WO2017094695A1 - ロードポートに設けられた載置台の上に載置されるアダプタ、およびロードポート - Google Patents

ロードポートに設けられた載置台の上に載置されるアダプタ、およびロードポート Download PDF

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WO2017094695A1
WO2017094695A1 PCT/JP2016/085277 JP2016085277W WO2017094695A1 WO 2017094695 A1 WO2017094695 A1 WO 2017094695A1 JP 2016085277 W JP2016085277 W JP 2016085277W WO 2017094695 A1 WO2017094695 A1 WO 2017094695A1
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WO
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adapter
cassette
container
sensor
seating
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PCT/JP2016/085277
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森鼻　俊光
祐貴 松本
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シンフォニアテクノロジー株式会社
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    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Definitions

  • the present invention relates to an adapter mounted on a mounting table provided in a load port used in semiconductor manufacturing and the like, and a load port.
  • Patent Document 1 discloses a conventional technique related to the above-described adapter.
  • the prior art is configured as follows.
  • a cassette identification unit composed of a detection lever and an optical sensor is provided on the upper surface of the adapter (cassette adapter), that is, the cassette mounting surface of the adapter, and is placed on the adapter by an on / off signal from the cassette identification unit Identify the type (size) of the cassette.
  • Patent Document 2 As a means for identifying (detecting) the size of a cassette, there is also one described in Patent Document 2.
  • patent document 2 it attaches to a mounting base for every cassette which detects the press sensor as a cassette size detection means, and detects the size of the cassette mounted on the mounting base by the on-off signal from these press sensors. Yes.
  • the method for identifying (detecting) the type (size) of the cassette as described in Patent Documents 1 and 2 is based on the shape and dimensions of the bottom surface of the cassette, that is, the type (size) of the cassette based on the information on the bottom surface of the cassette. Is the method.
  • cassettes such as FFC (Film Flame Carrier) cassette and Hoop Ring cassette used in the semiconductor manufacturing process are internationally composed of semiconductor manufacturing equipment manufacturers and material manufacturers. It is not fully standardized by the SEMI standard (Semiconductor Equipment and Materials Standard) established by SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International), which is a typical industry group.
  • SEMI semiconductor Equipment and Materials Standard
  • the shape / dimension may be different, or a part of the bottom surface of the cassette may be missing, and the type (size) of the cassette may not be determined from the bottom surface information of the cassette.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an adapter having a configuration capable of determining the size of a container without depending on the bottom surface information of the cassette (container).
  • the adapter according to the present invention is an adapter that can be placed on a mounting table provided in a load port and can accommodate a plurality of containers accommodating the workpieces, each adapted to the size of the workpiece. And the container positioning part provided in the upper surface of the mounting plate in which the said container is mounted, and the some container discrimination
  • the container discrimination sensor includes a discrimination sensor irradiator that irradiates a detection wave in a horizontal direction, and a discrimination sensor detector that detects a detection wave emitted from the discrimination sensor irradiator. A detection wave is irradiated toward the side surface of the container.
  • the size of the container can be determined by irradiating the detection wave toward the side surface of the container, the size of the container can be determined without depending on the bottom surface information of the container.
  • the present invention further includes a container seating sensor for detecting whether or not the container is placed, the container seating sensor comprising: a seating sensor irradiator that irradiates a detection wave in a horizontal direction; And a seating sensor detection unit that detects the detection wave emitted from the sensor irradiation unit, and the detection wave is preferably emitted from the seating sensor irradiation unit toward the side surface of the container.
  • the container is placed on the adapter. Moreover, since the detection wave is irradiated toward the side surface of the container, it can be confirmed that the container is placed on the adapter regardless of the bottom surface information of the container.
  • the seating sensor irradiating unit and the seating sensor detecting unit are arranged to face each other so as to sandwich a lower portion of the side wall of the container.
  • the mounting plate is configured to be rotatable in the vertical direction, and biasing means for biasing the mounting plate so as to rotate upward is provided as described above.
  • the placing plate is inclined with respect to the horizontal direction by the pushing force of the urging means, and the container is placed.
  • the urging means pivots downward against the push-up force and assumes a horizontal posture.
  • the operator can easily place the container on the adapter, so that the work efficiency is improved.
  • a fixed plate in a horizontal posture is disposed under the mounting plate, and the container discrimination sensor is provided on the upper surface of the fixed plate.
  • This configuration makes it easy to wire the container discrimination sensor cable.
  • the present invention also relates to a load port.
  • the load port according to the present invention is a load port including the mounting table on which the above-described adapter is mounted.
  • the mounting table indicates whether the adapter is mounted on the mounting table.
  • An adapter seating sensor for detection is provided, and includes a determination unit that determines the type and size of the object to be processed based on a signal from the adapter seating sensor and a signal from the container determination sensor.
  • an adapter having a configuration capable of determining the size of a container without depending on the bottom surface information of the cassette (container).
  • FIG. 3 is a plan view of the load port shown in FIG. 2 as viewed from above.
  • FIG. 4 is the top view which looked at the adapter for FFC shown in FIG. 4 from upper direction.
  • FIG. 4 is the top view which looked at the adapter for FFC shown in FIG. 4 from upper direction.
  • FIG. 4 is the top view which looked at the adapter for FFC shown in FIG. 4 from upper direction.
  • FIG. 4 is the bottom view of the adapter for FFC shown in FIG.
  • FIG. 4 shows the state in which the cassette for 150 mmFFC was mounted on the adapter for FFC shown in FIG.
  • FIG. 12 is a right side view of the wafer adapter shown in FIG. 11.
  • FIG. 12 is a perspective view showing a state in which a 200 mm wafer cassette is placed on the wafer adapter shown in FIG. 11.
  • the apparatus shown in FIG. 1 is an apparatus used for manufacturing semiconductors, and includes a plurality of load ports 1 (three in this embodiment), a transfer chamber 2 and a processing apparatus 3.
  • the load port 1 is a container (for example, cassettes 51, 52, and so on) that accommodates an object to be processed such as a wafer (Wafer) in order to put the object to be processed in and out of the space (transfer space S) in the transfer chamber 2. 53 (see FIGS. 7, 8, and 13)).
  • a wafer may be accommodated in the container (in the case of the cassette 53 shown in FIG.
  • FFC Fluorescence Tube
  • FFC Fanm Flame Carrier
  • a hoop ring or a wafer
  • FFC simply refers to an FFC in a state where a wafer is attached to a tape attached to the upper surface (or lower surface) of an FFC (Film Flame Carrier).
  • a transfer robot 22 is disposed in the transfer chamber 2, and the transfer object is transferred between the load port 1 and the processing apparatus 3 by the transfer robot 22.
  • the transfer robot 22 takes out the object to be processed from the container placed on the load port 1 and supplies the object to be processed to the processing apparatus 3 via the transfer space S.
  • the transfer space S is a space that is partitioned by a partition wall 21 that is an outer wall constituting the transfer chamber 2.
  • the operation of the load port 1 is controlled by the control device 4.
  • the control device 4 may control not only the load port 1 but also devices in the transfer chamber 2 such as the transfer robot 22.
  • the illustration of the control device 4 in FIG. 1 is an illustration for indicating that the load port 1 is controlled by the control device 4, and does not indicate the arrangement position of the control device 4.
  • the control device 4 may be incorporated in the load port 1, or a control device including control of the transfer robot 22 may be arranged in the transfer chamber 2.
  • the direction of the side to which the load port 1 is connected as viewed from the transfer chamber 2 is defined as the front
  • the opposite direction is defined as the rear
  • the direction orthogonal to the front-rear direction and the vertical direction is defined as the side. It is defined and shown in FIG.
  • the front, rear, and side shown in the drawings after FIG. 2 coincide with the front, rear, and side shown in FIG.
  • the load port 1 includes a plate-shaped base 10 that constitutes a part of a partition wall 21 that partitions the conveyance space S.
  • the base 10 is arranged upright, and the base 10 is provided with a base opening 10a as an opening for taking a workpiece into and out of the transfer space S.
  • the base opening 10a is normally closed by a door 12 in the normal state.
  • a mounting table 11 on which a container for storing a plurality of objects to be processed is mounted is provided on the opposite side of the transfer space S side of the base 10, that is, in front of the base 10.
  • a plurality of positioning pins 11a and a plurality of adapter seating sensors 11b to 11e are provided on the upper surface of the mounting table 11.
  • the positioning pins 11a are pins for mounting a cassette (container) at a predetermined position on the mounting table 11. In the present embodiment, three positioning pins 11a are provided so that the arrangement is a triangle.
