JP2017042592 W JP 2017042592W WO 2018105444 A1 WO2018105444 A1 WO 2018105444A1
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WO
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coil spring
connection member
probe pin
plunger
end surface
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/042592
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
佳江 浅野
濱口　恒夫
石田　清
正貢 中川
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
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Priority to CN201780069227.3A priority patent/CN110036299A/zh
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes

Definitions

  • the present invention relates to a probe pin.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-115659 (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-202323 (Patent Document 2) are configured to be movable in the longitudinal direction of the cylinder while rotating with respect to the cylinder.
  • a probe pin including a plunger and a coil spring that biases the plunger is disclosed.
  • Japanese Utility Model Publication No. 61-99060 discloses a cylindrical body, a plunger configured to be movable in the longitudinal direction of the cylindrical body while rotating with respect to the cylindrical body, a coil spring for biasing the plunger,
  • a probe pin comprising a sphere disposed between a plunger and a coil spring is disclosed.
  • the coil spring is in surface contact with the plunger.
  • the plunger applies a twisting force to the coil spring. This torsional force that repeatedly acts on the coil spring breaks the coil spring. Therefore, the probe pins disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 have probe pins having a short lifetime.
  • the probe pin disclosed in Patent Document 3 when the plunger is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected, a part of the sphere enters the inside of the coil spring, and the sphere inflates the coil spring in the radial direction of the coil spring. The The swollen coil spring rubs against the inner wall of the cylinder, and the coil spring is damaged or broken. Therefore, the probe pin disclosed in Patent Document 3 also has a probe pin having a short life.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a probe pin having a long life.
  • the probe pin of the present invention includes a cylinder, a plunger, a coil spring, and a connection member.
  • the cylinder has a first end having an opening and a second end opposite to the first end.
  • the plunger has a contact terminal part and a third end part opposite to the contact terminal part. The third end portion is accommodated in the cylindrical body, and the contact terminal portion is exposed from the first end portion.
  • the plunger is configured to be movable in the longitudinal direction of the cylinder while rotating with respect to the cylinder.
  • the coil spring biases the plunger toward the first end.
  • the coil spring is disposed between the second end and the third end.
  • the coil spring has a fourth end on the third end side.
  • the connecting member connects the third end and the fourth end.
  • the connecting member has a first end surface facing the third end portion and a second end surface facing the fourth end portion.
  • the first end surface is in point contact with the third end portion.
  • At least one of the third end portion and the first end surface includes a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion and the first end surface.
  • the second end surface is configured so as not to expand the inner and outer diameters of the coil spring at the fourth end.
  • the first end surface of the connecting member makes point contact with the third end portion of the plunger, and at least one of the third end portion and the first end surface is formed between the third end portion and the first end surface.
  • the first contact portion in between includes a part of the first spherical surface. Therefore, the area of the 1st contact part between a connection member and a plunger can be reduced significantly.
  • the torsional force that the plunger applies to the coil spring via the connecting member each time the plunger rotates with respect to the cylinder can be greatly reduced.
  • the second end surface is configured not to expand the inner diameter and outer diameter of the coil spring at the fourth end portion.
  • connection member is prevented from entering the inside of the coil spring when the plunger is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring is rubbed against the inner wall of the cylinder and the coil spring is damaged or broken.
  • the probe pin of the present invention has a long life.
  • FIG. 10 is a schematic partial enlarged cross-sectional view of a probe pin according to Embodiment 2 of the present invention in a region X shown in FIG. 9. It is the schematic of the probe pin which concerns on Embodiment 3 of this invention.
  • the probe pin 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the probe pin 1 according to the present embodiment includes a cylindrical body 3, a plunger 10, a coil spring 20, and a connection member 30.
  • the cylindrical body 3 has a first end 5 having a first opening 4 and a second end 6 opposite to the first end 5.
  • the second end 6 may have a second opening having a diameter smaller than the first outer diameter r 3 of the coil spring 20.
  • the cylindrical body 3 extends along the longitudinal direction of the cylindrical body 3.
  • the longitudinal direction of the cylindrical body 3 is a direction connecting the first end portion 5 and the second end portion 6.
  • the cylinder 3 has a first inner diameter r 1 .
  • the plunger 10 includes a contact terminal portion 11 and a third end portion 12 on the opposite side of the contact terminal portion 11.
  • the third end 12 is accommodated in the cylinder 3.
  • the contact terminal portion 11 is exposed from the first end portion 5 of the cylindrical body 3.
  • the contact terminal portion 11 may be a tapered tip of the plunger 10.
  • the plunger 10 has an outer diameter smaller than the first inner diameter r 1 of the cylindrical body 3.
  • the outer diameter of the plunger 10 may be equal to or different from the second outer diameter r 4 of the connection member 30 or the first sub-connection member 31.
  • the plunger 10 is configured to be movable in the longitudinal direction of the cylinder 3 while rotating with respect to the cylinder 3.
  • the plunger 10 When the plunger 10 is pressed against the inspection terminal (not shown) of the object to be inspected, the plunger 10 rotates with respect to the cylindrical body 3 and the inspection terminal of the object to be inspected. Therefore, the contact terminal portion 11 of the plunger 10 can directly contact the inspection terminal by breaking through a thin layer (for example, a contaminant or an oxide film) covering the surface of the inspection terminal.
  • a thin layer for example, a contaminant or an oxide film
  • the plunger 10 is configured to be movable in the longitudinal direction of the cylinder 3 while rotating with respect to the cylinder 3, the contact resistance between the inspection terminal of the object to be inspected and the plunger 10 can be reduced, The object to be inspected can be accurately inspected using the probe pin 1. Even when the plunger 10 moves away from the inspection terminal of the object to be inspected, the plunger 10 rotates with respect to the cylindrical body 3 and the inspection terminal of the object to be inspected.
  • the cylindrical body 3 may include a first convex portion 7 and a second convex portion 8, and
  • the plunger 10 may have a first spiral groove 16 that engages with the first protrusion 7 and a second spiral groove 17 that engages with the second protrusion 8.
  • the first protrusion 7 and the second protrusion 8 protrude from the inner wall 9 of the cylindrical body 3.
  • the 2nd convex part 8 may be arrange
  • the first convex portion 7 may be disposed at the same position as the second convex portion 8 in the longitudinal direction of the cylindrical body 3, or may be disposed at a position different from the second convex portion 8.
  • the plunger 10 may include a first convex portion 7 and a second convex portion 8, and the cylindrical body 3 is engaged with the first convex portion 7. You may have the 1st spiral groove 16 and the 2nd spiral groove 17 engaged with the 2nd convex part 8.
  • the plunger 10 may include a plunger main body part 13, a head part 15, and a neck part 14 between the plunger main body part 13 and the head part 15.
  • the neck portion 14 has a smaller diameter than the plunger main body portion 13 and the head portion 15.
  • the plunger main body portion 13 has a contact terminal portion 11 at the tip thereof.
  • the plunger main body 13 may have a first spiral groove 16 that engages with the first convex portion 7 and a second spiral groove 17 that engages with the second convex portion 8.
  • the head portion 15 includes a third end portion 12.
  • the head portion 15 is configured to be in contact with the first convex portion 7 and the second convex portion 8, and prevents the plunger 10 from coming off the cylindrical body 3.
  • the coil spring 20 biases the plunger 10 toward the first end portion 5.
  • the coil spring 20 urges the plunger 10 toward an object to be inspected (not shown).
  • the coil spring 20 is disposed between the second end 6 of the cylindrical body 3 and the third end 12 of the plunger 10.
  • the coil spring 20 has a fourth end 21 on the third end 12 side.
  • the coil spring 20 is made of a conductive material.
  • the coil spring 20 is in contact with the second end 6 of the cylindrical body 3.
  • the coil spring 20 is electrically connected to the second end 6 of the cylindrical body 3. As shown in FIG. 2, the coil spring 20 has a second inner diameter r 2 and a first outer diameter r 3 .
  • the connection member 30 includes a first sub connection member 31.
  • the connection member 30 or the first sub connection member 31 connects the third end 12 and the fourth end 21.
  • the connection member 30 or the first sub-connection member 31 includes a first end surface 32 facing the third end portion 12, a second end surface 33 facing the fourth end portion 21, a first end surface 32, and a second end surface 33. And a side surface 35 connecting the two.
  • the connection member 30 or the first sub-connection member 31 has a second outer diameter r 4 that is larger than the first outer diameter r 3 of the coil spring 20 and smaller than the first inner diameter r 1 of the cylindrical body 3. .
  • the length L of the side surface 35 along the longitudinal direction of the cylindrical body 3 is not particularly limited, but may be larger than the first inner diameter r 1 of the cylindrical body 3.
  • the connecting member 30 or the first sub-connecting member 31 extends along the longitudinal direction of the cylindrical body 3. And can move stably.
  • the second end surface 33 may be a concave curved surface (33).
  • the second end surface 33 may include a recess 34 that houses the fourth end portion 21 of the coil spring 20.
  • the fourth end 21 of the coil spring 20 is accommodated in the recess 34 of the connection member 30. Therefore, the coil spring 20 can be supported by the connection member 30 so that a gap is formed between the coil spring 20 and the inner wall 9 of the cylinder 3 in a direction intersecting the longitudinal direction of the cylinder 3.
  • the concave portion 34 prevents the coil spring 20 from being displaced in the direction intersecting the longitudinal direction of the cylindrical body 3 with respect to the connection member 30.
  • the concave portion 34 can prevent the coil spring 20 from rubbing against the inner wall 9 of the cylindrical body 3 to damage or break the coil spring 20.
  • the recess 34 allows the biasing force of the coil spring 20 to be stably applied to the connection member 30 and the plunger 10.
  • the recess 34 may be a concave curved surface (33).
  • the recess 34 may be a part of a spherical surface.
  • the depth d 1 of the recess 34 may be equal to or greater than the pitch p of the coil spring 20. In the present embodiment, the depth d 1 of the recess 34 is equal to the pitch p of the coil spring 20.
  • the fourth end portion 21 of the coil spring 20 may be joined to the second end surface 33 of the connection member 30 using the conductive joining member 50.
  • the conductive joining member 50 can join the fourth end portion 21 of the coil spring 20 to the second end surface 33 of the connection member 30 firmly and with low contact resistance.
  • the conductive bonding member 50 prevents the coil spring 20 from being displaced with respect to the connection member 30.
