WO2016063753A1 - センサ装置およびこれに用いられる供回り防止治具 - Google Patents

Abstract

　振動検出ユニットがケーシングに挿入された状態で、ホルダーの供回りを防止しつつ、ねじ部材を回転させることが可能なセンサ装置を提供すること。センサ装置１は、検出針２１と、検出針２１の後端が挿入される円筒状のホルダー２２と、ホルダー２２内に配置され、検出針２１の後端に接する圧電素子２５，２６と、ホルダー２２内に配置され、圧電素子２５，２６を間接的に検出針２１の後端に押し付ける皿バネ３１と、ホルダー２２に螺合して挿入され、皿バネ３１を圧電素子２５，２６側へ押し込む皿ねじ３２とを有し、ケーシング１０に挿入される振動検出ユニット２０とを備える。ホルダー２２の後方端面２３ｇには、互いに１８０°ずれた位置にホルダー２２の径方向に延びて形成され、皿ねじ３２を回転させる際に供回り防止治具を挿入してホルダー２２の回転動作を規制するための２つの溝２３ｊが形成されている。

Description

センサ装置およびこれに用いられる供回り防止治具

　本願は、測定対象物に押し当てて測定対象物の振動を検出するセンサ装置およびこれに用いられる供回り防止治具に関する。

　例えば特許文献１に開示されているように、測定対象物に押し当てて振動を検出するセンサ装置が知られている。このセンサ装置は、筒状のケーシングと、該ケーシングに収容される振動検出ユニット（感振素子）とを備えている。振動検出ユニットは、検出針の後端に圧電素子（電極板含む）、ウエイトおよびバネ部材（防振ゴム）等が順に挿入されてナットで固定されている。このセンサ装置では、検出針の先端を測定対象物に当ててケーシング内に押し込むことにより、測定対象物の振動が検出針に伝わり、圧力変動として圧電素子に作用し電圧変動が生じる。そして、電圧変動に関する信号が電極板から信号処理回路に送られて測定対象物の振動が検出される。

　また、振動検出ユニットでは、圧電素子がウエイトの自重およびバネ部材（防振ゴム）の弾性力によって検出針に所定の力（初期押付け力）で押し付けられる。これにより、測定対象物以外の振動や力が外乱として圧電素子に作用しても、その外乱を吸収することができ、外乱による影響を受けずにすむ。初期押付け力の調整は、ナットの締め付け位置を変更してバネ部材の弾性力を変化させることにより行われる。

特開２００８－１７０３８７号公報

　ところで、上述した振動検出ユニットについては、内周面に雌ねじ部が形成された筒状のホルダーに検出針の後端を挿入して固定し、ホルダーに圧電素子やバネ部材を順に収容した後ねじ部材（皿ねじ等）を締め付けて固定するという構成も考えられる。この場合も、ホルダーにおけるねじ部材の締め付け位置を変更することでバネ部材の弾性力が変化し、上述した初期押付け力が調整される。ここで、初期押付け力の調整時に、ねじ部材をドライバー等の工具で回転させるだけではホルダーが供回りしてしまい、ねじ部材の締め付け位置を変更することが困難である。そのため、一旦、振動検出ユニットをケーシングから出して、手で振動検出ユニットのホルダーを持ってねじ部材を回転させる必要がある。しかし、これでは初期押付け力の調整に手間が懸かってしまう。

　本願に開示の技術は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、振動検出ユニットがケーシングに挿入された状態で、ホルダーの供回りを防止しつつ、ねじ部材を回転させることが可能なセンサ装置および供回り防止治具を提供することにある。

