JP4207662B2 - 超音波式流体センサ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波伝播時間を測定して被測定流体の流量、濃度を計測する超音波式流体センサに関し、特に、純水素燃料電池の燃料ガス流量、燃料ガス濃度を計測する場合における計測精度を向上させる技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の超音波式流体センサ(超音波式流量計、超音波式濃度計等)の代表的な例としては、図12に模式的に示すように、測定管1内の被測定流体の流れ(流速V)に対して、その上下流位置に超音波送受信器2a、2bを対向させて配置し、一方の超音波送受信器から送信(発信)された超音波信号を他方の超音波送受信器で受信して、これらの間の超音波伝播時間を交互に検出し、超音波伝播時間、流速及び音速値との関係式から、被測定流体の流速V、音速値Cをそれぞれ求めることを基本としていた。
【0003】
超音波伝播時間、流速V及び音速値Cの関係式は、次式で表される。
t1=L/(C+Vcosθ) …式1
t2=L/(C−Vcosθ) …式2
ここで、t1は上流側超音波送受信器から下流側超音波送受信器に超音波が伝播する時間、t2は下流側超音波送受信器から上流側超音波送受信器に超音波が伝播する時間、Lは超音波送受信器間の距離、θは流速Vに対する超音波伝播経路の角度、である。
【0004】
上記式1、式2から、流速V、音速値Cは、次式のように表すことができる。
V=(L/2cosθ)・[(1/t1)−(1/t2)] …式3
C=(L/2)・[(1/t1)+(1/t2)] …式4
そして、この流速Vに測定管1の断面積A(流路断面積;一定値)を乗算することで流量Qを求めることができる。また、音速値Cは、ガス成分濃度を反映した値であることから、ガス密度が異なる2成分ガス系であれば、個々のガス成分濃度を容易に求めることができる。
【0005】
ところで、このような方法で被測定流体の流量や濃度を求める超音波式流体センサにあっては、超音波伝播時間t1、t2がどの程度正確に測定できるか否かによって、その計測精度がほぼ決定されてしまうという基本的な関係がある。
【0006】
図13は、超音波送受信器2a、2bの超音波伝播経路を略水平に配置したときの超音波式流体センサ(ここでは、流量計)の内部構成を示したものである(図12のX−X断面で見た図に相当するものである)。
【0007】
この図に示すように、測定管1として円形断面のものを用いて、この(円形)測定管1に対して超音波送受信器2a、2bを対向させて配置して流体センサ(流量計)を構成した場合、一方の超音波送受信器2aから送信された超音波は所定の拡がりをもって伝播してゆくため、直進伝播経路6を伝播する直進成分だけではなく、測定管1の内壁に反射する伝播経路6a、6b等を伝播する成分をも生じることになる。そして、これらの伝播経路の異なる超音波が他方の超音波送受信器2bに到達すると、伝播時間の異なる波形同士が重畳干渉してしまい、最短経路(すなわち、直進伝播経路6)を伝播する成分の受信の検出、すなわち、超音波伝播時間の測定を正確に行えないという問題があった。
【0008】
このような問題に対して、図14(上記図13に対応する図である)に示すように、測定管1の断面を矩形にするものがある。
図14(a)に示すものでは、超音波伝播空間(測定空間)が小さく構成されており、測定管1の内壁に反射する成分を除去することができるものの、超音波送受信器2a、2bを格納する格納室5a、5bが測定空間よりも大きく形成されることから、結露水等が格納室5a、5b内に溜まることによって超音波送受信器2a、2bが冠水し、その結果、超音波が水にリークしてしまって測定空間に超音波を送信できなくなるという基本的な問題が発生するおそれがある。
【0009】
また、格納室5a、5bが袋状に形成されているため、格納室5a、5b内でガスの滞留が生じやすい傾向にあり、このガスの滞留が生じると、燃料電池システムにおける燃料ガスのように測定管1内を流れる流体のガス密度が運転状況によって変化する系にあっては、測定管1内を流れるガスの密度と格納室5a、5bに滞留するガスの密度とが異なることによって、測定誤差を引き起こす要因になるという別の問題も生じることになる。
