TW201727340A - 偏振光照射裝置以及偏振光照射方法 - Google Patents

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Abstract

本發明可使偏振光照射裝置小型化，尤其可縮短長邊方向的長度。當偏振光照射部位於待機位置時，載台、偏振光照射部與光學測定器是以水平方向的位置不重合的方式而設，所述載台載置對象物，所述偏振光照射部照射沿著與對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光，所述光學測定器對從偏振光照射部照射的光的特性進行測定。光源移動部使偏振光照射部沿著對象物的掃描方向移動，以使其通過光學測定部的上方，而且使其通過載台的上方。

Description

偏振光照射裝置以及偏振光照射方法
本發明是有關於一種偏振光照射裝置以及偏振光照射方法。
在專利文獻1中，揭示有一種光配向照射裝置，其具備：偏振部件，具備鄰接地配置的多個單位偏振元件；以及掃描部件，藉由使載台（stage）或偏振光照射部件中的至少一者移動，從而使來自偏振光照射部件的紫外線沿著規定的掃描方向來對由載台所載置的基板進行掃描，藉由單位偏振元件的鄰接面及單位偏振元件的鄰接方向相對於掃描方向而傾斜，從而實現良好的配向特性。
現有技術文獻 專利文獻 專利文獻1：日本專利第5131886號公報
[發明所欲解決之課題] 然而，專利文獻1所記載的發明中，由於使載台沿著掃描方向移動，因此必須將光配向照射裝置的長邊方向、此處為沿著掃描方向的方向的長度，設為由載台所載置的基板等（以下稱作對象物W）的沿著掃描方向的方向的長度（在使對象物W相對於掃描方向而傾斜的狀態下進行掃描的情況下，為大於或等於傾斜狀態下的對象物W的沿著掃描方向的長度）的二倍。如此，在專利文獻1所記載的發明中，存在裝置大型化的問題。
本發明是有鑒於此種情況而完成，其目的在於提供一種可使裝置小型化，尤其可縮短沿著掃描方向的方向的長度的偏振光照射裝置以及偏振光照射方法。
[解決課題之手段] 為了解決所述課題，例如，本發明的偏振光照射裝置包括：載台，載置對象物；偏振光照射部，照射沿著與所述對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光；光學測定部，對從所述偏振光照射部照射的光的特性進行測定；以及光源移動部，使所述偏振光照射部沿著所述對象物的掃描方向移動，當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述載台、所述偏振光照射部與所述光學測定部是以水平方向的位置不重合的方式而設。
根據本發明的曝光裝置，當偏振光照射部位於待機位置時，載置對象物的載台、照射沿著與對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀偏振光的偏振光照射部、以及對從偏振光照射部照射的光的特性進行測定的光學測定部是以水平方向的位置不重合的方式而設。光源移動部使偏振光照射部沿著對象物的掃描方向移動，以通過載台的上方。如此，不使載台沿掃描方向移動，而是使偏振光照射部沿掃描方向移動，藉此可使偏振光照射裝置小型化，尤其可縮短長邊方向的長度。
此處，亦可包括：輸入部，輸入資訊；移動速度計算部，基於藉由所述輸入部所輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度；以及光源移動控制部，對所述光源移動部進行控制，以使所述偏振光照射部以由所述移動速度計算部所算出的移動速度而通過所述載台的上方，而且，朝向所述偏振光照射部的水平方向的位置與所述光學測定器的水平方向的位置一致的測定位置移動。藉此，藉由使偏振光照射部沿掃描方向移動，從可進行對於對象物W的曝光與光學測定器的測定（偏振光的照度（mW/cm2 ）及累計曝光量（mJ/cm2 ））。
此處，亦可為，當所述偏振光照射部位於待機位置時，在水平方向上，所述光學測定器夾著所述偏振光照射部而設於所述載台的相反側。藉此，可防止對光學測定器照射超過所需的偏振光。
此處，亦可包括：光源控制部，對所述光源的點燈及熄燈進行控制；以及光學測定部，基於由所述光學測定器所測定的結果及由所述輸入部所輸入的資訊，來測定曝光量及照度，當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述光學測定器的水平方向的位置位於所述載台的水平方向的位置與所述偏振光照射部的水平方向的位置之間，所述光源移動控制部使所述偏振光照射部連續通過所述光學測定器的上方及所述載台的上方，所述光源控制部在所述光源移動控制部使所述偏振光照射部移動的期間內，使所述光源點燈。藉此，可與曝光處理大致同時地進行光學測定器的測定。
此處，亦可包括：輸入部，輸入資訊；光學測定器移動部，使所述光學測定器沿著所述對象物的掃描方向移動；移動速度計算部，基於藉由所述輸入部所輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度；光源移動控制部，對所述光源移動部進行控制，以使所述偏振光照射部以由所述移動速度計算部所算出的移動速度而通過所述載台的上方；以及光學測定部移動控制部，對所述光學測定器移動部進行控制，以使所述光學測定器朝向所述偏振光照射部的水平方向的位置與所述光學測定器的水平方向的位置一致的測定位置移動。藉此，可進一步縮小裝置的大小。
此處，亦可為，當所述偏振光照射部位於待機位置時，在水平方向上，所述光學測定器與所述偏振光照射部鄰接地設置，且在所述光學測定器及所述偏振光照射部的兩側設有二個所述載台。藉此，可效率良好地對多個對象物照射偏振光。
此處，所述光源移動部亦可具有使所述偏振光照射部轉動的轉動部。藉此，無須移動載台，便可使進行曝光的偏振光的長邊方向相對於掃描方向而傾斜，其結果，可獲得良好的配向特性。
此處，所述偏振光照射部亦可包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。如此，藉由使用導光構件，可縮小且減輕光源移動部所移動的部分，藉此，可使偏振光照射裝置更為小型化。
為了解決所述課題，例如，本發明的偏振光照射方法使用偏振光照射裝置，所述偏振光照射裝置包括：載台，載置對象物；偏振光照射部，照射沿著與所述對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光；光學測定器，對從所述偏振光照射部照射的光的特性進行測定；以及輸入部，輸入資訊；且當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述載台、所述偏振光照射部與所述光學測定器是以水平方向的位置不重合的方式而設，所述偏振光照射方法包括：將所述對象物載置於所述載台上的步驟；基於從所述輸入部輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度的步驟；在從所述偏振光照射部照射有光的狀態下，使所述偏振光照射部從所述待機位置沿著所述對象物的掃描方向而以所述算出的移動速度移動，以通過所述載台的上方的步驟；以及使所述偏振光照射部或所述光學測定器沿著掃描方向朝向所述偏振光照射部的水平方向的位置與所述光學測定器的水平方向的位置一致的測定位置移動，並從所述偏振光照射部照射光的步驟。如此，不使載台沿掃描方向移動，而是使偏振光照射部沿掃描方向移動，藉此，可使偏振光照射裝置小型化，尤其可縮短長邊方向的長度。
