JP2023035305A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】物品の種類の判定精度が高い搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システムは、載置部２１と、天井搬送車と、種類検出センサ３２と、保管制御部と、を備える。天井搬送車は、物品を搬送して、載置部２１に載置する。種類検出センサ３２は、載置部２１に載置された物品を検出する。物品の種類には、第１物品と、第１物品とは形状が異なる第２物品５２と、が含まれる。天井搬送車が第１物品及び第２物品５２の少なくとも一方を載置部２１に載置するときに天井搬送車が種類検出センサ３２の光路と重なる。保管制御部は、天井搬送車が種類検出センサ３２の光路から外れた後のタイミングで種類検出センサ３２が検出した検出結果に基づいて、載置部２１に載置された物品の種類を判定する。【選択図】図３

Description

本発明は、主として、物品を搬送して載置部に載置する搬送システムに関する。

特許文献１は、ウエハキャリア等を収容したボックスを搬送する自動搬送システムを開示する。自動搬送装置では、大中小の３つのサイズのボックスが搬送される。ボックスが載置される場所には、ボックスのサイズを検出するサイズセンサが設けられている。サイズセンサは、光学センサであり、ボックスのサイズに合わせて、上段、中段、及び下段の３つの高さに設けられている。サイズセンサの検出結果に基づいて、ボックスのサイズを検出できる。以上により、自動搬送システムは、サイズの異なるボックスを同時に取り扱うことができる。

特開平９－２２１２０３号公報

特許文献１の自動搬送システムでは、ボックスはハンドによって把持された状態で載置される。そのため、サイズセンサがハンドを検出した場合、ボックスの種類を誤判定する可能性がある。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、物品の種類の判定精度が高い搬送システムを提供することにある。

課題を解決するための手段及び効果

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の観点によれば、以下の構成の搬送システムが提供される。即ち、搬送システムは、載置部と、搬送装置と、光学センサと、判定部と、を備える。前記搬送装置は、物品を搬送して、前記載置部に載置する。前記光学センサは、前記載置部に載置された前記物品を検出する。前記物品の種類には、第１物品と、前記第１物品とは形状が異なる第２物品と、が含まれる。前記載置部に前記第１物品が載置された場合の前記光学センサの検出結果は、前記載置部に前記第２物品が載置された場合の前記光学センサの検出結果と異なる。前記搬送装置が前記第１物品及び前記第２物品の少なくとも一方を前記載置部に載置するときに当該搬送装置が前記光学センサの光路と重なる。前記判定部は、前記搬送装置が前記光学センサの光路から外れた後のタイミングで前記光学センサが検出した検出結果に基づいて、前記載置部に載置された前記物品の種類を判定する。

これにより、光学センサが搬送装置を検出することを避けられるので、判定部による物品の種類の判定精度を高くすることができる。

前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記搬送装置は天井に設けられた軌道に沿って走行して物品を搬送する天井搬送車である。前記搬送装置は、前記物品を前記載置部に載置した後に、前記判定部に対して載置の完了を通知する。前記判定部は、前記載置部から載置の完了が通知された後のタイミングで前記光学センサが検出した検出結果に基づいて、前記載置部に載置された前記物品の種類を判定する。

これにより、搬送装置が光学センサの光路から確実に外れたタイミングで、判定部による判定を行うことができる。

前記の搬送システムにおいては、前記判定部は、前記載置部から載置の完了が通知された後であって、かつ、前記天井搬送車が走行を開始する前のタイミングにおいて、前記光学センサが検出した検出結果に基づいて、前記載置部に載置された前記物品の種類を判定することが好ましい。

これにより、早いタイミングで判定部による判定を行うことができる。

前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記載置部は、前記物品を保管する保管装置に当該物品を受け渡すための場所である。前記保管装置は、前記第１物品を保管するための第１保管装置と、前記第２物品を保管するための第２保管装置と、を備える。

これにより、第２物品が第１保管装置に保管されること及び第１物品が第２保管装置に保管されることを防止できる。

前記の搬送システムにおいては、前記判定部は、載置される予定の前記物品の種類と、判定した前記物品の種類と、が異なる場合、異常の発生を知らせることが好ましい。

これにより、載置される予定の物品の種類とは異なる種類の物品が載置部に置かれた事態に対処することができる。

前記の搬送システムにおいては、前記判定部は、載置される予定の前記物品の種類と、判定した前記物品の種類と、が異なる場合、前記載置部が使用不可となるように設定するとともに、前記搬送装置は使用不可とせずに使用可能である状態を維持することが好ましい。