  • the wire of the coil spring 20 may have an inclined end surface. The inclined end surface of the coil spring 20 can increase the bonding area between the coil spring 20 and the conductive bonding member 50, thereby strengthening the bonding between the coil spring 20 and the conductive bonding member 50.
  • the conductive bonding member 50 is not particularly limited, but may be tin (Sn) -silver (Ag) solder, tin (Sn) -copper (Cu) solder, tin (Sn) -bismuth (Bi) solder, or the like. It may be solder.
  • connection member 30 is disposed in the recess 61 of the first jig 60. Even if the first jig 60 is made of a material that does not join the solder (50) and has a smaller thermal expansion coefficient and superior heat resistance than the connection member 30 (first sub-connection member 31). Good.
  • the first jig 60 may be made of carbon or quartz, for example.
  • the solder paste and the fourth end portion 21 of the coil spring 20 are disposed on the second end surface 33 of the connection member 30. Instead of the solder paste, solder pellets and flux may be disposed on the second end surface 33 of the connection member 30.
  • solder (50) is heated at a temperature higher than the melting point of the solder (50).
  • the fourth end portion 21 of the coil spring 20 is joined to the second end surface 33 of the connection member 30 using solder (50).
  • the first end surface 32 of the connecting member 30 is in point contact with the third end portion 12 of the plunger 10. At least one of the third end portion 12 and the first end surface 32 includes a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12 and the first end surface 32. Specifically, in the first contact portion between the third end portion 12 and the first end surface 32, the first end surface 32 includes a part of the first spherical surface, and the third end portion 12 is the first plane. May be included. The first spherical surface of the first end surface 32 may contact the first plane of the third end portion 12. In the present specification, the “spherical surface” includes not only a perfect spherical surface but also a curved surface capable of making point contact with an opposing surface.
  • connection member 30 (first sub connection member 31) is biased by the plunger 10 by the coil spring 20, in the first contact portion between the connection member 30 (first sub connection member 31) and the plunger 10,
  • the connecting member 30 (first sub connecting member 31) and the plunger 10 are locally deformed.
  • the connection member 30 (first sub connection member 31) and the plunger 10 are locally deformed to form the connection member 30 (first sub connection member 31) and the plunger 10 of the present embodiment.
  • the area of the first contact portion is based on the area of the first contact portion between the connection member 30 (first sub connection member 31) and the plunger 10 in the comparative example in which the third end portion 12 and the first end surface 32 are flat. Is also very small.
  • the area of the first contact portion between the connecting member 30 (first sub connecting member 31) and the plunger 10 in this example of the present embodiment is the same as that of the connecting member 30 (first sub connecting member 31) in the comparative example. It is 1/200 or less of the area of the 1st contact part between plungers 10.
  • the radius of the first contact portion between the connecting member 30 (first sub-connecting member 31) and the plunger 10 in the example of the present embodiment calculated from Hertz's contact theory is about 10.6 ⁇ m.
  • the area of the first contact portion between the connection member 30 (first sub connection member 31) and the plunger 10 is very small, and therefore the connection member 30 (first sub connection member 31).
  • the first end surface 32 can be regarded as being in point contact with the third end portion 12 of the plunger 10.
  • the first end surface 32 of the connection member 30 makes point contact with the third end portion 12 of the plunger 10, and the third end portion 12 At least one of the first end surfaces 32 includes a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12 and the first end surface 32. Therefore, the area of the 1st contact part between the connection member 30 and the plunger 10 can be reduced significantly. The torsional force that the plunger 10 applies to the coil spring 20 via the connecting member 30 each time the plunger 10 rotates with respect to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the second end surface 33 is configured not to increase the inner diameter (second inner diameter r 2 ) and outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 at the fourth end portion 21.
  • the fourth end portion 21 of the coil spring 20 is accommodated in the recess 34 included in the second end surface 33 of the connection member 30. Therefore, the connection member 30 is prevented from entering the inside of the coil spring 20 when the plunger 10 is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylinder 3 and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • the plunger 10 When the plunger 10 is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected, only the compression force along the longitudinal direction of the cylindrical body 3 acts on the coil spring 20, and the torsional force hardly acts. Therefore, rotation of the coil spring 20 is suppressed. It is suppressed that the mode of twist of the wire of the coil spring 20 changes. A change in the force with which the plunger 10 is urged by the coil spring 20 is suppressed.
  • the plunger 10 is pressed against an inspection terminal (not shown) of the object to be inspected with a constant pressing force.
  • the probe pin 1 has a certain inspection characteristic over a long period of time.
  • the cylinder 3, the plunger 10, and the connection member 30 are made of a conductive material.
  • the cylinder 3, the plunger 10, and the connection member 30 may be made of a material having a Young's modulus of 200 GPa or more.
  • the cylinder 3, the plunger 10, and the connection member 30 are not particularly limited, but may be made of copper, steel, stainless steel, carbon tool steel (SK material), or high-speed tool steel (SKH material).
  • the cylinder 3, the plunger 10, and the connection member 30 may be made of the same material.
  • the surfaces of the cylinder 3, the plunger 10, and the connection member 30 may be coated with one or more conductive layers.
  • the one or more conductive layers may be, for example, a nickel layer and a gold layer on the nickel layer, a nickel layer and a gold-cobalt alloy layer on the nickel layer, a nickel layer, It may be a palladium layer on the nickel layer.
  • the one or more conductive layers can reduce the contact resistance between the plunger 10 and the inspection terminal of the device under test and the contact resistance between the plunger 10 and the connection member 30.
  • the inspection terminal of the object to be inspected is electrically connected to the cylinder 3 through the plunger 10, the connection member 30 and the coil spring 20.
  • the electrical characteristics of the object to be inspected can be inspected using the probe pin 1 of the present embodiment.
  • the probe pin 1b of the first modification of the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1 of the present embodiment, but is mainly different in the following points.
  • the plunger body 13b of the probe pin 1b according to the first modification of the present embodiment is replaced by a twisted flat plate 18 instead of the first spiral groove 16 and the second spiral groove 17 of the plunger body 13 of the present embodiment. May be included.
  • the first convex portion 7 and the second convex portion 8 of the cylindrical body 3 engage with the twisted flat plate 18. Therefore, the plunger 10 b can move in the longitudinal direction of the cylinder 3 while rotating with respect to the cylinder 3.
  • the probe pin 1c of the second modified example of the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1b of the first modified example of the present embodiment, but differs mainly in the following points.
  • the first convex portion 7c is arranged at a position different from the second convex portion 8 in the longitudinal direction of the cylindrical body 3c.
  • the first convex portion 7 c may be disposed closer to the first end portion 5 than the second convex portion 8.
  • the 1st convex part 7c and the 2nd convex part 8 of the 2nd modification of this Embodiment enable the plunger 10b to move stably to the longitudinal direction of the cylinder 3c with respect to the cylinder 3c.
  • Probe pins 1, 1b, and 1c of the present embodiment and its modifications include cylinders 3, 3 c, plungers 10, 10 b, coil springs 20, and connection members 30.
  • Each of the cylindrical bodies 3 and 3 c has a first end portion 5 having an opening and a second end portion 6 on the opposite side to the first end portion 5.
  • the plungers 10 and 10 b have a contact terminal portion 11 and a third end portion 12 on the opposite side to the contact terminal portion 11.
  • the third end portion 12 is accommodated in the cylindrical bodies 3 and 3 c, and the contact terminal portion 11 is exposed from the first end portion 5.
  • the plungers 10 and 10b are configured to be movable in the longitudinal direction of the cylinders 3 and 3c while rotating with respect to the cylinders 3 and 3c.
  • the coil spring 20 biases the plungers 10 and 10 b toward the first end portion 5.
  • the coil spring 20 is disposed between the second end portion 6 and the third end portion 12.
  • the coil spring 20 has a fourth end 21 on the third end 12 side.
  • the connection member 30 connects the third end 12 and the fourth end 21.
  • the connection member 30 has a first end surface 32 facing the third end portion 12 and a second end surface 33 facing the fourth end portion 21.
  • the first end face 32 is in point contact with the third end portion 12.
  • At least one of the third end portion 12 and the first end surface 32 includes a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12 and the first end surface 32.
  • the second end surface 33 is configured not to increase the inner diameter (second inner diameter r 2 ) and outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 at the fourth end portion 21.
  • the area of the first contact portion between the connection member 30 and the plungers 10 and 10b can be significantly reduced.
  • the torsional force that the plunger 10, 10b applies to the coil spring 20 via the connecting member 30 each time the plunger 10, 10b rotates with respect to the cylindrical bodies 3, 3c can be greatly reduced.
  • the connection member 30 is prevented from entering the inside of the coil spring 20 when the plungers 10 and 10b are pressed against the inspection terminals of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylindrical bodies 3 and 3c and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • the probe pins 1, 1b, 1c of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • the probe of the present embodiment and its modified example is more suitable than the probe pin of the comparative example in which at least one of the third end portion 12 of the plungers 10 and 10b and the first end surface 32 of the connecting member 30 includes at least a part of a cone.
  • wear of the connection member 30 and the plungers 10, 10 b due to the friction between the connection member 30 and the plungers 10, 10 b can be suppressed.
  • the probe pins 1, 1b, and 1c according to the present embodiment and the modifications thereof, even if the inclination of the connection member 30 with respect to the plungers 10 and 10b changes, the first between the connection member 30 and the plungers 10 and 10b.
  • the area of the contact portion can be kept substantially constant, so that the torsional force applied to the coil spring 20 by the plungers 10 and 10b via the connecting member 30 can be maintained while being greatly reduced.
  • the probe pins 1, 1b, 1c of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • the first end surface 32 is a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12 and the first end surface 32.
  • the third end 12 may include a first plane at a first contact portion between the third end 12 and the first end surface 32.
  • the area of the first contact portion between the connection member 30 and the plungers 10 and 10b can be greatly reduced.
  • the torsional force that the plunger 10, 10b applies to the coil spring 20 via the connecting member 30 each time the plunger 10, 10b rotates with respect to the cylindrical bodies 3, 3c can be greatly reduced.
  • the probe pins 1, 1b, 1c of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • the second end surface 33 may include a recess 34 that accommodates the fourth end 21 of the coil spring 20. Therefore, the coil spring 20 can be supported by the connection member 30 so that a gap is formed between the coil spring 20 and the inner wall 9 of the cylinders 3 and 3c in a direction intersecting the longitudinal direction of the cylinders 3 and 3c.
  • the recess 34 prevents the coil spring 20 from being displaced in the direction intersecting the longitudinal direction of the cylindrical bodies 3 and 3 c with respect to the connection member 30.