　本願のセンサ装置は、筒状のケーシングと、振動検出ユニットとを備えている。上記振動検出ユニットは、検出針と、ホルダーと、圧電素子と、バネ部材と、ねじ部材とを有している。上記ホルダーは、内周面に雌ねじ部が形成され、上記検出針の後端が挿入される円筒状のものである。上記圧電素子は、上記ホルダー内の上記検出針の後方に配置され、該検出針の後端に接するものである。上記バネ部材は、上記ホルダー内の上記圧電素子の後方に配置され、該圧電素子を直接的または間接的に上記検出針の後端に押し付けるものである。上記ねじ部材は、上記ホルダーの後方端から該ホルダーの内周面と螺合して挿入され、上記バネ部材を上記圧電素子側へ押し込むものである。そして、上記振動検出ユニットは、上記ケーシングに挿入されると共に上記検出針の先端が測定対象物に押し当てられて該測定対象物の振動を検出するものである。そして、上記ホルダーの後方端面には、互いに１８０°ずれた位置に上記ホルダーの径方向に延びて形成され、上記ねじ部材を回転させる際に治具を挿入して上記ホルダーの回転動作を規制するための２つの溝が形成されている。

　本願のセンサ装置によれば、振動検出ユニットのホルダーの後方端面において互いに１８０°ずれた位置に、ねじ部材を回転させる際に治具を挿入してホルダーの回転動作を規制するための２つの溝を形成するようにした。したがって、振動検出ユニットがケーシングに挿入された状態であっても、治具によってホルダーの回転動作を規制することができ、ねじ部材を回転させる際にホルダーが供回りするのを防止することができる。

図１は、実施形態に係るセンサ装置の概略構成を示す正面図である。 図２は、実施形態に係るセンサ本体の概略構成を示す断面図である。 図３は、振動検出ユニットを後方から視て示す背面図である。 図４は、実施形態に係る供回り防止治具の概略構成を示す側面図である。 図５は、実施形態に係る供回り防止治具の概略構成を示す図であり、（Ａ）は正面図を示し、（Ｂ）は平面図を示す。 図６は、センサ本体において初期押付け力を調整している状態を示す斜視図である。 図７は、センサ本体において初期押付け力を調整している状態を拡大して示す斜視図である。 図８は、センサ本体において初期押付け力を調整している状態を拡大して示す斜視図である。

　以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本願に開示の技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。

　図１に示す本実施形態のセンサ装置１は、図示しない固定器具に連結して測定対象物（例えば、スチームトラップ）に固定し、該測定対象物の振動および温度の２つを検出する、いわゆる固定タイプのセンサである。センサ装置１は、例えば上下方向に延びる状態で測定対象物に固定される。

　センサ装置１は、センサ本体２と、アンテナ３と、接続軸４とを備えている。接続軸４は、中空軸であり、両端がナット５，６によってセンサ本体２とアンテナ３に連結されている。アンテナ３は、図示しないが、信号処理回路や発信部が内蔵されており、センサ本体２によって検出された測定対象物の振動および温度に関する信号が送られる。

　図２に示すように、センサ本体２は、ケーシング１０と、振動検出ユニット２０と、温度検出ユニット４０（熱電対ユニット）とを備えている。

　ケーシング１０は、略円筒状に形成され、大径部１１、中径部１２および小径部１３を有する。大径部１１の外周面には、上述したナット５が締結される雄ねじ部１１ａが形成されている。小径部１３の外周面には、上述した固定器具に締結される雄ねじ部１３ａが形成されている。

　振動検出ユニット２０は、検出針２１と、ホルダー２２と、圧電素子２５，２６と、電極板２７，２８と、ウエイト２９と、皿バネ３１（バネ部材）と、皿ねじ３２（ねじ部材）とを備え、ケーシング１０に挿入されて測定対象物の振動を検出（測定）するものである。

　検出針２１は、細長い棒状の部材であり、後方側から順に、大径部２１ａ、中径部２１ｂおよび小径部２１ｃが形成されている。検出針２１は、ケーシング１０と同軸に配置されると共に、先端２１ｄがケーシング１０から突出する状態で配置されている。