これにより、載置した物品の種類が異なることは搬送装置の異常とは言えないため、搬送装置が使用可能である状態を維持することで、搬送システムの稼動率の低下を抑えることができる。

前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記第２物品は、前記第１物品よりも高さ方向のサイズが小さい。前記光学センサの光路は、前記載置部に載置された前記第１物品と重なるとともに、前記載置部に載置された前記第２物品よりも上方を通る。前記搬送装置は、前記物品の上部を把持する把持部を備える。前記搬送装置が前記第２物品を載置するときには、前記把持部が前記光学センサの光路と重なる。

把持部が邪魔になって第１物品と第２物品の区別が困難になる状況においても、載置部に置かれた物品の種類を精度良く判定できる。

前記の搬送システムにおいては、前記光学センサの光路は、前記物品の側面の法線方向に対して傾斜していることが好ましい。

これにより、物品の検出精度を高くすることができる。

本発明の一実施形態に係る搬送システムの構成を概略的に示す図。 第１物品を載置部に載置するときの様子を示す側面図。 第２物品を載置部に載置するときの様子を示す側面図。 載置部及び種類検出センサの光路を示す平面図。 天井搬送車から保管装置に物品を移載する流れを示すシーケンス図。 変形例に係る搬送システムの構成を概略的に示す図。

次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１を参照して搬送システム１の概要について説明する。図１は、本発明の実施形態に係る搬送システム１の構成を概略的に示す平面図である。

本実施形態の搬送システム１は、半導体製品を製造する工場（建屋、施設）に設置されており、様々な物品を搬送するためのシステムである。搬送システム１が搬送する物品は、第１物品５１と第２物品５２である。第１物品５１と第２物品５２は、何れも、半導体ウエハを収容する収容容器である。第２物品５２は、第１物品５１よりも高さ方向のサイズが小さい。具体的には、第１物品５１がＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ－Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）であり、第２物品５２がウエハカセットである。以下の説明では、第１物品５１と第２物品５２をまとめて単に「物品」と称することがある。なお、物品は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。

図１に示すように、搬送システム１は、軌道２と、天井搬送車（搬送装置）１０と、保管装置３と、を備える。

軌道２は、工場の天井７に設けられている。天井搬送車１０、軌道２に沿って吊下げ状態で走行可能に構成されている。また、図１には天井搬送車１０が１台のみ示されているが、天井搬送車１０を複数台備える構成であってもよい。

図１に示すように、天井搬送車１０は、走行部１１と、昇降部１２と、把持部１３と、台車制御部１４と、を備える。

走行部１１は、走行モータ及び車輪を備える。走行部１１は、走行モータが発生させた動力を用いて車輪を回転させる。これにより、軌道２に沿って走行する。

昇降部１２は、昇降モータ及びホイストを備える。昇降部１２は、昇降モータが発生させた動力を用いてワイヤ等の吊下げ部材を降下させたり巻き取ったりすることにより、昇降可能である。

把持部１３は、昇降部１２の下部に設けられている。把持部１３は、第１物品５１及び第２物品５２の上部に形成されたフランジを把持するチャック等である。把持部１３は、第１物品５１又は第２物品５２を把持する状態と、把持を解除する状態と、を切替可能である。

台車制御部１４は、ＣＰＵ等の演算装置と、フラッシュメモリ又はハードディスク等の記憶装置と、外部と通信するための通信装置と、を備える。記憶装置には、各種のプログラムや設定値が記憶されている。演算装置は、各種プログラム等を記憶装置から読み出し、天井搬送車１０の各部の動作を制御する。

保管装置３は、物品を保管する。図１に示すように、保管装置３は、第１物品５１を保管する第１保管装置４と、第２物品５２を保管する第２保管装置５と、を備える。例えば、半導体ウエハの前工程が完了するタイミングと次工程が開始するタイミングがズレた場合、天井搬送車１０によって第１物品５１及び第２物品５２が保管装置３に供給される。