【0010】
一方、図14(b)に示すものでは、格納室5a、5bよりも測定空間の方が大きくなっており、結露水による冠水、格納室内のガスの滞留をある程度妨げることができるような形状になっていると言えるが、測定管1の図で見て上下方向の寸法が増加することによって、測定管1の内壁反射による伝播時間遅れが顕著になりやすく、円形断面の測定管と同様に、受信不良を引き起こし易くなるという問題がある。
【0011】
つまり、測定管内壁での多重反射による受信信号の干渉問題と、結露水による冠水やガスの滞留の問題と、がトレードオフの関係にあることが解る。
また、超音波の不要反射成分を乱反射減衰あるいは吸収させる不要伝播減衰手段を測定管1の内壁に設けることによって、測定管内の不要な伝播波を低減して正規の直進伝播波を正確に検出できるようにした超音波式流量計が提案されている(特許文献1参照)。
【0012】
【特許文献1】
特開2001−311636号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記特許文献1では、不要伝播減衰手段として、その表面の凹凸の高さが超音波の波長λの1/4よりも大きくした乱反射手段を設け、不要な伝播を乱反射させること、受信側の超音波送受信器に到達する不要な伝播波を弱めるようにしているが、その際、乱反射手段を測定管の内壁面から突出しないようすることで、被測定流体の流れを乱すことを防止している。
【0014】
しかしながら、かかる従来の技術では、被測定流体を水素とした場合に以下のような問題がある。
すなわち、水素の音速値Cは、例えば50℃、1atmでは約1370m/s(理科年表によると0℃、1atmで1269.5m/sであり、温度係数が2.0m/s/degであるから、1269.5+2.0×50≒1370)であり、また、超音波の周波数は、高周波の場合は水素環境ではその減衰が大きいことから、一般的な40kHzとすると、超音波の波長λは34.25mm(=1370/40000)となる。
【0015】
すると、上記乱反射手段としては、その表面の凹凸の高さが8.6mm(=34.25/4)以上必要になってしまうところ、このような凹凸の高さでは、たとえ内壁面から突出しないようにしたとしても、被測定流体の流れを乱すことになり、また、圧損を増加させることにも繋がることになるため、水素等を被測定対象とする場合には、好ましい対策手段とは言えなかった。
【0016】
本発明は、このような従来の問題を解決するためになされたものであり、超音波式流体センサにおいて、比較的簡単な構成にて、測定管内の多重反射による受信超音波の波形干渉を防止し、超音波伝播時間の測定精度を向上させることを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明に係る超音波式流体センサでは、被測定流体が流れる測定管が、被測定流体の流れ方向と平行に設けられる超音波導波壁によって上側、中央、下側の少なくとも3つに分割された流路を有し、これら3つの流路を前記一対の格納室と連通させ、中央の流路を略水平に配置して前記超音波が伝播する超音波伝播用流路として用い、上側及び下側の流路内には超音波の伝播を遮断する遮音壁を設けるようにした。
【0018】
【発明の効果】
本発明に係る超音波式流体センサによれば、測定管に有する(測定管内部に形成される)複数ある流路のうち、中央の流路を超音波伝播用流路として用いるので、測定管内の多重反射による受信超音波に波形干渉を低減して超音波伝播時間の測定精度の向上、ひいては、被測定流体の流量、濃度の計測精度の向上を図ることができる。また、上側及び下側の流路を、例えば、結露水排出用流路や格納室内のガス換気促進用流路として個別に設定することが可能となるため、超音波伝播特性、結露水排出特性及びガス換気特性がそれぞれの流路で独立して調整することができる。さらに、上側及び下側の流路には、それぞれ遮音壁が設けられるので、上側流路、下側流路を介して超音波の迂回伝播を阻止することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。
