WO2017174540A1 - Foup-messkammer - Google Patents

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WO2017174540A1
WO2017174540A1 PCT/EP2017/057917 EP2017057917W WO2017174540A1 WO 2017174540 A1 WO2017174540 A1 WO 2017174540A1 EP 2017057917 W EP2017057917 W EP 2017057917W WO 2017174540 A1 WO2017174540 A1 WO 2017174540A1
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WO
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gas
foup
purge
measuring system
sensor
Prior art date
Application number
PCT/EP2017/057917
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English (en)
French (fr)
Inventor
Martin Bachlechner
Nadja Erler-Lohse
Cornelius Günther
Original Assignee
Fabmatics Gmbh
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Publication date
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Priority to US16/091,532 priority Critical patent/US10847396B2/en
Priority to SG11201808803QA priority patent/SG11201808803QA/en
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
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    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
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    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component

Definitions

  • the subject of the present invention is a purge measurement system for FOUPs which allows the processes running in the FOUPs to be monitored, controlled, regulated and documented during the purge processes as well.
  • the production of semiconductor chips may take several months for complex components. During this product turnaround time, the wafers are processed in a variety of tools.
  • the throughput time is not only composed of the process and transport times but also of the times between the processing steps in which the wafers have to wait for the next processing step.
  • wafer processing processing
  • wafer processing must be documented in detail in order to meet quality assurance requirements.
  • the conditions under which the wafers are stored between individual processing steps are therefore also of central importance. Even at rest, depending on the environmental conditions, chemical and physical changes, especially on the wafer surface, take place. As a result, storage conditions must also be defined and monitored.
  • the wafers are combined into units (lots - usually 25 wafers) and moved in transport containers. While in older semiconductor factories (Fabs) the transport of these containers is often done manually and the containers were simple plastic enclosures with insert compartments for the wafers, these designs no longer meet current requirements. According to the state of the art, the wafers are therefore transported and stored in FOUPs (Front Opening Unified Pod). In these FOUPs there are also bays for receiving the wafers. In addition, however, a FOUP is machine-transportable. The opening and closing of the front door, as well as the removal and insertion of the wafers are done by machine.
  • FOUPs Front Opening Unified Pod
  • Suitable purge gases are inert gases, preferably argon or nitrogen.
  • XCDA Extreme Clean Dry Air
  • FOUP nests are understood as meaning all locations of FOUPs which serve for intermediate storage or flushing of the wafers with purge gases, without being part of a tool. FOUP nests do not necessarily have to hang down from the clean room ceiling.
  • the transport of the FOUPs is done by own transport devices. In the load ports of the tools, the FOUPs are unloaded, the wafers are processed and then loaded back into the FOUPs.
  • the wafers are not processed in the FOUP nests of the intermediate storage facility or the intermediate storage facilities, but only flushed with inert gas. This rinsing is called purgen.
  • the intermediate storage facilities are often designed as FOUP nests suspended from the clean room ceiling on struts. When depositing the FOUPs in the nests, they are placed on floor plates that have guide pins (kinematic coupling pin) and gas connections. These gas connections engage positively and sealingly into corresponding counterparts in the bottoms of the FOUPs. In this way, the gas flow is enabled.
  • the gas supply system can also be installed overhead or on the ground or, since clean room floors are usually perforated raised floors, in the space between the perforated floor and the clean room underbody.
  • FOUPs The types of FOUPs, their bottom plates and the FOUP nests vary depending on the manufacturer.
  • DE 10 2013 222 900 A1 describes a flexible purge management system that can control and regulate the rinsing processes in several FOUPs independently of one another via a multi-layered controller structure.
  • the gas supply and the monitoring of the gas flow are described.
  • it is intended to adapt the FOUP nests by means of removable adapter plates to different FOUP designs.
  • the gas leaving the FOUPs is optionally released into the clean room without further measures. This is possible because they are inert gases.
  • the actual states in the FOUPs are not captured by this solution.
  • US 2001/0 042 439 A1 describes a purge system for standard pods (corresponding in function to the FOUPs).
  • a number of sensors are provided in the gas supply line to the FOUP. It is further proposed to arrange sensors for moisture, oxygen and particles in the gas stream sucked out of the FOUP.
  • a bypass of the gas supply from the supply line directly to the sensors of the output line is provided.
  • the system is permanently installed in the respective FOUP nest or in a system for flushing several FOUPs.
  • the purge measuring system according to the invention has
  • At least one free / busy sensor for the FOUP nest o At least one free / busy sensor for the FOUP nest, o one controllable valve in the gas supply line (several are optional)
  • the free / busy sensor for the FOUP nest detects if a FOUP has been placed in the FOUP nest.
  • the detection is preferably mechanical (pressure switch) or by means of RFID read chip.
  • Other measuring methods, such as bar code readers, etc., are known from the prior art.
  • controllable valve As a controllable valve, a technical solution is selected according to the prior art. In addition to the clean room suitability, the gas quantities to be passed through, further valve-specific design criteria and the electrical connection values must be considered as selection criteria.
  • the controllable valve is in the flow direction at least one pressure sensor (which is used to determine a differential pressure for gas discharge) upstream.
  • the gas pressure sensors must be suitable for clean rooms and correspond to the expected pressures in their measuring ranges.
  • the person skilled in the art selects corresponding sensors from the commercially available assortment according to the prior art.
  • the humidity or oxygen content sensors are also selected by the person skilled in the art from the commercially available assortment according to the prior art.
  • gas flow sensors, pressure monitoring switches in the purge gas supply line are provided in the form of limit switches for positive and negative pressure and particulate filters before each gas inlet into a FOUP.
  • the particle filters are preferably arranged directly in front of the gas inlet in the FOUP, so that no further sensors (only pipeline of the gas supply line) are arranged between the particle filter and the gas inlet.
  • further sensors preferably humidity and oxygen sensors
  • such optional sensors correspond to similar sensors (which sense the same quantity) in the gas discharge. This advantageously allows differential measurements between gas supply and discharge.