　ホルダー２２は、内側の金属製ホルダー２３と、該金属製ホルダー２３を収容保持する外側の樹脂製ホルダー２４とで構成されている。金属製ホルダー２３および樹脂製ホルダー２４は、何れも、有底の円筒状に形成されており、ケーシング１０と同軸に配置されている。

　金属製ホルダー２３は、筒状壁の径が異なる大径部２３ａおよび小径部２３ｂが後方側から順に形成されると共に、底壁２３ｃに挿入孔２３ｄが形成されている。金属製ホルダー２３は、底壁２３ｃの挿入孔２３ｄに検出針２１の後端が挿入されて固定されている。具体的に、検出針２１は、大径部２１ａが金属製ホルダー２３の小径部２３ｂ内に位置し、中径部２１ｂの後方側が底壁２３ｃの挿入孔２３ｄに位置している。検出針２１の大径部２１ａは、挿入孔２３ｄよりも大径に形成されており、底壁２３ｃの内面に接している。

　金属製ホルダー２３の小径部２３ｂには、検出針２１の後方に、２つの圧電素子２５，２６および２つの電極板２７，２８が収容されている。具体的に、検出針２１の大径部２１ａの後方には、前方側から順に、第１圧電素子２５、第１電極板２７、第２圧電素子２６および第２電極板２８が互いに接した状態で配置されている。第１圧電素子２５は、検出針２１の後端に接した状態で配置されている。なお、金属製ホルダー２３の小径部２３ｂの内面には、圧電素子２５，２６および電極板２７，２８の外周を保持するガイド部２３ｅが形成されている。また、２つの電極板２７，２８は、図示しないが、それぞれ信号線によってアンテナ３の信号処理回路に接続されている。つまり、信号線はセンサ本体２から接続軸４内を通ってアンテナ３内まで配線されている。

　ウエイト２９、皿バネ３１および皿ねじ３２は、金属製ホルダー２３内に収容されて保持されている。本実施形態において、ウエイト２９、皿バネ３１および皿ねじ３２は、圧電素子２５，２６および電極板２７，２８をその後方から検出針２１の後端に押し付けるものである。

　ウエイト２９は、金属製ホルダー２３において第２電極板２８の後方に配置されており、金属製ホルダー２３の大径部２３ａと小径部２３ｂとに跨って収容されている。ウエイト２９は、一体形成された頭部２９ａと軸部２９ｂとで構成され、頭部２９ａが金属製ホルダー２３の大径部２３ａに位置し、軸部２９ｂが金属製ホルダー２３の小径部２３ｂに位置して第２電極板２８に接している。ウエイト２９は、自身の重力（自重）によって圧電素子２５，２６等を検出針２１に押し付ける。皿バネ３１は、金属製ホルダー２３の大径部２３ａにおいてウエイト２９の後方に配置されている。皿バネ３１は、自身の弾性力でウエイト２９を前方へ付勢することによって圧電素子２５，２６等を検出針２１に押し付ける。

　皿ねじ３２は、金属製ホルダー２３の大径部２３ａにおいて皿バネ３１の後方に配置されている。皿ねじ３２は、外周面に雄ねじが形成された円板状の部材であり、金属製ホルダー２３の大径部２３ａの内周面に形成された雌ねじ部２３ｋと螺合することで金属製ホルダー２３に固定される。皿ねじ３２は、皿バネ３１に接して皿バネ３１の一端を支持するバネ受け部材を構成している。つまり、皿バネ３１は、その一端が皿ねじ３２で支持されることによって弾性力をウエイト２９に作用させることができる。

　樹脂製ホルダー２４は、金属製ホルダー２３の前方側に配置され、金属製ホルダー２３の小径部２３ｂを収容している。本実施形態では、金属製ホルダー２３はその小径部２３ｂが樹脂ホルダー２２に圧入されることにより固定されている。樹脂製ホルダー２４は、底壁２４ａに挿入孔２４ｂが形成されており、その挿入孔２４ｂに検出針２１の中径部２１ｂが嵌合している。