  • the adapter seating sensors 11b to 11e are sensors for detecting whether or not the adapter is mounted on the mounting table 11, and in this embodiment, one at each of the rear side end portions, Two in total near the center of the side, a total of four are provided.
  • the adapter seating sensors 11b to 11e are known mechanical switches, and are turned on when a tip portion protruding upward from the top surface of the mounting table 11 is pushed by the bottom surface of the adapter and sinks.
  • the on / off signals from the adapter seating sensors 11b to 11e are sent to the control device 4 (the determination unit 4a in the control device 4).
  • FIGS. 7 and 8 An example of a container for storing the object to be processed is shown in FIGS.
  • the cassettes 51 and 52 shown in FIGS. 7 and 8 are containers for storing a plurality of FFCs, respectively.
  • the cassette 51 shown in FIG. 7 is a 150 mm FFC cassette for storing FFC having a diameter of 150 mm.
  • a cassette 52 shown in FIG. 8 is a 200 mm FFC cassette that accommodates an FFC having a diameter of 200 mm.
  • FIGS. 7 and 8 a plurality of FFCs are accommodated in the cassettes 51 and 52 in a horizontal posture with a certain interval in the vertical direction in each of the cassettes 51 and 52. Is done.
  • the cassettes 51 and 52 are provided with openings 51a and 52a and openings 51b and 52b on the rear side (the side of the conveyance space S) and the front side (the opposite side) in the state of being placed on the mounting table 11, respectively. Have.
  • the cassettes 51 and 52 are placed on the mounting table 11 via the FFC adapter 20 common to the cassettes 51 and 52. That is, the FFC adapter 20 is an adapter on which a plurality of size cassettes can be placed.
  • the FFC adapter 20 has three positioning pin holes 49a and one adapter seating sensor hole 49b (see FIG. 6), and a mounting plate 47 disposed above the main body plate 49.
  • the body plate 49 and the mounting plate 47 are connected by a side plate 48.
  • a 150 mm FFC cassette guide 44, a 200 mm FFC cassette guide 45, and an FFC cassette common guide 46 are provided on the upper surface of the placement plate 47 on which the cassettes 51 and 52 are placed as container positioning portions.
  • a groove for screwing the 150 mm FFC cassette guide 44, the 200 mm cassette guide 45, and the FFC cassette common guide 46 to the mounting plate 47 is formed on the upper surface of each. Since the groove has a vertically long shape, when the guides are fixed to the mounting plate 47, the fixing position can be adjusted along the groove. For this reason, even cassettes having different dimensions can be placed on the placement plate 47 by adjusting the positions of these guides.
  • the 150 mm FFC cassette guide 44 a is a member for determining the position in the lateral direction (width direction) of the cassette 51 on the placement plate 47, and the 150 mm FFC cassette guide 44 b is placed on the placement plate 47. This is a member for determining the position of the cassette 51 in the front-rear direction on the plate 47.
  • the 200 mm FFC cassette guide 45 a out of the 200 mm FFC cassette guide 45 is a member for determining the position in the lateral direction (width direction) of the cassette 52 on the placement plate 47, and the 200 mm FFC cassette guide 45 b is placed on the placement plate 47. This is a member for determining the position of the cassette 52 in the front-rear direction on the plate 47.
  • cassette size detection sensors 41 and 42 are provided as container discrimination sensors for discriminating the sizes of the cassettes 51 and 52.
  • the cassette size detection sensors 41 and 42 are optical sensors, and include light emitting units 41a and 42a (discrimination sensor irradiation units) and light receiving units 41b and 42b (discrimination sensor detection units), respectively.
  • the light emitting units 41a and 42a and the light receiving units 41b and 42b are arranged outside the larger cassette 52 in the mounted state.
  • the optical sensor includes a laser beam sensor.
  • the light emitting units 41 a and 42 a irradiate light (detection waves) in the horizontal direction toward the side surfaces of the cassettes 51 and 52.
  • the irradiated light does not reach the light receiving portions 41b and 42b, so that the cassette size detection sensors 41 and 42 are turned on.
  • the cassettes 51 and 52 do not exist, the irradiated light reaches the light receiving portions 41b and 42b and is detected by the light receiving portions 41b and 42b, thereby turning off the cassette size detection sensors 41 and 42.
  • the light emitting part 41 a of the cassette size detection sensor 41 is provided at the right end part of the mounting plate 47, and the light emitting part 42 a of the cassette size detection sensor 42 is provided at the left end part of the mounting plate 47.
  • the light emission direction (irradiation direction) of the two cassette size detection sensors 41 and 42 on the mounting plate 47 can be reversed to prevent light interference.
  • the cassette size detection sensors 41 and 42 are sensors for detecting which one of the cassettes 51 and 52 is placed on the FFC adapter 20, and the inner cassette size detection sensor 41 is turned on. However, if the outer cassette size detection sensor 42 is not turned on (light projection state), the smaller cassette 51 is placed on the FFC adapter 20. (FIG. 7). On the other hand, when both of the cassette size detection sensors 41 and 42 are on, the larger cassette 52 is placed on the FFC adapter 20 (FIG. 8). As a matter of course, when both cassette size detection sensors 41 and 42 are not turned on, it means that no cassette is placed on the FFC adapter 20.
  • the cassettes 51 and 52 are compatible with the sizes of 150 mm FFC and 200 mm FFC, respectively
  • the fact that the size of the cassette is detected is It is also the detection of size. That is, the cassette size detection sensors 41 and 42 detect (determine) the FFC size.
  • a cassette seating sensor 43 as a container seating sensor for detecting whether or not the cassettes 51 and 52 are placed is provided on the upper surface of the placement plate 47.
  • the cassette seating sensor 43 is an optical sensor, like the cassette size detection sensors 41 and 42, and includes a light emitting unit 43a (a seating sensor irradiation unit) and a light receiving unit 43b (a seating sensor detection unit).
  • the light emitting unit 43a and the light receiving unit 43b sandwich the lower portions of the side walls 51c and 52c (see FIGS. 7 and 8) of the cassettes 51 and 52 between the light emitting unit 43a and the light receiving unit 43b.
  • a total of two cassette seating sensors 43 are provided on the diagonal of the mounting plate 47, one set each.
  • One cassette seating sensor 43 may be provided.
  • the cassette seating sensor 43 is turned on (light-shielded state), and the cassette is placed on the placement plate 47. I can confirm.
  • the light emitting unit 43a irradiates light (detection wave) in the horizontal direction toward the side surfaces of the cassettes 51 and 52.
  • the irradiated light does not reach the light receiving portion 43b, so that the cassette seating sensor 43 is turned on.
  • the cassettes 51 and 52 are not present, the irradiated light reaches the light receiving unit 43b and is detected by the light receiving unit 43b, thereby turning off the cassette seating sensor 43.
  • the cassette size detection sensors 41 and 42 and the cassette seating sensor 43 are composed of the same parts. In this case, the time required for sensor mounting and sensor procurement costs are reduced.
  • a cassette seating sensor 43 and cassette size detection sensors 41 and 42 are connected to the connector 20a provided on the main body plate 49 of the FFC adapter 20 by a cable or the like, and signals from these sensors are sent to the connector 20a portion. Via, it is sent to the control device 4 (discriminating unit 4a in the control device 4). That is, whether or not the cassette is placed and the size information of the FFC are sent from the FFC adapter 20 to the determination unit 4 a in the control device 4.
  • a signal transmission / reception unit may be incorporated in the adapter (FFC adapter 20), and signals may be communicated between the adapter and the control device 4.
  • the size of the FFC cassette mounted on the mounting table 11 of the load port 1 and thus the size of the FFC is determined by the control device 4 (the determination unit 4a in the control device 4).
  • the control device 4 automatically selects a mapping parameter according to the size of the cassette 51, that is, a mapping parameter according to the size of the FFC.
  • mapping parameters described above are the mapping start position, mapping end position, mapping speed, sensor output discrimination method / discrimination criteria (FFC, HoopRing, wafer, thickness and slot pitch, which are different from each other. This means information related to the mapping operation, such as a criterion for determining whether or not there is a predetermined number of processed objects. These mapping parameters may be stored in the control device 4 in advance, or may be received from outside by wired or wireless. If mapping parameters for FFC, mapping parameters for HoopRing, and mapping parameters for wafers are prepared for each wafer size, mapping parameters can be automatically selected easily.