第１保管装置４と第２保管装置５は、保管棚の構成以外は同一であるため、代表して第１保管装置４について説明する。図１に示すように、第１保管装置４は、載置部２１と、クレーン２２と、第１保管棚２３と、保管制御部（判定部）２５と、を備える。また、第２保管装置５は、第１保管装置４の第１保管棚２３に代えて、第２保管棚２４を備える。

載置部２１は、天井搬送車１０が第１物品５１及び第２物品５２を載置する場所である。載置部２１には、コンベアが設けられている。載置部２１に載置された第１物品５１又は第２物品５２は、コンベアによって保管装置３の内部に搬送される。

クレーン２２は、搬送台２２ａと、ガイド柱２２ｂと、ガイドレール２２ｃと、を備える。搬送台２２ａには、第１物品５１又は第２物品５２が載置される。搬送台２２ａは、図略のモータが発生させた動力により、ガイド柱２２ｂに沿って鉛直方向に移動可能である。搬送台２２ａは、図略のモータが発生させた動力により、ガイドレール２２ｃに沿って水平方向（図１の紙面裏表方向）に移動可能である。

第１保管棚２３は、第１物品５１を保管するための棚である。第１保管棚２３は、第１物品５１が収容可能なサイズの収容空間を有する。第１保管棚２３の収容空間の高さ方向のサイズは、第１物品５１の高さ方向のサイズに余裕としての調整値を追加した値である。

第２保管棚２４は、第２物品５２を保管するための棚である。第２保管棚２４は、第２物品５２が収容可能なサイズの収容空間を有する。第２保管棚２４の収容空間の高さ方向のサイズは、第２物品５２の高さ方向のサイズに余裕としての調整値を追加した値である。

保管制御部２５は、ＣＰＵ等の演算装置と、フラッシュメモリ又はハードディスク等の記憶装置と、外部と通信するための通信装置と、を備える。記憶装置には、各種のプログラムや設定値が記憶されている。演算装置は、各種プログラム等を記憶装置から読み出し、保管装置３の各部の動作を制御する。

搬送システム１は、物品を検出するためのセンサとして、物品検出センサ３１及び種類検出センサ（光学センサ）３２を備える。

物品検出センサ３１は、載置部２１に物品が載置されたか否かを検出するためのセンサである。図２に示すように、載置部２１には、物品が載置される領域を挟んで向かい合うように一対のセンサステー３０が設けられている。また、物品検出センサ３１は、投受光部３１ａと反射板３１ｂとを備える。一方のセンサステー３０に投受光部３１ａが取り付けられており、他方のセンサステー３０に反射板３１ｂが取り付けられている。

投受光部３１ａは、投光素子と受光素子とを備える。投光素子は、ＬＥＤ又はレーザ発生器等であり、光を照射する。受光素子は、フォトダイオード等であり、光を受光して電気信号を出力する。投受光部３１ａは、反射板３１ｂに向けて光を照射する。投受光部３１ａと反射板３１ｂの間に物品が存在しない場合、投受光部３１ａが照射した光が反射板３１ｂで反射されて、この反射光が投受光部３１ａによって検出される。投受光部３１ａと反射板３１ｂの間に物品が存在する場合、投受光部３１ａが照射した光は物品で反射又は透過する。反射板３１ｂと物品では光の反射率、反射方向、又は散乱の程度が異なり、物品を透過した場合も光の強度が低下するため、物品がある場合の物品検出センサ３１の検出結果と、物品が無い場合の物品検出センサ３１の検出結果と、は異なる。従って、投受光部３１ａが出力した電気信号を解析することにより、載置部２１に物品が載置されたか否かを判定できる。

図２及び図３に示すように、載置部２１に第１物品５１と第２物品５２の何れが載置された場合でも物品検出センサ３１が物品を検出できるように、物品検出センサ３１は比較的低い高さに配置されている。そのため、物品検出センサ３１の光路は、載置部２１に載置された第２物品５２の上端よりも下方を通る。これにより、載置部２１に載置された物品が第１物品５１であっても第２物品５２であっても、物品検出センサ３１により検出される。なお、物品検出センサ３１の光路は、載置部２１に物品を載置する際の把持部１３よりも下方を通る。

種類検出センサ３２は、載置部２１に載置された物品の種類を検出するためのセンサである。本実施形態では、搬送システム１は２種類の物品、即ち第１物品５１と第２物品５２を取り扱う。従って、種類検出センサ３２は、載置部２１に載置された物品が第１物品５１であるか第２物品５２であるかを検出するために用いられる。