図1〜4は、本発明の第1実施形態に係る超音波式流体センサ(以下、単に流体センサという)を示している。図1は、かかる流体センサを模式的に示したものである。この流体センサは、いわゆるZ字型レイアウトのものであり、被測定流体(ガス)が流れる測定管1と、音響的に対向するよう設けられた一対の超音波送受信器2a、2bと、超音波伝播時間測定回路3と、演算回路4と、を含んで構成されている。
【0020】
超音波送受信器2a、2bは、測定管1の内壁に対して凹んで形成される一対の格納室5a、5b内にそれぞれ格納されており、一方の超音波送受信器から超音波を送信し、測定管1内で伝播させて他方の超音波送受信器で受信する。
【0021】
超音波伝播時間測定回路3は、被測定流体の流れに対して順方向(超音波送受信器2a→2b)と逆方向(2b→2a)の超音波伝播時間t1、t2を測定し、この超音波伝播時間t1、t2を演算回路4へと出力する。
【0022】
演算回路4は、入力された超音波伝播時間t1、t2を用いて、下式により被測定流体の流速V、流量Q、密度(濃度)ρ(の少なくとも1つ)を演算する。
V=(L/2cosθ)・[(1/t1)−(1/t2)]
Q=V・A・K
ρ=γ・R・T/(22.4*C2
但し、L;超音波伝播距離、A;測定管断面積、K;測定管内の流速分布補正係数、γ;比熱比、R;ガス定数、T;ガス温度である。
【0023】
図2は、流体センサ本体の斜視図、図3は、超音波送受信器2a、2b間の超音波伝播経路を略水平に配置したときの流体センサの内部構成を示した図(図1のA−A断面で見た図に相当する)、図4は、同じく超音波伝播経路を略水平に配置したときの流体センサの部分断面図(超音波送受信器2a側から見た部分断面図)である。
【0024】
これらの図に示すように、本実施形態に係る流体センサの特徴として、測定管1の内部には、被測定流体の流れ方向と平行で(流れ方向に沿って)、かつ測定管1を挟んで両側に設けられた超音波送受信器2a、2b間の超音波伝播経路6に対しても平行な2枚の導波壁(又は導波板)7a、7bが設けられており、この導波壁7a、7bによって、測定管1はその流路断面が3つに分割されている(従って、測定管1は3つの流路を有することになる)。
【0025】
そして、この実施形態では、上記3分割された流路断面(3つの流路)のうち中央に位置する部分(上記導波壁7a、7bに挟まれた空間であり、以下、中央の流路という場合もある)を、超音波が伝播する超音波伝播用空間(流路)として用いる。このため、測定管1には、超音波送受信器2a、2bから送信された超音波が上記超音波伝播用空間(中央の流路)に導入するための連通孔(以下、超音波伝播用連通孔という)8a、8bが開口されており、また、上記導波壁7a、7bは、超音波を送受信(伝播)しやすいように、所定の間隔(望ましくは、後述するように、被測定流体中における超音波の波長λ以下)を有して取り付けられている。
【0026】
一方、3分割された流路断面の他の部分(中央の流路以外の流路)は、超音波送受信器2a、2b間の超音波伝播経路を略水平に配置することによって、超音波伝播用空間として用いる中央の流路の上側、下側にそれぞれ位置することになる(以下、それぞれ上側流路、下側流路という場合もある)。そして、この上側流路と下側流路とは、それぞれガス換気用連通孔9a、9b又は結露水排出用連通孔10a、10bによって格納室5a、5bと連通しているが、その内部には、遮音壁(又は遮音板)11a、11bが設けられており、これらの空間、すなわち、上側流路、下側流路を経由して超音波が迂回伝播しないようになっている。
【0027】
なお、この実施形態では、遮音壁11a、11bを測定管1のほぼ全長にわたって設けていることから、見かけ上、流路断面が5分割されたようになっているが、遮音壁11a、11bは、超音波送受信器2a、2bに挟まれた部分及びその近傍にのみ設けるようにしてもよい。
【0028】
また、図において、測定管1側に設けられている孔12は、上記超音波伝播用空間(中央の流路)と連通する温度測定用の孔であり、格納室5a側に設けられている孔13は、同じく超音波伝播用空間(中央の流路)と連通する圧力測定用の孔である。このように、超音波伝播用空間と連通する温度測定用の孔12及び圧力測定用の孔13を設けたのは、超音波伝播用空間(中央の流路)の温度や圧力に基づく温度補正や圧力補正を行えるようにするためである。
【0029】
ここにおいて、例えば、被測定流体が水素と水蒸気との混合ガスであるとし、この場合の混合ガスの音速Cを1000〜1200m/s、超音波送受信器2a、2b間を伝播する超音波の振動周波数fを一般的な振動周波数である40kHzとすると、被測定流体中における超音波の波長λは25〜30mm(=1000〜1200/40)となる。そこで、上記超音波伝播用空間(中央の流路)を形成する導波壁7a、7bの間隔を、超音波の波長λ以下(例えば15mm)とする。
【0030】
このように、導波壁7a、7bの間隔を被測定流体中における超音波の波長λ以下とすれば、超音波伝播用空間(中央の流路)を伝播する超音波は(ほぼ)平面波となるので、導波壁7a、7bを多重反射することがない。また、この超音波伝播用空間の上側、下側に形成される空間(上側流路、下側流路)には、それぞれ遮音壁11a、11bが設けられているので、これらの空間(上側流路、下側流路)を介した超音波の伝播(すなわち、超音波の迂回伝播)が阻止される。
【0031】
この結果、波形干渉のない超音波伝播を実現することができ、S/N比の非常に優れた信号を受信することが可能となり、超音波伝播時間の測定精度、ひいては、被測定流体の流速V、流量Q、密度ρの計測精度を向上できる。
【0032】
また、例えば、高温の加湿水素(ガス)が格納室5a、5bに流れ込んでしまい、超音波送受信器2a、2bの送受信部(発音部)等にて冷却されて結露凝縮すると、格納室5a、5b内の上部は相対的に高濃度水素状態になり、格納室5a、5bの底部には、結露凝縮水(以下、単に結露水という)が溜まるようになる。そして、この高濃度水素や結露水が排出されないまま残ってしまうと、測定管1内の水素濃度と格納室5a、5b内の水素濃度とが異なることから超音波伝播時間の測定誤差が生じたり、測定管1と格納室5a、5bとの境界部で該濃度差(ガス密度の違い)により屈折現象が起きたり、更には、超音波送受信器2a、2bが結露水によって冠水したりすることになる。なお、超音波が屈折すると伝播ジオメトリが狂うことになり、一方の超音波送受信器から送信された超音波が他方の超音波送受信器に入射されない(すなわち、受信されない)という不具合をも生じる。
【0033】
これに対して、本実施形態に係る流体センサでは、格納室5a、5b内の高濃度水素は、ガス換気用連通孔9a、9bを介して上側流路に排出され、また、結露水は、結露水排出用連通孔10a、10bを介して下側流路に排出されるようになっており、上記のような不具合を防止することができる。
【0034】
本実施形態によると、超音波送受信器2a、2b間の超音波伝播経路を略水平に配置する一方、測定管1内に導波壁7a、7bを設けて流路断面を上側、中央、下側に3分割し、その中央に形成される空間(中央の流路)を超音波伝播用空間として使用することにより、この超音波伝播用空間の上側に形成される空間(上側空間)はガス換気促進空間として、下側に形成される(下側空間)は結露水排出用空間として使用でき、超音波伝播用空間、格納室内ガス換気促進用空間、結露水排出用空間を個別に設定できることになる。このため、超音波伝播特性、ガス換気特性、結露水排出特性をそれぞれの空間で独立して調整することが可能となる。
【0035】
また、上側流路及び下側流路内には、それぞれ超音波の伝播を遮断する遮断壁11a、11bが設けられているので、これらの空間を介して超音波が伝播することを防止できる。
【0036】
また、超音波伝播用空間(中央の流路)を形成する導波壁7a、7bの間隔を被測定流体中における超音波の波長λ以下とするので、超音波伝播用空間内における超音波の伝播形態を平面波にして多重反射の発生を防止し、波形干渉が生じない超音波伝播を実現できる。
【0037】
これにより、超音波伝播時間を安定して、かつ高精度に測定することができ、ひいては、被測定流体の流量、密度(濃度)等の計測精度を向上できる。
図5は、本発明の第2実施形態に係る流体センサを示しており、上記第1実施形態における図3に対応する図である。この実施形態に係る流体センサは、上記第1実施形態に対して、超音波送受信器2a、2bの送受信部を水平面に対して所定角度αだけ下向きに傾斜させて配置するようにした点が相違する。なお、この場合には、超音波は導波板7bに反射して伝播することになるが、多重反射が生じないように構成するのは言うまでもない(超音波伝播経路6c)。
【0038】
この実施形態によると、超音波送受信器2a、2bを、その送受信部が水平面に対して下方向に所定の角度αを有するように傾斜させて配置したので、超音波送受信器2a、2bの(最)下端位置を上記第1実施形態に比べて高い位置とすることができる。これにより、格納室5a、5bに結露水等が溜まった場合であっても、超音波送受信器2a、2bが冠水する危険性を少なくできる。また、この場合、格納室5a、5b(の開口側)も下向きとなるので、格納室5a、5b内に溜まった結露水を(重力の作用により)結露水排出用連通孔10a、10bを介して下側流路へと効果的に排出することができる。
【0039】
図6は、本発明の第3実施形態に係る流体センサを示しており、上記第1実施形態における図3に対応する図である。この実施形態に係る流体センサは、超音波を反射する反射面14a、14bを超音波送受信器2a、2bのそれぞれの下方に設けるようにし、超音波送受信器2a、2bから送信された超音波がこの反射面12a、12bで反射して、その経路を変更した後に上記超音波伝播用空間(中央の流路)を伝播するようにしたものである(超音波伝播経路6d)。
【0040】
この実施形態によると、超音波送受信器2a、2bの(最)下端位置を上記第2実施形態よりも更に高い位置にすることができるので、超音波送受信器2a、2bの結露水による冠水をより確実に防止できる。また、格納室5a、5b内の結露水を更に効果的に排出できる。
【0041】
図7は、本発明の第4実施形態に係る流体センサを示しており、上記第1実施形態における図3に対応する図である。この実施形態に係る流体センサは、被測定流体の音速が低く、超音波の波長λが上記導波壁7a、7bの間隔よりも小さくなってしまうような場合に、別の導波壁7cを、上記導波壁7a、7bの間に更に設ける(追加する)ことによって、超音波伝播用空間(中央の流路)を上下方向に分割し(この実施形態では2分割し)、音速の低い被測定流体を対象とする場合であっても、実質的な導波壁の間隔を超音波の波長λよりも小さくしたものである(超音波伝播経路6e、6f)。
【0042】
この実施形態によると、導波壁7a、7bの間に更に導波壁7cを追加して設けることにより、音速の低い被測定流体に対しても、超音波伝播用空間の寸法(導波壁の間隔)を、被測定流体中における超音波の波長λよりも小さくすることが可能となり、更に、この追加して設ける導波壁7cを着脱可能とすれば、被測定流体に音速に応じて導波壁の間隔を変更できることになるので、1つの超音波式流体センサによって、音速の低い被測定流体と音速の高い流体との双方に対応することが可能となる。
【0043】
このように、測定管1の断面分割(特に、導波壁の間隔)は、種々のバリーエションが考えられるところであるから、この分割断面を形成する部材(導波壁7a、7bを含んで構成されるものをいい、以下、分割断面形成部材という)を測定管1とは別部品(別体)として構成し、かつ、導波壁の間隔が異なる複数のものを用意しておき、被測定流体に応じて分割断面形成部材(導波壁の間隔)を適宜選択するようにすれば、より広範囲の被測定流体に対応することが可能となると共に、バリーエション対応が容易に行えることになる。
【0044】
図8は、上記のように測定管1と分割断面形成部材15とを別体で構成した場合の1例を示すものであり。図8(a)は測定管1の断面図、図8(b)は分割断面形成部材15の断面図である。測定管1には、超音波伝播用空間(中央の流路)に連通する超音波伝播用連通孔8a、8b、上側流路と連通するガス換気用連通孔9a、9b及び下側流路と連通する結露水排出用連通孔10a、10bとなる部分が形成されている。
【0045】
一方、分割断面形成部材15は、導波壁7a、7b及び遮音壁11a、11bを一体化させたものであり、上記超音波伝播用連通孔8a、8bに対応する16a、16bが形成されている。そして、この分割断面形成部材15を測定管1内の挿入することによって、超音波伝播用空間、格納室内ガス換気促進用空間及び結露水排出用空間を個別に有する流体センサを構成する。
【0046】
この実施形態によると、導波壁7a、7bと遮音壁11a、11bとを一体化させた分割断面形成部材15を測定管1とは別体とし、この分割断面形成部材15を測定管1に対して着脱可能に構成したので、導波壁7a、7bの間隔が異なる複数の分割断面形成部材を用意することで、その中から被測定流体に合わせて適切なものを選択することが可能となり、被測定流体に応じて最適な超音波伝播空間を形成できるという実用的な効果が得られる。なお、導波壁7a、7bと遮音壁11a、11bとを一体化させずに、それぞれを測定管1に対して着脱可能に構成するようにしてもよい。
【0047】
ところで、測定管1と分割断面形成部材15とを別体で構成した場合、流体センサを構成するためには、測定管1側に設けた超音波伝播用連通孔8a、8bと、これに対応するように分割断面形成部材15側に設けた孔16a、16bと、をきちんと合わせる必要がある。そのための位置決め手段を設けるようにした例が図9、図10に示すものである。
【0048】
図9に示したものは、測定管1側に嵌合溝17a、17bを設けておき、この嵌合溝17a、17bに分割断面形成部材15の遮音壁11a、11bに相当する部分(の先端)を嵌合させる構成としたものであり、これにより、分割断面形成部材15を装着する際、測定管1と分割断面形成部材15(すなわち、超音波導波壁7a、7b)との相対回転位置の位置決めを行うようにしたものである。なお、この場合においては、嵌合溝17a、17b及び遮音壁11a、11b(の先端)が位置決め手段に相当する。
【0049】
図10に示したものは、分割断面形成部材15を矩形断面で構成すると共に、測定管1側に嵌合溝18a〜dを設け、この嵌合溝18a〜dに、分割断面形成部材14の角部19a〜dを嵌合させるように装着することにより、測定管1と分割断面形成部材15(すなわち、超音波導波壁7a、7b)との相対回転位置の位置決めを行うようにしたものであり、嵌合溝18a〜d及び角部19a〜dが位置決め手段に相当する。
【0050】
このようにすれば、測定管1と分割断面形成部材15とを別体とし、選択可能として種々の被測定流体に対応できるよう構成した場合に、これらの組立時(分割断面形成部材15の測定管1への装着時)に、両部品の回転方向の位置合わせが容易であるという実用的な効果が得られる。
【0051】
図11は、以上説明した各流体センサを燃料電池システムに組み込んだときの状態を示している。車載燃料電池もしくは定置燃料電池のいずれの場合であっても、流体センサを燃料電池システムに取り入れる場合には、超音波送受信器2a、2bの超音波伝播経路を略水平とすると共に、測定管1の被測定流体出口側の方が入口側よりも低くなる(下になる)ように、測定管1を水平面に対して所定角度βだけ傾斜させて配置する。
【0052】
このようにすれば、燃料電池システムにおいて被測定流体(水素)の流量、濃度を精度よく計測(演算)することができると共に、下側流路に排出された水(結露水等)を被測定流体の流れ(流速)と重力の作用とを利用して、効果的に測定管1の出口側へと導き、流体センサ外へと排出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る超音波式流体センサの模式図である。
【図2】第1実施形態に係る超音波式流体センサ本体の斜視図である。
【図3】第1実施形態に係る超音波式流体センサの内部構造を示す図である。
【図4】同じく第1実施形態に係る超音波式流体センサの内部構造を説明するための図である。
【図5】他の実施形態(第2実施形態)に係る超音波式流体センサの内部構造を示す図である。
【図6】同じく他の実施形態(第3実施形態)に係る超音波式流体センサの内部構造を示す図である。
【図7】同じく他の実施形態(第4実施形態)に係る超音波式流体センサの内部構造を示す図である。
【図8】測定管と超音波導波壁とを別部品とした場合の(a)測定管、(b)分割断面形成部材(超音波導波壁)を示す図である。
【図9】測定管と分割断面形成部材(超音波導波壁)との組立図である。
【図10】測定管と分割断面形成部材(超音波導波壁)との他の組立図である。
【図11】本発明に係る超音波式流体センサを燃料電池システムに組み込んだ場合の状態(位置関係)を説明するための図である。
【図12】従来の超音波式流体センサの模式図である。
【図13】従来の超音波式流体センサの内部構造を示す図である。
【図14】同じく従来の超音波式流体センサの内部構造を示す図である。
【符号の説明】
1…測定管、2a,2b…超音波送受信器、3…超音波伝播時間測定回路、4…演算回路、5a,5b…格納室、6(6a,6b,6c,6d、6e)…超音波伝播経路、7a,7b,7c…超音波導波壁(板)、8a,8b…超音波伝播用連通孔、9a,9b…ガス換気用連通孔、10a,10b…結露水排出用連通孔、11a,11b…遮音壁(板)、12…温度測定用孔、13…圧力測定用孔、14a、14b…超音波反射面、15…分割断面形成部材、17a,17b…位置決め用嵌合溝、18a,18b,18c,18d…位置決め用嵌合溝

Claims (11)

  1. 被測定流体が流れる測定管と、この測定管に対して凹んだ一対の格納室に音響的に対向して設けられる一対の超音波送受信器と、を備え、これら一対の超音波送受信器間の超音波伝播時間を測定し、この超音波伝播時間に基づき前記被測定流体の流量又は濃度の少なくとも一方を演算する超音波式流体センサにおいて、
    前記測定管は、前記被測定流体の流れ方向と平行に設けられる超音波導波壁によって上側、中央、下側の少なくとも3つに分割された流路を有し、これら3つの流路を前記一対の格納室と連通させ、中央の流路を略水平に配置して前記超音波が伝播する超音波伝播用流路として用い、上側及び下側の流路内には超音波の伝播を遮断する遮音壁を設ける、
    ことを特徴とする超音波式流体センサ。
  2. 前記超音波送受信器を、その送受信部が水平面に対して下方向に所定の角度を有するよう傾斜させて配置したことを特徴とする請求項1記載の超音波式流体センサ。
  3. 超音波を反射する反射面を前記超音波送受信器の下方に設け、
    前記超音波送受信器から送信した超音波が、前記反射面で反射してその経路を変更してから、前記中央の流路内を伝播するように構成したことを特徴とする請求項2記載の超音波式流体センサ。
  4. 前記超音波導波壁の間に、前記中央の流路を上下方向に分割する別の超音波導波壁を更に設けることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の超音波式流体センサ。
  5. 前記超音波導波壁は、その間隔が前記被測定流体中における前記超音波の波長以下となるように設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の超音波式流体センサ。
  6. 前記超音波導波壁の一部又は全てを、前記測定管に対して着脱可能に構成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の超音波式流体センサ。
  7. 前記遮音壁は、前記着脱可能に構成した超音波導波壁と一体に形成されていることを特徴とする請求項6記載の超音波式流体センサ。
  8. 前記測定管及び前記着脱可能に構成した超音波導波壁に、これら両者の相対関係位置を決定する位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項6又は請求項7記載の超音波式流体センサ。
  9. 前記測定管は、前記被測定流体が流入する入口側に対して、前記被測定流体が流出する出口側の方が低くなるように設けられることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の超音波式流体センサ。
  10. 前記測定管は、前記超音波伝播用流路内の温度又は圧力の少なくとも一方を測定するための測定孔を備えることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の超音波式流体センサ。
  11. 燃料電池システムに取り付けられ、この燃料電池システムの燃料ガスの流量又は濃度を計測することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1つに記載の超音波式流体センサ。
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