KR100867197B1 - 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치 - Google Patents

다층막 코팅 유리의 두께 측정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100867197B1
KR100867197B1 KR1020020000766A KR20020000766A KR100867197B1 KR 100867197 B1 KR100867197 B1 KR 100867197B1 KR 1020020000766 A KR1020020000766 A KR 1020020000766A KR 20020000766 A KR20020000766 A KR 20020000766A KR 100867197 B1 KR100867197 B1 KR 100867197B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
optical system
hologram optical
thickness
linear motion
Prior art date
Application number
KR1020020000766A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030060214A (ko
Inventor
정송호
하종은
김택천
백주열
최재석
최장수
Original Assignee
삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성코닝정밀유리 주식회사 filed Critical 삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority to KR1020020000766A priority Critical patent/KR100867197B1/ko
Publication of KR20030060214A publication Critical patent/KR20030060214A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100867197B1 publication Critical patent/KR100867197B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/32—Holograms used as optical elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 다층의 박막이 코팅되어 있는 평판형 유리의 두께를 광학적으로 측정하기 위한 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치를 개시한다. 본 발명은 유리를 고정시키는 고정수단과, 유리가 초점에 위치할 때 포커스에러신호를 출력하는 홀로그램광학계와, 유리에 대하여 홀로그램광학계를 직교좌표운동시키는 직교좌표운동수단과, 홀로그램광학계로부터의 포커스에러신호를 프로그램에 의하여 처리하여 유리의 두께를 산출하는 컴퓨터로 구성된다. 고정수단은 유리의 좌우측 하단이 전방으로 미끄러지도록 지지하는 경사면을 갖는 한쌍의 받침대와, 받침대의 전면에 유리의 좌우측 가장자리를 지지할 수 있도록 수직하게 장착되어 있는 한쌍의 지지대로 구성된다. 본 발명에 의하면, 직교좌표운동장치에 의하여 홀로그램광학계를 유리에 대하여 직교좌표운동시키면서 홀로그램광학계로부터의 포커스에러신호를 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리하여 유리의 두께를 정확하고 효율적으로 측정할 수 있으며, 비접촉식 홀로그램광학계에 의하여 여러 개소의 두께를 신속하게 측정할 수 있다. 또한, 다층막 코팅 유리의 양품과 불량품을 자동으로 선별할 수 있으며, 유리의 비파괴에 의하여 전수검사를 실시할 수 있다고 하는 효과가 있다.

Description

다층막 코팅 유리의 두께 측정장치{APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF MULTI-LAYER FILM COATED GLASS}
도 1은 본 발명에 따른 측정장치의 구성을 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 측정장치의 구성을 나타낸 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 측정장치에서 홀로그램광학계의 구성을 나타낸 사시도,
도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 홀로그램광학계의 작동을 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 도면,
도 5는 본 발명에 따른 홀로그램광학계에 의하여 측정되는 포커스에러신호의 그래프이다.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
1: 유리 10: 베이스
20: 고정장치 22: 받침대
24: 지지대 30: 홀로그램광학계
32: 홀로그램소자 34: 레이저다이오드
36: 회절격자 38: 콜리메이터렌즈
40: 대물렌즈 42: 포토다이오드
50: 직교좌표운동장치 52: 제1 리니어모션액츄에이터
54: 제2 리니어모션액츄에이터 56: 제3 리니어모션액츄에이터
60: 컴퓨터 62: 모니터
본 발명은 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다층의 박막(Thin Film)이 코팅되어 있는 평판형 유리의 두께를 광학적으로 측정하기 위한 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치에 관한 것이다.
주지하고 있는 바와 같이, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 디스플레이장치의 제조 분야에서는 평판형 유리의 표면에 예를 들어 절연막으로 실리카(SiO2)막과 도전막으로 ITO(Indium tin oxide)막을 코팅하고 있다.