為了解決所述課題，例如，本發明的偏振光照射方法使用偏振光照射裝置，所述偏振光照射裝置包括：載台，載置對象物；偏振光照射部，照射沿著與所述對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光；光學測定器，對從所述偏振光照射部照射的光的特性進行測定；以及輸入部，輸入資訊；且當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述載台、所述偏振光照射部與所述光學測定器是以水平方向的位置不重合的方式而設，所述偏振光照射方法包括：將所述對象物載置於所述載台上的步驟；基於從所述輸入部輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度的步驟；以及在從所述偏振光照射部照射有光的狀態下，使所述偏振光照射部從所述待機位置沿著所述對象物的掃描方向而以所述算出的移動速度移動，以連續通過所述光學測定器及所述載台的上方的步驟。藉此，不使載台沿掃描方向移動，而是使偏振光照射部沿掃描方向移動，藉此，可使偏振光照射裝置小型化，且可與曝光處理大致同時地進行光學測定器的測定，藉此，可縮短對一片對象物W進行處理所需的時間。
[發明的效果] 根據本發明，可使裝置小型化，尤其可縮短沿著掃描方向的方向的長度。
以下，參照圖式來詳細說明本發明的實施形態。
＜第1實施形態＞ 圖1是表示第1實施形態的偏振光照射裝置1的概略的平面圖。圖2是表示偏振光照射裝置1的概略的正面圖。偏振光照射裝置1例如是如下裝置：將通過偏振元件而偏振的光（以下稱作偏振光）照射至玻璃基板等對象物W的被曝光面來進行光配向處理，以生成液晶面板等配向膜。此處，所謂光配向處理，是指如下所述的處理：將直線偏振紫外線照射至高分子膜上，以引起膜內的分子的再排列或各向異性的化學反應，藉此來使膜具備各向異性。但是，可使用偏振光照射裝置1來進行的處理並不限定於光配向處理，例如亦可使用偏振光照射裝置1來檢查曝光後的對象物W。
以下，將對象物W的搬送方向設為x方向，將與搬送方向正交的方向設為y方向，將鉛垂方向設為z方向。另外，在圖2中，為了進行說明，對於裝置跟前側（-y側）的一部分省略了圖示。而且，在圖1中，為了進行說明，對於裝置框的頂面（+z側的面）省略了圖示。
偏振光照射裝置1主要具備偏振光照射部10、載台21、光學測定器22、光源移動部30及機器人（robot）40。
偏振光照射部10向對象物W照射偏振光。圖3是表示偏振光照射部10的詳細的立體圖。偏振光照射部10主要具有光源11、光學構件12、反射鏡（mirror）13及框體14。
光源11為棒狀的構件，出射未偏振的光（例如紫外光）。光源11的長度為大致1 m～大致2 m左右，直徑為大致10 mm左右。另外，光源11並不限於該形態，例如亦可將點光源排列成一列而設為棒狀的光源。
光學構件12是具備比光源11的發光長度稍長的長邊的長方形構件。光學構件12是以其長邊方向與光源11的長邊方向大致一致的方式而設於光源11的下側（-z側）。光學構件12例如是使從光源11出射的無偏振的光產生偏振的偏振膜，但並不限定於偏振膜。而且，光學構件12既可包含一個構件，亦可將平行四邊形（包含正方形、長方形）的小片排列成列狀而構成。
反射鏡13的剖面為大致半橢圓形，對從光源11出射的光進行反射。反射鏡13是以其長邊方向與光源11的長邊方向一致的方式，設於光源11的上側（+z側）。藉此，從光源11出射的光通過光學構件12而成為細線狀的光朝向下方（-z方向）照射（參照圖3的二點鏈線）。
在框體14中，設有光源11、光學構件12及反射鏡13。在框體14的上側（+z側）的面上，設有轉動部33（後文詳述）。轉動部33被設在框體14、即偏振光照射部10的大致中央。
返回至圖1及圖2的說明。載台21是藉由未圖示的旋轉機構而可旋轉地設置（參照圖1點線）。在載台21的上表面載置對象物W。
光學測定器22對從偏振光照射部10照射的光的照度、累計曝光量或偏振軸的方向等、從偏振光照射部10照射的光的特性進行測定。如圖1所示，在光學測定器22中，具有對光的照度進行測定的感測器（sensor）22a與對偏振軸的方向進行測定的感測器22b。另外，感測器22a、感測器22b的位置及數量並不限定於圖1所示的形態。光學測定器22可使用已公知的各種技術。
光源移動部30主要具有支持台31、支持台移動部32及轉動部33。
如圖3所示，支持台31經由轉動部33來保持偏振光照射部10。轉動部33被設於支持台31的背面（-z側的面）。
轉動部33主要具有：相對於支持台31來使框體14轉動的轉動軸33a、及使轉動軸驅動的轉動軸驅動部33b（圖3中未圖示，參照圖4，後文詳述）。
另外，轉動部33並非必要的結構。在不設轉動部33的形態中，只要在支持台31上直接設置框體14即可。
返回至圖1及圖2的說明。支持台移動部32具有棒狀的軌道（rail）32a、支持台驅動部32b（圖1、圖2中未圖示，參照圖4，後文詳述）、以及藉由支持台驅動部32b的驅動力來使支持台31沿著軌道32a往返移動的平行移動機構部（未圖示）。
在支持台31的表面（+z側的面）或側面（+y側的面及-y側的面）上，設有未圖示的滑動部，藉由該滑動部沿著軌道32a而滑動，從而支持台31沿著軌道32a移動。平行移動機構部可使用公知的各種技術。
機器人40是使對象物W朝向載台21移動，或者使對象物W從載台21移動的移動部件。機器人40的位置並不限定於圖1、圖2所示的位置。機器人40由於已公知，因此省略說明。
另外，當偏振光照射部10及支持台31位於圖1、圖2所示的待機位置（虛線及實線所示的位置）時，偏振光照射部10、載台21與光學測定器22是以水平方向的位置不重合的方式而設。藉此，可無問題地在光學測定器22中測定光的特性，或者對於對象物W進行配向處理。
圖4是表示偏振光照射裝置1的功能結構的概略的方塊圖。控制部50主要具有支持台移動控制部51、移動速度計算部52、轉動控制部53、光源控制部54、載台轉動控制部55、機器人控制部56、光學測定部57及統一控制部59。
支持台移動控制部51對支持台驅動部32b進行控制，以使支持台31沿著掃描方向（+x方向或-x方向）而通過載台21或光學測定器22的上方。支持台驅動部32b例如為致動器（actuator）。支持台移動控制部51可根據致動器的編碼器（encoder）值等，來掌握支持台31的x方向的位置。
移動速度計算部52基於所輸入的資訊等，算出支持台31的移動速度。由移動速度計算部52所算出的結果被輸出至支持台移動控制部51。支持台移動控制部51使支持台31以由移動速度計算部52所算出的速度而沿x方向移動。移動速度計算部52所進行的具體處理將在後文詳述。
轉動控制部53在藉由輸入裝置（參照圖5）等而輸入指示時，控制轉動軸驅動部33b來使支持台31轉動。轉動軸驅動部33b例如為致動器。轉動控制部53可根據致動器的編碼器值等，來掌握支持台31的轉動角度。另外，如已說明般，轉動部33並非必要的結構，在未設有轉動部33的情況下，亦不需要轉動控制部53。
光源控制部54控制光源11的點燈及熄燈。載台轉動控制部55驅動載台21轉動。機器人控制部56控制機器人40。光源控制部54及載台轉動控制部55由於已公知，因此省略說明。