  • both a moisture sensor and an oxygen sensor are optionally arranged in the gas discharge.
  • a particle sensor is arranged in the gas outlet.
  • the particle sensor is preferably arranged directly behind the gas outlet of the FOUP, so that there are no further sensors between the particle sensor and the gas outlet.
  • a pressure sensor which is preferably designed as a differential pressure sensor between Gaszu- and gas discharge, provided. Of the Differential pressure sensor then replaces the gas pressure sensor.
  • the differential pressure between gas supply and discharge can also be determined mathematically (preferably by means of a data processing device) from the measured values of separate sensors in the gas supply and discharge lines.
  • the differential pressure indication is used to control the controllable valve.
  • a flow sensor flow meter with analog output
  • temperature sensors are optionally provided in gas supply and / or discharge. After passing through the sensors at the gas discharge, the gas from the FOUP is preferably discharged into the clean room. Alternatively, the transfer to a gas collection system is possible if appropriate connection options exist.
  • the sensors can perform one-time single measurements as well as one-digit measurements at specified time intervals or according to measurement regimes. A continuous measurement can also be made (depending on the sensor type). So it is particularly possible to keep the differential pressure between gas supply and discharge during the purge constant and thus to ensure a uniform gas flow through the FOUP. In the preferred embodiment with flow meters, this is also possible via the measured values of this sensor, so that under certain circumstances the use of a pressure sensor in the gas discharge can be dispensed with.
  • the sensors and other components for carrying out the measuring system according to the invention are arranged on the underside or below an adapter plate for FOUP nests.
  • This adapter plate can be detachably or non-detachably installed in a FOUP nest and there implement the implementation of the existing gas supply and - derivation of the FOUP nest on the gas supply and discharge of FOUPs.
  • the integration of such an adapter plate in the gas supply and possibly - discharge system of a purge management system is provided.
  • the sensors and optionally a data processing device are arranged on the adapter plate (preferably the underside thereof).
  • the data acquired by the measuring system according to the invention can also be transmitted by wire or wirelessly to an existing data processing system.
  • the connection takes place, for example, by means of the procedure described in DE 10 2013 222 900 A1.
  • the power supply also takes place using methods from the prior art (for example, wired and coupling via plug-in connectors).
  • data connection and power supply can be routed through the same cables.
  • Particularly preferred is the use of a CAN bus network for data transmission.
  • a local data processing device which processes the sensor data and control tasks (eg., The control valves to maintain a predetermined differential pressure) perceives.
  • an intermediate storage of sensor measured values and / or calculation results of the data processing device is possible.
  • the communication with a central or other superordinate data processing device can be transmitted to this local data processing device. From higher-level data processing equipment, program changes and parameter specifications can then also be transmitted.
  • the local data processing device can perform tasks of the purge nest controller or the purge bay controller within the meaning of DE 10 2013 222 900 A1.
  • the purge measurement system according to the invention makes it possible to obtain measurement data in the gas stream which emerges from the FOUP.
  • the measuring frequency can be adapted to the intensity of the change in the measurement results, so that it is measured more frequently with the beginning of the gas purging than if stable flow conditions have been established by the FOUP, which must be monitored less frequently.
  • an optional oxygen sensor in the gas discharge allows statements to be made about the tightness of the FOUPs.
  • the air present in the FOUP is forced out of the FOUP by the purge gas (preferably nitrogen or argon).
  • the purge gas preferably nitrogen or argon.
  • the further course of the oxygen content in the FOUP can provide information about the tightness of the FOUP as well as about oxygen-emitting processes.
  • An optional humidity sensor makes it possible to detect the water vapor content of the gas leaving the FOUP. This advantageously makes it possible to assess the quality of previous drying processes.
  • the oxygen sensor and / or the humidity sensor (both or one of the sensors) are arranged in their own common measuring chamber, through which the gas emerging from the FOUP is flowed through.
  • the common measuring chamber has a gas supply line via which the gas leaked from the FOUP is supplied and a gas discharge via which the gas leaves the measuring chamber and, if necessary, is passed on to further sensors or into the clean room.
  • the common measuring chamber is designed such that the gas passing through the measuring chamber flows around the sensor (s).
  • contamination on the wafers can be detected. This is due to a large particle content in the exhaust air, which decreases with time, recognizable. In particular, it can be recognized when the wafers are contaminated in a tool.
  • a comparison of the particulate levels in the exhaust air of the purge step before the tool and the purge step after the tool can provide information here.
  • the measured values of the sensors and the control variables derived therefrom are stored or otherwise supplied to documentation.
  • Fig. 1 shows schematically a preferred simple embodiment of the purge measuring system according to the invention.
  • the purge gas nitrogen
  • the purge gas enters the FOUP 1 via the nitrogen inlet 1 1 and leaves it again via the nitrogen outlet 12.
  • a pressure sensor 33 as well as a humidity sensor 34 and an oxygen sensor 35 are arranged in the nitrogen outlet 22. Subsequently, the nitrogen leaves the system via the nitrogen outlet 35.
  • the measured values of the sensors are fed to the data processing device 3.
  • the pressure sensors 33 From the measured values of the pressure sensors 33, this determines the differential pressure between the nitrogen inlet 21 and the nitrogen outlet 22 and generates control signals for the control valve 31.
  • the measured values and the control variables and differential values derived therefrom are forwarded via CAN-BUS 4.
  • default values for the differential pressure and other values as well as further control data are transmitted via the CAN bus 4.
  • the idle / busy sensor that provides information about the occupancy state of the FOUP nest is not shown.
  • Fig. 2 shows the device according to the invention in the preferred embodiment with a common measuring chamber 26 for humidity and oxygen sensors 34, 35.
  • the common measuring chamber 26 can be acted upon via the bypass line 25 with purge gas.
  • the two three-way valves 36 and 37 are set so that the gas path to the FOUP nest is closed and opened to the common measuring chamber 26. The control of the two three-way valves 36, 37 via the data processing device. 3
  • Fig. 3 shows schematically the upper part 5 of an adapter plate, on which a FOUP is placed.