이와 같은 다층막 코팅 유리는 입사된 광이 백라이트(Back-light)의 전면에서 균일한 광강도분포를 보유할 수 있도록 평편도와 두께가 설계된 형상으로 유지되어야 한다. 유리의 성형과정에서 발생되는 휨, 균열 등의 변형과 유리 및 박막의 두께의 오차는 백라이트의 성능 향상에 중요한 요소로 유리에 입사한 광이 멀리까지 도달하지 못하게 하여 광강도분포의 균일도를 저하시키고, 또한 높은 휘도를 기대할 수 없게 한다. 따라서, 고품질의 다층막 코팅 유리를 제조하기 위하여 유리의 두께를 측정한 후, 불량요인을 찾고 그 원인을 규명하여 시정하고 있다.
종래 다층막 코팅 유리의 두께 측정은 샘플링검사(Sampling inspection)에 의하여 실시하고 있다. 유리의 두께를 샘플링검사에 의하여 측정하기 위해서는 유리의 여러 개소, 예를 들어 중앙부분, 4개의 모서리부분과 4개의 가장자리중앙부분을 절단한 시료를 채취하여 수행하여야 하므로, 시료의 채취와 두께의 측정에 과다한 인원과 시간이 소요되는 문제가 있다. 특히, 시료의 채취작업과 취급에는 세심한 주의가 요구되어 숙련된 작업이 필요할 뿐만 아니라, 시료의 채취작업은 측정실과 별도의 채취실에서 수행하고 있어 비능률적인 문제가 있다.
한편, 유리의 측정결과를 판정기준과 비교하여 합격여부를 결정하기 위해서는 개별적으로 측정된 유리의 각 부분에 대한 측정결과를 취합하여 데이터화 한 후, 이것을 판정기준과 비교하여야 하기 때문에 합격여부의 결정에 과다한 시간이 소요되었다. 유리의 측정결과가 불합격으로 판정될 경우에는 그 원인을 파악하여 제조공정에 수정조치를 취하여야 하는 것이나, 측정결과를 제조공정에 신속하게 전달할 수 없어 수정조치를 지연시키는 원인이 되었으며, 나아가 유리의 제조에 막대한 지장을 초래시키는 문제가 있었다. 또한, 유리의 샘플링검사는 전체 수량에 대한 신뢰성을 완전히 보장할 수 없으므로, 유리의 전수검사(Total inspection)가 요구되고 있으나, 유리의 전수검사를 실시할 수 있는 측정장치가 개발되지 못하고 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점을 해결하기 위하 여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 다층막 코팅 유리의 두께를 정확하고 효율적으로 측정할 수 있는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 비접촉식 홀로그램광학계에 의하여 유리의 시료를 채취하지 않고서도 여러 개소의 두께를 신속하게 측정할 수 있는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 다층막 코팅 유리의 양품과 불량품을 자동으로 선별할 수 있으며, 유리의 전수검사를 간편하게 실시할 수 있는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 유리의 좌우측 하단이 전방으로 미끄러지도록 지지하는 경사면을 갖는 한쌍의 받침대와, 받침대의 전면에 유리의 좌우측 가장자리를 지지할 수 있도록 수직하게 장착되어 있는 한쌍의 지지대로 구성되는 고정수단과; 유리가 초점에 위치할 때 포커싱에러신호를 출력하는 홀로그램광학계와; 유리에 대하여 홀로그램광학계를 직교좌표운동시키는 직교좌표운동수단과; 홀로그램광학계로부터의 포커스에러신호를 프로그램에 의하여 처리하여 유리의 두께를 산출하는 컴퓨터로 이루어지는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치에 있다.
이하, 본 발명에 따른 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.