種類検出センサ３２は、物品検出センサ３１と同様、投受光部３２ａと反射板３２ｂとを備え、一対のセンサステー３０に配置されている。投受光部３２ａは投受光部３１ａと同じ構成であり、反射板３２ｂは反射板３１ｂと同じ構成である。なお、物品検出センサ３１と種類検出センサ３２で物品を検出するための構成が異なっていてもよい。また、物品検出センサ３１と種類検出センサ３２の少なくとも一方が、投受光型センサであってもよい。投受光型センサとは、投光部と対向するように受光部を配置して、投光部と受光部の間に物品が存在するか否かを検出する光センサである。

図４は、載置部２１の平面図である。図４に示すように、物品検出センサ３１及び種類検出センサ３２の光路は、載置部２１に載置された第１物品５１に対して傾斜している（載置部２１に第２物品５２が載置される場合も同様）。具体的には、光路は、第１物品５１の側面５１ａに直交するのではなく、側面５１ａの法線方向に対して傾斜している。第１物品５１の素材は光透過性のある樹脂であるため、光路が側面５１ａに直交する場合は光が透過し易くなる。一方で、光路が側面５１ａの法線方向に対して傾斜している場合、光が透過しにくい。そのため、本実施形態のように光路を設定することにより、誤検出をより確実に防止できる。

図２に示すように、種類検出センサ３２は、物品検出センサ３１よりも高い位置に配置されている。具体的には、種類検出センサ３２の光路は、載置部２１に載置された第１物品５１の上端よりも下方を通るため、第１物品５１と重なる。更に、種類検出センサ３２の光路は、載置部２１に載置された第２物品５２の上端よりも上方を通る。つまり、図２に示すように、載置部２１に第１物品５１が載置された場合は、種類検出センサ３２は投受光部３２ａと反射板３２ｂの間に物品が存在することを検出する。

一方で、図３に示すように、載置部２１に第２物品５２が載置された場合は、種類検出センサ３２は物品の存在を検出しない（載置部２１に何も載置されていない場合と同じ挙動を示す）。言い換えれば、天井搬送車１０が載置部２１に物品を載置した後において、種類検出センサ３２が物品を検出すれば第１物品５１が載置されたと特定できる。一方で、天井搬送車１０が載置部２１に物品を載置した後において、種類検出センサ３２が物品を検出しない場合は第２物品５２が載置されたと特定できる。このように、載置部２１に第１物品５１が載置された場合の種類検出センサ３２の検出結果は、載置部２１に第２物品５２が載置された場合の種類検出センサ３２の検出結果と異なる。なお、第１物品５１又は第２物品５２が載置されたと特定する条件に、物品検出センサ３１が物品を検出したことを追加してもよい。

ここで、図３に示すように、天井搬送車１０によって第２物品５２が載置部２１に載置される作業の途中においては、把持部１３が種類検出センサ３２の光路に重なる。従って、把持部１３が種類検出センサ３２の光路から退避する前に物品の種類を判定してしまうと、誤判定の可能性がある。この点、本実施形態では、以下に詳細に示すように、把持部１３が完全に退避した後のタイミングで取得した検出結果に基づいて物品の種類を判定するため、誤判定を防止できる。

以下、図５を参照して、天井搬送車１０から保管装置３に物品を受け渡す流れ及び物品の種類を判定する処理について説明する。これらの通信は、天井搬送車１０の台車制御部１４と、保管装置３の保管制御部２５と、の間で行われるが、以下の説明では、天井搬送車１０が保管装置３に通知する等と記載する。

天井搬送車１０から保管装置３（具体的には第１保管装置４又は第２保管装置５）に物品を受け渡す場合、天井搬送車１０と保管装置３の間でインターロック通信が行われる。インターロック通信とは、物品を載置する作業を適切に行うために、天井搬送車１０と保管装置３の個々の動作及び状況を確認してそれを互いに通知する通信である。本実施形態では、ＳＥＭＩ Ｅ８４という規格に沿って、天井搬送車１０と保管装置３のインターロック通信が行われる。