  • the control device 4 When the control device 4 also controls the transfer robot 22, the control device 4 automatically selects the robot parameters corresponding to the size of the cassette 51 for the transfer robot 22.
  • the robot parameters described above include the preset access speed, access height, access position, access route, workpiece holding method / procedure (FFC, HoopRing, wafer, dimensions, thickness, slot, etc.). This means information related to the operation of the transfer robot 22, such as not being able to transfer all objects to be processed in the same operation because the pitch is different. If robot parameters for FFC, HoopRing, and wafer robot parameters are prepared for each wafer size, automatic selection of robot parameters is facilitated. Furthermore, since the type of the holding unit that holds these may differ depending on the type of FFC, HoopRing, and cassette, information on the type of the holding unit may be associated with the robot parameter.
  • control device 4 can automatically switch the operation mode of the device such as the mapping parameter and the robot parameter when the type and size of the cassette determined by the determination unit are specified.
  • the control device 4 can automatically switch the operation mode of the device such as the mapping parameter and the robot parameter when the type and size of the cassette determined by the determination unit are specified.
  • the members such as the connector 20 a disposed on the main body plate 49 be disposed on the upper surface of the main body plate 49. With this configuration, it becomes easy to attach a member such as the connector 20 a to the upper surface of the main body plate 49.
  • the cassette seating sensor 43, cassette size detection sensors 41 and 42, and cassette guides 44 to 46 disposed on the mounting plate 47 are also preferably disposed on the upper surface of the main body plate 49. By configuring in this way, it is easy to mount the parts as well.
  • the adapter can be assembled by the following procedure.
  • the mounting plate 47 and the main body plate 49 are fixed with screws or the like using the side plate 48, for example. Furthermore, it is preferable that the mounting plate 47 and the main body plate 49 are fixed at different heights as in the present embodiment. Then, it can be used as an area for performing maintenance / repair between both plates, and maintenance such as component replacement and wiring can be performed without separating the mounting plate 47 and the main body plate 49 during maintenance.
  • the cassette seating sensor 83 cassette size detection sensors 81 and 82 of the Hoop-Ring adapter 80, and the cassette seating sensor 93 and cassette size detection sensors 91 and 92 of the wafer adapter 90, which will be described later. is there. That is, the signals from these sensors are sent to the determination unit 4a in the control device 4, and the determination unit 4a determines the sizes of the various cassettes and consequently the sizes of the various objects to be processed.
  • Hoop Ring adapter is a cassette (Hoop Ring cassette) that contains multiple wafers (processed objects) with a wafer affixed to the tape attached to the top (or bottom) surface of the hoop ring. It is an adapter that can be mounted, and is an adapter that can mount a plurality of Hoop Ring cassettes (not shown) that accommodate the processing object and that are respectively adapted to the size of the processing object.
  • Hoop Ring refers to a Hoop Ring in which a wafer is attached to a tape attached to the upper surface (or lower surface) of a Hoop Ring.
  • each part of the Hoop Ring adapter 80 is similar to the configuration of each part of the FFC adapter 20 described above, the configuration of the Hoop Ring adapter 80 will be described below while omitting description as appropriate.
  • the Hoop Ring adapter 80 has a main body plate 89 and a mounting plate 87 disposed above the main body plate 89, similarly to the FFC adapter 20 described above.
  • cassette size detection sensors 81 and 82 are placed on the upper surface of the mounting plate 87 on which the Hoop Ring cassette is placed.
  • a cassette seating sensor 83 is provided as a container seating sensor for detecting whether or not it is being used.
  • the cassette size detection sensors 81 and 82 are optical sensors, and include light emitting units 81a and 82a (discrimination sensor irradiation units) and light receiving units 81b and 82b (discrimination sensor detection units), respectively.
  • the cassette seating sensor 83 is an optical sensor, like the cassette size detection sensors 81 and 82, and includes a light emitting unit 83a (a seating sensor irradiation unit) and a light receiving unit 83b (a seating sensor detection unit). .
  • FIG. 10 is a bottom view of the Hoop Ring adapter 80 shown in FIG. Similar to the body plate 49 of the FFC adapter 20, the body plate 89 of the Hoop-Ring adapter 80 has three positioning pin holes 89a and one adapter seating sensor hole 89b.
  • the three positioning pin holes 89a of the Hoop Ring adapter 80, the three positioning pin holes 49a of the FFC adapter 20, and the three positioning pins 11a provided on the mounting table 11 of the load port 1 correspond to each other.
  • the three positioning pin holes 89a and 49a of the adapters 80 and 20 are respectively fitted into the three positioning pins 11a provided on the mounting table 11 so that the adapters 80 and 20 are mounted on the mounting table 11. Is positioned on.
  • the position of the adapter seating sensor hole 49b of the FFC adapter 20 and the position of the adapter seating sensor hole 89b of the Hoop-Ring adapter 80 are different.
  • the adapter seating sensor 11d corresponds to the adapter seating sensor hole 49b of the FFC adapter 20, and the adapter seating.
  • the sensor 11b corresponds to the adapter seating sensor hole 89b of the Hoop Ring adapter 80.
  • the hole diameter of the adapter seating sensor hole 49b is larger than the outer diameter of the sensor portion of the adapter seating sensor 11d, and the hole diameter of the adapter seating sensor hole 89b is larger than the outer diameter of the sensor portion of the adapter seating sensor 11b.
  • the sensor portion of the adapter seating sensor 11d among the adapter seating sensors 11b to 11e is the hole of the adapter seating sensor hole 49b.
  • the other adapter seating sensors 11b, 11c, and 11e are turned on when they are depressed by the bottom surface of the adapter and sink. Thereby, it can confirm that it is the adapter for FFC mounted on the mounting base 11.
  • the Hoop Ring adapter 80 when the Hoop Ring adapter 80 is mounted on the mounting table 11 of the load port 1, the sensor portion of the adapter seating sensor 11b among the adapter seating sensors 11b to 11e is the hole of the adapter seating sensor hole 89b.
  • the other adapter seating sensors 11c, 11d, and 11e are turned on by being pushed by the bottom surface of the adapter and sinking. Thereby, it can confirm that it is the adapter for Hoop Ring that is mounted on the mounting table 11.
  • the adapter mounted on the mounting table 11 of the load port 1 The type, and hence the type of the object to be processed (FFC or Hoop Ring) is determined.
  • the type of the object to be processed (for example, the object to be processed is FFC)
  • the size of the object to be processed (for example, the size of FFC) is determined by the control device 4 (the determination unit 4a in the control device 4).
  • the adapter shown in FIGS. 11 to 13 is a wafer adapter 90 on which a wafer cassette 53 (see FIG. 13) in which a plurality of wafers are directly stored is placed.
  • a wafer cassette 53 see FIG. 13
  • the description of the part similar to the configuration of each part of the FFC adapter 20 will be omitted as appropriate.
  • the wafer cassette 53 is a 200 mm wafer cassette that accommodates a wafer having a diameter of 200 mm, and in the same manner as the FFC cassettes 51 and 52 described above, the rear and front in the state of being placed on the placing table 11. And containers having openings 53a and 53b, respectively.
  • the wafer adapter 90 has a main body plate 99 and a mounting plate 97 in the same manner as the FFC adapter 20 described above.
  • the main body plate 99 is provided with a connector 90a, a positioning pin hole 99a, and the like.
  • 150 mm wafer cassette guides 94 (94a, 94b) and 200 mm wafer cassette guides 95 as container positioning portions are provided on the upper surface of the mounting plate 97. That is, the wafer adapter 90 is an adapter capable of mounting a plurality of wafer cassettes on the same size as the FFC adapter 20 described above.
  • a fixed plate 100 in a horizontal posture is provided between the main body plate 99 and the mounting plate 97.
  • Hinges 101 (rotating parts) are attached to both ends of the front end of the fixed plate 100, and the mounting plate 97 can be rotated in the vertical direction with the hinge 101 as a fulcrum.
  • the main body plate 99 and the fixed plate 100 are connected by a side plate 98.
  • cassette size detection sensors 91 and 92 (light emitting portions 91a and 92a, light receiving portions 91b and 92b) for determining the size of the wafer cassette placed thereon, and whether or not the wafer cassette is placed.
  • the cassette seating sensor 93 (the light emitting part 93a and the light receiving part 93b) for detecting the above is disposed not on the mounting plate 97 but on the fixed plate 100.
  • a spring plunger 102 as a biasing means for biasing the mounting plate 97 upward from below is provided at a portion of the fixed plate 100 close to the hinge 101. , 103 are attached.