먼저, 도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 측정장치는 베이스(Base: 10)의 일측에 구성되어 실리카막, ITO막 등의 박막이 코팅되어 있는 평판형 유리(1)를 고정하는 고정장치(Fixture: 20)를 구비한다. 고정장치(20)는 유리(1)의 좌우측 하단을 지지할 수 있도록 베이스(10)의 상면에 장착되어 있는 한쌍의 받침대(22)와, 받 침대(22)의 전면에 유리(1)의 좌우측 가장자리를 지지할 수 있도록 수직하게 장착되어 있는 한쌍의 지지대(24)로 구성된다. 받침대(22)의 상면에는 유리(1)가 자중에 의하여 미끄러지면서 지지대(24)에 밀착될 수 있도록 상측에서 하측을 향하여 소정의 각도로 경사지는 경사면(22a)이 형성되어 있다. 그리고 베이스(10)는 유리 (1)가 지지대(24)에 밀착될 수 있도록 한쪽으로 경사져 있으며, 베이스(10)의 하면 양측에는 베이스(10)의 높이를 조절할 수 있는 높이조정용 다리(12)가 장착되어 있다.
도 2와 도 3을 참조하면, 본 발명의 측정장치는 고정장치(20)에 고정되어 있는 유리(1)의 두께를 측정하는 홀로그램광학계(Hologram optical system: 30)를 구비하며, 홀로그램광학계(30)는 홀로그램소자(Hologram optical element: 32)로 구성되어 있다. 홀로그램소자(32)는 광원으로 레이저다이오드(Laser diode: 34), 회절격자(Diffraction Grating: 36), 콜리메이터렌즈(Collimate lens: 38), 대물렌즈 (40)와 포토다이오드(Photo diode: 42)로 구성되어 있다. 그리고 회절격자(36)는 트랙킹빔생성용 회절격자(36a)와 광로굴절용 회절격자(36b)로 구성되어 있고, 레이저다이오드(34), 회절격자(36), 콜리메이터렌즈(38), 대물렌즈(40)와 포토다이오드 (42)는 경통(44)에 수용되어 있다.
홀로그램소자(32)의 레이저다이오드(34)로부터 출사되는 레이저빔은 트랙킹빔생성용 회절격자(36a)에 의하여 트랙킹오차신호를 위한 2개의 부빔과 정보신호를 읽기 위한 주빔의 3개의 빔으로 나뉘어진다. 트래킹빔생성용 회절격자(36a)로부터 출사되는 3개의 빔은 광로굴절용 회절격자(36b)를 0차광으로 투과하고, 콜리메이터 렌즈(38)를 거쳐 대물렌즈(40)에 의하여 유리(1)에 집광된다. 유리(1)의 표면에서 반사되어 다시 대물렌즈(40)와 콜리메이터렌즈(38)를 투과한 광은 광로굴절용 회절격자(36b)에 의한 1차 회절광으로 포토다이오드(42)에 집속된다.
도 1과 도 2를 다시 참조하면, 본 발명의 측정장치는 유리기판(1)에 대하여 홀로그램광학계(30)를 직교좌표운동시키는 직교좌표운동장치(50)를 구비한다. 직교좌표운동장치(50)는 프레임(10)의 바닥에 X축방향으로 배치되어 있는 제1 리니어모션액츄에이터(Linear motion actuator: 52)와, 제1 리니어모션액츄에이터(52)를 따라 직선운동할 수 있도록 Y축방향으로 배치되어 있는 제2 리니어모션액츄에이터 (54)와, 제2 리니어모션액츄에이터(54)를 따라 직선운동할 수 있도록 Z축방향으로 배치되어 있고 홀로그램광학계(30)가 고정되어 있는 제2 리니어모션액츄에이터(56)로 구성된다.