具体的には、保管装置３は、物品を受け入れることが決定した場合（物品の受入れの指示を受けた場合）、対象の物品を搬送する天井搬送車１０に対して、物品の受入れを行う旨を通知する（シーケンス番号１、Ｌ＿ＲＥＱ ＯＮ）。天井搬送車１０は、この通知を受けて、物品の移載を行う旨を保管装置３に通知する（シーケンス番号２、ＴＲ＿ＲＥＱ ＯＮ）。保管装置３は、この通知を受けて、物品の移載の準備が完了した旨を天井搬送車１０に通知する（シーケンス番号３、ＲＥＡＤＹ ＯＮ）。

天井搬送車１０は、この通知を受けて、物品を載置部２１に載置する作業を行う（シーケンス番号４）。天井搬送車１０は、把持部１３による物品の把持を解除した後に、昇降部１２を動作させて把持部１３を上昇させる。天井搬送車１０は、把持部１３が所定の待機位置まで戻った後に、移載の完了を保管装置３に通知する（シーケンス番号５、ＣＯＭＰＴ ＯＮ）。

保管装置３（保管制御部２５）は、この通知を受けて載置部２１に載置された物品の種類を判定する（シーケンス番号６）。つまり、天井搬送車１０が移載の完了を保管装置３に通知した時点において、把持部１３は種類検出センサ３２の光路から外れている。従って、保管装置３は、種類検出センサ３２から物品が存在する旨の検出結果を取得した場合、載置部２１に第１物品５１が載置されたと判定する。一方、保管装置３は、種類検出センサ３２から物品が存在しない旨の検出結果を取得した場合、載置部２１に第２物品５２が載置されたと判定する。

ここで、保管装置３は、判定した物品の種類が、載置される予定の物品の種類と異なる場合は、異常の発生を知らせる。載置される予定の物品の種類とは、物品の搬送スケジュール等に応じて載置部２１に載置されることが予め定められた物品の種類であり、例えば上位の制御装置又は天井搬送車１０等から通知された物品の種類である。異常の発生を知らせる方法及び異常の発生を知らせる対象は様々である。異常を知らせる方法としては、例えば、異常が生じた旨のメッセージ又はエラーコード等を送信したり、アラーム音を発生させたり、ランプを点灯させたりする方法がある。メッセージ又はエラーコード等を送信する場合、送信先（異常を知らせる対象）としては、オペレータが所有する端末又は上位の制御装置等がある。

また、保管装置３は、異常を報知するとともに、載置部２１が使用不可となるように設定する。例えば、保管装置３は、載置部２１が使用不可となったことを上位の制御装置へ通知したり、天井搬送車１０に対して物品の受入れを通知する処理を行わなくしたりする。

載置部２１に設定と異なる種類の物品を載置した天井搬送車１０は、受け取った物品の種類が異なっていただけであり、天井搬送車１０自体には異常は存在しない。従って、保管装置３は、載置部２１に物品を載置した天井搬送車１０を使用不可とせずに使用可能である状態を維持する。具体的には、保管装置３は、天井搬送車１０に異常がある等の通知を行わない。

従って、シーケンス番号６における判定結果に関係なく、天井搬送車１０は、別の場所への走行を開始する（シーケンス番号７）。

シーケンス番号１，２，３，５の通知は、ＳＥＭＩ Ｅ８４で定められた処理である。従って、これらの処理にシーケンス番号６の処理を追加するだけで、物品の種類を適切なタイミングで判定することができる。

以上に説明したように、本実施形態の搬送システム１は、載置部２１と、天井搬送車１０と、種類検出センサ３２と、保管制御部２５と、を備える。天井搬送車１０は、物品を搬送して、載置部２１に載置する。種類検出センサ３２は、載置部２１に載置された物品を検出する。物品の種類には、第１物品５１と、第１物品５１とは形状が異なる第２物品５２と、が含まれる。載置部２１に第１物品５１が載置された場合の種類検出センサ３２の検出結果は、載置部２１に第２物品５２が載置された場合の種類検出センサ３２の検出結果と異なる。天井搬送車１０が第１物品５１及び第２物品５２の少なくとも一方を載置部２１に載置するときに天井搬送車１０が種類検出センサ３２の光路と重なる。保管制御部２５は、天井搬送車１０が種類検出センサ３２の光路から外れた後のタイミングで種類検出センサ３２が検出した検出結果に基づいて、載置部２１に載置された物品の種類を判定する。

