WO2017068960A1 - 偏光光照射装置及び偏光光照射方法 - Google Patents

偏光光照射装置及び偏光光照射方法 Download PDF

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WO2017068960A1
WO2017068960A1 PCT/JP2016/079401 JP2016079401W WO2017068960A1 WO 2017068960 A1 WO2017068960 A1 WO 2017068960A1 JP 2016079401 W JP2016079401 W JP 2016079401W WO 2017068960 A1 WO2017068960 A1 WO 2017068960A1
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polarized light
light irradiation
unit
stage
irradiation unit
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PCT/JP2016/079401
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Inventor
和重 橋本
敏成 新井
Original Assignee
株式会社ブイ・テクノロジー
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    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Definitions

  • the present invention relates to a polarized light irradiation apparatus and a polarized light irradiation method.
  • Patent Document 1 polarized light with respect to a substrate placed on a stage is moved by moving at least one of a polarizing means having a plurality of unit polarizers arranged adjacent to each other and a stage or polarized light irradiation means. It is equipped with scanning means that scans the ultraviolet rays from the irradiation means in a predetermined scanning direction, and the adjacent surface of the unit polarizer and the adjacent direction of the unit polarizer are inclined with respect to the scanning direction, thereby realizing good alignment characteristics.
  • a photo-alignment irradiation apparatus for achieving the above has been disclosed.
  • the length of the photo-alignment irradiation apparatus in order to move the stage along the scanning direction, is the substrate placed on the stage. Etc. (hereinafter referred to as the object W) in the direction along the scanning direction (when scanning is performed with the object W tilted with respect to the scanning direction, the scanning direction of the object W in the tilted state) 2) or more).
  • the object W in the direction along the scanning direction (when scanning is performed with the object W tilted with respect to the scanning direction, the scanning direction of the object W in the tilted state) 2 or more).
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and provides a polarized light irradiation apparatus and a polarized light irradiation method capable of downsizing the apparatus, particularly shortening the length in the direction along the scanning direction. With the goal.
  • a polarized light irradiation apparatus provides a stage on which an object is placed and substantially band-shaped polarized light along a direction substantially orthogonal to the scanning direction of the object.
  • a polarized light irradiation unit that irradiates; an optical measurement unit that measures characteristics of light emitted from the polarized light irradiation unit; and a light source moving unit that moves the polarized light irradiation unit along a scanning direction of the object;
  • the stage, the polarized light irradiation unit, and the optical measurement unit are provided so that horizontal positions do not overlap when the polarized light irradiation unit is in a standby position.
  • a stage on which an object is placed a polarized light irradiation unit that irradiates a substantially band-shaped polarized light along a direction substantially orthogonal to the scanning direction of the object, and polarized light irradiation
  • the optical measurement unit that measures the characteristics of the light emitted from the unit is provided so that the horizontal position does not overlap when the polarized light irradiation unit is in the standby position.
  • the light source moving unit moves the polarized light irradiating unit along the scanning direction of the object and passes it over the stage.
  • an input unit for inputting information a moving speed calculating unit for calculating the moving speed of the polarized light irradiation unit based on the information input by the input unit, and the movement calculated by the moving speed calculating unit
  • the polarized light irradiation unit moves at a speed so as to pass on the stage, and the horizontal position of the polarized light irradiation unit and the horizontal position of the optical measuring device are moved to a measurement position.
  • a light source movement control unit that controls the light source movement unit.
  • the optical measuring device may be provided on the opposite side of the stage across the polarized light irradiation unit in the horizontal direction. Thereby, it is possible to prevent the optical measuring instrument from being irradiated with polarized light more than necessary.
  • a light source control unit that controls turning on and off of the light source, an optical measurement unit that measures an exposure amount and illuminance based on a result measured by the optical measuring instrument and information input by the input unit,
  • the horizontal position of the optical measuring device is between the horizontal position of the stage and the horizontal position of the polarized light irradiation unit.
  • the light source movement control unit passes the polarized light irradiation unit continuously over the optical measuring instrument and the stage, and the light source control unit is configured such that the light source movement control unit controls the polarized light irradiation unit.
  • the light source may be turned on. Thereby, the measurement with an optical measuring device can be performed substantially simultaneously with the exposure process.
  • an input unit for inputting information an optical measuring device moving unit for moving the optical measuring device along the scanning direction of the object, and the polarized light irradiation based on the information input by the input unit
  • a moving speed calculating unit that calculates a moving speed of the unit
  • a light source moving that controls the light source moving unit so that the polarized light irradiation unit passes over the stage at a moving speed calculated by the moving speed calculating unit.
  • the optical measuring instrument moving unit is controlled to move the optical measuring instrument to a measuring position where the horizontal position of the control unit and the polarized light irradiating unit coincide with the horizontal position of the optical measuring instrument.
  • An optical measurement unit movement control unit is controlled to move the optical measuring instrument to a measuring position where the horizontal position of the control unit and the polarized light irradiating unit coincide with the horizontal position of the optical measuring instrument.
  • the optical measurement device and the polarized light irradiation unit are provided adjacent to each other in the horizontal direction, and are provided on both sides of the optical measurement device and the polarized light irradiation unit. Two stages may be provided. Thereby, a several target object can be irradiated with polarized light efficiently.
  • the light source moving unit may include a rotating unit that rotates the polarized light irradiation unit.
  • the longitudinal direction of the polarized light to be exposed can be tilted with respect to the scanning direction without moving the stage, and as a result, good alignment characteristics can be obtained.
  • the polarized light irradiation unit is a light source, a light guide member that guides light emitted from the light source, a light incident unit to which the light of the light source is supplied, and substantially above the stage.
  • a light guide member provided in a band shape and having a light emitting part that irradiates light to the stage may be included. In this way, by using the light guide member, the portion moved by the light source moving unit can be made smaller and lighter, whereby the polarized light irradiation device can be further downsized.
  • the polarized light irradiation method includes, for example, a stage on which an object is placed, and substantially band-shaped polarized light along a direction substantially orthogonal to the scanning direction of the object.
  • the stage, the polarized light irradiation unit, and the optical measuring instrument are polarized light irradiation methods using a polarized light irradiation device provided so that horizontal positions do not overlap,
  • the step of placing the object the step of calculating the moving speed of the polarized light irradiation unit based on the information input from the input unit, and the state of irradiating light from the polarized light irradiation unit,
  • the polarized light irradiation unit is moved from the standby position to the pair.
  • moving the polarized light irradiation unit in the scanning direction without moving the stage in the scanning direction it is possible to reduce the size of the polarized light irradiation device, particularly to shorten the length in the longitudinal direction.
  • the polarized light irradiation method includes, for example, a stage on which an object is placed, and substantially band-shaped polarized light along a direction substantially orthogonal to the scanning direction of the object.
  • the stage, the polarized light irradiation unit, and the optical measuring instrument are polarized light irradiation methods using a polarized light irradiation device provided so that horizontal positions do not overlap,
  • the step of placing the object the step of calculating the moving speed of the polarized light irradiation unit based on the information input from the input unit, and the state of irradiating light from the polarized light irradiation unit,
  • the polarized light irradiation unit is moved from the standby position to the pair. Is moved at a moving speed of the calculated along the scanning direction of the object, characterized in that it comprises a and a step of passing in succession over the optical measuring instrument and the stage.
  • the polarized light irradiation device can be downsized, and measurement can be performed with an optical measuring instrument almost simultaneously with the exposure process.
  • the time required to perform processing on one object W can be shortened.
  • the apparatus can be miniaturized, and in particular, the length in the direction along the scanning direction can be shortened.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an outline of a functional configuration of the polarized light irradiation device 1.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of a control unit 50.
  • FIG. It is a flowchart which shows the flow of the process which the polarized light irradiation apparatus 1 performs. It is an example of information input to the moving speed calculation unit 52 and information calculated by the moving speed calculation unit 52.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an outline of a light guide member 62.
  • FIG. It is an example which showed typically the distribution state of the emission part 62c (end surface of the optical fiber strand 62a) in the irradiation surface 62e.
  • It is a top view which shows the outline of 4 A of polarized light irradiation apparatuses which concern on the modification of 4th Embodiment.
  • FIG. 1 is a plan view showing an outline of a polarized light irradiation apparatus 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a front view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 1.
  • the polarized light irradiation device 1 performs, for example, a liquid crystal panel or the like by irradiating an exposed surface of an object W such as a glass substrate with light polarized through a polarizer (hereinafter referred to as polarized light). This is an apparatus for producing an alignment film.
  • the photo-alignment treatment means that the film is made anisotropic by irradiating the polymer film with linearly polarized ultraviolet rays to induce rearrangement of molecules in the film and anisotropic chemical reaction. It is processing.
  • the process that can be performed using the polarized light irradiation apparatus 1 is not limited to the photo-alignment process, and for example, the exposed object W can be inspected using the polarized light irradiation apparatus 1.
  • the conveyance direction of the object W is defined as the x direction
  • the direction orthogonal to the conveyance direction is defined as the y direction
  • the vertical direction is defined as the z direction.
  • FIG. 2 for the sake of explanation, a part of the front side ( ⁇ y side) of the apparatus is not shown.
  • the top surface (the surface on the + z side) of the device frame is not shown.
  • the polarized light irradiation device 1 mainly includes a polarized light irradiation unit 10, a stage 21, an optical measuring device 22, a light source moving unit 30, and a robot 40.
  • the polarized light irradiation unit 10 irradiates the object W with polarized light.
  • FIG. 3 is a perspective view showing details of the polarized light irradiation unit 10.
  • the polarized light irradiation unit 10 mainly includes a light source 11, an optical member 12, a mirror 13, and a housing 14.
  • the light source 11 is a rod-shaped member and emits unpolarized light (for example, ultraviolet light).
  • the light source 11 has a length of about 1 m to about 2 m and a diameter of about 10 mm.
  • the light source 11 is not limited to this form.
  • point light sources may be arranged in a line to form a rod-shaped light source.
  • the optical member 12 is a rectangular member having a long side slightly longer than the light emission length of the light source 11.
  • the optical member 12 is provided on the lower side ( ⁇ z side) of the light source 11 so that the longitudinal direction thereof substantially coincides with the longitudinal direction of the light source 11.
  • the optical member 12 is, for example, a polarizing film that polarizes non-polarized light emitted from the light source 11, but is not limited to the polarizing film.
  • the optical member 12 may be constituted by a single member, or may be constituted by arranging parallelogram (including square and rectangle) pieces in a row.
  • the mirror 13 has a substantially semi-elliptical cross section and reflects the light emitted from the light source 11.
  • the mirror 13 is provided on the upper side (+ z side) of the light source 11 so that the longitudinal direction thereof coincides with the longitudinal direction of the light source 11.
  • the light emitted from the light source 11 passes through the optical member 12 and is irradiated downward ( ⁇ z direction) as thin linear light (see the two-dot chain line in FIG. 3).
  • the housing 14 is provided with a light source 11, an optical member 12, and a mirror 13.
  • a rotating portion 33 (detailed later) is provided on the upper surface (+ z side) of the housing 14.
  • the rotation unit 33 is provided at the housing 14, that is, at the approximate center of the polarized light irradiation unit 10.
  • the stage 21 is rotatably provided by a rotation mechanism (not shown) (see the dotted line in FIG. 1).
  • An object W is placed on the upper surface of the stage 21.
  • the optical measuring instrument 22 measures the characteristics of the light emitted from the polarized light irradiation unit 10 such as the illuminance of light irradiated from the polarized light irradiation unit 10, the integrated exposure amount, and the direction of the axis of polarization. As shown in FIG. 1, the optical measuring instrument 22 has a sensor 22a for measuring the illuminance of light and a sensor 22b for measuring the direction of the axis of polarization. In addition, the position and number of sensors 22a and 22b are not limited to the form shown in FIG. The optical measuring instrument 22 can use various known techniques.
  • the light source moving unit 30 mainly includes a support base 31, a support base movement unit 32, and a rotation unit 33.
  • the support base 31 holds the polarized light irradiation unit 10 via the rotation unit 33.
  • the rotating unit 33 is provided on the back surface (the surface on the ⁇ z side) of the support base 31.
  • the rotation unit 33 mainly includes a rotation shaft 33a that rotates the housing 14 with respect to the support base 31, and a rotation shaft drive unit 33b that drives the rotation shaft (not shown in FIG. 3, see FIG. 4). And will be described later in detail).
  • the rotation part 33 is not an essential structure.
  • the housing 14 may be provided directly on the support base 31.