제1 리니어모션액츄에이터(52)는 X축방향의 가이드레일(Guide rail: 52a)과, 이 가이드레일(52a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 슬라이드 (Slide: 52b)와, 슬라이드(52b)에 내장되어 가이드레일(52a)을 따라 슬라이드(52b)를 슬라이딩운동시키는 리니어모터(Linear motor: 52c)로 구성되어 있다. 제2 리니어모션액츄에이터(54)는 제1 리니어모션액츄에이터(52)의 슬라이드(52b)에 일단이 Y축방향으로 고정되어 있는 가이드레일(54a)과, 이 가이드레일(54a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 슬라이드(54b)와, 슬라이드(54b)에 내장되어 가이드레일(54a)을 따라 슬라이드(54b)를 슬라이딩운동시키는 리니어모터(54c)로 구성되어 있다. 제3 리니어모션액츄에이터(56)는 제2 리니어모션액츄에이터(54)의 슬 라이드(54b)에 일단이 Y축방향으로 고정되어 있는 가이드레일(56a)과, 이 가이드레일(56a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있고 홀로그램광학계(30)가 고정되어 있는 슬라이드(56b)와, 슬라이드(56b)에 내장되어 가이드레일(56a)을 따라 슬라이드(56b)를 슬라이딩운동시키는 리니어모터(56c)로 구성되어 있다.
본 실시예에 있어서 직교좌표운동장치(50)의 제1, 제2 및 제3 리니어모션액츄에이터(52, 54, 56)는 서보모터(Servo motor)의 구동에 의하여 회전하는 볼스크루(Ball screw)와, 이 볼스크루를 따라 나사운동하는 너트와, 너트와 결합되어 있는 슬라이드의 운동을 안내하는 리니어모션가이드로 구성할 수도 있다. 그리고 제1, 제2 및 제3 리니어모션액츄에이터(52, 54, 56)는 슬라이드(52b, 54b, 56b)의 직선운동을 볼스크루와 너트 대신에 랙(Rack)과 피니언(Pinion)에 의하여 구성할 수도 있다.
도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 홀로그램광학계(30)의 포토다이오드(42)로부터 출력되는 포커스에러신호(Focus error signal)는 컴퓨터(60)에 실시간으로 입력된다. 컴퓨터(60)는 마이크로프로세서와, 모니터(62), 프린터 등의 출력장치와, 키보드 등의 입력장치를 갖추고 있다. 컴퓨터(70)는 프로그램에 의하여 홀로그램광학계(30)의 포토다이오드(42)로부터 입력되는 포커스에러신호를 샘플링하여 유리 (1)와의 거리를 산출하고 유리(1)의 두께를 산출한다. 또한, 컴퓨터(70)는 측정장치의 제어를 위하여 홀로그램광학계(30)와 제1, 제2 및 제3 리니어모션액츄에이터 (52, 54, 56)의 리니어모터(52c, 54c, 56c)와 인터페이스되어 있다.
지금부터는 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치에 대한 작용을 설명한다.
도 1과 도 2를 참조하면, 검사자는 유리(1)의 좌우측 하단이 받침대(22)의 경사면(22a)에 지지되고 좌우측 가장자리가 지지대(24)에 지지되도록 고정시킨다. 이때, 유리(1)의 좌우측 하단이 받침대(22)의 경사면(22a)을 따라 자중에 의하여 미끄러지면서 좌우측 가장자리가 지지대(24)에 안정적으로 밀착되어 고정된다. 경사져 있는 베이스(10)는 받침대(22)의 경사면(22a)에 의한 유리(1)의 미끄러짐과 유리(1)와 지지대(24)의 밀착을 보조한다.
다음으로, 직교좌표운동장치(50)의 작동에 의하여 홀로그램광학계(30)를 직교좌표운동시키면서 유리(1)의 두께를 측정한다. 유리(1)의 두께는 여러 개소, 예를 들어 중앙부분, 4개의 모서리부분과 4개의 가장자리중앙부분을 측정위치로 하여 측정할 수 있다. 홀로그램광학계(30)는 초기위치에 대하여 오프셋(Offset)을 가지고 있으며, 홀로그램광학계(30)의 초기위치를 설정하기 위해서는 평판도가 높은 시편을 사용하여 홀로그램광학계(30)의 초기위치로부터 오프셋을 측정하여 보정한다.