これにより、種類検出センサ３２が搬送装置を検出することを避けられるので、保管制御部２５による物品の種類の判定精度を高くすることができる。

本実施形態の搬送システム１において、天井搬送車１０は天井７に設けられた軌道２に沿って走行して物品を搬送する。天井搬送車１０は、物品を載置部２１に載置した後に、保管制御部２５に対して載置の完了を通知する。保管制御部２５は、載置部２１から載置の完了が通知された後のタイミングで種類検出センサ３２が検出した検出結果に基づいて、載置部２１に載置された物品の種類を判定する。

これにより、天井搬送車１０が種類検出センサ３２の光路から確実に外れたタイミングで、保管制御部２５による判定を行うことができる。

本実施形態の搬送システム１において、保管制御部２５は、載置部２１から載置の完了が通知された後であって、かつ、天井搬送車１０が走行を開始する前のタイミングにおいて、種類検出センサ３２が検出した検出結果に基づいて、載置部２１に載置された物品の種類を判定する。

これにより、早いタイミングで保管制御部２５による判定を行うことができる。

本実施形態の搬送システム１において、載置部２１は、物品を保管する保管装置３に物品を受け渡すための場所である。保管装置３は、第１物品５１を保管するための第１保管装置４と、第２物品５２を保管するための第２保管装置５と、を備える。

これにより、第２物品５２が第２保管装置５に保管されること及び第１物品５１が第１保管装置４に保管されることを防止できる。

本実施形態の搬送システム１において、保管制御部２５は、載置される予定の物品の種類と、判定した物品の種類と、が異なる場合、異常の発生を知らせる。

これにより、予め定められた種類とは異なる種類の物品が載置部２１に置かれた事態に対処することができる。

本実施形態の搬送システム１において、保管制御部２５は、載置される予定の物品の種類と、判定した物品の種類と、が異なる場合、載置部２１が使用不可となるように設定するとともに、天井搬送車１０は使用不可とせずに使用可能である状態を維持する。

これにより、載置した物品の種類が異なることは天井搬送車１０の異常とは言えないため、天井搬送車１０が使用可能である状態を維持することで、搬送システム１の稼動率の低下を抑えることができる。

本実施形態の搬送システム１において、第２物品５２は、第１物品５１よりも高さ方向のサイズが小さい。種類検出センサ３２の光路は、載置部２１に載置された第１物品５１に重なるとともに、載置部２１に載置された第２物品５２よりも上方を通る。天井搬送車１０は、物品の上部を把持する把持部１３を備える。天井搬送車１０が第２物品５２を載置するときには、把持部１３が種類検出センサ３２の光路と重なる。

把持部１３が邪魔になって第１物品５１と第２物品５２の区別が困難になる状況においても、載置部２１に置かれた物品の種類を精度良く判定できる。

本実施形態の搬送システム１において、種類検出センサ３２の光路は、物品の側面５１ａの法線方向に対して傾斜している。

これにより、物品の検出精度を高くすることができる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

上記実施形態で示したシーケンス図は一例であり、一部の処理を省略したり、一部の処理の内容を変更したり、新たな処理を追加したりしてもよい。例えば、上記実施形態では天井搬送車１０から移載の完了の通知を受領した後に物品の種類の判定を行う。これに代えて、天井搬送車１０の把持部１３が載置部２１の近傍にあるか否かを検出するセンサを設け、このセンサの検出結果に基づいて定められたタイミングで、物品の種類の判定を行ってもよい。

上記実施形態では、物品の上部を把持するタイプの天井搬送車１０に本発明を適用したが、これに代えて、例えば、物品の側面を挟むタイプの搬送装置、又は、物品の底面を支持するタイプの搬送装置に本発明を適用できる。

上記実施形態では、２種類の物品の種類を判定したが、３種類以上の物品の種類を判定する構成であってもよい。例えば、高さ方向のサイズが異なる３種類の物品が取り扱われる場合、上記実施形態の種類検出センサ３２に相当するセンサを２つ設ければよい。

上記実施形態では、高さ方向のサイズが異なる物品の種類を判定したが、形状が異なるのであれば、高さ方向のサイズ以外の点が異なる物品の種類を判定する構成であってもよい。例えば、幅方向のサイズが異なる物品である場合は、上記実施形態と同様、一方の物品と光路が重なるとともに他方の物品と光路が重ならないように光学センサを設定すればよい。