  • the spring plungers 102 and 103 are well-known components in which the tips 102a and 103a are urged in the protruding direction by the elastic force of a coil spring (spring) accommodated therein. Two of these spring plungers 102 and 103 are provided at intervals in the width direction of the fixed plate 100.
  • the mounting plate 97 that rotates in the vertical direction with the hinge 101 as a fulcrum is inclined with respect to the horizontal direction by the pushing force of the spring plungers 102 and 103 when the wafer cassette 53 is not mounted thereon. (Figs. 11 and 12).
  • the spring plungers 102 and 103 are pushed up by the dead weight of the placement plate 97 (including the guides 94 and 95) and the wafer cassette 53 (including the contained wafer). It turns downward against the force and assumes a horizontal posture (FIG. 13).
  • a shock absorber 104 is attached to the upper surface of the fixed plate 100, so that the impact when the mounting plate 97 is in a horizontal posture is reduced.
  • the placement plate 97 is in a horizontal posture.
  • the presence of the wafer cassette 53 is confirmed by the cassette seating sensor 93, and the size of the wafer cassette 53 is determined by the cassette size detection sensors 91 and 92.
  • an operator who carries a cassette carries the cassette with the wafer outlet (opening 53a) of the cassette in which the wafer to be processed is stored facing upward.
  • a cassette for example, a wafer cassette 53 which is an open cassette
  • a plurality of wafers are accommodated in a horizontal posture with a certain interval in the vertical direction. This is because the wafer may jump out of the cassette.
  • the operator can easily place the cassette on the placement plate 97. Thereby, working efficiency can be improved.
  • the pushing force of the spring plungers 102 and 103 that is, the elastic force of the coil spring (spring) accommodated inside, is applied to the wafer cassettes of all sizes placed on the placing plate 97 of the wafer adapter 90.
  • the elastic force is turned downward by its own weight.
  • the adapter seating sensors 11b to 11e are mechanical switches, but instead of this, an optical sensor or the like may be used as the adapter seating sensor.
  • the light emitting parts 41a, 42a and 43a and the light receiving parts 41b, 42b and 43b are brought close to each other, and the light reflected upon the object to be processed is received by the light receiving parts 41b, 42b and 43b. It is good also as a structure (reflective sensor) detected by.
  • the cassette size detection sensors 81 and 82, the cassette seating sensor 83, the cassette size detection sensors 91 and 92, and the cassette seating sensor 93 are good also as a structure (reflective sensor) detected by.
  • a sensor using a detection wave such as an electromagnetic wave or an ultrasonic wave may be used instead of the optical sensor.
  • the cassette size detection sensors 41 and 42 and the cassette seating sensor 43 are provided separately.
  • the cassette seating sensor 43 may also be used as a cassette size detection sensor.
  • the number of parts of the sensor is reduced and the cost is reduced.
  • the cassette size detection sensor 41 is removed, and instead, one of the cassette seating sensors 43 is placed at the position of the cassette seating sensor 43 so that the light receiving portion 43b is positioned at the light receiving portion 41b of the cassette size detection sensor. That's fine.
  • Examples of the object to be processed include glass substrates (liquid crystal panels, display substrates such as organic / inorganic EL), plates and petri dishes that can accommodate cells in addition to semiconductor substrates such as wafers.
  • a container in addition to an open container called an open cassette such as the cassettes 51, 52, and 53 shown in the above-described embodiments, a sealed type provided with an openable / closable lid called a FOUP (Front-Opening Unified Pod).
  • FOUP Front-Opening Unified Pod
  • the plurality of spring plungers 102 and 103 are used, but there may be only one spring plunger.
  • the cassette size detection sensors 91 and 92 and the cassette seating sensor 93 may be provided on the upper surface of the rotating mounting plate 97.
  • Adapter seating sensor 20 FFC adapter (adapter) 41, 42: Cassette size detection sensor (container discrimination sensor) 41a, 42a: Light emitting part (discriminating sensor irradiation part) 41b, 42b: light receiving part (discriminating sensor detection part) 43: Cassette seating sensor (container seating sensor) 43a: Light emitting part (sitting sensor irradiation part) 43b: Light receiving part (sitting sensor detection part) 44: 150 mm FFC cassette guide (container positioning part) 45: 200 mm FFC cassette guide (container positioning part) 46: Common guide for FFC cassette (container positioning part) 47: Mounting plate 51: 150 mm FFC cassette (container) 52: Cassette for 200mm FFC (container) 53: Cassette for 200 mm