직교좌표운동장치(50)의 제1 및 제2 리니어모션액츄에이터(52, 54)가 작동되어 홀로그램광학계(30)를 직교좌표운동시킨다. 제1 리니어모션액츄에이터(52)의 리니어모터(52c)가 구동되면, 슬라이드(52b)가 가이드레일(52a)을 따라 X축방향으로 슬라이딩운동되면서 제2 리니어모션액츄에이터(54)를 이동시킨다. 제2 리니어모션액츄에이터(54)의 리니어모터(54c)가 구동되면, 슬라이드(54b)가 가이드레일(54a)을 따라 Y축방향으로 슬라이딩운동되면서 제3 리니어모션액츄에이터(56)를 이동시킨다. 따라서, 유리(1)의 측정위치에 홀로그램광학계(30)를 정확하게 정렬시킬 수 있다.
도 2와 도 4a 내지 도 4c에 도시되어 있는 바와 같이, 직교좌표운동장치(50)의 제1 및 제2 리니어모션액츄에이터(52, 54)에 의하여 유리(1)의 측정위치에 홀로그램광학계(30)가 정렬된 후, 제3 리니어모션액츄에이터(56)의 작동에 의하여 홀로그램광학계(30)의 초점거리(f0)를 유리(1)에 대하여 이송시킨다. 제3 리니어모션액츄에이터(56)의 리니어모터(56c)가 작동되면, 슬라이드(56b)가 가이드레일(56a)을 따라 유리(1)에 대하여 Z축방향으로 슬라이딩운동되면서 홀로그램광학계(30)를 접근시킨다.
도 3을 참조하면, 홀로그램광학계(30)의 레이저다이오드(34)가 온되어 출사되는 레이저빔은 트랙킹빔생성용 회절격자(36a)에 의하여 3개의 빔으로 나뉘어지며, 트래킹빔생성용 회절격자(36a)로부터 출사되는 3개의 빔은 광로굴절용 회절격자(36b)를 0차광으로 투과되고, 콜리메이터렌즈(38)를 거쳐 대물렌즈(40)에 의하여 유리(1)에 집광된다. 유리(1)의 표면에서 반사되어 다시 대물렌즈(40)와 콜리메이터렌즈(38)를 투과한 광은 광로굴절용 회절격자(36b)에 의한 1차 회절광으로 포토다이오드(42)에 집속된다. 포토다이오드(42)는 유리(1)가 홀로그램광학계(30)의 초점에 있을 때 포커스에러신호를 출력하며, 이에 따라 도 5에 보이는 바와 같은 포커스에러신호의 그래프를 얻을 수 있다.
도 5의 포커스에러신호 그래프에서 제1 구간(d1)은 도 4b에 도시되어 있는 바와 같이 홀로그램광학계(30)의 초점이 유리(1)의 전면(A)을 통과할 때이고, 제2 구간(d2)은 도 4c에 도시되어 있는 바와 같이 홀로그램광학계(30)의 초점이 유리(1)의 후면(B)을 통과할 때이다. 즉, 제1 및 제2 구간(d1, d2)은 홀로그램광학계(30)의 초점이 유리(1)의 표면에 가깝게 접근하여 초점이 정확하게 맺혔다가 멀어지고 있는 구간이다. 이때, 홀로그램광학계(30)의 초점이 유리(1)의 전면(A)에 정확하게 맺히는 위치는 제1 초점(a), 유리(1)의 후면(B)에 맺히는 위치는 제2 초점(b)이라 한다. 홀로그램광학계(30)의 초기위치로부터 제1 초점(a)까지의 이송거리를 제1 초점거리(f1)라 하며, 제2 초점(b)까지의 이송거리를 제2 초점거리(f2)라 하고, 제1 초점(a)으로부터 제2 초점(b)까지의 거리를 유리(1)의 두께(t)라 한다.