  • the support base moving part 32 is formed on the rail 32a by the driving force of the rod-like rail 32a, the support base drive part 32b (not shown in FIGS. 1 and 2, see FIG. 4 and described in detail later), and the support base drive part 32b. And a parallel movement mechanism (not shown) for reciprocating the support base 31 along.
  • a sliding portion (not shown) is provided on the surface (+ z side surface) or side surface (+ y side surface and -y side surface) of the support base 31, and this sliding portion slides along the rail 32a. Thereby, the support base 31 moves along the rail 32a.
  • Various known techniques can be used for the translation mechanism.
  • the robot 40 is a moving means for moving the object W to the stage 21 and moving the object W from the stage 21.
  • the position of the robot 40 is not limited to the positions shown in FIGS. Since the robot 40 is already known, a description thereof will be omitted.
  • the polarized light irradiation unit 10 and the support base 31 are in the standby position shown in FIGS. 1 and 2 (positions indicated by a broken line and a solid line)
  • the polarized light irradiation unit 10, the stage 21, and the optical measuring instrument 22 are as follows.
  • the horizontal position is not overlapped. Thereby, it is possible to measure the characteristics of light in the optical measuring instrument 22 or to perform the alignment process on the object W without any problem.
  • FIG. 4 is a block diagram showing an outline of a functional configuration of the polarized light irradiation apparatus 1.
  • the control unit 50 mainly includes a support stage movement control unit 51, a movement speed calculation unit 52, a rotation control unit 53, a light source control unit 54, a stage rotation control unit 55, a robot control unit 56, and an optical unit.
  • a measurement unit 57 and an overall control unit 59 are included.
  • the support table movement control unit 51 controls the support table driving unit 32b so that the support table 31 passes over the stage 21 and the optical measuring instrument 22 along the scanning direction (+ x direction or -x direction).
  • the support base drive unit 32b is, for example, an actuator.
  • the support base movement control unit 51 can grasp the position of the support base 31 in the x direction based on the encoder value of the actuator.
  • the moving speed calculation unit 52 calculates the moving speed of the support base 31 based on the input information and the like. The result calculated by the movement speed calculation unit 52 is output to the support base movement control unit 51.
  • the support table movement control unit 51 moves the support table 31 in the x direction at the speed calculated by the movement speed calculation unit 52. Specific processing performed by the moving speed calculation unit 52 will be described in detail later.
  • the rotation control unit 53 rotates the support base 31 by controlling the rotation shaft driving unit 33b when an instruction is input by an input device (see FIG. 5) or the like.
  • the rotation shaft drive unit 33b is, for example, an actuator.
  • the rotation control unit 53 can grasp the rotation angle of the support base 31 from the encoder value of the actuator. As already described, the rotation unit 33 is not an essential configuration, and the rotation control unit 53 is not necessary when the rotation unit 33 is not provided.
  • the light source control unit 54 controls turning on and off of the light source 11.
  • the stage rotation control unit 55 drives the stage 21 to rotate.
  • the robot control unit 56 controls the robot 40. Since the light source control unit 54 and the stage rotation control unit 55 are already known, description thereof will be omitted.
  • the optical measurement unit 57 calculates the illuminance (mW / cm 2 ) and the integrated exposure amount (mJ / cm 2 ) of the polarized light emitted from the polarized light irradiation unit 10 based on the result measured by the sensor 22a.
  • the optical measuring unit 57 determines whether the direction of the polarization axis measured by the sensor 22b is correct. The processing performed by the optical measurement unit 57 will be described in detail later.
  • the overall control unit 59 comprehensively controls each unit constituting the polarized light irradiation apparatus 1 and each functional component of the control unit 50.
  • the overall control unit 59 has a function of sending a command signal to each unit of the apparatus based on information (data) input, processing results, and the like.
  • FIG. 5 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of the control unit 50.
  • the control unit 50 configured by a computer, for example, is a CPU (Central Processing Unit) 501 that is an arithmetic device, a RAM (Random Access Memory) that is a volatile storage device, or a non-volatile storage device.
  • a memory 502 made up of a certain ROM (Read only memory), an external storage device 503, a communication device 504 for communicating with an external device of the polarized light irradiation device 1, an input device 505 such as a mouse or a keyboard, a display, etc.
  • An output device 506 and an interface (I / F) 507 for connecting the control unit 50 and other units are provided.
  • I / F interface
  • Each functional unit illustrated in FIG. 4 is realized, for example, by the CPU 501 reading a predetermined program stored in a nonvolatile storage device in the memory 502 to a volatile storage device in the memory 502 and executing it. Is done.
  • the predetermined program may be installed in the memory 502 in advance, or may be downloaded from the network via the communication device 504 and installed or updated.
  • FIG. 6 is a flowchart showing the flow of processing performed by the polarized light irradiation apparatus 1. Before the polarized light irradiation device 1 is operated, the polarized light irradiation unit 10 is in the standby position shown in FIGS.
  • the robot controller 56 performs a charging process for controlling the robot 40 to place the object W on the stage 21 (step S10).
  • the stage rotation control unit 55 rotates the stage 21 to perform a rotation process for inclining the object W by a certain angle with respect to the scanning direction (step S12). Thereby, the preparation for irradiating the object W with polarized light is completed.
  • the support base movement control unit 51 moves the support base 31 in the ⁇ x direction to pass over the stage 21.
  • the light source control unit 54 turns on the light source 11 and irradiates the object W with polarized light from the polarized light irradiation unit 10.
  • the support base movement control unit 51 stops the support base 31 in the vicinity of the end on the ⁇ x side (see the two-dot chain line on the left side in FIGS. 1 and 2).
  • the support table movement control unit 51 moves the support table 31 in the ⁇ x direction at the speed, time, and the like calculated by the movement speed calculation unit 52 in advance.
  • FIG. 7 is an example of information input to the moving speed calculation unit 52 and information calculated by the moving speed calculation unit 52.
  • the column described as “input” is information stored in the memory 502 via the input device 505 and input to the moving speed calculation unit 52
  • the column described as “calculation” is The information which the movement speed calculation part 52 calculates based on the information memorize
  • the support base 31 is accelerated to 100 mm / second at 1176.8 mm / second 2 for the first 0.1 second, and moved 27.9 seconds at 100 mm / second,
  • the moving speed calculation unit 52 determines that the final 0.1 second is 1176.8 mm / second 2 and is decelerated to 100 mm / second.
  • the support table movement control unit 51 moves the support table 31 in the ⁇ x direction at the speed, time, and the like calculated by the movement speed calculation unit 52 in this way.
  • the range in which the support base 31 is accelerated is referred to as an acceleration area
  • the range in which the support base 31 is moved at a constant speed is referred to as a constant speed area
  • the range in which the support base 31 is moved at a reduced speed is referred to as a deceleration area.
  • step S16 the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform the backward exposure processing (step S16).
  • the support stage movement control unit 51 moves the support stage 31 in the + x direction at the same speed and time as the forward path exposure process (step S14) and passes over the stage 21.
  • the light source control unit 54 turns on the light source 11 and irradiates the object W with polarized light from the polarized light irradiation unit 10.
  • the round-trip exposure process steps S14 and S16 is completed.
  • the optical measuring instrument 22 is provided on the opposite side of the stage 21 across the polarized light irradiation unit 10 in the horizontal direction. Degradation of the optical measuring instrument 22 is accelerated by excessive irradiation of light, particularly ultraviolet rays. Therefore, it is possible to prevent the optical measuring instrument 22 from being irradiated with light (ultraviolet rays) during the reciprocating exposure processing (steps S14 and S16), and to prevent the performance of the optical measuring instrument 22 from deteriorating early.
  • the stage rotation control unit 55 rotates the stage 21 so that the object W is returned from the tilted state with respect to the scanning direction by a predetermined angle. Is performed (step S18).
  • the support base movement control unit 51 moves the support base 31 in the + x direction so that the horizontal position (x direction) of the light source 11 comes to a measurement position that overlaps the position of the optical measuring instrument 22 in the x direction. (Step S18).
  • step S20 When the light source 11 is moved to the measurement position, measurement processing of polarized light emitted from the polarized light irradiation unit 10 is performed (step S20). Specifically, when the polarized light irradiation unit 10 is at the measurement position, the light source control unit 54 turns on the light source 11 for a certain period of time. In addition, the time for which the polarized light irradiation unit 10 irradiates the optical measuring instrument 22 with the polarized light is stored in the memory 502 in advance.
  • the optical measurement unit 57 determines the integrated exposure amount (mJ / cm 2 ) of the polarized light irradiated from the polarized light irradiation unit 10 and the polarized light based on the information measured by the sensor 22a and the information indicating the lighting time. Illuminance (mW / cm 2 ) is calculated.
  • the robot control unit 56 performs a discharge process of controlling the robot 40 to discharge the object W from the stage 21 (step S20).
  • step S20 the overall control unit 59 compares the result measured by the polarized light measurement process with the information stored in the memory 502, and determines whether the result measured by the polarized light measurement process is correct. That is, it may be determined whether or not the object W has been accurately exposed. If the overall control unit 59 determines that the object W is not accurately exposed, the overall control unit 59 may end the process.
  • the overall control unit 59 determines whether there is an object W to be processed next (step S22). For example, when the information indicating that the process is to be terminated is not input from the input device 505, the overall control unit 59 determines to perform the process on the next object W.
  • step S22 When there is an object W to be processed next (YES in step S22), the support base movement control unit 51 moves the support base 31 to the standby position shown in FIGS. 1 and 2 (step S24). Then, similarly to step S10, the robot control unit 56 controls the robot 40 to perform a loading process for placing the object W on the stage 21 (step S24). Thereafter, the overall control unit 59 returns the process to step S12 and performs the process on the next object W.
  • step S22 If there is no object W to be processed next (NO in step S22), the support base movement control unit 51 moves the support base 31 to the standby position shown in FIGS.
  • the control unit 59 ends the series of processes.
  • steps S18, S20, and S24 a plurality of processes are performed at the same time in order to reduce the processing time. However, these processes may be performed in order.
  • the polarized light irradiation unit 10 irradiates the polarized light to the target W with respect to the target W inclined by a certain angle with respect to the scanning direction (x direction).
  • the stage 21 may not be rotated, the longitudinal direction of the light source 11 may be tilted with respect to the y direction, or the longitudinal direction of the light source 11 may be tilted with respect to the y direction and the stage 21 may be tilted. May be inclined with respect to the x direction.
  • the longitudinal direction of the light source 11 when the longitudinal direction of the light source 11 is tilted with respect to the y direction without rotating the stage 21, the longitudinal direction of the light source 11 can be tilted with respect to the scanning direction without moving the stage 21, As a result, good alignment characteristics can be obtained.
  • the stage 21 is not moved in the scanning direction, but the polarized light irradiation unit 10 is moved in the scanning direction, the length of the polarized light irradiation apparatus 1 in the longitudinal direction is shortened, and the polarized light is The irradiation apparatus 1 can be reduced in size.
  • FIG. 22 shows a polarized light irradiation apparatus 100 that moves the stage 101 in the scanning direction as an example of a conventional polarized light irradiation apparatus.
  • size of the polarized light irradiation apparatus 1 of this invention is shown with a dashed-two dotted line for the comparison.
  • an area where the stage 101 can be arranged is necessary on both sides of the polarized light irradiation unit 102, and the optical measuring instrument 103 needs to be arranged outside the area.
  • the length of the polarized light irradiation apparatus 100 in the x direction is the length of the polarized light irradiation unit 10 in the x direction, the length of the optical measuring instrument 103 in the x direction, and the length of the stage 101 in the x direction (stage 101). Is tilted with respect to the scanning direction, a length equal to or greater than the total length of twice the length in the tilted state in the x direction) is required.
  • the polarized light irradiation unit 10 is moved in the scanning direction without moving the stage 21 in the scanning direction, the area for scanning by moving the stage 21, specifically, the length of the stage 21 in the x direction. Therefore, when the stage 21 is tilted with respect to the scanning direction, the length in the tilted state in the x direction is unnecessary. Therefore, the polarized light irradiation device 1 can be reduced in size. Specifically, the length of the polarized light irradiation apparatus 1 in the longitudinal direction is not more than twice the length of the stage 21 in the x direction (or the length of the stage 21 in the x direction when tilted with respect to the scanning direction). can do.
  • the polarized light irradiation device 1 of the present invention is effective when the size of the object W is large. This is particularly effective when the length of the object W in the direction along the scanning direction is as large as 300 mm or more. This is because the polarized light irradiation apparatus 1 can be further downsized as the length of the object W in the direction along the scanning direction becomes longer.
  • the polarized light irradiation unit 10 is provided between the stage 21 and the optical measuring instrument 22 at the standby position shown in FIGS.
