Beschreibung
Verzugsarme keramische Trägerplatte und Verfahren zur
Herstellung
Die Erfindung betrifft eine keramische Trägerplatte, die eine darin integrierte passive Komponente umfassen kann und die als Substrat zur Montage eines elektrischen Bauelements dienen kann. Weiter betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung der Trägerplatte.
Bekannte keramische Trägerplatten weisen zumindest eine
Funktionsschicht auf, die eine Funktionskeramik umfasst, in der ein elektrisches Bauelement realisiert ist oder
realisiert werden kann. Solche Funktionskeramiken können ausgewählt sein aus Varistorkeramik oder anderen
Elektrokeramiken wie Ferrit, piezoelektrische Keramik,
Thermistormaterialien, ausgewählt aus NTC und PTC,
dielektrische Keramik für Mehrschichtkondensatoren (MLCC) , LTCC-Keramik (MCM) und andere.
Die Trägerplatten werden durch Sintern eines Grünlings hergestellt, welcher bereits strukturierte Elektroden oder grüne strukturierte Elektrodenschichten umfasst. Zur
Beibehaltung der Strukturgenauigkeit von Elektroden und
Schnittstellen ist es daher vorteilhaft, wenn der Grünling beim Sintern einen nur geringen lateralen Schwund aufweist.
Es sind verschiedene Möglichkeiten zur Reduzierung des lateralen Schwunds bekannt. Eine Möglichkeit besteht darin, auf den Grünling während des Sinterns eine Kraft senkrecht zur Schichtebene auszuüben, um den Schwund überwiegend in dieser Richtung zu forcieren. Eine weitere Möglichkeit
besteht darin, eine Spannschicht vorzusehen, die mit dem Grünling für die Funktionskeramik verbunden ist, die aufgrund der Adhäsionswirkung mit dem Grünling den lateralen Schwund beim Sintern reduziert. Die Spannschicht verbleibt nach dem Sinterprozess integraler Bestandteil der Trägerplatte.
Möglich ist es jedoch auch, die Spannschicht als Opferschicht auszuführen, die mit dem Grünling gesintert wird und nach dem Sinterprozess von dem Substrat entfernt wird.
Insbesondere für das zweite und dritte Verfahren ist es wichtig, dass zwischen der Spannschicht und der
Funktionsschicht bzw. dem Grünling ein ausreichend fester Verbund erzeugt wird, was aber aufgrund der unterschiedlichen Keramiken schwierig zu erreichen ist.
Bekannte Verfahren nutzen Spannschichten und/oder
Funktionsschichten, die zumindest an der Oberfläche einen Glasanteil von mehr als 5% beinhalten. Erst durch den
Glasanteil wird die Haftung der nicht sinternden Spannschicht mit der späteren Funktionskeramik sichergestellt. Wählt man den Glasanteil in den Schichtbereichen beiderseits der der Verbindungsebene kleiner als zum Beispiel 5 Gew.%, ist die Haftung der Schichten während des Sinterns nicht gewähr- leistet und es kommt regelmäßig zu Delaminationen der beiden Schichten und in der Folge zur Substratdeformationen, was insgesamt einen erhöhten Ausschuss bei der Herstellung verursacht . Nachteilig an der Glasbeimischung ist jedoch, dass diese eine Degradation der elektrischen oder dielektrischen Eigenschaften der Funktionskeramik bewirkt. Dies ist zum einen auf die nicht reine, weil glashaltige Funktionsschicht
zurückzuführen, die die Funktion der Funktionskeramik unzulässig stark degradieren kann. Darüber hinaus können einige Glasbestandteile diffundieren und eine chemische
Veränderung der Schicht der Funktionskeramik bewirken, die ebenfalls eine Degradation zur Folge hat.