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Abstract

アダプタ２０が備えるカセットサイズ検知センサ４１，４２は、検出波を水平方向に照射する判別センサ照射部としての発光部４１ａ，４２ａと、当該判別センサ照射部から照射された検出波を検出する判別センサ検出部としての受光部４１ｂ，４２ｂと、を有し、前記判別センサ照射部からカセット５１，５２の側面に向かって検出波を照射することで、カセット５１，５２のサイズを判別する。

Description

ロードポートに設けられた載置台の上に載置されるアダプタ、およびロードポート
　本発明は、半導体の製造などで用いられるロードポートに設けられた載置台の上に載置されるアダプタ、およびロードポートに関する。
　上記したアダプタに関する従来技術として、例えば特許文献１に記載のものがある。その従来技術は、次のように構成されている。アダプタ（カセットアダプタ）の上面、すなわちアダプタのカセット載置面に、検出レバーと光学センサとから構成されるカセット識別部を設けて、このカセット識別部からのオンオフ信号により、アダプタの上に載置されたカセットの種類（サイズ）を識別する。
　カセットのサイズを識別（検出）する手段として、特許文献２に記載のものもある。特許文献２では、カセットサイズ検出手段としての押圧センサを検出するカセット毎に載置台に取り付けて、これら押圧センサからのオンオフ信号により、載置台の上に載置されたカセットのサイズを検出している。
特開２０１５－５０４１０号公報 特開２０１５－１７０６８９号公報
　特許文献１，２に記載されているようなカセットの種類（サイズ）を識別（検出）する方法は、カセットの底面の形状・寸法、すなわちカセットの底面情報に基づくカセットの種類（サイズ）の判別方法である。
　しかしながら、例えば、半導体の製造工程で用いられているＦＦＣ（Film Flame Carrier）用カセット、およびフープリング（Hoop Ring）用カセットといったカセットは、半導体の製造機器メーカー、材料メーカーなどを構成員とする国際的な業界団体であるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）により策定されたＳＥＭＩ規格（Semiconductor Equipment and Materials International Standard）などで十分に規格化されていないため、カセットを生産する会社によって、カセットの底面の形状・寸法が異なっていたり、カセット底面の一部が底抜けになっていることがあり、カセットの底面情報からでは、カセットの種類（サイズ）を判別することができないことがある。
　本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、カセット（容器）の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる構成を備えるアダプタを提供することである。
　本発明に係るアダプタは、ロードポートに設けられた載置台の上に載置され、被処理物のサイズにそれぞれ適合した、前記被処理物を収容する複数のサイズの容器が載置可能なアダプタであって、前記容器が載置される載置プレートの上面に設けられた容器位置決め部と、前記容器のサイズを判別するための複数の容器判別センサと、を備える。前記容器判別センサは、検出波を水平方向に照射する判別センサ照射部と、当該判別センサ照射部から照射された検出波を検出する判別センサ検出部と、を有し、前記判別センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射する。
　この構成によると、容器の側面に向かって検出波を照射することで容器のサイズを判別できるので、容器の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる。
　また本発明において、前記容器が載置されているか否かを検出するための容器着座センサをさらに備え、前記容器着座センサは、検出波を水平方向に照射する着座センサ照射部と、当該着座別センサ照射部から照射された検出波を検出する着座センサ検出部と、を有し、前記着座センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射することが好ましい。
　この構成によると、容器がアダプタに載置していることを確認することができる。また、容器の側面に向かって検出波を照射しているので、容器の底面情報によらずとも容器がアダプタに載置していることを確認することができる。
　さらに本発明において、前記着座センサ照射部と前記着座センサ検出部とが、前記容器の側壁の下部部分を挟むように対向配置されていることが好ましい。
　この構成によると、容器がアダプタに載置していることをより正確に確認することができる。
　さらに本発明において、前記載置プレートは、上下方向に回動可能に構成されており、前記載置プレートが上方へ回動するように前記載置プレートを付勢する付勢手段が、前記載置プレートの下に配置されており、前記載置プレートは、前記容器が載置されていない場合は前記付勢手段の押上げ力によって水平方向に対して傾斜した状態となり、前記容器が載置されると、前記付勢手段の押上げ力に抗して下方へ回動して水平姿勢となることが好ましい。
　この構成によると、作業者がアダプタに容器を載置し易くなるので、作業効率が向上する。
　さらに本発明において、前記載置プレートの下に水平姿勢の固定プレートが配置されており、前記固定プレートの上面に前記容器判別センサが設けられていることが好ましい。
　この構成によると、容器判別センサのケーブルを配線し易い。
　また本発明は、ロードポートに関する発明でもある。本発明に係るロードポートは、前記したアダプタが載置される前記載置台を備えるロードポートであって、前記載置台には、前記アダプタが前記載置台の上に載置されているか否かを検出するためのアダプタ着座センサが設けられており、前記アダプタ着座センサからの信号と、前記容器判別センサからの信号とによって、前記被処理物の種類およびサイズを判別する判別部を備える。
　この構成によると、種類およびサイズが異なる被処理物を１つのロードポートで処理することができる。
　本発明によれば、カセット（容器）の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる構成を備えるアダプタを提供することができる。
本発明の一実施形態に係るロードポートを含む、半導体の製造に用いられる装置全体の概略平面図である。 図１に示すロードポートの斜視図である。 図２に示すロードポートを上方からみた平面図である。 図２に示すロードポートの載置台の上に載せるＦＦＣ用アダプタを示す斜視図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタを上方からみた平面図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタの底面図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタの上に１５０ｍｍＦＦＣ用カセットが載置された状態を示す斜視図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタの上に２００ｍｍＦＦＣ用カセットが載置された状態を示す斜視図である。 図２に示すロードポートの載置台の上に載せるHoop Ring用アダプタを示す斜視図である。 図９に示すHoop Ring用アダプタの底面図である。 回動可能な載置プレートを有するウエハ用アダプタを示す斜視図である。 図１１に示すウエハ用アダプタの右側面図である。 図１１に示すウエハ用アダプタの上に２００ｍｍウエハ用カセットが載置された状態を示す斜視図である。
　以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。
（ロードポートを含む装置全体の構成）
　図１に示す装置は、半導体の製造に用いられる装置であって、複数のロードポート１（本実施形態では３つ）と、搬送室２と、処理装置３とで構成される。ロードポート１は、ウエハ（Wafer）などの被処理物を、搬送室２の中の空間（搬送空間Ｓ）に出し入れするために、当該被処理物を収容する容器（例えば、カセット５１，５２，５３（図７，８，１３参照））が載置される装置である。なお、ウエハは、ウエハのみが（ウエハが直接）容器に収容される場合もあるし（図１３に示すカセット５３の場合）、ＦＦＣ（Film Flame Carrier）やフープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープに貼られた状態で容器に収容される場合もある（図７，８に示すカセット５１，５２はＦＦＣの場合である）。以下で単に「ＦＦＣ」と言う場合は、ＦＦＣ（Film Flame Carrier）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のＦＦＣのことを指す。
　搬送室２の中には搬送ロボット２２が配置されており、この搬送ロボット２２によって、ロードポート１と処理装置３との間で被処理物の受け渡しが行われる。搬送ロボット２２は、ロードポート１に載置された容器の中から被処理物を取り出し、搬送空間Ｓを経由して被処理物を処理装置３に供給する。なお、搬送空間Ｓは、搬送室２を構成する外壁である隔壁２１でその側方を区画される空間である。
　ロードポート１は、制御装置４によってその動作が制御される。なお、制御装置４は、ロードポート１だけでなく搬送ロボット２２などの搬送室２内の機器も制御するものである場合もある。図１における制御装置４の図示は、ロードポート１が制御装置４で制御されるということを示すための図示であり、制御装置４の配置位置を示すものではない。ロードポート１の中に制御装置４が組み込まれている場合もあるし、搬送ロボット２２などの制御も含む制御装置が搬送室２の中に配置される場合もある。
　なお、搬送室２（搬送空間Ｓ）から見てロードポート１が接続される側の向きを前方、その反対方向を後方と定義し、さらに、前後方向および鉛直方向に直交する方向を側方と定義し、それを図１中に示した。図２以降の図中に示す前方、後方、側方は、図１中に示す前方、後方、側方と一致する。
（ロードポートの構成）
　主として図２～図１０を参照しつつ、ロードポート１の構成を説明する。図２に示すように、ロードポート１は、搬送空間Ｓを区画する隔壁２１の一部を構成する板形状のベース１０を有する。ベース１０は立設配置され、このベース１０には、被処理物を搬送空間Ｓに出し入れするための開口としてのベース開口部１０ａが設けられている。搬送空間Ｓをクリーンな状態に保つため、通常時、ベース開口部１０ａはドア１２で閉じられている。