이와 같이 직교좌표운동기구(50)의 제3 리니어모션액츄에이터(56)에 의하여 홀로그램광학계(30)를 유리(1)에 대하여 이송시키면서 포커스에러신호를 출력하고, 이 포커스에러신호는 컴퓨터(70)에 실시간으로 입력된다. 컴퓨터(70)는 홀로그램광학계(30)로부터 입력되는 포커스에러신호를 프로그램에 의하여 처리하여 유리(1)의 두께를 산출하고, 1개소 측정위치의 두께가 측정되면 제어신호의 출력에 의하여 직교좌표운동기구(50)의 제1 및 제2 리니어모션액츄에이터(52, 54)를 작동시켜 다음 측정위치로 홀로그램광학계(30)를 직교좌표운동시킨다. 따라서, 시료를 채취하지 않고서도 유리(1)의 여러 개소에 대한 두께를 신속하고 정확하게 측정할 수 있으며, 유리(1)의 비파괴로 인하여 전수검사가 가능하다. 또한, 컴퓨터(60)는 유리(1)의 측정결과에 따라 유리(1)의 양품과 불량품을 선별하여 모니터(62)에 디스플레이한다. 검사자는 컴퓨터(60)에 의하여 출력되는 데이터에 의하여 유리(1)의 불량원 인을 찾고 그 원인을 규명하여 성형공정 또는 코팅공정에서의 불량을 신속하게 시정할 수 있다.
이상의 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치에 의하면, 직교좌표운동장치에 의하여 홀로그램광학계를 유리에 대하여 직교좌표운동시키면서 홀로그램광학계로부터의 포커스에러신호를 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리하여 유리의 두께를 정확하고 효율적으로 측정할 수 있으며, 비접촉식 홀로그램광학계에 의하여 여러 개소의 두께를 신속하게 측정할 수 있다. 또한, 다층막 코팅 유리의 양품과 불량품을 자동으로 선별할 수 있으며, 유리의 비파괴에 의하여 전수검사를 실시할 수 있다고 하는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 유리의 좌우측 하단이 전방으로 미끄러지도록 지지하는 경사면을 갖는 한쌍의 받침대와, 상기 받침대의 전면에 상기 유리의 좌우측 가장자리를 지지할 수 있도록 수직하게 장착되어 있는 한쌍의 지지대로 구성되는 고정수단과;
    상기 유리가 초점에 위치할 때 포커스에러신호를 출력하는 홀로그램광학계와;
    상기 유리에 대하여 상기 홀로그램광학계를 직교좌표운동시키는 직교좌표운동수단과;
    상기 홀로그램광학계로부터의 포커스에러신호를 프로그램에 의하여 처리하여 상기 유리의 두께를 산출하는 컴퓨터로 이루어지는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 고정수단의 받침대와 상기 직교좌표운동수단은 상기 유리가 상기 지지대를 향하여 미끄러질 수 있도록 경사져 있는 베이스에 설치되어 있는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 직교좌표운동수단은,
    상기 유리에 대하여 X축방향으로 배치되어 있는 제1 리니어모션액츄에이터와;
    상기 제1 리니어모션액츄에이터를 따라 직선운동할 수 있도록 Y축방향으로 배치되어 있는 제2 리니어모션액츄에이터와;
    상기 제2 리니어모션액츄에이터를 따라 직선운동할 수 있도록 Z축방향으로 배치되어 상기 유리에 대하여 상기 홀로그램광학계를 이송시키며, 상기 홀로그램광학계가 고정되어 있는 제3 리니어모션액츄에이터로 구성되는 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치.