Verwendet man eine feste Spannschicht, mithin eine fertige Keramik oder einen fertigen Kristall, auf den der Grünling für die Funktionsschicht aufgebracht wird, so ist es in wenigen Fällen möglich, Materialkombinationen zu finden, die eine gute Haftung zueinander aufweisen. Die möglichen
Materialkombinationen sind jedoch in der Anzahl sehr begrenzt und es lassen sich nicht alle Funktionsschichten auf diese Weise verspannen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine
Trägerplatte anzugeben, deren Spannschicht und Funktions¬ schicht gut aneinander haften und so nach dem Sintern einen stark reduzierten lateralen Schwund aufweisen. Die gute
Adhäsion von Spann- und Funktionsschicht soll ohne
Verschlechterung der elektrischen oder dielektrischen
Eigenschaften der Funktionsschichten erfolgen können. Eine weitere Aufgabe besteht darin, ein Verfahren zur Herstellung der Trägerplatte anzugeben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Trägerplatte mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sowie ein Verfahren zur
Herstellung der Trägerplatte sind weiteren Ansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung löst das Problem der Adhäsion zwischen
Funktionsschicht und Spannschicht mit Hilfe einer dazwischen
angeordneten Verbindungsschicht. Funktionsschicht und Spann¬ schicht sind glasfrei ausgebildet oder weisen einen nur geringen Glasanteil von weniger als 5 Gew. % auf, der in der Regel noch keine Degradation der elektrischen Eigenschaften der Funktionsschicht bzw. der in der Funktionsschicht vor¬ liegenden Funktionskeramik bewirkt. Die Verbindungsschicht ist selbst eine Glasschicht oder umfasst glasbildende
Komponenten, im Folgenden auch als Glaskomponenten
bezeichnet, wie Oxide, die sich im Sinterprozess zu Glas umwandeln.
Eine solche Trägerplatte kann mit nur geringem lateralem Sinterschwund und verzugsarm hergestellt werden, da die
Verbindungsschicht eine gute Haftung zwischen
Funktionsschicht und Spannschicht gewährleistet. Die
erfindungsgemäße Trägerplatte hat den Vorteil, dass durch die Verbindungsschicht die elektrischen Eigenschaften der
Funktionsschicht nicht tangiert und daher auch nicht
verschlechtert werden.
Die Verbindungsschicht weist eine Schichtdicke von ca. 0,5 bis 10 ym auf. Bereits mit dieser relativ geringen
Schichtdicke wird garantiert, dass die Glaskomponente auch bei grober Oberflächenstruktur von Funktionsschicht und/oder Spannschicht die keramischen Körner der beiden Schichten vollständig umgeben kann. Dies gewährleistet eine maximale gemeinsame Oberfläche (Interface) und daher eine maximale Haftung . Die Verbindungsschicht weist weiterhin einen angepassten thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf, der vorzugsweise zwischen dem der Spannschicht und dem der Funktionsschicht liegt. Wird die Spannschicht als Opferschicht eingesetzt und
später wieder entfernt, wird der thermische
Ausdehnungskoeffizient der Verbindungsschicht vorteilhaft kleiner oder gleich dem Ausdehnungskoeffizient der
Funktionsschicht gewählt.
Sowohl Fließeigenschaft als auch thermischer Ausdehnungs¬ koeffizient der Verbindungsschicht können durch Zusatz ausgewählter Füllstoffpartikel eingestellt werden.
Vorteilhafte Füllstoffe können z. B. aus dem gleichen
Material wie die Spannschicht ausgewählt sein. Dies
gewährleistet eine gute Anpassung an den Ausdehnungs¬ koeffizienten der Funktionsschicht bzw. der Spannschicht. Füllstoffe können auch zum Einstellen anderer physikalischer Eigenschaften der Verbindungsschicht dienen.
Die Glaskomponente bzw. Glaskomponenten liegen in der
Verbindungsschicht vor dem Sintern als feine Glaspartikel oder als Glas bildende Oxide vor. Weiterhin ist die
Verbindungsschicht vorzugsweise frei von beweglichen Ionen, die in die Funktionsschicht eindiffundieren und
möglicherweise eine Degradation deren Eigenschaften
hervorrufen könnten. Dies ist besonders zu beachten, wenn die Funktionsschicht eine Varistorkeramik ist und insbesondere, wenn sie mit Praseodym dotiert ist.
Der Schmelzpunkt der Verbindungsschicht kann im Bereich der Funktionsschicht liegen, ist normalerweise aber geringer als der Schmelzpunkt der Funktionsschicht. Eine zu große
Differenz im Schmelzpunkt ist aber nachteilig.
Weiterhin ist die Verbindungsschicht aus einem Material, welches während des Sinterprozesses kontrolliert verfließt. Für eine ausreichend gute Adhäsionswirkung ist es auch nicht
erforderlich, dass die Verbindungsschicht die Oberflächen von Spannschicht und Funktionsschicht vollständig benetzt. Die Benetzungseigenschaft kann daher reduziert sein, ohne dass sich die Adhäsion dabei zu stark reduziert.
Die Verbindungsschicht enthält vorzugsweise Glaskomponenten für ein Borsilikatglas, welches sich durch einen niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten CTE auszeichnet und elastoplastische Eigenschaften aufweist. Letztere ermöglichen es, dass sich beim Abkühlen keine zu großen thermischen
Verspannungen innerhalb der Verbindungsschicht ausbilden. Die Glaskomponenten weisen daher als Hauptbestandteile vorzugs¬ weise Oxide von Silizium und/oder Germanium, Bor und Kalium oder anderen Alkali-Metallen auf. Die Glaskomponenten der Verbindungsschicht können ausschließlich aus den genannten Inen und Oxiden ausgewählt sein. Andere Ionen sind jedoch ebenfalls möglich, sofern sie die Eigenschaften des
Borsilikatglases nicht unzulässig ändern und dabei auch nicht die elektrischen Eigenschaften der Funktionskeramik
degradieren.
Die genannten Hauptbestandteile umfassen zumindest 70 Gew.% der Verbindungsschicht. Daneben können noch feste
hochsinternde Füllstoffe den auf 100 Gew.% fehlenden Anteil bilden. Mit einem solchen Glasanteil oder Glaskomponentenanteil und einer solchen Obergrenze für den Füllstoffanteil kann die Verbindungsschicht eine gute mechanische Verbindung zwischen der Spannschicht und der Funktionsschicht
garantieren .
Umfasst die Trägerplatte eine Varistorkeramik, die besonders gegen Eindiffusion bestimmter Ionen empfindlich ist und deren elektrische Eigenschaften daraufhin degradieren könnten, sind
die Verbindungsschicht bzw. die dafür eingesetzten Gläser und Glaskomponenten vorzugsweise im Wesentlichen frei von
Aluminium, Gallium, Chrom und Titan. Unter Umständen ist jedoch auch ein Aluminiumanteil zulässig, sofern die
Sintertemperatur der Funktionsschicht unterhalb der
Diffusionstemperatur liegt, bei der eine Eindiffusion des Aluminium in die Funktionskeramik erfolgen kann, insbesondere wenn diese aus einem Varistormaterial ausgewählt ist. Für Co- firing-Prozesse, insbesondere bei LTCC-Keramiken, ist
Aluminium jedoch weniger geeignet.
Ist die Funktionsschicht eine andere Schicht als eine
Varistorkeramik und insbesondere ein anderer Halbleiter, so können andere Ionen für deren elektrische Funktion schädlich sein und werden vorteilhaft als Bestandteil der
Zwischenschicht bzw. der dafür eingesetzten Gläser und
Glaskomponenten vermieden.
Die Funktionskeramik kann ein Ferrit, eine NTC Keramik oder eine PTC Keramik sein.
Die Spannschicht weist eine Sintertemperatur auf, die
deutlich über der Sintertemperatur der Funktionsschicht und der Verbindungsschicht liegt. Dies ermöglicht ein Sinter- verfahren, bei dem die Struktur der Spannschicht unverändert bleibt und diese ihre Wirkung als Verspannungsschicht für die Funktionsschicht beim Sintern und insbesondere nach dem
Abkühlen ausüben kann. Die Spannschicht kann eine feste, mithin dichte Keramik sein. In diesem Fall ist eine gute gegenseitige Anpassung der verschiedenen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von großem Vorteil. Die Spannschicht kann aber auch eine nicht sinternde
Pulverschicht sein, aus der nur der Binder ausgebrannt ist. Auch solche Schichten weisen eine hohe mechanische Festigkeit auf, die ihren Einsatz als Spannschicht ermöglichen. Die mechanische Festigkeit wird auf Van der Walsche Kräfte zurückgeführt.
Eine vorteilhafte Auswahl für Materialien für die
Spannschicht sind daher kostengünstige, hochsinternde
Materialien mit geringem thermischem Ausdehnungs- koeffizienten .
Beispielhafte gute geeignete Materialien sind hochsinternde Oxide und andere Verbindungen wie z. B. Zirkonoxid,
Magnesiumoxid, Strontiumcarbonat , Bariumcarbonat oder
Magnesiumsilikat. Weiter geeignet sind auch Nitride, Carbide und Boride, die jedoch nicht immer kostengünstig sind. Auch Aluminiumoxidkeramik ist als Spannschicht ebenso geeignet wie andere Refraktormaterialien. Für die Spannschicht wird eine Schichtdicke gewählt, die ungefähr der Schichtdicke der Funktionsschicht entspricht. Unter Dicke der Funktionsschicht wird die Dicke sämtlicher Teilschichten der Funktionsschicht verstanden, die neben Schichten aus Funktionskeramik noch Metallisierungsschichten für Elektroden und andere Hilfs- und Zwischenschichten umfassen kann. Die Schichtdicke der Spannungsschicht sollte so gewählt werden, dass sie mindestens der halben
Schichtdicke der Funktionsschicht entspricht. Möglich ist es jedoch auch, bei der erfindungsgemäßen
Trägerplatte zwei Spannschichten vorzusehen, die auf einander gegenüberliegenden Seiten der Funktionsschicht angeordnet und jeweils mit einer Verbindungsschicht als Zwischenschicht
aufgebracht werden. Bei der Bemessung der Dicke der zwei Spannschichten wird die Summe der Schichtdicken aus beiden Spannungsschichten betrachtet, die dann optimaler Weise zwischen 50 und 100% der Schichtdicke der Funktionsschicht liegt .
Die Funktionsschicht kann ein Varistormaterial umfassen, in dem ein Varistor ausgebildet ist. Dieser umfasst neben einer Funktionskeramikschicht aus Varistormaterial noch mindestens zwei Elektrodenschichten, vorzugsweise jedoch einen Mehrschichtaufbau, bei dem mehrere Teilschichten der Varistorkeramik mit strukturierten Elektrodenschichten im
Mehrschichtaufbau alternieren.
Auch andere passive Komponenten können in der Funktionsschicht realisiert sein. Keramische Mehrschichtkondensatoren (MLCC) weisen ebenfalls einen Mehrschichtaufbau auf, bei dem alternierende Elektrodenschichten und Funktionskeramikschichten die Bauelementfunktion bereitstellen.
Die Funktionsschicht kann auch Durchkontaktierungen aufweisen, über die entweder unterschiedliche Metallisierungs¬ ebenen miteinander verbunden sind, oder bei denen tiefer liegenden Elektrodenschichten mit der Oberfläche der
Funktionsschicht verbunden werden können. Mit der Hilfe von Durchkontaktierungen kann ein Anschluss für diese tiefer liegenden Funktionsschichten an der Oberfläche der Funktionsschicht geschaffen werden.
Die Funktionsschicht kann außerdem zumindest zwei Teil¬ schichten von Funktionskeramik umfassen, die unterschiedliche elektrokeramische Eigenschaften aufweisen, die zusammen mindestens drei Metallisierungsebenen besitzen und die mit
Hilfe von Elektroden zu zwei unterschiedlichen passiven elektrischen Komponenten strukturiert sind. Vorzugsweise ist zumindest je eine passive Komponente innerhalb einer
Teilschicht an Funktionskeramik realisiert.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei¬ spielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert. Die Figuren dienen zur Veranschaulichung der Erfindung, sind daher nur schematisch und nicht maßstabsgetreu dargestellt. Absolute oder auch nur relative Maßangaben sind den Figuren daher nicht zu entnehmen.
Es zeigen: Figur 1 eine erste Trägerplatte im schematischen
Querschnitt,
Figur 2 eine zweite Trägerplatte im schematischen
Querschnitt,
Figur 3 einen Ausschnitt aus den Figuren 1 oder 2,
Figuren 4A bis 4D verschiedene Verfahrensstufen bei der Herstellung einer Trägerplatte gemäß einer ersten
Ausführungsform,
Figuren 5A bis 5C verschiedene Verfahrensstufen bei der Herstellung einer Trägerplatte gemäß einer zweiten
Ausführungsform,
Figur 6 eine Funktionsschicht mit einer beispielhaften darin integrierten passiven Komponente im schematischen Querschnitt,
Figur 7 die Funktionsschicht von Figur 6 nach dem Sintern mit verbleibender Verbindungsschicht,
Figur 8 die Funktionsschicht von Figur 7 nach dem
Aufbringen von elektrischen Anschlussflächen.
Figur 1 zeigt eine einfache Ausführungsform einer
erfindungsgemäßen Trägerplatte, bei der über einer ersten Funktionsschicht FS eine Spannschicht SPS mittels einer
Verbindungsschicht VS montiert ist. Die Funktionsschicht FS umfasst beispielsweise eine Funktionskeramik auf der Basis einer Varistorkeramik mit einem darin ausgebildeten Varistor.
Für die Verbindungsschicht VS wird eine Glaszusammensetzung vorbereitet mit 78 Gew.% Si02, 19 Gew.% Boroxid, 3 Gew.% Kaliumoxid. Eine solche Zusammensetzung ist bezüglich des Ausdehnungskoeffizienten an das Material der Varistorkeramik angepasst. Der Erweichungspunkt des Glases beträgt ca. 775°. Die Verbindungsschicht VS wird beispielsweise in Form einer Paste, die die genannten Glaskomponenten in fein verteilter Form umfasst, auf die Funktionsschicht FS aufgebracht, beispielsweise durch Aufdrucken. Die Schichtdicke der
pastösen Verbindungsschicht VS beträgt ca. 2 bis 10 ym.
Für die Spannschicht SPS wird beispielsweise eine Grünfolie auf der Basis von Zirkonoxid hergestellt. Die Grünfolie wird auf die Verbindungsschicht VS über der Funktionsschicht FS auflaminiert .
Anschließend wird der gesamte Aufbau bei ca. 920°C gesintert. Bei dieser Temperatur schmilzt und verfließt die Glas¬ komponente in der Verbindungsschicht VS . Aus der Grünfolie
für die Spannschicht SPS brennt dabei lediglich der Binder aus, während die Körnerstruktur der Spannschicht SPS
weitgehend ohne Volumenschwund erhalten bleibt. Dennoch behalten die Körner eine hohe Festigkeit untereinander, die zum Erreichen der Verspannungswirkung während des Sinterns der Trägerplatte bzw. des Aufbaus ausreichend ist. Nach kontrolliertem Abkühlen auf Raumtemperatur wird der in Figur 1 dargestellte Aufbau erhalten. Der in Figur 1 dargestellte Aufbau kann nun als Substrat für ein elektrisches Bauelement dienen. Möglich ist es jedoch auch, die Spannschicht SPS, die einen körnigen Aufbau auf¬ weist, vor der Weiterverarbeitung zum Substrat wieder zu entfernen. Dazu bieten sich mechanische Abtragsverfahren an, beispielsweise Sandstrahlen mit einem geeigneten partikel¬ förmigen Medium, z. B. mit Zirkonoxidkörnern, nasses Abschleifen mit abrasiven Partikeln oder Bürsten. Das Abbürsten kann mehrstufig durchgeführt werden, wobei in einer Serie von Teilschritten Bürsten unterschiedlicher Härte so eingesetzt werden, dass das Abbürsten mit der weichsten Bürste im letzten Verfahrensschritt erfolgt.
Vor und nach der Sinterung werden die Dimensionen der
Funktionsschicht bestimmt und so der laterale Schwund
ermittelt. Es zeigt sich, dass die erfindungsgemäße
Trägerplatte einen lateralen Schwund von weniger als 1,0 %, gemessen entlang der x,y Achsen, aufweist. Darüber
hinausgehender Schwund wird durch die Spannschicht
verhindert .
Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungs¬ gemäßen Trägerplatte TP, bei der gegenüberliegend der ersten Spannschicht SPS1 eine zweite Spannschicht SPS2 vermittels
einer zweiten Verbindungsschicht VS2 aufgebracht ist. Die Anordnung weist somit einen symmetrischen Aufbau mit der Funktionsschicht FS als Spiegelebene auf. Die Aufbringung der zweiten Spannschicht erfolgt wie die Aufbringung der ersten Spannschicht. Die beiden Spannschichten SPS1,SPS2 werden entweder synchron oder kontinuierlich nacheinander
aufgebracht. Der Sinterschritt erfolgt für beide
Verspannungsschichten gemeinsam. Figur 3 zeigt einen Strukturausschnitt einer erfindungs¬ gemäßen Trägerplatte TP am Interface zwischen Spannschicht SPS, Verbindungsschicht VS und Funktionsschicht FS. Die
Funktionsschicht FS ist durch Sintern verdichtet und ist porenfrei. Die Oberfläche weist eine gewisse Restrauigkeit auf, die auf die Kornstruktur der Spannschicht SPS
zurückzuführen ist. Die Spannschicht SPS dagegen weist dagegen noch die Partikelstruktur auf, aus der der
ursprünglich in den Zwischenräumen vorhandene Binder während des Sintervorgangs ausgebrannt ist. Die Partikel weisen in der Spannschicht SPS eine gute Haftung untereinander auf, stabilisieren die Spannschicht mechanisch und ermöglichen so die Verspannungswirkung .
Die Verbindungsschicht VS schmiegt sich den beiden Ober- flächen von Funktionsschicht FS und Spannschicht SPS an und erzeugt durch die flächenmäßig vergrößerten Interfaces eine hohe Adhäsionswirkung. Als Interface wird die Grenzschicht jeweils zwischen Verbindungsschicht VS und der jeweiligen Oberfläche von Spannschicht SPS und Funktionsschicht FS bezeichnet.
Figuren 4A bis 4D zeigen verschiedene Verfahrensstufen bei der Herstellung einer Trägerplatte gemäß einer ersten
Ausführung. Auf den Grünkörper GF einer Funktionsschicht FS wird als Vorstufe der Verbindungsschicht VS eine Schicht GV einer Glaspaste in dünner Schichtdicke bis maximal 10 ym aufgebracht. Figur 4 zeigt die Anordnung. Auf die Schicht GV der Glaspaste wird nun eine Spannschicht SPS aufgebracht, beispielsweise durch Auflaminieren einer Grünfolie GS, die eine dichte Packung hochsinternder keramischer Partikel, beispielsweise auf der Basis von Zirkonoxid, in einem Binder umfasst .
Anschließend wird der Aufbau gesintert, wobei die Grünfolie GS der Spannschicht SPS weitgehend ihr Volumen beibehält, da lediglich der Binder ausbrennt. Die Glaspastenschicht GV der Verbindungsschicht VS erweicht und verfließt auf der porösen Oberfläche der Spannschicht SPS.
Der Grünfolienaufbau GF der Funktionsschicht FS sintert auch und erzeugt dabei durch Verdichtung einen Sinterschwund. Dieser zeigt sich aber lediglich in einer Reduzierung der Schichtdicke beim Übergang vom Grünfolienaufbau GF zur
Funktionsschicht FS. Die Schichtdicke verringert sich von ursprünglich dl gemäß Figur 4B auf d2 gemäß Figur 4C. Der laterale Schwund wird durch die Verspannung mit der
Spannschicht SPS verhindert. Beim Abkühlen nach dem Sintern bleibt der Aufbau weitgehend form- und dimensionsstabil und reduziert sich lediglich um die thermische Ausdehnung.
Wird die Spannschicht SPS als Opferschicht eingesetzt, so muss sie anschließend mechanisch entfernt werden, wie in Figur 4C durch Pfeile angedeutet ist.
Figur 4D zeigt die Anordnung nach der Entfernung der
Spannschicht. Die Funktionsschicht FS ist nun nur noch von
einer Glasschicht bedeckt, die der ursprünglichen Verbindungsschicht VS entspricht. Wegen der größeren Härte der Glasschicht bzw. der Verbindungsschicht ist diese gegen das gewählte Abtragsverfahren mechanisch stabil.
Figuren 5A bis 5C zeigen verschiedene Verfahrensstufen bei der Herstellung einer erfindungsgemäßen Trägerplatte gemäß einer zweiten Verfahrensvariante. Hier wird von einer als feste Platte vorliegenden Spannschicht SPS ausgegangen, auf die eine Glaspaste GV für die Verbindungsschicht VS in dünner Schichtdicke bis maximal 10 ym aufgebracht wird. Figur 5A zeigt die Anordnung auf dieser Verfahrensstufe.
Auf die Schicht GV der Glaspartikel wird nun eine Grünfolie GF bzw. ein Grünfolienstapel für die Funktionsschicht FS aufgebracht, beispielsweise durch Auflaminieren . Möglich ist es jedoch auch, die Grünfolien für die Funktionsschicht einzeln aufzulaminieren . Figur 5B zeigt die Anordnung auf dieser Verfahrensstufe mit auflaminierten Grünfolien für die Funktionsschicht FS.
Im nächsten Schritt erfolgt die Sinterung, ähnlich wie anhand der Figuren 4A bis 4D beschrieben. Auch hier verhindert beim Sintern und Abkühlen die Verspannung der Funktionsschicht FS mit der Spannschicht SPS einen lateralen Sinterschwund, sodass der Sinterschwund ausschließlich in der Dimension vertikal zur Schichtebene stattfindet. Die Schichtdicke des Folienstapels für die Funktionsschicht FS oder der einzelnen Funktionsschichten FS reduziert sich hingegen, wie im
Vergleich der Figuren 5B und 5C zu sehen.
Figur 6 zeigt ein beispielhaftes passives Element, wie es in den Stapel von Grünfolien GF für die spätere Funktionsschicht
FS integriert sein kann. Zwischen jeweils zwei Teilschichten FS1, FS2, . . . der Funktionskeramik ist für das passive Element je eine strukturierte Elektrodenschicht EL
angeordnet. Die Elektrodenschichten EL sind alternierend mit je einer von zumindest zwei Durchkontaktierungen DK1, DK2 verbunden, sodass erste Elektrodenschichten ELI mit einer ersten Durchkontaktierung DK1, zweite Elektrodenschichten EL2 dagegen mit einer zweiten Durchkontaktierung DK2 verbunden sind. Eine solche Bauelementstruktur kann beispielsweise mit einer Varistorkeramik realisiert werden und bildet dabei einen Varistor aus. Dieser stellt ein Schutzbauelement dar, das einen Strom erst ab einer einstellbaren Schwellspannung von ersten zu zweiten Elektroden leitet bzw. ableitet. Ist diese Schwellspannung kleiner als die Überspannung, kann die Spannung auf diese Weise beim Erreichen der Schwellspannung sicher abgeleitet werden.
Die in Figur 6 dargestellte Struktur kann jedoch auch ein keramischer Mehrlagenkondensator sein, bei dem die Teil- schichten der keramischen Funktionsschicht FS aus einem
Dielektrikum ausgeführt sind. Durch Anlegen einer Spannung zwischen erster und zweiter Elektrodenschicht ELI, EL2 baut sich eine Kapazität zwischen diesen beiden Elektroden auf. Figur 7 zeigt die in Figur 6 dargestellte passive Komponente als Verfahrensprodukt nach dem Sintern und dem Entfernen der Spannschicht. Über der Funktionsschicht FS ist nun nur noch die Glasschicht der ursprünglichen Verspannungsschicht VS vorhanden .
In einem ein- oder mehrstufigen Prozess kann dann über den freigelegten oberen Enden der Durchkontaktierungen DK und im benachbarten Randbereich auf der Oberfläche der Glasschicht
der ursprünglichen Verbindungsschicht VS eine Anschlussfläche AF erzeugt werden. In einem ersten Teilschritt kann dazu ein Via VA durch die Glasschicht der ursprünglichen Verbindungs¬ schicht VS geführt werden, beispielsweise durch stromlose Metallabscheidung . Anschließend wird über dem gefüllten Via VA die metallische elektrische Anschlussfläche AF erzeugt, beispielsweise durch Aufdrucken und Einbrennen von Kontakten. Möglich ist es jedoch auch, die Kontakte galvanisch aufzubringen. Figur 8 zeigt die Anordnung auf dieser Verfahrens- stufe.
Auf die Anschlussflächen AF kann nun ein elektrisches
Bauelement elektrisch und mechanisch montiert werden, wobei die Trägerplatte als Träger für das Bauelement dient. Durch die integrierte passive Komponente kann eine Schutzfunktion in der Trägerplatte realisiert sein, die das Bauelement beispielsweise gegenüber Überspannung schützt. Jedoch können in der Trägerplatte auch andere passive Bauelementfunktionen in Form entsprechender passiver Komponenten realisiert und mit dem Bauelement verbunden sein.
Die Erfindung nur anhand weniger ausgewählter Ausführungsbeispiele erläutert und ist daher nicht auf die dargestellten Ausführungen und/oder die Figuren beschränkt. Die Erfindung ist allein durch die Ansprüche definiert und umfasst in diesem Rahmen weitere Variationen. Auch Unterkombinationen von Merkmalen der Ansprüche werden als erfindungsgemäß betrachtet
Bezugs zeichenliste
TP Trägerplatte
FS keramische Funktionsschicht (en)
SPS keramische Spannschicht
VS VerbindungsSchicht
GV Glaspastenschicht für Verbindungsschicht
CTE thermischer Ausdehnungskoeffizient
GF Grünling für eine keramische Funktionsschicht
GS Grünling für eine keramische Spannschicht
FS1, FS2 Teilschichten der Funktionsschicht
GS Grünfolie für Spannschicht
AF elektrische Anschlussfläche
VA Via durch Verbindungsschicht