　ベース１０の搬送空間Ｓの側とは反対側、すなわちベース１０の前方には、複数の被処理物を収容する容器が載置される載置台１１が設けられる。
　図２、図３に示すように、載置台１１の上面には、複数の位置決めピン１１ａ、および複数のアダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅが設けられている。位置決めピン１１ａは、載置台１１の上の所定の位置にカセット（容器）を載置するためのピンであり、本実施形態では、配置が三角形となるように３つ設けられている。アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅは、載置台１１の上にアダプタが載置されているか否かを検出するためのセンサであり、本実施形態では、後方側の両側方端部に１つずつ、前方側の中央寄りに２つ、合わせて計４つ設けられている。アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅは、公知の機械スイッチであり、載置台１１の上面から上方へ突出する先端部が、アダプタの底面で押されて沈み込むことでオンするようになっている。アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅからのオンオフ信号は、制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）に送られる。
　被処理物を収容する容器の一例を図７，８に示している。図７，８に示すカセット５１，５２は、それぞれ、複数のＦＦＣを収容する容器であり、図７に示すカセット５１は、径が１５０ｍｍのＦＦＣを収容する１５０ｍｍＦＦＣ用カセットである。図８に示すカセット５２は、径が２００ｍｍのＦＦＣを収容する２００ｍｍＦＦＣ用カセットである。図７，８にはそれぞれ１つのＦＦＣしか示していないが、カセット５１，５２には、それぞれ、複数のＦＦＣが、上下方向に一定の間隔をあけて水平姿勢でカセット５１，５２の中に収容される。カセット５１，５２は、載置台１１の上に載置された状態における後方（搬送空間Ｓの側）、および前方（その反対側）に、それぞれ、開口部５１ａ，５２ａ、開口部５１ｂ，５２ｂを有する。
＜アダプタ＞（ＦＦＣ用）
　ここで、カセット５１，５２は、カセット５１，５２に共通のＦＦＣ用アダプタ２０を介して載置台１１の上に載せられる。すなわち、ＦＦＣ用アダプタ２０は、複数のサイズのカセットが載置可能なアダプタである。
　ＦＦＣ用アダプタ２０は、３つの位置決めピン用孔４９ａ、および１つのアダプタ着座センサ用孔４９ｂがあけられた（図６参照）本体プレート４９と、本体プレート４９の上方に配置された載置プレート４７とを有し、本体プレート４９と載置プレート４７とは側板４８で連結されている。カセット５１，５２が載置される載置プレート４７の上面には、容器位置決め部としての、１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４、２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５、およびＦＦＣカセット用共通ガイド４６が設けられている。
　なお、１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４、２００ｍｍカセット用ガイド４５、およびＦＦＣカセット用共通ガイド４６それぞれの上面には、これらを載置プレート４７にネジ固定するための溝が形成されている。この溝は、縦長形状になっているため、載置プレート４７に対してこれらガイドを固定する際、溝に沿って固定位置を調整可能になっている。このため、寸法が異なるカセットでも、これらガイドの位置を調整することで、載置プレートと４７に載置可能になっている。
　１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４のうちの１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４ａは、載置プレート４７上でのカセット５１の側方向（幅方向）の位置を決めるための部材であり、１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４ｂは、載置プレート４７上でのカセット５１の前後方向の位置を決めるための部材である。２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５のうちの２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５ａは、載置プレート４７上でのカセット５２の側方向（幅方向）の位置を決めるための部材であり、２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５ｂは、載置プレート４７上でのカセット５２の前後方向の位置を決めるための部材である。
　また、載置プレート４７の上面には、カセット５１，５２のサイズを判別するための容器判別センサとしての、カセットサイズ検知センサ４１，４２が設けられている。カセットサイズ検知センサ４１，４２は、光学式のセンサであり、それぞれ、発光部４１ａ，４２ａ（判別センサ照射部）、および受光部４１ｂ，４２ｂ（判別センサ検出部）を備えている。発光部４１ａ，４２ａおよび受光部４１ｂ，４２ｂは、載置された状態における大きい方のカセット５２よりも外方に配置される。なお、光学式のセンサは、レーザー光式のセンサを含む。
　発光部４１ａ，４２ａは、光（検出波）をカセット５１，５２の側面に向かって水平方向に照射する。カセット５１，５２の側面で光が遮光されると、受光部４１ｂ，４２ｂには照射された光が到達しないので、これにより、カセットサイズ検知センサ４１，４２はオンとなる。一方、カセット５１，５２が存在しないと、照射された光は受光部４１ｂ，４２ｂに到達し、受光部４１ｂ，４２ｂで検出されるので、これによりカセットサイズ検知センサ４１，４２はオフとなる。
　カセットサイズ検知センサ４１の発光部４１ａは、載置プレート４７の右端部に設けられ、カセットサイズ検知センサ４２の発光部４２ａは、載置プレート４７の左端部に設けられている。このように、載置プレート４７上の２つのカセットサイズ検知センサ４１，４２の発光方向（照射方向）を反対とすることで光の干渉を防止することができる。
　カセットサイズ検知センサ４１，４２は、カセット５１，５２のうちのどちらのカセットがＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているかを検知するためのセンサであり、内側のカセットサイズ検知センサ４１がオンしているが（遮光状態）、外側のカセットサイズ検知センサ４２がオンしていない場合（投光状態）は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているのは小さい方のカセット５１ということになる（図７）。これに対して、カセットサイズ検知センサ４１，４２の両方がオンしている場合は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているのは大きい方のカセット５２ということになる（図８）。なお、当然ではあるが、カセットサイズ検知センサ４１，４２の両方がオンしていない場合は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上にカセットが載置されていないということである。
　カセットのサイズと、ＦＦＣのサイズとは一対一の関係にあるため（カセット５１，５２は、１５０ｍｍＦＦＣ、２００ｍｍＦＦＣのサイズにそれぞれ適合しているため）、カセットのサイズが検知されることは、ＦＦＣのサイズが検知されることでもある。すなわち、カセットサイズ検知センサ４１，４２により、ＦＦＣのサイズが検知される（判別される）。
　また、載置プレート４７の上面には、カセット５１，５２が載置されているか否かを検出するための容器着座センサとしての、カセット着座センサ４３が設けられている。カセット着座センサ４３は、カセットサイズ検知センサ４１，４２と同様に、光学式のセンサであり、発光部４３ａ（着座センサ照射部）、および受光部４３ｂ（着座センサ検出部）を備えている。
　発光部４３ａおよび受光部４３ｂは、載置された状態におけるカセット５１，５２の側壁５１ｃ，５２ｃ（図７，８参照）の下部部分を、これら発光部４３ａと受光部４３ｂとで間に挟むように対向配置される。また、本実施形態では、載置プレート４７の対角にそれぞれ１組ずつ計２つのカセット着座センサ４３が設けられている。なお、カセット着座センサ４３は１つであってもよい。
　載置プレート４７の上に、カセット５１またはカセット５２が載置されると、カセット着座センサ４３がオンすることで（遮光状態）、載置プレート４７の上にカセットが載置していることを確認できる。
　発光部４３ａは、光（検出波）をカセット５１，５２の側面に向かって水平方向に照射する。カセット５１，５２の側面で光が遮光されると、受光部４３ｂには照射された光が到達しないので、これにより、カセット着座センサ４３はオンとなる。一方、カセット５１，５２が存在しないと、照射された光は受光部４３ｂに到達し、受光部４３ｂで検出されるので、これによりカセット着座センサ４３はオフとなる。
　なお、本実施形態では、カセットサイズ検知センサ４１，４２とカセット着座センサ４３を、同一部品で構成しており、この場合、センサ取付に要する時間やセンサ調達コストが下がる。
　ＦＦＣ用アダプタ２０の本体プレート４９に設けられたコネクタ２０ａには、カセット着座センサ４３、およびカセットサイズ検知センサ４１，４２がケーブル等で接続されており、これらセンサからの信号は、コネクタ２０ａ部分を経由して制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）に送られる。すなわち、カセットが載置されているか否か、およびＦＦＣのサイズ情報は、ＦＦＣ用アダプタ２０から制御装置４内の判別部４ａへ送られる。なお、アダプタ（ＦＦＣ用アダプタ２０）に信号送受信部を組込み、アダプタと制御装置４との間で信号を通信してもよい。
　上記により、ロードポート１の載置台１１の上に載置されているＦＦＣ用カセットのサイズ、ひいては、ＦＦＣのサイズが制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）にて判別される。
　制御装置４は、カセット５１のサイズに応じたマッピングパラメータ、すなわち、ＦＦＣのサイズに応じたマッピングパラメータを自動選定する。