  • the recess 34 can prevent the coil spring 20 from rubbing against the inner wall 9 of the cylindrical bodies 3 and 3 c and damaging or breaking the coil spring 20.
  • the recess 34 allows the biasing force of the coil spring 20 to be stably applied to the connection member 30 and the plungers 10 and 10b.
  • the probe pins 1, 1b, 1c of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • the depth d 1 of the recess 34 may be equal to or greater than the pitch of the coil spring 20. Therefore, the coil spring 20 can be repeatedly expanded and contracted without the coil spring 20 being displaced with respect to the connection member 30.
  • the probe pins 1, 1b, 1c of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • the fourth end 21 may be joined to the second end face 33 using the conductive joining member 50.
  • the conductive joining member 50 can join the fourth end portion 21 of the coil spring 20 to the second end surface 33 of the connection member 30 firmly and with low contact resistance.
  • the conductive bonding member 50 prevents the coil spring 20 from being displaced with respect to the connection member 30.
  • the probe pins 1, 1b, 1c of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • FIG.9 and FIG.10 the probe pin 1 which concerns on Embodiment 2 is demonstrated.
  • the probe pin 1 of the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1 of the first embodiment, but mainly differs in the following points.
  • connection member 30 or the first joining sub member has a first end surface 32 facing the third end portion 12 and a second end surface 33 facing the fourth end portion 21.
  • the connection member 30 or the first sub-connection member 31 includes a first end surface 32 facing the third end portion 12, a second end surface 33 facing the fourth end portion 21, a first end surface 32, and a second end surface 33. And a side surface 35 connecting the two.
  • the second end surface 33 has a flat surface and a rectangular recess 34. The depth of the recess 34 is twice or more the pitch of the coil spring 20.
  • the effect of the probe pin 1 of the present embodiment has the following effect in addition to the effect of the probe pin 1 of the first embodiment.
  • the depth of the recess 34 is twice or more the pitch of the coil spring 20. Therefore, the coil spring 20 can be repeatedly expanded and contracted without the position of the coil spring 20 being displaced with respect to the connection member 30 or the first joining sub member.
  • the concave portion 34 can prevent the coil spring 20 from rubbing against the inner wall 9 of the cylindrical body 3 to damage or break the coil spring 20.
  • the probe pin 1 of the present embodiment has a long life.
  • Embodiment 3 With reference to FIG.11 and FIG.12, the probe pin 1e which concerns on Embodiment 3 is demonstrated.
  • the probe pin 1e of the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1 of the first embodiment, but differs mainly in the following points.
  • the second end face 33e of the connection member 30e or the first sub-connection member 31e is at least the outer diameter (first) of the coil spring 20 from the inner side than the inner diameter (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20. 1 including an outer diameter r 3 ) of the second plane (33e) extending outside. Therefore, the connection member 30e or the first sub connection member 31e is prevented from entering the coil spring 20 when the plunger 10 is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylinder 3 and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • connection member 30e or the first sub-connection member 31e further includes a protrusion 36 that protrudes from the second plane (33e) and is disposed in the coil spring 20.
  • the diameter r 5 of the protrusion 36 is smaller than the inner diameter (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20.
  • the protrusion 36 is inserted inside the coil spring 20.
  • the coil spring 20 is supported by the protruding portion 36 of the connecting member 30e or the first sub connecting member 31e.
  • the coil spring 20 may be joined to the protruding portion 36 of the connecting member 30e or the first sub-connecting member 31e using the conductive joining member 50.
  • the height h of the protrusion 36 from the second plane (33e) may be equal to or greater than the pitch p of the coil spring 20 or may be equal to or greater than twice the pitch p of the coil spring 20.
  • one or more depressions 37 may be provided on the side surface 35 of the protrusion 36.
  • a part of the coil spring 20 including the fourth end portion 21 of the coil spring 20 is accommodated in one or more recesses 37.
  • a part of the coil spring 20 including the fourth end portion 21 of the coil spring 20 is engaged with one or more depressions 37 provided on the side surface 35 of the protrusion 36.
  • the depression 37 increases the contact area between the connecting member 30e or the first sub-connecting member 31e and the conductive bonding member 50, so that the connecting member 30e or the first sub-connecting member 31e by the conductive bonding member 50 and the coil spring 20 are Increase the bond strength between.
  • the probe pin 1e of the present embodiment has the same effect as the probe pin 1 of the first embodiment, but is mainly different in the following points.
  • the second end face 33e of the connection member 30e has at least the outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 from the inner side than the inner diameter (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20.
  • a second plane (33e) extending to the outer side may be included. Therefore, the connection member 30e is prevented from entering the inside of the coil spring 20 when the plunger 10 is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylinder 3 and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • the probe pin 1e of the present embodiment has a long life.
  • connection member 30e may further include a protrusion 36 that protrudes from the second plane (33e) and is disposed in the coil spring 20.
  • the diameter r 5 of the protrusion 36 is smaller than the inner diameter (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20.
  • the coil spring 20 is supported by the protruding portion 36 of the connecting member 30e or the first sub connecting member 31e.
  • the protruding portion 36 can be supported by the connecting member 30e so that a gap is formed between the coil spring 20 and the inner wall 9 of the cylindrical body 3 in a direction intersecting the longitudinal direction of the cylindrical body 3. enable.
  • the protrusion 36 prevents the coil spring 20 from being displaced in the direction intersecting the longitudinal direction of the cylindrical body 3 with respect to the connection member 30e.
  • the protrusion 36 can prevent the coil spring 20 from rubbing against the inner wall 9 of the cylindrical body 3 to damage or break the coil spring 20.
  • the protrusion 36 allows the biasing force of the coil spring 20 to be stably applied to the connection member 30e and the plunger 10.
  • a part of the coil spring 20 may be accommodated in one or more depressions 37 provided on the side surface 35 of the protrusion 36.
  • the coil spring 20 can be more firmly supported by the connection member 30e.
  • the probe pin 1e according to the modification of the present embodiment has a long life.
  • FIG. A probe pin 1f according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the probe pin 1f of the present embodiment has the same configuration as that of the probe pin 1 of the first embodiment, but differs mainly in the following points.
  • the connecting member 30 f or the first sub connecting member 31 f has a first end face 32 f facing the third end 12 and a second end face 33 f facing the fourth end 21.
  • the connection member 30f or the first sub-connection member 31f includes a first end surface 32f facing the third end portion 12, a second end surface 33f facing the fourth end portion 21, a first end surface 32f, and a second end surface 33f. And a side surface 35 connecting the two.
  • the first end face 32f includes a first plane (32f).
  • the second end surface 33f includes a second plane (33f).
  • the second end face 33f is configured not to increase the inner diameter (second inner diameter r 2 ) and outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 at the fourth end portion 21.
  • the second plane (33f) extends at least from the inner side of the coil spring 20 to the outer side of the outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 from the inner side (second inner diameter r 2 ). Therefore, the connection member 30f or the first sub connection member 31f is prevented from entering the inside of the coil spring 20 when the plunger 10f is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylinder 3 and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • the plunger 10 f includes a contact terminal portion 11 and a third end portion 12 f on the opposite side of the contact terminal portion 11.
  • the third end portion 12f includes a part of the first spherical surface.
  • the third end portion 12f including a part of the first spherical surface may be formed by machining the head portion 15f of the plunger 10f into a spherical shape.
  • the first end surface 32f includes the first plane (32f) at the first contact portion between the third end portion 12f and the first end surface 32f, and has a third end.
  • the part 12f includes a part of the first spherical surface at the first contact part between the third end part 12f and the first end face 32f. Since the first end surface 32f makes point contact with the third end portion 12f including a part of the first spherical surface, the area of the first contact portion between the connection member 30f and the plunger 10f can be greatly reduced. Therefore, the torsional force that the plunger 10f applies to the coil spring 20 via the connecting member 30f each time the plunger 10f rotates with respect to the cylindrical body 3 can be greatly reduced.
  • the plunger 10g further includes a plunger sub member 19 joined to the head portion 15.
  • the plunger sub member 19 includes a third end 12f.
  • the third end portion 12f includes a part of the first spherical surface.
  • the plunger sub member 19 is not particularly limited, but may have a hemispherical shape or a spherical shape.
  • the plunger sub member 19 may be made of a conductive material.
  • the plunger sub member 19 may be made of the same material as the plunger main body 13.
  • the plunger sub member 19 may be bonded to the flat surface of the head unit 15 using the conductive bonding member 52.
  • the plunger sub member 19 is disposed in the recess 64 of the second jig 63.
  • the second jig 63 may be made of a material that does not join the solder (52) and has a smaller thermal expansion coefficient and superior heat resistance than the plunger sub member 19.
  • the second jig 63 may be made of carbon or quartz, for example.
  • the solder paste and the head portion 15 are disposed on the plunger sub member 19.
  • solder pellets and flux may be disposed on the plunger sub member 19.
  • the solder (52) is heated at a temperature higher than the melting point of the solder (52).
  • the plunger sub member 19 is joined to the head portion 15 using solder (52).
  • the first end surface 32f includes a first plane (32f) at the first contact portion between the third end portion 12f and the first end surface 32f.
  • the third end portion 12f may include a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12f and the first end surface 32f. Therefore, the area of the first contact portion between the connection member 30f and the plungers 10f and 10g can be greatly reduced.
  • the torsional force that the plungers 10f, 10g apply to the coil spring 20 via the connecting member 30f each time the plungers 10f, 10g rotate with respect to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the probe pins 1f and 1g of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • the second end face 33f has at least an inner diameter (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20 from the inner side than the inner diameter (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20.
  • a second plane (33f) extending to the outer side may be included. Therefore, the connection member 30f is prevented from entering the inside of the coil spring 20 when the plungers 10f and 10g are pressed against the inspection terminals of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylinder 3 and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • the probe pins 1f and 1g of the present embodiment and its modifications have a long life.
  • FIG. A probe pin 1h according to the fifth embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the probe pin 1h according to the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1 according to the first embodiment, but mainly differs in the following points.
  • connection member 30 or the first sub connection member 31 included in the probe pin 1h according to the present embodiment has the same configuration as the connection member 30 or the first sub connection member 31 according to the first embodiment.
  • the first end surface 32 of the connection member 30 or the first sub connection member 31 includes a part of the first spherical surface.
  • the plunger 10g included in the probe pin 1h of the present embodiment has the same configuration as the plunger 10g of the modified example of the fourth embodiment.