　温度検出ユニット４０は、接触板４１（伝熱板）と、保持部材４２とを備え、測定対象物の温度を検出（測定）するものである。接触板４１は、略環状の板部材である。保持部材４２は、検出針２１の小径部２１ｃと接触板４１を保持するものである。保持部材４２は、略円筒状に形成され、ケーシング１０の小径部１３の先端側に収容（挿入）されている。接触板４１は、保持部材４２の先端に保持されている。

　保持部材４２には、それぞれ軸方向に延びる、１つの検出針用孔４３と、２つの熱電対線用孔４４，４５とが形成されている。検出針用孔４３は、保持部材４２の中央に形成された貫通孔であり、検出針２１の小径部２１ｃが挿入されている。熱電対線用孔４４，４５は、検出針用孔４３を間に置いて１８０°ずれた位置に形成された貫通孔であり、２本の熱電対線（図示省略）が挿通されている。この２本の熱電対線は、一端が接触板４１に接続され、他端がアンテナ３の信号処理回路に接続されている。また、ケーシング１０内には保持部材４２をケーシング１０の先端側へ付勢するコイルバネ４８が設けられている。

　そして、センサ本体２は、振動検出ユニット２０を前方へ付勢するコイルバネ３５（付勢部材）を備えている。振動検出ユニット２０は、ケーシング１０の軸方向（即ち、前後方向）に変位可能にケーシング１０に挿入されている。コイルバネ３５は、ケーシング１０の大径部１１に収容され、振動検出ユニット２０の後方側に配置されている。コイルバネ３５は、その軸がケーシング１０の軸と略同軸となる状態で配置されている。コイルバネ３５の一端（後方側端部）は、スナップリング３６に支持されている。スナップリング３６は、ケーシング１０の大径部１１の内面に形成された溝１１ｂに嵌め込まれており、コイルバネ３５の一端を受けている。

　一方、コイルバネ３５の他端（前方側端部）は、振動検出ユニット２０のホルダー２２に接している。そして、コイルバネ３５は、ホルダー２２を前方へ付勢することで振動検出ユニット２０を前方へ付勢し、検出針２１の先端２１ｄをケーシング１０から突出させるように構成されている。具体的に、金属製ホルダー２３は、大径部２３ａの筒状壁から外方（径方向外方）へ突出するバネ受け部２３ｆが形成されている。つまり、バネ受け部２３ｆは、ホルダー２２の軸方向途中の筒状壁から外方へ突出して形成されている。コイルバネ３５の他端は、金属製ホルダー２３のバネ受け部２３ｆの後方側の面に接している。そして、コイルバネ３５は金属製ホルダー２３を前方へ付勢することで振動検出ユニット２０を前方へ付勢する。

　振動検出ユニット２０は、コイルバネ３５によって前方へ付勢されて検出針２１の先端２１ｄが所定長さだけ突出した状態では、バネ受け部２３ｆがケーシング１０の大径部１１と中径部１２との段差部に接している。つまり、この段差部に金属製ホルダー２３のバネ受け部２３ｆが接することにより、振動検出ユニット２０の前方への変位動作が規制される。

　上述したセンサ装置１では、検出針２１の先端２１ｄを測定対象物に押し当てて検出針２１を押し込むことによって、測定対象物の機械的振動が検出針２１に伝わり、圧力変動として圧電素子２５，２６に作用する。これに応じて圧電素子２５，２６に電圧変動が生じ、この電圧変動に関する信号が電極板２７，２８から信号線を介してアンテナ３の信号処理回路に送られて測定対象物の振動が検出（測定）される。また、センサ装置１では、測定対象物の熱（高温熱）が接触板４１に伝わり、２本の熱電対線において電位差が生じる。そして、この電位差に関する信号がアンテナ３の信号処理回路に送られて測定対象物の温度が検出（測定）される。つまり、本実施形態の温度検出ユニット４０は検出針２１が押し込まれることによって測定対象物に接して該測定対象物の温度を検出する。以上のようにして検出された測定対象物の振動および温度の数値は、アンテナ３の発信部から別の受信部（図示省略）へ無線送信される。

　また、振動検出ユニット２０では、上述したように、圧電素子２５，２６がウエイト２９の自重および皿バネ３１の弾性力によって検出針２１に所定の力（以下、初期押付け力という。）で押し付けられる。これにより、測定対象物以外の振動や力が外乱として圧電素子２５，２６に作用しても、その外乱を吸収することができる。したがって、外乱による影響を受けずにすむので、測定対象物の振動を正確に検出（測定）することができる。

　振動検出ユニット２０では、上述した初期押付け力が調整可能になっている。即ち、振動検出ユニット２０では、金属製ホルダー２３における皿ねじ３２の締め付け位置（固定位置）を変更することによって皿バネ３１の弾性力が変化し、この皿バネ３１の弾性力の変化によって初期押付け力が調整される。具体的に、皿ねじ３２を回転させて前方へ変位させると、皿バネ３１は収縮して皿バネ３１の弾性力は大きくなる。逆に、皿ねじ３２を回転させて後方へ変位させると、皿バネ３１は伸長して皿バネ３１の弾性力は小さくなる。皿バネ３１の弾性力が大きくなると初期押付け力は大きくなり、皿バネ３１の弾性力が小さくなると初期押付け力は小さくなる。

　本実施形態のセンサ装置１では、上述した初期押付け力の調整時に図４および図５に示す供回り防止治具５０が用いられる。供回り防止治具５０は、皿ねじ３２を回転させる際に金属製ホルダー２３（ホルダー２２）が供回りするのを防止するための治具である。そして、本実施形態の振動検出ユニット２０は、供回り防止治具５０を用いるための構成を有している。

　図３にも示すように、振動検出ユニット２０の金属製ホルダー２３の後方端面２３ｇには２つの溝２３ｊが形成されている。２つの溝２３ｊは、金属製ホルダー２３の内外に亘って径方向に延びており、互いに１８０°ずれた位置に設けられている。皿ねじ３２には、皿ねじ３２を回転させるための工具（本実施形態では、ドライバー）が挿入される直線状の溝３２ａが形成されている。本実施形態では、金属製ホルダー２３の溝２３ｊの幅は皿ねじ３２の溝３２ａの幅よりも大きい。なお、皿ねじ３２の溝３２ａは、例えば十字状や溝や角形の凹部であってもよく、要するに、工具を用いて皿ねじ３２を回転させることができれば如何なる形態であってもよい。

　〈供回り防止治具の構成〉
　図４および図５に示すように、供回り防止治具５０は、板状の棒部材である本体５１を有している。本体５１の先端には、略直角に折り曲げられた２つの屈曲部５２が形成されている。具体的に、本体５１の先端には、幅方向中央（図５において上下方向の中央）において軸方向（図５において左右方向）に延びる切欠き５３が形成され、残った二股の片が切欠き５３の軸方向途中で折り曲げられることで２つの屈曲部５２が形成されている。切欠き５３の端部（図５（Ｂ）において右側の端部）は、円弧状に形成されている。

　屈曲部５２の先端には、挿入部５４とガイド部５５が形成されている。挿入部５４およびガイド部５５は、屈曲部５２の先端において幅方向（図５において上下方向）に並設されている。挿入部５４は屈曲部５２の先端において内側に設けられ、ガイド部５５は屈曲部５２の先端において外側に設けられている。また、ガイド部５５は挿入部５４よりも突出している。２つの屈曲部５２の挿入部５４は、金属製ホルダー２３の２つの溝２３ｊに挿入される（嵌められる）部分であり、幅が溝２３ｊの幅と略同じになっている。２つの屈曲部５２のガイド部５５は、挿入部５４が溝２３ｊに挿入された際に金属製ホルダー２３の大径部２３ａの外周面２３ｈに接する部分である。

　〈初期押付け力の調整動作〉
　上述した振動検出ユニット２０における初期押付け力の調整動作について図６～図８を参照しながら説明する。図６に示すように、初期押付け力の調整は、振動検出ユニット２０がセンサ本体２のケーシング１０に挿入された状態で行われ、供回り防止治具５０の屈曲部５２およびドライバーの先端がケーシング１０の後方端から挿入される。

　そして、図７および図８に示すように、供回り防止治具５０の屈曲部５２が金属製ホルダー２３に嵌められて金属製ホルダー２３（ホルダー２２）が固定される。具体的に、屈曲部５２の挿入部５４が金属製ホルダー２３の溝２３ｊに挿入される（嵌められる）と共に、屈曲部５２のガイド部５５が金属製ホルダー２３の大径部２３ａの外周面２３ｈに接する（図８参照）。こうして挿入部５４が溝２３ｊに挿入されることにより、金属製ホルダー２３（ホルダー２２）が固定され回転動作が規制される。また、ガイド部５５が金属製ホルダー２３の大径部２３ａの外周面２３ｈに接することにより、金属製ホルダー２３の大径部２３ａが２つのガイド部５５で挟まれるので、屈曲部５２の金属製ホルダー２３の径方向への変位が規制される。これにより、挿入部５４が溝２３ｊからその軸方向に抜け出るのを防止できる。そして、ドライバーの先端が皿ねじ３２の溝３２ａに挿入されて、皿ねじ３２が回転される。皿ねじ３２の回転時は、金属製ホルダー２３（ホルダー２２）が供回り防止治具５０によって固定されているため、金属製ホルダー２３（ホルダー２２）の供回りが防止される。

　以上のように、上記実施形態によれば、振動検出ユニット２０の金属製ホルダー２３（ホルダー２２）の後方端面２３ｇに、皿ねじ３２を回転させる際に供回り防止治具５０の屈曲部５２を挿入して金属製ホルダー２３の回転動作を規制するための２つの溝２３ｊを形成するようにした。したがって、振動検出ユニット２０がセンサ本体２のケーシング１０に挿入（収容）された状態でも、供回り防止治具５０をケーシング１０の後方側から挿入して金属製ホルダー２３の回転動作を規制することができるので、皿ねじ３２を回転させる際に金属製ホルダー２３が供回りするのを防止することができる。その結果、初期押付け力の調整を容易に行うことができる。

　しかも、金属製ホルダー２３の溝２３ｊは互いに１８０°ずれた位置に形成しているため、例えば２つの溝が１８０°よりも小さい角度でずれている場合や溝が１つの場合に比べて、少ない力で容易に金属製ホルダー２３を固定して回転動作を規制することができる。したがって、金属製ホルダー２３の供回りを確実且つ容易に防止することができる。

　また、上記実施形態の供回り防止治具５０によれば、先端が折り曲げられて成る屈曲部５２を金属製ホルダー２３の溝２３ｊに挿入する（嵌める）ようにしたため、作業者による皿ねじ３２の回転動作が供回り防止治具５０の存在によって邪魔されるのをできるだけ緩和させることができる。

　さらに、上記実施形態の供回り防止治具５０の屈曲部５２は、幅方向途中において軸方向に延びる切欠き５３が形成されて成る二股の片が切欠き５３の軸方向途中で折り曲げられて成っている。そのため、ドライバーを供回り防止治具５０の切欠き５３から挿入して皿ねじ３２の溝３２ａに挿入することができる（図８等参照）。したがって、作業者による皿ねじ３２の回転動作が供回り防止治具５０の存在によって邪魔されるのをより一層緩和させることができる。

　さらに、上記実施形態の供回り防止治具５０によれば、屈曲部５２において挿入部５４の幅方向外側にガイド部５５を並設するようにしたため、屈曲部５２の金属製ホルダー２３の径方向への変位を規制することができる。これにより、挿入部５４が溝２３ｊからその軸方向に抜け出るのを防止することができる。したがって、挿入部５４が溝２３ｊに挿入された状態を容易に維持することができ、容易に金属製ホルダー２３の回転動作を規制することができる。

　なお、上記金属製ホルダー２３の溝２３ｊは、内外に亘って延びるもの、即ち内外の両側に開口しているものとしたが、内側および外側の何れか一方が閉塞された溝であってもよい。その場合、供回り防止治具５０の屈曲部５２は、挿入部５４が突出して形成されると共にガイド部５５が省略される。

　また、上記実施形態の供回り防止治具５０では、ガイド部５５を省略するようにしてもよい。

　また、上記実施形態の振動検出ユニット２０では、バネ部材として皿バネ３１を用いたが、本願に開示の技術はこれに限らず、例えばコイルバネを用いてもよい。

　また、本願のセンサ装置１は、温度検出ユニット４０を省略して、測定対象物の振動のみを検出するものであってもよい。

　本願に開示の技術は、検出針を測定対象物に押し当てて測定対象物の振動を検出するセンサ装置およびこれに用いられる供回り防止治具について有用である。

１　　　　センサ装置
１０　　　ケーシング
２１　　　検出針
２３　　　金属製ホルダー（ホルダー）
２３ｇ　　後方端面
２３ｈ　　外周面
２３ｊ　　溝
２３ｋ　　雌ねじ部
２５，２６　　　圧電素子
３１　　　皿バネ（バネ部材）
３２　　　皿ねじ（ねじ部材）
５０　　　供回り防止治具
５１　　　本体
５２　　　屈曲部
５３　　　切欠き
５４　　　挿入部
５５　　　ガイド部

Claims (3)

1. 　筒状のケーシングと、
   　検出針と、内周面に雌ねじ部が形成され、上記検出針の後端が挿入される円筒状のホルダーと、該ホルダー内の上記検出針の後方に配置され、該検出針の後端に接する圧電素子と、上記ホルダー内の上記圧電素子の後方に配置され、該圧電素子を直接的または間接的に上記検出針の後端に押し付けるバネ部材と、上記ホルダーの後方端から該ホルダーの内周面と螺合して挿入され、上記バネ部材を上記圧電素子側へ押し込むねじ部材とを有し、上記ケーシングに挿入されると共に上記検出針の先端が測定対象物に押し当てられて該測定対象物の振動を検出する振動検出ユニットとを備え、
   　上記ホルダーの後方端面には、互いに１８０°ずれた位置に上記ホルダーの径方向に延びて形成され、上記ねじ部材を回転させる際に治具を挿入して上記ホルダーの回転動作を規制するための２つの溝が形成されている
   ことを特徴とするセンサ装置。
2. 　請求項１に記載のセンサ装置の上記ねじ部材を回転させる際に用いられ、上記ホルダーの回転動作を規制する供回り防止治具であって、
   　板状棒部材の本体を有し、該本体の先端には、幅方向途中において軸方向に延びる切欠きが形成されて成る二股の片が上記切欠きの軸方向途中で折り曲げられて成り、上記ホルダーの上記溝に挿入される２つの屈曲部が形成されている
   ことを特徴とする供回り防止治具。
3. 　請求項２に記載の供回り防止治具において、
   　上記ホルダーの上記溝は、上記ホルダーの内外に亘って延びるものであり、
   　上記各屈曲部の先端には、幅方向内側に位置し、上記ホルダーの上記溝に挿入される挿入部と、該挿入部の幅方向外側に位置し且つ上記挿入部よりも突出し、上記ホルダーの外周面に接するガイド部とが並設されている
   ことを特徴とする供回り防止治具。
    

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