  • the insertion aids 51 ensure that the FOUP is positioned securely over the guide pins 52 of the adapter plate during placement.
  • the guide pins 52 which engage in corresponding openings in the underside of the FOUP, prevent inadvertent displacement.
  • it is ensured by the guide pins 52 that the corresponding gas ports 53 of adapter plate and FOUP sealingly seated on each other.
  • the state of the adapter plate and the electronics arranged underneath can be monitored by means of the status LEDs 39.
  • the RFID identification chip of a mounted FOUPs can be read out.
  • the cover is preferably made of plastic material, so that, in contrast to the remaining upper cover 5 of the adapter plate, which is made of metal, it is permeable to the radio waves of the RFID chip.
  • the electronics and the measuring chamber are arranged on a lower part (not shown).
  • the upper part 5 and the lower part are connected to each other via a housing border (not shown).
  • the height of the adapter plate is approx. 3 cm.
  • Fig. 4 shows by way of example a circuit board 6, which is arranged below the upper part of the adapter plate in its interior. Schematically, the connections for power supply 62, the CAN-BUS interface 63, the flow meter interface 64, the free / busy sensor 65 and the valve control 66 are shown on the left side of the board. In the FOUP measuring chamber 26, a humidity sensor and an oxygen sensor (both not shown) are arranged. The CAN-BUS addressing 61 is used to set the address of the board 6 within the CAN-BUS network. Due to the direct integration of the measuring chamber 26 on the board 6 is advantageously achieved a low design and interchangeability of the entire assembly.
  • FIG. 1 A preferred embodiment of FIG. 1 is implemented with the following components:
  • the nitrogen feed (NW 12mm) 2 feeds 99.95% pure nitrogen as purge gas into the nitrogen feed line 21.
  • the controllable valve 31 controls the gas flow. In the nitrogen supply line 21.
  • the gas flow is detected by the flow meter 32.
  • the pressure measurement takes place by means of the pressure sensor 33.
  • the nitrogen passes through the particle filter 24 behind the pressure sensor 33.
  • the purging gas enters the FOUP 1 via the gas inlet 11 and leaves it via the gas outlet 12.
  • the nitrogen discharge 22 directs the nitrogen to the pressure sensor 33. From there, the nitrogen reaches the oxygen sensor 34 and the humidity sensor 35.
  • the measured values of all sensors are combined in the data processing unit (embedded controller).
  • the data processing unit is connected via a J45 connection to an Ethernet, which transports data and calculation results to a central data processing device and from there introduces control commands and programs.
  • the connection is realized as a CAN bus.
  • the flow which is to be realized by the FOUP is specified (stored in the program or manual entry).
  • the data processing device controls the controllable valve 31 until the flow meter (flow meter) detects the predetermined value. In conjunction with the measured value of the pressure sensor 33 arranged at the gas inlet and the measured value of the flow meter, the tightness of the FOUP can be deduced (leakage detection).

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Abstract

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Purge-Messsystem für FOUPs, die in einem FOUP-Nest positioniert sind. Neben mindestens einem Frei/Besetzt-Sensor für das FOUP-Nest, ist mindestens eine Gaszu- und eine Gasableitung zur Zu- bzw. Abführung von Spülgas vorgesehen. In jeder Gaszuleitung sind mindestens ein Drucksensor, ein Flussmesser und ein regelbares Ventil angeordnet. Das Ventil wird aufgrund der Messergebnisse von Drucksensor und Flussmesser geregelt. In jeder Gasableitung sind mindestens ein Feuchtesensor und/oder ein Sauerstoffsensor vorgesehen.

Description

FOUP-Messkammer
Die vorliegende Erfindung hat ein Purge-Messsystem für FOUPs zum Gegenstand, das es gestattet, die in den FOUPs ablaufenden Prozesse auch während der Purge-Vorgänge zu überwachen, zu steuern, zu regeln und zu dokumentieren.
Die Produktion von Halbleiterchips dauert bei komplexen Bausteinen unter Umständen mehrere Monate. Während dieser Produktdurchlaufzeit werden die Wafer in einer Vielzahl von Tools prozessiert. Die Durchlaufzeit setzt sich nicht nur aus den Prozess- und Transportzeiten zusammen sondern auch aus den Zeiten zwischen den Bearbeitungsschritten, in denen die Wafer auf den nächsten Bearbeitungsschritt warten müssen.
Während des gesamten Durchlaufes ist die Waferbearbeitung (Prozessierung) detailliert zu dokumentieren, um die Anforderungen der Qualitätssicherung erfüllen zu können. Neben der reinen Bearbeitung der Wafer sind somit auch die Bedingungen, unter denen die Wafer zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten gelagert werden, von zentraler Bedeutung. Auch im Ruhezustand finden, abhängig von den Umgebungsbedingungen, chemische und physikalische Veränderungen, insbesondere an der Waferoberfläche, statt. Dies führt dazu, dass auch die Lagerbedingungen zu definieren und zu überwachen sind.
Dafür ist eine Reihe von technischen Lösungen zur Erfüllung dieser vielfältigen und teilweise divergierenden Anforderungen bekannt.
In modernen Fabriken der Halbleiterproduktion (Chipproduktion) werden die Wafer zu Einheiten (Lots - meist 25 Wafer) zusammengefasst und in Transportbehältern bewegt. Während in älteren Halbleiterfabriken (Fabs) der Transport dieser Behälter häufig manuell erfolgt und die Behälter einfache Plastikgehäuse mit Einschubfächern für die Wafer waren, genügen diese Konstruktionen aktuellen Anforderungen jedoch nicht mehr. Nach dem Stand der Technik werden die Wafer daher in FOUPs (Front Opening Unified Pod) transportiert und gelagert. In diesen FOUPs befinden sich ebenfalls Einschübe zur Aufnahme der Wafer. Darüber hinaus ist ein FOUP jedoch maschinentransportierbar. Auch das Öffnen und Verschließen der Fronttür, sowie die Entnahme und das Einlegen der Wafer, erfolgen maschinell.