  • the third end 12f of the plunger 10g includes a part of the first spherical surface.
  • a part of the first spherical surface included in the third end portion 12 f contacts a part of the first spherical surface included in the first end surface 32.
  • the radius of curvature of a part of the first spherical surface included in the third end 12f may be the same as or different from the radius of curvature of a part of the first spherical surface included in the first end surface 32.
  • the first contact portion between the first end surface 32 of the connecting member 30 and the third end portion 12f of the plunger 10g is a part of the first spherical surface included in the first end surface 32. And a part of the second spherical surface included in the third end portion 12f. Therefore, the area of the first contact portion between the connection member 30 and the plunger 10g in the present embodiment is approximately less than the area of the first contact portion between the connection member 30 and the plunger 10g in the first embodiment. Decrease by 30%. The torsional force that the plunger 10g applies to the coil spring 20 via the connecting member 30 each time the plunger 10g rotates relative to the cylinder 3 can be further reduced.
  • the effect of the probe pin 1h according to the present embodiment has the following effect in addition to the effect of the probe pin 1 according to the first embodiment.
  • the first end surface 32 and the third end portion 12f include a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12f and the first end surface 32.
  • the first contact portion between the connection member 30 and the plunger 10g is a contact portion between a part of the first spherical surface included in the first end surface 32 and a part of the second spherical surface included in the third end portion 12f. It is. Therefore, the area of the 1st contact part between the connection member 30 and the plunger 10g can be reduced significantly.
  • the torsional force that the plunger 10g applies to the coil spring 20 via the connecting member 30 each time the plunger 10g rotates with respect to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the probe pin 1h according to the present embodiment has a long life.
  • Embodiment 6 FIG. With reference to FIG.22 and FIG.23, the probe pin 1i which concerns on Embodiment 6 is demonstrated.
  • the probe pin 1i according to the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1 according to the first embodiment, but mainly differs in the following points.
  • the connection member 30i included in the probe pin 1i of the present embodiment includes a first sub connection member 31i including the first end surface 32 and a second sub connection member 40 including the second end surface 33i.
  • the first sub connection member 31 i includes a first end surface 32 and a third end surface 38 that makes point contact with the second sub connection member 40.
  • the first end surface 32 includes a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12 and the first end surface 32. A part of the first spherical surface included in the first end surface 32 is in point contact with the third end portion 12 of the plunger 10.
  • the third end surface 38 includes a part of the second spherical surface at the second contact portion between the first sub-connecting member 31 i and the second sub-connecting member 40. A part of the second spherical surface included in the third end surface 38 is in point contact with the fourth end surface 41 of the second sub-connecting member 40.
  • the first sub connection member 31i may have a spherical shape, for example.
  • the first sub connection member 31i has conductivity.
  • the first sub connection member 31 i may be made of the same material as the cylinder 3 and the plunger 10.
  • the second sub connection member 40 may have the same configuration as the connection member 30f or the first sub connection member 31f of the fourth embodiment.
  • the second end surface 33i may include a second plane (33i).
  • the second plane (33i) extends at least from the inner side of the coil spring 20 to the outer side of the outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 from the inner side (second inner diameter r 2 ).
  • the second end surface 33i is configured not to increase the inner diameter (second inner diameter r 2 ) and outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20 at the fourth end portion 21.
  • the fourth end surface 41 of the second sub-connecting member 40 that makes point contact with the first sub-connecting member 31i may include a flat surface (41).
  • the fourth end surface 41 is in contact with a part of the second spherical surface included in the third end surface 38.
  • the second sub connecting member 40 has conductivity.
  • the second sub connection member 40 may be made of the same material as the cylindrical body 3, the plunger 10, and the first sub connection member 31i.
  • the first sub connection member 31 i is in point contact with the plunger 10
  • the first sub connection member 31 i is in point contact with the second sub connection member 40.
  • the area of the first contact portion between the first sub connection member 31i and the plunger 10 and the area of the second contact portion between the second sub connection member 40 and the first sub connection member 31i may be significantly reduced. Therefore, the torsional force that the plunger 10 applies to the coil spring 20 via the connecting member 30i each time the plunger 10 rotates with respect to the cylindrical body 3 can be greatly reduced.
  • the effect of the probe pin 1i of the present embodiment has the following effect in addition to the effect of the probe pin 1 of the first embodiment.
  • the second end surface 33i extends at least from the inner side (second inner diameter r 2 ) of the coil spring 20 to the outer side of the outer diameter (first outer diameter r 3 ) of the coil spring 20.
  • the existing second plane (33i) may be included. Therefore, the connection member 30 i (second sub connection member 40) is prevented from entering the inside of the coil spring 20 when the plunger 10 is pressed against the inspection terminal of the object to be inspected. It is prevented that the coil spring 20 is rubbed against the inner wall 9 of the cylinder 3 and the coil spring 20 is damaged or broken.
  • the probe pin 1i of the present embodiment has a long life.
  • the connection member 30i includes a first sub connection member 31i including the first end surface 32 and a second sub connection member 40 including the second end surface 33i.
  • the first sub-connection member 31 i includes a first end surface 32 including a part of the first spherical surface and a third end surface 38 that makes point contact with the second sub-connection member 40.
  • the third end surface 38 includes a part of the second spherical surface at the second contact portion between the first sub-connecting member 31 i and the second sub-connecting member 40. Therefore, the area of the first contact portion between the first sub connection member 31i and the plunger 10 and the area of the second contact portion between the second sub connection member 40 and the first sub connection member 31i are significantly reduced. obtain.
  • the torsional force that the plunger 10 applies to the coil spring 20 via the connecting member 30i each time the plunger 10 rotates with respect to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the probe pin 1i of the present embodiment has a long life.
  • Embodiment 7 FIG.
  • the probe pin 1j according to the seventh embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the probe pin 1j of the present embodiment has the same configuration as the probe pin 1 of the first embodiment, but differs mainly in the following points.
  • the plunger 10g included in the probe pin 1j of the present embodiment has the same configuration as the plunger 10g of the modified example of the fourth embodiment.
  • the third end 12f of the plunger 10g includes a part of the first spherical surface.
  • a part of the first spherical surface included in the third end portion 12f contacts a part of the first spherical surface included in the first end surface 32 of the connection member 30i (first sub connection member 31i).
  • the radius of curvature of a part of the first spherical surface included in the third end 12f may be the same as or different from the radius of curvature of a part of the first spherical surface included in the first end surface 32.
  • connection member 30i included in the probe pin 1j of the present embodiment has the same configuration as the connection member 30i of the sixth embodiment.
  • a first sub-connection member 31 i including the first end surface 32 and a second sub-connection member 40 j including the second end surface 33 are included.
  • the first sub connection member 31i includes a first end surface 32 and a third end surface 38 that makes point contact with the second sub connection member 40j.
  • the first end surface 32 includes a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12 f and the first end surface 32.
  • a part of the first spherical surface included in the first end surface 32 is in point contact with a part of the first spherical surface included in the third end portion 12f.
  • the third end surface 38 includes a part of the second spherical surface at the second contact portion between the first sub-connecting member 31i and the second sub-connecting member 40j. A part of the second spherical surface included in the third end surface 38 is in point contact with a part of the third spherical surface included in the second sub-connecting member 40j.
  • the first sub connection member 31i may have a spherical shape, for example.
  • the first sub connection member 31i has conductivity.
  • the first sub connection member 31i may be made of the same material as the cylindrical body 3 and the plunger 10g.
  • the second sub connection member 40j may have the same configuration as the connection member 30 or the first sub connection member 31 of the first embodiment.
  • the second sub connection member 40j includes a fourth end surface 41j that makes point contact with the first sub connection member 31i, a second end surface 33 that faces the fourth end portion 21 of the coil spring 20, a fourth end surface 41j, and a second end surface 33. And a side surface 35 connecting the two.
  • the fourth end surface 41j of the second sub connection member 40j includes a part of the third spherical surface at the second contact portion between the first sub connection member 31i and the second sub connection member 40j.
  • the second sub connection member 40j has conductivity.
  • the second sub connection member 40j may be made of the same material as the cylindrical body 3, the plunger 10g, and the first sub connection member 31i.
  • the first sub connection member 31i is in point contact with the plunger 10g, and the first sub connection member 31i is in point contact with the second sub connection member 40j. Therefore, the area of the first contact portion between the first sub connection member 31i and the plunger 10g and the area of the second contact portion between the second sub connection member 40j and the first sub connection member 31i are significantly reduced. obtain. The torsional force that the plunger 10g applies to the coil spring 20 via the connecting member 30i each time the plunger 10g rotates relative to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the second sub-connecting member 40 j has a second outer diameter r 4 that is larger than the first outer diameter r 3 of the coil spring 20 and smaller than the first inner diameter r 1 of the cylindrical body 3.
  • the length L of the side surface 35 along the longitudinal direction of the cylindrical body 3 is not particularly limited, but may be larger than the first inner diameter r 1 of the cylindrical body 3.
  • the second end surface 33 may be a concave curved surface (33).
  • the second end surface 33 may include a recess 34 that houses the fourth end portion 21 of the coil spring 20.
  • the recess 34 may be a concave curved surface.
  • the recess 34 may be a part of a spherical surface.
  • the depth d 1 of the recess 34 may be equal to or greater than the pitch p of the coil spring 20. In the present embodiment, the depth d 1 of the recess 34 is equal to the pitch p of the coil spring 20.
  • the effect of the probe pin 1j of the present embodiment has the following effect in addition to the effect of the probe pin 1 of the first embodiment.
  • the first end surface 32 and the third end portion 12f include a part of the first spherical surface at the first contact portion between the third end portion 12f and the first end surface 32.
  • the first contact portion between the connection member 30i and the plunger 10g is a contact portion between a part of the first spherical surface included in the first end surface 32 and a part of the second spherical surface included in the third end portion 12f. It is. Therefore, the area of the 1st contact part between the connection member 30i and the plunger 10g can be reduced significantly.
  • the torsional force that the plunger 10g applies to the coil spring 20 via the connecting member 30i each time the plunger 10g rotates relative to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the probe pin 1j of the present embodiment has a long life.
  • the connection member 30i includes a first sub connection member 31i including the first end surface 32 and a second sub connection member 40j including the second end surface 33.
  • the first sub-connecting member 31i includes a first end surface 32 including a part of the first spherical surface, and a third end surface 38 that makes point contact with the second sub-connecting member 40j.