　なお、前記したマッピングパラメータは、予め設定されたマッピング開始位置、マッピング終了位置、マッピング速度、センサ出力の判別方法・判別基準（ＦＦＣ,HoopRing,ウエハで、厚みやスロットピッチが違うので、センサで被処理物が所定枚数あるかどうかを判断する基準が変わる）など、マッピングの動作に関わる情報を意味する。これらのマッピングパラメータは、予め制御装置４に記憶しておいてもよいし、外部から有線または無線で受信してもよい。また、マッピングパラメータとして、ウエハサイズ別でそれぞれ、ＦＦＣ用のマッピングパラメータと、HoopRing用のマッピングパラメータと、ウエハ用のマッピングパラメータとを、準備しておくと、マッピングパラメータの自動選択が容易になる。
　また、制御装置４が搬送ロボット２２の制御も行なう場合、搬送ロボット２２についても、制御装置４は、カセット５１のサイズに応じたロボットパラメータを自動選択する。なお、前記したロボットパラメータは、予め設定された搬送ロボット２２のアクセス速度、アクセス高さ、アクセス位置、アクセス経路、被処理物の保持方法・手順（ＦＦＣ、HoopRing、ウエハで、寸法や厚みやスロットピッチが違うので、同じ動作で全ての被処理物を搬送できない。）など、搬送ロボット２２の動作に関わる情報を意味する。また、ロボットパラメータとして、ウエハサイズ別でそれぞれ、ＦＦＣ用のロボットパラメータと、HoopRing用のロボットパラメータと、ウエハ用のロボットパラメータとを、準備しておくと、ロボットパラメータの自動選択が容易になる。さらに、ＦＦＣ、HoopRing、カセットの種類によってこれらを保持する保持部の種類が異なる場合があるので、ロボットパラメータに、保持部の種類に関する情報も関連付けておくと良い。
　このように、制御装置４は、判別部によって判別されたカセットの種類およびサイズが特定された場合、マッピングパラメータやロボットパラメータなど装置の動作モードを自動で切替えることができる。なお、ロードポートや搬送ロボットが複数台ある場合に、その中の一つのみの動作モードを変更することもできる。
　また、本体プレート４９に配置するコネクタ２０ａなどの部材は、本体プレート４９の上面に配置することが好ましい。このように構成することで、本体プレート４９の上面にコネクタ２０ａなどの部材を取り付けし易くなる。また、載置プレート４７に配置するカセット着座センサ４３、カセットサイズ検知センサ４１，４２、カセット用ガイド４４～４６の部材も、本体プレート４９の上面に配置することが好ましい。このように構成することで、同様に部品の取付けが容易になる。
　本実施形態のように、載置プレート４７上面および本体プレート４９の上面にそれぞれ部品を取付けておくと、アダプタを下記の手順で組み立てることができる。
　まず、載置プレート４７の上面、本体プレート４９の上面に部品を取付ける。次に、載置プレート４７と本体プレート４９との間で配線を行なう。そして、配線完了後、本体プレート４９と載置プレート４９とを、例えば、側板４８を使って、ネジなどで固定する。さらに、本実施形態のように、載置プレート４７と本体プレート４９とを高さを変えて固定しておくとことが好ましい。そうすれば、両プレートの間をメンテナンス・修理等を行なうための領域として利用でき、メンテナンス時に載置プレート４７と本体プレート４９とを分離せずに部品交換、配線等のメンテナンスを行える。
　なお、上記の内容は、後述するHoop Ring用アダプタ８０のカセット着座センサ８３、カセットサイズ検知センサ８１，８２、およびウエハ用アダプタ９０のカセット着座センサ９３、カセットサイズ検知センサ９１，９２についても同じである。すなわち、これら各センサからの信号は、制御装置４内の判別部４ａへ送られ、当該判別部４ａにて、各種カセットのサイズ、ひいては、各種被処理物のサイズが判別される。
＜アダプタ＞（Hoop Ring用）
　図９，１０は、図１に示すロードポートの載置台の上に載せるHoop Ring用アダプタ８０を示す図である。Hoop Ring用アダプタとは、フープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のもの（被処理物）を複数枚収容するカセット（Hoop Ring用カセット）が載せられるアダプタであり、さらには、上記被処理物のサイズにそれぞれ適合した、当該被処理物を収容する複数のサイズのHoop Ring用カセット（不図示）が載置可能なアダプタである。以下で単に「Hoop Ring」と言う場合は、フープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のHoop Ringのことを指す。
　Hoop Ring用アダプタ８０の各部の構成は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０の各部の構成と類似するため、適宜説明を省略しつつ、Hoop Ring用アダプタ８０の構成について以下に記載する。
　Hoop Ring用アダプタ８０は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０と同様に、本体プレート８９と、本体プレート８９の上方に配置された載置プレート８７とを有する。Hoop Ring用カセットが載置される載置プレート８７の上面には、Hoop Ring用カセットのサイズを判別するための容器判別センサとしてのカセットサイズ検知センサ８１，８２、およびHoop Ring用カセットが載置されているか否かを検出するための容器着座センサとしてのカセット着座センサ８３などが設けられている。
　カセットサイズ検知センサ８１，８２は、光学式のセンサであり、それぞれ、発光部８１ａ，８２ａ（判別センサ照射部）、および受光部８１ｂ，８２ｂ（判別センサ検出部）を備えている。また、カセット着座センサ８３は、カセットサイズ検知センサ８１，８２と同様に、光学式のセンサであり、発光部８３ａ（着座センサ照射部）、および受光部８３ｂ（着座センサ検出部）を備えている。
　図１０は、図９に示すHoop Ring用アダプタ８０の底面図である。Hoop Ring用アダプタ８０の本体プレート８９には、ＦＦＣ用アダプタ２０の本体プレート４９と同様に、３つの位置決めピン用孔８９ａ、および１つのアダプタ着座センサ用孔８９ｂがあけられている。
　Hoop Ring用アダプタ８０の３つの位置決めピン用孔８９ａ、ＦＦＣ用アダプタ２０の３つの位置決めピン用孔４９ａ、およびロードポート１の載置台１１に設けられた３つの位置決めピン１１ａは相互に対応するものであり、載置台１１に設けられた３つの位置決めピン１１ａに、各アダプタ８０，２０の３つの位置決めピン用孔８９ａ，４９ａが、それぞれ嵌り込むことで、各アダプタ８０，２０は、載置台１１の上で位置決めされる。
　図６と図１０とを比較参照されたい。ＦＦＣ用アダプタ２０のアダプタ着座センサ用孔４９ｂの位置と、Hoop Ring用アダプタ８０のアダプタ着座センサ用孔８９ｂの位置とは、異なっている。ここで、ロードポート１の載置台１１に設けられた４つのアダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅのうちのアダプタ着座センサ１１ｄと、ＦＦＣ用アダプタ２０のアダプタ着座センサ用孔４９ｂとが対応するとともに、アダプタ着座センサ１１ｂと、Hoop Ring用アダプタ８０のアダプタ着座センサ用孔８９ｂとが対応する。アダプタ着座センサ用孔４９ｂの孔径は、アダプタ着座センサ１１ｄのセンサ部の外径よりも大きく、アダプタ着座センサ用孔８９ｂの孔径は、アダプタ着座センサ１１ｂのセンサ部の外径よりも大きい。
　そのため、ロードポート１の載置台１１の上にＦＦＣ用アダプタ２０が載置されると、アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅのうちのアダプタ着座センサ１１ｄのセンサ部は、アダプタ着座センサ用孔４９ｂの孔の中に入り、これ以外のアダプタ着座センサ１１ｂ，１１ｃ，１１ｅのみがアダプタの底面で押されて沈み込むことでオンする。これにより、載置台１１の上に載置されているのがＦＦＣ用アダプタであることを確認できる。
　一方、ロードポート１の載置台１１の上にHoop Ring用アダプタ８０が載置されると、アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅのうちのアダプタ着座センサ１１ｂのセンサ部は、アダプタ着座センサ用孔８９ｂの孔の中に入り、これ以外のアダプタ着座センサ１１ｃ，１１ｄ，１１ｅのみがアダプタの底面で押されて沈み込むことでオンする。これにより、載置台１１の上に載置されているのがHoop Ring用アダプタであることを確認できる。
　上記により、アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅからのオンオフ信号が入力される制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）にて、ロードポート１の載置台１１の上に載置されているアダプタの種類、ひいては、被処理物の種類（ＦＦＣかHoop Ringか）が判別される。
　前記したことを合わせると、アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅからの信号と、カセットサイズ検知センサ４１，４２からの信号とによって、被処理物の種類（例えば、被処理物がＦＦＣであること）、および被処理物のサイズ（例えば、ＦＦＣのサイズ）が、制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）にて判別される。
（アダプタの他の実施形態）
　図１１～１３を参照しつつ、アダプタの他の実施形態として、回動可能な載置プレートを有するアダプタの一例について説明する。なお、前記したＦＦＣ用アダプタ２０、およびHoop Ring用アダプタ８０は、いずれも、載置プレートが水平姿勢で固定とされたアダプタである。
　図１１～１３に示すアダプタは、複数のウエハが直接収容されるウエハ用カセット５３（図１３参照）が載置されるウエハ用アダプタ９０である。ウエハ用アダプタ９０の各部の構成のうち、前記したＦＦＣ用アダプタ２０の各部の構成と類似する部分については、適宜説明を省略することとする。
　ウエハ用カセット５３は、径が２００ｍｍのウエハを収容する２００ｍｍウエハ用カセットであり、前記したＦＦＣ用のカセット５１，５２と同様に、載置台１１の上に載置された状態における後方、および前方に、それぞれ、開口部５３ａ，５３ｂを有する容器である。
　ウエハ用アダプタ９０は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０と同様に、本体プレート９９、載置プレート９７を有する。本体プレート９９には、コネクタ９０ａ、位置決めピン用孔９９ａなどが設けられている。載置プレート９７の上面には、容器位置決め部としての、１５０ｍｍウエハカセット用ガイド９４（９４ａ，９４ｂ）、および２００ｍｍウエハカセット用ガイド９５が設けられている。すなわち、ウエハ用アダプタ９０は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０と同様に、複数のサイズのウエハ用カセットをその上に載置することができるアダプタである。