  • the optical measuring device 22 may be provided so that the horizontal position does not overlap at the standby position, and the arrangement of these components is not limited to the case shown in FIGS.
  • an optical measuring device 22 is provided between the stage 21 and the polarized light irradiation unit 10 at the standby position.
  • the polarized light irradiation apparatus 2 according to the second embodiment will be described.
  • symbol is attached
  • FIG. 8 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 2 according to the second embodiment.
  • the standby positions of the polarized light irradiation unit 10 and the support base 31 are indicated by a broken line and a solid line.
  • the polarized light irradiation unit 10 is provided near the end on the + x side.
  • the optical measuring instrument 22 is provided between the stage 21 and the polarized light irradiation unit 10.
  • the polarized light irradiation device 2 mainly includes a polarized light irradiation unit 10, a stage 21, an optical measuring instrument 22, a light source moving unit 30A, and a robot 40.
  • the light source moving unit 30A mainly includes a support base 31, a support base moving part 32A, and a rotating part 33.
  • the support base moving part 32A includes a rod-shaped rail 32c, a support base drive part 32b (not shown), and a parallel movement mechanism part (not shown). The difference between the rail 32a and the rail 32c is only the length in the x direction.
  • FIG. 9 is a flowchart showing a flow of processing performed by the polarized light irradiation device 2.
  • the polarized light irradiation unit 10 Prior to operating the polarized light irradiation device 2, the polarized light irradiation unit 10 is in the standby position shown in FIG.
  • the robot control unit 56 performs a loading process for placing the object W on the stage 21 (step S10).
  • the stage rotation control unit 55 performs a rotation process for rotating the stage 21 (step S12).
  • step S15 the difference between step S14 (see FIG. 6) and step S15 is the distance in the constant speed range (total movement distance L-1 and exposure distance L3-1), and the other steps are steps S14 and S15. Are the same.
  • an optical measuring device 22 is provided in a constant speed region. Therefore, the total moving distance L-1 and the exposure distance L3-1 in the polarized light irradiation apparatus 2 are longer than the total moving distance L and the exposure distance L3 in the polarized light irradiation apparatus 1 by at least the optical measuring instrument 22.
  • step S15 during the constant speed movement in the constant speed region, the support base 31 (polarized light irradiation unit 10) passes over the optical measuring instrument 22 and continuously passes over the stage 21 as it is. Therefore, in step S15, the measurement process can be performed almost simultaneously with the forward exposure process.
  • the optical measuring unit 57 is based on the measurement result of the optical measuring instrument 22 and the speed calculated by the moving speed calculating unit 52, and the integrated exposure amount (mJ / cm 2 ) of the polarized light emitted from the polarized light irradiating unit 10. ) And the illuminance (mW / cm 2 ) of polarized light.
  • the support base movement control unit 51 stops the support base 31 near the end on the ⁇ x side (see the two-dot chain line in FIG. 8).
  • step S15 When the forward exposure process and the measurement process (step S15) are completed, the light source controller 54 and the support base movement controller 51 move the support base 31 in the + x direction while turning on the light source 11, and perform the return path exposure process. This is performed (step S16). After the return path exposure process (step S16), the support base 31 returns to the standby position shown in FIG.
  • the stage rotation control unit 55 rotates the stage 21 so that the object W is returned from the tilted state with respect to the scanning direction by a predetermined angle. Is performed (step S17). And the robot control part 56 performs the discharge process which controls the robot 40 and discharges the target object W from the stage 21 (step S21).
  • the overall control unit 59 determines whether there is an object W to be processed next (step S22). If there is an object W to be processed next (YES in step S22), the robot control unit 56 returns the process to step S10 and performs the process on the next object W.
  • step S22 If there is no object W to be processed next (NO in step S22), the overall control unit 59 ends the series of processes.
  • the size of the polarized light irradiation device 2 in the longitudinal direction can be reduced as in the first embodiment.
  • the support unit 31 (polarized light irradiation unit 10) has only to be reciprocated once (moved in the ⁇ x direction and then moved in the + x direction). The contents can be facilitated, and the time required for processing one object W can be shortened.
  • the polarized light irradiation unit 10 is provided to be movable, but members other than the polarized light irradiation unit 10 may be provided to be movable.
  • the polarized light irradiation unit 10 and the optical measuring device 22 are movably provided.
  • the polarized light irradiation device 3 according to the second embodiment will be described.
  • symbol is attached
  • FIG. 10 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 3 according to the third embodiment.
  • FIG. 11 is a front view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 3 according to the third embodiment. 10 and 11, the optical measuring device 22 is provided near the end on the + x side, and the polarized light irradiation unit 10 is provided adjacent to the ⁇ x side. In other words, at the standby position, the polarized light irradiation unit 10 is provided between the stage 21 and the optical measuring device 22 when viewed from above (+ z direction).
  • the polarized light irradiation device 3 mainly includes a polarized light irradiation unit 10, a stage 21, an optical measuring instrument 22, an optical measuring instrument moving unit 23, a light source moving unit 30B, and a robot 40.
  • the optical measuring instrument moving part 23 is driven by the driving force of the rod-shaped rail 23a, the optical measuring instrument driving part 23b (not shown in FIGS. 10 and 11, see FIG. 12 and described in detail later), and the optical measuring instrument driving part 23b.
  • a translation mechanism (not shown) that reciprocates the optical measuring instrument 22 along the rail 23a.
  • a slide portion (not shown) is provided on the bottom surface (the surface on the ⁇ z side) of the optical measuring instrument 22, and the optical measuring instrument 22 moves along the rail 23a by sliding along the rail 23a. Move.
  • Various known techniques can be used for the translation mechanism.
  • the light source moving unit 30B mainly includes a support base 31, a support base moving unit 32B, and a rotating unit 33.
  • the support base moving part 32B includes a rod-shaped rail 32d, a support base drive part 32b (not shown in FIGS. 10 and 11, see FIG. 12), and a parallel movement mechanism part (not shown).
  • the difference between the rail 32a and the rail 32d is only the length in the x direction.
  • FIG. 12 is a block diagram showing an outline of a functional configuration of the polarized light irradiation device 3.
  • the control unit 50A mainly includes a support base movement control unit 51, a movement speed calculation unit 52, a rotation control unit 53, a light source control unit 54, a stage rotation control unit 55, a robot control unit 56, and an optical unit. It has a measuring unit 57, an optical measuring instrument movement control unit 58, and a general control unit 59.
  • the optical measuring instrument movement control unit 58 controls the optical measuring instrument driving unit 23b so as to move the optical measuring instrument 22 along the scanning direction (+ x direction or -x direction).
  • the optical measuring instrument driver 23b is an actuator, for example.
  • the optical measuring instrument movement control unit 58 can grasp the position of the optical measuring instrument 22 in the x direction based on the encoder value of the actuator.
  • FIG. 13 is a flowchart showing the flow of processing performed by the polarized light irradiation device 3. Before the polarized light irradiation device 3 is operated, the polarized light irradiation unit 10 is in the standby position shown in FIGS.
  • the robot controller 56 performs a charging process for controlling the robot 40 to place the object W on the stage 21 (step S10).
  • the stage rotation control unit 55 performs a rotation process for rotating the stage 21 (step S12).
  • the light source control unit 54 and the support movement control unit 51 perform the forward exposure process (step S14) and the return path exposure process (step S16).
  • the stage rotation control unit 55 performs a rotation process for rotating the stage 21 and returning the object W from a state inclined by a certain angle with respect to the scanning direction.
  • Step S19 This process is the same as the process in step S18 (see FIG. 6).
  • the optical measuring instrument movement control unit 58 moves the optical measuring instrument 22 in the ⁇ x direction so that the horizontal position (x direction) of the light source 11 comes to a measurement position that overlaps the x position of the optical measuring instrument 22. (Step S19).
  • step S20 When the light source 11 is moved to the measurement position, the measurement process of the polarized light emitted from the polarized light irradiation unit 10 is performed (step S20). At the same time, the robot controller 56 performs a discharge process for controlling the robot 40 to discharge the object W from the stage 21 (step S20).
  • the overall control unit 59 determines whether there is an object W to be processed next (step S22). If there is an object W to be processed next (YES in step S22), the optical measuring instrument movement control unit 58 moves the optical measuring instrument 22 in the + x direction so that the optical measuring instrument 22 comes to the standby position. (Step S25). Then, similarly to step S10, the robot control unit 56 controls the robot 40 to perform a loading process for placing the object W on the stage 21 (step S25). Thereafter, the overall control unit 59 returns the process to step S12 and performs the process on the next object W.
  • step S22 If there is no object W to be processed next (NO in step S22), the optical measuring instrument 22 is moved in the + x direction (step S27), and the overall control unit 59 ends the series of processes.
  • steps S19, S20, and S25 a plurality of processes are simultaneously performed to reduce the processing time.
  • the plurality of processes may be performed in order.
  • the size of the polarized light irradiation device 3 can be further reduced. Specifically, the size of the polarized light irradiation device 3 can be made smaller than the size of the polarized light irradiation device 1 by the length of the support base 31 in the x direction.
  • the polarized light irradiation unit 10 using the light source 11 is moved in the scanning direction, but the polarized light irradiation unit to be moved is not limited to this.
  • a light guide member that guides light from a light source onto the stage 21 is used.
  • the polarized light irradiation device 4 according to the fourth embodiment will be described.
  • symbol is attached
  • FIG. 14 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation apparatus 4 according to the fourth embodiment.
  • FIG. 15 is a front view showing an outline of the polarized light irradiation device 4.
  • the polarized light irradiation unit 60 mainly includes a light source 61, a light guide member 62, and an optical member 63 (not shown in FIG. 14). 14 and 15, the polarized light irradiation unit 60 is provided between the stage 21 and the optical measuring instrument 22 in the horizontal direction.
  • the light source 61 mainly includes a lamp 61a and an optical filter 61b.
  • the light source 61 is provided, for example, outside the device frame of the polarized light irradiation device 1.
  • the position where the light source 61 is provided is not limited to the position shown in FIGS.
  • the lamp 61a emits unpolarized light (for example, ultraviolet light).
  • the lamp 61a is a short arc type lamp that is a high-luminance point light source having a short distance between electrodes of about 1 to 10 mm, for example.
  • the lamp 61a is not limited to a short arc type lamp, and various types of light emitting devices such as LEDs can be used.
  • the optical filter 61b passes only light having a predetermined wavelength from the light irradiated from the lamp 61a.
  • a lamp 61a is provided on the back surface of the optical filter 61b, and an incident portion 62b (detailed later) of the light guide member 62 is provided on the front surface of the optical filter 61b.
  • FIG. 16 is a perspective view showing an outline of the light guide member 62.
  • the light guide member 62 guides the light emitted from the light source 61 to a place away from the light source.
  • the light guide member 62 is an optical fiber bundle formed by bundling a plurality of optical fiber strands 62a.
  • the optical fiber 62a guides the light supplied from the incident part 62b to the emission part 62c.
  • the light guide member 62 is partially bundled with optical fiber strands 62a.
  • the bundled main body 62d is formed by bundling a plurality of optical fiber strands 62a into a bundle and integrating them by a fusion process or the like.
  • the end surface on the side where the optical fiber strands 62a are bundled is an incident portion 62b.
  • the end surfaces of the plurality of optical fiber strands 62a are uniformly distributed and fixed.
  • the end surface on the side where the optical fiber strands 62a are not bundled is the emitting portion 62c.
  • the optical fiber 62a In the vicinity of the emitting part 62c, the optical fiber 62a can be expanded.
  • the optical fiber strands 62a are spread and arranged so that the emission portion 62c has a substantially band shape.
  • the whole emission part 62c arranged in a substantially band shape is defined as an irradiation surface 62e for irradiating the object W with light.
  • FIG. 17 is an example schematically showing the distribution state of the emitting portion 62c (the end face of the optical fiber strand 62a) on the irradiation surface 62e.
  • the optical fiber strand 62a is partially displayed.
  • the emitting portions 62c are arranged in a staggered manner so that unevenness of light irradiated from the irradiation surface 62e is not noticeable. That is, the optical fiber strand 62a is arranged so that the center of the emission part 62c in the first row (row I) is located between the centers of the emission portions 62c in the row adjacent to the first row (row II).
  • the arrangement of the emitting portion 62c is not limited to this form.
  • the irradiation surface 62e and the optical member 63 are provided above the stage 21 (+ z direction).
  • the optical member 63 is a rectangular member having a long side substantially the same length as the irradiation surface 62e.