光學測定部57基於由感測器22a所測定的結果，來算出從偏振光照射部10照射的偏振光的照度（mW/cm2 ）及累計曝光量（mJ/cm2 ）。而且，光學測定部57判定由感測器22b所測定出的偏振軸的方向是否正確。光學測定部57所進行的處理將在後文詳述。
統一控制部59對構成偏振光照射裝置1的各部或控制部50的各功能結構部進行統一控制。而且，統一控制部59具有下述功能：基於資訊（資料）輸入、處理結果等，向裝置各部送出指令信號。
圖5是表示控制部50的概略結構的一例的方塊圖。如圖所示，例如包含電腦（computer）等的控制部50具備：作為運算裝置的中央處理單元（Central Processing Unit，CPU）501、包含作為揮發性記憶裝置的隨機存取記憶體（Random Access Memory，RAM）或作為非揮發性記憶裝置的唯讀記憶體（Read Only Memory，ROM）的記憶體502、外部記憶裝置503、與偏振光照射裝置1的外部裝置進行通信的通信裝置504、滑鼠（mouse）或鍵盤（keyboard）等輸入裝置505、顯示器（display）等輸出裝置506、以及將控制部50與其他單元予以連接的介面（Interface，I/F）507。
圖4所記載的各功能部例如是藉由下述方式來實現：CPU 501將記憶體502中的非揮發性記憶裝置中所保存的規定程式（program）讀出至記憶體502中的揮發性記憶裝置中來執行。另外，規定程式例如既可預先安裝（install）於記憶體502中，亦可經由通信裝置504來從網路（network）下載（download）後安裝或更新。
對如此般構成的偏振光照射裝置1的作用進行說明。圖6是表示偏振光照射裝置1所進行的處理的流程的流程圖。使偏振光照射裝置1動作之前，偏振光照射部10位於圖1、圖2所示的待機位置。
首先，機器人控制部56進行如下投入處理：控制機器人40來將對象物W載置於載台21上（步驟S10）。接下來，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使載台21旋轉，以使對象物W相對於掃描方向而傾斜固定角度（步驟S12）。藉此，用於對於對象物W照射偏振光的準備結束。
接下來，光源控制部54及支持台移動控制部51進行往路的曝光處理（步驟S14）。以下，對往路的曝光處理（步驟S14）進行說明。支持台移動控制部51使支持台31朝-x方向移動，以通過載台21的上方。此時，光源控制部54將光源11點燈，以從偏振光照射部10將偏振光照射至對象物W。支持台移動控制部51使支持台31在-x側的端部附近（參照圖1、圖2中的左側的二點鏈線）停止。在該往路的曝光處理中，支持台移動控制部51以預先由移動速度計算部52算出的速度、時間等來使支持台31朝-x方向移動。
圖7是對移動速度計算部52輸入的資訊及移動速度計算部52所算出的資訊的一例。圖7中，記載為「輸入」的列是經由輸入裝置505而記憶於記憶體502中，且對移動速度計算部52輸入的資訊，記載為「計算」的列表示基於記憶在記憶體502中的資訊而由移動速度計算部52算出的資訊。
移動速度計算部52基於數式（1）來算出加速度及減速度。例如，當支持台驅動部32b的驅動力輸入為0.12 G時，移動速度計算部52算出加速度及減速度為0.12（G）×9.80665×1000=1176.8（mm/秒2 ）。另外，支持台驅動部32b的驅動力理想的是處於0.12 G～0.15 G的範圍內。 [數1] 加速度、減速度=支持台驅動部32b的驅動力×重力加速度×1000…（1）
移動速度計算部52基於數式（2）、數式（3）來算出加速或減速所需的時間。例如，當加速度及減速度為1176.8 mm/秒2 ，曝光速度為100 mm/秒，初始速度及最終速度為0 mm/秒時，移動速度計算部52算出加速時間及減速時間為（100（mm/秒）-0（mm/秒））/1176.8（mm/秒2 ）=0.085（秒）。 [數2] 加速時間=（曝光速度-初始速度）÷加速度…（2） [數3] 減速時間=（曝光速度-最終速度）÷減速度…（3）
移動速度計算部52基於數式（4）、數式（5），來算出加速及減速所需的距離L1、距離L2（參照圖1）。例如，當加速時間及減速時間為0.1秒，初始速度及最終速度為0 mm/秒時，移動速度計算部52算出加速距離L1及減速距離L2為1/2×1176.8（mm/秒2 ）×0.085（秒）2 =4.25（mm）。而且，移動速度計算部52基於數式（6）來算出曝光距離L3（參照圖1）。例如，當總移動距離L（參照圖1）為2800 mm，加速距離L1及減速距離L2為4.25 mm時，移動速度計算部52算出曝光距離L3為2800（mm）-4.25（mm）-4.25（mm）=2791.5（mm）。 [數4] 加速距離L1=1/2×加速度×加速時間2 +初始速度×加速時間 …（4） [數5] 減速距離L2=1/2×減速度×減速時間2 +最終速度×減速時間 …（5） [數6] 曝光距離L3=總移動距離L-加速距離L1-減速距離L2 …（7）
移動速度計算部52基於數式（7）、數式（8）來算出曝光時間及總所需時間。例如，當曝光距離為2791.5 mm，曝光速度為100 mm/秒時，算出曝光時感為2791.5（mm）÷100（mm/秒）=27.915（秒）。而且，當加速時間及減速時間為0.085秒時，算出總所需時間為0.085（秒）+27.915（秒）+0.085（秒）=28.07（秒）。 [數7] 曝光時間=曝光距離÷曝光速度…（7） [數8] 總所需時間=加速時間+曝光時間+減速時間…（8）
根據以上，由移動速度計算部52求出：在往路的曝光處理（步驟S14）中，使支持台31在最初的0.1秒以1176.8 mm/秒2 加速至100 mm/秒為止，並以100 mm/秒移動27.9秒，在最後的0.1秒以1176.8 mm/秒2 減速至100mm/秒為止。支持台移動控制部51以如此般由移動速度計算部52算出的速度、時間等來使支持台31朝-x方向移動。以下，將支持台31進行加速移動的範圍稱作加速區域，將支持台31進行定速移動的範圍稱作定速區域，將支持台31進行減速移動的範圍稱作減速區域。
往路的曝光處理（步驟S14）結束後，光源控制部54及支持台移動控制部51進行返路的曝光處理（步驟S16）。在返路的曝光處理（步驟S16）中，支持台移動控制部51以與往路的曝光處理（步驟S14）相同的速度、時間等來使支持台31朝+x方向移動，以通過載台21的上方。此時，光源控制部54將光源11點燈，以從偏振光照射部10向對象物W照射偏振光。藉由以上，往返的曝光處理（步驟S14、步驟S16）結束。
在偏振光照射裝置1中，當偏振光照射部10位於待機位置時，在水平方向上，光學測定器22夾著偏振光照射部10而設置於與載台21為相反的一側。光學測定器22會因被過剩地照射光、尤其是紫外線，而加速劣化。因此，在往返的曝光處理（步驟S14、步驟S16）時，可防止光（紫外線）照射至光學測定器22，而不使光學測定器22的性能過早劣化。
往返的曝光處理（步驟S14、步驟S16）結束後，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使載台21旋轉，以使對象物W從相對於掃描方向傾斜固定角度的狀態復原（步驟S18）。與此同時，支持台移動控制部51使支持台31朝+x方向移動，以來到光源11的水平方向（x方向）的位置與光學測定器22的x方向的位置重合的測定位置（步驟S18）。