上記実施形態では、第１保管装置４が第１物品５１のみを保管し、第２保管装置５が第２物品５２のみを保管する。これに代えて、図６に示すように、第１物品５１と第２物品５２の両方を保管する保管装置３が設けられてもよい。

上記実施形態では、光センサは、反射型又は透過型である。これに代えて、測距センサを用いてもよい。測距センサは、光を照射してから受光するまでの時間に基づいて物品までの距離を検出する。測距センサから第１物品５１までの距離と、測距センサから第２物品５２までの距離が異なる場合、測距センサの検出結果に基づいて、物品の種類を判定できる

上記実施形態では、半導体製品を製造する工場に設置される搬送システム１について説明したが、この搬送システム１は、他の製品を製造する工場に設置することもできる。また、この搬送システム１は、製造工場以外の建屋（例えば倉庫）に設置することもできる。

１ 搬送システム
２ 軌道
３ 保管装置
１０ 天井搬送車（搬送装置）
３１ 物品検出センサ
３２ 種類検出センサ（光学センサ）

Claims (8)

1. 載置部と、
   物品を搬送して、前記載置部に載置する搬送装置と、
   前記載置部に載置された前記物品を検出する光学センサと、
   判定部と、
   を備え、
   前記物品の種類には、第１物品と、前記第１物品とは形状が異なる第２物品と、が含まれ、
   前記載置部に前記第１物品が載置された場合の前記光学センサの検出結果は、前記載置部に前記第２物品が載置された場合の前記光学センサの検出結果と異なり、
   前記搬送装置が前記第１物品及び前記第２物品の少なくとも一方を前記載置部に載置するときに当該搬送装置が前記光学センサの光路と重なり、
   前記判定部は、前記搬送装置が前記光学センサの光路から外れた後のタイミングで前記光学センサが検出した検出結果に基づいて、前記載置部に載置された前記物品の種類を判定することを特徴とする搬送システム。
2. 請求項１に記載の搬送システムであって、
   前記搬送装置は天井に設けられた軌道に沿って走行して物品を搬送する天井搬送車であり、
   前記搬送装置は、前記物品を前記載置部に載置した後に、前記判定部に対して載置の完了を通知し、
   前記判定部は、前記載置部から載置の完了が通知された後のタイミングで前記光学センサが検出した検出結果に基づいて、前記載置部に載置された前記物品の種類を判定することを特徴とする搬送システム。
3. 請求項２に記載の搬送システムであって、
   前記判定部は、前記載置部から載置の完了が通知された後であって、かつ、前記天井搬送車が走行を開始する前のタイミングにおいて、前記光学センサが検出した検出結果に基づいて、前記載置部に載置された前記物品の種類を判定することを特徴とする搬送システム。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
   前記載置部は、前記物品を保管する保管装置に当該物品を受け渡すための場所であり、
   前記保管装置は、前記第１物品を保管するための第１保管装置と、前記第２物品を保管するための第２保管装置と、を備えることを特徴とする搬送システム。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
   前記判定部は、載置される予定の前記物品の種類と、判定した前記物品の種類と、が異なる場合、異常の発生を知らせることを特徴とする搬送システム。
6. 請求項５に記載の搬送システムであって、
   前記判定部は、載置される予定の前記物品の種類と、判定した前記物品の種類と、が異なる場合、前記載置部が使用不可となるように設定するとともに、前記搬送装置は使用不可とせずに使用可能である状態を維持することを特徴とする搬送システム。
7. 請求項１から６までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
   前記第２物品は、前記第１物品よりも高さ方向のサイズが小さく、
   前記光学センサの光路は、前記載置部に載置された前記第１物品と重なるとともに、前記載置部に載置された前記第２物品よりも上方を通り、
   前記搬送装置は、前記物品の上部を把持する把持部を備え、
   前記搬送装置が前記第２物品を載置するときには、前記把持部が前記光学センサの光路と重なることを特徴とする搬送システム。
8. 請求項７に記載の搬送システムであって、
   前記光学センサの光路は、前記物品の側面の法線方向に対して傾斜していることを特徴とする搬送システム。

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