  • the optical member 63 is provided on the lower side ( ⁇ z side) of the light source 61 so that the longitudinal direction thereof substantially coincides with the longitudinal direction of the irradiation surface 62e.
  • the optical member 63 is, for example, a polarizer that polarizes non-polarized light emitted from the light source 11, but is not limited thereto.
  • the support base 31 supports the irradiation surface 62e and the optical member 63.
  • the support base 31 is provided with a hole (not shown) through which the main body 62d passes.
  • An optical fiber 62a is provided on the lower surface side of the support base 31 so as to form an irradiation surface 62e.
  • the light source controller 54 controls turning on and off of the light source 61.
  • the processing content of the polarized light irradiation apparatus 4 is the same as the processing content of the polarized light irradiation apparatus 1, description is abbreviate
  • the light source 61 is not moved, and only the light guide member 62 and the optical member 63 are moved. Therefore, the portion supported by the support base 31 (in other words, the portion moved by the support base drive unit 32b). Can be made small and light. As a result, it becomes easy to move the portion irradiated with polarized light. As a result, it is possible to use the support driving unit 32b with a small output, and to further reduce the polarized light irradiation device 3.
  • the support base drive unit 32b since heat is generated from the light source 11, the polarized light irradiation unit 10 is often provided with a duct for exhaust heat. Therefore, the support base drive unit 32b must move the duct together when the polarized light irradiation unit 10 is moved, and it is necessary to use an actuator or the like having a large output as the support base drive unit 32b.
  • the polarized light irradiation device 4 of the present embodiment is lightly moved, a small actuator with a small output can be used as the support drive unit 32b. Moreover, since the part which the support stand 31 supports is small and light, the polarized light irradiation apparatus 3 can be reduced in size.
  • an optical fiber bundle is used as the light guide member 62, but the light guide member is not limited to this.
  • a diffusion plate may be used as a light guide member that guides light from the light source 61.
  • FIG. 18 is a plan view showing an outline of a polarized light irradiation apparatus 4A according to a modification of the fourth embodiment.
  • FIG. 19 is a front view showing an outline of the polarized light irradiation device 4A.
  • the polarized light irradiation unit 60A mainly includes a light source 61, a light guide member 64, and an optical member 63 (not shown in FIG. 11). 18 and 19, the polarized light irradiation unit 60 ⁇ / b> A is provided between the stage 21 and the optical measuring instrument 22 in the horizontal direction.
  • the light source 61 is provided adjacent to the side surface of the light guide member 64 (here, the side surface on the y side (short side direction)).
  • the optical member 63 is provided below the light guide member 64.
  • the light guide member 64 is a plate material made of a transparent material such as acrylic, and has a substantially strip shape.
  • a metal reflection diffusion plate is provided on the front surface (+ z side surface) of the light guide member 64 so that the back surface ( ⁇ z side surface) of the light guide member 64 emits light.
  • a light shielding plate made of metal is provided on a side surface of the light guide member 64 where the light source 61 is not provided adjacent to the light guide member 64 so that light does not escape.
  • the support base 31 supports the polarized light irradiation unit 60A.
  • the polarized light irradiation unit 60A includes a light source 61. Since the light source 61 is smaller and lighter than the light source 11, the support 31 can be easily moved as compared with the polarized light irradiation devices 1 and 2. Therefore, the polarized light irradiation device 4A can be downsized as compared with the polarized light irradiation devices 1 and 2.
  • FIG. 20 is a plan view showing an outline of the polarized light irradiation device 5 according to the second embodiment.
  • the positions of the polarized light irradiation unit 10 and the support base 31 at the standby position are indicated by broken lines and solid lines.
  • the polarized light irradiation unit 10 is provided at the approximate center in the x direction.
  • an optical measuring instrument 22 is provided adjacent to the polarized light irradiation unit 10, and stages 21 are provided on both sides thereof.
  • the optical measuring device 22 is provided on the right side (+ x side) of the polarized light irradiation unit 10, but the optical measuring device 22 is provided on the left side ( ⁇ x side) of the polarized light irradiation unit 10. It may be.
  • the polarized light irradiation device 5 mainly includes a polarized light irradiation unit 10, a stage 21, an optical measuring device 22, a light source moving unit 30C, and a robot 40 (not shown in FIG. 20).
  • the light source moving unit 30C mainly includes a support base 31, a support base moving unit 32C, and a rotating unit 33.
  • the support base moving part 32C includes a rod-shaped rail 32e, a support base drive part 32b (not shown), and a parallel movement mechanism part (not shown). The difference between the rail 32a and the rail 32e is only the length in the x direction.
  • the robot 40 is provided to face the + x side end and the ⁇ x side end of the polarized light irradiation device 5.
  • the position of the robot 40 provided at the end on the ⁇ x side is the same as that of the polarized light irradiation apparatus 1.
  • FIG. 21 is a flowchart showing the flow of processing performed by the polarized light irradiation device 5. Before the polarized light irradiation device 5 is operated, the polarized light irradiation unit 10 is in the standby position shown in FIG.
  • the robot control unit 56 controls the robot 40 to perform a loading process for placing the object W on the stage 21 (hereinafter referred to as the first stage 21) provided on the ⁇ x side (step S30). .
  • This process is the same as step 10 (see FIG. 6).
  • step S32 rotates the first stage 21 to perform a rotation process for inclining the object W by a certain angle with respect to the scanning direction. This process is the same as step 12 (see FIG. 6).
  • step S34 the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform the forward exposure process on the first stage 21. This process is the same as step S14 (see FIG. 6).
  • step S34 When the forward exposure process (step S34) is completed, the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform a return exposure process on the first stage 21 (step S36).
  • the return exposure process in step S36 is the same as step S16 (see FIG. 6).
  • the robot control unit 56 controls the robot 40 to perform a loading process for placing the object W on the stage 21 provided on the + x side (hereinafter referred to as the second stage 21) (step S36). .
  • step S38 When the reciprocal exposure processing (steps S34 and S36) for the first stage 21 is completed, the light source control unit 54 turns on the light source 11, and the support base movement control unit 51 starts moving the support base 31 in the + x direction (step). S38). At the same time, the stage rotation controller 55 rotates the first stage 21 to rotate the object W from the state in which the object W is inclined by a certain angle with respect to the scanning direction, and rotates the second stage 21. Thus, a rotation process for tilting the object W by a certain angle with respect to the scanning direction is performed (step S38).
  • Step S40 the measurement process of the polarized light emitted from the polarized light irradiation unit 10 is performed.
  • Step S42 the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform the forward exposure process on the second stage 21 (step S42).
  • the overall control unit 59 After starting to move the support base 31 in step S38, the overall control unit 59 performs steps S40 and S42 continuously without stopping the support base 31.
  • the movement speed calculation unit 52 calculates the speed, time, and the like for the support base movement control unit 51 to move the support base 31 in advance.
  • the optical measurement unit 57 calculates the accumulated exposure amount of the polarized light irradiated from the polarized light irradiation unit 10 based on the measurement result of the optical measuring instrument 22 and the speed calculated by the moving speed calculation unit 52. mJ / cm 2 ) and the illuminance (mW / cm 2 ) of polarized light are calculated. As described above, in steps S38 to S42, the exposure process and the measurement process are continuously performed almost simultaneously.
  • the robot control unit 56 performs a discharge process of controlling the robot 40 to discharge the object W from the first stage 21 (step S42).
  • the overall control unit 59 determines whether there is an object W to be processed next (step S44). If there is an object W to be processed next (YES in step S44), the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform the return path exposure process for the second stage 21 and the target for the first stage 21.
  • the material W is loaded (step S46). In the return exposure process performed on the second stage 21 in step S46, the support base 31 is moved in the ⁇ x direction at the same speed as that in steps S38 to S42, and the polarized light irradiation unit 10 is returned to the standby position. .
  • the process of loading the object W onto the first stage 21 in step S46 is the same as that in step S30.
  • the stage rotation control unit 55 rotates the second stage 21 to perform a rotation process for returning the object W from a state where the object W is inclined by a certain angle with respect to the scanning direction (step S48). This process is the same as step 32.
  • the stage rotation control unit 55 rotates the first stage 21 to perform a rotation process for inclining the object W by a certain angle with respect to the scanning direction (step S48).
  • the robot control unit 56 performs a discharge process for controlling the robot 40 to discharge the object W from the second stage 21 (step S50).
  • the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform the forward exposure process on the first stage 21 (step S50). This exposure process is the same as step S34.
  • the overall control unit 59 returns the process to step S36 and performs the process on the next object W.
  • step S52 If there is no object W to be processed next (NO in step S44), the light source control unit 54 and the support base movement control unit 51 perform the return path exposure process for the second stage 21 (step S52). This process is the same as the process in step S46.
  • step S54 rotates the second stage 21 to perform a rotation process for returning the object W from a state where the object W is inclined by a certain angle with respect to the scanning direction (step S54). This process is the same as step S48.
  • the robot control unit 56 performs a discharge process for controlling the robot 40 to discharge the object W from the second stage 21 (step S56). This process is the same as the process in step S50.
  • the overall control unit 59 ends the series of processes.
  • steps S36, S38, S42, S46, S48, and S50 a plurality of processes are performed at the same time to reduce the processing time.
  • the plurality of processes may be performed in order.
  • substantially is a concept that includes not only a case where they are exactly the same but also errors and deformations that do not lose the identity.
  • the approximate center is not limited to the exact center.
  • the “neighborhood” is a concept indicating that when it is in the vicinity of A, for example, it is near A and may or may not include A.
  • polarized light irradiation device 10 polarized light irradiation unit 11: light source 12: optical member 13: mirror 14: housing 21: stage 22: optical measuring instruments 22a, 22b: sensor 23 : Optical measuring instrument moving part 23a: Rail 23b: Optical measuring instrument driving part 30, 30A, 30B, 30C: Light source moving part 31: Supporting base 32, 32A, 32B, 32C: Supporting base moving part 32a: Rail 32b: Supporting base Drive unit 32c: Rail 32d: Rail 32e: Rail 33: Rotating unit 33a: Rotating shaft 33b: Rotating shaft driving unit 40: Robot 50, 50A: Control unit 51: Support stand movement control unit 52 : Movement speed calculation unit 53: rotation control unit 54: light source control unit 55: stage rotation control unit 56: robot control unit 57: optical measurement unit 58: optical measuring instrument movement control unit 59: overall control unit 60, 60A: Polarized light irradiation unit 61: light source 61a: lamp 61

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Abstract

偏光光照射装置を小型化する、特に長手方向の長さを短くすることができる。　対象物が載置されるステージと、対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器とは、偏光光照射部が待機位置にあるときは水平方向の位置が重ならないように設けられる。光源移動部は、偏光光照射部を対象物の走査方向に沿って移動させて、光学測定部の上を通過させ、またステージの上を通過させる。

Description

偏光光照射装置及び偏光光照射方法
　本発明は、偏光光照射装置及び偏光光照射方法に関する。
　特許文献１には、隣接して配置された複数の単位偏光子を備えた偏光手段と、ステージもしくは偏光光照射手段の少なくとも一方を移動させることでステージに載置された基板に対して偏光光照射手段からの紫外線を所定の走査方向に走査する走査手段を備え、単位偏光子の隣接面及び単位偏光子の隣接方向が走査方向に対して傾斜していることにより、良好な配向特性の実現を図る光配向照射装置が開示されている。
特許第５１３１８８６号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の発明では、ステージを走査方向に沿って移動させるため、光配向照射装置の長手方向、ここでは走査方向に沿った方向の長さを、ステージに載置される基板等（以下、対象物Ｗという）の走査方向に沿った方向の長さ（対象物Ｗを走査方向に対して傾斜した状態で走査を行う場合には、傾斜した状態における対象物Ｗの走査方向に沿った長さ）の２倍以上とする必要がある。このように、特許文献１に記載の発明では、装置が大型化してしまうという問題がある。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、装置を小型化する、特に走査方向に沿った方向の長さを短くすることができる偏光光照射装置及び偏光光照射方法を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射装置は、例えば、対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定部と、前記偏光光照射部を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光源移動部と、を備え、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定部とは、水平方向の位置が重ならないように設けられることを特徴とする。
　本発明に係る露光装置によれば、対象物が載置されるステージと、対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定部とは、偏光光照射部が待機位置にあるときは水平方向の位置が重ならないように設けられる。光源移動部は、偏光光照射部を対象物の走査方向に沿って移動させて、ステージの上を通過させる。このように、ステージを走査方向に移動させず、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、偏光光照射装置を小型化する、特に長手方向の長さを短くすることができる。
　ここで、情報を入力する入力部と、前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する移動速度算出部と、前記移動速度算出部により算出された移動速度で前記偏光光照射部が前記ステージの上を通過するように、また、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ移動するように、前記光源移動部を制御する光源移動制御部と、を備えてもよい。これにより、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、対象物Ｗへの露光と、光学測定器での測定（偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）及び積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２））を行うことができる。
　ここで、前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器が、前記偏光光照射部を挟んで前記ステージの反対側に設けられてもよい。これにより、光学測定器に必要以上の偏光光が照射されることを防止することができる。
　ここで、前記光源の点灯及び消灯を制御する光源制御部と、前記光学測定器で測定された結果及び前記入力部により入力された情報に基づいて、露光量及び照度を測定する光学測定部と、を備え、前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、前記光学測定器の水平方向の位置は、前記ステージの水平方向の位置と前記偏光光照射部の水平方向の位置との間であり、前記光源移動制御部は、前記偏光光照射部を前記光学測定器の上及び前記ステージの上を連続して通過させ、前記光源制御部は、前記光源移動制御部が前記偏光光照射部を移動させる間、前記光源を点灯させてもよい。これにより、露光処理とほぼ同時に光学測定器での測定を行うことができる。
　ここで、情報を入力する入力部と、前記光学測定器を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光学測定器移動部と、前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する移動速度算出部と、前記移動速度算出部により算出された移動速度で前記偏光光照射部が前記ステージの上を通過するように、前記光源移動部を制御する光源移動制御部と、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記光学測定器を移動させるように、前記光学測定器移動部を制御する光学測定部移動制御部と、を備えてもよい。これにより、装置の大きさをより小さくすることができる。
　ここで、前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器と前記偏光光照射部とが隣接して設けられ、前記光学測定器及び前記偏光光照射部の両側に前記ステージが２つ設けられてもよい。これにより、効率よく複数の対象物に偏光光を照射することができる。
　ここで、前記光源移動部は、前記偏光光照射部を回動させる回動部を有してもよい。これにより、ステージを動かすことなく、露光する偏光光の長手方向が走査方向に対して傾斜させることができ、その結果良好な配向特性を得ることができる。
　ここで、前記偏光光照射部は、光源と、前記光源から照射された光を導光する導光部材であって、前記光源の光が供給される光入射部と、前記ステージの上方に略帯状に設けられ、前記ステージへ光を照射する光出射部と、を有する導光部材と、を有してもよい。このように、導光部材を用いることで、光源移動部が移動させる部分を小さくかつ軽くし、これにより、偏光光照射装置をより小型化することができる。
　上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射方法は、例えば、対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、前記ステージに前記対象物を載置する工程と、前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記ステージの上を通過させる工程と、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記偏光光照射部又は前記光学測定器を走査方向に沿って移動させ、前記偏光光照射部から光を照射する工程と、を含むことを特徴とする。このように、ステージを走査方向に移動させず、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、偏光光照射装置を小型化する、特に長手方向の長さを短くすることができる。
　上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射方法は、例えば、対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、前記ステージに前記対象物を載置する工程と、前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記光学測定器及び前記ステージの上を連続して通過させる工程と、を含むことを特徴とする。これにより、ステージを走査方向に移動させず、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、偏光光照射装置を小型化し、かつ、露光処理とほぼ同時に光学測定器での測定を行うことで、１枚の対象物Ｗに対して処理を行うのに要する時間を短くすることができる。
　本発明によれば、装置を小型化する、特に走査方向に沿った方向の長さを短くすることができる。
第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１の概略を示す平面図である。 偏光光照射装置１の概略を示す正面図である。 偏光光照射部１０の詳細を示す斜視図である。 偏光光照射装置１の機能構成の概略を示すブロック図である。 制御部５０の概略構成の一例を示すブロック図である。 偏光光照射装置１が行う処理の流れを示すフローチャートである。 移動速度算出部５２に入力される情報及び移動速度算出部５２が算出する情報の一例である。 第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２の概略を示す平面図である。 偏光光照射装置２が行う処理の流れを示すフローチャートである。 第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す平面図である。 第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す正面図である。 制御部５０Ａの概略構成の一例を示すブロック図である。 偏光光照射装置３が行う処理の流れを示すフローチャートである。 偏光光照射装置４の概略を示す平面図である。 偏光光照射装置４の概略を示す正面図である。 導光部材６２の概略を示す斜視図である。 照射面６２ｅにおける、出射部６２ｃ（光ファイバー素線６２ａの端面）の分布状態を模式的に示した一例である。 第４の実施の形態の変形例に係る偏光光照射装置４Ａの概略を示す平面図である。 偏光光照射装置４Ａの概略を示す正面図である。 第５の実施の形態に係る偏光光照射装置５の概略を示す平面図である。 偏光光照射装置５が行う処理の流れを示すフローチャートである。 従来の偏光光照射装置１００の概略を示す図である。
　以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
　＜第１の実施の形態＞
　図１は、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１の概略を示す平面図である。図２は、偏光光照射装置１の概略を示す正面図である。偏光光照射装置１は、例えば、偏光子を通過させて偏光した光（以下、偏光光という）をガラス基板等の対象物Ｗの被露光面に照射して光配向処理を行い、液晶パネル等の配向膜を生成する装置である。ここで、光配向処理とは、直線偏光紫外線を高分子膜上に照射して、膜内の分子の再配列や異方的な化学反応を誘起することで、膜に異方性を持たせる処理である。ただし、偏光光照射装置１を用いて行うことができる処理は光配向処理に限定されず、例えば偏光光照射装置１を用いて露光後の対象物Ｗを検査することもできる。
　以下、対象物Ｗの搬送方向をｘ方向とし、搬送方向に直交する方向をｙ方向とし、鉛直方向をｚ方向とする。なお、図２においては、説明のため、装置手前側（－ｙ側）の一部について図示を省略している。また、図１においては、説明のため、装置枠の天面（＋ｚ側の面）について図示を省略している。
　偏光光照射装置１は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光源移動部３０と、ロボット４０と、を備える。
　偏光光照射部１０は、対象物Ｗに偏光を照射する。図３は、偏光光照射部１０の詳細を示す斜視図である。偏光光照射部１０は、主として、光源１１と、光学部材１２と、ミラー１３と、筐体１４と、を有する。
　光源１１は、棒状の部材であり、偏光していない光（例えば、紫外光）を出射する。光源１１は、長さが略１ｍ～略２ｍ程度であり、直径が略１０ｍｍ程度である。なお、光源１１はこの形態に限られるものではなく、例えば点光源を一列に並べて棒状の光源としてもよい。
　光学部材１２は、光源１１の発光長よりやや長い長辺を持つ長方形の部材である。光学部材１２は、その長手方向が光源１１の長手方向に略一致するように、光源１１の下側（－ｚ側）に設けられる。光学部材１２は、例えば、光源１１から出射された無偏光の光を偏光する偏光膜であるが、偏光膜に限定されるものではない。また、光学部材１２は、一個の部材で構成してもよいし、平行四辺形（正方形、長方形を含む）の小片を列状に並べて構成してもよい。
　ミラー１３は、断面が略半楕円形であり、光源１１から出射された光を反射する。ミラー１３は、その長手方向が光源１１の長手方向と一致するように、光源１１の上側（＋ｚ側）に設けられる。これにより、光源１１から出射された光は、光学部材１２を通って、細い線状の光として下方（－ｚ方向）に向けて照射される（図３の２点鎖線参照）。
　筐体１４には、光源１１、光学部材１２、及びミラー１３が設けられる。筐体１４の上側（＋ｚ側）の面には、回動部３３（後に詳述）が設けられる。回動部３３は、筐体１４、すなわち偏光光照射部１０の略中央に設けられる。
　図１及び図２の説明に戻る。ステージ２１は、図示しない回転機構により回転可能に設けられる（図１点線参照）。ステージ２１の上面には、対象物Ｗが載置される。
　光学測定器２２は、偏光光照射部１０から照射される光の照度、積算露光量や、偏光の軸の向き等の、偏光光照射部１０から照射される光の特性を測定する。図１に示すように、光学測定器２２には、光の照度を測定するセンサ２２ａと、偏光の軸の向きを測定するセンサ２２ｂとを有する。なお、センサ２２ａ、２２ｂの位置及び数は図１に示す形態に限定されない。光学測定器２２は、すでに公知の様々な技術を用いることができる。
　光源移動部３０は、主として、支持台３１と、支持台移動部３２と、回動部３３と、を有する。
　図３に示すように、支持台３１は、回動部３３を介して偏光光照射部１０を保持する。回動部３３は、支持台３１の裏面（－ｚ側の面）に設けられる。
　回動部３３は、主として、支持台３１に対して筐体１４を回動させる回動軸３３ａと、回動軸を駆動させる回動軸駆動部３３ｂ（図３では図示せず、図４参照、後に詳述）と、を有する。
　なお、回動部３３は必須の構成ではない。回動部３３を設けない形態では、支持台３１に筐体１４を直接設ければよい。
　図１及び図２の説明に戻る。支持台移動部３２は、棒状のレール３２ａと、支持台駆動部３２ｂ（図１、２では図示せず、図４参照、後に詳述）と、支持台駆動部３２ｂの駆動力によってレール３２ａに沿って支持台３１を往復移動させる平行移動機構部（図示せず）と、を有する。
　支持台３１の表面（＋ｚ側の面）又は側面（＋ｙ側の面及び－ｙ側の面）には、図示しない摺動部が設けられ、この摺動部がレール３２ａに沿って摺動することで、支持台３１がレール３２ａに沿って移動する。平行移動機構部は、公知の様々な技術を用いることができる。
　ロボット４０は、対象物Ｗをステージ２１へ移動させたり、対象物Ｗをステージ２１から移動させたりする移動手段である。ロボット４０の位置は、図１、２に示す位置には限定されない。ロボット４０は、すでに公知であるため、説明を省略する。
　なお、偏光光照射部１０及び支持台３１が図１、２に示す待機位置（破線及び実線で示す位置）にあるときは、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる。これにより、光学測定器２２において光の特性を測定したり、対象物Ｗに対して配向処理をしたりすることを問題なく行うことができる。
　図４は、偏光光照射装置１の機能構成の概略を示すブロック図である。制御部５０は、主として、支持台移動制御部５１と、移動速度算出部５２と、回動制御部５３と、光源制御部５４と、ステージ回動制御部５５と、ロボット制御部５６と、光学測定部５７と、統括制御部５９と、を有する。
　支持台移動制御部５１は、支持台３１を走査方向（＋ｘ方向又は－ｘ方向）に沿って、ステージ２１や光学測定器２２の上を通過させるように、支持台駆動部３２ｂを制御する。支持台駆動部３２ｂは、例えばアクチュエータである。支持台移動制御部５１は、アクチュエータのエンコーダー値等により支持台３１のｘ方向の位置を把握することができる。
　移動速度算出部５２は、入力された情報等に基づいて、支持台３１の移動速度を算出する。移動速度算出部５２で算出された結果は支持台移動制御部５１に出力される。支持台移動制御部５１は、移動速度算出部５２で算出された速度で支持台３１をｘ方向に移動させる。移動速度算出部５２が行う具体的な処理については、後に詳述する。
　回動制御部５３は、入力装置（図５参照）等により指示が入力されると、回動軸駆動部３３ｂを制御して支持台３１を回動させる。回動軸駆動部３３ｂは、例えばアクチュエータである。回動制御部５３は、アクチュエータのエンコーダー値等により支持台３１の回動角度を把握することができる。なお、すでに説明したように、回動部３３は必須の構成ではなく、回動部３３が設けられていない場合には回動制御部５３も不要である。
　光源制御部５４は、光源１１の点灯及び消灯を制御する。ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回動駆動する。ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御する。光源制御部５４及びステージ回動制御部５５はすでに公知であるため、説明を省略する。
　光学測定部５７は、センサ２２ａで測定された結果に基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）及び積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）を算出する。また、光学測定部５７は、センサ２２ｂで測定された偏光の軸の向きが正しいかどうか判定する。光学測定部５７が行う処理については、後に詳述する。
　統括制御部５９は、偏光光照射装置１を構成する各部や制御部５０の各機能構成部を統括的に制御する。また、統括制御部５９は、情報（データ）入力、処理結果等に基づき、装置各部へ指令信号を送出する機能を有する。
　図５は、制御部５０の概略構成の一例を示すブロック図である。図示するように、例えばコンピュータなどで構成される制御部５０は、演算装置であるＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）５０１と、揮発性の記憶装置であるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）や不揮発性の記憶装置であるＲＯＭ（Ｒｅａｄ  ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）からなるメモリ５０２と、外部記憶装置５０３と、偏光光照射装置１の外部の装置と通信を行う通信装置５０４と、マウスやキーボード等の入力装置５０５と、ディスプレイ等の出力装置５０６と、制御部５０と他のユニットを接続するインターフェース（Ｉ／Ｆ）５０７とを備える。
　図４に記載の各機能部は、例えば、ＣＰＵ５０１がメモリ５０２のうちの不揮発性の記憶装置に格納された所定のプログラムをメモリ５０２のうちの揮発性の記憶装置に読み出して実行することにより実現される。なお、所定のプログラムは、例えば、予めメモリ５０２にインストールされてもよいし、通信装置５０４を介してネットワークからダウンロードされてインストール又は更新されてもよい。
　このように構成された偏光光照射装置１の作用について説明する。図６は、偏光光照射装置１が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置１を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図１、２に示す待機位置にある。
　まず、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ１０）。次に、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ１２）。これにより、対象物Ｗに対して偏光光を照射するための準備が終了する。
　次に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、往路の露光処理を行う（ステップＳ１４）。以下、往路の露光処理（ステップＳ１４）について説明する。支持台移動制御部５１は、支持台３１を－ｘ方向に移動させて、ステージ２１の上を通過させる。このとき、光源制御部５４は光源１１を点灯して、偏光光照射部１０から対象物Ｗに偏光光を照射する。支持台移動制御部５１は、支持台３１を－ｘ側の端近傍（図１、２における左側の２点鎖線参照）で停止させる。この往路の露光処理において、支持台移動制御部５１は、あらかじめ移動速度算出部５２が算出した速度、時間等で支持台３１を－ｘ方向に移動させる。
　図７は、移動速度算出部５２に入力される情報及び移動速度算出部５２が算出する情報の一例である。図７中、「入力」と記載されている列は、入力装置５０５を介してメモリ５０２に記憶され、移動速度算出部５２に入力される情報であり、「算出」と記載されている列は、メモリ５０２に記憶された情報に基づいて移動速度算出部５２が算出する情報を示す。
　移動速度算出部５２は、数式（１）に基づいて加速度及び減速度を算出する。例えば、支持台駆動部３２ｂの駆動力が０．１２Ｇと入力された場合には、移動速度算出部５２は、加速度及び減速度を０．１２（Ｇ）×９．８０６６５×１０００＝１１７６．８（ｍｍ／秒２）と算出する。なお、支持台駆動部３２ｂの駆動力は、０．１２Ｇ～０．１５Ｇの範囲内であることが望ましい。
　［数１］
加速度、減速度＝支持台駆動部３２ｂの駆動力×重力加速度×１０００　・・・（１）
　移動速度算出部５２は、数式（２）、（３）に基づいて、加速又は減速に必要な時間を算出する。例えば、加速度及び減速度が１１７６．８ｍｍ／秒２であり、露光速度が１００ｍｍ／秒であり、初期速度及び最終速度が０ｍｍ／秒である場合には、移動速度算出部５２は、加速時間及び減速時間を、（１００（ｍｍ／秒）－０（ｍｍ／秒））／１１７６．８（ｍｍ／秒２）＝０．０８５（秒）と算出する。
　［数２］
加速時間＝（露光速度－初期速度）÷加速度　・・・（２）
　［数３］
減速時間＝（露光速度－最終速度）÷減速度　・・・（３）
　移動速度算出部５２は、数式（４）、（５）に基づいて、加速及び減速に必要な距離Ｌ１、Ｌ２（図１参照）を算出する。例えば、加速時間及び減速時間が０．１秒、初期速度及び最終速度が０ｍｍ／秒である場合には、移動速度算出部５２は、加速距離Ｌ１及び減速距離Ｌ２を１／２×１１７６．８（ｍｍ／秒２）×０．０８５（秒）２＝４．２５（ｍｍ）と算出する。また、移動速度算出部５２は、数式（６）に基づいて、露光距離Ｌ３（図１参照）を算出する。例えば、総移動距離Ｌ（図１参照）が２８００ｍｍであり、加速距離Ｌ１及び減速距離Ｌ２が４．２５ｍｍである場合には、移動速度算出部５２は、露光距離Ｌ３を２８００（ｍｍ）－４．２５（ｍｍ）－４．２５（ｍｍ）＝２７９１．５（ｍｍ）と算出する。
　［数４］
加速距離Ｌ１＝１／２×加速度×加速時間２＋初期速度×加速時間　・・・（４）
　［数５］
減速距離Ｌ２＝１／２×減速度×減速時間２＋最終速度×減速時間　・・・（５）
　［数６］
露光距離Ｌ３＝総移動距離Ｌ－加速距離Ｌ１－減速距離Ｌ２　・・・（７）
　移動速度算出部５２は、数式（７）、（８）に基づいて、露光時間及び総所要時間を算出する。例えば、露光距離が２７９１．５ｍｍ、露光速度が１００ｍｍ／秒の場合には、露光時感は２７９１．５（ｍｍ）÷１００（ｍｍ／秒）＝２７．９１５（秒）と算出する。また、加速時間及び減速時間が０．０８５秒の場合には、総所要時間を０．０８５（秒）＋２７．９１５（秒）＋０．０８５（秒）＝２８．０７（秒）と算出する。
　［数７］
露光時間＝露光距離÷露光速度　・・・（７）
　［数８］
総所要時間＝加速時間＋露光時間＋減速時間　・・・（８）
　以上より、往路の露光処理（ステップＳ１４）において、支持台３１を、最初の０．１秒は１１７６．８ｍｍ／秒２で１００ｍｍ／秒まで加速し、１００ｍｍ／秒で２７．９秒移動させ、最後の０．１秒は１１７６．８ｍｍ／秒２で１００ｍｍ／秒まで減速することが移動速度算出部５２により求められる。支持台移動制御部５１は、このようにして移動速度算出部５２が算出した速度、時間等で支持台３１を－ｘ方向に移動させる。以下、支持台３１が加速移動する範囲を加速域といい、支持台３１が定速移動する範囲を定速域といい、支持台３１が減速移動する範囲を減速域という。
　往路の露光処理（ステップＳ１４）が終了したら、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、復路の露光処理を行う（ステップＳ１６）。復路の露光処理（ステップＳ１６）において、支持台移動制御部５１は、往路の露光処理（ステップＳ１４）と同じ速度、時間等で支持台３１を＋ｘ方向に移動させて、ステージ２１の上を通過させる。このとき、光源制御部５４は光源１１を点灯して、偏光光照射部１０から対象物Ｗに偏光光を照射する。以上により、往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了する。
　偏光光照射装置１においては、偏光光照射部１０が待機位置にあるときは、水平方向において、光学測定器２２が、偏光光照射部１０を挟んでステージ２１と反対側に設けられる。光学測定器２２は、光、特に紫外線が過剰に照射されることで劣化が加速する。したがって、往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）時に、光学測定器２２に光（紫外線）が照射されることを防止し、光学測定器２２の性能が早期に劣化しないようにすることができる。
　往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了したら、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ１８）。それと同時に、支持台移動制御部５１は、光源１１の水平方向（ｘ方向）の位置が光学測定器２２のｘ方向の位置と重なる測定位置にくるように、支持台３１を＋ｘ方向に移動させる（ステップＳ１８）。
　光源１１が測定位置に移動されたら、偏光光照射部１０から照射される偏光光の測定処理を行う（ステップＳ２０）。具体的には、偏光光照射部１０が測定位置にあるときに、光源制御部５４が光源１１を一定時間だけ点灯する。また、偏光光照射部１０から光学測定器２２に偏光光が照射される時間は、あらかじめメモリ５０２に記憶されている。したがって、光学測定部５７は、センサ２２ａで測定された結果及び点灯時間を示す情報に基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）及び偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）を算出する。
　偏光光の測定処理と同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ２０）。
　なお、ステップＳ２０において、統括制御部５９は、偏光光の測定処理によって測定された結果と、メモリ５０２に記憶された情報とを比較し、偏光光の測定処理によって測定された結果が正しいかどうか、すなわち対象物Ｗが正確に露光されたかどうかを判定してもよい。そして、統括制御部５９は、対象物Ｗが正確に露光されていないと判定した場合には、処理を終了してもよい。
　統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ２２）。例えば、統括制御部５９は、入力装置５０５より処理を終了することを示す情報が入力されていない場合には、次の対象物Ｗに対して処理を行うと判定する。
　次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、支持台移動制御部５１は、支持台３１を図１、２に示す待機位置に移動させる（ステップＳ２４）。そして、ロボット制御部５６は、ステップＳ１０と同様に、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ２４）。その後、統括制御部５９は処理をステップＳ１２に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
　次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、支持台移動制御部５１は、支持台３１を図１、２に示す待機位置に移動させて（ステップＳ２６）、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
　なお、ステップＳ１８、Ｓ２０及びＳ２４においては、処理時間短縮のため複数の処理を同時に行ったが、これらの処理は順番に行ってもよい。
　また、走査方向（ｘ方向）に対して一定角度だけ傾いた対象物Ｗに対して、偏光光照射部１０から対象物Ｗに偏光光を照射したが、対象物Ｗが偏光光照射部１０に対して傾いていればよく、例えばステージ２１を回動させず、光源１１の長手方向をｙ方向に対して傾いていてもよいし、光源１１の長手方向をｙ方向に対して傾けるとともにステージ２１をｘ方向に対して傾いていてもよい。例えば、ステージ２１を回動させず、光源１１の長手方向をｙ方向に対して傾ける場合には、ステージ２１を動かすことなく光源１１の長手方向を走査方向に対して傾斜させることができ、その結果、良好な配向特性を得ることができる。
　本実施の形態によれば、ステージ２１を走査方向に移動させず、偏光光照射部１０を走査方向に移動させるようにしたため、偏光光照射装置１の長手方向の長さを短くし、偏光光照射装置１を小型化することができる。
　従来の偏光光照射装置の一例として、ステージ１０１を走査方向に移動させる偏光光照射装置１００を図２２に示す。なお、図２２において、比較のため、本発明の偏光光照射装置１の大きさを２点鎖線で示す。偏光光照射装置１００では、偏光光照射部１０２の両側にステージ１０１が配置可能な領域が必要であり、またその外側に光学測定器１０３を配置する必要がある。そのため、偏光光照射装置１００のｘ方向の長さは、偏光光照射部１０のｘ方向の長さ、光学測定器１０３のｘ方向の長さ、及びステージ１０１のｘ方向の長さ（ステージ１０１が走査方向に対して傾く場合は、傾いた状態におけるｘ方向の長さ）の２倍の長さの合計以上の長さが必要となる。
　しかしながら、ステージ２１を走査方向に移動させず、偏光光照射部１０を走査方向に移動させる場合には、ステージ２１を移動させて走査するための領域、具体的にはステージ２１のｘ方向の長さ（ステージ２１が走査方向に対して傾く場合は、傾いた状態におけるｘ方向の長さ）の分が不要となる。したがって、偏光光照射装置１を小型化することができる。具体的には、偏光光照射装置１の長手方向の長さをステージ２１のｘ方向の長さ（又は走査方向に対して傾いた状態におけるステージ２１のｘ方向の長さ）の２倍以下とすることができる。
　本発明の偏光光照射装置１は、対象物Ｗの大きさが大きい場合に有効である。特に、対象物Ｗの走査方向に沿った方向の長さが３００ｍｍ以上と大きい場合に有効である。これは、対象物Ｗの走査方向に沿った方向の長さが長くなればなるほど、偏光光照射装置１をより小型化することができるためである。
　＜第２の実施の形態＞
　第１の実施の形態では、図１、２に示す待機位置において、ステージ２１と光学測定器２２との間に偏光光照射部１０が設けられるが、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２とは、待機位置において水平方向の位置が重ならないように設けられればよく、これらの構成要素の配置は図１、２に示す場合に限られない。
　第２の実施の形態は、待機位置において、ステージ２１と偏光光照射部１０との間に光学測定器２２を設ける形態である。以下、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　図８は、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２の概略を示す平面図である。図８においては、偏光光照射部１０及び支持台３１の待機位置を破線及び実線で示す。この待機位置においては、偏光光照射部１０が＋ｘ側の端近傍に設けられる。言い換えると、待機位置においては、ステージ２１と偏光光照射部１０との間に光学測定器２２が設けられる。
　偏光光照射装置２は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光源移動部３０Ａと、ロボット４０と、を備える。
　光源移動部３０Ａは、主として、支持台３１と、支持台移動部３２Ａと、回動部３３と、を有する。支持台移動部３２Ａは、棒状のレール３２ｃと、支持台駆動部３２ｂ（図示せず）と、平行移動機構部（図示せず）と、を有する。なお、レール３２ａとレール３２ｃとの差異はｘ方向の長さのみである。
　偏光光照射装置２の作用について説明する。図９は、偏光光照射装置２が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置２を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図８に示す待機位置にある。
　まず、ロボット制御部５６は、対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ１０）。次に、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させる回転処理を行う（ステップＳ１２）。
　その後、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、光源１１を点灯しながら支持台３１を－ｘ方向に移動させて、往路の露光処理及び測定処理を行う（ステップＳ１５）。往路の露光処理に関して、ステップＳ１４（図６参照）とステップＳ１５との違いは定速域の距離（総移動距離Ｌ－１及び露光距離Ｌ３－１）であり、その他はステップＳ１４とステップＳ１５とで同一である。
　偏光光照射装置２においては定速域に光学測定器２２が設けられる。したがって、偏光光照射装置２における総移動距離Ｌ－１及び露光距離Ｌ３－１は、少なくとも光学測定器２２の分だけ、偏光光照射装置１における総移動距離Ｌ及び露光距離Ｌ３より長い。
　ステップＳ１５では、定速域における定速移動中において、支持台３１（偏光光照射部１０）が光学測定器２２の上を通過し、そのまま連続してステージ２１の上を通過する。したがって、ステップＳ１５において、往路の露光処理とほぼ同時に測定処理を行うことができる。光学測定部５７は、光学測定器２２での測定結果と、移動速度算出部５２が算出した速度とに基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）及び偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）を算出する。
　往路の露光処理及び測定処理（ステップＳ１５）後には、支持台移動制御部５１は、支持台３１を－ｘ側の端近傍（図８における２点鎖線参照）で停止させる。
　往路の露光処理及び測定処理（ステップＳ１５）が終了したら、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、光源１１を点灯しながら支持台３１を＋ｘ方向に移動させて、復路の露光処理を行う（ステップＳ１６）。復路の露光処理（ステップＳ１６）後には、支持台３１が図８に示す待機位置に戻る。
　往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了したら、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ１７）。そして、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ２１）。
　統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ２２）。次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、ロボット制御部５６は、統括制御部５９は処理をステップＳ１０に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
　次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
　本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様、偏光光照射装置２の長手方向の大きさを小さくすることができる。
　また、本実施の形態によれば、支持台３１（偏光光照射部１０）を一往復（－ｘ方向に移動させてから＋ｘ方向に移動させる）させればよいため、制御部５０が行う処理内容を容易にし、また、１枚の対象物Ｗに対して処理を行うのに要する時間を短くすることができる。
　＜第３の実施の形態＞
　第１の実施の形態では、偏光光照射部１０が移動可能に設けられたが、偏光光照射部１０以外の部材を移動可能に設けてもよい。
　第３の実施の形態は、偏光光照射部１０及び光学測定器２２を移動可能に設ける形態である。以下、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置３について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　図１０は、第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す平面図である。図１１は、第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す正面図である。図１０、１１に示す待機位置においては、光学測定器２２が＋ｘ側の端近傍に設けられ、その－ｘ側に隣接して偏光光照射部１０が設けられる。言い換えると、待機位置においては、上（＋ｚ方向）からみて、ステージ２１と光学測定器２２との間に偏光光照射部１０が設けられる。
　偏光光照射装置３は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光学測定器移動部２３と、光源移動部３０Ｂと、ロボット４０と、を備える。
　光学測定器移動部２３は、棒状のレール２３ａと、光学測定器駆動部２３ｂ（図１０、１１では図示せず、図１２参照、後に詳述）と、光学測定器駆動部２３ｂの駆動力によってレール２３ａに沿って光学測定器２２を往復移動させる平行移動機構部（図示せず）と、を有する。
　光学測定器２２の底面（－ｚ側の面）には、図示しない摺動部が設けられ、この摺動部がレール２３ａに沿って摺動することで、光学測定器２２がレール２３ａに沿って移動する。平行移動機構部は、公知の様々な技術を用いることができる。
　光源移動部３０Ｂは、主として、支持台３１と、支持台移動部３２Ｂと、回動部３３と、を有する。支持台移動部３２Ｂは、棒状のレール３２ｄと、支持台駆動部３２ｂ（図１０、１１では図示せず、図１２参照）と、平行移動機構部（図示せず）と、を有する。なお、レール３２ａとレール３２ｄとの差異はｘ方向の長さのみである。
　図１２は、偏光光照射装置３の機能構成の概略を示すブロック図である。制御部５０Ａは、主として、支持台移動制御部５１と、移動速度算出部５２と、回動制御部５３と、光源制御部５４と、ステージ回動制御部５５と、ロボット制御部５６と、光学測定部５７と、光学測定器移動制御部５８と、統括制御部５９と、を有する。
　光学測定器移動制御部５８は、光学測定器２２を走査方向（＋ｘ方向又は－ｘ方向）に沿って移動させるように、光学測定器駆動部２３ｂを制御する。光学測定器駆動部２３ｂは、例えばアクチュエータである。光学測定器移動制御部５８は、アクチュエータのエンコーダー値等により光学測定器２２のｘ方向の位置を把握することができる。
　このように構成された偏光光照射装置３の作用について説明する。図１３は、偏光光照射装置３が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置３を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図１０、１１に示す待機位置にある。
　まず、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ１０）。次に、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させる回転処理を行う（ステップＳ１２）。次に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、往路の露光処理（ステップＳ１４）及び復路の露光処理を行う（ステップＳ１６）。
　露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了すると、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ１９）。この処理は、ステップＳ１８（図６参照）における処理と同一である。それと同時に、光学測定器移動制御部５８は、光源１１の水平方向（ｘ方向）の位置が光学測定器２２のｘ方向の位置と重なる測定位置にくるように、光学測定器２２を－ｘ方向に移動させる（ステップＳ１９）。
　光源１１が測定位置に移動されたら、偏光光照射部１０から照射される偏光光の測定処理を行う（ステップＳ２０）。それと同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ２０）。
　統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ２２）。次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、光学測定器移動制御部５８は、光学測定器２２が待機位置にくるように、光学測定器２２を＋ｘ方向に移動させる（ステップＳ２５）。そして、ロボット制御部５６は、ステップＳ１０と同様に、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ２５）。その後、統括制御部５９は処理をステップＳ１２に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
　次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、光学測定器２２を＋ｘ方向に移動させて（ステップＳ２７）、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
　なお、ステップＳ１９、Ｓ２０及びＳ２５においては、処理時間短縮のため複数の処理を同時に行ったが、複数の処理は順番に行ってもよい。
　本実施の形態によれば、偏光光照射装置３の大きさをより小さくすることができる。具体的には、偏光光照射装置３の大きさを、偏光光照射装置１の大きさよりも、支持台３１のｘ方向の長さの分だけ小さくすることができる。
　＜第４の実施の形態＞
　第１の実施の形態では、光源１１を用いた偏光光照射部１０を走査方向に移動させたが、移動させる偏光光照射部はこれに限られない。
　第４の実施の形態は、光源の光をステージ２１の上へ導く導光部材を用いる形態である。以下、第４の実施の形態に係る偏光光照射装置４について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　図１４は、第４の実施の形態に係る偏光光照射装置４の概略を示す平面図である。図１５は、偏光光照射装置４の概略を示す正面図である。
　偏光光照射部６０は、主として、光源６１と、導光部材６２と、光学部材６３（図１４では図示せず）と、を有する。図１４、１５に示す待機位置では、水平方向において、偏光光照射部６０は、ステージ２１と光学測定器２２との間に設けられる。
　光源６１は、主として、ランプ６１ａと、光学フィルタ６１ｂと、を有する。光源６１は、例えば偏光光照射装置１の装置枠の外側に設けられる。ただし、光源６１を設ける位置は、図１４、１５に示す位置に限られない。
　ランプ６１ａは、偏光していない光（例えば、紫外光）を出射する。ランプ６１ａは、例えば、電極間距離が１～１０ｍｍ程度と短い高輝度の点光源であるショートアークタイプのランプである。なお、ランプ６１ａは、ショートアークタイプのランプに限られず、ＬＥＤ等の様々な種類の発光装置を用いることができる。
　光学フィルタ６１ｂは、ランプ６１ａから照射された光の中から所定の波長の光のみを通過させる。光学フィルタ６１ｂの背面にはランプ６１ａが設けられ、光学フィルタ６１ｂの前面には導光部材６２の入射部６２ｂ（後に詳述）が設けられる。
　図１６は、導光部材６２の概略を示す斜視図である。導光部材６２は、光源６１から照射された光を、光源から離れた場所に導くものである。本実施の形態では、導光部材６２は、複数本の光ファイバー素線６２ａが束ねられて束状に形成された光ファイバー束である。光ファイバー素線６２ａは、入射部６２ｂから供給された光を出射部６２ｃへ導光する。
　導光部材６２は、部分的に光ファイバー素線６２ａが束ねられている。この束ねられた本体６２ｄは、複数の光ファイバー素線６２ａを束ねて束状にし、これを融着処理等により一体にすることで形成される。
　光ファイバー素線６２ａのうちの、光ファイバー素線６２ａが束ねられた側の端面は、入射部６２ｂである。入射部６２ｂにおいては、複数の光ファイバー素線６２ａの端面は、均一に分布して固定されている。
　光ファイバー素線６２ａのうちの、光ファイバー素線６２ａが束ねられていな側の端面は、出射部６２ｃである。出射部６２ｃの近傍では、光ファイバー素線６２ａを広げることができる。本実施の形態では、出射部６２ｃが略帯状となるように光ファイバー素線６２ａを広げて並べる。以下、略帯状に並べた出射部６２ｃ全体を、対象物Ｗに光を照射する照射面６２ｅと定義する。
　図１７は、照射面６２ｅにおける、出射部６２ｃ（光ファイバー素線６２ａの端面）の分布状態を模式的に示した一例である。図１７では、光ファイバー素線６２ａを部分的に表示している。
　出射部６２ｃは、照射面６２ｅから照射される光のムラが目立たないように、千鳥状に配置される。すなわち、第一列（列Ｉ）における出射部６２ｃの中心が、第一列に隣接する列（列ＩＩ）における出射部６２ｃの中心の間に位置するように、光ファイバー素線６２ａを配置する。ただし、出射部６２ｃの配置はこの形態に限られない。
　図１４、１５の説明に戻る。照射面６２ｅ及びの光学部材６３は、ステージ２１の上方（＋ｚ方向）に設けられる。
　光学部材６３は、照射面６２ｅと略同じ長さの長辺を持つ長方形の部材である。光学部材６３は、その長手方向が照射面６２ｅの長手方向と略一致するように、光源６１の下側（－ｚ側）に設けられる。光学部材６３は、例えば、光源１１から出射された無偏光の光を偏光する偏光子であるが、これに限定されるものではない。
　支持台３１は、照射面６２ｅと、光学部材６３とを支持する。支持台３１には、本体６２ｄが貫通する孔（図示せず）が設けられている。支持台３１の下面側には、光ファイバー素線６２ａが広げて設けられ、照射面６２ｅが形成される。支持台３１をレール３２ａに沿って移動させると、導光部材６２及び光学部材６３が移動され、光源６１は移動されない。
　偏光光照射装置４においては、光源制御部５４は光源６１の点灯及び消灯を制御する。その他、偏光光照射装置４の処理内容は、偏光光照射装置１の処理内容と同一であるため、説明を省略する。
　本実施の形態によれば、光源６１を移動させず、導光部材６２及び光学部材６３のみを移動させるため、支持台３１が支持する部分（言い換えると、支持台駆動部３２ｂが移動させる部分）を小さくかつ軽くすることができる。その結果、偏光光を照射する部分を移動させることが容易となる。その結果、出力が小さい支持台駆動部３２ｂを使用することができ、また偏光光照射装置３をより小さくすることができる。
　例えば、第１の実施の形態の偏光光照射装置１では、光源１１から熱が発生するため、偏光光照射部１０には排熱のためのダクトが設けられることが多い。そのため、支持台駆動部３２ｂは、偏光光照射部１０を移動する時にダクトも一緒に移動させなくてはならず、支持台駆動部３２ｂとして出力が大きいアクチュエータ等を使用する必要がある。
　それに対し、本実施の形態の偏光光照射装置４は移動させる部分が軽いため、支持台駆動部３２ｂとして出力が小さい小型のアクチュエータを使用することができる。また、支持台３１が支持する部分が小さくかつ軽いため、その分偏光光照射装置３を小型化することができる。
　なお、本実施の形態では、導光部材６２として光ファイバー束を用いたが、導光部材はこれに限定されない。光源６１の光を導光する導光部材として拡散板を用いてもよい。
　図１８は、第４の実施の形態の変形例に係る偏光光照射装置４Ａの概略を示す平面図である。図１９は、偏光光照射装置４Ａの概略を示す正面図である。
　偏光光照射部６０Ａは、主として、光源６１と、導光部材６４と、光学部材６３と（図１１では図示せず）と、を有する。図１８、１９に示す待機位置では、水平方向において、偏光光照射部６０Ａは、ステージ２１と光学測定器２２との間に設けられる。
　光源６１は、導光部材６４の側面（ここでは、ｙ側（短手方向）の側面）に隣接して設けられる。光学部材６３は、導光部材６４の下方に設けられる。
　導光部材６４は、アクリル等の透明な材料で形成された板材であり、略帯状に形成されている。導光部材６４の裏面（－ｚ側の面）が面発光するように、導光部材６４の表面（＋ｚ側の面）には、金属製の反射拡散板が設けられる。また、導光部材６４の光源６１が隣接して設けられていない側面には、光が逃げないように、金属製の遮光板が設けられる。
　支持台３１は、偏光光照射部６０Ａを支持する。偏光光照射部６０Ａは光源６１を有するが、光源６１は光源１１より小さくかつ軽いため、偏光光照射装置１、２と比べて支持台３１の移動は容易である。したがって、偏光光照射装置１、２と比べて、偏光光照射装置４Ａを小型化することができる。
　＜第５の実施の形態＞
　第１の実施の形態では、ステージ２１が１つ設けられたが、ステージ２１の数はこれに限られない。
　第５の実施の形態は、ステージ２１を２つ設ける形態である。以下、第５の実施の形態に係る偏光光照射装置５について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　図２０は、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置５の概略を示す平面図である。図２０においては、待機位置における偏光光照射部１０及び支持台３１の位置を破線及び実線で示す。この待機位置においては、偏光光照射部１０がｘ方向の略中央に設けられる。また、待機位置においては、偏光光照射部１０に隣接して光学測定器２２が設けられ、これらの両側にステージ２１が設けられる。なお、図２０においては、偏光光照射部１０の右側（＋ｘ側）に光学測定器２２が設けられているが、偏光光照射部１０の左側（－ｘ側）に光学測定器２２が設けられていてもよい。
　偏光光照射装置５は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光源移動部３０Ｃと、ロボット４０（図２０では図示せず）と、を備える。
　光源移動部３０Ｃは、主として、支持台３１と、支持台移動部３２Ｃと、回動部３３と、を有する。支持台移動部３２Ｃは、棒状のレール３２ｅと、支持台駆動部３２ｂ（図示せず）と、平行移動機構部（図示せず）と、を有する。なお、レール３２ａとレール３２ｅとの差異はｘ方向の長さのみである。
　ロボット４０は、偏光光照射装置５の＋ｘ側の端及び－ｘ側の端に対向して設けられる。－ｘ側の端に設けられるロボット４０の位置は、偏光光照射装置１と同様である。
　このように構成された偏光光照射装置５の作用について説明する。図２１は、偏光光照射装置５が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置５を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図２０に示す待機位置にある。
　まず、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを－ｘ側に設けられたステージ２１（以下、第１ステージ２１という）の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ３０）。当該処理は、ステップ１０（図６参照）と同様である。
　次に、ステージ回動制御部５５は、第１ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ３２）。当該処理は、ステップ１２（図６参照）と同様である。
　次に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第１ステージ２１に対して往路の露光処理を行う（ステップＳ３４）。当該処理は、ステップＳ１４（図６参照）と同じである。
　往路の露光処理（ステップＳ３４）が終了したら、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第１ステージ２１に対する復路の露光処理を行う（ステップＳ３６）。ステップＳ３６における復路の露光処理は、ステップＳ１６（図６参照）と同じである。それと同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを＋ｘ側に設けられたステージ２１（以下、第２ステージ２１という）の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ３６）。
　第１ステージ２１に対する往復の露光処理（ステップＳ３４、Ｓ３６）が終了したら、光源制御部５４は光源１１を点灯して、支持台移動制御部５１は支持台３１を＋ｘ方向に移動させ始める（ステップＳ３８）。それと同時に、ステージ回動制御部５５は、第１ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理、及び、第２ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ３８）。
　光源１１が、光源１１の水平方向（ｘ方向）の位置が光学測定器２２のｘ方向の位置と重なる測定位置に移動されたら、偏光光照射部１０から照射される偏光光の測定処理を行う（ステップＳ４０）。そして、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第２ステージ２１に対して往路の露光処理を行う（ステップＳ４２）。
　統括制御部５９は、ステップＳ３８で支持台３１移動させ始めてから、支持台３１を止めずに連続してステップＳ４０、Ｓ４２を行う。移動速度算出部５２は、あらかじめ支持台移動制御部５１が支持台３１を移動させる速度、時間等を算出しておく。ステップＳ４０において、光学測定部５７は、光学測定器２２での測定結果と、移動速度算出部５２が算出した速度とに基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）及び偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）を算出する。このように、ステップＳ３８～Ｓ４２において、露光処理と測定処理とが連続してほぼ同時に行われる。
　往路の露光処理と同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを第１ステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ４２）。
　統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ４４）。次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ４４でＹＥＳ）には、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第２ステージ２１に対する復路の露光処理と、第１ステージ２１に対する対象物Ｗの投入処理と、を行う（ステップＳ４６）。ステップＳ４６における、第２ステージ２１に対して行う復路の露光処理は、ステップＳ３８～Ｓ４２における速度と同じ速度で支持台３１を－ｘ方向に移動させて、偏光光照射部１０を待機位置に戻す。ステップＳ４６における第１ステージ２１への対象物Ｗの投入処理は、ステップＳ３０と同じである。
　次に、ステージ回動制御部５５は、第２ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ４８）。当該処理は、ステップ３２と同様である。それと同時に、ステージ回動制御部５５は、第１ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ４８）。
　そして、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを第２ステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ５０）。それと同時に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第１ステージ２１に対して往路の露光処理を行う（ステップＳ５０）。この露光処理は、ステップＳ３４と同一である。その後、統括制御部５９は処理をステップＳ３６に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
　次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ４４でＮＯ）には、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第２ステージ２１に対する復路の露光処理を行う（ステップＳ５２）。当該処理は、ステップＳ４６における処理と同じである。次に、ステージ回動制御部５５は、第２ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ５４）。当該処理は、ステップＳ４８と同様である。その後、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを第２ステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ５６）。当該処理は、ステップＳ５０における処理と同じである。そして、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
　なお、ステップＳ３６、Ｓ３８、Ｓ４２、Ｓ４６、Ｓ４８及びＳ５０においては、処理時間短縮のため複数の処理を同時に行ったが、複数の処理は順番に行ってもよい。
　本実施の形態によれば、従来の装置と同等の大きさの装置を用いて、より効率よく処理を行うことができる。
　以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
　また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略中央とは、厳密に中央の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばＡの近傍であるときに、Ａの近くであって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
１、２、３、４、４Ａ、５　　：偏光光照射装置
１０　　　　　　　　　　　　：偏光光照射部
１１　　　　　　　　　　　　：光源
１２　　　　　　　　　　　　：光学部材
１３　　　　　　　　　　　　：ミラー
１４　　　　　　　　　　　　：筐体
２１　　　　　　　　　　　　：ステージ
２２　　　　　　　　　　　　：光学測定器
２２ａ、２２ｂ　　　　　　　：センサ
２３　　　　　　　　　　　　：光学測定器移動部
２３ａ　　　　　　　　　　　：レール
２３ｂ　　　　　　　　　　　：光学測定器駆動部
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ：光源移動部
３１　　　　　　　　　　　　：支持台
３２、３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ：支持台移動部
３２ａ　　　　　　　　　　　：レール
３２ｂ　　　　　　　　　　　：支持台駆動部
３２ｃ　　　　　　　　　　　：レール
３２ｄ　　　　　　　　　　　：レール
３２ｅ　　　　　　　　　　　：レール
３３　　　　　　　　　　　　：回動部
３３ａ　　　　　　　　　　　：回動軸
３３ｂ　　　　　　　　　　　：回動軸駆動部
４０　　　　　　　　　　　　：ロボット
５０、５０Ａ　　　　　　　　：制御部
５１　　　　　　　　　　　　：支持台移動制御部
５２　　　　　　　　　　　　：移動速度算出部
５３　　　　　　　　　　　　：回動制御部
５４　　　　　　　　　　　　：光源制御部
５５　　　　　　　　　　　　：ステージ回動制御部
５６　　　　　　　　　　　　：ロボット制御部
５７　　　　　　　　　　　　：光学測定部
５８　　　　　　　　　　　　：光学測定器移動制御部
５９　　　　　　　　　　　　：統括制御部
６０、６０Ａ　　　　　　　　：偏光光照射部
６１　　　　　　　　　　　　：光源
６１ａ　　　　　　　　　　　：ランプ
６１ｂ　　　　　　　　　　　：光学フィルタ
６２、６４　　　　　　　　　：導光部材
６２ａ　　　　　　　　　　　：光ファイバー素線
６２ｂ　　　　　　　　　　　：入射部
６２ｃ　　　　　　　　　　　：出射部
６２ｄ　　　　　　　　　　　：本体
６２ｅ　　　　　　　　　　　：照射面
６３　　　　　　　　　　　　：光学部材
５０１　　　　　　　　　　　：ＣＰＵ
５０２　　　　　　　　　　　：メモリ
５０３　　　　　　　　　　　：外部記憶装置
５０４　　　　　　　　　　　：通信装置
５０５　　　　　　　　　　　：入力装置
５０６　　　　　　　　　　　：出力装置
５０７　　　　　　　　　　　：インターフェース

Claims (10)

  1. 　対象物が載置されるステージと、
    　前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、
    　前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、
    　前記偏光光照射部を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光源移動部と、
    　を備え、
    　前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる
    　ことを特徴とする偏光光照射装置。
  2. 　情報を入力する入力部と、
    　前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する移動速度算出部と、
    　前記移動速度算出部により算出された移動速度で前記偏光光照射部が前記ステージの上を通過するように、また、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ移動するように、前記光源移動部を制御する光源移動制御部と、
    　を備えたことを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
  3. 　前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器が、前記偏光光照射部を挟んで前記ステージの反対側に設けられる
    　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の偏光光照射装置。
  4. 　前記偏光光照射部の点灯及び消灯を制御する光源制御部と、
    　前記光学測定器で測定された結果及び前記入力部により入力された情報に基づいて、露光量及び照度を測定する光学測定部と、を備え、
    　前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、前記光学測定器の水平方向の位置は、前記ステージの水平方向の位置と前記偏光光照射部の水平方向の位置との間であり、
    　前記光源移動制御部は、前記偏光光照射部を前記光学測定器の上及び前記ステージの上を連続して通過させ、
    　前記光源制御部は、前記光源移動制御部が前記偏光光照射部を移動させる間、前記偏光光照射部を点灯させる
    　ことを特徴とする請求項２に記載の偏光光照射装置。
  5. 　情報を入力する入力部と、
    　前記光学測定器を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光学測定器移動部と、
    　前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する移動速度算出部と、
    　前記移動速度算出部により算出された移動速度で前記偏光光照射部が前記ステージの上を通過するように、前記光源移動部を制御する光源移動制御部と、
    　前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記光学測定器を移動させるように、前記光学測定器移動部を制御する光学測定部移動制御部と、
    　を備えたことを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
  6. 　前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器と前記偏光光照射部とが隣接して設けられ、前記光学測定器及び前記偏光光照射部の両側に前記ステージが２つ設けられる
    　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の偏光光照射装置。
  7. 　前記光源移動部は、前記偏光光照射部を回動させる回動部を有する
    　ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の偏光光照射装置。
  8. 　前記偏光光照射部は、光源と、前記光源から照射された光を導光する導光部材であって、前記光源の光が供給される光入射部と、前記ステージの上方に略帯状に設けられ、前記ステージへ光を照射する光出射部と、を有する導光部材と、を有する
    　ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の偏光光照射装置。
  9. 　対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、
    　前記ステージに前記対象物を載置する工程と、
    　前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、
    　前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記ステージの上を通過させる工程と、
    　前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記偏光光照射部又は前記光学測定器を走査方向に沿って移動させ、前記偏光光照射部から光を照射する工程と、
    　を含むことを特徴とする偏光光照射方法。
  10. 　対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、
    　前記ステージに前記対象物を載置する工程と、
    　前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、
    　前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記光学測定器及び前記ステージの上を連続して通過させる工程と、
    　を含むことを特徴とする偏光光照射方法。
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