Unter Einsatz der FOUPs werden vollautomatisierte Produktionslinien realisiert, in denen die FOUPs automatisch von einem Tool zum nächsten transportiert werden oder aber von einem Tool zu einem Zwischenlager bzw. aus diesem zu einem weiteren Tod bewegt werden. In dem Zwischenlager sind definierte Lagerbedingungen zu schaffen, die insbesondere verhindern, dass unterschiedlich lange Lagerdauern zu unterschiedlichen Oberflächeneigenschaften der Wafer führen. Es hat sich daher als vorteilhaft erwiesen, die Oberflächen derWafer mit inerten Gasen zu spülen, um Reste von Sauerstoff aus den FOUPs zu verdrängen und so Oxidations- und Diffusionsprozesse zu verhindern oder wenigstens stark zu begrenzen. Als geeignete Spülgase kommen inerte Gase, vorzugsweise Argon oder Stickstoff, zum Einsatz. Für Einsatzgebiete, die keine Sauerstofffreiheit erfordern, wird auch XCDA (Extreme Clean Dry Air) bspw. von der Firma Entegris, als Spülgas eingesetzt. XCDA wird insbesondere in Reinräumen beschränkter Größe eingesetzt, da dort ein Anstieg der Konzentration inerter Gase zu einer Verdrängung von Sauerstoff führen könnte, wodurch die Arbeitssicherheit nicht mehr gewährleistet sein könnte. Die Stellplätze der FOUPs in Zwischenlagern, die meist an der Reinraumdecke befestigt sind, werden FOUP-Nester genannt. Im Folgenden werden unter FOUP-Nestern alle Stellplätze von FOUPs verstanden, die der Zwischenlagerung bzw. dem Spülen derWafer mit Spülgasen dienen, ohne Bestandteil eines Tools zu sein. FOUP-Nester müssen also nicht zwangsläufig von der Reinraumdecke herabhängen.
Der Transport der FOUPs erfolgt durch eigene Transportvorrichtungen. In den Load-Ports der Tools werden die FOUPs entladen, die Wafer der Behandlung zugeführt und danach wieder in die FOUPs geladen. In den FOUP-Nestern des Zwischenlagers bzw. der Zwischenlager werden die Wafer nicht prozessiert, sondern lediglich mit Inertgas gespült. Dieses Spülen wird als Purgen bezeichnet. Die Zwischenlager sind häufig als an Streben von der Reinraumdecke herabhängende FOUP-Nester ausgebildet. Beim Absetzen der FOUPs in den Nestern werden diese auf Bodenplatten aufgesetzt, die über Führungsstifte (kinematic coupling pin) und Gasanschlüsse verfügen. Diese Gasanschlüsse greifen formschlüssig und dichtend in entsprechende Gegenstücke in den Böden der FOUPs ein. Auf diese Weise wird der Gaszufluss ermöglicht. Das Gaszuleitungssystem kann ebenfalls über Kopf oder aber am Boden bzw., da Reinraumböden meist gelochte Doppelböden sind, im Zwischenraum zwischen dem gelochten Boden und dem Reinraumunterboden, installiert werden.
Die Bauformen der FOUPs, ihrer Bodenplatten und der FOUP-Nester variieren in Abhängigkeit vom Hersteller.
Die Tools der Halbleiterindustrie in den Reinräumen werden aufgrund der fortschreitenden technischen Entwicklung häufig ausgewechselt. Neu installierte Tools bringen unter Umständen bereits eigene FOUP-Nester mit, die in den Positionen der Anschlüsse der Basisplatten nicht mit denen der bisher verwendeten übereinstimmen.
Zur Anpassung der FOUP-Nester an die im Produktionsprozess eingesetzten FOUPS wurde in der US 2014/0360531 A1 vorgeschlagen, einen Adapter einzusetzen. Dieser Adapter soll wechselbar sein. Er weist zwei Gasports auf, die der Zu- und Ableitung des Spülgases dienen. Ein Ventil am Zuleitungs-Gasport kann den Gasfluss steuern. Die Gasableitung erfolgt durch ein Ableitungsventil, welches das den FOUP verlassende Gas aufnimmt. Der Adapter setzt somit lediglich die Anschlüsse des FOUP-Nestes auf die andersgelagerten Anschlüsse des FOUPs um und gibt mittels der Ventile die Gaszu- bzw. -ableitung frei, sobald ein FOUP auf dem Adapter erkannt wird. Nähere Informationen über die Zustände und Prozesse im FOUP werden nicht erfasst.
Die DE 10 2013 222 900 A1 beschreibt ein flexibles Purge Management System, dass über eine mehrschichtige Controllerstruktur die Spülprozesse in mehreren FOUPs unabhängig voneinander steuern und regeln kann. Insbesondere die Gaszufuhr und die Überwachung des Gasflusses werden beschrieben. Weiterhin vorgesehen ist es, die FOUP-Nester mittels wechselbarer Adapterplatten an abweichende FOUP-Bauformen anzupassen. Das aus den FOUPs austretende Gas wird optional ohne weitere Maßnahmen in den Reinraum entlassen. Dies ist möglich, da es sich um Inertgase handelt. Die tatsächlichen Zustände in den FOUPs werden auch bei dieser Lösung nicht erfasst.
In der US 2001/0 042 439 A1 wird ein Purge-System für Standard-Pods (entsprechen in ihrer Funktion den FOUPs) beschrieben. Dabei ist eine Reihe von Sensoren in der Gaszuleitung zum FOUP vorgesehen. Es wird weiterhin vorgeschlagen, auch in dem aus dem FOUP abgesaugten Gasstrom Sensoren für Feuchte, Sauerstoff und Partikel anzuordnen. Auch ein Bypass der Gasführung von der Zuführungsleitung direkt auf die Sensoren der Ausgangsleitung ist vorgesehen. Das System wird fest in dem jeweiligen FOUP-Nest oder in einem System zur Spülung mehrerer FOUPs installiert.