　ここで、ウエハ用アダプタ９０では、本体プレート９９と載置プレート９７との間に水平姿勢の固定プレート１００を設けている。固定プレート１００の前方側の端部には、その両側にヒンジ１０１（回動部）が取り付けられ、載置プレート９７はこのヒンジ１０１を支点にして上下方向に回動可能とされている。なお、本体プレート９９と固定プレート１００とは側板９８で連結されている。
　また、載置されたウエハ用カセットのサイズを判別するためのカセットサイズ検知センサ９１，９２（発光部９１ａ，９２ａ、受光部９１ｂ，９２ｂ）、および、ウエハ用カセットが載置されているか否かを検出するためのカセット着座センサ９３（発光部９３ａ、受光部９３ｂ）は、載置プレート９７の上ではなく、固定プレート１００の上に配置されている。
　また、図１２等に示されているように、固定プレート１００のうちのヒンジ１０１に近い部分には、載置プレート９７をその下から上方へ向かって付勢する付勢手段としてのスプリングプランジャ１０２，１０３が取り付けられている。スプリングプランジャ１０２，１０３は、内部に収容されているコイルばね（スプリング）の弾性力でその先端部１０２ａ，１０３ａが突出方向に付勢されている公知の部品である。これらのスプリングプランジャ１０２，１０３は、固定プレート１００の幅方向に間隔をあけて、それぞれ２つずつ設けられている。
　ヒンジ１０１を支点にして上下方向に回動する載置プレート９７は、ウエハ用カセット５３がその上に載置されていないときは、スプリングプランジャ１０２，１０３の押上げ力によって水平方向に対して傾斜した状態となる（図１１，１２）。ウエハ用カセット５３が載置されると、載置プレート９７（各ガイド９４，９５を含む）およびウエハ用カセット５３（収容されているウエハを含む）の自重により、スプリングプランジャ１０２，１０３の押上げ力に抗して下方へ回動して水平姿勢となる（図１３）。なお、固定プレート１００の上面にはショックアブソーバ１０４が取り付けられており、載置プレート９７が水平姿勢になるときの衝撃が緩和される。
　前記したように、カセット着座センサ９３およびカセットサイズ検知センサ９１，９２が、載置プレート９７の上ではなく、固定プレート１００の上に配置されているため、載置プレート９７が水平姿勢となったときに、カセット着座センサ９３によりウエハ用カセット５３の存在が確認されるとともに、カセットサイズ検知センサ９１，９２によりウエハ用カセット５３のサイズが判別される。
　一般的に、カセットを運ぶ作業者は、被処理物であるウエハが収納されたカセットのウエハ取出口（開口部５３ａ）を上に向けてカセットを運ぶ。カセット（例えばオープンカセットであるウエハ用カセット５３）には、上下方向に一定の間隔をあけて複数のウエハが水平姿勢でその中に収容されるのであるが、カセットをそのまま水平姿勢で運ぶと、カセットからウエハが飛び出てしまうことがあるからである。このため、載置プレート９７の上にカセットを載置する際、載置プレート９７が傾斜していると、作業者は載置プレート９７の上にカセットを載置し易い。これにより、作業効率を向上させることができる。
　なお、スプリングプランジャ１０２，１０３の押上げ力、すなわち内部に収容されているコイルばね（スプリング）の弾性力は、ウエハ用アダプタ９０の載置プレート９７の上に載せる全てのサイズのウエハ用カセットが、当該ウエハ用カセットを載せたときに自重で下方に回動する弾性力とされる。
（変形例）
　アダプタ着座センサ１１ｂ～１１ｅは機械スイッチであるが、これに代えて、光学式のセンサなどをアダプタ着座センサとして用いてもよい。
　カセットサイズ検知センサ４１，４２、カセット着座センサ４３に関し、発光部４１ａ，４２ａ，４３ａと、受光部４１ｂ，４２ｂ，４３ｂを近接させ、被処理物に当たって反射してきた光を受光部４１ｂ，４２ｂ，４３ｂで検知する構成（反射式のセンサ）としてもよい。カセットサイズ検知センサ８１，８２、カセット着座センサ８３、カセットサイズ検知センサ９１，９２、およびカセット着座センサ９３についても同様である。
　また、上記の各センサとして、光学式のセンサに代えて、電磁波や超音波のような検出波を利用したセンサを用いてもよい。
　上記実施形態では、カセットサイズ検知センサ４１，４２とカセット着座センサ４３を別々に設けた。しかしながら、カセット着座センサ４３をカセットサイズ検知センサとして兼用させてもよい。この結果、センサの部品点数が減り、コストダウンになる。例えば、カセットサイズ検知センサ４１を取外し、その代わりにカセット着座センサ４３のうちの一方を、その受光部４３ｂがカセットサイズ検知センサの受光部４１ｂの位置となるようカセット着座センサ４３の位置に配置すればよい。そうすれば、カセット着座センサ４３（兼用センサ）とカセットサイズ検知センサ４２の両方が遮光された場合、２００ｍｍＦＦＣ用カセットであると認識し、カセット着座センサ４３（兼用センサ）のみが遮光された場合、１５０ｍｍＦＦＣ用カセットが載置されたと認識できる。
　被処理物は、ウエハのような半導体基板以外に、ガラス基板（液晶パネル、有機／無機ＥＬ等のディスプレイ用基板）、細胞等を内部に収容可能なプレートやシャーレなどを挙げることができる。容器としては、前記した実施形態で示したカセット５１，５２，５３のようなオープンカセットと呼ばれる開放型の容器以外に、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる開閉可能な蓋を備える密閉型の容器などを挙げることができる。
　載置プレートが回動するアダプタに関し、前記した実施形態では、複数のスプリングプランジャ１０２，１０３を用いているが、スプリングプランジャは１つだけであってもよい。
　載置プレートが回動するアダプタに関し、カセットサイズ検知センサ９１，９２、およびカセット着座センサ９３を、回動する載置プレート９７の上面に設けてもよい。
　その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
１：ロードポート
２：搬送室
３：処理装置
４：制御装置
４ａ：判別部
１１：載置台
１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ：アダプタ着座センサ
２０：ＦＦＣ用アダプタ（アダプタ）
４１，４２：カセットサイズ検知センサ（容器判別センサ）
４１ａ，４２ａ：発光部（判別センサ照射部）
４１ｂ，４２ｂ：受光部（判別センサ検出部）
４３：カセット着座センサ（容器着座センサ）
４３ａ：発光部（着座センサ照射部）
４３ｂ：受光部（着座センサ検出部）
４４：１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド（容器位置決め部）
４５：２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド（容器位置決め部）
４６：ＦＦＣカセット用共通ガイド（容器位置決め部）
４７：載置プレート
５１：１５０ｍｍＦＦＣ用カセット（容器）
５２：２００ｍｍＦＦＣ用カセット（容器）
５３：２００ｍｍウエハ用カセット（容器）
８０：Hoop Ring用アダプタ（アダプタ）
８１，８２：カセットサイズ検知センサ（容器判別センサ）
８１ａ，８２ａ：発光部（判別センサ照射部）
８１ｂ，８２ｂ：受光部（判別センサ検出部）
８３：カセット着座センサ（容器着座センサ）
８３ａ：発光部（着座センサ照射部）
８３ｂ：受光部（着座センサ検出部）
８７：載置プレート
９０：ウエハ用アダプタ（アダプタ）
９１，９２：カセットサイズ検知センサ（容器判別センサ）
９１ａ，９２ａ：発光部（判別センサ照射部）
９１ｂ，９２ｂ：受光部（判別センサ検出部）
９３：カセット着座センサ（容器着座センサ）
９３ａ：発光部（着座センサ照射部）
９３ｂ：受光部（着座センサ検出部）
９４：１５０ｍｍウエハカセット用ガイド（容器位置決め部）
９５：２００ｍｍウエハカセット用ガイド（容器位置決め部）
９７：載置プレート
１００：固定プレート
１０２，１０３：スプリングプランジャ（付勢手段）

Claims (6)

  1. 　ロードポートに設けられた載置台の上に載置され、被処理物のサイズにそれぞれ適合した、前記被処理物を収容する複数のサイズの容器が載置可能なアダプタであって、
    　前記容器が載置される載置プレートの上面に設けられた容器位置決め部と、
    　前記容器のサイズを判別するための複数の容器判別センサと、
    　を備え、
    　前記容器判別センサは、検出波を水平方向に照射する判別センサ照射部と、当該判別センサ照射部から照射された検出波を検出する判別センサ検出部と、を有し、
    　前記判別センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射することを特徴とする、アダプタ。
  2. 　請求項１に記載のアダプタにおいて、
    　前記容器が載置されているか否かを検出するための容器着座センサをさらに備え、
    　前記容器着座センサは、検出波を水平方向に照射する着座センサ照射部と、当該着座別センサ照射部から照射された検出波を検出する着座センサ検出部と、を有し、
    　前記着座センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射することを特徴とする、アダプタ。
  3. 　請求項２に記載のアダプタにおいて、
    　前記着座センサ照射部と前記着座センサ検出部とが、前記容器の側壁の下部部分を挟むように対向配置されていることを特徴とする、アダプタ。
  4. 　請求項１～３のいずれかに記載のアダプタにおいて、
    　前記載置プレートは、上下方向に回動可能に構成されており、
    　前記載置プレートが上方へ回動するように前記載置プレートを付勢する付勢手段が、前記載置プレートの下に配置されており、
    　前記載置プレートは、前記容器が載置されていない場合は前記付勢手段の押上げ力によって水平方向に対して傾斜した状態となり、前記容器が載置されると、前記付勢手段の押上げ力に抗して下方へ回動して水平姿勢となることを特徴とする、アダプタ。
  5. 　請求項４に記載のアダプタにおいて、
    　前記載置プレートの下に水平姿勢の固定プレートが配置されており、
    　前記固定プレートの上面に前記容器判別センサが設けられていることを特徴とする、アダプタ。
  6. 　請求項１～５のいずれかに記載のアダプタが載置される前記載置台を備えるロードポートであって、
    　前記載置台には、前記アダプタが前記載置台の上に載置されているか否かを検出するためのアダプタ着座センサが設けられており、
    　前記アダプタ着座センサからの信号と、前記容器判別センサからの信号とによって、前記被処理物の種類およびサイズを判別する判別部を備えることを特徴とする、ロードポート。
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