  • the third end surface 38 includes a part of the second spherical surface at the second contact portion between the first sub-connecting member 31i and the second sub-connecting member 40j. Therefore, the area of the second contact portion between the first sub connecting member 31i and the second sub connecting member 40j can be significantly reduced.
  • the torsional force that the plunger 10g applies to the coil spring 20 via the connecting member 30i each time the plunger 10g rotates relative to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the probe pin 1j of the present embodiment has a long life.
  • the second sub connection member 40j includes a part of the third spherical surface that contacts a part of the second spherical surface included in the third end surface 38 of the first sub connection member 31i.
  • the second contact portion between the first sub-connecting member 31i and the second sub-connecting member 40j is a part of the second spherical surface included in the first sub-connecting member 31i and the third contact included in the second sub-connecting member 40j. It is a contact part between a part of spherical surfaces. Therefore, the area of the second contact portion between the first sub connecting member 31i and the second sub connecting member 40j can be significantly reduced.
  • the torsional force that the plunger 10g applies to the coil spring 20 via the connecting member 30i each time the plunger 10g rotates relative to the cylinder 3 can be greatly reduced.
  • the probe pin 1j of the present embodiment has a long life.
  • Embodiments 1-7 and modifications thereof disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. As long as there is no contradiction, at least two of Embodiments 1-7 and their modifications disclosed this time may be combined.
  • the scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

プローブピン（１）は、プランジャ（１０）と、コイルバネ（２０）と、接続部材（３０）とを備える。接続部材（３０）は、プランジャ（１０）の第３端部（１２）に面する第１端面（３２）と、コイルバネ（２０）の第４端部（２１）に面する第２端面（３３）とを有する。第１端面（３２）は、第３端部（１２）に点接触している。第３端部（１２）及び第１端面（３２）の少なくとも１つは、第３端部（１２）と第１端面（３２）との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第２端面（３３）は、第４端部（２１）におけるコイルバネ（２０）の内径及び外径を拡げないように構成されている。そのため、プローブピン（１）は長い寿命を有する。

Description

プローブピン
　本発明は、プローブピンに関する。
　特開２００９－１１５６５９号公報（特許文献１）及び特開２００２－２０２３２３号公報（特許文献２）は、筒体と、筒体に対して回転しながら筒体の長手方向に移動可能に構成されたプランジャと、プランジャを付勢するコイルバネとを備えるプローブピンを開示している。実開昭６１－９９０６０号公報（特許文献３）は、筒体と、筒体に対して回転しながら筒体の長手方向に移動可能に構成されたプランジャと、プランジャを付勢するコイルバネと、プランジャとコイルバネとの間に配置された球とを備えるプローブピンを開示している。
特開２００９－１１５６５９号公報 特開２００２－２０２３２３号公報 実開昭６１－９９０６０号公報
　しかしながら、特許文献１及び特許文献２に開示されたプローブピンでは、コイルバネは、プランジャに面接触している。コイルバネが伸び縮みしてプランジャが筒体の長手方向に移動する際にプランジャが筒体に対して回転する度に、プランジャはコイルバネにねじり力を加える。コイルバネに繰り返し作用するこのねじり力は、コイルバネを破断させる。そのため、特許文献１及び特許文献２に開示されたプローブピンは、短い寿命を有するプローブピンを有する。
　また、特許文献３に開示されたプローブピンでは、プランジャが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、球の一部がコイルバネの内側に入り込み、球は、コイルバネの径方向にコイルバネを膨らませる。膨らんだコイルバネは筒体の内壁に擦れて、コイルバネは傷つくまたは破断する。そのため、特許文献３に開示されたプローブピンも、短い寿命を有するプローブピンを有する。
　本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、長い寿命を有するプローブピンを提供することである。
　本発明のプローブピンは、筒体と、プランジャと、コイルバネと、接続部材とを備える。筒体は、開口を有する第１端部と、第１端部とは反対側の第２端部とを有する。プランジャは、接触端子部と、接触端子部とは反対側の第３端部とを有する。第３端部は筒体に収容され、かつ、接触端子部は第１端部から露出している。プランジャは、筒体に対して回転しながら筒体の長手方向に移動可能に構成されている。コイルバネは、プランジャを第１端部に向けて付勢する。コイルバネは、第２端部と第３端部との間に配置されている。コイルバネは、第３端部側の第４端部を有する。接続部材は、第３端部と第４端部とを接続する。接続部材は、第３端部に面する第１端面と、第４端部に面する第２端面とを有する。第１端面は、第３端部に点接触している。第３端部及び第１端面の少なくとも１つは、第３端部と第１端面との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第２端面は、第４端部におけるコイルバネの内径及び外径を拡げないように構成されている。
　本発明のプローブピンでは、接続部材の第１端面はプランジャの第３端部に点接触するとともに、第３端部及び第１端面の少なくとも１つは、第３端部と第１端面との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。そのため、接続部材とプランジャとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャが筒体に対して回転する度にプランジャが接続部材を介してコイルバネに加えるねじり力は、大幅に減少され得る。さらに、第２端面は、第４端部におけるコイルバネの内径及び外径を拡げないように構成されている。そのため、プランジャが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材がコイルバネの内側に入り込むことが防止される。コイルバネが筒体の内壁に擦れて、コイルバネが傷つくまたは破断することが防止される。こうして、本発明のプローブピンは、長い寿命を有する。
本発明の実施の形態１に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態１に係るプローブピンの、図１に示される領域ＩＩにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態１に係るプローブピンに含まれるプランジャの概略拡大斜視図である。 本発明の実施の形態１に係るプローブピンの、図３に示される断面線ＩＶ－ＩＶにおける概略断面図である。 本発明の実施の形態１に係るプローブピンの製造方法における、コイルバネを接続部材に接合する工程を示す概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態１に係るプローブピンの製造方法における、コイルバネを接続部材に接合する工程を示す概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態１の第１変形例に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態１の第２変形例に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態２に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態２に係るプローブピンの、図９に示される領域Ｘにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態３に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態３に係るプローブピンの、図１１に示される領域ＸＩＩにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態３の変形例に係るプローブピンの概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態４に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態４に係るプローブピンの、図１４に示される領域ＸＶにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態４の変形例に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態４の変形例に係るプローブピンの、図１６に示される領域ＸＶＩＩにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態４に係るプローブピンの製造方法の一工程を示す概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態４に係るプローブピンの製造方法における、図１８に示す工程の次工程を示す概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態５に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態５に係るプローブピンの、図２０に示される領域ＸＸＩにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態６に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態６に係るプローブピンの、図２２に示される領域ＸＸＩＩＩにおける概略部分拡大断面図である。 本発明の実施の形態７に係るプローブピンの概略図である。 本発明の実施の形態７に係るプローブピンの、図２４に示される領域ＸＸＶにおける概略部分拡大断面図である。
　以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
　実施の形態１．
　図１から図４を参照して、実施の形態１に係るプローブピン１を説明する。本実施の形態のプローブピン１は、筒体３と、プランジャ１０と、コイルバネ２０と、接続部材３０とを備える。
　筒体３は、第１開口４を有する第１端部５と、第１端部５とは反対側の第２端部６とを有する。第２端部６は、コイルバネ２０の第１の外径ｒ3よりも小さな直径を有する第２開口を有してもよい。筒体３は、筒体３の長手方向に沿って延在している。筒体３の長手方向は、第１端部５と第２端部６とを結ぶ方向である。筒体３は第１の内径ｒ1を有する。
　図１及び図３に示されるように、プランジャ１０は、接触端子部１１と、接触端子部１１とは反対側の第３端部１２とを有する。第３端部１２は、筒体３に収容される。接触端子部１１は、筒体３の第１端部５から露出している。接触端子部１１は、プランジャ１０の先細の先端であってもよい。プランジャ１０は、筒体３の第１の内径ｒ1よりも小さな外径を有する。プランジャ１０の外径は、接続部材３０または第１サブ接続部材３１の第２の外径ｒ4に等しくてもよいし、異なってもよい。
　プランジャ１０は、筒体３に対して回転しながら筒体３の長手方向に移動可能に構成されている。プランジャ１０が被検査体の検査端子（図示せず）に押し当てられるときに、プランジャ１０は、筒体３及び被検査体の検査端子に対して回転する。そのため、プランジャ１０の接触端子部１１は、検査端子の表面を覆う薄層（例えば、汚染物または酸化膜）を突き破って、検査端子に直接接触することができる。プランジャ１０は、筒体３に対して回転しながら筒体３の長手方向に移動可能に構成されているため、被検査体の検査端子とプランジャ１０との間の接触抵抗は低減され得て、被検査体はプローブピン１を用いて正確に検査され得る。プランジャ１０が被検査体の検査端子から離れるときも、プランジャ１０は、筒体３及び被検査体の検査端子に対して回転する。
　図１、図３及び図４に示されるように、本実施の形態の第一の例では、筒体３は、第１凸部７と、第２凸部８とを含んでもよく、かつ、プランジャ１０は、第１凸部７に係合する第１らせん溝１６と、第２凸部８に係合する第２らせん溝１７とを有してもよい。第１凸部７及び第２凸部８は、筒体３の内壁９から突出している。第２凸部８は、第１凸部７と第２凸部８との間にプランジャ１０を挟んで、第１凸部７に対向するように配置されてもよい。そのため、プランジャ１０が筒体３の長手方向に移動するとき、プランジャ１０は、筒体３に対して回転する。第１凸部７は、筒体３の長手方向において、第２凸部８と同じ位置に配置されてもよいし、第２凸部８と異なる位置に配置されてもよい。
　本実施の形態の第二の例では、プランジャ１０は、第１凸部７と、第２凸部８とを含んでもよく、かつ、筒体３は、第１凸部７に係合する第１らせん溝１６と、第２凸部８に係合する第２らせん溝１７とを有してもよい。本実施の形態の第三の例では、本実施の形態の第一の例及び第二の例において、第２凸部８と第２らせん溝１７とが省略されてもよい。
　プランジャ１０は、プランジャ本体部１３と、ヘッド部１５と、プランジャ本体部１３とヘッド部１５との間のネック部１４とを含んでもよい。ネック部１４は、プランジャ本体部１３及びヘッド部１５よりも小さな直径を有している。プランジャ本体部１３は、その先端に、接触端子部１１を有する。プランジャ本体部１３は、第１凸部７に係合する第１らせん溝１６と、第２凸部８に係合する第２らせん溝１７とを有してもよい。ヘッド部１５は、第３端部１２を含む。ヘッド部１５は、第１凸部７と第２凸部８とに当接し得るように構成されており、プランジャ１０が筒体３から抜けることを防ぐ。