Es stellt sich somit die Aufgabe, die in den FOUPs ablaufenden Prozesse auch während der Purge-Vorgänge zu überwachen, zu steuern, zu regeln und zu dokumentieren. Als Teilaufgabe ist vorzusehen, dass vorhandene Anlagen mit der erfindungsgemäßen fortgeschrittenen Purge-Lösung nachgerüstet werden können.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabenstellung mittels eines Purge-Messsystems nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den rückbezogenen Unteransprüchen offenbart.
Das erfindungsgemäße Purge-Messsystem weist
o Mindestens einen Frei/Besetzt-Sensor für das FOUP-Nest, o ein steuerbares Ventil in der Gaszuleitung (optional sind mehrere
steuerbare Ventile möglich, wenn mehrere Gaszuleitungen vorliegen), o mindestens einen Gasdrucksensor je Gaszuleitung, o mindestens einen Sensor für Feuchte oder Sauerstoffgehalt in der
Gasableitung
auf.
Der Frei/Besetzt-Sensor für das FOUP-Nest erkennt, ob ein FOUP im FOUP-Nest platziert wurde. Die Erkennung erfolgt bevorzugt mechanisch (Druckschalter) oder mittels RFID- Lesechip. Andere Messmethoden, wie Barcodeleser etc., sind aus dem Stand der Technik bekannt.
Als steuerbares Ventil wird eine technische Lösung nach dem Stand der Technik gewählt. Als Auswahlkriterien sind neben der Reinraumtauglichkeit, die durchzusetzenden Gasmengen, weitere ventiltypische Auslegungskriterien und die elektrischen Anschlusswerte zu berücksichtigen. Das steuerbare Ventil ist in Strömungsrichtung gesehen mindestens einem Drucksensor (der zur Bestimmung eines Differenzdruckes zur Gasableitung herangezogen wird) vorgeschaltet.
Die Gasdrucksensoren müssen, wie alle anderen Bauteile, reinraumtauglich sein und in ihren Messbereichen den zu erwartenden Drücken entsprechen. Der Fachmann wählt entsprechende Sensoren aus dem handelsüblichen Sortiment nach dem Stand der Technik aus.
Auch die Sensoren für Feuchte oder Sauerstoffgehalt werden vom Fachmann aus dem handelsüblichen Sortiment nach dem Stand der Technik ausgewählt.
Optional sind Gasflusssensoren, Drucküberwachungsschalter in der Purgegas-Zuleitung in Form von Grenzwertschaltern für Über- und für Unterdruck sowie Partikelfilter vor jedem Gaseinlass in ein FOUP vorgesehen. Die Partikelfilter sind bevorzugt unmittelbar vor dem Gaseinlass in den FOUP angeordnet, so dass keine weiteren Sensoren (lediglich Rohrleitung der Gaszuleitung) zwischen Partikelfilter und Gaseinlass angeordnet sind. Ferner ist es optional möglich, auch weitere Sensoren (vorzugsweise Feuchte und Sauerstoffsensoren) in der Zuleitung anzuordnen. Besonders bevorzugt korrespondieren derartige optionale Sensoren mit gleichartigen (dieselbe Messgröße erfassenden) Sensoren in der Gasableitung. Dies ermöglicht vorteilhaft Differenzmessungen zwischen Gaszu- und -ableitung.
Weiterhin sind optional in der Gasableitung sowohl ein Feuchte- als auch ein Sauerstoffsensor angeordnet. Optional ist ein Partikelsensor in der Gasableitung angeordnet. Der Partikelsensor ist vorzugsweise unmittelbar hinter dem Gasauslass des FOUP angeordnet, so dass keine weiteren Sensoren zwischen Partikelsensor und Gasauslass vorhanden sind. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist ein Drucksensor, der vorzugsweise als Differenzdrucksensor zwischen Gaszu- und Gasableitung ausgeführt ist, vorgesehen. Der Differenzdrucksensor ersetzt dann den Gasdrucksensor. Optional kann der Differenzdruck zwischen Gaszu- und -ableitung auch rechnerisch (vorzugsweise mittels Datenverarbeitungsvorrichtung) aus den Messwerten von getrennten Sensoren in den Gaszu- und -ableitungen bestimmt werden. Bevorzugt wird die Differenzdruckangabe genutzt, um das steuerbare Ventil anzusteuern. Besonders bevorzugt wird in der Gaszuleitung ein Flusssensor (Flow-Meter mit Analog-Ausgang) eingesetzt, der das dem FOUP zugeführte Gasvolumen erfasst. Weiterhin optional sind in Gaszu- und/oder -ableitung Temperatursensoren vorgesehen. Nach dem Durchlaufen der Sensoren an der Gasableitung wird das Gas aus dem FOUP bevorzugt in den Reinraum entlassen. Alternativ ist die Übergabe an ein Gassammeisystem möglich, falls entsprechende Anschlussmöglichkeiten bestehen.
Die Sensoren können sowohl einmalige Einzelmessungen als auch Einzehnessungen in vorgegebenen Zeitabständen oder nach Messregimen durchführen. Auch eine kontinuierliche Messung kann vorgenommen werden (abhängig vom Sensortyp). So ist es insbesondere möglich, den Differenzdruck zwischen Gaszu- und -ableitung während des Purgens konstant zu halten und so einen gleichmäßigen Gasstrom durch den FOUP zu gewährleisten. Dies ist in der bevorzugten Ausführungsform mit Flow-Meter auch über die Messwerte dieses Sensors möglich, so dass unter Umständen auf den Einsatz eines Drucksensors in der Gasableitung verzichtet werden kann.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Sensoren und sonstigen Bauelemente zur Ausführung des erfindungsgemäßen Messsystems an der Unterseite bzw. unterhalb einer Adapterplatte für FOUP-Nester angeordnet. Diese Adapterplatte kann lösbar oder unlösbar in einem FOUP-Nest eingebaut sein und dort die Umsetzung der vorhandenen Gaszu- und - ableitung des FOUP-Nestes auf die Gaszu- und -ableitung des FOUPs realisieren. Insbesondere ist die Integration einer solchen Adapterplatte in das Gaszu- und ggf. - ableitungssystem eines Purge-Managementsystems vorgesehen. Besonders bevorzugt sind die Sensoren und optional eine Datenverarbeitungsvorrichtung an der Adapterplatte (vorzugsweise deren Unterseite) angeordnet.
Auch die von dem erfindungsgemäßen Messsystem erfassten Daten können drahtgebunden oder drahtlos in ein vorhandenes Datenverarbeitungssystem übertragen werden. Die Anbindung erfolgt bspw. mittels der in der DE 10 2013 222 900 A1 beschriebenen Vorgehensweise. Die Energieversorgung erfolgt ebenfalls mit Methoden aus dem Stand der Technik (bspw. drahtgebunden und Ankopplung über Steckverbinder). Optional können Datenverbindung und Energiezuführung über dieselben Kabel geführt werden. Besonders bevorzugt ist die Nutzung eines CAN-Bus-Netzwerkes zur Datenübertragung.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist eine lokale Datenverarbeitungsvorrichtung vorgesehen, die die Sensordaten aufbereitet und Steuerungsaufgaben (bspw. der Regelventile zur Aufrechterhaltung eines vorgegebenen Differenzdruckes) wahrnimmt. Optional ist eine Zwischenspeicherung von Sensormesswerten und/oder Berechnungsergebnissen der Datenverarbeitungsvorrichtung möglich. Weiterhin können dieser lokalen Datenverarbeitungsvorrichtung die Kommunikation mit einer zentralen oder anderen übergeordneten Datenverarbeitungseinrichtungen übertragen werden. Von übergeordneten Datenverarbeitungseinrichtungen können dann auch Programmänderungen und Parametervorgaben übertragen werden. Insbesondere kann die lokale Datenverarbeitungsvorrichtung Aufgaben des Purge-Nest-Controllers oder des Purge-Bay- Controllers im Sinne der DE 10 2013 222 900 A1 übernehmen.
Das erfindungsgemäße Purge-Messsystem ermöglicht es, Messdaten in dem Gasstrom zu gewinnen, der aus dem FOUP austritt. So kann vorteilhaft eine Aussage über die Verhältnisse im FOUP getroffen werden. Die Messhäufigkeit kann an die Stärke der Änderung der Messergebnisse angepasst werden, so dass mit Beginn der Gasspülung häufiger gemessen wird, als wenn sich stabile Strömungsverhältnisse durch den FOUP eingestellt haben, die seltener überwacht werden müssen.
Insbesondere gestattet es ein optionaler Sauerstoffsensor in der Gasableitung Aussagen über die Dichtheit des FOUPs zu erhalten. Nach dem Aufsetzen des FOUPs in dem FOUP-Nest und dem Beginn der Gasspülung wird die Im FOUP vorhandene Luft durch das Spülgas (bevorzugt Stickstoff oder Argon) aus dem FOUP herausgedrückt. Der weitere Verlauf des Sauerstoffgehaltes im FOUP kann sowohl über die Dichtheit des FOUPs als auch über sauerstoffabgebende Prozesse Aussagen liefern.
Ein optionaler Feuchtesensor gestattet es, den Wasserdampfgehalt des aus dem FOUP austretenden Gases zu erfassen. Dies ermöglicht es vorteilhaft, die Qualität vorhergehender Trocknungsprozesse zu beurteilen. In einer besonders bevorzugte Ausführungsform sind der Sauerstoffsensor und/oder der Feuchtesensor (beide oder einer der Sensoren) in einer eigenen gemeinsamen Messkammer angeordnet, die vom aus dem FOUP austretenden Gas durchströmt wird. Die gemeinsame Messkammer weist eine Gaszuleitung auf, über die das aus dem FOUP ausgetretene Gas zugeführt und eine Gasableitung auf, über die das Gas die Messkammer verlässt und ggf. zu weiteren Sensoren oder in den Reinraum geleitet wird. Die gemeinsame Messkammer ist so ausgeführt, dass das durch die Messkammer hindurchtretende Gas den bzw. die Sensoren umspült. Dies wird bspw. durch Strömungsleiteinrichtungen, eine besonders enge Messkammer, die keine anderen Gaswege als über die Sensoren frei lässt oder andere Maßnahmen der Zwangsführung erreicht, Besonders bevorzugt existiert eine Bypassschaltung mit zugehörigen Ventilen, die es ermöglicht, Spülgas in die Messkammer einzuleiten, ohne dass dieses den FOUP passieren müsste. Dies gestattet es, die gemeinsame Messkammer zu spülen und ggf. Sensorkalibrierungen vorzunehmen. Darüber hinaus werden Feuchteniederschläge oder ähnliche Anlagerungen die aus einem FOUP ausgetreten sind zuverlässig entfernt. Besonders bevorzugt wird die gemeinsame Messkammer gespült, wenn kein FOUP in dem FOUP-Nest abgesetzt ist. Der Spülvorgang der gemeinsamen Messkammer wird durch gesteuerte Betätigung der entsprechenden Ventile, vorzugsweise ebenfalls von der Datenverarbeitungsvorrichtung gesteuert.
Beim Vorhandensein eines optionalen Partikelsensors in der Gasableitung können Verschmutzungen auf den Wafern erkannt werden. Dies ist aufgrund eines großen Partikelgehaltes in der Abluft, der mit der Zeit abnimmt, erkennbar. Insbesondere kann erkannt werden, wenn die Wafer in einem Tool verunreinigt werden. Ein Vergleich der Partikelgehalte in der Abluft des Purge-Schrittes vor dem Tool und dem Purge-Schritt nach dem Tool kann hier Informationen liefern.
Bevorzugt werden die Messwerte der Sensoren und die daraus abgeleiteten Steuer- und Regelgrößen abgespeichert oder in sonstiger Weise einer Dokumentation zugeführt.