KR1020020000766A 2002-01-07 2002-01-07 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치 KR100867197B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020000766A KR100867197B1 (ko) 2002-01-07 2002-01-07 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020000766A KR100867197B1 (ko) 2002-01-07 2002-01-07 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030060214A KR20030060214A (ko) 2003-07-16
KR100867197B1 true KR100867197B1 (ko) 2008-11-06

Family

ID=32217165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020000766A KR100867197B1 (ko) 2002-01-07 2002-01-07 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100867197B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9109879B2 (en) 2012-02-29 2015-08-18 Corning Incorporated Systems for and methods of characterizing the thickness profile of laminated glass structures
US10295330B2 (en) 2014-06-04 2019-05-21 Corning Incorporated Method and system for measuring thickness of glass article

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101347204B1 (ko) * 2013-07-02 2014-01-06 (주)조인에스티 셀 바코드 리딩장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965702A (ja) * 1982-10-07 1984-04-14 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 多次元測定機
JPS59190607A (ja) * 1983-04-13 1984-10-29 Hitachi Ltd 物体形状の非接触測定装置
KR20000066550A (ko) * 1999-04-19 2000-11-15 노주석 각도 조절장치
KR100332838B1 (ko) * 1999-12-23 2002-04-17 신현준 광센서와 엔코더를 이용한 두께 측정장치
KR100739660B1 (ko) * 1999-11-13 2007-07-13 삼성전자주식회사 광픽업장치 및 기록매체의 두께 검출방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965702A (ja) * 1982-10-07 1984-04-14 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 多次元測定機
JPS59190607A (ja) * 1983-04-13 1984-10-29 Hitachi Ltd 物体形状の非接触測定装置
KR20000066550A (ko) * 1999-04-19 2000-11-15 노주석 각도 조절장치
KR100739660B1 (ko) * 1999-11-13 2007-07-13 삼성전자주식회사 광픽업장치 및 기록매체의 두께 검출방법
KR100332838B1 (ko) * 1999-12-23 2002-04-17 신현준 광센서와 엔코더를 이용한 두께 측정장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9109879B2 (en) 2012-02-29 2015-08-18 Corning Incorporated Systems for and methods of characterizing the thickness profile of laminated glass structures
US9239231B2 (en) 2012-02-29 2016-01-19 Corning Incorporated Systems for and methods of characterizing the thickness profile of laminated glass structures
US10295330B2 (en) 2014-06-04 2019-05-21 Corning Incorporated Method and system for measuring thickness of glass article

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030060214A (ko) 2003-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112997058B (zh) 用于波导计量的方法与设备
CN101813460B (zh) 镜面反射表面的形状测量
US7430050B2 (en) Stage apparatus and vision measuring apparatus
TWI445919B (zh) 玻璃基板之厚度測定和二維碼檢測系統及其方法
US5184021A (en) Method and apparatus for measuring the dimensions of patterned features on a lithographic photomask
US8416426B2 (en) Calibrating jig, profile measuring device, and method of offset calculation
JP2007517408A5 (ko)
JP2005515447A (ja) 光コネクタ用フェルール検査機及びその方法
CN211669102U (zh) 基板检查装置
US6762846B1 (en) Substrate surface profile and stress measurement
KR100867197B1 (ko) 다층막 코팅 유리의 두께 측정장치
JP4693581B2 (ja) 基板検査装置及び基板検査方法
US8027037B2 (en) Method for evaluating microstructures on a workpiece based on the orientation of a grating on the workpiece
KR100406108B1 (ko) 고공간해상도엘립소메트리장치
US8073650B2 (en) Dimension measuring apparatus
TW201913032A (zh) 光學測試方法及光學測試系統
US10801890B1 (en) Measurement system and a method of diffracting light
KR20220035963A (ko) 광대역 방사선을 시준하기 위한 어셈블리
KR102011417B1 (ko) 3중 배율형 머신 비전 검사모듈
KR20110035845A (ko) 인라인 기판 검사 장치의 광학 시스템 교정 방법 및 인라인 기판 검사 장치
JP2002005631A (ja) 板体特性測定方法、及び板体特性測定装置
TWM504949U (zh) 薄膜量測設備
JP2010188396A (ja) レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP2002107116A (ja) 平坦度等測定装置
US20240142339A1 (en) Methods of geometry parameters measurement for optical gratings

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee