WO2016136368A1 - ガラスフィルムの割断方法 - Google Patents

Abstract

　搬送中の帯状ガラスフィルムＧをレーザー割断法によって連続的に割断することで、帯状ガラスフィルムＧの非有効部Ｇａと有効部Ｇｂとを分離させる割断分離工程と、分離後の非有効部Ｇａと有効部Ｇｂとを厚み方向に離反させる離反工程とを含んだガラスフィルムの割断方法について、離反工程の実行中に、有効部Ｇｂにおける幅方向に沿って相互に離間した二箇所に、それぞれ厚み方向成分を有する第一の外力Ｆ１を負荷すると共に、上記二箇所の間に位置する箇所に、第一の外力Ｆ１とは逆向きの厚み方向成分を有する第二の外力Ｆ２を負荷することにより、有効部Ｇｂを幅方向に沿って湾曲変形させる変形付与工程を実行する。

Description

ガラスフィルムの割断方法

　本発明は、搬送中の帯状ガラスフィルムの有効部と非有効部とをレーザー割断法を用いた割断によって分離させる工程と、分離後の有効部と非有効部とを厚み方向に離反させる工程とを含んだガラスフィルムの割断方法に関する。

　周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラスは、軽量化への要請の高まりに伴って薄板化が推進されており、その厚みが３００μｍ以下、或いは、２００μｍ以下にまで薄板化されたガラスフィルムが開発、製造されるに至っている。

　このガラスフィルムの製造工程として、ガラスフィルムの元となる帯状ガラスフィルムを平置き姿勢で搬送しつつ、その幅方向両端にそれぞれ存する非有効部と、両非有効部の間に存する有効部とを、レーザー割断法を用いた割断によって分離する工程（以下、割断分離工程と表記）がある。分離後の有効部と非有効部との両者に対しては、例えば、有効部のみをロール状に巻き取ってガラスロールとするべく、非有効部を有効部の搬送経路から離脱させ、両者を厚み方向に離反させる工程（以下、離反工程と表記）が実行される。

　ところで、割断分離工程を実行した後の有効部と非有効部との間には、極めて狭い幅の隙間しか存在しないことから、離反工程の実行中には、有効部と非有効部との不可避的な接触に起因して、有効部が破断してしまうような不具合を生じることがある。詳述すると、非有効部との接触で発生した衝撃により、有効部の幅方向端部に含まれたマイクロクラックが進展し、有効部が破断するに至る。そこで、このような不具合を解消するための方法が、特許文献１に開示されている。

　同文献に開示された方法では、分離後の有効部と非有効部との各々について、その幅方向両端部をそれぞれ下面側からローラーで支持し、有効部及び非有効部を自重で幅方向に沿って湾曲変形させている。これにより、有効部及び非有効部の湾曲変形に伴って、両者の間に形成される隙間の幅を拡張し、離反工程の実行中における有効部と非有効部との接触を回避している。

特開２０１２－３１０３１号公報

　しかしながら、特許文献１に開示された方法には、下記のような未だ解決すべき問題が残存している。すなわち、有効部及び非有効部の厚みが比較的大きい場合（例えば、厚みが２００μｍ以上）や、これらの幅寸法が小さい場合には、有効部及び非有効部の曲げ剛性が大きくなり、これらが自重で湾曲変形し難くなる。そのため、両者の間に形成される隙間の幅を、離反工程の実行中における両者の接触を回避するのに十分な幅まで拡張することが困難であった。

　上記の事情に鑑みなされた本発明は、搬送中の帯状ガラスフィルムの有効部と非有効部とをレーザー割断法を用いた割断によって分離した後、有効部と非有効部とを厚み方向に離反させる際に両者の接触を回避することを技術的課題とする。

　上記の課題を解決するために創案された本発明は、平置き姿勢で搬送中の帯状ガラスフィルムをレーザー割断法によって長手方向に沿って連続的に割断することで、帯状ガラスフィルムの幅方向両端にそれぞれ存する非有効部と、両非有効部の間に存する有効部とを分離させる割断分離工程と、分離後の非有効部を分離後の有効部の搬送経路から離脱させることで、非有効部と有効部とを厚み方向に離反させる離反工程とを含んだガラスフィルムの割断方法において、離反工程の実行中に、有効部における幅方向に沿って相互に離間した二箇所に、それぞれ厚み方向成分を有する第一の外力を負荷すると共に、上記二箇所の間に位置する箇所に、第一の外力とは逆向きの厚み方向成分を有する第二の外力を負荷することにより、有効部を幅方向に沿って湾曲変形させる変形付与工程を実行することに特徴付けられる。ここで、「平置き姿勢で搬送中」とは、帯状ガラスフィルムが水平面に対して平行な姿勢で搬送されている場合、又は、帯状ガラスフィルムが水平面に対して４５°以下の範囲内で傾斜した姿勢で搬送されている場合を意味する。また、「外力」には、重力を含まない。

　このような方法によれば、離反工程の実行中における有効部は、変形付与工程の実行に伴って、相互に逆向きの厚み方向成分を有する第一の外力と第二の外力とにより、幅方向に沿って強制的に湾曲変形させられる。これにより、有効部が幅方向に沿って湾曲変形した分だけ、有効部と非有効部との間に形成される隙間の幅を拡張することができる。その結果、離反工程の実行中における有効部と非有効部との接触を回避することが可能となる。

　上記の方法において、有効部の下面を支持する二つの支持ローラーの各々により、第一の外力を負荷すると共に、有効部の上面に向けて噴射した流体により、第二の外力を負荷してもよい。

　このようにすれば、二つの支持ローラーの各々から有効部に負荷される力と、噴射した流体によって有効部に負荷される力とにより、有効部の下面が幅方向に沿って凸となるように、有効部を湾曲変形させることができる。

　上記の方法において、有効部における流体が噴射された箇所の下面を支持し、且つ二つの支持ローラーよりも有効部を支持する高さ位置が下方となる中間ローラーを、二つの支持ローラーの相互間に配置することが好ましい。

　有効部の上面に向けて噴射される流体の圧力が過大となると、有効部の下面が過剰に突出した状態となって有効部が二つの支持ローラーから脱落してしまうおそれがある。しかしながら、二つの支持ローラーの相互間に中間ローラーを配置すれば、流体によって有効部に負荷される力がどれほど大きくなった場合であっても、有効部の下面の突出を中間ローラーによって制限することが可能となる。これにより、有効部を湾曲変形させるにあたって、噴射される流体の圧力を有効部の脱落を防止するべく精密に調整する必要がなくなる。

　上記の方法において、中間ローラーを、二つの支持ローラーと共通した回転軸を有し、且つ二つの支持ローラーよりも径の小さいローラーとしてもよい。

　このようにすれば、中間ローラーと二つの支持ローラーとが共通した回転軸を有することから、中間ローラーの回転軸と二つの支持ローラーの回転軸とを別々に設ける必要がなくなり、回転軸の本数の増加を回避することが可能である。従って、設備コストを抑制することができる。

　上記の方法において、二つの支持ローラー及び中間ローラーを、フリーローラーとすることが好ましい。

　二つの支持ローラーと中間ローラーとの三者の間で周速度に差異が生じた場合、支持ローラー上、或いは、中間ローラー上で有効部が滑り、当該有効部に擦り傷が発生するおそれがある。しかしながら、二つの支持ローラー及び中間ローラーをフリーローラーとすれば、二つの支持ローラーと中間ローラーとは、いずれも有効部との摩擦によって当該有効部の移動速度と等しい周速度でもって回転するようになる。従って、有効部における擦り傷の発生を防止することが可能である。

　上記の方法において、有効部の幅方向中央を基準として二つの支持ローラーを対称に配置すると共に、有効部の幅方向中央に向けて流体を噴射することが好ましい。

　このようにすれば、有効部が幅方向中央を基準として対称に湾曲変形する。これにより、有効部と一方の非有効部との間に形成される隙間の幅と、有効部と他方の非有効部との間に形成される隙間の幅とを均等に拡張することができる。また、有効部の幅方向両端部から離れた幅方向中央に向けて流体を噴射することから、幅方向両端部が流体の噴射に伴って揺動するような事態の発生が可及的に防止される。その結果、離反工程の実行中における有効部と非有効部との接触をより安定的に回避することが可能となる。

　上記の方法において、二つの支持ローラーに有効部の幅方向両端部をそれぞれ支持させることが好ましい。

　このようにすれば、第一の外力がそれぞれ負荷される二箇所の相互間の距離を可及的に長くすることができる。そのため、有効部を湾曲変形させやすくなる。

　上記の方法において、有効部の上面上の二箇所にそれぞれ噴射した流体により、第一の外力を負荷すると共に、有効部の下面を支持する支持ローラーにより、第二の外力を負荷してもよい。

　このようにすれば、二箇所にそれぞれ噴射された流体によって有効部に負荷される力と、支持ローラーから有効部に負荷される力とにより、有効部の上面が幅方向に沿って凸となるように、有効部を湾曲変形させることができる。

　上記の方法において、有効部における幅方向両端部をそれぞれ下面側から支持し、且つ支持ローラーよりも有効部を支持する高さ位置が下方となるエッジローラーを、支持ローラーを幅方向に挟んで一方側と他方側とにそれぞれ配置することが好ましい。

　有効部の上面上の二箇所にそれぞれ噴射される流体の圧力が過大となると、有効部が過剰に湾曲変形した状態（曲率が過剰に大きくなった状態）となり、この湾曲変形に伴って発生する応力によって有効部が破断してしまうおそれがある。しかしながら、支持ローラーを幅方向に挟んで一方側と他方側とにそれぞれエッジローラーを配置すれば、流体によって有効部に負荷される力がどれほど大きくなった場合であっても、有効部の過剰な湾曲変形を制限することが可能となる。これにより、有効部を湾曲変形させるにあたって、噴射される流体の圧力を有効部の破断を防止するべく精密に調整する必要がなくなる。

　上記の方法において、支持ローラー及びエッジローラーを、フリーローラーとすることが好ましい。

　支持ローラーとエッジローラーとの間で周速度に差異が生じた場合には、支持ローラー上、或いは、エッジローラー上で有効部が滑り、当該有効部に擦り傷が発生するおそれがある。しかしながら、支持ローラー及びエッジローラーをフリーローラーとすれば、支持ローラーとエッジローラーとは、いずれも有効部との摩擦によって当該有効部の移動速度と等しい周速度でもって回転するようになる。従って、有効部における擦り傷の発生を防止することが可能である。

　上記の方法において、有効部の幅方向中央を基準として流体が噴射される上記二箇所を対称な位置とすると共に、有効部の幅方向中央を支持ローラーに支持させることが好ましい。

　このようにすれば、有効部が幅方向中央を基準として対称に湾曲変形する。これにより、有効部と一方の非有効部との間に形成される隙間の幅と、有効部と他方の非有効部との間に形成される隙間の幅とを均等に拡張することができる。その結果、離反工程の実行中における有効部と非有効部との接触をより安定的に回避することが可能となる。

　上記の方法において、支持ローラーを、有効部の幅方向中央を基準として対称な形状を有し、且つ幅方向外側へと移行するに連れて漸次に径が縮小するローラーとすることが好ましい。

　このようにすれば、支持ローラーの径が幅方向外側へと移行するに連れて漸次に縮小していることから、幅方向中央を基準として対称に湾曲変形した有効部を、その湾曲に合わせて支持することができる。そのため、流体の噴射に伴った有効部の揺動を抑制することが可能となり、離反工程の実行中における有効部と非有効部との接触をさらに安定的に回避することができる。

　上記の方法において、有効部の下面を支持する二つの支持ローラーの各々により、第一の外力を負荷すると共に、有効部の下面を吸引することにより、第二の外力を負荷してもよい。

　このようにすれば、二つの支持ローラーの各々から有効部に負荷される力と、吸引によって有効部に負荷される力とにより、有効部の下面が幅方向に沿って凸となるように、有効部を湾曲変形させることが可能となる。

　上記の方法において、有効部の下面を吸引するための吸引孔を外周部に有し、且つ二つの支持ローラーよりも有効部を支持する高さ位置が下方となる中間ローラーを、二つの支持ローラーの相互間に配置することが好ましい。

　有効部の下面を吸引する吸引力が過大となると、有効部の下面が過剰に突出した状態となって有効部が二つの支持ローラーから脱落してしまうおそれがある。しかしながら、二つの支持ローラーの相互間に吸引孔を外周部に有する中間ローラーを配置すれば、吸引によって有効部に負荷される力がどれほど大きくなった場合であっても、有効部の下面の突出を、当該有効部を吸引する中間ローラー自身によって制限することができる。これにより、有効部を湾曲変形させるにあたって、噴射される流体の圧力を有効部の脱落を防止するべく精密に調整する必要がなくなる。

　上記の方法において、中間ローラーを、二つの支持ローラーと共通した回転軸を有し、且つ二つの支持ローラーよりも径の小さいローラーとしてもよい。

　このようにすれば、中間ローラーと二つの支持ローラーとが共通した回転軸を有することから、中間ローラーの回転軸と二つの支持ローラーの回転軸とを別々に設ける必要がなくなり、回転軸の本数の増加を回避することができる。従って、設備コストを抑制することが可能となる。

　上記の方法において、二つの支持ローラー及び中間ローラーを、フリーローラーとすることが好ましい。

　二つの支持ローラーと中間ローラーとの三者の間で周速度に差異が生じた場合、支持ローラー上、或いは、中間ローラー上で有効部が滑り、当該有効部に擦り傷が発生するおそれがある。しかしながら、二つの支持ローラー及び中間ローラーをフリーローラーとすれば、二つの支持ローラーと中間ローラーとは、いずれも有効部との摩擦によって当該有効部の移動速度と等しい周速度でもって回転するようになる。従って、有効部における擦り傷の発生を防止することができる。

　上記の方法において、有効部の幅方向中央を基準として二つの支持ローラーを対称に配置すると共に、有効部の幅方向中央を吸引することが好ましい。

　このようにすれば、有効部が幅方向中央を基準として対称に湾曲変形する。これにより、有効部と一方の非有効部との間に形成される隙間の幅と、有効部と他方の非有効部との間に形成される隙間の幅とを均等に拡張することが可能である。その結果、離反工程の実行中における有効部と非有効部との接触をより安定的に回避することができる。

　上記の方法において、二つの支持ローラーに有効部の幅方向両端部をそれぞれ支持させることが好ましい。

　このようにすれば、第一の外力がそれぞれ負荷される二箇所の相互間の距離を可及的に長くすることができる。そのため、有効部を湾曲変形させやすくなる。

　上記の方法において、有効部の下面上の二箇所をそれぞれ吸引することにより、第一の外力を負荷すると共に、有効部の下面を支持する支持ローラーにより、第二の外力を負荷してもよい。

　このようにすれば、二箇所をそれぞれ吸引することで有効部に負荷される力と、支持ローラーから有効部に負荷される力とにより、有効部の上面が幅方向に沿って凸となるように、有効部を湾曲変形させることが可能である。

　上記の方法において、前記帯状ガラスフィルムの厚みが２００μｍ～３００μｍの範囲内であってもよい。

　帯状ガラスフィルムの厚みが２００μｍ以上になると、割断分離工程を経た有効部の幅方向に沿った曲げ剛性が大きくなり、有効部が自重によって湾曲変形し難くなる。しかしながら、本発明によれば、帯状ガラスフィルムの厚みが２００μｍ以上である場合でも、第一の外力と第二の外力とにより、割断分離工程を経た有効部を幅方向に沿って強制的に湾曲変形させることができる。そのため、帯状ガラスフィルムが上記の厚みを有する場合に本発明を適用することが好適である。

　以上のように、本発明によれば、搬送中の帯状ガラスフィルムの有効部と非有効部とをレーザー割断法を用いた割断によって分離した後、有効部と非有効部とを厚み方向に離反させる際に両者の接触を回避することが可能である。

本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す平面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す縦断正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す正面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す縦断正面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す正面図である。 本発明の第三実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す縦断正面図である。 本発明の第四実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す縦断正面図である。

　以下、本発明の実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態においては、厚みが２００μｍ～３００μｍの帯状ガラスフィルムを割断の対象としているが、この限りではなく、厚みが２００μｍ未満の帯状ガラスフィルムを割断の対象としてもよい。

＜第一実施形態＞
　まず、本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について説明する。

　図１に示すように、本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法は、平置き姿勢で搬送中の帯状ガラスフィルムＧをレーザー割断法によって長手方向に沿って連続的に割断することで、帯状ガラスフィルムＧの幅方向両端にそれぞれ存する非有効部Ｇａと、両非有効部Ｇａの間に存する有効部Ｇｂとを分離させる割断分離工程と、分離後の非有効部Ｇａを分離後の有効部Ｇｂの搬送経路から離脱させることで、非有効部Ｇａと有効部Ｇｂとを厚み方向（上下）に離反させる離反工程とを含んでいる。

　また、図２に示すように、このガラスフィルムの割断方法においては、離反工程の実行中に、有効部Ｇｂにおける幅方向に沿って相互に離間した二箇所に、それぞれ厚み方向成分を有する第一の外力Ｆ１を負荷すると共に、上記二箇所の間に位置する箇所に、第一の外力Ｆ１とは逆向きの厚み方向成分を有する第二の外力Ｆ２を負荷することにより、有効部Ｇｂを幅方向に沿って湾曲変形させる変形付与工程を実行する。この変形付与工程の実行により、有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの間に形成される隙間の幅を拡張して、離反工程の実行中における有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの接触を回避する。変形付与工程（離反工程）後の有効部Ｇｂは、ロール状に巻き取ってガラスロールとする。

　割断分離工程において割断の対象となる帯状ガラスフィルムＧは、当該帯状ガラスフィルムＧをロール状に巻き取ったガラスロールから連続的に巻き外したものである。そして、この巻き外した帯状ガラスフィルムＧを、搬送手段（例えば、ベルトコンベア等）を用いて図１に矢印Ｔで示す方向に向けて水平に搬送している。なお、帯状ガラスフィルムＧの厚みは２００μｍ～３００μｍの範囲内となっている。

　割断分離工程では、帯状ガラスフィルムＧの有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの境界となる割断予定線Ｘに沿って、レーザーの照射により局所的に加熱された加熱領域Ｈと、冷媒（例えば、霧状の水等）の噴射により局所的に冷却された冷却領域Ｃとを連続的に形成していく。これにより、両領域の温度差によって発生した熱応力を用いて帯状ガラスフィルムＧを連続的に割断し、当該帯状ガラスフィルムＧの有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとを分離する。なお、分離後の有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの両者は、並列にした状態で水平に搬送している。

　ここで、本実施形態においては、ガラスロールから連続的に巻き外した帯状ガラスフィルムＧを割断の対象としているが、この限りではない。例えば、変形例として、ダウンドロー法によって連続的に成形された帯状ガラスフィルムＧを割断の対象としてもよい。また、本実施形態では、水平に搬送される帯状ガラスフィルムＧを割断する態様となっているが、変形例として、水平面に対して４５°以下の範囲内で傾斜した傾斜方向に搬送される帯状ガラスフィルムＧを割断する態様としてもよい。しかしながら、水平面に対する傾斜は小さいほどよく、好ましくは水平面に対して２０°以下、より好ましくは１０°以下、さらに好ましくは５°以下とする。

　離反工程では、分離後に並列な状態で水平に搬送される有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとのうち、有効部Ｇｂを継続して水平に搬送すると共に、非有効部Ｇａを有効部Ｇｂの搬送経路から下方へと引き出して離脱させる。これにより、有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとを厚み方向に離反させる。

　ここで、分離後の有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとを厚み方向に離反させる態様は、本実施形態のような態様に限られるものではない。例えば、変形例として、水平面に対して傾斜した傾斜方向に搬送しつつ、帯状ガラスフィルムＧを割断して有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとを分離させたような場合には、以下のような態様によって離反工程を実行してもよい。すなわち、有効部Ｇｂを継続して傾斜方向に搬送すると共に、非有効部Ｇａを有効部Ｇｂの搬送経路から水平に引き出して離脱させ、有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとを厚み方向に離反させてもよい。

　変形付与工程を実行する際の有効部Ｇｂに対しては、当該有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを支持する二つの支持ローラー１の各々によって第一の外力Ｆ１を負荷すると共に、有効部Ｇｂの上面Ｇｂａに向けて噴射した流体としてのエアーＡによって第二の外力Ｆ２を負荷する。これにより、有効部Ｇｂの搬送経路上における二つの支持ローラー１の近傍において、有効部Ｇｂを自重によらず幅方向に沿って強制的に湾曲変形させる。そして、有効部Ｇｂが湾曲変形している間に、上記の離反工程の実行に伴って非有効部Ｇａを有効部Ｇｂの搬送経路から離脱させる。

　二つの支持ローラー１の相互間には、有効部ＧｂにおけるエアーＡが噴射された箇所の下面Ｇｂｂを支持し、且つ二つの支持ローラー１よりも有効部Ｇｂを支持する高さ位置が下方となる中間ローラー２を配置している。また、変形付与工程を実行する際、有効部Ｇｂの搬送経路から離脱させる前の非有効部Ｇａは、ローラー３によって支持している。

　二つの支持ローラー１及び中間ローラー２は、割断分離工程においてレーザー割断法を実行する位置（加熱領域Ｈ及び冷却領域Ｃが帯状ガラスフィルムＧに形成される位置）から、有効部Ｇｂの搬送経路に沿って下流側に離間した位置に配置されている。なお、レーザー割断法を実行する位置から、二つの支持ローラー１及び中間ローラー２までの距離は、有効部Ｇｂの湾曲変形に伴って当該有効部Ｇｂに作用する応力が、レーザー割断法を実行する位置まで伝播しない距離とすることが好ましい。

　二つの支持ローラー１は、有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを基準として対称に配置されており、有効部Ｇｂの幅方向における一方側、及び他方側の端部Ｇｂｄをそれぞれ支持している。これにより、二つの支持ローラー１の各々から有効部Ｇｂに第一の外力Ｆ１（有効部Ｇｂを支持する力）が負荷される。中間ローラー２は、有効部Ｇｂの幅方向に沿って長尺なローラーとされると共に、二つの支持ローラー１よりも径の小さいローラーとされている。二つの支持ローラー１と中間ローラー２との両者は、いずれもフリーローラーとされており、有効部Ｇｂとの摩擦によって回転する。さらに、二つの支持ローラー１と中間ローラー２とは、共通した回転軸４を有している。

　エアーＡは、エアー噴射器５から有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃに向けて噴射している。これにより、エアーＡによって有効部Ｇｂに第二の外力Ｆ２（有効部Ｇｂを下方へと押圧する力）が負荷される。エアー噴射器５は、有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃの上方において一基のみが配置されている。なお、本実施形態においては、第二の外力Ｆ２と、上記の第一の外力Ｆ１とにより、有効部Ｇｂが幅方向中央Ｇｂｃを基準として対称に湾曲変形する。

　ローラー３は、支持ローラー１に対して幅方向外側に配置されると共に、回転軸６の周りを回転するフリーローラーとされている。回転軸６は、二つの支持ローラー１及び中間ローラー２の回転軸４と同一な高さ位置に配置されている。また、ローラー３の径は、支持ローラー１の径よりも小さくなっており、中間ローラー２の径と同一な大きさとされている。これにより、支持ローラー１によって支持される有効部Ｇｂ（端部Ｇｂｄ）と、ローラー３によって支持される非有効部Ｇａとの間に、両ローラー１，３間の径の大きさの差異に起因して高低差が生じるため、有効部Ｇｂ（端部Ｇｂｄ）と非有効部Ｇａとの接触をより回避しやすくなる。

　なお、図３に示すように、二つの支持ローラー１及び中間ローラー２を正面視した場合に、中間ローラー２の頂部（有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂと接触する部位）における中点と、支持ローラー１における有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂとの接触点との両点を結ぶ直線が、水平線に対して傾斜した角度θ１の大きさは、以下のような範囲内とすることが好ましい。すなわち、角度θ１が小さすぎると、有効部Ｇｂが幅方向に沿って十分に湾曲変形せず、有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの間に形成される隙間の幅を十分に拡張できないおそれがある。一方、角度θ１が大きすぎると、幅方向に沿って湾曲変形した有効部Ｇｂの曲率が大きくなり、有効部Ｇｂの湾曲変形に伴って当該有効部Ｇｂに作用する応力が、レーザー割断法を実行する位置まで伝播するおそれが高まる。そのため、角度θ１は、好ましくは０．５°～５°とし、より好ましくは０．７°～３°とし、最も好ましくは１°～２°とする。

　ここで、本実施形態においては、流体としてのエアーＡを有効部Ｇｂの上面Ｇｂａに向けて噴射することにより、第二の外力Ｆ２を有効部Ｇｂに負荷しているが、この限りではない。変形例として、他の気体や液体を噴射することにより、有効部Ｇｂに第二の外力Ｆ２を負荷してもよい。また、エアーＡを噴射する箇所は、必ずしも有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃでなくともよく、有効部Ｇｂにおいて二つの支持ローラー１の相互間に位置する箇所であればよい。従って、変形例として、有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃからずれた箇所に向けてエアーＡを噴射してもよい。さらに、変形例として、エアー噴射器５は複数配置してもよく、複数のエアー噴射器５によって有効部Ｇｂの複数箇所（二つの支持ローラー１の相互間に位置する複数箇所）に向けてエアーＡを噴射してもよい。この場合、有効部Ｇｂには複数の第二の外力Ｆ２が負荷される。

　また、本実施形態では、中間ローラー２が幅方向に沿って長尺なローラーとされているが、この限りではない。中間ローラー２は、有効部ＧｂにおけるエアーＡが噴射された箇所の下面Ｇｂｂを支持できさえすればよい。従って、変形例として、中間ローラー２を幅方向に沿って短尺なローラーとして、エアーＡが噴射された箇所の下面Ｇｂｂのみを支持させてもよい。さらに、二つの支持ローラー１及び中間ローラー２は、必ずしもフリーローラーでなくともよく、変形例として、駆動ローラーを使用してもよい。この場合、有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂに擦り傷が発生することを防止するため、二つの支持ローラー１と中間ローラー２との間で、周速度を同一な速度とすることが好ましい。加えて、二つの支持ローラー１の各々が支持する箇所は、有効部Ｇｂの幅方向の一方側、及び他方側の端部Ｇｂｄでなくともよく、変形例として、端部Ｇｂｄから幅方向内側へとずれた箇所であってもよい。

　また、本実施形態では、有効部Ｇｂ（端部Ｇｂｄ）と非有効部Ｇａとの接触を回避しやすくするため、有効部Ｇｂ（端部Ｇｂｄ）と非有効部Ｇａとの間に高低差を生じさせている。そして、この目的のために、二つの支持ローラー１及び中間ローラー２の回転軸４と、ローラー３の回転軸６とを同一な高さ位置に配置した上で、ローラー３の径を支持ローラー１の径よりも小さくして、中間ローラー２の径と同一な大きさとしている。しかしながら、この限りではなく、有効部Ｇｂ（端部Ｇｂｄ）と非有効部Ｇａとの間に高低差を生じさせるにあたっては、支持ローラー１が有効部Ｇｂ（端部Ｇｂｄ）を支持する高さ位置に対してローラー３が非有効部Ｇａを支持する高さ位置を低くしさえすればよい。そのため、例えば、本実施形態とは異なり、ローラー３の径を中間ローラー２の径よりもさらに小さくしてもよい。また、例えば、支持ローラー１の径とローラー３の径とを同一な大きさとして、二つの支持ローラー１及び中間ローラー２の回転軸４よりもローラー３の回転軸６が下方に位置するように、両ローラー１，３を配置してもよい。

　この第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法によれば、離反工程の実行中における有効部Ｇｂは、変形付与工程の実行に伴って、相互に逆向きの厚み方向成分を有する第一の外力Ｆ１と第二の外力Ｆ２とにより、幅方向に沿って強制的に湾曲変形させられる。これにより、有効部Ｇｂが幅方向に沿って湾曲変形した分だけ、有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの間に形成される隙間の幅を拡張することができる。その結果、離反工程の実行中における有効部Ｇｂと非有効部Ｇａとの接触を回避することが可能となる。

＜第二実施形態＞
　以下、本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について説明する。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した要素については、第二実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。

　図４に示すように、本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法が、上記の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と相違している点は、下記の三点である。（１）変形付与工程において、有効部Ｇｂの上面Ｇｂａ上の二箇所にそれぞれエアーＡを噴射することにより、第一の外力Ｆ１を負荷すると共に、有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを支持する支持ローラー１により、第二の外力Ｆ２を負荷している点。（２）支持ローラー１の形状、及び配置が異なっている点。（３）有効部Ｇｂにおける幅方向の一方側、及び他方側の端部Ｇｂｄをそれぞれ下面Ｇｂｂ側から支持するエッジローラー７を、支持ローラー１を幅方向に挟んで一方側と他方側とにそれぞれ配置している点。

　エアーＡがそれぞれ噴射される二箇所は、有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを基準として対称な位置となっている。そして、この二箇所に噴射されたエアーＡの各々によって有効部Ｇｂに第一の外力Ｆ１（有効部Ｇｂを下方へと押圧する力）が負荷される。

　支持ローラー１は、有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを基準として対称な形状を有し、且つ幅方向外側へと移行するに連れて漸次に径が縮小するローラーとなっている。この支持ローラー１は、その径が最大となる中央部一箇所で有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを支持している。これにより、支持ローラー１（支持ローラー１の中央部）から有効部Ｇｂに第二の外力Ｆ２（有効部Ｇｂを支持する力）が負荷される。なお、支持ローラー１は、フリーローラーとされており、有効部Ｇｂとの摩擦によって回転する。

　エッジローラー７は、支持ローラー１よりも有効部Ｇｂを支持する高さ位置が下方とされている。また、エッジローラー７の径は、支持ローラー１の中央部の径よりも小さくされると共に、ローラー３の径と同一な大きさとされている。さらに、エッジローラー７は、支持ローラー１と同様にフリーローラーとされており、有効部Ｇｂとの摩擦によって回転する。なお、支持ローラー１とエッジローラー７とは、共通した回転軸８を有している。この回転軸８は、ローラー３の回転軸と同一な高さ位置に配置されている。

　なお、図５に示すように、支持ローラー１及び二つのエッジローラー７を正面視した場合に、支持ローラー１の中央部における有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂとの接触点と、エッジローラー７における有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂとの接触点との両点を結ぶ直線が、水平線に対して傾斜した角度θ２の大きさは、以下のような範囲内とすることが好ましい。すなわち、上記の第一実施形態の説明で角度θ１について好ましい大きさを示した理由と同様の理由により、好ましくは０．５°～５°とし、より好ましくは０．７°～３°とし、最も好ましくは１°～２°とする。

　ここで、本実施形態においては、支持ローラー１が、その中央部で有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを支持する態様となっているが、この限りではない。変形例として、支持ローラー１において中央部からずれた位置に径が最大となる箇所を設け、支持ローラー１が有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃからずれた箇所を支持する態様としてもよい。また、変形例として、支持ローラー１が有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを支持する箇所を複数箇所としてもよい。この場合、有効部Ｇｂには複数の第二の外力Ｆ２が負荷される。

　この第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法によっても、上記の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と同一の作用・効果を得ることが可能である。

＜第三実施形態＞
　以下、本発明の第三実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について説明する。なお、この第三実施形態の説明においても、上記の第一実施形態で既に説明した要素については、第三実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。

　図６に示すように、本発明の第三実施形態に係るガラスフィルムの割断方法が、上記の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と相違している点は、下記の二点である。（１）変形付与工程において、有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを吸引することによって第二の外力Ｆ２を負荷している点。（２）中間ローラー２が外周部（図６においてクロスハッチングを施した箇所）に有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを吸引するための吸引孔を有している点。

　中間ローラー２は、その外周部に多数の吸引孔が形成されており、各吸引孔は負圧を発生させるための負圧発生手段（例えば、真空ポンプ等）と繋がっている。そして、負圧発生手段の稼働に伴って、多数の吸引孔が有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを吸引する。この吸引によって有効部Ｇｂに第二の外力Ｆ２（有効部Ｇｂを下方に吸引する力）が負荷される。なお、多数の吸引孔は中間ローラー２の中央部一箇所に配置されており、多数の吸引孔は有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを吸引する。

　ここで、本実施形態においては、中間ローラー２の外周部に形成された多数の吸引孔が有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを吸引する態様となっているが、この限りではない。変形例として、多数の吸引孔を中間ローラー２の中央部からずれた箇所に配置して、多数の吸引孔が有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃからずれた箇所を吸引する態様としてもよい。また、変形例として、多数の吸引孔を有効部Ｇｂの幅方向に沿って中間ローラー２の複数箇所に配置して、有効部Ｇｂの複数箇所を吸引する態様としてもよい。この場合、有効部Ｇｂには複数の第二の外力Ｆ２が負荷される。

　この第三実施形態に係るガラスフィルムの割断方法によっても、上記の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と同一の作用・効果を得ることが可能である。

＜第四実施形態＞
　以下、本発明の第四実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について説明する。この第四実施形態は、上記の第二実施形態と類似した態様であるため、第四実施形態の説明において、上記の第二実施形態で既に説明した要素については、第四実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことで重複する説明を省略し、第二実施形態との相違点についてのみ説明する。

　図７に示すように、本発明の第四実施形態に係るガラスフィルムの割断方法が、上記の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と相違している点は、下記の二点である。（１）有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂ上の二箇所をそれぞれ吸引することにより、第一の外力Ｆ１を負荷している点。（２）支持ローラー１が外周部（図７においてクロスハッチングを施した箇所）に有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを吸引するための吸引孔を有している点。

　支持ローラー１は、その外周部の二箇所にそれぞれ多数の吸引孔が形成されており、各吸引孔は負圧を発生させるための負圧発生手段（例えば、真空ポンプ等）と繋がっている。そして、負圧発生手段の稼働に伴って、多数の吸引孔が有効部Ｇｂの下面Ｇｂｂを吸引する。この吸引によって有効部Ｇｂの二箇所にそれぞれ第一の外力Ｆ１（有効部Ｇｂを下方に吸引する力）が負荷される。なお、支持ローラー１において、多数の吸引孔が形成された二箇所は、有効部Ｇｂの幅方向中央Ｇｂｃを基準として対称に配置されている。

　この第四実施形態に係るガラスフィルムの割断方法によっても、上記の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と同一の作用・効果を得ることが可能である。

　ここで、本発明に係るガラスフィルムの割断方法は、上記の各実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の第一及び第三実施形態の変形例として、中間ローラーは、二つの支持ローラーと同一な径を有し、且つ二つの支持ローラーよりも下方に配置されたローラーとしてもよい。

　１　　　　　支持ローラー
　２　　　　　中間ローラー
　４　　　　　回転軸
　７　　　　　エッジローラー
　８　　　　　回転軸
　Ｇ　　　　　帯状ガラスフィルム
　Ｇａ　　　　非有効部
　Ｇｂ　　　　有効部
　Ｇｂａ　　　上面
　Ｇｂｂ　　　下面
　Ｇｂｃ　　　幅方向中央
　Ｇｂｄ　　　端部
　Ａ　　　　　エアー
　Ｆ１　　　　第一の外力
　Ｆ２　　　　第二の外力

Claims (20)

1. 　平置き姿勢で搬送中の帯状ガラスフィルムをレーザー割断法によって長手方向に沿って連続的に割断することで、前記帯状ガラスフィルムの幅方向両端にそれぞれ存する非有効部と、両非有効部の間に存する有効部とを分離させる割断分離工程と、
   　分離後の前記非有効部を分離後の前記有効部の搬送経路から離脱させることで、前記非有効部と前記有効部とを厚み方向に離反させる離反工程とを含んだガラスフィルムの割断方法において、
   　前記離反工程の実行中に、前記有効部における幅方向に沿って相互に離間した二箇所に、それぞれ厚み方向成分を有する第一の外力を負荷すると共に、前記二箇所の間に位置する箇所に、前記第一の外力とは逆向きの厚み方向成分を有する第二の外力を負荷することにより、前記有効部を幅方向に沿って湾曲変形させる変形付与工程を実行することを特徴とするガラスフィルムの割断方法。
2. 　前記有効部の下面を支持する二つの支持ローラーの各々により、前記第一の外力を負荷すると共に、前記有効部の上面に向けて噴射した流体により、前記第二の外力を負荷することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
3. 　前記有効部における前記流体が噴射された箇所の下面を支持し、且つ前記二つの支持ローラーよりも前記有効部を支持する高さ位置が下方となる中間ローラーを、前記二つの支持ローラーの相互間に配置することを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルムの割断方法。
4. 　前記中間ローラーを、前記二つの支持ローラーと共通した回転軸を有し、且つ該二つの支持ローラーよりも径の小さいローラーとすることを特徴とする請求項３に記載のガラスフィルムの割断方法。
5. 　前記二つの支持ローラー及び前記中間ローラーを、フリーローラーとすることを特徴とする請求項３又は４に記載のガラスフィルムの割断方法。
6. 　前記有効部の幅方向中央を基準として前記二つの支持ローラーを対称に配置すると共に、前記有効部の幅方向中央に向けて前記流体を噴射することを特徴とする請求項２～５のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
7. 　前記二つの支持ローラーに前記有効部の幅方向両端部をそれぞれ支持させることを特徴とする請求項２～６のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
8. 　前記有効部の上面上の二箇所にそれぞれ噴射した流体により、前記第一の外力を負荷すると共に、前記有効部の下面を支持する支持ローラーにより、前記第二の外力を負荷することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
9. 　前記有効部における幅方向両端部をそれぞれ下面側から支持し、且つ前記支持ローラーよりも前記有効部を支持する高さ位置が下方となるエッジローラーを、前記支持ローラーを幅方向に挟んで一方側と他方側とにそれぞれ配置することを特徴とする請求項８に記載のガラスフィルムの割断方法。
10. 　前記支持ローラー及び前記エッジローラーを、フリーローラーとしたことを特徴とする請求項９に記載のガラスフィルムの割断方法。
11. 　前記有効部の幅方向中央を基準として前記流体が噴射される前記二箇所を対称な位置とすると共に、前記有効部の幅方向中央を前記支持ローラーに支持させることを特徴とする請求項８～１０のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
12. 　前記支持ローラーを、前記有効部の幅方向中央を基準として対称な形状を有し、且つ幅方向外側へと移行するに連れて漸次に径が縮小するローラーとすることを特徴とする請求項１１に記載のガラスフィルムの割断方法。
13. 　前記有効部の下面を支持する二つの支持ローラーの各々により、前記第一の外力を負荷すると共に、前記有効部の下面を吸引することにより、前記第二の外力を負荷することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
14. 　前記有効部の下面を吸引するための吸引孔を外周部に有し、且つ前記二つの支持ローラーよりも前記有効部を支持する高さ位置が下方となる中間ローラーを、前記二つの支持ローラーの相互間に配置することを特徴とする請求項１３に記載のガラスフィルムの割断方法。
15. 　前記中間ローラーを、前記二つの支持ローラーと共通した回転軸を有し、且つ該二つの支持ローラーよりも径の小さいローラーとすることを特徴とする請求項１４に記載のガラスフィルムの割断方法。
16. 　前記二つの支持ローラー及び前記中間ローラーを、フリーローラーとすることを特徴とする請求項１４又は１５に記載のガラスフィルムの割断方法。
17. 　前記有効部の幅方向中央を基準として前記二つの支持ローラーを対称に配置すると共に、前記有効部の幅方向中央を吸引することを特徴とする請求項１３～１６のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
18. 　前記二つの支持ローラーに前記有効部の幅方向両端部をそれぞれ支持させることを特徴とする請求項１３～１７のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
19. 　前記有効部の下面上の二箇所をそれぞれ吸引することにより、前記第一の外力を負荷すると共に、前記有効部の下面を支持する支持ローラーにより、前記第二の外力を負荷することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
20. 　前記帯状ガラスフィルムの厚みが２００μｍ～３００μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１～１９のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。

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