WO2017002281A1

WO2017002281A1 - 計測ユニットおよび流量計

Info

Publication number: WO2017002281A1
Application number: PCT/JP2016/001289
Authority: WO
Inventors: 杉山　正樹; 森花　英明; 永原　英知; 中林　裕治; 英樹木下
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2015-06-30
Filing date: 2016-03-09
Publication date: 2017-01-05
Also published as: US10184816B2; JP2017015475A; US20180188086A1; EP3318847A1; CN107709937A; EP3318847A4

Abstract

計測ユニットは、流体が入る流体入口（１２ａ）と、流体が出る流体出口（１２ｂ）と、流体入口（１２ａ）および流体出口（１２ｂ）を接続する単一の流路（１４）とを備えている。また、流路の対向する側面の間に、流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板（１６）であって、対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板（１６）と、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路を流れる流体の流量を計測する計測器（１８）とを備えている。

Description

計測ユニットおよび流量計

　本発明は、ガスなどの流体の流量を計測する計測ユニット、およびそのような計測ユニットが組み込まれた流量計に関する。

　特許文献１は、ガスメータ等の流量計を開示する。この流量計は、流体が入る入口部と、流体が出る出口部と、その間を繋ぐ複数本の同一形状の流路を有している。一部の流路にはセンサーが設けられており、残りの流路にはセンサーは設けられていない。センサーは、その流路を通過する流体の流量を検出する。この流量計は、センサーで計測した一部の流路の流量に基づいて、全体の流量を推測する。

特開２０１４－７７６７９号公報

　特許文献１に記載の流量計では、入口部と出口部との間には９本の流路が設けられている。流体が漏れ出さないよう、各流路と入口部および出口部とを確実に接続することが求められる。流路の数が増えるほど接続箇所が増え、作業量が増える。接続箇所が少ない流量計が必要とされている。

　本明細書にかかる例示的な計測ユニットは、流体が入る流体入口と、流体が出る流体出口と、流体入口および流体出口を接続する単一の流路とを備えている。また、流路の対向する側面の間に、流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路を流れる流体の流量を計測する計測器とを備えている。

　本発明の計測ユニットによれば、流体入口および流体出口を接続する流路は１つである。流体の漏れ出しが生じ得る接続箇所を大幅に低減できる。たとえば流路の上流側開口と下流側開口をそれぞれ流体入口および流体出口とすれば、実質的に接続箇所は存在しないため、流体が漏れ出すことはなくなる。

図１は、本発明の実施の形態における計測ユニットの外観斜視図である。図２は、本発明の実施の形態における計測ユニットの正面図である。図３は、本発明の実施の形態における計測ユニットの上面図である。図４は、図２に示す４－４を含む平面による断面図である。図５は、図２に示す５－５を含む平面による断面図である。図６は、本発明の実施の形態における計測ユニットの計測器の具体的な構成を示す図である。図７は、本発明の実施の形態における２台の計測ユニットを結合した計測ユニットの一例を示す図である。図８は、本発明の例示的な実施の形態における流量計の外観図である。図９は、本発明の例示的な実施の形態における流量計の側面板を取り外した内部構成を示す斜視図である。図１０は、本発明の例示的な実施の形態における流量計内の流体の流れを４つの太矢印によって示す図である。図１１は、整流流路を設けた本発明の例示的な実施の形態における流量計の内部構成を示す斜視図である。図１２は、整流流路を設けた本発明の例示的な実施の形態における流量計内の流体の流れを示す図である。図１３は、他の整流流路を設けた本発明の例示的な実施の形態における流量計の内部構成を示す斜視図である。図１４は、他の整流流路を設けた本発明の例示的な実施の形態における流量計内の流体の流れを示す図である。図１５は、本発明の例示的な実施の形態における他の例による流量計の外観図である。図１６は、本発明の例示的な実施の形態における他の例による流量計の側面板を取り外した内部構成を示す斜視図である。図１７は、本発明の例示的な実施の形態における他の例による流量計内の流体の流れを２つの太矢印によって示す図である。図１８は、整流流路を設けた本発明の例示的な実施の形態における他の例による流量計の内部構成を示す斜視図である。図１９は、整流流路を設けた本発明の例示的な実施の形態における他の例による流量計の整流流路内の流体の流れおよび流量計内の流体の流れを示す図である。

　以下、添付の図面を参照しながら、本発明による計測ユニットおよび流量計の実施形態を説明する。同じ構成要素には同じ参照符号を付す。既に説明した構成要素については再度の説明を省略する。なお、本発明は、以下で説明する実施の形態によって限定されるものではない。

　本明細書において、流量計は流体を配送する配管と接続され、配管を流れる流体の流量を計測する。流体は、典型的には気体（ガス）であるが、他の流体、たとえば液体であってもよい。流量計には計測ユニットが組み込まれており、計測ユニットが流体の流量を計測する。つまり、計測ユニットは流量計の一部品であるとする。以下では、まず計測ユニットの詳細な構成を説明し、その後、計測ユニットが組み込まれた流量計を説明する。

　（実施の形態）
　図１は計測ユニット１０の外観斜視図である。また、図２は正面図であり、図３は上面図である。主として図１を参照する。

　計測ユニット１０は、流体入口１２ａと、流体出口１２ｂと、流路１４と、複数の仕切り板１６と、計測器１８とを備えている。計測対象となる流体は、流体入口１２ａから計測ユニット１０内に入り、流路１４を通過して流体出口１２ｂから出る。流路１４は流体入口１２ａおよび流体出口１２ｂを接続する単一の経路である。

　複数の仕切り板１６は、流体が流れる方向に沿って流路１４内に配置されている。流体が流れる方向とは、流体入口１２ａから流体出口１２ｂに向かう方向である。本実施の形態においては、仕切り板１６の数は２３枚である。ただしこれは一例である。複数の仕切り板１６の数は、より多くてもよいし、より少なくてもよい。

　図４は、図２に示す４－４を含む平面による断面図である。また図５は、図２に示す５－５を含む平面による断面図である。

　図４から理解されるように、複数の仕切り板１６は、流路１４内の対向する側面１４ａおよび側面１４ｂの間に、流体が流れる方向に沿って平行に設けられている。本実施の形態においては、隣接する仕切り板１６の間隔は実質的に等しい。

　流路１４は、複数の仕切り板１６によって複数の部分流路に分割される。たとえば部分流路２０は、２枚の仕切り板１６および流路１４の対向する上面１４ｃおよび下面１４ｄ（図５）によって規定されている。

　次に図５および図６を参照しながら、計測器１８を説明する。

　図５には計測器１８の断面が示されている。本実施の形態においては、計測器１８は超音波を用いて流量を計測する超音波センサユニットである。計測器１８は、超音波を利用して複数の部分流路を流れる流体の流量を計測し、その結果に基づいて、流路１４の全体に流れる流体の流量を算出する。

　計測器１８は、上流側に配置された第１の超音波送受波器１８ａと、下流側に配置された第２の超音波送受波器１８ｂとを利用して超音波の送受信を行う。流路１４の上面１４ｃは第１の超音波透過窓１９ａ、および第２の超音波透過窓１９ｂを有している。第１の超音波透過窓１９ａおよび第２の超音波透過窓１９ｂは超音波が透過できる素材で形成され、または超音波を透過する開口部であってもよい。各透過窓１９ｂを超音波が透過できる素材で形成する場合には、入射面の音響インピーダンスおよび透過面の音響インピーダンスの差が予め定められた値よりも小さければよい。上面１４ｃの、第１の超音波透過窓１９ａおよび第２の超音波透過窓１９ｂ以外の部分は、たとえばパネルで覆われていてもよい。下面１４ｄは超音波の反射面として作用するように構成されている。

　以下、図６を参照しながら、超音波を利用した流量計測の原理を説明する。なお、本実施の形態では、部分流路の総数はＭ本であるとし、計測器１８はそのうちのＮ本の部分流路を覆うように配置されているとする。計測器１８は、当該Ｎ本の部分流路を流れる流体の流量Ｓを計測する。

　図６は、計測器１８の具体的な構成を示す。計測器１８は、第１の超音波送受波器１８ａ、第２の超音波送受波器１８ｂ、制御回路２２および演算回路２４を備えている。

　流路１４を流れる流体の流速をＶ、流体中の音速をＣ、流体の流れる方向と超音波が下面１４ｄで反射するまでの超音波伝搬方向とのなす角度をθとする。また、第１の超音波送受波器１８ａと第２の超音波送受波器１８ｂとの間で伝搬する超音波の伝搬経路の有効長さをＬとする。

　制御回路２２は、第１の超音波送受波器１８ａからの超音波の送信と、第２の超音波送受波器１８ｂにおける超音波の受信とを制御する。第１の超音波送受波器１８ａから送信された超音波が第２の超音波送受波器１８ｂに到達するまでの伝搬時間ｔ１は、下式にて示される。

　ｔ１　＝　Ｌ　／（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ）　　　　　　　　　　　　（１）
　制御回路２２は、第２の超音波送受波器１８ｂからの超音波の送信と、第１の超音波送受波器１８ａにおける超音波の受信とを制御する。第２の超音波送受波器１８ｂから送信された超音波が第１の超音波送受波器１８ａに到達するまでの伝搬時間ｔ２は、下式にて示される。

　ｔ２　＝　Ｌ　／（Ｃ－Ｖｃｏｓθ）　　　　　　　　　　　　（２）
　式（１）と式（２）から流体の音速Ｃを消去すると、下式が得られる。

　Ｖ　＝（　Ｌ　／（２ｃｏｓθ））　×　（（１／ｔ１）－（１／ｔ２））　　（３）
　式（３）から理解されるように、Ｌとθが既知なら、制御回路２２が伝搬時間ｔ１および伝搬時間ｔ２を計測することにより、流速Ｖが求められる。演算回路２４が流速Ｖの演算を行う。

　さらに演算回路２４は、下式に示すように、流速ＶにＮ本の部分流路の断面積ＳＮを乗じてＮ本の部分流路を通過する流量ｑｅＮを算出する。なお断面積ＳＮは既知である。

　ｑｅＮ　＝　Ｖ　ｘ　ＳＮ　　　　　　　　　　　　　　　　　（４）
　演算回路２４は、部分流路を流れる流体の流量を、流路１４を流れるに流量に換算する処理を行う。すなわち演算回路２４は、部分流路の流量ｑｅＮの値に基づいて、流路１４全体の流量ｑｅを算出する。Ｑｅｓとｑｅの関係は、予め実験により検定されている。演算回路２４は、流量ｑｅＮを予め検定された係数Ｋで補正し、流量ｑｅを求める。

　ｑｅ　＝　Ｋ　ｘ　ｑｅＮ　　　　　　　　　　　　　　　　　（５）
　式（４）および（５）から、下記の式（６）が得られる。

　ｑｅ　＝　Ｋ　ｘ　Ｖ　ｘ　ＳＮ
　　　　＝　Ｋｓ　ｘ　Ｖ　　　　　　　　　　　　　　　　　　（６）
　つまり、演算回路２４は、Ｎ本の部分流路の断面積ＳＮを考慮した係数Ｋｓ（＝Ｋ・ＳＮ）を用いることにより、式（４）の演算を行うことなく、流速Ｖから流路１４の流量を算出できる。

　予め実験による検定を行って係数ＫまたはＫｓを求めておくことにより、流路１４を流れる流体の流量に対する、Ｎ本の部分流路に流れる流体の流量に偏りが生じていたとしても、正しく流路１４を流れる流体の流量を算出できる。なお、流速に応じて、Ｎ本の部分流路に流れる流体の流量に偏りが生じる場合があり得る。そのような場合には、流速範囲ごとに係数ＫまたはＫｓを実験により検定しておき、流速範囲と、係数ＫまたはＫｓを対応付けて、演算回路２４の内部メモリ（図示せず）に記憶しておいてもよい。演算回路２４は、得られた流速Ｖから、その流速に対応する係数ＫまたはＫｓを読み出し、流路１４の流量を算出することができる。

　上述の例では、いわゆるＶパス方式の流量計測原理を説明したが、これは一例である。いわゆるＺパス方式、Ｉパス方式と呼ばれる計測原理を用いてもよい。

　計測器１８が超音波式であることは必須ではない。一部の部分流路を流れる流体の流量を計測できれば、公知の計測器を用いることができる。公知の計測器とは、たとえば流れによる熱の移動を利用して流量を測定するサーマルフローセンサーであってもよい。これらは公知であるためその説明は省略する。

　以上の構成により、計測ユニット１０はその流路１４を流れる流体の流量を計測することができる。

　本実施の形態による計測ユニット１０は、たとえば毎時１０立方メートル以上、より好ましくは、毎時１５立方メートルから３０立方メートルの流量を計測することができる。一般家庭向けの計測ユニットは、高々毎時６立方メートル程度である。よって業務上利用される施設において、比較的大流量を計測することができる。ただし、本実施の形態による計測ユニット１０を一般家庭において利用してもよい。

　構造上、流体入口１２ａおよび流体出口１２ｂの開口面積を大きくすれば、より大流量の流体を計測することが可能である。対向する側面１４ａおよび側面１４ｂ（図４）の幅を広げて開口面積を大きくした場合には仕切り板１６の枚数を増加させればよい。あるいは上面１４ｃおよび下面１４ｄ（図５）の幅を広げて開口面積を大きくした場合には、仕切り板１６の高さを増加させればよい。

　さらに、計測ユニット１０を複数台設けることにより、より大流量を計測できるようにしてもよい。

　図７は、２台の計測ユニット１０ａおよび計測ユニット１０ｂを結合した計測ユニット３０の一例を示す。計測ユニット１０ａおよび計測ユニット１０ｂの各々は計測器１８を備えており、それぞれが独立して流量を計測する。その処理は上述した通りである。なお、計測ユニット３０が計測する流量は、計測ユニット１０ａおよび計測ユニット１０ｂのそれぞれによって計測された流量を加算することによって取得できる。この加算処理は、たとえば計測ユニット１０ａに設けられた計測器１８の演算回路２４が行ってもよい。この演算回路２４は、計測ユニット１０ｂの演算回路から流量の計測結果の情報を取得して、自らが計測した結果と加算する。あるいは、計測ユニット３０の外部に設けられた演算回路（図示せず）が、計測ユニット１０ａおよび計測ユニット１０ｂに設けられたそれぞれの計測器１８の演算回路２４から取得して加算してもよい。

　次に、図８以降の図面を参照しながら、計測ユニット３０が組み込まれた流量計を説明する。

　図８は、本実施の形態にかかる流量計４０の外観を示す。流量計４０は、上流側の配管（図示せず）と接続される上流側ポート４２ａと、下流側の配管（図示せず）と接続される下流側ポート４２ｂとを有している。側面板４１により、流量計４０の内部は覆われている。

　図９は、側面板４１を取り外した流量計４０の内部構成を示す斜視図である。流量計４０の内部には、計測ユニット３０と、入口チャンバ４４ａと、出口チャンバ４４ｂとを有する。入口チャンバ４４ａは、上流側ポート４２ａから流入した流体を計測ユニット３０の流体入口１２ａに導く。出口チャンバ４４ｂは、計測ユニット３０の流体出口１２ｂから流出した流体を下流側ポート４２ｂに導く。入口チャンバ４４ａおよび出口チャンバ４４ｂはいずれも流路として機能し得る。上流側ポート４２ａ、入口チャンバ４４ａ、計測ユニット３０、出口チャンバ４４ｂ、下流側ポート４２ｂは、Ｕ字形に配置されている。このような配置を有する流量計を「Ｕ字形流量計」と呼ぶ。

　なお、図９に示す計測器１８の位置から理解されるように、本実施の形態においては、計測ユニット３０は、図７に示される姿勢を、流体の流れる方向に平行な軸を中心に９０度回転させて流量計４０に組み込まれている。ただし計測ユニット３０を組み込む向きは一例である。他の構成を採用することは可能である。

　図１０は、流量計４０内の流体の流れを４つの太矢印によって示す。入口チャンバ４４ａを設けることにより、上流側ポート４２ａから流量計４０内に流入した流体は、入口チャンバ４４ａに拡散し、その結果、概ね一様な流束となって計測ユニット３０の流体入口１２ａに向かう。流体は、計測ユニット３０を構成する個々の計測ユニット１０の部分流路にも多層板の抵抗効果により概ね均等に流れ、上述した式（５）による演算を行っても高い精度を維持できる。

　流体を個々の計測ユニット１０の部分流路により均等に流すために、整流流路を設けてもよい。

　図１１は、整流流路５２を設けた流量計５０の内部構成を示す斜視図である。整流流路５２を有する以外は、流量計５０は流量計４０（図１０）と同じである。

　整流流路５２は、上流側ポート４２ａ直下の入口チャンバ４４ａ内に設けられている。上流側ポート４２ａから流量計５０内に流入した流体は、まず整流流路５２に入り、整流流路５２を経由して入口チャンバ４４ａに流入する。なお、図１１では、上流側ポート４２ａから流量計５０内に流入した全ての流体が整流流路５２を通過するよう、整流流路５２にはカバー５３が設けられている。

　図１２は、整流流路５２の内部構成を示す。図１２において整流流路５２内の４つの太矢印によって示されるように、整流流路５２は、流体の進路を４回変更させている。

　整流流路５２を設けて流体の進路を変更することにより、上流側ポート４２ａから、計測ユニット３０の流体入口１２ａまでの流路内の流速の分布の偏りを軽減することができる。さらに、整流流路５２を設けることにより、流入する流体が偏流や旋回流を有していたとしても、その影響を十分低減することができる。これにより、流体が計測ユニット３０の流体入口１２ａに比較的一様の速度分布で流入し、好適な流量計測が可能になる。なお、整流流路５２を設けない図１０の構成と対比すると、整流流路５２は流体の進路を少なくとも１回変更させればよい。

　図１３は、他の例による整流流路５４を有する流量計５０の内部構成を示す斜視図である。記載の便宜のため、図１１で示したカバー５３の記載は省略している。

　整流流路５４の構成は概ね整流流路５２（図１２）の構成と同じである。相違点は、整流流路５４は１本以上の柱５６を有することである。柱５６は、流路を構成する複数の板５８を固定する目的の他、流体の流れを一部遮ってより一様な流速分布を実現する目的のために設けられている。

　図１２に示す上述の整流流路５２は１つの部品（構造体）として設けられている。一方、整流流路５４は、複数の部品が流量計５０内に組み付けられることによって実現されている。本実施の形態では、整流流路５４は、複数の柱５６と、複数の板５８と、さらに流量計５０の外周壁の一部とを利用して、形成されている。

　図１４は、整流流路５４内の流体の流れおよび流量計５０内の流体の流れを示す。図１４に示す整流流路５４もまた、流体の進路を４回変更させている。これにより、整流流路５２（図１２）と同等の比較的一様な流速分布を実現できる。また上述のように、整流流路５４は、複数の柱５６および複数の板５８を固定することによって実現されるため、低コストかつ容易に設置できる。

　上述の流量計４０および流量計５０はいずれもＵ字形流量計であった。次に、図１５以降を参照しながら、異なる種類（形状）の流量計を説明する。

　図１５は、本実施の形態の他の例による流量計６０の外観を示す。流量計６０は、上流側の配管（図示せず）と接続される上流側ポート４２ａと、下流側の配管（図示せず）と接続される下流側ポート４２ｂとを有している。図８に示す流量計４０と比較すると、上流側ポート４２ａおよび下流側ポート４２ｂの位置が異なっていることが理解される。側面板６１により、流量計６０の内部は覆われている。

　図１６は、側面板６１を取り外した流量計６０の内部構成を示す斜視図である。

　図８の流量計４０と対比すると、流量計６０は、異なる位置に上流側ポート４２ａおよび下流側ポート４２ｂが設けられている。その他は同じである。なお、流量計６０では、上流側ポート４２ａ、入口チャンバ４４ａ、計測ユニット３０、出口チャンバ４４ｂ、下流側ポート４２ｂは、直線状に配置されている。このような配置を有する流量計を「Ｉ字形流量計」と呼ぶ。

　図１７は、流量計６０内の流体の流れを２つの太矢印によって示す。入口チャンバ４４ａを設けることにより、上流側ポート４２ａから流量計４０内に流入した流体は、入口チャンバ４４ａに拡散し、その結果、概ね一様な流束となって計測ユニット３０の流体入口１２ａに向かう。流体は、計測ユニット３０を構成する個々の計測ユニット１０の部分流路にも概ね均等に流れ、上述した式（５）による演算を行っても高い精度を維持できる。

　Ｉ字形流量計に関しても、流体を個々の計測ユニット１０の部分流路により均等に流すために、整流流路を設けてもよい。

　図１８は、整流流路７２を設けた流量計７０の内部構成を示す斜視図である。整流流路７２は、上流側ポート４２ａ直後の入口チャンバ４４ａ内に設けられている。図１８の例では、整流流路７２は、上流側ポート４２ａから流入した流体が、計測ユニット３０の流体入口１２ａに直接入らないよう、流体の進路を遮る位置に設けられている。整流流路７２は所定長の４本の脚部７４と、その脚部に取り付けられた遮蔽板７６とを有する。

　図１９は、整流流路７２内の流体の流れおよび流量計７０内の流体の流れを示す。図１９に示す整流流路７２もまた、流体の進路を２回以上変更させている。これにより、流量計６０（図１７）と同等以上の一様な流速分布を実現できる。

　本発明にかかる計測ユニットは、単一の流路を有しており、その流路を流れる流体の流量を算出する。流路を大きく取ることが容易であるため、業務用の大型ガスメータ等、大流量の計測を必要とする幅広い用途に適用できる。そのような計測ユニットを複数用いた流量計は、さらに容易に大流量の計測に適用可能である。

　１０，１０ａ，１０ｂ，３０　計測ユニット
　１２ａ　流体入口
　１２ｂ　流体出口
　１４　流路
　１４ａ，１４ｂ　側面
　１４ｃ　上面
　１４ｄ　下面
　１６　仕切り板
　１８　計測器
　１８ａ　第１の超音波送受波器
　１８ｂ　第２の超音波送受波器
　２０　部分流路
　２２　制御回路
　２４　演算回路
　４０，５０，６０，７０　流量計
　４２ａ　上流側ポート
　４２ｂ　下流側ポート
　４４ａ　入口チャンバ
　４４ｂ　出口チャンバ
　５２，５４，７２　整流流路

Claims

　流体が入る入口と、
　前記流体が出る出口と、
　前記入口および前記出口を接続する単一の流路と、
　前記流路の対向する側面の間に、前記流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、前記対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、
　連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路を流れる前記流体の流量を計測する計測器と
　を備えた計測ユニット。
　前記計測器は超音波を利用して前記流体の流量を計測する、請求項１に記載の計測ユニット。
　前記計測器は、各々が超音波の送信および受信を行うことが可能な第１送受波器および第２送受波器を備え、
　前記第１送受波器は、前記複数の仕切り板の上流側に配置され、
　前記第２送受波器は、前記複数の仕切り板の下流側に配置され、
　前記第１送受波器は前記第２送受波器から送信された超音波を受信し、
　前記第２送受波器は前記第１送受波器から送信された超音波を受信する、請求項２に記載の計測ユニット。
　前記複数の仕切り板は実質的に等間隔で配置されており、
　前記計測器は、
　　前記第１送受波器および前記第２送受波器における超音波の送信および受信を制御する制御回路と、
　　前記第１送受波器および前記第２送受波器の各々が受信した超音波の信号を利用して前記Ｎ本の部分流路を流れる前記流体の流量を計測し、計測した前記流量を予め検定された係数で補正することにより、前記流路を流れる流体の流量を演算する演算回路と
　を備える、請求項３に記載の計測ユニット。
　前記単一の流路は、少なくとも毎時１０立方メートル以上の流体を通過させることが可能な断面積を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の計測ユニット。
　前記流路には、２３枚の仕切り板によって２４本の部分流路（Ｍ＝２４）が規定されており、
　前記計測器は、４本の部分流路（Ｎ＝４）を流れる前記流体の流量を計測する、請求項１から５のいずれか１項に記載の計測ユニット。
　流体を配送する配管と接続され、前記配管を流れる前記流体の流量を計測する流量計であって、
　上流側の配管と接続される上流側ポートと、
　下流側の配管と接続される下流側ポートと、
　少なくとも１つの、請求項１から６のいずれか１項に記載の計測ユニットと、
　前記上流側ポートから流入した前記流体を前記少なくとも１つの計測ユニットの入口に導く入口チャンバと、
　前記少なくとも１つの計測ユニットの出口から流出した前記流体を前記下流側ポートに導く出口流路と
　を備える流量計。
　前記上流側ポート、前記入口チャンバ、前記少なくとも１つの計測ユニット、前記出口流路および前記下流側ポートは、Ｕ字形に配置されている、請求項７に記載の流量計。
　前記上流側ポート、前記入口チャンバ、前記少なくとも１つの計測ユニット、前記出口流路および前記下流側ポートは、直線状に配置されている、請求項７に記載の流量計。
　前記入口チャンバは、前記上流側ポートから流入した前記流体の流速の分布の偏りを軽減する整流流路をさらに備える、請求項７から９のいずれか１項に記載の流量計。
　前記整流流路は前記流体の進路を少なくとも１回変更させる、請求項１０に記載の流量計。
　前記少なくとも１つの計測ユニットは２台であり、互いに接触して配置されている、請求項１０に記載の流量計。