　コイルバネ２０は、プランジャ１０を第１端部５に向けて付勢する。コイルバネ２０は、プランジャ１０を被検査体（図示せず）に向けて付勢する。コイルバネ２０は、筒体３の第２端部６とプランジャ１０の第３端部１２との間に配置されている。コイルバネ２０は、第３端部１２側の第４端部２１を有する。コイルバネ２０は、導電性材料で作られている。コイルバネ２０は、筒体３の第２端部６に接触している。コイルバネ２０は、筒体３の第２端部６に電気的に接続されている。図２に示されるように、コイルバネ２０は、第２の内径ｒ2と第１の外径ｒ3とを有する。
　接続部材３０は、第１サブ接続部材３１を含む。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、第３端部１２と第４端部２１とを接続する。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３と、第１端面３２と第２端面３３とを接続する側面３５とを有する。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、コイルバネ２０の第１の外径ｒ3よりも大きく、かつ、筒体３の第１の内径ｒ1よりも小さな第２の外径ｒ4を有する。筒体３の長手方向に沿う側面３５の長さＬは、特に限定されないが、筒体３の第１の内径ｒ1よりも大きくてもよい。筒体３の長手方向に沿う側面３５の長さＬは筒体３の第１の内径ｒ1よりも大きいため、接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、筒体３の長手方向に沿って安定的に移動し得る。
　第２端面３３は、くぼんだ曲面（３３）であってもよい。第２端面３３は、コイルバネ２０の第４端部２１を収容する凹部３４を含んでもよい。コイルバネ２０の第４端部２１は接続部材３０の凹部３４に収容される。そのため、コイルバネ２０は、筒体３の長手方向に交差する方向においてコイルバネ２０と筒体３の内壁９との間に隙間が形成されるように、接続部材３０に支持され得る。凹部３４は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して筒体３の長手方向に交差する方向に位置ずれすることを防ぐ。凹部３４は、コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。凹部３４は、コイルバネ２０の付勢力が接続部材３０及びプランジャ１０に安定的に印加されることを可能にする。凹部３４はくぼんだ曲面（３３）であってもよい。凹部３４は、球面の一部であってもよい。凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐ以上であってもよい。本実施の形態では、凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐに等しい。
　図２を参照して、コイルバネ２０の第４端部２１は、導電性接合部材５０を用いて接続部材３０の第２端面３３に接合されてもよい。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０の第４端部２１を接続部材３０の第２端面３３に、強固にかつ低い接触抵抗で接合することができる。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して位置ずれすることを防ぐ。コイルバネ２０の第４端部２１において、コイルバネ２０の素線は、傾斜した端面を有してもよい。コイルバネ２０の傾斜した端面は、コイルバネ２０と導電性接合部材５０との間の接合面積を増加させて、コイルバネ２０と導電性接合部材５０との間の接合を強固にすることができる。導電性接合部材５０は、特に限定されないが、錫（Ｓｎ）－銀（Ａｇ）系はんだ、錫（Ｓｎ）－銅（Ｃｕ）系はんだまたは錫（Ｓｎ）－ビスマス（Ｂｉ）系はんだのようなはんだであってもよい。
　図５及び図６を参照して、コイルバネ２０を接続部材３０（第１サブ接続部材３１）に接合する工程を説明する。図５に示されるように、第１の治具６０の凹部６１の中に接続部材３０を配置する。第１の治具６０は、はんだ（５０）に接合せず、かつ、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）よりも小さな熱膨張係数と優れた耐熱性とを有する材料で作られてもよい。第１の治具６０は、例えば、カーボンまたは石英で作られてもよい。それから、はんだペーストとコイルバネ２０の第４端部２１とが、接続部材３０の第２端面３３上に配置される。はんだペーストに代えて、はんだペレットとフラックスとが接続部材３０の第２端面３３上に配置されてもよい。続いて、はんだ（５０）の融点より高い温度ではんだ（５０）を加熱する。図６に示されるように、コイルバネ２０の第４端部２１は、はんだ（５０）を用いて接続部材３０の第２端面３３に接合される。
　接続部材３０の第１端面３２は、プランジャ１０の第３端部１２に点接触している。第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。特定的には、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１端面３２は第１球面の一部を含み、かつ、第３端部１２は第１平面を含んでもよい。第１端面３２の第１球面は、第３端部１２の第１平面に接触してもよい。なお、本明細書において、「球面」は、完全な球面だけでなく、対向する面に点接触し得る曲面をも含む。
　コイルバネ２０によって、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）はプランジャ１０に付勢されているため、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部において、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０とは局所的に変形する。接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０とが局所的に変形することによって形成される、本実施の形態の接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は、第３端部１２及び第１端面３２が平面である比較例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積よりも非常に小さい。本実施の形態のこの一例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は、上記比較例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積の２００分の１以下である。
　Hertzの接触理論から算出される、本実施の形態の一例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の半径は、約１０．６μｍである。本実施の形態のプローブピン１では、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は非常に小さいため、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）の第１端面３２はプランジャ１０の第３端部１２に点接触していると見なすことができる。
　このように、本実施の形態のプローブピン１では、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）の第１端面３２はプランジャ１０の第３端部１２に点接触するとともに、第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。そのため、接続部材３０とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０が筒体３に対して回転する度にプランジャ１０が接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
　第２端面３３は、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。具体的には、本実施の形態のプローブピン１では、コイルバネ２０の第４端部２１は、接続部材３０の第２端面３３に含まれる凹部３４に収容されている。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０がコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、コイルバネ２０には筒体３の長手方向に沿う圧縮力が作用するだけであり、ねじり力はほとんど作用しない。そのため、コイルバネ２０が回転することが抑制される。コイルバネ２０の素線のねじれの態様が変化することが抑制される。コイルバネ２０によってプランジャ１０が付勢される力が変化することが抑制される。プランジャ１０が、一定の押圧力で、被検査体の検査端子（図示せず）に押し当てられる。プローブピン１は、長期間にわたって、一定の検査特性を有する。
　筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、導電性材料で作られている。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、２００ＧＰａ以上のヤング率を有する材料で作られてもよい。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、特に限定されないが、銅、鋼、ステンレス、炭素工具鋼鋼材（ＳＫ材）または高速度工具鋼鋼材（ＳＫＨ材）で作られてもよい。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、互いに同じ材料で作られてもよい。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０の表面は、１つ以上の導電層でコーティングされてもよい。１つ以上の導電層は、例えば、ニッケル層とニッケル層上の金層とであってもよいし、ニッケル層とニッケル層上の金－コバルト合金層とであってもよいし、ニッケル層とニッケル層上のパラジウム層とであってもよい。１つ以上の導電層は、プランジャ１０と被検査体の検査端子との間の接触抵抗及びプランジャ１０と接続部材３０との間の接触抵抗を低減させることができる。
　プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられると、被検査体の検査端子は、プランジャ１０、接続部材３０及びコイルバネ２０を通じて、筒体３に電気的に接続される。こうして、本実施の形態のプローブピン１を用いて、被検査体の電気的特性は検査され得る。
　図７を参照して、本実施の形態の第１変形例に係るプローブピン１ｂを説明する。本実施の形態の第１変形例のプローブピン１ｂは、本実施の形態のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。本実施の形態の第１変形例のプローブピン１ｂのプランジャ本体部１３ｂは、本実施の形態のプランジャ本体部１３の第１らせん溝１６及び第２らせん溝１７に代えて、ねじられた平板１８を含んでもよい。筒体３の第１凸部７及び第２凸部８はねじられた平板１８に係合する。そのため、プランジャ１０ｂは、筒体３に対して回転しながら筒体３の長手方向に移動することができる。
　図８を参照して、本実施の形態の第２変形例に係るプローブピン１ｃを説明する。本実施の形態の第２変形例のプローブピン１ｃは、本実施の形態の第１変形例のプローブピン１ｂと同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。本実施の形態の第２変形例のプローブピン１ｃでは、第１凸部７ｃは、筒体３ｃの長手方向において、第２凸部８と異なる位置に配置されている。特定的には、筒体３ｃの長手方向において、第１凸部７ｃは、第２凸部８よりも第１端部５側に配置されてもよい。本実施の形態の第２変形例の第１凸部７ｃ及び第２凸部８は、プランジャ１０ｂが筒体３ｃに対して筒体３ｃの長手方向に安定的に移動することを可能にする。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃの効果を説明する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、筒体３，３ｃと、プランジャ１０，１０ｂと、コイルバネ２０と、接続部材３０とを備える。筒体３，３ｃは、開口を有する第１端部５と、第１端部５とは反対側の第２端部６とを有する。プランジャ１０，１０ｂは、接触端子部１１と、接触端子部１１とは反対側の第３端部１２とを有する。第３端部１２は筒体３，３ｃに収容され、かつ、接触端子部１１は第１端部５から露出している。プランジャ１０，１０ｂは、筒体３，３ｃに対して回転しながら筒体３，３ｃの長手方向に移動可能に構成されている。コイルバネ２０は、プランジャ１０，１０ｂを第１端部５に向けて付勢する。コイルバネ２０は、第２端部６と第３端部１２との間に配置されている。コイルバネ２０は、第３端部１２側の第４端部２１を有する。接続部材３０は、第３端部１２と第４端部２１とを接続する。接続部材３０は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３とを有する。第１端面３２は、第３端部１２に点接触している。第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第２端面３３は、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０，１０ｂが筒体３，３ｃに対して回転する度にプランジャ１０，１０ｂが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。さらに、プランジャ１０，１０ｂが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０がコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３，３ｃの内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。そのため、プランジャ１０，１０ｂの第３端部１２及び接続部材３０の第１端面３２の少なくとも１つが円錐の少なくとも一部を含む比較例のプローブピンよりも、本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとが互いに擦れあうことに起因する接続部材３０及びプランジャ１０，１０ｂの摩耗が抑制され得る。さらに、本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、プランジャ１０，１０ｂに対する接続部材３０の傾きが変化しても、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとの間の第１接触部の面積を実質的に一定に保つことができ、そのため、プランジャ１０，１０ｂが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力を大幅に減少されたままに維持することができる。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第１端面３２は、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含み、かつ、第３端部１２は、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１平面を含んでもよい。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０，１０ｂが筒体３，３ｃに対して回転する度にプランジャ１０，１０ｂが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第２端面３３は、コイルバネ２０の第４端部２１を収容する凹部３４を含んでもよい。そのため、コイルバネ２０は、筒体３，３ｃの長手方向に交差する方向においてコイルバネ２０と筒体３，３ｃの内壁９との間に隙間が形成されるように、接続部材３０に支持され得る。凹部３４は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して筒体３，３ｃの長手方向に交差する方向に位置ずれすることを防ぐ。凹部３４は、コイルバネ２０が筒体３，３ｃの内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。凹部３４は、コイルバネ２０の付勢力が接続部材３０及びプランジャ１０，１０ｂに安定的に印加されることを可能にする。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチ以上であってもよい。そのため、コイルバネ２０が接続部材３０に対して位置ずれすることなく、コイルバネ２０は繰り返し伸び縮みすることができる。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第４端部２１は、導電性接合部材５０を用いて第２端面３３に接合されてもよい。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０の第４端部２１を接続部材３０の第２端面３３に、強固にかつ低い接触抵抗で接合することができる。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して位置ずれすることを防ぐ。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