光源11移動至測定位置後，進行從偏振光照射部10照射的偏振光的測定處理（步驟S20）。具體而言，當偏振光照射部10位於測定位置時，光源控制部54使光源11點燈固定時間。而且，從偏振光照射部10對光學測定器22照射偏振光的時間是預先記憶於記憶體502中。因此，光學測定部57基於由感測器22a所測定出的結果及表示點燈時間的資訊，來算出從偏振光照射部10照射的偏振光的累計曝光量（mJ/cm2 ）及偏振光的照度（mW/cm2 ）。
在偏振光的測定處理的同時，機器人控制部56進行如下排出處理：控制機器人40來將對象物W從載台21予以排出（步驟S20）。
另外，在步驟S20中，統一控制部59亦可對藉由偏振光的測定處理而測定出的結果與記憶於記憶體502中的資訊進行比較，以判定藉由偏振光的測定處理而測定出的結果是否正確，即，對象物W是否被準確地曝光。並且，統一控制部59在判定為對象物W未被準確地曝光的情況下，結束處理。
統一控制部59判定是否存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22）。例如，統一控制部59在未由輸入裝置505輸入表示結束處理的資訊的情況下，判定為要對下個對象物W進行處理。
若存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22中為是），則支持台移動控制部51使支持台31移動至圖1、圖2所示的待機位置（步驟S24）。然後，機器人控制部56與步驟S10同樣地進行如下投入處理：控制機器人40來將對象物W載置於載台21的上方（步驟S24）。隨後，統一控制部59使處理返回步驟S12，對下個對象物W進行處理。
若不存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22中為否），則支持台移動控制部51使支持台31移動至圖1、圖2所示的待機位置（步驟S26），統一控制部59結束一連串的處理。
另外，在步驟S18、步驟S20及步驟S24中，為了縮短處理時間，是同時進行多個處理，但這些處理亦可依序進行。
而且，對於相對於掃描方向（x方向）而傾斜固定角度的對象物W，從偏振光照射部10向對象物W照射偏振光，但只要對象物W相對於偏振光照射部10傾斜即可，例如亦可不使載台21轉動，而使光源11的長邊方向相對於y方向傾斜，還可使光源11的長邊方向相對於y方向傾斜，並且使載台21相對於x方向傾斜。例如，在不使載台21轉動，而使光源11的長邊方向相對於y方向傾斜的情況下，無須移動載台21便可使光源11的長邊方向相對於掃描方向傾斜，其結果，可獲得良好的配向特性。
根據本實施形態，不使載台21沿掃描方向移動，而是使偏振光照射部10沿掃描方向移動，因此可縮短偏振光照射裝置1的長邊方向的長度，從而可使偏振光照射裝置1小型化。
作為以往的偏振光照射裝置的一例，圖22表示使載台101沿掃描方向移動的偏振光照射裝置100。另外，在圖22中，為了進行比較，以二點鏈線來表示本發明的偏振光照射裝置1的大小。偏振光照射裝置100中，在偏振光照射部102的兩側需要可配置載台101的區域，而且，必須於其外側配置光學測定器103。因此，偏振光照射裝置100的x方向的長度需要偏振光照射部10的x方向的長度、光學測定器103的x方向的長度及載台101的x方向的長度（在載台101相對於掃描方向傾斜的情況下，為傾斜狀態下的x方向的長度）的二倍長度的合計或合計以上的長度。
然而，在不使載台21沿掃描方向移動，而是使偏振光照射部10沿掃描方向移動的情況下，不需要用於使載台21移動來進行掃描的區域，具體而言，不需要載台21的x方向的長度（在載台21相對於掃描方向傾斜的情況下，為傾斜狀態下的x方向的長度）。因此，可使偏振光照射裝置1小型化。具體而言，可將偏振光照射裝置1的長邊方向的長度設為小於或等於載台21的x方向的長度（或者相對於掃描方向傾斜的狀態下的載台21的x方向的長度）的二倍。
本發明的偏振光照射裝置1在對象物W的大小為大的情況下有效。尤其，在對象物W的沿著掃描方向的方向的長度大至大於或等於300 mm的情況下有效。這是因為，對象物W的沿著掃描方向的方向的長度越長，則越可使偏振光照射裝置1進一步小型化。
＜第2實施形態＞ 第1實施形態中，在圖1、圖2所示的待機位置，在載台21與光學測定器22之間設置偏振光照射部10，但只要偏振光照射部10、載台21與光學測定器22在待機位置處以水平方向的位置不重合的方式而設即可，這些構成要素的配置並不限於圖1、圖2所示的情況。
第2實施形態是在待機位置處，在載台21與偏振光照射部10之間設置光學測定器22的形態。以下，對第2實施形態的偏振光照射裝置2進行說明。另外，對於與第1實施形態的偏振光照射裝置1相同的部分，標註相同的符號並省略說明。
圖8是表示第2實施形態的偏振光照射裝置2的概略的平面圖。在圖8中，以虛線及實線來表示偏振光照射部10及支持台31的待機位置。在該待機位置處，偏振光照射部10被設於+x側的端部附近。換言之，在待機位置處，在載台21與偏振光照射部10之間設置光學測定器22。
偏振光照射裝置2主要具備偏振光照射部10、載台21、光學測定器22、光源移動部30A及機器人40。
光源移動部30A主要具有支持台31、支持台移動部32A及轉動部33。支持台移動部32A具有棒狀的軌道32c、支持台驅動部32b（未圖示）及平行移動機構部（未圖示）。另外，軌道32a與軌道32c的差異僅為x方向的長度。
對偏振光照射裝置2的作用進行說明。圖9是表示偏振光照射裝置2所進行的處理的流程的流程圖。在使偏振光照射裝置2動作之前，偏振光照射部10位於圖8所示的待機位置。
首先，機器人控制部56進行將對象物W載置於載台21上的投入處理（步驟S10）。接下來，載台轉動控制部55進行使載台21旋轉的旋轉處理（步驟S12）。
隨後，光源控制部54及支持台移動控制部51一邊使光源11點燈，一邊使支持台31朝-x方向移動，以進行往路的曝光處理及測定處理（步驟S15）。關於往路的曝光處理，步驟S14（參照圖6）與步驟S15的差異為定速區域的距離（總移動距離L-1及曝光距離L3-1），而關於其他方面，步驟S14與步驟S15相同。
在偏振光照射裝置2中，在定速區域設有光學測定器22。因此，偏振光照射裝置2中的總移動距離L-1及曝光距離L3-1至少比偏振光照射裝置1中的總移動距離L及曝光距離L3長出與光學測定器22相應的量。
在步驟S15中，在定速區域內的定速移動中，支持台31（偏振光照射部10）通過光學測定器22的上方，並直接連續通過載台21的上方。因此，在步驟S15中，可與往路的曝光處理大致同時地進行測定處理。光學測定部57基於光學測定器22的測定結果與移動速度計算部52所算出的速度，來算出從偏振光照射部10照射的偏振光的累計曝光量（mJ/cm2 ）及偏振光的照度（mW/cm2 ）。
在往路的曝光處理及測定處理（步驟S15）後，支持台移動控制部51使支持台31在-x側的端部附近（參照圖8中的二點鏈線）停止。
往路的曝光處理及測定處理（步驟S15）結束後，光源控制部54及支持台移動控制部51一邊使光源11點燈，一邊使支持台31朝+x方向移動，以進行返路的曝光處理（步驟S16）。在返路的曝光處理（步驟S16）後，支持台31返回至圖8所示的待機位置。