Figuren
Fig. 1 zeigt schematisch eine bevorzugte einfache Ausführungsform des erfindungsgemäßen Purge-Messsystem. Das Purge-Gas (Stickstoff) tritt über die Stickstoffeinspeisung 2 in die Zuleitung zum FOUP 1 ein. Dabei passiert es das Regelventil 31 , den Flussmesser 32 und den Druckmesser 33. Mitgeführte Partikel werden aus dem Spülgas mittels des Partikelfilters 24 entfernt. Das Purge-Gas tritt über den Stickstoffeinlass 1 1 in den FOUP 1 und verlässt diesen wieder über den Stickstoffauslass 12. In der Stickstoffableitung 22 sind ein Drucksensor 33 sowie ein Feuchtesensor 34 und ein Sauerstoffsensor 35 angeordnet. Anschließend verlässt der Stickstoff das System über den Stickstoffauslass 35. Die Messwerte der Sensoren werden der Datenverarbeitungsvorrichtung 3 zugeleitet. Diese ermittelt aus den Messwerten der Drucksensoren 33 den Differenzdruck zwischen Stickstoffzuleitung 21 und Stickstoffableitung 22 und generiert Steuersignale für das Regelventil 31 . Darüber hinaus werden die Messwerte und die daraus abgeleiteten Steuergrößen und Differenzwerte über den CAN-BUS 4 weitergeleitet. Über den CAN-Bus 4 werden darüber hinaus Vorgabewerte für den Differenzdruck und andere Werte sowie weitere Steuerdaten übertragen. Der Frei/Besetzt-Sensor, der Informationen über den Belegungszustand des FOUP-Nestes liefert, ist nicht dargestellt.
Fig. 2 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung in der bevorzugten Ausführungsform mit einer gemeinsamen Messkammer 26 für Feuchte- und Sauerstoffsensoren 34, 35. Die gemeinsame Messkammer 26 kann über die Bypassleitung 25 mit Spülgas beaufschlagt werden. Dazu werden die beiden Dreiwegeventile 36 und 37 so gestellt, dass der Gasweg zum FOUP-Nest verschlossen und zur gemeinsamen Messkammer 26 geöffnet ist. Die Steuerung der beiden Dreiwegeventile 36, 37 erfolgt über die Datenverarbeitungsvorrichtung 3.
Fig. 3 zeigt schematisch den oberen Teil 5 einer Adapterplatte, auf den ein FOUP aufgesetzt wird. Die Einführhilfen 51 sorgen dafür, dass der FOUP beim Aufsetzen sicher über den Führungsstiften 52 der Adapterplatte positioniert wird. Nach dem Absenken verhindern die Führungsstifte 52, die in korrespondierenden Öffnungen der Unterseite des FOUPs eingreifen, eine unbeabsichtigte Verschiebung. Darüber hinaus wird durch die Führungsstifte 52 gewährleistet, dass die korrespondierenden Gasanschlüsse 53 von Adapterplatte und FOUP dichtend aufeinander aufsitzen. Der Zustand der Adapterplatte und der unter dieser angeordneten Elektronik kann mittels der Status-LEDs 39 überwacht werden. Durch die Abdeckung 38 der RFID-Antenne kann der RFID-Kennungschip eines aufgesetzten FOUPs ausgelesen werden. Die Abdeckung besteht dabei vorzugsweise aus Kunststoffmaterial, so dass sie, im Gegensatz zu der restlichen oberen Abdeckung 5 der Adapterplatte, die aus Metall gefertigt ist, für die Funkwellen des RFID-Chips durchlässig ist. Unterhalb des oberen Teils 5 der Adapterplatte sind die Elektronik und die Messkammer auf einem unteren Teil angeordnet (nicht dargestellt). Der obere Teil 5 und der untere Teil sind über eine Gehäuseumrandung (nicht dargestellt) miteinander verbunden. Die Höhe der Adapterplatte beträgt ca. 3 cm.
Fig. 4 zeigt beispielhaft eine Platine 6, die unterhalb des oberen Teils der Adapterplatte in deren Innerem angeordnet ist. Schematisch sind an der linken Seite der Platine die Anschlüsse für Energieversorgung 62, das CAN-BUS-Interface 63, das Flussmesserinterface 64, des Frei/Belegt-Sensors 65 und der Ventilkontrolle 66 dargestellt. In der FOUP-Messkammer 26 sind ein Feuchtesensor und ein Sauerstoffsensor (beide nicht dargestellt) angeordnet. Die CAN-BUS-Adressierung 61 dient der Einstellung der Adresse der Platine 6 innerhalb des CAN- BUS-Netzwerkes. Durch die direkte Integration der Messkammer 26 auf der Platine 6 wird vorteilhaft eine niedrige Bauform und eine Wechselbarkeit der gesamten Baugruppe erreicht.
Ausführungsbeispiel
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 wird mit den folgenden Bauelementen ausgeführt:
Die Stickstoffeinspeisung (NW 12mm) 2 speist zu 99,95% reinen Stickstoff als Spülgas in die Stickstoffzuleitung 21 ein. Die Beschriebene Vorrichtung ist jedoch auch für den Einsatz von XCDA geeignet. Das regelbare Ventil 31 steuert den Gasfluss. In der Stickstoffzuleitung 21. Der Gasfluss wird mit dem Flussmesser 32 erfasst. Die Druckmessung erfolgt mittels des Drucksensors 33. Hinter dem Drucksensor 33 passiert der Stickstoff den Partikelfilter 24. Das Spülgas tritt über den Gaseinlass 1 1 in den FOUP 1 ein und verlässt diesen über den Gasauslass 12. Die Stickstoffableitung 22 leitet den Stickstoff zum Drucksensor 33. Von dort gelangt der Stickstoff zum Sauerstoffsensor 34 und zum Feuchtesensor 35. Die Messwerte aller Sensoren werden in der Datenverarbeitungseinheit (embedded Controller) zusammengeführt. Die Datenverarbeitungseinheit ist über einen J45-Anschluss mit einem Ethernet verbunden, das Daten und Berechnungsergebnisse zu einer zentralen Datenverarbeitungsvorrichtung transportiert und von dort Steuerbefehle und Programme heranführt. Die Verbindung ist als CAN-Bus realisiert. Der Durchfluss der durch den FOUP realisiert werden soll, ist vorgegeben (programmtechnisch hinterlegt oder manueller Eintrag). Die Datenverarbeitungsvorrichtung steuert das regelbare Ventil 31 an, bis das Flow-Meter (Flussmesser) den vorgegebenen Wert feststellt. In Verbindung mit dem Messwert des am Gaseinlass angeordneten Drucksensors 33 und dem Messwert des Flussmessers kann auf die Dichtheit des FOUPs geschlossen werden (Leakage Detection).