　実施の形態２．
　図９及び図１０を参照して、実施の形態２に係るプローブピン１を説明する。本実施の形態のプローブピン１は、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
　接続部材３０または第１接合サブ部材は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３とを有する。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３と、第１端面３２と第２端面３３とを接続する側面３５とを有する。第２端面３３は、平面と矩形上の凹部３４とを有する。凹部３４の深さは、コイルバネ２０のピッチの２倍以上である。
　本実施の形態のプローブピン１の効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。本実施の形態のプローブピン１では、凹部３４の深さは、コイルバネ２０のピッチの２倍以上である。そのため、コイルバネ２０が接続部材３０または第１接合サブ部材に対して位置ずれすることなく、コイルバネ２０は繰り返し伸び縮みすることができる。凹部３４は、コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。本実施の形態のプローブピン１は、長い寿命を有する。
　実施の形態３．
　図１１及び図１２を参照して、実施の形態３に係るプローブピン１ｅを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｅは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
　本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの第２端面３３ｅは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する第２平面（３３ｅ）を含む。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。
　本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅは、第２平面（３３ｅ）から突出しかつコイルバネ２０内に配置された突出部３６をさらに含む。突出部３６の直径ｒ5は、コイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）よりも小さい。突出部３６は、コイルバネ２０の内側に挿入される。コイルバネ２０は、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの突出部３６に支持される。コイルバネ２０は、導電性接合部材５０を用いて、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの突出部３６に接合されてもよい。第２平面（３３ｅ）からの突出部３６の高さｈは、コイルバネ２０のピッチｐ以上であってもよく、コイルバネ２０のピッチｐの２倍以上であってもよい。
　図１３を参照して、突出部３６の側面３５に１つ以上の窪み３７が設けられてもよい。１つ以上の窪み３７に、コイルバネ２０の第４端部２１を含むコイルバネ２０の一部が収容されている。コイルバネ２０の第４端部２１を含むコイルバネ２０の一部が、突出部３６の側面３５に設けられた１つ以上の窪み３７に係合している。窪み３７は、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅと導電性接合部材５０との接触面積を増加させて、導電性接合部材５０による接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅとコイルバネ２０との間の接合強度を増加させる。
　本実施の形態のプローブピン１ｅは、実施の形態１のプローブピン１と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。
　本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅの第２端面３３ｅは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する第２平面（３３ｅ）を含んでもよい。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｅがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態のプローブピン１ｅは、長い寿命を有する。
　本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅは、第２平面（３３ｅ）から突出しかつコイルバネ２０内に配置された突出部３６をさらに含んでもよい。突出部３６の直径ｒ5は、コイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）よりも小さい。コイルバネ２０は、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの突出部３６に支持される。突出部３６は、コイルバネ２０が、筒体３の長手方向に交差する方向においてコイルバネ２０と筒体３の内壁９との間に隙間が形成されるように、接続部材３０ｅに支持され得ることを可能にする。突出部３６は、コイルバネ２０が接続部材３０ｅに対して筒体３の長手方向に交差する方向に位置ずれすることを防ぐ。突出部３６は、コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。突出部３６は、コイルバネ２０の付勢力が接続部材３０ｅ及びプランジャ１０に安定的に印加されることを可能にする。
　本実施の形態のプローブピン１ｅでは、突出部３６の側面３５に設けられた１つ以上の窪み３７にコイルバネ２０の一部が収容されてもよい。コイルバネ２０は、より強固に接続部材３０ｅに支持され得る。本実施の形態の変形例のプローブピン１ｅは、長い寿命を有する。
　実施の形態４．
　図１４及び図１５を参照して、実施の形態４に係るプローブピン１ｆを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｆは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
　接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆは、第３端部１２に面する第１端面３２ｆと、第４端部２１に面する第２端面３３ｆとを有する。接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆは、第３端部１２に面する第１端面３２ｆと、第４端部２１に面する第２端面３３ｆと、第１端面３２ｆと第２端面３３ｆとを接続する側面３５とを有する。第１端面３２ｆは、第１平面（３２ｆ）を含む。第２端面３３ｆは、第２平面（３３ｆ）を含む。
　第２端面３３ｆは、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。具体的には、第２平面（３３ｆ）は、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する。そのため、プランジャ１０ｆが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。
　プランジャ１０ｆは、接触端子部１１と、接触端子部１１とは反対側の第３端部１２ｆとを有する。第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。具体的には、プランジャ１０ｆのヘッド部１５ｆを球面形状に機械加工することによって、第１球面の一部を含む第３端部１２ｆが形成されてもよい。
　本実施の形態のプローブピン１ｆでは、第１端面３２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１平面（３２ｆ）を含み、かつ、第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第１端面３２ｆは第１球面の一部を含む第３端部１２ｆに点接触するため、接続部材３０ｆとプランジャ１０ｆとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。そのため、プランジャ１０ｆが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｆが接続部材３０ｆを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
　図１６及び図１７を参照して、本実施の形態の変形例に係るプローブピン１ｇを説明する。本実施の形態の変形例のプローブピン１ｇは、本実施の形態のプローブピン１ｆと同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。本実施の形態の変形例のプローブピン１ｇでは、プランジャ１０ｇは、ヘッド部１５に接合されるプランジャサブ部材１９をさらに備える。プランジャサブ部材１９は、第３端部１２ｆを含む。第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。プランジャサブ部材１９は、特に限定されないが、半球形状を有してもよいし、球形状を有してもよい。プランジャサブ部材１９は、導電性材料で構成されてもよい。プランジャサブ部材１９は、プランジャ本体部１３と同じ材料で構成されてもよい。プランジャサブ部材１９は、導電性接合部材５２を用いて、ヘッド部１５の平坦な表面に接合されてもよい。
　図１８及び図１９を参照して、プランジャサブ部材１９をヘッド部１５に接合する工程を説明する。図１８に示されるように、第２の治具６３の凹部６４の中にプランジャサブ部材１９を配置する。第２の治具６３は、はんだ（５２）に接合せず、かつ、プランジャサブ部材１９よりも小さな熱膨張係数と優れた耐熱性とを有する材料で作られてもよい。第２の治具６３は、例えば、カーボンまたは石英で作られてもよい。それから、はんだペーストとヘッド部１５とが、プランジャサブ部材１９上に配置される。はんだペーストに代えて、はんだペレットとフラックスとがプランジャサブ部材１９上に配置されてもよい。続いて、はんだ（５２）の融点より高い温度ではんだ（５２）を加熱する。図１９に示されるように、プランジャサブ部材１９は、はんだ（５２）を用いてヘッド部１５に接合される。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇでは、第１端面３２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１平面（３２ｆ）を含み、かつ、第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１球面の一部を含んでもよい。そのため、接続部材３０ｆとプランジャ１０ｆ，１０ｇとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｆ，１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｆ，１０ｇが接続部材３０ｆを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇは、長い寿命を有する。
　本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇでは、第２端面３３ｆは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より外側まで延在する第２平面（３３ｆ）を含んでもよい。そのため、プランジャ１０ｆ，１０ｇが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｆがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇは、長い寿命を有する。
　実施の形態５．
　図２０及び図２１を参照して、実施の形態５に係るプローブピン１ｈを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｈは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
　本実施の形態のプローブピン１ｈに含まれる接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、実施の形態１の接続部材３０または第１サブ接続部材３１と同じ構成を備えている。接続部材３０または第１サブ接続部材３１の第１端面３２は、第１球面の一部を含む。
　本実施の形態のプローブピン１ｈに含まれるプランジャ１０ｇは、実施の形態４の変形例のプランジャ１０ｇと同じ構成を備えている。プランジャ１０ｇの第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部に接触する。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部の曲率半径は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部の曲率半径と同じであってもよいし、異なってもよい。
　本実施の形態のプローブピン１ｈでは、接続部材３０の第１端面３２とプランジャ１０ｇの第３端部１２ｆとの間の第１接触部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部と第３端部１２ｆに含まれる第２球面の一部との間の接触部である。そのため、本実施の形態の接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積は、実施の形態１の接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積よりも、約３０％減少する。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、さらに減少され得る。
　本実施の形態のプローブピン１ｈの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
　本実施の形態のプローブピン１ｈでは、第１端面３２及び第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部と第３端部１２ｆに含まれる第２球面の一部との間の接触部である。そのため、接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｈは、長い寿命を有する。
　実施の形態６．
　図２２及び図２３を参照して、実施の形態６に係るプローブピン１ｉを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｉは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
　本実施の形態のプローブピン１ｉに含まれる接続部材３０ｉは、第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３ｉを含む第２サブ接続部材４０とを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１端面３２と、第２サブ接続部材４０に点接触する第３端面３８とを含む。第１端面３２は、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第１端面３２に含まれる第１球面の一部は、プランジャ１０の第３端部１２に点接触している。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０との間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。第３端面３８に含まれる第２球面の一部は、第２サブ接続部材４０の第４端面４１に点接触している。第１サブ接続部材３１ｉは、例えば、球の形状を有してもよい。第１サブ接続部材３１ｉは、導電性を有する。第１サブ接続部材３１ｉは、筒体３及びプランジャ１０と同じ材料で作られてもよい。
　第２サブ接続部材４０は、実施の形態４の接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆと同じ構成を備えてもよい。第２端面３３ｉは、第２平面（３３ｉ）を含んでもよい。第２平面（３３ｉ）は、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する。第２端面３３ｉは、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。第１サブ接続部材３１ｉに点接触する第２サブ接続部材４０の第４端面４１は、平面（４１）を含んでもよい。第４端面４１は、第３端面３８に含まれる第２球面の一部に接触している。第２サブ接続部材４０は、導電性を有する。第２サブ接続部材４０は、筒体３、プランジャ１０及び第１サブ接続部材３１ｉと同じ材料で作られてもよい。
　本実施の形態のプローブピン１ｉでは、第１サブ接続部材３１ｉは、プランジャ１０に点接触し、かつ、第１サブ接続部材３１ｉは、第２サブ接続部材４０に点接触している。第１サブ接続部材３１ｉとプランジャ１０との間の第１接触部の面積及び第２サブ接続部材４０と第１サブ接続部材３１ｉとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。そのため、プランジャ１０が筒体３に対して回転する度にプランジャ１０が接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
　本実施の形態のプローブピン１ｉの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
　本実施の形態のプローブピン１ｉでは、第２端面３３ｉは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する第２平面（３３ｉ）を含んでもよい。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｉ（第２サブ接続部材４０）がコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態のプローブピン１ｉは、長い寿命を有する。
　本実施の形態のプローブピン１ｉでは、接続部材３０ｉは、第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３ｉを含む第２サブ接続部材４０とを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１球面の一部を含む第１端面３２と、第２サブ接続部材４０に点接触する第３端面３８とを含む。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０との間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。そのため、第１サブ接続部材３１ｉとプランジャ１０との間の第１接触部の面積及び第２サブ接続部材４０と第１サブ接続部材３１ｉとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０が筒体３に対して回転する度にプランジャ１０が接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｉは、長い寿命を有する。
　実施の形態７．
　図２４及び図２５を参照して、実施の形態７に係るプローブピン１ｊを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｊは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
　本実施の形態のプローブピン１ｊに含まれるプランジャ１０ｇは、実施の形態４の変形例のプランジャ１０ｇと同じ構成を備えている。プランジャ１０ｇの第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部は、接続部材３０ｉ（第１サブ接続部材３１ｉ）の第１端面３２に含まれる第１球面の一部に接触する。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部の曲率半径は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部の曲率半径と同じであってもよいし、異なってもよい。
　本実施の形態のプローブピン１ｊに含まれる接続部材３０ｉは、実施の形態６の接続部材３０ｉと同じ構成を備えている。第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３を含む第２サブ接続部材４０ｊとを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１端面３２と、第２サブ接続部材４０ｊに点接触する第３端面３８とを含む。第１端面３２は、第３端部１２ｆと第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第１端面３２に含まれる第１球面の一部は、第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部に点接触している。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。第３端面３８に含まれる第２球面の一部は、第２サブ接続部材４０ｊに含まれる第３球面の一部に点接触している。第１サブ接続部材３１ｉは、例えば、球の形状を有してもよい。第１サブ接続部材３１ｉは、導電性を有する。第１サブ接続部材３１ｉは、筒体３及びプランジャ１０ｇと同じ材料で作られてもよい。
　第２サブ接続部材４０ｊは、実施の形態１の接続部材３０または第１サブ接続部材３１と同じ構成を備えてもよい。第２サブ接続部材４０ｊは、第１サブ接続部材３１ｉに点接触する第４端面４１ｊと、コイルバネ２０の第４端部２１に面する第２端面３３と、第４端面４１ｊと第２端面３３とを接続する側面３５とを有する。第２サブ接続部材４０ｊの第４端面４１ｊは、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部において、第３球面の一部を含む。第４端面４１ｊに含まれる第３球面の一部は、第３端面３８に含まれる第２球面の一部に接触している。第２サブ接続部材４０ｊは、導電性を有する。第２サブ接続部材４０ｊは、筒体３、プランジャ１０ｇ及び第１サブ接続部材３１ｉと同じ材料で作られてもよい。
　本実施の形態のプローブピン１ｊでは、第１サブ接続部材３１ｉは、プランジャ１０ｇに点接触し、かつ、第１サブ接続部材３１ｉは、第２サブ接続部材４０ｊに点接触している。そのため、第１サブ接続部材３１ｉとプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積及び第２サブ接続部材４０ｊと第１サブ接続部材３１ｉとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
　第２サブ接続部材４０ｊは、コイルバネ２０の第１の外径ｒ3よりも大きく、かつ、筒体３の第１の内径ｒ1よりも小さな第２の外径ｒ4を有する。筒体３の長手方向に沿う側面３５の長さＬは、特に限定されないが、筒体３の第１の内径ｒ1よりも大きくてもよい。
　第２端面３３は、くぼんだ曲面（３３）であってもよい。第２端面３３は、コイルバネ２０の第４端部２１を収容する凹部３４を含んでもよい。凹部３４はくぼんだ曲面であってもよい。凹部３４は、球面の一部であってもよい。凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐ以上であってもよい。本実施の形態では、凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐに等しい。
　本実施の形態のプローブピン１ｊの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
　本実施の形態のプローブピン１ｊでは、第１端面３２及び第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。接続部材３０ｉとプランジャ１０ｇとの間の第１接触部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部と第３端部１２ｆに含まれる第２球面の一部との間の接触部である。そのため、接続部材３０ｉとプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｊは、長い寿命を有する。
　本実施の形態のプローブピン１ｊでは、接続部材３０ｉは、第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３を含む第２サブ接続部材４０ｊとを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１球面の一部を含む第１端面３２と、第２サブ接続部材４０ｊに点接触する第３端面３８とを含む。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。そのため、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｊは、長い寿命を有する。
　本実施の形態のプローブピン１ｊでは、第２サブ接続部材４０ｊは、第１サブ接続部材３１ｉの第３端面３８に含まれる第２球面の一部に接触する第３球面の一部を含む。第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部は、第１サブ接続部材３１ｉに含まれる第２球面の一部と第２サブ接続部材４０ｊに含まれる第３球面の一部との間の接触部である。そのため、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｊは、長い寿命を有する。
　今回開示された実施の形態１－７及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。矛盾のない限り、今回開示された実施の形態１－７及びそれらの変形例の少なくとも２つを組み合わせてもよい。本発明の範囲は、上記した説明ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
　１，１ｂ，１ｃ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈ，１ｉ，１ｊ　プローブピン、３，３ｃ　筒体、４　第１開口、５　第１端部、６　第２端部、７，７ｃ　第１凸部、８　第２凸部、９　内壁、１０，１０ｂ，１０ｆ，１０ｇ　プランジャ、１１　接触端子部、１２，１２ｆ　第３端部、１３，１３ｂ　プランジャ本体部、１４　ネック部、１５，１５ｆ　ヘッド部、１６　第１らせん溝、１７　第２らせん溝、１８　ねじられた平板、１９　プランジャサブ部材、２０　コイルバネ、２１　第４端部、３０，３０ｅ，３０ｆ，３０ｉ，３０ｊ　接続部材、３１，３１ｅ，３１ｆ，３１ｉ，３１ｊ　第１サブ接続部材、３２，３２ｆ，３２ｊ　第１端面、３３，３３ｅ，３３ｆ，３３ｉ　第２端面、３４　凹部、３５　側面、３６　突出部、３８　第３端面、４０，４０ｊ　第２サブ接続部材、４１，４１ｊ　第４端面、５０，５２　導電性接合部材、６０　第１の治具、６１，６４　凹部、６３　第２の治具。

Claims (13)

  1. 　開口を有する第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部とを有する筒体と、
    　接触端子部と、前記接触端子部とは反対側の第３端部とを有するプランジャとを備え、前記第３端部は前記筒体に収容され、かつ、前記接触端子部は前記第１端部から露出しており、前記プランジャは前記筒体に対して回転しながら前記筒体の長手方向に移動可能に構成されており、さらに、
    　前記プランジャを前記第１端部に向けて付勢するコイルバネを備え、前記コイルバネは前記第２端部と前記第３端部との間に配置され、前記コイルバネは、前記第３端部側の第４端部を有し、さらに、
    　前記第３端部と前記第４端部とを接続する接続部材とを備え、
    　前記接続部材は、前記第３端部に面する第１端面と、前記第４端部に面する第２端面とを有し、
    　前記第１端面は前記第３端部に点接触しており、
    　前記第３端部及び前記第１端面の少なくとも１つは、前記第３端部と前記第１端面との間の第１接触部において、第１球面の一部を含み、
    　前記第２端面は、前記第４端部における前記コイルバネの内径及び外径を拡げないように構成されている、プローブピン。
  2. 　前記第１端面は、前記第１接触部において、前記第１球面の前記一部を含み、
    　前記第３端部は、前記第１接触部において、第１平面を含む、請求項１に記載のプローブピン。
  3. 　前記第１端面は、前記第１接触部において、第１平面を含み、
    　前記第３端部は、前記第１接触部において、前記第１球面の前記一部を含む、請求項１に記載のプローブピン。
  4. 　前記第１端面及び前記第３端部は、前記第１接触部において、前記第１球面の前記一部を含む、請求項１に記載のプローブピン。
  5. 　前記接続部材は、前記第１端面を含む第１サブ接続部材と、前記第２端面を含む第２サブ接続部材とを含み、
    　前記第１サブ接続部材は、前記第１球面の前記一部を含む前記第１端面と、前記第２サブ接続部材に点接触する第３端面とを含み、
    　前記第３端面は、前記第１サブ接続部材と前記第２サブ接続部材との間の第２接触部において、第２球面の一部を含む、請求項２または請求項４に記載のプローブピン。
  6. 　前記第２サブ接続部材は、前記第２球面の前記一部に接触する第３球面の一部を含む、請求項５に記載のプローブピン。
  7. 　前記第２端面は、前記コイルバネの前記第４端部を収容する凹部を含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のプローブピン。
  8. 　前記凹部の深さは、前記コイルバネのピッチ以上である、請求項７に記載のプローブピン。
  9. 　前記凹部の深さは、前記コイルバネのピッチの２倍以上である、請求項７に記載のプローブピン。
  10. 　前記第２端面は、少なくとも前記内径より内側から前記外径より外側まで延在する第２平面を含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のプローブピン。
  11. 　前記接続部材は、前記第２平面から突出しかつ前記コイルバネ内に配置された突出部をさらに含み、
    　前記突出部の直径は前記コイルバネの前記内径よりも小さい、請求項１０に記載のプローブピン。
  12. 　前記突出部の側面に設けられた１つ以上の窪みに前記コイルバネの一部が収容されている、請求項１１に記載のプローブピン。
  13. 　前記第４端部は、導電性接合部材を用いて前記第２端面に接合されている、請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載のプローブピン。
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