往返的曝光處理（步驟S14、步驟S16）結束後，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使載台21旋轉，以使對象物W從相對於掃描方向傾斜固定角度的狀態復原（步驟S17）。然後，機器人控制部56進行如下排出處理：控制機器人40來將對象物W從載台21予以排出（步驟S21）。
統一控制部59判定是否存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22）。若存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22中為是），則統一控制部59使處理返回至步驟S10，機器人控制部56對下個對象物W進行處理。
若不存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22中為否），則統一控制部59結束一連串的處理。
根據本實施形態，與第1實施形態同樣，可減小偏振光照射裝置2的長邊方向的大小。
而且，根據本實施形態，只要使支持台31（偏振光照射部10）進行一個往返（朝-x方向移動後，朝+x方向移動）即可，因此可使控制部50所進行的處理內容變得容易，而且，可縮短對一片對象物W進行處理所需的時間。
＜第3實施形態＞ 第1實施形態中，偏振光照射部10是可移動地設置，但亦可使偏振光照射部10以外的構件可移動地設置。
第3實施形態是使偏振光照射部10及光學測定器22可移動地設置的形態。以下，對第2實施形態的偏振光照射裝置3進行說明。另外，對於與第1實施形態的偏振光照射裝置1相同的部分，標註相同的符號並省略說明。
圖10是表示第3實施形態的偏振光照射裝置3的概略的平面圖。圖11是表示第3實施形態的偏振光照射裝置3的概略的正面圖。在圖10、圖11所示的待機位置處，光學測定器22被設於+x側的端部附近，且在其-x側鄰接地設置偏振光照射部10。換言之，在待機位置處，從上方（+z方向）觀察時，偏振光照射部10被設於載台21與光學測定器22之間。
偏振光照射裝置3主要具備偏振光照射部10、載台21、光學測定器22、光學測定器移動部23、光源移動部30B及機器人40。
光學測定器移動部23具有棒狀的軌道23a、光學測定器驅動部23b（圖10、圖11中未圖示，參照圖12，後文詳述）、以及藉由光學測定器驅動部23b的驅動力來使光學測定器22沿著軌道23a往返移動的平行移動機構部（未圖示）。
在光學測定器22的底面（-z側的面），設有未圖示的滑動部，藉由該滑動部沿著軌道23a滑動，從而光學測定器22沿著軌道23a移動。平行移動機構部可使用公知的各種技術。
光源移動部30B主要具有支持台31、支持台移動部32B及轉動部33。支持台移動部32B具有棒狀的軌道32d、支持台驅動部32b（圖10、圖11中未圖示，參照圖12）及平行移動機構部（未圖示）。另外，軌道32a與軌道32d的差異僅為x方向的長度。
圖12是表示偏振光照射裝置3的功能結構的概略的方塊圖。控制部50A主要具有支持台移動控制部51、移動速度計算部52、轉動控制部53、光源控制部54、載台轉動控制部55、機器人控制部56、光學測定部57、光學測定器移動控制部58及統一控制部59。
光學測定器移動控制部58對光學測定器驅動部23b進行控制，以使光學測定器22沿著掃描方向（+x方向或-x方向）移動。光學測定器驅動部23b例如為致動器。光學測定器移動控制部58可根據致動器的編碼器值等，來掌握光學測定器22的x方向的位置。
對如此般構成的偏振光照射裝置3的作用進行說明。圖13是表示偏振光照射裝置3所進行的處理的流程的流程圖。在使偏振光照射裝置3動作之前，偏振光照射部10位於圖10、圖11所示的待機位置。
首先，機器人控制部56進行如下投入處理：控制機器人40來將對象物W載置於載台21上（步驟S10）。接下來，載台轉動控制部55進行使載台21旋轉的旋轉處理（步驟S12）。接下來，光源控制部54及支持台移動控制部51進行往路的曝光處理（步驟S14）及返路的曝光處理（步驟S16）。
當曝光處理（步驟S14、步驟S16）結束時，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使載台21旋轉，以使對象物W從相對於掃描方向傾斜固定角度的狀態復原（步驟S19）。該處理與步驟S18（參照圖6）中的處理相同。與此同時，光學測定器移動控制部58使光學測定器22朝-x方向移動，以來到光源11的水平方向（x方向）的位置與光學測定器22的x方向的位置重合的測定位置（步驟S19）。
光源11移動至測定位置後，進行從偏振光照射部10照射的偏振光的測定處理（步驟S20）。與此同時，機器人控制部56進行如下排出處理：控制機器人40來將對象物W從載台21予以排出（步驟S20）。
統一控制部59判定是否存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22）。若存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22中為是），則光學測定器移動控制部58使光學測定器22朝+x方向移動，以使光學測定器22來到待機位置（步驟S25）。然後，機器人控制部56與步驟S10同樣地，進行如下投入處理：控制機器人40來將對象物W載置於載台21上（步驟S25）。隨後，統一控制部59使處理返回至步驟S12，對下個對象物W進行處理。
若不存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S22中為否），則使光學測定器22朝+x方向移動（步驟S27），統一控制部59結束一連串的處理。
另外，在步驟S19、步驟S20及步驟S25中，為了縮短處理時間，是同時進行多個處理，但多個處理亦可依序進行。
根據本實施形態，可進一步縮小偏振光照射裝置3的大小。具體而言，可使偏振光照射裝置3的大小較偏振光照射裝置1的大小而小支持台31的x方向的長度。
＜第4實施形態＞ 第1實施形態中，將使用光源11的偏振光照射部10沿掃描方向移動，但移動的偏振光照射部並不限於此。
第4實施形態是使用將光源的光導至載台21上的導光構件的形態。以下，對第4實施形態的偏振光照射裝置4進行說明。另外，對於與第1實施形態的偏振光照射裝置1相同的部分，標註相同的符號並省略說明。
圖14是表示第4實施形態的偏振光照射裝置4的概略的平面圖。圖15是表示偏振光照射裝置4的概略的正面圖。
偏振光照射部60主要具有光源61、導光構件62及光學構件63（圖14中未圖示）。圖14、圖15所示的待機位置處，在水平方向上，偏振光照射部60是設於載台21與光學測定器22之間。
光源61主要具有燈61a與光學濾光片（filter）61b。光源61例如被設於偏振光照射裝置1的裝置框的外側。但是，設置光源61的位置並不限於圖14、圖15所示的位置。
燈61a出射未偏振的光（例如紫外光）。燈61a例如是作為電極間距離短至1 mm～10 mm左右的高亮度的點光源的短弧型（short arc type）的燈。另外，燈61a並不限於短弧型的燈，可使用發光二極體（Light Emitting Diode，LED）等各種發光裝置。
光學濾光片61b僅使從燈61a照射的光中的規定波長的光通過。在光學濾光片61b的背面設有燈61a，在光學濾光片61b的前表面設有導光構件62的入射部62b（後文詳述）。
圖16是表示導光構件62的概略的立體圖。導光構件62是將從光源61照射的光導向遠離光源的場所者。本實施形態中，導光構件62是將多根光纖芯線62a捆束而形成為束狀的光纖束。光纖芯線62a將從入射部62b供給的光導光至出射部62c。
導光構件62是局部地捆束光纖芯線62a。該捆束的本體62d是藉由將多個光纖芯線62a捆束成束狀，並藉由熔接處理等使其成為一體而形成。
光纖芯線62a中的光纖芯線62a被捆束的一側的端面為入射部62b。在入射部62b中，多根光纖芯線62a的端面均勻地分佈並固定。
光纖芯線62a中的光纖芯線62a未被捆束的一側的端面為出射部62c。在出射部62c附近，可使光纖芯線62a擴開。本實施形態中，使光纖芯線62a擴開排列，以使出射部62c成為大致帶狀。以下，將排列成大致帶狀的出射部62c整體定義為向對象物W照射光的照射面62e。
圖17是示意性地表示照射面62e上的、出射部62c（光纖芯線62a的端面）的分佈狀態的一例。圖17中，局部地顯示了光纖芯線62a。
出射部62c是呈錯列狀（staggered）配置，以使從照射面62e照射的光的不均不明顯。即，以第一列（列I）中的出射部62c的中心位於與第一列鄰接的列（列II）中的出射部62c的中心之間的方式，來配置光纖芯線62a。但是，出射部62c的配置並不限於該形態。
返回至圖14、圖15的說明。照射面62e及光學構件63被設於載台21的上方（+z方向）。
光學構件63是具備與照射面62e大致相同的長度的長邊的長方形構件。光學構件63是以其長邊方向與照射面62e的長邊方向大致一致的方式，設於光源61的下側（-z側）。光學構件63例如是使從光源11出射的無偏振的光產生偏振的偏振元件，但並不限定於此。
支持台31支持照射面62e與光學構件63。在支持台31上，設有供本體62d貫穿的孔（未圖示）。在支持台31的下表面側，擴開地設有光纖芯線62a，形成照射面62e。當使支持台31沿著軌道32a移動時，導光構件62及光學構件63移動，而光源61不移動。
在偏振光照射裝置4中，光源控制部54對光源61的點燈及熄燈進行控制。除此以外，偏振光照射裝置4的處理內容與偏振光照射裝置1的處理內容相同，因此省略說明。
根據本實施形態，不使光源61移動，而僅使導光構件62及光學構件63移動，因此可縮小且減輕支持台31所支持的部分（換言之，支持台驅動部32b所移動的部分）。其結果，容易使照射偏振光的部分移動。其結果，可使用輸出小的支持台驅動部32b，而且，可進一步縮小偏振光照射裝置3。
例如，第1實施形態的偏振光照射裝置1中，由於會從光源11產生熱，因此在偏振光照射部10中多設有用於排熱的導管（duct）。因此，支持台驅動部32b在使偏振光照射部10移動時，必須使導管亦一起移動，作為支持台驅動部32b，必須使用輸出大的致動器等。
與此相對，本實施形態的偏振光照射裝置4中，移動的部分輕，因此作為支持台驅動部32b，可使用輸出小的小型致動器。而且，由於支持台31所支持的部分小且輕，因此可使偏振光照射裝置3相應地小型化。
另外，本實施形態中，使用光線束來作為導光構件62，但導光構件並不限定於此。亦可使用擴散板來作為對光源61的光進行導光的導光構件。
圖18是表示第4實施形態的變形例的偏振光照射裝置4A的概略的平面圖。圖19是表示偏振光照射裝置4A的概略的正面圖。
偏振光照射部60A主要具有光源61、導光構件64及光學構件63（圖11中未圖示）。圖18、圖19所示的待機位置處，在水平方向上，偏振光照射部60A被設於載台21與光學測定器22之間。
光源61是鄰接於導光構件64的側面（此處為y側（短邊方向）的側面）而設。光學構件63被設於導光構件64的下方。
導光構件64是由壓克力（acrylic）等透明材料所形成的板材，且形成為大致帶狀。在導光構件64的表面（+z側的面），設有金屬製的反射擴散板，以使導光構件64的背面（-z側的面）進行面發光。而且，在導光構件64的未鄰接地設有光源61的側面，設有金屬製的遮光板，以免光漏出。
支持台31支持偏振光照射部60A。偏振光照射部60A具有光源61，但由於光源61比光源11小且輕，因此與偏振光照射裝置1、偏振光照射裝置2相比，支持台31的移動容易。因此，與偏振光照射裝置1、偏振光照射裝置2相比，可使偏振光照射裝置4A小型化。
＜第5實施形態＞ 第1實施形態中，設有一個載台21，但載台21的數量並不限於此。
第5實施形態是設置有二個載台21的形態。以下，對第5實施形態的偏振光照射裝置5進行說明。另外，對於與第1實施形態的偏振光照射裝置1相同的部分，標註相同的符號並省略說明。
圖20是表示第2實施形態的偏振光照射裝置5的概略的平面圖。在圖20中，以虛線及實線來表示待機位置處的偏振光照射部10及支持台31的位置。在該待機位置處，偏振光照射部10設於x方向的大致中央。而且，在待機位置處，鄰接於偏振光照射部10而設有光學測定器22，且在它們兩側設置載台21。另外，在圖20中，在偏振光照射部10的右側（+x側）設有光學測定器22，但亦可在偏振光照射部10的左側（-x側）設有光學測定器22。
偏振光照射裝置5只要具備偏振光照射部10、載台21、光學測定器22、光源移動部30C及機器人40（圖20中未圖示）。
光源移動部30C主要具有支持台31、支持台移動部32C及轉動部33。支持台移動部32C具有棒狀的軌道32e、支持台驅動部32b（未圖示）及平行移動機構部（未圖示）。另外，軌道32a與軌道32e的差異僅為x方向的長度。
機器人40是與偏振光照射裝置5的+x側的端部及-x側的端部相向地設置。設於-x側的端部的機器人40的位置是與偏振光照射裝置1同樣。
對如此般構成的偏振光照射裝置5的作用進行說明。圖21是表示偏振光照射裝置5所進行的處理的流程的流程圖。在使偏振光照射裝置5動作之前，偏振光照射部10位於圖20所示的待機位置。
首先，機器人控制部56進行如下投入處理：控制機器人40來將對象物W載置於設在-x側的載台21（以下稱作第1載台21）上（步驟S30）。該處理與步驟10（參照圖6）同樣。
接下來，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使第1載台21旋轉，以使對象物W相對於掃描方向而傾斜固定角度（步驟S32）。該處理與步驟12（參照圖6）同樣。
接下來，光源控制部54及支持台移動控制部51對第1載台21進行往路的曝光處理（步驟S34）。該處理與步驟S14（參照圖6）相同。
往路的曝光處理（步驟S34）結束後，光源控制部54及支持台移動控制部51進行針對第1載台21的返路的曝光處理（步驟S36）。步驟S36中的返路的曝光處理與步驟S16（參照圖6）相同。與此同時，機器人控制部56進行如下投入處理：控制機器人40來將對象物W載置於設在+x側的載台21（以下稱作第2載台21）上（步驟S36）。
針對第1載台21的往返的曝光處理（步驟S34、步驟S36）結束後，光源控制部54使光源11點燈，支持台移動控制部51開始使支持台31朝+x方向移動（步驟S38）。與此同時，載台轉動控制部55進行使第1載台21旋轉以使對象物W從相對於掃描方向傾斜固定角度的狀態復原的旋轉處理、及使第2載台21旋轉以使對象物W相對於掃描方向傾斜固定角度的旋轉處理（步驟S38）。
光源11移動至光源11的水平方向（x方向）的位置與光學測定器22的x方向的位置重合的測定位置後，進行從偏振光照射部10照射的偏振光的測定處理（步驟S40）。然後，光源控制部54及支持台移動控制部51對第2載台21進行往路的曝光處理（步驟S42）。
統一控制部59在步驟S38中使支持台31開始移動後，不停止支持台31而連續地進行步驟S40、步驟S42。移動速度計算部52預先算出支持台移動控制部51使支持台31移動的速度、時間等。在步驟S40中，光學測定部57基於光學測定器22的測定結果與移動速度計算部52所算出的速度，算出從偏振光照射部10照射的偏振光的累計曝光量（mJ/cm2 ）及偏振光的照度（mW/cm2 ）。如此，在步驟S38～步驟S42中，連續而大致同時地進行曝光處理與測定處理。
在往路的曝光處理的同時，機器人控制部56進行如下排出處理：控制機器人40來將對象物W從第1載台21予以排出（步驟S42）。
統一控制部59判定是否存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S44）。若存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S44中為是），則光源控制部54及支持台移動控制部51進行針對第2載台21的返路的曝光處理與針對第1載台21的對象物W的投入處理（步驟S46）。步驟S46中的針對第2載台21來進行的返路的曝光處理是以與步驟S38～步驟S42中的速度相同的速度來使支持台31朝-x方向移動，以使偏振光照射部10返回至待機位置。步驟S46中的對象物W向第1載台21的投入處理是與步驟S30相同。
接下來，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使第2載台21旋轉，以使對象物W從相對於掃描方向傾斜固定角度的狀態復原（步驟S48）。該處理與步驟32同樣。與此同時，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使第1載台21旋轉，以使對象物W相對於掃描方向傾斜固定角度（步驟S48）。
然後，機器人控制部56進行如下排出處理：控制機器人40來將對象物W從第2載台21予以排出（步驟S50）。與此同時，光源控制部54及支持台移動控制部51對第1載台21進行往路的曝光處理（步驟S50）。該曝光處理與步驟S34相同。隨後，統一控制部59使處理返回至步驟S36，對下個對象物W進行處理。
若不存在接下來要進行處理的對象物W（步驟S44中為否），則光源控制部54及支持台移動控制部51進行針對第2載台21的返路的曝光處理（步驟S52）。該處理是與步驟S46中的處理相同。接下來，載台轉動控制部55進行如下旋轉處理：使第2載台21旋轉，以使對象物W從相對於掃描方向傾斜固定角度的狀態復原（步驟S54）。該處理與步驟S48同樣。隨後，機器人控制部56進行如下排出處理：控制機器人40來將對象物W從第2載台21予以排出（步驟S56）。該處理與步驟S50中的處理相同。然後，統一控制部59結束一連串的處理。
另外，在步驟S36、步驟S38、步驟S42、步驟S46、步驟S48及步驟S50中，為了縮短處理時間，是同時進行多個處理，但多個處理亦可依序進行。
根據本實施形態，可使用與以往的裝置同等大小的裝置，來效率更好地進行處理。
以上，參照圖式詳述了本發明的實施形態，但具體結構並不限於該實施形態，亦包括不脫離本發明主旨的範圍的設計變更等。
而且，在本發明中，所謂「大致」，其概念不僅包含嚴格相同的情況，亦包含不失同一性的程度的誤差或變形。例如，所謂大致中央，並不限於嚴格為中央的情況。而且，例如在僅表達為平行、正交等的情況下，不僅包含嚴格平行、正交等的情況，亦包含大致平行、大致正交等的情況。而且，在本發明中，所謂「附近」，例如在A的附近時，是指表示靠近A且既可包含A亦可不包含A的概念。
1、2、3、4、4A、5‧‧‧偏振光照射裝置
10、60、60A‧‧‧偏振光照射部
11、61‧‧‧光源
12、63‧‧‧光學構件
13‧‧‧反射鏡
14‧‧‧框體
21‧‧‧載台
22‧‧‧光學測定器
22a、22b‧‧‧感測器
23‧‧‧光學測定器移動部
23a、32a、32c、32d、32e‧‧‧軌道
23b‧‧‧光學測定器驅動部
30、30A、30B、30C‧‧‧光源移動部
31‧‧‧支持台
32、32A、32B、32C‧‧‧支持台移動部
32b‧‧‧支持台驅動部
33‧‧‧轉動部
33a‧‧‧轉動軸
33b‧‧‧轉動軸驅動部
40‧‧‧機器人
50、50A‧‧‧控制部
51‧‧‧支持台移動控制部
52‧‧‧移動速度計算部
53‧‧‧轉動控制部
54‧‧‧光源控制部
55‧‧‧載台轉動控制部
56‧‧‧機器人控制部
57‧‧‧光學測定部
58‧‧‧光學測定器移動控制部
59‧‧‧統一控制部
61a‧‧‧燈
61b‧‧‧光學濾光片
62、64‧‧‧導光構件
62a‧‧‧光纖芯線
62b‧‧‧入射部
62c‧‧‧出射部
62d‧‧‧本體
62e‧‧‧照射面
501‧‧‧CPU
502‧‧‧記憶體
503‧‧‧外部記憶裝置
504‧‧‧通信裝置
505‧‧‧輸入裝置
506‧‧‧輸出裝置
507‧‧‧介面
圖1是表示第1實施形態的偏振光照射裝置1的概略的平面圖。 圖2是表示偏振光照射裝置1的概略的正面圖。 圖3是表示偏振光照射部10的詳細的立體圖。 圖4是表示偏振光照射裝置1的功能結構的概略的方塊圖。 圖5是表示控制部50的概略結構的一例的方塊圖。 圖6是表示偏振光照射裝置1所進行的處理的流程的流程圖。 圖7是對移動速度計算部52輸入的資訊及移動速度計算部52所算出的資訊的一例。 圖8是表示第2實施形態的偏振光照射裝置2的概略的平面圖。 圖9是表示偏振光照射裝置2所進行的處理的流程的流程圖。 圖10是表示第3實施形態的偏振光照射裝置3的概略的平面圖。 圖11是表示第3實施形態的偏振光照射裝置3的概略的正面圖。 圖12是表示控制部50A的概略結構的一例的方塊圖。 圖13是表示偏振光照射裝置3所進行的處理的流程的流程圖。 圖14是表示偏振光照射裝置4的概略的平面圖。 圖15是表示偏振光照射裝置4的概略的正面圖。 圖16是表示導光構件62的概略的立體圖。 圖17是示意性地表示照射面62e上的、出射部62c（光纖芯線62a的端面）的分佈狀態的一例。 圖18是表示第4實施形態的變形例的偏振光照射裝置4A的概略的平面圖。 圖19是表示偏振光照射裝置4A的概略的正面圖。 圖20是表示第5實施形態的偏振光照射裝置5的概略的平面圖。 圖21是表示偏振光照射裝置5所進行的處理的流程的流程圖。 圖22是表示以往的偏振光照射裝置100的概略的圖。
1‧‧‧偏振光照射裝置
10‧‧‧偏振光照射部
21‧‧‧載台
22‧‧‧光學測定器
22a、22b‧‧‧感測器
30‧‧‧光源移動部
31‧‧‧支持台
32‧‧‧支持台移動部
32a‧‧‧軌道
33‧‧‧轉動部
40‧‧‧機器人
L‧‧‧總移動距離
L1‧‧‧加速距離
L2‧‧‧減速距離
L3‧‧‧曝光距離
W‧‧‧對象物

Claims (20)

  1. 一種偏振光照射裝置，其特徵在於包括： 載台，載置對象物； 偏振光照射部，照射沿著與所述對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光； 光學測定器，對從所述偏振光照射部照射的光的特性進行測定；以及 光源移動部，使所述偏振光照射部沿著所述對象物的掃描方向移動， 當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述載台、所述偏振光照射部與所述光學測定器是以水平方向的位置不重合的方式而設置。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的偏振光照射裝置，包括： 輸入部，輸入資訊； 移動速度計算部，基於藉由所述輸入部所輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度；以及 光源移動控制部，對所述光源移動部進行控制，以使所述偏振光照射部以由所述移動速度計算部所算出的移動速度而通過所述載台的上方，而且，朝向所述偏振光照射部的水平方向的位置與所述光學測定器的水平方向的位置一致的測定位置移動。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的偏振光照射裝置，其中 當所述偏振光照射部位於待機位置時，在水平方向上，所述光學測定器夾著所述偏振光照射部而設於所述載台的相反側。
  4. 如申請專利範圍第2項所述的偏振光照射裝置，包括： 光源控制部，對所述偏振光照射部的點燈及熄燈進行控制；以及 光學測定部，基於由所述光學測定器所測定的結果及由所述輸入部所輸入的資訊，來測定曝光量及照度， 當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述光學測定器的水平方向的位置位於所述載台的水平方向的位置與所述偏振光照射部的水平方向的位置之間， 所述光源移動控制部使所述偏振光照射部連續通過所述光學測定器的上方及所述載台的上方， 所述光源控制部在所述光源移動控制部使所述偏振光照射部移動的期間內，使所述光源點燈。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的偏振光照射裝置，包括： 輸入部，輸入資訊； 光學測定器移動部，使所述光學測定器沿著所述對象物的掃描方向移動； 移動速度計算部，基於藉由所述輸入部所輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度； 光源移動控制部，對所述光源移動部進行控制，以使所述偏振光照射部以由所述移動速度計算部所算出的移動速度而通過所述載台的上方；以及 光學測定部移動控制部，對所述光學測定器移動部進行控制，以使所述光學測定器朝向所述偏振光照射部的水平方向的位置與所述光學測定器的水平方向的位置一致的測定位置移動。
  6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的偏振光照射裝置，其中 當所述偏振光照射部位於待機位置時，在水平方向上，所述光學測定器與所述偏振光照射部鄰接地設置，且在所述光學測定器及所述偏振光照射部的兩側設有二個所述載台。
  7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的偏振光照射裝置，其中 所述光源移動部具有使所述偏振光照射部轉動的轉動部。
  8. 如申請專利範圍第3項所述的偏振光照射裝置，其中 所述光源移動部具有使所述偏振光照射部轉動的轉動部。
  9. 如申請專利範圍第4項或第5項所述的偏振光照射裝置，其中 所述光源移動部具有使所述偏振光照射部轉動的轉動部。
  10. 如申請專利範圍第6項所述的偏振光照射裝置，其中 所述光源移動部具有使所述偏振光照射部轉動的轉動部。
  11. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  12. 如申請專利範圍第3項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  13. 如申請專利範圍第4項或第5項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  14. 如申請專利範圍第6項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  15. 如申請專利範圍第7項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  16. 如申請專利範圍第8項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  17. 如申請專利範圍第9項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  18. 如申請專利範圍第10項所述的偏振光照射裝置，其中 所述偏振光照射部包括：光源；以及導光構件，所述導光構件是對從所述光源照射的光進行導光的導光構件，且具有光入射部及光出射部，所述光入射部被供給所述光源的光，所述光出射部是呈大致帶狀地設於所述載台的上方，且將光照射向所述載台。
  19. 一種偏振光照射方法，使用偏振光照射裝置，所述偏振光照射裝置包括：載台，載置對象物；偏振光照射部，照射沿著與所述對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光；光學測定器，對從所述偏振光照射部照射的光的特性進行測定；以及輸入部，輸入資訊，且當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述載台、所述偏振光照射部與所述光學測定器是以水平方向的位置不重合的方式而設，所述偏振光照射方法的特徵在於包括： 將所述對象物載置於所述載台上的步驟； 基於從所述輸入部輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度的步驟； 在從所述偏振光照射部照射光的狀態下，使所述偏振光照射部從所述待機位置沿著所述對象物的掃描方向而以所述算出的移動速度移動，以通過所述載台的上方的步驟；以及 使所述偏振光照射部或所述光學測定器沿著掃描方向朝向所述偏振光照射部的水平方向的位置與所述光學測定器的水平方向的位置一致的測定位置移動，並從所述偏振光照射部照射光的步驟。
  20. 一種偏振光照射方法，使用偏振光照射裝置，所述偏振光照射裝置包括：載台，載置對象物；偏振光照射部，照射沿著與所述對象物的掃描方向大致正交的方向的大致帶狀的偏振光；光學測定器，對從所述偏振光照射部照射的光的特性進行測定；以及輸入部，輸入資訊，且當所述偏振光照射部位於待機位置時，所述載台、所述偏振光照射部與所述光學測定器是以水平方向的位置不重合的方式而設，所述偏振光照射方法的特徵在於包括： 將所述對象物載置於所述載台上的步驟； 基於從所述輸入部輸入的資訊，來算出所述偏振光照射部的移動速度的步驟；以及 在從所述偏振光照射部照射光的狀態下，使所述偏振光照射部從所述待機位置沿著所述對象物的掃描方向而以所述算出的移動速度移動，以連續通過所述光學測定器及所述載台的上方的步驟。
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