Bezugszeichenliste
FOUP
1 1 Gaseinlass in FOUP
12 Gasauslass aus FOUP
2 Spülgaseinspeisung
21 Spülgaszuleitung
22 Spülgasableitung
23 Spülgasauslass
24 Partikelfilter
25 Bypassleitung zur Spülung der gemeinsamen Messkammer
26 gemeinsame Messkammer
3 Datenverarbeitungsvorrichtung
31 regelbares Ventil
32 Flussmesser
33 Druckmesser
34 Feuchtesensor
35 Sauerstoffsensor
36 Dreiwegeventil
37 Dreiwegeventil
38 Abdeckung der RFI D-Antenne
39 Status-LEDs
4 CAN-Bus-Anbindung
5 obere Abdeckung der Adapterplatte
51 FOUP-Einführhilfen der Adapterplatte
52 FOUP-Führungsstifte der Adapterplatte
53 Gaszu- bzw. ableitungsadapter zum bzw. vom FOUP
6 Steuerplatine mit gemeinsamer Messkammer
61 CAN-Bus-Adressierung
62 Spannungsversorgung
63 CAN-BUS-Interface
64 Interface des Flußmessers
65 Anschluss des Frei/Belegt-Sensors
66 Ventilkontrolle

Claims

Vorschlag für überarbeitete Patentansprüche
1 . Purge-Messsystem für FOUPs (1 ) in einem FOUP-Nest aufweisend:
a. Mindestens einen Frei/Besetzt-Sensor für das FOUP-Nest
b. mindestens eine Gaszuleitung (21 ) zur Zuführung von Spülgas zum Gaseintritt
(1 1 ) eines FOUPs (1 ),
c. mindestens eine Gasableitung (22) zur Abführung von Spülgas vom Gasaustritt
(12) eines FOUPs (1 )
wobei
■ in jeder Gaszuleitung (21 ) mindestens eine Drucksensor (33) angeordnet ist und
■ in jeder Gaszuleitung (21 ) mindestens ein Flussmesser (32) angeordnet ist und
■ in jeder Gaszuleitung (21 ) ein regelbares Ventil (31 ) dem Flussmesser (32) und dem Drucksensor (33) in Strömungsrichtung vorgeschaltet ist und
■ in jeder Gasableitung (22) mindestens ein Feuchtesensor (34) und/oder ein Sauerstoffsensor (35) angeordnet sind, und
■ die Komponenten des Purge-Messsystems auf einer Adapterplatte angeordnet sind, die lösbar oder fest in dem FOUP-Nest angeordnet ist, wobei die Adapterplatte die Gasanschlüsse des FOUP-Nestes in Lage und Abmessung an den FOUP (1 ) anpasst.
2. Purge-Messsystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass in der Gaszuleitung (21 ) ein Partikelfilter (24) angeordnet ist.
3. Purge-Messsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Partikelfilter (24) und Gaseinlass (1 1 ) in den FOUP (1 ) keine weiteren Sensoren angeordnet sind.
4. Purge-Messsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Gasauslass (12) des FOUPs (1 ) in der Gasableitung (22) in Strömungsrichtung gesehen unmittelbar ein Partikelsensor nachgeschaltet ist.
5. Purge-Messsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Purge-Messsystem eine lokale Datenverarbeitungsvorrichtung (3) aufweist, der die Messwerte der Sensoren zugeleitet werden.
6. Purge-Messsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Gasableitung (22) ein Drucksensor(33) angeordnet ist.
7. Purge-Messsystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass, der Drucksensor (33) unmittelbar hinter dem Austritt (12) des Gases aus dem FOUP (1 ) und vor allen weiteren Sensoren in der Gasableitung angeordnet ist.
8. Purge-Messsystem nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Drucksensoren (33) in Gaszuleitung (21 ) und Gasableitung (22) als gemeinsamer Differenzdrucksensor ausgeführt sind oder, dass die lokale Datenverarbeitungsvorrichtung (3) aus den Messwerten der Drucksensoren (33) in Gaszuleitung (21 ) und Gasableitung (22) den Differenzdruck ermittelt.
9. Purge-Messsystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die lokale Datenverarbeitungsvorrichtung (3) aufgrund des Differenzdrucks das regelbare Ventil (31 ) ansteuert.
10. Purge-Messsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Feuchtesensor (34) und/oder eine Sauerstoffsensor (35) in einer Messkammer (26) angeordnet ist bzw. sind, die eine Gaszuleitung und eine Gasableitung aufweist und so ausgeführt ist, dass das durch die Messkammer (26) hindurchtretende Gas den bzw. die Sensoren umspült.
1 1 . Purge-Messsystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Messkammer (26) über eine Bypassschaltung (25) mit Spülgas aus der Gaszuleitung (21 ) beaufschlagt und so gespült werden kann.
12. Purge-Messsystem nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die lokale Datenverarbeitungsvorrichtung (3) über eine Datenverbindung mit einem Bussystem, vorzugsweise einem CAN-Bus, in Verbindung steht und Messwerte der Sensoren und/oder berechnete Werte an eine übergeordnete Datenverarbeitungseinrichtung leitet und/oder von der übergeordneten Datenverarbeitungseinrichtung Programme, Befehle und Parameter zur Steuerung des Purge-Messsystems empfängt.
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